WO2018114411A1 - Leistungsmodul mit einem in etagen ausgebildeten gehäuse - Google Patents

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power module
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semiconductor
electrically conductive
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PCT/EP2017/082138
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Uwe Glanz
Georg Hejtmann
Martin Rittner
Nicolas Maier
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Robert Bosch Gmbh
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    • H01L2924/181—Encapsulation

Definitions

  • Power module with a housing formed in floors
  • the invention relates to a power module.
  • the power module has at least one power semiconductor and at least one further electronic component.
  • the power module has a housing formed by a molded body, which is formed by a potting compound.
  • the housing is formed in at least two levels, in particular layers. At least one power semiconductor component is arranged in a first floor, and the at least one further electronic component is arranged in the second floor.
  • At least one electrically conductive layer in particular a metal layer or at least one metal particle or additionally a polymer-containing layer, which forms an electrically conductive connection structure, in particular a wiring structure, is formed on a surface of an inner boundary of the power module extending between the levels.
  • the connection structure in particular the wiring structure, is applied in particular directly to the surface.
  • the at least one further electronic component is electrically conductively connected to the wiring structure, in particular soldered or sintered.
  • the power semiconductor component in the first floor is electrically connected to the further component in the second floor by means of the connection structure.
  • the power module can be designed to be so cost-effective, insofar as a circuit structure holding the connection structure Carrier, for example, a substrate or a printed circuit board, can be saved.
  • connection structure can, for example, be applied to the surface, in particular the upper side, of the power module after curing of the first floor.
  • the power module may have on a side opposite thereto, in particular lower side, the first floor a thermal contact surface for emitting heat loss.
  • the power module can thus be coupled to a heat sink.
  • the power module has at least two or only two floors, three floors, four floors, or more than four floors, in each of which at least one electronic component and / or power component, in particular power semiconductor is embedded.
  • an electrically conductive connection structure, in particular wiring structure is added, which is coupled to an extending between the floors interface with the surface of the adjacent floor, rests or is firmly connected thereto.
  • connection structure in particular the wiring structure, is preferably formed so that it is free of circuitry, in particular free of circuit carriers formed separately next to the floors.
  • the wiring structure is preferably supported by the surface of a floor, for example the first floor.
  • the potting compound advantageously forms both circuit carriers and a housing body of the power module.
  • the at least one further component can thus be directly soldered or sintered onto the wiring structure.
  • the soldering or sintering process can be carried out, for example, in a reflow soldering oven.
  • a further potting compound can be applied to the first floor, which embeds the other components.
  • the aforementioned surface forms such a
  • the power semiconductor is formed by a semiconductor switch half-bridge and at least one further component is a driver, in particular gate driver.
  • the further component is connected via the wiring structure to control terminals, in particular gate terminals, of the semiconductor switch half-bridge.
  • the power module can be advantageously provided as low cost.
  • the power module may have three semiconductor switch half-bridges, which together form a B6 bridge, or at least two semiconductor switch half-bridges, which together form an H-bridge.
  • electrical connections of the power semiconductor, in particular of the semiconductor switch half-bridge are led up to the surface by means of at least one metal body, in particular via contact or metal block.
  • the wiring structure, in particular the metal layer, which, for example, forms at least one conductor track is electrically conductively connected to the metal body.
  • the wiring structure may for example be laminated to the surface of the first floor after curing of the potting compound or be formed by means of laser structuring.
  • an electrically conductive metal layer for example a copper foil, can be applied to the surface of the first floor, which are electrically conductively connected to the electrically conductive metal bodies which each form a connecting element to a terminal of the power semiconductor.
  • the electrically conductive connection can be done for example by means of soldering or spot welding.
  • the wiring structure, in particular conductor tracks can then be formed on the surface in a further step by means of negative laser structuring.
  • the potting compound is a cement compound, preferably cement composite, which is formed to form cement crystals.
  • the cement composite has, in addition to the crystal-forming cement matrix, at least one filler, in particular filler particles. So each floor can be formed by a coherent crystal composite.
  • the cement composition, in particular the cement composite material advantageously has good thermal conductivity. Further advantageous is a thermal expansion coefficient of the cement paste, in particular of the cement composite material, close to a coefficient of expansion of copper. Advantageously so can only small thermal stresses in the power module arise.
  • the cement precursors are preferably designed to crystallize from a water-containing potting compound, in particular from a slurry, underwater uptake.
  • the potting compound preferably has, in particular, hydrated alumina cement, Portland cement, phosphate cement or a combination thereof.
  • the potting compound has calcium aluminum hydrate and / or calcium aluminate.
  • the cement matrix may be formed from at least one of the starting materials comprising at least one of the oxides magnesia, alumina, zinc oxide, and zirconium silicate.
  • the cured cement comprises a
  • Phosphate depending on the starting material - for example, zinc phosphate and / or magnesium phosphate.
  • such a difference to a coefficient of expansion of copper as a material of the metal layers or connecting structure or the terminals of the power semiconductor is smaller compared with epoxy resin as a matrix.
  • Copper has an expansion coefficient of 16 ppm / K, epoxy resin about 30 ppm / K.
  • the potting compound is formed by epoxy resin.
  • the power module can thus be provided at low cost for power components whose power semiconductors can generate a low heat loss.
  • the potting compound has filler particles.
  • the filler particles are preferably ceramic particles and / or carbon particles, in particular carbon nanotubes.
  • the ceramic particles are, for example, carbide particles, boride particles, nitrides or oxides. Examples of oxides are alumina, titania, beryllia or silica.
  • the ceramic particles formed from nitride are formed, for example, from at least one or a combination comprising at least two selected from the nitrides silicon nitride, aluminum nitride or boron nitride, or from all three of the aforementioned nitrides.
  • the ceramic particles formed from carbide are formed, for example, from silicon carbide, from boron carbide or from tungsten carbide.
  • the ceramic particles are a silicide, for example molybdenum silicide or a boride, for example titanium diboride or magnesium diboride.
  • the potting compound preferably has a proportion of the filler particles, in particular selected from at least one of the aforementioned filler particles, of at least sixty percent by weight, more preferably at least seventy, more preferably at least eighty percent by weight.
  • the crystalline structure, which is formed by the cement crystals, preferably passes through the potting compound and encloses the filler particles.
  • a proportion of the filler particles is formed such that each filler particle is completely enclosed by the crystal structure of the cement matrix, in particular with a thinnest possible layer.
  • the invention also relates to a method for generating a power module comprising at least one floor.
  • at least one power semiconductor is embedded with a potting compound to form a first floor of the power module.
  • electrical contacts are formed, which are accessible after curing of the potting compound on a surface of the floor.
  • the contacts flush with the surface of the floor or protrude from the surface of the floor.
  • a wiring structure is applied to the surface, which is electrically conductively connected to the contacts on the surface.
  • At least one further component is applied to the wiring structure and is electrically conductively connected to the wiring structure, in particular soldered or sintered.
  • the at least one further component is surrounded, in particular encapsulated, with a potting compound to form the second floor, and thus embedded.
  • the at least one power semiconductor can be connected in an electrically conductive manner to the at least one further component so advantageously without circuitry.
  • the aforementioned surface of the first floor forms an interface between the two floors after the formation of the second floor.
  • the potting compound for the formation of the second floor may advantageously be positively connected to the Vergussmassenblock, which forms the first floor by, for example, a surface roughness is formed on the surface, or - for example by means of a laser - grooves or depressions, which form undercuts, in the surface to be cut.
  • the potting compound which forms the second floor can thus penetrate into the surface roughness or into the grooves or depressions, so that after hardening of the second floor, the casting block of the second floor is positively and firmly connected to the block of the first floor.
  • the further component is sintered or soldered to the wiring structure.
  • the at least one further component is ultrasonically welded to the wiring structure.
  • the wiring structure may be, for example, by means of a
  • the wiring structure can be laminated onto the surface of the first floor and the printed conductors can be cut out by means of laser beams.
  • connection structure in particular conductor tracks, can in another embodiment be produced by means of screen printing or stencil printing on the surface.
  • the connection structure is formed by an electrically conductive copper layer, silver layer or an alloy comprising copper and / or silver.
  • connection structure in particular the conductor tracks, applied to the surface by means of dispensing a metal or additionally comprising a polymer or a ceramic, in particular copper-containing paste and subsequent sintering, or by means of or spraying, in particular flame spraying or plasma spraying and so with the surface firmly connected.
  • connection structure may be formed by an electrically conductive adhesive in which electrically conductive particles are contained in an adhesive matrix.
  • Connection structure can be generated without touching the surface of the first or further floor with a tool.
  • a tool For example, can be applied to the surface of a connection structure that is not flat or on the already components or other components are arranged.
  • at least one sensor is formed by means of the connecting structure.
  • the sensor is preferably a temperature sensor which is formed, for example, by at least one conductor track which has a predetermined electrical resistance on a longitudinal section.
  • the conductor track is preferably meander-shaped.
  • the sensor formed by the connection structure is a capacitive sensor which is designed to detect moisture at the interface.
  • the capacitive sensor preferably has two conductor tracks running parallel to one another on the surface.
  • a polymer layer which is designed to change its dielectric property as a function of moisture.
  • the polymer is, for example, polyimide polymer or cellulose acetate butyrate polymer.
  • the moisture sensor thus formed is configured to generate a humidity signal representing the detected humidity and send it to the driver or the processing unit.
  • the processing unit is preferably designed to generate a PWM signal for driving the electric motor. Depending on the temperature signal or the moisture signal, the processing unit can change, in particular reduce, a drive power represented by the PWM signal.
  • the power module preferably the driver connected to the power semiconductor, in particular the gate driver or the processing unit, is preferably designed to switch off the power semiconductor depending on the moisture signal and / or the temperature signal.
  • the capacitive sensor is formed by a plurality of mutually parallel, comb-shaped interdigitated formed interdigital structure.
  • the capacitance between the two comb structures or additionally an electrical resistance between the structures can be detected by means of an interdigital structure by the processing unit, so that a mechanical or physical or chemical change of the potting compound and / or the connection by the processing unit during operation of the power module the floors can be detected at the extending between the floors interface.
  • electrically conductive metal bodies are formed between terminals of the power semiconductor and the wiring structure, the upper sides of which are accessible after forming the first floor on a surface forming a boundary layer to the second floor.
  • the metal body flush with the surface of o- protrude from this.
  • the wiring structure can then be electrically connected to the metal body, for example with a solder, in particular by reflow soldering.
  • a recess is produced after curing of the first floor, which extends to the connection of the semiconductor device and generates an electrically conductive metal body, in particular via contact from the terminal to the boundary layer or interface.
  • HVOF high-velocity oxy-fuel
  • the electrical connection of the power semiconductor can be formed for example by a stamped grid, also leadframe.
  • the leadframe is formed, for example, by a metal sheet, in particular copper sheet.
  • the power semiconductor is preferably formed by a semiconductor switch half bridge, at least one H bridge or a B6 bridge.
  • the semiconductor switch half-bridge preferably comprises a low-side transistor and a high-side transistor, which are each formed, for example, as a field effect transistor.
  • the transistors of the semiconductor switch half bridge can be embodied as an IGBT (Insulated Gate Bipolar Transistor) or HEMT (High Electron Mobility Transistor).
  • the transistors are formed, for example, as caseless semiconductor bodies, also called bare-die.
  • the power module preferably has electrical connections, which protrude from the power module.
  • the electrical connections may, for example, be formed by the wiring structure, wherein parts of the wiring structure project out of the power module and form the electrical connection with a protruding end section.
  • the floors are each produced by means of a two-part tool, wherein the electrical terminals of the power semiconductor and / or the further component, for example of the driver component, can protrude at an interface of the mold halves from the molded body forming the floor.
  • FIG. 1 shows an embodiment of a power module having a power semiconductor and a driver module as another component, which are each arranged in superposed floors;
  • FIG. 2 shows an exemplary embodiment of a power module which has a semiconductor switch half-bridge comprising two power semiconductor switches and two driver components as further components, the power semiconductors being arranged in a common floor and the driver components in an upper floor;
  • FIG. 3 shows a method for producing an electrically conductive connection transversely to a substrate plane of a substrate of the power module.
  • FIG. 1 shows - schematically - an embodiment of a power module 1 in a sectional view.
  • the power module 1 has two floors, namely a first floor 3 and a second floor 2, on.
  • the floors 2 and 3 are each formed by a particular ceramic particles exhibiting Vergussteil, which is made of cement-bonded potting compound.
  • An interface 25 extends between the floors 2 and 3.
  • the interface 25 forms a grain boundary for cement crystals of the first floor 3 and the cement crystals of the second floor 2 in areas where the potting bodies forming the floors 2 and 3 directly abut one another.
  • the cement crystals the floors are at the interface 25 - depending on a surface roughness of the first floor 3 - positively interlocked with each other.
  • the power module 1 may also have one or more further floors, which are electrically connected to one another.
  • the power module 1 has a power semiconductor 4, which is embedded in the first floor 3 forming Vergussteil.
  • the power semiconductor 4 has a drain terminal 5 formed by a metal layer and, on a side opposite thereto, a source terminal 6 formed by a metal layer and a control terminal 7, in particular gate terminal, formed by a metal layer.
  • the power semiconductor 4 is connected to the drain terminal 5 on a
  • the source terminal 6 is connected to a further stamped grid 9.
  • the punched grid 8 and 9 each protrude from the bottom of the 3 forming Vergussteil with an end portion and thus form switching path connections for the power semiconductor 4, in this
  • Embodiment forms a semiconductor switch.
  • the punched grid 8 and 9 can be arranged in each case with the end portion on a common plane and so protrude together in the same plane from the bottom 3 forming Vergussteil.
  • the first floor 3 can thus be produced for example by means of a two-part potting tool.
  • a metal body 10 formed in this embodiment by a copper block, electrically conductively connected.
  • the metal body 10 is soldered in this embodiment with the stamped grid 9, in particular reflow-soldered, or welded.
  • the metal body 10 projects in this embodiment in the floor 3 up to a surface 26, which is designed for connection to a further floor 2.
  • the surface 26 may, for example, have a sufficient surface roughness or, as shown in this exemplary embodiment, groove-shaped recesses produced by a laser, such as the recess 27, into which a potting compound forming the floor 2 can penetrate.
  • the Surface 26 then forms the interface 25 in areas surrounding the connection structure.
  • the control terminal 7 is connected in this embodiment with a metal body 1 1, which terminates as the metal body 10 with the surface 26.
  • the metal body 1 1 can be contacted so before generating the floor 2 from the outside.
  • a connection structure is applied to the surface 26.
  • the connecting structure is formed in this embodiment by electrically conductive layers or webs, which are applied to the surface 26, for example by screen printing, stencil printing, by dispensing or by means of a transfer printing process.
  • the interconnect structure which in this embodiment includes interconnects 18, 19, and 24, is formed on surface 26 by lamination and then negatively laser patterned and bonded to surface 26.
  • a layer thickness of the conductor tracks is formed, for example, by electroplating with copper.
  • the conductor track 19 is connected in this embodiment with the metal body 10 by means of reflow soldering or by spot welding.
  • the conductor track 24 is electrically conductively connected in this embodiment by means of soldering or welding to the metal body 1 1.
  • An electrical connection of a capacitor, in particular of a capacitor 17, in particular a DC link capacitor, is in each case connected, in particular soldered, to the conductor track 19 and to the conductor track 18.
  • the capacitor 17 forms in this embodiment, a previously mentioned further electronic component.
  • the driver 20 has an output terminal 22, which is soldered to the conductor 24.
  • the Terminal 22 is formed, for example, by a solder ball of a ball grid array.
  • the power module 1 in this exemplary embodiment also has a temperature sensor 21, which in this exemplary embodiment is embedded in the casting element forming the floor 3.
  • the temperature sensor 21 protrudes all the way to the surface 26 where it is connected to a conductor track 28 of the aforementioned connection structure.
  • the temperature sensor 21 is, for example, a resistance sensor or a thermocouple.
  • the conductor track 28 leads - shown in phantom by the connection 23 - to a further connection of the driver 20.
  • the temperature sensor may also be connected as a meander-shaped electrical conductor as part of the connection structure with the surface 26.
  • the connection 23 may be connected to the surface 26 as a conductor track of the connection structure.
  • the punched grid 8 is arranged in this exemplary embodiment on a substrate 14, for example a ceramic substrate, and connected to the ceramic substrate 14 in a thermally conductive manner. In this way, heat loss can be dissipated by the power semiconductor 4 via the lead frame 8 and the substrate.
  • the substrate 14 is connected to a heat sink 16 via a heat conducting means 15, for example a thermal paste, in a thermally conductive manner.
  • the floor 3 forming Vergussteil is formed in this embodiment by a cement body, in particular Zementkomposit Sciences, which is formed from cured potting compound 29.
  • the cement body or ZementkompositSh which forms the floor 3 has, in this embodiment, a cement matrix material which is formed from interconnected crystalline crystalline cement crystals, of which a cement crystal 12 is exemplified.
  • the cement crystals 12 in this embodiment surround filler particles, of which a filler particle 13 is designated by way of example.
  • the filler particle 13 is, for example, a ceramic filler particle.
  • the other components After soldering the other electronic components such as the capacitor 17 and the driver 20, the other components can be cast together with the compound structure with cement paste and so inserted into the cement paste. to be bedded.
  • the floor 2 After generating the floor 3, the floor 2 is formed, which is firmly and positively connected to the floor 3 - in particular via the surface roughness or the grooves, recesses or depressions such as the groove 27 - is connected.
  • FIG. 2 shows - schematically - an embodiment of a power module 30 in a sectional view.
  • the power module 30 is formed from two floors, with 31 power semiconductors being accommodated in a first floor and a second floor 32 permanently connected to the first floor 31 by pouring onto the hardened first floor 31 , other electronic components such as a driver 49, a driver 48 and a capacitor 50 are included.
  • the semiconductor switches 34 and 35 together form a semiconductor switch half-bridge.
  • the switching path terminals, in particular drain terminals, of the semiconductor switches 34 and 35 each have mutually opposite directions.
  • a drain terminal 41 of the semiconductor switch 35 points in this embodiment to a substrate 33, which with a
  • Heat sink 16 is thermally conductively connected via a heat conducting means 15 and a drain terminal 38 of the semiconductor switch 34 faces towards the surface 26 of the floor 31, which is designed for connection to the second floor 32, formed by a Zementvergussteil.
  • the semiconductor switches 34 and 35 can - unlike in Figure 2 shown, even with the drain terminals pointing in the same direction - for example, to the substrate 33 through - be embedded in the first floor 31.
  • the semiconductor switch 35 has a control terminal 39 and a source terminal 40, which together point to the surface 26, which to
  • the control terminal 39 is connected via a metal body 47 to the surface 26.
  • the source terminal 40 is connected to the surface 26 by means of a metal body 46.
  • the metal body 46 and 47 which may be soldered to the control terminal 39 and the source terminal 40, for example, or as Via can be generated in a cavity, can be contacted on the surface 26 - for example, by a wiring structure or a connection of another device.
  • the metal body 47 is connected to the surface 26 with a conductor track 53 of a wiring structure, which is applied to the surface 26.
  • a conductor 52 is electrically connected to the
  • Metal body 46 connected. With the track 53, a Steuerausgangsan- circuit 56 of a driver module 49 is soldered. With the conductor 52, a terminal of a filter capacitor 50 is soldered.
  • a drain terminal 38 of the semiconductor switch 34 faces the surface 26 and is connected to an electrically conductive layer, in particular a stamped grid 44.
  • the stamped grid 44 is formed over a metal body 45, for example Via, or copper block, up to the surface 26 and can be electrically contacted there.
  • the drain terminal 41 is electrically connected to an electrically conductive layer 43, for example a stamped grid, wherein the stamped grid 43 is thermally conductively connected to the substrate 33, for example a ceramic substrate.
  • the electrically conductive layer 43 connects the drain terminal 41 to the source terminal 36 of the semiconductor switch 34. In this way, the electrically conductive layer 43 forms an output terminal of the semiconductor switch half bridge formed by means of the semiconductor switches 34 and 35.
  • the electrically conductive layer 43 can for this purpose - not shown in Figure 2 - protrude from the molding 31 forming molding in an end portion, and are contacted there electrically.
  • the control terminal 37 is connected to an electrically conductive layer 42, such as stamped grid, electrically and thermally conductive.
  • the electrically conductive layer 42 is thermally conductively connected to the substrate 33 and connects the control terminal 37 with a control output terminal 55 of a driver Block 48.
  • the driver module 48 like the driver module 49, received in the second floor 32.
  • the electrically conductive layer 42 is led electrically by means of a metal body 57, for example copper block or galvanically generated via, to the surface 26 and can be electrically contacted there by a part of the connection structure, namely a conductor track 54.
  • the conductor track 54 is soldered or welded to the metal body 57 on the surface 26 for this purpose.
  • the power module 30 also has a temperature sensor 58.
  • the temperature sensor 58 is connected to the driver module 48 via an electrical connection 59 (represented by dashed lines).
  • the temperature sensor 58 may additionally or independently of the electrical connection 59 also be connected to the driver module 49.
  • the driver module 48 and / or the driver module 49 can thus turn off the semiconductor switch half-bridge in the first floor 31 as a function of a temperature signal generated by the temperature sensor 58.
  • the temperature sensor 58 is connected to the surface 26 as a meander-shaped electrical conductor track, in particular as a component of the wiring structure.
  • the connection 59 can be formed as a conductor track and, in particular as a component of the wiring structure, be connected to the surface 26.
  • the output terminals 55 and 56 of the driver blocks 48 and 49 are formed for example as a solder ball.
  • the driver chips 48 and 49 can be soldered to the electrically conductive layers 54 and 53, respectively, by means of a solder in a reflow soldering oven.
  • the power modules illustrated in FIGS. 1 and 2 may each have further floors in which electronic components are embedded.
  • FIG 3 shows - schematically - an embodiment for producing a metal body in a cement-bonded Vergussteil, the Vergussteil is formed for example by the first floors formed in Figures 1 and 2.
  • Shown is a casting part 60, which in a step 61 is attached to a submount 60.
  • Strat 65 for example ceramic substrate, is cast or in which the substrate 65 is cast.
  • An electrically conductive layer 64 for example a copper stamped grid, is thermally conductively connected to the substrate 65.
  • a recess 66 is produced coming from the surface 26, which extends as far as the electrically conductive layer 64.
  • the recess 66 can be produced for example by means of drilling, milling, punching or by means of laser beams.
  • the recess 66 may also be held in the cement package forming the floor 60 by means of an insert part, for example a plastic insert part, and pulled after hardening of the cement grout or burnt away by means of laser beams.
  • an insert part for example a plastic insert part
  • the recess 66 produced in step 62 is filled by means of an electrically conductive material, in particular copper, in this embodiment by means of a metal body 67.
  • the metal body 67 for example a copper block, thereby electrically contacts the electrically conductive layer 64.
  • the metal body 67 is flush with the surface 26.
  • the metal body 67 may protrude from the surface 26 with one end portion.
  • tolerances in cement pouring a shrinkage of the cement paste and / or manufacturing tolerances can be compensated for the dimensions of the metal body 67, so that the metal body 67 in the area of the surface 26 safely from the outside electrically through a part of a connection structure or directly by an electrical connection of another Component can be contacted.
  • FIG. 3 also shows an electrically conductive wire or metal body 68, which is electrically connected to the electrically conductive layer 64, in step 62 (illustrated by dashed lines).
  • the metal body 68 or wire can already be cast in during the production of the first floor forming casting 60 and projects beyond the surface 26 with an end portion.
  • the already mentioned connection structure or a part of the connection structure can be the Contact end portion of the metal body 66 or wire electrically, thus creating an electrical connection through the first floor 60 through to the electrically conductive layer 64.

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Leistungsmodul. Das Leistungsmodul weist wenigstens einen Leistungshalbleiter und wenigstens ein weiteres elektronisches Bauelement auf. Das Leistungsmodul weist ein durch einen Formkörper gebildetes Gehäuse auf, das durch eine Vergussmasse gebildet ist. Erfindungsgemäß ist das Gehäuse in wenigstens zwei Etagen gebildet. In einer ersten Etage ist wenigstens ein Leistungshalbleiterbauelement angeordnet und in der zweiten Etage ist das wenigstens eine weitere elektronische Bauelement angeordnet. An einer Oberfläche einer sich zwischen den Etagen erstreckenden inneren Grenze des Leistungsmoduls ist wenigstens eine elektrisch leitfähige Schicht ausgebildet, welche eine elektrisch leitfähige Verbindungsstruktur bildet. Die Verbindungsstruktur ist unmittelbar auf die Oberfläche aufgebracht. Mit der Verdrahtungsstruktur ist das wenigstens eine weitere elektronische Bauelement elektrisch leitfähig verbunden, insbesondere verlötet oder versintert. Das Leistungshalbleiterbauelement in der ersten Etage ist mit dem weiteren Bauelement in der zweiten Etage elektrisch mittels der Verbindungsstruktur verbunden.

Description

Beschreibung
Titel
Leistungsmodul mit einem in Etagen ausgebildeten Gehäuse
Stand der Technik
Die Erfindung betrifft ein Leistungsmodul. Das Leistungsmodul weist wenigstens einen Leistungshalbleiter und wenigstens ein weiteres elektronisches Bauelement auf. Das Leistungsmodul weist ein durch einen Formkörper gebildetes Gehäuse auf, das durch eine Vergussmasse gebildet ist.
Offenbarung der Erfindung
Erfindungsgemäß ist das Gehäuse in wenigstens zwei Etagen, insbesondere Schichten, gebildet. In einer ersten Etage ist wenigstens ein Leistungshalbleiterbauelement angeordnet und in der zweiten Etage ist das wenigstens eine weitere elektronische Bauelement angeordnet.
An einer Oberfläche einer sich zwischen den Etagen erstreckenden inneren Grenze des Leistungsmoduls ist wenigstens eine elektrisch leitfähige Schicht, insbesondere Metallschicht oder wenigstens ein Metallpartikel oder zusätzlich ein Polymer haltige Schicht ausgebildet, welche eine elektrisch leitfähige Verbin- dungsstruktur, insbesondere Verdrahtungsstruktur bildet. Die Verbindungsstruktur, insbesondere die Verdrahtungsstruktur ist insbesondere unmittelbar auf die Oberfläche aufgebracht. Mit der Verdrahtungsstruktur ist das wenigstens eine weitere elektronische Bauelement elektrisch leitfähig verbunden, insbesondere verlötet oder versintert. Das Leistungshalbleiterbauelement in der ersten Etage ist mit dem weiteren Bauelement in der zweiten Etage elektrisch mittels der Verbindungsstruktur verbunden. Vorteilhaft kann das Leistungsmodul so aufwandsgünstig aufgebaut sein, insoweit ein die Verbindungsstruktur haltender Schal- tungsträger, beispielsweise ein Substrat oder eine Leiterplatte, eingespart werden kann. Die Verbindungsstruktur kann beispielsweise nach einem Aushärten der ersten Etage auf die Oberfläche, insbesondere Oberseite, des Leistungsmoduls aufgebracht werden. Das Leistungsmodul kann an einer dazu gegenüberlie- genden Seite, insbesondere Unterseite, der ersten Etage eine Wärmekontaktfläche zum Abgeben von Verlustwärme aufweisen. Das Leistungsmodul kann so mit einer Wärmesenke gekoppelt werden.
Bevorzugt weist das Leistungsmodul wenigstens zwei oder nur zwei Etagen, drei Etagen, vier Etagen, oder mehr als vier Etagen auf, in denen jeweils wenigstens ein elektronisches Bauelement und/oder Leistungsbauelement, insbesondere Leistungshalbleiter eingebettet ist. Bevorzugt ist in jeder Etage, die an eine benachbarte Etage ankoppelt, eine elektrisch leitfähige Verbindungsstruktur, insbesondere Verdrahtungsstruktur aufgenommen, die an einer sich zwischen den Etagen erstreckenden Grenzfläche mit der Oberfläche der benachbarten Etage ankoppelt, aufliegt oder mit dieser fest verbunden ist.
Die Verbindungsstruktur, insbesondere Verdrahtungsstruktur ist bevorzugt schal- tungsträgerfrei ausgebildet, insbesondere frei von gesondert neben den Etagen ausgebildeten Schaltungsträgern. Die Verdrahtungsstruktur ist bevorzugt durch die Oberfläche einer Etage, beispielsweise der ersten Etage getragen. Die Vergussmasse bildet so vorteilhaft sowohl Schaltungsträger als auch einen Gehäusekörper des Leistungsmoduls.
Das wenigstens eine weitere Bauelement kann so auf die Verdrahtungsstruktur unmittelbar aufgelötet oder aufgesintert werden. Der Löt- oder Sinterprozess kann beispielsweise in einem Reflow-Lötofen durchgeführt werden. Nach einem Verlöten der Bauelemente der zweiten Etage mit der Verdrahtungsstruktur kann auf die erste Etage eine weitere Vergussmasse aufgebracht werden, welche die weiteren Bauelemente einbettet. Die zuvor erwähnte Oberfläche bildet so eine
Grenze, insbesondere Grenzfläche, zwischen den unmittelbar aneinanderliegenden Etagen. In einer bevorzugten Ausführungsform ist der Leistungshalbleiter durch eine Halbleiterschalter-Halbbrücke gebildet und wenigstens ein weiteres Bauelement ein Treiber, insbesondere Gate-Treiber. Das weitere Bauelement ist über die Verdrahtungsstruktur mit Steueranschlüssen, insbesondere Gate-Anschlüssen, der Halbleiterschalter-Halbbrücke verbunden. Das Leistungsmodul kann so vorteilhaft aufwandsgünstig bereitgestellt werden. Beispielsweise kann das Leistungsmodul drei Halbleiterschalter-Halbbrücken aufweisen, die gemeinsam eine B6-Brücke bilden, oder wenigstens zwei Halbleiterschalter-Halbbrücken aufweisen, die gemeinsam eine H-Brücke ausbilden.
In einer bevorzugten Ausführungsform sind elektrische Anschlüsse des Leistungshalbleiters, insbesondere der Halbleiterschalter-Halbbrücke, mittels wenigstens eines Metallkörpers, insbesondere Via-Kontakt oder Metallblock, bis hin zu der Oberfläche geführt. Weiter bevorzugt ist die Verdrahtungsstruktur, insbesondere die Metallschicht, welche beispielsweise wenigstens eine Leiterbahn ausbildet, mit dem Metallkörper elektrisch leitfähig verbunden. Die Verdrahtungsstruktur kann beispielsweise auf die Oberfläche der ersten Etage nach einem Aushärten der Vergussmasse auflaminiert werden oder mittels Laserstrukturieren ausgebildet werden. Dazu kann beispielsweise eine elektrisch leitfähige Metallschicht, beispielsweise eine Kupferfolie, auf die Oberfläche der ersten Etage aufgebracht werden, welche mit den elektrisch leitfähigen Metallkörpern, die jeweils ein Verbindungselement zu einem Anschluss des Leistungshalbleiters hin bilden, elektrisch leitfähig verbunden werden. Die elektrisch leitfähige Verbindung kann beispielsweise mittels Löten oder Punktschweißen erfolgen. Die Verdrahtungsstruktur, insbesondere Leiterbahnen, kann dann in einem weiteren Schritt mittels negativer Laserstrukturierung an der Oberfläche ausgeformt werden.
In einer bevorzugten Ausführungsform ist die Vergussmasse eine Zementmasse, bevorzugt Zementkomposit, welche unter Ausbildung von Zementkristallen aus- gebildet ist. Das Zementkomposit weist zusätzlich zu der kristallbildenden Zementmatrix wenigstens einen Füllstoff, insbesondere Füllpartikel auf. So kann jede Etage durch einen zusammenhängenden Kristallverbund gebildet sein. Vorteilhaft weist die Zementmasse, insbesondere das Zementkompositmaterial eine gute Wärmeleitfähigkeit auf. Weiter vorteilhaft ist ein thermischer Ausdehnungs- koeffizient der Zementmasse, insbesondere des Zementkompositmaterials nahe bei einem Ausdehnungskoeffizient von Kupfer. Vorteilhaft können so nur geringe thermische Verspannungen in dem Leistungsmodul entstehen. Die Zementausgangsstoffe sind bevorzugt ausgebildet, aus einer wasserhaltigen Vergussmasse, insbesondere aus einem Schlicker, Unter wasseraufnahme auszukristallisie- ren. Die Vergussmasse weist bevorzugt insbesondere hydratisierten Tonerde- zement, Portlandzement, Phosphatzement oder eine Kombination aus diesen auf. Beispielsweise weist die Vergussmasse Calcium-Aluminium-Hydrat und/oder Calcium-Aluminat auf. Zusätzlich oder unabhängig von den vorgenannten Zementstoffen kann die Zementmatrix wenigstens aus den Ausgangsstoffen umfassend wenigstens eines der Oxide Magnesiumoxid, Aluminiumoxid, Zinkoxid, und Zirkonsilikat erzeugt sein. Bevorzugt umfasst der ausgehärtete Zement ein
Phosphat, - abhängig vom Ausgangsstoff - beispielsweise Zinkphosphat und/oder Magnesiumphosphat.
Bevorzugt weist das Zement-Matrixmaterial einen thermischen Ausdehnungsko- effizienten zwischen 5 und 10, bevorzugt 7 ppm/K (ppm/K = parts-per-million pro
Kelvin) auf. Vorteilhaft ist so ein Unterschied zu einem Ausdehnungskoeffizienten von Kupfer als Material der Metallschichten oder Verbindungsstruktur oder der Anschlüsse des Leistungshalbleiters kleiner verglichen mit Epoxidharz als Matrix. Kupfer weist einen Ausdehnungskoeffizienten von 16 ppm/K auf, Epoxidharz et- wa 30 ppm/K.
In einer anderen Ausführungsform ist die Vergussmasse durch Epoxidharz gebildet. Das Leistungsmodul kann so aufwandsgünstig für Leistungsbauelemente bereitgestellt werden, deren Leistungshalbleiter eine geringe Verlustwärme er- zeugen können.
In einer bevorzugten Ausführungsform weist die Vergussmasse Füllpartikel auf. Die Füllpartikel sind bevorzugt Keramikpartikel und/oder Kohlenstoffpartikel, insbesondere Kohlenstoffnanoröhrchen. Die Keramikpartikel sind beispielsweise Karbidpartikel, Boridpartikel, Nitride oder Oxide. Beispiele für Oxide sind Aluminiumoxid, Titandioxid, Berylliumoxid oder Siliziumoxid.
Die Keramikpartikel, die aus Nitrid gebildet sind, sind beispielsweise aus wenigstens einem oder einer Kombination umfassend wenigstens zwei ausgewählt aus den Nitriden Siliziumnitrid, Aluminiumnitrid oder Bornitrid, oder aus allen drei der vorgenannten Nitride gebildet. Die Keramikpartikel, die aus Karbid gebildet sind, sind beispielsweise aus Silizi- umcarbid gebildet, aus Borkarbid oder aus Wolframcarbid. Die Keramikpartikel sind in einer anderen Ausführungsform durch ein Silizid, beispielsweise Molyb- dänsilizid oder ein Borid, beispielsweise Titandiborid oder Magnesiumdiborid.
Die Vergussmasse weist bevorzugt einen Anteil der Füllpartikel, insbesondere ausgewählt aus wenigstens einem der vorgenannten Füllpartikel, von mindestens sechzig Gewichtsprozent, weiter bevorzugt mindestens siebzig, besonders bevorzugt mindestens achtzig Gewichtsprozent auf. Die kristalline Struktur, welche durch die Zementkristalle gebildet ist, durchsetzt bevorzugt die Vergussmasse und umschließt die Füllpartikel. Bevorzugt ist ein Anteil der Füllpartikel derart gebildet, dass jeder Füllpartikel von der Kristallstruktur der Zementmatrix - insbesondere mit einer dünnstmöglichen Schicht - vollständig umschlossen ist.
Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zum Erzeugen eines wenigstens eine Etage umfassenden Leistungsmoduls. Bei dem Verfahren wird zur Ausbildung einer ersten Etage des Leistungsmoduls wenigstens ein Leistungshalbleiter mit einer Vergussmasse eingebettet. Weiter werden elektrische Kontakte ausgebildet, die nach einem Aushärten der Vergussmasse an einer Oberfläche der Etage zugänglich sind. Bevorzugt schließen die Kontakte mit der Oberfläche der Etage bündig ab oder ragen aus der Oberfläche der Etage heraus. In einem weiteren Schritt wird eine Verdrahtungsstruktur auf die Oberfläche aufgebracht, welche mit den Kontakten an der Oberfläche elektrisch leitfähig verbunden wird. Auf die Verdrahtungsstruktur wird wenigstens ein weiteres Bauelement aufgebracht und mit der Verdrahtungsstruktur elektrisch leitfähig verbunden, insbesondere verlötet oder versintert. In einem weiteren Schritt wird das wenigstens eine weitere Bauelement mit einer Vergussmasse zur Ausbildung der zweiten Etage umgeben, insbesondere umgössen, und so eingebettet. Der wenigstens eine Leistungshalbleiter kann so vorteilhaft schaltungsträgerfrei mit dem wenigstens einen weiteren Bauelement elektrisch leitfähig verbunden werden. Die zuvor genannte Oberfläche der ersten Etage bildet nach dem Ausbilden der zweiten Etage eine Grenzfläche zwischen den beiden Etagen. Die Vergussmasse zur Ausbildung der zweiten Etage kann vorteilhaft mit dem Vergussmassenblock, welcher die erste Etage bildet, formschlüssig verbunden werden, indem an der Oberfläche beispielsweise eine Oberflächenrauheit ausgebildet wird, oder - beispielsweise mittels eines Lasers - Rillen oder Vertiefungen, welche Hinterschnitte ausbilden, in die Oberfläche eingeschnitten werden. Die Vergussmasse, welche die zweite Etage ausbildet, kann so in die Oberflächenrauheit oder in die Rillen oder Vertiefungen eindringen, sodass nach einem Aushärten der zweiten Etage der Ver- gussmassenblock der zweiten Etage mit dem Block der ersten Etage form- schlüssig und fest verbunden ist.
In einer bevorzugten Ausführungsform wird das weitere Bauelement mit der Verdrahtungsstruktur versintert oder verlötet. In einer anderen Ausführungsform wird das wenigstens eine weitere Bauelement mit der Verdrahtungsstruktur ultra- schallverschweißt. Die Verdrahtungsstruktur kann beispielsweise mittels eines
Lasers vorgezeichnet und in einem weiteren Schritt galvanisch aufgebracht werden. In einer anderen Ausführungsform kann die Verdrahtungsstruktur auf die Oberfläche der ersten Etage auflaminiert werden und mittels Laserstrahlen die Leiterbahnen ausgeschnitten werden.
Die Verbindungsstruktur, insbesondere Leiterbahnen, kann in einer anderen Ausführungsform mittels Siebdruck oder Schablonendruck auf der Oberfläche erzeugt sein. Bevorzugt ist die Verbindungsstruktur durch eine elektrisch leitfähige Kupferschicht, Silberschicht oder einer Legierung umfassend Kupfer und/oder Silber gebildet.
In einer anderen Ausführungsform ist die Verbindungsstruktur, insbesondere die Leiterbahnen, mittels Dispensen einer Metall oder zusätzlich ein Polymer oder eine Keramik aufweisenden, insbesondere kupferhaltigen Paste und anschließendem Sintern, oder mittels oder Spritzen, insbesondere Flammspritzen oder Plasmaspritzen auf die Oberfläche aufgebracht und so mit der Oberfläche fest verbunden.
Die Verbindungsstruktur kann in einer anderen Ausführungsform durch einen elektrisch leitfähigen Klebstoff gebildet sein, bei dem elektrisch leitfähige Partikel in einer Klebstoffmatrix enthalten sind.
Das Dispensen oder Spritzen der Verbindungsstruktur hat den Vorteil, dass die
Verbindungsstruktur erzeugt werden kann, ohne die Oberfläche der ersten oder weiteren Etage mit einem Werkzeug zu berühren. Beispielsweise kann auf die Oberfläche eine Verbindungsstruktur aufgebracht werden, die nicht eben ausgebildet ist oder auf der bereits Bauelemente oder andere Bauteile angeordnet sind. In einer bevorzugten Ausführungsform ist mittels der Verbindungsstruktur wenigstens ein Sensor gebildet. Der Sensor ist bevorzugt ein Temperatursensor, welcher beispielsweise durch wenigstens eine Leiterbahn gebildet ist, die auf einem Längsabschnitt einen vorbestimmten elektrischen Widerstand aufweist. Die Leiterbahn ist bevorzugt mäanderförmig ausgebildet. Mittels des auf die Oberfläche aufgebrachten und mit der Oberfläche insbesondere unmittelbar verbundenen Temperatursensors kann vorteilhaft eine Temperatur an der Grenzfläche zwischen den aufeinanderliegenden Etagen erfasst werden. Der Temperatursensor ist ausgebildet, ein die erfasste Temperatur repräsentierendes Temperatursignal zu erzeugen und auszugeben.
In einer anderen Ausführungsform ist der mittels der Verbindungsstruktur gebildete Sensor ein kapazitiver Sensor, welcher ausgebildet ist, eine Feuchtigkeit an der Grenzfläche zu erfassen. Bevorzugt weist der kapazitive Sensor zwei auf der Oberfläche zueinander parallel verlaufende Leiterbahnen auf. Auf den Leiterbahnen ist vorteilhaft eine Polymerschicht aufgebracht, die ausgebildet ist, ihre dielektrische Eigenschaft in Abhängigkeit von Feuchtigkeit zu ändern. Das Polymer ist beispielsweise Polyimid-Polymer oder Cellulose-Acetatbutyrat-Polymer. Beispielsweise kann so einfach durch eine mit dem Sensor verbundene Verarbeitungseinheit, insbesondere ein Mikrocontroller oder ein Mikroprozessor, oder durch einen Treiber, insbesondere Gate-Treiber des Leistungsmoduls erfasst werden, ob sich noch Restfeuchtigkeit nach dem Aushärten des Zements in den Etagen befindet. Der so gebildete Feuchtigkeitssensor ist ausgebildet, ein die erfasste Feuchtigkeit repräsentierendes Feuchtigkeitssignal zu erzeugen und an den Treiber beziehungsweise die Verarbeitungseinheit zu senden.
Die Verarbeitungseinheit ist bevorzugt ausgebildet, ein PWM-Signal zum An- steuern des Elektromotors zu erzeugen. Die Verarbeitungseinheit kann in Abhängigkeit des Temperatursignals oder des Feuchtigkeitssignals eine durch das PWM-Signal repräsentierte Ansteuerleistung ändern, insbesondere reduzieren. Das Leistungsmodul, bevorzugt der mit dem Leistungshalbleiter verbundene Treiber, insbesondere Gate-Treiber oder die Verarbeitungseinheit, ist bevorzugt ausgebildet, in Abhängigkeit des Feuchtigkeitssignals und/oder des Temperatursignals den Leistungshalbleiter abzuschalten.
Bevorzugt ist der kapazitive Sensor durch eine mehrere zueinander parallel verlaufende, kammförmig ineinandergreifend ausgebildete Interdigitalstruktur gebildet.
Vorteilhaft kann mittels einer Interdigitalstruktur durch die Verarbeitungseinheit eine die Kapazität zwischen den zwei Kammstrukturen oder zusätzlich ein elektrischer Widerstand zwischen den Strukturen erfasst werden, so dass durch die Verarbeitungseinheit während eines Betriebs des Leistungsmoduls eine mechanische oder physikalische oder chemische Veränderung der Vergussmasse und/oder der Verbindung der Etagen an der sich zwischen den Etagen erstreckenden Grenzfläche erfasst werden kann.
In einer bevorzugten Ausführungsform des Verfahrens sind zwischen Anschlüssen des Leistungshalbleiters und der Verdrahtungsstruktur elektrisch leitfähige Metallkörper ausgebildet, deren Oberseite nach dem Ausbilden der ersten Etage an einer eine Grenzschicht zu der zweiten Etage bildenden Oberfläche zugänglich sind. Bevorzugt schließen die Metallkörper mit der Oberfläche bündig ab o- der ragen aus dieser heraus. Die Verdrahtungsstruktur kann dann an die Metallkörper elektrisch angeschlossen werden, beispielsweise mit einem Lotmittel, insbesondere durch Reflowlöten.
In einer bevorzugten Ausführungsform wird nach einem Aushärten der ersten Etage eine Ausnehmung erzeugt, die bis zu dem Anschluss des Halbleiterbauelements reicht und von dem Anschluss bis hin zu der Grenzschicht oder Grenzfläche ein elektrisch leitfähiger Metallkörper, insbesondere Via-Kontakt erzeugt. Der Metallkörper kann beispielsweise durch galvanisches Auffüllen oder durch ein thermisches Spritzverfahren, wie beispielsweise Plasmaspritzen oder HVOF- Spritzen (HVOF = High-Volocity-Oxy-Fuel), erzeugt werden. Der elektrische Anschluss des Leistungshalbleiters kann beispielsweise durch ein Stanzgitter, auch Leadframe, gebildet sein. Der Leadframe ist beispielsweise durch ein Metall blech, insbesondere Kupferblech, gebildet. Der Leistungshalbleiter ist bevorzugt durch eine Halbleiterschalter-Halbbrücke, wenigstens eine H- Brücke oder eine B6-Brücke gebildet. Die Halbleiterschalter-Halbbrücke umfasst bevorzugt einen Low-Side-Transistor und einen High-Side-Transistor, welche jeweils beispielsweise als Feldeffekttransistor ausgebildet sind. Die Transistoren der Halbleiterschalter-Halbbrücke können in einer anderen Ausführungsform als IGBT (IGBT = Insulated-Gate-Bipolar-Transistor) oder HEMT (HEMT = High- Electron-Mobility-Transistor) ausgebildet sein. Die Transistoren sind beispielsweise als gehäuselose Halbleiterkörper, auch Bare-Die genannt, ausgebildet.
Das Leistungsmodul weist bevorzugt elektrische Anschlüsse auf, welche aus dem Leistungsmodul herausragen. Die elektrischen Anschlüsse können beispielsweise durch die Verdrahtungsstruktur gebildet sein, wobei Teile der Verdrahtungsstruktur aus dem Leistungsmodul herausragen und mit einem herausragenden Endabschnitt den elektrischen Anschluss ausbilden.
In einer anderen Ausführungsform sind die Etagen jeweils mittels eines zweiteiligen Werkzeuges erzeugt, wobei die elektrischen Anschlüsse des Leistungshalbleiters und/oder des weiteren Bauelements, beispielsweise des Treiber- Bauelements, an einer Schnittstelle der Werkzeughälften aus dem die Etage bildenden Formkörper herausragen können.
Die Erfindung wird nun im Folgenden anhand von Figuren und weiteren Ausführungsbeispielen erläutert. Weitere vorteilhafte Ausführungsvarianten ergeben sich aus einer Kombination der in den Figuren und in den abhängigen Ansprüchen genannten Merkmalen.
Figur 1 zeigt ein Ausführungsbeispiel für ein Leistungsmodul, das einen Leistungshalbleiter und einen Treiberbaustein als weiteres Bauteil aufweist, welche jeweils in übereinander liegenden Etagen angeordnet sind; Figur 2 zeigt ein Ausführungsbeispiel für ein Leistungsmodul, das eine Halbleiterschalter-Halbbrücke umfassend zwei Leistungshalbleiterschalter und zwei Treiberbausteine als weitere Bauteile aufweist, wobei die Leistungshalbleiter in einer gemeinsamen Etage und die Treiberbausteine in einer darüber liegenden Etage angeordnet sind;
Figur 3 zeigt ein Verfahren zum Erzeugen einer elektrisch leitfähigen Verbindung quer zu einer Substratebene eines Substrates des Leistungsmoduls.
Figur 1 zeigt - schematisch - ein Ausführungsbeispiel für ein Leistungsmodul 1 in einer Schnittdarstellung. Das Leistungsmodul 1 weist zwei Etagen, nämlich eine erste Etage 3 und eine zweite Etage 2, auf. Die Etagen 2 und 3 sind jeweils durch ein insbesondere Keramikpartikel aufweisendes Vergussteil gebildet, welches aus zementgebundener Vergussmasse erzeugt ist. Zwischen den Etagen 2 und 3 erstreckt sich eine Grenzfläche 25. Die Grenzfläche 25 bildet in Bereichen, an denen die die Etagen 2 und 3 ausbildenden Vergusskörper unmittelbar aneinanderstoßen, eine Korngrenze für Zementkristalle der ersten Etage 3 und die Zementkristalle der zweiten Etage 2. Die Zementkristalle der Etagen sind an der Grenzfläche 25 - abhängig von einer Oberflächenrauheit der ersten Etage 3 - formschlüssig miteinander verhakt.
Das Leistungsmodul 1 kann zusätzlich zu den zwei Etagen 2 und 3 noch eine oder mehrere weitere Etagen aufweisen, welche elektrisch miteinander verbunden sind.
Das Leistungsmodul 1 weist einen Leistungshalbleiter 4 auf, welcher in dem die erste Etage 3 bildenden Vergussteil eingebettet ist. Der Leistungshalbleiter 4 ist in diesem Ausführungsbeispiel durch einen Feldeffekttransistor, insbesondere MIS-FET (MIS = Metal-Insulated-Semiconductor), MOS-FET (MOS = Metal- Oxide-Semiconductor) oder einen IGBT (IGBT= Insulated-Gate-Bipolar-
Transistor), oder einen HEMT (HEMT = High-Electron-Mobility-Transistor) gebildet. Der Leistungshalbleiter 4 weist in diesem Ausführungsbeispiel einen durch eine Metallschicht gebildeten Drain-Anschluss 5 und auf einer dazu gegenüberliegenden Seite einen durch eine Metallschicht gebildeten Source-Anschluss 6 und einen durch eine Metallschicht gebildeten Steueranschluss 7, insbesondere Gate- Anschluss auf. Der Leistungshalbleiter 4 ist mit dem Drain-Anschluss 5 auf ein
Verbindungsblechteil 8 gelötet oder gesintert, welches beispielsweise durch ein Stanzgitter, auch Leadframe genannt, gebildet ist. Der Source-Anschluss 6 ist mit einem weiteren Stanzgitter 9 verbunden. Die Stanzgitter 8 und 9 ragen jeweils aus dem die Etage 3 bildenden Vergussteil mit einem Endabschnitt heraus und bilden so Schaltstreckenanschlüsse für den Leistungshalbleiter 4, der in diesem
Ausführungsbeispiel einen Halbleiterschalter bildet.
Die Stanzgitter 8 und 9 können jeweils mit dem Endabschnitt auf einer gemeinsamen Ebene angeordnet sein und so gemeinsam in derselben Ebene aus dem die Etage 3 bildenden Vergussteil herausragen.
Die erste Etage 3 kann so beispielsweise mittels eines zweiteiligen Vergusswerkzeuges erzeugt werden.
Mit dem durch das Stanzgitter 9 gebildeten Blechteil, insbesondere Kupferblechteil, ist in diesem Ausführungsbeispiel ein Metallkörper 10, in diesem Ausführungsbeispiel gebildet durch einen Kupferblock, elektrisch leitfähig verbunden. Der Metallkörper 10 ist in diesem Ausführungsbeispiel mit dem Stanzgitter 9 verlötet, insbesondere reflow-verlötet, oder verschweißt.
Der Metallkörper 10 ragt in diesem Ausführungsbeispiel in der Etage 3 bis hin zu einer Oberfläche 26, welche zum Verbinden mit einer weiteren Etage 2 ausgebildet ist.
Die Oberfläche 26 kann dazu beispielsweise eine hinreichende Oberflächenrau- igkeit aufweisen oder - wie in diesem Ausführungsbeispiel dargestellt - mittels eines Lasers erzeugte rillenförmige Ausnehmungen wie die Ausnehmung 27 aufweisen, in die eine die Etage 2 ausbildende Vergussmasse eindringen kann. Die Oberfläche 26 bildet dann in die Verbindungsstruktur umgebenden Bereichen die Grenzfläche 25.
Der Steueranschluss 7 ist in diesem Ausführungsbeispiel mit einem Metallkörper 1 1 verbunden, welcher wie der Metallkörper 10 mit der Oberfläche 26 abschließt. Der Metallkörper 1 1 kann so vor einem Erzeugen der Etage 2 von außen kontaktiert werden. Dazu wird auf die Oberfläche 26 eine Verbindungsstruktur aufgebracht. Die Verbindungsstruktur ist in diesem Ausführungsbeispiel durch elektrisch leitfähige Schichten oder Bahnen gebildet, welche beispielsweise mittels Siebdruck, Schablonendruck, mittels Dispensen oder mittels eines Transferdruckverfahrens auf die Oberfläche 26 aufgebracht sind. In einer anderen Ausführungsform ist die Verbindungsstruktur, welche in diesem Ausführungsbeispiel Leiterbahnen 18, 19 und 24 umfasst, mittels Laminieren und anschließender negativer Laserstrukturierung auf der Oberfläche 26 erzeugt und mit der Oberfläche 26 verbunden. Eine Schichtdicke der Leiterbahnen ist beispielsweise durch Galvanisieren mit Kupfer gebildet.
Die Leiterbahn 19 ist in diesem Ausführungsbeispiel mit dem Metallkörper 10 mittels Reflow-Verlöten oder mittels Punktschweißen verbunden. Die Leiterbahn 24 ist in diesem Ausführungsbeispiel mittels Löten oder Schweißen mit dem Metallkörper 1 1 elektrisch leitfähig verbunden.
Mit der Leiterbahn 19 und mit der Leiterbahn 18 ist jeweils ein elektrischer An- schluss einer Kapazität, insbesondere eines Kondensators 17, insbesondere Zwischenkreiskondensator verbunden, insbesondere verlötet. Der Kondensator 17 bildet in diesem Ausführungsbeispiel ein zuvor erwähntes weiteres elektronisches Bauteil.
Mit der Verbindungsstruktur, insbesondere mit der Leiterbahn 24, ist in diesem Ausführungsbeispiel auch ein Treiber 20, insbesondere MikroController, FPGA (FPGA = Field-Programmable-Gate-Array) oder ASIC (ASIC = Application- Specific-Integrated-Circuit) elektrisch leitfähig verbunden. Der Treiber 20 weist einen Ausgangsanschluss 22 auf, welcher mit der Leiterbahn 24 verlötet ist. Der Anschluss 22 ist beispielsweise durch einen Lotball eines Ball-Grid-Array gebildet.
Das Leistungsmodul 1 weist in diesem Ausführungsbeispiel auch einen Temperatursensor 21 auf, welcher in diesem Ausführungsbeispiel in dem die Etage 3 bildenden Vergussteil eingebettet ist. Der Temperatursensor 21 ragt bis hin zu der Oberfläche 26 und ist dort mit einer Leiterbahn 28 der zuvor erwähnten Verbindungsstruktur verbunden. Der Temperatursensor 21 ist beispielsweise ein Widerstandssensor oder ein Thermoelement. Die Leiterbahn 28 führt - gestrichelt dargestellt durch die Verbindung 23 - zu einem weiteren Anschluss des Treibers 20. Anders als in Figur 1 dargestellt, kann der Temperatursensor auch als Mäan- derförmige elektrische Leiterbahn als Bestandteil der Verbindungsstruktur mit der Oberfläche 26 verbunden sein. Die Verbindung 23 kann als Leiterbahn der Verbindungsstruktur mit der Oberfläche 26 verbunden sein.
Das Stanzgitter 8 ist in diesem Ausführungsbeispiel auf einem Substrat 14, beispielsweise Keramiksubstrat, angeordnet und mit dem Keramiksubstrat 14 wär- meleitfähig verbunden. Auf diese Weise kann Verlustwärme von dem Leistungshalbleiter 4 über das Stanzgitter 8 und das Substrat abgeführt werden. Das Substrat 14 ist in diesem Ausführungsbeispiel mit einer Wärmesenke 16 über ein Wärmeleitmittel 15, beispielsweise eine Wärmeleitpaste, wärmeleitfähig verbunden.
Das die Etage 3 bildende Vergussteil ist in diesem Ausführungsbeispiel durch einen Zementkörper, insbesondere Zementkompositkörper gebildet, welcher aus ausgehärteter Vergussmasse 29 gebildet ist. Der Zementkörper oder Zementkompositkörper, welcher die Etage 3 bildet, weist in diesem Ausführungsbeispiel ein Zementmatrixmaterial auf, welches aus miteinander kristallin verbundenen Zementkristallen gebildet ist, von denen ein Zementkristall 12 beispielhaft bezeichnet ist. Die Zementkristalle 12 umschließen in diesem Ausführungsbeispiel Füllpartikel, von denen ein Füllpartikel 13 beispielhaft bezeichnet ist. Der Füllpartikel 13 ist beispielsweise ein keramischer Füllpartikel.
Nach einem Verlöten der weiteren elektronischen Bauteile wie dem Kondensator 17 und dem Treiber 20 können die weiteren Bauteile gemeinsam mit der Verbindungsstruktur mit Zementmasse vergossen und so in die Zementmasse einge- bettet werden. Auf diese Weise ist nach einem Erzeugen der Etage 3 die Etage 2 ausgebildet, welche mit der Etage 3 fest und formschlüssig - insbesondere über die Oberflächenrauigkeit oder die Rillen, Aussparungen oder Vertiefungen wie die Rille 27 - verbunden ist.
Figur 2 zeigt - schematisch - ein Ausführungsbeispiel für ein Leistungsmodul 30 in einer Schnittdarstellung. Das Leistungsmodul 30 ist wie das in Figur 1 dargestellte Leistungsmodul 1 aus zwei Etagen gebildet, wobei in einer ersten Etage 31 Leistungshalbleiter aufgenommen sind und in einer zweiten Etage 32, welche mit der ersten Etage 31 durch Aufgießen auf die ausgehärtete erste Etage 31 fest verbunden ist, weitere elektronische Bauelemente wie ein Treiber 49, ein Treiber 48 und ein Kondensator 50 aufgenommen sind.
Die erste Etage 31 , welche durch ein Zementvergussteil gebildet ist, umschließt in diesem Ausführungsbeispiel einen Halbleiterschalter 34 und einen Halbleiterschalter 35. Die Halbleiterschalter 34 und 35 bilden gemeinsam eine Halbleiterschalter-Halbbrücke. Die Schaltstreckenanschlüsse, insbesondere Drain- Anschlüsse, der Halbleiterschalter 34 und 35 weisen jeweils in zueinander entgegengesetzte Richtungen. Ein Drain-Anschluss 41 des Halbleiterschalters 35 weist in diesem Ausführungsbeispiel zu einem Substrat 33 hin, welches mit einer
Wärmesenke 16 über ein Wärmeleitmittel 15 wärmeleitfähig verbunden ist und ein Drain-Anschluss 38 des Halbleiterschalters 34 weist zu der Oberfläche 26 der Etage 31 hin, welche zum Verbinden mit der zweiten Etage 32, gebildet durch ein Zementvergussteil, ausgebildet ist.
Die Halbleiterschalter 34 und 35 können - anders als in Figur 2 dargestellt, auch mit den Drain-Anschlüssen in dieselbe Richtung weisend - beispielsweise zum Substrat 33 hin - in der ersten Etage 31 eingebettet sein.
Der Halbleiterschalter 35 weist einen Steueranschluss 39 auf und einen Source- Anschluss 40, welche gemeinsam zu der Oberfläche 26 hinweisen, welche zum
Verbinden mit der zweiten Etage 32 vorgesehen ist. Der Steueranschluss 39 ist über einen Metallkörper 47 an die Oberfläche 26 angebunden. Der Source- Anschluss 40 ist mittels eines Metallkörpers 46 an die Oberfläche 26 angebunden. Die Metallkörper 46 und 47, welche beispielsweise auf den Steueranschluss 39 beziehungsweise den Sourceanschluss 40 aufgelötet sein können, oder als Via in einem Hohlraum erzeugt sein können, können so an der Oberfläche 26 - beispielsweise durch eine Verdrahtungsstruktur oder einen Anschluss eines weiteren Bauelements kontaktiert werden. Dazu ist der Metallkörper 47 an der Oberfläche 26 mit einer Leiterbahn 53 einer Verdrahtungsstruktur verbunden, welche auf die Oberfläche 26 aufgebracht ist. Eine Leiterbahn 52 ist elektrisch mit dem
Metallkörper 46 verbunden. Mit der Leiterbahn 53 ist ein Steuerausgangsan- schluss 56 eines Treiberbausteins 49 lötverbunden. Mit der Leiterbahn 52 ist ein Anschluss eines Siebkondensators 50 lötverbunden.
Ein Drain-Anschluss 38 des Halbleiterschalters 34 weist zur Oberfläche 26 hin und ist mit einer elektrisch leitfähigen Schicht, insbesondere einem Stanzgitter 44, verbunden. Das Stanzgitter 44 ist über einen Metallkörper 45, beispielsweise Via, oder Kupferblock, bis zur Oberfläche 26 hin ausgebildet und kann dort elektrisch kontaktiert werden. Eine Leiterbahn 51 der bereits erwähnten Verdrah- tungsstruktur, welche auf die Oberfläche 26 aufgebracht ist, kontaktiert den Metallkörper 45 und verbindet diesen mit einem weiteren Anschluss des Siebkondensators 50.
Ein Drain-Anschluss 41 des Halbleiterschalters 35 und ein Source-Anschluss 36 des Halbleiterschalters 34 sowie ein Steueranschluss 37 des Halbleiterschalters
34 weisen jeweils zu einem Substrat 33 hin. Der Drain-Anschluss 41 ist mit einer elektrisch leitfähigen Schicht 43, beispielsweise einem Stanzgitter, elektrisch verbunden, wobei das Stanzgitter 43 mit dem Substrat 33, beispielsweise einem Keramiksubstrat, wärmeleitfähig verbunden ist. Die elektrisch leitfähige Schicht 43 verbindet den Drain-Anschluss 41 mit dem Source-Anschluss 36 des Halbleiterschalters 34. Auf diese Weise bildet die elektrisch leitfähige Schicht 43 einen Ausgangsanschluss der mittels der Halbleiterschalter 34 und 35 gebildeten Halbleiterschalter-Halbbrücke. Die elektrisch leitfähige Schicht 43 kann dazu - in Figur 2 nicht dargestellt - aus dem die Etage 31 bildenden Formkörper in einem Endabschnitt herausragen, und dort elektrisch kontaktiert werden.
Der Steueranschluss 37 ist mit einer elektrisch leitfähigen Schicht 42, beispielsweise Stanzgitter, elektrisch und wärmeleitfähig verbunden. Die elektrisch leitfähige Schicht 42 ist mit dem Substrat 33 wärmeleitfähig verbunden und verbindet den Steueranschluss 37 mit einem Steuerausgangsanschluss 55 eines Treiber- bausteins 48. Der Treiberbaustein 48 ist, wie der Treiberbaustein 49, in der zweiten Etage 32 aufgenommen. Die elektrisch leitfähige Schicht 42 ist elektrisch mittels eines Metallkörpers 57, beispielsweise Kupferblock oder galvanisch erzeugtem Via, zur Oberfläche 26 hingeführt und kann dort von einem Teil der Verbindungsstruktur, nämlich einer Leiterbahn 54 elektrisch kontaktiert werden. Die Leiterbahn 54 ist dazu mit dem Metallkörper 57 an der Oberfläche 26 verlötet oder verschweißt.
Das Leistungsmodul 30 weist auch einen Temperatursensor 58 auf. Der Temperatursensor 58 ist ausgangsseitig über eine - gestrichelt dargestellte - elektrische Verbindung 59 mit dem Treiberbaustein 48 verbunden. Der Temperatursensor 58 kann zusätzlich oder unabhängig von der elektrischen Verbindung 59 auch mit dem Treiberbaustein 49 verbunden sein. Der Treiberbaustein 48 und/oder der Treiberbaustein 49 kann so in Abhängigkeit eines von dem Temperatursensor 58 erzeugten Temperatursignals die Halbleiterschalter-Halbbrücke in der ersten Etage 31 abschalten.
Der Temperatursensor 58 ist in diesem Beispiel als mäanderförmige elektrische Leiterbahn, insbesondere als Bestandteil der Verdrahtungsstruktur, mit der Oberfläche 26 verbunden. Die Verbindung 59 kann als Leiterbahn ausgebildet und - insbesondere als Bestandteil der Verdrahtungsstruktur - mit der Oberfläche 26 verbunden sein.
Die Ausgangsanschlüsse 55 und 56 der Treiberbausteine 48 beziehungsweise 49 sind beispielsweise als Lotkugel ausgebildet. Die Treiberbausteine 48 und 49 können so mit den elektrisch leitfähigen Schichten 54 beziehungsweise 53 mittels eines Lotmittels in einem Reflow-Lötofen verlötet werden.
Die in den Figuren 1 und 2 dargestellten Leistungsmodule können jeweils noch weitere Etagen aufweisen, in denen elektronische Bauelemente eingebettet sind.
Figur 3 zeigt - schematisch - ein Ausführungsbeispiel zum Erzeugen eines Metallkörpers in einem zementgebundenen Vergussteil, wobei das Vergussteil beispielsweise durch die in den Figuren 1 und 2 gebildeten ersten Etagen gebildet ist. Dargestellt ist ein Vergussteil 60, welches in einem Schritt 61 an einem Sub- strat 65, beispielsweise Keramiksubstrat, angegossen ist oder in welchem das Substrat 65 eingegossen ist. Mit dem Substrat 65 ist eine elektrisch leitfähige Schicht 64, beispielsweise ein Kupferstanzgitter, wärmeleitfähig verbunden.
In einem Schritt 62 wird von der Oberfläche 26 herkommend eine Ausnehmung 66 erzeugt, welche bis hin zu der elektrisch leitfähigen Schicht 64 reicht. Die Ausnehmung 66 kann beispielsweise mittels Bohren, Fräsen, Stanzen oder mittels Laserstrahlen erzeugt werden.
Die Ausnehmung 66 kann auch in dem die Etage 60 bildenden Zementpaket mittels eines Einsatzteils, beispielsweise eines Kunststoffeinsatzteils, vorgehalten sein und nach einem Aushärten der Zementvergussmasse gezogen oder mittels Laserstrahlen weggebrannt werden.
In einem Schritt 63 wird die im Schritt 62 erzeugte Ausnehmung 66 mittels eines elektrisch leitfähigen Materials, insbesondere Kupfer, in diesem Ausführungsbeispiel mittels eines Metallkörpers 67, ausgefüllt. Der Metallkörper 67, beispielsweise ein Kupferblock, kontaktiert dabei die elektrisch leitfähige Schicht 64 elektrisch. In diesem Ausführungsbeispiel schließt der Metallkörper 67 mit der Oberfläche 26 bündig ab. Anders als im Schritt 63 dargestellt, kann der Metallkörper 67 mit einem Endabschnitt aus der Oberfläche 26 herausragen. Auf diese Weise können Toleranzen beim Zementgießen ein Schrumpfen der Zementmasse und/oder Fertigungstoleranzen hinsichtlich der Abmessungen des Metallkörpers 67 kompensiert werden, sodass der Metallkörper 67 im Bereich der Oberfläche 26 sicher von außen elektrisch durch einen Teil einer Verbindungsstruktur oder unmittelbar durch einen elektrischen Anschluss eines weiteren Bauelements kontaktiert werden kann.
Figur 3 zeigt auch in Schritt 62 - gestrichelt dargestellt - einen elektrisch leitfähigen Draht oder Metallkörper 68, welcher mit der elektrisch leitfähigen Schicht 64 elektrisch verbunden ist. Der Metallkörper 68 oder Draht kann bereits beim Erzeugen des die erste Etage bildenden Vergussteils 60 mit eingegossen werden und ragt mit einem Endabschnitt über die Oberfläche 26 hinaus. Die bereits erwähnte Verbindungsstruktur oder ein Teil der Verbindungsstruktur kann den Endabschnitt des Metallkörpers 66 oder Drahtes elektrisch kontaktieren und so eine elektrische Verbindung durch die erste Etage 60 hindurch bis hin zur elektrisch leitfähigen Schicht 64 erzeugen.

Claims

Ansprüche
1 . Leistungsmodul (1 , 30), umfassend wenigstens einen Leistungshalbleiter (4, 34, 35),
und wenigstens ein weiteres elektronisches Bauelement (20, 48, 49, 17, 50), wobei das Leistungsmodul (1 , 30) ein durch einen Formkörper gebildetes Gehäuse aufweist, das durch eine Vergussmasse (12, 13) gebildet ist,
dadurch gekennzeichnet, dass
das Gehäuse in wenigstens zwei Etagen (2, 3, 31 , 32), insbesondere Schichten gebildet ist, und in einer ersten Etage (3, 31 ) wenigstens ein Leistungshalbleiterbauelement (4, 34, 35) angeordnet ist und in der zweiten Etage (2) das wenigstens eine weitere elektronische Bauelement (20, 48, 49, 17, 50) angeordnet ist, wobei an einer Oberfläche (26) einer sich zwischen den Etagen (2, 3) erstre- ckenden inneren Grenzfläche (25) des Leistungsmoduls wenigstens eine eine elektrisch leitfähige Verbindungsstruktur (18, 19, 24, 51 , 52, 53, 54) bildende elektrisch leitfähige Schicht ausgebildet ist, welche - insbesondere unmittelbar - auf die Oberfläche (26) aufgebracht ist, wobei mit der Verbindungsstruktur (18, 19, 24, 51 , 52, 53, 54) das wenigstens eine weitere elektronische Bauelement (20, 48, 49, 17, 50) elektrisch leitfähig verbunden, insbesondere verlötet oder versintert ist, wobei das Leistungshalbleiterbauelement (4, 34, 35) in der ersten Etage (3, 31 ) mit dem weiteren Bauelement in der zweiten Etage (2) elektrisch mittels der Verbindungsstruktur (18, 19, 24, 51 , 52, 53, 54) verbunden ist.
2. Leistungsmodul (1 , 30) nach Anspruch 1 ,
dadurch gekennzeichnet, dass
der Leistungshalbleiter (34, 35) eine Halbleiterschalter-Halbbrücke (34, 35) ist und wenigstens ein weiteres Bauelement (48, 49), ein Treiber ist, welcher über die Verbindungsstruktur (51 , 52, 53, 54) mit Steueranschlüssen (37, 39) der Halbleiterschalter-Halbbrücke (34, 35) verbunden ist.
3. Leistungsmodul (1 , 30) nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Vergussmasse (29) eine Zementmasse ist, welche unter Ausbildung von Zementkristallen (12) ausgebildet ist sodass jede Etage (2, 3, 32, 32) durch einen zusammenhängenden Kristallverbund gebildet ist.
4. Leistungsmodul (1 , 30) nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Vergussmasse (29) Füllpartikel (13), insbesondere Keramikpartikel aufweist.
5. Leistungsmodul (1 , 30) nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet, dass
mittels der Verbindungsstruktur ein Temperatursensor (58) gebildet ist, welcher ausgebildet ist eine Temperatur des Leistungsmoduls an der Grenzfläche (25) zu erfassen und ein die Temperatur repräsentierendes Temperatursignal zu erzeugen, und das Leistungsmodul (1 , 30) ausgebildet ist, in Abhängigkeit des Temperatursignals den Leistungshalbleiter (4, 34, 35) abzuschalten.
6. Verfahren zum Erzeugen eines wenigstens eine Etage umfassenden Leistungsmoduls,
bei dem zur Ausbildung einer ersten Etage (3, 31 ) des Leistungsmoduls (1 , 30) wenigstens ein Leistungshalbleiter (4, 34, 35) mit einer Vergussmasse (29) eingebettet wird, wobei elektrische Kontakte ausgebildet werden, die nach einem Aushärten der Vergussmasse (29) an einer Oberfläche (26) der Etage (3) zugänglich sind, wobei in einem weiteren Schritt eine Verbindungsstruktur (18, 19, 24, 51 , 52, 53, 54) aufgebracht wird, und auf die Verbindungsstruktur (18, 19, 24, 51 , 52, 53, 54) wenigstens ein weiteres Bauelement (17, 20, 48, 49, 50) aufgebracht und mit der Verbindungsstruktur (18, 19, 24, 51 , 52, 53, 54) elektrisch verbunden wird, und das wenigstens eine Bauelement (17, 20, 48, 49, 50) mit einer Vergussmasse (29) zur Ausbildung der zweiten Etage (2) umgeben wird.
7. Verfahren nach Anspruch 6, bei dem das weitere Bauelement (17, 20, 48, 49, 50) mit der Verbindungsstruktur (18, 19, 24, 51 , 52, 53, 54) versintert oder verlötet wird.
8. Verfahren nach Anspruch 6 oder 7, bei dem die Verbindungsstruktur (18, 19, 24, 51 , 52, 53, 54) mittels Laserstrahlen vorgezeichnet und galvanisch aufgebracht wird.
9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche 6 bis 8, bei dem zwischen Anschlüssen des Leistungshalbleiters und der Verbindungsstruktur (18, 19, 24, 51 , 52, 53, 54) elektrisch leitfähige Metallkörper (10, 1 1 , 46, 47, 57, 67, 68) ausgebildet sind, deren Oberseite nach dem Ausbilden der ersten Etage an einer eine Grenzfläche (25) zur zweiten Etage bildenden Oberfläche (26) zugänglich sind, insbesondere mit der Oberfläche (26) bündig abschließen oder herausragen, wobei die Verbindungsstruktur (18, 19, 24, 51 , 52, 53, 54) an die Metallkörper (10, 1 1 , 46, 47, 57, 67, 68) elektrisch angeschlossen wird.
10. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche 6 bis 9, bei dem nach einem Aushärten der ersten Etage (3) eine Ausnehmung (66) erzeugt wird, die bis zu dem Anschluss (64, 42) des Halbleiterbauelements (34) reicht und von dem Anschluss (64, 42) bis hin zu der Grenzschicht (25) ein elektrisch leitfähiger Metallkörper (57, 67), insbesondere Via-Kontakt erzeugt wird.
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