CN111051763A - 具有提高储存能力的流体压力调节阀的气缸 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种气缸(保管及搬运流体的容器)，用于储存并搬运流体，在设定的条件下，以设定的排放压力排放储存的流体，更详细地说，涉及一种具有流体压力调节阀的气缸，设置在气缸(保管及搬运流体的容器)而在设定的条件下，以设定的排放压力排放储存的流体，能够提高气缸(保管及搬运流体的容器)的流体储存能力。这种本发明的能够提高流体储存能力的具有流体压力调节阀的气缸作为一种仅在出口侧的设定的压力条件下以设定的排放压力排放储存的流体的，保管及搬运流体的气缸，包括：第一调节器，调节气缸内流体的排放压力而能够以调节后的设定压力排放；第二调节器，仅在设定的压力条件下排放由所述第一调节器调节过设定压力的流体，具有流体压力调节阀，使得所述第一调节器和第二调节器未被插入到气缸储存空间而提高了储存能力。

Description

具有提高储存能力的流体压力调节阀的气缸
技术领域
本发明涉及一种气缸(保管及搬运流体的容器)，用于储存并搬运流体，在设定的条件下，以设定的排放压力排放储存的流体。
更详细地说，涉及一种具有流体压力调节阀的气缸，设置在气缸(保管及搬运流体的容器)而在设定的条件下，以设定的排放压力排放储存的流体，能够提高气缸(保管及搬运流体的容器)的流体储存能力。
背景技术
一般而言，多种工业工艺和应用中需要可靠的工艺气体供应源，尤其，在半导体制造工艺中，蚀刻工艺等多种工艺都需要用于实施工艺的气体，为了供给这种气体，广泛使用能够储存并搬运流体的气缸。
这种用于搬运及储存流体的气缸设置有流体压力调节阀(流体压力调节阀系统)，其能够以固定的设定压力排放且仅在排放侧的压力条件下排放气体。
尤其，公开专利10-2008-0099342号“流体储存及分配用系统及方法”、公开专利10-2015-0059776号“压力调节式流体保管及搬运容器的压力峰值预防及管理”中公开了流体压力调节阀(流体压力调节阀系统)技术。
参照图8对所述现有技术公开的流体压力调节阀相关技术进行描述，
用于搬运及储存流体的气缸2设置有流体压力调节阀1，其以设定的压力排放储存的流体(气体)，仅在排放侧的压力条件下排放，
以设定的压力排放且仅在排放侧的压力条件下进行排放的所述流体压力调节阀1包括：第二调节器1a，用于仅在排放侧的压力条件下进行排放；第一调节器1b，以设定的压力排放储存在气缸2中的流体(气体)。
但是，现有技术公开的流体压力调节阀1所具有的第一调节器1b和第二调节器1a被容纳到位于下部且储存流体的气缸2内部空间，连接第一调节器1b和第二调节器1a的连接管1d及用于过滤异物的微粒过滤器1c也被容纳到储存流体的气缸2内部空间。
如上所述，因在储存流体的气缸2内部空间设置第一调节器1b和第二调节器1a、连接管1d及微粒过滤器1c，存在减少储存流体的体积的问题，这造成较多经济损失。尤其，若储存流体的气缸2内部空间不大，则在内部空间中第一调节器1b和第二调节器1a、连接管1d及微粒过滤器1c所占的空间会较大，因此会大大减少被储存而搬运的流体的量。
发明内容
(要解决的技术问题)
本发明的目的在于解决这种现有技术存在的问题。
即，本发明提供一种具有流体压力调节阀的气缸，该气缸内容纳能够在设定的条件下以设定的排放压力排放储存的流体的多个调节器(调整器)，从而解决流体储存能力下降的问题。
并且，提供一种具有流体压力调节阀的气缸，易于更换多个调节器(调整器)而容易维护，能够减少维护及更换所需的费用。
(解决问题的手段)
本发明作为仅在出口侧的设定的压力条件下，以设定的排放压力排放储存的流体的，保管及搬运流体的气缸，其特征在于，包括：第一调节器，调节气缸内流体的排放压力，从而能够以调节后的设定压力排放；第二调节器，仅在设定的压力条件下排放由所述第一调节器调节过设定压力的流体；流体压力调节阀，使得所述第一调节器和第二调节器未被插入到气缸储存空间，从而提高了储存能力。
所述第一调节器可以调节排放的流体的压力大小，第二调节器通过调节开闭压力的大小，使得仅在出口侧的设定的压力条件下开放流路。
所述流体压力调节阀的阀主体上形成设置有第一调节器的第一调节器设置室和设置有第二调节器的第二调节器设置室，所述第一调节器设置室和第二调节器设置室位于气缸的外侧。
即，所述流体压力调节阀包括：阀主体，其包括形成流体排放用入口的气缸紧固部、通过第一流路而与所述流体排放用入口连通的第一调节器设置室、常时通过第二流路而与第一调节器设置室连通的第二调节器设置室、通过第三流路而与所述第二调节器设置室连通的开闭阀设置室、通过第四流路而与所述开闭阀设置室连通的流体排放通道、通过第五流路而与所述流体排放用入口连通的安全阀设置室、通过第六流路而与所述流体排放用入口连通的填充口室；第一调节器部，包括第一调节器，设置在所述第一调节器设置室，将气缸内流体的排放压力调节为设定压力；第二调节器部，包括第二调节器，设置在所述第二调节器设置室，仅在设定的压力条件下排放由所述第一调节器调节过设定压力的流体；开闭阀，设置在所述开闭阀设置室，可以阻断处于流动状态的流体的流动；安全阀，设置在所述安全阀设置室。
可通过取下分别设置在第一、第二调节器设置室的第一、第二调节器盖来更换所述第一调节器和第二调节器。
在所述阀主体的一侧，形成第一调节器设置室，其用于设置第一调节器的内壁上形成第一调节器螺丝部和第一调节器盖螺丝部，在另一侧，形成第二调节器设置室，其用于设置第二调节器的内壁上形成第二调节器螺丝部和第二调节器盖螺丝部，所述第一调节器设置室通过第一流路而与气缸连通，所述第一调节器设置室与第二调节器设置室通过第二流路连通，所述第二调节器设置室通过第三流路而与设置有能够阻断正在流动中的流体的流动的开闭阀的开闭阀设置室连通。
所述第一调节器与第一调节器螺丝部螺丝结合，第一调节器盖螺丝部与保护第一调节器的第一调节器盖螺丝结合，
所述第二调节器与第二调节器螺丝部螺丝结合，第二调节器盖螺丝部与保护第二调节器的第二调节器盖螺丝结合。
(发明的效果)
根据本发明的具有提高储存能力的流体压力调节阀的气缸，仅在出口侧的设定的压力条件下以设定的排放压力排放储存的流体的多个调节器(调整器)及连通这些调节器的通道未被设置在储存流体的气缸的内部空间，而设置在气缸外侧，从而位于阀主体内的一侧而形成为整体，具有提高气缸储存能力以及容易维护的优点。
并且，为了按照设定的流体压力排放而设置的第一调节器(调整器)能够调节排放的流体压力的大小，能够以多种大小的压力排放流体，仅在出口侧的压力条件下排放流体而设置的第二调节器(调整器)可以调节仅在出口侧的设定的压力条件下开放流路的开闭压力的大小，并且位于气缸外侧而容易调节，具有可以根据使用环境的变化快速采取措施的优点。
即，因第一、第二调节器(调整器)位于气缸外侧的阀主体，能够有效使用用于储存流体(气体)的气缸的内部空间(体积)，能够防止基于搬运及储存的流体(气体)的价格上涨，使得第一及第二调节器(调整器)的更换和压力的调节变得容易。
附图说明
图1是示出本发明的实施例的具有提高储存能力的流体压力调节阀的气缸的示意图。
图2是示出本发明的实施例的具有提高储存能力的流体压力调节阀的气缸中流体压力调节阀的剖面示意图。
图3是示出本发明的实施例的具有提高储存能力的流体压力调节阀的气缸中流体压力调节阀的另一剖面示意图。
图4是示出本发明的实施例的具有提高储存能力的流体压力调节阀的气缸中流体压力调节阀的拆分剖面示意图。
图5是示出本发明的实施例的具有提高储存能力的流体压力调节阀的气缸中流体压力调节阀的第一调节器部的拆分剖面示意图。
图6是示出本发明的实施例的具有提高储存能力的流体压力调节阀的气缸中流体压力调节阀的第二调节器部的拆分剖面示意图。
图7是示出本发明的实施例的具有提高储存能力的流体压力调节阀的气缸中流体压力调节阀的流体(气体)的流动状态的剖面示意图。
图8是基于现有技术的具有流体压力调节阀的气缸的剖面示意图。
最佳实施方式
本发明涉及一种气缸，储存及搬运流体(气体)，仅在出口侧的设定的压力条件下，以设定的排放压力排放储存的流体。
即，本发明涉及一种气缸，包括：第一调节器，调节流体的排放压力，以调节后的设定压力排放；第二调节器，仅在设定的压力条件下排放由所述第一调节器调节过设定压力的流体；流体压力调节阀，使得所述第一调节器和第二调节器未被插入到气缸内侧而被容纳到阀主体的一侧，使储存而搬运流体的气缸内部空间(体积)最大化，防止基于流体的搬运及储存的价格上涨，使得第一调节器和第二调节器的压力调节、维修及更换变得容易。
这种本发明的具有提高储存能力的流体压力调节阀的气缸作为一种保管并搬运流体的气缸，仅在出口侧的设定的压力条件下，以设定的排放压力排放储存的流体，其包括：第一调节器21，调节气缸S内流体的排放压力，从而能够以调节后的设定压力排放；第二调节器31，仅在设定的压力条件下排放由所述第一调节器21调节过设定压力的流体；流体压力调节阀B，使得所述第一调节器21和第二调节器31未被插入到气缸S储存空间100而提高储存能力，
所述流体压力调节阀B包括：阀主体10，其包括形成流体排放用入口15的气缸紧固部11、通过第一流路61而与所述流体排放用入口15连通的第一调节器设置室12、常时通过第二流路62而与第一调节器设置室12连通的第二调节器设置室13、通过第三流路63而与所述第二调节器设置室13连通的开闭阀设置室14、通过第四流路64而与所述开闭阀设置室14连通的流体排放通道81、通过第五流路65而与所述流体排放用入口15连通的安全阀设置室17、通过第六流路66而与所述流体排放用入口15连通的填充口室18；第一调节器部20，包括第一调节器21，设置在所述第一调节器设置室12，将气缸内流体的排放压力调节为设定压力；第二调节器部30，包括第二调节器31，设置在所述第二调节器设置室13，使得由第一调节器20调节过设定压力的流体在设定的压力条件下排放；开闭阀40，设置在所述开闭阀设置室14，阻断处于流动状态的流体的流动；安全阀50，设置在所述安全阀设置室17。
具体实施方式
参照附图描述本发明的具有提高储存能力的流体压力调节阀的气缸的实施例。
参照图1，根据本发明的具有提高储存能力的流体压力调节阀的气缸，在具有能够储存及搬运流体的内部空间100的气缸S的颈部，包括：第一调节器部20，调节流体的排放压力而能够以调节后的设定压力排放；第二调节器部30，仅在设定的压力条件下，排放由所述第一调节器部20调节过设定压力的流体；设置有流体压力调节阀B，使得所述第一调节器部20和所述第二调节器部30未被插入到气缸S的内部空间100。
参照图2及图3描述有关所述流体压力调节阀B的实施例。
所述气缸用流体压力调节阀B包括：阀主体10，下侧具有气缸紧固部11，从而能够被设置到气缸S的入口(颈部)；第一调节器部20，包括被容纳到阀主体10一侧的第一调节器21；第二调节器部30，包括被容纳到阀主体10的另一侧的第二调节器31；开闭阀40，设置在阀主体10上侧部，阻断流体流动的流路；安全阀50，设置在阀主体10一侧，当气缸内部空间的压力上升时开放而有助于安全；流体填充口70，形成在阀主体10一侧，向气缸内部空间填充流体时使用；流体排放口80，形成在阀主体10一侧，排放流体时使用。
所述阀主体10包括：气缸紧固部11，下侧形成流体排放用入口15，以与气缸S的入口结合；第一调节器设置室12，通过引导流体的第一流路61而与所述流体排放用入口15连通；第二调节器设置室13，常时通过引导流体的第二流路62而与第一调节器设置室12连通；开闭阀设置室14，通过引导流体的第三流路63而与所述第二调节器设置室13连通；流体排放通道81，通过引导流体的第四流路64而与所述开闭阀设置室14连通；安全阀设置室17，通过引导流体的第五流路65而与所述流体排放用入口15连通；填充口室18，通过引导流体的第六流路66而与所述流体排放用入口15连通。
所述第一调节器设置室12作为容纳第一调节器21的构件，内壁上形成第一调节器螺丝部12-1和第一调节器盖螺丝部12-2，从而能够设置第一调节器21及保护第一调节器21的第一调节器盖22。
所述第二调节器设置室13作为容纳第二调节器31的构件，内壁上形成第二调节器螺丝部13-1和第二调节器盖螺丝部13-2，从而能够设置第二调节器31、保护第二调节器31的第二调节器盖32。
所述开闭阀设置室14是用于设置开闭阀40的构件，开闭阀40阻断引导到第三流路63的流体移动到第四流路64。
设置在所述开闭阀设置室14的开闭阀40是物理上阻断正在流动的流体的流动的构件，可以使用手动开闭阀、气压开闭阀、电子机械式开闭阀(电磁阀等)等多种类型。
所述第一流路61至第六流路66是引导流体的通道，形成在阀主体10内侧。
所述安全阀设置室17设置有当气缸内压力上升时调节压力的安全阀50，在所述填充口室18形成用于填充流体的流体填充口70，在所述流体排放通道81形成流体排放口80。
在所述流体排放用入口15或第一流路61上设置高效的微粒用入口侧过滤器91，在所述流体排放通道81上设置高效的微粒用排放侧过滤器92。
用于填充流体的填充流路由用于连通形成有流体填充口70的填充口室18和设置有安全阀50的安全阀设置室17的第六流路66、用于连通所述安全阀设置室17和流体排放用入口15的第五流路65构成。即，用于填充流体的填充流路通过设置有安全阀50的安全阀设置室17。
所述第一调节器部20包括第一调节器21，设置在第一调节器设置室12而以设定的压力排放被储存到气缸S内部空间100的流体，将引导到第一流路61的流体的压力以设定的压力传递到第二流路62(参照图4和图5)。
这种第一调节器部20包括：第一调节器21，与第一调节器螺丝部12-1螺丝结合；第一调节器盖22，与第一调节器盖螺丝部12-2螺丝结合而保护第一调节器21。
所述第一调节器21包括：第一调节器主体23，外壁上形成第一调节器螺丝部21-1且形成为盖型而具有内部空间；压力调节体24，包括被容纳到所述第一调节器主体23的内部空间的提升阀、提升阀维护晶圆及与提升阀维护晶圆联接的膜片；压力调节用弹性体25，被容纳到所述第一调节器主体23内部空间而弹性支撑压力调节体24；支撑压力调节杆26，调节所述压力调节用弹性体25的支撑压力；固定螺丝27，固定所述支撑压力调节杆26的位置。
通过利用所述支撑压力调节杆26调节压力调节用弹性体25的弹性力，调节压力调节体24被施加的弹性支撑力，从而能够调节流体的压力。
通常，使用支撑压力调节杆26对压力调节用弹性体25增加荷重，优选地，使得压力调节体24被施加5～20psi的压力。
并且，在取下第一调节器盖22后，可以从第一调节器设置室12取下所述第一调节器21，这使得第一调节器21的更换及压力调节变得自由。
所述第二调节器部30包括第二调节器31，设置在第二调节器设置室13，当排放侧的压力为设定压力时，开放流路而使得引导到第二流路62的流体能够移动到第三流路63(参照图4和图6)。
这种第二调节器部30由与第二调节器螺丝部13-1螺丝结合的第二调节器31和与第二调节器盖螺丝部13-2螺丝结合而保护第二调节器31的第一调节器盖32构成。
所述第二调节器31包括：第二调节器主体33，外壁上形成第二调节器螺丝部31-1，形成为盖型而具有内部空间；压力调节体34，包括被容纳到所述第二调节器主体33的内部空间的提升阀、提升阀维护晶圆及与提升阀维护晶圆联接的膜片，在设定压力下开放流体流路。
通常，所述第二调节器31被设定为，当流体排放口80侧的压力为真空(250Torr以下)时，使流体通过。
并且，在取下第二调节器盖32后，可以从第二调节器设置室32取下所述第二调节器31，这使得所述第二调节器31的更换及压力调节变得自由。
图7示出被储存到气缸S的内部空间100的流体通过引导流体的流路移动的状态。
被储存到气缸S的流体通过入口侧过滤器91之后，被引导到第一流路61而流入第一调节器设置室12，通过第一调节器21变更为设定压力之后，被引导到第二流路62。
当流体排放口80侧的压力为真空(250Torr以下)时，第二调节器31将被引导到第二流路62的流体引导到第三流路63。
所述被引导到第三流路63的流体通过开闭阀设置室14被引导到第四流路64，其中，通过设置在开闭阀设置室14的开闭阀40而阻断流路。
被引导到所述第四流路64的流体通过流体排放通道81排放。
工业实用性
根据本发明的具有提高储存能力的流体压力调节阀的气缸，仅在出口侧的设定的压力条件下以设定的排放压力排放储存的流体的多个调节器(调整器)及连通这些调节器的通道未被设置在储存流体的气缸的内部空间，而设置在气缸外侧，并位于阀主体内的一侧而形成为整体，具有提高气缸储存能力以及容易维护的优点，因此能够被广泛使用。

Claims (7)

1.一种具有提高储存能力的流体压力调节阀的气缸，作为仅在出口侧的设定的压力条件下，以设定的排放压力排放储存的流体的，保管及搬运流体的气缸，其特征在于，
其包括：第一调节器(21)，调节气缸(S)内流体的排放压力，能够以调节后的设定压力排放；第二调节器(31)，仅在设定的压力条件下排放由所述第一调节器(21)调节过设定压力的流体；流体压力调节阀(B)，使得所述第一调节器(21)和所述第二调节器(31)未被插入到气缸(S)储存空间(100)而提高了储存能力，
所述流体压力调节阀(B)包括：阀主体(10)，其包括形成流体排放用入口(15)的气缸紧固部(11)、通过第一流路(61)而与所述流体排放用入口(15)连通的第一调节器设置室(12)、常时通过第二流路(62)而与第一调节器设置室(12)连通的第二调节器设置室(13)、通过第三流路(63)而与所述第二调节器设置室(13)连通的开闭阀设置室(14)、通过第四流路(64)而与所述开闭阀设置室(14)连通的流体排放通道(81)、通过第五流路(65)而与所述流体排放用入口(15)连通的安全阀设置室(17)、通过第六流路(66)而与所述流体排放用入口(15)连通的填充口室(18)；
第一调节器部(20)，包括第一调节器(21)，设置在所述第一调节器设置室(12)，将气缸内流体的排放压力调节为设定压力；
第二调节器部(30)，包括第二调节器(31)，设置在所述第二调节器设置室(13)，仅在设定的压力条件下排放由第一调节器(20)调节过设定压力的流体；
开闭阀(40)，设置在所述开闭阀设置室(14)，阻断处于流动状态的流体的流动；
安全阀(50)，设置在所述安全阀设置室(17)。
2.根据权利要求1所述的具有提高储存能力的流体压力调节阀的气缸，其特征在于，
所述第一调节器(21)能够调节排放的流体压力的大小，
第二调节器(31)能够调节开闭压力的大小，以使得仅在出口侧的设定的压力条件下开放流路。
3.根据权利要求1或2所述的具有提高储存能力的流体压力调节阀的气缸，其特征在于，
所述流体压力调节阀(B)的第一调节器设置室(12)和第二调节器设置室(13)位于气缸(S)的外侧。
4.根据权利要求3所述的具有提高储存能力的流体压力调节阀的气缸，其特征在于，
通过取下分别设置在第一、第二调节器设置室(12，13)的第一、第二调节器盖(22，32)来更换所述第一调节器(21)和所述第二调节器(31)。
5.一种具有提高储存能力的流体压力调节阀的气缸，作为仅在出口侧的设定的压力条件下，以设定的排放压力排放储存的流体的，保管及搬运流体的气缸，其特征在于，
其包括：第一调节器(21)，调节气缸(S)内流体的排放压力，能够以调节后的设定压力排放；第二调节器(31)，仅在设定的压力条件下排放由所述第一调节器(21)调节过设定压力的流体；流体压力调节阀(B)，使得所述第一调节器(21)和所述第二调节器(31)未被插入到气缸(S)储存空间(100)而提高了储存能力，
流体压力调节阀(B)的阀主体(10)上形成设置有第一调节器(21)的第一调节器设置室(12)和设置有第二调节器(31)的第二调节器设置室(13)，
所述第一调节器设置室(12)和第二调节器设置室(13)位于气缸(S)的外侧，在所述阀主体(10)的一侧，形成第一调节器设置室(12)，其用于设置第一调节器(21)的内壁上形成第一调节器螺丝部(12-1)和第一调节器盖螺丝部(12-2)，在另一侧，形成第二调节器设置室(13)，其用于设置第二调节器(31)的内壁上形成第二调节器螺丝部(13-1)和第二调节器盖螺丝部(13-2)，所述第一调节器设置室(12)通过第一流路(61)而与气缸连通，所述第一调节器设置室(12)与第二调节器设置室(13)通过第二流路(62)连通，所述第二调节器设置室(13)通过第三流路(63)而与设置有能够阻断正在流动中的流体的流动的开闭阀(40)的开闭阀设置室(14)连通，
所述第一调节器(21)与第一调节器螺丝部(12-1)螺丝结合，第一调节器盖螺丝部(12-2)与保护第一调节器(21)的第一调节器盖(22)螺丝结合，
所述第二调节器(31)与第二调节器螺丝部(13-1)螺丝结合，第二调节器盖螺丝部(13-2)与保护第二调节器(31)的第二调节器盖(32)螺丝结合。
6.根据权利要求5所述的具有提高储存能力的流体压力调节阀的气缸，其特征在于，
所述第一调节器(21)包括：
第一调节器主体(23)，外壁上形成第一调节器螺丝部(21-1)，形成为盖型而具有内部空间；
压力调节体(24)，包括被容纳到所述第一调节器主体(23)的内部空间的提升阀、提升阀维护晶圆及与提升阀维护晶圆联接的膜片；
压力调节用弹性体(25)，被容纳到所述第一调节器主体(23)内部空间而弹性支撑压力调节体(24)；
支撑压力调节杆(26)，调节所述压力调节用弹性体(25)的支撑压力；
固定螺丝(27)，固定所述支撑压力调节杆(26)的位置。
7.根据权利要求5所述的具有提高储存能力的流体压力调节阀的气缸，其特征在于，
所述第二调节器(31)包括：
第二调节器主体(33)，外壁上形成第二调节器螺丝部(31-1)，形成为盖型而具有内部空间；
压力调节体(34)，包括被容纳到所述第二调节器主体(33)的内部空间的提升阀、提升阀维护晶圆及与提升阀维护晶圆联接的膜片，在设定压力下开放流体流路。
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