WO2018012125A1

WO2018012125A1 - 搬送装置

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Publication number: WO2018012125A1
Application number: PCT/JP2017/019631
Authority: WO
Inventors: 陽一大川
Original assignee: アズビル株式会社
Priority date: 2016-07-12
Filing date: 2017-05-25
Publication date: 2018-01-18
Also published as: EP3486605A4; EP3486605A1; US10746616B2; US20190310149A1; CN109477713B; CN109477713A; EP3486605B1

Abstract

物品５が配置され、温度管理がなされる空間を有する温度管理炉１と、磁性体を含む棒状部材２Ａ、２Ｂと、棒状部材２Ａ、２Ｂの側面の一部とそれぞれ対向し、磁性体を含む対向部材３Ａ、３Ｂと、中心軸の周りに棒状部材２Ａを回転させ、棒状部材２Ａと対向部材３Ａの相対位置を変化させる駆動装置４Ａと、中心軸の周りに棒状部材２Ｂを回転させ、棒状部材２Ｂと対向部材３Ｂの相対位置を変化させる駆動装置４Ｂと、駆動装置４Ａ、４Ｂのそれぞれのトルクの変動に基づき、棒状部材２Ａ、２Ｂと対向部材３Ａ、３Ｂのそれぞれの脱調を予測又は検出する脱調監視部３０１と、を備える温度管理装置。

Description

搬送装置

　本発明は搬送技術に関する。

　磁気ネジは、磁力による非接触カップリングによって駆動されるため、過負荷がかかると、雄磁気ネジと雌磁気ネジの間で脱調が生じやすい傾向にある。雄磁気ネジが回転駆動される磁気ネジで脱調を生じると、雄磁気ネジの回転指令と、ナットである雌磁気ネジの実際の移動位置との間のカップリングに、ずれが発生し、同期駆動ができなくなる場合がある。この場合、ナットの位置決め不良やオーバーランが生じうる。そのため、磁気ネジを使用する際には、脱調を予測ないしは検出できることが好ましい。特許文献１は、ナットに磁気センサを設置して、脱調による磁束の変化を検出する装置を開示している。

特許第３６１０２０９号公報

　本発明は、磁気センサによって磁束の変化を検出することなく、脱調を予測又は検出可能な搬送装置を提供することを目的の一つとする。

　本発明の態様によれば、（ａ）物品が配置され、温度管理がなされる空間を有する温度管理炉と、（ｂ）磁性体を含む棒状部材と、（ｃ）棒状部材の側面の一部と対向し、磁性体を含む対向部材と、（ｄ）棒状部材の中心軸の周りに棒状部材又は対向部材を回転させ、棒状部材と対向部材の相対位置を変化させる駆動装置と、（ｅ）駆動装置のトルクの変動に基づき、棒状部材と対向部材の間の脱調を予測又は検出する脱調監視部と、を備える、温度管理装置が提供される。

　上記の温度管理装置が、脱調が予測又は検出された場合、駆動装置を制御する制御部をさらに備えていてもよい。

　上記の温度管理装置において、脱調監視部が、駆動装置の駆動電流の変動に基づき、トルクの変動を検出してもよい。

　上記の温度管理装置において、脱調監視部が、トルクを表す計測値を微分してもよい。あるいは、脱調監視部が、トルクを表す計測値を積分してもよい。

　上記の温度管理装置において、駆動装置が棒状部材の中心軸の周りに棒状部材を回転させ、脱調監視部が、駆動装置から棒状部材を介して対向部材に加えられた外力と、対向部材に負荷がかかっていない場合に対向部材を動かすために必要な力と、の差に基づき、対向部材に加わっている負荷を算出し、算出した負荷に基づき、脱調を予測又は検出してもよい。

　上記の温度管理装置において、駆動装置から棒状部材を介して対向部材に加えられた外力が、駆動装置のトルクに基づいて算出されてもよい。

　上記の温度管理装置において、対向部材に負荷がかかっていない場合に対向部材を動かすために必要な力が、対向部材の位置に基づいて算出されてもよい。

　上記の温度管理装置において、脱調監視部が、棒状部材と対向部材の間の磁気カップリングにより発生する推力の最大値と、負荷と、を比較することにより、脱調を予測又は検出してもよい。

　上記の温度管理装置が、対向部材の位置と、推力の最大値と、の関係を保存する記憶装置をさらに備えていてもよい。

　上記の温度管理装置において、脱調監視部が、駆動装置のトルクを表す参照値と駆動装置のトルクを表す計測値の差と、所定の閾値と、を比較してもよい。

　上記の温度管理装置において、駆動装置のトルクを表す参照値と駆動装置のトルクを表す計測値との差が平均値であってもよい。

　上記の温度管理装置において、脱調監視部が、駆動装置のトルクを表す参照値と駆動装置のトルクを表す計測値の差が所定の閾値より大きくなった回数を、脱調が生じた回数とみなしてもよい。

　上記の温度管理装置が、棒状部材と対向部材の相対位置の変化に付随して温度管理炉内を移動し、物品に接触して物品を移動させる接触部材をさらに備えていてもよい。

　上記の温度管理装置において、駆動装置が、温度管理がなされる空間の外部に配置されていてもよい。

　上記の温度管理装置において、駆動装置が棒状部材を回転させると、対向部材が棒状部材の中心軸に沿って移動して、対向部材に固定されている接触部材が移動してもよい。この場合、棒状部材、対向部材、及び接触部材が、温度管理がなされる空間の内部に配置されていてもよい。温度管理装置が、温度管理炉の側壁を貫通し、棒状部材と駆動装置とを接続する心棒をさらに備えていてもよい。また、温度管理装置が、心棒が貫通する温度管理炉の側壁の穴に設けられた密封部材をさらに備えていてもよい。

　上記の温度管理装置において、駆動装置が対向部材を回転させると、棒状部材が中心軸方向に移動して、棒状部材に固定されている接触部材が移動してもよい。この場合、接触部材が温度管理がなされる空間の内部に配置され、対向部材が温度管理がなされる空間の外部に配置されていてもよい。棒状部材が、温度管理炉の側壁を貫通していてもよい。温度管理装置が、棒状部材が貫通する温度管理炉の側壁の穴に設けられた密封部材をさらに備えていてもよい。

　上記の温度管理装置において、温度管理炉が凍結乾燥炉であってもよい。物品が医薬品を含んでいてもよい。

　また、本発明の態様によれば、（ａ）磁性体を含む棒状部材と、（ｂ）棒状部材の側面の一部と対向し、磁性体を含む対向部材と、（ｃ）棒状部材の中心軸の周りに棒状部材又は対向部材を回転させ、棒状部材と対向部材の相対位置を変化させる駆動装置と、（ｄ）駆動装置のトルクの変動に基づき、棒状部材と対向部材の間の脱調を予測又は検出する脱調監視部と、を備える搬送装置が提供される。

　上記の搬送装置が、脱調が予測又は検出された場合、駆動装置を制御する制御部をさらに備えていてもよい。

　上記の搬送装置において、脱調監視部が、駆動装置の駆動電流の変動に基づき、トルクの変動を検出してもよい。

　上記の搬送装置において、脱調監視部が、トルクを表す計測値を微分してもよい。あるいは、脱調監視部が、トルクを表す計測値を積分してもよい。

　上記の搬送装置において、駆動装置が棒状部材を回転させると、対向部材が棒状部材の中心軸に沿って移動してもよい。あるいは、駆動装置が対向部材を回転させると、棒状部材が中心軸方向に移動してもよい。

　上記の搬送装置において、駆動装置が棒状部材の中心軸の周りに棒状部材を回転させ、脱調監視部が、駆動装置から棒状部材を介して対向部材に加えられた外力と、対向部材に負荷がかかっていない場合に対向部材を動かすために必要な力と、の差に基づき、対向部材に加わっている負荷を算出し、算出した負荷に基づき、脱調を予測又は検出してもよい。

　上記の搬送装置において、駆動装置から棒状部材を介して対向部材に加えられた外力が、駆動装置のトルクに基づいて算出されてもよい。

　上記の搬送装置において、対向部材に負荷がかかっていない場合に対向部材を動かすために必要な力が、対向部材の位置に基づいて算出されてもよい。

　上記の搬送装置において、脱調監視部が、棒状部材と対向部材の間の磁気カップリングにより発生する推力の最大値と、負荷と、を比較することにより、脱調を予測又は検出してもよい。

　上記の搬送装置が、対向部材の位置と、推力の最大値と、の関係を保存する記憶装置をさらに備えていてもよい。

　上記の搬送装置において、脱調監視部が、駆動装置のトルクを表す参照値と駆動装置のトルクを表す計測値の差と、所定の閾値と、を比較してもよい。

　上記の搬送装置において、駆動装置のトルクを表す参照値と駆動装置のトルクを表す計測値の差が平均値であってもよい。

　上記の搬送装置において、脱調監視部が、駆動装置のトルクを表す参照値と駆動装置のトルクを表す計測値の差が所定の閾値より大きくなった回数を、脱調が生じた回数とみなしてもよい。

　本発明によれば、磁気センサによって磁束の変化を検出することなく、脱調を予測又は検出可能な搬送装置を提供可能である。

第１実施形態に係る温度管理装置の模式図である。第１実施形態に係る棒状部材と対向部材の模式図である。第１実施形態に係るトルクの時間変化を示すグラフである。第１実施形態に係るトルクの微分値の時間変化を示すグラフである。第１実施形態の変形例に係る棒状部材と対向部材の模式図である。第１実施形態の変形例に係る棒状部材と対向部材の模式図である。第２実施形態に係る温度管理装置の模式図である。第３実施形態に係る対向部材にかかる負荷と、推力と、の関係を示すグラフである。第３実施形態に係る棒状部材と対向部材の模式図である。第３実施形態に係る駆動装置、棒状部材、及び対向部材を備えるシステムの２慣性系力学モデルである。第３実施形態に係る２慣性系力学モデルのブロック線図である。第３実施形態に係る２慣性系力学モデルのブロック線図である。第４実施形態に係るｋ近傍法を説明するためのグラフである。第４実施形態に係るｋ近傍法を説明するためのグラフである。第４実施形態に係る現時点のトルクと参照値との差を説明するためのグラフである。第４実施形態に係る現時点のトルクと参照値との差を説明するためのグラフである。

　以下に本発明の実施形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号で表している。ただし、図面は模式的なものである。したがって、具体的な寸法等は以下の説明を照らし合わせて判断するべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることはもちろんである。

　（第１実施形態）
　第１実施形態に係る温度管理装置は、図１に示すように、物品５が配置され、温度管理がなされる空間を有する温度管理炉１と、磁性体を含む棒状部材２Ａ、２Ｂと、棒状部材２Ａ、２Ｂの側面の一部とそれぞれ対向し、磁性体を含む対向部材３Ａ、３Ｂと、中心軸の周りに棒状部材２Ａを回転させ、棒状部材２Ａと対向部材３Ａの相対位置を変化させる駆動装置４Ａと、中心軸の周りに棒状部材２Ｂを回転させ、棒状部材２Ｂと対向部材３Ｂの相対位置を変化させる駆動装置４Ｂと、駆動装置４Ａ、４Ｂのそれぞれのトルクの変動に基づき、棒状部材２Ａ、２Ｂと対向部材３Ａ、３Ｂのそれぞれの脱調を予測又は検出する脱調監視部３０１と、を備える。脱調監視部３０１は、例えば、中央演算処理装置（ＣＰＵ）３００に含まれている。

　温度管理炉１は、例えば凍結乾燥炉である。温度管理炉１内には、例えば棚板７が配置され、棚板７上に、凍結乾燥の対象となる物を含む物品５が配置される。物品５は、例えば医薬品が注入されたバイアルなどである。

　円柱状の棒状部材２Ａは、温度管理炉１内に軸受１２Ａ、１３Ａによって保持されている。図２に示すように、棒状部材２Ａは硬磁性体を含む磁気ネジであり、外周面にＳ極着磁帯とＮ極着磁帯とが、交互にらせん状に設けられている。棒状部材２Ａは、非磁性体の薄肉パイプ２０Ａに挿入されていてもよい。パイプ２０Ａは、例えばステンレス鋼からなる。棒状部材２Ａとパイプ２０Ａは一体化しており、棒状部材２Ａが回転すると、パイプ２０Ａも棒状部材２Ａの中心軸の周りを回転する。

　温度管理炉１内に保持されている対向部材３Ａは硬磁性体を含む磁気ナットであり、棒状部材２Ａの外周より大きい内周の穴が設けられている。棒状部材２Ａは、ナット状の対向部材３Ａの穴を貫通している。対向部材３Ａの穴の内周面には、Ｓ極着磁帯とＮ極着磁帯とが、交互にらせん状に設けられている。対向部材３Ａの着磁帯のピッチは、棒状部材２Ａの着磁帯のピッチと略同一である。対向部材３Ａの内周面には、ブッシュ等のガイドリング３１、３２が設けられていてもよい。ガイドリング３１、３２のそれぞれの内周は、対向部材３Ａの内周よりも小さく、パイプ２０Ａの外周面に接触する。これにより、棒状部材２Ａの着磁帯と、対向部材３Ａの着磁帯と、の間に、一定の間隔が保たれる。ガイドリング３１、３２は、例えばフッ素樹脂等の摩擦係数の小さい材料からなる。

　図１に示すように、円柱状の棒状部材２Ｂは、温度管理炉１内に、軸受１２Ｂ、１３Ｂによって、棒状部材２Ａと平行に保持されている。棒状部材２Ｂの構成は、棒状部材２Ａと同様である。また、温度管理炉１内に保持されている対向部材３Ｂの構成は、対向部材３Ａと同様である。

　温度管理装置は、例えば、棒状部材２Ａ、２Ｂと対向部材３Ａ、３Ｂの相対位置の変化に付随して温度管理炉１内で移動し、物品５に接触して物品５を移動させる接触部材６をさらに備える。温度管理炉１内に保持されている接触部材６は板状の部材であり、棚板７表面に対して略垂直になるよう、対向部材３Ａと、対向部材３Ｂと、の間に固定されている。

　駆動装置４Ａ、４Ｂは、回転モータを含み、温度管理炉１の温度管理がなされる空間の外部に配置されている。駆動装置４Ａ、４Ｂは、温度管理炉１の筐体の外部に配置されていてもよいし、温度管理炉１の筐体の内部かつ温度管理がなされる空間の外部に配置されていてもよい。駆動装置４Ａ、４Ｂは、発生しうるダスト等の拡散を防止するシールド等によって覆われていてもよい。駆動装置４Ａと棒状部材２Ａとは、例えば温度管理炉１の側壁を貫通する心棒１１Ａを介して接続されている。駆動装置４Ａの配置は固定されており、駆動装置４Ａに接続された棒状部材２Ａは、その中心軸方向には移動できない。また、駆動装置４Ｂと棒状部材２Ｂとは、例えば温度管理炉１の側壁を貫通する心棒１１Ｂを介して接続されている。駆動装置４Ｂの配置は固定されており、駆動装置４Ｂに接続された棒状部材２Ｂは、その中心軸方向には移動できない。心棒１１Ａ、１１Ｂが貫通する温度管理炉１の側壁の穴には、例えばオイルシール等の密封部材等が設けられている。

　駆動装置４Ａ、４Ｂは、同期して、棒状部材２Ａ、２Ｂを回転させる。駆動装置４Ａが棒状部材２Ａを回転させると、棒状部材２Ａの着磁帯と対向部材３Ａの着磁帯との間に磁力が働く。対向部材３Ａは、接触部材６及び対向部材３Ｂに固定されており、回転することができない。そのため、棒状部材２Ａを回転させると、対向部材３Ａは、棒状部材２Ａの中心軸に沿って移動する。また、駆動装置４Ｂが棒状部材２Ｂを回転させると、棒状部材２Ｂの着磁帯と対向部材３Ｂの着磁帯との間に磁力が働き、対向部材３Ｂが棒状部材２Ｂの中心軸に沿って移動する。対向部材３Ａ、３Ｂの移動に伴い、対向部材３Ａ、３Ｂの間に固定された接触部材６も、棚板７上を棒状部材２Ａ、２Ｂの中心軸に沿って移動する。棚板７上に配置された物品５は、接触部材６に押されて、棚板７上を移動する。さらには、物品５は、温度管理炉１の扉から温度管理炉１の外部に押し出されてもよい。

　ここで、棒状部材２Ａに対して対向部材３Ａが脱調しかけるか、脱調すると、図３に示すように、駆動装置４Ａのトルクが減少し、駆動装置４Ａの駆動電流が減少する。また、図１に示す棒状部材２Ｂに対して対向部材３Ｂが脱調しかけるか、脱調すると、駆動装置４Ｂのトルクが減少し、駆動装置４Ｂの駆動電流が減少する。駆動電流はトルクと相関するため、駆動電流の計測値は、トルクを表す計測値として利用できる。脱調監視部３０１は、駆動装置４Ａ、４Ｂのそれぞれの時間軸における駆動電流の変動に基づき、トルクの変動を検出する。なお、脱調監視部３０１は、駆動装置４Ａ、４Ｂのそれぞれの駆動電圧を監視することによって、駆動装置４Ａ、４Ｂのそれぞれの駆動電流の変動を監視してもよい。

　脱調監視部３０１は、例えば、駆動装置４Ａの駆動電流が第１の電流閾値以下となった場合、棒状部材２Ａに対して対向部材３Ａが脱調する可能性があると予測する。また、脱調監視部３０１は、駆動装置４Ａの駆動電流が、第１の電流閾値よりも小さい第２の電流閾値以下となった場合、棒状部材２Ａに対して対向部材３Ａが脱調したと判断する。同様に、脱調監視部３０１は、駆動装置４Ｂの駆動電流が第１の電流閾値以下となった場合、棒状部材２Ｂに対して対向部材３Ｂが脱調する可能性があると予測する。また、脱調監視部３０１は、駆動装置４Ｂの駆動電流が、第２の電流閾値以下となった場合、棒状部材２Ｂに対して対向部材３Ｂが脱調したと判断する。

　なお、脱調監視部３０１は、駆動装置４Ａ、４Ｂの駆動電流から、トルクを算出してもよい。この場合、脱調監視部３０１は、駆動装置４Ａのトルクが第１のトルク閾値以下となった場合、棒状部材２Ａに対して対向部材３Ａが脱調する可能性があると予測する。また、脱調監視部３０１は、駆動装置４Ａのトルクが、第１のトルク閾値よりも小さい第２のトルク閾値以下となった場合、棒状部材２Ａに対して対向部材３Ａが脱調したと判断する。同様に、脱調監視部３０１は、駆動装置４Ｂのトルクが第１のトルク閾値以下となった場合、棒状部材２Ｂに対して対向部材３Ｂが脱調する可能性があると予測する。また、脱調監視部３０１は、駆動装置４Ｂのトルクが、第２のトルク閾値以下となった場合、棒状部材２Ｂに対して対向部材３Ｂが脱調したと判断する。

　また、脱調監視部３０１は、駆動装置４Ａ、４Ｂのトルクを表す計測値を時間で微分してトルク微分値を算出し、時間軸におけるトルク微分値の波形等から、脱調を予測又は検出してもよい。脱調すると、駆動装置４Ａ、４Ｂのトルクは急激に減少した後、元のトルクに戻る。そのため、図４に示すように、脱調が生じていない場合のトルク微分値は、時間軸に対して、ほぼ一定であるが、脱調が生じると、トルク微分値は、時間軸に対して、負に減少するピークを示した後、正に増加するピークを示す。

　したがって、図１に示す脱調監視部３０１は、駆動装置４Ａのトルク微分値が、所定の時間範囲内において、第１の負の微分閾値以下となり、引き続き、第１の正の微分閾値以上となった場合、棒状部材２Ａに対して対向部材３Ａが脱調する可能性があると予測する。また、脱調監視部３０１は、駆動装置４Ａのトルク微分値が、第１の負の微分閾値よりも小さい第２の負の微分閾値以下となり、引き続き、第１の正の微分閾値よりも大きい第２の正の微分閾値以上となった場合、棒状部材２Ａに対して対向部材３Ａが脱調したと判断する。

　同様に、脱調監視部３０１は、駆動装置４Ｂのトルク微分値が、所定の時間範囲内において、第１の負の微分閾値以下となり、引き続き、第１の正の微分閾値以上となった場合、棒状部材２Ｂに対して対向部材３Ｂが脱調する可能性があると予測する。また、脱調監視部３０１は、駆動装置４Ｂのトルク微分値が、第２の負の微分閾値以下となり、引き続き、第２の正の微分閾値以上となった場合、棒状部材２Ｂに対して対向部材３Ｂが脱調したと判断する。

　あるいは、脱調監視部３０１は、駆動装置４Ａ、４Ｂのトルクを表す計測値を時間で積分してトルク積分値を算出し、時間軸におけるトルク積分値の波形等から、脱調を予測又は検出してもよい。脱調が生じていない場合のトルク積分値は、時間軸に対して、ほぼ一定であるが、脱調が生じると、トルク積分値は、時間軸に対して、正に増加するピークを示す。

　したがって、脱調監視部３０１は、駆動装置４Ａのトルク積分値が、第１の積分閾値以上となった場合、棒状部材２Ａに対して対向部材３Ａが脱調する可能性があると予測する。また、脱調監視部３０１は、駆動装置４Ａのトルク積分値が、第１の積分閾値よりも大きい第２の積分閾値以上となった場合、棒状部材２Ａに対して対向部材３Ａが脱調したと判断する。

　同様に、脱調監視部３０１は、駆動装置４Ｂのトルク積分値が、第１の積分閾値以上となった場合、棒状部材２Ｂに対して対向部材３Ｂが脱調する可能性があると予測する。また、脱調監視部３０１は、駆動装置４Ｂのトルク積分値が、第２の積分閾値以上となった場合、棒状部材２Ｂに対して対向部材３Ｂが脱調したと判断する。

　なお、駆動装置４Ａ、４Ｂの回転開始直後及び停止直前においては、脱調していなくともトルクは小さくなる。そのため、脱調監視部３０１は、駆動装置４Ａ、４Ｂの回転開始直後及び停止直前においては、脱調の判断をしなくともよい。

　ＣＰＵ３００は、駆動装置４Ａ、４Ｂのそれぞれを制御する制御部３０２をさらに備える。例えば、脱調監視部３０１によって脱調が予測又は検出された場合、制御部３０２は、駆動装置４Ａ、４Ｂを停止させる。

　ＣＰＵ３００には、例えば、記憶装置４０１が接続されている。記憶装置４０１は、第１及び第２の電流閾値、第１及び第２のトルク閾値、第１及び第２の正の微分閾値、第１及び第２の負の微分閾値、又は第１及び第２の積分閾値を保存する。脱調監視部３０１は、記憶装置４０１から、第１及び第２の閾値を読み出す。第１及び第２の閾値は、予め、所定の値に設定される。また、第１及び第２の閾値は、シミュレーション等により演算されてもよい。

　以上説明した第１実施形態に係る温度管理装置においては、棒状部材２Ａ、２Ｂと対向部材３Ａ、３Ｂとの間は、磁力によって非接触で駆動伝達がなされる。したがって、棒状部材２Ａ、２Ｂと対向部材３Ａ、３Ｂとの間で駆動伝達がなされる際に、熱やダストが発生しにくい。そのため、棒状部材２Ａ、２Ｂと対向部材３Ａ、３Ｂが温度管理炉１の温度管理がなされる空間内に配置されていても、温度管理がなされる空間内における発熱の影響を抑制し、かつ温度管理がなされる空間を清潔に保つことが可能である。

　さらに、駆動装置４Ａ、４Ｂが温度管理炉１の温度管理がなされる空間の外部に配置されているため、仮に駆動装置４Ａ、４Ｂでダストが発生しても、温度管理炉１の温度管理がなされる空間内にダストが侵入しにくい。また、仮に駆動装置が温度管理炉内部に配置されると、発熱した駆動装置によって、凍結乾燥炉等の温度管理炉内部において温度分布のムラが生じうる。この場合、温度管理炉内部に配置された複数の物品の品質にムラが生じうる。これに対し、第１実施形態に係る温度管理装置においては、駆動装置４Ａ、４Ｂが温度管理炉１の温度管理がなされる空間の外部に配置されているため、温度管理炉１内部において温度ムラが生じにくい。

　またさらに、第１実施形態に係る温度管理装置においては、接触部材６を移動させる際に、棒状部材２Ａ、２Ｂが温度管理炉１外部に出ない。そのため、棒状部材２Ａ、２Ｂが温度管理炉１外部から温度管理炉１内部に異物を引き込むことがない。したがって、第１実施形態に係る温度管理装置は、温度管理炉１内部を清潔に保ち、かつ、温度管理炉１内部の温度ムラを抑制することが可能である。

　加えて、第１実施形態に係る温度管理装置においては、棒状部材２Ａ、２Ｂと対向部材３Ａ、３Ｂのそれぞれの脱調を予測又は検出することが可能である。そのため、脱調によって物品５が正確に配置されないことを防止したり、装置の故障を防止したりすることが可能である。また、第１実施形態に係る温度管理装置においては、棒状部材２Ａ、２Ｂ、及び対向部材３Ａ、３Ｂにセンサを配置することなく、トルクを検出することが可能である。そのため、通常、センサが耐えられない温度変化が生じる環境に棒状部材２Ａ、２Ｂ、及び対向部材３Ａ、３Ｂを配置したり、センサが耐えられない薬品で洗浄される環境に棒状部材２Ａ、２Ｂ、及び対向部材３Ａ、３Ｂを配置したりすることが可能である。

　（第１実施形態の変形例）
　棒状部材２Ａ及び対向部材３Ａの構成は、図２に示した例に限定されない。例えば、図５に示すように、棒状部材２Ａは、ネジ山が設けられた軟磁性体であってもよい。対向部材３Ａの構成は、図２と同様である。図５に示す棒状部材２Ａのネジ山のピッチは、対向部材３Ａの着磁帯のピッチと略同一である。ネジ山が設けられた棒状部材２Ａは、非磁性体の薄肉パイプ２０Ａに挿入されていてもよい。これにより、棒状部材２Ａのネジ溝に異物が付着することを防止することが可能となる。棒状部材２Ａを回転させると、棒状部材２Ａのネジ山と対向部材３Ａの着磁帯との間に磁力が働き、対向部材３Ａが移動する。

　あるいは、図６に示すように、対向部材３Ａが、ネジ山が設けられた軟磁性体であってもよい。対向部材３Ａのネジ山が設けられた穴の表面は、非磁性体の薄肉パイプ３０Ａで覆われていてもよい。これにより、対向部材３Ａのネジ溝に異物が付着することを防止することが可能となる。棒状部材２Ａの構成は、図２と同様である。図６に示す対向部材３Ａのネジ山のピッチは、棒状部材２Ａの着磁帯のピッチと略同一である。棒状部材２Ａを回転させると、棒状部材２Ａの着磁帯と対向部材３Ａのネジ山との間に磁力が働き、対向部材３Ａが移動する。

　図１に示した棒状部材２Ｂ及び対向部材３Ｂも、図５又は図６に示すような構成を有していてもよい。

　（第２実施形態）
　第２実施形態に係る温度管理装置は、図７に示すように、物品５を格納する温度管理炉１と、磁性体を含む棒状部材１０２Ａ、１０２Ｂと、棒状部材１０２Ａ、１０２Ｂの側面の一部とそれぞれ対向し、磁性体を含む対向部材１０３Ａ、１０３Ｂと、棒状部材１０２Ａの中心軸の周りに対向部材１０３Ａを回転させ、棒状部材１０２Ａと対向部材１０３Ａの相対位置を変化させる駆動装置１０４Ａと、棒状部材１０２Ｂの中心軸の周りに対向部材１０３Ｂを回転させ、棒状部材１０２Ｂと対向部材１０３Ｂの相対位置を変化させる駆動装置１０４Ｂと、駆動装置１０４Ａ、１０４Ｂのそれぞれのトルクの変動に基づき、棒状部材１０２Ａ、１０２Ｂと対向部材１０３Ａ、１０３Ｂのそれぞれの脱調を予測又は検出する脱調監視部３０１と、を備える。

　温度管理炉１の温度管理がなされる空間の外部に配置された駆動装置１０４Ａは、ベルト１３４Ａ等を介して、温度管理炉１の温度管理がなされる空間の外部に配置された対向部材１０３Ａを回転させる。駆動装置１０４Ａの配置は固定されており、対向部材１０３Ａは、棒状部材１０２Ａの中心軸方向には移動できない。温度管理炉１の温度管理がなされる空間の外部に配置された駆動装置１０４Ｂは、ベルト１３４Ｂ等を介して、温度管理炉１の温度管理がなされる空間の外部に配置された対向部材１０３Ｂを回転させる。駆動装置１０４Ｂの配置は固定されており、対向部材１０３Ｂは、棒状部材１０２Ｂの中心軸方向には移動できない。駆動装置１０４Ａ、１０４Ｂ及びベルト１３４Ａ、１３４Ｂは、発生しうるダスト等の拡散を防止するシールド等によって覆われていてもよい。

　棒状部材１０２Ａ、１０２Ｂは、それぞれの中心軸方向に移動可能なように保持されている。温度管理炉１の内部において、接触部材１０６が、棒状部材１０２Ａ、１０２Ｂの端部に固定されている。棒状部材１０２Ａ、１０２Ｂは、温度管理炉１の側壁を貫通して温度管理炉１の外部に突出している。棒状部材１０２Ａ、１０２Ｂが貫通する温度管理炉１の側壁の穴には、例えばオイルシール等の密封部材等が設けられている。棒状部材１０２Ａ、１０２Ｂの温度管理炉１の外部に突出している部分が、ナット状の対向部材１０３Ａ、１０３Ｂの穴を貫通している。棒状部材１０２Ａ、１０２Ｂは、接触部材１０６に固定されているため、それぞれの中心軸の周りを回転することができない。

　駆動装置１０４Ａ、１０４Ｂは、同期して、対向部材１０３Ａ、１０３Ｂを回転させる。駆動装置１０４Ａが対向部材１０３Ａを回転させると、磁力により、棒状部材１０２Ａがその中心軸に沿って移動する。駆動装置１０４Ｂが対向部材１０３Ｂを回転させると、磁力により、棒状部材１０２Ｂがその中心軸に沿って移動する。棒状部材１０２Ａ、１０２Ｂの移動に伴い、棒状部材１０２Ａ、１０２Ｂの間に固定された接触部材１０６も、棒状部材１０２Ａ、１０２Ｂの中心軸に沿って棚板７上を移動する。棚板７上に配置された物品５は、接触部材６に押されて、棚板７上を移動する。

　脱調監視部３０１は、第１実施形態と同様に、脱調を予測又は監視する。脱調監視部３０１によって脱調が予測又は検出された場合、制御部３０２は、駆動装置１０４Ａ、１０４Ｂを停止させる。

　以上説明した第２実施形態に係る温度管理装置においては、棒状部材１０２Ａ、１０２Ｂと対向部材１０３Ａ、１０３Ｂとの間は、磁力によって非接触で駆動伝達がなされる。したがって、棒状部材１０２Ａ、１０２Ｂと対向部材３Ａ、３Ｂとの間で駆動伝達がなされる際に、熱やダストが発生しにくい。そのため、棒状部材１０２Ａ、１０２Ｂと対向部材１０３Ａ、１０３Ｂが例えばクリーンルーム内に配置されていても、クリーンルームにおける発熱の影響を抑制し、かつクリーンルームを清潔に保つことが可能である。

　さらには、駆動装置１０４Ａ、１０４Ｂが温度管理炉１の温度管理がなされる空間の外部に配置されているため、仮に駆動装置１０４Ａ、１０４Ｂでダストが発生しても、温度管理炉１の温度管理がなされる空間の内にダストが侵入しにくい。また、駆動装置１０４Ａ、１０４Ｂが温度管理炉１の温度管理がなされる空間の外部に配置されているため、温度管理炉１内部において温度ムラが生じにくい。またさらに、第２実施形態に係る温度管理装置においては、棒状部材１０２Ａ、１０２Ｂが回転しないため、軸受等を温度管理炉１内に配置する必要がない。したがって、第２実施形態に係る温度管理装置は、温度管理炉１内部を清潔に保ち、かつ、温度管理炉１内部の温度ムラを抑制することが可能である。

　加えて、第２実施形態に係る温度管理装置においては、棒状部材１０２Ａ、１０２Ｂと対向部材１０３Ａ、１０３Ｂのそれぞれの脱調を予測又は検出することが可能である。そのため、脱調によって物品５が正確に配置されないことを防止したり、装置の故障を防止したりすることが可能である。また、第２実施形態に係る温度管理装置においては、棒状部材１０２Ａ、１０２Ｂ、及び対向部材１０３Ａ、１０３Ｂにセンサを配置することなく、トルクを検出することが可能である。そのため、通常、センサが耐えられない温度変化が生じる環境に棒状部材１０２Ａ、１０２Ｂ、及び対向部材１０３Ａ、１０３Ｂを配置したり、センサが耐えられない薬品で洗浄される環境に棒状部材１０２Ａ、１０２Ｂ、及び対向部材１０３Ａ、１０３Ｂを配置したりすることが可能である。

　（第３実施形態）
　第３実施形態に係る温度管理装置は、図１に示した第１実施形態に係る温度管理装置と同様の構成を備える。対向部材３Ａ、３Ｂのそれぞれに加わる負荷Ｆ_ｒ（Ｎ）が、磁気カップリングによって発生可能な推力の最大値（発生可能最大推力）Ｆ_ｍａｘ（Ｎ）を超えると、脱調が生じる。例えば、図８に示す例において、対向部材３Ａ、３Ｂのそれぞれに負荷Ｆ_１がかかっており、負荷Ｆ_１が常に発生可能最大推力Ｆ_ｍａｘ未満であれば、脱調は生じない。しかし、対向部材３Ａ、３Ｂのそれぞれに負荷Ｆ_２がかかっており、負荷Ｆ_２が発生可能最大推力Ｆ_ｍａｘを超えると、脱調が生じる。

　そこで、第３実施形態に係る温度管理装置においては、図１に示す脱調監視部３０１が、駆動装置４Ａを駆動中に、対向部材３Ａに係る負荷Ｆ_ｒと、対向部材３Ａと棒状部材２Ａの磁気カップリングによる発生可能最大推力Ｆ_ｍａｘと、を監視し、負荷Ｆ_ｒが発生可能最大推力Ｆ_ｍａｘを超える前に、駆動装置４Ａを停止させる論理回路を備える。脱調監視部３０１は、対向部材３Ｂ及び棒状部材２Ｂの組み合わせについても同様に監視し、負荷Ｆ_ｒが発生可能最大推力Ｆ_ｍａｘを超える前に、駆動装置４Ｂを停止させる。これにより、脱調を未然に防止することが可能である。以下においては、対向部材３Ａと棒状部材２Ａの組み合わせについて説明するが、対向部材３Ｂと棒状部材２Ｂの組み合わせも同様である。

　対向部材３Ａと棒状部材２Ａとの間で生じる磁気カップリングの数と、推力と、の関係は、比例関係にある。そのため、発生可能最大推力Ｆ_ｍａｘは、予め、実験及び／又は解析により求めることが可能である。例えば、図９（ａ）においては、対向部材３ＡのＳ極着磁帯とＮ極着磁帯の６つのペアが、軟磁性体からなる棒状部材２Ａのネジ山と磁気カップリングしている。これに対し、図９（ｂ）においては、棒状部材２Ａの継ぎ目にカプラー２２Ａが設けられているため、対向部材３ＡのＳ極着磁帯とＮ極着磁帯の４つのペアが、軟磁性体からなる棒状部材２Ａのネジ山と磁気カップリングしている。したがって、図９（ｂ）に示す状態における発生可能最大推力Ｆ_ｍａｘは、図９（ａ）に示す状態における発生可能最大推力Ｆ_ｍａｘより小さくなる。

　例えば、対向部材３ＡのＳ極着磁帯とＮ極着磁帯の１つのペアあたりの推力ｆ（Ｎ）を実験及び／又は解析により求め、棒状部材２Ａのネジ山とカップリンしているＳ極着磁帯とＮ極着磁帯のペアの数Ｒと、比例係数ｋと、から、発生可能最大推力Ｆ_ｍａｘは、下記（１）で与えられる。なお、ｋは１以外である。
　　　Ｆ_ｍａｘ＝ｋＲｆ　　　　・・・（１）

　図１に示す記憶装置４０１は、予め取得された、棒状部材２Ａに対する対向部材３Ａの位置と、発生可能最大推力Ｆ_ｍａｘと、の関係を保存する。

　例えば、モータである駆動装置４Ａ、回転軸である棒状部材２Ａ、及び被駆動体である対向部材３Ａを備えるシステムが図１０に示すような２慣性系力学モデルにモデル化できる場合、２慣性系力学モデルの運動方程式は、下記（２）式で与えられる。なお、以下においては、システムが２慣性系力学モデルにモデル化できる場合を説明するが、３慣性系力学モデルや４慣性系力学モデルにモデル化してもよい。

　上記（２）式の各係数及び変数は、下記（３）から（７）式で与えられる。

　上記（３）から（７）式における記号は、以下のとおりである。
　θ_Ｍ：駆動装置４Ａ（棒状部材２Ａ）の回転角度（ｒａｄ）
　ｘ_ｎ：対向部材３Ａの変位（ｍ）
　Ｊ_Ｍ：駆動装置４Ａ（棒状部材２Ａ）の慣性モーメント（ｋｇ・ｍ^２）
　Ｍ_ｎ：対向部材３Ａの質量（ｋｇ）
　Ｄ_Ｍ：駆動装置４Ａ（棒状部材２Ａ）の粘性摩擦係数（Ｎ・ｍ・ｓ／ｒａｄ）
　Ｃ_ｎ：対向部材３Ａをガイドするガイド３３Ａの粘性摩擦係数（Ｎ・ｓ／ｍ）
　Ｎ：回転－直動の変換係数（ｍ／ｒａｄ）
　Ｋ_ｎ：軸方向剛性（Ｎ／ｍ）
　Ｔ_Ｍ：駆動装置４Ａ（棒状部材２Ａ）のトルク（Ｎ・ｍ）
　Ｔ_Ｃ：保持トルク等の定常的にかかるトルク（Ｎ・ｍ）
　Ｆ_ｒ：対向部材３Ａにかかる負荷Ｆ_ｒ（Ｎ）

　例えば、上記（３）から（７）式に基づき、上記（２）式を下記（８）式に示す行列式に置換可能である。

　上記（８）式で与えられる行列式を展開すると、下記（９）式及び（１０）式が得られる。ｓを複素数として（９）式及び（１０）式をラプラス変換表示すると、下記（１１）及び（１２）式が得られる。

　上記（１１）式から、ｓθ_Ｍは、下記（１３）式で与えられる。

　上記（１２）式から、ｘ_ｎは、下記（１４）式で与えられる。

　２慣性系力学モデルのブロック線図は、図１１で示される。枠２０１で囲まれた部分が、上記式（１３）に該当し、枠２０２で囲まれた部分が、上記式（１４）に該当する。なお、ｘ_Ｍは、棒状部材２Ａの位置を示す。駆動装置４Ａ（棒状部材２Ａ）の回転角度θ_Ｍをロータリーエンコーダ等で検出することにより、棒状部材２Ａの位置ｘ_Ｍを検出することが可能である。Ｋ_ｎ（Ｎθ_Ｍ－ｘ_ｎ）は、棒状部材２Ａと対向部材３Ａの位置ずれに起因する弾性力を示している。

　図１に示す脱調監視部３０１は、図１２に示すように、棒状部材２Ａに加わるトルクＴ_Ｍ及び棒状部材２Ａの回転角度θ_Ｍに基づき、駆動装置４Ａから対向部材３Ａに加えられた外力Ｆ_Ｏを算出する。外力Ｆ_Ｏは、下記（１５）式に示すように、棒状部材２Ａと対向部材３Ａの位置ずれに起因する弾性力に相当する。

　駆動装置４ＡのトルクＴ_Ｍは、駆動装置４Ａへの駆動電流（トルク指令電流）値Ｉ^ｒｅｆから算出可能である。なお、上記（１５）式において、駆動装置４Ａ（棒状部材２Ａ）のトルクＴ_Ｍは、モータ電流のノイズを除去するためのローパスフィルタ５０１で処理された値であってもよい。上述したように、駆動装置４Ａ（棒状部材２Ａ）の回転角度θ_Ｍは、ロータリーエンコーダ等で検出可能である。あるいは、回転角度θ_Ｍは、駆動装置４Ａへ送信される回転角度の指令値から算出可能である。定常的にかかるトルクＴ_Ｃ、駆動装置４Ａ（棒状部材２Ａ）の慣性モーメントＪ_Ｍ、駆動装置４Ａ（棒状部材２Ａ）の粘性摩擦係数Ｄ_Ｍ、及び回転－直動の変換係数Ｎは、事前に取得可能であり、記憶装置４０１に保存されていてもよい。

　また、図１に示す脱調監視部３０１は、図１２に示すように、対向部材３Ａの位置ｘ_ｎに基づき、対向部材３Ａに負荷Ｆ_ｒがかかっていない場合に対向部材３Ａを動かすために必要な力Ｆ_Ｐを算出する。対向部材３Ａのみを動かすために必要な力Ｆ_Ｐは、下記（１６）式で与えられる。

　対向部材３Ａの質量Ｍ_ｎ、ガイド３３Ａの粘性摩擦係数Ｃ_ｎ、及び軸方向剛性Ｋ_ｎは、事前に取得可能であり、記憶装置４０１に保存されていてもよい。対向部材３Ａの位置ｘ_ｎは、例えば、レーザ変位計等のリニアエンコーダによって検出可能である。あるいは、対向部材３Ａの位置ｘ_ｎは、位置ｘ_ｎの推定値を棒状部材２Ａの位置ｘ_Ｍに基づいて補正することにより算出される。

　位置ｘ_ｎの推定値の初期値は任意であり、例えば０に仮定されてもよいし、棒状部材２Ａの位置ｘ_Ｍ ^ｒｅｓに仮定されてもよい。位置ｘ_ｎの実際の値と推定値との誤差eは、下記（１７）式で与えられる。

　上記（１７）式にｓＮをかけると、下記（１８）式が得られる。

　なお、（１８）式において、Ｘ_Ｍ ^ｒｅｓ＝Ｎθ_Ｍ ^ｒｅｓである。脱調監視部３０２は、例えば、上記（１８）式に基づいて、誤差ｅを算出する。上記（１３）式から明らかなように、位置ｘ_ｎの推定値が実際の値と等しい場合、誤差ｅは０になる。次に、脱調監視部３０２は、例えば、下記（１９）式に従って、位置ｘ_ｎの推定値を補正する。

　脱調監視部３０２は、上記（１９）式で補正された位置ｘ_ｎの推定値を用いて、上記（１８）式に基づいて、再度、誤差ｅを算出する。その後、算出される誤差ｅの絶対値が所定の閾値未満になるまで、脱調監視部３０２は、上記（１８）式及び（１９）式の計算を繰り返す。脱調監視部３０２は、算出される誤差ｅの絶対値が所定の閾値未満になったときの位置ｘ_ｎの推定値を、対向部材３Ａの位置ｘ_ｎとして用いる。図１２の枠２０３で囲まれた部分が、位置ｘ_ｎの推定値を棒状部材２Ａの位置ｘ_Ｍに基づいて補正する機能を発揮する。

　さらに、図１に示す脱調監視部３０１は、図１２に示すように、駆動装置４Ａから棒状部材２Ａを介して対向部材３Ａに加えられた外力Ｆ_Ｏと、対向部材３Ａのみを動かすために必要な力Ｆ_Ｐと、の差に基づき、対向部材３Ａに加わっている負荷Ｆ_ｒを算出する。

　図１に示す脱調監視部３０１は、対向部材３Ａの位置に応じて、下記（２０）式に示すように、対向部材３Ａに加わっている負荷Ｆ_ｒと、発生可能最大推力Ｆ_ｍａｘと、を比較し、負荷Ｆ_ｒが発生可能最大推力Ｆ_ｍａｘより小さいか監視する。下記（２１）式に示すように負荷Ｆ_ｒが発生可能最大推力Ｆ_ｍａｘより大きくなる兆候が検出された場合は、棒状部材２Ａに対して対向部材３Ａが脱調する可能性があると予測する。また、負荷Ｆ_ｒが発生可能最大推力Ｆ_ｍａｘより大きくなった場合は、棒状部材２Ａに対して対向部材３Ａが脱調したと判断する。
　　　Ｆ_ｒ＜Ｆ_ｍａｘ　　　・・・（２０）
　　　Ｆ_ｒ＞Ｆ_ｍａｘ　　　・・・（２１）

　第３実施形態においても、脱調監視部３０１によって脱調が予測又は検出された場合、制御部３０２は、駆動装置４Ａを停止させる。

　（第４実施形態）
　脱調が生じると、棒状部材２Ａと対向部材３Ａの間の磁気カップリングが外れるため、保持トルクが失われ、駆動装置４Ａのトルクが急激に減少する。棒状部材２Ａと対向部材３Ａとの間で再び磁気カップリングが生じると同時に、駆動装置４Ａのトルクは回復する。脱調により駆動装置４Ａのトルクが減少したか否かは、現時点のトルクの値が、例えば直前までの過去のトルクの値からどれだけ離れたかを監視することによって判定することが可能である。

　例えば、第４実施形態においては、図１に示す脱調監視部３０１が、過去の駆動装置４Ａのトルクの値を参照値として用い、現時点のトルクの値と、参照値と、を比較し、現時点のトルクの値と、参照値と、の差が所定の閾値より小さければ、脱調は生じておらず、差が所定の閾値より大きければ、脱調が発生したと判断する。

　現時点のトルクの値Ｔ_ｔと、参照値Ｔ_ｉと、の差Ａ（Ｔ）は、下記（２２）式で示すように、ｋ近傍法で算出してもよい。図１３及び図１４に示すように、ｋ近傍法においては、ｎ個の参照値のうち、判定対象である現時点のトルクの値Ｔ_ｔに近いｋ個の参照値を選択し、現時点のトルクの値Ｔ_ｔと、参照値Ｔ_ｉと、の差の平均値Ａ（Ｔ）を求める。

　図１５（ａ）に示すように、脱調が生じていない場合は、駆動装置４Ａのトルクの変動は少なく、図１５（ｂ）に示すように、現時点のトルクの値Ｔ_ｔと、参照値Ｔ_ｉと、の差の平均値Ａ（Ｔ）も小さいまま推移する。これに対し、図１６（ａ）に示すように、脱調が生じると、駆動装置４Ａのトルクに大きな変動が生じ、図１６（ｂ）に示すように、現時点のトルクの値Ｔ_ｔと、参照値Ｔ_ｉと、の差の平均値Ａ（Ｔ）にも大きな変動が生じる。

　図１に示す脱調監視部３０１は、差が所定の閾値より大きくなった回数を、脱調が生じた回数とみなしてもよい。なお、トルクの参照値が平均値であってもよい。

　（その他の実施の形態）
　上記のように本発明を実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす記述及び図面はこの発明を限定するものであると理解するべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかになるはずである。例えば、温度管理炉内外に搬送される物品は医薬品を含むことに限定されず、食品、飲料、及び精密部品等でもよいし、その他、温度管理されるあらゆる物品を含む。また、温度管理装置の温度管理炉は、凍結乾燥炉に限定されず、発酵炉でもよく、あるいは内部の温度分布ムラの抑制、及び発塵の抑制が望まれる、あらゆる炉を含む。さらに、対向部材の形状はナット状に限定されず、例えば凹状であってもよい。この場合、棒状部材は、凹状の対向部材の凹部を通る。凹状の対向部材の凹部側面には、Ｓ極着磁帯とＮ極着磁帯とが、交互に設けられている。このように、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を包含するということを理解すべきである。

　１・・・温度管理炉、２Ａ、２Ｂ、１０２Ａ、１０２Ｂ・・・棒状部材、３Ａ、３Ｂ、１０３Ａ、１０３Ｂ・・・対向部材、４Ａ、４Ｂ、１０４Ａ、１０４Ｂ・・・駆動装置、５・・・物品、６、１０６・・・接触部材、７・・・棚板、１１Ａ、１１Ｂ・・・心棒、１２Ａ、１２Ｂ・・・軸受、２０Ａ、３０Ａ・・・薄肉パイプ、２２Ａ・・・カプラー、３１・・・ガイドリング、３３Ａ・・・ガイド、１３４Ａ、１３４Ｂ・・・ベルト、２０１、２０２・・・枠、３００・・・中央演算処理装置、３０１・・・脱調監視部、３０２・・・制御部、４０１・・・記憶装置、５０１・・・ローパスフィルタ

Claims

　磁性体を含む棒状部材と、
　前記棒状部材の側面の一部と対向し、磁性体を含む対向部材と、
　前記棒状部材の中心軸の周りに前記棒状部材又は前記対向部材を回転させ、前記棒状部材と前記対向部材の相対位置を変化させる駆動装置と、
　前記駆動装置のトルクの変動に基づき、前記棒状部材と前記対向部材の間の脱調を予測又は検出する脱調監視部と、
　を備える搬送装置。
　前記脱調が予測又は検出された場合、前記駆動装置を制御する制御部をさらに備える、請求項１に記載の搬送装置。
　前記脱調監視部が、前記駆動装置の駆動電流の変動に基づき、前記トルクの変動を検出する、請求項１又は２に記載の搬送装置。
　前記脱調監視部が、前記トルクを表す計測値を微分又は積分する、請求項１から３のいずれか１項に記載の搬送装置。
　前記駆動装置が前記棒状部材の中心軸の周りに前記棒状部材を回転させ、
　前記脱調監視部が、前記駆動装置から前記棒状部材を介して前記対向部材に加えられた外力と、前記対向部材に負荷がかかっていない場合に前記対向部材を動かすために必要な力と、の差に基づき、前記対向部材に加わっている負荷を算出し、前記算出した負荷に基づき、前記脱調を予測又は検出する、請求項１から３のいずれか１項に記載の搬送装置。
　前記駆動装置から前記棒状部材を介して前記対向部材に加えられた外力が、前記駆動装置のトルクに基づいて算出される、請求項５に記載の搬送装置。
　前記対向部材に負荷がかかっていない場合に前記対向部材を動かすために必要な力が、前記対向部材の位置に基づいて算出される、請求項５又は６に記載の搬送装置。
　前記脱調監視部が、前記棒状部材と前記対向部材の間の磁気カップリングにより発生する推力の最大値と、前記負荷と、を比較することにより、前記脱調を予測又は検出する、請求項５から７のいずれか１項に記載の搬送装置。
　前記脱調監視部が、前記駆動装置のトルクを表す参照値と前記駆動装置のトルクを表す計測値の差と、所定の閾値と、を比較する、請求項１から３のいずれか１項に記載の搬送装置。
　前記脱調監視部が、前記差が前記所定の閾値より大きくなった回数を、脱調が生じた回数とみなす、請求項９に記載の搬送装置。