WO2018216588A1 - プローブ - Google Patents

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WO2018216588A1
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barrel
plunger
fixing member
region
probe
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Inventor
美佳 那須
竹内　修
Original Assignee
株式会社日本マイクロニクス
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    • G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
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    • G—PHYSICS
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    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks

Definitions

  • the present invention relates to a probe used for measuring characteristics of an object to be inspected.
  • a probe that contacts the object to be inspected is used.
  • the probe includes, for example, a plunger that is a small-diameter conductive portion that comes into contact with the object to be inspected, and a barrel that is a cylindrical portion that is formed so as to be contractable so that the plunger contacts the object to be inspected with appropriate pressure.
  • the structure etc. which were connected are used (for example, refer patent document 1).
  • ⁇ Spot welding can be used to secure the plunger and barrel.
  • a phenomenon occurs in which the barrel swells outward due to pressurization in spot welding. For this reason, in order to prevent the probes from contacting each other, it is necessary to widen the interval between the probes, and there is a problem that the narrowing of the arrangement of the probes is hindered.
  • an object of the present invention is to provide a probe in which a plunger and a barrel are fixed, and a method for manufacturing the same, capable of narrowing the pitch.
  • a rod-shaped plunger having a distal end portion and an insertion portion connected to the distal end portion, a tube-shaped barrel in which the plunger insertion portion is disposed, a plunger and a barrel
  • a first fixing member having a lower melting point than any of the material of the plunger and the barrel, which is disposed in an opposing region and fixes the plunger and the barrel, and the region where the first fixing member is disposed;
  • a probe in which a space between a plunger and a barrel is embedded with a first fixing member without a gap in a cut surface in a region where the plunger and the barrel overlap.
  • a rod-shaped plunger having a distal end portion and an insertion portion connected to the distal end portion, and a method of manufacturing a probe having a tubular barrel in which the plunger insertion portion is disposed.
  • a method for manufacturing the probe is provided.
  • FIG. 5B shows a state of the plunger in which the first fixing member is arranged
  • FIG. 5C shows a state in which the plunger and the barrel are fixed.
  • the probe 1 As shown in FIG. 1, the probe 1 according to the first embodiment of the present invention includes a rod-shaped plunger 11 having a distal end portion 111 and an insertion portion 112 connected to the distal end portion 111, and an insertion portion of the plunger 11. 112 is provided with a tubular barrel 12 in which 112 is disposed, and a first fixing member 131 for fixing the plunger 11 and the barrel 12 together.
  • the first fixing member 131 is a member that is disposed in a region where the plunger 11 and the barrel 12 face each other and has a lower melting point than any material of the plunger 11 and the barrel 12. As shown in FIG. 1, the outer diameter of the barrel 12 is constant. For easy understanding, the first fixing member 131 is shown by hatching (the same applies below).
  • FIG. 2 shows a cross-sectional shape of a region where the plunger 11 and the barrel 12 are fixed by the first fixing member 131.
  • the space between the surface of the plunger 11 and the inner wall surface of the barrel 12 is The first fixing member 131 is embedded without a gap.
  • the probe 1 shown in FIG. 1 has a configuration in which plungers 11 are inserted from the open ends of both ends of the barrel 12, respectively.
  • the probe 1 is used, for example, for acquiring the electrical characteristics of an object to be inspected.
  • the tip 111 of one plunger 11 contacts the object to be inspected.
  • the distal end portion 111 of the other plunger 11 is in contact with a terminal such as a wiring board and is electrically connected to a measuring instrument such as a tester via the wiring board.
  • a conductive material is used for the plunger 11 and the barrel 12.
  • AgPdCu material or the like is used for the plunger 11
  • Ni material or the like is used for the barrel 12. Since the plunger 11 and the barrel 12 are electrically connected via the first fixing member 131, a conductive material is used for the first fixing member 131.
  • a spiral cut that penetrates the side surface of the barrel 12 is formed, and a part of the barrel 12 has a spring shape.
  • the barrel 12 is extendable and contractible in the axial direction.
  • the plunger 11 can be brought into contact with the object to be inspected or the wiring board with an appropriate pressure.
  • incision is not formed in the area
  • the probe 1 is held by a socket 2 as shown in FIG.
  • a number of probes 1 required for measuring the object to be inspected are disposed through the socket 2.
  • the plunger 11 exposed from one main surface of the socket 2 contacts the object to be inspected.
  • the plunger 11 exposed from the other main surface of the socket 2 is electrically connected to the measuring instrument.
  • the manufacturing method of the probe 1 shown in FIG. 1 will be described.
  • the manufacturing method of the probe 1 described below is an example, and it is needless to say that it can be realized by various other manufacturing methods including this modification.
  • a first fixing member 131 having a melting point lower than that of any material of the plunger 11 and the barrel 12 is formed in a specific region of at least one of the plunger 11 and the barrel 12.
  • the first fixing member 131 is formed on the surface of the plunger 11.
  • the region where the first fixing member 131 is formed corresponds to a region at a certain distance from the opening end of the barrel 12 as indicated by a broken line in FIG.
  • the insertion portion 112 of the plunger 11 is inserted from the opening end of the barrel 12 into the inside so that the plunger 11 and the barrel 12 are connected via the first fixing member 131 in a specific region. Thereafter, the first fixing member 131 is dissolved, and the plunger 11 and the barrel 12 are fixed.
  • the first fixing member 131 is dissolved by, for example, heat treatment.
  • the first fixing member 131 is dissolved in a high temperature environment by reflow.
  • the specific region forming the first fixing member 131 in the above manufacturing method is a region where the plunger 11 and the barrel 12 face each other in a state where the plunger 11 and the barrel 12 are connected. This is called “region”.
  • various methods can be used depending on the type of the first fixing member 131 and the like.
  • a method of forming the first fixing member 131 for example, there is a method of forming Au / Sn plating or a method of applying a solder paste.
  • the first fixing member 131 that electrically connects the plunger 11 and the barrel 12 is embedded between the plunger 11 and the barrel 12 without a gap.
  • the first fixing member 131 is continuously formed on the side surface of the plunger 11 in the circumferential direction. As a result, the gap between the plunger 11 and the barrel 12 is filled with the first fixing member 131 in which the space between the plunger 11 and the barrel 12 is melted in the cut surface of the fixing region where the first fixing member 131 is formed.
  • FIG. 5 (a) a recess is formed on the surface of the insertion portion 112 of the plunger 11 along the outer edge.
  • the first fixing member 131 is placed inside the recess. It may be formed.
  • FIG. 5C shows a state where the plunger 11 in the state shown in FIG. 5B is fixed to the barrel 12.
  • the interval between the plunger 11 and the barrel 12 that do not form the concave portion is narrowed as shown in FIG.
  • the allowable amount of current flowing through the probe 1 can be increased.
  • the first fixing member 131 may be formed on either the plunger 11 or the barrel 12 before fixing.
  • the first fixing member 131 may be formed on both the plunger 11 and the barrel 12.
  • FIG. 6 shows an example in which the first fixing member 131 is formed on the surface of the barrel 12. Further, as shown in FIG. 7, the first fixing member 131 may be formed in a recess provided on the inner wall surface of the barrel 12. By forming the first fixing member 131 inside the recess, the interval between the plunger 11 and the barrel 12 can be narrowed in a region other than the fixing region. Thereby, as described above, the allowable amount of current flowing through the probe 1 can be increased, and the electrical resistance between the plunger 11 and the barrel 12 can be decreased.
  • a recessed part may be provided in both the surface of the insertion part 112 of the plunger 11, and the inner wall face of the barrel 12, and the 1st adhering member 131 may be formed in those recessed parts.
  • FIG. 8 shows a method of fixing the plunger 11A and the barrel 12A by spot welding as a comparative example.
  • spot welding a current is passed while the plunger 11A and the barrel 12A are pressed (pressed) in the direction of the arrow by the electrode 100. Thereby, resistance heat is generated on the contact surface between the plunger 11A and the barrel 12A. This thermal resistance causes the metal to melt and solidify inside the plunger 11A and the barrel 12A, and the plunger 11A and the barrel 12A are welded.
  • the press at this time causes the surface of the barrel 12A to bulge due to the shape change.
  • the barrel 12 has a multilayer structure.
  • the inner layer 121 is made of Au material
  • the outer layer 122 is made of Ni material.
  • the barrel 12 has a multilayer structure
  • a material that forms an alloy by reacting with the dissolved first fixing member 131 may be used for the inner layer 121.
  • the plunger 11 and the barrel 12 can be more firmly fixed.
  • a stopper portion 110 is formed on the insertion portion 112 of the plunger 11.
  • the stopper portion 110 is formed in the insertion portion 112 in a region closer to the opening portion of the barrel 12 in which the plunger 11 is inserted than in a region in contact with the first fixing member 131.
  • the insertion portion 112 prevents the first fixing member 131 from moving toward the opening of the barrel 12.
  • the stopper portion 110 is formed in a bowl shape whose outer diameter is thicker than a region in contact with the first fixing member 131.
  • the outer diameter of the stopper portion 110 is preferably thick as long as the stopper portion 110 can be inserted into the barrel 12. Thereby, it can suppress effectively that the 1st adhering member 131 flows into the front-end
  • FIG. 13 shows a probe 1 according to the second embodiment of the present invention.
  • the plunger 11 has a convex region 113 having a larger outer diameter than the inner diameter of the barrel 12 between the distal end portion 111 and the insertion portion 112.
  • the second fixing member 132 is formed on the surface of the convex region 113 facing the end surface of the opening end of the barrel 12.
  • the position of the dissolved second fixing member 132 is stabilized. That is, it is possible to suppress the melted second fixing member 132 from flowing from a predetermined position.
  • the second fixing member 132 may be formed on the end face of the opening end of the barrel 12.
  • the second fixing member 132 may be formed on both the convex region 113 of the plunger 11 and the end face of the opening end of the barrel 12.
  • the first fixing member 131 is disposed between the insertion portion 112 of the plunger 11 and the inner wall surface of the barrel 12, and the convex region 113 of the plunger 11 and the open end of the barrel 12 are arranged.
  • the second fixing member 132 may be disposed between the two, and both of these regions may be used as the fixing region. Thereby, the plunger 11 and the barrel 12 can be more firmly fixed by the plurality of connection regions.
  • the cross-sectional shape of the probe 1 is circular, but the cross-sectional shape may be a polygonal shape such as a quadrangle.
  • the probe of this embodiment can be used in the field of measuring the characteristics of an object to be inspected.

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Abstract

先端部（１１１）及び先端部（１１１）に連結する挿入部（１１２）を有する棒形状のプランジャー（１１）と、プランジャー（１１）の挿入部（１１２）が内部に配置された管形状のバレル（１２）と、プランジャー（１１）とバレル（１２）の対向する領域に配置されてプランジャー（１１）とバレル（１２）とを固着させる、プランジャー（１１）及びバレル（１２）のいずれの材料よりも融点の低い導電性の第１固着部材（１３１）とを備え、第１固着部材（１３１）が配置された領域を含むプランジャー（１１）とバレル（１２）とが重なった領域の切断面においてプランジャー（１１）とバレル（１２）の間が第１固着部材（１３１）によって隙間なく埋め込まれている。

Description

プローブ
　本発明は、被検査体の特性の測定に使用されるプローブに関する。
　集積回路などの被検査体の特性をウェハから分離しない状態で測定するために、被検査体に接触させるプローブが用いられている。プローブには、例えば、被検査体に接触する小径の伝導部であるプランジャーと、適切な押圧でプランジャーが被検査体に接触するために収縮自在に形成された円筒形状部であるバレルとが連結された構造などが使用されている（例えば、特許文献１参照。）。
特開２０１３－５３９３１号公報
　プランジャーとバレルを固着させるために、スポット溶接を使用可能である。しかしながら、スポット溶接によってプランジャーとバレルを固着させると、スポット溶接における加圧に起因してバレルが外側に膨らむ現象が生じる。このため、プローブ同士の接触を防止するためにプローブの間隔を広くする必要があり、プローブの配置の狭ピッチ化が阻害されるという問題があった。
　上記問題点に鑑み、本発明は、狭ピッチ化が可能な、プランジャーとバレルが固着されたプローブ及びその製造方法を提供することを目的とする。
　本発明の一態様によれば、先端部及び先端部に連結する挿入部を有する棒形状のプランジャーと、プランジャーの挿入部が内部に配置された管形状のバレルと、プランジャーとバレルの対向する領域に配置されてプランジャーとバレルとを固着させる、プランジャー及びバレルのいずれの材料よりも融点の低い導電性の第１固着部材とを備え、第１固着部材が配置された領域を含むプランジャーとバレルとが重なった領域の切断面においてプランジャーとバレルの間が第１固着部材によって隙間なく埋め込まれているプローブが提供される。
　本発明の他の態様によれば、先端部及び先端部に連結する挿入部を有する棒形状のプランジャー、及びプランジャーの挿入部が内部に配置される管形状のバレルを有するプローブの製造方法であって、プランジャーとバレルの少なくともいずれか一方の特定の領域に、プランジャー及びバレルのいずれの材料よりも融点の低い導電性の第１固着部材を形成するステップと、特定の領域で第１固着部材を介してプランジャーとバレルが連結するように、プランジャーの挿入部をバレルの開口端から内部に挿入するステップと、第１固着部材を溶解させて、プランジャーとバレルを固着させるステップとを含むプローブの製造方法が提供される。
　本発明によれば、狭ピッチ化が可能な、プランジャーとバレルが固着されたプローブ及びその製造方法を提供できる。
本発明の第１の実施形態に係るプローブの構成を示す模式図である。 本発明の第１の実施形態に係るプローブの構成を示す模式的な断面図である。 本発明の第１の実施形態に係るプローブを保持した例を示す模式図である。 本発明の第１の実施形態に係るプローブの第１固着部材の形成例を示す模式図である。 本発明の第１の実施形態に係るプローブの第１固着部材の他の形成例を示す模式図であり、図５（ａ）は第１固着部材を配置する前のプランジャーの状態を示し、図５（ｂ）は第１固着部材を配置したプランジャーの状態を示し、図５（ｃ）はプランジャーとバレルを固着した状態を示す。 本発明の第１の実施形態に係るプローブの第１固着部材の他の形成例を示す模式図である。 本発明の第１の実施形態に係るプローブの第１固着部材の他の形成例を示す模式図である。 比較例のプローブの製造方法を説明するための模式的な断面図である。 比較例のプローブの形状を示す模式図である。 バレルの形成方法を説明するための模式図である。 バレルの構成を示す模式的な断面図である。 本発明の第１の実施形態の変形例に係るプローブの構成を示す模式図である。 本発明の第２の実施形態に係るプローブの構成を示す模式図である。 図１３に示したプローブにおける第２固着部材の形成方法を示す模式的な斜視図である。 本発明のその他の実施形態に係るプローブの構成を示す模式図である。
　次に、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、各部の厚みの比率などは現実のものとは異なることに留意すべきである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることはもちろんである。以下に示す実施形態は、この発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、この発明の実施形態は、構成部品の材質、形状、構造、配置などを下記のものに特定するものでない。
　（第１の実施形態）
　本発明の第１の実施形態に係るプローブ１は、図１に示すように、先端部１１１及び先端部１１１に連結する挿入部１１２を有する棒形状のプランジャー１１と、プランジャー１１の挿入部１１２が内部に配置された管形状のバレル１２と、プランジャー１１とバレル１２とを固着させる第１固着部材１３１とを備える。第１固着部材１３１は、プランジャー１１とバレル１２の対向する領域に配置され、プランジャー１１及びバレル１２のいずれの材料よりも融点が低い部材である。図１に示すように、バレル１２の外径は一定である。なお、わかり易くするため、ハッチングをかけて第１固着部材１３１を示している（以下において同様。）。
　図２に、第１固着部材１３１によってプランジャー１１とバレル１２が固着された領域の断面形状を示す。図２に示すように、第１固着部材１３１が配置された領域を含むプランジャー１１とバレル１２とが重なった領域の切断面において、プランジャー１１の表面とバレル１２の内壁面との間は第１固着部材１３１によって隙間なく埋め込まれている。
　図１に示したプローブ１は、バレル１２の両端の開口端からプランジャー１１がそれぞれ挿入された構成である。プローブ１は、例えば被検査体の電気的特性の取得に使用される。この場合、一方のプランジャー１１の先端部１１１が被検査体に接触する。他方のプランジャー１１の先端部１１１は配線基板などの端子と接触し、配線基板を介してテスタなどの測定機器と電気的に接続される。
　このため、プランジャー１１及びバレル１２には導電性の材料が使用される。例えば、プランジャー１１にＡｇＰｄＣｕ材などが使用され、バレル１２にＮｉ材などが使用される。プランジャー１１とバレル１２は第１固着部材１３１を介して電気的に接続されるため、第１固着部材１３１に導電性の材料が使用される。
　図１に示したように、バレル１２の側面を貫通する螺旋状の切り込みが形成され、バレル１２の一部がバネ状になっている。これにより、バレル１２は軸方向に伸縮自在である。このため、適切な押圧でプランジャー１１を被検査体や配線基板と接触させることができる。なお、内部にプランジャー１１が配置されていない領域には切り込みは形成されない。
　プローブ１は、例えば図３に示すようにソケット２によって保持される。被検査体の測定に必要な個数のプローブ１が、ソケット２を貫通して配置される。ソケット２の一方の主面から露出したプランジャー１１が、被検査体に接触する。ソケット２の他方の主面から露出したプランジャー１１が、測定機器と電気的に接続される。
　以下に、図１に示したプローブ１の製造方法を説明する。なお、以下に述べるプローブ１の製造方法は一例であり、この変形例を含めて、これ以外の種々の製造方法により実現可能であることはもちろんである。
　先ず、プランジャー１１とバレル１２の少なくともいずれか一方の特定の領域に、プランジャー１１及びバレル１２のいずれの材料よりも融点の低い第１固着部材１３１を形成する。例えば、図４に示すように、プランジャー１１の表面に第１固着部材１３１を形成する。第１固着部材１３１の形成された領域は、図４に破線で示したように、バレル１２の開口端から一定の距離の領域に対応する。
　そして、特定の領域で第１固着部材１３１を介してプランジャー１１とバレル１２が連結するように、プランジャー１１の挿入部１１２をバレル１２の開口端から内部に挿入する。その後、第１固着部材１３１を溶解させて、プランジャー１１とバレル１２を固着させる。
　第１固着部材１３１は、例えば加熱処理によって溶解される。例えば、リフローによって第１固着部材１３１を高温環境下において溶解させる。
　なお、上記の製造方法における第１固着部材１３１を形成する特定の領域とは、プランジャー１１とバレル１２が接続された状態においてプランジャー１１とバレル１２の対向する領域であり、以下において「固着領域」という。固着領域に第１固着部材１３１を形成するには、第１固着部材１３１の種類などに応じて種々の方法を使用可能である。第１固着部材１３１を形成する方法としては、例えば、Ａｕ／Ｓｎめっきを形成する方法、或いは半田ペーストを塗布する方法がある。
　既に述べたように、プローブ１においては、プランジャー１１とバレル１２を経由して電気的信号が伝達される。このため、プランジャー１１とバレル１２との間の電気抵抗が低いことが必要である。したがって、プランジャー１１とバレル１２を電気的に接続する第１固着部材１３１は、プランジャー１１とバレル１２の間を隙間なく埋め込んでいることが好ましい。このために、第１固着部材１３１をプランジャー１１の側面上を円周方向に連続的に形成する。これにより、第１固着部材１３１が形成された固着領域の切断面において、プランジャー１１とバレル１２の間が溶解させた第１固着部材１３１によって隙間なく埋め込まれる。
　なお、図５（ａ）に示すようにプランジャー１１の挿入部１１２の表面に外縁に添った凹部を設け、図５（ｂ）に示すように、この凹部の内部に第１固着部材１３１を形成してもよい。図５（ｂ）に示した状態のプランジャー１１をバレル１２と固着させた状態を図５（ｃ）に示す。
　挿入部１１２の表面に設けられた凹部に第１固着部材１３１を形成することにより、図５（ｃ）に示したように、凹部を形成しないプランジャー１１とバレル１２との間隔が狭くなる。これにより、プローブ１に流す電流の許容量を大きくできる。また、固着領域以外の領域においても、プランジャー１１の表面とバレル１２の内壁面を接合させることが可能である。このため、プランジャー１１とバレル１２との間の電気抵抗を更に低くすることができる。
　なお、上記では第１固着部材１３１をプランジャー１１に形成する例を示したが、第１固着部材１３１は、固着前のプランジャー１１とバレル１２のいずれに形成してもよい。或いは、プランジャー１１とバレル１２の両方に第１固着部材１３１を形成してもよい。
　図６に、バレル１２の表面に第１固着部材１３１を形成した例を示す。また、図７に示すように、バレル１２の内壁面に設けた凹部に第１固着部材１３１を形成してもよい。凹部の内部に第１固着部材１３１が形成することにより、固着領域以外の領域において、プランジャー１１とバレル１２の間隔を狭くすることができる。これにより、上記のように、プローブ１に流す電流の許容量を大きくしたり、プランジャー１１とバレル１２の間の電気抵抗を低くしたりできる。なお、プランジャー１１の挿入部１１２の表面とバレル１２の内壁面の両方に凹部を設けて、それらの凹部の内部に第１固着部材１３１を形成してもよい。
　図８に、比較例として、スポット溶接によってプランジャー１１Ａとバレル１２Ａを固着する方法を示す。スポット溶接では、プランジャー１１Ａとバレル１２Ａを電極１００によって矢印の方向に加圧（プレス）しつつ電流を流す。これにより、プランジャー１１Ａとバレル１２Ａの接触面に抵抗熱を発生させる。この熱抵抗によってプランジャー１１Ａやバレル１２Ａの内部で金属の溶解凝固を起こして、プランジャー１１Ａとバレル１２Ａが溶接される。このときのプレスによって、図９に示すように、形状変化によりバレル１２Ａの表面に膨らみが生じる。
　プローブの表面に膨らみが生じると、プローブ同士の接触を防止するために、プローブの間隔を広くする必要がある。このため、プローブの配置の狭ピッチ化が阻害される。
　これに対し、上記に説明した本発明の第１の実施形態に係るプローブ１の製造方法によれば、プランジャー１１とバレル１２との固着にプレスが不要である。このため、バレル１２のプランジャー１１と固着された固着領域に膨らみが発生せず、バレル１２の外径は一定である。したがって、プローブの配置の狭ピッチ化が可能である。
　ところで、図１０に示すようにバレル１２の内部に芯線１２０を通した状態で、バレル１２に螺旋状の切り込みが形成されている。例えばフォトリソグラフィ技術を用いて、切り込みが形成される。このとき、図１１に示すように、バレル１２を多層構造にしておくことが好ましい。例えば、内層１２１をＡｕ材とし、外層１２２をＮｉ材とする。これにより、バレル１２の側面がエッチングされたときに、エッチング材がバレル１２の裏側から回りこむことが内層１２１によって防止される。また、内層１２１をＡｕ材とすることにより、バレル１２から芯線１２０をスムーズに引き抜くことができる。
　また、バレル１２を多層構造にしたときに、溶解させた第１固着部材１３１と反応して合金を形成する材料を内層１２１に使用してもよい。これにより、プランジャー１１とバレル１２をより強固に固着させることができる。
　＜変形例＞
　図１２に示す第１の実施形態の変形例に係るプローブ１は、プランジャー１１の挿入部１１２にストッパー部１１０が形成されている。ストッパー部１１０は、第１固着部材１３１と接する領域よりも、プランジャー１１の挿入されたバレル１２の開口部に近い領域で挿入部１１２に形成されている。挿入部１１２により、バレル１２の開口部に向かって第１固着部材１３１が移動することが防止される。ストッパー部１１０は、第１固着部材１３１と接する領域よりも外径を太くした鍔状に形成されている。
　ストッパー部１１０の外径は、ストッパー部１１０がバレル１２の内部に挿入できる範囲で太いほうが好ましい。これにより、固まる前に第１固着部材１３１がプランジャー１１の先端部１１１に流れることを効果的に抑制することができる。
　（第２の実施形態）
　図１３に、本発明の第２の実施形態に係るプローブ１を示す。図１３に示したプローブ１は、プランジャー１１が、バレル１２の内径よりも外径が大きい凸領域１１３を先端部１１１と挿入部１１２の間に有する。
　図１３に示したプローブ１では、図１４に示すように、凸領域１１３のバレル１２の開口端の端面と対向する面に第２固着部材１３２を形成する。これにより、プランジャー１１の挿入部１１２をバレル１２の内部に挿入させた場合に、プランジャー１１の凸領域１１３とバレル１２の開口端の端面とが第２固着部材１３２によって固着される。
　図１３に示したプローブ１によれば、溶解した第２固着部材１３２の位置が安定する。即ち、溶解された第２固着部材１３２が所定の位置から流れることなどを抑制できる。
　上記ではプランジャー１１の凸領域１１３に第２固着部材１３２を形成する例を示したが、バレル１２の開口端の端面に第２固着部材１３２を形成してもよい。或いは、プランジャー１１の凸領域１１３とバレル１２の開口端の端面の両方に第２固着部材１３２を形成してもよい。
　なお、図１５に示すように、プランジャー１１の挿入部１１２とバレル１２の内壁面との間に第１固着部材１３１を配置し、且つ、プランジャー１１の凸領域１１３とバレル１２の開口端との間に第２固着部材１３２を配置し、これら両方の領域を固着領域としてもよい。これにより、複数の接続領域によってプランジャー１１とバレル１２をより強固に固着させることができる。
　（その他の実施形態）
　上記のように本発明は実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
　例えば、上記では、プローブ１の断面の形状が円形状である場合を示したが、断面の形状が四角形などの多角形状であってもよい。
　このように、本発明はここでは記載していない様々な実施形態などを含むことはもちろんである。
　本実施形態のプローブは、被検査体の特性測定の分野に利用可能である。

Claims (18)

  1. 　先端部及び前記先端部に連結する挿入部を有する棒形状のプランジャーと、
    　前記プランジャーの前記挿入部が内部に配置された管形状のバレルと、
    　前記プランジャーと前記バレルの対向する領域に配置されて前記プランジャーと前記バレルとを固着させる、前記プランジャー及び前記バレルのいずれの材料よりも融点の低い導電性の第１固着部材と
    　を備え、
    　前記第１固着部材が配置された領域を含む前記プランジャーと前記バレルとが重なった領域の切断面において前記プランジャーと前記バレルの間が前記第１固着部材によって隙間なく埋め込まれていることを特徴とするプローブ。
  2. 　前記プランジャーの挿入された前記バレルの開口部に向かって前記第１固着部材が移動することを防止するストッパー部が、前記第１固着部材と接する領域よりも前記開口部に近い領域で前記挿入部に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のプローブ。
  3. 　前記ストッパー部が、前記第１固着部材と接する領域よりも外径を太くした鍔状に形成されていることを特徴とする請求項２に記載のプローブ。
  4. 　前記挿入部の表面に設けられた凹部に前記第１固着部材が配置されていることを特徴とする請求項１に記載のプローブ。
  5. 　前記バレルの内壁面に設けられた凹部に前記第１固着部材が配置されていることを特徴とする請求項１に記載のプローブ。
  6. 　前記バレルが外層と内層を有する多層構造であることを特徴とする請求項１に記載のプローブ。
  7. 　前記バレルの前記内層の前記第１固着部材と接する領域に、前記第１固着部材と合金を形成する材料が配置されていることを特徴とする請求項６に記載のプローブ。
  8. 　前記プランジャーが、前記バレルの内径よりも外径が大きい凸領域を前記先端部と前記挿入部の間に有し、
    　前記プランジャーの前記凸領域と前記バレルの開口端の端面とが第２固着部材によって固着されていることを特徴とする請求項１に記載のプローブ。
  9. 　先端部及び前記先端部に連結する挿入部を有する棒形状のプランジャー、及び前記プランジャーの前記挿入部が内部に配置される管形状のバレルを有するプローブの製造方法であって、
    　前記プランジャーと前記バレルの少なくともいずれか一方の特定の領域に、前記プランジャー及び前記バレルのいずれの材料よりも融点の低い導電性の第１固着部材を形成するステップと、
    　前記特定の領域で前記第１固着部材を介して前記プランジャーと前記バレルが連結するように、前記プランジャーの前記挿入部を前記バレルの開口端から内部に挿入するステップと、
    　前記第１固着部材を溶解させて、前記プランジャーと前記バレルを固着させるステップと
    　を含むことを特徴とするプローブの製造方法。
  10. 　前記第１固着部材を加熱処理によって溶解することを特徴とする請求項９に記載のプローブの製造方法。
  11. 　前記プランジャーの側面上を円周方向に前記第１固着部材を連続的に形成し、前記第１固着部材が形成された領域を含む前記プランジャーと前記バレルとが重なった領域の切断面において、前記プランジャーと前記バレルの間を溶解させた前記第１固着部材によって隙間なく埋め込むことを特徴とする請求項９に記載のプローブの製造方法。
  12. 　前記挿入部の表面に前記第１固着部材を形成することを特徴とする請求項９に記載のプローブの製造方法。
  13. 　前記挿入部の表面に設けられた凹部に前記第１固着部材を形成することを特徴とする請求項１２に記載のプローブの製造方法。
  14. 　前記バレルの内壁面に前記第１固着部材を形成することを特徴とする請求項９に記載のプローブの製造方法。
  15. 　前記バレルの内壁面に設けられた凹部に前記第１固着部材を形成することを特徴とする請求項１４に記載のプローブの製造方法。
  16. 　前記バレルが外層と内層を有する多層構造であることを特徴とする請求項９に記載のプローブの製造方法。
  17. 　前記バレルの前記内層の前記第１固着部材と接する領域が、前記第１固着部材と合金を形成する材料であることを特徴とする請求項１６に記載のプローブの製造方法。
  18. 　前記バレルの内径よりも外径が大きい凸領域を前記先端部と前記挿入部の間に有する前記プランジャーを用意し、
    　前記プランジャーの前記凸領域と前記バレルの開口端の端面とを第２固着部材によって固着することを特徴とする請求項９に記載のプローブの製造方法。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220127814A (ko) * 2020-01-10 2022-09-20 니혼덴산리드가부시키가이샤 접촉자, 검사 지그, 검사 장치, 및 접촉자의 제조 방법
JP7372194B2 (ja) * 2020-04-06 2023-10-31 株式会社日本マイクロニクス プローブおよび電気的接続装置

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05203670A (ja) * 1992-01-24 1993-08-10 Fujitsu Ltd コンタクトプローブ
JP2002267686A (ja) * 2001-03-12 2002-09-18 Japan Electronic Materials Corp プローブ及びそれを用いた垂直型プローブカード
JP2003014779A (ja) * 2001-07-02 2003-01-15 Nhk Spring Co Ltd 導電性接触子
JP2004354139A (ja) * 2003-05-28 2004-12-16 Mitsubishi Electric Corp 高周波信号用プローブ及びこのプローブを用いた半導体試験装置
JP2007024664A (ja) * 2005-07-15 2007-02-01 Japan Electronic Materials Corp 垂直コイルスプリングプローブ及びこれを用いたプローブユニット
JP2009063381A (ja) * 2007-09-05 2009-03-26 Japan Electronic Materials Corp プローブ
JP2012007904A (ja) * 2010-06-22 2012-01-12 Japan Electronic Materials Corp 基板への部品実装構造
JP2012058129A (ja) * 2010-09-10 2012-03-22 Hideo Nishikawa 接触子及びその製造方法
JP2013053931A (ja) 2011-09-05 2013-03-21 Nidec-Read Corp 接続端子及び接続治具
JP2015141200A (ja) * 2014-01-28 2015-08-03 旺▲夕▼科技股▲分▼有限公司 スプリングプローブおよびその製造方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002042945A (ja) * 2000-07-31 2002-02-08 Kita Seisakusho:Kk 電気的接続装置
JP4242199B2 (ja) 2003-04-25 2009-03-18 株式会社ヨコオ Ｉｃソケット
JP4089976B2 (ja) 2004-05-17 2008-05-28 リーノ アイエヌディー．インコーポレイテッド 大電流用プローブ
KR101282324B1 (ko) 2011-10-14 2013-07-04 (주)마이크로컨텍솔루션 프로브 핀
TWM453149U (zh) * 2013-01-04 2013-05-11 Ccp Contact Probes Co Ltd 同心測試針
CN103968697A (zh) 2014-05-19 2014-08-06 宁波惠康实业有限公司 换热管结构及制造方法
JP6411169B2 (ja) * 2014-10-22 2018-10-24 株式会社日本マイクロニクス 電気的接触子及び電気的接続装置
JP6890921B2 (ja) * 2015-10-21 2021-06-18 株式会社日本マイクロニクス プローブカード及び接触検査装置

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05203670A (ja) * 1992-01-24 1993-08-10 Fujitsu Ltd コンタクトプローブ
JP2002267686A (ja) * 2001-03-12 2002-09-18 Japan Electronic Materials Corp プローブ及びそれを用いた垂直型プローブカード
JP2003014779A (ja) * 2001-07-02 2003-01-15 Nhk Spring Co Ltd 導電性接触子
JP2004354139A (ja) * 2003-05-28 2004-12-16 Mitsubishi Electric Corp 高周波信号用プローブ及びこのプローブを用いた半導体試験装置
JP2007024664A (ja) * 2005-07-15 2007-02-01 Japan Electronic Materials Corp 垂直コイルスプリングプローブ及びこれを用いたプローブユニット
JP2009063381A (ja) * 2007-09-05 2009-03-26 Japan Electronic Materials Corp プローブ
JP2012007904A (ja) * 2010-06-22 2012-01-12 Japan Electronic Materials Corp 基板への部品実装構造
JP2012058129A (ja) * 2010-09-10 2012-03-22 Hideo Nishikawa 接触子及びその製造方法
JP2013053931A (ja) 2011-09-05 2013-03-21 Nidec-Read Corp 接続端子及び接続治具
JP2015141200A (ja) * 2014-01-28 2015-08-03 旺▲夕▼科技股▲分▼有限公司 スプリングプローブおよびその製造方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
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KR20200005625A (ko) 2020-01-15
KR102234964B1 (ko) 2021-03-31
EP3633391A1 (en) 2020-04-08
US11204370B2 (en) 2021-12-21

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