WO2018084238A1 - 光回路基板、光デバイス、およびアライメント方法 - Google Patents

光回路基板、光デバイス、およびアライメント方法 Download PDF

Info

Publication number
WO2018084238A1
WO2018084238A1 PCT/JP2017/039713 JP2017039713W WO2018084238A1 WO 2018084238 A1 WO2018084238 A1 WO 2018084238A1 JP 2017039713 W JP2017039713 W JP 2017039713W WO 2018084238 A1 WO2018084238 A1 WO 2018084238A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
optical
circuit board
alignment
fiber
port
Prior art date
Application number
PCT/JP2017/039713
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
智浩 中西
元樹 南
悟 今野
鈴木 雄一
佐藤 照明
茂雄 長島
美野 真司
石井 元速
相馬 俊一
亀井 新
浅川 修一郎
Original Assignee
Nttエレクトロニクス株式会社
日本電信電話株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nttエレクトロニクス株式会社, 日本電信電話株式会社 filed Critical Nttエレクトロニクス株式会社
Priority to CA3040880A priority Critical patent/CA3040880C/en
Priority to EP17867307.5A priority patent/EP3537194B1/en
Priority to US16/346,182 priority patent/US10908356B2/en
Priority to CN201780067063.0A priority patent/CN109891284B/zh
Publication of WO2018084238A1 publication Critical patent/WO2018084238A1/ja

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B6/122Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/26Optical coupling means
    • G02B6/30Optical coupling means for use between fibre and thin-film device
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B6/122Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
    • G02B6/125Bends, branchings or intersections
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4219Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
    • G02B6/422Active alignment, i.e. moving the elements in response to the detected degree of coupling or position of the elements
    • G02B6/4221Active alignment, i.e. moving the elements in response to the detected degree of coupling or position of the elements involving a visual detection of the position of the elements, e.g. by using a microscope or a camera
    • G02B6/4222Active alignment, i.e. moving the elements in response to the detected degree of coupling or position of the elements involving a visual detection of the position of the elements, e.g. by using a microscope or a camera by observing back-reflected light
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4219Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
    • G02B6/422Active alignment, i.e. moving the elements in response to the detected degree of coupling or position of the elements
    • G02B6/4225Active alignment, i.e. moving the elements in response to the detected degree of coupling or position of the elements by a direct measurement of the degree of coupling, e.g. the amount of light power coupled to the fibre or the opto-electronic element
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B6/13Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method
    • G02B6/132Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method by deposition of thin films

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)

Abstract

パッケージに搭載した状態でファイバアレイとアライメント可能であり、本回路部分に影響を与えずにサイズを小さくできる低コストな光回路基板、光デバイス、およびアライメント方法を提供することを目的とする。 本発明に係る光回路基板は、ファイバアレイ接続端近傍で調心光をファイバアレイに戻すループバック回路を搭載することとした。調心用のループバック回路は光導波路パターンで形成できるので従来の光回路基板と比べて製造コストは上昇しない。光ファイバから光回路基板の調心用ポートに結合した調心光はループバック回路で当該光ファイバへ戻される。このため、この戻り光を利用してアライメントが可能となる。つまり、光を反射する膜やミラーを設置することなくパッケージに搭載した状態でアライメントが可能になる。

Description

光回路基板、光デバイス、およびアライメント方法
 本開示は、光通信などの光制御装置に使用される光導波路が形成された光回路基板、これにファイバを接続した光デバイス、光回路基板とファイバとを接続するときのアライメント方法に関する。
 光導波路が形成された光回路基板にファイバを接続した光デバイスには、光制御に必要とされる制御機能を実現する本回路部とは別に、ファイバを調心接続するために使用される調心用光導波路を備えたものがある(例えば、特許文献1を参照。)。単純な構造の調心用光導波路は、本回路の機能に依存することなく配置できるため、自由な設計が可能であるとともに、各光導波路の入出力ポートに対応した位置にファイバが配置された光ファイバアレイを接続することで、高精度かつ簡便に光デバイスを提供することができている。
 また、その他に、光制御装置を製造するために、カメラ等の複雑な観察系を使用することなくレンズアレイとを位置合わせして接続できる光回路基板が知られている(例えば、特許文献2を参照。)。特許文献2の光回路基板は、光信号が伝搬する本ポートの光導波路の他にレンズアレイとの接続時のアライメントに使用するダミーポートの光導波路を調心用光導波路として備える。特許文献1の光回路基板は、ダミーポート用のレンズアレイで調心用の光を反射させ、ダミーポートの反射光の光パワーが最大となるようにアライメントしている。この技術は、レンズアレイをアレイメントするものであるが、ファイバが接続される端面と異なる端面(調心用光導波路の出射端)にレンズアレイあるいは反射膜を配置することで、ファイバのアレイメントも可能となる。

特開1996-313744号公報 特開2011-191647号公報
 特許文献1では、調心用光導波路が光回路基板の一端から他端まで本回路に沿って配置されなければならず、光回路基板のサイズがその分大きくなる、あるいは光部品を配置する本回路部分が小さくなってしまうという課題もあった。
 また、光導波路が形成された光回路基板は、フォトダイオードやレーザダイオード等の光部品が搭載され、金属等のパッケージに搭載される。このパッケージはファイバアレイを接続するための開口部を除いて光回路基板を壁で覆っている。このため、光回路基板をパッケージに搭載した状態でファイバアレイと接続しようとすると、ファイバアレイの調心用ファイバから光回路基板の調心用光導波路に結合された調心用の光はパッケージ内の壁で遮られ、外側に配置されたフォトダイオード(PD)などで観察することができず、アライメントができないという課題があった(図1を参照。)。
 特許文献2のように、予め調心用光導波路端に光を反射させる反射膜等を配置すればアライメントが可能となるが、反射膜設置あるいはミラー設置の工程が必要となりコストアップにつながってしまう(図2を参照。)。
 一方、パッケージ搭載前に光回路基板とファイバアレイとを接続する場合、従来のアライメント方法でアライメント作業はできる(図3を参照。)。しかし、光回路基板をパッケージに搭載する工程で光回路基板に接続されたファイバアレイが邪魔となり搭載作業の効率を悪化させてしまうという課題があった。
 そこで、本発明は、光回路基板とファイバアレイとをアライメントするための余分な部材あるいは工程を必要とせず、低コストな光回路基板、光デバイス、およびアライメント方法を提供することを目的とする。
 上記目的を達成するために、本発明に係る光回路基板は、ファイバアレイ接続端近傍で調心光をファイバアレイに戻すループバック回路を搭載することとした。
 具体的には、本発明に係る光回路基板は、
 光部品及び前記光部品に対して光を入出力する光導波路を有する機能回路部と、光ファイバを基板上に並列配置した光ファイバアレイが接続される導波路部とを備え、前記導波路部は、入出力光導波路とループバック回路が配置され、前記入出力光導波路は、光ファイバが接続される信号用ポートに一端が接続され、他端が前記機能回路部の前記光導波路に接続され、ループバック回路は、前記光ファイバとの調心に使用される調心用ポートに接続され、前記調心用ポートに入射された光を伝搬する中継導波路と、前記中継導波路が伝搬する光を分岐し、周回した後、再び前記中継導波路に合流するループ導波路と、
を備える。
 調心用のループバック回路は光導波路パターンで形成できるので、従来の光回路基板と同一の工程で製造でき、製造コストは上昇しない。光ファイバから光回路基板の調心用ポートに結合した調心光はループバック回路を介して、当該調心用ポートへ戻り、当該光ファイバへ戻される。このため、この戻り光を利用してアライメントが可能となる。つまり、光を反射する膜やミラーを設置するなど、調心用の部材あるいは工程を追加することなくパッケージに搭載した状態でアライメントが可能になる。
 また、調心光は、入射時と出射時で2回調心用ポートを通過することで、調心位置に対する損失感度が向上し、調心精度を向上させることが可能になる。
 従って、本発明は、光回路基板とファイバアレイとをアライメントするための余分な部材を必要としないためサイズを増大することなく、さらに当該アライメントにおいて余分な工程が不要であるため、低コストな光回路基板を提供することができる。
 本発明に係る光回路基板の前記入出力光導波路及び前記中継導波路は、前記信号用ポート及び前記調心用ポートが配置された面に対して傾斜角をもって配置されることを特徴とする。光回路基板とファイバアレイとの接続面に対して光導波路及び光ファイバが斜めに配置されることで、接続面で生じる反射光が調心に与える影響を低減することができる。
 本発明に係る光回路基板の第1形態として、2つの前記調心用ポートの間に全ての前記信号用ポートがあるように、前記信号用ポート及び前記調心用ポートが配置されていることを特徴とする。光回路基板とファイバアレイを接続する場合、2つの調心用ポートとそれらに対応するファイバをアレイメントすることで、ファイバの光軸周りの回転方向のアライメントもできる。
 このとき、本発明に係る光回路基板の前記調心用ポートに最も近い前記信号用ポートと該調心用ポートとの間隔が前記信号用ポート同士の間隔より広いことを特徴とする。ファイバアレイの調心用ファイバの間隔が広がり、ファイバアレイの製造時にV溝基板に光ファイバを押し付けるリッド基板の傾きを低減でき、ファイバアレイの製造歩留まりを向上させることができる。
 本発明に係る第1の光デバイスは、第1形態の光回路基板と、
 前記光回路基板の前記信号用ポートの間隔で並列された信号用ファイバ、及び前記光回路基板の前記調心用ポートの位置に配置された調心用ファイバを有し、前記信号用ファイバの端部それぞれが前記信号用ポートに、前記調心用ファイバの端部が前記調心用ポートに当接するように前記光回路基板に接続するファイバアレイと、
を備える。
 本発明に係るアライメント方法は、第1の光デバイスを製造するときの前記光回路基板と前記ファイバアレイとを位置合わせするアライメント方法であって、
 前記光回路基板と前記ファイバアレイとを所定の精度で接続する仮接続工程と、
 前記ファイバアレイの前記調心用ファイバに調心光を入力する光入射工程と、
 前記光入射工程で入射した前記調心光が前記光回路基板の前記調心用ポートに結合され、前記ループバック回路で折り返されて前記調心用ポートに戻り、前記調心用ファイバに結合された戻り光を受光する光受光工程と、
 前記光受光工程で受光した前記戻り光の光強度が最大となるように前記光回路基板と前記ファイバアレイとの位置を調整して固定する本接続工程と、
を行うことを特徴とする。
 本発明に係る光回路基板の第2形態として、前記信号用ポートのうち少なくとも2つが、前記信号用ポートに対応する前記調心用ポートを有し、それぞれの前記調心用ポートが、対応する前記信号用ポートから同じ方向に同じ距離だけ離れて配置されていることを特徴とする。光信号用の光ファイバを使ってループバック回路に光を結合してアライメントした後、ファイバアレイを平行移動させて光回路基板とファイバアレイとの接続を行う。接続が完了すれば不要な調心用ファイバを用いなくともアライメントが可能となり、ファイバアレイの小型化及びコスト低減を図ることができる。
 本発明に係る光回路基板の第3形態として、前記導波路部が、前記調心用ポートの対となる調心用ポートをさらに有し、それぞれの前記対となる調心用ポートは、前記調心用ポートと前記対となる調心用ポートとで対応する前記信号用ポートを挟むように、且つ対応する前記信号用ポートから同じ方向に同じ距離だけ離れて配置されている。1つの信号用ポートの両側に調心用ポートを配置し、平行移動させて両調心用ポートでアライメントする。このため、アライメント後のファイバアレイ平行移動時の、光回路基板の厚み方向へのズレを把握して修正することができる。
 本発明に係る第2の光デバイス及び第3の光デバイスは、
 第2形態又は第3形態の光回路基板と、
 前記光回路基板の前記信号用ポートの間隔で並列された信号用ファイバと
を備え、前記信号用ファイバの端部それぞれが前記信号用ポートに当接するように前記光回路基板に接続され、前記光回路基板の前記調心用ポートは前記ファイバアレイのいずれのファイバにも未接続であることを特徴とする。
 本発明に係るアライメント方法は、第2形態の光回路基板を備える第2の光デバイスを製造するときの前記光回路基板と前記ファイバアレイとを位置合わせするアライメント方法であって、
 前記光回路基板と前記ファイバアレイとを所定の精度で接続する仮接続工程と、
 前記ファイバアレイの前記信号用ファイバのうち端部が前記光回路基板の前記調心用ポートに当接する前記信号用ファイバに調心光を入力する光入射工程と、
 前記光入射工程で入射した前記調心光が前記光回路基板の前記調心用ポートに結合され、前記ループバック回路で折り返されて前記調心用ポートに戻り、前記調心光を入力した前記信号用ファイバに結合された戻り光を受光する光受光工程と、
 前記光受光工程で受光した前記戻り光の光強度が最大となるように前記光回路基板と前記ファイバアレイとの位置を調整する位置調整工程と、
 前記位置調整工程後に前記ファイバアレイを前記光回路基板の前記調心用ポートから前記信号用ポートの方向へ且つ距離だけ平行移動して固定する本接続工程と、
を行うことを特徴とする。
 なお、上記各発明は、可能な限り組み合わせることができる。
 本発明は、光回路基板とファイバアレイとをアライメントするための余分な部材あるいは工程を必要とせず、低コストな光回路基板、光デバイス、およびアライメント方法を提供することができる。
本発明の課題を説明する図である。 本発明の課題を説明する図である。 本発明の課題を説明する図である。 本発明に係る光回路基板を説明する図である。 ループバック回路を説明する図である。 本発明に係る光デバイスを説明する図である。 本発明に係る光デバイスを説明する図である。 本発明に係る光デバイスを説明する図である。 本発明に係る光デバイスを説明する図である。 本発明に係る光デバイスを説明する図である。 本発明に係る光デバイスを説明する図である。
 添付の図面を参照して本発明の実施形態を説明する。以下に説明する実施形態は本発明の実施例であり、本発明は、以下の実施形態に制限されるものではない。なお、本明細書及び図面において符号が同じ構成要素は、相互に同一のものを示すものとする。
(実施形態1)
 図4は、本実施形態の光回路基板101を説明する図である。光回路基板101は機能的に2つの領域(機能回路部11と導波路部12)から構成されている。
 機能回路部11はAWG等の機能回路や光部品13が導波路14で接続されており、導波路14は導波路部12の入出力光導波路16を介して信号用ポート22に接続されている。導波路部12には入出力光導波路16とループバック回路15が形成されている。入出力光導波路16の一端は導波路14に、他端は信号用ポート22に接続されている。
 ループバック回路15はループ導波路と中継導波路から構成され、中継導波路は調心用ポート21に接続されている。信号用ポート22と調心用ポート21は光回路基板101の端面に形成されている。
 ここで、光部品13は、フォトダイオード、レーザダイオードなどの能動素子、波長板、薄膜フィルタなどの受動素子、あるいは光カップラ、スプリッタ、波長合分波器、スイッチ、変調器などを構成する光導波回路などである。
 なお、図4の光回路基板101は、2つの調心用ポート21の間に全ての信号用ポート22が配置されている。つまり、少なくとも信号用ポート22の両外側には調心用ポート21が配置されている。
 本実施形態の光回路基板101と図1から図3で説明した従来の光回路基板との違いは、光回路基板101が調心用光導波路の代替としてループバック回路15を備える点である。図5はループバック回路15の形状を示している。ループバック回路15はループ導波路(15a、15b)と中継導波路15cとから成る。調心用ポート21から入射した光は、中継導波路15cを伝搬し合分岐部15aで分岐され、周回部15bで周回させられ再び合分岐部15aで合流し、中継導波路15cを伝搬して調心用ポート21から出射される。合分岐部15aで分岐された光が合分岐部15aで合流するので合分岐部15aの分岐比は任意である。また、ループバック回路15の損失はコアのクラッドに対する比屈折率と周回部15bの曲率で決まるが、ループバック回路15を通過する光は調心光であり、アライメントで許容できる損失と比屈折率から周回部15bの曲率を決定すればよい。なお、本実施形態の光回路基板101上の導波路をシリコン細線導波路で形成すれば、ループバック回路15は、曲率半径数10μmで形成することができる。
 本実施形態では、合分岐部15aをY分岐型で構成しているが、方向性結合器型、多モード干渉(MMI)型などでも構成することができる。
 ループバック回路15は光回路基板101の任意の位置に配置できるため、機能回路部11のレイアウトに依存せずに配置することが可能である。これはループバック回路15の専有面積が非常に小さいため、機能回路部11のレイアウトに影響を与えないようにループバック回路15を導波路部12の領域に配置できるためである。また、ループバック回路15は機能回路部11で規定される光回路基板の101の幅の内側に十分収まる大きさなので、調心用ポート21の位置は任意の位置に配置できるため、光回路基板101はループバック回路15の形成によりサイズアップすることはない。なお、図4のループバック回路15の中継導波路15cは直線で、ループ導波路の周回部15bは中継導波路15cの延長線上に配置されているが、ループバック回路15の中継導波路15cは曲線であっても良い。
 なお、図4では、調心用ポート21(ループバック回路15)が、3つの信号用ポート22(光導波路16)の両側に配置されているが、この数と配置はこれには限定されない。調心用ポート21、信号用ポート22ともに1つ以上あればよい。また、各ポートの位置も図4に限定されない。
(実施形態2)
 図6は、本実施形態の光デバイス301を説明する図である。光デバイス301は、図4で説明した光回路基板101にファイバアレイ201が接続されている。ファイバアレイ201は、光回路基板101の信号用ポート22の間隔で並列された信号用ファイバ32と光回路基板101の調心用ポート21の位置に配置された調心用ファイバ31とがV溝基板とリッド基板とで固定され、信号用ファイバ32の端部のそれぞれが信号用ポート22に、調心用ファイバ31の端部のそれぞれが調心用ポート21に当接している。
 光デバイス301は、製造時に光回路基板101とファイバアレイ201とを位置合わせしなければならない。この時のアライメント方法は、光回路基板101とファイバアレイ201とを所定の精度で接続する仮接続工程と、ファイバアレイ201の調心用ファイバ31に調心光を入力し調心固定する本接続工程からなる。本接続工程では、まずファイバアレイ201の調心用ファイバ31に調心光を入力する(光入射工程)。次に、ループバック回路15を周回したこの調心光を受光する(受光工程)。調心用ファイバ31に光入射した調心光は光回路基板101の調心用ポート21に結合し、ループバック回路15で折り返されて調心用ポート21に戻り、調心用ファイバ31に結合し、戻り光となり受光器で受光される。次に、受光した戻り光の光強度が最大となるように、光回路基板101とファイバアレイ201との位置は調整(調心工程)される。最後に、戻り光の光強度が最大となる位置で、光回路基板101とファイバアレイ201との端面同士は固定される。
 仮接続工程での接続精度は調心用ファイバ31からの調心光がループバック回路15に結合できる程度の精度で良い。これは光回路基板101とファイバアレイ201との端面同士を接触させ、光軸に対し垂直な2方向にファイバアレイ201を微動させ、調心用ファイバ31端を調心用ポート21の位置に合わせる工程である。光入射工程では全ての調心用ファイバ31に調心光を入力する。光受光工程では、全ての戻り光(図6では2つ)を受光し、ループバック回路15からの戻り光の光強度を測定する。調心工程では、ファイバアレイ201を微動させ、全ての戻り光の光強度が最大となる位置を探し出す。その位置で光回路基板101とファイバアレイ201との端面同士を固定する。固定は例えば紫外線硬化性接着剤を用いて行う事ができる。光回路基板101とファイバアレイ201との端面に紫外線硬化性接着剤を塗布し、調心し、光強度が最大となる位置を保持した状態で、接続端面に紫外線を照射し端面を接続固定する。図6の光デバイス301では戻り光が2つなので、光回路基板101とファイバアレイ201との接続面におけるX方向とY方向だけでなく、光回路基板101とファイバアレイ201とのねじれも修正すること(ファイバの光軸周りの回転方向のアライメント)ができる。なお、X方向とは、前記接続面において調心用ポート21及び信号用ポート22が配列されている方向であり、Y方向とは、光回路基板101の厚み方向である。
 調心用ポート21が1つの場合は、予め、光回路基板101とファイバアレイ201を定盤などの基準面に当てて、ファイバ周りの回転方向のお互いのねじれを無くしておき、その後、調心用ポート21と調心用ファイバ31を調心することで、光回路基板101とファイバアレイ201をアライメントすることができる。
(実施形態3)
 図7は、本実施形態の光デバイス302を説明する図である。光デバイス302は、光回路基板102にファイバアレイ202が接続固定されている。光回路基板102と図4の光回路基板101との違いは、光回路基板102の光導波路16及びループバック回路15が、信号用ポート22及び調心用ポート21が配置された面の垂線方向に対して傾斜角(θ)をもって配置される点である。光導波路16及びループバック回路15が斜めに配置されることに伴い、ファイバアレイ202の調心用ファイバ31と信号用ファイバ32も斜めに接続される。接続時のアライメント方法は実施形態2の説明と同じである。
(実施形態4)
 図8は、本実施形態の光デバイス303を説明する図である。光デバイス303は、光回路基板103にファイバアレイ203が接続固定されている。光回路基板103と図7の光回路基板102との違いは、光回路基板103の調心用ポート21に最も近い信号用ポート22と該調心用ポートとの間隔が信号用ポート22同士の間隔より広い点である。調心用ポート21が信号用ポート22から離れた位置に配置されることに伴い、ファイバアレイ203の調心用ファイバ31も信号用ファイバ32から離れた位置に配置される。接続時のアライメント方法は実施形態2の説明と同じである。
(実施形態5)
 図9は、本実施形態の光デバイス304を説明する図である。光デバイス304は、光回路基板104にファイバアレイ204が接続固定されている。本実施形態のファイバアレイ204には調心用ファイバが備わっていない。すなわち、本実施形態の光回路基板104の調心用ポート15にはファイバアレイ204のいずれのファイバにも未接続である。
 光回路基板104は、導波路部12において、光導波路16のうち外側に配置された信号用ポート(22a、22b)と、それぞれに対応する調心用ポート(21a、21b)とを有し、それぞれの調心用ポート(21a、21b)は、対応する信号用ポート(22a、22b)から同じ方向に同じ距離(D)だけ離れて配置されている。つまり、調心用ポート(21a)とそれに対応する信号用ポート(22a)との間の距離と調心用ポート(21b)とそれに対応する信号用ポート(22b)との間の距離は同じで、同じ方向に配置されている。調心用ポート(21a、21b)に光結合している信号用ファイバ32を光回路基板104の端面に接触させて、所定の距離(Dcosθ)だけ調心ポート側に平行移動させると、それぞれの信号用ファイバの端面は信号用ポート(22a、22b、22c)とそれぞれ一致し、信号用ファイバと信号用ポートとは光結合する位置となる。
 実施形態2から4で説明したファイバアレイ(201~203)は、光回路基板とファイバアレイとのアライメントが終われば不要になる。例えば、実施形態2で説明したアライメント方法で本接続工程作業後にファイバアレイ201から調心用ファイバ31を切断して除去するという調心ファイバ除去工程が必要になる。
 それに対し、実施形態5の光デバイス304は、信号用ファイバ32を調心用ファイバとしても利用することにより、調心用ファイバは不要となるため、この調心ファイバ除去工程を不要とすることができる。しかも、調心用ファイバの分だけファイバアレイ204を小型化できるため、パッケージへの搭載の際にファイバアレイ204が障害とならず、光回路基板104の搭載が容易になる。光デバイス304は、次のアライメント方法を行うことで調心ファイバを使わずに光回路基板104とファイバアレイ204とを位置合わせすることができる。
 本実施形態のアライメント方法は、ファイバアレイ204の信号用ファイバ32のうち、外側に配置された信号用ファイバ32の端部を光回路基板104の調心用ポート(21a、21b)に当接するように、光回路基板104とファイバアレイ204とを所定の精度で接続する仮接続工程と、ファイバアレイ204の信号用ファイバ32のうち、所定の信号用ファイバに調心光を入力して(光入射工程)、位置決めする工程(位置決め工程)、そして位置決めしたファイバアレイ204を所定の距離移動して光回路基板104と接続固定する本接続工程からなる。
 仮接続工程での接続精度は信号用ファイバ32からの調心光がループバック回路15に結合できる程度の精度で良い。
 位置決め工程では、まず、ファイバアレイ204の信号用ファイバ32のうち端部が光回路基板104の調心用ポート(21a、21b)に当接する信号用ファイバ32に調心光を入力する(光入射工程)。光入射工程で入射した調心光は光回路基板104の調心用ポート(21a、21b)に結合し、ループバック回路15で折り返されて調心用ポート(21a、21b)に戻り、調心光を入力した信号用ファイバ32に結合される。この戻り光は受光器で受光される(光受光工程)。次に、光受光工程で受光した戻り光の光強度が最大となるように光回路基板104とファイバアレイ204との位置を調整し(位置調整工程)、ファイバアレイ204の位置決めを行う。
 最後に、本接続工程において位置決めされたファイバアレイ204を所定の距離移動し光回路基板104と接続固定する。ファイバアレイ204は光回路基板104との接触を保持した状態で、調心用ポート(21a、21b)から信号用ポート(22a、22b)の方向(X方向)へ、所定の距離(Dcosθ)だけ摺動させる。この移動で、ファイバアレイ204のそれぞれの信号用ファイバ32の端部は信号用ポートに当接することになる。接続固定は実施形態1と同様に行うことができる。
 なお、図10のように調心用ポート(21a、21b)と信号用ポート(22a、22b)との間隔を両者が光学的に干渉しない程度まで近接させることで、本接続工程でファイバアレイ204をずらす移動量を小さくできる。通常、移動量が大きくなると、設計値からのずれ量も大きくなるが、本実施形態では、移動量が小さいため、本接続工程後の信号用ファイバ32の端部と信号用ポートとのずれ量を小さくできる。
(実施形態6)
 図11は、本実施形態の光デバイス305を説明する図である。光デバイス305は、光回路基板105とファイバアレイ204を備える。光回路基板105と図10の光回路基板104との違いは、光回路基板105が全ての信号用ポート22に隣接して対応する調心用ポート21を配置している点である。つまり、光回路基板105は、導波路部12において、信号用ポート22それぞれに対応する調心用ポート21を有し、それぞれの調心用ポート21が、対応する信号用ポート22から同じ方向に同じ距離だけ離れて配置されている。
 光デバイス305も、図9の光デバイス304で説明したアライメント方法を利用して製造する。このため、光デバイス305も調心ファイバ除去工程を不要とすることができる。また、光デバイス305は、全ての調心用ポート21で調心でき、各信号用ポート22における接続損失の配分を調整できる。例えば、調心時に、全ての調心用ポート21の接続損失を加算し、その値が最も小さくなるように調整することで、ファイバアレイ204のファイバピッチが設計値からずれていたとしても、光回路基板105とファイバアレイ204を最小の損失でアレイメントすることが可能となる。
11:機能回路部
12:導波路部
13:光部品
14:導波路
15:ループバック回路
15a:合分岐部
15b:周回部
15c:中継導波路
16:入出力光導波路
21、21a、21b:調心用ポート
22、22a、22b:信号用ポート
31:調心用ファイバ
32:信号用ファイバ
101~106:光回路基板
201~204:ファイバアレイ
301~306:光デバイス

Claims (9)

  1.  光部品及び前記光部品に対して光を入出力する光導波路を有する機能回路部と光ファイバが接続される導波路部とを備え、
     前記導波路部は、入出力光導波路とループバック回路が配置され、
    前記入出力光導波路は、光ファイバが接続される信号用ポートに一端が接続され、他端が前記機能回路部の前記光導波路に接続され                     前記ループバック回路は、前記光ファイバとの調心に使用される調心用ポートに接続され、前記調心用ポートに入射された光を伝搬する中継導波路と、前記中継導波路が伝搬する光を分岐し、周回して前記中継導波路に合流するループ導波路と、
    を備える光回路基板。
  2.  前記入出力光導波路及び前記中継導波路は、前記信号用ポート及び前記調心用ポートが配置された面に対して傾斜角をもって配置されることを特徴とする請求項1に記載の光回路基板。
  3.  前記調心用ポートが前記信号用ポートを全て挟むように配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の光回路基板。
  4.  前記調心用ポートに最も近い前記信号用ポートと該調心用ポートとの間隔が前記信号用ポート同士の間隔より広いことを特徴とする請求項3に記載の光回路基板。
  5.  前記信号用ポートのうち少なくとも2つが、前記信号用ポートに対応する前記調心用ポートを有し、
     それぞれの前記調心用ポートが、対応する前記信号用ポートから同じ方向に同じ距離だけ離れて配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の光回路基板。
  6.  請求項1から4のいずれかに記載の光回路基板と、
     前記光回路基板の前記信号用ポートの間隔で並列された信号用ファイバ、及び前記光回路基板の前記調心用ポートの位置に配置された調心用ファイバを有し、前記信号用ファイバの端部それぞれが前記信号用ポートに、前記調心用ファイバの端部が前記調心用ポートに当接するように前記光回路基板に接続するファイバアレイと、
    を備える光デバイス。
  7.  請求項1、2、又は5に記載の光回路基板と、
     前記光回路基板の前記信号用ポートの間隔で並列された信号用ファイバと
    を備え、
     前記信号用ファイバの端部それぞれは前記信号用ポートに当接するように前記光回路基板に接続され、前記光回路基板の前記調心用ポートは前記ファイバアレイのいずれのファイバにも未接続であることを特徴とする光デバイス。
  8.  請求項6に記載の光デバイスを製造するときの前記光回路基板と前記ファイバアレイとを位置合わせするアライメント方法であって、
     前記光回路基板と前記ファイバアレイとを所定の精度で接続する仮接続工程と、
     前記ファイバアレイの前記調心用ファイバに調心光を入力する光入射工程と、
     前記光入射工程で入射した前記調心光が前記光回路基板の前記調心用ポートに結合され、前記ループバック回路で折り返されて前記調心用ポートに戻り、前記調心用ファイバに結合された戻り光を受光する光受光工程と、
     前記光受光工程で受光した前記戻り光の光強度が最大となるように前記光回路基板と前記ファイバアレイとの位置を調整して固定する本接続工程と、
    を行うことを特徴とするアライメント方法。
  9.  請求項7に記載の光デバイスを製造するときの前記光回路基板と前記ファイバアレイとを位置合わせするアライメント方法であって、
     前記光回路基板と前記ファイバアレイとを所定の精度で接続する仮接続工程と、
     前記ファイバアレイの前記信号用ファイバのうち端部が前記光回路基板の前記調心用ポートに当接する前記信号用ファイバに調心光を入力する光入射工程と、
     前記光入射工程で入射した前記調心光が前記光回路基板の前記調心用ポートに結合され、前記ループバック回路で折り返されて前記調心用ポートに戻り、前記調心光を入力した前記信号用ファイバに結合された戻り光を受光する光受光工程と、
     前記光受光工程で受光した前記戻り光の光強度が最大となるように前記光回路基板と前記ファイバアレイとの位置を調整する位置調整工程と、
     前記位置調整工程後に前記ファイバアレイを前記光回路基板の前記調心用ポートから前記信号用ポートの方向へ且つ距離だけ平行移動して固定する本接続工程と、
    を行うことを特徴とするアライメント方法。
PCT/JP2017/039713 2016-11-07 2017-11-02 光回路基板、光デバイス、およびアライメント方法 WO2018084238A1 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CA3040880A CA3040880C (en) 2016-11-07 2017-11-02 Optical circuit board, optical device, and alignment method
EP17867307.5A EP3537194B1 (en) 2016-11-07 2017-11-02 Optical device and alignment method
US16/346,182 US10908356B2 (en) 2016-11-07 2017-11-02 Optical device having a fiber array, and method of alignment thereof
CN201780067063.0A CN109891284B (zh) 2016-11-07 2017-11-02 光纤设备及光纤对准方法

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016217193A JP6585578B2 (ja) 2016-11-07 2016-11-07 光デバイス、およびアライメント方法
JP2016-217193 2016-11-07

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2018084238A1 true WO2018084238A1 (ja) 2018-05-11

Family

ID=62076009

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2017/039713 WO2018084238A1 (ja) 2016-11-07 2017-11-02 光回路基板、光デバイス、およびアライメント方法

Country Status (6)

Country Link
US (1) US10908356B2 (ja)
EP (1) EP3537194B1 (ja)
JP (1) JP6585578B2 (ja)
CN (1) CN109891284B (ja)
CA (1) CA3040880C (ja)
WO (1) WO2018084238A1 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020162216A1 (ja) * 2019-02-04 2020-08-13 日本電信電話株式会社 インタポーザ回路
WO2023218607A1 (ja) * 2022-05-12 2023-11-16 日本電信電話株式会社 光回路チップ

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019219459A (ja) * 2018-06-18 2019-12-26 日本電信電話株式会社 平面光波回路及び光デバイス
JP7081356B2 (ja) * 2018-07-17 2022-06-07 日本電信電話株式会社 光ファイバガイド部品と光接続構造
KR20240038136A (ko) * 2021-09-13 2024-03-22 교세라 가부시키가이샤 광회로 기판 및 그것을 사용한 광학 부품 실장 구조체
WO2023228303A1 (ja) * 2022-05-25 2023-11-30 日本電信電話株式会社 調芯方法
WO2024013944A1 (ja) * 2022-07-14 2024-01-18 日本電信電話株式会社 集積型光デバイスおよび集積型光デバイスのアライメント方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0527130A (ja) * 1990-12-07 1993-02-05 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光導波路デバイス
JPH08313744A (ja) 1995-05-18 1996-11-29 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光回路部品
JPH10227936A (ja) * 1997-02-13 1998-08-25 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> ハイブリッド平面型光回路とその作製方法
JPH10300959A (ja) * 1997-05-01 1998-11-13 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 半導体光導波路機能素子
JP2008268763A (ja) * 2007-04-24 2008-11-06 Keio Gijuku 光反射回路、ハーフミラー回路、光共振回路、レーザ発振器及び光機能回路
JP2011191647A (ja) 2010-03-16 2011-09-29 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光部品
JP2014026108A (ja) * 2012-07-26 2014-02-06 Nec Corp 光部品の光軸調整方法及び光軸調整装置
US20150355421A1 (en) * 2013-01-15 2015-12-10 Agency For Science, Technology And Research Optical alignment structure and method of determining alignment information

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6937335B2 (en) * 2002-03-08 2005-08-30 Paul Victor Mukai Dynamic alignment of optical fibers to optical circuit devices such as planar lightwave circuits
US7190865B2 (en) * 2004-04-19 2007-03-13 Infinera Corporation Hermaphroditic u-guide alignment structures and method thereof
US7480425B2 (en) * 2004-06-09 2009-01-20 Oewaves, Inc. Integrated opto-electronic oscillators
US7231113B2 (en) * 2005-08-19 2007-06-12 Infinera Corporation Coupled optical waveguide resonators with heaters for thermo-optic control of wavelength and compound filter shape
US20150022818A1 (en) * 2012-06-08 2015-01-22 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Laser-driven optical gyroscope with push-pull modulation
JPWO2014020730A1 (ja) 2012-08-01 2016-07-11 日立化成株式会社 光ファイバコネクタ、その製造方法、光ファイバコネクタと光ファイバの接続方法、光ファイバコネクタと光ファイバとの組立体
US20140348513A1 (en) * 2013-05-24 2014-11-27 Alcatel-Lucent Usa, Inc. Optical assembly for optical communication systems
US9939663B2 (en) * 2013-10-24 2018-04-10 Oracle International Corporation Dual-ring-modulated laser that uses push-pull modulation
DE112016000295T5 (de) * 2015-01-08 2017-09-21 Acacia Communications, Inc. Durchgangsübertragungspfad auf photonischen Schaltungen für optische Ausrichtung
JP6332098B2 (ja) * 2015-03-25 2018-05-30 株式会社島津製作所 フローセル
US20170163001A1 (en) * 2015-04-29 2017-06-08 Infinera Corporation Photonic Integrated Circuit Including Compact Lasers With Extended Tunability
US9513447B1 (en) * 2015-05-14 2016-12-06 Huawei Technologies Co.., Ltd. Active photonic integrated circuit (PIC) with embedded coupling efficiency monitoring
US10459160B2 (en) * 2017-01-31 2019-10-29 Corning Optical Communications LLC Glass waveguide assemblies for OE-PCBs and methods of forming OE-PCBs
CN110678792A (zh) * 2017-10-11 2020-01-10 谷歌有限责任公司 偏振色散缓解

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0527130A (ja) * 1990-12-07 1993-02-05 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光導波路デバイス
JPH08313744A (ja) 1995-05-18 1996-11-29 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光回路部品
JPH10227936A (ja) * 1997-02-13 1998-08-25 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> ハイブリッド平面型光回路とその作製方法
JPH10300959A (ja) * 1997-05-01 1998-11-13 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 半導体光導波路機能素子
JP2008268763A (ja) * 2007-04-24 2008-11-06 Keio Gijuku 光反射回路、ハーフミラー回路、光共振回路、レーザ発振器及び光機能回路
JP2011191647A (ja) 2010-03-16 2011-09-29 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光部品
JP2014026108A (ja) * 2012-07-26 2014-02-06 Nec Corp 光部品の光軸調整方法及び光軸調整装置
US20150355421A1 (en) * 2013-01-15 2015-12-10 Agency For Science, Technology And Research Optical alignment structure and method of determining alignment information

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP3537194A4 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020162216A1 (ja) * 2019-02-04 2020-08-13 日本電信電話株式会社 インタポーザ回路
WO2023218607A1 (ja) * 2022-05-12 2023-11-16 日本電信電話株式会社 光回路チップ

Also Published As

Publication number Publication date
US10908356B2 (en) 2021-02-02
CN109891284A (zh) 2019-06-14
EP3537194A1 (en) 2019-09-11
JP2018077276A (ja) 2018-05-17
CA3040880A1 (en) 2018-05-11
CN109891284B (zh) 2020-11-06
US20200057192A1 (en) 2020-02-20
CA3040880C (en) 2021-05-11
EP3537194A4 (en) 2020-06-24
JP6585578B2 (ja) 2019-10-02
EP3537194B1 (en) 2021-08-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6585578B2 (ja) 光デバイス、およびアライメント方法
US6744945B2 (en) Wavelength multiplexer and optical unit
US6839492B2 (en) Packaging device for optical waveguide element
KR20090101246A (ko) 이중-렌즈 일원 광학 수신기 조립품
JP2919329B2 (ja) 光送受信モジュール
KR20140051363A (ko) 광합류분기기, 쌍방향 광전파기, 및 광송수신 시스템
JPH09159851A (ja) 導波路型光合波分波モジュール
JP2008250019A (ja) 光集積回路および光集積回路モジュール
EP2589993B1 (en) Microlens array and optical transmission component
US7577328B2 (en) Optical reflector, optical system and optical multiplexer/demultiplexer device
JP2000147309A (ja) ハイブリッド光導波装置
JP3947186B2 (ja) 光ハイブリッドモジュール及びその製造方法
JP3151699B2 (ja) 光回路部品の作製方法
JP2008275653A (ja) 光反射器及び光システム
EP0463779A1 (en) Fibre optic waveguide beam splitter
JPH05203830A (ja) 光合分波器
JP5400078B2 (ja) 平面光波回路接続装置
KR101501140B1 (ko) 광 파워 모니터 구조를 개량시킨 평판형 광도파로 소자 모듈
JP2005241730A (ja) 光合分波器および光モジュール
JP2005249966A (ja) 光学部材とその製造方法,光モジュール
JP3120774B2 (ja) 光送受信モジュール及びその製造方法
WO2004068206A1 (ja) 光導波路および光送受信モジュール
KR100485888B1 (ko) 단일 입출력 단자를 구비한 평면 광도파로 소자 모듈
CN117581136A (zh) 密集光子集成电路光学耦合
JP2007017520A (ja) 光合分波器及び光システム

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 17867307

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 3040880

Country of ref document: CA

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2017867307

Country of ref document: EP

Effective date: 20190607