KR20200005625A

KR20200005625A - 프로브

Info

Publication number: KR20200005625A
Application number: KR1020197036247A
Authority: KR
Inventors: 미카 나스; 오사무 타케우치
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date: 2017-05-23
Filing date: 2018-05-17
Publication date: 2020-01-15
Also published as: WO2018216588A1; CN110662971B; JP2018197671A; EP3633391A4; EP3633391A1; JP6980410B2; TWI695171B; CN110662971A; TW201901159A; KR102234964B1; EP3633391B1; US11204370B2; US20200174038A1

Abstract

선단부(111) 및 선단부(111)에 연결되는 삽입부(112)를 갖는 막대형상의 플런저(11)와, 플런저(11)의 삽입부(112)가 내부에 배치된 관형상의 배럴(12)과, 플런저(11)와 배럴(12)의 대향하는 영역에 배치되어서 플런저(11)와 배럴(12)을 고착시키는, 플런저(11) 및 배럴(12)의 어느 재료보다도 융점이 낮은 도전성의 제1 고착부재(131)를 구비하고, 제1 고착부재(131)가 배치된 영역을 포함하는 플런저(11)와 배럴(12)이 겹친 영역의 절단면에 있어서 플런저(11)와 배럴(12) 사이가 제1 고착부재(131)에 의해 빈틈없이 채워진다.

Description

프로브

본 발명은, 피검사체의 특성의 측정에 사용되는 프로브에 관한 것이다.

집적 회로 등의 피검사체의 특성을 웨이퍼로부터 분리하지 않은 상태에서 측정하기 위해 피검사체에 접촉시키는 프로브가 이용되고 있다. 프로브에는, 예를 들면, 피검사체에 접촉하는 소경(小徑)의 전도부인 플런저(plunger)와, 적절한 가압으로 플런저가 피검사체에 접촉하기 위해 자유롭게 수축하도록 형성된 원통형상부인 배럴(barrel)이 연결된 구조 등이 사용되고 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).

일본 특허공개공보 제2013-53931호

플런저와 배럴을 고착시키기 위해 스폿 용접(spot welding)을 사용할 수 있다. 그러나, 스폿 용접에 의해 플런저와 배럴을 고착시키면, 스폿 용접에서의 가압에 기인해서 배럴이 바깥쪽으로 부풀어 오르는 현상이 생긴다. 따라서, 프로브끼리의 접촉을 방지하기 위해 프로브의 간격을 넓게 할 필요가 있고, 프로브의 배치의 협(狹) 피치화가 저해되는 문제가 있었다.

상기 문제점을 감안하여, 본 발명은, 협 피치화가 가능한, 플런저와 배럴이 고착된 프로브 및 그 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 일 양태에 따르면, 선단부 및 선단부에 연결하는 삽입부를 갖는 막대 형상의 플런저와, 플런저의 삽입부가 내부에 배치된 관(管) 형상의 배럴과, 플런저와 배럴의 대향하는 영역에 배치되어서 플런저와 배럴을 고착시키는, 플런저및 배럴 중 어느 재료보다도 융점이 낮은 도전성의 제1 고착부재를 구비하고, 제1 고착부재가 배치된 영역을 포함하는 플런저와 배럴이 겹친 영역의 절단면에 있어서 플런저와 배럴 사이가 제1 고착부재에 의해 빈틈없이 채워져 있는 프로브가 제공된다.

본 발명의 다른 양태에 따르면, 선단부 및 선단부에 연결하는 삽입부를 갖는 막대형상의 플런저, 및 플런저의 삽입부가 내부에 배치되는 관 형상의 배럴을 갖는 프로브의 제조 방법이며, 플런저와 배럴 중 적어도 어느 하나의 특정 영역에, 플런저 및 배럴 중 어느 재료보다도 융점이 낮은 도전성의 제1 고착부재를 형성하는 단계와, 특정 영역에서 제1 고착부재를 통해서 플런저와 배럴이 연결되도록 플런저의 삽입부를 배럴의 개구단에서 내부로 삽입하는 단계와, 제1 고착부재를 용해시켜서 플런저와 배럴을 고착시키는 단계를 포함하는 프로브의 제조방법이 제공된다.

본 발명에 따르면, 협 피치화(narrow pitch)가 가능한, 플런저와 배럴이 고착된 프로브 및 그 제조방법을 제공할 수 있다.

도 1은, 본 발명의 제1의 실시형태에 관련한 프로브의 구성을 나타내는 모식도이고,
도 2는, 본 발명의 제1의 실시형태에 관련한 프로브의 구성을 나타내는 모식적인 단면도이고,
도 3은, 본 발명의 제1의 실시형태에 관련한 프로브를 유지한 예를 나타내는 모식도이고,
도 4는, 본 발명의 제1의 실시형태에 관련한 프로브의 제1 고착부재의 형성 예를 나타내는 모식도이고,
도 5는, 본 발명의 제1의 실시형태에 관련한 프로브의 제1 고착부재의 다른 형성 예를 나타내는 모식도로서, 도 5(a)는 제1 고착부재를 배치하기 전의 플런저 상태를 나타내며, 도 5(b)는 제1 고착부재를 배치한 플런저의 상태를 나타내며, 도 5(c)는 플런저와 배럴을 고착한 상태를 나타내고,
도 6은, 본 발명의 제1의 실시형태에 관련한 프로브의 제1 고착부재의 다른 형성 예를 나타내는 모식도이고,
도 7은, 본 발명의 제1의 실시형태에 관련한 프로브의 제1 고착부재의 다른 형성 예를 나타내는 모식도이고,
도 8은, 비교 예의 프로브의 제조방법을 설명하기 위한 모식적인 단면도이고,
도 9는, 비교 예의 프로브의 형상을 나타내는 모식도이고,
도 10은, 배럴의 형성방법을 설명하기 위한 모식도이고,
도 11은, 배럴의 구성을 나타내는 모식적인 단면도이고,
도 12는, 본 발명의 제1 실시형태의 변형 예에 관련한 프로브의 구성을 나타내는 모식도이고,
도 13은, 본 발명의 제2 실시형태에 관련한 프로브의 구성을 나타내는 모식도이고,
도 14는, 도 13에 나타낸 프로브에서의 제2 고착부재의 형성 방법을 나타내는 모식적인 사시도이고,
도 15는, 본 발명의 다른 실시형태에 관련한 프로브의 구성을 나타내는 모식도이다.

다음으로, 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태를 설명한다. 아래 도면의 기재에 있어서, 동일 또는 유사한 부분에는 동일 또는 유사의 부호를 붙인다. 그러나 도면은 모식적인 것이며, 각 부분의 두께의 비율 등은 현실의 것과는 다른 것에 유의해야 한다. 또한, 도면 상호간에도 서로의 치수의 관계나 비율이 다른 부분이 포함되어 있는 것은 물론이다. 다음에 나타내는 실시형태는 본 발명의 기술적 사상을 구체화하기 위한 장치나 방법을 예시하는 것으로서, 본 발명의 실시형태는 구성 부품의 재질, 형상, 구조, 배치 등을 하기의 것에 특정하는 것은 아니다.

(제1 실시형태)

본 발명의 제1의 실시형태에 관련한 프로브(1)는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 선단부(111) 및 선단부(111)에 연결되는 삽입부(112)를 갖는 막대형상의 플런저(11)와, 플런저(11)의 삽입부(112)가 내부에 배치된 관 형상의 배럴(12)과, 플런저(11)와 배럴(12)를 고착시키는 제1 고착부재(131)를 구비한다. 제1 고착부재 (131)는, 플런저(11)와 배럴(12)의 대향하는 영역에 배치되고, 플런저(11) 및 배럴 (12) 중 어느 재료보다도 융점이 낮은 부재이다. 도 1에 도시하는 바와 같이, 배럴(12)의 외경은 일정하다. 또한, 알기 쉽게 하기 위해 해칭을 해서 제1 고착부재 (131)를 나타내고 있다(이하에서 마찬가지).

도 2에, 제1 고착부재(131)에 의해 플런저(11)와 배럴(12)이 고착된 영역의 단면 형상을 나타낸다. 도 2에 도시하는 바와 같이, 제1 고착부재(131)가 배치된 영역을 포함하는 플런저(11)와 배럴(12)이 겹친 영역의 절단면에 있어서, 플런저(11)의 표면과 배럴(12)의 내벽면 사이는 제1 고착부재(131)에 의해 빈틈없이 채워져 있다.

도 1에 도시된 프로브(1)는, 배럴(12)의 양단의 개구단에서 플런저(11)가 각각 삽입된 구성이다. 프로브(1)는, 예를 들면 피검사체의 전기적 특성의 취득에 사용된다. 이 경우, 한쪽의 플런저(11)의 선단부(111)가 피검사체에 접촉한다. 다른 쪽의 플런저(11)의 선단부(111)는, 배선 기판 등의 단자와 접촉하여, 배선 기판을 통해서 테스터 등의 측정기기와 전기적으로 접속된다.

따라서, 플런저(11) 및 배럴(12)에는 도전성의 재료가 사용된다. 예를 들면, 플런저(11)에 AgPdCu재 등이 사용되고, 배럴(12)에 Ni재 등이 사용된다. 플런저 (11)와 배럴(12)은 제1 고착부재(131)를 통해서 전기적으로 접속되기 때문에 제1 고착부재(131)에 도전성의 재료가 사용된다.

도 1에 도시하는 바와 같이, 배럴(12)의 측면을 관통하는 나선형의 절입(cuts)이 형성되고, 배럴(12)의 일부가 용수철 형태로 이루어져 있다. 이에 의해, 배럴(12)은 축방향으로 신축 자유롭다. 따라서, 적절한 누름으로 플런저(11)를 피검사체나 배선기판과 접촉시킬 수 있다. 또한, 내부에 플런저(11)가 배치되어 있지 않은 영역에는 절입이 형성되지 않는다.

프로브(1)는, 예를 들면 도 3에 도시하는 바와 같이 소켓(socket)(2)에 의해 유지된다. 피검사체의 측정에 필요한 개수의 프로브(1)가, 소켓(2)을 관통해서 배치된다. 소켓(2)의 한쪽 주요면에서 노출된 플런저(11)가, 피검사체에 접촉한다. 소켓(2)의 다른 쪽의 주요면에서 노출된 플런저(11)가, 측정기기와 전기적으로 접속된다.

이하에, 도 1에 도시한 프로브(1)의 제조 방법을 설명한다. 또한, 아래에서 설명하는 프로브(1)의 제조 방법은 일례이며, 이 변형 예를 포함해서 이 밖의 다른 다양한 제조 방법에 의해 실현 가능한 것은 물론이다.

먼저, 플런저(11)와 배럴(12)의 적어도 어느 한쪽의 특정 영역에, 플런저 (11) 및 배럴(12) 중 어느 재료보다도 융점이 낮은 제1 고착부재(131)를 형성한다. 예를 들면, 도 4에 도시하는 바와 같이 플런저(11)의 표면에 제1 고착부재(131)를 형성한다. 제1 고착부재(131)의 형성된 영역은, 도 4에 점선으로 나타낸 바와 같이, 배럴(12)의 개구단에서 일정한 거리의 영역에 대응한다.

그리고, 특정의 영역에서 제1 고착부재(131)를 통해서 플런저(11)와 배럴(12)이 연결하도록, 플런저(11)의 삽입부(112)를 배럴(12)의 개구단에서 내부로 삽입한다. 그 후, 제1 고착부재(131)을 용해시켜서 플런저(11)와 배럴(12)를 고착시킨다.

제1 고착부재(131)는, 예를 들면 가열 처리에 의해 용해된다. 예를 들면, 리플로우에 의해 제1 고착부재(131)를 고온 환경하에서 용해시킨다.

또한, 상기의 제조 방법에서의 제1 고착부재(131)을 형성하는 특정의 영역이란, 플런저(11)와 배럴(12)이 접속된 상태에서 플런저(11)와 배럴(12)의 대향하는 영역이며, 이하에서 「고착영역」이라고 한다. 고착영역에 제1 고착부재(131)을 형성하는 데에는 제1 고착부재(131)의 종류 등에 따라서 다양한 방법이 사용 가능하다. 제1 고착부재(131)를 형성하는 방법으로서는, 예를 들면, Au/Sn 도금을 형성하는 방법, 혹은 땜납 페이스트를 도포하는 방법이 있다.

이미 언급한 바와 같이, 프로브(1)에 있어서는 플런저(11)와 배럴(12)를 경유해서 전기적 신호가 전달된다. 따라서, 플런저(11)와 배럴(12) 사이의 전기 저항이 낮은 것이 필요하다. 따라서, 플런저(11)와 배럴(12)를 전기적으로 접속하는 제1 고착부재(131)는, 플런저(11)와 배럴(12) 사이를 빈틈없이 채워넣는 것이 바람직하다. 이를 위해 제1 고착부재(131)를 플런저(11)의 측면 위를 원주방향으로 연속적으로 형성한다. 이에 의해, 제1 고착부재(131)가 형성된 고착 영역의 절단면에 있어서, 플런저(11)와 배럴(12) 사이가 용해시킨 제1 고착부재(131)에 의해 빈틈없이 채워진다.

또한, 도 5(a)에 도시하는 바와 같이 플런저(11)의 삽입부(112)의 표면에 외연을 따른 오목부를 설치하고, 도 5(b)에 도시하는 바와 같이, 이 오목부의 내부에 제1 고착부재(131)을 형성해도 좋다. 도 5(b)에 나타낸 상태의 플런저(11)를 배럴 (12)과 고착시킨 상태를 도 5(c)에 나타낸다.

삽입부(112)의 표면에 설치된 오목부에 제1 고착부재(131)를 형성함으로써,도 5(c)에 나타내는 바와 같이, 오목부를 형성하지 않은 플런저(11)와 배럴(12)의 간격이 좁아진다. 이에 의해 프로브(1)에 흐르는 전류의 허용량을 크게 할 수 있다. 또한, 고착 영역 이외의 영역에서도, 플런저(11)의 표면과 배럴(12)의 내벽면을 접합시키는 것이 가능하다. 따라서, 플런저(11)와 배럴(12) 사이의 전기 저항을 더욱 낮출 수 있다.

또한, 상기에서는, 제1 고착부재(131)를 플런저(11)에 형성하는 예를 나타 냈지만, 제1 고착부재(131)는 고착 전의 플런저(11)와 배럴(12) 중 어느 것에 형성해도 좋다. 혹은 플런저(11)와 배럴(12)의 양쪽에 제1 고착부재(131)를 형성해도 좋다.

도 6에, 배럴(12)의 표면에 제1 고착부재(131)을 형성한 예를 나타낸다. 또한, 도 7에 도시하는 바와 같이, 배럴(12)의 내벽면에 설치한 오목부에 제1 고착부재(131)를 형성해도 좋다. 오목부의 내부에 제1 고착부재(131)가 형성됨으로써, 고착영역 이외의 영역에 있어서 플런저(11)와 배럴(12)의 간격을 좁게 할 수 있다. 이에 따라, 상기와 같이 프로브(1)에 흐르는 전류의 허용량을 크게 하거나, 플런저(11)와 배럴(12) 사이의 전기 저항을 낮게 하거나 할 수 있다. 또한, 플런저(11)의 삽입부(112)의 표면과 배럴(12)의 내벽면 양쪽에 오목부를 설치해서, 그들 오목부의 내부에 제1 고착부재(131)를 형성해도 좋다.

도 8에, 비교 예로서 스폿 용접에 의해 플런저(11A)와 배럴(12A)를 고착하는 방법을 나타낸다. 스폿 용접에서는, 플런저(11A)와 배럴(12A)을 전극(100)에 의해 화살표 방향으로 가압(프레스)하면서 전류를 흘린다. 이에 따라, 플런저(11A)와 배럴(12A)의 접촉면에 저항 열을 발생시킨다. 이 저항 열에 의해 플런저(11A) 및 배럴(12A)의 내부에서 금속의 용해 응고를 일으켜서 플런저(11A)와 배럴(12A)이 용접된다. 이 때의 프레스에 의해, 도 9에 나타내는 바와 같이, 형상 변화에 의해 배럴 (12A)의 표면에 불룩해짐(bulge)이 발생된다

프로브의 표면에 불룩해짐이 발생되면, 프로브끼리의 접촉을 방지하기 위해 프로브의 간격을 넓게 할 필요가 있다. 그로 인해, 프로브의 배치의 협 피치화가 저해된다.

이에 대해, 위에서 설명한 본 발명의 제1의 실시형태에 관련한 프로브(1)의 제조 방법에 따르면, 플런저(11)와 배럴(12)의 고착에 프레스가 불필요하다. 따라서, 배럴(12)의 플런저(11)와 고착된 고착 영역에 불룩해짐이 발생하지 않고 배럴 (12)의 외경은 일정하다. 따라서, 프로브의 배치의 협 피치화가 가능하다.

그런데, 도 10에 나타내는 바와 같이 배럴(12)의 내부에 심선(120)을 통과한 상태에서 배럴(12)에 나선형의 절입이 형성되어 있다. 예를 들면 포토리소그래피 기술을 이용하여 절입이 형성된다. 이때, 도 11에 도시하는 바와 같이, 배럴(12)을 다층 구조로 해두는 것이 바람직하다. 예를 들면, 내층(121)을 Au재로 하고, 외층(122)을 Ni재로 한다. 이에 따라, 배럴(12)의 측면이 에칭되었을 때에 에칭재료가 배럴(12)의 이면측에서 돌아 들어가는 것이 내층(121)에 의해 방지된다. 또한, 내층(121)을 Au재로 함으로써 배럴(12)에서 심선(120)을 원활하게 분리할 수 있다.

또한, 배럴(12)을 다층 구조로 했을 때에, 용해시킨 제1 고착부재(131)와 반응해서 합금을 형성하는 재료를 내층(121)에 사용하여도 좋다. 이에 따라 플런저(11)와 배럴(12)을 더 견고하게 고착시킬 수 있다.

<변형 예>

도 12에 도시된 제1 실시형태의 변형 예에 관련한 프로브(1)는, 플런저(11)의 삽입부(112)에 스토퍼부(110)가 형성되어 있다. 스토퍼부(110)는, 제1 고착부재 (131)와 접하는 영역보다도 플런저(11)의 삽입된 배럴(12)의 개구부에 가까운 영역에서 삽입부(112)에 형성되어 있다. 삽입부(112)에 의해 배럴(12)의 개구부를 향해서 제1 고착부재(131)가 이동하는 것이 방지된다. 스토퍼부(110)는, 제1 고착부재 (131)과 접하는 영역보다 외경을 두껍게 한 플랜지(flange) 형상으로 형성되어 있다.

스토퍼부(110)의 외경은, 스토퍼부(110)가 배럴(12)의 내부에 삽입될 수 있는 범위에서 굵은 것이 바람직하다. 이에 의해, 굳기 전에 제1 고착부재(131)가 플런저(11)의 선단부(111)에 흐르는 것을 효과적으로 억제할 수 있다.

(제2 실시형태)

도 13에, 본 발명의 제2 실시형태에 관련한 프로브(1)를 나타낸다. 도 13에 나타낸 프로브(1)는, 플런저(11)가 배럴(12)의 내경보다도 외경이 큰 볼록영역(113)을 선단부(111)와 삽입부(112) 사이에 갖는다.

도 13에 나타낸 프로브(1)에서는, 도 14에 도시하는 바와 같이, 볼록영역(113)의 배럴(12)의 개구단의 단면과 대향하는 면에 제2 고착부재(132)를 형성한다. 이에 의해 플런저(11)의 삽입부(112)를 배럴(12)의 내부에 삽입시킨 경우에, 플런저(11)의 볼록영역(113)과 배럴(12)의 개구단의 단면이 제2 고착부재(132)에 의해 고착된다.

도 13에 도시한 프로브(1)에 따르면, 용해된 제2 고착부재(132)의 위치가 안정된다. 즉, 용해된 제2 고착부재(132)가 소정의 위치에서 흐르는 것 등을 억제할 수 있다.

상기에서는, 플런저(11)의 볼록영역(113)에 제2 고착부재(132)를 형성하는 예를 나타냈지만, 배럴(12)의 개구단의 단면에 제2 고착부재(132)를 형성해도 좋다. 혹은, 플런저(11)의 볼록 영역(113)과 배럴(12)의 개구단의 단면의 양쪽에 제2 고착부재(132)를 형성해도 좋다.

또한, 도 15에 도시하는 바와 같이, 플런저(11)의 삽입부(112)와 배럴(12)의 내벽면 사이에 제1 고착부재(131)를 배치하고, 또한, 플런저(11)의 볼록 영역(113)과 배럴(12)의 개구단 사이에 제2 고착부재(132)를 배치하고, 이들 양쪽 영역을 고착영역으로 해도 좋다. 이렇게 함으로써 복수의 접속 영역에 의해 플런저(11)와 배럴(12)을 더 견고하게 고착시킬 수 있다.

(그 밖의 실시형태)

상기와 같이 본 발명은 실시형태에 따라 기재했지만, 이 개시의 일부를 이루는 논술 및 도면은 본 발명을 한정하는 것으로 이해해서는 안 된다. 이 개시로부터 당업자에게는 다양한 대체 실시형태, 실시 예 및 운용 기술이 명확해질 것이다.

예를 들면, 상기에서는 프로브(1)의 단면의 형상이 원형상인 경우를 나타냈지만, 단면의 형상이 사각형 등의 다각형상이라도 좋다.

이와 같이, 본 발명은 여기에서는 설명하지 않은 다양한 실시형태 등을 포함 함하는 것은 물론이다.

산업상의 이용 가능성

본 실시형태의 프로브는, 피검사체의 특성 측정의 분야에 이용 가능하다.

Claims

선단부 및 상기 선단부에 연결하는 삽입부를 갖는 막대형상의 플런저(plunger)와,
상기 플런저의 상기 삽입부가 내부에 배치된 관형상의 배럴(barrel)과,
상기 플런저와 상기 배럴의 대향하는 영역에 배치되어서 상기 플런저와 상기 배럴을 고착시키는, 상기 플런저 및 상기 배럴의 어느 재료보다도 융점이 낮은 도전성의 제1 고착부재를 구비하고,
상기 제1 고착부재가 배치된 영역을 포함하는 상기 플런저와 상기 배럴이 겹친 영역의 절단면에 있어서 상기 플런저와 상기 배럴의 사이가 상기 제1 고착부재에 의해 빈틈없이 채워져 있는 것을 특징으로 하는 프로브.
제1항에 있어서,
상기 플런저의 삽입된 상기 배럴의 개구부를 향해서 상기 제1 고착부재가 이동하는 것을 방지하는 스토퍼부가, 상기 제1 고착부재와 접하는 영역보다도 상기 개구부에 가까운 영역에서 상기 삽입부에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브.
제2항에 있어서,
상기 스토퍼부가, 상기 제1 고착부재와 접하는 영역보다도 외경을 두껍게 한 플랜지(flange) 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브.
제1항에 있어서,
상기 삽입부의 표면에 설치된 오목부에 상기 제1 고착부재가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브.
제1항에 있어서,
상기 배럴의 내벽면에 설치된 오목부에 상기 제1 고착부재가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브.
제1항에 있어서,
상기 배럴이 외층과 내층을 갖는 다층 구조인 것을 특징으로 하는 프로브.
제6항에 있어서,
상기 배럴의 상기 내층의 상기 제1 고착부재와 접하는 영역에, 상기 제1 고착부재와 합금을 형성하는 재료가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브.
제1항에 있어서,
상기 플런저가, 상기 배럴의 내경보다도 외경이 큰 볼록영역을 상기 선단부와 상기 삽입부 사이에 가지고,
상기 플런저의 상기 볼록 영역과 상기 배럴의 개구단의 단면이 제2 고착부재에 의해 고착되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브.
선단부 및 상기 선단부에 연결하는 삽입부를 갖는 막대 형상의 플런저, 및 상기 플런저의 상기 삽입부가 내부에 배치되는 관 형상의 배럴을 갖는 프로브의 제조 방법이며,
상기 플런저와 상기 배럴의 적어도 어느 한쪽의 특정 영역에, 상기 플런저 및 상기 배럴의 어느 재료보다도 융점이 낮은 도전성의 제1 고착부재를 형성하는 단계와,
상기 특정의 영역에서 상기 제1 고착부재를 통해서 상기 플런저와 상기 배럴이 연결되도록, 상기 플런저의 상기 삽입부를 상기 배럴의 개구단에서 내부로 삽입하는 단계와,
상기 제1 고착부재를 용해시켜서 상기 플런저와 상기 배럴을 고착시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브의 제조 방법.
제9항에 있어서,
상기 제1 고착부재를 가열 처리에 의해 용해하는 것을 특징으로 하는 프로브의 제조 방법.
제9항에 있어서,
상기 플런저의 측면 위를 원주방향으로 상기 제1 고착부재를 연속적으로 형성하고, 상기 제1 고착부재가 형성된 영역을 포함하는 상기 플런저와 상기 배럴이 겹친 영역의 절단면에 있어서, 상기 플런저와 상기 배럴의 사이를 용해시킨 상기 제1 고착부재에 의해 빈틈없이 채워지는 것을 특징으로 하는 프로브의 제조 방법.
제9항에 있어서,
상기 삽입부의 표면에 상기 제1 고착부재를 형성하는 것을 특징으로 하는 프로브의 제조 방법.
제12항에 있어서,
상기 삽입부의 표면에 설치된 오목부에 상기 제1 고착부재를 형성하는 것을 특징으로 하는 프로브의 제조 방법.
제9항에 있어서,
상기 배럴의 내벽면에 상기 제1 고착부재를 형성하는 것을 특징으로 하는 프로브의 제조 방법.
제14항에 있어서,
상기 배럴의 내벽면에 설치된 오목부에 상기 제1 고착부재를 형성하는 것을 특징으로 하는 프로브의 제조 방법.
제9항에 있어서,
상기 배럴이 외층과 내층을 갖는 다층 구조인 것을 특징으로 하는 프로브의 제조 방법.
제16항에 있어서,
상기 배럴의 상기 내층의 상기 제1 고착부재와 접하는 영역이, 상기 제1 고착부재와 합금을 형성하는 재료인 것을 특징으로 하는 프로브의 제조 방법.
제9항에 있어서,
상기 배럴의 내경보다도 외경이 큰 볼록영역을 상기 선단부와 상기 삽입부 사이에 갖는 상기 플런저를 준비하고,
상기 플런저의 상기 볼록영역과 상기 배럴의 개구단의 단면을 제2 고착부재에 의해 고착하는 것을 특징으로 하는 프로브의 제조 방법.