WO2019003872A1 - アクチュエータ - Google Patents

Abstract

支持体２に対して磁気駆動回路６によって可動体３を振動させるアクチュエータ１において、可動体３は、磁石８が固定されるヨーク３０と、ヨーク３０の内側のスペースに固定されるウェイト４０を備える。ヨーク３０は３段構造であり、ヨーク３０の第１板部３１１と第２板部３２１の間に第１ウェイト４１が配置され、ヨーク３０の第２板部３２１と第３板部３３１の間に第２ウェイト４２が配置されている。第１ウェイト４１および第２ウェイト４２は、リベット４３によってヨーク３０に固定されている。これにより、アクチュエータ１は、ウェイト４０を用いて可動体３に適正な重量を持たせることが可能になる。

Description

アクチュエータ

　本発明は、各種振動を発生させるアクチュエータに関するものである。

　磁気駆動機構によって振動を発生させる機器として、第１方向で対向するコイルおよび磁石を備えた磁気駆動回路によって可動体を支持体に対して第１方向に対して交差する第２方向に振動させるアクチュエータが提案されている（特許文献１参照）。特許文献１に記載のアクチュエータは、支持体と可動体の一方に磁石が設けられ、磁石は、磁性板からなるヨークに保持されている。

　また、特許文献１に記載のアクチュエータにおいて、支持体と可動体の一方に磁石が設けられ、磁石は、磁性板からなるヨークに保持されている。支持体は、第１方向で対向する第１ケースと第２ケースを備えており、第２ケースの切り欠きと第１ケースの立ち上がり部との間に、コイルへの給電線が接続される基板を配置するスリットが形成されている。

特開２０１６－１２７７８９号公報

　磁気駆動回路によって可動体を振動させるアクチュエータにおいて、使用者が体感する振動を大きくするためには、可動体の重量を大きくする必要がある。しかしながら、この種のアクチュエータにおいて、従来は、可動体が薄く、可動体の大半が樹脂であるため、可動体の重量を確保することが難しい。そこで、可動体に磁気駆動回路の磁石および磁石を保持するヨークを設け、ヨークの厚さを増大させて重量を確保することが検討されている。しかしながら、ヨークの厚さ増加により重量を確保する場合、設計完了後に重量変更を行うには再設計が必要であり、簡単に重量変更を行うことができない。

　また、可動体の重量を増大させる方法として、可動体にウェイトを追加する方法がある。例えば、特許文献１の実施の形態１では、ヨークは支持体側に設けられているが、可動体は、コイルを保持する板状部材の両面に固定されたウェイトを備えている。しかしながら、この形態では、ウェイトは可動体の外面に固定されるため、可動体の外側にウェイトを取り付けるスペースを確保する必要があり、ウェイトの重量変更によって設計変更が必要になるおそれがある。従って、適正な重量のウェイトを取り付けるのが容易でないおそれがある。

　以上の問題点に鑑みて、第１の発明の課題は、適正な重量のウェイトを容易に取り付けることができるアクチュエータを提供することにある。

　つぎに、振動を発生させるアクチュエータの支持体に基板を取り付ける場合、基板に振動が伝わってビビリ音が発生するおそれがある。従来、ビビリ音対策として基板を接着剤により固定していたが、接着工程を行う必要があるため、アクチュエータの組立工数が増加する。

　以上の問題点に鑑みて、第２の発明の課題は、振動を発生させるアクチュエータにおいて、接着剤を用いることなく、基板の振動を抑制することにある。

　上記問題を解決するために、第１の発明を適用したアクチュエータは、支持体と、前記支持体に移動可能に支持された可動体と、前記可動体を前記支持体に対して相対移動させる磁気駆動回路と、を有し、前記磁気駆動回路は、前記支持体に設けられた第１コイルと、前記可動体に設けられて前記コイルに第１方向で対向する第１磁石と、を備え、前記可動体を前記第１方向に対して交差する第２方向に駆動し、前記可動体は、前記第１コイルおよび前記第１磁石に対して前記第１方向の一方側に配置される第１板部、および、前記第１コイルおよび前記第１磁石に対して前記第１方向の他方側に配置される第２板部が設けられたヨークと、前記ヨークに固定されるウェイトと、を備え前記ウェイトは、前記第１板部と前記第２部の間に配置されることを特徴とする。

　第１の発明では、可動体が第１磁石と、第１磁石が固定されるヨークと、ヨークに固定されるウェイトを備える。ヨークは、第１磁石および第１コイルに対して第１方向の一方側に配置される第１板部、および、他方側に配置される第２板部を備えており、ウェイトは、第１板部と第２部の間に配置されている。このように、ヨークにウェイトを取り付けて重量を増加させる場合、可動体の重量増加のためにヨークの設計変更を行う必要がない。また、第１板部と第２板部の間にウェイトを取り付けるため、ヨーク間のスペースを利用して可動体の内側にウェイトを取り付けることができ、可動体の外形への影響が少ない。従って、適正な重量のウェイトを容易に取り付けることができ、適正な重量を確保することができる。

　第１の発明において、前記ヨークは、前記第２板部に対して前記第１方向の他方側に配置される第３板部を備え、前記磁気駆動回路は、前記第１方向に対向する第２コイルおよび第２磁石を備え、前記第２コイルおよび前記第２磁石は、前記第２板部と前記第３板部の間に配置され、前記ウェイトは、前記第１板部と前記第２部の間に配置される第１ウェイトと、前記第２板部と前記第３板部の間に配置される第２ウェイトを備える構成を採用することができる。このように、ヨークを３段構造にすることで、ヨーク間に第１ウェイトと第２ウェイトを取り付けることができる。従って、ウェイトの数を増やすことができ、可動体の重量確保が容易である。また、磁石とコイルの対が２段に配置され、これを挟むように３段のヨークが設けられているので、磁気効率を向上させることができ、磁石の厚さを薄くしても駆動力を確保することができる。

　第１の発明において、前記第１ウェイトおよび前記第２ウェイトは、前記第１板部、前記第１ウェイト、前記第２板部、前記第２ウェイト、前記第３板部を貫通するリベットにより前記ヨークに固定されていることが好ましい。このように、ウェイトを貫通するリベットを用いることにより、リベット自体もウェイトとして用いることができる。また、リベットにより位置決めと固定を一度に行うことができる。

　第１の発明において、前記第１コイルおよび前記第１磁石は、前記第１ウェイトの前記第２方向の両側に１組ずつ配置され、前記第２コイルおよび前記第２磁石は、前記第２ウェイトの前記第２方向の両側に１組ずつ配置されていることが好ましい。このような配置により、可動体の中央にウェイトを配置することができる。従って、ウェイトの追加によって重心が変動するおそれが少なく、アクチュエータの駆動バランスが崩れるおそれが少ない。

　第１の発明において、前記第１磁石は、前記第１板部に固定され、前記第２磁石は、前記第３板部に固定されていることが好ましい。このようにすると、第１磁石と第２磁石は、第２板部を中心として第１方向に対称に配置されるため、バランスのよい配置を実現することができる。

　第１の発明において、前記支持体は、第１ホルダと、前記第１ホルダに対して前記第１方向の他方側から当接する第２ホルダを備え、前記第１ホルダには、前記第１ウェイトを配置する第１ウェイト配置穴、および前記第１コイルを配置する第１コイル保持穴が形成され、前記第２ホルダには、前記第２ウェイトを配置する第２ウェイト配置穴、および前記第２コイルを配置する第２コイル保持穴が形成され、前記第１ウェイトおよび前記第２ウェイトは、それぞれ、前記第１ウェイト配置穴の内周面および前記第２ウェイト配置穴の内周面と衝突して前記可動体の前記第２方向の可動範囲を規制することが好ましい。このようにすると、ウェイトを利用して可動体の可動範囲を規制するストッパ機構を設けることができる。従って、アクチュエータの耐衝撃性を高めることができる。

　第１の発明において、前記第１ホルダと前記第２ホルダは、前記第１方向に当接する部分を前記第１方向に貫通する貫通孔を備え、前記貫通孔に通される位置決めピンによって結合されることが好ましい。このようにすると、位置決めピンを用いて、第１ホルダと第２ホルダを第１方向と交差する方向に位置決めして結合させることができる。また、接着剤を使用せずに第１ホルダと第２ホルダを組み立てることができるので、接着工程を少なくすることができる。

　第１の発明において、前記ヨークは、前記第１板部を備えた第１ヨークと、前記第２板部を備えた第２ヨークと、前記第３板部を備えた第３ヨークとを有し、前記第１ヨークは、前記第１板部から前記第１方向の他方側に向けて前記第２ヨークと重なる位置まで延在して前記第２ヨークと連結された第１連結板部と、前記第１磁石および前記第１コイルに対して前記第１連結板部とは反対側で前記第１板部から前記第１方向の他方側に向けて前記第２ヨークと重なる位置まで延在して前記第２ヨークと連結された第２連結板部と、を備え、前記第３ヨークは、前記第３板部から前記第１方向の一方側に向けて前記第２ヨークと重なる位置まで延在して前記第２ヨークと連結された第３連結板部と、前記第２磁石および前記第２コイルに対して前記第１連結板部とは反対側で前記第３板部から前記第１方向の一方側に向けて前記第２ヨークと重なる位置まで延在して前記第２ヨークと連結された第４連結板部と、を備え、前記第１連結板部と前記第２連結板部は、それぞれ、前記第１ホルダに形成された開口部の内周面と衝突して前記可動体の前記第２方向の可動範囲を規制し、前記第３連結板部と前記第４連結板部は、それぞれ、前記第２ホルダに形成された開口部の内周面と衝突して前記可動体の前記第２方向の可動範囲を規制することが好ましい。このようにすると、ヨークによってコイルおよび磁石の第２方向の両側を囲んで保護することができる。また、ヨークと支持体との間に第２ストッパ機構を設けることができるので、アクチュエータの耐衝撃性を高めることができる。

　第１の発明において、前記支持体は、前記第１ホルダに対して前記第１方向の一方側から当接する第１カバー部材と、前記第２ホルダに対して前記第１方向の他方側から当接する第２カバー部材と、前記第１カバー部材、前記第１ホルダ、前記第２ホルダ、前記第２カバー部材の外周側を囲む筒状ケースを備えることが好ましい。このようにすると、支持体を構成する部材がばらけることを筒状ケースによって防止できるため、支持体を構成する部材を接着剤で固定する必要がない。従って、接着工程を減らすことができる。

　第１の発明において、前記第１カバー部材と前記第１ホルダとの間に前記第１板部が配置され、前記第２カバー部材と前記第２ホルダとの間に前記第３板部が配置され、前記第１カバー部材と前記第１板部との間、および、前記第２カバー部材と前記第３板部との間に粘弾性部材が配置されていることが好ましい。例えば、粘弾性部材は、ゲル状ダンパー部材であることが好ましい。このようにすると、可動体を振動させた際の共振を粘弾性部材によって抑制することができる。また、粘弾性部材のせん断方向の変形は、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい変形特性を持つ。従って、粘弾性部材では、運動方向によるバネ力が一定となる。それゆえ、本発明では、可動体を振動させる際、粘弾性部材のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上させることができ、微妙なニュアンスをもって振動を実現することができる。一方、粘弾性部材が可動体と支持体との間で厚さ方向（軸方向）に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分（バネ係数）よりも非線形の成分（バネ係数）が大きい伸縮特性を備える。従って、可動体の駆動方向と直交する方向では、粘弾性部材が大きく変形することを抑制できるので、可動体と支持体とのギャップが大きく変化することを抑制できる。

　第１の発明において、前記第１カバー部材は、前記粘弾性部材が接続される面から前記第１板部に向けて突出する第１凸部を備え、前記第２カバー部材は、前記粘弾性部材が接続される面から前記第３板部に向けて突出する第２凸部を備えることが好ましい。このようにすると、粘弾性部材の第１方向の潰れ量を規制することができる。

　つぎに、上記問題を解決するために、第２の発明を適用したアクチュエータは、支持体と、前記支持体に移動可能に支持された可動体と、コイルおよび前記コイルに第１方向で対向する磁石を備え、前記可動体を前記支持体に対して前記第１方向に交差する第２方向に相対移動させる磁気駆動回路と、前記コイルが接続される基板と、を有し、前記支持体には、前記基板の一端を保持する第１基板保持溝および他端を保持する第２基板保持溝が設けられ、前記第１基板保持溝および前記第２基板保持溝は、溝幅方向で同じ側に位置する第１内面を備え、前記第１基板保持溝の前記第１内面と、前記第２基板保持溝の前記第１内面は、逆向きに傾斜するテーパ面であることを特徴とする。

　第２の発明では、支持体に基板を保持するための第１基板保持溝および第２基板保持溝が設けられている。また、第１基板保持溝および第２基板保持溝は、溝幅方向で同じ側に位置する第１内面を備え、第１基板保持溝の第１内面と第２基板保持溝の第１内面は、逆向きに傾斜するテーパ面となっている。従って、基板の一方の端部と他方の端部が逆向きに傾斜するテーパ面に押し付けられるので、基板はがたつきなく保持される。よって、可動体が振動する際、基板に振動が伝わってビビリ音が発生するおそれが少ない。また、接着剤を用いて基板の振動を防止する必要がないので、接着工程を省略できる。

　第２の発明において、前記支持体は、前記コイルまたは前記磁石が保持されたホルダと、前記ホルダに対して前記第１方向の一方側に位置する第１カバー部材と、前記ホルダに対して前記第１方向の他方側に位置する第２カバー部材と、を備え、前記第１基板保持溝は前記第１カバー部材の前記第２方向の一方側の端部に形成され、前記第２基板保持溝は前記第２カバー部材の前記第２方向の一方側の端部に形成され、前記ホルダの前記第２方向の一方側の端部は、前記テーパ面とは反対側から前記基板に当接する基板当接部を備えることが好ましい。このようにすると、基板は、テーパ面とは反対側から基板当接部によって支持され、テーパ面と基板当接部との間に基板の端部が挟まれる。従って、基板のがたつきをより確実に抑制することができる。また、支持体を組み立てる際、支持体の第２方向の一方側の端部に基板を保持させることができる。

　第２の発明において、前記ホルダは、前記コイルと、前記コイルに接続される端子ピンを保持しており、前記端子ピンの端部は、前記ホルダの前記第２方向の一方側の端部から突出することが好ましい。このようにすると、コイルから引き出した導線をホルダに保持される端子ピンに接続し、端子ピンをホルダから基板が取り付けられる側に突出させて基板と接続することができる。

　第２の発明において、前記ホルダは、第１ホルダと、前記第１ホルダに対して前記第１方向の他方側から当接する第２ホルダを備え、磁気駆動回路は、前記第１ホルダに保持される第１コイルおよび前記第１コイルに前記第１方向で対向する第１磁石と、前記第２ホルダに保持される第２コイルおよび前記第２コイルに前記第１方向で対向する第２磁石を備え、前記第１ホルダと前記第２ホルダは、前記第１方向に当接する部分を前記第１方向に貫通する貫通孔を備え、前記貫通孔に通される位置決めピンによって結合される構成を採用することができる。このようにすると、磁石とコイルの組を２段に配置し、位置決めピンを用いて、第１ホルダと第２ホルダを第１方向と交差する方向に位置決めして組み立てることができる。また、接着剤を使用せずに第１ホルダと第２ホルダを組み立てることができるので、接着工程を少なくすることができる。

　第２の発明において、前記支持体は、前記第１カバー部材、前記ホルダ、前記第２カバー部材の外周側を囲む筒状ケースを備えることが好ましい。このようにすると、支持体を構成する部材がばらけることを筒状ケースによって防止できるため、支持体を構成する部材を接着剤で固定する必要がない。従って、接着工程を減らすことができる。

　第２の発明において、前記第１カバー部材と前記可動体との間、および、前記第２カバー部材と前記可動体との間に粘弾性部材が設けられていることが好ましい。例えば、粘弾性部材は、ゲル状ダンパー部材であることが好ましい。このようにすると、可動体を振動させた際の共振を粘弾性部材によって抑制することができる。また、粘弾性部材のせん断方向の変形は、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい変形特性を持つ。従って、粘弾性部材では、運動方向によるバネ力が一定となる。それゆえ、本発明では、可動体を振動させる際、粘弾性部材のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上させることができ、微妙なニュアンスをもって振動を実現することができる。一方、粘弾性部材が可動体と支持体との間で厚さ方向（軸方向）に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分（バネ係数）よりも非線形の成分（バネ係数）が大きい伸縮特性を備える。従って、可動体の駆動方向と直交する方向では、粘弾性部材が大きく変形することを抑制できるので、可動体と支持体とのギャップが大きく変化することを抑制できる。

　第２の発明において、前記第１カバー部材は、前記粘弾性部材が接続される面から前記可動体に向けて突出する第１凸部を備え、前記第２カバー部材は、前記粘弾性部材が接続される面から前記可動体に向けて突出する第２凸部を備えることが好ましい。このようにすると、粘弾性部材の第１方向の潰れ量を規制することができる。

　第１の発明によれば、可動体が第１磁石と、第１磁石が固定されるヨークと、ヨークに固定されるウェイトを備える。ヨークは、第１磁石および第１コイルに対して第１方向の一方側に配置される第１板部、および、他方側に配置される第２板部を備えており、ウェイトは、第１板部と第２部の間に配置されている。このように、ヨークにウェイトを取り付けて重量を増加させる場合、可動体の重量増加のためにヨークの設計変更を行う必要がない。また、第１板部と第２板部の間にウェイトを取り付けるため、ヨーク間のスペースを利用して可動体の内側にウェイトを取り付けることができ、可動体の外形への影響が少ない。従って、適正な重量のウェイトを容易に取り付けることができ、適正な重量を確保する
ことができる。

　第２の発明によれば、支持体に基板を保持するための第１基板保持溝および第２基板保持溝が設けられている。また、第１基板保持溝および第２基板保持溝は、溝幅方向で同じ側に位置する第１内面を備え、第１基板保持溝の第１内面と第２基板保持溝の第１内面は、逆向きに傾斜するテーパ面となっている。従って、基板の一方の端部と他方の端部が逆向きに傾斜するテーパ面に押し付けられるので、基板はがたつきなく保持される。よって、可動体が振動する際、基板に振動が伝わって基板の振動によるビビリ音が発生するおそれが少ない。また、接着剤を用いて基板のがたつきを防止する必要がないので、接着工程を省略できる。

本発明の実施形態に係るアクチュエータの斜視図である。 図１に示すアクチュエータの断面斜視図である。 図１に示すアクチュエータの分解斜視図である。 配線基板を取り外したアクチュエータの部分拡大断面図である。 配線基板の保持構造を模式的に示す説明図である。 可動体、ホルダ、磁気駆動回路および配線基板の分解斜視図である。 筒状ケースおよび第２カバー部材を取り外したアクチュエータの平面図である。

　図面を参照して、第１の発明の実施の形態および第２の発明の実施の形態を説明する。なお、第１の発明の実施の形態と第２の発明の実施の形態とは同じ実施の形態である。そこで、以下、本発明の実施の形態として説明する。なお、以下の説明において、互いに交差する３つの方向を各々、第１方向Ｚ、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙとして説明する。また、第１方向Ｚ、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙは、互いに直交する方向である。また、第２方向Ｘの一方側にＸ１を付し、第２方向Ｘの他方側にＸ２を付し、第３方向Ｙの一方側にＹ１を付し、第３方向Ｙの他方側にＹ２を付し、第１方向Ｚの一方側にＺ１を付し、第１方向Ｚの他方側にＺ２を付して説明する。

（全体構成）
　図１は、本発明の実施の形態に係るアクチュエータ１の斜視図である。図２は、図１に示すアクチュエータ１の断面斜視図であり、ＸＺ面で切断した断面斜視図である。図３は、図１に示すアクチュエータの分解斜視図である。図１、図２に示すように、アクチュエータ１は、全体として、第２方向Ｘの寸法が第３方向Ｙの寸法より大きい直方体形状を有している。また、図２に示すように、アクチュエータ１は、支持体２と、支持体２に移動可能に支持された可動体３と、可動体３を支持体２に対して相対移動させる磁気駆動回路６とを有しており、磁気駆動回路６は、可動体３を第２方向Ｘに振動させる。磁気駆動回路６は、第１方向Ｚで対向するコイル７と磁石８を有する。本形態では、コイル７が支持体２の側に設けられ、磁石８が可動体３の側に設けられている。

（支持体）
　支持体２は、角筒状の筒状ケース４と、筒状ケース４の内側に保持されるカバー１１およびホルダ６０とを有しており、支持体２の内側に、可動体３および磁気駆動回路６が配置されている（図２参照）。図３に示すように、カバー１１は、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に位置する第１カバー部材１６と、第１カバー部材１６に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２から重なる第２カバー部材１７とを有しており、第１カバー部材１６および第２カバー部材１７は、四角形の平面形状を有している。第１カバー部材１６と第２カバー部材１７との間には、四角形の平面形状を有するホルダ６０が配置されている。第１カバー部材１６、ホルダ６０、および第２カバー部材１７は、第１方向Ｚからみたとき、第２方向Ｘの幅が第３方向Ｙの幅より広い形状である。図１に示すように、支持体２の第２方向Ｘの一方側の側面２Ａ（図１参照）には、磁気駆動回路６のコイル７と接続される配線基板１５が取り付けられている。支持体２の側面２Ａは、第１カバー部材１６の第２方向Ｘの一方側Ｘ１の端部１６０、ホルダ６０の第２方向Ｘの一方側Ｘ１の端部６００、および第２カバー部材１７の第２方向Ｘの一方側Ｘ１の端部１７０によって構成されている。

（筒状ケース）
　図１、図２に示すように、第１カバー部材１６、ホルダ６０および第２カバー部材１７は、第１方向Ｚに積層され、各部材の第３方向Ｙの両側の外周縁が第１方向Ｚで重なっている。第１カバー部材１６、ホルダ６０および第２カバー部材１７は、筒状ケース４によって保持されている。本形態では、筒状ケース４はステンレスなどの金属板からなり、図３に示すように、第１ケース４１０と第２ケース４２０の２部材から構成される。なお、筒状ケース４は樹脂製であってもよい。第１ケース４１０と第２ケース４２０は、筒状に接合されている。

　第１ケース４１０は、第１カバー部材１６、ホルダ６０および第２カバー部材１７の積層方向である第１方向Ｚに延在する第１板部４１１と、第１板部４１１の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の端部から略直角に屈曲して第１カバー部材１６の外側面に沿って第３方向Ｙに延在する第２板部４１２と、第２板部４１２の第３方向Ｙの他方側Ｙ２の縁から第１方向Ｚの他方側Ｚ２へ立ち上がる第３板部４１３を備える。また、第２ケース４２０は、第１方向Ｚに延在する第４板部４２１と、第４板部４２１の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の端部から略直角に屈曲して第２カバー部材１７の外側面に沿って第３方向Ｙに延在する第５板部４２２と、第５板部４２２の第３方向Ｙの一方側Ｙ１の縁から第１方向Ｚの一方側Ｚ１へ立ち上がる第６板部４２３を備える。第３板部４１３は第４板部４２１と接合され、第１板部４１１は第６板部４２３と接合されている。第２板部４１２および第５板部４２２には板バネ部４３０が形成され、第１カバー部材１６と第２カバー部材１７には、それぞれ、第１方向Ｚに見て板バネ部４３０と重なる位置に矩形の凹部が形成されている。

（第１カバー部材および第２カバー部材）
　図２、図３に示すように、第１カバー部材１６には、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向かって開口する凹部１６５が形成されている。第１カバー部材１６において、凹部１６５は、第２方向Ｘの一方側Ｘ１に位置する第１壁部１６１と、第２方向Ｘの他方側Ｘ２に位置する第２壁部１６２と、第３方向Ｙの一方側Ｙ１に位置する第３壁部１６３と、第３方向Ｙの他方側Ｙ２に位置する第４壁部１６４とによって囲まれている。第１カバー部材１６には、第１壁部１６１の両端で第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて開口した位置決め用の凹部１６ａが形成されている。また、第２壁部１６２の両端で第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて突出した位置決め用の凸部１６ｂが形成されている。凹部１６ａおよび凸部１６ｂは、ホルダ６０において凹部１６ａおよび凸部１６ｂと対向する位置に設けられた凹部６０ｂおよび凸部６０ａと嵌め合わされる。これにより、第１カバー部材１６は、ホルダ６０に対して第１方向Ｚと交差する方向に位置決めされる。

　第２カバー部材１７は、第１カバー部材１６と同一形状の部材を第１方向Ｚに裏返して配置されている。第２カバー部材１７には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に向かって開口する凹部１７５が形成されている（図２参照）。図２、図３に示すように、第２カバー部材１７において、凹部１７５は、第２方向Ｘの一方側Ｘ１に位置する第１壁部１７１と、第２方向Ｘの他方側Ｘ２に位置する第２壁部１７２と、第３方向Ｙの一方側Ｙ１に位置する第３壁部１７３と、第３方向Ｙの他方側Ｙ２に位置する第４壁部１７４とによって囲まれている。第２カバー部材１７には、第１壁部１７１の両端で第１方向Ｚの一方側Ｚ１に向けて開口した位置決め用の凹部（図示省略）が形成されている。また、第２壁部１７２の両端で第１方向Ｚの一方側に向けて突出した位置決め用の凸部（図示省略）が形成されている。これらは、第１カバー部材１６の凹部１６ａおよび凸部１６ｂと同様に、支持体２を組み立てる際、ホルダ６０の対応する位置に設けられた凹部６０ｂおよび凸部６０ａと嵌め合わされる。これにより、第２カバー部材１７は、ホルダ６０に対して第１方向Ｚと交差する方向に位置決めされる。

　図３に示すように、第１カバー部材１６の凹部１６５の第２方向Ｘの中央には、第３方向Ｙに延在するリブ１６６が形成されている。リブ１６６の第３方向Ｙの両端および中央の３箇所には、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出する第１凸部１６７が形成されている。同様に、第２カバー部材１７の凹部１７５の第２方向Ｘの中央には、第３方向Ｙに延在するリブ１７６が形成され、リブ１７６の第３方向Ｙの両端および中央の３箇所には、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出する第２凸部１７７が形成されている（図２参照）。図２、図３に示すように、第１カバー部材１６の凹部１６５には、リブ１６６の第２方向Ｘの両側の２箇所に粘弾性部材９が配置されている。同様に、第２カバー部材１７の凹部１７５には、リブ１７６の第２方向Ｘの両側の２箇所に粘弾性部材９が配置されている。

（粘弾性部材）
　支持体２の内側において、可動体３は、ホルダ６０に対して第２方向Ｘに移動可能に組み付けられ、第１カバー部材１６と第２カバー部材１７との間に配置されている。粘弾性部材９は、第１カバー部材１６と可動体３が第１方向Ｚに対向する部位、および、第２カバー部材１７と可動体３が第１方向Ｚに対向する部位に配置されている。粘弾性部材９は、一方の面が凹部１６５もしくは凹部１７５の底面に接着剤により接続され、他方の面が可動体３に接着剤により接続されている。従って、粘弾性部材９によって可動体３と支持体２とが接続されている。後述するように、可動体３は、第１カバー部材１６と第１方向Ｚに対向する第１板部３１１、および、第２カバー部材１７と第１方向Ｚに対応する第３板部３３１を備えたヨーク３０を有しており、第１カバー部材１６と可動体３との間に配置される粘弾性部材９は、ヨーク３０の第１板部３１１と接続され、第２カバー部材１７と可動体３との間に配置される粘弾性部材９は、ヨーク３０の第３板部３３１と接続される。

　粘弾性部材９は、凹部１６５の底面と可動体３との間、および、凹部１７５の底面と可動体３との間で第１方向Ｚに圧縮した状態で配置される。本形態において、粘弾性部材９は、第１方向Ｚを厚さ方向（軸方向）とし、第１方向Ｚと交差する第２方向をせん断方向とするように配置されている。第１カバー部材１６に形成された第１凸部１６７、および、第２カバー部材１７に形成された第２凸部１７７は、粘弾性部材９の第１方向Ｚの潰れ量を規制するストッパとして機能する。

　ここで、粘弾性とは、粘性と弾性の両方を合わせた性質のことであり、ゲル状部材、プラスチック、ゴム等の高分子物質に顕著に見られる性質である。従って、粘弾性部材９として、各種ゲル状部材を用いることができる。また、粘弾性部材９として、天然ゴム、ジエン系ゴム（例えば、スチレン・ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム）、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム等）、非ジエン系ゴム（例えば、ブチルゴム、エチレン・プロピレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等）、熱可塑性エラストマー等の各種ゴム材料及びそれらの変性材料を用いてもよい。本形態において、粘弾性部材９は、針入度が１０度から１１０度であるシリコーン系ゲルである。針入度とは、ＪＩＳ－Ｋ－２２０７やＪＩＳ－Ｋ－２２２０で規定されており、この値が小さい程、硬いことを意味する。粘弾性部材９は、その伸縮方向によって、線形あるいは非線形の伸縮特性を備える。例えば、粘弾性部材９は、その厚さ方向（軸方向）に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分（バネ係数）よりも非線形の成分（バネ係数）が大きい伸縮特性を備える。これに対して、厚さ方向（軸方向）に引っ張られて伸びる場合は、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（
バネ係数）が大きい伸縮特性を備える。一方、本形態のように、粘弾性部材９が厚さ方向（軸方向）と交差する方向（せん断方向）に変形する場合、いずれの方向に動いても、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい変形特性を持つ。従って、粘弾性部材９では、運動方向によるバネ力が一定となる。それ故、本形態のように、粘弾性部材９のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上することができるので、微妙なニュアンスをもって振動を実現することができる。

（配線基板の保持構造）
　第１カバー部材１６の第２方向Ｘの一方側Ｘ１の端部１６０には、第２方向Ｘの他方側Ｘ２に向けて凹む凹部１６８が形成されている。また、凹部１６８の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の内面から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に立ち上がる第１基板支持壁５０と、第１基板支持壁５０の第３方向Ｙの他方側Ｙ２において第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出する位置決め突起５１が形成されている。第１基板支持壁５０と第１壁部１６１との間には、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて開口する第１基板保持溝５２が形成されている。

　また、第２カバー部材１７の第２方向Ｘの一方側Ｘ１の端部１７０には、第２方向Ｘの他方側Ｘ２に向けて凹む凹部１７８が形成され、凹部１７８の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の内面から第１方向Ｚの一方側Ｙ１に立ち上がる第２基板支持壁５３と、第２基板支持壁５３の第３方向Ｙの他方側Ｚ２において第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出する位置決め突起５４が形成されている。第２基板支持壁５３と第１壁部１７１との間には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に向けて開口する第２基板保持溝５５が形成されている。

　図３に示すように、ホルダ６０の第２方向Ｘの一方側Ｘ１の端部６００には、第２方向Ｘの他方側Ｘ２に凹む凹部６１０が形成されている。凹部６１０は、第１カバー部材１６の凹部１６８、および、第２カバー部材１７の凹部１７８と繋がっており、凹部１６８、凹部６１０、凹部１７８は、全体として第２方向Ｘから見て矩形の基板配置用凹部５６（図１、図２参照）を形成している。基板配置用凹部５６は、支持体２の第２方向Ｘの一方側Ｘ１の側面２Ａに形成され、基板配置用凹部５６の第１方向Ｚの一方側Ｚ１および他方側の内面には、第１方向Ｚに対向する第１基板保持溝５２および第２基板保持溝５５が形成されている。配線基板１５は、基板配置用凹部５６に配置され、第１方向Ｚの一方側Ｚ１の端部が第１基板保持溝５２に挿入され、他方側Ｚ２の端部が第２基板保持溝５５に挿入されることにより、支持体２に保持されている。図３に示すように、配線基板１５には、対角位置に切り欠き１５１が形成されている。切り欠き１５１は、配線基板１５の裏表の向きが正しい状態で配線基板１５を基板配置用凹部５６に配置したとき、支持体２側の位置決め突起５１、５４と嵌合する。

　図４は配線基板１５を取り外したアクチュエータ１の部分拡大断面図である。また、図５は配線基板の保持構造を模式的に示す説明図である。図４、図５に示すように、第１基板保持溝５２および第２基板保持溝５５は、それぞれ、溝幅方向である第２方向Ｘに対向する第１内面５７および第２内面５８を備える。第２方向Ｘの一方側Ｘ１に位置する第１内面５７は溝深さ方向（第１方向Ｚ）に対して傾斜するテーパ面であり、第２方向Ｘの他方側Ｘ２に位置する第２内面５８は溝深さ方向（第１方向Ｚ）と平行に延在する面である。

　図４、図５に示すように、第２内面５８は、ホルダ６０の端部６００に形成された凹部６１０の底面６１１と第１方向Ｚに隣り合う位置に設けられ、第２内面５８は、底面６１１との間に段差を有している。底面６１１は、第２内面５８より第２方向Ｘの一方側Ｘ１に位置している。つまり、ホルダ６０の端部６００において、第１基板保持溝５２および第２基板保持溝５５の間に位置する部分（底面６１１）は、第２内面５８より第２方向Ｘの一方側Ｘ１に突出した位置にある。

　配線基板１５の端部を第１基板保持溝５２および第２基板保持溝５５に挿入すると、図５に示すように、配線基板１５の端部には、第２方向Ｘの一方側Ｘ１から第１内面５７が当接し、第２方向Ｘの他方側Ｘ２から凹部６１０の底面６１１が当接する。すなわち、底面６１１は、第１内面５７とは反対側から配線基板１５に当接する基板当接部であり、配線基板１５の端部は、第１内面５７（テーパ面）と底面６１１（基板当接部）との間に挟まれる。第１内面５７はテーパ面であるため、配線基板１５は、全体として第２方向Ｘの一方側Ｘ１へ凸となるようにわずかに撓み、この撓みを解消する方向に両端が付勢される。その結果、配線基板１５の端部がテーパ面である第１内面５７に押し付けられる。これにより、配線基板１５の端部は、第１基板保持溝５２および第２基板保持溝５５にがたつきなく保持される。換言すれば、配線基板１５の端部は、第１基板保持溝５２および第２基板保持溝５５の第１内面５７に押し付けられた状態で保持される。

（磁気駆動回路）
　磁気駆動回路６は、コイル７と、コイル７に対して第１方向Ｚで対向する磁石８とを有している。図２に示すように、本形態では、コイル７として、第２方向Ｘで並列するように配置された２つの第１コイル７１、７２と、第１コイル７１、７２の第１方向Ｚの他方側Ｚ２において第２方向Ｘで並列するように配置された２つの第２コイル７３、７４を備える。第１コイル７１、７２と第２コイル７３、７４は、第１方向Ｚから見たときに重なる位置に配置されている。それぞれのコイル７は、第３方向Ｙに長辺７０１（有効部分）が延在する長円形状の空芯コイルである。コイル７はホルダ６０に保持されており、支持体２の側に設けられている。

（ホルダ）
　図６は可動体３、ホルダ６０、磁気駆動回路６および配線基板１５の分解斜視図である。図２～図４に示すように、ホルダ６０は、第１ホルダ６１と、第１ホルダ６１に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２から当接する第２ホルダ６２を備える。第１ホルダ６１と第２ホルダ６２の形状は同一であり、第１方向Ｚで逆向きにして配置されている。以下、第１ホルダ６１の構成を説明し、第２ホルダ６２については、同じ構成には同じ符号を付して説明を省略する。

　第１ホルダ６１は、第１方向の他方側Ｚ２の面から第１方向Ｚの一方側Ｚ１に凹んだ凹部６３と、第１方向の一方側Ｚ１の面から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に凹んだ凹部６４を備えており、凹部６３、６４の底部を構成する部分が薄肉状となっている。この薄肉状部分には、第２方向Ｘの略中央にウェイト配置穴６５が形成され、ウェイト配置穴６５の第２方向Ｘの両側にコイル保持穴６６が形成されている。コイル保持穴６６およびウェイト配置穴６５は貫通穴であり、各コイル保持穴６６の第３方向Ｙの両端部には受け部６７が形成されている。コイル保持穴６６にコイル７を装着すると、コイル７の短辺７０２（無効部分）が受け部６７によって支持される。この状態で、コイル７は接着剤等によって第１ホルダ６１に固定される。

　第１ホルダ６１は、凹部６３、６４の外周側を囲む外枠部６８を備える。外枠部６８は、凹部６３に対して第２方向Ｘの一方側Ｘ１、第２方向Ｘの他方側Ｘ２、第３方向Ｙの一方側Ｙ１、および第３方向Ｙの他方側Ｙ２に、第１外枠部分６８１、第２外枠部分６８２、第３外枠部分６８３、および第４外枠部分６８４を備えている。第１ホルダ６１には、第２方向Ｘの一方側Ｘ１のコイル保持穴６６と第１外枠部分６８１との間に第１開口部６０１が形成され、第２方向Ｘの他方側Ｘ２のコイル保持穴６６と第２外枠部分６８２との間に第２開口部６０２が形成されている。第１開口部６０１、および第２開口部６０２は第１ホルダ６１を第１方向Ｚで貫通している。

　第１ホルダ６１の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の面には、外枠部６８の一方の対角位置に、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出した凸部６０ａが形成され、他方の対角位置には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に凹んだ凹部６０ｂが形成されている。第１ホルダ６１と第２ホルダ６２を組み立ててホルダ６０を構成する際、第１方向Ｚに対向する凸部６０ａと凹部６０ｂを嵌め合わせる。また、第１ホルダ６１の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の面には、第１外枠部分６８１の両端に凸部６０ａ（図示省略）が形成され、第２外枠部分６８２の両端に凹部６０ｂ（図示省略）が形成されている。第１方向Ｚの一方側Ｚ１の面に形成された凸部６０ａおよび凹部６０ｂは、上述したように、第１カバー部材１６の凹部１６ａおよび凸部１６ｂと嵌め合わされる。

　また、第１ホルダ６１の外枠部６８には、凸部６０ａおよび凹部６０ｂよりも外周側の４箇所の対角位置に貫通孔６０ｃが形成されている。貫通孔６０ｃは、第１ホルダ６１の外枠部６８と、第２ホルダ６２の外枠部６８とが第１方向Ｚに当接する部位に設けられている。４箇所の貫通孔６０ｃには、それぞれ、位置決めピン６９が挿通される。位置決めピン６９は、一方の端部が第１ホルダ６１の貫通孔６０ｃに通され、他方の端部が第２ホルダ６２の貫通孔６０ｃに通される。位置決めピン６９により、第１ホルダ６１と第２ホルダ６２が第１方向Ｚと直交する方向に位置決めされるとともに、第１ホルダ６１と第２ホルダ６２が結合される。

　コイル７は、凹部６４側からコイル保持穴６６に配置され、受け部６７に支持される。第１ホルダ６１のコイル保持穴６６（第１コイル保持穴）には、第１コイル７１、７２が保持される。また、第２ホルダ６２のコイル保持穴６６（第２コイル保持穴）には、第２コイル７３、７４が保持される。第１ホルダ６１および第２ホルダ６２の第１外枠部分６８１には、凹部６４が開口する側の端面に端子ピン保持溝６８５が形成されている。すなわち、第１ホルダ６１では、第１外枠部分６８１の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の端面に端子ピン保持溝６８５が形成されている。また、第２ホルダ６２では、凹部６４が開口する側の端面は、第１方向Ｚの他方側Ｚ２を向いているので、端子ピン保持溝６８５は、第１方向Ｚの他方側Ｚ２を向く端面に形成されている。端子ピン保持溝６８５は、第１外枠部分６８１の第３方向Ｙの両端に形成され、それぞれ１本ずつ端子ピン１０を保持している。端子ピン１０は、端子ピン保持溝６８５に配置されて第２方向Ｘに直線状に延びる第１部分１０ａと、第１部分１０ａに対して略直角に繋がる第２部分１０ｂとを備える（図４参照）。第２部分１０ｂは、端子ピン保持溝６８５の底部に設けられた取付孔６８６（図７参照）に挿入される。第１部分１０ａの先端は、端子ピン保持溝６８５から第２方向Ｘの一方側Ｘ１へ突出する。

　図７は、筒状ケース４および第２カバー部材１７を取り外したアクチュエータ１の平面図であり、後述する第３ヨーク３３の図示を省略して第１方向Ｚの他方側Ｚ２から見た平面図である。図７に示すように、第２ホルダ６２において、端子ピン保持溝６８５の第２方向Ｘの他方側Ｘ２は凹部６４と繋がっている。凹部６４にはコイル保持穴６６が形成され、コイル７が保持されている。コイル７から引き出された導線７５は、凹部６４から端子ピン保持溝６８５に引き込まれ、絡げ、半田付け等により端子ピン１０の第１部分１０ａに接続される。第１ホルダ６１には第１コイル７１、７２が保持され、第１ホルダ６１に取り付けられた２本の端子ピン１０には、第１コイル７１、７２の巻き始め側の導線７５と、巻き終り側の導線７５が接続される。また、第２ホルダ６２に取り付けられた２本の端子ピン１０には、第２コイル７３、７４の巻き始め側の導線７５と、巻き終り側の導線７５が接続される。

　図３に示すように、ホルダ６０の端部６００に形成された凹部６１０には、第１ホルダ６１および第２ホルダ６２からそれぞれ、端子ピン１０が２本ずつ突出している。これらの４本の端子ピン１０は、配線基板１５に形成された孔に挿入され、配線基板１５の表面に形成された回路パターンに接続される（図１参照）。

（可動体）
　図２、図６に示すように、可動体３は、磁性板からなるヨーク３０と、ヨーク３０に固定されるウェイト４０および磁石８を備える。磁石８は、ヨーク３０に接着等により固定される。ヨーク３０は、第１板部３１１を備える第１ヨーク３１と、第１板部３１１の第１方向Ｚの他方側Ｚ２に配置される第２板部３２１を備える第２ヨーク３２と、第２板部３２１の第１方向Ｚの他方側Ｚ２に配置される第３板部３３１を備える第３ヨーク３３とを有しており、第１板部３１１、第２板部３２１、第３板部３３１は第２方向Ｘに平行に延在する。第２板部３２１は、第１ホルダ６１に保持される第１コイル７１、７２と第２ホルダ６２に保持される第２コイル７３、７４の間に配置される。磁石８は、第１コイル７１、７２と第１方向Ｚに対向する第１磁石８１、８２と、第２コイル７３、７４と第１方向Ｚに対向する第２磁石８３、８４を備える。第１磁石８１、８２は第１板部３１１に固定され、第２磁石８３、８４は第３板部３３１に固定されている。第１磁石８１、８２および第２磁石８３、８４は、それぞれ、コイル７の長辺７０１と第１方向Ｚに対向する２本の長方形の磁石によって構成されている。

（ヨーク）
　図２、図６に示すように、第２ヨーク３２は平板状である。すなわち、第２ヨーク３２は第２板部３２１である。第１ヨーク３１は、第１板部３１１の第２方向Ｘの一方側Ｘ１の端部において第１板部３１１から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて第２ヨーク３２と重なる位置まで延在して第２ヨーク３２と連結された第１連結板部３１２と、第２方向Ｘの他方側Ｘ２の端部において第１板部３１１から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて第２ヨーク３２と重なる位置まで延在して第２ヨーク３２と連結された第２連結板部３１３を備える。第１連結板部３１２および第２連結板部３１３は各々、第１板部３１１において第２方向Ｘの互いに対側に位置する端部から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて折れ曲がっている。このため、第１連結板部３１２は、第１コイル７１に対して第２方向Ｘの一方側Ｘ１を通って第２ヨーク３２まで延在し、第２連結板部３１３は、第１コイル７２に対して第２方向Ｘの他方側Ｚ２を通って第２ヨーク３２まで延在している。第１連結板部３１２は、第１コイル７１に対して第２方向Ｘの一方側Ｘ１を通る際、第１ホルダ６１の第１開口部６０１を通る。また、第２連結板部３１３は、第１コイル７２に対して第２方向Ｘの他方側Ｚ２を通る際、第１ホルダ６１の第２開口部６０２を通る。

　第１連結板部３１２および第２連結板部３１３は、第１方向Ｚの他方側Ｚ２の端部が溶接により第２ヨーク３２の端部と連結されている。図４に示すように、第２ヨーク３２（第２板部３２１）の第２方向Ｘの両側の端部には、第３方向Ｙの両端の角部を矩形に切り欠いた凹部３２２が形成されている。一方、第１ヨーク３１には、第１連結板部３１２の端部、および、第２連結板部３１３の端部に、第２ヨーク３２の凹部３２２に嵌って溶接される凸部３１４が形成されている。

　第３ヨーク３３と第１ヨーク３１は同一形状であり、第１方向Ｚで逆向きにして配置されている。第３ヨーク３３は、第３板部３３１の第２方向Ｘの一方側Ｘ１の端部において第３板部３３１から第１方向Ｚの一方側Ｚ１に向けて第２ヨーク３２と重なる位置まで延在して第２ヨーク３２と連結された第３連結板部３３２と、第２方向Ｘの他方側Ｘ２の端部において第３板部３３１から第１方向Ｚの一方側Ｚ１に向けて第２ヨーク３２と重なる位置まで延在して第２ヨーク３２と連結された第４連結板部３３３を備える。第３連結板部３３２および第４連結板部３３３は各々、第３板部３３１において第２方向Ｘの互いに反対側に位置する端部から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて折れ曲がっている。このため、第３連結板部３３２は、第２コイル７３に対して第２方向Ｘの一方側Ｘ１を通って第２ヨーク３２まで延在し、第４連結板部３３３は、第２コイル７４に対して第２方向Ｘの他方側Ｚ２を通って第２ヨーク３２まで延在している。第３連結板部３３２は、第２コイル７３に対して第２方向Ｘの一方側Ｘ１を通る際、第２ホルダ６２の第１開口部６０１を通る。また、第４連結板部３３３は、第２コイル７４に対して第２方向Ｘの他方側Ｚ２を通る際、第２ホルダ６２の第２開口部６０２を通る。

　第３連結板部３３２および第４連結板部３３３は、第１方向Ｚの一方側Ｚ１の端部が溶接により第２ヨーク３２の端部と連結されている。第３連結板部３３２の端部、および、第４連結板部３３３の端部には、第２ヨーク３２の凹部３２２に嵌って溶接される凸部３３４が形成されている。第１ヨーク３１および第３ヨーク３３は、第１板部３１１および第３板部３３１の第２方向Ｘの中央部分が最も第３方向Ｙの幅が広く、第１開口部６０１および第２開口部６０２に通される部分（第１連結板部３１２、第２連結板部３１３、第３連結板部３３２、第４連結板部３３３）は、第１板部３１１および第３板部３３１の第２方向Ｘの中央部分よりも第３方向Ｙの幅が狭い。

（ウェイト）
　図２に示すように、ウェイト４０は、ヨーク３０の第１板部３１１と第２板部３２１の間に配置される第１ウェイト４１と、ヨーク３０の第２板部３２１と第３板部３３１の間に配置される第２ウェイト４２を備える。本形態では、第１ウェイト４１と第２ウェイト４２は同一形状であり、タングステン、ステンレス等の非磁性の金属からなる直方体状の部材である。図２、図７に示すように、第１ウェイト４１は、第１ホルダ６１のウェイト配置穴６５に配置され、第２ウェイト４２は、第２ホルダ６２のウェイト配置穴６５に配置される。ウェイト配置穴６５は、第１ウェイト４１および第２ウェイト４２より一回り大きいため、可動体３が第２方向Ｘに振動する際、第１ウェイト４１および第２ウェイト４２は、ウェイト配置穴６５の内部で第２方向Ｘに移動する。

　第１ウェイト４１および第２ウェイト４２は、リベット４３によってヨーク３０に固定される。図６に示すように、第１ウェイト４１および第２ウェイト４２は、第３方向Ｙの幅が第２方向Ｘよりも長く、リベット４３は、第３方向Ｙに離間した２箇所に配置されている。第１ウェイト４１および第２ウェイト４２と、ヨーク３０の第１板部３１１、第２板部３２１、および第３板部３３１には、それぞれ、リベット４３を通すための貫通孔が第１方向Ｚから見て重なる位置に形成されている。

　図２に示すように、本形態では、第１板部３１１と第２板部３２１との第１方向Ｚの隙間の高さは、第１ウェイト４１の第１方向Ｚの厚さと等しい。また、第２板部３２１と第３板部３３１との第１方向Ｚの隙間の高さは、第２ウェイト４２の第１方向Ｚの厚さと等しい。従って、第１板部３１１と第２板部３２１の間、および、第２板部３２１と第３板部３３１の間に、第１ウェイト４１および第２ウェイト４２を隙間なく取り付けることができる。なお、第１ウェイト４１および第２ウェイト４２の厚さを薄くし、隙間にスペーサを取り付けることもできる。

（ストッパ機構）
　図２、図７に示すように、第１ウェイト４１および第２ウェイト４２の外周面は、ウェイト配置穴６５の内周面と第２方向Ｘに対向する。従って、第１ウェイト４１および第２ウェイト４２は、可動体３が第２方向Ｘに大きく移動した際に、ウェイト配置穴６５の内周面と衝突して可動体３の第２方向Ｘの可動範囲を規制する第１ストッパ機構３８を構成する。

　また、第３ヨーク３３の第３連結板部３３２および第４連結板部３３３は、第２ホルダ６２の第１開口部６０１および第２開口部６０２の内周面と第２方向Ｘに対向する。従って、第３連結板部３３２および第４連結板部３３３は、可動体３が第２方向Ｘに大きく移動した際に、第１開口部６０１および第２開口部６０２の内周面と衝突して可動体３の第２方向Ｘの可動範囲を規制する第２ストッパ機構３９を構成する。また、第２ストッパ機構３９は、第１ヨーク３１の第１連結板部３１２および第２連結板部３１３と、第１ホルダ６１の第１開口部６０１および第２開口部６０２の内周面との間においても、同様に構成されている。

（基本動作）
　本形態のアクチュエータ１において、コイル７に交流を印加すると、可動体３は、第２方向Ｘに振動するため、アクチュエータ１における重心が第２方向Ｘに変動する。このため、利用者は、第２方向Ｘの振動を体感することができる。その際、コイル７に印加する交流波形を調整して、可動体３が第２方向Ｘの一方側Ｘ１に移動する加速度と、可動体３が第２方向の他方側Ｘ２に移動する加速度とを相違させれば、利用者は、第２方向Ｘにおいて方向性を有する振動を体感することができる。

（第１の発明の実施の形態の主な効果）
　以上説明したように、本形態のアクチュエータ１において、可動体３は、磁石８が固定されるヨーク３０と、ヨーク３０に固定されるウェイト４０を備える。ウェイト４０は、ヨーク３０の内側のスペースに配置されている。具体的には、ヨーク３０の第１板部３１１と第２板部３２１の間に第１ウェイト４１が配置され、ヨーク３０の第２板部３２１と第３板部３３１の間に第２ウェイト４２が配置されている。このように、ヨーク３０の内側のスペースにウェイト４０を取り付けると、可動体３の中心の近くにウェイト４０を取り付けることができるので、可動体３の重心の変動が少なく、アクチュエータ１の駆動バランスが崩れるおそれが少ない。また、ウェイト４０が可動体３の外形に影響しないため、可動体３の外側にウェイト４０の配置スペースを確保する必要がない。また、ヨーク３０の設計変更を行う必要もない。従って、適正な重量のウェイト４０を容易に取り付けることができる。

　本形態では、ヨーク３０が３段構造であるため、第１ウェイト４１と第２ウェイト４２を２段に取り付けることができる。従って、ウェイト４０の数を増やすことができ、可動体３の重量確保が容易である。また、磁石８とコイル７の対が２段に配置され、これを挟むように３段のヨーク３０（第１板部３１１、第２板部３２１、第３板部３３１）が設けられているので、磁気効率を向上させることができ、磁石８の厚さを薄くしても駆動力を確保することができる。

　本形態のウェイト４０は、リベット４３によってヨーク３０に固定されている。すなわち、第１板部３１１、第１ウェイト４１、第２板部３２１、第２ウェイト４２、第３板部３３１がこの順で積層され、これら全部を貫通するリベット４３によって第１ウェイト４１および第２ウェイト４２がヨーク３０に固定されている。従って、リベット４３により、ウェイト４０の位置決めと固定を一度に行うことができる。また、リベット４３自体もウェイトとして用いることができるので、可動体３の重量確保が容易である。

　本形態では、コイル７および磁石８の組は、第１ウェイト４１の第２方向Ｘの両側、および、第２ウェイト４２の第２方向Ｘの両側に１組ずつ配置されている。従って、可動体３の中央にウェイト４０を配置することができるため、ウェイト４０の追加によって重心が変動するおそれが少ない。従って、アクチュエータ１の駆動バランスが崩れるおそれが少ない。また、第１方向Ｚに２段に配置されたコイル７と磁石８の組は、第１板部３１１と第３板部３３１に磁石８が固定され、コイル７は、第２板部３２１と対向する位置に配置されている。従って、磁石８およびコイル７は、第２板部３２１を中心として第１方向Ｚに対称に配置されるため、バランスが良い。

　本形態の支持体２は、コイル７を保持する第１ホルダ６１および第２ホルダ６２を備えており、第１ホルダ６１と第２ホルダ６２は、第１方向Ｚに当接する状態に組み立てられている。第１ホルダ６１側の凹部６３（第１凹部）と、第２ホルダ６２側の凹部６３（第２凹部）とが対向して形成される隙間に第２板部３２１が配置され、第１ホルダ６１と第２ホルダ６２には、それぞれ、ウェイト配置穴６５とコイル保持穴６６が形成されている。第１ウェイト４１および第２ウェイト４２は、それぞれ、第１ホルダ６１側のウェイト配置穴６５（第１ウェイト配置穴）、および、第２ホルダ６２側のウェイト配置穴６５（第２ウェイト配置穴）と衝突して可動体３の第２方向Ｘの可動範囲を規制する第１ストッパ機構３８を構成する。従って、ウェイト４０を利用して第１ストッパ機構３８を設けることができるので、アクチュエータ１の耐衝撃性を高めることができる。

　本形態では、第１ホルダ６１と第２ホルダ６２は、第１方向Ｚに当接する外枠部６８を備え、外枠部６８を第１方向Ｚに貫通する貫通孔６０ｃに位置決めピン６９が通されている。従って、位置決めピン６９を用いて、第１ホルダ６１と第２ホルダ６２を第１方向Ｚと交差する方向に位置決めして結合させることができる。また、接着剤を使用せずに第１ホルダ６１と第２ホルダ６２を組み立てることができるので、接着工程を少なくすることができる。

　本形態のヨーク３０は、第１板部３１１から第２板部３２１に向けて折れ曲がって延びて第２板部３２１と連結される第１連結板部３１２および第２連結板部３１３、および、第３板部３３１から第２板部３２１に向けて折れ曲がって延びて第２板部３２１と連結される第３連結板部３３２および第４連結板部３３３を備える。従って、ヨーク３０によってコイル７および磁石８の第２方向Ｘの両側を囲んで保護することができる。また、第１連結板部３１２および第２連結板部３１３は、第１ホルダ６１の第１開口部６０１および第２開口部６０２の内周面と衝突して可動体３の第２方向Ｘの可動範囲を規制する第２ストッパ機構３９を構成する。同様に、第３連結板部３３２および第４連結板部３３３は、第２ホルダ６２の第１開口部６０１および第２開口部６０２の内周面と衝突して可動体３の第２方向Ｘの可動範囲を規制する第２ストッパ機構３９を構成する。従って、アクチュエータの耐衝撃性を高めることができる。

　本形態の支持体２は、第１カバー部材１６、第１ホルダ６１、第２ホルダ６２、および第２カバー部材１７を備えており、これらの部材は、第１方向Ｚに積層されて相互に当接している。そして、これらの部材の外周側を筒状ケース４で囲み、筒状ケース４によって保持している。このように、筒状ケース４を用いることで、接着剤を用いて第１カバー部材１６、第１ホルダ６１、第２ホルダ６２、および第２カバー部材１７を固定する必要がないので、接着工程を減らすことができる。また、ねじ等の固定部材を用いて固定する必要がないので、ねじが不要であり、第１カバー部材１６、第１ホルダ６１、第２ホルダ６２、および第２カバー部材１７にねじ穴を形成する必要がない。従って、固定部材および固定穴が不要であり、支持体２を小型化することができる。

　本形態では、支持体２と可動体３が第１方向Ｚで対向する部分に粘弾性部材９が配置されている。具体的には、第１カバー部材１６と第１板部３１１の間、および、第２カバー部材１７と第３板部３３１の間に粘弾性部材９が配置されている。従って、可動体３を駆動した際の共振を粘弾性部材９によって抑制することができる。

　粘弾性部材９は、可動体３が第２方向Ｘに振動する際、せん断方向に変形するので、粘弾性部材９は、非線形の成分よりも線形の成分が大きい変形特性を持つ。従って、粘弾性部材９では、運動方向によるバネ力が一定となる。それゆえ、可動体３が第２方向Ｘに振動する際、粘弾性部材９のせん断方向のバネ要素を用いることができるので、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上させることができ、微妙なニュアンスもって振動を実現することができる。また、粘弾性部材９が可動体３と支持体２との間で厚さ方向（軸方向）に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分よりも非線形の成分が大きい伸縮特性を持つため、粘弾性部材が大きく変形することを抑制できる。従って、可動体３と支持体２とのギャップが大きく変化することを抑制できる。

　本形態では、支持体２が第１方向Ｚに積層された複数の部材（第１カバー部材１６、ホルダ６０および第２カバー部材１７）を備えているため、支持体２と可動体３とが第１方向Ｚで対向する個所の間隔がばらつきやすいが、支持体２は、筒状ケース４によって分離しないように保持されているため、粘弾性部材９を第１方向Ｚに圧縮した状態で保持することができる。従って、粘弾性部材９は、支持体２および可動体３に常に接している。このため、粘弾性部材９は、可動体３の移動に確実に追従する。また、支持体２の第１カバー部材１６および第２カバー部材１７において粘弾性部材９が接する部分は凹部１６５、１７５になっているので、粘弾性部材９の位置がずれにくい。更に、粘弾性部材９は、支持体２と接する面が支持体２に接着され、可動体３と接する面が可動体３に接着されているため、粘弾性部材９の位置がずれにくい。従って、粘弾性部材９は、可動体３の移動に確実に追従する。

　本形態では、粘弾性部材９が配置されるスペースに、第１カバー部材１６から第１板部３１１に向けて突出する第１凸部１６７、および、第２カバー部材１７から第３板部３３１に向けて突出する第２凸部１７７が形成されている。従って、第１凸部１６７が第１板部３１１と当接し、第２凸部１７７が第３板部３３１と当接することによって粘弾性部材９の潰れ量を規制することができる。従って、粘弾性部材９の耐久性を高めることができる。

（第２の発明の実施の形態の主な効果）
　以上説明したように、本形態のアクチュエータ１は、支持体２に配線基板１５を保持するための第１基板保持溝５２および第２基板保持溝５５が設けられている。第１基板保持溝５２および第２基板保持溝５５は、溝幅方向で同じ側に位置する第１内面５７を備え、第１基板保持溝５２の第１内面５７と第２基板保持溝５５の第１内面５７は、逆向きに傾斜するテーパ面となっている。従って、配線基板１５の一方の端部と他方の端部が逆向きに傾斜するテーパ面に押し付けられるので、配線基板１５はがたつきなく保持される。よって、可動体３が振動する際、配線基板１５に振動が伝わってビビリ音が発生するおそれが少ない。また、接着剤を用いて配線基板１５の振動を防止する必要がないので、接着工程を省略できる。

　本形態では、第１基板保持溝５２は第１カバー部材１６の第２方向Ｘの一方側Ｘ１の端部１６０に形成され、第２基板保持溝５５は第２カバー部材１７の第２方向Ｘの一方側Ｘ１の端部１７０に形成されている。支持体２は、第１カバー部材１６と、ホルダ６０と、第２カバー部材１７を積層して構成されている。従って、支持体２を組み立てる際、支持体２の第２方向Ｘの一方側Ｘ１の端部に配線基板１５を保持させることができる。また、ホルダ６０の端部６００は、端部６００に形成された凹部６１０の底面（基板当接部）が、第１基板保持溝５２および第２基板保持溝５５の第１内面５７とは反対側から配線基板１５に当接する。従って、配線基板１５は、テーパ面である第１内面５７とは反対側からホルダ６０の端部６００によって支持され、第１内面５７とホルダ６０の端部６００との間に配線基板１５の端部が挟まれる。よって、配線基板１５の振動をより確実に抑制することができる。

　本形態では、第１ホルダ６１および第２ホルダ６２は、コイル７と、コイル７から引き出した導線７５に接続される端子ピン１０を保持しており、端子ピン１０の第１部分１０ａは、第１ホルダ６１および第２ホルダ６２に形成された端子ピン保持溝６８５に保持される。また、第１部分１０ａの先端は、ホルダ６０の端部６００から配線基板１５が配置される側（第２方向Ｘの他方側）に突出する。従って、配線基板１５を取り付ける際に端子ピン１０を配線基板１５に形成された穴に挿入して配線基板１５状の回路パターンと接続することができる。よって、コイル７と配線基板１５との接続が容易である。

　本形態のホルダ６０は、コイル７を保持する第１ホルダ６１および第２ホルダ６２を備えており、第１ホルダ６１と第２ホルダ６２は、第１方向Ｚに当接する状態に組み立てられている。磁気駆動回路６は、第１ホルダ６１に保持される第１コイル７１、７２および第１コイル７１、７２に第１方向Ｚで対向する第１磁石８１、８２と、第２ホルダ６２に保持される第２コイル７３、７４および第２コイル７３、７４に第１方向Ｚで対向する第２磁石８３、８４を備えている。従って、磁石８とコイル７の組を２段に配置することができる。また、第１ホルダ６１と第２ホルダ６２は、第１方向Ｚに当接する外枠部６８を備え、外枠部６８を第１方向Ｚに貫通する貫通孔６０ｃに位置決めピン６９が通されている。従って、位置決めピン６９を用いて、第１ホルダ６１と第２ホルダ６２を第１方向Ｚと交差する方向に位置決めして結合させることができる。また、接着剤を使用せずに第１ホルダ６１と第２ホルダ６２を組み立てることができるので、接着工程を少なくすることができる。

　本形態では、第１カバー部材１６、第１ホルダ６１、第２ホルダ６２、および第２カバー部材１７を備えており、これらの部材は、第１方向Ｚに積層されて相互に当接している。そして、これらの部材の外周側を筒状ケース４で囲み、筒状ケース４によって保持している。このように、筒状ケース４を用いることにより、第１カバー部材１６、第１ホルダ６１、第２ホルダ６２、および第２カバー部材１７を接着剤を用いて固定する必要がない。従って、接着工程を減らすことができる。また、ねじ等の固定部材を用いて固定する必要がないので、ねじが不要であり、第１カバー部材１６、第１ホルダ６１、第２ホルダ６２、および第２カバー部材１７にねじ穴を形成する必要がない。従って、固定部材および固定穴が不要であり、支持体２を小型化することができる。

　本形態では、支持体２と可動体３が第１方向Ｚで対向する部分に粘弾性部材９が配置されている。具体的には、第１カバー部材１６と第１板部３１１の間、および、第２カバー部材１７と第３板部３３１の間に粘弾性部材９が配置されている。従って、可動体３を駆動した際の共振を粘弾性部材９によって抑制することができる。

　粘弾性部材９は、可動体３が第２方向Ｘに振動する際、せん断方向に変形するので、粘弾性部材９は、非線形の成分よりも線形の成分が大きい変形特性を持つ。従って、粘弾性部材９では、運動方向によるバネ力が一定となる。それゆえ、可動体３が第２方向Ｘに振動する際、粘弾性部材９のせん断方向のバネ要素を用いることができるので、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上させることができ、微妙なニュアンスもって振動を実現することができる。また、粘弾性部材９が可動体３と支持体２との間で厚さ方向（軸方向）に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分よりも非線形の成分が大きい伸縮特性を持つため、粘弾性部材が大きく変形することを抑制できる。従って、可動体３と支持体２とのギャップが大きく変化することを抑制できる。

　本形態では、支持体２が第１方向Ｚに積層された複数の部材（第１カバー部材１６、ホルダ６０および第２カバー部材１７）を備えているため、支持体２と可動体３とが第１方向Ｚで対向する個所の間隔がばらつきやすいが、支持体２は、筒状ケース４によって分離しないように保持されているため、粘弾性部材９を第１方向Ｚに圧縮した状態で保持することができる。従って、粘弾性部材９は、支持体２および可動体３に常に接している。このため、粘弾性部材９は、可動体３の移動に確実に追従する。また、支持体２の第１カバー部材１６および第２カバー部材１７において粘弾性部材９が接する部分は凹部１６５、１７５になっているので、粘弾性部材９の位置がずれにくい。更に、粘弾性部材９は、支持体２と接する面が支持体２に接着され、可動体３と接する面が可動体３に接着されているため、粘弾性部材９の位置がずれにくい。従って、粘弾性部材９は、可動体３の移動に確実に追従する。

　本形態では、粘弾性部材９が配置されるスペースに、第１カバー部材１６から第１板部３１１に向けて突出する第１凸部１６７、および、第２カバー部材１７から第３板部３３１に向けて突出する第２凸部１７７が形成されている。従って、第１凸部１６７が第１板部３１１と当接し、第２凸部１７７が第３板部３３１と当接することによって粘弾性部材９の潰れ量を規制することができる。従って、粘弾性部材９の耐久性を高めることができる。

（他の実施形態）
　上記形態は、第１板部３１１、第２板部３２１、第３板部３３１を備えた３段構成のヨーク３０を備えるアクチュエータ１に本発明を適用するものであったが、２段構成のヨークを備えたアクチュエータに本発明を適応してもよい。

　上記形態では、第１板部３１１と第２板部３２１の間、および、第２板部３２１と第３板部３３１の間の２箇所にウェイトを取り付けているが、必要な重量によっては、いずれか１箇所のみウェイトを取り付けるようにしてもよい。また、１箇所に金属のウェイトを取り付け、もう１箇所に樹脂などの軽量な部材を取り付けてもよい。

　上記形態では、リベット４３を用いてウェイト４０を固定するが、強度を必要としない場合には、接着材を用いてウェイト４０を固定してもよい。

　上記形態では、可動体３の第２方向Ｘの中央にウェイト４０を配置しているが、可動体３の第２方向Ｘの両端にウェイトを取り付けても良い。

　上記形態では、可動体３を第２方向Ｘのみに駆動するアクチュエータ１に本発明を適用したが、可動体３を第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに駆動するアクチュエータ１に本発明を適用してもよい。

　上記形態では、粘弾性部材としてゲル状ダンパー部材を用いたが、ゴム等を粘弾性部材として用いてもよい。

　上記形態は、支持体２の第２方向Ｘの一方側Ｘ１の側面２Ａに配線基板１５を取り付けているが、第２方向Ｘの他方側Ｘ２の側面、第３方向Ｙの一方側Ｙ１の側面、あるいは、第３方向Ｙの他方側Ｙ２の側面に配線基板１５を取り付けることもできる。

　上記形態は、第１基板保持溝５２と第２基板保持溝５５が第１方向Ｚに対向しているが、第３方向Ｙ、もしくは第２方向Ｘに対向する形態であってもよい。

　上記形態は、可動体３に磁石８が保持され、支持体２にコイル７が保持されているが、可動体３にコイル７が保持され、支持体２に磁石８が保持されるアクチュエータに本発明を適用してもよい。

１…アクチュエータ、２…支持体、２Ａ…側面、３…可動体、４…筒状ケース、６…磁気駆動回路、７…コイル、８…磁石、９…粘弾性部材、１０…端子ピン、１０ａ…第１部分、１０ｂ…第２部分、１１…カバー、１５…配線基板、１６…第１カバー部材、１６ａ…凹部、１６ｂ…凸部、１７…第２カバー部材、３０…ヨーク、３１…第１ヨーク、３２…第２ヨーク、３３…第３ヨーク、３８…第１ストッパ機構、３９…第２ストッパ機構、４０…ウェイト、４１…第１ウェイト、４２…第２ウェイト、４３…リベット、５０…第１基板支持壁、５１…位置決め突起、５２…第１基板保持溝、５３…第２基板支持壁、５４…位置決め突起、５５…第２基板保持溝、５６…基板配置用凹部、５７…第１内面（テーパ面）、５８…第２内面、６０…ホルダ、６０ａ…凸部、６０ｂ…凹部、６０ｃ…貫通孔、６１…第１ホルダ、６２…第２ホルダ、６３…凹部、６４…凹部、６５…ウェイト配置穴、６６…コイル保持穴、６７…受け部、６８…外枠部、６９…位置決めピン、７１、７２…第１コイル、７３、７４…第２コイル、７５…導線、８１、８２…第１磁石、８３、８４…第２磁石、１６０…第１カバー部材の端部、１６１…第１壁部、１６２…第２壁部、１６３…第３壁部、１６４…第４壁部、１６５…凹部、１６６…リブ、１６７…第１凸部、１６８…凹部、１７０…第２カバー部材の端部、１７１…第１壁部、１７２…第２壁部、１７３…第３壁部、１７４…第４壁部、１７５…凹部、１７６…リブ、１７７…第２凸部、１７８…凹部、３１１…第１板部、３１２…第１連結板部、３１３…第２連結板部、３１４…凸部、３１５…中央部、３２１…第２板部、３２２…凹部、３３１…第３板部、３３２…第３連結板部、３３３…第４連結板部、３３４…凸部、４１０…第１ケース、４１１…第１板部、４１２…第２板部、４１３…第３板部、４２０…第２ケース、４２１…第４板部、４２２…第５板部、４２３…第６板部、４３０…板バネ部、６００…ホルダの端部、６０１…第１開口部、６０２…第２開口部、６１０…凹部、６１１…底面（基板当接部）、６８１…第１外枠部分、６８２…第２外枠部分、６８３…第３外枠部分、６８４…第４外枠部分、６８５…端子ピン保持溝、６８６…取付孔、７０１…コイルの長辺、７０２…コイルの短辺、Ｘ…第２方向、Ｙ…第３方向、Ｚ…第１方向

Claims (20)

1. 　支持体と、
   　前記支持体に移動可能に支持された可動体と、
   　前記可動体を前記支持体に対して相対移動させる磁気駆動回路と、を有し、
   　前記磁気駆動回路は、前記支持体に設けられた第１コイルと、前記可動体に設けられて前記コイルに第１方向で対向する第１磁石と、を備え、前記可動体を前記第１方向に対して交差する第２方向に駆動し、
   　前記可動体は、前記第１コイルおよび前記第１磁石に対して前記第１方向の一方側に配置される第１板部、および、前記第１コイルおよび前記第１磁石に対して前記第１方向の他方側に配置される第２板部が設けられたヨークと、前記ヨークに固定されるウェイトと、を備え、
   　前記ウェイトは、前記第１板部と前記第２部の間に配置されることを特徴とするアクチュエータ。
2. 　前記ヨークは、前記第２板部に対して前記第１方向の他方側に配置される第３板部を備え、
   　前記磁気駆動回路は、前記第１方向に対向する第２コイルおよび第２磁石を備え、前記第２コイルおよび前記第２磁石は、前記第２板部と前記第３板部の間に配置され、
   　前記ウェイトは、前記第１板部と前記第２部の間に配置される第１ウェイトと、前記第２板部と前記第３板部の間に配置される第２ウェイトを備えることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
3. 　前記第１ウェイトおよび前記第２ウェイトは、前記第１板部、前記第１ウェイト、前記第２板部、前記第２ウェイト、前記第３板部を貫通するリベットにより前記ヨークに固定されていることを特徴とする請求項２に記載のアクチュエータ。
4. 　前記第１コイルおよび前記第１磁石は、前記第１ウェイトの前記第２方向の両側に１組ずつ配置され、
   　前記第２コイルおよび前記第２磁石は、前記第２ウェイトの前記第２方向の両側に１組ずつ配置されていることを特徴とする請求項２または３に記載のアクチュエータ。
5. 　前記第１磁石は、前記第１板部に固定され、前記第２磁石は、前記第３板部に固定されていることを特徴とする請求項２から４の何れか一項に記載のアクチュエータ。
6. 　前記支持体は、第１ホルダと、前記第１ホルダに対して前記第１方向の他方側から当接する第２ホルダを備え、
   　前記第１ホルダには、前記第１ウェイトを配置する第１ウェイト配置穴、および前記第１コイルを配置する第１コイル保持穴が形成され、
   　前記第２ホルダには、前記第２ウェイトを配置する第２ウェイト配置穴、および前記第２コイルを配置する第２コイル保持穴が形成され、
   　前記第１ウェイトおよび前記第２ウェイトは、それぞれ、前記第１ウェイト配置穴の内周面および前記第２ウェイト配置穴の内周面と衝突して前記可動体の前記第２方向の可動範囲を規制することを特徴とする請求項５に記載のアクチュエータ。
7. 　前記第１ホルダと前記第２ホルダは、前記第１方向に当接する部分を前記第１方向に貫通する貫通孔を備え、前記貫通孔に通される位置決めピンによって結合されることを特徴とする請求項６に記載のアクチュエータ。
8. 　前記ヨークは、前記第１板部を備えた第１ヨークと、前記第２板部を備えた第２ヨークと、前記第３板部を備えた第３ヨークとを有し、
   　前記第１ヨークは、前記第１板部から前記第１方向の他方側に向けて前記第２ヨークと重なる位置まで延在して前記第２ヨークと連結された第１連結板部と、前記第１磁石および前記第１コイルに対して前記第１連結板部とは反対側で前記第１板部から前記第１方向の他方側に向けて前記第２ヨークと重なる位置まで延在して前記第２ヨークと連結された第２連結板部と、を備え、
   　前記第３ヨークは、前記第３板部から前記第１方向の一方側に向けて前記第２ヨークと重なる位置まで延在して前記第２ヨークと連結された第３連結板部と、前記第２磁石および前記第２コイルに対して前記第１連結板部とは反対側で前記第３板部から前記第１方向の一方側に向けて前記第２ヨークと重なる位置まで延在して前記第２ヨークと連結された第４連結板部と、を備え、
   　前記第１連結板部と前記第２連結板部は、それぞれ、前記第１ホルダに形成された開口
   部の内周面と衝突して前記可動体の前記第２方向の可動範囲を規制し、
   　前記第３連結板部と前記第４連結板部は、それぞれ、前記第２ホルダに形成された開口部の内周面と衝突して前記可動体の前記第２方向の可動範囲を規制することを特徴とする請求項７に記載のアクチュエータ。
9. 　前記支持体は、
   　前記第１ホルダに対して前記第１方向の一方側から当接する第１カバー部材と、
   　前記第２ホルダに対して前記第１方向の他方側から当接する第２カバー部材と、
   　前記第１カバー部材、前記第１ホルダ、前記第２ホルダ、前記第２カバー部材の外周側を囲む筒状ケースを備えることを特徴とする請求項６から８の何れか一項に記載のアクチュエータ。
10. 　前記第１カバー部材と前記第１ホルダとの間に前記第１板部が配置され、前記第２カバー部材と前記第２ホルダとの間に前記第３板部が配置され、
    　前記第１カバー部材と前記第１板部との間、および、前記第２カバー部材と前記第３板部との間に粘弾性部材が配置されていることを特徴とする請求項９に記載のアクチュエータ。
11. 　前記第１カバー部材は、前記粘弾性部材が接続される面から前記第１板部に向けて突出する第１凸部を備え、
    　前記第２カバー部材は、前記粘弾性部材が接続される面から前記第３板部に向けて突出する第２凸部を備えることを特徴とする請求項１０に記載のアクチュエータ。
12. 　前記粘弾性部材は、ゲル状ダンパー部材であることを特徴とする請求項１０または１１に記載のアクチュエータ。
13. 　支持体と、
    　前記支持体に移動可能に支持された可動体と、
    　コイルおよび前記コイルに第１方向で対向する磁石を備え、前記可動体を前記支持体に対して前記第１方向に交差する第２方向に相対移動させる磁気駆動回路と、
    　前記コイルが接続される基板と、を有し、
    　前記支持体には、前記基板の一端を保持する第１基板保持溝および他端を保持する第２基板保持溝が設けられ、前記第１基板保持溝および前記第２基板保持溝は、溝幅方向で同じ側に位置する第１内面を備え、
    　前記第１基板保持溝の前記第１内面と、前記第２基板保持溝の前記第１内面は、逆向きに傾斜するテーパ面であることを特徴とするアクチュエータ。
14. 　前記支持体は、前記コイルまたは前記磁石が保持されたホルダと、前記ホルダに対して前記第１方向の一方側に位置する第１カバー部材と、前記ホルダに対して前記第１方向の他方側に位置する第２カバー部材と、を備え、
    　前記第１基板保持溝は前記第１カバー部材の前記第２方向の一方側の端部に形成され、
    　前記第２基板保持溝は前記第２カバー部材の前記第２方向の一方側の端部に形成され、
    　前記ホルダの前記第２方向の一方側の端部は、前記テーパ面とは反対側から前記基板に当接する基板当接部を備えることを特徴とする請求項１３に記載のアクチュエータ。
15. 　前記ホルダは、前記コイルと、前記コイルに接続される端子ピンを保持しており、
    　前記端子ピンの端部は、前記ホルダの前記第２方向の一方側の端部から突出することを特徴とする請求項１４に記載のアクチュエータ。
16. 　前記ホルダは、第１ホルダと、前記第１ホルダに対して前記第１方向の他方側から当接する第２ホルダを備え、
    　磁気駆動回路は、前記第１ホルダに保持される第１コイルおよび前記第１コイルに前記第１方向で対向する第１磁石と、前記第２ホルダに保持される第２コイルおよび前記第２コイルに前記第１方向で対向する第２磁石を備え、
    　前記第１ホルダと前記第２ホルダは、前記第１方向に当接する部分を前記第１方向に貫通する貫通孔を備え、前記貫通孔に通される位置決めピンによって結合されることを特徴とする請求項１４または１５に記載のアクチュエータ。
17. 　前記支持体は、前記第１カバー部材、前記ホルダ、前記第２カバー部材の外周側を囲む筒状ケースを備えることを特徴とする請求項１４から１６の何れか一項に記載のアクチュエータ。
18. 　前記第１カバー部材と前記可動体との間、および、前記第２カバー部材と前記可動体との間に粘弾性部材が設けられていることを特徴とする請求項１４から１７の何れか一項に記載のアクチュエータ。
19. 　前記第１カバー部材は、前記粘弾性部材が接続される面から前記可動体に向けて突出する第１凸部を備え、
    　前記第２カバー部材は、前記粘弾性部材が接続される面から前記可動体に向けて突出する第２凸部を備えることを特徴とする請求項１８に記載のアクチュエータ。
20. 　前記粘弾性部材は、ゲル状ダンパー部材であることを特徴とする請求項１８または１９に記載のアクチュエータ。

Images