WO2018069976A1 - ターゲット供給装置 - Google Patents

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WO2018069976A1
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nozzle
target
unit
supply device
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真生 中野
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ギガフォトン株式会社
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    • G—PHYSICS
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    • H05G2/003—Production of X-ray radiation generated from plasma the plasma being generated from a material in a liquid or gas state
    • H05G2/006—Production of X-ray radiation generated from plasma the plasma being generated from a material in a liquid or gas state details of the ejection system, e.g. constructional details of the nozzle

Definitions

  • This disclosure relates to a target supply device.
  • an LPP Laser Produced Plasma
  • DPP discharge Produced Plasma
  • a target supply device includes a nozzle that outputs a target, a plurality of vibrators including a first vibrator that vibrates the nozzle, and a detection unit that detects a change in the state of the target output from the nozzle. And a vibrator switching unit that switches the vibrator that vibrates the nozzle from the first vibrator to another vibrator different from the first vibrator included in the plurality of vibrators, and the output from the nozzle detected by the detection unit. And a control unit that controls switching of a vibrator that vibrates the nozzle based on a change in the state of the target.
  • a target supply device includes a nozzle that outputs a target, a plurality of vibrators including a second vibrator that vibrates the nozzle, and a third vibrator that detects vibration of the nozzle, A detection signal representing vibration is output, and the detection unit including the third vibrator and the vibrator that vibrates the nozzle are transferred from the second vibrator to another vibrator different from the second vibrator included in the plurality of vibrators.
  • the target supply device includes a transducer switching unit that switches and a control unit that controls switching of a transducer that vibrates a nozzle based on a detection signal output from the detection unit.
  • a target supply device includes a nozzle that outputs a target, a plurality of vibrators including a fourth vibrator that vibrates the nozzle, a detection signal that detects the vibration of the nozzle and represents the vibration of the nozzle. Output from the fourth vibrator, a vibrator switching section that switches the vibrator from the fourth vibrator to another vibrator different from the fourth vibrator included in the plurality of vibrators, and the detector. And a control unit that controls switching of the vibrator that vibrates the nozzle based on the detection signal.
  • a target supply device includes a nozzle that outputs a target, a plurality of vibrators including a fifth vibrator that vibrates the nozzle, and a vibration frequency measurement unit that measures the vibration frequency of the fifth vibrator. Or a detection unit including at least one of a vibration period measurement unit that measures a vibration period of the fifth vibrator, and a vibrator that vibrates the nozzle from the fifth vibrator to the fifth vibrator included in the plurality of vibrators.
  • the vibrator that vibrates the nozzle is changed to another vibrator different from the fifth vibrator by the vibrator switching unit.
  • switching A control unit, a target supply device provided with a When the number of vibrations of the fifth vibrator measured by the vibration frequency measurement unit reaches a specified value of the predetermined vibration frequency, or by the vibration period measurement unit, the vibrator that vibrates the nozzle is changed to another vibrator different from the fifth vibrator by the vibrator switching unit.
  • FIG. 1 is a diagram schematically showing a configuration of an exemplary LPP type EUV light generation system.
  • FIG. 2 is a partial cross-sectional view showing a configuration of an EUV light generation system applicable to the embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration example of the target position measurement sensor illustrated in FIG. 2 and a configuration example of the target image measurement sensor.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating an example of an image captured by the first imaging device illustrated in FIG.
  • FIG. 5 is a diagram illustrating an example of an image captured by the second imaging device illustrated in FIG.
  • FIG. 6 is a diagram illustrating an example of an image captured by the third imaging device illustrated in FIG.
  • FIG. 7 is a block diagram schematically showing the configuration of the EUV light generation system according to the first embodiment.
  • FIG. 8 is a flowchart showing a procedure of a vibrator switching method applied to the EUV light generation system according to the first embodiment.
  • FIG. 9 is a block diagram schematically showing a configuration of an EUV light generation system according to the second embodiment.
  • FIG. 10 is a diagram illustrating an example of a voltage waveform of an electromotive force generated by the vibrator used as the vibration sensor illustrated in FIG.
  • FIG. 11 is a flowchart showing a procedure of a transducer switching method applied to the EUV light generation system supply apparatus according to the second embodiment.
  • FIG. 12 is a block diagram schematically showing a configuration of an EUV light generation system according to the third embodiment.
  • FIG. 13 is a flowchart showing a procedure of a vibrator switching method applied to the EUV light generation system according to the third embodiment.
  • FIG. 14 is a block diagram schematically showing a configuration of an EUV light generation system according to the fourth embodiment.
  • FIG. 15 is a flowchart showing a procedure of a first example of a vibrator switching method applied to the EUV light generation system according to the fourth embodiment.
  • FIG. 16 is a flowchart showing the procedure of a second example of the vibrator switching method applied to the EUV light generation system according to the fourth embodiment.
  • FIG. 1 schematically shows a configuration of an exemplary LPP type EUV light generation system.
  • the EUV light generation apparatus 1 may be used with at least one laser apparatus 3.
  • a system including the EUV light generation apparatus 1 and the laser apparatus 3 is referred to as an EUV light generation system 11.
  • the EUV light generation apparatus 1 includes a chamber 2 and a target supply unit 26.
  • the chamber 2 is a container that can be sealed.
  • the target supply unit 26 is configured to supply a target material into the chamber 2, and is attached so as to penetrate the wall of the chamber 2, for example.
  • the material of the target substance output from the target supply unit 26 may include, but is not limited to, tin, terbium, gadolinium, lithium, xenon, or a combination of any two or more thereof.
  • the wall of the chamber 2 is provided with at least one through hole.
  • the through hole is closed by the window 21, and the pulse laser beam 32 output from the laser device 3 is transmitted through the window 21.
  • an EUV collector mirror 23 having a spheroidal reflecting surface is disposed.
  • the EUV collector mirror 23 has first and second focal points.
  • the EUV collector mirror 23 may be disposed, for example, such that the first focal point thereof is located in the plasma generation region 25 and the second focal point thereof is located in an intermediate focusing point (IF) 292.
  • IF intermediate focusing point
  • a through hole 24 is provided at the center of the EUV collector mirror 23, and the pulse laser beam 33 passes through the through hole 24.
  • the EUV light generation apparatus 1 includes an EUV light generation controller 5, a target sensor 4, and the like.
  • the target sensor 4 is configured to detect one or more of the presence, trajectory, position, and speed of the target 27.
  • the target sensor 4 may have an imaging function.
  • the EUV light generation apparatus 1 includes a connection portion 29 that allows communication between the inside of the chamber 2 and the inside of the exposure apparatus 6. Inside the connecting portion 29, a wall 291 having an aperture 293 is provided. The wall 291 is arranged such that its aperture 293 is located at the second focal position of the EUV collector mirror 23.
  • the EUV light generation apparatus 1 includes a laser light transmission device 34, a laser light focusing mirror 22, a target recovery unit 28 for recovering the target 27, and the like.
  • the laser light transmission device 34 includes an optical element for defining the transmission state of the laser light and an actuator for adjusting the position, posture, and the like of the optical element.
  • the pulsed laser beam 31 output from the laser device 3 passes through the window 21 as the pulsed laser beam 32 through the laser beam transmission device 34 and enters the chamber 2.
  • the pulsed laser light 32 travels in the chamber 2 along at least one laser light path, is reflected by the laser light focusing mirror 22, and is irradiated onto at least one target 27 as pulsed laser light 33.
  • the target supply unit 26 is configured to output a target 27 formed of the target material toward the plasma generation region 25 inside the chamber 2.
  • the target 27 is irradiated with at least one pulse included in the pulse laser beam 33.
  • the target 27 irradiated with the pulse laser beam is turned into plasma, and radiation light 251 is emitted from the plasma.
  • the EUV light 252 included in the radiation light 251 is selectively reflected by the EUV collector mirror 23.
  • the EUV light 252 reflected by the EUV collector mirror 23 is condensed at the intermediate condensing point 292 and output to the exposure device 6.
  • a single target 27 may be irradiated with a plurality of pulses included in the pulse laser beam 33.
  • the EUV light generation controller 5 is configured to control the entire EUV light generation system 11.
  • the EUV light generation controller 5 is configured to process the detection result of the target sensor 4. Based on the detection result of the target sensor 4, the EUV light generation controller 5 is configured to control, for example, the oscillation timing of the laser device 3, the irradiation direction of the pulse laser light 32, the focusing position of the pulse laser light 33, and the like. Also good.
  • the various controls described above are merely examples, and other controls may be added as necessary.
  • Target is an object to be irradiated with laser light introduced into a chamber.
  • the “target supply unit” is a device for supplying a target material such as molten tin used for generating EUV light into the chamber in the form of droplets.
  • Droplet is a form of the target substance output to the inside of the chamber.
  • the target supply unit includes a vibrator that vibrates the nozzle. By supplying an electrical signal having a frequency corresponding to the cycle for generating the target to the vibrator, the target supply unit outputs a target in the form of a uniform droplet from the nozzle.
  • an electrical signal supplied to the vibrator may be described as a drive voltage.
  • the target supply unit has only one vibrator to be driven, if the vibrator fails, the vibrator does not operate normally. As a result, it becomes difficult for the target supply unit to generate a target in the form of a uniform droplet.
  • the part has a lifetime.
  • FIG. 2 is a partial cross-sectional view illustrating a configuration of an EUV light generation system applicable to the embodiment of the present disclosure.
  • the chamber 2 shown in FIG. 2 includes a laser focusing optical system 22a, an EUV focusing mirror holder 81, an EUV focusing mirror holder holding plate 82, and a target recovery unit 28.
  • the laser condensing optical system 22a includes a high reflection off-axis paraboloid mirror 221, a high reflection flat mirror 222, a laser condensing optical system holding plate 83, and a stage 84 that can move in the X, Y, and Z directions. And.
  • the laser condensing optical system 22 a is arranged so that the condensing position of the laser condensing optical system 22 a coincides with the plasma generation region 25.
  • “Match” may include a “substantial match” that may be considered to be a match although it is strictly different.
  • the high reflection off-axis parabolic mirror 221 is supported by the first holder 223.
  • the high reflection flat mirror 222 is supported by the second holder 224.
  • the target recovery unit 28 is disposed on an extension line of the trajectory of the target 27. The target recovery unit 28 recovers the target material that has passed through the plasma generation region 25.
  • the laser beam transmission device 34 shown in FIG. 2 includes a first high reflection mirror 34a and a second high reflection mirror 34b.
  • the pulse laser beam 31 emitted from the laser device 3 is incident on the first high reflection mirror 34a.
  • the pulse laser beam 32 reflected by the first high reflection mirror 34a is incident on the second high reflection mirror 34b.
  • the pulse laser beam 32 reflected by the second high reflection mirror 34b is introduced into the chamber 2 through the first window 21a.
  • the first window 21a shown in FIG. 2 corresponds to the window 21 shown in FIG.
  • the target supply unit 26 illustrated in FIG. 2 includes a tank unit 260, a nozzle member 266, a pressure regulator 120, a heater 141, a first vibrator 111a, a second vibrator 111b, a piezo power source 112, Stage 114.
  • tin that is the target material 271 is stored.
  • the material of the tank part 260 may be a material having low reactivity with tin. Molybdenum may be applied as the material of the tank part 260.
  • the nozzle member 266 has a nozzle hole 267 having a diameter of 3 to 6 micrometers.
  • the material of the nozzle member 266 may be a material having low reactivity with tin. Molybdenum may be applied as the material of the nozzle member 266.
  • the target supply unit 26 may include a nozzle holder for fixing the nozzle member 266 to the bottom of the tank unit 260. The illustration of the nozzle holder is omitted.
  • the material of the nozzle holder may be a material having low reactivity with tin. Molybdenum may be applied as the material of the nozzle holder.
  • a surface seal may be provided between the nozzle member 266 and a nozzle holder (not shown). A surface seal may be provided between the tank portion 260 and the nozzle member 266.
  • the pressure regulator 120 is connected to an inert gas cylinder.
  • the cylinder is not shown. Argon may be applied as the inert gas.
  • the gas piping between the cylinder and the pressure regulator 120 is provided with a valve that can be controlled by the pressure regulator 120. Illustration of gas piping and valves is omitted.
  • the pressure regulator 120 communicates with the inside of the tank unit 260 through the introduction pipe 131.
  • the pressure regulator 120 may introduce an inert gas supplied from a cylinder (not shown) through the introduction pipe 131 into the tank unit 260.
  • the heater 141 is electrically connected to the heater power supply.
  • the heater power supply is connected to the temperature controller so as to be able to transmit electrical signals.
  • the heater power supply and temperature controller are not shown.
  • the heater power supply may supply power to the heater according to control from the temperature controller.
  • the heater 141 is disposed so as to heat the target material 271 inside the tank unit 260.
  • the heater 141 may be disposed on the outer surface of the tank unit 260.
  • a temperature sensor is attached to either the tank unit 260 or a nozzle holder (not shown). The illustration of the temperature sensor is omitted. A temperature sensor may be arrange
  • the temperature sensor is connected to the temperature controller via an introduction terminal provided on the partition wall of the chamber 2 so as to be able to transmit electric signals.
  • the introduction terminal is not shown.
  • the introduction terminal may maintain the airtightness of the chamber 2 and electrically insulate the electrical connection line between the temperature sensor and the temperature controller from the chamber 2.
  • the piezo power source 112 is connected to the EUV light generation controller 5 so as to be able to transmit electrical signals.
  • the piezo power supply 112 is electrically connected to the electrode of the first vibrator 111a and the electrode of the second vibrator 111b via an introduction terminal provided on the partition wall of the chamber 2. Illustration of the electrode of the first vibrator 111a, the electrode of the second vibrator 111b, and the introduction terminal is omitted.
  • the introduction terminal may maintain the airtightness of the chamber 2 and electrically insulate the electrical connection line between the piezoelectric power source 112 and the electrode of the first vibrator 111a and the electrode of the second vibrator 111b from the chamber 2.
  • the first vibrator 111a and the second vibrator 111b may be provided on the side surface of the nozzle member 266.
  • the first vibrator 111a and the second vibrator 111b may be arranged so as to have a line-symmetric relationship with respect to an axis passing through the center of the nozzle hole 267.
  • Piezo elements may be applied to the first vibrator 111a and the second vibrator 111b.
  • the piezo element may be a piezoelectric member that vibrates in response to an external electric signal.
  • the piezoelectric element may be a piezoelectric element using lead zirconate titanate.
  • the pressure regulator 120 and the temperature controller are connected to the EUV light generation controller 5 so as to be able to transmit electrical signals.
  • the pressure regulator 120 and the temperature controller operate according to the control of the EUV light generation controller 5.
  • the inside of the tank part 260 may communicate with the nozzle hole 267 via a target flow path provided at the bottom of the tank part 260.
  • the target flow path may include a filter for filtering the target material 271 that circulates. Illustration of the target channel and the filter is omitted.
  • the stage 114 is disposed at a position where the tank part 260 and the nozzle member 266 can be moved in a plane parallel to the XZ plane.
  • the stage 114 is connected to the EUV light generation controller 5 so as to be able to transmit electrical signals.
  • the stage 114 moves the positions of the tank part 260 and the nozzle member 266 with respect to the position of the chamber 2 in a plane parallel to the XZ plane in accordance with the control of the EUV light generation controller 5.
  • the EUV light generation apparatus 1 shown in FIG. 2 includes a timing sensor 4a.
  • the timing sensor 4 a is disposed at a position where it is detected that the target 27 has passed at the detection position P before the target 27 reaches the plasma generation region 25.
  • the timing sensor 4a outputs a passage timing signal indicating the timing at which the target 27 has passed the detection position P.
  • the timing sensor 4 a includes an illumination unit 200 and a light receiving unit 202.
  • the illumination unit 200 and the light receiving unit 202 are arranged on both sides of the passing region of the target 27 with the trajectory of the target 27 interposed therebetween.
  • the illumination unit 200 includes a light source 204 and an illumination optical system 206.
  • the illumination unit 200 is disposed at a position where illumination light can be irradiated to the inside of the chamber 2 via the second window 21 b provided in the partition wall of the chamber 2.
  • the illumination light emitted from the light source 204 is applied to the trajectory of the target 27 through the illumination optical system 206 and the second window 21b.
  • the light receiving unit 202 includes a light receiving optical system 208 and an optical sensor 210.
  • the light receiving unit 202 is disposed at a position where the illumination light emitted from the illumination unit 200 is possible via the third window 21c.
  • the illumination light that has entered through the third window 21 c reaches the optical sensor 210 through the light receiving optical system 208.
  • the optical sensor 210 outputs a detection signal of the target 27 according to the amount of received illumination light.
  • the timing sensor 4a is connected to the EUV light generation controller 5 so as to be able to transmit electrical signals.
  • the timing sensor 4 a is a detection signal output from the optical sensor 210, and outputs a detection signal representing the timing at which the target 27 has passed the detection position P to the EUV light generation controller 5.
  • the target position measurement sensor 4b shown in FIG. The position of the trajectory of the target 27 that has passed the detection position P of the target position measurement sensor 4b may be detected.
  • the target image measurement sensor 4c may be arranged toward the plasma generation region 25.
  • the target image measurement sensor 4c may acquire an image of the target 27 that has passed the detection position P.
  • the target position measurement sensor 4b and the target image measurement sensor 4c are connected to the EUV light generation controller 5 so as to be able to transmit electrical signals.
  • the target position measurement sensor 4 b may output a detection signal indicating the position of the trajectory of the target 27 to the EUV light generation controller 5.
  • the target image measurement sensor 4 c may output a detection signal representing the image of the target 27 to the EUV light generation controller 5.
  • the target position measurement sensor 4b may include a second illumination unit and an imaging device such as a CCD camera. In FIG. 2, the second illumination unit and the imaging device are not shown.
  • the second illumination unit is illustrated with reference numeral 280 in FIG.
  • the imaging device is shown in FIG. 3 with reference numerals 282 and 284.
  • the target position measurement sensor 4b shown in FIG. 2 captures a reflected image of illumination light from the target 27.
  • a plurality of imaging devices may be provided, and each of the plurality of imaging devices may capture images of the target 27 from different directions and acquire images having different imaging directions.
  • the position of the target 27 in a predetermined plane can be calculated from images taken from different directions.
  • the target position measurement sensor 4b may include a shutter for blocking plasma light.
  • the shutter is a detection signal output from the timing sensor 4a, and may be opened and closed by a gate signal delayed for a predetermined period with respect to the detection signal indicating the passing timing of the target 27.
  • the target image measurement sensor 4c may include a third illumination unit and an imaging device such as a CCD camera. In FIG. 2, the third illumination unit and the imaging device are not shown. The third illumination unit is illustrated with reference numeral 286 in FIG. The imaging device is illustrated in FIG.
  • the target image measurement sensor 4 c captures a transmission image of illumination light from the target 27.
  • a high-luminance light source such as a laser light source may be applied to the third illumination unit. By this.
  • the target image measurement sensor 4c can image the target 27 by relatively short exposure.
  • the target image measurement sensor 4c can capture an image with which the position of the target 27 can be specified at a certain time by relatively short exposure.
  • the target image measurement sensor 4c may include a shutter for blocking plasma light.
  • the shutter is a detection signal output from the timing sensor 4a, and may be opened and closed by a gate signal delayed for a predetermined period with respect to the detection signal indicating the passing timing of the target 27.
  • the target sensor 4 shown in FIG. 1 may include the timing sensor 4a, the target position measurement sensor 4b, and the target image measurement sensor 4c shown in FIG. Details of the target position measurement sensor 4b and the target image measurement sensor 4c will be described later.
  • the EUV light generation controller 5 executes the following operation when an output preparation signal of the target 27 is input from the exposure apparatus controller 6a of the exposure apparatus 6.
  • the EUV light generation controller 5 controls the temperature controller so that the target material 271 inside the tank unit 260 has a temperature equal to or higher than the melting point. In contrast to the control of the EUV light generation controller 5, the temperature controller drives the heater power supply so that the detection value of the temperature sensor is equal to or higher than a predetermined temperature.
  • the predetermined temperature may be a temperature equal to or higher than the melting point of tin when tin is applied as the target material 271.
  • the predetermined temperature may be 232 ° C. or higher with respect to 232 ° C., which is the melting point of tin.
  • the predetermined temperature may be a temperature range.
  • the temperature range may be 240 ° C. or higher and 290 ° C. or lower with respect to 232 ° C., which is the melting point of tin.
  • the EUV light generation controller 5 may determine whether or not the detection value of the temperature sensor maintains a temperature equal to or higher than a predetermined temperature for a predetermined period. When the predetermined temperature or higher is maintained for a predetermined period, the EUV light generation controller 5 may notify the exposure apparatus control unit 6a of the exposure apparatus 6 that the output preparation of the target 27 has been completed. The EUV light generation controller 5 may stand by until a signal requesting the output of the target 27 is input.
  • the EUV light generation controller 5 controls the pressure regulator 120 to increase the pressure inside the tank unit 260 to a predetermined pressure.
  • the predetermined pressure may be about 40 megapascals.
  • the EUV light generation controller 5 may control the pressure regulator 120 to maintain the internal pressure of the tank unit 260 at a predetermined pressure. In a state where the internal pressure of the tank portion 260 is maintained at a predetermined pressure, the jet of the target material 271 can be output from the nozzle hole 267.
  • the EUV light generation controller 5 controls the piezo power supply 112 so that the jet of the target material 271 output from the nozzle hole 267 changes to a droplet having a predetermined size and a predetermined cycle. Thereby, a driving voltage having a predetermined waveform may be applied from the piezoelectric power source 112 to the first vibrator 111a.
  • the vibration generated in the first vibrator 111a to which a drive voltage having a predetermined waveform is applied may be transmitted to the target material 271 via the nozzle holder, the nozzle member 266, and the tank portion 260. Thereby, the jet of the target material 271 may be divided, and the jet of the target material 271 may be changed into droplets having a predetermined size and a predetermined cycle.
  • the EUV light generation controller 5 may output, to the target position measurement sensor 4b and the target image measurement sensor 4c, a gate signal delayed by a predetermined period with respect to the detection signal output from the timing sensor 4a.
  • the target position measurement sensor 4b may image the plasma generation region 25 in accordance with the gate signal output from the EUV light generation controller 5 and output the image signal to the EUV light generation controller 5.
  • the EUV light generation controller 5 may calculate the position of the target 27 in the plasma generation region 25 using the imaging signal output from the target position measurement sensor 4b. For example, the EUV light generation controller 5 may calculate the coordinates of the target 27 in the coordinate system set in the plasma generation region 25.
  • the EUV light generation controller 5 may calculate the two-dimensional coordinates of the target 27. For example, the EUV light generation controller 5 may calculate coordinates on the XZ plane.
  • the EUV light generation controller 5 may operate the stage 114 of the target supply unit 26 so as to reduce the deviation between the target position of the target 27 and the detected target position.
  • the target image measurement sensor 4 c may image the plasma generation region 25 in accordance with the gate signal output from the EUV light generation controller 5 and output the image signal to the EUV light generation controller 5.
  • the EUV light generation controller 5 may calculate the position of the target 27 in the plasma generation region 25 using the image signal output from the target image measurement sensor 4c. For example. The EUV light generation controller 5 may calculate the coordinates of the target 27 in the coordinate system set in the plasma generation region 25. The EUV light generation controller 5 may calculate the position in the Y direction in the coordinate system set in the plasma generation region 25.
  • the EUV light generation controller 5 may add a delay period to the light emission trigger signal output to the laser device 3 so that the target position of the target 27 is irradiated with laser light according to the measured position of the target 27. .
  • FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration example of the target position measurement sensor illustrated in FIG. 2 and a configuration example of the target image measurement sensor.
  • the target position measurement sensor 4b illustrated in FIG. 3 includes a first illumination device 280, a first imaging device 282, and a second imaging device 284. Each of the first imaging device 282 and the second imaging device 284 may include an illumination device.
  • the first imaging device 282 shown in FIG. 3 is arranged at a position where the target 27 is imaged from the X direction.
  • the second imaging device 284 illustrated in FIG. 3 is disposed at a position where the target 27 is imaged from the Z direction.
  • the imaging direction of the first imaging device 282 is not limited to the X direction. Further, the imaging direction of the second imaging device 284 is not limited to the Z direction.
  • the imaging direction of the first imaging device 282 and the imaging direction of the second imaging device 284 may be different directions.
  • the imaging direction of the first imaging device 282 and the imaging direction of the second imaging device 284 may be orthogonal to each other.
  • the first illumination device 280 shown in FIG. 3 is arranged so that the reflected light of the target 27 is incident on the first imaging device 282 and the second imaging device 284.
  • the third imaging device 288 includes a second illumination device 286 and a third imaging device 288.
  • the second illumination device 286 may be a laser light source or a light source capable of emitting high-luminance illumination light such as a flash lamp.
  • the second illumination device 286 shown in FIG. 3 is arranged at a position facing the third imaging device 288 across the trajectory of the target 27.
  • the illumination light emitted from the second illumination device 286 and transmitted through the vicinity of the target 27 may be incident on the third imaging device 288.
  • the third imaging device 288 may acquire an image of the target 27 that blocks the illumination light emitted from the second illumination device 286.
  • the EUV light generation controller 5 outputs a gate signal to the first image pickup device 282 and the second image pickup device 284, and outputs the target 27 from each of the first image pickup device 282 and the second image pickup device 284. An image may be acquired.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating an example of an image captured by the first imaging device illustrated in FIG.
  • the captured image of the first imaging device 282 shown in FIG. 4 is an image obtained by projecting a plurality of targets 27 output continuously at a constant cycle onto the YZ plane.
  • the captured image of the first imaging device 282 shown in FIG. 4 can specify the position of the trajectory of the target 27 in the Z direction.
  • FIG. 5 is a diagram illustrating an example of an image captured by the second imaging device illustrated in FIG.
  • the captured image of the second imaging device 284 illustrated in FIG. 5 is an image obtained by projecting a plurality of targets 27 output continuously at a constant cycle onto the XY plane.
  • the captured image of the second imaging device 284 illustrated in FIG. 5 can specify the position of the trajectory of the target 27 in the X direction.
  • the period of the gate signal indicating the light receiving period of the third imaging device 288 may be relatively short. If the period of the gate signal representing the light receiving period of the third imaging device 288 is short, the light receiving period of the third imaging device 288 is shortened, so that the third imaging device 288 can capture a still image of the target 27.
  • FIG. 6 is a diagram illustrating an example of an image captured by the third imaging device illustrated in FIG. By capturing a still image of the target 27 shown in FIG. 6, it is possible to specify coordinates in the Y-axis direction of the target 27 that has reached the plasma generation region 25 at a certain time.
  • FIG. 7 is a block diagram schematically showing a configuration of an EUV light generation system according to the first embodiment.
  • the EUV light generation system 11a illustrated in FIG. 7 includes a target supply unit 26a, a controller 5a, a drive transducer switching device 300, a transducer drive device 302, and a target detection device 304.
  • the target supply unit 26a may include a first vibrator 111a, a second vibrator 111b, and a third vibrator 111c, which are three vibrators.
  • the electrodes (not shown) of the first vibrator 111a, the second vibrator 111b, and the third vibrator 111c are connected to the drive vibrator switching device 300 so that the drive voltage can be transmitted.
  • the drive vibrator switching device 300 is connected to the vibrator drive device 302 so that a drive voltage can be transmitted.
  • the drive vibrator switching device 300 and the vibrator drive device 302 are connected to the controller 5a so as to be able to transmit electrical signals.
  • the target detection device 304 is arranged at a position where the state of the target 27 output from the target supply unit 26a can be detected.
  • the target detection device 304 is connected to the controller 5a so as to be able to transmit electrical signals.
  • the target detection device 304 may apply the timing sensor 4a shown in FIG.
  • the target detection device 304 may apply the target image measurement sensor 4c shown in FIG.
  • EUV light generation controller 5 may be included in the EUV light generation controller 5 shown in FIG. 2 or provided separately from the EUV light generation controller 5, and the EUV light generation controller 5 may be included in the EUV light generation controller 5. And an electric signal may be transmitted.
  • the controller 5a may be configured to include one or a plurality of processors.
  • the controller 5a may include a memory associated with the processor.
  • the vibrator driving device 302 shown in FIG. 7 may include the piezo power source 112 shown in FIG.
  • the target supply unit 26a applied to the EUV light generation system 11a includes the number of m vibrators. m is an integer of 2 or more.
  • the controller 5a determines any one transducer from the m transducers as the first transducer to be driven.
  • the first vibrator is the first vibrator.
  • the vibrator to be driven is a vibrator that is supplied with a driving voltage to vibrate when the target 27 is generated.
  • the controller 5a selects a vibrator to be driven by the driving vibrator switching device 300.
  • the first selected transducer is the first transducer.
  • the first vibrator may be any vibrator among the m vibrators.
  • the controller 5a may output a selection signal representing the information of the first vibrator to the drive vibrator switching device 300.
  • the vibrator information may be an identification number of the vibrator.
  • the identification number of the vibrator may be an integer from 1 to m attached to each of the m vibrators.
  • the controller 5a supplies a drive voltage to the first vibrator to vibrate the first vibrator.
  • the controller 5a adjusts the drive parameter of the first vibrator so that the target 27 is coupled as a droplet having a specified performance, and determines the drive parameter of the first vibrator.
  • An example of a droplet having a prescribed performance is a combined droplet in which the passing frequency of the target 27 at a predetermined observation position passes at 100 kHz.
  • the passing frequency of the target 27 is calculated as the reciprocal of the interval of the passing timing of the target 27.
  • the drive parameter may be the amplitude of the voltage waveform of the drive voltage or the duty of the voltage waveform of the drive voltage.
  • the controller 5a applies the determined drive parameter to vibrate the first vibrator to generate the target 27.
  • the target detection device 304 detects the state of the target 27. Details of detection of the state of the target 27 will be described later.
  • the controller 5a determines whether or not the first vibrator has failed based on the detection result of the state of the target 27 output from the target detection device 304.
  • the failure of the vibrator means that the vibrator does not vibrate, the vibrator vibrates but the target 27 is not output, or the vibrator vibrates but the target 27 that satisfies the predetermined condition is not output.
  • a state may be included. Details of the vibrator failure determination will be described later.
  • the drive vibrator switching device 300 determines that the vibrator is another vibrator different from the first vibrator and drives an unused vibrator. To do. For example, the vibrator determined as the vibrator to be driven instead of the first vibrator is set as the second vibrator.
  • the controller 5a may follow the light emission stop permission command output from the exposure apparatus 6 shown in FIG. 2 when outputting the vibration for switching the vibrator to the drive vibrator switching device 300.
  • the controller 5a adjusts and determines the driving parameter of the second vibrator.
  • the controller 5a generates the target 27 by vibrating the second vibrator.
  • the target detection device 304 detects the state of the target 27.
  • the controller 5a determines whether or not the second vibrator has failed based on the detection result of the state of the target 27 output from the target detection device 304.
  • the controller 5a determines the vibrator that drives the n-th vibrator, which is an arbitrary unused vibrator, and, when selected, adjusts and determines the drive parameter of the n-th vibrator.
  • n is an integer of 1 to m.
  • the controller 5a generates the target 27 by vibrating the nth vibrator.
  • the target detection device 304 detects the state of the target 27. If the controller 5a determines that the nth transducer is defective based on the detection result of the state of the target 27 by the target detection device 304, the controller 5a determines and selects the transducer that drives the (n + 1) th transducer. .
  • the controller 5a When switching the vibrator to be driven from the nth vibrator to the (n + 1) th vibrator, the controller 5a vibrates the nth vibrator according to the light emission stop permission command output from the exposure apparatus 6 shown in FIG. May be stopped.
  • the controller 5a adjusts and determines the driving parameter of the (n + 1) th vibrator.
  • the controller 5a generates the target 27 by vibrating the (n + 1) th vibrator.
  • the target detection device 304 detects the state of the target 27.
  • the controller 5a determines that the vibrator to be driven has failed until each of the first to m-th vibrators has failed, the controller 5a selects the vibrator to be driven among the unused vibrators. Determine from and change.
  • the target detection device 304 shown in FIG. 7 may also be used as the timing sensor 4a shown in FIG. If the target detection device 304 shown in FIG. 7 is the timing sensor 4a shown in FIG. 2, the timing sensor 4a detects the interval of the passage timing of the target 27.
  • the controller 5a may determine that the vibrator to be driven is a failure when the distance between the targets 27 calculated from the interval of the passage timing of the target 27 is equal to or less than a predetermined value.
  • the distance between the targets 27 is calculated by multiplying the passing timing interval of the target 27 by the speed of the target 27.
  • the speed of the target 27 can be determined based on the output conditions of the target.
  • the distance between standard targets 27 is 1000 micrometers. If 3 ⁇ (99.73%), which is a variation in the distance between the targets 27, is less than 5 micrometers or more than minus 5 micrometers, the controller 5a may determine that the vibrator is normal.
  • the controller 5a may determine that the vibrator has failed. 5 micrometers is 0.5 percent of 1000 micrometers which is the distance between standard targets 27.
  • sampling period of the timing sensor 4a may be 0.1 seconds.
  • the number of samples may be 10,000.
  • the absolute value of the maximum value of the difference obtained by subtracting the distance between the targets 27 from the distance between the standard targets 27 or the absolute value of the minimum value of the difference is 0 of the distance between the standard targets 27. If it is less than 5%, the controller 5a may determine that the vibrator is normal.
  • the absolute value of the maximum difference obtained by subtracting the distance between the targets 27 from the distance between the standard targets 27 or the absolute value of the minimum difference is 0.5 percent of the distance between the standard targets 27. If so, the controller 5a may determine that the vibrator has failed.
  • Target Detection Device is Target Image Measurement Sensor
  • the target detection device 304 shown in FIG. 7 may also be used as the target image measurement sensor 4c shown in FIG.
  • the target detection device 304 shown in FIG. 7 is the target image measurement sensor 4c shown in FIG. 2
  • an index for determining the failure of the vibrator is obtained from the analysis result of the image captured by the target image measurement sensor 4c. It is good.
  • the distance between standard targets 27 is 1000 micrometers. If 3 ⁇ , which is a variation in the distance between the targets 27, is less than 5 micrometers or more than minus 5 micrometers, the controller 5a may determine that the vibrator is normal.
  • the controller 5a may determine that the vibrator has failed.
  • 5 micrometers is 0.5 percent of 1000 micrometers which is the distance between standard targets 27.
  • the diameter of the target 27 in the form of a droplet may be 20 micrometers.
  • the controller 5a may determine that the vibrator is normal. If the absolute value of the value obtained by subtracting the distance between the targets 27 from the distance between the standard targets 27 is 0.5% or more of the distance between the standard targets 27, the controller 5a It may be determined that
  • FIG. 8 is a flowchart showing the procedure of the vibrator switching method applied to the EUV light generation system according to the first embodiment.
  • the controller 5a illustrated in FIG. 7 determines the vibrator that drives the nth vibrator among the m vibrators provided in the target supply unit 26a, and starts the vibration of the nth vibrator.
  • step S10 of FIG. 8 the controller 5a shown in FIG. 7 adjusts the drive parameter of the nth vibrator, determines the drive parameter of the nth vibrator, and vibrates the nth vibrator.
  • step S12 of FIG. 8 the target 27 is detected by the target detection device 304 shown in FIG.
  • the controller 5 a determines whether the state of the target 27 has changed.
  • Step S14 of FIG. 8 if the controller 5a shown in FIG. 7 determines that the state of the target 27 has not changed, No determination is made. In the case of No determination, the process proceeds to step S12 of FIG. 8, and step S12 and step S14 are repeatedly executed until a Yes determination is made in step S14.
  • step S14 if the controller 5a shown in FIG. 7 determines that the state of the target 27 has changed, a Yes determination is made. In the case of Yes determination, the process proceeds to step S16 in FIG. In step S16, the controller 5a shown in FIG. 7 determines whether or not a light emission stop permission command from the exposure apparatus 6 has been acquired.
  • Step S16 of FIG. 8 if the controller 5a shown in FIG. 7 has not acquired the light emission stop permission command from the exposure apparatus 6, the determination is No. In the case of No determination, the controller 5a continues to determine whether or not the light emission stop permission command from the exposure apparatus 6 has been acquired.
  • Step S16 of FIG. 8 when the controller 5a shown in FIG. 7 acquires the light emission stop permission command from the exposure apparatus 6, a Yes determination is made. In the case of Yes determination, the process proceeds to step S18 in FIG.
  • step S18 the controller 5a shown in FIG. 7 causes the vibrator driving device 302 to stop the vibration of the nth vibrator.
  • step S18 of FIG. 8 when the vibration of the nth vibrator is stopped, the process proceeds to step S20.
  • step S20 the controller 5a shown in FIG. 7 determines whether or not the nth transducer is the final transducer.
  • the final vibrator is the mth vibrator.
  • step S20 of FIG. 8 if the controller 5a shown in FIG. 7 determines that the nth transducer is not the final transducer, the determination is No. In the case of No determination, the process proceeds to step S22 in FIG.
  • step S22 the controller 5a shown in FIG. 7 determines the vibrator to drive the (n + 1) th vibrator, and starts the vibration of the (n + 1) th vibrator by the vibrator driving device 302.
  • the (n + 1) th transducer may be an unused transducer. Thereafter, the controller 5a sequentially executes the processes from step S10 to step S20 until a Yes determination is made in step S22 of FIG.
  • step S20 if the controller 5a shown in FIG. 7 determines that the nth transducer is the final transducer, the determination is Yes. In the case of Yes determination, the controller 5a illustrated in FIG. 7 ends the switching of the vibrator.
  • the target supply unit 26 and the target supply unit 26a in the present disclosure are one aspect of the target supply device.
  • the m vibrators including the first vibrator 111a, the second vibrator 111b, and the third vibrator 111c in the present disclosure are one mode of a plurality of vibrators including the first vibrator.
  • the target detection device 304 in the present disclosure is an aspect of a detection unit.
  • an unused vibrator is an aspect of another vibrator different from the first vibrator. It is.
  • the drive vibrator switching device according to the present disclosure is an aspect of the vibrator switching unit.
  • the controller 5a in the present disclosure is an aspect of the control unit.
  • the vibrator driving device 302 in the present disclosure is an aspect of the vibrator driving unit.
  • the timing sensor 4a is an aspect of a passage timing interval measurement unit that measures a passage timing interval between targets in a passage route of a target.
  • the timing sensor 4a in the present disclosure is an aspect of a timing measurement unit that measures the interval of the passage timing between the targets in order to adjust the output timing of the targets output from the nozzles.
  • the illumination unit 200 provided in the timing sensor 4a according to the present disclosure is an aspect of the first illumination unit.
  • the third imaging device 288 provided in the target image measurement sensor 4c in the present disclosure is an aspect of an imaging unit that images the target output from the nozzle.
  • the second illumination device 286 provided in the target image measurement sensor 4c according to the present disclosure is an aspect of the second illumination unit.
  • FIG. 9 is a block diagram schematically showing a configuration of an EUV light generation system according to a second embodiment.
  • the EUV light generation system 11b illustrated in FIG. 9 includes a target supply unit 26b, a sensor switching device 310, a vibration electromotive force measurement device 312 and a counter 314.
  • the counter 314 may be a timer.
  • the target supply unit 26b shown in FIG. 9 includes a plurality of vibrators.
  • the plurality of vibrators include at least one vibrator that can be used as a vibration sensor.
  • the fourth vibrator 111d shown in FIG. 9 may be a vibrator that can be used as a vibration sensor.
  • the electrodes (not shown) of the first vibrator 111a, the second vibrator 111b, and the fourth vibrator 111d are connected to the sensor switching device 310 so that the drive voltage can be transmitted.
  • the sensor switching device 310 is connected to the vibration electromotive force measurement device 312 so as to be able to transmit an electrical signal.
  • the sensor switching device 310 and the vibration electromotive force measurement device 312 are connected to the controller 5a so as to be able to transmit electrical signals.
  • the counter 314 is connected to the controller 5a so as to be able to transmit electrical signals.
  • the controller 5a determines any one transducer that is not used for driving from among a plurality of transducers provided in the target supply unit 26b as a vibration sensor.
  • the mth vibrator may be determined as the vibration sensor.
  • the fourth vibrator 111d in FIG. 9 may be determined as a vibration sensor by using the m-th vibrator. Note that the mth transducer is an arbitrary transducer among the m transducers.
  • the controller 5a selects the mth vibrator as a vibration sensor by the sensor switching device 310.
  • the controller 5a may output to the sensor switching device 310 a selection signal representing information on the mth transducer to be selected as the vibration sensor.
  • the vibrator information may be an identification number of the vibrator.
  • the identification number of the vibrator may be an integer from 1 to m attached to each of the m vibrators.
  • the controller 5a determines and selects the nth vibrator as the vibrator to be driven.
  • the vibration is transmitted to the mth vibrator used as a vibration sensor through the nozzle.
  • the m-th vibrator generates an electromotive force representing the vibration state of the n-th vibrator.
  • the vibration electromotive force measuring device 312 measures the electromotive force generated by the mth vibrator.
  • the vibration state of the nth vibrator represents the vibration state of the nozzle when the nth vibrator is vibrated.
  • the nozzle is a tip portion of the nozzle member 266 including the nozzle hole 267.
  • the controller 5a determines the presence or absence of a failure of the nth vibrator based on the state of the electromotive force generated by the mth vibrator measured by the vibration electromotive force measuring device 312.
  • the controller 5a always compares the voltage waveform of the electromotive force generated by the mth vibrator used as the vibration sensor with the voltage waveform of the electromotive force generated by the mth vibrator in the initial state of the driven vibrator. Also good.
  • the controller 5a may compare the voltage waveform of the measurement result with the prescribed voltage waveform at every measurement timing of the electromotive force generated by the mth vibrator.
  • the electromotive force state may use the maximum value of the electromotive force amplitude as an index.
  • the controller 5a may determine that the nth vibrator has failed when the maximum value of the electromotive force generated by the mth vibrator is equal to or less than minus 10% of the specified value.
  • the specified value applied to the failure determination of the nth vibrator may be the maximum value of the amplitude of the electromotive force generated by the mth vibrator in the initial state of the nth vibrator.
  • the initial state of the nth vibrator may be immediately after the measurement of the vibration of the nth vibrator is started.
  • the term “immediately after here” may include a timing at which measurement is started, or may be a period from a timing at which measurement is started to a timing at which a predetermined number of pulses are output.
  • the specified value may be an average value of measured values in a period from a timing at which measurement is started to a timing at which a predetermined number of pulses are output.
  • the predetermined number of pulses may be one pulse or more. For example, the predetermined number of pulses may be 100 pulses.
  • the failure determination threshold value of minus 10% or less of the specified value is an example.
  • the failure determination threshold value may be determined according to a condition to be satisfied by the target 27 output from the target supply unit 26b. As the conditions to be satisfied by the target 27, the shape of the target or the presence or absence of satellites may be applied.
  • the controller 5a determines and selects the vibrator that drives the (n + 1) th vibrator.
  • the n + 1-th vibrator may be any vibrator as long as it is an unused vibrator as a vibrator to be driven.
  • the controller 5a stops the measurement of the electromotive force of the m-th vibrator by the vibration electromotive force measuring device 312.
  • the controller 5a determines and selects the mth vibrator as the vibrator to be driven.
  • the controller 5a adjusts and determines the drive parameter of the mth vibrator.
  • the counter 314 measures the number of vibrations of the mth vibrator. When the number of vibrations of the m-th vibrator measured by the counter 314 exceeds the specified number, the controller 5a stops the vibration of the m-th vibrator.
  • the number of vibrations of the m-th vibrator may be the number of vibrations since the m-th vibrator is used as a vibrator to be driven.
  • the specified number of times is a specified value of the number of vibrations.
  • the specified number of times may be 1.0 ⁇ 10 11 times.
  • 1.0 ⁇ 10 11 times corresponds to the number of vibrations when the vibrator is vibrated at 100 kilohertz, the vibrator is vibrated for 24 hours per day, and the vibrator is vibrated for 12 days.
  • the timer measures a period from the start of vibration of the mth vibrator.
  • the start of vibration may be the start of vibration when the m-th vibrator is used as a vibrator to be driven.
  • the controller 5a stops the vibration of the mth vibrator.
  • the specified period is a specified value for the vibration period.
  • Specified period may be 1036800 seconds.
  • 1036800 seconds corresponds to a period in which the vibrator is vibrated for 24 hours per day and the vibrator is vibrated for 12 days.
  • FIG. 10 is a diagram showing an example of the voltage waveform of the electromotive force generated by the vibrator used as the vibration sensor shown in FIG.
  • a voltage waveform denoted by reference numeral 330 in FIG. 10 is an example of a voltage waveform of an electromotive force generated by a vibrator used as a vibration sensor due to vibration of the vibrator to be driven in an initial state.
  • the voltage waveform denoted by reference numeral 332 in FIG. 10 is an example of measuring the amplitude of the voltage waveform, and the voltage of the electromotive force generated by the vibrator used as the vibration sensor when the driven vibrator is determined to be faulty. It is an example of measurement of the amplitude of a waveform.
  • the horizontal axis of the graph shown in FIG. 10 is the period.
  • the unit of period is microseconds.
  • the vertical axis of the graph shown in FIG. 10 is voltage.
  • the unit of voltage is volts.
  • the vertical axis in FIG. 10 is represented by a relative value in which the maximum value V 1max in the positive direction in the voltage waveform 330 is 1 volt and the minimum value V 1min in the negative direction is ⁇ 1 volt.
  • the maximum value of the amplitude of the voltage waveform 330 calculated by subtracting the minimum value V 1min from the maximum value V 1max of the voltage waveform 330 may be used as the prescribed value of the electromotive force as the initial amplitude.
  • the maximum value of the amplitude of the voltage waveform 330 may be set as one measurement value, and the average value of the measurement values for 100 times may be set as the prescribed value of electromotive force.
  • the maximum value of the amplitude of the voltage waveform 332 which is calculated by subtracting the minimum value V 2min from the maximum value V 2max of the voltage waveform 332 may be a measured value of the electromotive force.
  • the maximum value of the amplitude of the voltage waveform 332 may be used as a single measurement value, and an average value of 100 measurement values may be used as a measurement value of electromotive force.
  • the maximum value of the amplitude of the voltage waveform 330 that is the prescribed value of electromotive force is 2.0 volts.
  • the measured value of the voltage waveform 332 is 1.8 volts, which is ⁇ 10% or less of the prescribed value of electromotive force.
  • FIG. 11 is a flowchart showing a procedure of the transducer switching method applied to the EUV light generation system according to the second embodiment.
  • step S10 the controller 5a shown in FIG. 9 adjusts the driving parameter of the nth vibrator and determines the driving parameter of the nth vibrator.
  • the controller 5a starts the vibration of the nth vibrator.
  • step S40 of FIG. 11 the vibration electromotive force measuring device 312 shown in FIG. 9 measures the vibration of the nth vibrator detected by the mth vibrator.
  • step S42 of FIG. 11 the controller 5a shown in FIG. 9 determines whether or not the maximum amplitude value in the vibration of the nth vibrator is equal to or less than minus 10% of the specified value.
  • Step S42 of FIG. 11 when the controller 5a shown in FIG. 9 determines that the amplitude of the vibration of the nth vibrator exceeds minus 10% of the specified value, No determination is made. In the case of No determination, the process proceeds to step S40 in FIG. 11, and step S40 and step S42 are repeatedly executed until a Yes determination is made in step S42.
  • step S42 if the controller 5a shown in FIG. 9 determines that the amplitude of the vibration of the n-th vibrator is less than or equal to minus 10% of the specified value, a Yes determination is made. In the case of Yes determination, the process proceeds to step S44 in FIG.
  • step S44 to step S50 is the same as the process from step S16 to step S22 in FIG. 8, and description thereof will be omitted here. If the controller 5a shown in FIG. 9 determines in step S48 of FIG. 11 that the nth transducer is the m ⁇ 1th transducer, the process proceeds to step S52 of FIG.
  • step S48 of FIG. 11 the controller 5a shown in FIG. 9 has m-1 vibrators failed, and an unused vibrator is used as a vibration sensor. If it is determined that only the th vibrator is present, the process proceeds to step S52 in FIG.
  • step S52 the controller 5a shown in FIG. 9 stops the detection by the m-th vibrator by the sensor switching device 310.
  • step S54 of FIG. 11 the controller 5a shown in FIG. 9 determines and selects the m-th vibrator as a vibrator to start vibration of the m-th vibrator.
  • step S56 of FIG. 11 the controller 5a shown in FIG. 9 adjusts and determines the drive parameter of the mth vibrator.
  • step S58 of FIG. 11 the controller 5a illustrated in FIG. 9 measures the number of vibrations of the m-th vibrator by the counter 314. The controller 5a determines whether or not the number of vibrations of the mth vibrator is equal to or greater than the specified number.
  • step S58 of FIG. 11 the controller 5a shown in FIG. 9 measures the vibration period of the mth vibrator using a timer, and determines whether or not the vibration period of the mth vibrator is equal to or longer than a specified period. May be.
  • step S58 of FIG. 11 when the controller 5a shown in FIG. 9 determines that the number of vibrations of the mth vibrator is less than the specified number, the determination is No. In the case of No determination, the controller 5a continues to determine whether or not the number of vibrations of the mth vibrator is equal to or greater than the predetermined number until the determination of Yes is made in step S58 of FIG.
  • step S58 if the controller 5a determines that the number of vibrations of the m-th vibrator is equal to or greater than the specified number, a Yes determination is made. In the case of Yes determination, the controller 5a illustrated in FIG. 9 ends the switching of the vibrator.
  • the m vibrators including the first vibrator 111a, the second vibrator 111b, and the fourth vibrator 111d in the present disclosure are the second vibrator that vibrates the nozzle and the third vibrator that detects the vibration of the nozzle. Is an embodiment of a plurality of vibrators including
  • the m-th vibrator used as the vibration sensor in the present disclosure is an aspect of the third vibrator.
  • the m-th vibrator and the vibration electromotive force measurement device used as the vibration sensor in the present disclosure are one aspect of the detection unit.
  • the sensor switching device 310 is an aspect of a detection transducer switching unit that switches any of the plurality of transducers to the third transducer.
  • the counter 314 in the present disclosure is an aspect of a vibration frequency measurement unit that measures the vibration frequency of the second vibrator.
  • the timer in the present disclosure is an aspect of a vibration period measurement unit that measures the vibration period of the second vibrator.
  • FIG. 12 is a block diagram schematically showing a configuration of an EUV light generation system according to a third embodiment.
  • the target supply unit 26 c illustrated in FIG. 12 includes a dedicated vibration sensor 350.
  • the vibration sensor 350 is connected to the vibration electromotive force measuring device 312 so as to be able to transmit an electric signal.
  • the vibration sensor 350 shown in FIG. 12 is dedicated to vibration detection.
  • the vibration sensor 350 may be a piezoelectric element.
  • the controller 5a determines and selects a vibrator to be driven from a plurality of vibrators. Here, the controller 5a selects the nth transducer. The controller 5a vibrates the nth vibrator, and adjusts and sets the drive parameter of the nth vibrator.
  • the vibration electromotive force measuring device 312 measures the vibration of the nth vibrator detected by the vibration sensor 350.
  • the measurement of the vibration of the nth vibrator detected by the vibration sensor 350 is the same as the measurement of the vibration of the nth vibrator detected by the mth vibrator used as the vibration sensor in the second embodiment. There is no explanation here.
  • FIG. 13 is a flowchart showing a procedure of a vibrator switching method applied to the EUV light generation system according to the third embodiment.
  • the flowchart shown in FIG. 13 includes step S41 instead of step S40 shown in FIG.
  • step S41 the vibration electromotive force measuring device 312 shown in FIG. 12 measures the vibration of the n-th vibrator detected by the vibration sensor 350.
  • Steps S42 to S46 and S50 in FIG. 13 are the same as steps S42 to S46 and S50 in FIG. 11, and a description thereof will be omitted here.
  • Step S48 in FIG. 13 is the same process as step S20 in FIG.
  • the controller 5a shown in FIG. 12 determines whether or not the nth transducer is the final transducer.
  • the final vibrator is the mth vibrator.
  • step S48 of FIG. 13 if the controller 5a shown in FIG. 12 determines that the nth transducer is not the final transducer, the determination is No. In the case of No determination, the process proceeds to step S50 in FIG.
  • a dedicated vibration sensor is provided, it is possible to employ a vibration sensor having characteristics that are advantageous for vibration measurement. As a result, the accuracy of the failure determination of the vibrator can be increased, the determination relating to the switching of the vibrator can be performed more accurately, and the reliability of the EUV light generation system is improved.
  • the m vibrators including the first vibrator 111a and the second vibrator 111b in the present disclosure are one mode of a plurality of vibrators including the fourth vibrator.
  • the configuration including the vibration sensor 350 and the vibration electromotive force measurement device 312 in the present disclosure is an aspect of the detection unit.
  • the unused vibrator among the m vibrators including the first vibrator 111a and the second vibrator 111b in the present disclosure is an aspect of another vibrator different from the fourth vibrator.
  • FIG. 14 is a block diagram schematically illustrating a configuration of an EUV light generation system according to a fourth embodiment.
  • the EUV light generation system 11d shown in FIG. 14 includes the target supply unit 26a shown in FIG.
  • the EUV light generation system 11d shown in FIG. 14 includes a counter 314a instead of the target detection device 304 shown in FIG.
  • the counter 314a shown in FIG. 14 is connected to the controller 5a so as to be able to transmit electrical signals.
  • the counter 314a shown in FIG. 14 measures the number of vibrations of the driven vibrator.
  • the EUV light generation system 11d may include a timer instead of the counter 314. The timer measures the vibration period of the vibrator to be driven.
  • the controller 5a determines and selects a vibrator to be driven from a plurality of vibrators. Here, the controller 5a selects the nth transducer. The controller 5a vibrates the nth vibrator, and adjusts and sets the drive parameter of the nth vibrator.
  • the controller 5a outputs a command for measuring the number of vibrations during the operation of the nth vibrator to the counter 314a.
  • the target supply unit 26 may oscillate the nth vibrator and output the target 27.
  • the counter 314a measures the number of vibrations during the operation of the nth vibrator until the number of vibrations during the operation of the nth vibrator reaches the specified number of times for one vibrator.
  • the counter 314a outputs a signal indicating that to the controller 5a.
  • the specified number of times may be 1 ⁇ 10 11 times.
  • the life of the target supply unit 26 is 36 days
  • the number of vibrators is three
  • vibrators are vibrated at 100 kHz
  • one vibrator is used for 24 hours per day for 12 days. This corresponds to the total number of vibrations of the three vibrators when vibrated.
  • a signal for switching to the vibrator is output to the drive vibrator switching device 300.
  • the controller 5a When the driven vibrator switching device 300 switches the vibrator to be driven to another vibrator, the controller 5a outputs a signal for resetting the measurement value of the counter 314a to the counter 314a.
  • the counter 314a may output a signal indicating the number of vibrations during the operation of the nth vibrator to the controller 5a.
  • the controller 5a may acquire a signal representing the measurement value of the counter 314a until the number of vibrations during the operation of the n-th vibrator reaches the specified number of times for one vibrator.
  • the controller 5a may monitor whether or not the number of vibrations during the operation of the nth vibrator has reached a prescribed number of times for one vibrator. When the number of vibrations during the operation of the nth vibrator reaches the specified number of times for one vibrator, the controller 5a transfers the vibrator to be driven to another vibrator according to the light emission stop permission command of the exposure device 6. A signal for switching may be output to the drive vibrator switching device 300.
  • the controller 5a When a timer is provided instead of the counter 314a, the controller 5a outputs a command for measuring the vibration period during the operation of the nth vibrator to the timer.
  • the timer measures the vibration period during the operation of the nth vibrator until the vibration period during the operation of the nth vibrator reaches a specified period for one vibrator.
  • the timer When the vibration period during the operation of the nth vibrator reaches the specified period for one vibrator, the timer outputs a signal indicating that to the controller 5a.
  • the specified period may be 1036800 seconds.
  • the life of the target supply unit 26 is 36 days
  • the number of vibrators is three
  • the total of three vibrators is obtained when one vibrator is vibrated for 24 hours per day for 12 days. It corresponds to a period.
  • a signal for switching to the child may be output to the drive vibrator switching device 300.
  • the controller 5a may output a signal for resetting the timer measurement value to the counter 314a.
  • the timer may output a signal indicating a vibration period during the operation of the n-th vibrator to the controller 5a.
  • the controller 5a may acquire a signal representing the measured value of the timer until the vibration period during the operation of the nth vibrator reaches a specified period for one vibrator.
  • the controller 5a may monitor whether or not the vibration period during the operation of the nth vibrator has reached a specified period for one vibrator. When the vibration period during the operation of the n-th vibrator reaches the specified period in one vibrator, the controller 5a outputs a signal for switching the vibrator to be driven to another vibrator to the driving vibrator switching device 300. Also good.
  • FIG. 15 is a flowchart showing a procedure of a first example of a transducer switching method applied to the EUV light generation system according to the fourth embodiment.
  • the vibrator switching method according to the first example shown in FIG. 15 switches the vibrator to be driven based on the number of vibrations of the vibrator.
  • the controller 5a shown in FIG. 14 determines the vibrator that drives the nth vibrator among the m vibrators provided in the target supply unit 26a, and starts the vibration of the nth vibrator.
  • step S10 of FIG. 15 the controller 5a shown in FIG. 14 adjusts the drive parameter of the nth vibrator, determines the drive parameter of the nth vibrator, and vibrates the nth vibrator.
  • the controller 5a shown in FIG. 14 outputs a signal for resetting the measurement value of the counter 314a to the counter 314a.
  • the counter 314a shown in FIG. 14 measures the number of vibrations of the nth vibrator.
  • the counter 314a shown in FIG. 14 determines whether or not the number of vibrations of the n-th vibrator has reached the prescribed number of times for one vibrator.
  • step S64 of FIG. 15 if the counter 314a shown in FIG. 14 determines that the number of vibrations of the nth vibrator has not reached the prescribed number of times for one vibrator, the determination is No. In the case of No determination, the process proceeds to step S62 in FIG. 15, and steps S62 and S64 are repeatedly executed until a Yes determination is made in step S64.
  • step S64 if the counter 314a shown in FIG. 14 determines that the number of vibrations of the n-th vibrator has reached the specified number of movements of one vibrator, a Yse determination is made. In the case of Yse determination, the process proceeds to step S66. Steps S66 to S72 are the same steps as steps S16 to S22 in FIG. 8 and will not be described here.
  • step S70 of FIG. 15 in the case of Yes determination, the controller 5a shown in FIG.
  • FIG. 16 is a flowchart showing the procedure of a second example of the transducer switching method applied to the EUV light generation system according to the fourth embodiment.
  • the vibrator switching method according to the second example illustrated in FIG. 16 switches the vibrator to be driven based on the vibration period of the vibrator.
  • Step S10 in FIG. 16 is the same as step S10 in FIG. 15, and description thereof is omitted here.
  • the controller 5a shown in FIG. 14 outputs a signal for resetting a measured value of a timer (not shown) to the timer.
  • step S82 in FIG. 16 the timer measures the vibration period of the nth vibrator.
  • step S84 of FIG. 16 the timer determines whether or not the vibration period of the nth vibrator has reached a specified period of one vibrator.
  • Step S84 of FIG. 16 if the timer determines that the vibration period of the nth vibrator has not reached the specified period of one vibrator, the determination is No. In the case of No determination, the process proceeds to step S82, and the processes of step S82 and step S84 are repeatedly executed until a Yes determination is made in step S84.
  • step S84 if the timer determines that the vibration period of the nth vibrator has reached the specified period of one vibrator, a Yse judgment is made. In the case of Yse determination, the process proceeds to step S86. Steps S86 to S72 are the same steps as steps S16 to S22 in FIG. 8, and a description thereof will be omitted here.
  • step S90 of FIG. 16 in the case of Yes determination, the controller 5a shown in FIG.
  • the target supply unit includes one vibrator
  • the number of vibrations per vibrator or the vibration period can be reduced, and as a result, the vibrator to be driven It is possible to reduce the failure rate. Accordingly, the life of the target supply unit can be extended according to the number of vibrators provided in the target supply unit.
  • the vibrator to be driven can be switched to an unused vibrator, and the downtime of the EUV light generation system due to the failure of the vibrator can be suppressed. This improves the reliability of the EUV light generation system.
  • the m vibrators including the first vibrator 111a, the second vibrator 111b, and the third vibrator 111c in the present disclosure are one mode of a plurality of vibrators including the fifth vibrator.
  • the configuration including the counter 314a and the timer in the present disclosure is an aspect of the detection unit.
  • the unused vibrator among the m vibrators including the first vibrator 111a and the second vibrator 111b in the present disclosure is an aspect of a vibrator different from the fifth vibrator.
  • the counter 314a in the present disclosure is an aspect of a vibration frequency measurement unit that measures the vibration frequency of the fifth vibrator.
  • the timer in the present disclosure is an aspect of a vibration period measurement unit that measures the vibration period of the fifth vibrator.

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Abstract

本開示の一観点に係るターゲット供給装置は、ターゲットを出力するノズルと、ノズルを振動させる第１振動子を含む複数の振動子と、ノズルから出力したターゲットの状態の変化を検知する検知部と、ノズルを振動させる振動子を第１振動子から複数の振動子に含まれる第１振動と異なる他の振動子へ切り替える振動子切替部と、検知部によって検知されたノズルから出力したターゲットの状態の変化に基づいて、ノズルを振動させる振動子の切り替えを制御する制御部と、を備えている。

Description

ターゲット供給装置
　本開示は、ターゲット供給装置に関する。
　近年、半導体プロセスの微細化に伴って、半導体プロセスの光リソグラフィにおける転写パターンの微細化が急速に進展している。次世代においては、２０ｎｍ以下の微細加工が要求されるようになる。このため、波長１３ｎｍ程度の極端紫外（ＥＵＶ；Ｅｘｔｒｅｍｅ　Ｕｌｔｒａ　Ｖｉｏｌｅｔ）光を生成するための装置と縮小投影反射光学系とを組み合わせた露光装置の開発が期待されている。
　ＥＵＶ光生成装置としては、ターゲット物質にレーザ光を照射することによって生成されるプラズマが用いられるＬＰＰ（Ｌａｓｅｒ　Ｐｒｏｄｕｃｅｄ　Ｐｌａｓｍａ）式の装置と、放電によって生成されるプラズマが用いられるＤＰＰ（Ｄｉｓｃｈａｒｇｅ　Ｐｒｏｄｕｃｅｄ　Ｐｌａｓｍａ）式の装置と、軌道放射光が用いられるＳＲ（Ｓｙｎｃｈｒｏｔｒｏｎ　Ｒａｄｉａｔｉｏｎ）式の装置との３種類の装置が提案されている。
特開２０１０－１８２５５５号公報 特開２００６－２１６８０１号公報 特開２０１６－１６６１８号公報 特開２００９－１９０１８９号公報
概要
　本開示の１つの観点に係るターゲット供給装置は、ターゲットを出力するノズルと、ノズルを振動させる第１振動子を含む複数の振動子と、ノズルから出力したターゲットの状態の変化を検知する検知部と、ノズルを振動させる振動子を第１振動子から、複数の振動子に含まれる第１振動子と異なる他の振動子へ切り替える振動子切替部と、検知部によって検出されたノズルから出力したターゲットの状態の変化に基づいて、ノズルを振動させる振動子の切り替えを制御する制御部と、を備えたターゲット供給装置である。
　本開示の１つの観点に係るターゲット供給装置は、ターゲットを出力するノズルと、ノズルを振動させる第２振動子、及びノズルの振動を検知する第３振動子を含む複数の振動子と、ノズルの振動を表す検知信号を出力し、第３振動子を含む検知部と、ノズルを振動させる振動子を第２振動子から、複数の振動子に含まれる第２振動子と異なる他の振動子へ切り替える振動子切替部と、検知部から出力される検知信号に基づいて、ノズルを振動させる振動子の切り替えを制御する制御部と、を備えたターゲット供給装置である。
　本開示の１つの観点に係るターゲット供給装置は、ターゲットを出力するノズルと、ノズルを振動させる第４振動子を含む複数の振動子と、ノズルの振動を検知し、ノズルの振動を表す検知信号を出力する検知部と、ノズルを振動させる振動子を第４振動子から、複数の振動子に含まれる第４振動子と異なる他の振動子へ切り替える振動子切替部と、検知部から出力される検知信号に基づいて、ノズルを振動させる振動子の切り替えを制御する制御部と、を備えたターゲット供給装置である。
　本開示の１つの観点に係るターゲット供給装置は、ターゲットを出力するノズルと、ノズルを振動させる第５振動子を含む複数の振動子と、第５振動子の振動回数を計測する振動回数計測部、又は第５振動子の振動期間を計測する振動期間計測部の少なくともいずれかを含む検知部と、ノズルを振動させる振動子を第５振動子から、複数の振動子に含まれる第５振動子と異なる他の振動子へ切り替える振動子切替部と、振動回数計測部によって計測された第５振動子の振動回数が予め決められた振動回数の規定値に達した場合、又は振動期間計測部によって計測された第５振動子の振動期間が予め決められた振動期間の規定値に達した場合に、振動子切替部によって、ノズルを振動させる振動子を第５振動子と異なる他の振動子へ切り替える制御部と、を備えたターゲット供給装置である。
　本開示のいくつかの実施形態を、単なる例として、添付の図面を参照して以下に説明する。
図１は例示的なＬＰＰ式のＥＵＶ光生成システムの構成を概略的に示す図である。 図２は本開示の実施形態に適用可能なＥＵＶ光生成システムの構成を示す一部断面図である。 図３は図２に示したターゲット位置計測センサの構成例、及びターゲット像計測センサの構成例を示す図である。 図４は図３に示した第１撮像装置による撮像画像の例を示す図である。 図５は図３に示した第２撮像装置による撮像画像の例を示す図である。 図６は図３に示した第３撮像装置による撮像画像の例を示す図である。 図７は第１実施形態に係るＥＵＶ光生成システムの構成を概略的に示すブロック図である。 図８は第１実施形態に係るＥＵＶ光生成システムに適用される振動子切替方法の手順を示すフローチャートである。 図９は第２実施形態に係るＥＵＶ光生成システムの構成を概略的に示すブロック図である。 図１０は図９に示した振動センサとして使用される振動子が発生させる起電力の電圧波形の一例を示す図である。 図１１は第２実施形態に係るＥＵＶ光生成システム供給装置に適用される振動子切替方法の手順を示すフローチャートである。 図１２は第３実施形態に係るＥＵＶ光生成システムの構成を概略的に示すブロック図である。 図１３は第３実施形態に係るＥＵＶ光生成システムに適用される振動子切替方法の手順を示すフローチャートである。 図１４は第４実施形態に係るＥＵＶ光生成システムの構成を概略的に示すブロック図である。 図１５は第４実施形態に係るＥＵＶ光生成システムに適用される振動子切替方法の第１例の手順を示すフローチャートである。 図１６は第４実施形態に係るＥＵＶ光生成システムに適用される振動子切替方法の第２例の手順を示すフローチャートである。
実施形態
　－目次－
１．極端紫外光生成システムの全体説明
　１．１　構成
　１．２　動作
２．用語の説明
３．課題
４．ターゲット供給部に複数の振動子を備えた極端紫外光生成システムの説明
　４．１　構成
　４．２　動作
　４．３　ターゲット位置計測センサ、及びターゲット像計測センサの説明
　　４．３．１　構成
　　４．３．２　動作
５．第１実施形態
　５．１　構成
　５．２　動作
　　５．２．１　概要
　　５．２．２　ターゲット検知装置がタイミングセンサの場合の故障判定
　　５．２．３　ターゲット検知装置がターゲット像計測センサの場合の故障判定
　５．３　振動子切替方法の手順
　５．４　作用・効果
６．第２実施形態
　６．１　構成
　６．２　動作
　６．３　振動子切替方法の手順
　６．４　作用・効果
７．第３実施形態
　７．１　構成
　７．２　動作
　７．３　振動子切替方法の手順
　７．４　作用・効果
８．第４実施形態
　８．１　構成
　８．２　動作
　８．３　振動子切替方法の手順
　　８．３．１　第１例
　　８．３．２　第２例
　８．４　作用・効果
　以下に説明される実施形態は、本開示のいくつかの例を示すものであって、本開示の内容を限定するものではない。また、各実施形態で説明される構成及び動作の全てが本開示の構成及び動作として必須であるとは限らない。なお、同一の構成要素には同一の参照符号を付して、重複する説明を省略する。
　１．極端紫外光生成システムの全体説明
　１．１　構成
　図１に、例示的なＬＰＰ式のＥＵＶ光生成システムの構成を概略的に示す。ＥＵＶ光生成装置１は、少なくとも１つのレーザ装置３と共に用いられる場合がある。本開示においては、ＥＵＶ光生成装置１及びレーザ装置３を含むシステムを、ＥＵＶ光生成システム１１と称する。図１に示し、かつ、以下に詳細に説明するように、ＥＵＶ光生成装置１は、チャンバ２、ターゲット供給部２６を含む。チャンバ２は、密閉可能な容器である。ターゲット供給部２６は、ターゲット物質をチャンバ２内部に供給するように構成され、例えば、チャンバ２の壁を貫通するように取り付けられる。ターゲット供給部２６から出力されるターゲット物質の材料は、錫、テルビウム、ガドリニウム、リチウム、キセノン、又は、それらの内のいずれか２つ以上の組合せを含んでもよいが、これらに限定されない。
　チャンバ２の壁には、少なくとも１つの貫通孔が設けられている。その貫通孔は、ウインドウ２１によって塞がれ、ウインドウ２１をレーザ装置３から出力されるパルスレーザ光３２が透過する。チャンバ２の内部には、例えば、回転楕円面形状の反射面を有するＥＵＶ集光ミラー２３が配置される。ＥＵＶ集光ミラー２３は、第１及び第２の焦点を有する。ＥＵＶ集光ミラー２３の表面には、例えば、モリブデンとシリコンとが交互に積層された多層反射膜が形成される。ＥＵＶ集光ミラー２３は、例えば、その第１の焦点がプラズマ生成領域２５に位置し、その第２焦点が中間集光点（ＩＦ；Ｉｎｔｅｒｍｅｄｉａｔｅ　Ｆｏｃｕｓｉｎｇ　ｐｏｉｎｔ）２９２に位置するように配置されてもよい。ＥＵＶ集光ミラー２３の中央部には貫通孔２４が設けられ、貫通孔２４をパルスレーザ光３３が通過する。
　ＥＵＶ光生成装置１は、ＥＵＶ光生成コントローラ５、ターゲットセンサ４等を含む。ターゲットセンサ４は、ターゲット２７の存在、軌跡、位置、速度のうちいずれか又は複数を検出するよう構成される。ターゲットセンサ４は、撮像機能を備えてもよい。
　また、ＥＵＶ光生成装置１は、チャンバ２の内部と露光装置６の内部とを連通させる接続部２９を含む。接続部２９の内部には、アパーチャ２９３が形成された壁２９１が設けられる。壁２９１は、そのアパーチャ２９３がＥＵＶ集光ミラー２３の第２の焦点位置に位置するように配置される。
　更に、ＥＵＶ光生成装置１は、レーザ光伝送装置３４、レーザ光集光ミラー２２、ターゲット２７を回収するためのターゲット回収部２８等を含む。レーザ光伝送装置３４は、レーザ光の伝送状態を規定するための光学素子と、この光学素子の位置、姿勢等を調整するためのアクチュエータとを備える。
　１．２　動作
　図１を参照して、例示的なＬＰＰ式のＥＵＶ光生成システムの動作を説明する。レーザ装置３から出力されたパルスレーザ光３１は、レーザ光伝送装置３４を経て、パルスレーザ光３２としてウインドウ２１を透過してチャンバ２内に入射する。パルスレーザ光３２は、少なくとも１つのレーザ光経路に沿ってチャンバ２内を進み、レーザ光集光ミラー２２で反射されて、パルスレーザ光３３として少なくとも１つのターゲット２７に照射される。
　ターゲット供給部２６は、ターゲット物質によって形成されたターゲット２７をチャンバ２内部のプラズマ生成領域２５に向けて出力するよう構成される。ターゲット２７には、パルスレーザ光３３に含まれる少なくとも１つのパルスが照射される。パルスレーザ光が照射されたターゲット２７はプラズマ化し、そのプラズマから放射光２５１が放射される。放射光２５１に含まれるＥＵＶ光２５２は、ＥＵＶ集光ミラー２３によって選択的に反射される。ＥＵＶ集光ミラー２３によって反射されたＥＵＶ光２５２は、中間集光点２９２で集光され、露光装置６に出力される。なお、１つのターゲット２７に、パルスレーザ光３３に含まれる複数のパルスが照射されてもよい。
　ＥＵＶ光生成コントローラ５は、ＥＵＶ光生成システム１１全体の制御を統括するよう構成される。ＥＵＶ光生成コントローラ５は、ターゲットセンサ４の検出結果を処理するよう構成される。ターゲットセンサ４の検出結果に基づいて、ＥＵＶ光生成コントローラ５は、例えば、レーザ装置３の発振タイミング、パルスレーザ光３２の照射方向、パルスレーザ光３３の集光位置等を制御するよう構成されてもよい。上述の様々な制御は単なる例示に過ぎず、必要に応じて他の制御が追加されてもよい。
　２．用語の説明
　「ターゲット」は、チャンバに導入されたレーザ光の被照射物である。
　「ターゲット供給部」は、ＥＵＶ光を生成するために用いられる溶融錫等のターゲット物質をドロップレットの形状でチャンバ内に供給するための装置である。
　「ドロップレット」は、チャンバの内部に出力されたターゲット物質の一形態である。
　３．課題
　ターゲット供給部は、ノズルを振動させる振動子を備えている。ターゲットを生成する周期に対応した周波数の電気信号を振動子に供給することによって、ターゲット供給部はノズルから均一なドロップレットの形態のターゲットを出力する。以下、振動子に供給される電気信号は駆動電圧と記載されることがある。
　ターゲット供給部に駆動する振動子を１つだけ備える場合、振動子が故障すると振動子が正常に動作しない結果、ターゲット供給部は均一なドロップレットの形態のターゲットの生成が困難になり、ターゲット供給部は寿命となる。
　４．ターゲット供給部に複数の振動子を備えた極端紫外光生成システムの説明
　４．１　構成
　図２は本開示の実施形態に適用可能なＥＵＶ光生成システムの構成を示す一部断面図である。図２に示したチャンバ２の内部には、レーザ集光光学系２２ａと、ＥＵＶ集光ミラーホルダ８１と、ＥＵＶ集光ミラーホルダ保持プレート８２と、ターゲット回収部２８とを備えている。
　レーザ集光光学系２２ａは、高反射軸外放物面ミラー２２１と、高反射平面ミラー２２２と、レーザ集光光学系保持プレート８３と、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向に移動可能なステージ８４とを備えている。
　レーザ集光光学系２２ａは、レーザ集光光学系２２ａの集光位置がプラズマ生成領域２５と一致するように配置される。「一致」とは、厳密には異なっているものの、一致しているとみなし得る「実質的な一致」が含まれ得る。
　高反射軸外放物面ミラー２２１は、第１ホルダ２２３によって支持される。高反射平面ミラー２２２は第２ホルダ２２４によって支持される。ターゲット回収部２８は、ターゲット２７の軌道の延長線上に配置される。ターゲット回収部２８は、プラズマ生成領域２５を通過したターゲット物質を回収する。
　図２に示したレーザ光伝送装置３４は、第１高反射ミラー３４ａと、第２高反射ミラー３４ｂとを備えている。レーザ装置３から出射したパルスレーザ光３１は、第１高反射ミラー３４ａへ入射する。
　第１高反射ミラー３４ａによって反射したパルスレーザ光３２は、第２高反射ミラー３４ｂへ入射する。第２高反射ミラー３４ｂによって反射したパルスレーザ光３２は、第１ウインドウ２１ａを介してチャンバ２の内部へ導入される。なお、図２に示した第１ウインドウ２１ａは、図１に示したウインドウ２１に相当する。
　図２に示したターゲット供給部２６は、タンク部２６０と、ノズル部材２６６と、圧力調節器１２０と、ヒータ１４１と、第１振動子１１１ａと、第２振動子１１１ｂと、ピエゾ電源１１２と、ステージ１１４とを備えている。
　タンク部２６０には、ターゲット材料２７１である錫が貯蔵される。タンク部２６０の材質は、錫との反応性が低い材質が適用されてもよい。タンク部２６０の材質の材料はモリブデンが適用されてもよい。
　ノズル部材２６６は、直径が３マイクロメートルから６マイクロメートルのノズル孔２６７が形成される。ノズル部材２６６の材質は、錫との反応性が低い材料が適用されてもよい。ノズル部材２６６の材質の材料は、モリブデンが適用されてもよい。ターゲット供給部２６はノズル部材２６６をタンク部２６０の底部に固定するためのノズルホルダを備えてもよい。ノズルホルダの図示は省略する。
　ノズルホルダの材質は、錫との反応性が低い材料が適用されてもよい。ノズルホルダの材質の材料は、モリブデンが適用されてもよい。ノズル部材２６６と図示しないノズルホルダとの間は面シールされていてもよい。タンク部２６０とノズル部材２６６との間は面シールされていてもよい。
　圧力調節器１２０は、不活性ガスのボンベが接続される。ボンベの図示は省略する。不活性ガスは、アルゴンが適用されてもよい。ボンベと圧力調節器１２０との間のガス配管は、圧力調節器１２０によって制御可能なバルブが設けられる。ガス配管及びバルブの図示は省略する。
　圧力調節器１２０は、導入管１３１を介してタンク部２６０の内部と連通する。圧力調節器１２０は、導入管１３１を介して図示しないボンベから供給された不活性ガスをタンク部２６０へ導入してもよい。
　ヒータ１４１は、ヒータ電源と電気接続される。ヒータ電源は温度コントローラと電気信号を伝送可能に接続される。ヒータ電源及び温度コントローラの図示は省略する。ヒータ電源は、温度コントローラからの制御に従って、ヒータへ電力を供給してもよい。
　ヒータ１４１は、タンク部２６０の内部のターゲット材料２７１を加熱するように配置される。例えば、ヒータ１４１は、タンク部２６０の外側面に配置されてもよい。
　タンク部２６０、及び図示しないノズルホルダのいずれか一方は、温度センサが取り付けられる。温度センサの図示は省略する。温度センサは、タンク部２６０、及びノズルホルダのいずれか一方の温度を計測するように配置されてもよい。
　温度センサは、チャンバ２の隔壁に設けられた導入端子を介して、温度コントローラと電気信号を伝送可能に接続される。導入端子の図示は省略する。導入端子は、チャンバ２の気密性を維持し、温度センサと温度コントローラとの電気接続ラインをチャンバ２から電気的に絶縁してもよい。
　ピエゾ電源１１２は、ＥＵＶ光生成コントローラ５と電気信号を伝送可能に接続される。ピエゾ電源１１２は、チャンバ２の隔壁に設けられた導入端子を介して、第１振動子１１１ａの電極、及び第２振動子１１１ｂの電極と電気接続される。第１振動子１１１ａの電極、第２振動子１１１ｂの電極、及び導入端子の図示は省略する。
　導入端子は、チャンバ２の気密性を維持し、ピエゾ電源１１２と第１振動子１１１ａの電極、第２振動子１１１ｂの電極との電気接続ラインをチャンバ２から電気的に絶縁してもよい。
　第１振動子１１１ａ及び第２振動子１１１ｂは、ノズル部材２６６の側面に設けられていてもよい。第１振動子１１１ａ及び第２振動子１１１ｂは、ノズル孔２６７の中心を通る軸に対して線対称関係となるように配置されてもよい。
　第１振動子１１１ａ、及び第２振動子１１１ｂは、ピエゾ素子を適用してもよい。ピエゾ素子は、外部からの電気信号に応じて振動する圧電部材であってもよい。ピエゾ素子は、チタン酸ジルコン酸鉛を用いた圧電素子であってもよい。
　圧力調節器１２０及び温度コントローラは、ＥＵＶ光生成コントローラ５と電気信号を伝送可能に接続される。圧力調節器１２０及び温度コントローラは、ＥＵＶ光生成コントローラ５の制御に従い動作する。
　タンク部２６０の内部は、タンク部２６０の底に設けられたターゲット流路を介してノズル孔２６７と連通してもよい。ターゲット流路は、流通するターゲット材料２７１を濾過するためのフィルタを備えてもよい。ターゲット流路、及びフィルタの図示は省略する。
　ステージ１１４は、ＸＺ平面と平行な面内において、タンク部２６０、及びノズル部材２６６を移動可能な位置に配置される。ステージ１１４は、ＥＵＶ光生成コントローラ５と電気信号を伝送可能に接続される。ステージ１１４は、ＥＵＶ光生成コントローラ５の制御に従い、ＸＺ平面と平行な面内において、チャンバ２の位置に対するタンク部２６０、及びノズル部材２６６の位置を移動させる。
　図２に示したＥＵＶ光生成装置１は、タイミングセンサ４ａを備えている。タイミングセンサ４ａは、ターゲット２７がプラズマ生成領域２５に到達する前の検知位置Ｐでターゲット２７が通過したことを検知する位置に配置される。タイミングセンサ４ａは、ターゲット２７が検知位置Ｐを通過したタイミングを表す通過タイミング信号を出力する。
　タイミングセンサ４ａは、照明部２００と、受光部２０２とを備えている。照明部２００と受光部２０２とは、ターゲット２７の軌道を挟んで、ターゲット２７の通過領域の両側に配置される。
　照明部２００は、光源２０４と、照明光学系２０６とを備えている。照明部２００は、チャンバ２の隔壁に設けられた第２ウインドウ２１ｂを介して、チャンバ２の内部へ照明光を照射可能な位置に配置される。光源２０４から出射した照明光は、照明光学系２０６及び第２ウインドウ２１ｂを介して、ターゲット２７の軌道に照射される。
　受光部２０２は、受光光学系２０８と、光センサ２１０とを備えている。受光部２０２は、第３ウインドウ２１ｃを介して、照明部２００から出射した照明光を可能な位置に配置される。第３ウインドウ２１ｃを介して、入射した照明光は、受光光学系２０８を介して光センサ２１０へ到達する。光センサ２１０は、受光した照明光の光量に応じたターゲット２７の検知信号を出力する。
　タイミングセンサ４ａは、ＥＵＶ光生成コントローラ５と電気信号を伝送可能に接続される。タイミングセンサ４ａは、光センサ２１０から出力された検知信号であり、ターゲット２７が検知位置Ｐを通過したタイミングを表す検知信号をＥＵＶ光生成コントローラ５へ出力する。
　図２に示したターゲット位置計測センサ４ｂは、プラズマ生成領域２５に向けて配置されてもよい。ターゲット位置計測センサ４ｂの検知位置Ｐを通過したターゲット２７の軌道の位置を検知してもよい。
　ターゲット像計測センサ４ｃは、プラズマ生成領域２５に向けて配置されてもよい。ターゲット像計測センサ４ｃは、検知位置Ｐを通過したターゲット２７の画像を取得してもよい。
　ターゲット位置計測センサ４ｂ、及びターゲット像計測センサ４ｃは、ＥＵＶ光生成コントローラ５と電気信号を伝送可能に接続される。ターゲット位置計測センサ４ｂは、ターゲット２７の軌道の位置を表す検知信号をＥＵＶ光生成コントローラ５へ出力してもよい。ターゲット像計測センサ４ｃは、ターゲット２７の画像を表す検知信号をＥＵＶ光生成コントローラ５へ出力してもよい。
　ターゲット位置計測センサ４ｂは、第２照明部と、ＣＣＤカメラ等の撮像装置を備えていてもよい。図２では、第２照明部、及び撮像装置の図示は省略する。第２照明部は、図３に符号２８０を付して図示する。撮像装置は、図３に符号２８２、及び２８４を付して図示する。
　図２に示したターゲット位置計測センサ４ｂは、ターゲット２７による照明光の反射画像を撮像する。図３に示すように、複数の撮像装置を備え、複数の撮像装置のそれぞれは、異なる方向からターゲット２７を撮像して、撮影方向が異なる画像を取得してもよい。
　異なる方向から撮影された画像から、所定の平面内におけるターゲット２７の位置の計算が可能である。ターゲット位置計測センサ４ｂは、プラズマ光を遮断するためのシャッターを備えていてもよい。シャッターは、タイミングセンサ４ａから出力される検知信号であり、ターゲット２７の通過タイミングを表す検知信号に対して、所定の期間遅延させたゲート信号によって開閉してもよい。
　ターゲット像計測センサ４ｃは、第３照明部と、ＣＣＤカメラ等の撮像装置を備えていてもよい。図２では、第３照明部、及び撮像装置の図示は省略する。第３照明部は、図３に符号２８６を付して図示する。撮像装置は、図３に符号２８８を付して図示する。
　ターゲット像計測センサ４ｃは、ターゲット２７による照明光の透過画像を撮像する。第３照明部は、レーザ光源などの高輝度の光源を適用してもよい。これにより。ターゲット像計測センサ４ｃは、比較的、短期間の露光によって、ターゲット２７の撮像が可能である。
　ターゲット像計測センサ４ｃは、比較的、短期間の露光によって、ある時刻におけるターゲット２７の位置が特定可能な画像を撮像し得る。ターゲット像計測センサ４ｃは、プラズマ光を遮断するためのシャッターを備えていてもよい。シャッターは、タイミングセンサ４ａから出力される検知信号であり、ターゲット２７の通過タイミングを表す検知信号に対して、所定の期間遅延させたゲート信号によって開閉してもよい。
　図１に示したターゲットセンサ４は、図２に示したタイミングセンサ４ａ、ターゲット位置計測センサ４ｂ、及びターゲット像計測センサ４ｃを含んでいてもよい。ターゲット位置計測センサ４ｂ、及びターゲット像計測センサ４ｃの詳細は後述する。
　４．２　動作
　ＥＵＶ光生成コントローラ５は、露光装置６の露光装置制御部６ａからターゲット２７の出力準備信号が入力されると、以下の動作を実行する。
　ＥＵＶ光生成コントローラ５は、タンク部２６０の内部のターゲット材料２７１が融点以上の温度となるように、温度コントローラを制御する。ＥＵＶ光生成コントローラ５の制御に対して、温度コントローラは温度センサの検知値が所定の温度以上となるように、ヒータ電源を駆動する。
　所定の温度は、ターゲット材料２７１として錫が適用される場合、錫の融点以上の温度であってもよい。例えば、錫の融点である２３２℃に対して、所定の温度は２３２℃以上であってもよい。所定の温度は、温度範囲であってもよい。例えば、温度範囲は、錫の融点である２３２℃に対して、２４０℃以上２９０℃以下の温度範囲としてもよい。
　ＥＵＶ光生成コントローラ５は、温度センサの検知値が、所定の期間、所定の温度以上の温度を維持しているか否かを判定してもよい。所定の温度以上が所定期間維持されている場合、ＥＵＶ光生成コントローラ５は、露光装置６の露光装置制御部６ａにターゲット２７の出力準備が完了したことを通知してもよい。ＥＵＶ光生成コントローラ５は、ターゲット２７の出力を要求する信号が入力されるまで待機してもよい。
　ＥＵＶ光生成コントローラ５は、ターゲット２７の出力を要求する信号が入力されると、圧力調節器１２０を制御して、タンク部２６０の内部の圧力を所定の圧力まで昇圧させる。所定の圧力は、４０メガパスカル程度であってもよい。
　ＥＵＶ光生成コントローラ５は、圧力調節器１２０を制御して、タンク部２６０の内部の圧力を所定の圧力に維持してもよい。タンク部２６０の内部の圧力が所定の圧力に維持されている状態において、ノズル孔２６７からターゲット材料２７１のジェットが出力され得る。
　ＥＵＶ光生成コントローラ５は、ノズル孔２６７から出力されるターゲット材料２７１のジェットが、所定のサイズ、及び所定の周期のドロップレットに変化するように、ピエゾ電源１１２を制御する。これにより、ピエゾ電源１１２から第１振動子１１１ａに所定の波形の駆動電圧が印加されてもよい。
　所定の波形の駆動電圧が印加された第１振動子１１１ａで発生した振動は、ノズルホルダ、ノズル部材２６６、及びタンク部２６０を介してターゲット材料２７１に伝達してもよい。これにより、ターゲット材料２７１のジェットが分断され、ターゲット材料２７１のジェットが、所定のサイズ、及び所定の周期のドロップレットに変化してもよい。
　ＥＵＶ光生成コントローラ５は、タイミングセンサ４ａが出力する検知信号に対して、所定の期間遅延させたゲート信号を、ターゲット位置計測センサ４ｂ、及びターゲット像計測センサ４ｃに出力してもよい。
　ターゲット位置計測センサ４ｂは、ＥＵＶ光生成コントローラ５から出力されたゲート信号に従って、プラズマ生成領域２５を撮像し、撮像信号をＥＵＶ光生成コントローラ５へ出力してもよい。
　ＥＵＶ光生成コントローラ５は、ターゲット位置計測センサ４ｂから出力された撮像信号を用いて、プラズマ生成領域２５におけるターゲット２７の位置を演算してもよい。例えば、ＥＵＶ光生成コントローラ５は、プラズマ生成領域２５に設定される座標系におけるターゲット２７の座標を演算してもよい。
　プラズマ生成領域２５に設定される座標系が二次元座標系の場合、ＥＵＶ光生成コントローラ５は、ターゲット２７の二次元の座標を演算してもよい。例えば、ＥＵＶ光生成コントローラ５は、ＸＺ平面上の座標を演算してもよい。
　ＥＵＶ光生成コントローラ５は、ターゲット２７の目標位置と、検知されたターゲットの位置との偏差を小さくするように、ターゲット供給部２６のステージ１１４を動作させてもよい。
　ターゲット像計測センサ４ｃは、ＥＵＶ光生成コントローラ５から出力されたゲート信号に従って、プラズマ生成領域２５を撮像し、撮像信号をＥＵＶ光生成コントローラ５へ出力してもよい。
　ＥＵＶ光生成コントローラ５は、ターゲット像計測センサ４ｃから出力された画像信号を用いて、ターゲット２７がプラズマ生成領域２５における位置を演算してもよい。例えば。ＥＵＶ光生成コントローラ５は、プラズマ生成領域２５に設定される座標系におけるターゲット２７の座標を演算してもよい。ＥＵＶ光生成コントローラ５は、プラズマ生成領域２５に設定される座標系におけるＹ方向の位置を算出してもよい。
　ＥＵＶ光生成コントローラ５は、計測されたターゲット２７の位置に従って、ターゲット２７の目標位置にレーザ光が照射されるように、レーザ装置３に出力される発光トリガ信号に遅延期間を付加してもよい。
　４．３　ターゲット位置計測センサ、及びターゲット像計測センサの説明
　　４．３．１　構成
　図３は図２に示したターゲット位置計測センサの構成例、及びターゲット像計測センサの構成例を示す図である。図３に示したターゲット位置計測センサ４ｂは、第１照明装置２８０と、第１撮像装置２８２と、第２撮像装置２８４とを備えている。第１撮像装置２８２及び第２撮像装置２８４のそれぞれに照明装置を備えてもよい。
　図３に示した第１撮像装置２８２は、Ｘ方向からターゲット２７を撮像する位置に配置される。図３に示した第２撮像装置２８４は、Ｚ方向からターゲット２７を撮像する位置に配置される。第１撮像装置２８２の撮像方向はＸ方向に限定されない。また、第２撮像装置２８４の撮像方向はＺ方向に限定されない。
　第１撮像装置２８２の撮像方向と第２撮像装置２８４の撮像方向とは、異なる方向であればよい。第１撮像装置２８２の撮像方向と第２撮像装置２８４の撮像方向とは、互いに直交する方向としてもよい。
　図３に示した第１照明装置２８０は、第１撮像装置２８２及び第２撮像装置２８４に、ターゲット２７の反射光が入射するように配置される。
　図３に示したターゲット像計測センサ４ｃは、第２照明装置２８６と、第３撮像装置２８８とを備えている。第２照明装置２８６は、レーザ光源、又はフラッシュランプ等の高輝度の照明光を出射可能な光源を適用してもよい。
　図３に示した第３撮像装置２８８は、被写体像が表示される画面において、Ｙ方向が特定できる方向からターゲット２７を撮像する位置に配置される。図３に示した第２照明装置２８６は、ターゲット２７の軌道を挟んで、第３撮像装置２８８と対向する位置に配置される。
　第３撮像装置２８８には、第２照明装置２８６から出射した照明光であり、ターゲット２７の付近を透過した照明光が入射してもよい。第３撮像装置２８８は、第２照明装置２８６から出射した照明光を遮るターゲット２７の像を取得してもよい。
　　４．３．２　動作
　ＥＵＶ光生成コントローラ５は、第１撮像装置２８２及び第２撮像装置２８４へゲート信号を出力して、第１撮像装置２８２及び第２撮像装置２８４のそれぞれから、ターゲット２７の画像を取得してもよい。
　図４は図３に示した第１撮像装置による撮像画像の例を示す図である。図４に示した第１撮像装置２８２の撮像画像は、一定の周期で連続して出力された複数のターゲット２７をＹＺ平面に投影した画像である。図４に示した第１撮像装置２８２の撮像画像は、Ｚ方向におけるターゲット２７の軌道の位置を特定可能である。
　図５は図３に示した第２撮像装置による撮像画像の例を示す図である。図５に示した第２撮像装置２８４の撮像画像は、一定の周期で連続して出力された複数のターゲット２７をＸＹ平面に投影した画像である。図５に示した第２撮像装置２８４の撮像画像は、Ｘ方向におけるターゲット２７の軌道の位置を特定可能である。
　第３撮像装置２８８は、高輝度の照明光の透過光が入射するので、第３撮像装置２８８の受光期間を表すゲート信号の期間は、比較的短くてよい。第３撮像装置２８８の受光期間を表すゲート信号の期間が短いと、第３撮像装置２８８の受光期間が短くなるので、第３撮像装置２８８は、ターゲット２７の静止画像の撮像が可能である。
　図６は図３に示した第３撮像装置による撮像画像の例を示す図である。図６に示すターゲット２７の静止画像の撮像によって、ある時刻におけるプラズマ生成領域２５に到達したターゲット２７のＹ軸方向の座標の特定が可能である。
　５．第１実施形態
　５．１　構成
　図７は第１実施形態に係るＥＵＶ光生成システムの構成を概略的に示すブロック図である。図７に示したＥＵＶ光生成システム１１ａは、ターゲット供給部２６ａと、コントローラ５ａと、駆動振動子切替装置３００と、振動子駆動装置３０２と、ターゲット検知装置３０４とを備えている。
　図７に示したターゲット供給部２６ａは、複数の振動子を備えている。図７に示すように、ターゲット供給部２６ａは、３つの振動子である、第１振動子１１１ａ、第２振動子１１１ｂ、及び第３振動子１１１ｃを備えてもよい。
　第１振動子１１１ａ、第２振動子１１１ｂ、及び第３振動子１１１ｃの図示しない電極は、駆動振動子切替装置３００と、駆動電圧を伝送可能に接続される。駆動振動子切替装置３００は、振動子駆動装置３０２と、駆動電圧を伝送可能に接続される。駆動振動子切替装置３００、及び振動子駆動装置３０２は、コントローラ５ａと電気信号を伝送可能に接続される。
　ターゲット検知装置３０４は、ターゲット供給部２６ａから出力されたターゲット２７の状態を検知可能な位置に配置される。ターゲット検知装置３０４は、コントローラ５ａと電気信号を伝送可能に接続される。
　ターゲット検知装置３０４は、図２に示したタイミングセンサ４ａを適用してもよい。ターゲット検知装置３０４は、図２に示したターゲット像計測センサ４ｃを適用してもよい。
　図７に示したコントローラ５ａ、駆動振動子切替装置３００は、図２に示したＥＵＶ光生成コントローラ５に含まれてもよいし、ＥＵＶ光生成コントローラ５とは別に備えられ、ＥＵＶ光生成コントローラ５と電気信号を伝送可能に接続されてもよい。
　コントローラ５ａは、１つ、又は複数のプロセッサを含んで構成されてもよい。コントローラ５ａは、プロセッサに付随するメモリを備えていてもよい。図７に示した振動子駆動装置３０２は、図２に示したピエゾ電源１１２を含んでいてもよい。
　５．２　動作
　　５．２．１　概要
　ＥＵＶ光生成システム１１ａに適用されるターゲット供給部２６ａは、ｍ個の振動子の数を備えている。ｍは２以上の整数である。コントローラ５ａは、ｍ個の振動子の中から任意の一つの振動子を、駆動する最初の振動子として決定する。最初の振動子は１番目の振動子とする。駆動する振動子とは、ターゲット２７を生成する際に駆動電圧を供給して振動させる振動子である。
　コントローラ５ａは、駆動振動子切替装置３００によって、駆動する振動子を選択する。最初に選択される振動子を１番目の振動子とする。１番目の振動子は、ｍ個の振動子のうち、任意の振動子でよい。
　例えば、コントローラ５ａは、１番目の振動子の情報を表す選択信号を駆動振動子切替装置３００へ出力してもよい。例えば、振動子の情報は、振動子の識別番号としてもよい。振動子の識別番号は、ｍ個の振動子のそれぞれに付した１からｍまでの整数としてもよい。
　コントローラ５ａは、１番目の振動子に駆動電圧を供給して、１番目の振動子を振動させる。コントローラ５ａは、ターゲット２７が規定の性能のドロップレットとして結合するように１番目の振動子の駆動パラメータを調整し、１番目の振動子の駆動パラメータを決定する。
　規定の性能のドロップレットの例として、所定の観察位置におけるターゲット２７の通過周波数が１００キロヘルツで通過する、結合したドロップレットが挙げられる。ターゲット２７の通過周波数は、ターゲット２７の通過タイミングの間隔の逆数として算出される。駆動パラメータは、駆動電圧の電圧波形の振幅でもよいし、駆動電圧の電圧波形のデューティでもよい。
　コントローラ５ａは、決定された駆動パラメータを適用して１番目の振動子を振動させて、ターゲット２７を生成する。ターゲット検知装置３０４は、ターゲット２７の状態を検知する。ターゲット２７の状態の検知の詳細は後述する。
　コントローラ５ａは、ターゲット検知装置３０４から出力される、ターゲット２７の状態の検知結果に基づいて、１番目の振動子の故障の有無を判定する。振動子の故障は、振動子が振動しない状態、振動子が振動するもののターゲット２７が出力されない振動子の状態、又は振動子が振動するものの、所定の条件を満たすターゲット２７が出力されない振動子の状態が含まれてもよい。振動子の故障判定の詳細は後述する。
　コントローラ５ａは、１番目の振動子が故障したと判定すると、駆動振動子切替装置３００によって、１番目の振動子と異なる他の振動子であり、未使用の振動子を駆動する振動子に決定する。例えば、１番目の振動子に代わり駆動する振動子として決定された振動子を２番目の振動子とする。
　コントローラ５ａは、振動子を切り替える振動を駆動振動子切替装置３００へ出力する際に、図２に示した露光装置６から出力される光出射停止許可命令に従ってもよい。
　コントローラ５ａは、２番目の振動子の駆動パラメータを調整し、決定する。コントローラ５ａは、２番目の振動子を振動させてターゲット２７を生成する。ターゲット検知装置３０４は、ターゲット２７の状態を検知する。コントローラ５ａは、ターゲット検知装置３０４から出力される、ターゲット２７の状態の検知結果に基づいて、２番目の振動子の故障の有無を判定する。
　このようにして、コントローラ５ａは、任意の未使用の振動子であるｎ番目の振動子を駆動する振動子として決定し、選択すると、ｎ番目の振動子の駆動パラメータを調整し、決定する。なお、ｎは１以上ｍ以下の整数である。
　コントローラ５ａは、ｎ番目の振動子を振動させてターゲット２７を生成する。ターゲット検知装置３０４は、ターゲット２７の状態を検知する。コントローラ５ａは、ターゲット検知装置３０４によるターゲット２７の状態の検知結果に基づいて、ｎ番目の振動子が故障していると判定すると、ｎ＋１番目の振動子を駆動する振動子として決定し、選択する。
　駆動する振動子をｎ番目の振動子からｎ＋１番目の振動子へ切り替える際に、コントローラ５ａは、図２に示した露光装置６から出力される光出射停止許可命令に従ってｎ番目の振動子の振動を停止させてもよい。
　コントローラ５ａは、ｎ＋１番目の振動子の駆動パラメータを調整し、決定する。コントローラ５ａは、ｎ＋１番目の振動子を振動させてターゲット２７を生成する。ターゲット検知装置３０４は、ターゲット２７の状態を検知する。
　このようにして、１番目の振動子からｍ番目の振動子のそれぞれが故障するまで、コントローラ５ａは、駆動する振動子が故障したと判定すると、駆動する振動子を未使用の振動子の中から決定して、変更する。
　　５．２．２　ターゲット検知装置がタイミングセンサの場合の故障判定
　図７に示したターゲット検知装置３０４は、図２に示したタイミングセンサ４ａと兼用されてもよい。図７に示したターゲット検知装置３０４が図２に示したタイミングセンサ４ａの場合、タイミングセンサ４ａはターゲット２７の通過タイミングの間隔を検知する。コントローラ５ａは、ターゲット２７の通過タイミングの間隔から算出される、ターゲット２７の間の距離が、予め決められた規定値以下の場合に、駆動する振動子を故障と判定してもよい。ターゲット２７間の距離は、ターゲット２７の通過タイミングの間隔にターゲット２７の速度を乗算して算出される。ターゲット２７の速度はターゲットの出力条件に基づいて決めることが可能である。
　例えば、標準的なターゲット２７間の距離を１０００マイクロメートルとする。ターゲット２７間の距離のばらつきである３σ（９９．７３パーセント）が、５マイクロメートル未満、又はマイナス５マイクロを超えていれば、コントローラ５ａは振動子が正常と判定してもよい。
　一方、ターゲット２７間の距離のばらつきである３σが、５マイクロメートル以上、又はマイナス５マイクロメートル以下であれば、コントローラ５ａは振動子が故障していると判定してもよい。５マイクロメートルとは、標準的なターゲット２７間の距離である１０００マイクロメートルの０．５パーセントである。
　なお、タイミングセンサ４ａのサンプリング期間は０．１秒としてもよい。サンプル数は１００００としてもよい。
　また、標準的なターゲット２７間の距離からターゲット２７間の距離を減算して求めた差分の最大値の絶対値、又は差分の最小値の絶対値が、標準的なターゲット２７間の距離の０．５パーセント未満であれば、コントローラ５ａは振動子が正常と判定してもよい。標準的なターゲット２７間の距離からターゲット２７間の距離を減算した求めた差分の最大値の絶対値、又は差分の最小値の絶対値が、標準的なターゲット２７間の距離の０．５パーセント以上であれば、コントローラ５ａは振動子が故障していると判定してもよい。
　　５．２．３　ターゲット検知装置がターゲット像計測センサの場合の故障判定
　図７に示したターゲット検知装置３０４は、図２に示したターゲット像計測センサ４ｃと兼用されてもよい。図７に示したターゲット検知装置３０４が、図２に示したターゲット像計測センサ４ｃの場合は、ターゲット像計測センサ４ｃによって撮像された画像の解析結果から得られる、を振動子の故障判定の指標としてもよい。
　例えば、標準的なターゲット２７間の距離を１０００マイクロメートルとする。ターゲット２７間の距離のばらつきである３σが５マイクロメートル未満、又はマイナス５マイクロメートルを超えていれば、コントローラ５ａは振動子が正常と判定してもよい。
　一方、ターゲット２７間の距離のばらつきである３σが５マイクロメートル以上、又はマイナス５マイクロメートル以下であれば、コントローラ５ａは振動子が故障していると判定してもよい。５マイクロメートルは、標準的なターゲット２７間の距離である１０００マイクロメートルの０．５パーセントである。なお、ドロップレットの形態のターゲット２７の直径は２０マイクロメートルとしてもよい。
　また、標準的なターゲット２７間の距離からターゲット２７間の距離を減算して求めた差分の最大値の絶対値、又は差分の最小値の絶対値が、標準的なターゲット２７間の距離の０．５パーセント未満であれば、コントローラ５ａは振動子が正常と判定してもよい。標準的なターゲット２７間の距離からターゲット２７間の距離を減算した値の絶対値が、標準的なターゲット２７間の距離の０．５パーセント以上であれば、コントローラ５ａは振動子が故障していると判定してもよい。
　５．３　振動子切替方法の手順
　図８は第１実施形態に係るＥＵＶ光生成システムに適用される振動子切替方法の手順を示すフローチャートである。図７に示したコントローラ５ａは、ターゲット供給部２６ａに備えられるｍ個の振動子のうち、ｎ番目の振動子を駆動する振動子として決定し、ｎ番目の振動子の振動を開始する。
　図８のステップＳ１０において、図７に示したコントローラ５ａは、ｎ番目の振動子の駆動パラメータを調整し、ｎ番目の振動子の駆動パラメータを決定し、ｎ番目の振動子を振動させる。図８のステップＳ１２では、図７に示したターゲット検知装置３０４によってターゲット２７の検知が実行される。
　図８のステップＳ１４では、図７に示したターゲット検知装置３０４によるターゲット２７の検知結果に基づいて、コントローラ５ａは、ターゲット２７の状態が変化したか否かを判定する。
　図８のステップＳ１４において、図７に示したコントローラ５ａがターゲット２７の状態が変化していないと判定すると、Ｎｏ判定となる。Ｎｏ判定の場合は、図８のステップＳ１２へ進み、ステップＳ１４においてＹｅｓ判定となるまで、ステップＳ１２、及びステップＳ１４が繰り返し実行される。
　ステップＳ１４において、図７に示したコントローラ５ａがターゲット２７の状態が変化していると判定すると、Ｙｅｓ判定となる。Ｙｅｓ判定の場合は、図８のステップＳ１６へ進む。ステップＳ１６では、図７に示したコントローラ５ａは、露光装置６からの光出射停止許可命令を取得したか否かを判定する。
　図８のステップＳ１６において、図７に示したコントローラ５ａが露光装置６からの光出射停止許可命令を取得していない場合は、Ｎｏ判定となる。Ｎｏ判定の場合は、コントローラ５ａは、露光装置６からの光出射停止許可命令を取得したか否かの判定を継続する。
　図８のステップＳ１６において、図７に示したコントローラ５ａが露光装置６からの光出射停止許可命令を取得した場合は、Ｙｅｓ判定となる。Ｙｅｓ判定の場合は、図８のステップＳ１８へ進む。
　ステップＳ１８では、図７に示したコントローラ５ａは、振動子駆動装置３０２によって、ｎ番目の振動子の振動を停止させる。図８のステップＳ１８において、ｎ番目の振動子の振動を停止させると、ステップＳ２０へ進む。
　ステップＳ２０では、図７に示したコントローラ５ａは、ｎ番目の振動子が最終の振動子であるか否かを判定する。最終の振動子はｍ番目の振動子である。図８のステップＳ２０において、図７に示したコントローラ５ａがｎ番目の振動子が最終の振動子でないと判定すると、Ｎｏ判定となる。Ｎｏ判定の場合は、図８のステップＳ２２へ進む。
　ステップＳ２２では、図７に示したコントローラ５ａは、ｎ＋１番目の振動子を駆動する振動子として決定し、振動子駆動装置３０２によって、ｎ＋１番目の振動子の振動を開始する。ｎ＋１番目の振動子は、未使用の振動子であればよい。以降、コントローラ５ａは、図８のステップＳ２２においてＹｅｓ判定となるまで、ステップＳ１０からステップＳ２０までの工程を順に実行する。
　ステップＳ２０において、図７に示したコントローラ５ａが、ｎ番目の振動子が最終の振動子であると判定すると、Ｙｅｓ判定となる。Ｙｅｓ判定の場合は、図７に示したコントローラ５ａは、振動子の切り替えを終了する。
　５．４　作用・効果
　ターゲットの生成の際に駆動する振動子が故障しても、故障した振動子は他の振動子へ切り替わるので、振動子が故障した場合にターゲット供給部を交換する必要がない。これにより、ターゲット供給部に備えられた振動子の数分だけ、ターゲット供給部の寿命が延長可能である。
　また、ターゲットの状態が直接検知されるので、より正確な振動子の故障判定が可能となり、結果として、ＥＵＶ光生成システムの信頼性が向上する。
　本開示におけるターゲット供給部２６、及びターゲット供給部２６ａは、ターゲット供給装置の一態様である。
　本開示における第１振動子１１１ａ、第２振動子１１１ｂ、及び第３振動子１１１ｃを含むｍ個の振動子は、第１振動子を含む複数の振動子の一態様である。本開示におけるターゲット検知装置３０４は、検知部の一態様である。
　本開示における第１振動子１１１ａ、第２振動子１１１ｂ、及び第３振動子１１１ｃを含むｍ個の振動子のうち未使用の振動子は、第１振動子と異なる他の振動子の一態様である。本開示における駆動振動子切替装置は、振動子切替部の一態様である。本開示におけるコントローラ５ａは、制御部の一態様である。本開示における振動子駆動装置３０２は振動子駆動部の一態様である。
　本開示におけるタイミングセンサ４ａは、ターゲットの通過経路における、各ターゲット間の通過タイミングの間隔を計測する通過タイミング間隔計測部の一態様である。本開示におけるタイミングセンサ４ａは、ノズルから出力するターゲットの出力タイミングを調整するために、各ターゲット間の通過タイミングの間隔を計測するタイミング計測部の一態様である。本開示におけるタイミングセンサ４ａに備えられる照明部２００は、第１照明部の一態様である。
　本開示におけるターゲット像計測センサ４ｃに備えられる第３撮像装置２８８は、ノズルから出力したターゲットを撮像する撮像部の一態様である。本開示におけるターゲット像計測センサ４ｃに備えられる第２照明装置２８６は、第２照明部の一態様である。
　６．第２実施形態
　６．１　構成
　図９は第２実施形態に係るＥＵＶ光生成システムの構成を概略的に示すブロック図である。図９に示したＥＵＶ光生成システム１１ｂは、ターゲット供給部２６ｂと、センサ切替装置３１０と、振動起電力計測装置３１２と、カウンタ３１４とを備えている。カウンタ３１４はタイマでもよい。
　図９に示したターゲット供給部２６ｂは、複数の振動子を備えている。複数の振動子は、振動センサとして使用可能な振動子が少なくとも１つ含まれる。図９に示した第４振動子１１１ｄは、振動センサとして使用可能な振動子であってもよい。
　第１振動子１１１ａ、第２振動子１１１ｂ、及び第４振動子１１１ｄの図示しない電極は、センサ切替装置３１０と、駆動電圧を伝送可能に接続される。センサ切替装置３１０は、振動起電力計測装置３１２と電気信号を伝送可能に接続される。センサ切替装置３１０、及び振動起電力計測装置３１２は、コントローラ５ａと電気信号を伝送可能に接続される。カウンタ３１４は、コントローラ５ａと電気信号を伝送可能に接続される。
　６．２　動作
　コントローラ５ａは、ターゲット供給部２６ｂに備えられる複数の振動子の中から、駆動に使用しない任意の一つの振動子を振動センサとして決定する。振動センサとしてｍ番目の振動子を決定してもよい。例えば、図９の第４振動子１１１ｄをｍ番目の振動子とし、振動センサとして決定してもよい。なお、ｍ番目の振動子は、ｍ個の振動子のうち任意の振動子である。
　コントローラ５ａは、センサ切替装置３１０によって、振動センサとしてｍ番目の振動子を選択する。コントローラ５ａは、振動センサとして選択するｍ番目の振動子の情報を表す選択信号をセンサ切替装置３１０へ出力してもよい。振動子の情報は、振動子の識別番号としてもよい。振動子の識別番号は、ｍ個の振動子のそれぞれに付した１からｍまでの整数としてもよい。
　コントローラ５ａは、駆動する振動子としてｎ番目の振動子を決定し、選択する。コントローラ５ａがｎ番目の振動子を振動させると、その振動がノズルを介して振動センサとして使用するｍ番目の振動子に伝達する。その結果、ｍ番目の振動子はｎ番目の振動子の振動状態を表す起電力を発生させる。振動起電力計測装置３１２は、ｍ番目の振動子が発生させる起電力を計測する。ｎ番目の振動子の振動状態は、ｎ番目の振動子を振動させた際のノズルの振動状態を表している。ノズルは、ノズル孔２６７を含む、ノズル部材２６６の先端部分である。
　コントローラ５ａは、振動起電力計測装置３１２によって計測されたｍ番目の振動子が発生させる起電力の状態に基づいて、ｎ番目の振動子の故障の有無を判定する。コントローラ５ａは、振動センサとして使用するｍ番目の振動子が発生させる起電力の電圧波形を、駆動する振動子の初期状態においてｍ番目の振動子が発生させる起電力の電圧波形と常に比較してもよい。
　コントローラ５ａは、ｍ番目の振動子が発生させる起電力の測定タイミングごとに、計測結果の電圧波形と、規定となる電圧波形を比較してもよい。
　起電力の状態は、起電力の振幅の最大値を指標としてもよい。コントローラ５ａは、ｍ番目の振動子が発生させる起電力の振幅の最大値が、規定値のマイナス１０パーセント以下となった場合に、ｎ番目の振動子が故障していると判定してもよい。ｎ番目の振動子の故障判定に適用される規定値は、ｎ番目の振動子の初期状態においてｍ番目の振動子が発生させる起電力の振幅の最大値としてもよい。
　ｎ番目の振動子の初期状態は、ｎ番目の振動子の振動の計測を開始した直後としてもよい。ここでいう直後とは、計測を開始したタイミングが含まれてもよいし、計測を開始したタイミングから所定のパルス数が出力されるタイミングまでの期間としてもよい。規定値は、計測を開始したタイミングから所定のパルス数が出力されるタイミングまでの期間における測定値の平均値としてもよい。所定のパルス数は１パルス以上であればよい。例えば、所定のパルス数は１００パルスとしてもよい。
　規定値のマイナス１０パーセント以下という故障判定の閾値は例示である。故障判定の閾値は、ターゲット供給部２６ｂから出力されるターゲット２７が満たすべき条件に応じて決めてもよい。ターゲット２７が満たすべき条件は、ターゲットの形状、又はサテライトの有無などを適用してもよい。
　コントローラ５ａは、ｎ番目の振動子が故障したと判定すると、ｎ＋１番目の振動子を駆動する振動子として決定し、選択する。ｎ＋１番目の振動子は、駆動する振動子として未使用の振動子であれば、いずれの振動子であってもよい。
　振動センサとして使用するｍ番目の振動子以外の振動子が全て故障した場合、コントローラ５ａは、振動起電力計測装置３１２によるｍ番目の振動子の起電力の計測を停止させる。
　コントローラ５ａは、駆動する振動子としてｍ番目の振動子を決定し、選択する。コントローラ５ａは、ｍ番目の振動子の駆動パラメータを調整し、決定する。カウンタ３１４は、ｍ番目の振動子の振動回数を計測する。カウンタ３１４によって計測されたｍ番目の振動子の振動回数が規定回数以上になると、コントローラ５ａはｍ番目の振動子の振動を停止させる。ｍ番目の振動子の振動回数は、ｍ番目の振動子が駆動する振動子として使用されてからの振動回数としてもよい。なお、規定回数は振動回数の規定値である。
　規定回数は、１．０×１０１１回としてもよい。１．０×１０１１回は、１００キロヘルツで振動子を振動させ、１日あたり２４時間、振動子を振動させ、１２日間、振動子を振動させた場合の振動回数に相当する。
　カウンタ３１４に代わりタイマを備える場合、タイマはｍ番目の振動子の振動の開始からの期間を計測する。振動の開始は、ｍ番目の振動子が駆動する振動子として使用される場合の振動の開始としてもよい。タイマによって計測された期間が規定期間以上になると、コントローラ５ａは、ｍ番目の振動子の振動を停止させる。なお、規定期間は振動期間の規定値である。
　規定期間は、１０３６８００秒としてもよい。１０３６８００秒は、１日あたり２４時間、振動子を振動させ、１２日間、振動子を振動させた場合の期間に相当する。
　図１０は図９に示した振動センサとして使用される振動子が発生させる起電力の電圧波形の一例を示す図である。図１０に符号３３０を付した電圧波形は、初期状態の駆動する振動子の振動によって、振動センサとして使用される振動子が発生させる起電力の電圧波形の一例である。
　図１０に符号３３２を付した電圧波形は、電圧波形の振幅の計測例であり、駆動する振動子が故障と判定される場合の、振動センサとして使用される振動子が発生させる起電力の電圧波形の振幅の計測例である。
　図１０に示したグラフの横軸は期間である。期間の単位はマイクロ秒である。図１０に示したグラフの縦軸は電圧である。電圧の単位はボルトである。図１０の縦軸は、電圧波形３３０における正方向の最大値Ｖ１ｍａｘを１ボルトとし、負方向の最小値Ｖ１ｍｉｎを－１ボルトとした相対値で表されている。
　電圧波形３３０の最大値Ｖ１ｍａｘから最小値Ｖ１ｍｉｎを減算して算出した電圧波形３３０の振幅の最大値を、初期振幅として起電力の規定値としてもよい。電圧波形３３０の振幅の最大値を１回の計測値として、１００回分の計測値の平均値を起電力の規定値としてもよい。
　電圧波形３３２の最大値Ｖ２ｍａｘから最小値Ｖ２ｍｉｎを減算して算出した電圧波形３３２の振幅の最大値を、起電力の計測値としてもよい。電圧波形３３２の振幅の最大値を１回の計測値として、１００回分の計測値の平均値を起電力の計測値としてもよい。
　起電力の規定値である電圧波形３３０の振幅の最大値は２．０ボルトである。電圧波形３３２の計測値は１．８ボルトであり、起電力の規定値のマイナス１０パーセント以下である。振動起電力計測装置３１２によって、電圧波形３３２が計測された場合は、駆動する振動子は故障していると判定してもよい。
　６．３　振動子切替方法の手順
　図１１は第２実施形態に係るＥＵＶ光生成システムに適用される振動子切替方法の手順を示すフローチャートである。
　ステップＳ１０において、図９に示したコントローラ５ａは、ｎ番目の振動子の駆動パラメータを調整し、ｎ番目の振動子の駆動パラメータを決定する。コントローラ５ａは、ｎ番目の振動子の振動を開始させる。
　図１１のステップＳ４０では、図９に示した振動起電力計測装置３１２は、ｍ番目の振動子によって検知されたｎ番目の振動子の振動を計測する。図１１のステップＳ４２では、図９に示したコントローラ５ａは、ｎ番目の振動子の振動における振幅の最大値が、規定値のマイナス１０パーセント以下であるか否かを判定する。
　図１１のステップＳ４２において、図９に示したコントローラ５ａが、ｎ番目の振動子の振動における振幅が、規定値のマイナス１０パーセントを超えていると判定すると、Ｎｏ判定となる。Ｎｏ判定の場合は、図１１のステップＳ４０に進み、ステップＳ４２においてＹｅｓ判定となるまで、ステップＳ４０、及びステップＳ４２が繰り返し実行される。
　ステップＳ４２において、図９に示したコントローラ５ａが、ｎ番目の振動子の振動における振幅が、規定値のマイナス１０パーセント以下であると判定すると、Ｙｅｓ判定となる。Ｙｅｓ判定の場合は、図１１のステップＳ４４へ進む。
　ステップＳ４４からステップＳ５０までの工程は、図８のステップＳ１６からステップＳ２２までの工程と同様の工程であり、ここでの説明は省略する。図１１のステップＳ４８において、図９に示したコントローラ５ａが、ｎ番目の振動子がｍ－１番目の振動子であると判定すると、図１１のステップＳ５２へ進む。
　換言すると、図１１のステップＳ４８において、図９に示したコントローラ５ａが、ｍ－１個の振動子が故障して、駆動する振動子として未使用の振動子が振動センサとして使用しているｍ番目の振動子のみになったと判定すると、図１１のステップＳ５２へ進む。
　ステップＳ５２では、図９に示したコントローラ５ａは、センサ切替装置３１０によってｍ番目の振動子による検知を停止させる。図１１のステップＳ５４では、図９に示したコントローラ５ａは、ｍ番目の振動子を振動する振動子として決定し、選択して、ｍ番目の振動子の振動を開始させる。
　図１１のステップＳ５６では、図９に示したコントローラ５ａは、ｍ番目の振動子の駆動パラメータを調整し、決定する。図１１のステップＳ５８では、図９に示したコントローラ５ａは、カウンタ３１４によってｍ番目の振動子の振動回数を計測する。コントローラ５ａは、ｍ番目の振動子の振動回数が規定回数以上であるか否かを判定する。
　図１１のステップＳ５８では、図９に示したコントローラ５ａは、タイマによってｍ番目の振動子の振動期間を計測し、ｍ番目の振動子の振動期間が規定期間以上であるか否かを判定してもよい。
　図１１のステップＳ５８において、図９に示したコントローラ５ａが、ｍ番目の振動子の振動回数が規定回数未満である判定すると、Ｎｏ判定となる。Ｎｏ判定の場合は、コントローラ５ａは、図１１のステップＳ５８において、Ｙｅｓ判定となるまで、ｍ番目の振動子の振動回数が規定回数以上であるか否かの判定を継続する。
　ステップＳ５８において、コントローラ５ａが、ｍ番目の振動子の振動回数が規定回数以上であると判定すると、Ｙｅｓ判定となる。Ｙｅｓ判定の場合は、図９に示したコントローラ５ａは、振動子の切り替えを終了する。
　６．４　作用・効果
　ターゲットの生成の際に駆動する振動子が故障しても、故障した振動子は他の振動子へ直ちに切り替わるので、振動子が故障した場合にターゲット供給部を交換する必要がない。これにより、ターゲット供給部に備えられた振動子の数分だけ、ターゲット供給部の寿命が延長可能である。
　また、複数の振動子の少なくとも１つは、振動センサとして使用されるので、専用の振動センサが不要となる。
　本開示における第１振動子１１１ａ、第２振動子１１１ｂ、及び第４振動子１１１ｄを含むｍ個の振動子は、ノズルを振動させる第２振動子、及びノズルの振動を検知する第３振動子を含む複数の振動子の一態様である。
　本開示における振動センサとして使用されるｍ番目の振動子は、第３振動子の一態様である。本開示における振動センサとして使用されるｍ番目の振動子、及び振動起電力計測装置は、検知部の一態様である。
　本開示におけるセンサ切替装置３１０は、複数の振動子のいずれかを第３振動子に切り替える検知振動子切替部の一態様である。本開示におけるカウンタ３１４は、第２振動子の振動回数を計測する振動回数計測部の一態様である。本開示におけるタイマは、第２振動子の振動期間を計測する振動期間計測部の一態様である。
　７．第３実施形態
　７．１　構成
　図１２は第３実施形態に係るＥＵＶ光生成システムの構成を概略的に示すブロック図である。図１２に示したターゲット供給部２６ｃは、専用の振動センサ３５０を備えている。振動センサ３５０は振動起電力計測装置３１２と電気信号を伝送可能に接続されている。
　図９に示した第４振動子１１１ｄが振動センサと駆動する振動子とを兼用するのに対して、図１２に示した振動センサ３５０は振動検知専用である。振動センサ３５０は圧電素子を適用してもよい。
　７．２　動作
　コントローラ５ａは、複数の振動子から駆動する振動子を決定し、選択する。ここでは、コントローラ５ａは、ｎ番目の振動子を選択する。コントローラ５ａは、ｎ番目の振動子を振動させ、ｎ番目の振動子の駆動パラメータを調整し、設定する。
　振動起電力計測装置３１２は、振動センサ３５０によって検知されたｎ番目の振動子の振動を計測する。振動センサ３５０によって検知されたｎ番目の振動子の振動の計測は、第２実施形態における、振動センサとして使用するｍ番目の振動子によって検知されたｎ番目の振動子の振動の計測と同様であり、ここでの説明は省略する。
　７．３　振動子切替方法の手順
　図１３は第３実施形態に係るＥＵＶ光生成システムに適用される振動子切替方法の手順を示すフローチャートである。図１３に示したフローチャートは、図１１に示したステップＳ４０に代わり、ステップＳ４１が含まれる。
　ステップＳ４１では、図１２に示した振動起電力計測装置３１２は、振動センサ３５０によって検知されたｎ番目の振動子の振動を計測する。図１３のステップＳ４２からステップＳ４６、及びステップＳ５０は、図１１のステップＳ４２からステップＳ４６、及びステップＳ５０と同様の工程であり、ここでの説明は省略する。
　図１３のステップＳ４８は、図８のステップＳ２０と同様の工程である。図１３のステップＳ４８では、図１２に示したコントローラ５ａは、ｎ番目の振動子が最終の振動子であるか否かを判定する。最終の振動子はｍ番目の振動子である。
　図１３のステップＳ４８において、図１２に示したコントローラ５ａがｎ番目の振動子が最終の振動子でないと判定すると、Ｎｏ判定となる。Ｎｏ判定の場合は、図１３のステップＳ５０へ進む。
　図１３のステップＳ４８において、図１２に示したコントローラ５ａがｎ番目の振動子が最終の振動子であると判定すると、Ｙｅｓ判定となる。Ｙｅｓ判定の場合は、図１２に示したコントローラ５ａは、振動子の切り替えを終了する。
　７．４　作用・効果
　ターゲットの生成に使用する振動子が故障しても、故障した振動子は他の振動子へ直ちに切り替わるので、振動子が故障した場合にターゲット供給部を交換する必要がない。これにより、ターゲット供給部に備えられた振動子の数分だけ、ターゲット供給部の寿命が延長可能である。
　専用の振動センサを備えているので、振動の計測に有利な特性を備える振動センサを採用することができる。これにより、振動子の故障判定の精度を高めることができ、より正確な振動子の切替に係る判定が可能となり、ＥＵＶ光生成システムの信頼性が向上する。
　本開示における第１振動子１１１ａ、及び第２振動子１１１ｂを含むｍ個の振動子は、第４振動子を含む複数の振動子の一態様である。本開示における振動センサ３５０、及び振動起電力計測装置３１２を含む構成は、検知部の一態様である。
　本開示における第１振動子１１１ａ、及び第２振動子１１１ｂを含むｍ個の振動子のうち未使用の振動子は、第４振動子と異なる他の振動子の一態様である。
　８．第４実施形態
　８．１　構成
　図１４は第４実施形態に係るＥＵＶ光生成システムの構成を概略的に示すブロック図である。図１４に示したＥＵＶ光生成システム１１ｄは、図７に示したターゲット供給部２６ａを備えている。一方、図１４に示したＥＵＶ光生成システム１１ｄは、図７に示したターゲット検知装置３０４に代わり、カウンタ３１４ａを備えている。
　図１４に示したカウンタ３１４ａは、コントローラ５ａと電気信号を伝送可能に接続されている。図１４に示したカウンタ３１４ａは、駆動する振動子の振動回数を計測する。ＥＵＶ光生成システム１１ｄはカウンタ３１４に代わりタイマを備えてもよい。タイマは駆動する振動子の振動期間を計測する。
　８．２　動作
　コントローラ５ａは、複数の振動子から駆動する振動子を決定し、選択する。ここでは、コントローラ５ａは、ｎ番目の振動子を選択する。コントローラ５ａは、ｎ番目の振動子を振動させ、ｎ番目の振動子の駆動パラメータを調整し、設定する。
　コントローラ５ａは、ｎ番目の振動子の動作中の振動回数を計測する命令をカウンタ３１４ａへ出力する。ｎ番目の振動子の動作中は、ターゲット供給部２６がｎ番目の振動子を振動させてターゲット２７を出力する期間としてもよい。
　カウンタ３１４ａは、ｎ番目の振動子の動作中の振動回数が１つの振動子における規定回数に達するまで、ｎ番目の振動子の動作中の振動回数を計測する。カウンタ３１４ａは、ｎ番目の振動子の動作中の振動回数が１つの振動子における規定回数に達した際に、その旨を表す信号をコントローラ５ａへ出力する。例えば、規定回数は、１×１０１１回としてもよい。１×１０１１回は、ターゲット供給部２６の寿命を３６日とし、振動子の数を３つとし、振動子を１００キロヘルツで振動させ、１日あたり２４時間、１２日間、１つの振動子を振動させた場合の３つの振動子の合計の振動回数に相当する。
　コントローラ５ａは、カウンタ３１４ａから出力された、ｎ番目の振動子の動作中の振動回数が１つの振動子における規定回数に達した旨を表す信号が入力されると、駆動する振動子を他の振動子へ切り替える信号を駆動振動子切替装置３００へ出力する。
　駆動振動子切替装置３００によって、駆動する振動子が他の振動子へ切り替えられると、コントローラ５ａはカウンタ３１４ａの計測値をリセットする信号をカウンタ３１４ａへ出力する。
　カウンタ３１４ａは、ｎ番目の振動子の動作中の振動回数を表す信号をコントローラ５ａへ出力してもよい。コントローラ５ａは、ｎ番目の振動子の動作中の振動回数が１つの振動子における規定回数に達するまで、カウンタ３１４ａの計測値を表す信号を取得してもよい。
　コントローラ５ａは、ｎ番目の振動子の動作中の振動回数が１つの振動子における規定回数に達しているか否かを監視してもよい。コントローラ５ａは、ｎ番目の振動子の動作中の振動回数が１つの振動子における規定回数に達した際に、露光装置６の光出射停止許可命令に従って、駆動する振動子を他の振動子へ切り替える信号を駆動振動子切替装置３００へ出力してもよい。
　カウンタ３１４ａに代わりタイマが備えられる場合は、コントローラ５ａは、ｎ番目の振動子の動作中の振動期間を計測する命令をタイマへ出力する。タイマはｎ番目の振動子の動作中の振動期間が１つの振動子における規定期間に達するまで、ｎ番目の振動子の動作中の振動期間を計測する。
　タイマは、ｎ番目の振動子の動作中の振動期間が１つの振動子における規定期間に達した際に、その旨を表す信号をコントローラ５ａへ出力する。例えば、規定期間は、１０３６８００秒としてもよい。１０３６８００秒は、ターゲット供給部２６の寿命を３６日とし、振動子の数を３つとし、１日あたり２４時間、１２日間、１つの振動子を振動させた場合の３つの振動子の合計の期間に相当する。
　コントローラ５ａは、タイマから出力された、ｎ番目の振動子の動作中の振動期間が１つの振動子における規定期間に達した旨を表す信号が入力されると、駆動する振動子を他の振動子へ切り替える信号を駆動振動子切替装置３００へ出力してもよい。
　駆動振動子切替装置３００によって、駆動する振動子が他の振動子へ切り替えられると、コントローラ５ａはタイマの計測値をリセットする信号をカウンタ３１４ａへ出力してもよい。
　タイマは、ｎ番目の振動子の動作中の振動期間を表す信号をコントローラ５ａへ出力してもよい。コントローラ５ａは、ｎ番目の振動子の動作中の振動期間が１つの振動子における規定期間に達するまで、タイマの計測値を表す信号を取得してもよい。
　コントローラ５ａは、ｎ番目の振動子の動作中の振動期間が１つの振動子における規定期間に達しているか否かを監視してもよい。コントローラ５ａは、ｎ番目の振動子の動作中の振動期間が１つの振動子における規定期間に達すると、駆動する振動子を他の振動子へ切り替える信号を駆動振動子切替装置３００へ出力してもよい。
　８．３　振動子切替方法の手順
　　８．３．１　第１例
　図１５は第４実施形態に係るＥＵＶ光生成システムに適用される振動子切替方法の第１例の手順を示すフローチャートである。図１５に示した第１例に係る振動子切替方法は、振動子の振動回数に基づいて駆動する振動子を切り替える。
　図１４に示したコントローラ５ａは、ターゲット供給部２６ａに備えられるｍ個の振動子のうち、ｎ番目の振動子を駆動する振動子として決定し、ｎ番目の振動子の振動を開始する。
　図１５のステップＳ１０では、図１４に示したコントローラ５ａは、ｎ番目の振動子の駆動パラメータを調整し、ｎ番目の振動子の駆動パラメータを決定し、ｎ番目の振動子を振動させる。
　図１５のステップＳ６０では、図１４に示したコントローラ５ａは、カウンタ３１４ａの計測値をリセットする信号をカウンタ３１４ａへ出力する。図１５のステップＳ６２では、図１４に示したカウンタ３１４ａは、ｎ番目の振動子の振動回数を計測する。図１５のステップＳ６４では、図１４に示したカウンタ３１４ａは、ｎ番目の振動子の振動回数が、１つの振動子における規定回数に達したか否かを判定する。
　図１５のステップＳ６４において、図１４に示したカウンタ３１４ａがｎ番目の振動子の振動回数が１つの振動子における規定回数に達していないと判定すると、Ｎｏ判定となる。Ｎｏ判定の場合は図１５のステップＳ６２へ進み、ステップＳ６４においてＹｅｓ判定となるまで、ステップＳ６２、及びステップＳ６４の工程が繰り返し実行される。
　ステップＳ６４において、図１４に示したカウンタ３１４ａがｎ番目の振動子の振動回数が１つの振動子における規定動回数に達していると判定すると、Ｙｓｅ判定となる。Ｙｓｅ判定の場合は、ステップＳ６６へ進む。ステップＳ６６からステップＳ７２までのそれぞれは、図８のステップＳ１６からステップＳ２２までのそれぞれと同様の工程であり、ここでの説明は省略する。
　図１５のステップＳ７０において、Ｙｅｓ判定の場合は、図１４に示したコントローラ５ａは、振動子の切り替えを終了する。
　　８．３．２　第２例
　図１６は第４実施形態に係るＥＵＶ光生成システムに適用される振動子切替方法の第２例の手順を示すフローチャートである。図１６に示した第２例に係る振動子切替方法は、振動子の振動期間に基づいて駆動する振動子を切り替える。
　図１６のステップＳ１０は、図１５のステップＳ１０と同様の工程であり、ここでの説明は省略する。図１６のステップＳ８０では、図１４に示したコントローラ５ａは、図示しないタイマの計測値をリセットする信号をタイマへ出力する。
　図１６のステップＳ８２では、タイマはｎ番目の振動子の振動期間を計測する。図１６のステップＳ８４では、タイマは、ｎ番目の振動子の振動期間が、１つの振動子における規定期間に達したか否かを判定する。
　図１６のステップＳ８４において、タイマがｎ番目の振動子の振動期間が１つの振動子における規定期間に達していないと判定すると、Ｎｏ判定となる。Ｎｏ判定の場合はステップＳ８２へ進み、ステップＳ８４においてＹｅｓ判定となるまで、ステップＳ８２、及びステップＳ８４の工程が繰り返し実行される。
　ステップＳ８４において、タイマがｎ番目の振動子の振動期間が１つの振動子における規定期間に達していると判定すると、Ｙｓｅ判定となる。Ｙｓｅ判定の場合は、ステップＳ８６へ進む。ステップＳ８６からステップＳ７２までのそれぞれは、図８のステップＳ１６からステップＳ２２までのそれぞれと同様の工程であり、ここでの説明は省略する。
　図１６のステップＳ９０において、Ｙｅｓ判定の場合は、図１４に示したコントローラ５ａは、振動子の切り替えを終了する。
　８．４　作用・効果
　ターゲット供給部が振動子を１つ備える場合と比較して、振動子の１つあたりの振動回数、又は振動期間の低減化が可能であり、結果として、駆動する振動子の故障率を低下させることが可能である。これにより、ターゲット供給部に備えられる振動子の数に応じて、ターゲット供給部の長寿命化が可能である。
　また、駆動する振動子が故障する前に、駆動する振動子を未使用の振動子へ切り替えることが可能であり、振動子の故障に伴うＥＵＶ光生成システムのダウンタイムの抑制が可能である。これにより、ＥＵＶ光生成システムの信頼性が向上する。
　本開示における第１振動子１１１ａ、第２振動子１１１ｂ、及び第３振動子１１１ｃを含むｍ個の振動子は、第５振動子を含む複数の振動子の一態様である。本開示におけるカウンタ３１４ａ、及びタイマを含む構成は、検知部の一態様である。
　本開示における第１振動子１１１ａ、及び第２振動子１１１ｂを含むｍ個の振動子のうち未使用の振動子は、第５振動子と異なる振動子の一態様である。
　本開示におけるカウンタ３１４ａは、第５振動子の振動回数を計測する振動回数計測部の一態様である。本開示におけるタイマは、第５振動子の振動期間を計測する振動期間計測部の一態様である。
　上記の説明は、制限ではなく単なる例示を意図している。したがって、添付の特許請求の範囲を逸脱することなく本開示の実施形態に変更を加えることができることは、当業者には明らかであろう。
　本明細書及び添付の特許請求の範囲全体で使用される用語は、「限定的でない」用語と解釈されるべきである。例えば、「含む」又は「含まれる」という用語は、「含まれるものとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。「有する」という用語は、「有するものとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。また、本明細書、及び添付の特許請求の範囲に記載される不定冠詞「１つの」は、「少なくとも１つ」又は「１又はそれ以上」を意味すると解釈されるべきである。

Claims (19)

  1. 　ターゲットを出力するノズルと、
    　前記ノズルを振動させる第１振動子を含む複数の振動子と、
    　前記ノズルから出力したターゲットの状態の変化を検知する検知部と、
    　前記ノズルを振動させる振動子を前記第１振動子から、前記複数の振動子に含まれる前記第１振動子と異なる他の振動子へ切り替える振動子切替部と、
    　前記検知部によって検出された前記ノズルから出力したターゲットの状態の変化に基づいて、前記ノズルを振動させる振動子の切り替えを制御する制御部と、
    　を備えたターゲット供給装置。
  2. 　請求項１に記載のターゲット供給装置であって、
    　前記検知部は、前記ノズルから出力した複数のターゲットの通過経路における、各ターゲット間の通過タイミングの間隔を計測する通過タイミング間隔計測部を備え、
    　前記制御部は、前記通過タイミング間隔計測部によって計測された各ターゲット間の通過タイミングの間隔が予め規定された規定値以下の場合に、前記振動子切替部によって、前記ノズルを振動させる振動子を前記第１振動子から、前記第１振動子と異なる他の振動子へ切り替えるターゲット供給装置。
  3. 　請求項２に記載のターゲット供給装置であって、
    　通過タイミング間隔計測部は、前記ノズルから出力した複数のターゲットへ照明光を照射する第１照明部と、
    　前記ノズルから出力した複数のターゲットの通過経路を挟んで、前記第１照明部と対向する位置に配置される受光部と、
    　を備えたターゲット供給装置。
  4. 　請求項１に記載のターゲット供給装置であって、
    　前記検知部は、前記ノズルから出力したターゲットを撮像する撮像部を備え、
    　前記制御部は、前記撮像部により撮像された前記ノズルから出力した複数のターゲットの画像から解析される各ターゲット間の通過タイミングの間隔が予め規定された規定値以下の場合に、前記振動子切替部によって、前記ノズルを振動させる振動子を前記第１振動子から、前記第１振動子と異なる振動子へ切り替えるターゲット供給装置。
  5. 　請求項４に記載のターゲット供給装置であって、
    　前記検知部は、前記ノズルから出力したターゲットの通過経路を挟んで前記撮像部と対向する位置に配置される第２照明部を備えるターゲット供給装置。
  6. 　請求項５に記載のターゲット供給装置であって、
    　前記撮像部は、前記ノズルから出力したターゲットの通過経路における前記ターゲットの検知位置での前記ターゲットの静止画を撮像するターゲット供給装置。
  7. 　請求項１に記載のターゲット供給装置であって、
    　前記ノズルを振動させる振動子へ駆動電圧を供給し、前記制御部と電気信号の伝送が可能に接続され、前記振動子切替部と駆動電圧の伝送が可能に接続される振動子駆動部を備えたターゲット供給装置。
  8. 　ターゲットを出力するノズルと、
    　前記ノズルを振動させる第２振動子、及び前記ノズルの振動を検知する第３振動子を含む複数の振動子と、
    　前記ノズルの振動を表す検知信号を出力し、前記第３振動子を含む検知部と、
    　前記ノズルを振動させる振動子を前記第２振動子から、前記複数の振動子に含まれる前記第２振動子と異なる他の振動子へ切り替える振動子切替部と、
    　前記検知部から出力される検知信号に基づいて、前記ノズルを振動させる振動子の切り替えを制御する制御部と、
    　を備えたターゲット供給装置。
  9. 　請求項８に記載のターゲット供給装置であって、
    　前記検知部は、前記ノズルの振動の大きさを表す検知信号を出力し、
    　前記制御部は、前記ノズルの振動の大きさが予め決められた規定値以下の場合に、前記ノズルを振動させる振動子を第２振動子と異なる他の振動子へ切り替えるターゲット供給装置。
  10. 　請求項８に記載のターゲット供給装置であって、
    　前記複数の振動子のいずれかを前記第３振動子に切り替える検知振動子切替部を備え、
    　前記制御部は、前記検知振動子切替部によって、前記ノズルを振動させる第２振動子と異なる他の振動子を前記第３振動子に切り替えるターゲット供給装置。
  11. 　請求項８記載のターゲット供給装置であって、
    　前記制御部は、前記振動子切替部によって、前記ノズルの振動を検知する第３振動子を前記ノズルからターゲットを出力する前記第２振動子へ切り替えるターゲット供給装置。
  12. 　請求項１１に記載のターゲット供給装置であって、
    　前記第３振動子とされた振動子が前記第２振動子に切り替えられた場合に、前記第２振動子の振動回数を計測する振動回数計測部を備え、
    　前記制御部は、前記振動回数計測部による計測値が予め決められた振動回数の規定値に達した場合に、前記第２振動子の振動を停止させるターゲット供給装置。
  13. 　請求項１１に記載のターゲット供給装置であって、
    　前記第３振動子とされた振動子が前記第２振動子に切り替えられた場合に、前記第２振動子の振動期間を計測する振動期間計測部を備え、
    　前記制御部は、前記振動期間計測部による計測値が予め決められた振動期間の規定値に達した場合に、前記第２振動子の振動を停止させるターゲット供給装置。
  14. 　請求項８に記載のターゲット供給装置であって、
    　前記ノズルを振動させる振動子へ駆動電圧を供給し、前記制御部と電気信号の伝送が可能に接続され、前記振動子切替部と駆動電圧の伝送が可能に接続される振動子駆動部を備えたターゲット供給装置。
  15. 　ターゲットを出力するノズルと、
    　前記ノズルを振動させる第４振動子を含む複数の振動子と、
    　前記ノズルの振動を検知し、前記ノズルの振動を表す検知信号を出力する検知部と、
    　前記ノズルを振動させる振動子を前記第４振動子から、前記複数の振動子に含まれる前記第４振動子と異なる他の振動子へ切り替える振動子切替部と、
    　前記検知部から出力される検知信号に基づいて、前記ノズルを振動させる振動子の切り替えを制御する制御部と、
    　を備えたターゲット供給装置。
  16. 　請求項１５に記載のターゲット供給装置であって、
    　前記検知部は、前記ノズルの振動の大きさを表す検知信号を出力し、
    　前記制御部は、前記ノズルの振動の大きさが予め決められた規定値以下の場合に、前記ノズルを振動させる振動子を第４振動子と異なる他の振動子へ切り替えるターゲット供給装置。
  17. 　請求項１５に記載のターゲット供給装置であって、
    　前記ノズルを振動させる振動子へ駆動電圧を供給し、前記制御部と電気信号の伝送が可能に接続され、前記振動子切替部と駆動電圧の伝送が可能に接続される振動子駆動部を備えたターゲット供給装置。
  18. 　ターゲットを出力するノズルと、
    　前記ノズルを振動させる第５振動子を含む複数の振動子と、
    　前記第５振動子の振動回数を計測する振動回数計測部、又は前記第５振動子の振動期間を計測する振動期間計測部の少なくともいずれかを含む検知部と、
    　前記ノズルを振動させる振動子を前記第５振動子から、前記複数の振動子に含まれる前記第５振動子と異なる他の振動子へ切り替える振動子切替部と、
    　前記振動回数計測部によって計測された前記第５振動子の振動回数が予め決められた振動回数の規定値に達した場合、又は前記振動期間計測部によって計測された前記第５振動子の振動期間が予め決められた振動期間の規定値に達した場合に、前記振動子切替部によって、前記ノズルを振動させる振動子を前記第５振動子と異なる他の振動子へ切り替える制御部と、
    　を備えたターゲット供給装置。
  19. 　請求項１８に記載のターゲット供給装置であって、
    　前記ノズルを振動させる振動子へ駆動電圧を供給し、前記制御部と電気信号の伝送が可能に接続され、前記振動子切替部と駆動電圧の伝送が可能に接続される振動子駆動部を備えたターゲット供給装置。
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