WO2018066072A1

WO2018066072A1 - 制御装置

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Publication number: WO2018066072A1
Application number: PCT/JP2016/079510
Authority: WO
Inventors: 俊博東; 智哉藤田; 佐藤　剛
Original assignee: 三菱電機株式会社
Priority date: 2016-10-04
Filing date: 2016-10-04
Publication date: 2018-04-12
Also published as: JPWO2018066072A1

Abstract

駆動部１２５を制御する制御装置１０１は、工具および工具が固定される工具保持部のうちの少なくとも一方の位置と変位と速度と加速度のうち少なくとも一つを算出可能な物理量を計測した計測値と、被加工物および被加工物が固定される被加工物保持部のうちの少なくとも一方の位置と変位と速度と加速度のうち少なくとも一つを算出可能な物理量を計測した計測値と、工具と被加工物の少なくとも一方を制御するための駆動部１２５への駆動指令とに基づき、被加工物に対する工具の相対変位と駆動指令が目標とする指令位置との間に生じる相対振動の程度を表す成分を算出する相対振動算出部１０２と、相対振動算出部１０２の算出結果に基づいて、相対振動を抑制する指令を出力する相対振動抑制部１０７と、を備える。

Description

制御装置

　本発明は、工作機械を制御する制御装置に関する。

　工作機械は、加工装置と、被加工物との間の相対的位置および相対的姿勢のうちの少なくとも１つの関係を制御することで所望の加工を実施する機械である。工作機械では、加工装置と被加工物との間に振動が発生する場合がある。この振動は、被加工物の仕上がり形状における加工精度を低下させる原因となり、また、加工面上に傷を生じさせる原因ともなる。

　上述のような加工装置と被加工物との間の振動を抑制することを目的として、従来から加工装置の振動もしくは被加工物の振動、または、加工装置および被加工物における双方の振動を計測し、かつ、抑制する技術が知られている（例えば、下記特許文献１）。

　特許文献１では、加工を実施する露光装置と被加工物である基板との間の相対位置、相対速度または相対加速度を計測するための計測器を設け、計測結果に基づいて露光装置と基板との間の相対的な変動が低減されるように駆動機構を制御することで、露光装置と基板との間の振動を抑制する技術が開示されている。

特開２００６－２６１６０５号公報

　しかしながら、特許文献１の技術においては、計測結果について、駆動部の所望の動作に起因するものか、機械的な共振を初めとする外乱によるものかを区別していない。このため、特許文献１の技術では、所望の加工を実施するために駆動部の移動が必要な場合に、適切な振動抑制ができないという問題があった。

　上記の問題点を具体的に説明すると、特許文献１に開示された技術においては、加工装置である露光装置と被加工物である基板との相対的位置関係が露光中は一定であることを前提とし、露光装置と基板との相対変位を可能な限り抑制するようにする技術である。このため、特許文献１の技術を、工作機械を制御する制御装置に適用すると、加工装置である工具と被加工物であるワークとの間の相対位置を変化させながら加工を実施する場合に対しては、外乱による振動成分ではない所望の相対位置の変位も抑制してしまうこととなり、所望の加工を行うことが困難であった。すなわち、特許文献１に開示された技術は、工作機械を制御する制御装置に適用することは困難であった。

　本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、所望の加工を実施するために駆動部の移動が必要な場合であっても、加工装置と被加工物との間の相対的位置関係における、実際の位置関係と理想的な位置関係との間に生じる振動を解消することができる制御装置を得ることを目的とする。

　上述した課題を解決し、目的を達成するため、本発明に係る制御装置は、相対振動算出部および相対振動抑制部を備える。相対振動算出部は、工具および工具が固定される工具保持部のうちの少なくとも一方を計測した計測信号と、被加工物および被加工物が固定される被加工物保持部のうちの少なくとも一方を計測した計測信号と、工具と被加工物の少なくとも一方を制御するための駆動部への駆動信号とに基づき、被加工物に対する工具の相対変位と指令位置との間に生じる相対振動の程度を表す成分を算出する。相対振動抑制部は、相対振動算出部の算出結果に基づいて、相対振動を抑制する指令を出力する。

　本発明によれば、所望の加工を実施するために駆動部の移動が必要な場合であっても、加工装置と被加工物との間の相対的位置関係における、実際の位置関係と理想的な位置関係との間に生じる振動を解消することができる、という効果を奏する。

実施の形態１に係る制御装置を含む駆動装置の構成を示すブロック図実施の形態１に係る制御装置の動作説明に供する駆動装置における機械構造の概念図実施の形態１における振動抑制処理の流れを示すフローチャート実施の形態２に係る制御装置を含む駆動装置の構成を示すブロック図実施の形態２に係る制御装置の動作説明に供する駆動装置における機械構造の概念図実施の形態２における振動抑制処理の流れを示すフローチャート実施の形態３に係る制御装置を含む駆動装置の構成を示すブロック図実施の形態３に係る制御装置の動作説明に供する駆動装置における機械構造の概念図実施の形態３における振動抑制処理の流れを示すフローチャート実施の形態１から３に係る制御装置を具現するハードウェアの構成例を示す図

実施の形態１．
　以下に、本発明の実施の形態に係る制御装置を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施の形態により、本発明が限定されるものではない。また、以下の説明では、被加工物を工具で加工する工作機械への適用例について説明するが、他の用途への適用を除外する趣旨ではなく、例えば、検査物又はワークを掴むロボット装置への適用も可能である。

　図１は、実施の形態１に係る制御装置１０１を含む駆動装置１００の構成を示すブロック図である。また、図２は、実施の形態１に係る制御装置１０１の動作説明に供する駆動装置１００における機械構造の概念図である。

　本実施の形態に係る制御装置は、加工もしくは組み立てを行なう加工ツールの一例である工具、および当該加工ツールである工具によって加工される被加工物のうちの少なくとも１つを駆動する駆動部を制御する装置である。制御装置によって制御される駆動部は、工具および被加工物との間の相対的位置および相対的姿勢のうちの少なくとも１つの関係を変化させる駆動信号によって駆動部を駆動して所望の加工を実施する。

　図２には、実施の形態１に係る駆動装置における機械構造が示されている。図２において、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸は、直交空間における各軸を構成する。第１の可動部を成す機械部品００５Ａは、固定部品０３１，０３２に対してＸ軸方向に可動可能に構成され、第２の可動部を成す機械部品００５Ｂは、機械部品００５Ａに対してＺ軸方向に可動可能に構成されている。この構成により、工具００１は、Ｘ軸方向およびＺ軸方向に移動可能に構成される。また、被加工物００２はＹ軸方向に移動可能に構成されている。さらに、工具００１の変位を計測するための工具変位計測器００３が、工具００１とともに動作する機械部品００５Ｂに取り付けられ、被加工物００２の変位を計測するための被加工物変位計測器００４が被加工物００２とともに動作する機械部品００６に取り付けられている。機械部品００５Ｂは、工具００１が固定される工具保持部として機能し、機械部品００６は、被加工物００２が固定される被加工物保持部として機能する。工具保持部は、加工ツール保持部の一例である。なお、固定部品０３１に最も近い軸であるＸ軸は、「最も根元側の軸」と称される場合がある。また、機械部品００６も、図２では図示を省略している固定部品に保持される部品である。このため、被加工物００２を移動させるＹ軸方向も「根元側の軸」と称される場合がある。この場合、Ｘ軸を「工具側の最も根元側の軸」と称し、Ｙ軸を「被加工物側の最も根元側の軸」と称することで、両者は区別可能である。

　なお、図２は説明のための一例であり、本願発明の範囲を、図示の形態に限定するものではない。工具側や被加工物側の可動軸は、別の組み合わせでもよい。軸数も３つに限らず、１軸もしくは２軸であってもよく、また、４軸以上有していてもよい。駆動軸以外に制振用の駆動機器が、別途取り付けられていてもよい。制振用の駆動機器としては、アクティブダンパを例示できる。

　工具００１および被加工物００２のそれぞれを複数の計測器で計測し、計測結果の平均を用いてもよい。工具００１および被加工物００２の変位を計測する以外にも、工具００１および被加工物００２の位置を計測してもよいし、工具００１および被加工物００２の速度を計測してもよいし、工具００１および被加工物００２の加速度を計測してもよい。その場合、後述する処理に必要な位置の情報および加速度の情報は、計測した位置もしくは変位、速度、または加速度に対して、微分演算または積分演算で算出することができる。なお、工具００１および被加工物００２に関する位置もしくは変位、速度、または加速度の計測が可能であれば、工具００１および被加工物００２とともに動作する機械部品に計測器を直接設置する必要はなく、レーザ測長または画像認識といった非接触型の計測器を用いて計測してもよい。すなわち、工具変位計測器００３の計測値は、工具および前記工具が固定される工具保持部のうちの少なくとも一方の位置と変位と速度と加速度のうち少なくとも一つを算出可能な物理量を計測した計測値であればよい。また、被加工物変位計測器００４の計測値は、被加工物および被加工物が固定される被加工物保持部のうちの少なくとも一方の位置と変位と速度と加速度のうち少なくとも一つを算出可能な物理量を計測した計測値であればよい。

　図１に戻り、駆動装置１００は、制御装置１０１を含み、制御装置１０１の処理に必要な情報を伝達する各種伝達部、制御装置１０１からの情報を表示する表示部１２７、制御装置１０１からの情報を記録する外部媒体記録部１２８、図２に示す駆動機構を動作させる駆動部１２５、駆動部１２５を駆動するための駆動指令が含まれる駆動信号を受領して駆動部１２５へ伝達する駆動信号伝達部１１０、表示部１２７への表示情報および外部媒体記録部１２８への記録情報を制御装置１０１から受領する内部情報伝達部１２６、ならびに、駆動信号を補正するための補正信号を制御装置１０１から受領して駆動部１２５へ伝達する補正信号伝達部１２４を備える。また、図１には、制御装置１０１の処理に必要な情報を伝達するための各種伝達部として、振動情報記録保持時間伝達部１１３、振動情報初期値伝達部１１４、相対振動算出パラメータ伝達部１１５、被加工物振動算出パラメータ伝達部１１６、工具振動算出パラメータ伝達部１１７、相対振動許容値伝達部１１８、被加工物振動許容値伝達部１１９、工具振動許容値伝達部１２０、相対振動抑制パラメータ伝達部１２１、被加工物振動抑制パラメータ伝達部１２２、および、工具振動抑制パラメータ伝達部１２３を備えている。

　また、実施の形態１に係る制御装置１０１は、図１に示すように、相対振動算出部１０２、被加工物振動算出部１０３、工具振動算出部１０４、制御方式決定部１０５、振動情報記録部１０６、相対振動抑制部１０７、被加工物振動抑制部１０８、および、工具振動抑制部１０９を備える。

　制御装置１０１は、駆動信号伝達部１１０からの駆動信号の情報を受け取り、被加工物変位計測部１１１からの計測信号に含まれる被加工物変位の情報を受け取り、工具変位計測部１１２からの計測信号に含まれる工具変位の情報を受け取り、振動情報記録保持時間伝達部１１３から振動情報記録保持時間の情報を受け取り、振動情報初期値伝達部１１４から振動情報記録部１０６が記録する初期値の情報を受け取り、相対振動算出パラメータ伝達部１１５から相対振動の算出に要するパラメータの情報を受け取り、被加工物振動算出パラメータ伝達部１１６から被加工物振動の算出に要するパラメータの情報を受け取り、工具振動算出パラメータ伝達部１１７から工具振動の算出に要するパラメータの情報を受け取り、相対振動許容値伝達部１１８から相対振動の許容値の情報を受け取り、被加工物振動許容値伝達部１１９から被加工物振動の許容値の情報を受け取り、工具振動許容値伝達部１２０から工具振動の許容値の情報を受け取り、相対振動抑制パラメータ伝達部１２１から相対振動の抑制に要するパラメータの情報を受け取り、被加工物振動抑制パラメータ伝達部１２２から被加工物振動の抑制に要するパラメータの情報を受け取り、工具振動抑制パラメータ伝達部１２３から工具振動の抑制に要するパラメータの情報を受け取る。

　また、制御装置１０１は、駆動信号に加算する補正信号を補正信号伝達部１２４に出力し、現在が振動抑制中であるか否かの情報、相対振動、被加工物振動および工具振動のうちのいずれを抑制しているかの情報を内部情報伝達部１２６に出力し、記録されている振動情報の履歴を振動情報記録部１０６に出力する。なお、実施の形態１の制御装置１０１における処理の流れの詳細については後述する。

　相対振動算出部１０２は、駆動信号伝達部１１０からの駆動信号の情報を受け取り、被加工物変位計測部１１１からの計測信号に含まれる被加工物変位の情報を受け取り、工具変位計測部１１２からの計測信号に含まれる工具変位の情報を受け取り、相対振動算出パラメータ伝達部１１５から相対振動の算出に要するパラメータの情報を受け取る。相対振動算出部１０２は、受領した情報に基づいて相対振動を算出する。なお、ここで言う「相対振動の算出」とは、相対振動の周波数成分、相対振動の振幅成分、および相対振動によって生ずる加速度、すなわち相対振動の大きさ、もしくは程度を表す成分を算出することを意味する。相対振動算出部１０２は、算出した相対振動を、制御方式決定部１０５、振動情報記録部１０６および内部情報伝達部１２６に渡す。

　なお、相対振動の第１の算出方法としては、被加工物変位と工具変位との差である相対的変位から、駆動指令により生じる被加工物と工具との間の理想的な相対的変位を減算し、減算した値を外乱に起因する相対的変位として時刻歴データを記録しておき、当該外乱に起因する相対的変位の周波数、および相対的変位の振幅を算出することが考えられる。周波数および振幅の算出には高速フーリエ変換（Ｆａｓｔ　Ｆｏｕｒｉｅｒ　Ｔｒａｎｓｆｏｒｍ：ＦＦＴ）を用いる方法、ならびにウェーブレット変換を用いる方法が考えられる。

　また、相対振動の第２の算出方法としては、被加工物の加速度と工具の加速度との差である相対加速度から、駆動指令に理想的に追従した場合の被加工物の加速度と工具の加速度との差である理想的な相対加速度とを減算し、減算した値を外乱に起因する相対加速度として算出し、当該外乱に起因する相対加速度を抑制対象の相対振動とすることも考えられる。なお、被加工物の加速度は、被加工物の変位の時刻歴データから算出することができ、工具の加速度は、工具の変位の時刻歴データから算出することができる。

　また、相対振動の算出に要するパラメータとしては、前述のＦＦＴを実施する際の時間幅、窓関数、ウェーブレット変換を実施する際のパラメータ、加速度を算出する際の時間幅、および、ノイズ除去のフィルタのうちの少なくとも１つが考えられる。

　また、ここでは変位情報を元に振動情報を算出すると記載したが、変位情報の代わりに位置情報、速度情報および加速度情報のうちの少なくとも１つを取得し、取得した情報について駆動指令から想定される理想的な値と実際の値との間の差分の時刻歴データに対して周波数分析を行ってもよい。

　なお、加速度情報を使用する方法の場合は、時刻歴データを用いて加速度を算出する必要はなく、計測値をそのまま使用してもよい。また、加速度情報を使用する方法の場合においては、時刻歴データにフィルタ処理を行ってもよい。また、位置情報、変位情報、速度情報および加速度情報のうちの少なくとも１つを取得し、微積分または加減算により、位置情報、変位情報、速度情報及び加速度情報の中で、元々取得した情報とは異なる何れかの情報に変換した上で振動情報を算出してもよい。なお、相対振動の算出方法としては、ここに記載した例に限定されるものではない。

　図１に戻り、被加工物振動算出部１０３は、被加工物変位計測部１１１からの計測信号に含まれる被加工物変位の情報を受け取り、被加工物振動算出パラメータ伝達部１１６から被加工物振動算出に要するパラメータの情報を受け取る。被加工物振動算出部１０３は、被加工物振動を算出する。被加工物振動とは、被加工物または被加工物保持部に生ずる振動である。被加工物振動算出部１０３は、算出した被加工物振動を、制御方式決定部１０５、振動情報記録部１０６および内部情報伝達部１２６に渡す。なお、被加工物振動の算出方法としては、相対振動算出部１０２と同様に、周波数および振幅を算出する方法、または、加速度を算出する方法が考えられる。

　工具振動算出部１０４は、工具変位計測部１１２からの計測信号に含まれる工具変位の情報を受け取り、工具振動算出パラメータ伝達部１１７から工具振動算出に要するパラメータの情報を受け取る。工具振動算出部１０４は、工具振動を算出する。工具振動とは、工具または工具保持部に生ずる振動である。工具振動算出部１０４は、算出した工具振動を、制御方式決定部１０５、振動情報記録部１０６および内部情報伝達部１２６に渡す。なお、工具振動の算出方法としては、相対振動算出部１０２と同様に、周波数および振幅を算出する方法、または、加速度を算出する方法が考えられる。

　制御方式決定部１０５は、駆動信号伝達部１１０から駆動信号の情報を受け取り、相対振動算出部１０２から相対振動の情報を受け取り、被加工物振動算出部１０３から被加工物振動の情報を受け取り、工具振動算出部１０４から工具振動の情報を受け取り、振動情報記録部１０６から記録されている振動情報を受け取り、相対振動許容値伝達部１１８から相対振動の許容値の情報を受け取り、被加工物振動許容値伝達部１１９から被加工物振動の許容値の情報を受け取り、工具振動許容値伝達部１２０から工具振動の許容値の情報を受け取る。制御方式決定部１０５は、振動抑制を実施するか否かの決定、および振動の抑制対象の決定を行う。

　なお、振動の許容値としては、周波数ごとの振幅の大きさ、または加速度の大きさを例示できる。また、振動抑制を実施するか否かの決定、および振動の抑制対象の決定にあたっては、算出した相対振動、被加工物振動、または工具振動の周波数成分ごとの振幅がそれぞれの許容値を超えている場合、振動抑制を実施すると決定し、許容値を超えた振動を振動抑制の対象とすることが考えられる。また、振動情報記録部１０６に記録されている周波数成分ごとの振幅が許容値を超えている場合に、振動抑制を実施すると決定し、許容値を超えた振動を振動抑制の対象とすることも考えられる。また、算出された相対加速度、被加工物加速度、または工具加速度について、許容値を超えたものがある場合、振動抑制を実施すると決定し、許容値を超えた加速度を振動抑制の対象とすることも考えられる。ただし、これらの例に限定されるものではない。

　振動情報記録部１０６は、振動情報記録保持時間伝達部１１３から振動情報の記録保持時間を受け取り、振動情報初期値伝達部１１４から振動情報の初期値を受け取って内部の振動情報を初期化し、相対振動算出部１０２から相対振動の情報を受け取り、被加工物振動算出部１０３から被加工物振動の情報を受け取り、工具振動算出部１０４から工具振動の情報を受け取る。振動情報記録部１０６は、受け取った相対振動の情報、被加工物振動の情報、および工具振動の情報を更新する。振動情報記録部１０６は、振動情報のうち記録保持時間より過去に記録された情報は破棄し、記録されている振動情報を制御方式決定部１０５および内部情報伝達部１２６に渡す。

　相対振動抑制部１０７は、相対振動抑制パラメータ伝達部１２１から相対振動を抑制する際のパラメータを受け取り、制御方式決定部１０５から相対振動の抑制をするか否かの情報、ならびに、振動周波数の情報、振幅の情報および相対加速度の情報を受け取り、駆動信号伝達部１１０から駆動信号の情報を受け取る。相対振動抑制部１０７は、駆動指令に含まれる周波数成分のうち抑制対象の振動の周波数について、相対振動周波数を抑制する際のパラメータと抑制対象の振動の振幅に基づいて、抑制対象の周波数を抑制するための補正信号を作成する。また、相対振動抑制部１０７は、相対加速度を抑制する際のパラメータと相対加速度の大きさに基づいて、相対加速度を抑制するための補正信号を作成する。相対振動抑制部１０７は、作成した２つの補正信号を補正信号伝達部１２４に出力する。ここで、周波数を抑制する際のパラメータとしては、ノッチフィルタのパラメータが考えられ、加速度を抑制する際のパラメータとしては加速度フィードバックゲインが考えられる。ただし、これらの例に限定されるものではない。

　被加工物振動抑制部１０８は、被加工物振動抑制パラメータ伝達部１２２から被加工物振動を抑制する際のパラメータの情報を受け取り、制御方式決定部１０５から相対振動の抑制をするか否かの情報、相対振動の抑制をする場合の被加工物振動の周波数および振幅の情報、ならびに、被加工物速度の情報を受け取り、駆動信号伝達部１１０から駆動信号の情報を受け取る。被加工物振動抑制部１０８は、駆動指令に含まれる周波数成分のうち抑制対象の振動の周波数について、被加工物振動周波数を抑制する際のパラメータおよび抑制対象の振動の振幅に基づいて、抑制対象の周波数を抑制するための補正信号を作成する。また、被加工物振動抑制部１０８は、被加工物加速度を抑制する際のパラメータおよび被加工物加速度の大きさに基づいて、被加工物加速度を抑制するための補正信号を作成する。被加工物振動抑制部１０８は、作成した２つの補正信号を補正信号伝達部１２４に出力する。

　なお、実施の形態１を説明するための図２では、被加工物側にはＹ軸しか駆動軸が存在せず、Ｘ軸方向およびＺ軸方向に駆動することはできないが、Ｘ軸方向およびＺ軸方向の被加工物振動については、工具側のＸ軸およびＺ軸のうちの少なくとも１つの軸を駆動させることで、被加工物振動を間接的に抑制することができる。また、他の方法として、被加工物側に制振装置を取り付けておき、被加工物におけるＸ軸方向の振動およびＺ軸方向の振動を制振装置で抑制するようにしてもよい。制振装置としては、アクティブダンパを例示できる。なお、被加工物振動を抑制する方法は、ここに記載した例に限定されるものではない。

　工具振動抑制部１０９は、工具振動抑制パラメータ伝達部１２３から工具振動を抑制する際のパラメータの情報を受け取り、制御方式決定部１０５から相対振動の抑制をするか否かの情報、相対振動の抑制をする場合の被加工物振動の周波数および振幅の情報、ならびに、被加工物速度の情報を受け取り、駆動信号伝達部１１０から駆動信号の情報を受け取る。工具振動抑制部１０９は、駆動指令に含まれる周波数成分のうち抑制対象の振動の周波数について、工具振動周波数を抑制する際のパラメータおよび抑制対象の振動の振幅に基づいて、抑制対象の周波数を抑制するための補正信号を作成する。また、工具振動抑制部１０９は、工具加速度を抑制する際のパラメータおよび相対加速度の大きさに基づいて、工具加速度を抑制するための補正信号を作成する。工具振動抑制部１０９は、作成した２つの補正信号を補正信号伝達部１２４に出力する。

　なお、実施の形態１を説明するための図２では、工具側の駆動軸はＸ軸およびＺ軸であり、Ｙ軸方向に駆動できないが、上述した被加工物側と同様な手法を用いることで対応可能である。すなわち、被加工物側のＹ軸を駆動させて間接的に抑制する方法、およびアクティブダンパといった追加の制振装置を用いる方法を用いることができる。

　ここまでは、制御装置１０１を構成する各部の機能について説明してきた。ここからは、制御装置１０１との間で情報授受の機能を担う、すなわち制御装置１０１に対してインタフェース機能を提供する各部の機能について説明する。

　まず、駆動信号伝達部１１０は、駆動信号の入力を受け付け、相対振動算出部１０２、制御方式決定部１０５、相対振動抑制部１０７、被加工物振動抑制部１０８、工具振動抑制部１０９、および駆動部１２５に駆動信号を渡す。

　被加工物変位計測部１１１は、被加工物変位を計測し、相対振動算出部１０２および被加工物振動算出部１０３に渡す。

　工具変位計測部１１２は、工具変位を計測し、相対振動算出部１０２および工具振動算出部１０４に渡す。

　振動情報記録保持時間伝達部１１３は、振動情報の記録保持時間の入力を受け付け、振動情報記録部１０６に渡す。

　振動情報初期値伝達部１１４は、振動情報記録部１０６の初期値となる値を受け付け、振動情報記録部１０６に渡す。

　相対振動算出パラメータ伝達部１１５は、相対振動の算出に要するパラメータの入力を受け付け、相対振動算出部１０２に渡す。

　被加工物振動算出パラメータ伝達部１１６は、被加工物振動の算出に要するパラメータの入力を受け付け、被加工物振動算出部１０３に渡す。

　工具振動算出パラメータ伝達部１１７は、工具振動の算出に要するパラメータの入力を受け付け、工具振動算出部１０４に渡す。

　相対振動許容値伝達部１１８は、相対振動の許容値の入力を受け付け、制御方式決定部１０５に渡す。

　被加工物振動許容値伝達部１１９は、被加工物振動の許容値の入力を受け付け、制御方式決定部１０５に渡す。

　工具振動許容値伝達部１２０は、工具振動の許容値の入力を受け付け、制御方式決定部１０５に渡す。

　相対振動抑制パラメータ伝達部１２１は、相対振動の抑制に要するパラメータの入力を受け付け、相対振動抑制部１０７に渡す。

　被加工物振動抑制パラメータ伝達部１２２は、被加工物振動の抑制に要するパラメータの入力を受け付け、被加工物振動抑制部１０８に渡す。

　工具振動抑制パラメータ伝達部１２３は、工具振動の抑制に要するパラメータの入力を受け付け、工具振動抑制部１０９に渡す。

　補正信号伝達部１２４は、相対振動抑制部１０７、被加工物振動抑制部１０８、工具振動抑制部１０９から補正信号を受け取り、駆動部１２５に出力する。

　駆動部１２５は、駆動信号伝達部１１０から駆動信号の情報を受け取り、補正信号伝達部１２４から補正信号を受け取り、駆動信号に補正信号を加えた信号に基づいて駆動する。

　内部情報伝達部１２６は、相対振動算出部１０２から相対振動の情報を受け取り、被加工物振動算出部１０３から被加工物振動の情報を受け取り、工具振動算出部１０４から工具振動の情報を受け取り、振動情報記録部１０６から記録されている振動情報を受け取り、制御方式決定部１０５から振動抑制を実施しているか否かの情報、および振動抑制の対象の情報を受け取る。内部情報伝達部１２６は、受け取った情報を表示部１２７および外部媒体記録部１２８に出力する。

　表示部１２７は、内部情報伝達部１２６から受け取った情報を不図示の表示画面に表示する。

　外部媒体記録部１２８は、内部情報伝達部１２６から受け取った情報を、ＵＳＢまたはＨＤＤといった外部媒体に記録する。

　つぎに、実施の形態１の制御装置１０１における振動抑制処理の流れについて、図３を参照して説明する。図３は、実施の形態１における振動抑制処理の流れを示すフローチャートである。

　まず、各種伝達部への入力を関係する構成部が受け取る（Ｓ１０１）。なお、ここで言う各種伝達部とは、上述した、振動情報記録保持時間伝達部１１３、振動情報初期値伝達部１１４、相対振動算出パラメータ伝達部１１５、被加工物振動算出パラメータ伝達部１１６、工具振動算出パラメータ伝達部１１７、相対振動許容値伝達部１１８、被加工物振動許容値伝達部１１９、工具振動許容値伝達部１２０、相対振動抑制パラメータ伝達部１２１、被加工物振動抑制パラメータ伝達部１２２、および、工具振動抑制パラメータ伝達部１２３を指している。また、ここで言う関係する構成部とは、各種伝達部からの情報を受領する、制御装置１０１の構成部を指している。

　ついで、相対振動算出部１０２は、被加工物に対する工具の相対変位と、駆動信号に含まれる駆動指令の変位との差分を算出する（Ｓ１０２）。

　ついで、相対振動算出部１０２は、相対変位と駆動指令の変位との差分について、現時点までの時刻歴データに基づき、周波数と振幅を算出し、それぞれを相対振動の振動周波数、相対振動の振動振幅とする（Ｓ１０３）。

　ついで、相対振動算出部１０２は、相対変位と駆動指令の変位との差分の時刻歴データに基づき、相対加速度を算出する（Ｓ１０４）。

　ついで、被加工物振動算出部１０３は、被加工物振動を算出する（Ｓ１０５）。また、工具振動算出部１０４は、工具振動の振動周波数と工具振動の振動振幅を算出する（Ｓ１０５）。

　ついで、被加工物振動算出部１０３は、被加工物加速度を算出する（Ｓ１０６）。また、工具振動算出部１０４は、工具加速度を算出する（Ｓ１０６）。

　ついで、振動情報記録部１０６は、Ｓ１０３のステップで算出された相対振動における振動周波数の情報と振動振幅の情報を記録する（Ｓ１０７）。また、振動情報記録部１０６は、Ｓ１０５のステップで算出された工具振動における振動周波数の情報と振動振幅の情報を記録する（Ｓ１０７）。また、振動情報記録部１０６は、Ｓ１０５のステップで算出された被加工物振動における振動周波数の情報と振動振幅の情報を記録する（Ｓ１０７）。

　ついで、制御方式決定部１０５は、Ｓ１０３のステップで算出された相対振動の振動振幅が許容値以上となる振動周波数が存在するか否かを判定する。許容値以上となる振動周波数が存在する場合は、Ｓ１０９のステップに進み、許容値以上となる振動周波数が存在しない場合は、Ｓ１１０のステップに進む（Ｓ１０８）。

　Ｓ１０８のステップにおいて、許容値以上の振幅となる周波数が存在する場合、制御方式決定部１０５は、該当の周波数成分を抑制すると決定する。このとき、相対振動抑制部１０７は、該当の周波数成分を抑制するための補正信号を作成し、補正信号伝達部１２４に出力する（Ｓ１０９）。

　ついで、制御方式決定部１０５は、Ｓ１０５のステップで算出された工具振動の振動振幅が許容値以上となる振動周波数が存在するか否かを判定し、許容値以上となる振動周波数が存在する場合は、Ｓ１１１のステップに進み、許容値以上となる振動周波数が存在しない場合は、Ｓ１１２のステップに進む（Ｓ１１０）。

　Ｓ１１０のステップにおいて、許容値以上の振幅となる周波数が存在する場合、制御方式決定部１０５は、該当の周波数成分を抑制すると決定する。このとき、工具振動抑制部１０９は、該当の周波数成分を抑制するための補正信号を作成し、補正信号伝達部１２４に出力する（Ｓ１１１）。

　ついで、制御方式決定部１０５は、Ｓ１０５のステップで算出された被加工物振動の振動振幅が許容値以上となる振動周波数が存在するか否かを判定し、許容値以上となる振動周波数が存在する場合は、Ｓ１１３のステップに進み、許容値以上となる振動周波数が存在しない場合は、Ｓ１１４のステップに進む（Ｓ１１２）。

　Ｓ１１２のステップにおいて、許容値以上の振幅となる周波数が存在する場合、制御方式決定部１０５は、該当の周波数成分を抑制すると決定する。このとき、被加工物振動抑制部１０８は、該当の周波数成分を抑制するための補正信号を作成し、補正信号伝達部１２４に出力する（Ｓ１１３）。

　ついで、制御方式決定部１０５は、Ｓ１０４で算出された相対加速度が許容値以上か否かを判定し、許容値以上の場合は、Ｓ１１５のステップに進み、許容値以下の場合は、Ｓ１１６のステップに進む（Ｓ１１４）。

　Ｓ１１４のステップにおいて、相対加速度が許容値以上の場合、制御方式決定部１０５は、相対加速度を抑制すると決定する。このとき、相対振動抑制部１０７は、相対加速度を抑制するための補正信号を作成し、補正信号伝達部１２４に出力する（Ｓ１１５）。

　ついで、制御方式決定部１０５は、Ｓ１０６で算出された工具加速度が許容値以上か否かを判定し、許容値以上の場合は、Ｓ１１７のステップに進み、許容値以下の場合は、Ｓ１１８のステップに進む（Ｓ１１６）。

　Ｓ１１６のステップにおいて、工具加速度が許容値以上の場合、制御方式決定部１０５は、工具加速度を抑制すると決定する。このとき、工具振動抑制部１０９は、工具加速度を抑制するための補正信号を作成し、補正信号伝達部１２４に出力する（Ｓ１１７）。

　ついで、制御方式決定部１０５は、Ｓ１０６で算出された被加工物加速度が許容値以上か否かを判定し、許容値以上の場合は、Ｓ１１９のステップに進み、許容値以下の場合は、Ｓ１２０のステップに進む（Ｓ１１８）。

　Ｓ１１８のステップにおいて、被加工物加速度が許容値以上の場合、制御方式決定部１０５は、加速度を抑制すると決定する。このとき、被加工物振動抑制部１０８は、被加工物加速度を抑制するための補正信号を作成し、補正信号伝達部１２４に出力する（Ｓ１１９）。

　ついで、制御方式決定部１０５は、振動情報記録部１０６に記録された相対振動について、振動振幅が許容値以上となる周波数成分が存在するか否かを判定し、存在する場合はＳ１２１のステップに進み、存在しない場合は、Ｓ１２２のステップに進む（Ｓ１２０）。

　Ｓ１２０のステップにおいて、振動振幅が許容値以上となる周波数成分が存在する場合、制御方式決定部１０５は、該当の周波数成分を抑制すると決定し、相対振動抑制部１０７は、該当の周波数成分を抑制するための補正信号を作成し、補正信号伝達部１２４に出力する（Ｓ１２１）。

　ついで、制御方式決定部１０５は、振動情報記録部１０６に記録された工具振動について、振動振幅が許容値以上となる周波数成分が存在するか否かを判定し、存在する場合はＳ１２３のステップに進み、存在しない場合は、Ｓ１２４のステップに進む（Ｓ１２２）。

　Ｓ１２２のステップにおいて、振動振幅が許容値以上となる周波数成分が存在する場合、制御方式決定部１０５は、該当の周波数成分を抑制すると決定する。このとき、工具振動抑制部１０９は、該当の周波数成分を抑制するための補正信号を作成し、補正信号伝達部１２４に出力する（Ｓ１２３）。

　ついで、制御方式決定部１０５は、振動情報記録部１０６に記録された被加工物振動について、振動振幅が許容値以上となる周波数成分が存在するか否かを判定し、許容値以上となる周波数成分が存在する場合は、Ｓ１２５のステップに進み、許容値以上となる周波数成分が存在しない場合は、Ｓ１２６のステップに進む（Ｓ１２４）。

　Ｓ１２４のステップにおいて、振動振幅が許容値以上となる周波数成分が存在する場合、制御方式決定部１０５は、該当の周波数成分を抑制すると決定する。このとき、被加工物振動抑制部１０８は、該当の周波数成分を抑制するための補正信号を作成し、補正信号伝達部１２４に出力する（Ｓ１２５）。

　ついで、振動情報記録部１０６は、記録された振動周波数と振動振幅を更新する（Ｓ１２６）。この際、記録している振動情報のうち、振動情報記録保持時間よりも過去の情報を破棄する。

　ついで、内部情報伝達部１２６は、構成部の説明で述べた各種情報を表示部１２７と外部媒体記録部１２８とに出力する（Ｓ１２７）。表示部１２７は受け取った情報を表示する。外部媒体記録部１２８は、受け取った情報を記録する。

　ついで、補正信号伝達部１２４は、受け取った補正信号を駆動部１２５に出力する。駆動部１２５は、補正信号に基づき駆動信号を補正する（Ｓ１２８）。駆動部１２５は、補正後の駆動信号に基づいて駆動機構を動作させる。

　以上のように、実施の形態１によれば、工具と被加工物の間の振動のうち駆動信号に起因するものを除いた、機械的共振などの外乱に起因する振動のみを抑制することで、所望の加工を実現しつつ、工具と被加工物の間の相対的な振動を抑制することができる。

　また、実施の形態１によれば、相対振動の許容値を設けることで、許容値以下の微小な振動に過剰に反応することを抑制し、制御の安定性を高めることができる。

　また、工具と被加工物のそれぞれで別個に振動抑制する方式では、工具と被加工物が同相で振動している場合と逆相で振動している場合に同じ挙動となり、工具と被加工物の相対的変位の観点からは適切な抑制とならない可能性がある。これに対して、実施の形態１に係る方式では、工具と被加工物の間の相対的振動を抑制することで、工具と被加工物が同相で振動している場合も逆相で振動している場合も適切な振動抑制を実施することができる。

　また、実施の形態１によれば、工具振動および被加工物振動についても、許容量以上の振動を抑制することで、工具と被加工物との間に相対的な振動が生じていない場合でも、装置の劣化につながるような比較的大きな振動についての抑制が可能となる。

　また、実施の形態１によれば、振動情報を記録しているので、記録した振動情報を活用することにより、記録した以降の動作において、過去に発生した振動を発生させないように制御することも可能となる。

　また、実施の形態１によれば、振動情報の記録保持時間を設定することで、機械特性が変化した場合でも、過去の情報を破棄することで、機械特性の変化に対応できる。

　また、実施の形態１によれば、必要な情報を外部の表示部に表示を行い、また、必要な情報を外部媒体に情報を行うことができるように構成されているので、数値制御を行っている際に、振動抑制を実施しているか否かといった情報、どのような振動を抑制しているかといった情報、現在までの振動の履歴といった情報をユーザに提示することが可能となる。

実施の形態２．
　図４は、実施の形態２に係る制御装置２０１を含む駆動装置２００の構成を示すブロック図である。また、図５は、実施の形態２に係る制御装置２０１の動作説明に供する駆動装置２００における機械構造の概念図である。

　図５には、実施の形態２に係る駆動装置における機械構造が示されている。実施の形態２では、図２に示す実施の形態１に係る機械構造における工具００１の部分を、図５に示す工具００７で置き換えた構造を想定する。具体的に説明すると、図２に示す機械構造では、工具００１がＸ軸及びＺ軸の２つの並進軸での移動が可能であった。一方、図５に示す機械構造では、リンク機構０２０およびリンク機構０２１が設けられ、これらのリンク機構によって２つの回転軸が構成される。ここでは、リンク機構０２０によって構成される回転軸を「工具第１回転軸」と称し、リンク機構０２１によって構成される回転軸を「工具第２回転軸」と称する。これにより、工具００７は、Ｘ軸及びＺ軸の２つの並進軸での移動に加え、工具第１回転軸及び工具第２回転軸という２つの回転軸での移動をも可能となっている。

　上記のような機械構造において、並進軸とともに移動する機械部品０１１の変位を計測するため、工具並進軸側センサ００８が並進軸とともに移動する機械部品０１１に取り付けられている。また、工具第１回転軸とともに移動する機械部品０１２の変位を計測するための工具第１回転軸側センサ００９が、工具第１回転軸とともに移動する機械部品０１２に取り付けられている。さらに、工具第２回転軸とともに移動する機械部品０１３の変位を計測するための工具第２回転軸側センサ０１０が、工具第２回転軸とともに移動する機械部品０１３に取り付けられている。機械部品０１１，０１２，０１３は、工具００７が固定される工具保持部として機能する。

　なお、図５は説明のための一例であり、本願の範囲を、図示の形態に限定するものではない。回転軸が被加工物側を駆動するような機械構造でもよい。また、回転軸の数も２つに限らず、１軸であってもよく、３軸以上の冗長な場合でもよい。

　図４には、実施の形態２に係る制御装置２０１を含む駆動装置２００の構成を示している。図４において、図１に示す実施の形態１に係る駆動装置１００と同一または同等の構成部には同一符号を付して示している。また、図４において、図１に図示されている構成部であっても、情報の出力先が異なる構成部、または、新たな機能が付加されている構成部については、２００番台の符号を付して示している。以下、実施の形態２に関係する構成および動作を中心に説明する。

　図４において、制御装置２０１の周囲には、制御装置２０１との間で情報の授受を行うためのインタフェース機能を担う構成部として、振動情報記録保持時間伝達部１１３、振動情報初期値伝達部１１４、相対振動算出パラメータ伝達部１１５、被加工物振動算出パラメータ伝達部１１６、工具振動算出パラメータ伝達部１１７、相対振動許容値伝達部１１８、被加工物振動許容値伝達部１１９、工具振動許容値伝達部１２０、相対振動抑制パラメータ伝達部１２１、被加工物振動抑制パラメータ伝達部１２２、工具振動抑制パラメータ伝達部１２３、補正信号伝達部１２４、駆動信号伝達部２０８、センサ計測位置パラメータ伝達部２０９、工具並進軸側センサ変位計測部２１１、工具第１回転軸側センサ変位計測部２１２、および工具第２回転軸側センサ変位計測部２１３を備えている。また、制御装置２０１は、相対振動算出部２０２、被加工物振動算出部１０３、工具振動算出部２０３、制御方式決定部１０５、振動情報記録部１０６、相対振動抑制部１０７、被加工物振動抑制部１０８、工具振動抑制部１０９、工具並進軸変位抽出部２０４、工具第１回転軸変位抽出部２０５、工具第２回転軸変位抽出部２０６、および、工具第２回転軸起因加工点変位算出部２０７を備える。

　制御装置２０１は、駆動信号伝達部２０８からの駆動信号の情報を受け取り、被加工物変位計測部１１１からの計測信号に含まれる被加工物変位の情報を受け取り、工具並進軸側センサ変位計測部２１１からの計測信号に含まれる工具並進軸のセンサ計測位置の変位の情報を受け取り、工具第１回転軸側センサ変位計測部２１２からの計測信号に含まれる工具第１回転軸のセンサ計測位置の変位の情報を受け取り、工具第２回転軸側センサ変位計測部２１３からの計測信号に含まれる工具第２回転軸のセンサ計測位置の変位の情報を受け取り、センサ計測位置パラメータ伝達部２０９から工具並進軸の駆動に連動して移動する部品のいずれの箇所を計測しているかの情報と、工具第１回転軸の駆動に連動して移動する部品のいずれの箇所を計測しているかの情報と、工具第２回転軸の駆動に連動して移動する部品のいずれの箇所を計測しているかの情報と、を受け取り、機械構造モデル伝達部２１０から機械構造のモデルの情報を受け取り、振動情報記録保持時間伝達部１１３から振動情報記録保持時間の情報を受け取り、振動情報初期値伝達部１１４から振動情報記録部１０６が記録する初期値の情報を受け取り、相対振動算出パラメータ伝達部１１５から相対振動の算出に要するパラメータの情報を受け取り、被加工物振動算出パラメータ伝達部１１６から被加工物振動の算出に要するパラメータの情報を受け取り、工具振動算出パラメータ伝達部１１７から工具振動の算出に要するパラメータの情報を受け取り、相対振動許容値伝達部１１８から相対振動の許容値の情報を受け取り、被加工物振動許容値伝達部１１９から被加工物振動の許容値の情報を受け取り、工具振動許容値伝達部１２０から工具振動の許容値の情報を受け取り、相対振動抑制パラメータ伝達部１２１から相対振動の抑制に要するパラメータの情報を受け取り、被加工物振動抑制パラメータ伝達部１２２から被加工物振動の抑制に要するパラメータの情報を受け取り、工具振動抑制パラメータ伝達部１２３から工具振動の抑制に要するパラメータの情報を受け取る。

　また、制御装置２０１は、駆動信号に加算する補正信号を補正信号伝達部１２４に出力し、現在が振動抑制中であるか否かの情報、相対振動、被加工物振動および工具振動のうちのいずれを抑制しているかの情報、ならびに、振動情報記録部１０６に記録されている振動情報の履歴を内部情報伝達部１２６に出力する。なお、実施の形態２の制御装置２０１における処理の流れの詳細については後述する。

　相対振動算出部２０２は、駆動信号伝達部２０８からの駆動信号の情報を受け取り、被加工物変位計測部１１１からの計測信号に含まれる被加工物変位の情報を受け取り、工具第２回転軸起因加工点変位算出部２０７から工具第２回転軸に起因する加工点の変位の情報を受け取り、相対振動算出パラメータ伝達部１１５から相対振動の算出に要するパラメータの情報を受け取る。相対振動算出部２０２は、受領した情報に基づいて相対振動を算出する。相対振動算出部２０２は、算出した相対振動を、制御方式決定部１０５、振動情報記録部１０６および内部情報伝達部１２６に渡す。

　また、相対振動算出部２０２は、工具第２回転軸に起因する振動について、３次元空間での表現から、工具第２回転軸の角度に変換した値も算出しておき、制御方式決定部１０５、振動情報記録部１０６および内部情報伝達部１２６に渡す。

　なお、相対振動の算出方法としては、実施の形態１での工具変位を加工点変位で置き換え、加工点と被加工物との間の相対的な変位と、駆動指令を座標変換することで求められる加工点と被加工物との間の理想的な相対的変位と、の間の差分に対して、周波数または加速度を算出することが考えられる。

　また、３次元空間での表現から工具第２回転軸での角度への変換は、機構モデルに基づいた座標変換により求めることが考えられる。なお、ここでは工具第２回転軸に起因する振動のみを算出しているが、工具並進軸の変位または工具第１回転軸の変位と、機構モデルとに基づいて、座標変換により、それら工具並進軸または工具第１回転軸に起因する加工点変位も算出して、工具側の軸ごとに振動を算出することがより好適である。ただし、ここに記載した例に限定されるものではない。

　図４に戻り、被加工物振動算出部１０３は、被加工物変位計測部１１１からの計測信号に含まれる被加工物変位の情報を受け取り、被加工物振動算出パラメータ伝達部１１６から被加工物振動算出に要するパラメータの情報を受け取る。被加工物振動算出部１０３は、被加工物振動を算出する。被加工物振動算出部１０３は、算出した被加工物振動を制御方式決定部１０５、振動情報記録部１０６および内部情報伝達部１２６に渡す。

　工具並進軸変位抽出部２０４は、センサ計測位置パラメータ伝達部２０９から工具並進軸の駆動に連動して移動する部品のいずれの箇所を計測しているかの情報を受け取り、機械構造モデル伝達部２１０から機械構造モデルの情報を受け取り、工具並進軸側センサ変位計測部２１１から計測した変位の情報を受け取り、駆動信号伝達部２０８から駆動信号を受け取る。なお、ここではセンサが変位を計測するものとしているが、位置を計測してオフセットを減算することで変位に変換してもよい。また、速度か加速度かの少なくとも一つを計測し、積分することで変位に変換してもよい。

　工具並進軸変位抽出部２０４は、工具並進軸の駆動に連動して移動する部品の変位を抽出して、工具第１回転軸変位抽出部２０５に渡す。図５の駆動機構を例に説明すると、工具並進軸側センサ００８の計測した信号により、工具並進軸の駆動に連動して移動する部品の変位を得ることができる。なお、変位を位置に変換して、変位情報と共に工具第１回転軸変位抽出部２０５に渡してもよい。また、変位を微分することで速度か加速度かの少なくとも一つの情報を算出して、変位情報と共に工具第１回転軸変位抽出部２０５に渡してもよい。

　工具第１回転軸変位抽出部２０５は、センサ計測位置パラメータ伝達部２０９から工具第１回転軸の駆動に連動して移動する部品のいずれの箇所を計測しているかの情報を受け取り、機械構造モデル伝達部２１０から機械構造モデルの情報を受け取り、工具第１回転軸側センサ変位計測部２１２から計測した変位の情報を受け取り、工具並進軸変位抽出部２０４から工具並進軸の駆動に連動して移動する部品の変位の情報を受け取り、駆動信号伝達部２０８から駆動信号を受け取る。なお、工具第１回転軸側センサ変位計測部２１２は変位を計測するとしているが、位置か速度か加速度かの少なくとも一つを計測して変位を算出してもよい。また、工具並進軸変位抽出部２０４から工具並進軸の駆動に連動して移動する部品の位置か速度か加速度かの少なくとも一つの情報も変位情報と共に受け取ってもよい。

　工具第１回転軸変位抽出部２０５は、工具第１回転軸の駆動に連動して移動する部品の変位を抽出して、抽出した変位と工具並進軸変位抽出部２０４から受け取った変位とを工具第２回転軸変位抽出部２０６に渡す。図５の駆動機構を例に説明すると、工具第１回転軸側センサ００９の計測した信号と、工具並進軸の駆動に連動して移動する部品の変位と、の差分により、工具第１回転軸の駆動に連動する部品の変位について工具第１回転軸の駆動に起因する成分を算出することができる。なお、工具第１回転軸側センサ００９が変位を計測することに限定するものではなく、位置か速度か加速度かの少なくとも一つを計測して変位を算出してもよい。また、工具第１回転軸側センサ００９が計測した信号から算出した位置と、工具並進軸の駆動に連動して移動する部品の位置と、の差分により、工具第１回転軸の駆動に連動する部品の変位を算出してもよい。また、工具第１回転軸側センサ００９が計測した信号から位置か速度か加速度かの少なくとも一つを算出し、工具並進軸変位抽出部２０４から工具並進軸の駆動に連動して移動する部品の位置か速度か加速度かの少なくとも一つを受け取り、それらの差分により、工具第１回転軸の駆動に連動する部品の位置か速度か加速度かの少なくとも一つについて工具第１回転軸の駆動に起因する成分を算出し、算出した位置か速度か加速度かの少なくとも一つと、工具並進軸変位抽出部２０４から受けとった位置か速度か加速度かの少なくとも一つと、を工具第２回転軸変位抽出部２０６に渡してもよい。

　工具第２回転軸変位抽出部２０６は、センサ計測位置パラメータ伝達部２０９から工具第２回転軸の駆動に連動して移動する部品のいずれの箇所を計測しているかの情報を受け取り、機械構造モデル伝達部２１０から機械構造モデルの情報を受け取り、工具第２回転軸側センサ変位計測部２１３から計測した変位の情報を受け取り、工具第１回転軸変位抽出部２０５から工具並進軸の駆動に連動して移動する部品の変位の情報と工具第１回転軸の駆動に連動して移動する部品の変位の情報とを受け取り、駆動信号伝達部２０８から駆動信号を受け取る。なお、工具第２回転軸側センサ変位計測部２１３は変位を計測するとしているが、位置か速度か加速度かの少なくとも一つを計測して変位を算出してもよい。また、工具第１回転軸変位抽出部２０５から工具並進軸の駆動に連動して移動する部品の位置か速度か加速度かの少なくとも一つと、工具第１回転軸の駆動に連動して移動する部品の位置か速度か加速度かの少なくとも一つの情報も変位情報と共に受け取ってもよい。

　工具第２回転軸変位抽出部２０６は、工具第２回転軸の駆動に連動して移動する部品の変位を抽出して、抽出した変位と工具第１回転軸変位抽出部２０５から受け取った変位とを工具第２回転軸起因加工点変位算出部２０７に渡す。図５の駆動機構を例に説明すると、工具並進軸変位抽出部２０４が算出した工具並進軸の駆動に連動して移動する部品の変位と、工具第１回転軸変位抽出部２０５が算出した工具第１回転軸の駆動に連動する部品の変位に基づいて、工具並進軸の変位と工具第１回転軸の変位とに起因する工具第２回転軸側センサ０１０の変位を機構モデルに基づいた座標変換により算出し、工具第２回転軸側センサ０１０が計測した信号と、工具並進軸変位抽出部２０４および工具第１回転軸変位抽出部２０５が算出したそれぞれの変位と、の差分により、工具第２回転軸の駆動に連動する部品の変位について工具第２回転軸の駆動の起因する成分を算出することができる。なお、工具第２回転軸側センサ０１０が変位を計測することに限定するものではなく、位置か速度か加速度かの少なくとも一つを計測して変位を算出してもよい。また、工具並進軸変位抽出部２０４が算出した工具並進軸の駆動に連動して移動する部品の変位と、工具並進軸の駆動に連動して移動する部品の位置か速度か加速度かの少なくとも一つと、工具第１回転軸変位抽出部２０５が算出した工具第１回転軸の駆動に連動する部品の変位と、工具第１回転軸の駆動に連動する部品の位置か速度か加速度かの少なくとも一つとに基づいて、工具並進軸の位置か速度か加速度かの少なくとも一つと工具第１回転軸の位置か速度か加速度かの少なくとも一つとが、工具第２回転軸側センサ０１０の位置か速度か加速度かの少なくとも一つに対して与える影響量を機構モデルに基づいた座標変換により算出してもよい。そして、工具第２回転軸側センサ０１０が計測した信号から位置か速度か加速度かの少なくとも一つを算出し、工具並進軸と工具第１回転軸とが工具第２回転軸側センサ０１０の位置か速度か加速度かの少なくとも一つに与える影響量を前述の方法で算出し、それらの差分により、工具第２回転軸の駆動に連動する部品の位置か速度か加速度かの少なくとも一つについて工具第２回転軸の駆動に起因する成分を算出し、工具第２回転軸起因加工点変位算出部２０７に渡してもよい。

　なお、座標変換の際には、工具第１回転軸側センサ００９の変位量を使用し、取り付け位置および機構モデルに基づいて工具第１回転軸の回転量を算出した後、工具第２回転軸側センサ０１０の取り付け位置と機構モデルとに基づき、工具第１回転軸の回転量を工具第２回転軸側センサ０１０の変位に変換することが考えられる。また、工具第１回転軸側センサ００９の位置か速度か加速度かを使用し、取り付け位置および機構モデルに基づいて工具第１回転軸の回転位置か回転速度か回転加速度かの少なくとも一つを算出した後、工具第２回転軸側センサ０１０の取り付け位置と機構モデルとに基づき、工具第１回転軸の回転位置か回転速度か回転加速度かの少なくとも一つを工具第２回転軸側センサ０１０の位置か速度か加速度かの少なくとも一つに変換することも考えられる。ただし、この方法に限定されるものではない。

　工具第２回転軸起因加工点変位算出部２０７は、センサ計測位置パラメータ伝達部２０９から工具第２回転軸の駆動に連動して移動する部品のいずれの箇所を計測しているかの情報を受け取り、機械構造モデル伝達部２１０から機械構造モデルの情報を受け取り、工具第２回転軸変位抽出部２０６から、工具並進軸の駆動に連動して移動する部品の変位の情報と、工具第１回転軸の駆動に連動して移動する部品の変位の情報と、工具第２回転軸の駆動に連動して移動する部品の変位の情報と、を受け取り、駆動信号伝達部２０８から駆動信号を受け取る。工具第２回転軸起因加工点変位算出部２０７は、工具が被加工物を加工する加工点について、工具第２回転軸に起因する変位を算出して、算出した変位と工具第２回転軸の駆動に連動して移動する部品の変位とを、相対振動算出部２０２および工具振動算出部２０３のそれぞれに渡す。なお、工具第２回転軸変位抽出部２０６から、工具並進軸の駆動に連動して移動する部品の位置か速度か加速度か少なくとも一つの情報と、工具第１回転軸の駆動に連動して移動する部品の位置か速度か加速度かの少なくとも一つの情報と、工具第２回転軸の駆動に連動して移動する部品の位置か速度か加速度かの少なくとも一つの情報、も受け取り、工具が被加工物を加工する加工点について、工具第２回転軸に起因する位置か速度か加速度かの少なくとも一つを算出して、算出した位置か速度か加速度かの少なくとも一つと工具第２回転軸の駆動に連動して移動する部品の位置か速度か加速度かの少なくとも一つとを、相対振動算出部２０２および工具振動算出部２０３のそれぞれに渡してもよい。

　なお、工具第２回転軸起因加工点変位の算出では、工具先端中心点の変位を使用し、工具第２回転軸の変位、センサ取り付け位置および機構モデルに基づいた座標変換により算出することが考えられる。ただし、この方法に限定されるものではなく、工具上の別の点を対象とすることも考えられる。また、工具先端中心点の位置か速度か加速度かの少なくとも一つを使用し、工具第２回転軸の変位、センサ取り付け位置および機構モデルに基づいた座標変換により、工具が被加工物を加工する加工点の位置か速度か加速度かの少なくとも一つについて、工具第２回転軸に起因する成分を算出することも考えられる。

　また、工具第２回転軸起因加工点変位の算出では、工具から見て固定された点を対象とするのではなく、加工プログラムから予測される加工面の法線方向または工具姿勢に基づいて、被加工物と接触する切削点位置を算出して、算出した切削点位置の変位を用いることも考えられる。ただし、これらの方法に限定されるものではない。

　工具振動算出部２０３は、工具第２回転軸起因加工点変位算出部２０７から工具第２回転軸に起因する加工点の変位の情報と、工具第２回転軸の駆動に連動して移動する部品の変位の情報と、を受け取り、工具振動算出パラメータ伝達部１１７から工具振動算出に要するパラメータを受け取る。工具振動算出部２０３は、工具第２回転軸に起因する振動を算出する。工具振動算出部２０３は、算出した工具第２回転軸に起因する振動に関する情報を、制御方式決定部１０５、振動情報記録部１０６および内部情報伝達部１２６に渡す。

　また、工具振動算出部２０３は、工具第２回転軸に起因する振動について、３次元空間での表現から、工具第２回転軸の角度に変換した値も算出しておき、制御方式決定部１０５、振動情報記録部１０６および内部情報伝達部１２６に渡す。

　また、相対振動算出部２０２の処理では、加工点変位に基づいて振動を算出したが、工具振動算出部２０３の処理では、工具振動の算出において、加工点変位の代わりに工具第２回転軸の回転角度で表現される角度変位に基づいて振動を算出することも考えられる。なお、ここでは、相対振動算出部２０２と同様に、工具第２回転軸に起因する振動のみ算出しているが、工具並進軸の変位、または工具第１回転軸の変位についても振動を算出することがより好適である。ただし、ここに記載した例に限定されるものではない。

　制御方式決定部１０５は、駆動信号伝達部２０８から駆動信号の情報を受け取り、相対振動算出部２０２から相対振動の情報を受け取り、被加工物振動算出部１０３から被加工物振動の情報を受け取り、工具振動算出部２０３から工具振動の情報を受け取り、振動情報記録部１０６から記録されている振動情報を受け取り、相対振動許容値伝達部１１８から相対振動の許容値を受け取り、被加工物振動許容値伝達部１１９から被加工物振動の許容値の情報を受け取り、工具振動許容値伝達部１２０から工具振動の許容値の情報を受け取る。制御方式決定部１０５は、振動抑制を実施するか否かの決定、および振動の抑制対象の決定を行う。

　振動情報記録部１０６は、振動情報記録保持時間伝達部１１３から振動情報の記録保持時間を受け取り、振動情報初期値伝達部１１４から振動情報の初期値を受け取って内部の振動情報を初期化し、相対振動算出部２０２から相対振動の情報を受け取り、被加工物振動算出部１０３から被加工物振動の情報を受け取り、工具振動算出部２０３から工具振動の情報を受け取る。振動情報記録部１０６は、受け取った相対振動の情報、被加工物振動の情報、および工具振動の情報を更新する。振動情報記録部１０６は、振動情報のうち、記録保持時間より過去に記録された情報は破棄し、記録されている振動情報を制御方式決定部１０５および内部情報伝達部１２６に渡す。

　相対振動抑制部１０７は、相対振動抑制パラメータ伝達部１２１から相対振動を抑制する際のパラメータの情報を受け取り、制御方式決定部１０５から相対振動の抑制をするか否かの情報、ならびに、振動周波数の情報、振幅の情報および相対加速度の情報を受け取り、駆動信号伝達部２０８から駆動信号の情報を受け取る。相対振動抑制部１０７は、駆動指令に含まれる周波数成分のうち抑制対象の振動の周波数について、相対振動周波数を抑制する際のパラメータおよび抑制対象の振動の振幅に基づいて、抑制対象の周波数を抑制するための補正信号を作成する。また、相対振動抑制部１０７は、相対加速度を抑制する際のパラメータおよび相対加速度の大きさに基づいて、相対加速度を抑制するための補正信号を作成する。相対振動抑制部１０７は、作成した２つの補正信号を補正信号伝達部１２４に出力する。この際、相対振動算出部２０２の説明でも述べたように、振動情報は３次元空間での表現だけではなく、工具第２回転軸の角度でも表現されているので、抑制対象の振動についての補正信号は、工具第２回転軸の角度で表現することが可能となる。

　被加工物振動抑制部１０８は、被加工物振動抑制パラメータ伝達部１２２から被加工物振動を抑制する際のパラメータの情報を受け取り、制御方式決定部１０５から相対振動の抑制をするか否かの情報、被加工物振動の抑制をする場合の被加工物振動の周波数および振幅の情報、ならびに、被加工物加速度の情報を受け取り、駆動信号伝達部２０８から駆動信号の情報を受け取る。被加工物振動抑制部１０８は、駆動指令に含まれる周波数成分のうち、抑制対象の振動の周波数について、被加工物振動周波数を抑制する際のパラメータおよび抑制対象の振動の振幅に基づいて、抑制対象の周波数を抑制するための補正信号を作成する。また、被加工物振動抑制部１０８は、被加工物加速度を抑制する際のパラメータおよび被加工物加速度の大きさに基づいて、被加工物加速度を抑制するための補正信号を作成する。被加工物振動抑制部１０８は、作成した２つの補正信号を補正信号伝達部１２４に出力する。

　工具振動抑制部１０９は、工具振動抑制パラメータ伝達部１２３から工具振動を抑制する際のパラメータの情報を受け取り、制御方式決定部１０５から工具振動の抑制をするか否かの情報、工具振動の抑制をする場合の被加工物振動の周波数および振幅の情報、ならびに、被加工物速度の情報を受け取り、駆動信号伝達部２０８から駆動信号の情報を受け取る。工具振動抑制部１０９は、駆動指令に含まれる周波数成分のうち抑制対象の振動の周波数について、工具振動を抑制する際のパラメータおよび抑制対象の振動の振幅に基づいて、抑制対象の周波数を抑制するための補正信号を作成する。また、工具振動抑制部１０９は、工具加速度を抑制する際のパラメータおよび相対加速度の大きさに基づいて、工具加速度を抑制するための補正信号を作成する。工具振動抑制部１０９は、作成した２つの補正信号を補正信号伝達部１２４に出力する。

　なお、工具振動抑制部１０９が受け取る工具振動の周波数、工具振動の振幅および工具振動の加速度は、工具第２回転軸に起因するものなので、振動抑制は工具第２回転軸に対して実施することとなる。この際、工具振動算出部２０３の説明でも述べたように、振動情報は３次元空間上での表現だけではなく工具第２回転軸の角度でも表現されているので、抑制対象の振動についての補正信号は、工具第２回転軸の角度で表現することが可能となる。なお、実施の形態２では、工具第２回転軸に起因する振動の抑制のみ実施しているが、これに限定されるものではない。並進軸に起因する振動、および工具第１回転軸に起因する振動についても同様の処理を行うことで、工具側の全駆動軸について振動抑制を行うことが好適である。

　つぎに、制御装置２０１に対してインタフェース機能を提供する各部の機能について説明する。

　駆動信号伝達部２０８は、駆動信号の入力を受け付け、相対振動算出部２０２、工具並進軸変位抽出部２０４、工具第１回転軸変位抽出部２０５、工具第２回転軸変位抽出部２０６、工具第２回転軸起因加工点変位算出部２０７、制御方式決定部１０５、相対振動抑制部１０７、被加工物振動抑制部１０８、工具振動抑制部１０９、および駆動部１２５に駆動信号を渡す。

　被加工物変位計測部１１１は、被加工物変位を計測し、相対振動算出部２０２および被加工物振動算出部１０３に渡す。

　センサ計測位置パラメータ伝達部２０９は、工具並進軸の駆動に連動して移動する部品のいずれの箇所を計測しているかの情報、工具第１回転軸の駆動に連動して移動する部品のいずれの箇所を計測しているかの情報、および、工具第２回転軸の駆動に連動して移動する部品のいずれの箇所を計測しているかの情報の入力を受け付ける。センサ計測位置パラメータ伝達部２０９は、受け付けた情報を工具並進軸変位抽出部２０４、工具第１回転軸変位抽出部２０５、工具第２回転軸変位抽出部２０６、および工具第２回転軸起因加工点変位算出部２０７のそれぞれに渡す。

　機械構造モデル伝達部２１０は、機械構造モデルの入力を受け付け、工具並進軸変位抽出部２０４、工具第１回転軸変位抽出部２０５、工具第２回転軸変位抽出部２０６、および工具第２回転軸起因加工点変位算出部２０７のそれぞれに渡す。

　工具並進軸側センサ変位計測部２１１は、工具並進軸の駆動に連動して移動する部品の変位を計測し、工具並進軸変位抽出部２０４に渡す。

　工具第１回転軸側センサ変位計測部２１２は、工具第１回転軸の駆動に連動して移動する部品の変位を計測し、工具第１回転軸変位抽出部２０５に渡す。

　工具第２回転軸側センサ変位計測部２１３は、工具第２回転軸の駆動に連動して移動する部品の変位を計測し、工具第２回転軸変位抽出部２０６に渡す。

　相対振動算出パラメータ伝達部１１５は、相対振動の算出に要するパラメータの入力を受け付け、相対振動算出部２０２に渡す。

　工具振動算出パラメータ伝達部１１７は、工具振動の算出に要するパラメータの入力を受け付け、工具振動算出部２０３に渡す。

　駆動部１２５は、駆動信号伝達部２０８から駆動信号の情報を受け取り、補正信号伝達部１２４から補正信号を受け取り、駆動信号に補正信号を加えた信号に基づいて駆動する。

　内部情報伝達部１２６は、相対振動算出部２０２から相対振動の情報を受け取り、被加工物振動算出部１０３から被加工物振動の情報を受け取り、工具振動算出部２０３から工具振動の情報を受け取り、振動情報記録部１０６から記録されている振動情報を受け取り、制御方式決定部１０５から振動抑制を実施しているか否かの情報、および振動抑制の対象の情報を受け取る。内部情報伝達部１２６は、受け取った情報を表示部１２７および外部媒体記録部１２８に出力する。

　外部媒体記録部１２８は、内部情報伝達部１２６から受け取った情報をＵＳＢまたはＨＤＤといった外部媒体に記録する。

　つぎに、実施の形態２の制御装置２０１における振動抑制処理の流れについて、図６を参照して説明する。図６は、実施の形態２における振動抑制処理の流れを示すフローチャートである。

　まず、各種伝達部への入力を関係する構成部が受け取る（Ｓ２０１）。

　ついで、工具並進軸変位抽出部２０４は、工具並進軸に起因する変位を抽出する（Ｓ２０２）。また、工具第１回転軸変位抽出部２０５は、工具第１回転軸に起因する変位を抽出する（Ｓ２０２）。また、工具第２回転軸変位抽出部２０６は、工具第２回転軸に起因する変位を抽出する（Ｓ２０２）。

　ついで、工具第２回転軸起因加工点変位算出部２０７は、工具第２回転軸に起因する加工点の変位を算出する（Ｓ２０３）。

　ついで、工具第２回転軸起因加工点変位算出部２０７は、工具第２回転軸に起因する加工点の変位を工具第２回転軸の角度で表現した値を算出する（Ｓ２０４）。

　ついで、相対振動算出部２０２は、Ｓ２０３のステップで算出した被加工物に対する加工点の相対変位と、駆動指令による指定位置から算出される被加工物と加工点の理想的な相対位置との差分を算出する（Ｓ２０５）。

　ついで、相対振動算出部２０２は、相対変位と駆動指令の変位との差分の時刻歴データに基づき、周波数と振幅を算出し、相対振動の振動周波数と振動振幅とする（Ｓ２０６）。

　ついで、相対振動算出部２０２は、相対変位と駆動指令の変位との差分の時刻歴データに基づき、相対加速度を算出する（Ｓ２０７）。

　ついで、被加工物振動算出部１０３と工具振動算出部２０３はそれぞれ被加工物振動と工具振動の振動周波数と振動振幅を算出する（Ｓ２０８）。

　ついで、被加工物振動算出部１０３と工具振動算出部２０３はそれぞれ被加工物加速度と工具加速度を算出する（Ｓ２０９）。

　ついで、算出された相対振動と工具振動と被加工物振動の情報を振動情報記録部１０６が記録する（Ｓ２１０）。

　ついで、制御方式決定部１０５は、算出された相対振動の振動振幅が許容値以上となる振動周波数があるかを判定し、存在する場合は、Ｓ２１２のステップに進み、存在しない場合は、Ｓ２１３のステップに進む（Ｓ２１１）。

　Ｓ２１１のステップにおいて、許容値以上の振幅となる周波数が存在する場合、制御方式決定部１０５は、該当の周波数成分を抑制すると決定し、相対振動抑制部１０７は、該当の周波数成分を抑制するための補正信号を作成し、補正信号伝達部１２４に出力する（Ｓ２１２）。

　ついで、制御方式決定部１０５は、算出された工具振動の振動振幅が許容値以上となる振動周波数があるか否かを判定し、存在する場合は、Ｓ２１４のステップに進み、存在しない場合は、Ｓ２１５のステップに進む（Ｓ２１３）。

　Ｓ２１３のステップにおいて、許容値以上の振幅となる周波数が存在する場合、制御方式決定部１０５は、該当の周波数成分を抑制すると決定し、工具振動抑制部１０９は、該当の周波数成分を抑制するための補正信号を作成し、補正信号伝達部１２４に出力する（Ｓ２１４）。

　ついで、制御方式決定部１０５は、算出された被加工物振動の振動振幅が許容値以上となる振動周波数があるかを判定し、存在する場合は、Ｓ２１６のステップに進み、存在しない場合は、Ｓ２１７のステップに進む（Ｓ２１５）。

　Ｓ２１５のステップにおいて、許容値以上の振幅となる周波数が存在する場合、制御方式決定部１０５は、該当の周波数成分を抑制すると決定し、被加工物振動抑制部１０８は、該当の周波数成分を抑制するための補正信号を作成し、補正信号伝達部１２４に出力する（Ｓ２１６）。

　ついで、制御方式決定部１０５は、算出された相対加速度が許容値以上か否かを判定し、許容値以上の場合は、Ｓ２１８のステップに進み、許容値以下の場合は、Ｓ２１９のステップに進む（Ｓ２１７）。

　Ｓ２１７のステップにおいて、加速度が許容値以上の場合、制御方式決定部１０５は、加速度を抑制すると決定し、相対振動抑制部１０７は、加速度を抑制するための補正信号を作成し、補正信号伝達部１２４に出力する（Ｓ２１８）。

　ついで、制御方式決定部１０５は、算出された工具加速度が許容値以上か否かを判定し、許容値以上の場合は、Ｓ２２０のステップに進み、許容値以下の場合は、Ｓ２２１のステップに進む（Ｓ２１９）。

　Ｓ２１９のステップにおいて、加速度が許容値以上の場合、制御方式決定部１０５は、加速度を抑制すると決定し、工具振動抑制部１０９は、加速度を抑制するための補正信号を作成し、補正信号伝達部１２４に出力する（Ｓ２２０）。

　ついで、制御方式決定部１０５は、算出された被加工物加速度が許容値以上か否かを判定し、許容値以上の場合は、Ｓ２２２のステップに進み、許容値以下の場合は、Ｓ２２３のステップに進む（Ｓ２２１）。

　Ｓ２２１のステップにおいて、加速度が許容値以上の場合、制御方式決定部１０５は、加速度を抑制すると決定し、被加工物振動抑制部１０８は、加速度を抑制するための補正信号を作成し、補正信号伝達部１２４に出力する（Ｓ２２２）。

　ついで、制御方式決定部１０５は、振動情報記録部１０６に記録された相対振動について、振動振幅が許容値以上となる周波数成分が存在するか否かを判定し、存在する場合はＳ２２４のステップに進み、存在しない場合は、Ｓ２２５のステップに進む（Ｓ２２３）。

　Ｓ２２３のステップにおいて、振動振幅が許容値以上となる周波数成分が存在する場合、制御方式決定部１０５は、該当の周波数成分を抑制すると決定し、相対振動抑制部１０７は、該当の周波数成分を抑制するための補正信号を作成し、補正信号伝達部１２４に出力する（Ｓ２２４）。

　ついで、制御方式決定部１０５は、振動情報記録部１０６に記録された工具振動について、振動振幅が許容値以上となる周波数成分が存在するか否かを判定し、存在する場合はＳ２２６のステップに進み、存在しない場合は、Ｓ２２７のステップに進む（Ｓ２２５）。

　Ｓ２２５のステップにおいて、振動振幅が許容値以上となる周波数成分が存在する場合、制御方式決定部１０５は、該当の周波数成分を抑制すると決定し、工具振動抑制部１０９は、該当の周波数成分を抑制するための補正信号を作成し、補正信号伝達部１２４に出力する（Ｓ２２６）。

　ついで、制御方式決定部１０５は、振動情報記録部１０６に記録された被加工物振動について、振動振幅が許容値以上となる周波数成分が存在するか否かを判定し、存在する場合はＳ２２８のステップに進み、存在しない場合は、Ｓ２２９のステップに進む（Ｓ２２７）。

　Ｓ２２７のステップにおいて、振動振幅が許容値以上となる周波数成分が存在する場合、制御方式決定部１０５は、該当の周波数成分を抑制すると決定し、被加工物振動抑制部１０８は、該当の周波数成分を抑制するための補正信号を作成し、補正信号伝達部１２４に出力する（Ｓ２２８）。

　ついで、振動情報記録部１０６は、記録された振動周波数と振動振幅を更新する（Ｓ２２９）。この際、記録している振動情報のうち、振動情報記録保持時間よりも過去の情報を破棄する。

　ついで、内部情報伝達部１２６は、構成部の説明で述べた各種情報を表示部１２７と外部媒体記録部１２８とに出力する（Ｓ２３０）。表示部１２７は受け取った情報を表示する。外部媒体記録部１２８は、受け取った情報を外部媒体に記録する。

　ついで、補正信号伝達部１２４は、受け取った補正信号を駆動部１２５に出力する。駆動部１２５は、補正信号に基づき駆動信号を補正する（Ｓ２３１）。駆動部１２５は、補正後の駆動信号に基づいて駆動機構を動作させる。

　なお、実施の形態２では、工具第２回転軸に起因する振動の抑制のみ実施しているが、これに限定されるものではなく、並進軸に起因する振動および工具第１回転軸に起因する振動についても同様の処理を行うことで、工具側の全駆動軸について振動抑制を行うことが好適である。

　また、実施の形態２では、工具の並進軸であるＸ軸およびＺ軸については、１つのセンサで計測を実施しているが、軸ごとにセンサを取り付けて振動を抽出するようにすれば、より好適である。その場合、最も根元側の軸（図５の例であればＸ軸）については、センサの値を変位と見なし、その先の軸（図５の例であれば、工具第１回転軸及び工具第２回転軸）については、工具第１回転軸変位抽出部２０５および工具第２回転軸変位抽出部２０６の説明で述べたように、着目する軸よりも根元側の軸の変位および機構モデルに基づいて、座標変換により、変位を算出することが考えられる。

　また、図５に示した機構とは異なる機構で、最も根元側の軸が回転軸である場合なども上記と同様に、最も根元側の軸についてはセンサの計測値がその軸に起因する変位と見なし、その先の軸については、着目する軸よりも根元側の軸の変位と機構モデルによる座標変換に基づいて変位を算出することが考えられる。

　以上のように、実施の形態２によれば、並進軸または回転軸の各軸に起因する振動を抽出して抑制することで、各軸の振動成分の計測精度と抑制精度とを向上することができる。また、実施の形態２の方法を用いれば、回転軸を含む構造の機械でも振動の抑制が可能となる。

実施の形態３．
　図７は、実施の形態３に係る制御装置３０１を含む駆動装置３００の構成を示すブロック図である。また、図８は、実施の形態３に係る制御装置３０１の動作説明に供する駆動装置３００における機械構造の概念図である。

　図８には、実施の形態３に係る駆動装置における機械構造が示されている。実施の形態３では、図２に示す実施の形態１に係る機械構造における工具００１の部分を、図８に示す工具０１４で置き換えた構造を想定する。具体的に説明すると、図２に示す機械構造では、工具００１がＸ軸及びＺ軸の２つの並進軸での移動が可能であった。一方、図８に示す機械構造では、リンク機構０２２が設けられ、このリンク機構０２２によって１つの回転軸が構成される。リンク機構０２２によって構成される回転軸を、ここでは、「工具回転軸」と称する。これにより、工具０１４は、Ｘ軸及びＺ軸の２つの並進軸での移動に加え、工具回転軸での移動をも可能となっている。また、回転軸とともに移動する機械部品０１７の変位を計測するための工具回転軸第１センサ０１５と、工具回転軸第２センサ０１６とを回転軸とともに移動する機械部品０１７に取り付けている。機械部品０１７は、工具０１４が固定される工具保持部として機能する。

　なお、図８は説明のための一例であり、本願の範囲を、図示の形態に限定するものではない。回転軸が被加工物側を駆動するような機械構造でもよい。また、回転軸の数も１つに限らず、２軸以上であってもよい。また、センサの計測箇所も２つに限らず、３つ以上であってもよい。

　図７には、実施の形態３に係る制御装置３０１を含む駆動装置３００の構成を示している。図７において、図１に示す実施の形態１に係る駆動装置１００、または図４に示す実施の形態２に係る駆動装置２００と同一または同等の構成部には同一符号を付して示している。また、図７において、図１または図４に図示されている構成部であっても、情報の出力先が異なる構成部、または、新たな機能が付加されている構成部については、３００番台の符号を付して示している。以下、実施の形態３に関係する構成および動作を中心に説明する。

　図７において、制御装置３０１の周囲には、制御装置３０１との間で情報の授受を行うためのインタフェース機能を担う構成部として、振動情報記録保持時間伝達部１１３、振動情報初期値伝達部１１４、相対振動算出パラメータ伝達部１１５、被加工物振動算出パラメータ伝達部１１６、工具振動算出パラメータ伝達部１１７、相対振動許容値伝達部１１８、被加工物振動許容値伝達部１１９、工具振動許容値伝達部１２０、相対振動抑制パラメータ伝達部１２１、被加工物振動抑制パラメータ伝達部１２２、工具振動抑制パラメータ伝達部１２３、補正信号伝達部１２４、駆動信号伝達部３０６、センサ計測位置パラメータ伝達部３０７、機械構造モデル伝達部３０８、工具回転軸第１センサ変位計測部３０９、および工具回転軸第２センサ変位計測部３１０を備えている。また、制御装置３０１は、相対振動算出部３０２、被加工物振動算出部１０３、工具振動算出部３０３、制御方式決定部１０５、振動情報記録部１０６、相対振動抑制部１０７、被加工物振動抑制部１０８、工具振動抑制部１０９、工具回転軸変位算出部３０４、および、工具回転軸起因加工点変位算出部３０５を備える。

　制御装置３０１は、駆動信号伝達部３０６からの駆動信号の情報を受け取り、被加工物変位計測部１１１からの計測信号に含まれる被加工物変位の情報を受け取り、工具回転軸第１センサ変位計測部３０９からの計測信号に含まれる工具回転軸第１センサ計測位置の変位の情報を受け取り、工具回転軸第２センサ変位計測部３１０からの計測信号に含まれる工具回転軸第２センサ計測位置の変位の情報を受け取り、センサ計測位置パラメータ伝達部３０７から工具回転軸の駆動に連動して移動する部品について第１センサと第２センサがそれぞれいずれの箇所を計測しているかの情報を受け取り、機械構造モデル伝達部３０８から機械構造のモデルの情報を受け取り、振動情報記録保持時間伝達部１１３から振動情報記録保持時間の情報を受け取り、振動情報初期値伝達部１１４から振動情報記録部１０６が記録する初期値の情報を受け取り、相対振動算出パラメータ伝達部１１５から相対振動の算出に要するパラメータの情報を受け取り、被加工物振動算出パラメータ伝達部１１６から被加工物振動の算出に要するパラメータの情報を受け取り、工具振動算出パラメータ伝達部１１７から工具振動の算出に要するパラメータの情報を受け取り、相対振動許容値伝達部１１８から相対振動の許容値の情報を受け取り、被加工物振動許容値伝達部１１９から被加工物振動の許容値の情報を受け取り、工具振動許容値伝達部１２０から工具振動の許容値の情報を受け取り、相対振動抑制パラメータ伝達部１２１から相対振動の抑制に要するパラメータの情報を受け取り、被加工物振動抑制パラメータ伝達部１２２から被加工物振動の抑制に要するパラメータの情報を受け取り、工具振動抑制パラメータ伝達部１２３から工具振動の抑制に要するパラメータの情報を受け取る。

　また、制御装置３０１は、駆動信号に加算する補正信号を補正信号伝達部１２４に出力し、現在が振動抑制中であるか否かの情報、相対振動、被加工物振動および工具振動のうちのいずれを抑制しているかの情報、ならびに、振動情報記録部１０６に記録されている振動の履歴の情報を内部情報伝達部１２６に出力する。なお、実施の形態３の制御装置３０１における処理の流れの詳細については後述する。

　相対振動算出部３０２は、駆動信号伝達部３０６から駆動信号の情報を受け取り、被加工物変位計測部１１１から被加工物変位の情報を受け取り、工具回転軸起因加工点変位算出部３０５から工具回転軸に起因する加工点の変位の情報を受け取り、相対振動算出パラメータ伝達部１１５から相対振動の算出に要するパラメータの情報を受け取る。相対振動算出部３０２は、受領した情報に基づいて相対振動を算出する。相対振動算出部３０２は、算出した相対振動を、制御方式決定部１０５、振動情報記録部１０６および内部情報伝達部１２６に渡す。

　また、相対振動算出部３０２は、相対振動について、３次元空間での表現から、工具回転軸の角度に変換した値も算出しておき、制御方式決定部１０５、振動情報記録部１０６および内部情報伝達部１２６に渡す。

　被加工物振動算出部１０３は、被加工物変位計測部１１１から被加工物変位の情報を受け取り、被加工物振動算出パラメータ伝達部１１６から被加工物振動算出に要するパラメータの情報を受け取る。被加工物振動算出部１０３は、受領した情報に基づいて被加工物振動を算出する。被加工物振動算出部１０３は、算出した被加工物振動を、制御方式決定部１０５、振動情報記録部１０６および内部情報伝達部１２６に渡す。

　工具回転軸変位算出部３０４は、センサ計測位置パラメータ伝達部３０７から工具回転軸の駆動に連動して移動する部品について第１センサと第２センサのそれぞれが、いずれの箇所を計測しているかの情報を受け取り、工具回転軸第１センサ変位計測部３０９から計測した変位の情報を受け取り、工具回転軸第２センサ変位計測部３１０から計測した変位の情報を受け取り、駆動信号伝達部３０６から駆動信号を受け取る。

　工具回転軸変位算出部３０４は、工具回転軸の駆動に連動して移動する部品の変位を算出して、工具回転軸起因加工点変位算出部３０５に渡す。図８の駆動機構を例に説明すると、工具回転軸第１センサ０１５の取り付け位置から工具回転軸の中心軸までの距離をＬ１とし、工具回転軸第２センサ０１６の取り付け位置から工具回転軸の中心軸までの距離をＬ２とし、工具回転軸の指令角度をθ１とし、指令角度と振動とを含む角度変位をθ２とする。

　工具回転軸側より根元側の並進軸に起因するＸ軸方向の変位ｄｘが工具回転軸第１センサ０１５と工具回転軸第２センサ０１６に同様に影響すると仮定した場合、工具回転軸第１センサ０１５のＸ軸方向変位は、次式で表現される。

　Ｌ１ｓｉｎ（θ２）＋ｄｘ　…（１）

　同様に、工具回転軸第２センサ０１６のＸ軸方向変位は、次式で表現される。

　－Ｌ２ｓｉｎ（θ２）＋ｄｘ　…（２）

　なお、工具回転軸第１センサ０１５と工具回転軸第２センサ０１６とで変位の符号が逆なのは、図８における取り付け位置が回転軸を挟んだ反対側となっているからである。

　よって、工具回転軸第１センサ０１５のＸ軸方向変位から、工具回転軸第２センサ０１６のＸ軸方向変位を減算した値は、次式となる。

　（Ｌ１＋Ｌ２）ｓｉｎ（θ２）　…（３）

　ここで、Ｌ１およびＬ２およびθ１の値は既知である。このため、上記（３）式を用いれば、工具回転軸角度変位の振動成分θ２－θ１を求めることができる。なお、ここではセンサの変位を計測して回転軸の角度変位を算出しているが、この例に限るものではなく、センサの位置か変位か速度か加速度のいずれか一つを計測して回転軸の角度か角度変位か角速度か角加速度の少なくともいずれか一つを算出することも出来る。例えば、上述の例では、指令角度からの角度変位を算出しているが、代わりに、任意の指令角度を基準とした場合の角度を算出しても良い。また、位置を計測して、変位を計測した場合と同様の式で回転軸の角度変位か角度かの少なくとも一つを算出することも可能であり、求めた角度変位か角度かの少なくとも一つを微分することで角速度や角加速度を算出できる。また、速度や加速度を計測する場合、積分してセンサ位置かセンサ変位かの少なくとも一つを算出した後、回転軸の角度変位か角度かの少なくとも一つを算出することが可能であり、求めた角度変位か角度かの少なくとも一つを微分することで角速度か角加速度かの少なくとも一つを算出できる。ただし、この方法に限定するものではない。

　なお、ここではＸ軸方向の変位に着目しているが、Ｙ軸方向またはＺ軸方向の変位を用いた方法も考えられる。また、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向のうちの少なくとも２つ以上を用いて算出した平均を用いることも考えられる。また、２つのセンサを回転軸の反対側でなく、同じ側に配置することも考えられる。また、ここでは、工具回転軸第１センサ０１５と工具回転軸第２センサ０１６とに、根元側の軸である並進軸が同程度に影響すると仮定しているが、変位検出用とは別に検証用のセンサを増やして、回転軸を挟んだ反対側でＬ１＝Ｌ２となるように配置した場合の加算結果がゼロと見なせるほど小さいかを確認することで、当該仮定が成立しているかを検証することも考えられる。この検証において、当該仮定が成立しない場合は、誤った補正を防ぐために該当軸の振動抑制は行なわないといったこと、警告を出力するといったことも考えられる。ただし、ここに記載した例に限定されるものではない。

　図７に戻り、工具回転軸起因加工点変位算出部３０５は、機械構造モデル伝達部３０８から機械構造モデルの情報を受け取り、工具回転軸変位算出部３０４から工具回転軸の駆動に連動して移動する部品の変位の情報を受け取り、駆動信号伝達部３０６から駆動信号を受け取る。工具回転軸起因加工点変位算出部３０５は、工具が被加工物を加工する加工点について、工具回転軸に起因する変位を算出する。工具回転軸起因加工点変位算出部３０５は、算出した変位を工具振動算出部３０３に渡す。

　工具振動算出部３０３は、工具回転軸起因加工点変位算出部３０５から工具回転軸に起因する変位の情報を受け取り、工具振動算出パラメータ伝達部１１７から工具振動算出に要するパラメータの情報を受け取る。工具振動算出部３０３は、工具回転軸に起因する振動を算出する。工具振動算出部３０３は、算出した工具回転軸に起因する振動の情報を、制御方式決定部１０５、振動情報記録部１０６および内部情報伝達部１２６に渡す。

　また、工具振動算出部３０３は、工具回転軸に起因する振動について、３次元空間での表現から、工具回転軸の角度に変換した値も算出しておき、制御方式決定部１０５、振動情報記録部１０６および内部情報伝達部１２６に渡す。なお、工具回転軸に起因する振動の算出方法としては、相対振動算出部３０２と同様に、周波数および振幅の算出する方法、または、加速度を算出する方法が考えられる。また、３次元空間での表現から工具回転軸の角度への変換は、機構モデルに基づいた座標変換により求めることが考えられる。ただし、これらの方法に限定されるものではない。

　制御方式決定部１０５は、駆動信号伝達部３０６から駆動信号の情報を受け取り、相対振動算出部３０２から相対振動の情報を受け取り、被加工物振動算出部１０３から被加工物振動の情報を受け取り、工具振動算出部３０３から工具振動の情報を受け取り、振動情報記録部１０６から記録されている振動情報を受け取り、相対振動許容値伝達部１１８から相対振動の許容値を受け取り、被加工物振動許容値伝達部１１９から被加工物振動の許容値を受け取り、工具振動許容値伝達部１２０から工具振動の許容値を受け取る。制御方式決定部１０５は、振動抑制を実施するか否かの決定、および振動の抑制対象の決定を行う。

　振動情報記録部１０６は、振動情報記録保持時間伝達部１１３から振動情報の記録保持時間を受け取り、振動情報初期値伝達部１１４から振動情報の初期値を受け取って内部の振動情報を初期化し、相対振動算出部３０２から相対振動の情報を受け取り、被加工物振動算出部１０３から被加工物振動の情報を受け取り、工具振動算出部３０３から工具振動の情報を受け取る。振動情報記録部１０６は、受け取った相対振動の情報、被加工物振動の情報、および工具振動の情報を更新する。振動情報記録部１０６は、振動周波数の記録のうち、保持時間以前に記録された情報は破棄し、記録されている振動情報を制御方式決定部１０５および内部情報伝達部１２６に渡す。

　相対振動抑制部１０７は、相対振動抑制パラメータ伝達部１２１から相対振動を抑制する際のパラメータの情報を受け取り、制御方式決定部１０５から相対振動の抑制をするか否かの情報、相対振動の周波数の情報、振幅の情報および相対加速度の情報を受け取り、駆動信号伝達部３０６から駆動信号の情報を受け取る。相対振動抑制部１０７は、駆動指令に含まれる周波数成分のうち、抑制対象の振動の周波数について、相対振動周波数を抑制する際のパラメータおよび抑制対象の振動の振幅に基づいて、抑制対象の周波数を抑制するための補正信号を作成する。また、相対振動抑制部１０７は、相対加速度を抑制する際のパラメータおよび相対加速度の大きさに基づいて、相対加速度を抑制するための補正信号を作成する。相対振動抑制部１０７は、作成した２つの補正信号を補正信号伝達部１２４に出力する。

　被加工物振動抑制部１０８は、被加工物振動抑制パラメータ伝達部１２２から被加工物振動を抑制する際のパラメータの情報を受け取り、制御方式決定部１０５から被加工物振動の抑制をするか否かの情報、相対振動を抑制する場合の被加工物振動の周波数および振幅の情報、ならびに、被加工物速度の情報を受け取り、駆動信号伝達部３０６から駆動信号の情報を受け取る。被加工物振動抑制部１０８は、駆動指令に含まれる周波数成分のうち、抑制対象の振動の周波数について、被加工物振動周波数を抑制する際のパラメータおよび抑制対象の振動の振幅に基づいて、抑制対象の周波数を抑制するための補正信号を作成する。また、被加工物振動抑制部１０８は、被加工物加速度を抑制する際のパラメータおよび被加工物加速度の大きさに基づいて、被加工物加速度を抑制するための補正信号を作成する。被加工物振動抑制部１０８は、作成した２つの補正信号を補正信号伝達部１２４に出力する。

　工具振動抑制部１０９は、工具振動抑制パラメータ伝達部１２３から工具振動を抑制する際のパラメータの情報を受け取り、制御方式決定部１０５から工具振動の抑制をするか否かの情報、工具振動を抑制する場合の工具振動の周波数および振幅の情報、ならびに、工具加速度の情報を受け取り、駆動信号伝達部３０６から駆動信号を受け取る。工具振動抑制部１０９は、駆動指令に含まれる周波数成分のうち、抑制対象の振動の周波数について、工具振動周波数を抑制する際のパラメータおよび抑制対象の振動の振幅に基づいて、抑制対象の周波数を抑制するための補正信号を作成する。また、工具振動抑制部１０９は、工具加速度を抑制する際のパラメータおよび相対加速度の大きさに基づいて、工具加速度を抑制するための補正信号を作成する。また、工具振動抑制部１０９は、作成した２つの補正信号を補正信号伝達部１２４に出力する。

　なお、工具振動抑制部１０９が受け取る工具振動の周波数、工具振動の振幅、工具振動の加速度は、工具回転軸に起因するものなので、振動抑制は工具回転軸に対して実施することとなる。なお、実施の形態３では、工具回転軸に起因する振動の抑制のみ実施しているが、これに限定されるものではない。並進軸に起因する振動についても同様の処理を行うことで、工具側の全駆動軸について振動抑制を行うことが好適である。

　つぎに、制御装置３０１に対してインタフェース機能を提供する各部の機能について説明する。

　駆動信号伝達部３０６は、駆動信号の入力を受け付け、相対振動算出部３０２、工具回転軸変位算出部３０４、工具回転軸起因加工点変位算出部３０５、制御方式決定部１０５、相対振動抑制部１０７、被加工物振動抑制部１０８、工具振動抑制部１０９、および駆動部１２５に駆動信号を渡す。

　被加工物変位計測部１１１は、被加工物変位を計測し、相対振動算出部３０２および被加工物振動算出部１０３に渡す。

　センサ計測位置パラメータ伝達部３０７は、工具回転軸の駆動に連動して移動する部品について、工具回転軸第１センサ０１５および工具回転軸第２センサ０１６のそれぞれが、いずれの箇所を計測しているかの情報の入力を受け付ける。センサ計測位置パラメータ伝達部３０７は、受け付けた情報を工具回転軸変位算出部３０４に渡す。

　機械構造モデル伝達部３０８は、機械構造モデルの入力を受け付け、工具回転軸起因加工点変位算出部３０５に渡す。

　工具回転軸第１センサ変位計測部３０９は、工具回転軸の駆動に連動して移動する部品の第１の計測箇所の変位を計測し、工具回転軸変位算出部３０４に渡す。

　工具回転軸第２センサ変位計測部３１０は、工具回転軸の駆動に連動して移動する部品の第２の計測箇所の変位を計測し、工具回転軸変位算出部３０４に渡す。

　相対振動算出パラメータ伝達部１１５は、相対振動の算出に要するパラメータの入力を受け付け、相対振動算出部３０２に渡す。

　工具振動算出パラメータ伝達部１１７は、工具振動の算出に要するパラメータの入力を受け付け、工具振動算出部３０３に渡す。

　駆動部１２５は、駆動信号伝達部３０６から駆動信号の情報を受け取り、補正信号伝達部１２４から補正信号を受け取り、駆動信号に補正信号を加えた信号に基づいて駆動する。

　内部情報伝達部１２６は、相対振動算出部３０２から相対振動の情報を受け取り、被加工物振動算出部１０３から被加工物振動の情報を受け取り、工具振動算出部３０３から工具振動の情報を受け取り、振動情報記録部１０６から記録されている振動情報を受け取り、制御方式決定部１０５から振動抑制を実施しているか否かの情報、および振動抑制の対象の情報を受け取る。内部情報伝達部１２６は、受け取った情報を表示部１２７および外部媒体記録部１２８に出力する。

　つぎに、実施の形態３の制御装置３０１における振動抑制処理の流れについて、図９を参照して説明する。図９は、実施の形態３における振動抑制処理の流れを示すフローチャートである。

　まず、各種伝達部への入力を関係する構成部が受け取る（Ｓ３０１）。

　ついで、工具回転軸変位算出部３０４が、工具回転軸に起因する変位を抽出する（Ｓ３０２）。

　ついで、工具回転軸起因加工点変位算出部３０５が工具回転軸に起因する加工点の変位を算出する（Ｓ３０３）。

　ついで、工具回転軸起因加工点変位算出部３０５が工具回転軸に起因する加工点の変位を工具回転軸の角度で表現した値を算出する（Ｓ３０４）。

　ついで、相対振動算出部３０２は、Ｓ３０３のステップで算出した被加工物に対する加工点の相対変位と、駆動指令による指定位置から算出される被加工物と加工点の理想的な相対位置との差分を算出する（Ｓ３０５）。

　ついで、相対振動算出部３０２は、相対変位と駆動指令の変位との差分の時刻歴データに基づき、周波数と振幅を算出し、相対振動の振動周波数と振動振幅とする（Ｓ３０６）。

　ついで、相対振動算出部３０２は、相対変位と駆動指令の変位との差分の時刻歴データに基づき、相対加速度を算出する（Ｓ３０７）。

　ついで、工具振動算出部３０３と被加工物振動算出部１０３はそれぞれ工具振動と被加工物振動の振動周波数と振動振幅を算出する（Ｓ３０８）。

　ついで、工具振動算出部３０３は工具加速度を算出し、被加工物振動算出部１０３は被加工物加速度を算出する（Ｓ３０９）。

　ついで、算出された相対振動と工具振動と被加工物振動の情報を振動情報記録部１０６が記録する（Ｓ３１０）。

　ついで、制御方式決定部１０５は、算出された相対振動の振動振幅が許容値以上となる振動周波数があるかを判定し、存在する場合は、Ｓ３１２のステップに進み、存在しない場合は、Ｓ３１３のステップに進む（Ｓ３１１）。

　Ｓ３１１のステップにおいて、許容値以上の振幅となる周波数が存在する場合、制御方式決定部１０５は、該当の周波数成分を抑制すると決定し、相対振動抑制部１０７は、該当の周波数成分を抑制するための補正信号を作成し、補正信号伝達部１２４に出力する（Ｓ３１２）。

　ついで、制御方式決定部１０５は、算出された工具振動の振動振幅が許容値以上となる振動周波数があるかを判定し、存在する場合は、Ｓ３１４のステップに進み、存在しない場合は、Ｓ３１５のステップに進む（Ｓ３１３）。

　Ｓ３１３のステップにおいて、許容値以上の振幅となる周波数が存在する場合、制御方式決定部１０５は、該当の周波数成分を抑制すると決定し、工具振動抑制部１０９は、該当の周波数成分を抑制するための補正信号を作成し、補正信号伝達部１２４に出力する（Ｓ３１４）。

　ついで、制御方式決定部１０５は、算出された被加工物振動の振動振幅が許容値以上となる振動周波数があるかを判定し、存在する場合は、Ｓ３１６のステップに進み、存在しない場合は、Ｓ３１７のステップに進む（Ｓ３１５）。

　Ｓ３１５のステップにおいて、許容値以上の振幅となる周波数が存在する場合、制御方式決定部１０５は、該当の周波数成分を抑制すると決定し、被加工物振動抑制部１０８は、該当の周波数成分を抑制するための補正信号を作成し、補正信号伝達部１２４に出力する（Ｓ３１６）。

　ついで、制御方式決定部１０５は、算出された相対加速度が許容値以上か否かを判定し、許容値以上の場合は、Ｓ３１８のステップに進み、許容値以下の場合は、Ｓ３１９のステップに進む（Ｓ３１７）。

　Ｓ３１７のステップにおいて、加速度が許容値以上の場合、制御方式決定部１０５は、加速度を抑制すると決定し、相対振動抑制部１０７は、加速度を抑制するための補正信号を作成し、補正信号伝達部１２４に出力する（Ｓ３１８）。

　ついで、制御方式決定部１０５は、算出された工具加速度が許容値以上か否かを判定し、許容値以上の場合は、Ｓ３２０のステップに進み、許容値以下の場合は、Ｓ３２１のステップに進む（Ｓ３１９）。

　Ｓ３１９のステップにおいて、加速度が許容値以上の場合、制御方式決定部１０５は、加速度を抑制すると決定し、工具振動抑制部１０９は、加速度を抑制するための補正信号を作成し、補正信号伝達部１２４に出力する（Ｓ３２０）。

　ついで、制御方式決定部１０５は、算出された被加工物加速度が許容値以上か否かを判定し、許容値以上の場合は、Ｓ３２２のステップに進み、許容値以下の場合は、Ｓ３２３のステップに進む（Ｓ３２１）。

　Ｓ３２１のステップにおいて、加速度が許容値以上の場合、制御方式決定部１０５は、加速度を抑制すると決定し、被加工物振動抑制部１０８は、加速度を抑制するための補正信号を作成し、補正信号伝達部１２４に出力する（Ｓ３２２）。

　ついで、制御方式決定部１０５は、振動情報記録部１０６に記録された相対振動について、振動振幅が許容値以上となる周波数成分が存在するか否かを判定し、存在する場合はＳ３２４のステップに進み、存在しない場合は、Ｓ３２５のステップに進む（Ｓ３２３）。

　Ｓ３２３のステップにおいて、振動振幅が許容値以上となる周波数成分が存在する場合、制御方式決定部１０５は、該当の周波数成分を抑制すると決定し、相対振動抑制部１０７は、該当の周波数成分を抑制するための補正信号を作成し、補正信号伝達部１２４に出力する（Ｓ３２４）。

　ついで、制御方式決定部１０５は、振動情報記録部１０６に記録された工具振動について、振動振幅が許容値以上となる周波数成分が存在するか否かを判定し、存在する場合はＳ３２６のステップに進み、存在しない場合は、Ｓ３２７のステップに進む（Ｓ３２５）。

　Ｓ３２５のステップにおいて、振動振幅が許容値以上となる周波数成分が存在する場合、制御方式決定部１０５は、該当の周波数成分を抑制すると決定し、工具振動抑制部１０９は、該当の周波数成分を抑制するための補正信号を作成し、補正信号伝達部１２４に出力する（Ｓ３２６）。

　ついで、制御方式決定部１０５は、振動情報記録部１０６に記録された被加工物振動について、振動振幅が許容値以上となる周波数成分が存在するか否かを判定し、存在する場合はＳ３２８のステップに進み、存在しない場合は、Ｓ３２９のステップに進む（Ｓ３２７）。

　Ｓ３２７のステップにおいて、振動振幅が許容値以上となる周波数成分が存在する場合、制御方式決定部１０５は、該当の周波数成分を抑制すると決定し、被加工物振動抑制部１０８は、該当の周波数成分を抑制するための補正信号を作成し、補正信号伝達部１２４に出力する（Ｓ３２８）。

　ついで、振動情報記録部１０６は、記録された振動周波数と振動振幅を更新する（Ｓ３２９）。この際、記録している振動情報のうち、振動情報記録保持時間よりも過去の情報を破棄する。

　ついで、内部情報伝達部１２６は、構成部の説明で述べた各種情報を表示部１２７と外部媒体記録部１２８とに出力する（Ｓ３３０）。表示部１２７は受け取った情報を表示する。外部媒体記録部１２８は、受け取った情報を記録する。

　ついで、補正信号伝達部１２４は、受け取った補正信号を駆動部１２５に出力する。駆動部１２５は、補正信号に基づき駆動信号を補正する（Ｓ３３１）。駆動部１２５は、補正後の駆動信号に基づいて駆動機構を動作させる。

　なお、実施の形態３では、工具回転軸に起因する振動の抑制のみ実施しているが、これに限定されるものではなく、並進軸に起因する振動についても同様の処理を行うことで、工具側の全駆動軸について振動抑制を行うことが好適である。

　また、実施の形態３は、実施の形態２と組み合わせて使用することも考えられ、回転軸の振動について、実施の形態２で算出した値と実施の形態３で算出した値の平均をとることが考えられる。ただし、これに限定されるものではない。

　以上のように、実施の形態３によれば、実施の形態２とは異なる方法で、回転軸に起因する振動を抑制することができる。

　また、実施の形態３によれば、着目する軸より根元側の軸の影響を２つのセンサで打ち消しあうことができるので、軸数が増えた場合に、実施の形態２よりも振動の算出精度を高めることができる。

　ここまで、実施の形態１から３に係る制御装置の構成および動作について説明してきた。上述した内容により、本発明に係る制御装置は、以下に記載する概念の発明が創出される。

　本発明は、工具および被加工物のうちの少なくとも１つを駆動する駆動部を制御する制御装置である。本発明に係る制御装置は、少なくとも相対振動算出部と、相対振動抑制部とを備える。相対振動算出部は、工具および工具が固定される工具保持部のうちの少なくとも一方を計測した計測信号と、被加工物および被加工物が固定される被加工物保持部のうちの少なくとも一方を計測した計測信号と、工具と被加工物の少なくとも一方を制御するための駆動部への駆動信号とに基づき、被加工物に対する工具の相対変位と指令位置との間に生じる相対振動の程度を表す成分を算出する。相対振動抑制部は、相対振動算出部の算出結果に基づいて、相対振動を抑制する指令を出力する。これにより、振動成分のうち駆動部に対する指令成分を除いた、外乱による振動のみを抑制することが可能となる。

　なお、本発明に係る制御装置は、相対振動算出部が、相対振動の振動周波数である第１の振動周波数、および、被加工物に対する工具の相対変位と指令位置との間に生じる相対加速度のうちの少なくとも１つを算出し、相対振動抑制部は、駆動指令に含まれる第１の振動周波数の周波数成分、および、相対加速度のうちの少なくとも１つを抑制するようにしてもよい。これにより、相対振動を引き起こす周波数成分を抑制する、もしくは相対加速度を打ち消すことで、相対振動を抑制することが可能となる。

　また、本発明に係る制御装置は、さらに制御方式決定部を備えていてもよい。この構成による制御装置では、相対振動算出部が、相対振動の振動周波数である第１の振動周波数および相対振動の振幅値である第１の振動振幅と、被加工物に対する工具の相対位置と指令位置との間に生じる相対加速度と、のうちの少なくとも１つを算出し、制御方式決定部は、第１の振動振幅が、振幅許容値よりも大きい場合には、第１の振動周波数のうちの該当の周波数成分を抑制すると決定し、相対加速度が、相対加速度許容値より大きい場合には、相対加速度を抑制すると決定し、制御方式決定部が駆動指令に含まれる相対振動の周波数成分を抑制すると決定した場合、相対振動抑制部は、該当の周波数成分を抑制する補正信号を駆動部に出力し、制御方式決定部が相対加速度を抑制すると決定した場合には、相対振動抑制部は、相対加速度を抑制する補正信号を駆動部に出力する。これにより、相対振動が大きい場合にのみ振動抑制を実施することで、過剰な補正を抑制することが可能となる。

　また、本発明に係る制御装置は、さらに工具振動算出部、制御方式決定部および工具振動抑制部を備えていてもよい。この構成による制御装置では、工具振動算出部は、工具振動の振動周波数である第２の振動周波数および工具振動の振幅値である第２の振動振幅と、工具の加速度である工具加速度と、のうちの少なくとも１つを算出し、制御方式決定部は、第２の振動振幅が、振幅許容値より大きい場合には、第２の振動周波数のうちの該当の周波数成分を抑制すると決定し、工具加速度が加速度許容値より大きい場合には、工具加速度を抑制すると決定し、工具振動抑制部は、制御方式決定部が駆動指令に含まれる工具振動の周波数成分を抑制すると決定した場合には、該当の周波数成分を抑制する補正信号を駆動部に出力し、制御方式決定部が工具加速度を抑制すると決定した場合には、工具加速度を抑制する補正信号を駆動部に出力する。これにより、機械の劣化につながる工具振動が大きい場合に工具振動を抑制することで、機械の劣化を抑制することが可能となる。

　また、本発明に係る制御装置は、さらに被加工物振動算出部、制御方式決定部および被加工物振動抑制部を備えていてもよい。この構成による制御装置では、被加工物振動算出部は、被加工物振動の振動周波数である第３の振動周波数および被加工物振動の振幅値である第３の振動振幅と、被加工物の加速度である被加工物加速度と、のうちの少なくとも１つを算出し、制御方式決定部は、第３の振動振幅が、振幅許容値より大きい場合には、第３の振動周波数のうちの該当の周波数成分を抑制すると決定し、被加工物加速度が、加速度許容値より大きい場合には、被加工物加速度を抑制すると決定し、被加工物振動抑制部は、制御方式決定部が駆動指令に含まれる被加工物振動の周波数成分を抑制すると決定した場合には、該当の周波数成分を抑制する補正信号を駆動部に出力し、制御方式決定部が被加工物加速度を抑制すると決定した場合には、被加工物加速度を抑制する補正信号を駆動部に出力する。これにより、機械の劣化につながる被加工物振動が大きい場合に被加工物振動を抑制することで、機械の劣化を抑制することが可能となる。

　また、本発明に係る制御装置は、さらに振動情報記録部を備えていてもよい。この構成による制御装置では、相対振動算出部、工具振動算出部および被加工物振動算出部のうちの少なくとも１つが設けられ、少なくとも１つの相対振動算出部、工具振動算出部および被加工物振動算出部に対応する相対振動抑制部、工具振動抑制部、および被加工物振動抑制部のうち少なくとも１つが設けられる。振動情報記録部は、少なくとも１つの相対振動算出部、工具振動算出部および被加工物振動算出部が算出した振動情報を記録する。少なくとも１つの相対振動算出部、工具振動算出部および被加工物振動算出部に対応して設けられる相対振動抑制部、工具振動抑制部、および被加工物振動抑制部のうちの少なくとも１つは、振動情報記録部に記録された相対振動情報が相対振動許容値を超えた場合と、振動情報記録部に記録された工具振動情報が工具振動許容値を超えた場合と、振動情報記録部に記録された被加工物振動情報が被加工物振動許容値を超えた場合とのうちの少なくとも１つの場合に該当する場合に、駆動信号中の該当する振動成分を抑制する補正信号を駆動部に出力する。これにより、振動情報を記録しておくことで、一度発生した振動と同一の振動が以降の加工で発生しないようにできるので、繰り返し加工する間に振動抑制の精度を高めることが可能となる。

　また、本発明に係る制御装置は、さらに駆動軸変位成分分配部を備えていてもよい。なお、ここで言う、「駆動軸変位成分分配部」は、図４に記載された「工具並進軸変位抽出部２０４」、「工具第１回転軸変位抽出部２０５」、「工具第２回転軸変位抽出部２０６」および「工具第２回転軸起因加工点変位算出部２０７」と、図７に記載された「工具回転軸変位算出部３０４」および「工具回転軸起因加工点変位算出部３０５」の総称である。この構成による制御装置では、駆動軸変位成分分配部は、工具の位置と、工具の変位と、工具の速度と、工具の加速度と、被加工物の位置と、被加工物の変位と、被加工物の速度と、被加工物の加速度のうち少なくとも１つの直交空間各軸方向における成分について、駆動可能な駆動軸のうちの少なくとも１つの第１の駆動軸に対して、上記成分のうち第１の駆動軸に起因する成分を抽出し、相対振動抑制部、工具振動抑制部、および被加工物振動抑制部のうち少なくとも１つは、駆動軸変位成分分配部によって分配された第１の駆動軸に起因する成分と、駆動信号と、に基づいて、相対振動と、工具振動と、被加工物振動とのうちの少なくとも１つを抑制する補正信号を駆動部に出力する。これにより、各軸の振動成分の計測精度を向上させることができ、また、回転軸を含む構造の機械でも振動を抑制することが可能となる。

　また、本発明に係る制御装置によれば、駆動軸変位成分分配部は、第１の駆動軸に対してリンク機構の根元側に駆動軸が存在しない場合は、第１の駆動軸で動作する機械部品に取り付けられた変位計測器の信号を第１の駆動軸の変位成分として分配し、第１の駆動軸に対してリンク機構の根元側に駆動軸が存在する場合は、第１の駆動軸で動作する機械部品と第１の駆動軸の根元側の駆動軸で動作する機械部品とのそれぞれに取り付けた変位計測器のそれぞれの取り付け位置と、それぞれの計測変位と、に基づいて第１の駆動軸の変位成分を算出する。これにより、各軸の振動成分の計測精度を向上させることができ、また、回転軸を含む構造の機械でも振動を抑制することが可能となる。

　また、本発明に係る制御装置によれば、駆動軸変位成分分配部は、１つの回転軸を駆動した際に同一の回転中心軸を中心として運動を行う機械部品の２箇所以上に取り付けられた変位計測器から出力を受け取り、変位計測器それぞれの取り付け位置とそれぞれの計測変位に基づいて、回転軸に分配する変位成分を算出する。これにより、各軸の振動成分の計測精度を向上させることができ、また、回転軸を含む構造の機械でも振動を抑制することが可能となる。

　また、本発明に係る制御装置によれば、振動抑制処理中であるか否かと、振動抑制処理中の場合の振動抑制対象と、振動抑制処理中の場合の振動抑制対象の振動周波数と、振動抑制処理中の場合の振動抑制対象の振動振幅と、振動抑制処理中の場合の振動抑制対象の加速度と、相対振動の振動周波数と相対振動の振動振幅と、相対加速度と、工具振動の振動周波数および工具振動の振動振幅と、工具加速度と、被加工物振動の振動周波数および被加工物振動の振動振幅と、被加工物加速度と、振動情報記録部に記録された相対振動の振動周波数と、振動情報記録部に記録された相対振動の振動振幅と、振動情報記録部に記録された相対加速度と、振動情報記録部に記録された工具振動の振動周波数と、振動情報記録部に記録された工具振動の振動振幅と、振動情報記録部に記録された工具加速度と、振動情報記録部に記録された被加工物振動の振動周波数と、振動情報記録部に記録された被加工物振動の振動振幅と、振動情報記録部に記録された被加工物加速度と、制御方式決定部が抑制対象と決めた抑制対象の履歴と、制御方式決定部が抑制対象と決めた抑制対象の振動周波数の履歴と、制御方式決定部が抑制対象と決めた抑制対象の振動振幅履歴と、制御方式決定部が抑制対象と決めた抑制対象の加速度履歴と、のうち少なくとも１つを、表示部に表示するか、外部に出力するかの少なくとも１つを実施する。これにより、振動に関わる情報をユーザに提示できる他、外部媒体での記録および稼動状態の監視が可能となる。

　最後に、本実施の形態に係る制御装置を具現するハードウェア構成について、図１０を参照して説明する。

　本実施の形態に係る制御装置１０１，２０１，３０１の機能を実現する場合には、図１０に示すように、演算を行うプロセッサ５１と、プロセッサ５１によって読みとられるプログラムが展開されるメモリ５２と、信号または情報の入出力を行うインタフェース５３、プログラムおよび情報を保持する記憶装置５４と、を含む構成とすることができる。なお、プロセッサ５１は、演算装置、マイクロプロセッサ、マイクロコンピュータ、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ　Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　Ｕｎｉｔ）、またはＤＳＰ（Ｄｉｇｉｔａｌ　Ｓｉｇｎａｌ　Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ）などと称されるものであってもよい。また、メモリ５２とは、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ　Ａｃｃｅｓｓ　Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ　Ｏｎｌｙ　Ｍｅｍｏｒｙ）、フラッシュメモリ、ＥＰＲＯＭ（Ｅｒａｓａｂｌｅ　Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ　ＲＯＭ）、ＥＥＰＲＯＭ（Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌｌｙ　ＥＰＲＯＭ）などの、不揮発性または揮発性の半導体メモリなどが該当する。

　具体的に、記憶装置５４には、本実施の形態に係る制御装置１０１，２０１，３０１の機能を実行するプログラムが格納されている。プロセッサ５１は、インタフェース５３を介して、必要な情報の授受を行うことにより、本実施の形態で説明された各種の演算処理を実行する。

　なお、以上の実施の形態に示した構成は、本発明の内容の一例を示すものであり、別の公知の技術と組み合わせることも可能であるし、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、構成の一部を省略、変更することも可能である。

　００１，００７，０１４　工具、００２　被加工物、００３　工具変位計測器、００４　被加工物変位計測器、００５Ａ，００５Ｂ，００６，０１１，０１２，０１３，０１７　機械部品、００８　工具並進軸側センサ、００９　工具第１回転軸側センサ、０１０　工具第２回転軸側センサ、０１５　工具回転軸第１センサ、０１６　工具回転軸第２センサ、０２０，０２１，０２２　リンク機構、０３１，０３２　固定部品、１００，２００，３００　駆動装置、１０１　制御装置、１０２　相対振動算出部、１０３　被加工物振動算出部、１０４　工具振動算出部、１０５　制御方式決定部、１０６　振動情報記録部、１０７　相対振動抑制部、１０８　被加工物振動抑制部、１０９　工具振動抑制部、１１０　駆動信号伝達部、１１１　被加工物変位計測部、１１２　工具変位計測部、１１３　振動情報記録保持時間伝達部、１１４　振動情報初期値伝達部、１１５　相対振動算出パラメータ伝達部、１１６　被加工物振動算出パラメータ伝達部、１１７　工具振動算出パラメータ伝達部、１１８　相対振動許容値伝達部、１１９　被加工物振動許容値伝達部、１２０　工具振動許容値伝達部、１２１　相対振動抑制パラメータ伝達部、１２２　被加工物振動抑制パラメータ伝達部、１２３　工具振動抑制パラメータ伝達部、１２４　補正信号伝達部、１２５　駆動部、１２６　内部情報伝達部、１２７　表示部、１２８　外部媒体記録部、２０１　制御装置、２０２　相対振動算出部、２０３　工具振動算出部、２０４　工具並進軸変位抽出部、２０５　工具第１回転軸変位抽出部、２０６　工具第２回転軸変位抽出部、２０７　工具第２回転軸起因加工点変位算出部、２０８　駆動信号伝達部、２０９　センサ計測位置パラメータ伝達部、２１０　機械構造モデル伝達部、２１１　工具並進軸側センサ変位計測部、２１２　工具第１回転軸側センサ変位計測部、２１３　工具第２回転軸側センサ変位計測部、３０１　制御装置、３０２　相対振動算出部、３０３　工具振動算出部、３０４　工具回転軸変位算出部、３０５　工具回転軸起因加工点変位算出部、３０６　駆動信号伝達部、３０７　センサ計測位置パラメータ伝達部、３０８　機械構造モデル伝達部、３０９　工具回転軸第１センサ変位計測部、３１０　工具回転軸第２センサ変位計測部。

Claims

　加工もしくは組み立てを行なう加工ツールと前記加工ツールによって加工される被加工物のうちの少なくとも１つを駆動する駆動部を制御する制御装置であって、
　前記加工ツールおよび前記加工ツールが固定される加工ツール保持部のうちの少なくとも一方の位置と変位と速度と加速度のうち少なくとも一つを算出可能な物理量を計測した計測値と、前記被加工物および前記被加工物が固定される被加工物保持部のうちの少なくとも一方の位置と変位と速度と加速度のうち少なくとも一つを算出可能な物理量を計測した計測値と、前記加工ツールと被加工物の少なくとも一方を制御するための前記駆動部への駆動指令とに基づき、前記被加工物に対する前記加工ツールの相対変位と前記駆動指令が目標とする指令位置との間に生じる相対振動の大きさを表す成分を算出する相対振動算出部と、
　前記相対振動算出部の算出結果に基づいて、前記相対振動を抑制する指令を出力する相対振動抑制部と、
　を備えたことを特徴とする制御装置。
　前記相対振動算出部は、前記相対振動の振動周波数である第１の振動周波数、および、前記被加工物に対する前記加工ツールの相対変位と前記指令位置との間に生じる相対加速度のうちの少なくとも１つを算出し、
　前記相対振動抑制部は、前記駆動指令に含まれる前記第１の振動周波数の周波数成分、および、前記相対加速度のうちの少なくとも１つを抑制する
　ことを特徴とする請求項１に記載の制御装置。
　前記相対振動算出部は、前記相対振動の振動周波数である第１の振動周波数および前記相対振動の振幅値である第１の振動振幅と、前記被加工物に対する前記加工ツールの相対位置と前記指令位置との間に生じる相対加速度と、のうちの少なくとも１つを算出し、
　前記第１の振動振幅が、振幅許容値よりも大きい場合には、前記第１の振動周波数のうちの該当の周波数成分を抑制すると決定し、
　前記相対加速度が、相対加速度許容値より大きい場合には、前記相対加速度を抑制すると決定する制御方式決定部を備え、
　前記制御方式決定部が前記駆動指令に含まれる前記相対振動の周波数成分を抑制すると決定した場合、前記相対振動抑制部は、前記該当の周波数成分を抑制する補正信号を前記駆動部に出力し、
　前記制御方式決定部が前記相対加速度を抑制すると決定した場合には、前記相対振動抑制部は、前記相対加速度を抑制する補正信号を前記駆動部に出力する
　ことを特徴とする請求項１または２に記載の制御装置。
　前記加工ツールは工具であり、
　工具振動の振動周波数である第２の振動周波数および前記工具振動の振幅値である第２の振動振幅と、前記工具の加速度である工具加速度と、のうちの少なくとも１つを算出する工具振動算出部と、
　前記第２の振動振幅が、振幅許容値より大きい場合には、前記第２の振動周波数のうちの該当の周波数成分を抑制すると決定し、前記工具加速度が加速度許容値より大きい場合には、前記工具加速度を抑制すると決定する制御方式決定部を備え、
　前記制御方式決定部が前記駆動指令に含まれる前記工具振動の周波数成分を抑制すると決定した場合には、前記該当の周波数成分を抑制する補正信号を前記駆動部に出力し、前記制御方式決定部が工具加速度を抑制すると決定した場合には、前記工具加速度を抑制する補正信号を前記駆動部に出力する工具振動抑制部と、
　を備えることを特徴とする請求項２または３に記載の制御装置。
　被加工物振動の振動周波数である第３の振動周波数および前記被加工物振動の振幅値である第３の振動振幅と、前記被加工物の加速度である被加工物加速度と、のうちの少なくとも１つを算出する被加工物振動算出部と、
　前記第３の振動振幅が、振幅許容値より大きい場合には、前記第３の振動周波数のうちの該当の周波数成分を抑制すると決定し、前記被加工物加速度が、加速度許容値より大きい場合には、前記被加工物加速度を抑制すると決定する制御方式決定部と、
　前記制御方式決定部が前記駆動指令に含まれる前記被加工物振動の周波数成分を抑制すると決定した場合には、前記該当の周波数成分を抑制する補正信号を前記駆動部に出力し、前記制御方式決定部が被加工物加速度を抑制すると決定した場合には、前記被加工物加速度を抑制する補正信号を前記駆動部に出力する被加工物振動抑制部と、
　を備えることを特徴とする請求項４に記載の制御装置。
　前記相対振動算出部、前記工具振動算出部および前記被加工物振動算出部のうちの少なくとも１つと、
　少なくとも１つの前記相対振動算出部、前記工具振動算出部および前記被加工物振動算出部に対応する前記相対振動抑制部、前記工具振動抑制部、および前記被加工物振動抑制部のうち少なくとも１つと、
　少なくとも１つの前記相対振動算出部、前記工具振動算出部および前記被加工物振動算出部が算出した振動情報を記録する振動情報記録部と、
　を備え、
　少なくとも１つの前記相対振動算出部、前記工具振動算出部および前記被加工物振動算出部に対応して設けられる前記相対振動抑制部、前記工具振動抑制部、および前記被加工物振動抑制部のうちの少なくとも１つは、
　前記振動情報記録部に記録された相対振動情報が相対振動許容値を超えた場合と、前記振動情報記録部に記録された工具振動情報が工具振動許容値を超えた場合と、前記振動情報記録部に記録された被加工物振動情報が被加工物振動許容値を超えた場合とのうちの少なくとも１つの場合に該当する場合に、前記駆動指令中の該当する振動成分を抑制する補正信号を前記駆動部に出力する
　ことを特徴とする請求項５に記載の制御装置。
　前記工具の位置と、前記工具の変位と、前記工具の速度と、前記工具の加速度と、前記被加工物の位置と、前記被加工物の変位と、前記被加工物の速度と、被加工物の加速度のうち少なくとも１つの直交空間各軸方向における成分について、
　駆動可能な駆動軸のうちの少なくとも１つの第１の駆動軸に対して、
　前記成分のうち前記第１の駆動軸に起因する成分を抽出する駆動軸変位成分分配部を備え、
　前記相対振動抑制部、前記工具振動抑制部、および前記被加工物振動抑制部のうち少なくとも１つは、前記駆動軸変位成分分配部によって分配された前記第１の駆動軸に起因する成分と、前記駆動指令とに基づいて、前記相対振動と、前記工具振動と、前記被加工物振動とのうちの少なくとも１つを抑制する補正信号を駆動部に出力する
　ことを特徴とする請求項６に記載の制御装置。
　前記駆動軸変位成分分配部は、前記第１の駆動軸に対してリンク機構の根元側に駆動軸が存在しない場合は、前記第１の駆動軸で動作する機械部品に取り付けられた変位計測器の信号を前記第１の駆動軸の変位成分として分配し、
　前記第１の駆動軸に対して前記リンク機構の根元側に駆動軸が存在する場合は、前記第１の駆動軸で動作する機械部品と前記第１の駆動軸の根元側の駆動軸で動作する機械部品とのそれぞれに取り付けた変位計測器のそれぞれの取り付け位置と、それぞれの計測変位と、に基づいて前記第１の駆動軸の変位成分を算出する
　ことを特徴とする請求項７に記載の制御装置。
　前記駆動軸変位成分分配部は、１つの回転軸を駆動した際に同一の回転中心軸を中心として運動を行う機械部品の２箇所以上に取り付けられた変位計測器から出力を受け取り、
前記変位計測器それぞれの取り付け位置とそれぞれの計測変位に基づいて、前記回転軸に分配する変位成分を算出する
　ことを特徴とする請求項７または８に記載の制御装置。
　振動抑制処理中であるか否かの情報と、
　振動抑制処理中の場合の振動抑制対象と、
　振動抑制処理中の場合の振動抑制対象の振動周波数と、
　振動抑制処理中の場合の振動抑制対象の振動振幅と、
　振動抑制処理中の場合の振動抑制対象の加速度と、
　前記相対振動の振動周波数と前記相対振動の振動振幅と、
　前記相対加速度と、
　前記工具振動の振動周波数および前記工具振動の振動振幅と、
　前記工具加速度と、
　前記被加工物振動の振動周波数および前記被加工物振動の振動振幅と、
　前記被加工物加速度と、
　前記振動情報記録部に記録された前記相対振動の振動周波数と、
　前記振動情報記録部に記録された前記相対振動の振動振幅と、
　前記振動情報記録部に記録された前記相対加速度と、
　前記振動情報記録部に記録された前記工具振動の振動周波数と、
　前記振動情報記録部に記録された前記工具振動の振動振幅と、
　前記振動情報記録部に記録された前記工具加速度と、
　前記振動情報記録部に記録された前記被加工物振動の振動周波数と、
　前記振動情報記録部に記録された前記被加工物振動の振動振幅と、
　前記振動情報記録部に記録された前記被加工物加速度と、
　前記制御方式決定部が抑制対象と決めた抑制対象の履歴と、
　前記制御方式決定部が抑制対象と決めた抑制対象の振動周波数の履歴と、
　前記制御方式決定部が抑制対象と決めた抑制対象の振動振幅履歴と、
　前記制御方式決定部が抑制対象と決めた抑制対象の加速度履歴と、
　のうちの少なくとも１つを、表示部に表示するか、外部に出力するかの少なくとも１つを実施する
　ことを特徴とする請求項６から９の何れか１項に記載の制御装置。