JP6798029B2 - 共振式センサ - Google Patents

共振式センサ Download PDF

Info

Publication number
JP6798029B2
JP6798029B2 JP2019532623A JP2019532623A JP6798029B2 JP 6798029 B2 JP6798029 B2 JP 6798029B2 JP 2019532623 A JP2019532623 A JP 2019532623A JP 2019532623 A JP2019532623 A JP 2019532623A JP 6798029 B2 JP6798029 B2 JP 6798029B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
receiving layer
type sensor
resonance type
sensor
present
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2019532623A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2019022055A1 (ja
Inventor
幸治 弘中
幸治 弘中
文彦 望月
文彦 望月
高久 浩二
浩二 高久
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Corp
Original Assignee
Fujifilm Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujifilm Corp filed Critical Fujifilm Corp
Publication of JPWO2019022055A1 publication Critical patent/JPWO2019022055A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6798029B2 publication Critical patent/JP6798029B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N5/00Analysing materials by weighing, e.g. weighing small particles separated from a gas or liquid
    • G01N5/02Analysing materials by weighing, e.g. weighing small particles separated from a gas or liquid by absorbing or adsorbing components of a material and determining change of weight of the adsorbent, e.g. determining moisture content
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61BDIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B5/00Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
    • A61B5/145Measuring characteristics of blood in vivo, e.g. gas concentration, pH value; Measuring characteristics of body fluids or tissues, e.g. interstitial fluid, cerebral tissue
    • A61B5/1468Measuring characteristics of blood in vivo, e.g. gas concentration, pH value; Measuring characteristics of body fluids or tissues, e.g. interstitial fluid, cerebral tissue using chemical or electrochemical methods, e.g. by polarographic means
    • A61B5/1477Measuring characteristics of blood in vivo, e.g. gas concentration, pH value; Measuring characteristics of body fluids or tissues, e.g. interstitial fluid, cerebral tissue using chemical or electrochemical methods, e.g. by polarographic means non-invasive
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61BDIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B5/00Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
    • A61B5/44Detecting, measuring or recording for evaluating the integumentary system, e.g. skin, hair or nails
    • A61B5/441Skin evaluation, e.g. for skin disorder diagnosis
    • A61B5/443Evaluating skin constituents, e.g. elastin, melanin, water
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09DCOATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
    • C09D143/00Coating compositions based on homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and containing boron, silicon, phosphorus, selenium, tellurium, or a metal; Coating compositions based on derivatives of such polymers
    • C09D143/04Homopolymers or copolymers of monomers containing silicon
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09DCOATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
    • C09D149/00Coating compositions based on homopolymers or copolymers of compounds having one or more carbon-to-carbon triple bonds; Coating compositions based on derivatives of such polymers
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/02Analysing fluids
    • G01N29/022Fluid sensors based on microsensors, e.g. quartz crystal-microbalance [QCM], surface acoustic wave [SAW] devices, tuning forks, cantilevers, flexural plate wave [FPW] devices
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/02Analysing fluids
    • G01N29/036Analysing fluids by measuring frequency or resonance of acoustic waves
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61BDIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B5/00Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
    • A61B5/08Detecting, measuring or recording devices for evaluating the respiratory organs
    • A61B5/082Evaluation by breath analysis, e.g. determination of the chemical composition of exhaled breath
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2291/00Indexing codes associated with group G01N29/00
    • G01N2291/02Indexing codes associated with the analysed material
    • G01N2291/021Gases
    • G01N2291/0215Mixtures of three or more gases, e.g. air
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2291/00Indexing codes associated with group G01N29/00
    • G01N2291/04Wave modes and trajectories
    • G01N2291/042Wave modes
    • G01N2291/0426Bulk waves, e.g. quartz crystal microbalance, torsional waves
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/48Biological material, e.g. blood, urine; Haemocytometers
    • G01N33/483Physical analysis of biological material
    • G01N33/497Physical analysis of biological material of gaseous biological material, e.g. breath

Landscapes

  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Biophysics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Medical Informatics (AREA)
  • Heart & Thoracic Surgery (AREA)
  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Animal Behavior & Ethology (AREA)
  • Surgery (AREA)
  • Wood Science & Technology (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Dermatology (AREA)
  • Hematology (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Urology & Nephrology (AREA)
  • Food Science & Technology (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)

Description

本発明は、共振式センサに関する。
空気中を漂う希薄なガスを高感度に検知したり、モニタリングしたりする需要が高まっている。例えば、呼気および皮膚ガスに炭化水素が含まれていることが知られており、炭化水素をセンサで検知した結果を健康状態の診断の指標として利用することが考えられている。
例えば、非特許文献1には、系中の炭化水素を検知するために、ポルフィリン系化合物を含む受容層を有する共振式センサ(具体的には、水晶振動子マイクロバランスセンサ)を用いることが開示されている。
Sensors and Actuators B 173 (2012) 555−561
本発明者らが非特許文献1で開示されたポルフィリン系化合物からなる受容層を有する共振式センサを作製したところ、系中に低濃度で含まれる検知対象成分(特に、炭化水素)を高感度かつ選択的に検知できなかった。
そこで、本発明は、系中に低濃度で含まれる検知対象成分に対する感度および選択性が優れる共振式センサの提供を目的とする。
本発明者らは、上記課題について鋭意検討した結果、所定の繰り返し単位を有する高分子を受容層に用いれば、所望の効果が得られるのを見出し、本発明に至った。
すなわち、以下の構成により上記課題が解決できるのを見出した。
[1]
後述の式(1)で表される繰り返し単位を有する高分子を含む受容層を有する、共振式センサ。
式(1)中、Rは、アルキル基である。複数のRは、互いに同一でも、異なっていてもよい。
は、水素原子、アルキル基またはアリール基である。
[2]
炭化水素を検知する、[1]に記載の共振式センサ。
[3]
上記炭化水素の炭素数が、1〜20である、[2]に記載の共振式センサ。
[4]
呼気または皮膚ガスに含まれる成分を検知する、[1]〜[3]のいずれか1つに記載の共振式センサ。
[5]
上記受容層と、さらに他の受容層とを有する、[1]〜[4]のいずれか1つに記載の共振式センサ。
[6]
水晶振動子マイクロバランス方式によって、共振周波数の変化を検知する、[1]〜[5]のいずれか1つに記載の共振式センサ。
本発明によれば、系中に低濃度で含まれる検知対象成分に対する感度および選択性が優れる共振式センサを提供できる。
本発明の共振式センサの一例を模式的に示す断面図である。
以下に、本発明の共振式センサについて説明する。
以下に記載する構成要件の説明は、本発明の代表的な実施態様に基づいてなされる場合があるが、本発明はそのような実施態様に制限されない。
なお、本発明において「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値および上限値として含む範囲を意味する。
本明細書において、重量平均分子量は、GPC(Gel Permeation Chromatography)測定によるポリスチレン換算値として定義される。
例えば、GPC測定は、HLC−8121GPC(東ソー製)を用い、カラムとして、TSKgel GMHHR−H(20) HT(東ソー製、7.8mmID×30cm)を2本用い、溶離液として1,2,4−トリクロロベンゼンを用いる。また、条件としては、試料濃度を0.02質量%、流速を1.0ml/min、サンプル注入量を300μl、測定温度を160℃とし、IR(infrared)検出器を用いて行う。
本明細書において、「ppm」は「parts-per-million(10−6)」を意味し、「ppt」は「parts-per-trillion(10−12)」を意味する。
本発明の共振式センサは、後述の式(1)で表される繰り返し単位を有する高分子(以下、「特定高分子」ともいう。)を含む受容層を有する。
本発明の共振式センサは、受容層に含まれる特定高分子と検知対象成分との間の何らかの相互作用を介して、検知対象成分が受容層に吸着する結果、検知対象成分を検知する。
本発明の共振式センサは、系中に低濃度で含まれる検知対象成分(特に、炭化水素)に対する感度および選択性が優れる。この理由は明らかになっていないが、共振式センサの微量成分の検知能力と、受容層に含まれる特定高分子の検知対象成分の吸着能力とが相乗的に作用し、従来見出されていなかった高い感度を示すと共に、特定高分子のもつ分子認識能力のポテンシャルが発揮されたと考えられる。
[特定高分子]
特定高分子は、下式(1)で表される繰り返し単位を有する高分子である。
は、アルキル基である。
アルキル基は、直鎖状であっても、分岐状であっても、環状構造を有してもよく、系中に低濃度で含まれる検知対象成分(特に、炭化水素)に対する感度および選択性が高くなる点から、直鎖状または分岐状が好ましく、直鎖状がより好ましい。
アルキル基の炭素数は、低濃度の検知対象成分(特に、炭化水素)に対する感度および選択性がより高くなる点から、1〜8が好ましく、1〜6がより好ましく、1〜4が特に好ましい。
複数のRは、互いに同一でも、異なっていてもよい。
は、水素原子、アルキル基またはアリール基であり、低濃度の検知対象成分(特に、炭化水素)に対する感度および選択性がより高くなる点から、水素原子またはアルキル基が好ましく、アルキル基が特に好ましい。
におけるアルキル基の定義および好適態様は、Rにおけるアルキル基と同様である。ただし、Rにおけるアルキル基は、シリル基等の置換基を有していてもよい。Rにおけるアルキル基が置換基を有する場合、その置換基の炭素数は、アルキル基の炭素数に含めない。
アリール基は、単環であっても、多環であってもよいが、低濃度の検知対象成分(特に、炭化水素)に対する感度および選択性がより高くなる点から、単環が好ましい。
アリール基は、無置換であっても、置換基を有していてもよい。アリール基が置換基を有する場合、その置換基の具体例としては、ハロゲン原子(例えば、塩素原子、フッ素原子、臭素原子)、アルキル基、ハロゲン化アルキル基が挙げられる。
アリール基の炭素数は、低濃度の検知対象成分(特に、炭化水素)に対する感度および選択性がより高くなる点から、6〜20が好ましく、6〜14がより好ましく、6〜8が特に好ましい。なお、本明細書において、アリール基が置換基を有する場合、その置換基の炭素数は、アリール基の炭素数に含めない。
アリール基の具体例としては、フェニル基、ベンジル基、フェネチル基、トリル基、ナフチル基、ビフェニル基などが挙げられる。
式(1)で表される繰り返し単位の含有量は、共振式センサの感度および選択性がより優れる点から、特定高分子の全繰り返し単位に対して、20〜100モル%が好ましく、50〜100モル%が特に好ましい。
特定高分子の重量平均分子量は、共振式センサの感度および選択性がより優れる点から、10,000〜5,000,000が好ましく、50,000〜2,000,000が特に好ましい。
特定高分子は、式(1)で表される繰り返し単位以外の他の繰り返し単位を含んでいてもよい。
特定高分子の具体例を以下に示す。
[センサの形態]
<受容層>
本発明の共振式センサは、特定高分子を含む受容層を有する。本発明の共振式センサは、所定の受容層を有していればその構成は特に制限されないが、共振式センサ本体と特定高分子を含む受容層とを少なくとも有するのが好ましい。なお、共振式センサは、所定の受容層および共振式センサ本体以外の他の部材を有していてもよい。
受容層中の特定高分子の含有量は、共振式センサの形態によっても異なるが、受容層の全質量に対して、10〜100質量%が好ましく、30〜100質量%がより好ましく、50〜100質量%が特に好ましい。
特定高分子を含む受容層を形成する方法に特に制限はなく、例えば、特定高分子を溶剤(テトラヒドロフラン等)に溶解して得られる組成物を、特定高分子を含む受容層を形成する面に塗布して、さらに得られた塗膜を乾燥して膜を形成する方法が挙げられる。
特定高分子を含む受容層の膜厚は、共振式センサの形態によっても異なるが、10nm〜100μmが好ましく、50nm〜50μmがより好ましく、100nm〜10μmが特に好ましい。
なお、本発明の共振式センサは、特定高分子を含む受容層の他にも、さらに他の受容層を有するのも好ましい。共振式センサが、異なる性質を有する他の受容層を有する場合、例えば、他の成分も検知できるようにできたり、複合ガスに対する測定精度を向上できたりする利点がある。特定高分子を含む受容層と他の受容層とは、別々に配置されていてもよいし、積層されていてもよい。
他の受容層の具体例としては、親水的な化合物(例えば、ポリビニルピロリドン)を用いて得られる受容層が挙げられる。これにより、共振式センサが、特定高分子を含む疎水的な受容層と、親水的な受容層とを有するので、多様な成分の検知が可能となる。
<共振式センサ>
本発明の共振式センサは、空気中に含まれる特定種のガス分子を表面に吸着し、吸着の有無または吸着量を、共振駆動する誘電体材料(圧電材料)の共振周波数の変化量(具体的には、減少量)として捉えて、目的のガスを検知する。すなわち、共振式センサは、質量マイクロバランシング(Mass micro−balancing)法を利用したセンサである。
図1は、本発明の共振式センサにおける積層構造の一例を模式的に示す断面図である。図1に示される共振式センサは、第1電極1、誘電体材料2、第2電極3、および、特定高分子を含む受容層4が順次設けられた積層構造を有している。また、第1電極1の、誘電体材料2と接する側とは反対側の面には、共振式センサを支持するための基板が設けられていてもよい。誘電体材料が自励発振式である場合、基板は必須ではない。他方、誘電体材料がセラミック圧電素子等の場合には、素子を共振駆動するために基板が必要となる。
質量マイクロバランシング法によるセンシングでは、微細な誘電体材料(圧電材料)に電圧をかけて誘電体材料を一定の周波数(共振周波数)で振動させ、誘電体材料表面へのガス吸着による質量増加を共振周波数の変化(具体的には、減少)として検知する。質量マイクロバランシング法を利用した共振式センサの代表的な例として、共振駆動させる誘電体材料として水晶を用いたQCM(Quartz Crystal Mass micro−balancing;水晶振動子マイクロバランス)方式を用いたセンサ(以下、「QCMセンサ」ともいう。)が知られている。
QCMセンサは、通常、特定の角度(AT−カット)で切り出した水晶の薄膜の両面に電極を設け、電圧をかけて水晶面と水平方向に共振周波数でずり振動させる。この共振周波数は電極上に吸着したガスの質量に応じて減少するため、電極上の物質の質量変化を捉えられる。水晶とこれを挟む電極とからなる水晶振動子を有するQCMセンサそれ自体は公知であり、常法により調製でき、また市販品を用いてもよい。
本発明の共振式センサの一形態としてのQCMセンサは、誘電体材料を挟んで設けられた1対の電極のうち、一方の電極表面に、検知対象成分を吸着させるための特定高分子を含む受容層を有するのが好ましい。つまり、本発明の共振式センサとしては、水晶振動子と、水晶振動子上に配置された受容層とを有するQCMセンサが好ましい。この特定高分子を含む受容層に吸着した検知対象成分の質量を、共振駆動する水晶振動子の共振周波数の変化(具体的には、減少)として検知する。
共振式センサに用いる上記電極に特に制限はなく、電極として通常用いられる金属材料等を使用できる。
上記共振式センサとしてQCMセンサの他にも、誘電体材料として水晶または石英等を用いずに、セラミック誘電体(圧電材料)を用いた共振式センサも採用できる。このようなセンサとしては、カンチレバー式センサおよび表面弾性波(SAW)センサ等が挙げられる。セラミック誘電体材料は、スパッタ法または真空蒸着法等を用いて基板上に製膜できるため、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術を用いたセンサの作製に適用できる利点がある。このようなセラミック誘電体材料として、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、ニオブをドープしたチタン酸ジルコン酸鉛(PZTN)、酸化亜鉛(ZnO)、および、窒化アルミニウム(AIN)が挙げられる。
カンチレバー式センサでは、上記セラミック誘電体材料で形成した膜の両面に電極を配し、電極間に特定の電圧を印加して、セラミック誘電体材料を共振駆動させる。セラミック誘電体材料を用いた共振式センサを本発明の共振式センサとする場合、誘電体材料を挟んで設けられた1対の電極のうち一方の電極表面には、検知対象成分を吸着させるための特定高分子を含む受容層を配置するのが好ましい。この特定高分子を含む受容層に吸着した検知対象成分の質量を、共振駆動するセラミック誘電体材料の共振周波数の変化(具体的には、減少)として検知する。
[用途]
本発明の共振式センサの用途は特に制限されず、例えば、呼気または皮膚ガスの検査用、臭気の定量測定用、ガスリークの検査用、および、環境調査用が挙げられる。
ここで、本発明の共振式センサは、系中に低濃度で含まれる検知対象成分(特に、炭化水素)を高感度かつ高選択に検知できる。そのため、本発明の共振式センサは、検知対象成分が低濃度で含まれる呼気ガスまたは皮膚ガスの検査に特に好適である。ここで、本発明における皮膚ガスとは、体表面から放散される揮発性物質の総称である。
また、検知対象成分が系中に低濃度で含まれる場合の具体例としては、系中に検知対象成分の気体が1体積ppt〜100体積ppmの範囲で存在する場合が挙げられる。本発明の共振式センサは、より低濃度である1体積ppt〜10体積ppmの範囲で系中に含まれる検知対象成分を高感度かつ選択的に検出するのがより好ましく、さらに低濃度である1体積ppt〜1体積ppmの範囲で系中に含まれる検知対象成分を高感度かつ選択的に検知するのが特に好ましい。
[検知対象成分]
本発明の共振式センサの検知対象成分は、系中に低濃度で含まれる場合に、より高感度かつ高選択に検知できる点から、炭化水素が好ましい。
本明細書において炭化水素とは、炭素と水素のみからなる化合物を意味する。
炭化水素の炭素数は、1〜20が好ましく、2〜15がより好ましく、4〜10が特に好ましい。これにより、系中に低濃度で含まれる炭化水素をより高感度かつ高選択に検知できる。
炭化水素は、直鎖状であっても、分岐状であっても、環状構造を有してもよい。炭化水素の具体例としては、飽和脂肪族炭化水素、不飽和脂肪族炭化水素および芳香族炭化水素が挙げられる。
飽和脂肪族炭化水素の具体例としては、n−ヘプタン、ジメチルペンタン、シクロペンタンが挙げられる。不飽和脂肪族炭化水素の具体例としては、イソプレンが挙げられる。芳香族炭化水素の具体例としては、トルエンが挙げられる。
以下、実施例を用いて、本発明について詳細に説明する。ただし、本発明はこれに限定されるものではない。なお、各成分の配合量は、特に断りにない限り、質量基準を示す。
[実施例1]
ポリ(1−トリメチルシリル−1−プロピン)(Gelest社製)15mgを、THF(テトラヒドロフラン、和光純薬工業製)40gに溶解させた溶液を調製した。得られた溶液を、QCMセンサ(Quartz Crystal Microbalance、多摩デバイス製)中の水晶振動子上の片面に滴下し、さらに室温で乾燥させ、受容層としてポリ(1−トリメチルシリル−1−プロピン)からなる膜を形成した。
得られた受容層を有するQCMセンサをフローセルに入れ、窒素ガスをキャリアとして、下記に示す各種試験ガスを通し、受容層を有するQCMセンサの検知対象成分に対する感度と選択性を評価した。結果を表1に示す。
[比較例1]
ポリ(1−トリメチルシリル−1−プロピン)を、非特許文献1(Sensors and Actuators B 173 (2012) 555−561)に記載のテトラキス(ブトキシフェニル)ポルフィリン銅錯体に変更した以外は、実施例1と同様にして、テトラキス(ブトキシフェニル)ポルフィリン銅錯体からなる受容層を有するQCMセンサを得た。
受容層を有するQCMセンサの検知対象成分に対する感度と選択性を、実施例1と同様にして評価した。結果を表1に示す。
[比較例2]
ポリ(1−トリメチルシリル−1−プロピン)をポリイソブチレンに変更した以外は、実施例1と同様にして、ポリイソブチレンからなる受容層を有するQCMセンサを得た。
受容層を有するQCMセンサの検知対象成分に対する感度と選択性を、実施例1と同様にして評価した。結果を表1に示す。
[評価]
<感度>
1体積ppmのn−ヘプタンを含む試験ガスを所定量フローした際の、受容層を有するQCMセンサに生じた周波数変化の絶対値を基に、以下に示す基準で感度を評価した。ここで、周波数変化の絶対値が大きいほど、QCMセンサの感度が優れる。
5:100Hz以上
4:70Hz以上100Hz未満
3:40Hz以上70Hz未満
2:10Hz以上40Hz未満
1:10Hz未満
<選択性>
1体積ppmのアセトンを含む試験ガスを所定量フローした際のQCMセンサの周波数変化の絶対値(RA[Hz])に対する、1体積ppmのn−ヘプタンを含む試験ガスを所定量フローした際のQCMの周波数変化の絶対値(RN[Hz])の比(RN/RA)を算出し、炭化水素(n−ヘプタン)に対するQCMセンサの選択性を以下の基準で評価した。比の値が大きいほど、QCMセンサの選択性が優れる。
5:20以上
4:13以上20未満
3:6以上13未満
2:2以上6未満
1:2未満
以上の評価試験の結果を表1に示す。
表1の通り、式(1)で表される繰り返し単位を有する高分子を含む受容層を有するQCMセンサ(実施例1)は、これ以外の高分子を含む受容層を有するQCMセンサ(比較例1および2)と比較して、系中に低濃度で含まれる炭化水素を高感度かつ高選択で検知できるのが示された。
1 第1電極
2 誘電体材料(圧電材料)
3 第2電極
4 特定高分子を含む受容層

Claims (6)

  1. 式(1)で表される繰り返し単位を有する高分子を含む受容層を有する、共振式センサ。
    は、アルキル基である。複数のRは、互いに同一でも、異なっていてもよい。
    は、水素原子、アルキル基またはアリール基である。
  2. 炭化水素を検知する、請求項1に記載の共振式センサ。
  3. 前記炭化水素の炭素数が、1〜20である、請求項2に記載の共振式センサ。
  4. 呼気または皮膚ガスに含まれる成分を検知する、請求項1〜3のいずれか1項に記載の共振式センサ。
  5. 前記受容層と、さらに他の受容層とを有する、請求項1〜4のいずれか1項に記載の共振式センサ。
  6. 水晶振動子マイクロバランス方式によって、共振周波数の変化を検知する、請求項1〜5のいずれか1項に記載の共振式センサ。
JP2019532623A 2017-07-28 2018-07-24 共振式センサ Active JP6798029B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017146667 2017-07-28
JP2017146667 2017-07-28
PCT/JP2018/027636 WO2019022055A1 (ja) 2017-07-28 2018-07-24 共振式センサ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2019022055A1 JPWO2019022055A1 (ja) 2020-07-09
JP6798029B2 true JP6798029B2 (ja) 2020-12-09

Family

ID=65040667

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019532623A Active JP6798029B2 (ja) 2017-07-28 2018-07-24 共振式センサ

Country Status (5)

Country Link
US (1) US11428669B2 (ja)
EP (1) EP3660485A4 (ja)
JP (1) JP6798029B2 (ja)
CN (1) CN110945341B (ja)
WO (1) WO2019022055A1 (ja)

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62140606A (ja) * 1985-12-12 1987-06-24 Agency Of Ind Science & Technol 混合液体選択分離膜
JPH02241529A (ja) * 1989-03-14 1990-09-26 Nok Corp 気体分離膜
US5501722A (en) * 1992-11-04 1996-03-26 Membrane Technology And Research, Inc. Natural gas treatment process using PTMSP membrane
JP4387896B2 (ja) * 2004-08-31 2009-12-24 光男 中澤 Qcmセンサおよびqcmセンサによる測定方法
KR100611682B1 (ko) * 2005-07-12 2006-08-14 한국과학기술연구원 은 나노 입자/고분자 나노 복합체를 이용한 올레핀/파라핀분리용 나노 복합 분리막 및 제조 방법
US8475715B2 (en) * 2005-08-12 2013-07-02 Bioscale, Inc. Resonant sensor systems and methods with reduced gas interference
WO2010011733A2 (en) * 2008-07-22 2010-01-28 Massachusetts Institute Of Technology Electro-mechanical switches and methods of use thereof
WO2010027104A1 (ja) * 2008-09-04 2010-03-11 スガイ化学工業株式会社 気体センサー
JP5885015B2 (ja) * 2011-09-06 2016-03-15 セイコーエプソン株式会社 ガスセンサー
JP2013068547A (ja) * 2011-09-22 2013-04-18 Toshiba Corp 水分センサ
JP2013246060A (ja) * 2012-05-25 2013-12-09 Tokyo Medical & Dental Univ 生体分子検出装置、及び、生体分子検出方法
CN203178155U (zh) * 2013-04-17 2013-09-04 长沙理工大学 一种正丙醇气体动态检测装置
CN103336026A (zh) * 2013-05-31 2013-10-02 谷宇 一种检测气体的聚合物压电气体传感器系统
EP3024040B1 (en) * 2013-07-19 2019-05-08 FUJIFILM Corporation Organic film transistor, organic semiconductor film, and organic semiconductor material and use applications thereof
CN103424328B (zh) * 2013-08-20 2016-02-03 中安高科检测科技(北京)有限公司 一种检测药香型白酒的气敏传感器阵列的制备方法
US9581574B2 (en) * 2013-12-06 2017-02-28 Battelle Memorial Institute Method and device for detecting odorants in hydrocarbon gases
US10112143B2 (en) * 2014-10-09 2018-10-30 The Trustees Of Columbia University In The City Of New York Grafted polymer nanocomposite materials, systems, and methods
CN104792645A (zh) * 2015-03-27 2015-07-22 上海大学 常温甲烷传感器及其制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP3660485A4 (en) 2020-07-29
EP3660485A1 (en) 2020-06-03
CN110945341A (zh) 2020-03-31
WO2019022055A1 (ja) 2019-01-31
US11428669B2 (en) 2022-08-30
CN110945341B (zh) 2022-09-09
US20200150089A1 (en) 2020-05-14
JPWO2019022055A1 (ja) 2020-07-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11262354B2 (en) Disposable sensor elements, systems, and related methods
JP4164580B2 (ja) ガス検知方法およびガスセンサ
US9228966B2 (en) Methods and devices for detecting unsaturated compounds
JP6983748B2 (ja) 分子検出装置
WO2012050686A1 (en) Sensor element, method of making the same, and sensor device including the same
JP2009236607A (ja) Qcmデバイス
JP7106651B2 (ja) センサ
KR20160001369A (ko) 가스 또는 voc 검출용 복합 센서 어레이 및 이의 이용
US20100270153A1 (en) Gas sensing system with quartz crystal substrate
JP6798029B2 (ja) 共振式センサ
JP2009133772A (ja) 検出センサ、振動子
US20200158707A1 (en) Sensor
JP2012013620A (ja) Qcmデバイス及びqcmデバイスを用いた気体分子の検出方法
JP7254900B2 (ja) センサ
JP2009216672A (ja) センサー用材料およびそれを用いたセンサー
JP2010071716A (ja) Qcmデバイスとその製造方法
US20240102965A1 (en) Molecular sensor and molecular detection apparatus
Cao et al. Hydrophobic MOF/PDMS-Based QCM Sensors for VOCs Identification and Quantitative Detection in High-Humidity Environments
US20230400436A1 (en) Gas sensor devices containing cryptophane a sensing layer
JP5912216B2 (ja) センサ
US11327040B1 (en) Highly effective sensor for the vapors of volatile organic compounds
Vázquez et al. Functionalized screen-printed PZT cantilevers for room temperature benzene detection
Setka et al. Silver Nanoparticle-modified Polypyrrole Love Wave Sensors Sensitive to Acetone
JPH05312707A (ja) ガスセンサ
Bougharouat et al. A study of volatile organic compounds diffusion in thin plasma polymerized TEOS thin film

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20200127

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20201104

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20201118

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6798029

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250