JP2006071521A - パターン検査方法および装置 - Google Patents
パターン検査方法および装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006071521A JP2006071521A JP2004256617A JP2004256617A JP2006071521A JP 2006071521 A JP2006071521 A JP 2006071521A JP 2004256617 A JP2004256617 A JP 2004256617A JP 2004256617 A JP2004256617 A JP 2004256617A JP 2006071521 A JP2006071521 A JP 2006071521A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- luminance
- difference
- pattern
- image
- repetitive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
【課題】被検査対象物の撮像画像から、注目画素と繰り返しピッチ離れた周囲8箇所の比較画素の輝度差を用いて、輝度差の低い微少欠陥部分を抽出し欠陥検査を行う。
【解決手段】注目画素(輝度;X)と比較画素(輝度;Y1)〜比較画素(輝度;Y8)との輝度差をそれぞれ取得する(S1)。8個の輝度差の絶対値を取り(S2)、輝度差を絶対値順に並べ替えて輝度差順位(RANK)を付け(S3)、輝度差の絶対値の最大値と最小値の差(RANGE)を取得する(S4)。予め設定のRANGEとRANKの対比表(表1)から、処理S4で取得のRANGEに対するRANKを求め(S5)。RANKに位置する処理S3でRANKを付けた輝度差(符号を含む)に、オフセット値を加えて繰り返しパターンを除去し、注目画素の輝度X’を得る(S6)。この処理を被検査対象物を撮像画像の全面に施し、繰り返しパターンを除去し欠陥部分のみを感度良く抽出する。
【選択図】図3
【解決手段】注目画素(輝度;X)と比較画素(輝度;Y1)〜比較画素(輝度;Y8)との輝度差をそれぞれ取得する(S1)。8個の輝度差の絶対値を取り(S2)、輝度差を絶対値順に並べ替えて輝度差順位(RANK)を付け(S3)、輝度差の絶対値の最大値と最小値の差(RANGE)を取得する(S4)。予め設定のRANGEとRANKの対比表(表1)から、処理S4で取得のRANGEに対するRANKを求め(S5)。RANKに位置する処理S3でRANKを付けた輝度差(符号を含む)に、オフセット値を加えて繰り返しパターンを除去し、注目画素の輝度X’を得る(S6)。この処理を被検査対象物を撮像画像の全面に施し、繰り返しパターンを除去し欠陥部分のみを感度良く抽出する。
【選択図】図3
Description
本発明は、繰り返しパターンを持つ検査対象物、例えばPDP(プラズマ・ディスプレイ・パネル)、LCD(液晶パネル)などのパターン検査方法および装置に関するものである。
従来、繰り返しパターンを持つPDP,LCDを検査する方法として、特許文献1に記載される検査方法が開示されている。
繰り返しパターンを持つ被検査対象物を、撮像手段であるCCDカメラなどで撮像して得られた画像の輝度データをもとに、注目画素と注目画素から繰り返しピッチ離れた周囲の比較画素との輝度の差分を取って、得られた輝度差の絶対値の最小値を得る点と比較した輝度差にオフセットを加えて繰り返しパターンを除去する処理を画像全面に施し、欠陥部分のみを抽出して検出するものである。
特開2002−259951号公報
しかしながら、従来の繰り返しパターンを除去して欠陥を検出する方法として前述した特許文献1の記載による方法を行った場合、注目画素と比較画素との輝度差における絶対値の最小値を常に取得して繰り返しパターンを除去することにより欠陥を検出していたが、輝度差における絶対値の最小値を用いているために、輝度差の低い微小欠陥を検出することができないという課題があった。
本発明は、前記従来技術の課題を解決することに指向するものであり、繰り返しパターンを有する被検査対象物を撮像手段により撮像した画像から、注目画素と繰り返しピッチ離れた周囲8箇所の比較画素の輝度差を用いて、繰り返しパターンを除去して欠陥部分のみを抽出し、欠陥検査を行う被検査対象物の良否判定を行うパターン検査方法および装置を提供することを目的とする。
前記の目的を達成するために、本発明に係るパターン検査方法および装置は、繰り返しパターンを持つ被検査対象物を撮像手段で撮像し、撮像した画像から繰り返しピッチごとに画素の輝度値を比較し、繰り返しパターンを除去する画像処理手段により欠陥部分のみを抽出して被検査対象物の良否判定を行うことを特徴とする。
そして、被検査対象物を撮像した画像から1箇所の注目画素と繰り返しピッチ離れた周囲8箇所の各比較画素との輝度値を比較して輝度差を取得し、取得した輝度差を絶対値順に並べ替えて輝度差順位(以下、RANKという)を付けて輝度差の最大値と最小値の差(以下、RANGEという)を取得し、予め設定されたRANGEとRANKとの対比表を元に取得したRANGEによって指定されるRANKを付けた輝度差にオフセット値を加えて繰り返しパターンを除去し、または、注目画素と各比較画素からの輝度差を、予め設定された輝度差しきい値と比較して輝度差しきい値より高い値の比較画素の数を取得し、予め設定された輝度差しきい値より高い値の比較画素の数とRANKとの対比表を元に、先に取得した比較画素の数によって指定される輝度差にオフセット値を加えて繰り返しパターンを除去して、繰り返しパターンの除去を画像の全画素に施し欠陥部分のみを抽出して被検査対象物の良否判定を行うことを特徴とする。
前記パターン検出方法および装置によれば、被検査対象物を撮像した画像の全画素から繰り返しパターンを除去し欠陥部分のみを抽出して被検査対象物の良否判定することができる。
本発明によれば、被検査対象物を撮像した画像において輝度差の低い微小な欠陥部分の検出精度を向上させることができるという効果を奏する。
以下、図面を参照して本発明における実施の形態を詳細に説明する。
図1は本発明の実施の形態1におけるパターン検査装置の概略構成を示すブロック図である。図1において、11はPDP,LCDなどの繰り返しパターンを持った被検査対象物、12はCCDカメラなどの撮像手段、13は、撮像された画像から繰り返しパターンを除去し、この画像から欠陥検査を行って欠陥部分を検出する画像処理手段、14は検出された欠陥を表示する表示手段である。
また、図2は撮像された画像における注目画素と比較画素の位置関係を示す図である。図2に示すように、比較画素(輝度;Y1)22〜比較画素(輝度;Y8)29は、注目画素(輝度;X)21の中心からそれぞれx方向に繰り返しピッチ2x、およびy方向に繰り返しピッチ2y離れている。図3はパターン検査方法の処理を示すフローチャートである。
本実施の形態1について、図3のフローチャートを参照しながら説明する。まず、注目画素(輝度;X)21と比較画素(輝度;Y1)22〜比較画素(輝度;Y8)29との輝度差をそれぞれ取得する(S1)。得られた8個の輝度差の絶対値を取り(S2)、さらに、輝度差を絶対値順に並べ替えて輝度差順位を付け(S3)、輝度差の絶対値の最大値と最小値の差(RANGE)を取得する(S4)。
予め設定しておいたRANGEと輝度差順位(RANK)との対比表(表1)から、処理S4で取得したRANGEに対するRANKを求める(S5)。このRANKに位置する処理S3で並べ替えRANKを付けた輝度差(符号を含む)に、オフセット値を加えて繰り返しパターンを除去し、処理後の注目画素の輝度X’を得る(S6)。
通常、8ビット256階調の画像を用いるため、このオフセット値は中心階調である「128」に設定する。この処理を繰り返しパターンを持つ被検査対象物を撮像した画像全面に施すことにより、繰り返しパターンを除去して欠陥部分のみを感度良く抽出することができる。
(数1)
50−7=43
RANGE;43である。これから(表1)を参照すると、RANKは1となり、処理後の注目画素の輝度X’は付けたRANKが最小の輝度差(符号も含む)「+7」を用いてオフセット値「128」を加える。したがって、(数2)となる。
(数2)
X’=+7+128=135
また、被検査対象物によって対比表(表1)の値を任意に変更することにより、被検査対象物に応じた最適な欠陥検出感度を設定することができる。
次に、図4は本発明の実施の形態2におけるパターン検査方法の処理を示すフローチャートである。図4に示すように、注目画素(輝度;X)と比較画素(輝度;Y1)〜比較画素(輝度;Y8)の輝度差をそれぞれ取得する(S11)。得られた8個の輝度差の絶対値を取り(S12)、さらに、輝度値を絶対値順に並べ替えてRANKを付け(S12)、予め規定しておいた輝度差しきい値を越えた値の比較画素の数を計数する。
そして、予め設定しておいた輝度差しきい値以上の比較画素の数とRANKとの対比表(表2)から、処理S14で計数した比較画素の数に対するRANKを求める(S15)。得られたRANKに位置する処理S13で並べ替えRANKを付けた輝度差(符号を含む)に、オフセット値を加えて繰り返しパターンを除去し、処理後の注目画素の輝度X’を得る(S16)。
通常、8ビット256階調の画像を用いるため、このオフセット値は中心階調である「128」に設定する。この処理を繰り返しパターンを持つ被検査対象物を撮像した画像全面に施すことにより、繰り返しパターンを除去して欠陥部分のみを感度良く抽出することができる。
したがって、これから(表2)を参照すると、RANKは3となり、処理後の注目画素の輝度X’は輝度差が最小から3番目の値、「+19」を用いて、(数3)となる。
(数3)
X’=+19+128=147
また、被検査対象物によって対比表(表2)の値を任意に変更することにより、被検査対象物に応じた最適な欠陥検出感度を設定することができる。
(数3)
X’=+19+128=147
また、被検査対象物によって対比表(表2)の値を任意に変更することにより、被検査対象物に応じた最適な欠陥検出感度を設定することができる。
また、本実施の形態1,2によって得られる繰り返しパターンを除去して、欠陥部分のみを感度良く抽出た画像を用いて欠陥検査を行うことで、パターン検査における輝度差の低い微小な欠陥部分の検出精度を向上した正確な検査を行うことができる。
本発明に係るパターン検査方法および装置は、撮像した画像において輝度差の低い微小な欠陥部分の検出精度を向上させることができ、繰り返しパターンを持つ検査対象物のパターン検査として有用である。
11 被検査対象物
12 撮像手段
13 画像処理手段
14 表示手段
21 注目画素
22〜29 比較画素
12 撮像手段
13 画像処理手段
14 表示手段
21 注目画素
22〜29 比較画素
Claims (9)
- 繰り返しパターンを持つ被検査対象物を撮像する工程と、前記撮像した画像から繰り返しピッチごとに画素の輝度値を比較し、前記繰り返しパターンを除去する工程とにより、欠陥部分のみを抽出して前記被検査対象物の良否判定を行うことを特徴とするパターン検査方法。
- 繰り返しパターンを持つ被検査対象物を撮像する工程と、前記撮像した画像から1箇所の注目画素と繰り返しピッチ離れた周囲8箇所の各比較画素との輝度値を比較し、前記繰り返しパターンを除去する工程とにより、欠陥部分のみを抽出して前記被検査対象物の良否判定を行うことを特徴とするパターン検査方法。
- 繰り返しパターンを持つ被検査対象物を撮像する工程と、前記撮像した画像から1箇所の注目画素と繰り返しピッチ離れた周囲8箇所の各比較画素との輝度値を比較して輝度差を取得し、取得した前記輝度差を絶対値順に並べ替えて輝度差順位を付けて前記輝度差の最大値と最小値の差を取得し、予め設定された差と輝度差順位との対比表を元に前記取得した差によって指定される前記輝度差順位を付けた前記輝度差にオフセット値を加えて前記繰り返しパターンを除去する工程とにより、前記繰り返しパターンの除去を前記画像の全画素に施し欠陥部分のみを抽出して前記被検査対象物の良否判定を行うことを特徴とするパターン検査方法。
- 繰り返しパターンを持つ被検査対象物を撮像する工程と、前記撮像した画像から1箇所の注目画素と繰り返しピッチ離れた周囲8箇所の各比較画素との輝度値を比較して輝度差を取得し、取得した前記輝度差を絶対値順に並べ替えて輝度差順位を付けて、予め設定された輝度差しきい値と比較して前記輝度差しきい値より高い値の前記比較画素の数を取得し、予め設定された輝度差しきい値より高い値の比較画素の数と輝度差順位との対比表を元に前記取得した比較画素の数によって指定される前記輝度差順位を付けた前記輝度差にオフセット値を加えて前記繰り返しパターンを除去する工程とにより、前記繰り返しパターンの除去を前記画像の全画素に施し欠陥部分のみを抽出して前記被検査対象物の良否判定を行うことを特徴とするパターン検査方法。
- 前記被検査対象物が、プラズマ・ディスプレイ・パネルまたは液晶パネルの表示装置であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のパターン検査方法。
- 繰り返しパターンを持つ被検査対象物を撮像する撮像手段と、前記撮像手段で得た画像から繰り返しピッチごとに画素の輝度値を比較して前記繰り返しパターンを除去する画像処理手段とを備え、前記画像処理手段により欠陥部分のみを抽出して被検査対象物の良否判定を行うことを特徴とするパターン検査装置。
- 繰り返しパターンを持つ被検査対象物を撮像する撮像手段と、前記撮像手段で得た画像から1箇所の注目画素と繰り返しピッチ離れた周囲8箇所の各比較画素との輝度値を比較して前記繰り返しパターンを除去する画像処理手段とを備え、前記画像処理手段により欠陥部分のみを抽出して前記被検査対象物の良否判定を行うことを特徴とするパターン検査装置。
- 繰り返しパターンを持つ被検査対象物を撮像する撮像手段と、前記撮像手段で得た画像から1箇所の注目画素と繰り返しピッチ離れた周囲8箇所の各比較画素との輝度値を比較して輝度差を取得し、取得した前記輝度差を絶対値順に並べ替えて輝度差順位を付けて前記輝度差の最大値と最小値の差を取得し、予め設定された差と輝度差順位との対比表を元に前記取得した差で指定される前記輝度差順位を付けた前記輝度差にオフセット値を加え前記繰り返しパターンを除去する画像処理手段とを備え、前記画像処理手段の処理を前記画像の全画素に施して前記繰り返しパターンを除去し欠陥部分のみを抽出して被検査対象物の良否判定を行うことを特徴とするパターン検査装置。
- 繰り返しパターンを持つ被検査対象物を撮像する撮像手段と、前記撮像手段で得た画像から1箇所の注目画素と繰り返しピッチ離れた周囲8箇所の比較画素との輝度値を比較して輝度差を取得し、取得した前記輝度差を絶対値順に並べ替えて輝度差順位を付けて、予め設定された輝度差しきい値と比較して前記輝度差しきい値より高い値の前記比較画素の数を取得し、予め設定された輝度差しきい値より高い値の比較画素の数と輝度差順位との対比表を元に前記取得した比較画素の数によって指定される前記輝度差順位を付けた前記輝度差にオフセット値を加え前記繰り返しパターンを除去する画像処理手段とを備え、前記画像処理手段の処理を前記画像の全画素に施して前記繰り返しパターンを除去し欠陥部分のみを抽出して被検査対象物の良否判定を行うことを特徴とするパターン検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004256617A JP2006071521A (ja) | 2004-09-03 | 2004-09-03 | パターン検査方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004256617A JP2006071521A (ja) | 2004-09-03 | 2004-09-03 | パターン検査方法および装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006071521A true JP2006071521A (ja) | 2006-03-16 |
Family
ID=36152306
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004256617A Pending JP2006071521A (ja) | 2004-09-03 | 2004-09-03 | パターン検査方法および装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006071521A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018120312A1 (zh) * | 2016-12-28 | 2018-07-05 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种柔性衬底的检测方法、检测系统及检测装置 |
CN112954304A (zh) * | 2021-01-18 | 2021-06-11 | 湖北经济学院 | 显示面板Mura缺陷评估方法、系统以及可读存储介质 |
-
2004
- 2004-09-03 JP JP2004256617A patent/JP2006071521A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018120312A1 (zh) * | 2016-12-28 | 2018-07-05 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种柔性衬底的检测方法、检测系统及检测装置 |
US10530992B2 (en) | 2016-12-28 | 2020-01-07 | Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd | Detection method, detection system, and detection device for flexible substrate |
CN112954304A (zh) * | 2021-01-18 | 2021-06-11 | 湖北经济学院 | 显示面板Mura缺陷评估方法、系统以及可读存储介质 |
CN112954304B (zh) * | 2021-01-18 | 2022-09-16 | 湖北经济学院 | 一种显示面板Mura缺陷评估方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7978903B2 (en) | Defect detecting method and defect detecting device | |
JP4518835B2 (ja) | 欠陥検出装置、配線領域抽出装置、欠陥検出方法および配線領域抽出方法 | |
JP2007285754A (ja) | 欠陥検出方法および欠陥検出装置 | |
JP2005172559A (ja) | パネルの線欠陥検出方法及び装置 | |
JP5088165B2 (ja) | 欠陥検出方法および欠陥検出装置 | |
US8842270B2 (en) | Method and inspection device for bright spot defect detection of a polarizer | |
JP2009229197A (ja) | 線状欠陥検出方法および線状欠陥検出装置 | |
JP2001184510A (ja) | 欠陥検出方法 | |
JP4143660B2 (ja) | 画像解析方法、画像解析装置、検査装置、画像解析プログラムおよびコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | |
JP2004239733A (ja) | 画面の欠陥検出方法及び装置 | |
JP3907874B2 (ja) | 欠陥検査方法 | |
JP2009036582A (ja) | 平面表示パネルの検査方法、検査装置及び検査プログラム | |
JP2007155405A (ja) | 外観検査方法及び外観検査装置 | |
JP2006258713A (ja) | シミ欠陥検出方法及び装置 | |
JP2005165387A (ja) | 画面のスジ欠陥検出方法及び装置並びに表示装置 | |
JP2005345290A (ja) | 筋状欠陥検出方法及び装置 | |
JP3695120B2 (ja) | 欠陥検査方法 | |
JP2008070242A (ja) | ノイズ除去方法および装置、ムラ欠陥検査方法および装置 | |
JP5239275B2 (ja) | 欠陥検出方法および欠陥検出装置 | |
JP2005283197A (ja) | 画面のスジ欠陥検出方法及び装置 | |
JP2004219291A (ja) | 画面の線欠陥検出方法及び装置 | |
JP2006071521A (ja) | パターン検査方法および装置 | |
TWI477768B (zh) | 平面基板之自動光學檢測方法及其裝置 | |
JP2010151762A (ja) | 欠陥検出方法および欠陥検出装置 | |
JP2005252451A (ja) | 画質検査方法及び画質検査装置 |