WO2019065602A1 - アクチュエータ、バルブ、および流体制御装置 - Google Patents

アクチュエータ、バルブ、および流体制御装置 Download PDF

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force
levers
transmission
boosting
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正彦 中澤
中村　伸夫
中田　知宏
篠原　努
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    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
    • H10P72/0402—Apparatus for fluid treatment

Definitions

  • the present invention relates to an actuator, a valve, and a fluid control device used in a fluid line such as a semiconductor manufacturing apparatus.
  • Valves have been proposed that have a boosting mechanism that amplifies the force by means of a flexible biasing member that utilizes the principle of leverage. (See, for example, Patent Document 1).
  • an object of the present invention is to provide an actuator, a valve, and a fluid control device which have a highly efficient boost mechanism.
  • the actuator according to one aspect of the present invention is provided in a casing, a reciprocating member reciprocably provided in the casing, and the casing, and drives the reciprocating member.
  • Driving force a boosting mechanism that amplifies the driving force applied to the reciprocating member by the driving means, and a moving member that moves in response to the force amplified by the boosting mechanism;
  • the mechanism includes a plurality of levers disposed in the circumferential direction of the moving member and not deformed when amplifying the driving force, each lever having a force point portion receiving a force from the reciprocating member, and the casing It has a fulcrum part which contacts and makes a center of rotation of each lever, and an action point part which transmits force to the above-mentioned moving member.
  • the point of force is the inner end of each lever, the fulcrum is the outer end of each lever, and the point of action is the distance between the inner end and the outer end. It may be located at
  • the power boosting mechanism may include a retainer for holding the plurality of levers.
  • the plurality of levers includes a plurality of first levers
  • the power boosting mechanism includes a first power boosting portion that boosts a driving force applied to the reciprocating member by the driving unit, and the first power boosting portion.
  • the first transmission portion has a plurality of first transmission members provided corresponding to the plurality of first levers, and each first lever has a power point portion receiving a force from the reciprocating member, and the casing Of the first lever, and an action point portion for transmitting a force to the first transmission member, each first transmission member being the action point of each first lever It may have a first contact portion in line contact with the portion.
  • the plurality of levers have a plurality of second levers, and the boosting mechanism is amplified by a second boosting portion that amplifies the force transmitted by the first transmission portion, and the second boosting portion.
  • the second transmission unit has a plurality of second transmission members provided corresponding to the plurality of second levers, and each second lever has a power point unit receiving a force from the first transmission unit, and the casing Of the second lever, and an action point portion for transmitting a force to the second transmission member, each first transmission member being a force point portion of each second lever
  • a second contact portion in line contact with each other, and each second transmission member is a third contact in line contact with the action point portion of each second lever It may have.
  • the drive means is driven by a drive fluid supplied from the outside, and comprises a piston to which the reciprocating member is connected, and biasing means for biasing the reciprocating member toward the moving member.
  • valve according to one aspect of the present invention is provided in a casing connected to the body, a reciprocating member reciprocably provided in the casing, and the casing, and drives the reciprocating member.
  • Drive means a boosting mechanism for amplifying the driving force applied to the reciprocating member by the drive means, and the valve body so as to be able to move close to and away from the body in order to open and close the fluid passage.
  • a moving member that moves in response to the force amplified by the boosting mechanism, and the boosting mechanism is disposed in the circumferential direction of the moving member and does not deform when amplifying the driving force.
  • each of the levers transmitting a force to the power point portion receiving the force from the reciprocating member, a fulcrum portion that is in contact with the casing and serves as the center of rotation of each lever, and the moving member And a point of action part.
  • the plurality of levers includes a plurality of first levers
  • the power boosting mechanism includes a first power boosting portion that boosts a driving force applied to the reciprocating member by the driving unit, and the first power boosting portion.
  • the first transmission portion has a plurality of first transmission members provided corresponding to the plurality of first levers, and each first lever has a power point portion receiving a force from the reciprocating member, and the casing Of the first lever, and an action point portion for transmitting a force to the first transmission member, each first transmission member being the action point of each first lever It may have a first contact portion in line contact with the portion.
  • the plurality of levers have a plurality of second levers, and the boosting mechanism is amplified by a second boosting portion that amplifies the force transmitted by the first transmission portion, and the second boosting portion.
  • the second transmission unit has a plurality of second transmission members provided corresponding to the plurality of second levers, and each second lever has a power point unit receiving a force from the first transmission unit, and the casing Of the second lever, and an action point portion for transmitting a force to the second transmission member, each first transmission member being a force point portion of each second lever
  • a second contact portion in line contact with each other, and each second transmission member is a third contact in line contact with the action point portion of each second lever It may have.
  • a fluid control device is a fluid control device including a plurality of fluid control devices, and at least one of the plurality of fluid control devices is the valve described above.
  • bulb in the closed state which concerns on 1st Embodiment is shown.
  • bulb which concerns on 1st Embodiment is shown.
  • (A) shows the perspective view of the state which combined the 1st lever (2nd lever) and the 1st retainer (2nd retainer),
  • (b) shows the perspective view of the 1st retainer (2nd retainer) Show.
  • the sectional view of a boosting mechanism when the valve concerning a 1st embodiment is in a closed state is shown.
  • the sectional view of the boosting mechanism when the valve according to the first embodiment is in the open state is shown.
  • (A) is a top view of the boosting mechanism and the moving part in the valve closed state in the second embodiment, and (b) is a cross-sectional view along the line XI-XI of (a).
  • (A) is a top view of the boosting mechanism and the moving part in the state where the valve is open in the second embodiment,
  • (b) is a cross-sectional view along the line XII-XII of (a).
  • the schematic of a semiconductor manufacturing apparatus is shown.
  • FIG. 1 shows a longitudinal sectional view of the valve 1 in the closed state in the first embodiment.
  • the valve 1 is a diaphragm valve and is used in a gas line (for example, the most upstream side of the gas line) configured by a plurality of fluid control devices of the fluid control device 55 (FIG. 13) It is a valve.
  • the valve 1 includes a body 2 and an actuator 3.
  • the actuator 3 of the valve 1 will be described as the upper side and the body 2 side as the lower side.
  • the body portion 2 has a body 5 and a diaphragm 11.
  • a cylindrical valve chamber 5a and an inflow passage 5b and an outflow passage 5c communicating with the valve chamber 5a are formed.
  • An annular valve seat 5D protruding toward the casing 10 is provided on the periphery (the opening of the inflow path 5b) of the portion where the inflow path 5b of the body 5 and the valve chamber 5a communicate with each other.
  • the valve seat 5D is made of the same metal material as the body 5.
  • the body 5 is provided so as to extend upward, has a cylindrical shape, and has a cylindrical portion 5E having an internal thread portion formed on the inner peripheral portion.
  • the diaphragm 11 is constituted by a plurality of diaphragms, and the outer peripheral edge portion of the diaphragm 11 is narrowed by the annular pressing adapter 12 and held against the body 5.
  • the diaphragm 11 which is a valve body has a substantially spherical shell shape, and a substantially arc shape convex upward is in a natural state.
  • the diaphragm 11 abuts and separates from the valve seat 5D, communication or blocking between the inflow passage 5b and the outflow passage 5c is performed.
  • the valve 1 is in the closed state, the diaphragm 11 abuts on the valve seat 5D, and the inflow passage 5b and the outflow passage 5c are shut off.
  • the diaphragm 11 is separated from the valve seat 5D, and the inflow passage 5b and the outflow passage 5c communicate with each other.
  • the actuator 3 has a casing 10, a pressure adapter 12, a diaphragm pressure member 13, a rod 14, a moving member 15, a drive unit 20, and first to fourth O-rings 4A to 4D.
  • the casing 10 comprises a bonnet 16, an intermediate casing 17, an actuator cap 18 and a support ring 19.
  • the bonnet 16 has a substantially cylindrical shape, and is fixed to the body 5 by screwing the male screw portion on the outer periphery of the lower end portion thereof with the cylindrical portion 5E of the body 5.
  • a female screw portion is formed on the inner circumference of the upper end portion of the bonnet 16.
  • the intermediate casing 17 is substantially cylindrical and has an upper portion 17A and a lower portion 17B.
  • a through hole 17c is formed in the upper side portion 17A, and an accommodation hole 17d having a larger inside diameter than the through hole 17c is formed in the lower side portion 17B.
  • An outwardly projecting protrusion 17E is provided on the outer periphery of the lower side 17B.
  • Male screw parts are formed on the outer peripheral surface of the lower side part 17B and above and below the projecting part 17E.
  • the intermediate casing 17 is fixed to the bonnet 16 by screwing the lower male screw portion of the protruding portion 17E to the female screw portion at the upper end of the bonnet 16.
  • the lower end of the lower side portion 17B has an annular lower surface 17F, and the inner diameter side of the lower surface 17F is configured to be positioned inside the inner peripheral surface of the support ring 19 described later.
  • a first O-ring 4A is provided on the outer periphery of the upper portion 17A to prevent the drive fluid from leaking from a fluid introduction chamber 21d described later.
  • the actuator cap 18 has a substantially cylindrical shape, and is fixed to the intermediate casing 17 by screwing an internal thread provided on the inner periphery of the lower end portion thereof with an external thread on the upper side of the projecting portion 17E of the intermediate casing 17. ing.
  • the actuator cap 18 is formed with a fluid inflow path 18a into which the driving fluid flows, and an upper end portion of the fluid inflow path 18a is formed with a threaded portion 18b for screwing a pipe joint (not shown). .
  • the support ring 19 has a cylindrical shape, and is disposed on the step portion 16A provided on the inner periphery of the bonnet 16.
  • the upper end of the support ring 19 abuts on the lower surface 17 F of the intermediate casing 17, and the lower end of the support ring 19 abuts on a stepped portion 16 A provided on the inner periphery of the bonnet 16.
  • the support ring 19 can not move up and down with respect to the bonnet 16.
  • an inward projecting portion 19A is provided on the inner circumference of the support ring 19.
  • the diaphragm presser 13 is provided on the upper side of the diaphragm 11, supported movably in the vertical direction by the presser adapter 12, and can press the central portion of the diaphragm 11.
  • the rod 14 is provided on the upper side of the diaphragm presser 13, supported movably in the vertical direction by the presser adapter 12, and capable of pressing the diaphragm presser 13.
  • the moving member 15 is vertically movably supported at the lower end portion of the bonnet 16.
  • the moving member 15 has a cylindrical portion 15A and a flange portion 15B.
  • the cylindrical portion 15A can press the rod 14.
  • the flange portion 15B is provided on the upper side portion of the cylindrical portion 15A so as to protrude outward.
  • a recess 15d is formed in the central portion of the upper surface 15C of the flange portion 15B.
  • An annular first protrusion 15E is provided on the outer peripheral edge of the flange 15B so as to protrude upward.
  • the drive unit 20 is configured of a piston 21, a spring support member 22, two coil springs 23, and a power boosting mechanism 30.
  • the drive unit 20 is an air pressure drive type drive unit.
  • the piston 21 and the two coil springs 23 correspond to driving means, and the spring receiving member 22 corresponds to a reciprocating member.
  • the piston 21 has a substantially disc-shaped base 21A, a first upper extension 21B extending upward from the center of the base 21A, and a first lower extension 21C extending downward from the center of the base 21A. Equipped with
  • the base 21 ⁇ / b> A is located above the upper portion 17 ⁇ / b> A of the intermediate casing 17 in the actuator cap 18.
  • a second O-ring 4B is provided on the outer peripheral edge of the base 21A.
  • the second O-ring 4B suppresses the radial movement of the base 21A when the base 21A moves in the vertical direction.
  • the lower surface of the base 21A and the upper surface of the upper portion 17A of the intermediate casing 17 form a fluid introduction chamber 21d.
  • the second O-ring 4B prevents the drive fluid from leaking from the fluid introduction chamber 21d.
  • the upper portion of the first upward extending portion 21B is inserted into the fluid inflow path 18a.
  • the third O-ring 4C suppresses the radial movement of the first upper extending portion 21B when the first upper extending portion 21B moves in the vertical direction. In addition, the third O-ring 4C prevents the drive fluid from leaking to the outside.
  • the piston 21 is formed with a fluid introduction passage 21e which extends from the upper end of the first upward extension 21B to the lower surface of the base 21A and communicates with the fluid introduction chamber 21d.
  • the first lower extending portion 21C penetrates the through hole 17c, and the radial direction of the first lower extending portion 21C when the first lower extending portion 21C moves up and down by the fourth O-ring 4D. Movement is suppressed.
  • the fourth O-ring 4D prevents the drive fluid from leaking from the fluid introduction chamber 21d.
  • a male screw portion is formed on the outer periphery of the lower end portion of the first lower extending portion 21C.
  • the spring receiving member 22 is located below the piston 21 and includes a spring receiving portion 22A, a second upper extending portion 22B, and a second lower extending portion 22C.
  • the spring receiving member 22 is provided so as to be capable of reciprocating in the vertical direction in the casing 10 together with the piston 21.
  • the spring receiving portion 22A includes a disc-shaped main body portion 22D, a disc-shaped upper projecting portion 22E projecting upward from the upper surface of the main body portion 22D, and a disc-like projecting downward from the lower surface of the main body portion 22D. And a lower protrusion 22F.
  • the main body 22D is located inside the intermediate casing 17, and the diameter of the main body 22D is smaller than the inner diameter of the accommodation hole 17d of the intermediate casing 17.
  • the second upper extension 22B has a cylindrical shape with a bottom, and is provided to extend upward from the central portion of the upper protrusion 22E.
  • a female screw is formed on the inner peripheral surface of the second upper extension 22B, and is screwed into the male screw of the first lower extension 21C.
  • the second lower extending portion 22C has a regular hexagonal column shape, and is provided to extend downward from the central portion of the lower protruding portion 22F.
  • the lower end of the second lower extending portion 22C is configured to be located in the recess 15d of the moving member 15.
  • the two coil springs 23 are disposed in the accommodation hole 17d of the intermediate casing 17 between the lower surface of the upper portion 17A and the upper surfaces of the main portion 22D of the spring receiving portion 22A and the upper protrusion 22E.
  • the two coil springs 23 always bias the spring receiving member 22 downward, whereby the piston 21 is always biased downward.
  • FIG. 2 shows a cross-sectional perspective view around the boosting mechanism 30.
  • FIG. 3 (a) shows a perspective view of a state in which the first lever 31 (second lever 34) and the first retainer 32 (second retainer 35) are combined
  • FIG. 3 (b) shows the first retainer 32.
  • the perspective view of (2nd retainer 35) is shown.
  • the boosting mechanism 30 includes six first levers 31, a first retainer 32, a transmission member 33, six second levers 34, and a second retainer 35.
  • the six first levers 31 correspond to a first lever portion
  • the six second levers 34 correspond to a second lever portion.
  • the six first levers 31 independently have the same shape, and are arranged at equal intervals along the circumferential direction of the actuator 3 around the second lower extension 22C.
  • Each first lever 31 is made of metal (for example, stainless steel), resin, ceramic or the like, and has a hardness that does not deform (do not distort) when the valve 1 is opened or closed. That is, each first lever 31 functions as a rigid body with respect to the opening / closing operation of the valve 1.
  • Each first lever 31 has an inner portion 31A and an outer portion 31B, and is tapered from the outer portion 31B toward the inner portion 31A.
  • the outer side portion 31B is connected to the inner side portion 31A so as to be bent upward.
  • An engagement hole 31c is formed in the inner portion 31A.
  • each first lever 31 is in contact with the lower surface 17F of the intermediate casing 17, and the inner end 31E is opposed to the respective surfaces of the regular hexagonal column of the second lower extension 22C so that the lower projection is formed. It is arrange
  • the first retainer 32 is made of a flexible material such as rubber, has a substantially hexagonal shape in a plan view, and is formed with a regular hexagonal insertion hole 32a.
  • the first retainer 32 has an annular portion 32B, six engagement protrusions 32C, and six support protrusions 32D.
  • Each of the six engagement protrusions 32C has a substantially cylindrical shape, and is disposed at equal intervals in the circumferential direction of the actuator 3 with respect to the annular portion 32B.
  • the six support protrusions 32D are provided between the adjacent engagement protrusions 32C, and have a shape that tapers toward the center of the annular portion 32B in a plan view.
  • Each first lever 31 is held by the first retainer 32 by inserting the engagement protrusion 32C of the first retainer 32 into the engagement hole 31c of the inner portion 31A.
  • the rotation of each first lever 31 is suppressed by arranging each first lever 31 between the adjacent support protrusions 32D.
  • a second lower extension 22C of a regular hexagonal column shape is inserted into the regular hexagonal insertion hole 32a of the annular portion 32B. Since the insertion hole 32a has a dimension slightly larger than the outer diameter of the second lower extension 22C, the rotation of the first retainer 32 with respect to the second lower extension 22C is suppressed.
  • the transmission member 33 is located below the first lever 31 and the first retainer 32, has an annular shape, and is formed with a regular hexagonal insertion hole 33a.
  • annular second protrusion 33C is provided which protrudes upward.
  • the second projection 33C is in contact with the outer side portion 31B of each first lever 31 from the lower side inside the outer end portion 31D.
  • annular third protrusion 33E is provided which protrudes downward. The third protrusion 33E is located more inward than the second protrusion 33C.
  • the third projection 33E is located on the same side as the inner end 31E side of the outer side 31B of the first lever 31 with respect to the second projection 33C.
  • a recess 33f is formed on the upper surface 33B of the transmission member 33 and inside the second protrusion 33C.
  • the second lower extension 22 ⁇ / b> C of the regular hexagonal column is inserted into the regular hexagonal insertion hole 33 a of the transmission member 33. Since the insertion hole 33a has a dimension slightly larger than the outer diameter of the second lower extending portion 22C, the rotation of the transmission member 33 with respect to the second lower extending portion 22C is suppressed.
  • the six second levers 34 and the second retainers 35 are located below the transmission member 33, and have the same configuration and shape as the six first levers 31 and the first retainers 32, respectively.
  • each second lever 34 is made of metal (for example, stainless steel), resin, ceramics, etc., and has a hardness that does not deform (do not distort) at the time of opening and closing operation of the valve 1 described later. It has the formed inside part 34A and the outside part 34B.
  • the outer end 34D of each second lever 34 abuts on the lower surface 19B of the protrusion 19A of the support ring 19, and the inner end 34E faces each surface of the regular hexagonal column of the second lower extension 22C. And the third projection 33E.
  • the second retainer 35 In the second retainer 35, a regular hexagonal insertion hole 35a is formed.
  • the second retainer 35 has an annular portion 35B, six engagement protrusions 35C, and six support protrusions 35D.
  • Each second lever 34 is held by the second retainer 35 by inserting the engagement projection 35C of the second retainer 35 into the engagement hole 34c of the inner portion 34A.
  • the rotation of each second lever 34 is suppressed by arranging each second lever 34 between the adjacent support protrusions 35D.
  • a second lower extension 22C of a regular hexagonal column shape is inserted into the regular hexagonal insertion hole 35a of the annular portion 35B. Since the insertion hole 35a has a dimension slightly larger than the outer diameter of the second lower extension 22C, the rotation of the second retainer 35 relative to the second lower extension 22C is suppressed.
  • each second lever 34 As the transmission member 33 moves downward, the inner end 34E of each second lever 34 is pushed by the third projection 33E of the transmission member 33 and abuts against the lower surface 19B of the projection 19A of the support ring 19 It pivots around the end 34D. As a result, the first projection 15E of the moving member 15 that abuts the second lever 34 from below is pushed downward, and the moving member 15 moves downward.
  • the moving member 15 presses the rod 14 downward, and the rod 14 presses the diaphragm retainer 13 downward, whereby the diaphragm 11 is pressed to abut the valve seat 5D, and the communication between the inflow passage 5b and the outflow passage 5c. Is cut off.
  • the force (driving force) by which the two coil springs 23 push the spring receiving portion 22A of the spring receiving member 22 is amplified by the power boosting mechanism 30 to press the moving member 15. ing. That is, the contact point A1 of the outer end 31D of the first lever 31 with respect to the lower surface 17F of the intermediate casing 17 is a fulcrum, and the contact point B1 of the lower projection 22F of the inner end 31E of the first lever 31 with the lower surface 22G is a force point With the contact portion C1 of the transmission member 33 of the outer side portion 31B of the first lever 31 against the second projection 33C as an action point, the force is amplified by the principle of leverage and transmitted to the transmission member 33.
  • the inner end 31E of the first lever 31 is the force application point
  • the outer end 31D is the fulcrum
  • the portion of the outer part 31B of the first lever 31 that contacts the second projection 33C is the action point Equivalent to.
  • the second protrusion 33C corresponds to a force receiving portion.
  • the contact portion A2 of the outer end 34D of the second lever 34 with the lower surface 19B of the support 19 of the support ring 19 is a fulcrum
  • the third projection 33E of the transmission member 33 of the inner end 34E of the second lever 34 is The force is amplified by the principle of leverage with the contact portion B2 as the force point and the contact portion C2 of the inner portion 34A of the second lever 34 against the first projection 15E of the moving member 15 as the action point, and transmitted to the moving member 15 Be done.
  • the inner end 34E of the second lever 34 corresponds to a force application point
  • the outer end 34D corresponds to a fulcrum
  • the part in contact with the first projection 15E of the inner part 34A of the second lever 34 corresponds to an action point.
  • the third protrusion 33E corresponds to a transmission unit.
  • the biasing force of the two coil springs 23 is amplified by the power boosting mechanism 30 so as to press the moving member 15.
  • the diaphragm 11 is pressed against the pressure of the fluid flowing in the inflow path 5b to interrupt the communication between the inflow path 5b and the outflow path 5c. be able to.
  • the diaphragm presser 13 and the rod 14 are pushed up by the diaphragm 11 being pushed up, and the moving member 15 is also pushed up.
  • the second lever 34 is pushed upward by the first projection 15E of the moving member 15, and the second lever 34 pivots about its outer end 34D, The inner end 34E is pushed up.
  • the third projection 33E of the transmission member 33 is pushed upward by the inner end 34E of the second lever 34, and the first lever 31 is pushed upward by the second projection 33C of the transmission member 33.
  • the first lever 31 is pivoted about its outer end 31D to push up the inner end 31E.
  • the air pressure required to open the valve may be slightly larger than the biasing force of the two coil springs 23, and the biasing force of the two coil springs 23 can be reduced by the boosting mechanism 30. As such, the air pressure required to open the valve may be small.
  • the boosting mechanism 30 does not deform the plurality of first levers when the biasing force (driving force) of the two coil springs 23 is amplified.
  • Each first lever 31 is in contact with a power point portion (inner end portion 31E) receiving a force from the spring receiving portion 22A of the spring receiving member 22 and the lower surface 17F of the intermediate casing 17. It has a fulcrum portion (outer end 31D) which is the center of rotation, and an action point (a portion in contact with the second projection 33C of the outer portion 31B) for transmitting a force to the moving member 15.
  • each first lever 31 is not deformed when the valve 1 is opened and closed. That is, each first lever 31 does not deform even under repeated stress, and does not deform an elastic-plastic region which is plastically deformed at a micro level which causes fatigue failure. Therefore, even if the required number of opening / closing operations of the actuator 3 and the valve 1 is, for example, 10 million times or more, it is possible to provide the actuator 3 and the valve 1 having excellent durability satisfying the requirements.
  • the driving means is constituted by the piston 21 to which the spring receiving member 22 is connected, and the two coil springs 23 which bias the spring receiving member 22 toward the moving member 15.
  • the biasing force (driving force) of the coil spring 23 is amplified by the plurality of first levers 31, even if the biasing force of the coil spring 23 is small, it resists the pressure of the fluid flowing through the inflow path 5b.
  • the diaphragm 11 can be pressed to shut off the communication between the inflow passage 5b and the outflow passage 5c.
  • the boosting mechanism 30 includes the first lever portion (six first levers 31), the transmission member 33, and the second lever portion (six second And a lever 34).
  • the first lever 31 is located between the spring receiving portion 22A of the spring receiving member 22 and the transmission member 33, and has a force application portion (inner end 31E), a fulcrum (outer end 31D), and an action point ( And the transmission member 33 is positioned between the first lever 31 and the second lever 34, and the action point of the first lever 31.
  • a force receiving portion for receiving a force from the force receiving portion, and a transmission that transmits the force to the second lever 34 on the same side of the force receiving portion with respect to the action point portion of the first lever 31
  • the second lever 34 includes a force application point (inner end 34E), a fulcrum (outer end 34D), and a first projection of the action point (inner side 34A). And a portion abutting against the portion 15E.
  • the third projection 33E of the transmission member 33 is located on the same side as the inner end 31E of the outer side 31B of the first lever 31 with respect to the second projection 33C.
  • the arrangement space of the lever structure consisting of a plurality of stages can be reduced.
  • the actuator 3 and the valve 1 having the small-sized and high-power boosting mechanism 30 can be provided.
  • the driving means is constituted by the piston 21 to which the spring receiving member 22 is connected, and the two coil springs 23 which bias the spring receiving member 22 toward the moving member 15. According to this configuration, since the biasing force of the coil spring 23 is amplified by the boosting mechanism 30, even if the biasing force of the coil spring 23 is small, the diaphragm 11 is resisted against the pressure of the fluid flowing through the inflow path 5b. By pressing, communication between the inflow passage 5b and the outflow passage 5c can be cut off.
  • FIG. 6 is a longitudinal sectional view of the valve 101 in the closed state in the second embodiment.
  • the valve 101 is a diaphragm valve and is used in a gas line (for example, the most upstream side of the gas line) configured by a plurality of fluid control devices of the fluid control device 55 (FIG. 13). It is a valve.
  • the valve 101 includes a body 2 and an actuator 103.
  • the actuator 103 of the valve 101 is described as the upper side and the body portion 2 side as the lower side.
  • the actuator 103 has a casing 10, a press adapter 12, a diaphragm press 13, a rod 14, a moving unit 115, a drive unit 20, and first to fourth O-rings 4A to 4D.
  • the moving unit 115 is supported at the lower end portion of the bonnet 16 so as to be movable in the vertical direction.
  • FIG. 7 is a cross-sectional perspective view of the vicinity of the boosting mechanism 130.
  • FIG. 8 is a perspective view of a state in which the boosting mechanism 130 and the moving unit 115 are combined.
  • FIG. 9 is an exploded perspective view of the boosting mechanism 130 and the moving unit 115.
  • FIG. 10 (a) is a side view of the first lever 134 (second lever 138)
  • FIG. 10 (b) is a side view of the first transmission member 137
  • FIG. 10 (c) is a second view. It is a side view of transmission member 115A.
  • the boosting mechanism 130 has a first boosting portion 131, a first transmission portion 132, and a second boosting portion 133. As shown in FIG. 8, on the moving unit 115, the second boosting unit 133, the first transmission unit 132, and the first boosting unit 131 are stacked in this order.
  • the first boosting portion 131 has six first levers 134 and a first support member 135.
  • the six first levers 134 independently have the same shape, and are arranged at equal intervals along the circumferential direction of the actuator 103 around the second lower extension 22C.
  • Each first lever 134 is made of metal (for example, stainless steel), resin, ceramic or the like, and has a hardness that does not deform (do not distort) when the valve 101 is opened and closed. That is, each first lever 134 functions as a rigid body for the opening and closing operation of the valve 101.
  • Each first lever 134 has an inner portion 134A and an outer portion 134B, and is tapered from the outer portion 134B toward the inner portion 134A.
  • the outer side portion 134B is connected to be bent upward with respect to the inner side portion 134A.
  • the first lever 134 has an upper surface 134C and a lower surface 134D.
  • the portions constituting the inner portion 134A and the outer portion 134B of the upper surface 134C and the lower surface 134D are each planar.
  • each first lever 134 extends parallel to a tangential direction of a circle centered on the axis of the actuator 103. Then, as shown in FIG. 7, the outer end 134E of each first lever 134 makes line contact with the lower surface 17F of the intermediate casing 17, and the inner end 134F is a regular hexagonal column of the second lower extension 22C. Are in line contact with the lower surface 22G of the lower protrusion 22F.
  • the first support member 135 is made of an elastic material having flexibility, such as rubber, and has a substantially hexagonal ring shape in a plan view, and an insertion hole 135a is formed.
  • An inner portion 134A of each first lever 134 is bonded to a portion of each side of the substantially hexagonal shape of the first support member 135 by an adhesive or the like.
  • the six first levers 134 and the first support member 135 are integrated.
  • the second lower extension 22 ⁇ / b> C having a regular hexagonal column shape is inserted into the substantially hexagonal insertion hole 135 a of the first support member 135.
  • the insertion hole 135a has a dimension slightly larger than the outer diameter of the second lower extending portion 22C, so that the rotation of the first boosting portion 131 with respect to the second lower extending portion 22C is suppressed.
  • the first transmission portion 132 is located below the first power boosting portion 131, and has a ring member 136 and six first transmission members 137.
  • the six first transmission members 137 correspond to a first transmission unit.
  • the ring member 136 is made of, for example, a metal (for example, stainless steel), a resin, a ceramic, or the like, has an annular shape, and has a regular hexagonal insertion hole 136a.
  • the outer circumferential surface 136B of the ring member 136 is tapered downward.
  • the second lower extension 22C of the regular hexagonal column is inserted into the regular hexagonal insertion hole 136a of the ring member 136. Since the insertion hole 136a has a dimension slightly larger than the outer diameter of the second lower extension 22C, the rotation of the ring member 136 with respect to the second lower extension 22C is suppressed.
  • Each first transmission member 137 is made of, for example, a plate material such as metal (for example, stainless steel), resin, ceramics, etc., and has a hardness which does not deform (do not distort) at the opening and closing operation of the valve 101. It has a shape. As shown in FIG. 10B, each first transmission member 137 has an upper surface 137A and a lower surface 137B. As shown in FIG. 9, the first transmission members 137 are arranged at equal intervals along the circumferential direction of the actuator 103 around the second lower extending portion 22 C, and the upper surface 137 A of each first transmission member 137 is The outer peripheral surface 136B of the ring member 136 is joined by an adhesive, brazing or welding. Thus, each first transmission member 137 is inclined with respect to the axial direction of the actuator 103, and the upper end portion 137C is located radially outward of the lower end portion 137D.
  • a plate material such as metal (for example, stainless steel), resin, ceramics, etc.
  • each first transmission member 137 extends parallel to the tangential direction of a circle centered on the axis of the actuator 103. Then, as shown in FIG. 7, the upper end portion 137C of each first transmission member 137 makes line contact with the lower surface 134D on the outer side portion 134B side of each first lever 134, and the lower end portion 137D has a second lower extension. It faces each surface of the regular hexagonal column of the protrusion 22C. Further, each first transmission member 137 is configured to be tapered from the upper end portion 137C to the lower end portion 137D. The upper end portion 137C of each first transmission member 137 corresponds to a first contact portion.
  • the second boosting portion 133 is located below the first transmission portion 132, and includes six second levers 138 and a second support member 139.
  • the six second levers 138 and the second support members 139 have the same configuration and shape as the six first levers 134 and the first support members 135, respectively.
  • each second lever 138 is made of metal (for example, stainless steel), resin, ceramic or the like, has a hardness that does not deform (do not distort) at the time of opening / closing operation of the valve 101 described later. And an outer side 138B.
  • the outer end 138E and the inner end 138F of each second lever 138 extend parallel to the tangential direction of a circle centered on the axis of the actuator 103.
  • the second lever 138 has an upper surface 138C and a lower surface 138D, and portions constituting the inner portion 138A and the outer portion 138B of the upper surface 138C and the lower surface 138D are planar. There is no.
  • each second lever 138 makes line contact with the lower surface 19B of the protrusion 19A of the support ring 19, and each upper surface 138C of the inner end 138F
  • the lower end portion 137D of the first transmission member 137 is in line contact.
  • the lower end portion 137D of each first transmission member 137 corresponds to a second contact portion.
  • the second support member 139 is made of a flexible elastic material such as rubber, and has a substantially hexagonal ring shape in a plan view, and an insertion hole 139a is formed.
  • An inner portion 138A of each second lever 138 is bonded to a portion of each side of the substantially hexagonal shape of the second support member 139 by an adhesive or the like. Thereby, the six second levers 138 and the second support member 139 are integrated.
  • the second lower extending portion 22C having a regular hexagonal column shape is inserted into the substantially hexagonal insertion hole 139a of the second support member 139.
  • the insertion hole 139a has a size slightly larger than the outer diameter of the second lower extending portion 22C, so that the rotation of the second force multiplying portion 133 with respect to the second lower extending portion 22C is suppressed.
  • the moving unit 115 has six second transmission members 115A and a moving member 115B.
  • the six second transmission members 115A correspond to a second transmission unit.
  • the six second transmission members 115A have the same configuration and shape as the six first levers 134 except for the size thereof.
  • each second transmission member 115A is made of metal (for example, stainless steel), resin, ceramic or the like, has a hardness that does not deform (do not distort) at the time of opening / closing operation of the valve 101 described later , And an outer side portion 115D.
  • the outer end 115G and the inner end 115H of each second transmission member 115A extend parallel to the tangential direction of a circle centered on the axis of the actuator 103.
  • the second transmission member 115A has an upper surface 115E and a lower surface 115F, and the portions constituting the inner portion 115C and the outer portion 115D of the upper surface 115E and the lower surface 115F are planar.
  • each second transmission member 115A makes line contact with the lower surface 138D on the inner side 138A side of each second lever 138, and the inner end 115H is a second It opposes each surface of the regular hexagonal column of lower extending part 22C.
  • the outer end 115G of each second transmission member 115A corresponds to a third contact portion.
  • the moving member 115B is made of metal (for example, stainless steel), resin, ceramic or the like, and has a cylindrical base 115J and a protrusion 115K.
  • the lower surface of the cylindrical base portion 115 J can press the rod 14.
  • the protrusion 115K is provided on the outer peripheral edge of the upper surface of the cylindrical base 115J so as to protrude upward and radially outward.
  • the protrusion 115K has an annular shape, and the protrusion 115K forms a recess 115m.
  • Six second transmission members 115A are fixed to the upper surface 115N of the protrusion 115K by an adhesive, brazing, welding or the like so as to be equally spaced along the circumferential direction of the actuator 103.
  • FIG. 11 (a) is a plan view of the boosting mechanism 130 and the moving part 115 when the valve 101 is in a closed state
  • FIG. 11 (b) is a cross-sectional view taken along line XI-XI of FIG. 11 (a). is there.
  • 12 (a) is a plan view of the boosting mechanism 130 and the moving part 115 when the valve 101 is in the open state
  • FIG. 12 (b) is a cross-sectional view along the line XII-XII of FIG. 12 (a). is there.
  • the first support member 135 and the second support member 139 are not shown.
  • each first lever 134 is pushed by the lower surface 22G of the lower projection 22F, and each first lever 134 It pivots around an outer end portion 134E that contacts the lower surface 17F of the intermediate casing 17.
  • the upper end portions 137C of the first transmission members 137 that contact the first levers 134 from below are pushed downward, and the ring member 136 and the first transmission members 137 move downward.
  • each first transmission member 137 is moved downward, the inner end 138F of each second lever 138 is pushed by the lower end 137D of each first transmission member 137, and each second lever 138 It pivots around an outer end portion 138E that abuts the lower surface 19B of the protrusion 19A of the support ring 19.
  • the outer end portions 115G of the second transmission members 115A that are in contact with the second lever 138 from below are pushed downward, and the moving member 115B of the moving unit 115 moves downward.
  • the moving member 115B presses the rod 14 downward, and the rod 14 presses the diaphragm retainer 13 downward, whereby the diaphragm 11 is pressed and abuts on the valve seat 5D, and the communication between the inflow path 5b and the outflow path 5c Is blocked.
  • the first support member 135 and the second support member 139 are made of an elastic material, the first support member 135 and the second support member are rotated by rotation of the first levers 134 and the second levers 138.
  • the diameters of the outer peripheral portion and the inner peripheral portion of 139 are deformed so as to expand and contract.
  • the force (driving force) by which the two coil springs 23 push the spring receiving portion 22A of the spring receiving member 22 is boosted by the power boosting mechanism 130 to press the moving portion 115. It is done. That is, the contact point A3 of the outer end 134E of the first lever 134 with the lower surface 17F of the intermediate casing 17 is a fulcrum, and the contact point B3 of the lower projection 22F of the inner end 134F of the first lever 134 with the lower surface 22G is a force point The force is multiplied by the principle of leverage and transmitted to the first transmission member 137, with the contact portion C3 of the outer portion 134B of the first lever 134 against the upper end 137C of the first transmission member 137 acting as an action point.
  • the inner end 134F of the first lever 134 is the point of force
  • the outer end 134E is the fulcrum
  • the portion of the outer portion 134B of the first lever 134 that contacts the upper end 137C of the first transmission member 137 is It corresponds to the point of action.
  • the abutment portion A4 of the outer end 138E of the second lever 138 against the lower surface 19B of the protrusion 19A of the support ring 19 is a fulcrum, and the inner end 138F of the second lever 138 is lower
  • the force is boosted by the principle based on the principle that the contact portion B4 is a force point and the contact portion C4 of the inner portion 138A of the second lever 138 against the outer end portion 115G of the second transmission member 115A is a force point.
  • the inner end 138F of the second lever 138 functions as a point of force
  • the outer end 138E functions as a fulcrum
  • the portion of the inner portion 138A of the second lever 138 that abuts against the outer end 115G of the second transmission member 115A functions. It corresponds to the point section.
  • the biasing force of the two coil springs 23 is configured to be boosted by the boosting mechanism 130 to press the moving portion 115. Thereby, even if the biasing force of the two coil springs 23 is small, the diaphragm 11 is pressed against the pressure of the fluid flowing in the inflow path 5b to interrupt the communication between the inflow path 5b and the outflow path 5c. be able to.
  • the second lever 138 is pushed upward by the outer end 115G of the second transmission member 115A, and the second lever 138 pivots about the outer end 138E.
  • the inner end 138F is pushed up.
  • the lower end 137D of the first transmission member 137 is pushed upward by the inner end 138F of the second lever 138, and the first lever 134 is pushed upward by the upper end 137C of the first transmission member 137.
  • the first lever 137 is pivoted about its outer end 134E to push up the inner end 134F.
  • the air pressure required to open the valve may be slightly larger than the biasing force of the two coil springs 23, and the biasing force of the two coil springs 23 may be reduced by the boosting mechanism 130. As such, the air pressure required to open the valve may be small.
  • the first electromotive force unit 131 has the plurality of first levers 134 and the plurality of first transmission members corresponding to the first transmission unit. 137 are provided corresponding to the plurality of first levers 134.
  • Each of the first levers 134 is a force point portion (inner end portion 134F) receiving a force from the spring receiving member 22 and a fulcrum portion that abuts on the lower surface 17F of the intermediate casing 17 and serves as a center of rotation of each first lever 134 (The outer end portion 134E) and an action point portion (a portion in contact with the upper end portion 137C of the first transmission member 137 of the outer side portion 134B) for transmitting the force to the first transmission member 137;
  • the member 137 has a first contact portion (upper end portion 137C) in line contact with the action point portion of each first lever 134.
  • each first transmission member 137 contacts the respective first levers 134 not by a point but by a line, so that the forces are concentrated at the mutually contacting portions of the respective first levers 134 and the respective first transmission members 137. Can be prevented. For this reason, even if the required number of times of opening and closing of the actuator 103 and the valve 101 is, for example, 10 million times or more, the actuator 103 and the valve 101 having excellent durability satisfying the request can be provided.
  • the second booster 133 has a plurality of second levers 138 provided corresponding to the first transmission member 137, and the second transmission The plurality of second transmission members 115A corresponding to the above are provided corresponding to the plurality of second levers 138.
  • Each of the second levers 138 is in contact with a power point portion (inner end portion 138F) receiving the force from the first transmission member 137 and the lower surface 19B of the projecting portion 19A of the support ring 19 to rotate the second levers 138
  • a power point portion inner end portion 138F
  • a fulcrum portion outer end 138E
  • an action point a portion of the inner portion 138A that abuts against the outer end 115G of the second transmission member 115A
  • Each first transmission member 137 has a second contact portion (lower end portion 137D) in line contact with the power application point of each second lever 138, and each second transmission member 115A It has a third contact portion (outer end portion 115G) in line contact with the action point portion.
  • each first transmission member 137 contacts the second levers 138 not with a point but with a line, so that the forces are concentrated at the mutually contacting portions of the second levers 138 and the first transmission members 137. Can be prevented.
  • each second transmission member 115A contacts each second lever 138 not by a point but by a line, the forces concentrate at the mutually contacting portions of each second lever 138 and each second transmission member 115A. Can be prevented. For this reason, even if the required number of times of opening and closing of the actuator 103 and the valve 101 is, for example, 10 million times or more, the actuator 103 and the valve 101 having excellent durability satisfying the request can be provided.
  • FIG. 13 is a schematic view of a semiconductor manufacturing apparatus 60.
  • the semiconductor manufacturing apparatus 60 is, for example, a CVD apparatus, has a gas supply unit 50 having a fluid control unit 55, a vacuum chamber 70, and an exhaust unit 80, and forms a passivation film (oxide film) on a wafer. Device.
  • the gas supply means 50 includes a gas supply source 51, a pressure gauge 52, and a fluid control device 55.
  • the fluid control device 55 has a plurality of gas lines configured of a plurality of fluid control devices, and includes on-off valves 53 and 54 and MFCs 1 to 4 (mass flow controllers) as fluid control devices.
  • An open / close valve 61 is provided between the gas supply means 50 and the vacuum chamber 70.
  • the vacuum chamber 70 includes a mounting table 71 for mounting the wafer 72 and an electrode 73 for forming a thin film on the wafer 72.
  • a commercial power supply 62 is connected to the vacuum chamber 70.
  • the exhaust means 80 includes an exhaust pipe 81, an open / close valve 82, and a dust collector 83.
  • the supply of gas to the vacuum chamber 70 is controlled by opening and closing the on-off valves 53 and 54, and the MFCs 1 to 4 and the on-off valve 61. Further, when removing the particulate matter which is a by-product generated when a thin film is formed on the wafer 72, the on-off valve 82 is opened, and the particulate matter is removed by the dust collector 83 through the exhaust pipe 81. Ru.
  • bulb 1, 101 in the said embodiment is applicable with respect to on-off valve 53, 54, 61, 82.
  • FIG. As described above, since the valve 1 101 is excellent in durability, the fluid control device 55 excellent in durability can be provided. Further, since the valve 1, 101 includes the actuator 3, 103 having the small power boosting mechanism 30, 130, the fluid control device 55 can be miniaturized as a result.
  • the etching apparatus includes a processing chamber, a gas supply unit (fluid control apparatus), and an exhaust unit, and is an apparatus for processing a material surface or the like by a corrosive action of a reactive gas.
  • the sputtering apparatus comprises a target, a vacuum chamber, gas supply means (fluid control device), and exhaust means, and is an apparatus for forming a film on the surface of a material.
  • the boosting mechanism 30 in the above embodiment includes the six first levers 31, the first retainer 32, the transmission member 33, the six second levers 34, and the second retainer 35. , And may be configured by only the six first levers 31 and the first retainer 32, or may be configured by only the six first levers 31. Moreover, although the boosting mechanism 30 had the six 1st levers 31, it should just be 2 or more.
  • the boosting mechanism 30 includes the six first levers 31, the first retainer 32, the transmission member 33, the six second levers 34, and the second retainer 35
  • the first retainer 32 And the second retainer 35 may not be provided.
  • the first lever portion and the second lever portion are constituted by six members independent of each other, six first levers 31 or six second levers 34 are connected at their inner peripheral edge or outer peripheral edge It may be an integrated structure.
  • the first lever 31 or the second lever 34 may be made of a material such as metal or resin that deforms as the spring receiving member 22 and the transmission member 33 move.
  • the boosting mechanism 130 in the above embodiment includes the first boosting portion 131, the first transmission portion 132, and the second boosting portion 133
  • the first boosting portion 131 and the first boosting portion It may be configured only by the transmission unit 132 or only by the first boosting unit 131.
  • the boosting mechanism 130 includes only the first boosting portion 131 and the first transmission portion 132
  • the lower end portion 137D of each first transmission member 137 is the inner portion 115C of each second transmission member 115A.
  • the lower end portion 137D of each first transmission member 137 may press the projection 115K of the moving member 115B without providing the six second transmission members 115A in the moving portion 115.
  • first force boosting portion 131 has six first levers 134, it may have two or more levers, and the first transmission member 137, the second lever 138, and the second transmission member 115A may The number may be the same as that of the first lever 134.
  • biasing means is the two coil springs 23, it may be a disc spring.
  • the two coil springs 23 are provided on the lower side of the piston 21 to bias the spring receiving member 22.
  • the two coil springs 23 are provided on the upper side of the piston 21 to bias from the upper side of the piston 21 You may
  • the drive means was comprised by piston 21 and the two coiled springs 23, you may be another structure.
  • the actuator 3 includes the presser adapter 12, the diaphragm presser 13, and the rod 14.
  • the actuator 3 may not be provided.
  • the valve seat 5D is made of the same metal material as the body 5, the valve seat may be configured by embedding an annular sheet made of resin.

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Abstract

耐久性に優れた倍力機構を有するアクチュエータ、バルブ、および流体制御装置を提供する。 アクチュエータ（３）を備えるバルブ（１）は、倍力機構（３０）は、駆動力を増幅するときに変形しない複数の第１レバー（３１）を有し、各第１レバー（３１）は、ばね受け部材（２２）のばね受け部（２２Ａ）から力を受ける力点部（内端部（３１Ｅ））と、中間ケーシング（１７）の下面（１７Ｆ）に当接して第１レバー（３１）の回動の中心となる支点部（外端部（３１Ｄ））と、移動部材（１５）へ力を伝える作用点部（外側部（３１Ｂ）の第２突起部（３３Ｃ）に対して当接する部分）とを有する。

Description

アクチュエータ、バルブ、および流体制御装置
　本発明は、半導体製造装置等の流体管路に使用されるアクチュエータ、バルブ、および流体制御装置に関する。
　てこの原理を利用した柔軟性のある付勢部材により力を増幅する倍力機構を備えたバルブが提案されている。（例えば、特許文献１参照）。
米国特許第６０５９２５９号明細書
　しかし、特許文献１に開示された倍力機構では、付勢部材に歪が発生してしまうため、耐久性が悪く、開閉回数が多いバルブでは使用することができなかった。
　そこで本発明は、耐久性に優れた倍力機構を有するアクチュエータ、バルブ、および流体制御装置を提供することを目的とする。
　上記目的を解決するために、本発明の一態様であるアクチュエータは、ケーシングと、前記ケーシング内に往復動可能に設けられた往復動部材と、前記ケーシング内に設けられ、前記往復動部材を駆動させる駆動手段と、前記駆動手段により前記往復動部材にかかった駆動力を増幅させる倍力機構と、前記倍力機構により増幅された力を受けて移動する移動部材と、を備え、前記倍力機構は、前記移動部材の周方向に配置され、前記駆動力を増幅するときに変形しない複数のレバーを有し、各レバーは、前記往復動部材からの力を受ける力点部と、前記ケーシングに当接して各レバーの回動の中心となる支点部と、前記移動部材へ力を伝える作用点部とを有する。
　また、前記力点部は、前記各レバーの内端部であり、前記支点部は、前記各レバーの外端部であり、前記作用点部は、前記内端部と前記外端部との間に位置してもよい。
　また、前記倍力機構は、前記複数のレバーを保持するリテーナを備えてもよい。
　前記複数のレバーは、複数の第１レバーを有し、前記倍力機構は、前記駆動手段により前記往復動部材にかかった駆動力を倍力させる第１倍力部と、前記第１倍力部により倍力された力を伝達する第１伝達部と、を有し、前記第１倍力部は、前記往復動部材の周方向に配置された前記複数の第１レバーを有し、前記第１伝達部は、前記複数の第１レバーに対応して設けられた複数の第１伝達部材を有し、各第１レバーは、前記往復動部材からの力を受ける力点部と、前記ケーシングに当接して各第１レバーの回動の中心となる支点部と、前記第１伝達部材へ力を伝える作用点部とを有し、各第１伝達部材は、各第１レバーの作用点部に対し線接触する第１接触部を有してもよい。
　前記複数のレバーは、複数の第２レバーを有し、前記倍力機構は、前記第１伝達部により伝達される力を増幅する第２倍力部と、前記第２倍力部により増幅された力を前記移動部材に伝達する第２伝達部と、をさらに備え、前記第２倍力部は、前記第１伝達部材に対応して設けられた複数の第２レバーを有し、前記第２伝達部は、前記複数の第２レバーに対応して設けられた複数の第２伝達部材を有し、各第２レバーは、前記第１伝達部からの力を受ける力点部と、前記ケーシングに当接して各第２レバーの回動の中心となる支点部と、前記第２伝達部材へ力を伝える作用点部とを有し、各第１伝達部材は、各第２レバーの力点部に対し線接触する第２接触部を有し、各第２伝達部材は、各第２レバーの作用点部に対し線接触する第３接触部を有してもよい。
　また、前記駆動手段は、外部から供給される駆動流体により駆動し、前記往復動部材が接続されたピストンと、前記移動部材に向かって前記往復動部材を付勢する付勢手段と、を備えてもよい。
　また、本発明の一態様であるバルブは、前記ボディに接続されるケーシングと、前記ケーシング内に往復動可能に設けられた往復動部材と、前記ケーシング内に設けられ、前記往復動部材を駆動させる駆動手段と、前記駆動手段により前記往復動部材にかかった駆動力を増幅させる倍力機構と、前記弁体により前記流体通路を開閉させるために、前記ボディに対し近接および離間移動可能に設けられ、前記倍力機構により増幅された力を受けて移動する移動部材と、を備え、前記倍力機構は、前記移動部材の周方向に配置され、前記駆動力を増幅するときに変形しない複数のレバーを有し、各レバーは、前記往復動部材からの力を受ける力点部と、前記ケーシングに当接して各レバーの回動の中心となる支点部と、前記移動部材へ力を伝える作用点部とを有する。
　前記複数のレバーは、複数の第１レバーを有し、前記倍力機構は、前記駆動手段により前記往復動部材にかかった駆動力を倍力させる第１倍力部と、前記第１倍力部により倍力された力を伝達する第１伝達部と、を有し、前記第１倍力部は、前記往復動部材の周方向に配置された前記複数の第１レバーを有し、前記第１伝達部は、前記複数の第１レバーに対応して設けられた複数の第１伝達部材を有し、各第１レバーは、前記往復動部材からの力を受ける力点部と、前記ケーシングに当接して各第１レバーの回動の中心となる支点部と、前記第１伝達部材へ力を伝える作用点部とを有し、各第１伝達部材は、各第１レバーの作用点部に対し線接触する第１接触部を有してもよい。
　前記複数のレバーは、複数の第２レバーを有し、前記倍力機構は、前記第１伝達部により伝達される力を増幅する第２倍力部と、前記第２倍力部により増幅された力を前記移動部材に伝達する第２伝達部と、をさらに備え、前記第２倍力部は、前記第１伝達部材に対応して設けられた複数の第２レバーを有し、前記第２伝達部は、前記複数の第２レバーに対応して設けられた複数の第２伝達部材を有し、各第２レバーは、前記第１伝達部からの力を受ける力点部と、前記ケーシングに当接して各第２レバーの回動の中心となる支点部と、前記第２伝達部材へ力を伝える作用点部とを有し、各第１伝達部材は、各第２レバーの力点部に対し線接触する第２接触部を有し、各第２伝達部材は、各第２レバーの作用点部に対し線接触する第３接触部を有してもよい。
　また、本発明の一態様である流体制御装置は、前複数の流体制御機器により構成される流体制御装置であって、前記複数の流体制御機器の少なくとも一つは、上記のバルブである。
　本発明によれば、耐久性に優れた倍力機構を有するアクチュエータ、バルブ、および流体制御装置を提供することができる。
第１の実施形態に係る閉状態にあるバルブの縦断面図を示す。 第１の実施形態に係るバルブの倍力機構付近の断面斜視図を示す。 （ａ）は、第１レバー（第２レバー）と第１リテーナ（第２リテーナ）とを組み合わせた状態の斜視図を示し、（ｂ）は、第１リテーナ（第２リテーナ）の斜視図を示す。 第１の実施形態に係るバルブが閉状態にあるときの倍力機構の断面図を示す。 第１の実施形態に係るバルブが開状態にあるときの倍力機構の断面図を示す。 第２の実施形態に係る閉状態にあるバルブの縦断面図である。 第２の実施形態に係るバルブの倍力機構付近の断面斜視図である。 倍力機構と移動部とを組み合わせた状態の斜視図である。 倍力機構および移動部の分解斜視図である。 （ａ）は、第１レバー（第２レバー）の側面図であり、（ｂ）は、第１伝達部材の側面図であり、（ｃ）は、第２伝達部材の側面図である。 （ａ）は、第２の実施形態にバルブが閉状態における倍力機構および移動部の平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＸＩ－ＸＩ線に沿った断面図である （ａ）は、第２の実施形態にバルブが開状態における倍力機構および移動部の平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＸＩＩ－ＸＩＩ線に沿った断面図である。 半導体製造装置の概略図を示す。
　本発明の一実施形態によるアクチュエータ、バルブ、および流体制御装置について、図面を参照して説明する。
　第１の実施形態に係るアクチュエータおよびバルブについて説明する。
　図１は、第１の実施形態における閉状態にあるバルブ１の縦断面図を示している。図１に示すように、バルブ１は、ダイヤフラムバルブであり、流体制御装置５５（図１３）の複数の流体制御機器により構成されるガスライン（例えば、ガスラインの最も上流側）で使用されるバルブである。
　バルブ１は、ボディ部２と、アクチュエータ３とを備える。なお、以下の説明において、バルブ１の、アクチュエータ３を上側、ボディ部２側を下側として説明する。
　ボディ部２は、ボディ５と、ダイヤフラム１１とを有する。
　ボディ５には、円柱状の弁室５ａと、弁室５ａに連通する流入路５ｂおよび流出路５ｃとが形成されている。ボディ５の流入路５ｂと弁室５ａとが連通する箇所の周縁（流入路５ｂの開口部）には、ケーシング１０に向かって突出する円環状の弁座５Ｄが設けられている。弁座５Ｄは、ボディ５と同じ金属材料により構成される。また、ボディ５は、上方に延びるように設けられ、円筒状をなし、内周部に雌ねじ部が形成された円筒部５Ｅを有する。
　ダイヤフラム１１は、複数枚のダイヤフラムにより構成され、環状の押さえアダプタ１２により、その外周縁部が狭圧され、ボディ５に対し保持されている。弁体であるダイヤフラム１１は、略球殻状をなし、上に凸の略円弧状が自然状態となっている。ダイヤフラム１１が弁座５Ｄに対し当接および離間することによって、流入路５ｂと流出路５ｃとの間の連通または遮断が行われる。バルブ１が閉状態にあるときには、ダイヤフラム１１が弁座５Ｄに当接し、流入路５ｂと流出路５ｃとが遮断される。バルブ１が開状態にあるときには、ダイヤフラム１１が弁座５Ｄから離間し、流入路５ｂと流出路５ｃとが連通する。
　アクチュエータ３は、ケーシング１０と、押さえアダプタ１２と、ダイヤフラム押さえ１３と、ロッド１４と、移動部材１５と、駆動部２０と、第１～第４Ｏリング４Ａ～４Ｄとを有する。
　ケーシング１０は、ボンネット１６と、中間ケーシング１７と、アクチュエータキャップ１８と、支持リング１９とを備える。
　ボンネット１６は、略円筒状をなし、その下端部の外周の雄ねじ部がボディ５の円筒部５Ｅに対し螺合されることにより、ボディ５に対し固定されている。ボンネット１６の上端部の内周には、雌ねじ部が形成されている。
　中間ケーシング１７は、略円筒状をなし、上側部１７Ａと、下側部１７Ｂとを有する。上側部１７Ａには、貫通孔１７ｃが形成され、下側部１７Ｂには、貫通孔１７ｃよりも内径が大きい収容孔１７ｄが形成されている。下側部１７Ｂの外周には、外方へ突出する突出部１７Ｅが設けられている。下側部１７Ｂの外周面であって突出部１７Ｅの上下には、それぞれ雄ねじ部が形成されている。突出部１７Ｅの下側の雄ねじ部が、ボンネット１６の上端部の雌ねじ部に螺合することにより、中間ケーシング１７がボンネット１６に対し固定されている。下側部１７Ｂの下端は、環状の下面１７Ｆを有し、下面１７Ｆの内径側は、後述の支持リング１９の内周面よりも内側に位置するように構成されている。上側部１７Ａの外周には、駆動流体が後述の流体導入室２１ｄから漏れるのを防止する第１Ｏリング４Ａが設けられている。
　アクチュエータキャップ１８は、略円筒状をなし、その下端部の内周に設けられた雌ねじ部を中間ケーシング１７の突出部１７Ｅの上側の雄ねじ部に螺合させることにより、中間ケーシング１７に対し固定されている。アクチュエータキャップ１８には、駆動流体が流入する流体流入路１８ａが形成され、流体流入路１８ａの上端部には、図示せぬ管継手を螺合するための被螺合部１８ｂが形成されている。
　支持リング１９は、円筒状をなし、ボンネット１６の内周に設けられた段差部１６Ａ上に配置されている。支持リング１９の上端は、中間ケーシング１７の下面１７Ｆに当接し、支持リング１９の下端は、ボンネット１６の内周に設けられた段差部１６Ａに当接している。これにより、支持リング１９は、ボンネット１６に対し上下動不能である。また、支持リング１９の内周には、内方に突出する突出部１９Ａが設けられている。
　ダイヤフラム押さえ１３は、ダイヤフラム１１の上側に設けられ、押さえアダプタ１２により上下方向に移動可能に支持され、ダイヤフラム１１の中央部を押圧可能である。
　ロッド１４は、ダイヤフラム押さえ１３の上側に設けられ、押さえアダプタ１２により上下方向に移動可能に支持され、ダイヤフラム押さえ１３を押圧可能である。
　移動部材１５は、ボンネット１６の下端部において、上下方向に移動可能に支持されている。移動部材１５は、円柱部１５Ａとフランジ部１５Ｂとを有する。円柱部１５Ａは、ロッド１４を押圧可能である。フランジ部１５Ｂは、円柱部１５Ａの上側部に外方に突出するように設けられている。フランジ部１５Ｂの上面１５Ｃの中央部には、凹部１５ｄが形成されている。フランジ部１５Ｂの外周縁には、上方に突出する環状の第１突起部１５Ｅが設けられている。
　駆動部２０は、ピストン２１と、ばね受け部材２２と、２本のコイルばね２３と、倍力機構３０とにより構成される。駆動部２０は、空圧駆動式の駆動部である。なお、ピストン２１と２本のコイルばね２３とは駆動手段に相当し、ばね受け部材２２は往復動部材に相当する
　ピストン２１は、略円板状をなす基部２１Ａと、基部２１Ａの中央部から上側に延びる第１上延出部２１Ｂと、基部２１Ａの中央部から下側に延びる第１下延出部２１Ｃとを備える。
　基部２１Ａは、アクチュエータキャップ１８内において、中間ケーシング１７の上側部１７Ａの上側に位置している。基部２１Ａの外周縁には、第２Ｏリング４Ｂが設けられている。第２Ｏリング４Ｂにより、基部２１Ａの上下方向への移動時における基部２１Ａの径方向の移動が抑制される。基部２１Ａの下面と中間ケーシング１７の上側部１７Ａの上面とにより、流体導入室２１ｄが形成される。第２Ｏリング４Ｂは、駆動流体が流体導入室２１ｄから漏れるのを防止する。
　第１上延出部２１Ｂの上側部は、流体流入路１８ａ内に挿入されている。第３Ｏリング４Ｃにより、第１上延出部２１Ｂの上下方向への移動時における第１上延出部２１Ｂの径方向の移動が抑制される。また、第３Ｏリング４Ｃは、駆動流体が外部に漏れるのを防止する。ピストン２１には、第１上延出部２１Ｂの上端から基部２１Ａの下面に延び、流体導入室２１ｄに連通する流体導入路２１ｅが形成されている。
　第１下延出部２１Ｃは、貫通孔１７ｃを貫通しており、第４Ｏリング４Ｄにより、第１下延出部２１Ｃの上下方向への移動時における第１下延出部２１Ｃの径方向の移動が抑制される。第４Ｏリング４Ｄは、駆動流体が流体導入室２１ｄから漏れるのを防止する。第１下延出部２１Ｃの下端部の外周には雄ねじ部が形成されている。
　ばね受け部材２２は、ピストン２１の下側に位置し、ばね受け部２２Ａと、第２上延出部２２Ｂと、第２下延出部２２Ｃとを備える。ばね受け部材２２は、ピストン２１と共にケーシング１０内を上下方向に往復動可能に設けられている。
　ばね受け部２２Ａは、円板状の本体部２２Ｄと、本体部２２Ｄの上面から上側に突出する円板状の上突出部２２Ｅと、本体部２２Ｄの下面から下側に突出する円板状の下突出部２２Ｆとを有する。本体部２２Ｄは、中間ケーシング１７内に位置し、本体部２２Ｄの直径は、中間ケーシング１７の収容孔１７ｄの内径よりも小さく構成されている。
　第２上延出部２２Ｂは、有底円筒状をなし、上突出部２２Ｅの中央部から上側に延びるように設けられている。第２上延出部２２Ｂの内周面には雌ねじ部が形成され、第１下延出部２１Ｃの雄ねじ部に螺合されている。これにより、ピストン２１と、ばね受け部材２２とは一体的に構成される。
　第２下延出部２２Ｃは、正六角柱状をなし、下突出部２２Ｆの中央部から下側に延びるように設けられている。第２下延出部２２Ｃの下端は、移動部材１５の凹部１５ｄ内に位置するように構成されている。
　２本のコイルばね２３は、中間ケーシング１７の収容孔１７ｄ内において、上側部１７Ａの下面と、ばね受け部２２Ａの本体部２２Ｄおよび上突出部２２Ｅの上面との間に配置されている。２本のコイルばね２３は、ばね受け部材２２を常に下側に付勢し、これにより、ピストン２１も常に下側に付勢されている。
　図２は、倍力機構３０付近の断面斜視図を示す。図３（ａ）は、第１レバー３１（第２レバー３４）と第１リテーナ３２（第２リテーナ３５）とを組み合わせた状態の斜視図を示し、図３（ｂ）は、第１リテーナ３２（第２リテーナ３５）の斜視図を示す。
　倍力機構３０は、６つの第１レバー３１と、第１リテーナ３２と、伝達部材３３と、６つの第２レバー３４と、第２リテーナ３５とを備える。６つの第１レバー３１は、第１レバー部に相当し、６つの第２レバー３４は、第２レバー部に相当する。
　６つの第１レバー３１は、それぞれ独立して同形状をなし、第２下延出部２２Ｃの周囲にアクチュエータ３の円周方向に沿って等間隔に配置されている。各第１レバー３１は、金属（例えば、ステンレス鋼）、樹脂、セラミックス等により構成され、後述のバルブ１の開閉動作時に変形しない（歪まない）硬さを有している。すなわち、各第１レバー３１は、バルブ１の開閉動作に対し剛体として機能する。各第１レバー３１は、内側部３１Ａと、外側部３１Ｂとを有し、外側部３１Ｂから内側部３１Ａに向かって先細る形状をなしている。外側部３１Ｂは、内側部３１Ａに対し、上側に屈曲するように接続されている。内側部３１Ａには、係合孔３１ｃが形成されている。
　各第１レバー３１は、その外端部３１Ｄが、中間ケーシング１７の下面１７Ｆに当接し、内端部３１Ｅが、第２下延出部２２Ｃの正六角柱の各面に対向して下突出部２２Ｆの下面２２Ｇに当接するように配置される。
　第１リテーナ３２は、ゴム等の柔軟性を有する材料により構成され、平面視で略六角形状をなし、正六角形状の挿入孔３２ａが形成されている。第１リテーナ３２は、環状部３２Ｂと、６つの係合突起３２Ｃと、６つの支持突起３２Ｄとを有する。
　６つの係合突起３２Ｃは、それぞれ略円柱状をなし、環状部３２Ｂに対しアクチュエータ３の円周方向に等間隔に配置されている。
　６つの支持突起３２Ｄは、それぞれ隣り合う係合突起３２Ｃの間に設けられており、平面視で環状部３２Ｂの中心に向かって先細る形状をなしている。
　各第１レバー３１は、その内側部３１Ａの係合孔３１ｃに、第１リテーナ３２の係合突起３２Ｃを挿入することにより、第１リテーナ３２に保持される。各第１レバー３１は、隣り合う支持突起３２Ｄの間に配置されることにより、各第１レバー３１の回転が抑制される。
　環状部３２Ｂの正六角形状の挿入孔３２ａに、正六角柱状の第２下延出部２２Ｃが挿入される。挿入孔３２ａは、第２下延出部２２Ｃの外形よりもわずかに大きい寸法を有するので、第１リテーナ３２の第２下延出部２２Ｃに対する回転が抑制される。
　伝達部材３３は、第１レバー３１および第１リテーナ３２の下側に位置し、環状をなし、正六角形状の挿入孔３３ａが形成されている。伝達部材３３の上面３３Ｂの外周縁には、上方に突出する環状の第２突起部３３Ｃが設けられている。第２突起部３３Ｃは、各第１レバー３１の外側部３１Ｂに対し、外端部３１Ｄよりも内側において下側から当接している。伝達部材３３の下面３３Ｄの内周縁には、下方に突出する環状の第３突起部３３Ｅが設けられている。第３突起部３３Ｅは、第２突起部３３Ｃよりも内方に位置する。つまり、第３突起部３３Ｅは、第２突起部３３Ｃに対して、第１レバー３１の外側部３１Ｂに対する内端部３１Ｅ側と同じ側に位置する。伝達部材３３の上面３３Ｂであって、第２突起部３３Ｃよりも内側には、凹部３３ｆが形成されている。
　伝達部材３３の正六角形状の挿入孔３３ａに、正六角柱状の第２下延出部２２Ｃが挿入される。挿入孔３３ａは、第２下延出部２２Ｃの外形よりもわずかに大きい寸法を有するので、伝達部材３３の第２下延出部２２Ｃに対する回転が抑制される。
　６つの第２レバー３４および第２リテーナ３５は、伝達部材３３の下側に位置し、それぞれ６つの第１レバー３１および第１リテーナ３２と同様の構成・形状を有する。
　すなわち、各第２レバー３４は、金属（例えば、ステンレス鋼）、樹脂、セラミックス等により構成され、後述のバルブ１の開閉動作時に変形しない（歪まない）硬さを有し、係合孔３４ｃが形成された内側部３４Ａと、外側部３４Ｂとを有する。各第２レバー３４は、その外端部３４Ｄが、支持リング１９の突出部１９Ａの下面１９Ｂに当接し、内端部３４Ｅが、第２下延出部２２Ｃの正六角柱の各面に対向して第３突起部３３Ｅに当接するように配置される。
　第２リテーナ３５には、正六角形状の挿入孔３５ａが形成されている。第２リテーナ３５は、環状部３５Ｂと、６つの係合突起３５Ｃと、６つの支持突起３５Ｄとを有する。
　各第２レバー３４は、その内側部３４Ａの係合孔３４ｃに、第２リテーナ３５の係合突起３５Ｃを挿入することにより、第２リテーナ３５に保持される。各第２レバー３４は、隣り合う支持突起３５Ｄの間に配置されることにより、各第２レバー３４の回転が抑制される。
　環状部３５Ｂの正六角形状の挿入孔３５ａに、正六角柱状の第２下延出部２２Ｃが挿入される。挿入孔３５ａは、第２下延出部２２Ｃの外形よりもわずかに大きい寸法を有するので、第２リテーナ３５の第２下延出部２２Ｃに対する回転が抑制される。
　図１に示すように、バルブ１が閉状態にある場合には、流体導入室２１ｄに駆動流体は流入しておらず、ばね受け部材２２は、２本のコイルばね２３により下方に付勢されて、最下端に位置している。バルブ１が図５に示す開状態から図４に示す閉状態になるときには、各第１レバー３１の内端部３１Ｅが下突出部２２Ｆの下面２２Ｇに押されて、中間ケーシング１７の下面１７Ｆに当接する外端部３１Ｄを中心に回動する。これにより、第１レバー３１に下方から当接する伝達部材３３の第２突起部３３Ｃが下方に押されて、伝達部材３３が下方に移動する。
　伝達部材３３が下方に移動することにより、各第２レバー３４の内端部３４Ｅが伝達部材３３の第３突起部３３Ｅに押されて、支持リング１９の突出部１９Ａの下面１９Ｂに当接し外端部３４Ｄを中心に回動する。これにより、第２レバー３４に下方から当接する移動部材１５の第１突起部１５Ｅが下方に押されて、移動部材１５が下方に移動する。
　移動部材１５がロッド１４を下方に押圧し、ロッド１４がダイヤフラム押さえ１３を下方に押圧することにより、ダイヤフラム１１が押圧されて、弁座５Ｄに当接し、流入路５ｂと流出路５ｃとの連通が遮断される。
　本実施形態では、２本のコイルばね２３が、ばね受け部材２２のばね受け部２２Ａを押す力（駆動力）は、倍力機構３０により増幅されて、移動部材１５を押圧するように構成されている。すなわち、第１レバー３１の外端部３１Ｄの中間ケーシング１７の下面１７Ｆに対する当接部Ａ１を支点、第１レバー３１の内端部３１Ｅの下突出部２２Ｆの下面２２Ｇに対する当接部Ｂ１を力点、第１レバー３１の外側部３１Ｂの伝達部材３３の第２突起部３３Ｃに対する当接部Ｃ１を作用点として、てこの原理により力が増幅されて、伝達部材３３に伝達される。このように、第１レバー３１の内端部３１Ｅは力点部、外端部３１Ｄは支点部、第１レバー３１の外側部３１Ｂの第２突起部３３Ｃに対して当接する部分は作用点部に相当する。第２突起部３３Ｃは、力受部に相当する。
　さらに、第２レバー３４の外端部３４Ｄの支持リング１９の突出部１９Ａの下面１９Ｂに対する当接部Ａ２を支点、第２レバー３４の内端部３４Ｅの伝達部材３３の第３突起部３３Ｅに対する当接部Ｂ２を力点、第２レバー３４の内側部３４Ａの移動部材１５の第１突起部１５Ｅに対する当接部Ｃ２を作用点として、てこの原理により力が増幅されて、移動部材１５に伝達される。なお、第２レバー３４の内端部３４Ｅは力点部、外端部３４Ｄは支点部、第２レバー３４の内側部３４Ａの第１突起部１５Ｅに対して当接する部分は作用点部に相当する。第３突起部３３Ｅは、伝達部に相当する。
　このようにして、２本のコイルばね２３の付勢力は、倍力機構３０により増幅されて、移動部材１５を押圧するように構成される。これにより、２本のコイルばね２３の付勢力が小さくても、流入路５ｂを流れる流体の圧力に抗して、ダイヤフラム１１を押圧して、流入路５ｂと流出路５ｃとの連通を遮断することができる。
　また、駆動流体を、流体流入路１８ａおよび流体導入路２１ｅを介して、流体導入室２１ｄに導入することにより、ピストン２１およびばね受け部材２２に対し空気圧による上向きの力が働く。この力を、２本のコイルばね２３の付勢力よりも大きくすることにより、ピストン２１およびばね受け部材２２は上側に移動する。これにより、移動部材１５を押す力がなくなるので、ダイヤフラム１１が流入路５ｂを流れる流体の圧力およびダイヤフラム１１の復元力により押し上げられ、弁座５Ｄから離間し、弁が開かれる。
　この時、ダイヤフラム１１が押し上げられることによって、ダイヤフラム押さえ１３およびロッド１４が押し上げられ、移動部材１５も押し上げられる。これにより、図５に示すように、第２レバー３４が移動部材１５の第１突起部１５Ｅにより上方に押されて、第２レバー３４は、その外端部３４Ｄを中心に回動して、内端部３４Ｅが押し上げられる。その結果、第２レバー３４の内端部３４Ｅにより、伝達部材３３の第３突起部３３Ｅが上方に押され、伝達部材３３の第２突起部３３Ｃにより、第１レバー３１が上方に押されて、第１レバー３１は、その外端部３１Ｄを中心に回動して、内端部３１Ｅが押し上げられる。
　なお、弁を開けるために必要な空気圧は、２本のコイルばね２３の付勢力よりもわずかに大きければ十分であり、２本のコイルばね２３の付勢力は倍力機構３０により、小さくできるものであるから、弁を開けるために必要な空気圧は小さくてよい。
　以上のように、本実施形態のアクチュエータ３を備えるバルブ１によれば、倍力機構３０は、２本のコイルばね２３の付勢力（駆動力）を増幅するときに変形しない複数の第１レバー３１を有し、各第１レバー３１は、ばね受け部材２２のばね受け部２２Ａから力を受ける力点部（内端部３１Ｅ）と、中間ケーシング１７の下面１７Ｆに当接して第１レバー３１の回動の中心となる支点部（外端部３１Ｄ）と、移動部材１５へ力を伝える作用点部（外側部３１Ｂの第２突起部３３Ｃに対して当接する部分）とを有する。
　かかる構成により、バルブ１の開閉動作時に各第１レバー３１が変形しない。すなわち、各第１レバー３１が、繰返し応力を受けても変形せず、疲労破壊を起こすようなミクロレベルでの塑性変形する弾塑性域も変形しない。このため、アクチュエータ３およびバルブ１の要求開閉回数が例えば１０００万回以上であったとしても、当該要求を満たす耐久性に優れたアクチュエータ３およびバルブ１を提供することができる。
　また、複数の第１レバー３１は、第１リテーナ３２により保持されるので、アクチュエータ３およびバルブ１の組立性を向上させることができる。
　また、駆動手段は、ばね受け部材２２が接続されたピストン２１と、移動部材１５に向かってばね受け部材２２を付勢する２本のコイルばね２３とにより構成される。かかる構成によれば、複数の第１レバー３１によりコイルばね２３の付勢力（駆動力）が増幅されるので、コイルばね２３の付勢力が小さくても、流入路５ｂを流れる流体の圧力に抗して、ダイヤフラム１１を押圧して、流入路５ｂと流出路５ｃとの連通が遮断することができる。
　また、本実施形態のアクチュエータ３を備えるバルブ１によれば、倍力機構３０は、第１レバー部（６つの第１レバー３１）と、伝達部材３３と、第２レバー部（６つの第２レバー３４）とを備える。第１レバー３１は、ばね受け部材２２のばね受け部２２Ａと伝達部材３３との間に位置し、力点部（内端部３１Ｅ）と、支点部（外端部３１Ｄ）と、作用点部（外側部３１Ｂの第２突起部３３Ｃに対して当接する部分）とを有し、伝達部材３３は、第１レバー３１と第２レバー３４との間に位置し、第１レバー３１の作用点部から力を受ける力受部（第２突起部３３Ｃ）と、力受部に対して第１レバー３１の作用点部に対する力点部側と同じ側に位置し、第２レバー３４へ力を伝える伝達部（第３突起部３３Ｅ）とを有し、第２レバー３４は、力点部（内端部３４Ｅ）と、支点部（外端部３４Ｄ）と、作用点部（内側部３４Ａの第１突起部１５Ｅに対して当接する部分）とを有する。
　かかる構成によれば、伝達部材３３の第３突起部３３Ｅは、第２突起部３３Ｃに対して、第１レバー３１の外側部３１Ｂに対する内端部３１Ｅ側と同じ側に位置しているので、複数段からなるてこ構造の配置空間を小さくすることができる。よって、小型かつ高倍率な倍力機構３０を有するアクチュエータ３およびバルブ１を提供することができる。
　また、駆動手段は、ばね受け部材２２が接続されたピストン２１と、移動部材１５に向かってばね受け部材２２を付勢する２本のコイルばね２３とにより構成される。かかる構成によれば、倍力機構３０によりコイルばね２３の付勢力が増幅されるので、コイルばね２３の付勢力が小さくても、流入路５ｂを流れる流体の圧力に抗して、ダイヤフラム１１を押圧して、流入路５ｂと流出路５ｃとの連通が遮断することができる。
　次に、第２の実施形態に係るアクチュエータおよびバルブについて説明する。なお、第１の実施形態のアクチュエータおよびバルブと同様の構成については同じ参照番号を付し説明を省略する。
　図６は、第２の実施形態における閉状態にあるバルブ１０１の縦断面図である。図６に示すように、バルブ１０１は、ダイヤフラムバルブであり、流体制御装置５５（図１３）の複数の流体制御機器により構成されるガスライン（例えば、ガスラインの最も上流側）で使用されるバルブである。
　バルブ１０１は、ボディ部２と、アクチュエータ１０３とを備える。なお、以下の説明において、バルブ１０１の、アクチュエータ１０３を上側、ボディ部２側を下側として説明する。
　アクチュエータ１０３は、ケーシング１０と、押さえアダプタ１２と、ダイヤフラム押さえ１３と、ロッド１４と、移動部１１５と、駆動部２０と、第１～第４Ｏリング４Ａ～４Ｄとを有する。
　移動部１１５は、ボンネット１６の下端部に、上下方向に移動可能に支持されている。
　次に、倍力機構１３０および移動部１１５について説明する。
　図７は、倍力機構１３０付近の断面斜視図である。図８は、倍力機構１３０と移動部１１５とを組み合わせた状態の斜視図である。図９は、倍力機構１３０および移動部１１５の分解斜視図である。図１０（ａ）は、第１レバー１３４（第２レバー１３８）の側面図であり、図１０（ｂ）は、第１伝達部材１３７の側面図であり、図１０（ｃ）は、第２伝達部材１１５Ａの側面図である。
　倍力機構１３０は、第１倍力部１３１と、第１伝達部１３２と、第２倍力部１３３とを有する。図８に示すように、移動部１１５の上に、第２倍力部１３３、第１伝達部１３２、および第１倍力部１３１がこの順で積層されている。
　第１倍力部１３１は、６つの第１レバー１３４と、第１支持部材１３５とを有する。
　６つの第１レバー１３４は、それぞれ独立して同形状をなし、第２下延出部２２Ｃの周囲にアクチュエータ１０３の円周方向に沿って等間隔に配置されている。各第１レバー１３４は、金属（例えば、ステンレス鋼）、樹脂、セラミックス等により構成され、後述のバルブ１０１の開閉動作時に変形しない（歪まない）硬さを有している。すなわち、各第１レバー１３４は、バルブ１０１の開閉動作に対し剛体として機能する。
　各第１レバー１３４は、内側部１３４Ａと、外側部１３４Ｂとを有し、外側部１３４Ｂから内側部１３４Ａに向かって先細る形状をなしている。外側部１３４Ｂは、内側部１３４Ａに対し、上側に屈曲するように接続されている。
　図１０（ａ）に示すように、第１レバー１３４は、上面１３４Ｃおよび下面１３４Ｄを有している。上面１３４Ｃおよび下面１３４Ｄの内側部１３４Ａおよび外側部１３４Ｂを構成する部分は、それぞれ平面状をなしている。
　各第１レバー１３４の外端部１３４Ｅおよび内端部１３４Ｆは、アクチュエータ１０３の軸を中心とする円の接線方向に平行をなすように延びている。そして、図７に示すように、各第１レバー１３４は、その外端部１３４Ｅが、中間ケーシング１７の下面１７Ｆに線接触し、内端部１３４Ｆが、第２下延出部２２Ｃの正六角柱の各面に対向して下突出部２２Ｆの下面２２Ｇに線接触している。
　第１支持部材１３５は、ゴム等の柔軟性を有する弾性材料により構成され、平面視で略六角環状をなし、挿入孔１３５ａが形成されている。第１支持部材１３５の略六角形の各辺の部分に、各第１レバー１３４の内側部１３４Ａが接着剤等により接着されている。これにより、６つの第１レバー１３４と第１支持部材１３５とが一体化されている。
　第１支持部材１３５の略六角形状の挿入孔１３５ａに正六角柱状の第２下延出部２２Ｃが挿入される。挿入孔１３５ａは、第２下延出部２２Ｃの外形よりもわずかに大きい寸法を有するので、第１倍力部１３１の第２下延出部２２Ｃに対する回転が抑制される。
　第１伝達部１３２は、第１倍力部１３１の下側に位置し、リング部材１３６と、６つの第１伝達部材１３７とを有する。６つの第１伝達部材１３７は、第１伝達部に相当する。
　リング部材１３６は、例えば金属（例えば、ステンレス鋼）、樹脂、セラミックス等により構成され、環状をなし、正六角形状の挿入孔１３６ａが形成されている。リング部材１３６の外周面１３６Ｂは、下側に向かってテーパ状をなしている。
　リング部材１３６の正六角形状の挿入孔１３６ａに、正六角柱状の第２下延出部２２Ｃが挿入される。挿入孔１３６ａは、第２下延出部２２Ｃの外形よりもわずかに大きい寸法を有するので、リング部材１３６の第２下延出部２２Ｃに対する回転が抑制される。
　各第１伝達部材１３７は、例えば金属（例えば、ステンレス鋼）、樹脂、セラミックス等の板材により構成され、バルブ１０１の開閉動作時に変形しない（歪まない）硬さを有し、それぞれ独立して同形状をなしている。図１０（ｂ）に示すように、各第１伝達部材１３７は、上面１３７Ａと、下面１３７Ｂとを有する。図９に示すように、各第１伝達部材１３７は、第２下延出部２２Ｃの周囲にアクチュエータ１０３の円周方向に沿って等間隔に配置され、各第１伝達部材１３７の上面１３７Ａが、リング部材１３６の外周面１３６Ｂに接着剤、ロウ付けまたは溶接により接合されている。これにより、各第１伝達部材１３７は、アクチュエータ１０３の軸方向に対して傾斜し、上端部１３７Ｃが下端部１３７Ｄよりも径方向の外側に位置している。
　また、各第１伝達部材１３７の上端部１３７Ｃおよび下端部１３７Ｄは、アクチュエータ１０３の軸を中心とする円の接線方向に平行をなすように延びている。そして、図７に示すように、各第１伝達部材１３７は、その上端部１３７Ｃは、各第１レバー１３４の外側部１３４Ｂ側の下面１３４Ｄに線接触し、下端部１３７Ｄは、第２下延出部２２Ｃの正六角柱の各面に対向している。また、各第１伝達部材１３７は、上端部１３７Ｃから下端部１３７Ｄに向かうにつれて先細るように構成されている。各第１伝達部材１３７の上端部１３７Ｃは、第１接触部に相当する。
　第２倍力部１３３は、第１伝達部１３２の下側に位置し、６つの第２レバー１３８と、第２支持部材１３９とを有する。６つの第２レバー１３８および第２支持部材１３９は、それぞれ６つの第１レバー１３４および第１支持部材１３５と同様の構成・形状を有する。
　すなわち、各第２レバー１３８は、金属（例えば、ステンレス鋼）、樹脂、セラミックス等により構成され、後述のバルブ１０１の開閉動作時に変形しない（歪まない）硬さを有し、内側部１３８Ａと、外側部１３８Ｂとを有する。各第２レバー１３８の外端部１３８Ｅおよび内端部１３８Ｆは、アクチュエータ１０３の軸を中心とする円の接線方向に平行をなすように延びている。また、図１０（ａ）に示すように、第２レバー１３８は、上面１３８Ｃおよび下面１３８Ｄを有し、上面１３８Ｃおよび下面１３８Ｄの内側部１３８Ａおよび外側部１３８Ｂを構成する部分は、それぞれ平面状をなしている。
　そして、図７に示すように、各第２レバー１３８は、その外端部１３８Ｅが、支持リング１９の突出部１９Ａの下面１９Ｂと線接触し、内端部１３８Ｆの上面１３８Ｃには、各第１伝達部材１３７の下端部１３７Ｄが線接触している。各第１伝達部材１３７の下端部１３７Ｄは、第２接触部に相当する。
　第２支持部材１３９は、ゴム等の柔軟性を有する弾性材料により構成され、平面視で略六角環状をなし、挿入孔１３９ａが形成されている。第２支持部材１３９の略六角形の各辺の部分に、各第２レバー１３８の内側部１３８Ａが接着剤等により接着されている。これにより、６つの第２レバー１３８と第２支持部材１３９とが一体化されている。
　第２支持部材１３９の略六角形状の挿入孔１３９ａに正六角柱状の第２下延出部２２Ｃが挿入される。挿入孔１３９ａは、第２下延出部２２Ｃの外形よりもわずかに大きい寸法を有するので、第２倍力部１３３の第２下延出部２２Ｃに対する回転が抑制される。
　移動部１１５は、６つの第２伝達部材１１５Ａと、移動部材１１５Ｂとを有する。６つの第２伝達部材１１５Ａは、第２伝達部に相当する。
　６つの第２伝達部材１１５Ａは、６つの第１レバー１３４と寸法が小さい以外は、同様の構成・形状を有する。
　すなわち、各第２伝達部材１１５Ａは、金属（例えば、ステンレス鋼）、樹脂、セラミックス等により構成され、後述のバルブ１０１の開閉動作時に変形しない（歪まない）硬さを有し、内側部１１５Ｃと、外側部１１５Ｄとを有する。各第２伝達部材１１５Ａの外端部１１５Ｇおよび内端部１１５Ｈは、アクチュエータ１０３の軸を中心とする円の接線方向に平行をなすように延びている。また、図１０（ｃ）に示すように、第２伝達部材１１５Ａは、上面１１５Ｅおよび下面１１５Ｆを有し、上面１１５Ｅおよび下面１１５Ｆの内側部１１５Ｃおよび外側部１１５Ｄを構成する部分は、それぞれ平面状をなしている。
　そして、図７に示すように、各第２伝達部材１１５Ａは、その外端部１１５Ｇが、各第２レバー１３８の内側部１３８Ａ側の下面１３８Ｄに線接触し、内端部１１５Ｈは、第２下延出部２２Ｃの正六角柱の各面に対向している。各第２伝達部材１１５Ａの外端部１１５Ｇは、第３接触部に相当する。
　移動部材１１５Ｂは、金属（例えば、ステンレス鋼）、樹脂、セラミックス等により構成され、円柱基部１１５Ｊと、突出部１１５Ｋとを有する。
　円柱基部１１５Ｊは、その下面がロッド１４を押圧可能である。突出部１１５Ｋは、円柱基部１１５Ｊの上面の外周縁に、上方および径方向の外方に突出するように設けられている。突出部１１５Ｋは環状をなしており、突出部１１５Ｋにより、凹部１１５ｍが形成されている。突出部１１５Ｋの上面１１５Ｎには、６つの第２伝達部材１１５Ａが、アクチュエータ１０３の円周方向に沿って等間隔となるように、接着剤、ロウ付け、溶接等により固定されている。
　次に、バルブ１０１の開閉動作について説明する。
　図１１（ａ）は、バルブ１０１が閉状態における倍力機構１３０および移動部１１５の平面図であり、図１１（ｂ）は、図１１（ａ）のＸＩ－ＸＩ線に沿った断面図である。図１２（ａ）は、バルブ１０１が開状態における倍力機構１３０および移動部１１５の平面図であり、図１２（ｂ）は、図１２（ａ）のＸＩＩ－ＸＩＩ線に沿った断面図である。なお、図１１、１２では、第１支持部材１３５および第２支持部材１３９の図示を省略している。
　図６に示すように、バルブ１０１が閉状態にある場合には、流体導入室２１ｄに駆動流体は流入しておらず、ばね受け部材２２は、２本のコイルばね２３により下方に付勢されて、最下端に位置している。バルブ１０１が図１２に示す開状態から図１１に示す閉状態になるときには、各第１レバー１３４の内端部１３４Ｆが下突出部２２Ｆの下面２２Ｇに押されて、各第１レバー１３４は、中間ケーシング１７の下面１７Ｆに当接する外端部１３４Ｅを中心に回動する。これにより、各第１レバー１３４に下方から当接する各第１伝達部材１３７の上端部１３７Ｃが下方に押されて、リング部材１３６および各第１伝達部材１３７が下方に移動する。
　各第１伝達部材１３７が下方に移動されていることにより、各第２レバー１３８の内端部１３８Ｆが、各第１伝達部材１３７の下端部１３７Ｄに押されて、各第２レバー１３８は、支持リング１９の突出部１９Ａの下面１９Ｂに当接する外端部１３８Ｅを中心に回動する。これにより、第２レバー１３８に下方から当接する各第２伝達部材１１５Ａの外端部１１５Ｇが下方に押されて、移動部１１５の移動部材１１５Ｂが下方に移動する。
　移動部材１１５Ｂがロッド１４を下方に押圧し、ロッド１４がダイヤフラム押さえ１３を下方に押圧することにより、ダイヤフラム１１が押圧されて、弁座５Ｄに当接し、流入路５ｂと流出路５ｃとの連通が遮断されている。なお、第１支持部材１３５および第２支持部材１３９は、弾性材料により構成されているので、各第１レバー１３４および各第２レバー１３８の回動によって、第１支持部材１３５および第２支持部材１３９の外周部と内周部の直径が伸縮するように変形する。
　本実施形態では、２本のコイルばね２３が、ばね受け部材２２のばね受け部２２Ａを押す力（駆動力）は、倍力機構１３０により倍力されて、移動部１１５を押圧するように構成されている。すなわち、第１レバー１３４の外端部１３４Ｅの中間ケーシング１７の下面１７Ｆに対する当接部Ａ３を支点、第１レバー１３４の内端部１３４Ｆの下突出部２２Ｆの下面２２Ｇに対する当接部Ｂ３を力点、第１レバー１３４の外側部１３４Ｂの第１伝達部材１３７の上端部１３７Ｃに対する当接部Ｃ３を作用点として、てこの原理により力が倍力されて、第１伝達部材１３７に伝達される。このように、第１レバー１３４の内端部１３４Ｆは力点部、外端部１３４Ｅは支点部、第１レバー１３４の外側部１３４Ｂの第１伝達部材１３７の上端部１３７Ｃに対して当接する部分は作用点部に相当する。
　さらに、第２レバー１３８の外端部１３８Ｅの支持リング１９の突出部１９Ａの下面１９Ｂに対する当接部Ａ４を支点、第２レバー１３８の内端部１３８Ｆの第１伝達部材１３７の下端部１３７Ｄに対する当接部Ｂ４を力点、第２レバー１３８の内側部１３８Ａの第２伝達部材１１５Ａの外端部１１５Ｇに対する当接部Ｃ４を作用点として、てこの原理により力が倍力されて、移動部１１５に伝達される。なお、第２レバー１３８の内端部１３８Ｆは力点部、外端部１３８Ｅは支点部、第２レバー１３８の内側部１３８Ａの第２伝達部材１１５Ａの外端部１１５Ｇに対して当接する部分は作用点部に相当する。
　このようにして、２本のコイルばね２３の付勢力は、倍力機構１３０により倍力されて、移動部１１５を押圧するように構成される。これにより、２本のコイルばね２３の付勢力が小さくても、流入路５ｂを流れる流体の圧力に抗して、ダイヤフラム１１を押圧して、流入路５ｂと流出路５ｃとの連通を遮断することができる。
　また、駆動流体を、流体流入路１８ａおよび流体導入路２１ｅを介して、流体導入室２１ｄに導入することにより、ピストン２１およびばね受け部材２２に対し空気圧による上向きの力が働く。この力を、２本のコイルばね２３の付勢力よりも大きくすることにより、ピストン２１およびばね受け部材２２は上側に移動する。これにより、移動部材１１５Ｂを押す力がなくなるので、ダイヤフラム１１が流入路５ｂを流れる流体の圧力およびダイヤフラム１１の復元力により押し上げられ、弁座５Ｄから離間し、弁が開かれる。
　この時、ダイヤフラム１１が押し上げられることによって、ダイヤフラム押さえ１３およびロッド１４が押し上げられ、移動部１１５も押し上げられる。これにより、図１２に示すように、第２レバー１３８が第２伝達部材１１５Ａの外端部１１５Ｇにより上方に押されて、第２レバー１３８は、その外端部１３８Ｅを中心に回動して、内端部１３８Ｆが押し上げられる。その結果、第２レバー１３８の内端部１３８Ｆにより、第１伝達部材１３７の下端部１３７Ｄが上方に押され、第１伝達部材１３７の上端部１３７Ｃにより、第１レバー１３４が上方に押されて、第１レバー１３７は、その外端部１３４Ｅを中心に回動して、内端部１３４Ｆが押し上げられる。
　なお、弁を開けるために必要な空気圧は、２本のコイルばね２３の付勢力よりもわずかに大きければ十分であり、２本のコイルばね２３の付勢力は倍力機構１３０により、小さくできるものであるから、弁を開けるために必要な空気圧は小さくてよい。
　以上のように、本実施形態のアクチュエータ１０３を備えるバルブ１０１によれば、第１倍力部１３１は、複数の第１レバー１３４を有し、第１伝達部に相当する複数の第１伝達部材１３７が、複数の第１レバー１３４に対応して設けられている。各第１レバー１３４は、ばね受け部材２２からの力を受ける力点部（内端部１３４Ｆ）と、中間ケーシング１７の下面１７Ｆに当接して各第１レバー１３４の回動の中心となる支点部（外端部１３４Ｅ）と、第１伝達部材１３７へ力を伝える作用点部（外側部１３４Ｂの第１伝達部材１３７の上端部１３７Ｃに対して当接する部分）とを有し、各第１伝達部材１３７は、各第１レバー１３４の作用点部に対し線接触する第１接触部（上端部１３７Ｃ）を有する。
　かかる構成により、各第１伝達部材１３７は、各第１レバー１３４に対し、点ではなく線で接触するので、各第１レバー１３４および各第１伝達部材１３７の互いに接触する部分において力が集中するのを防止することができる。このため、アクチュエータ１０３およびバルブ１０１の要求開閉回数が例えば１０００万回以上であったとしても、当該要求を満たす耐久性に優れたアクチュエータ１０３およびバルブ１０１を提供することができる。
　また、本実施形態のアクチュエータ１０３を備えるバルブ１０１によれば、第２倍力部１３３は、第１伝達部材１３７に対応して設けられた複数の第２レバー１３８を有し、第２伝達部に相当する複数の第２伝達部材１１５Ａは、複数の第２レバー１３８に対応して設けられている。各第２レバー１３８は、第１伝達部材１３７からの力を受ける力点部（内端部１３８Ｆ）と、支持リング１９の突出部１９Ａの下面１９Ｂに当接して各第２レバー１３８の回動の中心となる支点部（外端部１３８Ｅ）と、第２伝達部材１１５Ａへ力を伝える作用点部（内側部１３８Ａの第２伝達部材１１５Ａの外端部１１５Ｇに対して当接する部分）とを有し、各第１伝達部材１３７は、各第２レバー１３８の力点部に対し線接触する第２接触部（下端部１３７Ｄ）を有し、各第２伝達部材１１５Ａは、各第２レバー１３８の作用点部に対し線接触する第３接触部（外端部１１５Ｇ）を有する。
　かかる構成により、各第１伝達部材１３７は、各第２レバー１３８に対し、点ではなく線で接触するので、各第２レバー１３８および各第１伝達部材１３７の互いに接触する部分において力が集中するのを防止することができる。同様に、各第２伝達部材１１５Ａは、各第２レバー１３８に対し、点ではなく線で接触するので、各第２レバー１３８および各第２伝達部材１１５Ａの互いに接触する部分において力が集中するのを防止することができる。このため、アクチュエータ１０３およびバルブ１０１の要求開閉回数が例えば１０００万回以上であったとしても、当該要求を満たす耐久性に優れたアクチュエータ１０３およびバルブ１０１を提供することができる。
　次に、上記で説明したバルブ１、１０１が使用される流体制御装置５５および流体制御装置５５を備える半導体製造装置６０について説明する。
　図１３は、半導体製造装置６０の概略図である。半導体製造装置６０は、例えば、ＣＶＤ装置であり、流体制御装置５５を有するガス供給手段５０と、真空チャンバ７０と、排気手段８０とを有し、ウェハ上に不動態膜（酸化膜）を形成する装置である。
　ガス供給手段５０は、ガス供給源５１と、圧力計５２と、流体制御装置５５とを備える。流体制御装置５５は、複数の流体制御機器により構成される複数のガスラインを有し、流体制御機器として、開閉弁５３、５４と、ＭＦＣ１～４（マスフローコントローラ）とを備える。ガス供給手段５０と真空チャンバ７０との間には、開閉弁６１が設けられている。真空チャンバ７０は、ウェハ７２を載置するための載置台７１と、ウェハ７２上に薄膜を形成するための電極７３とを備える。真空チャンバ７０には、商用電源６２が接続されている。排気手段８０は、排気配管８１と、開閉弁８２と、集塵機８３とを備える。
　ウェハ７２上に薄膜を形成する時には、開閉弁５３、５４の開閉、ＭＦＣ１～４、および開閉弁６１の開閉により、真空チャンバ７０へのガスの供給が制御される。また、ウェハ７２上に薄膜を形成した際に発生する副生成物たる粉粒体を除去する時には、開閉弁８２が開状態とされ、排気配管８１を介して集塵機８３により粉粒体が除去される。
　そして、開閉弁５３、５４、６１、８２に対して、上記実施形態におけるバルブ１、１０１を適用することができる。上記のように、バルブ１、１０１は耐久性に優れているので、耐久性に優れた流体制御装置５５を提供することができる。また、バルブ１、１０１は、小型の倍力機構３０、１３０を有するアクチュエータ３、１０３を備えるので、ひいては流体制御装置５５の小型化を図ることができる。
　なお、半導体製造装置６０がＣＶＤ装置の場合について説明したが、スパッタリング装置またはエッチング装置であっても良い。エッチング装置（ドライエッチング装置）は、処理室、ガス供給手段（流体制御装置）、排気手段から構成され、反応性の気体による腐食作用によって、材料表面等を加工する装置である。スパッタリング装置は、ターゲット、真空チャンバ、ガス供給手段（流体制御装置）、排気手段から構成され、材料表面を成膜する装置である。
　なお、本実施形態は、上述した実施形態に限定されない。当業者であれば、本発明の範囲内で、種々の追加や変更等を行うことができる。
　例えば、上記の実施形態における倍力機構３０は、６つの第１レバー３１と、第１リテーナ３２と、伝達部材３３と、６つの第２レバー３４と、第２リテーナ３５とを備えていたが、６つの第１レバー３１および第１リテーナ３２のみにより構成されていてもよいし、６つの第１レバー３１のみにより構成されていてもよい。また、倍力機構３０は、６つの第１レバー３１を有していたが、２つ以上であればよい。
　また、倍力機構３０は、６つの第１レバー３１と、第１リテーナ３２と、伝達部材３３と、６つの第２レバー３４と、第２リテーナ３５とを備えていたが、第１リテーナ３２および第２リテーナ３５を備えていなくてもよい。また、第１レバー部および第２レバー部は、それぞれ独立した６つの部材により構成されていたが、６つの第１レバー３１または６つの第２レバー３４が、それらの内周縁または外周縁で接続された一体構造であってもよい。この場合、第１レバー３１または第２レバー３４は、ばね受け部材２２および伝達部材３３の移動に伴い変形する金属、樹脂等の材料に構成されていてもよい。
　また、上記の実施形態における倍力機構１３０は、第１倍力部１３１と、第１伝達部１３２と、第２倍力部１３３とを備えていたが、第１倍力部１３１および第１伝達部１３２のみにより、または、第１倍力部１３１のみにより構成されていてもよい。倍力機構１３０が、第１倍力部１３１および第１伝達部１３２のみで構成されている場合は、各第１伝達部材１３７の下端部１３７Ｄが、各第２伝達部材１１５Ａの内側部１１５Ｃを押圧してもよいし、移動部１１５に６つの第２伝達部材１１５Ａを設けず、各第１伝達部材１３７の下端部１３７Ｄが、移動部材１１５Ｂの突出部１１５Ｋを押圧してもよい。
　また、第１倍力部１３１は、６つの第１レバー１３４を有していたが、２つ以上であればよく、第１伝達部材１３７、第２レバー１３８、および第２伝達部材１１５Ａは、第１レバー１３４と同数であればよい。
　また、付勢手段は２本のコイルばね２３であったが、皿ばねであってもよい。また、２本のコイルばね２３は、ピストン２１の下側に設けてばね受け部材２２を付勢するように構成したが、ピストン２１の上側に設けてピストン２１の上側から付勢するように構成してもよい。
　また、上記の実施形態では、駆動手段は、ピストン２１および２本のコイルばね２３により構成したが、他の構成であってもよい。また、上記の実施形態では、アクチュエータ３は、押さえアダプタ１２、ダイヤフラム押さえ１３、およびロッド１４を備える構成としたが、これらを備えなくてもよい。また、弁座５Ｄは、ボディ５と同じ金属材料により構成したが、樹脂からなる環状のシートを埋め込んで弁座を構成してもよい。
１：バルブ、　３：アクチュエータ、　５：ボディ、　５ｂ：流入路、　５ｃ：流出路、　１０：ケーシング、　１１：ダイヤフラム、　１５：移動部材、　１６：ボンネット、　１７：中間ケーシング、　１８：アクチュエータキャップ、　１９：支持リング、　２０：駆動部、　２１：ピストン、　２２：ばね受け部材、　２３：コイルばね、　３０：倍力機構、　３１：第１レバー、　３１Ａ：内側部、　３１Ｂ：外側部、　３１Ｄ：外端部、　３１Ｅ：内端部、　　３２：第１リテーナ、　３３：伝達部材、　３３Ｃ：第２突起部、　３３Ｅ：第３突起部、３４：第２レバー、　３４Ａ：内側部、　３４Ｂ：外側部、　３４Ｄ：外端部、　３４Ｅ：内端部、　３５：第２リテーナ、　５５：流体制御装置、　１１５：移動部、　１１５Ａ：第２伝達部材、　１１５Ｂ：移動部材、　１３１：第１倍力部、　１３２：第１伝達部、　１３３：第２倍力部、　１３４：第１レバー、　１３７：第１伝達部材、　１３８：第２レバー

Claims (10)

  1. 　ケーシングと、
    　前記ケーシング内に往復動可能に設けられた往復動部材と、
    　前記ケーシング内に設けられ、前記往復動部材を駆動させる駆動手段と、
    　前記駆動手段により前記往復動部材にかかった駆動力を増幅させる倍力機構と、
    　前記倍力機構により増幅された力を受けて移動する移動部材と、を備え、
    　前記倍力機構は、前記移動部材の周方向に配置され、前記駆動力を増幅するときに変形しない複数のレバーを有し、
    　各レバーは、前記往復動部材からの力を受ける力点部と、前記ケーシングに当接して各レバーの回動の中心となる支点部と、前記移動部材へ力を伝える作用点部とを有する、アクチュエータ。
  2. 　前記力点部は、前記各レバーの内端部であり、前記支点部は、前記各レバーの外端部であり、前記作用点部は、前記内端部と前記外端部との間に位置する、請求項１に記載のアクチュエータ。
  3. 　前記倍力機構は、前記複数のレバーを保持するリテーナを備える、請求項１または請求項２に記載のアクチュエータ。
  4. 　前記複数のレバーは、複数の第１レバーを有し、
    　前記倍力機構は、
    　　前記駆動手段により前記往復動部材にかかった駆動力を倍力させる第１倍力部と、
    　　前記第１倍力部により倍力された力を伝達する第１伝達部と、を有し、
    　前記第１倍力部は、前記往復動部材の周方向に配置された前記複数の第１レバーを有し、
    　前記第１伝達部は、前記複数の第１レバーに対応して設けられた複数の第１伝達部材を有し、
    　各第１レバーは、前記往復動部材からの力を受ける力点部と、前記ケーシングに当接して各第１レバーの回動の中心となる支点部と、前記第１伝達部材へ力を伝える作用点部とを有し、
    　各第１伝達部材は、各第１レバーの作用点部に対し線接触する第１接触部を有する、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
  5. 　前記複数のレバーは、複数の第２レバーを有し、
    　前記倍力機構は、
    　　前記第１伝達部により伝達される力を増幅する第２倍力部と、
    　　前記第２倍力部により増幅された力を前記移動部材に伝達する第２伝達部と、をさらに備え、
    　前記第２倍力部は、前記第１伝達部材に対応して設けられた複数の第２レバーを有し、
    　前記第２伝達部は、前記複数の第２レバーに対応して設けられた複数の第２伝達部材を有し、
    　各第２レバーは、前記第１伝達部からの力を受ける力点部と、前記ケーシングに当接して各第２レバーの回動の中心となる支点部と、前記第２伝達部材へ力を伝える作用点部とを有し、
    　各第１伝達部材は、各第２レバーの力点部に対し線接触する第２接触部を有し、
    　各第２伝達部材は、各第２レバーの作用点部に対し線接触する第３接触部を有する、請求項４に記載のアクチュエータ。
  6. 　前記駆動手段は、
    　　外部から供給される駆動流体により駆動し、前記往復動部材が接続されたピストンと、
    　　前記移動部材に向かって前記往復動部材を付勢する付勢手段と、を備える、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
  7. 　流体通路が形成されたボディと、
    　前記流体通路を開閉する弁体と、
    　前記ボディに接続されるケーシングと、
    　前記ケーシング内に往復動可能に設けられた往復動部材と、
    　前記ケーシング内に設けられ、前記往復動部材を駆動させる駆動手段と、
    　前記駆動手段により前記往復動部材にかかった駆動力を増幅させる倍力機構と、
    　前記弁体により前記流体通路を開閉させるために、前記ボディに対し近接および離間移動可能に設けられ、前記倍力機構により増幅された力を受けて移動する移動部材と、を備え、
    　前記倍力機構は、前記移動部材の周方向に配置され、前記駆動力を増幅するときに変形しない複数のレバーを有し、
    　各レバーは、前記往復動部材からの力を受ける力点部と、前記ケーシングに当接して各レバーの回動の中心となる支点部と、前記移動部材へ力を伝える作用点部とを有する、バルブ。
  8. 　前記複数のレバーは、複数の第１レバーを有し、
    　前記倍力機構は、
    　　前記駆動手段により前記往復動部材にかかった駆動力を倍力させる第１倍力部と、
    　　前記第１倍力部により倍力された力を伝達する第１伝達部と、を有し、
    　前記第１倍力部は、前記往復動部材の周方向に配置された前記複数の第１レバーを有し、
    　前記第１伝達部は、前記複数の第１レバーに対応して設けられた複数の第１伝達部材を有し、
    　各第１レバーは、前記往復動部材からの力を受ける力点部と、前記ケーシングに当接して各第１レバーの回動の中心となる支点部と、前記第１伝達部材へ力を伝える作用点部とを有し、
    　各第１伝達部材は、各第１レバーの作用点部に対し線接触する第１接触部を有する、請求項７に記載のアクチュエータ。
  9. 　前記複数のレバーは、複数の第２レバーを有し、
    　前記倍力機構は、
    　　前記第１伝達部により伝達される力を増幅する第２倍力部と、
    　　前記第２倍力部により増幅された力を前記移動部材に伝達する第２伝達部と、をさらに備え、
    　前記第２倍力部は、前記第１伝達部材に対応して設けられた複数の第２レバーを有し、
    　前記第２伝達部は、前記複数の第２レバーに対応して設けられた複数の第２伝達部材を有し、
    　各第２レバーは、前記第１伝達部からの力を受ける力点部と、前記ケーシングに当接して各第２レバーの回動の中心となる支点部と、前記第２伝達部材へ力を伝える作用点部とを有し、
    　各第１伝達部材は、各第２レバーの力点部に対し線接触する第２接触部を有し、
    　各第２伝達部材は、各第２レバーの作用点部に対し線接触する第３接触部を有する、請求項８に記載のアクチュエータ。
  10. 　複数の流体制御機器により構成される流体制御装置であって、
    　前記複数の流体制御機器の少なくとも一つは、請求項７から請求項９のいずれか一項に記載のバルブである流体制御装置。

     
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