WO2019022055A1 - 共振式センサ - Google Patents

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幸治 弘中
文彦 望月
高久 浩二
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富士フイルム株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to a resonant sensor.
  • Non-Patent Document 1 discloses that a resonant sensor (specifically, a quartz oscillator microbalance sensor) having a receiving layer containing a porphyrin compound is used to detect hydrocarbons in the system. It is done.
  • a resonant sensor specifically, a quartz oscillator microbalance sensor
  • Non-Patent Document 1 When a resonant type sensor having a receiving layer composed of a porphyrin type compound disclosed by Non-Patent Document 1 by the present inventors was produced, the component to be detected (in particular, hydrocarbon) contained in low concentration in the system is highly sensitive. And it could not detect selectively.
  • an object of the present invention is to provide a resonance type sensor which is excellent in sensitivity and selectivity to a detection target component contained in low concentration in a system.
  • R 1 is an alkyl group. Plural R 1 's may be the same as or different from each other.
  • R 2 is a hydrogen atom, an alkyl group or an aryl group.
  • a numerical range represented using “to” means a range including numerical values described before and after “to” as the lower limit value and the upper limit value.
  • the weight average molecular weight is defined as a polystyrene conversion value by GPC (Gel Permeation Chromatography) measurement.
  • GPC measurement uses HLC-8121GPC (made by Tosoh Corp.) and uses two TSKgel GMH HR -H (20) HT (made by Tosoh, 7.8 mm ID ⁇ 30 cm) as a column, 1,2 as an eluent Use 4-trichlorobenzene.
  • the conditions are a sample concentration of 0.02% by mass, a flow rate of 1.0 ml / min, a sample injection amount of 300 ⁇ l, a measurement temperature of 160 ° C., and an IR (infrared) detector.
  • ppm means “parts-per-million (10 ⁇ 6 )” and “ppt” means “parts-per-trillion (10 ⁇ 12 )”.
  • the resonant sensor of the present invention has a receiving layer containing a polymer having a repeating unit represented by the following formula (1) (hereinafter, also referred to as "specific polymer").
  • the resonance type sensor according to the present invention detects the component to be detected as a result of the component to be detected adsorbing to the receptor layer through some interaction between the specific polymer contained in the receptor layer and the component to be detected.
  • the resonant sensor of the present invention is excellent in sensitivity and selectivity to a component to be detected (in particular, hydrocarbon) contained in a low concentration in the system.
  • the specific polymer is a polymer having a repeating unit represented by the following formula (1).
  • R 1 is an alkyl group.
  • the alkyl group may be linear, branched or cyclic, and has sensitivity and selectivity to a component to be detected (in particular, hydrocarbon) contained in a low concentration in the system. Is preferably linear or branched, and more preferably linear.
  • the carbon number of the alkyl group is preferably 1 to 8, more preferably 1 to 6, and particularly preferably 1 to 4 from the viewpoint that sensitivity and selectivity to a low concentration detection target component (particularly, hydrocarbon) are further increased.
  • Plural R 1 's may be the same as or different from each other.
  • R 2 is a hydrogen atom, an alkyl group or an aryl group, and is preferably a hydrogen atom or an alkyl group from the viewpoint of higher sensitivity and selectivity to a low concentration of a component to be detected (in particular, hydrocarbon); Particularly preferred.
  • the definition and preferred embodiment of the alkyl group in R 2 are the same as the alkyl group in R 1 .
  • the alkyl group in R 2 may have a substituent such as a silyl group.
  • the alkyl group in R 2 has a substituent, the number of carbons of the substituent is not included in the number of carbons of the alkyl group.
  • the aryl group may be monocyclic or polycyclic, but is preferably monocyclic from the viewpoint of higher sensitivity and selectivity to a low concentration of a component to be detected (particularly, hydrocarbon).
  • the aryl group may be unsubstituted or may have a substituent.
  • specific examples of the substituent include a halogen atom (for example, a chlorine atom, a fluorine atom, a bromine atom), an alkyl group, and a halogenated alkyl group.
  • the number of carbon atoms of the aryl group is preferably 6 to 20, more preferably 6 to 14, and particularly preferably 6 to 8, from the viewpoint of higher sensitivity and selectivity to a low concentration detection target component (particularly, hydrocarbon). .
  • the aryl group has a substituent, the number of carbons of the substituent is not included in the number of carbons of the aryl group.
  • Specific examples of the aryl group include phenyl group, benzyl group, phenethyl group, tolyl group, naphthyl group and biphenyl group.
  • the content of the repeating unit represented by the formula (1) is preferably 20 to 100% by mole, relative to all repeating units of the specific polymer, from the viewpoint that the sensitivity and selectivity of the resonance sensor are more excellent. 100 mol% is particularly preferred.
  • the weight average molecular weight of the specific polymer is preferably 10,000 to 5,000,000, and particularly preferably 50,000 to 2,000,000, from the viewpoint that the sensitivity and selectivity of the resonance sensor are more excellent.
  • the specific polymer may contain another repeating unit other than the repeating unit represented by the formula (1).
  • the resonant sensor of the present invention has a receiving layer containing a specific polymer.
  • the configuration of the resonant sensor of the present invention is not particularly limited as long as it has a predetermined receiving layer, but it is preferable to have at least a resonant sensor body and a receiving layer containing a specific polymer.
  • the resonance type sensor may have other members other than the predetermined receiving layer and the resonance type sensor main body.
  • the content of the specific polymer in the receiving layer varies depending on the form of the resonant sensor, but is preferably 10 to 100% by mass, more preferably 30 to 100% by mass, and more preferably 50 to 100% by mass with respect to the total mass of the receiving layer. 100% by weight is particularly preferred.
  • the film thickness of the receptor layer containing the specific polymer varies depending on the form of the resonant sensor, but is preferably 10 nm to 100 ⁇ m, more preferably 50 nm to 50 ⁇ m, and particularly preferably 100 nm to 10 ⁇ m.
  • the resonant sensor of the present invention further has another receptive layer. If the resonant sensor has other receiving layers with different properties, it has the advantage, for example, that other components can also be detected or the measurement accuracy for the composite gas can be improved.
  • the receptive layer containing the specific polymer and the other receptive layer may be separately disposed or may be laminated. Specific examples of other receiving layers include those obtained using hydrophilic compounds (eg, polyvinyl pyrrolidone).
  • hydrophilic compounds eg, polyvinyl pyrrolidone
  • FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing an example of a laminated structure in a resonant sensor of the present invention.
  • the resonant sensor shown in FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing an example of a laminated structure in a resonant sensor of the present invention. The resonant sensor shown in FIG.
  • a substrate for supporting the resonant sensor may be provided on the surface of the first electrode 1 opposite to the side in contact with the dielectric material 2. If the dielectric material is self-oscillating, the substrate is not essential. On the other hand, in the case where the dielectric material is a ceramic piezoelectric element or the like, a substrate is required to resonantly drive the element.
  • a fine dielectric material piezoelectric material
  • mass increase due to gas adsorption on the surface of the dielectric material is resonated. It is detected as a change in frequency (specifically, a decrease).
  • QCM Quadrat Crystal Mass micro-balancing
  • a QCM sensor In a QCM sensor, electrodes are usually provided on both sides of a thin film of quartz cut out at a specific angle (AT-cut), and voltage is applied to cause shear vibration at a resonance frequency in the horizontal direction with the quartz plane. The resonance frequency decreases with the mass of the gas adsorbed on the electrode, so that the mass change of the substance on the electrode can be captured.
  • a QCM sensor having a quartz oscillator consisting of quartz and electrodes sandwiching the quartz is known per se, can be prepared by an ordinary method, and may be a commercially available product.
  • the QCM sensor as one mode of the resonance type sensor of the present invention includes a specific polymer for adsorbing a component to be detected on the surface of one of a pair of electrodes provided sandwiching a dielectric material.
  • a receptive layer As a resonance type sensor of the present invention, a QCM sensor having a quartz oscillator and a receiving layer disposed on the quartz oscillator is preferable. The mass of the detection target component adsorbed to the receiving layer containing this specific polymer is detected as a change (specifically, a decrease) of the resonance frequency of the quartz oscillator that is resonantly driven.
  • a resonant sensor using a ceramic dielectric may be employed without using quartz or quartz as the dielectric material.
  • Such sensors include cantilever sensors and surface acoustic wave (SAW) sensors. Since a ceramic dielectric material can be deposited on a substrate using a sputtering method, a vacuum evaporation method or the like, there is an advantage that it can be applied to fabrication of a sensor using MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) technology.
  • Such ceramic dielectric materials include, for example, lead zirconate titanate (PZT), niobium doped lead zirconate titanate (PZTN), zinc oxide (ZnO), and aluminum nitride (AIN).
  • electrodes are disposed on both sides of a film formed of the above-mentioned ceramic dielectric material, and a specific voltage is applied between the electrodes to resonate the ceramic dielectric material.
  • a resonance type sensor using a ceramic dielectric material is used as a resonance type sensor according to the present invention
  • a component to be detected is adsorbed on the surface of one of a pair of electrodes provided sandwiching the dielectric material. It is preferable to arrange a receptive layer containing the specific polymer of The mass of the detection target component adsorbed to the receiving layer containing this specific polymer is detected as a change (specifically, a decrease) in the resonant frequency of the ceramic dielectric material to be resonantly driven.
  • the application of the resonant sensor according to the present invention is not particularly limited, and examples thereof include for examination of breath or skin gas, for quantitative measurement of odor, for examination of gas leak, and for environmental research.
  • the resonance type sensor according to the present invention can detect a component to be detected (in particular, hydrocarbon) contained at low concentration in the system with high sensitivity and high selection. Therefore, the resonance type sensor of the present invention is particularly suitable for examination of exhalation gas or skin gas containing a low concentration of a detection target component.
  • the skin gas in the present invention is a general term for volatile substances emitted from the body surface.
  • the detection target component is contained in the system at a low concentration
  • the case where the gas of the detection target component is present in the range of 1 volume ppt to 100 volume ppm can be mentioned.
  • the resonant sensor according to the present invention preferably has high sensitivity and selective detection of the detection target component contained in the system in the range of 1 volume ppt to 10 volume ppm which is a lower concentration, and the concentration is still lower. It is particularly preferable to sensitively and selectively detect the detection target component contained in the system in the range of 1 volume ppt to 1 volume ppm.
  • the component to be detected of the resonance type sensor of the present invention is preferably hydrocarbon in that it can be detected with higher sensitivity and higher selection when it is contained in a low concentration in the system.
  • hydrocarbon means a compound consisting only of carbon and hydrogen.
  • the carbon number of the hydrocarbon is preferably 1 to 20, more preferably 2 to 15, and particularly preferably 4 to 10. This makes it possible to detect hydrocarbons contained in low concentration in the system with higher sensitivity and higher selection.
  • the hydrocarbon may be linear, branched or have a cyclic structure. Specific examples of hydrocarbons include saturated aliphatic hydrocarbons, unsaturated aliphatic hydrocarbons and aromatic hydrocarbons.
  • saturated aliphatic hydrocarbons include n-heptane, dimethylpentane and cyclopentane.
  • An isoprene is mentioned as a specific example of unsaturated aliphatic hydrocarbon.
  • a specific example of the aromatic hydrocarbon is toluene.
  • Example 1 A solution of 15 mg of poly (1-trimethylsilyl-1-propyne) (manufactured by Gelest) in 40 g of THF (tetrahydrofuran, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) was prepared. The resulting solution is dropped on one side on a quartz crystal in a QCM sensor (Quartz Crystal Microbalance, manufactured by Tama Device), dried at room temperature, and made of poly (1-trimethylsilyl-1-propyne) as a receiving layer. A film was formed.
  • THF tetrahydrofuran, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.
  • the QCM sensor having the obtained receptive layer was placed in a flow cell, and nitrogen gas was used as a carrier, and various test gases shown below were passed to evaluate the sensitivity and selectivity of the QCM sensor having the receptive layer to the detection target component.
  • the results are shown in Table 1.
  • Example 1 Comparative Example 1 Example 1 and Example 1 except that poly (1-trimethylsilyl-1-propyne) was changed to the tetrakis (butoxyphenyl) porphyrin copper complex described in Sensors and Actuators B 173 (2012) 555-561). Similarly, a QCM sensor having a receiving layer composed of a tetrakis (butoxyphenyl) porphyrin copper complex was obtained. The sensitivity and selectivity for the detection target component of the QCM sensor having the receptive layer were evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.
  • Comparative Example 2 A QCM sensor having a receiving layer made of polyisobutylene was obtained in the same manner as in Example 1 except that poly (1-trimethylsilyl-1-propyne) was changed to polyisobutylene. The sensitivity and selectivity for the detection target component of the QCM sensor having the receptive layer were evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.
  • the QCM sensor (Example 1) having a receiving layer containing a polymer having a repeating unit represented by the formula (1) is a QCM sensor having a receiving layer containing other polymers (comparative example) Compared to 1 and 2), it was shown that hydrocarbons contained in low concentration in the system can be detected with high sensitivity and high selectivity.

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Abstract

本発明の課題は、系中に低濃度で含まれる検知対象成分に対する感度および選択性が優れる共振式センサの提供である。本発明の共振式センサは、式(1)で表される繰り返し単位を有する高分子を含む受容層を有する。式中、Rは、アルキル基である。複数のRは、互いに同一でも、異なっていてもよい。Rは、水素原子、アルキル基またはアリール基である。

Description

共振式センサ
 本発明は、共振式センサに関する。
 空気中を漂う希薄なガスを高感度に検知したり、モニタリングしたりする需要が高まっている。例えば、呼気および皮膚ガスに炭化水素が含まれていることが知られており、炭化水素をセンサで検知した結果を健康状態の診断の指標として利用することが考えられている。
 例えば、非特許文献1には、系中の炭化水素を検知するために、ポルフィリン系化合物を含む受容層を有する共振式センサ(具体的には、水晶振動子マイクロバランスセンサ)を用いることが開示されている。
Sensors and Actuators B 173 (2012) 555-561
 本発明者らが非特許文献1で開示されたポルフィリン系化合物からなる受容層を有する共振式センサを作製したところ、系中に低濃度で含まれる検知対象成分(特に、炭化水素)を高感度かつ選択的に検知できなかった。
 そこで、本発明は、系中に低濃度で含まれる検知対象成分に対する感度および選択性が優れる共振式センサの提供を目的とする。
 本発明者らは、上記課題について鋭意検討した結果、所定の繰り返し単位を有する高分子を受容層に用いれば、所望の効果が得られるのを見出し、本発明に至った。
 すなわち、以下の構成により上記課題が解決できるのを見出した。
[1]
 後述の式(1)で表される繰り返し単位を有する高分子を含む受容層を有する、共振式センサ。
 式(1)中、Rは、アルキル基である。複数のRは、互いに同一でも、異なっていてもよい。
 Rは、水素原子、アルキル基またはアリール基である。
[2]
 炭化水素を検知する、[1]に記載の共振式センサ。
[3]
 上記炭化水素の炭素数が、1~20である、[2]に記載の共振式センサ。
[4]
 呼気または皮膚ガスに含まれる成分を検知する、[1]~[3]のいずれか1つに記載の共振式センサ。
[5]
 上記受容層と、さらに他の受容層とを有する、[1]~[4]のいずれか1つに記載の共振式センサ。
[6]
 水晶振動子マイクロバランス方式によって、共振周波数の変化を検知する、[1]~[5]のいずれか1つに記載の共振式センサ。
 本発明によれば、系中に低濃度で含まれる検知対象成分に対する感度および選択性が優れる共振式センサを提供できる。
本発明の共振式センサの一例を模式的に示す断面図である。
 以下に、本発明の共振式センサについて説明する。
 以下に記載する構成要件の説明は、本発明の代表的な実施態様に基づいてなされる場合があるが、本発明はそのような実施態様に制限されない。
 なお、本発明において「~」を用いて表される数値範囲は、「~」の前後に記載される数値を下限値および上限値として含む範囲を意味する。
 本明細書において、重量平均分子量は、GPC(Gel Permeation Chromatography)測定によるポリスチレン換算値として定義される。
 例えば、GPC測定は、HLC-8121GPC(東ソー製)を用い、カラムとして、TSKgel GMHHR-H(20) HT(東ソー製、7.8mmID×30cm)を2本用い、溶離液として1,2,4-トリクロロベンゼンを用いる。また、条件としては、試料濃度を0.02質量%、流速を1.0ml/min、サンプル注入量を300μl、測定温度を160℃とし、IR(infrared)検出器を用いて行う。
 本明細書において、「ppm」は「parts-per-million(10-6)」を意味し、「ppt」は「parts-per-trillion(10-12)」を意味する。
 本発明の共振式センサは、後述の式(1)で表される繰り返し単位を有する高分子(以下、「特定高分子」ともいう。)を含む受容層を有する。
 本発明の共振式センサは、受容層に含まれる特定高分子と検知対象成分との間の何らかの相互作用を介して、検知対象成分が受容層に吸着する結果、検知対象成分を検知する。
 本発明の共振式センサは、系中に低濃度で含まれる検知対象成分(特に、炭化水素)に対する感度および選択性が優れる。この理由は明らかになっていないが、共振式センサの微量成分の検知能力と、受容層に含まれる特定高分子の検知対象成分の吸着能力とが相乗的に作用し、従来見出されていなかった高い感度を示すと共に、特定高分子のもつ分子認識能力のポテンシャルが発揮されたと考えられる。
[特定高分子]
 特定高分子は、下式(1)で表される繰り返し単位を有する高分子である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000002
 Rは、アルキル基である。
 アルキル基は、直鎖状であっても、分岐状であっても、環状構造を有してもよく、系中に低濃度で含まれる検知対象成分(特に、炭化水素)に対する感度および選択性が高くなる点から、直鎖状または分岐状が好ましく、直鎖状がより好ましい。
 アルキル基の炭素数は、低濃度の検知対象成分(特に、炭化水素)に対する感度および選択性がより高くなる点から、1~8が好ましく、1~6がより好ましく、1~4が特に好ましい。
 複数のRは、互いに同一でも、異なっていてもよい。
 Rは、水素原子、アルキル基またはアリール基であり、低濃度の検知対象成分(特に、炭化水素)に対する感度および選択性がより高くなる点から、水素原子またはアルキル基が好ましく、アルキル基が特に好ましい。
 Rにおけるアルキル基の定義および好適態様は、Rにおけるアルキル基と同様である。ただし、Rにおけるアルキル基は、シリル基等の置換基を有していてもよい。Rにおけるアルキル基が置換基を有する場合、その置換基の炭素数は、アルキル基の炭素数に含めない。
 アリール基は、単環であっても、多環であってもよいが、低濃度の検知対象成分(特に、炭化水素)に対する感度および選択性がより高くなる点から、単環が好ましい。
 アリール基は、無置換であっても、置換基を有していてもよい。アリール基が置換基を有する場合、その置換基の具体例としては、ハロゲン原子(例えば、塩素原子、フッ素原子、臭素原子)、アルキル基、ハロゲン化アルキル基が挙げられる。
 アリール基の炭素数は、低濃度の検知対象成分(特に、炭化水素)に対する感度および選択性がより高くなる点から、6~20が好ましく、6~14がより好ましく、6~8が特に好ましい。なお、本明細書において、アリール基が置換基を有する場合、その置換基の炭素数は、アリール基の炭素数に含めない。
 アリール基の具体例としては、フェニル基、ベンジル基、フェネチル基、トリル基、ナフチル基、ビフェニル基などが挙げられる。
 式(1)で表される繰り返し単位の含有量は、共振式センサの感度および選択性がより優れる点から、特定高分子の全繰り返し単位に対して、20~100モル%が好ましく、50~100モル%が特に好ましい。
 特定高分子の重量平均分子量は、共振式センサの感度および選択性がより優れる点から、10,000~5,000,000が好ましく、50,000~2,000,000が特に好ましい。
 特定高分子は、式(1)で表される繰り返し単位以外の他の繰り返し単位を含んでいてもよい。
 特定高分子の具体例を以下に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000003
[センサの形態]
<受容層>
 本発明の共振式センサは、特定高分子を含む受容層を有する。本発明の共振式センサは、所定の受容層を有していればその構成は特に制限されないが、共振式センサ本体と特定高分子を含む受容層とを少なくとも有するのが好ましい。なお、共振式センサは、所定の受容層および共振式センサ本体以外の他の部材を有していてもよい。
 受容層中の特定高分子の含有量は、共振式センサの形態によっても異なるが、受容層の全質量に対して、10~100質量%が好ましく、30~100質量%がより好ましく、50~100質量%が特に好ましい。
 特定高分子を含む受容層を形成する方法に特に制限はなく、例えば、特定高分子を溶剤(テトラヒドロフラン等)に溶解して得られる組成物を、特定高分子を含む受容層を形成する面に塗布して、さらに得られた塗膜を乾燥して膜を形成する方法が挙げられる。
 特定高分子を含む受容層の膜厚は、共振式センサの形態によっても異なるが、10nm~100μmが好ましく、50nm~50μmがより好ましく、100nm~10μmが特に好ましい。
 なお、本発明の共振式センサは、特定高分子を含む受容層の他にも、さらに他の受容層を有するのも好ましい。共振式センサが、異なる性質を有する他の受容層を有する場合、例えば、他の成分も検知できるようにできたり、複合ガスに対する測定精度を向上できたりする利点がある。特定高分子を含む受容層と他の受容層とは、別々に配置されていてもよいし、積層されていてもよい。
 他の受容層の具体例としては、親水的な化合物(例えば、ポリビニルピロリドン)を用いて得られる受容層が挙げられる。これにより、共振式センサが、特定高分子を含む疎水的な受容層と、親水的な受容層とを有するので、多様な成分の検知が可能となる。
<共振式センサ>
 本発明の共振式センサは、空気中に含まれる特定種のガス分子を表面に吸着し、吸着の有無または吸着量を、共振駆動する誘電体材料(圧電材料)の共振周波数の変化量(具体的には、減少量)として捉えて、目的のガスを検知する。すなわち、共振式センサは、質量マイクロバランシング(Mass micro-balancing)法を利用したセンサである。
 図1は、本発明の共振式センサにおける積層構造の一例を模式的に示す断面図である。図1に示される共振式センサは、第1電極1、誘電体材料2、第2電極3、および、特定高分子を含む受容層4が順次設けられた積層構造を有している。また、第1電極1の、誘電体材料2と接する側とは反対側の面には、共振式センサを支持するための基板が設けられていてもよい。誘電体材料が自励発振式である場合、基板は必須ではない。他方、誘電体材料がセラミック圧電素子等の場合には、素子を共振駆動するために基板が必要となる。
 質量マイクロバランシング法によるセンシングでは、微細な誘電体材料(圧電材料)に電圧をかけて誘電体材料を一定の周波数(共振周波数)で振動させ、誘電体材料表面へのガス吸着による質量増加を共振周波数の変化(具体的には、減少)として検知する。質量マイクロバランシング法を利用した共振式センサの代表的な例として、共振駆動させる誘電体材料として水晶を用いたQCM(Quartz Crystal Mass micro-balancing;水晶振動子マイクロバランス)方式を用いたセンサ(以下、「QCMセンサ」ともいう。)が知られている。
 QCMセンサは、通常、特定の角度(AT-カット)で切り出した水晶の薄膜の両面に電極を設け、電圧をかけて水晶面と水平方向に共振周波数でずり振動させる。この共振周波数は電極上に吸着したガスの質量に応じて減少するため、電極上の物質の質量変化を捉えられる。水晶とこれを挟む電極とからなる水晶振動子を有するQCMセンサそれ自体は公知であり、常法により調製でき、また市販品を用いてもよい。
 本発明の共振式センサの一形態としてのQCMセンサは、誘電体材料を挟んで設けられた1対の電極のうち、一方の電極表面に、検知対象成分を吸着させるための特定高分子を含む受容層を有するのが好ましい。つまり、本発明の共振式センサとしては、水晶振動子と、水晶振動子上に配置された受容層とを有するQCMセンサが好ましい。この特定高分子を含む受容層に吸着した検知対象成分の質量を、共振駆動する水晶振動子の共振周波数の変化(具体的には、減少)として検知する。
 共振式センサに用いる上記電極に特に制限はなく、電極として通常用いられる金属材料等を使用できる。
 上記共振式センサとしてQCMセンサの他にも、誘電体材料として水晶または石英等を用いずに、セラミック誘電体(圧電材料)を用いた共振式センサも採用できる。このようなセンサとしては、カンチレバー式センサおよび表面弾性波(SAW)センサ等が挙げられる。セラミック誘電体材料は、スパッタ法または真空蒸着法等を用いて基板上に製膜できるため、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術を用いたセンサの作製に適用できる利点がある。このようなセラミック誘電体材料として、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、ニオブをドープしたチタン酸ジルコン酸鉛(PZTN)、酸化亜鉛(ZnO)、および、窒化アルミニウム(AIN)が挙げられる。
 カンチレバー式センサでは、上記セラミック誘電体材料で形成した膜の両面に電極を配し、電極間に特定の電圧を印加して、セラミック誘電体材料を共振駆動させる。セラミック誘電体材料を用いた共振式センサを本発明の共振式センサとする場合、誘電体材料を挟んで設けられた1対の電極のうち一方の電極表面には、検知対象成分を吸着させるための特定高分子を含む受容層を配置するのが好ましい。この特定高分子を含む受容層に吸着した検知対象成分の質量を、共振駆動するセラミック誘電体材料の共振周波数の変化(具体的には、減少)として検知する。
[用途]
 本発明の共振式センサの用途は特に制限されず、例えば、呼気または皮膚ガスの検査用、臭気の定量測定用、ガスリークの検査用、および、環境調査用が挙げられる。
 ここで、本発明の共振式センサは、系中に低濃度で含まれる検知対象成分(特に、炭化水素)を高感度かつ高選択に検知できる。そのため、本発明の共振式センサは、検知対象成分が低濃度で含まれる呼気ガスまたは皮膚ガスの検査に特に好適である。ここで、本発明における皮膚ガスとは、体表面から放散される揮発性物質の総称である。
 また、検知対象成分が系中に低濃度で含まれる場合の具体例としては、系中に検知対象成分の気体が1体積ppt~100体積ppmの範囲で存在する場合が挙げられる。本発明の共振式センサは、より低濃度である1体積ppt~10体積ppmの範囲で系中に含まれる検知対象成分を高感度かつ選択的に検出するのがより好ましく、さらに低濃度である1体積ppt~1体積ppmの範囲で系中に含まれる検知対象成分を高感度かつ選択的に検知するのが特に好ましい。
[検知対象成分]
 本発明の共振式センサの検知対象成分は、系中に低濃度で含まれる場合に、より高感度かつ高選択に検知できる点から、炭化水素が好ましい。
 本明細書において炭化水素とは、炭素と水素のみからなる化合物を意味する。
 炭化水素の炭素数は、1~20が好ましく、2~15がより好ましく、4~10が特に好ましい。これにより、系中に低濃度で含まれる炭化水素をより高感度かつ高選択に検知できる。
 炭化水素は、直鎖状であっても、分岐状であっても、環状構造を有してもよい。炭化水素の具体例としては、飽和脂肪族炭化水素、不飽和脂肪族炭化水素および芳香族炭化水素が挙げられる。
 飽和脂肪族炭化水素の具体例としては、n-ヘプタン、ジメチルペンタン、シクロペンタンが挙げられる。不飽和脂肪族炭化水素の具体例としては、イソプレンが挙げられる。芳香族炭化水素の具体例としては、トルエンが挙げられる。
 以下、実施例を用いて、本発明について詳細に説明する。ただし、本発明はこれに限定されるものではない。なお、各成分の配合量は、特に断りにない限り、質量基準を示す。
[実施例1]
 ポリ(1-トリメチルシリル-1-プロピン)(Gelest社製)15mgを、THF(テトラヒドロフラン、和光純薬工業製)40gに溶解させた溶液を調製した。得られた溶液を、QCMセンサ(Quartz Crystal Microbalance、多摩デバイス製)中の水晶振動子上の片面に滴下し、さらに室温で乾燥させ、受容層としてポリ(1-トリメチルシリル-1-プロピン)からなる膜を形成した。
 得られた受容層を有するQCMセンサをフローセルに入れ、窒素ガスをキャリアとして、下記に示す各種試験ガスを通し、受容層を有するQCMセンサの検知対象成分に対する感度と選択性を評価した。結果を表1に示す。
[比較例1]
 ポリ(1-トリメチルシリル-1-プロピン)を、非特許文献1(Sensors and Actuators B 173 (2012) 555-561)に記載のテトラキス(ブトキシフェニル)ポルフィリン銅錯体に変更した以外は、実施例1と同様にして、テトラキス(ブトキシフェニル)ポルフィリン銅錯体からなる受容層を有するQCMセンサを得た。
 受容層を有するQCMセンサの検知対象成分に対する感度と選択性を、実施例1と同様にして評価した。結果を表1に示す。
[比較例2]
 ポリ(1-トリメチルシリル-1-プロピン)をポリイソブチレンに変更した以外は、実施例1と同様にして、ポリイソブチレンからなる受容層を有するQCMセンサを得た。
 受容層を有するQCMセンサの検知対象成分に対する感度と選択性を、実施例1と同様にして評価した。結果を表1に示す。
[評価]
<感度>
 1体積ppmのn-ヘプタンを含む試験ガスを所定量フローした際の、受容層を有するQCMセンサに生じた周波数変化の絶対値を基に、以下に示す基準で感度を評価した。ここで、周波数変化の絶対値が大きいほど、QCMセンサの感度が優れる。
 5:100Hz以上
 4:70Hz以上100Hz未満
 3:40Hz以上70Hz未満
 2:10Hz以上40Hz未満
 1:10Hz未満
<選択性>
 1体積ppmのアセトンを含む試験ガスを所定量フローした際のQCMセンサの周波数変化の絶対値(RA[Hz])に対する、1体積ppmのn-ヘプタンを含む試験ガスを所定量フローした際のQCMの周波数変化の絶対値(RN[Hz])の比(RN/RA)を算出し、炭化水素(n-ヘプタン)に対するQCMセンサの選択性を以下の基準で評価した。比の値が大きいほど、QCMセンサの選択性が優れる。
 5:20以上
 4:13以上20未満
 3:6以上13未満
 2:2以上6未満
 1:2未満
 以上の評価試験の結果を表1に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000004
 表1の通り、式(1)で表される繰り返し単位を有する高分子を含む受容層を有するQCMセンサ(実施例1)は、これ以外の高分子を含む受容層を有するQCMセンサ(比較例1および2)と比較して、系中に低濃度で含まれる炭化水素を高感度かつ高選択で検知できるのが示された。
 1 第1電極
 2 誘電体材料(圧電材料)
 3 第2電極
 4 特定高分子を含む受容層

Claims (6)

  1.  式(1)で表される繰り返し単位を有する高分子を含む受容層を有する、共振式センサ。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000001
     Rは、アルキル基である。複数のRは、互いに同一でも、異なっていてもよい。
     Rは、水素原子、アルキル基またはアリール基である。
  2.  炭化水素を検知する、請求項1に記載の共振式センサ。
  3.  前記炭化水素の炭素数が、1~20である、請求項2に記載の共振式センサ。
  4.  呼気または皮膚ガスに含まれる成分を検知する、請求項1~3のいずれか1項に記載の共振式センサ。
  5.  前記受容層と、さらに他の受容層とを有する、請求項1~4のいずれか1項に記載の共振式センサ。
  6.  水晶振動子マイクロバランス方式によって、共振周波数の変化を検知する、請求項1~5のいずれか1項に記載の共振式センサ。
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