JP2019065866A - アクチュエータ、バルブ、および流体制御装置 - Google Patents
アクチュエータ、バルブ、および流体制御装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019065866A JP2019065866A JP2017188104A JP2017188104A JP2019065866A JP 2019065866 A JP2019065866 A JP 2019065866A JP 2017188104 A JP2017188104 A JP 2017188104A JP 2017188104 A JP2017188104 A JP 2017188104A JP 2019065866 A JP2019065866 A JP 2019065866A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lever
- valve
- force
- casing
- boosting mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Fluid-Driven Valves (AREA)
- Mechanically-Actuated Valves (AREA)
Abstract
【課題】耐久性に優れた倍力機構を有するアクチュエータ、バルブ、および流体制御装置を提供する。【解決手段】アクチュエータ3を備えるバルブ1は、倍力機構30は、駆動力を倍力するときに変形しない複数の第1レバー31を有し、各第1レバー31は、ばね受け部材22のばね受け部22Aから力を受ける力点部(内端部31E)と、中間ケーシング17の下面17Fに当接して第1レバー31の回動の中心となる支点部(外端部31D)と、移動部材15へ力を伝える作用点部(外側部31Bの第2突起部33Cに対して当接する部分)とを有する。【選択図】図2
Description
本発明は、半導体製造装置等の流体管路に使用されるアクチュエータ、バルブ、および流体制御装置に関する。
てこの原理を利用した柔軟性のある付勢部材により力を倍力する倍力機構を備えたバルブが提案されている。(例えば、特許文献1参照)。
しかし、特許文献1に開示された倍力機構では、付勢部材に歪が発生してしまうため、耐久性が悪く、開閉回数が多いバルブでは使用することができなかった。
そこで本発明は、耐久性に優れた倍力機構を有するアクチュエータ、バルブ、および流体制御装置を提供することを目的とする。
上記目的を解決するために、本発明の一態様であるアクチュエータは、ケーシングと、前記ケーシング内に往復動可能に設けられた往復動部材と、前記ケーシング内に設けられ、前記往復動部材を駆動させる駆動手段と、前記駆動手段により前記往復動部材にかかった駆動力を倍力させる倍力機構と、前記倍力機構により倍力された力を受けて移動する移動部材と、を備え、前記倍力機構は、前記移動部材の周方向に配置され、前記駆動力を倍力するときに変形しない複数のレバーを有し、各レバーは、前記往復動部材からの力を受ける力点部と、前記ケーシングに当接して各レバーの回動の中心となる支点部と、前記移動部材へ力を伝える作用点部とを有する。
また、前記力点部は、前記各レバーの内端部であり、前記支点部は、前記各レバーの外端部であり、前記作用点部は、前記内端部と前記外端部との間に位置してもよい。
また、前記倍力機構は、前記複数のレバーを保持するリテーナを備えてもよい。
また、前記駆動手段は、外部から供給される駆動流体により駆動し、前記往復動部材が接続されたピストンと、前記移動部材に向かって前記往復動部材を付勢する付勢手段と、を備えてもよい。
また、本発明の一態様であるバルブは、前記ボディに接続されるケーシングと、前記ケーシング内に往復動可能に設けられた往復動部材と、前記ケーシング内に設けられ、前記往復動部材を駆動させる駆動手段と、前記駆動手段により前記往復動部材にかかった駆動力を倍力させる倍力機構と、前記弁体により前記流体通路を開閉させるために、前記ボディに対し近接および離間移動可能に設けられ、前記倍力機構により倍力された力を受けて移動する移動部材と、を備え、前記倍力機構は、前記移動部材の周方向に配置され、前記駆動力を倍力するときに変形しない複数のレバーを有し、各レバーは、前記往復動部材からの力を受ける力点部と、前記ケーシングに当接して各レバーの回動の中心となる支点部と、前記移動部材へ力を伝える作用点部とを有する。
また、本発明の一態様である流体制御装置は、前複数の流体制御機器により構成される流体制御装置であって、前記複数の流体制御機器の少なくとも一つは、上記のバルブである。
本発明によれば、耐久性に優れた倍力機構を有するアクチュエータ、バルブ、および流体制御装置を提供することができる。
本発明の一実施形態によるアクチュエータ、バルブ、および流体制御装置について、図面を参照して説明する。
図1は、本実施形態における閉状態にあるバルブ1の縦断面図を示している。図1に示すように、バルブ1は、ダイヤフラムバルブであり、流体制御装置55(図6)の複数の流体制御機器により構成されるガスライン(例えば、ガスラインの最も上流側)で使用されるバルブである。
バルブ1は、ボディ2と、アクチュエータ3とを備える。なお、以下の説明において、バルブ1の、アクチュエータ3を上側、ボディ2側を下側として説明する。
ボディ2には、円柱状の弁室2aと、弁室2aに連通する流入路2bおよび流出路2cとが形成されている。ボディ2の流入路2bと弁室2aとが連通する箇所の周縁(流入路2bの開口部)には、ケーシング10に向かって突出する円環状の弁座2Dが設けられている。弁座2Dは、ボディ2と同じ金属材料により構成される。また、ボディ2は、上方に延びるように設けられ、円筒状をなし、内周部に雌ねじ部が形成された円筒部2Eを有する。
アクチュエータ3は、ケーシング10と、押さえアダプタ12と、ダイヤフラム押さえ13と、ロッド14と、移動部材15と、駆動部20と、第1〜第4Oリング4A〜4Dとを有する。
ケーシング10は、ボンネット16と、中間ケーシング17と、アクチュエータキャップ18と、支持リング19とを備える。
ボンネット16は、略円筒状をなし、その下端部の外周の雄ねじ部がボディ2の円筒部2Eに対し螺合されることにより、ボディ2に対し固定されている。ボンネット16の上端部の内周には、雌ねじ部が形成されている。
中間ケーシング17は、略円筒状をなし、上側部17Aと、下側部17Bとを有する。上側部17Aには、貫通孔17cが形成され、下側部17Bには、貫通孔17cよりも内径が大きい収容孔17dが形成されている。下側部17Bの外周には、外方へ突出する突出部17Eが設けられている。下側部17Bの外周面であって突出部17Eの上下には、それぞれ雄ねじ部が形成されている。突出部17Eの下側の雄ねじ部が、ボンネット16の上端部の雌ねじ部に螺合することにより、中間ケーシング17がボンネット16に対し固定されている。下側部17Bの下端は、環状の下面17Fを有し、下面17Fの内径側は、後述の支持リング19の内径よりも内側に位置するように構成されている。上側部17Aの外周には、駆動流体が後述の流体導入室21dから漏れるのを防止する第1Oリング4Aが設けられている。
アクチュエータキャップ18は、略円筒状をなし、その下端部の内周に設けられた雌ねじ部を中間ケーシング17の突出部17Eの上側の雄ねじ部に螺合させることにより、中間ケーシング17に対し固定されている。アクチュエータキャップ18には、駆動流体が流入する流体流入路18aが形成され、流体流入路18aの上端部には、図示せぬ管継手を螺合するための被螺合部18bが形成されている。
支持リング19は、円筒状をなし、ボンネット16の内周に設けられた段差部16A上に配置されている。支持リング19の上端は、中間ケーシング17の下面17Fに当接し、支持リング19の下端は、ボンネット16の内周に設けれた段差部16Aに当接している。これにより、支持リング19は、ボンネット16に対し上下動不能である。また、支持リング19の内周には、内方に突出する突出部19Aが設けられている。
ダイヤフラム11は、複数枚のダイヤフラムにより構成され、環状の押さえアダプタ12により、その外周縁部が狭圧され、ボディ2に対し保持されている。弁体であるダイヤフラム11は、略球殻状をなし、上に凸の略円弧状が自然状態となっている。ダイヤフラム11が弁座2Dに対し当接および離間することによって、流入路2bと流出路2cとの間の連通または遮断が行われる。バルブ1が閉状態にあるときには、ダイヤフラム11が弁座2Dに当接し、流入路2bと流出路2cとが遮断される。バルブ1が開状態にあるときには、ダイヤフラム11が弁座2Dから離間し、流入路2bと流出路2cとが連通する。
ダイヤフラム押さえ13は、ダイヤフラム11の上側に設けられ、押さえアダプタ12により上下方向に移動可能に支持され、ダイヤフラム11の中央部を押圧可能である。
ロッド14は、ダイヤフラム押さえ13の上側に設けられ、押さえアダプタ12により上下方向に移動可能に支持され、ダイヤフラム押さえ13を押圧可能である。
移動部材15は、ボンネット16の下端部において、上下方向に移動可能に支持されている。移動部材15は、円柱部15Aとフランジ部15Bとを有する。円柱部15Aは、ロッド14を押圧可能である。フランジ部15Bは、円柱部15Aの上側部に外方に突出するように設けられている。フランジ部15Bの上面15Cの中央部には、凹部15dが形成されている。フランジ部15Bの外周縁には、上方に突出する環状の第1突起部15Eが設けられている。
駆動部20は、ピストン21と、ばね受け部材22と、2本のコイルばね23と、倍力機構30とにより構成される。駆動部20は、空圧駆動式の駆動部である。なお、ピストン21と2本のコイルばね23とは駆動手段に相当し、ばね受け部材22は往復動部材に相当する
ピストン21は、略円板状をなす基部21Aと、基部21Aの中央部から上側に延びる第1上延出部21Bと、基部21Aの中央部から下側に延びる第1下延出部21Cとを備える。
基部21Aは、アクチュエータキャップ18内において、中間ケーシング17の上側部17Aの上側に位置している。基部21Aの外周縁には、第2Oリング4Bが設けられている。第2Oリング4Bにより、基部21Aの上下方向への移動時における基部21Aの径方向の移動が抑制される。基部21Aの下面と中間ケーシング17の上側部17Aの上面とにより、流体導入室21dが形成される。第2Oリング4Bは、駆動流体が流体導入室21dから漏れるのを防止する。
第1上延出部21Bの上側部は、流体流入路18a内に挿入されている。第3Oリング4Cにより、第1上延出部21Bの上下方向への移動時における第1上延出部21Bの径方向の移動が抑制される。また、第3Oリング4Cは、駆動流体が外部に漏れるのを防止する。ピストン21には、第1上延出部21Bの上端から基部21Aの下面に延び、流体導入室21dに連通する流体導入路21eが形成されている。
第1下延出部21Cは、貫通孔17cに貫通されており、第4Oリング4Dにより、第1下延出部21Cの上下方向への移動時における第1下延出部21Cの径方向の移動が抑制される。第4Oリング4Dは、駆動流体が流体導入室21dから漏れるのを防止する。第1下延出部21Cの下端部の外周には雄ねじ部が形成されている。
ばね受け部材22は、ピストン21の下側に位置し、ばね受け部22Aと、第2上延出部22Bと、第2下延出部22Cとを備える。ばね受け部材22は、ピストン21と共にケーシング10内を上下方向に往復動可能に設けられている。
ばね受け部22Aは、円板状の本体部22Dと、本体部22Dの上面から上側に突出する円板状の上突出部22Eと、本体部22Dの下面から下側に突出する円板状の下突出部22Fとを有する。本体部22Dは、中間ケーシング17内に位置し、本体部22Dの直径は、中間ケーシング17の収容孔17dの内径よりも小さく構成されている。
第2上延出部22Bは、有底円筒状をなし、上突出部22Eの中央部から上側に延びるように設けられている。第2上延出部22Bの内周面には雌ねじ部が形成され、第1下延出部21Cの雄ねじ部に螺合されている。これにより、ピストン21と、ばね受け部材22とは一体的に構成される。
第2下延出部22Cは、正六角柱状をなし、下突出部22Fの中央部から下側に延びるように設けられている。第2下延出部22Cの下端は、移動部材15の凹部15d内に位置するように構成されている。
2本のコイルばね23は、中間ケーシング17の収容孔17d内において、上側部17Aの下面と、ばね受け部22Aの本体部22Dおよび上突出部22Eの上面との間に配置されている。2本のコイルばね23は、ばね受け部材22を常に下側に付勢し、これにより、ピストン21も常に下側に付勢されている。
図2は、倍力機構30付近の断面斜視図を示す。図3(a)は、第1レバー31(第2レバー34)と第1リテーナ32(第2リテーナ35)とを組み合わせた状態の斜視図を示し、図3(b)は、第1リテーナ32(第2リテーナ35)の斜視図を示す。
倍力機構30は、6つの第1レバー31と、第1リテーナ32と、伝達部材33と、6つの第2レバー34と、第2リテーナ35とを備える。
6つの第1レバー31は、それぞれ独立して同形状をなし、第2下延出部22Cの周囲にアクチュエータ3の円周方向に沿って等間隔に配置されている。各第1レバー31は、金属(例えば、ステンレス鋼)、樹脂、セラミックス等により構成され、後述のバルブ1の開閉動作時に変形しない(歪まない)硬さを有している。すなわち、各第1レバー31は、バルブ1の開閉動作に対し剛体として機能する。各第1レバー31は、内側部31Aと、外側部31Bとを有し、外側部31Bから内側部31Aに向かって先細る形状をなしている。外側部31Bは、内側部31Aに対し、上側に屈曲するように接続されている。内側部31Aには、係合孔31cが形成されている。
各第1レバー31は、その外端部31Dが、中間ケーシング17の下面17Fに当接し、内端部31Eが、第2下延出部22Cの正六角柱の各面に対向して下突出部22Fの下面22Gに当接するように配置される。
第1リテーナ32は、ゴム等の柔軟性を有する材料により構成され、平面視で略六角形状をなし、正六角形状の挿入孔32aが形成されている。第1リテーナ32は、環状部32Bと、6つの係合突起32Cと、6つの支持突起32Dとを有する。
6つの係合突起32Cは、それぞれ略円柱状をなし、環状部32Bに対しアクチュエータ3の円周方向に等間隔に配置されている。
6つの支持突起32Dは、それぞれ隣り合う係合突起32Cの間に設けられており、平面視で環状部32Bの中心に向かって先細る形状をなしている。
各第1レバー31は、その内側部31Aの係合孔31cに、第1リテーナ32の係合突起32Cを挿入することにより、第1リテーナ32に保持される。各第1レバー31は、隣り合う支持突起32Dの間に配置されることにより、各第1レバー31の回転が抑制される。
環状部32Bの正六角形状の挿入孔32aに、正六角柱状の第2下延出部22Cが挿入される。挿入孔32aは、第2下延出部22Cの外形よりもわずかに大きい寸法を有するので、第1リテーナ32の第2下延出部22Cに対する回転が抑制される。
伝達部材33は、第1レバー31および第1リテーナ32の下側に位置し、環状をなし、正六角形状の挿入孔33aが形成されている。伝達部材33の上面33Bの外周縁には、上方に突出する環状の第2突起部33Cが設けられている。第2突起部33Cは、各第1レバー31の外側部31Bに対し、外端部31Dよりも内側において下側から当接している。伝達部材33の下面33Dの内周縁には、下方に突出する環状の第3突起部33Eが設けられている。第3突起部33Eは、第2突起部33Cよりも内方に位置する。伝達部材33の上面33Bであって、第2突起部33Cよりも内側には、凹部33fが形成されている。
伝達部材33の正六角形状の挿入孔33aに、正六角柱状の第2下延出部22Cが挿入される。挿入孔33aは、第2下延出部22Cの外形よりもわずかに大きい寸法を有するので、伝達部材33の第2下延出部22Cに対する回転が抑制される。
6つの第2レバー34および第2リテーナ35は、伝達部材33の下側に位置し、それぞれ6つの第1レバー31および第1リテーナ32と同様の構成・形状を有する。
すなわち、各第2レバー34は、金属(例えば、ステンレス鋼)、樹脂、セラミックス等により構成され、後述のバルブ1の開閉動作時に変形しない(歪まない)硬さを有し、係合孔34cが形成された内側部34Aと、外側部34Bとを有する。各第2レバー34は、その外端部34Dが、支持リング19の突出部19Aの下面19Bに当接し、内端部34Eが、第2下延出部22Cの正六角柱の各面に対向して第3突起部33Eに当接するように配置される。
第2リテーナ35には、正六角形状の挿入孔35aが形成されている。第2リテーナ35は、環状部35Bと、6つの係合突起35Cと、6つの支持突起35Dとを有する。
各第2レバー34は、その内側部34Aの係合孔34cに、第2リテーナ35の係合突起35Cを挿入することにより、第2リテーナ35に保持される。各第2レバー34は、隣り合う支持突起35Dの間に配置されることにより、各第2レバー34の回転が抑制される。
環状部35Bの正六角形状の挿入孔35aに、正六角柱状の第2下延出部22Cが挿入される。挿入孔35aは、第2下延出部22Cの外形よりもわずかに大きい寸法を有するので、第2リテーナ35の第2下延出部22Cに対する回転が抑制される。
図1に示すように、バルブ1が閉状態にある場合には、流体導入室21dに駆動流体は流入しておらず、ばね受け部材22は、2本のコイルばね23により下方に付勢されて、最下端に位置している。バルブ1が図5に示す開状態から図4に示す閉状態になるときには、各第1レバー31の内端部31Eが下突出部22Fの下面22Gに押されて、中間ケーシング17の下面17Fに当接する外端部31Dを中心に回動する。これにより、第1レバー31に下方から当接する伝達部材33の第2突起部33Cが下方に押されて、伝達部材33が下方に移動する。
伝達部材33が下方に移動することにより、各第2レバー34の内端部34Eが伝達部材33の第3突起部33Eに押されて、支持リング19の突出部19Aの下面19Bに当接し外端部34Dを中心に回動する。これにより、第2レバー34に下方から当接する移動部材15の第1突起部15Eが下方に押されて、移動部材15が下方に移動する。
移動部材15がロッド14を下方に押圧し、ロッド14がダイヤフラム押さえ13を下方に押圧することにより、ダイヤフラム11が押圧されて、弁座2Dに当接し、流入路2bと流出路2cとの連通が遮断される。
本実施形態では、2本のコイルばね23が、ばね受け部材22のばね受け部22Aを押す力(駆動力)は、倍力機構30により倍力されて、移動部材15を押圧するように構成されている。すなわち、第1レバー31の外端部31Dの中間ケーシング17の下面17Fに対する当接部A1を支点、第1レバー31の内端部31Eの下突出部22Fの下面22Gに対する当接部B1を力点、第1レバー31の外側部31Bの伝達部材33の第2突起部33Cに対する当接部C1を作用点として、てこの原理により力が倍力されて、伝達部材33に伝達される。このように、第1レバー31の内端部31Eは力点部、外端部31Dは支点部、第1レバー31の外側部31Bの第2突起部33Cに対して当接する部分は作用点部に相当する。
さらに、第2レバー34の外端部34Dの支持リング19の突出部19Aの下面19Bに対する当接部A2を支点、第2レバー34の内端部34Eの伝達部材33の第3突起部33Eに対する当接部B2を力点、第2レバー34の内側部34Aの移動部材15の第1突起部15Eに対する当接部C2を作用点として、てこの原理により力が倍力されて、移動部材15に伝達される。なお、第2レバー34の内端部34Eは力点部、外端部34Dは支点部、第2レバー34の内側部34Aの第1突起部15Eに対して当接する部分は作用点部に相当する。
このようにして、2本のコイルばね23の付勢力は、倍力機構30により倍力されて、移動部材15を押圧するように構成される。これにより、2本のコイルばね23の付勢力が小さくても、流入路2bを流れる流体の圧力に抗して、ダイヤフラム11を押圧して、流入路2bと流出路2cとの連通を遮断することができる。
また、駆動流体を、流体流入路18aおよび流体導入路21eを介して、流体導入室21dに導入することにより、ピストン21およびばね受け部材22に対し空気圧による上向きの力が働く。この力を、2本のコイルばね23の付勢力よりも大きくすることにより、ピストン21およびばね受け部材22は上側に移動する。これにより、移動部材15を押す力がなくなるので、ダイヤフラム11が流入路2bを流れる流体の圧力およびダイヤフラム11の復元力により押し上げられ、弁座2Dから離間し、弁が開かれる。
この時、ダイヤフラム11が押し上げられることによって、ダイヤフラム押さえ13およびロッド14が押し上げられ、移動部材15も押し上げられる。これにより、図5に示すように、第2レバー34が移動部材15の第1突起部15Eにより上方に押されて、第2レバー34は、その外端部34Dを中心に回動して、内端部34Eが押し上げられる。その結果、第2レバー34の内端部34Eにより、伝達部材33の第3突起部33Eが上方に押され、伝達部材33の第2突起部33Cにより、第1レバー31が上方に押されて、第1レバー31は、その外端部31Dを中心に回動して、内端部31Eが押し上げられる。
なお、弁を開けるために必要な空気圧は、2本のコイルばね23の付勢力よりもわずかに大きければ十分であり、2本のコイルばね23の付勢力は倍力機構30により、小さくできるものであるから、弁を開けるために必要な空気圧は小さくてよい。
以上のように、本実施形態のアクチュエータ3を備えるバルブ1によれば、倍力機構30は、2本のコイルばね23の付勢力(駆動力)を倍力するときに変形しない複数の第1レバー31を有し、各第1レバー31は、ばね受け部材22のばね受け部22Aから力を受ける力点部(内端部31E)と、中間ケーシング17の下面17Fに当接して第1レバー31の回動の中心となる支点部(外端部31D)と、移動部材15へ力を伝える作用点部(外側部31Bの第2突起部33Cに対して当接する部分)とを有する。
かかる構成により、バルブ1の開閉動作時に各第1レバー31が変形しない。すなわち、各第1レバー31が、繰返し応力を受けても変形せず、疲労破壊を起こすようなミクロレベルでの塑性変形する弾塑性域も変形しない。このため、アクチュエータ3およびバルブ1の要求開閉回数が例えば1000万回以上であったとしても、当該要求を満たす耐久性に優れたアクチュエータ3およびバルブ1を提供することができる。
また、複数の第1レバー31は、第1リテーナ32により保持されるので、アクチュエータ3およびバルブ1の組立性を向上させることができる。
また、駆動手段は、ばね受け部材22が接続されたピストン21と、移動部材15に向かってばね受け部材22を付勢する2本のコイルばね23とにより構成される。かかる構成によれば、複数の第1レバー31によりコイルばね23の付勢力(駆動力)が倍力されるので、コイルばね23の付勢力が小さくても、流入路2bを流れる流体の圧力に抗して、ダイヤフラム11を押圧して、流入路2bと流出路2cとの連通が遮断することができる。
次に、上記で説明したバルブ1が使用される流体制御装置55および流体制御装置55を備える半導体製造装置60について説明する。
図6は、半導体製造装置60の概略図である。半導体製造装置60は、例えば、CVD装置であり、流体制御装置55を有するガス供給手段50と、真空チャンバ70と、排気手段80とを有し、ウェハ上に不動態膜(酸化膜)を形成する装置である。
ガス供給手段50は、ガス供給源51と、圧力計52と、流体制御装置55とを備える。流体制御装置55は、複数の流体制御機器により構成される複数のガスラインを有し、流体制御機器として、開閉弁53、54と、MFC1〜4(マスフローコントローラ)とを備える。ガス供給手段50と真空チャンバ70との間には、開閉弁61が設けられている。真空チャンバ70は、ウェハ72を載置するための載置台71と、ウェハ72上に薄膜を形成するための電極73とを備える。真空チャンバ70には、商用電源62が接続されている。排気手段80は、排気配管81と、開閉弁82と、集塵機83とを備える。
ウェハ72上に薄膜を形成する時には、開閉弁53、54の開閉、MFC1〜4、および開閉弁61の開閉により、真空チャンバ70へのガスの供給が制御される。また、ウェハ72上に薄膜を形成した際に発生する副生成物たる粉粒体を除去する時には、開閉弁82が開状態とされ、排気配管81を介して集塵機83により粉粒体が除去される。
そして、開閉弁53、54、61、82に対して、本実施形態におけるバルブ1を適用することができる。上記のように、バルブ1は耐久性に優れているので、耐久性に優れた流体制御装置55を提供することができる。
なお、半導体製造装置60がCVD装置の場合について説明したが、スパッタリング装置またはエッチング装置であっても良い。エッチング装置(ドライエッチング装置)は、処理室、ガス供給手段(流体制御装置)、排気手段から構成され、反応性の気体による腐食作用によって、材料表面等を加工する装置である。スパッタリング装置は、ターゲット、真空チャンバ、ガス供給手段(流体制御装置)、排気手段から構成され、材料表面を成膜する装置である。
なお、本実施形態は、上述した実施形態に限定されない。当業者であれば、本発明の範囲内で、種々の追加や変更等を行うことができる。
例えば、上記の実施形態における倍力機構30は、6つの第1レバー31と、第1リテーナ32と、伝達部材33と、6つの第2レバー34と、第2リテーナ35とを備えていたが、6つの第1レバー31および第1リテーナ32のみにより構成されていてもよいし、6つの第1レバー31のみにより構成されていてもよい。また、倍力機構30は、6つの第1レバー31を有していたが、2つ以上であればよい。
また、付勢手段は2本のコイルばね23であったが、皿ばねであってもよい。また、2本のコイルばね23は、ピストン21の下側に設けてばね受け部材22を付勢するように構成したが、ピストン21の上側に設けてピストン21の上側から付勢するように構成してもよい。
また、上記の実施形態では、駆動手段は、ピストン21および2本のコイルばね23により構成したが、他の構成であってもよい。また、上記の実施形態では、アクチュエータ3は、押さえアダプタ12、ダイヤフラム押さえ13、およびロッド14を備える構成としたが、これらを備えなくてもよい。また、弁座2Dは、ボディ2と同じ金属材料により構成したが、樹脂からなる環状のシートを埋め込んで弁座を構成してもよい。
1:バルブ、 2:ボディ、 2b:流入路、 2c:流出路、 3:アクチュエータ、 10:ケーシング、 11:ダイヤフラム、 15:移動部材、 16:ボンネット、 17:中間ケーシング、 18:アクチュエータキャップ、 19:支持リング、 20:駆動部、 21:ピストン、 22:ばね受け部材、 23:コイルばね、 30:倍力機構、 31:第1レバー、 32:第1リテーナ、 31A:内側部、 31B:外側部、 31D:外端部、 31E:内端部、 55:流体制御装置
Claims (6)
- ケーシングと、
前記ケーシング内に往復動可能に設けられた往復動部材と、
前記ケーシング内に設けられ、前記往復動部材を駆動させる駆動手段と、
前記駆動手段により前記往復動部材にかかった駆動力を倍力させる倍力機構と、
前記倍力機構により倍力された力を受けて移動する移動部材と、を備え、
前記倍力機構は、前記移動部材の周方向に配置され、前記駆動力を倍力するときに変形しない複数のレバーを有し、
各レバーは、前記往復動部材からの力を受ける力点部と、前記ケーシングに当接して各レバーの回動の中心となる支点部と、前記移動部材へ力を伝える作用点部とを有する、アクチュエータ。 - 前記力点部は、前記各レバーの内端部であり、前記支点部は、前記各レバーの外端部であり、前記作用点部は、前記内端部と前記外端部との間に位置する、請求項1に記載のアクチュエータ。
- 前記倍力機構は、前記複数のレバーを保持するリテーナを備える、請求項1または請求項2に記載のアクチュエータ。
- 前記駆動手段は、
外部から供給される駆動流体により駆動し、前記往復動部材が接続されたピストンと、
前記移動部材に向かって前記往復動部材を付勢する付勢手段と、を備える、請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のアクチュエータ。 - 流体通路が形成されたボディと、
前記流体通路を開閉する弁体と、
前記ボディに接続されるケーシングと、
前記ケーシング内に往復動可能に設けられた往復動部材と、
前記ケーシング内に設けられ、前記往復動部材を駆動させる駆動手段と、
前記駆動手段により前記往復動部材にかかった駆動力を倍力させる倍力機構と、
前記弁体により前記流体通路を開閉させるために、前記ボディに対し近接および離間移動可能に設けられ、前記倍力機構により倍力された力を受けて移動する移動部材と、を備え、
前記倍力機構は、前記移動部材の周方向に配置され、前記駆動力を倍力するときに変形しない複数のレバーを有し、
各レバーは、前記往復動部材からの力を受ける力点部と、前記ケーシングに当接して各レバーの回動の中心となる支点部と、前記移動部材へ力を伝える作用点部とを有する、バルブ。 - 複数の流体制御機器により構成される流体制御装置であって、
前記複数の流体制御機器の少なくとも一つは、請求項5に記載のバルブである流体制御装置。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017188104A JP2019065866A (ja) | 2017-09-28 | 2017-09-28 | アクチュエータ、バルブ、および流体制御装置 |
KR1020207008653A KR102345939B1 (ko) | 2017-09-28 | 2018-09-25 | 액추에이터, 밸브, 및 유체 제어 장치 |
PCT/JP2018/035379 WO2019065602A1 (ja) | 2017-09-28 | 2018-09-25 | アクチュエータ、バルブ、および流体制御装置 |
CN201880056944.7A CN111051754A (zh) | 2017-09-28 | 2018-09-25 | 致动器、阀、以及流体控制装置 |
TW107133995A TWI683070B (zh) | 2017-09-28 | 2018-09-27 | 致動器、閥、及流體控制裝置 |
US16/832,448 US11067195B2 (en) | 2017-09-28 | 2020-03-27 | Actuator, valve device, and fluid control apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017188104A JP2019065866A (ja) | 2017-09-28 | 2017-09-28 | アクチュエータ、バルブ、および流体制御装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019065866A true JP2019065866A (ja) | 2019-04-25 |
Family
ID=66337814
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017188104A Pending JP2019065866A (ja) | 2017-09-28 | 2017-09-28 | アクチュエータ、バルブ、および流体制御装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2019065866A (ja) |
-
2017
- 2017-09-28 JP JP2017188104A patent/JP2019065866A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6646701B2 (ja) | 溶接されたダイヤフラム弁座担体を有するダイヤフラム弁 | |
JPWO2019193978A1 (ja) | バルブ装置および流体制御装置、流体制御方法、半導体製造装置及び半導体製造方法 | |
KR102503774B1 (ko) | 밸브 장치 | |
TWI698729B (zh) | 閥裝置、流體控制裝置、流體控制方法、半導體製造裝置及半導體製造方法 | |
JP2016089885A (ja) | バルブ、流体制御装置、半導体制御装置、および半導体製造方法 | |
JP7202597B2 (ja) | アクチュエータおよびこれを用いたバルブ装置 | |
WO2014010412A1 (ja) | 流体制御器用アクチュエータ | |
US11067195B2 (en) | Actuator, valve device, and fluid control apparatus | |
JP6933369B2 (ja) | アクチュエータ、バルブ、および流体制御装置 | |
JP2019065867A (ja) | アクチュエータ、バルブ、および流体制御装置 | |
JP7279954B2 (ja) | アクチュエータ、バルブ、および流体制御装置 | |
JP2019065866A (ja) | アクチュエータ、バルブ、および流体制御装置 | |
KR20170056453A (ko) | 다이어프램 밸브 및 그 제조 방법 | |
WO2019009107A1 (ja) | アクチュエータ、バルブ、および半導体製造装置 | |
JP2021071129A (ja) | シートおよびバルブ | |
JP7148989B2 (ja) | アクチュエータ、バルブ、流体供給システム、および半導体製造装置 | |
WO2020217961A1 (ja) | ダイヤフラム、バルブ、および成膜方法 | |
US20240240726A1 (en) | Diaphragm valve with actuator bearing element | |
JP7445314B2 (ja) | ダイヤフラム、バルブ、およびダイヤフラムの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20191023 |