WO2018120312A1

WO2018120312A1 - 一种柔性衬底的检测方法、检测系统及检测装置

Info

Publication number: WO2018120312A1
Application number: PCT/CN2017/071223
Authority: WO
Inventors: 张纯
Original assignee: 武汉华星光电技术有限公司
Priority date: 2016-12-28
Filing date: 2017-01-16
Publication date: 2018-07-05
Also published as: US20180343384A1; CN106706664A; US10530992B2

Abstract

一种柔性衬底的检测方法，该检测方法包括获取光强相同的平行光经过柔性衬底后的光强分布（S101）；从光强分布中查找得到光强差异点（S102）；获取光强差异点对应柔性衬底的位置，并将光强差异点对应柔性衬底的位置作为柔性衬底的异常位置（S103）；光强差异点为光强不同于周围区域的光强的点。还提供一种检测系统（100,200,300,400）及检测装置（500,600）。通过该检测方法、检测系统（100,200,300,400）及检测装置（500,600），能够得到柔性衬底上出现异常的位置。

Description

一种柔性衬底的检测方法、检测系统及检测装置

【技术领域】

本发明涉及柔性显示技术领域，具体而言涉及一种柔性衬底的检测方法、检测系统及检测装置。

【背景技术】

随着显示技术的发展，柔性显示技术逐渐成为平板显示领域的研究热点，OLED显示器也逐渐成为是显示器发展的大方向。柔性衬底的制作是OLED显示器的前制程，直接关联和影响后续整个OLED显示器的品质。

柔性衬底的制作主要是通过涂布柔性的有机材料形成柔性薄膜，常用的有机材料包括液态PAA（Polyimide amic acid，聚酰亚胺酰胺酸）、PET(Polyethylene terephthalate, 聚对苯二甲酸乙二醇酯)和PEN(Polyethylene naphthalate, 聚萘二甲酸乙二醇酯)等。受限于这些有机材料特性（粘度特别高，通常为3000-10000CP）在柔性衬底的制造过程中极易产生气泡等异常情况，若让具有异常情况的柔性衬底流入后续显示器的工艺流程中，会导致最终制备得到的产品出现显示效果不佳的问题，浪费了生产过程中的人力和物力。

【发明内容】

有鉴于此，本发明提供一种柔性衬底的检测方法、检测系统及检测装置，本发明的柔性衬底的检测方法能够得到柔性衬底中出现异常的位置。

为解决上述技术问题，本发明提出的一个技术方案是：

提供一种柔性衬底的检测系统，该检测系统包括：

光强分布获取模块，用于获取光强相同的平行光经过柔性衬底后的光强分布；

分析模块，用于从所述光强分布中查找得到光强差异点；

位置获取模块，用于获取所述光强差异点对应所述柔性衬底的位置，并将所述位置作为所述柔性衬底的异常位置；

其中，所述光强差异点为光强不同于周围区域的光强的点。

其中，所述位置获取模块包括：

第一坐标获取单元，用于获取所述光强差异点在当前使用的坐标系中的第一坐标；

第二坐标获取单元，用于将所述第一坐标转换至所述柔性衬底的坐标系中，得到第二坐标，将所述第二坐标作为所述柔性衬底中存在异常的异常位置。

其中，所述检测系统还包括：

指令发送模块，用于向拍照装置发送包含所述异常位置的信息的拍照指令，以使所述拍照装置对所述柔性衬底的异常位置拍照。

其中，还包括：

第一信息反馈模块，用于将所述异常位置的信息反馈至显示界面。

其中，还包括：

第二信息反馈模块，用于统计所述光强差异点的数量，并将所述光强差异点的数量反馈至显示界面。

本发明还提出的一个技术方案：

提供一种柔性衬底的检测方法，该检测方法包括：

获取光强相同的平行光经过柔性衬底后的光强分布；

从所述光强分布中查找得到光强差异点；

获取所述光强差异点对应所述柔性衬底的位置，并将所述位置作为所述柔性衬底的异常位置；

其中，所述光强差异点为光强不同于周围区域的光强的点。

其中，所述获取所述光强差异点对应所述柔性衬底的位置，并将所述位置作为所述柔性衬底的异常位置，包括：

获取所述光强差异点在当前使用的坐标系中的第一坐标；

将所述第一坐标转换至所述柔性衬底的坐标系中，得到第二坐标，将所述第二坐标作为所述柔性衬底中存在异常的异常位置。

其中，所述并将所述位置作为所述柔性衬底的异常位置之后，还包括：

向拍照装置发送包含所述异常位置的信息的拍照指令，以使所述拍照装置对所述柔性衬底的异常位置拍照。

其中，所述将所述位置作为所述柔性衬底的异常位置之后，还包括：

将所述异常位置的信息反馈至显示界面。

其中，还包括：

统计所述光强差异点的数量，并将所述光强差异点的数量反馈至显示界面。

其中，所述柔性衬底包括透明的衬底基板和涂覆在所述衬底基板上的柔性材料。

本发明还提出的另一个技术方案：

提供一种柔性衬底的检测装置，该检测装置包括：

光源系统，用于提供光强相同的平行光；

光强感应器，设置在光源系统的出光方向，用于检测所述平行光经过柔性衬底后的光强分布；

控制器，与所述光强感应器连接，用于获取光强相同的平行光经过柔性衬底后的光强分布；从所述光强分布中查找得到光强差异点；获取所述光强差异点对应所述柔性衬底的位置，并将所述位置作为所述柔性衬底的异常位置；

其中，所述光强差异点为光强不同于周围区域的光强的点。

其中，所述控制器具体用于：获取所述光强差异点在当前使用的坐标系中的第一坐标；将所述第一坐标转换至所述柔性衬底的坐标系中，得到第二坐标，将所述第二坐标作为所述柔性衬底中存在异常的异常位置。

其中，还包括拍照系统，所述拍照系统与所述控制器连接；

所述控制器还用于向所述拍照系统发送包含所述异常位置的信息的拍照指令；

所述拍照系统根据所述拍照指令对柔性衬底的异常位置拍照。

其中，所述控制器还用于将所述异常位置的信息反馈至显示界面。

其中，所述控制器还用于统计所述光强差异点的数量，并将所述光强差异点的数量反馈至显示界面。

有益效果：区别于现有技术，本发明提供的柔性衬底的检测方法包括获取光强相同的平行光经过柔性衬底后的光强分布；从所述光强分布中查找得到光强差异点；获取所述光强差异点对应所述柔性衬底的位置，并将所述位置作为所述柔性衬底的异常位置；其中，所述光强差异点为光强不同于周围区域的光强的点。当柔性衬底上的出现异常时，异常位置与其周边区域的对光的吸收系数的不同，进而相同光强的光透过柔性衬底后的光强分布中存在光强差异点，本发明通过对透过柔性衬底的光强进行分析，从透过柔性衬底的光强分布中得到光强差异点的位置，进而得到柔性衬底上出现异常的位置。

【附图说明】

图1是本发明柔性衬底的检测方法第一实施例的流程示意图；

图2是图1中步骤S103的流程示意图；

图3是本发明柔性衬底的检测方法第二实施例的流程示意图；

图4是本发明柔性衬底的检测方法第三实施例的流程示意图；

图5是本发明柔性衬底的检测方法第四实施例的流程示意图；

图6是本发明柔性衬底的检测系统第一实施例的功能模块图；

图7是图6中位置获取模块的功能模块图；

图8是本发明柔性衬底的检测系统第二实施例的功能模块图；

图9是本发明柔性衬底的检测系统第三实施例的功能模块图；

图10是本发明柔性衬底的检测系统第四实施例的功能模块图；

图11是本发明柔性衬底的检测装置第一实施例的结构示意图；

图12是本发明柔性衬底的检测装置第二实施例的结构示意图。

【具体实施方式】

为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图和具体实施例对本发明所提供的一种柔性衬底的检测方法、检测系统及检测装置做进一步详细描述。在附图中，相同的标号在整个说明书和附图中用来表示相同的结构和区域。

制备柔性衬底的有机材料（如液态聚酰亚胺酰胺酸、聚对苯二甲酸乙二醇酯和聚萘二甲酸乙二醇酯等）通常具有较高的粘度，导致柔性衬底的制造过程中极易使柔性衬底中产生气泡或出现杂质等异常情况，而现有的检测技术均是对柔性衬底表面的检测，不能检测到柔性衬底中是否出现异常。若让具有异常情况的柔性衬底流入后续显示器的工艺流程中，会导致最终制备得到的产品出现显示效果不佳的问题，浪费了生产过程中的人力和物力。

参阅图1，图1是本发明柔性衬底的检测方法第一实施例的流程示意图。如图1所示，本实施例的检测方法包括：

S101、获取光强相同的平行光经过柔性衬底后的光强分布。

本实施例中，柔性衬底包括透明的衬底基板和涂覆在衬底基板上的柔性材料，由于涂覆在衬底基板上的柔性材料通常具有较高的粘度，使得在衬底基板上涂覆柔性材料的过程中使柔性衬底中出现气泡、杂质或表面不平整等异常。其中，衬底基板可以为透明的玻璃基板；涂覆在衬底基板上的柔性材料可以为液态聚酰亚胺酰胺酸、聚对苯二甲酸乙二醇酯和聚萘二甲酸乙二醇酯等有机材料。

由于柔性衬底中出现异常时，柔性衬底上的异常位置处对光强度的吸收不同于柔性衬底上其他位置对光强度的吸收。因此，将光强相同的平行光作为检测柔性衬底的入射光，进而获取光强相同的平行光经过柔性衬底后的光强分布。具体的，在柔性衬底的一面正对光源，另一面正对光强感应器，通过光强感应器获取光强相同的平行光经过柔性衬底后的光强分布。

本实施例中，用于提供光强相同的平行光的光源可以为面光源，直接通过该面光源提供光强相同的平行光。或利用点光源和背光面板组成光源系统，利用点光源照射背光面板，再由背光面板出射光强相同的平行光。可以理解的是，无论直接使用面光源还是通过背光面板提供光强相同的平行光，其提供的平行光的面积至少要与柔性衬底的面积相同，以使整个柔性衬底上均有光照。此外，光强感应器的感应面也应当至少与柔性衬底的面积相同，以使光强感应器能够完整的获取经过柔性衬底后的透射光的光强分布。

S102、从光强分布中查找得到光强差异点。

对光强感应器获取的经过柔性衬底后的透射光的光强分布，对该光强分布进行分析，即可提取出光强不同于周围区域光强的点，则说明在柔性衬底中与该点对应的位置处存在异常，这些光强不同于周围区域光强的点即为光强差异点。

S103、获取光强差异点对应柔性衬底的位置，并将该位置作为柔性衬底的异常位置。

根据步骤S102中获取的光强差异点在光强分布中的位置，即可得到光强差异点对应柔性衬底的位置，该位置即为柔性衬底中出现异常的异常位置。

进一步的，如图2所示，步骤S103包括如下步骤：

S1031、获取光强差异点在当前使用的坐标系中的第一坐标。

根据步骤102获取的光强差异点在光强分布中的位置，能够得到光强差异点在当前使用的坐标系中的第一坐标。

本实施例中，由于获取的光强分布是通过光强感应器得到的，则相应的获取光强差异点的当前使用的坐标系即为光强感应器的坐标系；第一坐标即为光强差异点在光强感应器的坐标系中的第一坐标。

S1032、将第一坐标转换至柔性衬底的坐标系中，得到第二坐标，将第二坐标作为柔性衬底中存在异常的异常位置。

在对柔性衬底进行检测前，会根据柔性衬底与光强感应器之间的相对位置关系进行设置，进而得到柔性衬底的坐标系与光强感应器的坐标系之间的转换关系。此时，利用该转换关系和步骤S1031中得到的光强差异点在光强感应器的坐标系中的第一坐标，即可计算得到光强差异点在柔性衬底的坐标系中的第二坐标，该第二坐标即为柔性衬底中存在异常的异常位置。

可以理解的是，若柔性衬底的表面出现凹陷或凸起，则相应凹陷或凸起的位置处的柔性衬底的厚度不同于剩余区域的柔性衬底的厚度，这些位置对光强的吸收同样会不同于其周边区域对光强的吸收，导致在通过光强感应器得到的光强分布中也会存在光强差异点，因此，本实施例不仅可以对柔性衬底中的异常进行检测，也可以对柔性衬底表面的异常进行检测。

在操作中，柔性衬底放置在光源与光强感应器之间，其中，光源放置在柔性衬底的正上方或正下方，相应的光强感应器放置在柔性衬底的正下方或正上方，且光源、光强感应器以及柔性衬底的位置相对固定。由于在操作中，需要多个柔性衬底进行检测，因此，光源与光强感应器是相对固定的，在光源与光强感应器之前确定柔性衬底的放置位置，每次放置柔性衬底时，放置的位置均相同。

参考图3，图3是本发明柔性衬底的检测方法第二实施例的流程示意图。本实施例是在图1至图2所示的柔性衬底的检测方法第一实施例的基础上进行改进得到的，本实施例在图1所示的柔性衬底的检测方法第一实施例的步骤S103之后，还包括如下步骤：

S104、向拍照装置发送包含异常位置的信息的拍照指令，以使拍照装置对柔性衬底的异常位置拍照。

在步骤S103中得到柔性衬底的异常位置之后，为了便于技术人员能够直接看到柔性衬底中异常位置的具体情况，则向拍照装置发送拍照指令，该拍照指令中包含有柔性衬底的异常位置的信息。拍照装置接收到包含有柔性衬底的异常位置的信息的拍照指令之后，即可根据柔性衬底的异常位置的信息对柔性衬底的异常位置进行拍照。进一步的，拍照装置拍照后对获得的图像进行保存。

值得注意的是，拍照装置的坐标系需要和柔性衬底的坐标系一致，以便于对柔性衬底上异常位置进行拍照。

参考图4，图4是本发明柔性衬底的检测方法第三实施例的流程示意图。本实施例是在图1至图2所示的柔性衬底的检测方法第一实施例的基础上进行改进得到的，本实施例在图1所示的柔性衬底的检测方法第一实施例的步骤S103之后，还包括如下步骤：

S105、将异常位置的信息反馈至显示界面。

在步骤S103中得到柔性衬底的异常位置之后，为了便于技术人员能够直接得到柔性衬底中异常位置的信息，则将获得的柔性衬底的异常位置的信息反馈至显示界面。进一步的，对反馈至显示界面的性衬底的异常位置的信息进行保存。

参考图5，图5是本发明柔性衬底的检测方法第四实施例的流程示意图。本实施例是在图1至图2所示的柔性衬底的检测方法第一实施例的基础上进行改进得到的，本实施例在图1所示的柔性衬底的检测方法第一实施例的步骤S103之后，还包括如下步骤：

S106、统计光强差异点的数量，并将光强差异点的数量反馈至显示界面。

在步骤S103中得到柔性衬底的异常位置之后，为了便于技术人员能够直接对柔性衬底的异常情况进行分析，则对述光强差异点的数量的进行统计，并将统计得到的光强差异点的数量反馈至显示界面。可以直接根据统计得到的光强差异点的数量直接判断该柔性衬底是直接淘汰还是进行返工。

可以理解的是，图1至图5所示的柔性衬底的检测方法第一实施例、第二实施例、第三实施例和第四实施例可以互相结合形成新的实施方式，具体的实施例内容与上述各个步骤相同，此处不再赘述。

参阅图6，图6是本发明柔性衬底的检测系统第一实施例的功能模块图。如图6所示，本实施例的检测系统100包括：

光强分布获取模块101，用于获取光强相同的平行光经过柔性衬底后的光强分布。

分析模块102，用于从光强分布中查找得到光强差异点。

其中，光强差异点为光强不同于周围区域的光强的点。

位置获取模块103，用于获取光强差异点对应柔性衬底的位置，并将位置作为柔性衬底的异常位置。

进一步的，如图7所示，位置获取模块103包括：

第一坐标获取单元1031，用于获取光强差异点在当前使用的坐标系中的第一坐标。

第二坐标获取单元1302，用于将第一坐标转换至柔性衬底的坐标系中，得到第二坐标，将第二坐标作为柔性衬底中存在异常的异常位置。

参阅图8，图8是本发明柔性衬底的检测系统第二实施例的功能模块图。本实施例的检测系统200是在图6所示的检测系统100的基础上进行改进得到的，在检测系统100的基础上增加了如下模块：

指令发送模块104，用于向拍照装置发送包含异常位置的信息的拍照指令，以使拍照装置对柔性衬底的异常位置拍照。

参阅图9，图9是本发明柔性衬底的检测系统第三实施例的功能模块图。本实施例的检测系统300是在图6所示的检测系统100的基础上增加了如下模块：

第一信息反馈模块105，用于将异常位置的信息反馈至显示界面。

参阅图10，图10是本发明柔性衬底的检测系统第四实施例的功能模块图。本实施例的检测系统400是在图6所示的检测系统100的基础上增加了如下模块：

第二信息反馈模块106，用于统计光强差异点的数量，并将光强差异点的数量反馈至显示界面。

图6至图10所示的柔性衬底的检测系统100、检测系统200、检测系统300以及检测系统400分别与图1至图5所示的柔性衬底的检测方法第一实施例、第二实施例、第三实施例和第四实施例相对应，具体模块的执行内容前参照方式实施例中的各个步骤，此处不再赘述。

可以理解的是，图6至图10所示的柔性衬底的检测系统第一实施例、第二实施例、第三实施例和第四实施例可以互相结合形成新的实施方式，具体的实施例内容与上述各个功能模块的执行内容相同，此处不再赘述。

参阅图11，图11是本发明柔性衬底的检测装置第一实施例的结构示意图。如图11所示，本实施例的检测装置500包括：

光源系统501，用于提供光强相同的平行光。

本实施例中，光源系统501可以为面光源，直接提供光强相同的平行光。光源系统501还可以为点光源和背光面板组成的光源系统501，利用点光源照射背光面板，再由背光面板出射光强相同的平行光。可以理解的是，无论是哪一类光源系统501，其提供的平行光的面积至少要与柔性衬底的面积相同，以使整个柔性衬底上均有光照。

光强感应器502，设置在光源系统501的出光方向，用于检测平行光经过柔性衬底后的光强分布。

光强感应器502的感应面也应当至少与柔性衬底的面积相同，以使光强感应器502能够完整的获取经过柔性衬底后的透射光的光强分布。

控制器503，与光强感应器502连接，用于获取光强相同的平行光经过柔性衬底后的光强分布；从光强分布中查找得到光强差异点；获取光强差异点对应柔性衬底的位置，并将位置作为柔性衬底的异常位置。其中，光强差异点为光强不同于周围区域的光强的点。

本实施例中，光源系统501可以连接控制器503，由控制器503控制该光源系统501的开关；也可以不与控制器503谅解，对该光源系统501另设与该控制器503独立的开关。

进一步的，控制器503还用于将异常位置的信息反馈至显示界面。

进一步的，控制器503还用于统计光强差异点的数量，并将光强差异点的数量反馈至显示界面。

参阅图12，图12是本发明柔性衬底的检测装置第二实施例的结构示意图。本实施例的检测装置600在图11所示的检测装置500的基础上增加了拍照系统504。

拍照系统504与控制器503连接，控制器503还用于将位置作为柔性衬底的异常位置之后，向拍照系统504发送包含异常位置的信息的拍照指令。

拍照系统504用于根据接收到的拍照指令对柔性衬底的异常位置拍照。

值得注意的是，拍照系统504的坐标系需要和柔性衬底的坐标系一致，以便于对柔性衬底上异常位置进行拍照。

以上仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利保护范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围。

Claims

一种柔性衬底的检测系统，其中，包括：

光强分布获取模块，用于获取光强相同的平行光经过柔性衬底后的光强分布；

分析模块，用于从所述光强分布中查找得到光强差异点；

位置获取模块，用于获取所述光强差异点对应所述柔性衬底的位置，并将所述位置作为所述柔性衬底的异常位置；

其中，所述光强差异点为光强不同于周围区域的光强的点。

其中，所述位置获取模块包括：

第一坐标获取单元，用于获取所述光强差异点在当前使用的坐标系中的第一坐标；

第二坐标获取单元，用于将所述第一坐标转换至所述柔性衬底的坐标系中，得到第二坐标，将所述第二坐标作为所述柔性衬底中存在异常的异常位置。

其中，所述检测系统还包括：

指令发送模块，用于向拍照装置发送包含所述异常位置的信息的拍照指令，以使所述拍照装置对所述柔性衬底的异常位置拍照。
根据权利要求1所述的检测系统，其中，还包括：

第一信息反馈模块，用于将所述异常位置的信息反馈至显示界面。
根据权利要求1所述的检测系统，其中，还包括：

第二信息反馈模块，用于统计所述光强差异点的数量，并将所述光强差异点的数量反馈至显示界面。
一种柔性衬底的检测方法，其中，包括：

获取光强相同的平行光经过柔性衬底后的光强分布；

从所述光强分布中查找得到光强差异点；

获取所述光强差异点对应所述柔性衬底的位置，并将所述位置作为所述柔性衬底的异常位置；

其中，所述光强差异点为光强不同于周围区域的光强的点。
根据权利要求4所述的检测方法，其中，所述获取所述光强差异点对应所述柔性衬底的位置，并将所述位置作为所述柔性衬底的异常位置，包括：

获取所述光强差异点在当前使用的坐标系中的第一坐标；

将所述第一坐标转换至所述柔性衬底的坐标系中，得到第二坐标，将所述第二坐标作为所述柔性衬底中存在异常的异常位置。
根据权利要求4所述的检测方法，其中，所述并将所述位置作为所述柔性衬底的异常位置之后，还包括：

向拍照装置发送包含所述异常位置的信息的拍照指令，以使所述拍照装置对所述柔性衬底的异常位置拍照。
根据权利要求4所述的检测方法，其中，所述将所述位置作为所述柔性衬底的异常位置之后，还包括：

将所述异常位置的信息反馈至显示界面。
根据权利要求4所述的检测方法，其中，还包括：

统计所述光强差异点的数量，并将所述光强差异点的数量反馈至显示界面。
根据权利要求4所述的检测方法，其中，所述柔性衬底包括透明的衬底基板和涂覆在所述衬底基板上的柔性材料。
一种柔性衬底的检测装置，其中，包括：

光源系统，用于提供光强相同的平行光；

光强感应器，设置在光源系统的出光方向，用于检测所述平行光经过柔性衬底后的光强分布；

控制器，与所述光强感应器连接，用于获取光强相同的平行光经过柔性衬底后的光强分布；从所述光强分布中查找得到光强差异点；获取所述光强差异点对应所述柔性衬底的位置，并将所述位置作为所述柔性衬底的异常位置；

其中，所述光强差异点为光强不同于周围区域的光强的点。
根据权利要求10所述的检测装置，其中，所述控制器具体用于：获取所述光强差异点在当前使用的坐标系中的第一坐标；将所述第一坐标转换至所述柔性衬底的坐标系中，得到第二坐标，将所述第二坐标作为所述柔性衬底中存在异常的异常位置。
根据权利要求10所述的检测装置，其中，还包括拍照系统，所述拍照系统与所述控制器连接；

所述控制器还用于向所述拍照系统发送包含所述异常位置的信息的拍照指令；

所述拍照系统根据所述拍照指令对柔性衬底的异常位置拍照。
根据权利要求10所述的检测装置，其中，所述控制器还用于将所述异常位置的信息反馈至显示界面。
根据权利要求10所述的检测装置，其中，所述控制器还用于统计所述光强差异点的数量，并将所述光强差异点的数量反馈至显示界面。