WO2018114488A1 - Scanspiegel mit auswuchtkörper sowie verfahren zum auswuchten eines scanspiegels - Google Patents

Scanspiegel mit auswuchtkörper sowie verfahren zum auswuchten eines scanspiegels Download PDF

Info

Publication number
WO2018114488A1
WO2018114488A1 PCT/EP2017/082475 EP2017082475W WO2018114488A1 WO 2018114488 A1 WO2018114488 A1 WO 2018114488A1 EP 2017082475 W EP2017082475 W EP 2017082475W WO 2018114488 A1 WO2018114488 A1 WO 2018114488A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
balancing
scanning mirror
recesses
mirror
recess
Prior art date
Application number
PCT/EP2017/082475
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Mathias STRACKHARN
Manuel WINKLER
Original Assignee
Scanlab Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Scanlab Gmbh filed Critical Scanlab Gmbh
Priority to KR1020197021649A priority Critical patent/KR20190095461A/ko
Priority to CN201780080206.1A priority patent/CN110168422B/zh
Priority to US16/472,880 priority patent/US11402605B2/en
Publication of WO2018114488A1 publication Critical patent/WO2018114488A1/de

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
    • G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
    • G02B7/1821—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors for rotating or oscillating mirrors
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10—Scanning systems
    • G02B26/105—Scanning systems with one or more pivoting mirrors or galvano-mirrors
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
    • G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
    • G02B7/198—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors with means for adjusting the mirror relative to its support

Definitions

  • the present invention relates to a scanning mirror for a laser
  • Scanning system in particular a laser processing scanner and / or a sensor scanner of a laser processing device, comprising a mirror body, a mirror surface arranged on a front side of the scan mirror, at least one first recess formed in the mirror body, in a rear view of the scan mirror on one side of a central axis of the scan mirror and at least one balancing body, which is accommodated in the first recess and forms at least part of a balancing mass for balancing the scanning mirror.
  • the invention relates to a method for balancing a scanning mirror, in which an imbalance of the scanning mirror is measured and the scanning mirror is balanced by balancing body.
  • Scan mirrors are moved highly dynamically, so z. If, for example, they are highly dynamically rotated within a limited angular range and are therefore inertia-optimized, they are often made of materials such as quartz or silicon, since they are very stiff with low weight and can be machined to extremely low evenness. In these materials, the introduction of a thread is possible only with the highest effort.
  • the aim is to add as little mass as possible during balancing.
  • the flatness of the mirror surface can be affected by large or unfavorably positioned recesses in the back surface or the side surfaces of the mirror body or in the mirror body itself.
  • a scanning mirror which has a plurality of screws which are screwed into a thread of the scanning mirror are and act as a counterweight. About the thread, the respective position of the screws or the counterweights can be changed, whereby balancing of the mirror can be done.
  • the disadvantage here is that the thread is very complicated to produce, whereby the manufacturing costs of the scanning mirror are significantly increased.
  • the method for balancing the scanning mirror is very complex, since a large number of iterative steps are necessary in order to be able to determine the optimum distance of the screws from the central axis. Object of the present invention is thus a balanced
  • the object is achieved by a scanning mirror and a method for balancing a scanning mirror with the features of the independent patent claims.
  • a scanning mirror is proposed for a laser scanning system, in particular a laser processing scanner and / or a sensor scanner of a laser processing device. Accordingly, the scanning mirror serves to deflect a laser beam, by means of which, for example, an object, in particular in a rapid prototyping method, produced, processed, in particular cut, welded or engraved, medical treatments and / or data can be detected by sensors.
  • the scanning mirror comprises a mirror body and a mirror surface arranged on the front side of the scan mirror. The mirror body thus serves as a carrier of the mirror surface. Furthermore, the scanning mirror comprises at least one first recess formed in the mirror body.
  • the at least one first recess is arranged in a rear view of the scanning mirror, in particular in the transverse direction of the mirror, on one side of a central axis of the scanning mirror and is spaced therefrom.
  • the central axis divides the scan mirror into a right-hand one first and a left second half.
  • the first recess is thus arranged in the region of one of the two halves and spaced from the central axis.
  • the central axis in the intended use of the scanning mirror forms an axis of rotation about which the scanning mirror, which forms at least part of a rotor of the laser scanning system, can be rotated.
  • the scanning mirror has at least one balancing body, which is accommodated in the first recess.
  • the balancing body forms at least part of a balancing mass, which must be arranged at a distance from the central axis on the scanning mirror in order to balance the scanning mirror, in particular by shifting the center of gravity in a plane parallel to the rear side.
  • the scanning mirror has a first recess group for receiving the entire balance mass.
  • the first recess group is composed of several in the rear view on the same side of the central axis and spaced from the central axis first recesses together.
  • the scanning mirror can thus be balanced quickly and inexpensively by recording the entire balancing mass required for balancing the scanning mirror in a fixed and / or constant distance from the central axis in the at least two first recesses.
  • the at least one balancing body therefore no longer has to be displaced several times in a complicated balancing process in the transverse direction of the scanning mirror in order to be able to determine the optimum balancing position.
  • the balancing mass is determined and quickly and easily introduced into at least one of the first recesses and held by this at a constant distance from the central axis.
  • expensive threads for moving the balancing body can be saved in the production, whereby the manufacturing cost of the scanning mirror can be reduced.
  • materials for the mirror body which do not allow the introduction of a thread or only at a significantly increased cost.
  • the scanning mirror has a second recess group, which is formed by a plurality of second recesses.
  • the second recess group is in this case arranged in comparison to the first recess group in a rear view of the scanning mirror on the other or opposite side of the central axis.
  • at least one balancing body in one of the two recess groups quickly and inexpensively in a rear view of the scanning mirror either on the right side of the central axis or on the left side of the central axis.
  • the balancing mass can be arranged in at least one of the recesses.
  • At least some of the recesses of the first and / or second recess group are offset from each other in the direction of the central axis.
  • at least two recesses may be formed at the same distance from the central axis.
  • the recesses of the first and / or the second recess have In this case, the groups of equations are at an equidistant distance from each other in the direction of the central axis.
  • the distance in the direction of the central axis between two adjacent recesses preferably corresponds at least to a recess width measured in the direction of the central axis.
  • the recesses of the first and / or second recess group to the central axis all have the same distance.
  • the recesses of the respective recess group are thus arranged one behind the other on a line parallel to the central axis.
  • the balancing mass can thus be influenced only by the number of balancing bodies and their respective mass, since their distance from the central axis in each of the recesses is the same.
  • the effect of the balancing body can be further influenced by the choice of the distance or the recess arranged at a respective distance to the central axis. Accordingly, if a recess is selected whose distance from the central axis is smaller, its balancing body must have a greater mass in order to achieve the same effect as compared to a second balancing body having a lower mass and in comparison to a larger one Distance to the central axis arranged other recess of the respective recess group is arranged. If, alternatively, a balancing body with a given mass is present, then its effect is the greater the greater the distance between the recess in which the balancing body is introduced and the center axis.
  • first and / or second recesses are formed identically to one another.
  • the manufacturing cost of the scanning mirror can be reduced, since all recesses can be formed with the same tool and one behind the other or simultaneously.
  • the two recess groups are arranged symmetrically to each other in a rear view of the scanning mirror, wherein preferably the central axis forms the axis of symmetry.
  • the balancing mass is thus arranged only on one of the two sides of the scanning mirror or in one of the two recess groups. One of the two recess groups thus has no balancing body.
  • the recess group equipped with the balancing mass has at least so many recesses that all the balancing mass-forming balancing body can be accommodated. Accordingly, if the balance mass to be received is correspondingly small, it may happen that at least one recess of the recess mass receiving recess group remains free, whereas the other recesses of this recess group are equipped with a corresponding balancing body. Only in the case of a balancing error can it happen that at least one correction body is arranged even in the free recess group in which the balancing mass has not been arranged.
  • the correction body is in this case preferably designed as a balancing body.
  • the recesses are each formed such that a designated balancing body is at least immovable in the direction of the central axis at least.
  • the recesses are therefore designed such that they have a balancing body arranged therein in the transverse direction of the scanning mirror in the constant deviation. stand to the central axis hold.
  • the recesses each have at least one radial stop, by means of which a balancing body adjoining it is always kept at a constant distance from the central axis.
  • the recesses may have a first radial stop, by means of which at least one balancing body is held radially inwardly. The balancing body can thus not move radially inward.
  • the first radial stop thus forms a radial inner stop.
  • the recesses may have a second radial stop, by means of which at least one balancing body is held radially outward. The balancing body can thus not move radially outward.
  • the second radial stop thus forms a radial outer stop.
  • a fast and cost-effective balancing of the scanning mirror can be carried out, since the optimal distance of the balancing body relative to the central axis does not have to be determined as before by a lengthy and complex balancing method, but only so many balancing bodies at a fixed and / or constant distance from the central axis must be arranged until the entire, in particular previously determined, balancing mass is taken in a fixed predetermined and / or constant distance to the central axis.
  • all recesses of the first and / or second recess group are each formed in the same side or surface of the mirror body. All recesses of the first and / or second recess group are preferably formed in a rear side of the mirror body facing away from the mirror surface. Alternatively, these can also be formed in a side surface of the mirror body, which connects the front with the back. In the case of a recess formed in the rear side, it therefore extends from the rear side in the direction of the front side.
  • the mirror body therefore has two opposite first side surfaces which are spaced from the central axis. stood, and two opposite second side surfaces which extend perpendicular to the central axis. When formed in the side surface recess, this extends from the side surface, starting in the direction of the central axis.
  • the recesses have an opening for introducing a balancing body.
  • the opening is preferably formed on the back or on one of the two side surfaces. It may be advantageous if each recess has its own opening. Alternatively, it is also conceivable that a plurality of recesses have a common opening.
  • the mirror body is designed as a solid body.
  • the recesses can be formed directly in the mirror body.
  • the mirror body is formed of quartz or silicon and / or in particular is a quartz or silicon substrate.
  • the recesses of the first and / or second recess group extend from the rear side in the direction of the front side or from one of the two side surfaces, starting in the direction of the central axis into the mirror body, in particular as a solid body.
  • the scanning mirror can be produced particularly cost-effectively if at least one of the recesses of the first and / or second recess group is designed as a, in particular drilled, blind hole.
  • At least two recesses of the first and / or second recess group are formed by a common, in particular parallel to the central axis extending groove.
  • the two recesses have a common opening for introducing at least one balancing body.
  • the recesses, in particular the blind hole and / or the groove are spaced from the mirror surface in a side view of the scanning mirror , It is advantageous if the distance is preferably at least half the depth of the mirror body.
  • the depth of the recess is preferably max. 50%, in particular max. 33% of the thickness of the mirror body corresponds.
  • the at least one balancing body is a ball. Furthermore, it is advantageous if the at least one balancing body is inserted into the associated recess. The exact position of the balancing body in the recess is thus not determined by a thread. Instead, the balancing body is preferably pushed to the bottom of the respective recess, whereby its position is fixed immutable by a wall of the recess. In the case of a recess formed on the side surface, the constant distance of the balancing body provided therefor is thus determined by the base of the recess.
  • the constant distance between the balancing body provided for this purpose and the central axis is defined by a side surface facing the center axis or a lateral surface portion of the recess.
  • the balancing body is preferably completely accommodated in the recess.
  • the depth of the recess is at least half as large, in particular greater than or equal to a ball diameter of the ball. Additionally or alternatively, it is advantageous if the diameter of the recess is greater than or equal to the ball diameter of the ball.
  • the scanning mirror has at least two balancing bodies which together form the balancing mass and / or are respectively received in one of the recesses, in particular immutable and / or at a constant distance from the central axis of the first and / or second recess group. It is advantageous if the scanning mirror has at least two equal-volume balancing body. Additionally or alternatively, it is advantageous if at least two balancing body have the same and / or different mass to each other.
  • the balancing body can be formed, for example, from stainless steel, hard metal, lead or resin It is advantageous if two mass-different balancing body are formed such that one of the two balancing body has twice the mass of the other balancing body.
  • the at least one balancing body is held in a form-fitting manner in the associated recess, at least in the transverse direction of the scanning mirror, and / or is fastened in a material-locking manner.
  • the balancing body in particular with a fast-leaching adhesive, is glued.
  • a deflection unit is proposed with a rotor rotatable about an axis of rotation, which has a scanning mirror, which is formed according to the preceding description, wherein said features may be present individually or in any desired combination.
  • the rotor comprises a mirror holder, which at one of its two ends with is connected to the scanning mirror and / or at its other end with a drive unit, in particular a galvanometric drive is coupled.
  • a method for balancing a scanning mirror and / or a deflection unit which is preferably designed according to the preceding description, wherein said features may be present individually or in any desired combination. In the method, an imbalance of the scanning mirror is measured.
  • the scanning mirror is balanced by a balancing body.
  • a plurality of recesses in particular a first and / or second recess group, spaced apart from a central axis in a rear view of the scan mirror are first introduced into a mirror body.
  • the recesses can each hold a designated balancing body at a constant distance from the central axis.
  • a balancing body is introduced into at least one of the recesses.
  • the appropriate distance of the balancing mass to the central axis need not be determined in a complex and lengthy process.
  • the balancing mass is defined by the number of balancing bodies.
  • the balancing body can therefore be positioned quickly and easily at a constant distance from the central axis, whereby the balancing process can be performed very easily and quickly. In this way, in turn, the manufacturing cost of the scanning mirror can be reduced.
  • the mirror surface is formed on the mirror body only after the introduction of all recesses. This can be avoided, that the mirror surface is deformed due to the introduction of a recess.
  • an imbalance of the scanning mirror is measured.
  • one of the two sides or one of the two recess groups is selected as a function of the measured imbalance in a rear view of the scanning mirror relative to the central axis, on / in which at least one balancing body is to be mounted.
  • one of the two recess groups is selected in which at least one balancing body is to be mounted. In this way it can be determined on which of the two sides the balancing mass is to be mounted in order to be able to eliminate the measured imbalance of the scanning mirror.
  • a balancing mass is calculated as a function of the distance from the center axis of the recesses located on the selected side. Additionally or alternatively, it is advantageous in this regard if, depending on the specific balance mass, a number of balancing bodies to be attached, of which preferably at least two mutually equal volumes and / or different masses, is determined. Thereafter, it is advantageous if the calculated balance mass is placed on the specified side in the defined recesses.
  • FIG. 1 shows a schematic illustration of a laser scanning system for machining a workpiece, a first exemplary embodiment of a scanning mirror in a rear view with a plurality of recesses for balancing the scanning mirror, a lateral partial sectional view of the scanning mirror shown in FIG. 2 in the region of the recesses provided with balancing bodies, a second Embodiment of the scanning mirror in a rear view and
  • Figure 5 shows a third embodiment of the scanning mirror in a
  • FIG. 1 shows a detail of a laser scanning system 1, by means of which a laser beam 2 of a laser 3 can be deflected.
  • the laser beam 2 is used to form a weld seam 5 on a workpiece 4. It is emitted by the laser 3 and directed onto the workpiece 4 by a scanning mirror 6 of the laser scanning system 1.
  • the scanning mirror 6 is rotatably mounted about a rotation axis 9.
  • the scanning mirror 6 is held by a mirror holder 7.
  • the mirror holder 7 engages on a front side 10 and a rear side 1 1 of the scanning mirror 6, non-positively, material and / or positively.
  • the scanning mirror 6 and the mirror holder 7 form at least a part of a rotor 12, which is arranged around the axis of rotation 9 within a limited angle. can be rotated. This is done via a drive 8, which is preferably a Galvanometerantneb. By means of a rotational movement transmitted to the rotor 12 via the drive 8, the laser beam 2 can thus be moved on the workpiece 4.
  • the laser scanning system 1 can also be used for laser cutting, laser engraving, moving a sensor laser beam, for medical treatments and / or for rapid prototyping.
  • the scanning mirror 6 comprises a mirror body 13. This forms a supporting body of the scanning mirror 6.
  • the mirror body 13 is preferably formed of a quartz and / or silicon substrate. Furthermore, this is preferably formed as a solid body.
  • the scanning mirror 6 further comprises a mirror surface 14.
  • the mirror surface 14 is formed on a front side 10. The mirror surface 14 is preferably polished and coated.
  • the mass distribution is not formed completely symmetrically with respect to the axis of rotation 9.
  • this non-integral mass distribution causes forces to be exerted which excite different modes of oscillation, including bending vibrations of the rotor 12. These bending oscillations have a negative effect on the deflection accuracy of the scanning mirror 6.
  • such scanning mirrors 6 are balanced by means of a balancing mass 15 (see FIG.
  • FIG. 2 shows a first embodiment of the scanning mirror 6 in a rear view.
  • the mirror holder 7, which is not shown here can be arranged.
  • the scanning mirror 6 shown in FIG. 2 is balanced by the balancing mass 15.
  • the balancing mass 15 is composed of several balancing bodies 16.
  • the balancing body 16 are all on the same side of a central axis 17 of the scanning mirror 6 is arranged.
  • the central axis 17 accordingly divides the scanning mirror 6 into two halves, the balancing mass 15 being completely arranged on only one of the two halves.
  • the central axis 17 forms an axis of symmetry in the illustrated rear view of the scanning mirror 6.
  • the center axis 17 further forms the axis of rotation 9 of the rotor 12.
  • the scanning mirror 6 has a plurality of first recesses 18. These are arranged relative to the center axis 17 in the region of a first side 19 or half of the rear side 11. Furthermore, the scanning mirror 6 has a plurality of second recesses 20. These are formed relative to the central axis 17 on one of the first side 19 opposite second side 21 and second half. In the present case, the scanning mirror 6 has four first and four second recesses 18, 20.
  • the first recesses 18 are spaced to the first side 19 from the central axis 17 in the rear view as shown in the illustration.
  • all the first recesses 18, in particular in the radial direction, have the same distance from the center axis 17 in accordance with the rear view shown in FIG. They are therefore arranged to each other on a line parallel to the central axis 17 line.
  • the first recesses 18 form a first recess group 22.
  • the second recesses 20 form a second recess group 23. Also, the second recesses 20 in the radial direction according to the illustration of the rear view of the scanning mirror 6 to the central axis 17 all the same distance. Accordingly, they are likewise arranged one behind the other on a line parallel to the central axis 17.
  • the distances between two longitudinally adjacent recesses 18, 20 are preferably mutually equidistant.
  • the distance between two adjacent recesses 18, 20 of a group is preferably at least as great as the width of the respective recesses 18, 20 in the direction of the central axis 17.
  • one of the recesses 18, 20 at least as far from the central axis 17 be spaced, such as half the width or the full width of the respective recess 18, 20 in the direction of the central axis 17th
  • the two recess groups 22, 23 are symmetrical to one another.
  • the center axis 17 forms an axis of symmetry of the two recess groups 22, 23.
  • the recesses 18, 20 of the respective recess group 22, 23 are identical to one another and / or to the other recess group 22, 23.
  • the recesses 18, 20 are formed as blind holes. Furthermore, the recesses 18, 20 are formed in the back 11 of the scanning mirror 6. According to the sectional view illustrated in FIG. 3, the recesses 18, 20 thus extend from the rear side 11 in the direction of the mirror surface 14. Alternatively, however, they could also be formed on a side surface of the mirror body 13 in an embodiment not shown here that they extend substantially in the transverse direction of the scanning mirror 6.
  • the mirror body thus has two opposite first side surfaces which are spaced from the central axis 17 and two opposite second side surfaces which extend perpendicular to the central axis 17. Accordingly, at least one of the recesses 18, 20 could additionally or alternatively be formed in one of the first or second side surfaces.
  • the recesses 18, 20 each have at least one radial stop 29, 30, by means of which an adjoining balancing body 16 always in constant distance from the central axis 17 is held or can be maintained. For reasons of clarity, only one of the recesses is provided with corresponding reference numerals.
  • the first radial stop 29 thus forms a radial inner stop.
  • the recesses 18, 20 have a second radial stop 30, by means of which at least one balancing body 16 is held or can be held radially outward.
  • the balancing body 16 can thus not move radially outward.
  • the second radial stop 30 thus forms a radial outer stop.
  • the first radial stop 29 is thus formed by a radially inner blind hole area.
  • the second radial stop 30 is formed by a radially outer blind hole area.
  • the recesses 18, 20 are at a distance from the mirror surface 14. A bottom 25 of the recesses 18, 20 is thus spaced from the mirror surface 14. Furthermore, the recesses 18, 20 do not extend beyond the central axis 17, so that the base 25 of the respective recess 18, 20 also at a distance from the central axis 17 or rotational axis 9.
  • the recesses 18, 20 are formed so deep that the balancing body 16, as shown in the present case, are completely received in the recesses 18, 20.
  • the balancing body 16 could also be accommodated only at least halfway. Accordingly, they would partially protrude from the recesses 18, 20.
  • the balancing bodies 16 are designed as balls 26 (see FIG. 3). As a result, they can be quickly and easily inserted into the associated recess 18, 20.
  • the depth and / or width of the cutouts gene 18, 20 in this case preferably corresponds to a diameter of the balls 26.
  • the balancing body may also be cylindrical.
  • a wire section can be used as a balancing body.
  • the balancing body 16 of their outer shape and / or of their volume are identical to each other. However, they can have different masses with each other. Accordingly, it is advantageous if at least one of the balancing bodies 16 has a distinctly different, in particular twice as large, density as another of the balancing bodies 16. In this way, the balancing mass 15 necessary for balancing can be determined sufficiently precisely by the balancing bodies 16 which are externally identical.
  • the mirror body 13 is initially formed in a first step. This is done in particular of quartz or silicon. Subsequently, the two recess groups 22, 23 are formed on the back 1 1 of the scanning mirror 6. This is done in particular by several backside blind holes. Subsequently, the mirror surface 14 is polished and coated on the front side 10. However, the mirror surface 14 could also be formed on the mirror body 13 even before the introduction of the recesses 18, 20.
  • each recess group 23, 22 has four recesses 18, 20 each.
  • an imbalance of the scanning mirror 6 is measured. This occurs in particular when the scanning mirror 6 is coupled to the mirror holder 7 and the drive 8.
  • the unbalance of the entire system can now be remedied by attaching the Balance mass 15 are compensated.
  • that side 19, 21 is first determined by the measurement of the unbalance, or the one recess group 22, 23 determines, of which the respective balance mass 15 must be recorded.
  • the male balance mass 15 is determined as a function of the distance of the respective recesses 18, 20 from the central axis 17. Furthermore, the number and / or the type or mass of the male balancing body 16 is determined.
  • the material is determined from which the volume-balanced balancing bodies 16 should be formed. This is done by selecting from an available material group, wherein the balancing body 16 may be, for example, stainless steel, carbide, lead or resin.
  • the balancing body 16 are arranged in the respective set recess group 22, 23.
  • the imbalance of the scanning mirror 16 is formed such that the balancing body 16 must be arranged in the first recess group 22 to compensate for the imbalance.
  • the unbalance can also be designed such that the balancing mass 15 is arranged in the second recess group 23 and not in the first recess group 22.
  • the balancing bodies 16 are received in a precisely fitting manner in the respective associated recess 18.
  • the balancing body 16 For fixing the balancing body 16, these are glued into the recesses 18. This is preferably done with a fast curing adhesive. After the balancing bodies 16 have been arranged, the imbalance of the scanning mirror 6 is again measured. If the imbalance is not within a predetermined tolerance range, an additional increasing balancing mass 15 is calculated. The at least one balancing body 16, which determines the additional balancing mass 15, is then arranged on the same side 19 on which the other balancing bodies 16 have already been arranged-if no measuring error was present. This process can be performed in an iterative approximation process until the imbalance of the scan mirror 16 is sufficiently well eliminated. According to FIG. 2, no balancing bodies 16 are thus arranged in the second recess group 23.
  • one of the first recesses 18 of the first recess group 22 is also empty. This is the case because in the case of the unbalance found here, three balancing bodies 16 have already been sufficient to completely absorb the balancing mass 15. In the case of a larger imbalance, the existing balancing bodies 16 would have to be formed with a larger mass and / or possibly an additional balancing body 16 would have to be arranged in the free first recess 18.
  • FIG. 4 shows an alternative embodiment of the scanning mirror 6.
  • the recesses 18, 20 of the respective recess group 22, 23 are not spaced apart from one another in the direction of the central axis 17, but are connected to one another.
  • the first recesses 18 of the first recess group 22 are presently formed by a common first groove 27.
  • the second recesses 20 of the second recess group 23 are formed by a second groove 28.
  • the grooves 27, 28 are presently formed as longitudinal grooves and extend parallel to the central axis 17.
  • the balancing body 16 are spaced from each other in the first groove 27 received. Alternatively, however, they could also be displaced towards an end of the first groove 27, so that the balancing bodies 16 rest against one another.
  • a position fixation could be effected via an adhesive.
  • the recesses 18, 20 each have at least one radial stop 29, 30, by means of which an adjoining balancing body 16 is always held at a constant distance from the central axis 17 and can be held.
  • the first radial stop 29 thus forms a radial inner stop.
  • the recesses 18, 20 on a second radial stop 30 by means of which at least one balancing body 16 is held radially outward or can be held.
  • the balancing body 16 can thus not move radially outward.
  • the second radial stop 30 thus forms a radial outer stop.
  • the first radial stop 29 is thus through an outer groove wall of the Groove 27, 28 formed.
  • the second radial stop 30 is formed by an inner groove wall of the groove 27, 28.
  • FIG. 5 shows a third exemplary embodiment of the scanning mirror 6, wherein the same reference numerals are used in this case as well for identical or at least equivalent features.
  • the recesses 18, 20 are formed according to the embodiment shown in Figure 2, in particular as blind holes and / or with at least one radial stop 29, 30.
  • the scanning mirror 6 has another basic shape, which is wider than it is high.
  • the recesses 18, 20 of the respective recess group 22, 23 are not at the same distance from the central axis 17, as in the previous embodiments. in the transverse direction of the scanning mirror 6, on.
  • the imaging according to the topmost recess 18, 20 is located closest to the central axis 17 and the two lowest recesses 18, 20 with the same distance furthest away from the central axis 17.
  • the recess 18 arranged balancing body 16 must therefore have a greater mass than one in the lowest or the center axis more distant positioned recess 18 arranged balancing body 16 in order to achieve the same balancing effect can.
  • the recesses 18, 20 are arranged in the region of the edge, so that they have the largest possible distance from the central axis 17.
  • the balancing body 16 can be formed as small as possible and with a smaller mass, whereby the dynamics of the scanning mirror is improved.
  • the recesses 18, 20 are at least one width or a diameter of the respective recess 18, 20 spaced from the edge of the mirror.
  • a plurality of balancing bodies 16 could also be accommodated in one and / or the same recess.
  • At least one of the recesses 18, 20 and / or at least two of the balancing bodies could be designed in such a way that at least two balancing bodies 16, in particular in a direction of insertion and / or extension of the recess 18, 20, are arranged one behind the other in the same recess 18 are receivable and / or recorded. It is therefore also conceivable that in a side surface or in one of the end surfaces (ie in FIG. 2, the surfaces at the top or bottom of the mirror body are provided with a bore in which a plurality of balls can be received on one another.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft einen Scanspiegel (6) für ein Laser-Scansystem (1) mit einem Spiegelkörper (13), einer auf einer Vorderseite (10) des Scanspiegels (6) angeordneten Spiegelfläche (14), zumindest einer in dem Spiegelkörper (13) ausgebildeten ersten Aussparung (18), die in einer Rückansicht des Scanspiegels (6) auf einer Seite (19) einer Mittelachse (17) des Scanspiegels (6), angeordnet und von dieser beabstandet ist, und zumindest einem Auswuchtkörper (16), der in der ersten Aussparung (18) aufgenommenen ist und zumindest einen Teil einer Auswuchtmasse (15) zum Auswuchten des Scanspiegels (6) bildet. Erfindungsgemäß weist der Scanspiegel (6) eine erste Aussparungsgruppe (22) zur Aufnahme der gesamten Auswuchtmasse (15) auf, die durch mehrere in der Rückansicht auf derselben Seite (19) der Mittelachse (17) angeordnete erste Aussparungen (18) ausgebildet ist, die jeweils zumindest einen Radialanschlag aufweisen, mittels dem ein daran anliegender Auswuchtkörper (16) stets im konstanten Abstand zur Mittelachse (17) haltbar ist. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Auswuchten eines derartigen Scanspiegels (6).

Description

Scanspiegel mit Auswuchtkörper sowie Verfahren zum Auswuchten eines Scanspiegels
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Scanspiegel für ein Laser-
Scansystem, insbesondere eines Laserbearbeitungsscanners und/oder eines Sensorscanners einer Laserbearbeitungsvorrichtung, mit einem Spiegelkörper, einer auf einer Vorderseite des Scanspiegels angeordneten Spiegelfläche, zumindest einer in dem Spiegelkörper ausgebildeten ersten Ausspa- rung, die in einer Rückansicht des Scanspiegels auf einer Seite einer Mittelachse des Scanspiegels angeordnet und von dieser beabstandet ist, und zumindest einem Auswuchtkörper, der in der ersten Aussparung aufgenommen ist und zumindest einen Teil einer Auswuchtmasse zum Auswuchten des Scanspiegels bildet. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Auswuchten eines Scanspiegels, bei dem eine Unwucht des Scanspiegels gemessen wird und der Scanspiegel über Auswuchtkörper ausgewuchtet wird.
Scanspiegel die hochdynamisch bewegt werden, also z. B. in einem be- grenzten Winkelbereich hochdynamisch gedreht werden, und deswegen trägheitsoptimiert sind, werden häufig aus Materialien wie Quarz oder Silizium hergestellt, da diese bei geringem Gewicht sehr steif sind und zu einer äußerst geringen Ebenheit bearbeitet werden können. In diesen Materialien ist das Einbringen eines Gewindes nur unter höchstem Aufwand möglich. Zudem ist man bei einem trägheitsoptimierten Scanspiegel bestrebt, beim Auswuchten so wenig Masse wie möglich hinzuzufügen. Die Ebenheit der Spiegelfläche kann durch große oder ungünstig positionierte Aussparungen in der Rückenfläche oder den Seitenflächen des Spiegel körpers oder im Spiegelkörper selbst beeinträchtigt werden.
Aus der WO 2013/019430 A1 ist ein Scanspiegel bekannt, der mehrere Schrauben aufweist, die in ein Gewinde des Scanspiegels eingeschraubt sind und als Gegengewicht wirken. Über das Gewinde kann die jeweilige Position der Schrauben bzw. der Gegengewichte verändert werden, wodurch ein Auswuchten des Spiegels erfolgen kann. Nachteilig hierbei ist, dass das Gewinde nur sehr aufwändig herzustellen ist, wodurch die Herstellungskos- ten des Scanspiegels deutlich erhöht werden. Des Weiteren gestaltet sich das Verfahren zum Auswuchten des Scanspiegels sehr aufwändig, da eine Vielzahl iterativer Schritte notwendig sind, um den optimalen Abstand der Schauben von der Mittelachse ermitteln zu können. Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es somit, einen ausgewuchteten
Scanspiegel und ein Verfahren zu seinem Auswuchten zu schaffen, so dass dieser schnell, kostengünstig und/oder ohne Einbußen hinsichtlich der Spiegelqualität herstellbar ist.
Die Aufgabe wird gelöst durch einen Scanspiegel und ein Verfahren zum Auswuchten eines Scanspiegels mit den Merkmalen der unabhängigen Patentansprüche.
Vorgeschlagen wird ein Scanspiegel für ein Laser-Scansystem, insbesondere eines Laserbearbeitungsscanners und/oder eines Sensorscanners einer Laserbearbeitungsvorrichtung. Der Scanspiegel dient demnach zum Ablenken eines Laserstrahls, mittels dem beispielsweise ein Gegenstand, insbesondere in einem Rapid-Prototyping-Verfahren, herstellgestellt, ein Gegenstand bearbeitet, insbesondere geschnitten, geschweißt oder graviert, medizinische Behandlungen vorgenommen und/oder Daten sensorisch erfasst werden können. Der Scanspiegel umfasst einen Spiegelkörper und eine auf der Vorderseite des Scanspiegels angeordnete Spiegelfläche. Der Spiegelkörper dient demnach als Träger der Spiegelfläche. Des Weiteren umfasst der Scanspiegel zumindest eine in dem Spiegelkörper ausgebildete erste Aussparung. Die zumindest eine erste Aussparung ist in einer Rückansicht des Scanspiegels, insbesondere in Spiegelquerrichtung, auf einer Seite einer Mittelachse des Scanspiegels angeordnet und von dieser beabstandet. In der Rückansicht teilt die Mittelachse demnach den Scanspiegel in eine rechte erste und eine linke zweite Hälfte. Die erste Aussparung ist somit im Bereich einer der beiden Hälften und von der Mittelachse beabstandet angeordnet. Vorzugsweise bildet die Mittelachse im bestimmungsgemäßen Gebrauch des Scanspiegels eine Drehachse, um die der Scanspiegel, der zumindest einen Teil eines Rotors des Laser-Scansystems bildet, gedreht werden kann. Des Weiteren weist der Scanspiegel zumindest einen Auswuchtkörper auf, der in der ersten Aussparung aufgenommen ist. Der Auswuchtkörper bildet zumindest einen Teil einer Auswuchtmasse, die beabstandet zur Mittelachse an dem Scanspiegel angeordnet werden muss, um den Scanspiegel, insbeson- dere durch Verschieben des Schwerpunkts in einer zur Rückseite parallelen Ebene, auszuwuchten.
Der Scanspiegel weist eine erste Aussparungsgruppe zur Aufnahme der gesamten Auswuchtmasse auf. Die erste Aussparungsgruppe setzt sich aus mehreren in der Rückansicht auf derselben Seite der Mittelachse angeordneten und von der Mittelachse beabstandeten ersten Aussparungen zusammen. Vorteilhafterweise kann der Scanspiegel somit schnell und kostengünstig ausgewuchtet werden, indem die gesamte zum Auswuchten des Scanspiegels benötigte Auswuchtmasse in einem fest vorgegebenen und/oder konstanten Abstand zur Mittelachse in den zumindest zwei ersten Aussparungen aufgenommen wird. Der zumindest eine Auswuchtkörper muss somit nicht mehr in einem aufwändigen Auswuchtverfahren mehrmals in Querrichtung des Scanspiegels verschoben werden, um die optimale Auswuchtposition ermitteln zu können. Stattdessen wird die Auswuchtmasse bestimmt und schnell und einfach in zumindest einer der ersten Aussparungen eingebracht und von dieser in einem konstanten Abstand zur Mittelachse gehalten. Hierdurch können bei der Herstellung teure Gewinde zum Verschieben des Auswuchtkörpers eingespart werden, wodurch die Herstellungskosten des Scanspiegels reduziert werden können. Des Weiteren können für den Spiegelkör- per auch Materialien verwendet werden, die das Einbringen eines Gewindes nicht oder nur mit deutlich erhöhtem Kostenaufwand ermöglichen. Indem der Scanspiegel über die erste Aussparungsgruppe mit mehreren ersten Ausspa- rungen ausgewuchtet wird, die die Auswuchtmasse in Querrichtung des Scanspiegels in zumindest einem fest vorgegebenen und/oder konstanten Abstand zur Mittelachse aufnimmt, kann der Scanspiegel sehr schnell und kostengünstig ausgewuchtet werden. Der ausgewuchtete Scanspiegel ist somit trägheitsoptimiert und weist eine sehr ebene Spiegelfläche auf, da die Aussparungen vorzugsweise derart eingebracht sind, dass diese im Wesentlichen keinen Einfluss auf die Spiegelfläche nehmen.
Vorteilhaft ist es, wenn der Scanspiegel eine zweite Aussparungsgruppe aufweist, die durch mehrere zweite Aussparungen ausgebildet ist. Die zweite Aussparungsgruppe ist hierbei im Vergleich zur ersten Aussparungsgruppe in einer Rückansicht des Scanspiegels auf der anderen bzw. gegenüberliegenden Seite der Mittelachse angeordnet. Vorteilhafterweise kann somit schnell und kostengünstig bei einer Rückansicht des Scanspiegels entweder auf der rechten Seite der Mittelachse oder auf der linken Seite der Mittelachse zumindest ein Auswuchtkörper in einer der beiden Aussparungsgruppen angeordnet werden. Je nachdem wie die Unwucht geartet ist, kann somit entweder in der ersten Aussparungsgruppe oder auf der anderen Seite in der zweiten Aussparungsgruppe die Auswuchtmasse in zumindest einer der Aussparungen angeordnet werden. Hierdurch kann ein schnelles und unkompliziertes Auswuchten des Scanspiegels erfolgen. Wenn beim Auswuchten ein Fehler erfolgt ist, kann dieser ferner schnell und kostengünstig korrigiert werden, indem in der anderen der beiden Aussparungsgruppen, in der die Auswuchtmasse nicht eingebracht wurde bzw. die noch leer ist, zumin- dest ein Korrekturkörper eingebracht wird, der ein fehlerkorrigierendes Gegengewicht zur Auswuchtmasse bildet.
In einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung sind zumindest einige der Aussparungen der ersten und/oder zweiten Aussparungsgruppe zueinander in Richtung der Mittelachse versetzt. Hierdurch können zumindest zwei Aussparungen im gleichen Abstand zur Mittelachse ausgebildet sein. Vorzugsweise weisen die Aussparungen der ersten und/oder der zweiten Ausspa- rungsgruppe hierbei zueinander in Richtung der Mittelachse einen äqui- distanten Abstand voneinander auf. Der Abstand in Richtung der Mittelachse zwischen zwei benachbarten Aussparungen entspricht vorzugsweise zumindest einer in Richtung der Mittelachse gemessenen Aussparungsbreite.
Ferner ist es vorteilhaft, wenn die Aussparungen der ersten und/oder zweiten Aussparungsgruppe zur Mittelachse alle den gleichen Abstand aufweisen. Die Aussparungen der jeweiligen Aussparungsgruppe sind somit auf einer zur Mittelachse parallelen Linie hintereinander angeordnet. Die Auswucht- masse kann somit lediglich durch die Anzahl der Auswuchtkörper und deren jeweilige Masse beeinflusst werden, da deren Abstand zur Mittelachse in jeder der Aussparungen gleich ist.
Zusätzlich oder alternativ ist es vorteilhaft, wenn zumindest zwei Aussparun- gen der ersten und/oder zweiten Aussparungsgruppe unterschiedliche Abstände zur Mittelachse aufweisen. Hierdurch kann die Wirkung des Auswuchtkörpers ferner durch die Wahl des Abstandes bzw. der im jeweiligen Abstand zur Mittelachse angeordneten Aussparung beeinflusst werden. Wird demnach eine Aussparung gewählt, deren Abstand zur Mittelachse geringer ist, muss deren Auswuchtkörper eine größere Masse aufweisen, um die gleiche Wirkung erzielen zu können wie ein im Vergleich dazu zweiter Auswuchtkörper, der eine geringere Masse aufweist und in einer im Vergleich dazu in einem größeren Abstand zur Mittelachse angeordneten anderen Aussparung der jeweiligen Aussparungsgruppe angeordnet ist. Liegt alterna- tiv ein Auswuchtkörper mit einer gegebenen Masse vor, dann ist dessen Wirkung umso größere je größer der Abstand der Aussparung, in der der Auswuchtkörper eingebracht wird, zur Mittelachse ist.
Vorteilhaft ist es, wenn die ersten und/oder zweiten Aussparungen zueinan- der gleich ausgebildet sind. Hierdurch können die Herstellungskosten des Scanspiegels reduziert werden, da alle Aussparungen mit dem gleichen Werkzeug und hintereinander oder gleichzeitig ausgebildet werden können. Vorteilhaft ist es, wenn die beiden Aussparungsgruppen zueinander in einer Rückansicht des Scanspiegels symmetrisch angeordnet sind, wobei vorzugsweise die Mittelachse die Symmetrieachse bildet.
Vorteilhaft ist es, wenn in zumindest einer der ersten und/oder zweiten Aussparungen kein Auswuchtkörper angeordnet ist. Hierdurch kann das Gesamtgewicht des Scanspiegels möglichst gering gehalten werden, wodurch eine höhere Dynamik des Scanspiegels sichergestellt wird. Diesbezüglich ist es insbesondere vorteilhaft, wenn zumindest eine der ersten Aussparungen mit einem Auswuchtkörper bestückt ist und keine der zweiten Aussparungen einen Auswuchtkörper aufweist. Vorteilhafterweise wird somit nur auf einer der beiden Seiten des Scanspiegels bzw. in einer der beiden Aussparungsgruppen die Auswuchtmasse angeordnet. Eine der beiden Aussparungs- gruppen weist somit keinen Auswuchtkörper auf. Die mit der Auswuchtmasse bestückte Aussparungsgruppe weist zumindest so viele Aussparungen auf, dass alle die Auswuchtmasse bildenden Auswuchtkörper aufgenommen werden können. Wenn die aufzunehmende Auswuchtmasse entsprechend gering ist, kann es demnach vorkommen, dass zumindest eine Aussparung der die Auswuchtmasse aufnehmenden Aussparungsgruppe frei bleibt, wohingegen die anderen Aussparungen dieser Aussparungsgruppe mit einem entsprechenden Auswuchtkörper bestückt sind. Nur im Falle eines Auswuchtfehlers kann es vorkommen, dass auch in der freien Aussparungsgruppe, in der die Auswuchtmasse nicht angeordnet wurde, zumindest ein Kor- rekturkorper angeordnet ist. Der Korrekturkörper ist hierbei vorzugsweise wie ein Auswuchtkörper ausgebildet.
In einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung sind die Aussparungen jeweils derart ausgebildet, dass ein dafür vorgesehener Auswuchtkörper zu- mindest in Richtung der Mittelachse unbeweglich aufnehmbar ist. Die Aussparungen sind demnach derart ausgebildet, dass sie einen darin angeordneten Auswuchtkörper in Querrichtung des Scanspiegels im konstanten Ab- stand zur Mittelachse halten. Diesbezüglich ist es vorteilhaft, wenn die Aussparungen jeweils zumindest einen Radialanschlag aufweisen, mittels dem ein daran anliegender Auswuchtkörper stets im konstanten Abstand zur Mittelachse gehalten ist. Vorzugsweise können die Aussparungen einen ersten Radialanschlag aufweisen, mittels dem zumindest ein Auswuchtkörper radial nach innen hin gehalten ist. Der Auswuchtkörper kann sich somit nicht radial nach innen bewegen. Der erste Radialanschlag bildet somit einen radialen Innenanschlag. Vorzugsweise können die Aussparungen einen zweiten Radialanschlag aufweisen, mittels dem zumindest ein Auswuchtkörper radial nach außen hin gehalten ist. Der Auswuchtkörper kann sich somit nicht radial nach außen bewegen. Der zweite Radialanschlag bildet somit einen radialen Außenanschlag. Hierdurch kann ein schnelles und kostengünstiges Auswuchten des Scanspiegels erfolgen, da nicht wie bisher über ein langwieriges und aufwändiges Auswuchtverfahren der optimale Abstand des Aus- wuchtkorpers relativ zur Mittelachse ermittelt werden muss, sondern lediglich so viele Auswuchtkörper in fest vorgegebenem und/oder konstantem Abstand zur Mittelachse angeordnet werden müssen, bis die gesamte, insbesondere zuvor ermittelte, Auswuchtmasse in fest vorgegebenem und/oder konstantem Abstand zu Mittelachse aufgenommen ist.
Um die Aussparungen schnell und kostengünstig herstellen zu können und diese auch ferner schnell und einfach mit Auswuchtkörpern bestücken zu können, ist es vorteilhaft, wenn alle Aussparungen der ersten und/oder zweiten Aussparungsgruppe jeweils in derselben Seite bzw. Fläche des Spiegel- körpers ausgebildet sind. Vorzugsweise sind alle Aussparungen der ersten und/oder zweiten Aussparungsgruppe in einer zur Spiegelfläche abgewandten Rückseite des Spiegelkörpers ausgebildet. Alternativ können diese aber auch ebenso in einer Seitenfläche des Spiegelkörpers ausgebildet sein, die die Vorderseite mit der Rückseite verbindet. Bei einer in der Rückseite aus- gebildeten Aussparung erstreckt sich diese demnach von der Rückseite ausgehend in Richtung der Vorderseite. Der Spiegelkörper weist demnach zwei gegenüberliegende erste Seitenflächen auf, die von der Mittelachse beab- standet sind, und zwei gegenüberliegende zweite Seitenflächen, die sich lotrecht zur Mittelachse erstrecken. Bei einer in der Seitenfläche ausgebildeten Aussparung erstreckt sich diese von der Seitenfläche ausgehend in Richtung der Mittelachse.
Vorteilhaft ist es, wenn die Aussparungen eine Öffnung zum Einführen eines Auswuchtkörpers aufweisen. Die Öffnung ist vorzugsweise an der Rückseite oder an einer der beiden Seitenflächen ausgebildet. Hierbei kann es vorteilhaft sein, wenn jede Aussparung eine eigene Öffnung aufweist. Alternativ ist es ebenso vorstellbar, dass mehrere Aussparungen eine gemeinsame Öffnung aufweisen.
Vorteilhaft ist es, wenn der Spiegelkörper als Vollkörper ausgebildet ist. Hierdurch können die Aussparungen unmittelbar im Spiegelkörper ausgebildet werden. Des Weiteren ist es vorteilhaft, wenn der Spiegelkörper aus Quarz oder Silizium ausgebildet ist und/oder insbesondere ein Quarz- oder Siliziumsubstrat ist. Vorteilhaft ist es, wenn sich die Aussparungen der ersten und/oder zweiten Aussparungsgruppe von der Rückseite ausgehend in Richtung der Vorderseite oder von einer der beiden Seitenflächen ausgehend in Richtung der Mittelachse in den, insbesondere als Vollkörper ausgebildeten, Spiegelkörper hineinerstrecken.
Der Scanspiegel kann besonders kostengünstig hergestellt werden, wenn zumindest eine der Aussparungen der ersten und/oder zweiten Ausspa- rungsgruppe als, insbesondere gebohrtes, Sackloch ausgebildet ist.
Zusätzlich oder alternativ ist es vorteilhaft, wenn zumindest zwei Aussparungen der ersten und/oder zweiten Aussparungsgruppe durch eine gemeinsame, sich insbesondere parallel zur Mittelachse erstreckende, Nut ausgebildet sind. In diesem Fall weisen die beiden Aussparungen eine gemeinsame Öffnung zum Einführen zumindest eines Auswuchtkörpers auf. Um bei der Ausbildung der Aussparungen und/oder beim Einbringen des zumindest einen Auswuchtkörpers eine Deformation der Spiegelfläche vermeiden zu können, ist es vorteilhaft, wenn die Aussparungen, insbesondere das Sackloch und/oder die Nut, in einer Seitenansicht des Scanspiegels von der Spiegelfläche beabstandet sind. Hierbei ist es vorteilhaft, wenn der Abstand vorzugsweise zumindest die halbe Tiefe des Spiegelkörpers beträgt. Ferner ist es vorteilhaft, wenn insbesondere bei einer an der Rückseite ausgebildeten Aussparung die Tiefe der Aussparung vorzugsweise max. 50 %, insbesondere max. 33 % der Dicke des Spiegelkörpers entspricht.
Um ein schnelles und unkompliziertes Einführen des Auswuchtkörpers in die dafür vorgesehene Aussparung sicherstellen zu können, ist es vorteilhaft, wenn der zumindest eine Auswuchtkörper eine Kugel ist. Des Weiteren ist es vorteilhaft, wenn der zumindest eine Auswuchtkörper in die dazugehörige Aussparung eingeschoben ist. Die exakte Position des Auswuchtkörpers in der Aussparung ist somit nicht über ein Gewinde festgelegt. Stattdessen wird der Auswuchtkörper vorzugsweise bis zum Grund der jeweiligen Aussparung geschoben, wodurch dessen Position unveränderbar durch eine Wand der Aussparung festgelegt ist. Bei einer an der Seitenfläche ausgebildeten Aus- sparung ist der konstante Abstand des dafür vorgesehenen Auswuchtkörpers somit durch den Grund der Aussparung festgelegt. Bei einer in der Rückseite des Spiegelkörpers ausgebildeten Aussparung ist der konstante Abstand des dafür vorgesehenen Auswuchtkörpers zur Mittelachse durch eine der Mittelachse zugewandte Seitenfläche oder einen Mantelflächenabschnitt der Aus- sparung festgelegt.
Um vermeiden zu können, dass sich ein in der Aussparung angeordneter Auswuchtkörper unbeabsichtigt aus der Aussparung löst, ist es vorteilhaft, wenn der Auswuchtkörper vorzugsweise vollständig in der Aussparung auf- genommen ist. Diesbezüglich ist es ebenso vorteilhaft, wenn die Tiefe der Aussparung zumindest halb so groß, insbesondere größer oder gleich, einem Kugeldurchmesser der Kugel ist. Zusätzlich oder alternativ ist es vorteilhaft, wenn der Durchmesser der Aussparung größer oder gleich dem Kugeldurchmesser der Kugel ist.
Vorteilhaft ist es, wenn der Scanspiegel zumindest zwei Auswuchtkörper aufweist, die gemeinsam die Auswuchtmasse bilden und/oder jeweils in einer der Aussparungen, insbesondere unveränderbar und/oder mit konstantem Abstand zur Mittelachse, der ersten und/oder zweiten Aussparungsgruppe aufgenommen sind. Vorteilhaft ist es, wenn der Scanspiegel zumindest zwei volumengleiche Auswuchtkörper aufweist. Zusätzlich oder alternativ ist es vorteilhaft, wenn zumindest zwei Auswuchtkörper zueinander die gleiche und/oder unterschiedliche Masse aufweisen. Die Auswuchtkörper können Beispielsweise aus Edelstahl, Hartmetall, Blei oder Harz ausgebildet sein Vorteilhaft ist es, wenn zwei massenunterschiedliche Auswuchtkörper derart ausgebildet sind, dass der eine der beiden Auswuchtkörper die doppelte Masse des anderen Auswuchtkörpers aufweist.
Des Weiteren ist es vorteilhaft, wenn der zumindest eine Auswuchtkörper in der dazugehörigen Aussparung, zumindest in Querrichtung des Scanspiegels, formschlüssig gehalten ist und/oder in dieser stoffschlüssig befestigt ist. Diesbezüglich ist es insbesondere vorteilhaft, wenn der Auswuchtkörper, insbesondere mit einem schnelllaushärtenden Klebstoff, eingeklebt ist. Zusätzlich oder alternativ ist es vorteilhaft, wenn zumindest eine der Aussparun- gen, insbesondere deren Öffnung, versiegelt ist. Dies erfolgt vorzugsweise mit einem Klebstoff.
Vorgeschlagen wird eine Ablenkeinheit mit einem um eine Drehachse drehbaren Rotor, der einen Scanspiegel aufweist, der gemäß der vorangegange- nen Beschreibung ausgebildet ist, wobei die genannten Merkmale einzeln oder in beliebiger Kombination vorhanden sein können. Vorzugsweise um- fasst der Rotor einen Spiegelhalter, der an einem seiner beiden Enden mit dem Scanspiegel verbunden ist und/oder an seinem anderen Ende mit einer Antriebseinheit, insbesondere einem galvanometrischen Antrieb, gekoppelt ist. Vorgeschlagen wird des Weiteren ein Verfahren zum Auswuchten eines Scanspiegels und/oder einer Ablenkeinheit, der/die vorzugsweise gemäß der vorangegangenen Beschreibung ausgebildet ist, wobei die genannten Merkmale einzeln oder in beliebiger Kombination vorhanden sein können. Bei dem Verfahren wird eine Unwucht des Scanspiegels gemessen. Anschlie- ßend wird der Scanspiegel über einen Auswuchtkörper ausgewuchtet. Hierfür werden zunächst mehrere in einer Rückansicht des Scanspiegels zu einer Mittelachse beabstandete Aussparungen, insbesondere eine erste und/oder zweite Aussparungsgruppe, in einen Spiegelkörper eingebracht. Die Aussparungen können jeweils einen dafür vorgesehenen Auswuchtkörper in einem konstanten Abstand zur Mittelachse halten. Zum Auswuchten des Scanspiegels wird in zumindest eine der Aussparungen ein Auswuchtkörper eingebracht. Vorteilhafterweise muss somit nicht in einem aufwändigen und langwierigen Verfahren der passende Abstand der Auswuchtmasse zur Mittelachse ermittelt werden. Stattdessen wird die Auswuchtmasse über die An- zahl der Auswuchtkörper definiert. Die Auswuchtkörper können demnach schnell und einfach in einem konstanten Abstand zur Mittelachse positioniert werden, wodurch das Auswuchtverfahren sehr einfach und schnell durchgeführt werden kann. Hierdurch können wiederum die Herstellungskosten des Scanspiegels reduziert werden.
Vorteilhaft ist es, wenn vor dem Auswuchten alle Aussparungen ausgebildet werden. Hierdurch kann vermieden werden, dass während des Auswuchtens zusätzliche Aussparungen in den Spiegelkörper eingebracht werden müssen, was zur Beschädigung der Spiegelfläche führen könnte.
Auch ist es vorteilhaft, wenn an dem Spiegelkörper erst nach dem Einbringen aller Aussparungen die Spiegelfläche ausgebildet wird. Hierdurch kann ver- mieden werden, dass die Spiegelfläche auf Grund des Einbringens einer Aussparung deformiert wird.
Des Weiteren ist es vorteilhaft, wenn nach dem Ausbilden der Aussparungen und/oder nach dem Ausbilden der Spiegelfläche eine Unwucht des Scanspiegels gemessen wird. Diesbezüglich ist es ferner vorteilhaft, wenn in Abhängigkeit der gemessenen Unwucht in einer Rückansicht des Scanspiegels in Bezug zur Mittelachse eine der beiden Seiten bzw. eine der beiden Aussparungsgruppen ausgewählt wird, auf/in der zumindest ein Auswuchtkörper anzubringen ist. Diesbezüglich ist es ferner vorteilhaft, wenn in Abhängigkeit der gemessenen Unwucht eine der beiden Aussparungsgruppen ausgewählt wird, in der zumindest ein Auswuchtkörper anzubringen ist. Hierdurch kann festgelegt werden, auf welcher der beiden Seiten die Auswuchtmasse anzubringen ist, um die gemessene Unwucht des Scanspiegels beseitigen zu können.
Des Weiteren ist es vorteilhaft, wenn in Abhängigkeit des Abstands von der Mittelachse der auf der ausgewählten Seite befindlichen Aussparungen eine Auswuchtmasse berechnet wird. Zusätzlich oder alternativ ist es diesbezüg- lieh vorteilhaft, wenn in Abhängigkeit der bestimmten Auswuchtmasse eine Anzahl anzubringender Auswuchtkörper, von denen vorzugsweise zumindest zwei zueinander ein gleiches Volumen und/oder unterschiedliche Massen aufweisen, bestimmt wird. Danach ist es vorteilhaft, wenn die berechnete Auswuchtmasse auf der festgelegten Seite in den festgelegten Aussparungen angeordnet wird.
Vorteilhaft ist es, wenn nach dem Einbringen des zumindest einen Auswuchtkörpers die Unwucht des Scanspiegels erneut gemessen wird und/oder bei erneut festgestellter Unwucht ein weiterer Auswuchtkörper, insbesondere auf derselben Seite, angeordnet wird. Weitere Vorteile der Erfindung sind in den nachfolgenden Ausführungsbeispielen beschrieben. Es zeigt: eine schematische Darstellung eines Laser-Scansystems zum Bearbeiten eines Werkstücks, ein erstes Ausführungsbeispiel eines Scanspiegels in einer Rückansicht mit mehreren Aussparungen zum Auswuchten des Scanspiegels, eine seitliche Teilschnittansicht des in Figur 2 dargestellten Scanspiegels im Bereich der mit Auswuchtkörpern bestückten Aussparungen, ein zweites Ausführungsbeispiel des Scanspiegels in einer Rückansicht und
Figur 5 ein drittes Ausführungsbeispiel des Scanspiegels in einer
Rückansicht.
Figur 1 zeigt ein Ausschnitt eines Laser-Scansystem 1 , mittels dem ein Laserstrahl 2 eines Lasers 3 abgelenkt werden kann. Der Laserstrahl 2 dient vorliegend zum Ausbilden einer Schweißnaht 5 auf einem Werkstück 4. Er wird von dem Laser 3 ausgesendet und von einem Scanspiegel 6 des Laser- Scansystems 1 auf das Werkstück 4 gelenkt. Der Scanspiegel 6 ist um eine Drehachse 9 drehbar gelagert. Hierfür ist der Scanspiegel 6 von einem Spiegelhalter 7 gehalten. Der Spiegelhalter 7 greift an einer Vorderseite 10 und einer Rückseite 1 1 des Scanspiegels 6, kraft-, stoff- und/oder formschlüssig, an.
Der Scanspiegel 6 und der Spiegelhalter 7 bilden zumindest einen Teil eines Rotors 12, der um die Drehachse 9 innerhalb eines begrenzten Winkelbe- reichs rotiert werden kann. Dies erfolgt über einen Antrieb 8, der vorzugsweise ein Galvanometerantneb ist. Durch eine über den Antrieb 8 auf den Rotor 12 übertragene Drehbewegung kann somit der Laserstrahl 2 auf dem Werkstück 4 bewegt werden. Zusätzlich oder alternativ zum Schweißen kann das Laser-Scansystem 1 ebenso auch zum Laserschneiden, Lasergravieren, zum Bewegen eines Sensorlaserstrahls, für medizinische Behandlungen und/oder zum Rapid-Prototyping verwendet werden.
Gemäß Figur 1 und 2 umfasst der Scanspiegel 6 einen Spiegelkörper 13. Dieser bildet einen Tragkörper des Scanspiegels 6. Der Spiegelkörper 13 ist vorzugsweise aus einem Quarz- und/oder Siliziumsubstrat ausgebildet. Des Weiteren ist dieser vorzugsweise als Vollkörper ausgebildet. Neben dem Spiegelkörper 13 umfasst der Scanspiegel 6 des Weiteren eine Spiegelfläche 14. Die Spiegelfläche 14 ist auf einer Vorderseite 10 ausgebildet. Die Spie- gelfläche 14 ist vorzugsweise poliert und beschichtet.
Da insbesondere der Scanspiegel 6, aber auch der Spiegelhalter 7 und/oder der Antrieb 8, mit Toleranzen behaftet ist, ist die Masseverteilung nicht vollständig symmetrisch bezüglich der Drehachse 9 ausgebildet. Diese nichtide- ale Masseverteilung führt dazu, dass bei einer Bewegung des Scanspiegels 6 Kräfte auftreten, die verschiedene Schwingungsmoden anregen, darunter auch Biegeschwingungen des Rotors 12. Diese Biegeschwingungen wirken sich negativ auf die Ablenkungsgenauigkeit des Scanspiegels 6 aus. Um die Biegeschwingungsanregungen zu verringern, werden derartige Scanspiegel 6 über eine Auswuchtmasse 15 ausgewuchtet (vgl. Figur 2).
Figur 2 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel des Scanspiegels 6 in einer Rückansicht. Im abbildungsgemäßen unteren Bereich des Scanspiegels 6 kann der vorliegend nicht dargestellte Spiegelhalter 7 angeordnet werden. Der in Figur 2 dargestellte Scanspiegel 6 ist durch die Auswuchtmasse 15 ausgewuchtet. Vorliegend setzt sich die Auswuchtmasse 15 aus mehreren Auswuchtkörpern 16 zusammen. Die Auswuchtkörper 16 sind hierbei alle auf derselben Seite einer Mittelachse 17 des Scanspiegels 6 angeordnet. Die Mittelachse 17 teilt demnach den Scanspiegel 6 in zwei Hälften, wobei nur auf einer der beiden Hälften die Auswuchtmasse 15 vollständig angeordnet ist. Gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel bildet die Mittelachse 17 in der dargestellten Rückansicht des Scanspiegels 6 eine Symmetrieachse aus. Im in Figur 1 dargestellten bestimmungsgemäßen Gebrauch des Scanspiegels 6 bildet die Mittelachse 17 ferner die Drehachse 9 des Rotors 12.
Der Scanspiegel 6 weist mehrere erste Aussparungen 18 auf. Diese sind re- lativ zur Mittelachse 17 im Bereich einer ersten Seite 19 bzw. Hälfte der Rückseite 1 1 angeordnet. Des Weiteren weist der Scanspiegel 6 mehrere zweite Aussparungen 20 auf. Diese sind relativ zur Mittelachse 17 auf einer der ersten Seite 19 gegenüberliegenden zweiten Seite 21 bzw. zweiten Hälfte ausgebildet. Vorliegend weist der Scanspiegel 6 vier erste und vier zweite Aussparungen 18, 20 auf.
Die ersten Aussparungen 18 sind zur ersten Seite 19 hin von der Mittelachse 17 in der abbildungsgemäßen Rückansicht beabstandet. Vorliegend weisen alle ersten Aussparungen 18, insbesondere in Radialrichtung, gemäß der in Figur 2 dargestellten abbildungsgemäßen Rückansicht den gleichen Abstand zur Mittelachse 17 auf. Sie sind demnach zueinander auf einer zur Mittelachse 17 parallelen Linie angeordnet.
Die ersten Aussparungen 18 bilden eine erste Aussparungsgruppe 22.
Ebenso bilden die zweiten Aussparungen 20 eine zweite Aussparungsgruppe 23. Auch die zweiten Aussparungen 20 weisen in Radialrichtung gemäß der abbildungsgemäßen Rückansicht des Scanspiegels 6 zur Mittelachse 17 alle den gleichen Abstand auf. Sie sind demnach ebenfalls auf einer zur Mittelachse 17 parallelen Linie hintereinander angeordnet.
Vorzugsweise sind die Aussparungen der ersten und/oder zweiten Aussparungsgruppe 22, 23, wie in dem in Figur 2 dargestellten Ausführungsbeispiel, zueinander in Richtung der Mittelachse 17 beabstandet. Die Abstände zwischen zwei in Längsrichtung zueinander benachbarten Aussparungen 18, 20 sind vorzugsweise zueinander äquidistant. Des Weiteren ist der Abstand zwischen zwei benachbarten Aussparungen 18, 20 einer Gruppe vorzugs- weise zumindest so groß wie die Breite der jeweiligen Aussparungen 18, 20 in Richtung der Mittelachse 17. Alternativ kann eine der Aussparungen 18, 20 mindestens so weit von der Mittelachse 17 beabstandet sein, wie die halbe Breite oder die volle Breite der jeweiligen Aussparung 18, 20 in Richtung der Mittelachse 17.
Die beiden Aussparungsgruppen 22, 23 sind zueinander symmetrisch ausgebildet. Hierbei bildet die Mittelachse 17 eine Symmetrieachse der beiden Aussparungsgruppen 22, 23. Die Aussparungen 18, 20 der jeweiligen Aussparungsgruppe 22, 23 sind zueinander und/oder zur anderen Aussparungs- gruppe 22, 23 identisch ausgebildet.
Vorliegend sind die Aussparungen 18, 20 als Sacklöcher ausgebildet. Des Weiteren sind die Aussparungen 18, 20 in der Rückseite 1 1 des Scanspiegels 6 ausgebildet. Gemäß der in Figur 3 dargestellten Schnittansicht erstre- cken sich die Aussparungen 18, 20 somit von der Rückseite 1 1 ausgehend in Richtung der Spiegelfläche 14. Alternativ könnten diese aber auch in einer vorliegend nicht dargestellten Ausführungsform an einer Seitenfläche des Spiegelkörpers 13 ausgebildet sein, so dass sie sich im Wesentlichen in Querrichtung des Scanspiegels 6 erstrecken. Der Spiegelkörper weist dem- nach zwei gegenüberliegende erste Seitenflächen auf, die von der Mittelachse 17 beabstandet sind, und zwei gegenüberliegende zweite Seitenflächen, die sich lotrecht zur Mittelachse 17 erstrecken. Zumindest eine der Aussparungen 18, 20 könnte demnach zusätzlich oder alternativ in einer der ersten oder zweiten Seitenflächen ausgebildet sein.
Die Aussparungen 18, 20 weisen jeweils zumindest einen Radialanschlag 29, 30 auf, mittels dem ein daran anliegender Auswuchtkörper 16 stets im konstanten Abstand zur Mittelachse 17 gehalten ist bzw. gehalten werden kann. Aus Gründen der Übersichtlichkeit ist nur eine der Aussparungen mit entsprechenden Bezugszeichen versehen. Die Aussparungen 18, 20, die vorliegend insbesondere als Sacklöcher ausgebildet sind, weisen jeweils ei- nen ersten Radialanschlag 29 auf, mittels dem ein Auswuchtkörper 16 radial nach innen hin gehalten ist bzw. gehalten werden kann. Der Auswuchtkörper 16 kann sich somit nicht radial nach innen bewegen. Der erste Radialanschlag 29 bildet somit einen radialen Innenanschlag. Ferner weisen die Aussparungen 18, 20 einen zweiten Radialanschlag 30 auf, mittels dem zumin- dest ein Auswuchtkörper 16 radial nach außen hin gehalten ist bzw. gehalten werden kann. Der Auswuchtkörper 16 kann sich somit nicht radial nach außen bewegen. Der zweite Radialanschlag 30 bildet somit einen radialen Außenanschlag. Der erste Radialanschlag 29 ist somit durch einen radial inneren Sacklochbereich ausgebildet. Der zweite Radialanschlag 30 ist durch ei- nen radial äußeren Sacklochbereich ausgebildet.
Gemäß Figur 3 weisen die Aussparungen 18, 20 einen Abstand von der Spiegelfläche 14 auf. Ein Grund 25 der Aussparungen 18, 20 ist demnach von der Spiegelfläche 14 beabstandet. Des Weiteren erstrecken sich die Aussparungen 18, 20 nicht über die Mittelachse 17 hinaus, so dass der Grund 25 der jeweiligen Aussparung 18, 20 auch zur Mittelachse 17 bzw. Drehachse 9 einen Abstand aufweist.
Die Aussparungen 18, 20 sind so tief ausgebildet, dass die Auswuchtkörper 16, wie vorliegend dargestellt, vollständig in den Aussparungen 18, 20 aufgenommen sind. Alternativ könnten die Auswuchtkörper 16 aber auch nur zumindest bis zur Hälfte aufgenommen sein. Sie würden demnach teilweise aus den Aussparungen 18, 20 hinausstehen. Vorliegend sind die Auswuchtkörper 16 als Kugeln 26 ausgebildet (vgl. Figur 3). Hierdurch können diese schnell und einfach in die dazugehörige Aussparung 18, 20 eingeschoben werden. Die Tiefe und/oder Breite der Aussparun- gen 18, 20 entspricht hierbei vorzugsweise einem Durchmesser der Kugeln 26. Alternativ können die Auswuchtkörper auch zylindrisch sein. Z.B. kann auch ein Drahtabschnitt als Auswuchtkörper verwendet werden. Gemäß Figur 2 und 3 sind die Auswuchtkörper 16 von ihrer äußeren Gestalt und/oder von ihrem Volumen zueinander identisch ausgebildet. Zueinander können diese jedoch unterschiedliche Massen aufweisen. Demnach ist es vorteilhaft, wenn zumindest einer der Auswuchtkörper 16 eine deutlich andere, insbesondere doppelt so große, Dichte aufweist als ein anderer der Auswuchtkörper 16. Hierdurch kann die zum Auswuchten notwendige Auswuchtmasse 15 ausreichend genau durch die äußerlich gleichen Auswuchtkörper 16 festgelegt werden.
Um den in Figur 2 und 3 dargestellten ausgewuchteten Scanspiegel 6 herzu- stellen, wird zunächst in einem ersten Schritt der Spiegelkörper 13 ausgebildet. Dies erfolgt insbesondere aus Quarz oder Silizium. Anschließend werden auf der Rückseite 1 1 des Scanspiegels 6 die beiden Aussparungsgruppen 22, 23 ausgebildet. Dies erfolgt insbesondere durch mehrere rückseitige Sacklochbohrungen. Anschließend wird auf der Vorderseite 10 die Spiegel- fläche 14 poliert und beschichtet. Die Spiegelfläche 14 könnte aber auch schon vor der Einbringung der Aussparungen 18, 20 an dem Spiegelkörper 13 ausgebildet sein. Die Anzahl der Aussparungen 18, 20 der ersten und zweiten Aussparungsgruppe 22, 23 ist hierbei so gewählt, dass die gesamte zum Auswuchten des Scanspiegels 6 benötigte Auswuchtmasse 15 auf einer der beiden Seiten 19, 21 bzw. in einer der beiden Aussparungsgruppen 22, 23 des Scanspiegels 6 aufgenommen werden kann. Vorliegend weist jede Aussparungsgruppe 23, 22 jeweils vier Aussparungen 18, 20 auf.
Nach dem Ausbilden der Aussparungen 18, 20 wird zunächst eine Unwucht des Scanspiegels 6 gemessen. Dies erfolgt insbesondere, wenn der Scanspiegel 6 mit dem Spiegelhalter 7 und dem Antrieb 8 gekoppelt ist. Die Unwucht des Gesamtsystems kann nunmehr durch das Anbringen der Aus- wuchtmasse 15 kompensiert werden. Hierfür wird zunächst durch die Messung der Unwucht diejenige Seite 19, 21 bestimmt, bzw. diejenige Aussparungsgruppe 22, 23 bestimmt, von der die jeweilige Auswuchtmasse 15 aufgenommen werden muss. Danach wird die aufzunehmende Auswuchtmasse 15 in Abhängigkeit des Abstandes der jeweiligen Aussparungen 18, 20 von der Mittelachse 17 bestimmt. Des Weiteren wird die Anzahl und/oder die Art bzw. Masse der aufzunehmenden Auswuchtkörper 16 bestimmt. Bezüglich letzterem wird im Wesentlichen das Material bestimmt, aus denen die volumengleichen Auswuchtkörper 16 ausgebildet sein sollen. Dies erfolgt durch Auswahl aus einer zur Verfügung stehenden Materialgruppe, wobei die Auswuchtkörper 16 beispielsweise aus Edelstahl, Hartmetall, Blei oder Harz sein können.
Nachdem die Auswuchtmasse 15 - d.h. die Anzahl der Auswuchtkörper 16, die Art der Auswuchtkörper 16 und die Aussparungen 18, 20, in denen die Auswuchtkörper 16 aufgenommen werden sollen - festgelegt wurde, werden die Auswuchtkörper 16 in der jeweils festgelegten Aussparungsgruppe 22, 23 angeordnet. Gemäß dem in Figur 2 dargestellten Ausführungsbeispiel ist die Unwucht des Scanspiegels 16 derart ausgebildet, dass die Auswuchtkörper 16 in der ersten Aussparungsgruppe 22 zur Kompensation der Unwucht angeordnet werden müssen. In einem hier nicht dargestellten Ausführungsbeispiel kann die Unwucht aber auch derart ausgebildet sein, dass die Auswuchtmasse 15 in der zweiten Aussparungsgruppe 23 und nicht in der ersten Aussparungsgruppe 22 angeordnet ist. Vorzugsweise sind die Auswuchtkör- per 16 passgenau in der jeweils zugeordneten Aussparung 18 aufgenommen. Zum Fixieren der Auswuchtkörper 16 sind diese in die Aussparungen 18 eingeklebt. Dies erfolgt vorzugsweise mit einem schnell aushärtenden Kleber. Nachdem die Auswuchtkörper 16 angeordnet wurden, wird erneut die Unwucht des Scanspiegels 6 gemessen. Sofern die Unwucht nicht innerhalb eines vorbestimmten Toleranzbereichs liegt, wird erneut eine zusätzlich auf- zunehmende Auswuchtmasse 15 berechnet. Der die zusätzliche Auswuchtmasse 15 bestimmende zumindest eine Auswuchtkörper 16 wird dann - sofern kein Messfehler vorlag - auf derselben Seite 19 angeordnet, auf der auch schon die anderen Auswuchtkörper 16 angeordnet sind. Dieser Vor- gang kann in einem iterativen Annäherungsverfahren so oft durchgeführt werden, bis die Unwucht des Scanspiegels 16 ausreichend gut beseitigt ist. Gemäß Figur 2 sind somit in der zweiten Aussparungsgruppe 23 keine Auswuchtkörper 16 angeordnet. Ferner ist auch eine der ersten Aussparungen 18 der ersten Aussparungsgruppe 22 leer. Dies ist deshalb der Fall, weil bei der vorliegend festgestellten Unwucht, bereits drei Auswuchtkörper 16 ausgereicht haben, um die Auswuchtmasse 15 vollständig aufzunehmen. Bei einer größeren Unwucht, hätten die vorhandenen Auswuchtkörper 16 mit einer größeren Masse ausgebildet werden müssen und/oder womöglich noch ein zusätzlicher Auswuchtkörper 16 in der freien ersten Aussparung 18 angeord- net werden müssen.
Wenn beim Auswuchtvorgang fehlerhafterweise zu viel Auswuchtmasse 15 in einer der beiden Aussparungsgruppen 22, 23 angeordnet wird, kann es vorkommen, dass in der im Idealfall leeren anderen Aussparungsgruppe 22, 23 zumindest ein vorliegend nicht dargestelltes Korrekturgewicht angeordnet werden muss. Das Korrekturgewicht ist hierbei vorzugsweise wie einer der Auswuchtkörper 16 ausgebildet und stellt ein Gegengewicht zur Auswuchtmasse 15 dar. Figur 4 zeigt ein alternatives Ausführungsbeispiel des Scanspiegels 6. Bei der nachfolgenden Beschreibung dieses alternativen Ausführungsbeispiels werden für Merkmale, die im Vergleich zu dem in Figur 2 dargestellten ersten Ausführungsbeispiel in ihrer Ausgestaltung und/oder Wirkweise identisch o- der zumindest vergleichbar ausgebildet sind, gleiche Bezugszeichen ver- wendet. Sofern diese nicht nochmals detailliert erläutert werden, entspricht deren Ausgestaltung oder Wirkweise der vorstehenden Beschreibung. Im Unterschied zu dem in Figur 2 dargestellten ersten Ausführungsbeispiel sind bei dem in Figur 4 dargestellten zweiten Ausführungsbeispiel die Aussparungen 18, 20 der jeweiligen Aussparungsgruppe 22, 23 nicht voneinander in Richtung der Mittelachse 17 beabstandet, sondern miteinander ver- bunden. Die ersten Aussparungen 18 der ersten Aussparungsgruppe 22 sind vorliegend durch eine gemeinsame erste Nut 27 ausgebildet. Des Weiteren sind die zweiten Aussparungen 20 der zweiten Aussparungsgruppe 23 durch eine zweite Nut 28 ausgebildet. Die Nuten 27, 28 sind vorliegend als Längsnuten ausgebildet und erstrecken sich parallel zur Mittelachse 17. Gemäß Figur 4 sind die Auswuchtkörper 16 voneinander beabstandet in der ersten Nut 27 aufgenommen. Alternativ könnten diese aber auch ebenso zu einem Ende der ersten Nut 27 hin verschoben sein, so dass die Auswuchtkörper 16 aneinander anliegen. Eine Positionsfixierung könnte über einen Klebstoff bewirkt werden.
Wie auch bei dem in Figur 2 dargestellten Ausführungsbeispiel weisen die Aussparungen 18, 20 jeweils zumindest einen Radialanschlag 29, 30 auf, mittels dem ein daran anliegender Auswuchtkörper 16 stets im konstanten Abstand zur Mittelachse 17 gehalten ist bzw. gehalten werden kann. Aus Gründen der Übersichtlichkeit ist nur eine der Aussparungen mit entsprechenden Bezugszeichen versehen. Die Aussparungen 18, 20, die vorliegend durch die gemeinsamen Nuten 27, 28 ausgebildet sind, weisen jeweils einen ersten Radialanschlag 29 auf, mittels dem ein Auswuchtkörper 16 radial nach innen hin gehalten ist bzw. gehalten werden kann. Der Auswuchtkörper 16 kann sich somit nicht radial nach innen bewegen. Der erste Radialanschlag 29 bildet somit einen radialen Innenanschlag. Ferner weisen die Aussparungen 18, 20 einen zweiten Radialanschlag 30 auf, mittels dem zumindest ein Auswuchtkörper 16 radial nach außen hin gehalten ist bzw. gehalten werden kann. Der Auswuchtkörper 16 kann sich somit nicht radial nach außen bewe- gen. Der zweite Radialanschlag 30 bildet somit einen radialen Außenanschlag. Der erste Radialanschlag 29 ist somit durch eine Außennutwand der Nut 27, 28 ausgebildet. Der zweite Radialanschlag 30 ist durch eine Innen- nutwand der Nut 27, 28 ausgebildet.
Figur 5 zeigt ein drittes Ausführungsbeispiel des Scanspiegels 6 wobei auch in diesem Fall für identische oder zumindest wirkungsgleiche Merkmale gleiche Bezugszeichen verwendet werden. Die Aussparungen 18, 20 sind gemäß dem in Figur 2 dargestellten Ausführungsbeispiel, insbesondere als Sacklöcher und/oder mit zumindest einem Radialanschlag 29, 30 ausgebildet. Im Unterschied zu den vorangegangenen Ausführungsbeispielen weist der Scanspiegel 6 eine andere Grundform auf, wobei dieser breiter als hoch ist. Des Weiteren weisen die Aussparungen 18, 20 der jeweiligen Aussparungsgruppe 22, 23 nicht wie bei den vorangegangenen Ausführungsbeispielen einen gleichen Abstand zur Mittelachse 17, d.h. in Querrichtung des Scanspiegels 6, auf. Stattdessen weist zumindest ein Teil der Aussparungen 18, 20 der Aussparungsgruppen 22, 23 zur Mittelachse 17 unterschiedliche Abstände in Radialrichtung bzw. Querrichtung des Scanspiegels 6 auf. Demnach ist die abbildungsgemäß oberste Aussparung 18, 20 am nähersten an der Mittelachse 17 angeordnet und die beiden untersten Aussparungen 18, 20 mit zueinander gleichen Abstand am weitesten von der Mittelachse 17 entfernt. Ein in der obersten bzw. zur Mittelachse 17 näher positionierten
Aussparung 18 angeordneter Auswuchtkörper 16 muss demnach eine größere Masse aufweisen als ein in der untersten bzw. zur Mittelachse entfernter positionierten Aussparung 18 angeordneter Auswuchtkörper 16, um die gleiche Auswuchtwirkung erzielen zu können.
Bei den vorstehenden Ausführungsbeispielen sind die Aussparungen 18, 20 im Bereich des Randes angeordnet, so dass diese einen möglichst großen Abstand zur Mittelachse 17 aufweisen. Hierdurch können die Auswuchtkörper 16 möglichst klein und mit einer geringeren Masse ausgebildet werden, wodurch die Dynamik des Scanspiegels verbessert wird. Vorzugsweise sind die Aussparungen 18, 20 mindestens eine Breite bzw. einen Durchmesser der jeweiligen Aussparung 18, 20 vom Rand des Spiegels beabstandet. In einem vorliegend nicht dargestellten Ausführungsbeispiel könnten auch mehrere Auswuchtkörper 16 in einer und/oder derselben Aussparung aufgenommen sein. Diesbezüglich könnte demnach zumindest eine der Ausspa- rungen 18, 20 und/oder zumindest zwei der Auswuchtkörper derart ausgebildet sein, dass zumindest zwei Auswuchtkörper 16, insbesondere in einer Ein- und/oder Ausführrichtung der Aussparung18, 20 , hintereinander in derselben Aussparung 18. 20 aufnehmbar sind und/oder aufgenommen sind. Es ist demnach auch denkbar, dass in einer Seitenfläche oder auch in einer der Stirnflächen (also in Figur 2 die Flächen oben oder unten am Spiegelkör- pereine Bohrung vorgesehen ist, in der mehrere Kugeln„aufeinander" aufgenommen werden können.
Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die dargestellten und beschriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt. Abwandlungen im Rahmen der Patentansprüche sind ebenso möglich wie eine Kombination der Merkmale, auch wenn diese in unterschiedlichen Ausführungsbeispielen dargestellt und beschrieben sind.
Bezuqszeichenliste
1 Laser-Scansystem
2 Laserstrahl
3 Laser
4 Werkstück
5 Schweißnaht
6 Scanspiegel
7 Spiegelhalter
8 Antrieb
9 Drehachse
10 Vorderseite
1 1 Rückseite
12 Rotor
13 Spiegelkörper
14 Spiegelfläche
15 Auswuchtmasse
16 Auswuchtkörper
17 Mittelachse
18 erste Aussparung
19 erste Seite
20 zweite Aussparung
21 zweite Seite
22 erste Aussparungsgruppe
23 zweite Aussparungsgruppe
24 Sackloch
25 Grund
26 Kugel
27 erste Nut
28 zweite Nut
29 erster Radialanschlag
30 zweiter Radialanschlag

Claims

P a t e n t a n s p r ü c h e
1 . Scanspiegel (6) für ein Laser-Scansystem (1 ), insbesondere eines Laserbearbeitungsscanners und/oder eines Sensorscanners einer Laserbearbeitungsvorrichtung,
mit einem Spiegelkörper (13),
einer auf einer Vorderseite (10) des Scanspiegels (6) angeordneten Spiegelfläche (14),
zumindest einer in dem Spiegelkörper (13) ausgebildeten ersten Aussparung (18), die in einer Rückansicht des Scanspiegels (6) auf einer Seite (19) einer Mittelachse (17) des Scanspiegels (6) angeordnet und von dieser beabstandet ist, und
zumindest einem Auswuchtkörper (16), der in der ersten Aussparung (18) aufgenommenen ist und zumindest einen Teil einer Auswuchtmasse (15) zum Auswuchten des Scanspiegels (6) bildet,
dadurch gekennzeichnet,
dass der Scanspiegel (6) eine erste Aussparungsgruppe (22) zur Aufnahme der gesamten Auswuchtmasse (15) aufweist, die durch mehrere in der Rückansicht auf derselben Seite (19) der Mittelachse (17) angeordnete erste Aussparungen (18) ausgebildet ist,
die jeweils zumindest einen Radialanschlag aufweisen, mittels dem ein daran anliegender Auswuchtkörper (16) stets im konstanten Abstand zur Mittelachse (17) haltbar ist.
2. Scanspiegel nach dem vorherigen Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass mittels der Auswuchtmasse (15) ein Schwerpunkt des Scanspiegels (6) in einer Auswuchtebene derart verschoben ist, dass der Scanspiegel (6) in dieser Auswuchtebene (15) ausgewuchtet ist.
3. Scanspiegel nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Scanspiegel (6) eine im Vergleich zur ersten Aus- sparungsgruppe (22) auf der anderen Seite (21 ) der Mittelachse (17) angeordnete zweite Aussparungsgruppe (23) aufweist, die durch mehrere zweite Aussparungen (20) ausgebildet ist.
Scanspiegel nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass jeweils die Aussparungen (18, 20) der ersten und/oder zweiten Aussparungsgruppe (22, 23) zueinander in Richtung der Mittelachse (17), insbesondere äquidistant, versetzt sind und/oder dass zumindest zwei Aussparungen (18, 20) der ersten und/oder zweiten Aussparungsgruppe (22, 23) zur Mittelachse (17) den gleichen und/oder einen unterschiedlichen Abstand aufweisen.
Scanspiegel nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in zumindest einer der ersten und/oder zweiten Aussparungen (18, 20) kein Auswuchtkörper (16) angeordnet ist, wobei vorzugsweise zumindest eine der ersten Aussparungen (18) mit einem Auswuchtkörper (16) bestückt ist und die zweiten Aussparungen (20) keine Auswuchtkörper (16) aufweisen.
Scanspiegel nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Aussparungen (18, 20) jeweils derart ausgebildet sind, dass ein Auswuchtkörper (16) zumindest in Richtung der Mittelachse (17) unbeweglich aufnehmbar ist.
Scanspiegel nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass alle Aussparungen (18, 20) der ersten und/oder zweiten Aussparungsgruppe (22, 23) auf derselben Seite (19, 21 ) des Spiegelkörpers (13) ausgebildet sind, insbesondere in einer zur Spiegelfläche (14) abgewandten Rückseite (1 1 ) oder in einer Seitenfläche des Spiegelkörpers (13).
8. Scanspiegel nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Aussparungen (18, 20) der ersten und/oder zweiten Aussparungsgruppe (22, 23) von der Rückseite (1 1 ) ausgehend in Richtung der Vorderseite (10) oder
von einer der beiden Seitenflächen ausgehend in Richtung der Mittelachse (17) in den Spiegelkörper (13) hineinerstrecken.
9. Scanspiegel nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest eine der Aussparungen (18, 20) der ersten und/oder zweiten Aussparungsgruppe (22, 23) als Sackloch (24) ausgebildet ist und/oder
dass zumindest zwei Aussparungen (18, 20) der ersten und/oder zweiten Aussparungsgruppe (22, 23) durch eine gemeinsame, sich insbesondere parallel zur Mittelachse (17) erstreckende, Nut (27, 28) ausgebildet sind.
10. Scanspiegel nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der zumindest eine Auswuchtkörper (16) eine Kugel (26) ist, in die dazugehörige Aussparung (18) eingeschoben ist, an einem Grund (25) und/oder einer Seitenfläche der Aussparung (18) in Querrichtung des Scanspiegels (6) anliegt und/oder vollständig in der Aussparung (18) aufgenommen ist.
1 1 . Scanspiegel nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Scanspiegel (6) zumindest zwei volumengleiche Auswuchtkörper (16) aufweist, die gemeinsam die Auswuchtmasse (15) bilden und/oder jeweils in einer Aussparung (18, 20), insbesondere unveränderbar und/oder mit konstantem Abstand zur Mittelachse (17), aufgenommen sind.
12. Scanspiegel nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest zwei volumengleiche Auswuchtkörper (16) massengleiche und/oder massenunterschiedliche, insbesondere der eine aus Edelstahl und der andere aus Wolframkarbid, ausgebildet sind.
13. Verfahren zum Auswuchten eines Scanspiegels (6), insbesondere gemäß einem oder mehreren der vorherigen Ansprüche,
bei dem eine Unwucht des Scanspiegels (6) gemessen wird und der Scanspiegel (6) über eine Auswuchtmasse (15), die von zumindest einem Auswuchtkörper (16) gebildet wird, ausgewuchtet wird, dadurch gekennzeichnet,
dass mehrere in einer Rückansicht des Scanspiegels (6) zu einer Mittelachse (17) beabstandete Aussparungen (18, 20), insbesondere eine erste und/oder eine zweite Aussparungsgruppe (22, 23), in einen Spiegelkörper (13) eingebracht werden, die jeweils einen dafür vorgesehenen Auswuchtkörper (16) in konstantem Abstand zu der Mittelachse (17) halten können, und
dass zum Auswuchten des Scanspiegels (6) die Auswuchtmasse (15) angeordnet wird, wobei in zumindest eine der Aussparungen (18, 20) ein Auswuchtkörper (16) eingebracht wird.
14. Verfahren nach dem vorherigen Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass vor dem Auswuchten alle Aussparungen (18, 20), insbesondere der ersten und zweiten Aussparungsgruppe (22, 23), ausgebildet werden und/oder
dass an dem Spiegelkörper (13) erst nach dem Einbringen der Aussparungen (18, 20) eine Spiegelfläche (14) ausgebildet wird.
15. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem Ausbilden der Aussparungen (18, 20) und/oder der Spiegelfläche (14) eine Unwucht des Scanspiegels (6) gemessen wird,
dass in Abhängigkeit der gemessenen Unwucht eine der beiden Sei- ten (19, 21 ), insbesondere eine der beiden Aussparungsgruppen (22, 23), ausgewählt wird, auf der zumindest ein Auswuchtkörper (16) anzubringen ist,
dass in Abhängigkeit des Abstands von der Mittelachse (17) der auf der ausgewählten Seite (19, 21 ) befindlichen Aussparungen (18, 20) eine Auswuchtmasse (15) berechnet wird und/oder
dass in Abhängigkeit der bestimmten Auswuchtmasse (15) eine Anzahl anzubringender Auswuchtkörper (16) bestimmt wird.
16. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem Einbringen des zumindest einen Auswuchtkörpers die Unwucht erneut gemessen wird und/oder bei erneut festgestellter Unwucht ein weiterer Auswuchtkörper (16), insbesondere auf derselben Seite (19, 21 ), angeordnet wird.
PCT/EP2017/082475 2016-12-23 2017-12-12 Scanspiegel mit auswuchtkörper sowie verfahren zum auswuchten eines scanspiegels WO2018114488A1 (de)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020197021649A KR20190095461A (ko) 2016-12-23 2017-12-12 밸런싱 바디를 구비하는 스캐닝 미러 및 스캐닝 미러 밸런싱 방법
CN201780080206.1A CN110168422B (zh) 2016-12-23 2017-12-12 具有平衡体的扫描镜以及用于使扫描镜平衡的方法
US16/472,880 US11402605B2 (en) 2016-12-23 2017-12-12 Scanning mirror having balancing body, and method for balancing a scanning mirror

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102016125670.6 2016-12-23
DE102016125670.6A DE102016125670A1 (de) 2016-12-23 2016-12-23 Scanspiegel mit Auswuchtkörper sowie Verfahren zum Auswuchten eines Scanspiegels

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2018114488A1 true WO2018114488A1 (de) 2018-06-28

Family

ID=60788580

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2017/082475 WO2018114488A1 (de) 2016-12-23 2017-12-12 Scanspiegel mit auswuchtkörper sowie verfahren zum auswuchten eines scanspiegels

Country Status (5)

Country Link
US (1) US11402605B2 (de)
KR (1) KR20190095461A (de)
CN (1) CN110168422B (de)
DE (1) DE102016125670A1 (de)
WO (1) WO2018114488A1 (de)

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4477226A (en) * 1983-05-09 1984-10-16 General Electric Company Balance for rotating member
JPH06208075A (ja) * 1993-01-13 1994-07-26 Canon Inc 偏向走査装置
EP0868976A2 (de) * 1997-03-06 1998-10-07 Keltech Engineering Läppvorrichtung und Verfahren zum Hochgeschwindigkeitsläppen mit einer drehbare Schleifplatte
DE19813718A1 (de) * 1998-03-27 1999-10-07 Mannesmann Sachs Ag Verfahren zum Auswuchten eines Zwei-Massen-Schwungrads
JP2000338443A (ja) * 1999-05-31 2000-12-08 Canon Inc 光偏向走査装置
US20050046979A1 (en) * 2003-06-24 2005-03-03 Dave Hiley Precision mirror displacement assembly
WO2008081081A1 (en) * 2006-12-29 2008-07-10 Picodeon Ltd Oy Optical scanner and its applications
DE102009047619A1 (de) * 2009-12-08 2011-06-09 Robert Bosch Gmbh Rotor
WO2013019430A1 (en) 2011-07-29 2013-02-07 Cambridge Technology, Inc. System and methods for balancing mirrors in limited rotation motor systems
EP2860546A1 (de) * 2013-10-09 2015-04-15 Hexagon Technology Center GmbH Vermessungsgerät mit einem Rotationsspiegel zum optischen Abtasten einer Umgebung

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2569216B2 (ja) * 1990-11-21 1997-01-08 株式会社日立製作所 回転多面鏡
DE102006057391A1 (de) * 2006-12-04 2008-06-05 Oc Oerlikon Balzers Ag Farbrad
DE102012102566B4 (de) 2012-03-26 2019-02-21 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Übertragungselement für eine Stellbewegung eines optischen Elementes, Positioniereinrichtung sowie Bearbeitungskopf für eine Laserbearbeitungsmaschine
US9644720B2 (en) 2012-08-31 2017-05-09 Nikon Corporation Orientation independent focus mechanisms for laser radar

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4477226A (en) * 1983-05-09 1984-10-16 General Electric Company Balance for rotating member
JPH06208075A (ja) * 1993-01-13 1994-07-26 Canon Inc 偏向走査装置
EP0868976A2 (de) * 1997-03-06 1998-10-07 Keltech Engineering Läppvorrichtung und Verfahren zum Hochgeschwindigkeitsläppen mit einer drehbare Schleifplatte
DE19813718A1 (de) * 1998-03-27 1999-10-07 Mannesmann Sachs Ag Verfahren zum Auswuchten eines Zwei-Massen-Schwungrads
JP2000338443A (ja) * 1999-05-31 2000-12-08 Canon Inc 光偏向走査装置
US20050046979A1 (en) * 2003-06-24 2005-03-03 Dave Hiley Precision mirror displacement assembly
WO2008081081A1 (en) * 2006-12-29 2008-07-10 Picodeon Ltd Oy Optical scanner and its applications
DE102009047619A1 (de) * 2009-12-08 2011-06-09 Robert Bosch Gmbh Rotor
WO2013019430A1 (en) 2011-07-29 2013-02-07 Cambridge Technology, Inc. System and methods for balancing mirrors in limited rotation motor systems
EP2860546A1 (de) * 2013-10-09 2015-04-15 Hexagon Technology Center GmbH Vermessungsgerät mit einem Rotationsspiegel zum optischen Abtasten einer Umgebung

Also Published As

Publication number Publication date
DE102016125670A1 (de) 2018-06-28
KR20190095461A (ko) 2019-08-14
US11402605B2 (en) 2022-08-02
CN110168422B (zh) 2022-07-01
CN110168422A (zh) 2019-08-23
US20190331876A1 (en) 2019-10-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1922171B1 (de) Werkzeughalter zur schrumpfbefestigung von werkzeugen
DE102012223183B4 (de) Zerspanungswerkzeug, insbesondere Reibwerkzeug
EP1924377A1 (de) Schwingungsarmer werkzeughalter
EP2688710A1 (de) Schleifmaschinen-einrichtung mit schwenklagerung einer schleifspindeleinheit und verfahren zum verschwenken einer schleifspindeleinheit an einer schleifmaschine
DE102009037167A1 (de) Werkzeugträger mit auswechselbaren Werkzeughaltern und Werkzeughalter
DE102012009097A1 (de) Verfahren und Fräser zur Bearbeitung von gehärteten Kurbel- oder Nockenwellen
DE202015009575U1 (de) Schaftfräser
DE102011016960A1 (de) Bohrwerkzeug und Verfahren zur Herstellung von Bohrungen
DE10322762B4 (de) Halter für einen Rohling und Verfahren zur Vermessung der Lage und Orientierung des Halters
EP3837076B1 (de) Faswerkzeug
DE102013206249A1 (de) Fräswerkzeug
DE102015206082A1 (de) Schleifmaschine
DE102007058825A1 (de) Werkzeugsystem, insbesondere zum Nutstoßen
AT519832A1 (de) Zerspanungswerkzeug, insbesondere Bohrstange, sowie Verfahren zur Bearbeitung einer Anzahl von Bohrungen
DE102015005951A1 (de) Werkstückspannvorrichtung mit Stirnseitenmitnehmer
WO2018114488A1 (de) Scanspiegel mit auswuchtkörper sowie verfahren zum auswuchten eines scanspiegels
DE102017111736A1 (de) Entgratungswerkzeug für Radialbohrungen und hierfür passender Schneidkörper
DE2436501C3 (de) Bohrstange
WO2018073373A1 (de) Werkzeug zur bearbeitung von bohrungen
DE4413955C2 (de) Werkzeughalter für mindestens einen zustellbaren Schneideinsatz, insbesondere zur Bearbeitung von Ventilbohrungen eines Zylinderkopfes eines Verbrennungsmotors
DE102018101854A1 (de) Fräswerkzeug
DE3329731C2 (de)
LU100689B1 (de) Fräswerkzeug
DE102016205040A1 (de) Mehrschneidiges spanabhebendes Bohrungsnachbearbeitungswerkzeug
EP2226143B1 (de) Fräskopf für eine Fräsmaschine zum Herstellen von Brillengläsern aus Kunststoff

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 17818502

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20197021649

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 17818502

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1