JP2000147309A - ハイブリッド光導波装置 - Google Patents

ハイブリッド光導波装置

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JP2000147309A JP10326726A JP32672698A JP2000147309A JP 2000147309 A JP2000147309 A JP 2000147309A JP 10326726 A JP10326726 A JP 10326726A JP 32672698 A JP32672698 A JP 32672698A JP 2000147309 A JP2000147309 A JP 2000147309A
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optical
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ダック ギャリー
Yihao Cheng
チェン イハオ
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Fabricius Norbert
ファブリシウス ノルベルト
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明の課題は、モノリシック光導波チップ
をバルク光学系と組み合わせ、1つ以上の機能を提供す
ることである。 【解決手段】 モノリシック(プレーナ)光導波デバイ
スと、GRAINレンズ系とを有するハイブリッド光導
波装置において、前記モノリシック光導波デバイスは、
光透過性パスを有し、該パスは端部面へ延在しており、
前記GRAINレンズ系は、第1の端部面と第2の端部
面を有し、前記第1の端部面は、光学的に光ファイバと
結合しており、前記第2の端部面は、光学的に光伝送路
と、モノリシック光導波デバイスの端部面で結合してい
ることを提案する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、モノリシック光導
波デバイスへの、およびモノリシック光導波デバイスか
らの光の光学的結合のためのハイブリッド光導波装置に
関する。
【0002】
【従来の技術】サブストレートに露出されたウェーブガ
イドを有する光導波デバイスは公知である。典型的には
これらモノリシック光導波デバイスは種々の光電デバイ
ス(OED)を形成し、量子波IR検知器から光源まで
に分類される。サブストレートを通る放射波の結合は、
サブストレートが透明であるときOEDでも可能であ
る。
【0003】克服すべきさらに困難な一般的問題の1つ
は、多層の、一般的にはプレーナ構造体に、またはこの
構造体から光を効率的に入出射させることである。
【0004】米国特許5195150は、サブストレー
トに露出され、サブストレートを通った光の反射のため
のミラーを含むウェーブガイドへの光の結合に関するも
のであり、ウェーブガイドの反対側に配置されたサブス
トレート表面に集積された扁平コンベックスレンズを開
示している。この装置は、光ファイバから、光導波値プ
内のサブストレートへの光結合手段を提供する。この装
置は意図したとおり機能するが、製造にコストがかか
り、転用が困難である。
【0005】米国特許5447695には、光導波体を
光ファイバに接続するための簡素化された導波光ファイ
バ接続構造体が記載されている。
【0006】この導波光ファイバ接続構造体は光学的フ
ァイバと光導波サブストレートとファイバサブストレー
トを有し、前記光導波サブストレートはこれに形成され
た光導波体と、第1のガイド溝を有し、第1のガイド溝
は光導波体の1端部部分に隣接して形成されており、か
つ光ファイバを位置決めするためのものであり、ファイ
バサブストレートは第1のガイド溝に対して対向して配
置されており、かつ第1のガイド溝と共働して光ファイ
バを保持する。
【0007】米国特許569534には、容易に集積で
きるモノリシックフォトカプラが開示されている。SO
I構造体が、第1の絶縁層をシリコンサブストレートに
設けることにより形成される。半導体単結晶領域はさら
にトレンチ絶縁層によって別個の領域に分割される。発
光素子はこの半導体単結晶領域の一方に形成され、受光
素子は他方の半導体単結晶領域に形成される。発光素子
は、GaAsからなる発光ダイオード等をサブストレー
トに異方成長プロセスを使用して形成することにより得
られる。光導波体は、光学的に透明で、電気的に絶縁性
の例えばTiO(2)フィルムのような材料からなり、
発光素子と受光素子の各ペアに設けられる。
【0008】米国特許4455696には、光ファイバ
のコアを細いストライプに自己配向することが記載され
ており、この細いストライプは細いストライプ半導体レ
ーザーのアクティブ層にスポットを放射する。この発明
では、V溝が同じさブスとレートにエッチングされてお
り、ここでは細いストライプレーザーのためにエピタキ
シャル層が成長されている。
【0009】米国特許4933262には、集積光学素
子の製造方法が開示されており、この光学素子では中央
プレーナ領域が光学回路パスを含み、ラテラル領域がパ
スと配向された光ファイバ位置決め溝を含む。中央領域
およびラテラル領域を有するガラス領域にはマスク材料
がコーティングされている。フォトリソグラフ技術が、
マスク材料にパターン開口部を中央領域で設けるために
使用される。中央領域での形状は回路パスとパターン開
口部に相応し、ラテラル領域ではアライメント溝に相応
する。レジスト材料の層が中央領域のマスクの上に適用
され、ラテラル領域がエッチングされて溝を形成する。
レジスト材料の層は除去され、中央領域のゾーンは開口
部によりマスクに露出され、イオン交換プロセスを受け
てここに光学パスが形成される。光学パスはファイバ位
置決め溝と見当合わせされている。
【0010】多くのモノリシック光導波デバイスは大き
な光学系の要素にすぎないから、前記特許の一般的に共
通の目的がある。すなわち、光をモノリシック光導波構
造体に入力結合し、これから出力結合することである。
これら特許のいくつかは他の側面に関するものである
が、光を不所望の損失なしでモノリシック光導波構造体
に効率的に入力結合およびこれから出力結合し、さらに
具体的には平坦なまたはほの平坦な光導波チップに光フ
ァイバを形成することを目的とする。
【0011】最近、光を光ファイバと光導波チップとの
間で結合することに関連する多くの技術は、光ファイバ
端部面と光導波チップの端部または側面とを直接結合す
る度合いを高めることにより解決手段を求めようとす
る。V溝と種々の他の手段が、ファイバ端部面を光導波
チップの面に物理的に結合することを支援するために使
用されている。しかしこれらの方法はコストがかかり、
また適用が困難である。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、モノ
リシック光導波チップをバルク光学系と組み合わせ、1
つ以上の機能を提供することである。
【0013】これまで、公知のフィルタリング、絶縁、
または循環の機能をモノリシックプレーナ光導波チップ
に設けることは、不可能ではないにしても非常に困難で
ある。
【0014】
【課題を解決するための手段】この課題は本発明により
冒頭に述べたハイブリッド光導波装置において、前記モ
ノリシック光導波デバイスは、光透過性パスを有し、該
パスは端部面へ延在しており、前記GRAINレンズ系
は、第1の端部面と第2の端部面を有し、前記第1の端
部面は、光学的に光ファイバと結合しており、前記第2
の端部面は、光学的に光伝送路と、モノリシック光導波
デバイスの端部面で結合している、ように構成して解決
される。
【0015】
【発明の実施の形態】本発明によれば、ハイブリッドモ
ジュールが設けられ、このモジュールがプレーナ光導波
体をバルク光学系と組み合わせて使用し、バルク光学系
はシングルパッケージに設けられている。
【0016】有利には、温度安定化がバルク光学系要素
をプレーナ光導波体と結合することによりより簡単に実
現される。
【0017】本発明により、バルク光学系要素と少なく
とも1つの光導波チップの両方に基づく新たなハイブリ
ッドデバイスが得られ、機能的に非常に有益である。
【0018】さらに本発明により、光を1つ以上のファ
イバおよび光導波チップ間で効率的に結合できる装置お
よび方法が得られる。
【0019】さらに本発明により、モノリシック光導波
体内で一方向から反対の多方向へ効率的に光を導く手段
が得られる。
【0020】さらに本発明により、モノリシック光導波
体内の第1の層で第1の方向から実質的に反対方向の層
へGRINレンズを使用して効率的に光を導く手段が得
られる。
【0021】本発明によれば、ハイブリッド光案内装置
が得られ、この装置はモノリシック(プレーナ)光導波
デバイスと、第1のGRINレンズ系とを有し、前記モ
ノリシック光導波デバイスはその一端部面延在する光透
過パスを有し、前記第1のGRINレンズ系は第1の端
部面を有し、この端部面は光学的に光伝送パスとモノリ
シック光導波デバイスの端部面で結合されており、前記
第1のGRINレンズ系は第1および第2の光伝送パス
の一方からの光を受信するためのものであり、高反射性
の第2の端部面を後方への反射のために有し、当該反射
は第1および第2のパスの他方に沿って行われ、光導波
体に向かう光の方向で第1および第2のパスの1つに沿
って反転させるものである。
【0022】有利には本発明は、光ファイバからプレー
ナ光導波デバイスへの安価で単純な光結合方法を提供す
る。このプレーナ光導波デバイスは光透過性光導波体パ
スを有する。さらに本発明は、所定の機能をプレーナ光
導波デバイスに複雑に組み込む必要性を回避する。これ
は、バルク光学要素の機能をプレーナ光導波チップ技術
と組み合わせることによるものである。
【0023】
【実施例】以下では、用語”GRIN(グレーデッドイ
ンデックス、graded index)”レンズシステムとは、1
つのGRINレンズまたは光学的に結合することのでき
る複数のGRINレンズから成るレンズシステムのこと
であるとし、それらの間に他の光学素子が設けられてい
るものである。
【0024】従来技術である図1を参照すると、アメリ
カ合衆国特許 5,195,150 に開示されている構造によれ
ば、ビーム方向に対し垂直であるかまたは傾斜させるこ
とのできる端面をもつ光ファイバを、基板23上に取り
付けることができる。この場合、第2の基板23の凹部
25にレンズが設けられている。凹部25の深さ26
は、基板1のレンズ4と第2の基板23のレンズを配置
させるのに十分な大きさに選定されている。
【0025】これに対し本発明による構成を示す図2に
は、第1の光ファイバ110aから到来する光をモノリ
シック光導波チップ120へ結合する手段が描かれてお
り、光導波チップにはたとえばスプリッタが設けられて
いる。この光導波チップはその中に形成された付加的な
機能素子を有し、それらはブロック130,32で表さ
れており、検出器等なんらかの集積光学コンポーネント
とすることができる。
【0026】本発明によれば、光ファイバ110aから
到来する光を光導波チップ120へ結合するため、実質
的にクォーターピッチのグレーデッドインデックス(G
RIN)レンズ112aのペアが用いられる。集積光導
波技術によるバルクの光学系のこのような独特の組み合
わせによって、ある媒体から別の媒体への光の結合につ
いて低コストで効果的な手段が得られる。
【0027】図3を参照すると、この図には集積光学コ
ンポーネント130,132を有するモノリシック光導
波チップ125の新規な配置構成が示されており、この
場合、入射光は、背中合わせに配置された実質的にクォ
ーターピッチのGRINレンズ112a(あるいは択一
的にハーフピッチのレンズ)を介してディバイスへ投射
される。ディバイス125の他方の端部では、クォータ
ーピッチのGRINレンズ112aは実質的に反射性の
端部113を成すコーティングを有しており、これによ
ればそこに入射する光の5%しか通過させない。そして
この他方の端部のGRINレンズ112aは、光導波チ
ップ125中を矢印140aの方向に伝播する入射光を
反射して戻す手段として設けられており、このため光は
矢印140bにより示された逆方向で入射光に対し実質
的に平行に伝播することになる。この機能をモノリシッ
ク光導波チップ内部で実現するのは極端に難しい。好都
合なことにGRINレンズ112aは、光導波チップか
ら光を出力結合させかつ光導波チップ端部へ入力結合さ
せる手段として用いられ、しかもこの事例では平行な経
路に沿って光ビームの方向を反転させる機能も提供して
いる。GRINレンズ112aの反射性端面を通して漏
れる5%の光は、光の経路中に(図示されていない)検
出器を配置することでモニタタップとして用いられる。
この配置構成は、ある光導波層から別の光導波層へ光を
配向するためにも有用であって、その場合、GRINレ
ンズ112aはディバイス125の内部において、少な
くとも1つのクラッディング層を有し間隔をおいて配置
された2つの透光層の間にまたがって配置される。
【0028】ブロック130と132はディバイス12
5内に形成された回路から成り、それらはそこを通り抜
ける光に応答して動作する。これまでは、図1の従来技
術に示されているように光導波チップ内でレンズやミラ
ーを設計しても、光ファイバからモノリシック光導波チ
ップへ光を入力したり、光導波チップ内で光の方向を変
えたり、あるいは多層光導波チップ内である光導波層か
ら別の光導波層へビームを選択的にルーティングしたり
するのは困難であった。
【0029】背中合わせに配置された2つのGRINレ
ンズの間に光学フィルタを配置することは周知である。
しかしながらこのような周知のレンズ配置を、バルクの
光学系およびモノリシック光導波チップと組み合わせる
ことでそれらの組み合わせに依存した機能を達成するこ
とは新規である。
【0030】図4には本発明の択一的な実施形態が示さ
れている。これによれば背中合わせに配置されたGRI
Nレンズの間にバンドパス光学フィルタ160が配置さ
れており、この場合、レンズはモノリシック光導波体中
へ光を結合するために用いられる。このフィルタは、λ
1の波長を中心にセンタリングされた光の波長を通過さ
せることができる一方、λ2およびλ3という他の波長
は反射させる。
【0031】通信用に設計された光回路の場合である
と、あるチャネルまたはすべてのチャネルから何らかの
信号光を取り出す必要のあることが多く、その目的とい
えば信号強度の監視や検証あるいは単に1つまたは複数
の信号の存在の監視や検証である。図5には8:1のマ
ルチプレクサの動作説明図が描かれており、この場合、
各入射口付近にタップが設けられており、さらにただ1
つの出力口のところに1つのタップが設けられている。
信号が組み合わせられるすべての分岐点210,21
2,214,216,218,220,222において
何らかのエネルギー損失が存在し、そこにおいて信号は
減衰する。しかも、光が出力結合される各タップ20
0,...207および224において、何らかの望ま
しくない信号損失が発生する。
【0032】図6には、製造コストが僅かであり不所望
な信号損失の低減されるように構成された本発明の1つ
の実施形態が示されている。これによればモノリシック
光導波チップ310は、8つの入力信号(またはチャネ
ル)と結合され、ディバイス内でそれらの信号を多重化
して1つの信号出力光導波体へ送出するように設計され
ている。ダイクロイックフィルタ素子325が間に設け
られ背中合わせに配置されたGRINレンズ320bお
よび320aがディバイス310に結合されており、こ
の場合、GRINレンズ320bの入射端に光学的に結
合された入射ファイバが、モノリシック光導波体のエッ
ジにおいて相応の入射光導波体内部で光学的に整列され
るように構成されている。フィルタ325は、そこに入
射してくる波長λ1〜λ8の光エネルギーの95%を通
過させ、レンズ320bの入射端面における取り出し口
へ向けて5%の光を反射するように設計されている。図
示されている1つまたは複数のファイバチューブは、フ
ァイバをGRINレンズ320bへ物理的に結合するた
めに用いることができる。
【0033】選択的な構成として図6に示されているよ
うに、入射光の5%を元の向きへ反射し95%の光を出
射口へ向けて通過させるフィルタ素子325が間に結合
され背中合わせに配置されたGRINレンズ320aお
よび320bの第2のペアが設けられており、この場
合、5%の反射光は1つの光導波体を経由して入射端部
へルーティングされるように案内される。
【0034】なお、本発明の趣旨や枠を逸脱することな
くその他数多くの実施形態が考えられることはいうまで
もない。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来技術を示す図である。
【図2】光ファイバから到来する光をモノリシック光導
波チップへ結合する構成を示す図である。
【図3】集積光学コンポーネントを含むモノリシック光
導波チップの新規な配置構成を示す図である。
【図4】背中合わせに配置されたGRINレンズの間に
バンドパス光学フィルタ160が結合された本発明の1
つの実施形態を示す図である。
【図5】8:1のマルチプレクサの動作説明図である。
【図6】所望な信号損失の低減されるように構成された
本発明の1つの実施形態を示す図である。
【符号の説明】
110a 光ファイバ 112a,320a,32b グレーデッドインデック
スレンズ 120,125 モノリシック光導波チップ 130,132 集積光学コンポーネント
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 597175606 570 West Hunt Club R oad,Nepean,Ontario, Canada K2G5W8 (71)出願人 598158624 イー オー テー インテグリールテ オ プティーク ゲゼルシャフト ミット ベ シュレンクテル ハフツング ウント コ ンパニー コマンディートゲゼルシャフト ドイツ連邦共和国 ヴァークホイゼル−キ ルラッハ ブルフザーラー シュトラーセ 22 (72)発明者 ギャリー ダック カナダ国 オンタリオ ネピアン バーチ ャム クレセント 6 (72)発明者 イハオ チェン カナダ国 オンタリオ カナタ メドウブ リーズ ドライヴ 36 (72)発明者 ヤン インゲンホフ ドイツ連邦共和国 エッペルハイム ゲオ ルク−フリードリッヒ−ヘンデル−シュト ラーセ 1 (72)発明者 ノルベルト ファブリシウス ドイツ連邦共和国 ホッケンハイム コル ピングシュトラーセ 3 Fターム(参考) 2H037 BA24 CA16 CA21 2H047 KA12 LA12 MA03 MA05

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 モノリシック(プレーナ)光導波デバイ
    スと、GRAINレンズ系とを有するハイブリッド光導
    波装置において、 前記モノリシック光導波デバイスは、光透過性パスを有
    し、該パスは端部面へ延在しており、 前記GRAINレンズ系は、第1の端部面と第2の端部
    面を有し、 前記第1の端部面は、光学的に光ファイバと結合してお
    り、 前記第2の端部面は、光学的に光伝送路と、モノリシッ
    ク光導波デバイスの端部面で結合している、ことを特徴
    とするハイブリッド光導波装置。
  2. 【請求項2】 前記モノリシック光導波デバイスはプレ
    ーナ形である、請求項1記載のハイブリッド光導波装
    置。
  3. 【請求項3】 前記モノリシック光導波デバイスは複数
    の領域を有し、 当該領域は第1の領域と第2の領域を含み、 前記第1の領域は光透過パスを定め、 前記第2の領域は、前記第1の領域よりも大きいな反射
    係数を有しており、前記光透過パスへ放射されるビーム
    を制限する、請求項2記載のハイブリッド光導波装置。
  4. 【請求項4】 モノリシック光導波デバイスは少なくと
    も2つの光透過性パスを有し、 当該パスは所定の間隔d1により光導波体の端部面で分
    離されており、 GRAINレンズ系は前記d1よりも大きいな直径を有
    する、請求項1記載のハイブリッド光導波装置。
  5. 【請求項5】 GRAINレンズ系の第2の端部面は2
    つの光伝送パスと結合しており、 各パスは、GRINレンズ系の光軸から実質的に同じ間
    隔を有する、請求項4記載のハイブリッド光導波装置。
  6. 【請求項6】 GRINレンズ系の第1の端部面は光学
    的に少なくとも2つの光ファイバと結合されている、請
    求項5記載のハイブリッド光導波装置。
  7. 【請求項7】 前記少なくとも2つの光ファイバは光学
    的に少なくとも2つの光伝送パスと結合されている、請
    求項6記載のハイブリッド光導波装置。
  8. 【請求項8】 GRINレンズ系は、2つの背中合わせ
    は位置されたGRINレンズを有する、請求項3記載の
    ハイブリッド光導波装置。
  9. 【請求項9】 モノリシック(プレーナ)光導波デバイ
    スと、第1のGRINレンズ系とを有するハイブリッド
    光導波装置において、 前記モノリシック光導波デバイスは、第1と第2の光伝
    送パスを有し、 当該光伝送パスは間隔d1によって分離されており、導
    波体の端部面まで延在しており、 前記第1のGRINレンズ系は第1の端部面と第2の端
    部面を有し、 該第1の端部面は光伝送パスとモノリシック導波デバイ
    スの端部面で結合されており、 前記第1のGRINレンズ系は、前記第1および第2の
    光伝送パスの一方からの光を受信し、 前記第2の端部面は高反射性であり、前記第1および第
    2の光伝送パスの他方に沿って逆方向に反射し、逆方向
    に光を導波体へ第1および第2の光伝送パスの1つに沿
    って供給する、ことを特徴とするハイブリッド光導波装
    置。
  10. 【請求項10】 第2のGRINレンズ系が第1の端部
    面と第2の端部面を有し、 前記第1の端部面は光学的に光ファイバと結合されてお
    り、 前記第2の端部面は光伝送パスと、モノリシック光導波
    デバイスの端部面で光学的に結合されている、請求項9
    記載のハイブリッド光導波装置。
  11. 【請求項11】 前記第2のGRINレンズは、前記第
    1のGRINレンズ系とは異なる端部面でモノリシック
    光導波デバイスと結合している、請求項10記載のハイ
    ブリッド光導波装置。
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