WO2017130395A1 - 搬送装置及び洗浄装置 - Google Patents
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Definitions
- the present invention relates to a transport device and a cleaning device that can prevent the glass substrate from cracking when cleaning the glass substrate while inclining it.
- a glass substrate used in a liquid crystal display device is subjected to a cleaning process in a manufacturing process of the liquid crystal display device, for example, by a cleaning device in order to remove dirt on the surface before film formation.
- a glass substrate cleaning apparatus for example, an apparatus that cleans a glass substrate by spraying cleaning water from above while transporting the glass substrate by a plurality of transport rollers to which transport rollers are attached is known.
- the cleaning device disclosed in Patent Document 1 includes a flange portion having a diameter larger than that of other portions on the lower end side of the transport roller.
- the lower end of the glass substrate may be damaged due to friction with the flange portion. Also, if there is a deviation in the height of the collar between adjacent transport rollers, the corners of the glass substrate may fall between the jaws of the adjacent transport rollers, and may be caught as they are, causing a glass break There is.
- This invention is made
- a transport apparatus includes a first frame, a second frame provided substantially parallel to the first frame at a position higher than the first frame, and the first frame A conveying roller that is pivoted between the first frame and the second frame and has a groove formed on a surface formed of an elastic body.
- a cleaning device includes the above-described transport device and an injection unit that is provided above the transport device and injects cleaning water downward.
- a transport device and a cleaning device that can prevent a glass substrate from being broken during transport when the glass substrate is cleaned while being tilted and transported.
- FIG. 2 is a perspective view schematically showing the cleaning device of the first embodiment.
- FIG. 2 is a longitudinal sectional view schematically showing the cleaning device of the first embodiment.
- 4 is an enlarged view of a conveyance roller in Embodiment 1.
- FIG. It is a perspective view which shows typically the washing
- FIG. It is a longitudinal cross-sectional view which shows the washing
- FIG. 6 is an enlarged view of a conveyance roller in Embodiment 2. It is an enlarged view which shows the other example of a conveyance roller. It is an enlarged view which shows the other example of a conveyance roller.
- FIG. 1 is a perspective view schematically showing the cleaning apparatus 100 according to the first embodiment
- FIG. 2 is a longitudinal sectional view schematically showing the cleaning apparatus 100
- FIG. 3 is an enlarged view of the transport roller 1 according to the first embodiment.
- the cleaning device 100 includes a transport roller 1, a pulley 12, a frame 20 (frame 20 a and frame 20 b), a transport device 5 including a timing belt 3, and an injection unit 4.
- the conveyance apparatus 5 conveys the workpiece
- work W for example, glass substrate.
- the cleaning device 100 cleans the workpiece W by spraying cleaning water onto the workpiece W being transported by the transport device 5.
- At least the surface (outer peripheral surface) of the transport roller 1 is formed of an elastic material, for example, a resin having a gripping force.
- the transport roller 1 has a roller shaft 11 that is a rotating shaft thereof, and a portion other than the roller shaft 11 is formed of an elastic material such as silicon rubber.
- a groove 10 is provided on the surface of the conveying roller 1.
- the groove 10 is a linear groove extending along the axial direction of the conveying roller 1, that is, a linear groove parallel to the axial direction of the conveying roller 1. As shown in FIG.
- a plurality of (e.g., eight) grooves 10 are formed on the outer peripheral surface of the transport roller 1 so as to be evenly spaced in the circumferential direction over the entire length of the transport roller 1 in the axial direction.
- the depth of the groove 10 is such that it does not reach the roller shaft 11.
- the two frames 20 are installed so that they are substantially parallel at different heights.
- the frame 20b is provided at a position higher than the frame 20a so as to be substantially parallel to the frame 20a.
- the transport roller 1 is pivoted between the frame 20a and the frame 20b. Accordingly, as shown in FIG. 2, the roller shaft 11 is inclined at a predetermined angle (for example, less than 45 degrees) with respect to the horizontal plane.
- Both ends of the roller shaft 11 protrude outward from the frame 20a and the frame 20b through shaft holes 21 formed in the frame 20 on each side.
- a stopper 13 that restricts movement in the axial direction is attached to the protruding end on the higher frame 20b side.
- a toothed transmission pulley 12 is attached to the protruding end of the roller shaft 11 in the lower frame 20a.
- the timing belt 3 is stretched over the pulleys 12 arranged outside the frame 20a in the longitudinal direction of the frame 20a.
- the timing belt 3 is rotated in a predetermined direction by driving a motor (not shown).
- a motor not shown.
- each transmission pulley 12 rotates, whereby the plurality of transport rollers 1 rotate in the same direction and at the same speed.
- the injection unit 4 is provided above the transfer device 5 and injects cleaning water (for example, pure water) for cleaning the workpiece W downward.
- the injection unit 4 includes a pipe through which cleaning water passes and a plurality of injection holes communicating with the pipe.
- the tube of the injection unit 4 is, for example, substantially the same length as the transport roller 1 and is disposed substantially parallel to the roller shaft 11.
- the injection holes are provided in a plurality of locations on the lower surface of the tube in the shape of a shower head.
- the injection part 4 injects the wash water supplied from the pump which is not illustrated below.
- the cleaning apparatus 100 configured as described above cleans the work W (glass substrate) sent onto the transport roller 1 by spraying cleaning water from the spray unit 4 while transporting the work W (glass substrate) by the rotation of the transport roller 1.
- Each conveyance roller 1 is longer than the length in the direction orthogonal to the conveyance direction of the workpiece W, and supports the workpiece W with a line.
- the surface of the transport roller 1 is formed of an elastic material (silicon rubber in this embodiment), and the contact area with the work W is increased compared to the conventional transport device that supports the work W by the transport roller. Increases grip.
- the groove 10 provided on the outer peripheral surface of each of the transport rollers 1 serves to discharge cleaning water that enters the contact portion between the workpiece W and the transport roller 1.
- FIG. 4 is a perspective view schematically showing the cleaning apparatus 100b of the second embodiment.
- FIG. 5 is a longitudinal sectional view schematically showing the cleaning apparatus 100b.
- FIG. 6 is an enlarged view of the transport roller 1b according to the second embodiment.
- the same reference numerals are given to the same configurations as those in the first embodiment, and detailed description thereof is omitted.
- the cleaning device 100b includes a transport roller 1b, a pulley 12, two frames 20a and 20b, a transport device 5b including the timing belt 3, and an injection unit 4.
- the transport roller 1b in the second embodiment has a roller shaft 11 that is a rotation shaft thereof, and a portion other than the roller shaft 11 is formed of an elastic material such as silicon rubber. ing.
- a groove 10b is provided on the surface of the transport roller 1b.
- the groove 10b is a linear groove, and is inclined at a predetermined angle with respect to the axial direction of the transport roller 1b. Specifically, in the groove 10b, the end (lower end) on the frame 20a side of the two ends is more forward in the rotation direction of the transport roller 1b than the end (upper end) on the frame 20b side. It is provided to be located.
- the inclination angle of the groove 10b with respect to the axial direction of the transport roller 1b is set in consideration of the rotational speed of the transport roller 1b. Specifically, the inclination angle is set to a larger value as the rotational speed of the transport roller 1b increases.
- the inclination angle of the groove 10b may be so large that the groove 10b makes one or more rounds on the outer peripheral surface of the conveying roller 1b, or may be so small that the groove 10b does not make one round on the outer peripheral surface of the conveying roller 1b. As shown in FIG.
- a plurality of (for example, eight) grooves 10b are formed on the outer peripheral surface of the transport roller 1b so as to be evenly spaced in the circumferential direction over the entire length in the axial direction of the transport roller 1b.
- FIG. 6 shows the lower end of the groove 10b.
- the direction from the left to the right in the drawing is the conveyance direction of the workpiece W.
- the surface of the transport roller 1b is formed of an elastic material as in the cleaning device 100 according to the first embodiment, and the contact area between the transport roller 1b and the workpiece W is the conventional transport. Since it increases more than the conveyance roller using a roller, the grip power with respect to the workpiece
- the groove 10b is inclined so that its lower end is positioned forward of the upper end in the rotation direction of the transport roller 1b. It is easy to be discharged downward along 10b. Thereby, the grip force with respect to the workpiece
- the groove 10 of the first embodiment is linearly provided along the axial direction of the conveying roller 1, and the groove 10b of the second embodiment is inclined with respect to the axial direction of the conveying roller 1b.
- the shape of the groove 10 provided in the transport roller 1 is not limited to these.
- 7 and 8 are enlarged views showing other examples of the transport roller 1 and show other examples of the shape of the groove 10 provided in the transport roller 1.
- the groove 10 c provided linearly along the axial direction of the conveying roller 1 is not continuous over the entire length of the conveying roller 1 and is divided to include a plurality of linear grooves 101 c.
- the surface between each linear groove 101c may support the workpiece W.
- the surface between the linear grooves 101c may be provided at different positions in the axial direction between the plurality of grooves 10c.
- a groove 10 d may be provided so as to be orthogonal to the axial direction of the transport roller 1.
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Abstract
ガラス基板を傾斜させて搬送しつつ洗浄するに際し、搬送時におけるガラス基板の割れを防止することができる搬送装置及び洗浄装置を提供する。 本開示の搬送装置は、第１のフレームと、第１のフレームよりも高い位置に第１のフレームと略平行をなして設けられた第２のフレームと、第１のフレーム及び第２のフレーム間に軸架され、弾性材料で形成された表面に溝を設けた搬送ローラとを備える。本開示の洗浄装置は、搬送装置と、搬送装置の上方に設けられており、洗浄水を下方へ向けて噴射する噴射部とを備える。
Description
本発明は、ガラス基板を傾斜させて搬送しつつ洗浄するに際し、ガラス基板の割れを防止し得る搬送装置及び洗浄装置に関する。
液晶表示装置に使用されるガラス基板は、液晶表示装置の製造工程において、例えば成膜前に表面の汚れを落とすために洗浄装置により洗浄処理される。
ガラス基板の洗浄装置として、例えば、搬送コロが取り付けられた複数の搬送ローラによりガラス基板を搬送しながら、上方から洗浄水を噴射してガラス基板を洗浄するものが知られている。
また、ガラス基板の洗浄装置として、ガラス基板への洗浄水の液残りを防ぐため或いは洗浄水の節約のために、上記搬送ローラを傾けて配置したもの、すなわちガラス基板を傾斜させて搬送しながら洗浄するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に開示の洗浄装置は、ガラス基板が下方へ滑り落ちるのを防止するために、搬送ローラの下端側に、その径が他の部分よりも大きい鍔部を備える。
しかしながら、搬送ローラの下端側に鍔部を設けた構成では、鍔部との摩擦によりガラス基板の下端が損傷する虞がある。また、隣り合う搬送ローラ間の鍔部の高さにずれが生じた場合、隣り合う搬送ローラの顎部の間にガラス基板の角部分が落ち込み、そのまま噛み込まれてガラス割れが発生する可能性がある。
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、搬送するガラス基板の割れを防止し得る搬送装置及び洗浄装置を提供することを目的とする。
本開示の一実施形態に係る搬送装置は、第１のフレームと、該第１のフレームよりも高い位置に前記第１のフレームと略平行をなして設けられた第２のフレームと、前記第１のフレーム及び第２のフレーム間に軸架され、弾性体で形成された表面に溝を設けた搬送ローラとを備える。
本開示の一実施形態に係る洗浄装置は、上述の搬送装置と、該搬送装置の上方に設けられており、洗浄水を下方へ向けて噴射する噴射部とを備える。
本開示の実施形態によれば、ガラス基板を傾斜させて搬送しつつ洗浄するに際し、搬送時におけるガラス基板の割れを防止することができる搬送装置及び洗浄装置が提供される。
以下に、本発明の実施の形態について図面に基づき具体的に説明する。なお、以下に示す実施の形態は例示であって、本発明は以下の構成に限られないことは勿論である。
（実施の形態１）
図１は、実施の形態１の洗浄装置１００を模式的に示す斜視図であり、図２は洗浄装置１００を模式的に示す縦断面図である。図３は、実施の形態１における搬送ローラ１の拡大図である。
図１は、実施の形態１の洗浄装置１００を模式的に示す斜視図であり、図２は洗浄装置１００を模式的に示す縦断面図である。図３は、実施の形態１における搬送ローラ１の拡大図である。
図１及び図２に示すように、洗浄装置１００は、搬送ローラ１、プーリ１２、フレーム２０（フレーム２０ａ及びフレーム２０ｂ）、並びにタイミングベルト３を備える搬送装置５と、噴射部４とを備える。搬送装置５は、ワークＷ（例えばガラス基板）を搬送する。洗浄装置１００は、搬送装置５によって搬送されているワークＷに対して洗浄水を噴射して、ワークＷを洗浄する。
搬送ローラ１は、少なくともその表面（外周面）が弾性材料、例えばグリップ力のある樹脂等で形成されている。本実施の形態において搬送ローラ１は、その回転軸であるローラ軸１１を有し、ローラ軸１１以外の部分がシリコンラバー等の弾性材料で形成されている。搬送ローラ１の表面には、溝１０が設けられている。本実施形態において、溝１０は、搬送ローラ１の軸方向に沿って延びる直線状の溝、すなわち搬送ローラ１の軸方向と平行な直線状の溝である。図３に示すように、搬送ローラ１の外周面には、搬送ローラ１の軸方向の全長に亘る複数本（例えば８本）の溝１０が周方向に等配をなして形成されている。溝１０の深さはローラ軸１１に達しない程度である。
図１及び図２に示すように、２本のフレーム２０は、それらが異なる高さで略平行となるように設置されている。具体的には、フレーム２０ｂは、フレーム２０ａよりも高い位置にフレーム２０ａと略平行をなして設けられている。搬送ローラ１は、フレーム２０ａとフレーム２０ｂとの間に軸架されている。これにより図２に示すようにローラ軸１１は水平面に対して所定角度（例えば４５度未満）傾いている。
ローラ軸１１の両端は、夫々の側のフレーム２０に形成された軸孔２１を通してフレーム２０ａ及びフレーム２０ｂから外側に突出している。高い方のフレーム２０ｂ側における突出端には、軸方向の移動を制限するストッパ１３が取り付けられている。低い方のフレーム２０ａにおけるローラ軸１１の突出端には歯付の伝動プーリ１２が取り付けられている。
フレーム２０ａとフレーム２０ｂとの間には、上述した搬送ローラ１が複数本、所定間隔を開けて軸架されている。そしてフレーム２０ａの外側でフレーム２０ａの長手方向に並ぶプーリ１２には、タイミングベルト３が掛け渡してある。タイミングベルト３は図示しないモータの駆動によって所定の方向へ回転するようにしてある。モータが駆動されてタイミングベルト３が回転することで、各伝動プーリ１２が回転し、それにより、複数の搬送ローラ１が同方向に同速度で回転する。
噴射部４は、搬送装置５の上方に設けられ、ワークＷを洗浄するための洗浄水（例えば純水）を下方へ向けて噴射する。噴射部４は、洗浄水が通る管、及び該管に連通する複数の噴射孔を有する。噴射部４の管は、例えば搬送ローラ１と略同長であってローラ軸１１と略平行に配置される。噴射孔は管の下面の複数箇所に、シャワーヘッド状に設けられている。噴射部４は図示しないポンプから供給される洗浄水を下方に噴射させる。
このように構成される洗浄装置１００は、搬送ローラ１上に送り込まれたワークＷ（ガラス基板）を、搬送ローラ１の回転により搬送しながら、噴射部４から洗浄水を噴射させて洗浄する。搬送ローラ１は、夫々の長さがワークＷの搬送方向と直交する方向における長さよりも長く、ワークＷを線で支持する。搬送ローラ１の表面は弾性材料（本実施形態ではシリコンラバー）によって形成されており、搬送コロによりワークＷを支持する従来の搬送装置よりもワークＷとの接触面積が増大するから、ワークＷに対するグリップ力が高まる。搬送ローラ１夫々の外周面に設けられた溝１０は、ワークＷと搬送ローラ１との接触部に入り込む洗浄水を排出する作用をなす。したがって、ワークＷと搬送ローラ１との間への洗浄水の滞留が抑制され、洗浄水による摩擦抵抗力の低下、すなわち搬送ローラ１によるワークＷへのグリップ力の低下を回避できる。これにより、ワークＷは搬送ローラ１の傾斜方向に位置ずれすることなく搬送され、斜行及び滑落が防止される。そして、搬送ローラ１の構成によりワークＷの斜行及び滑落を防止することができるので、従来の搬送装置で使用されていたような搬送ローラの下端側に備えられていた顎部は不要である。したがって、顎部との摩擦によるワークＷの損傷、及び顎部を起因とするガラス割れ（例えば、ワークＷが隣り合う顎部間へ落ち込むことによって起こるガラス割れ）の発生も防止される。
（実施の形態２）
図４は、実施の形態２の洗浄装置１００ｂを模式的に示す斜視図である。図５は洗浄装置１００ｂを模式的に示す縦断面図である。図６は、実施の形態２における搬送ローラ１ｂの拡大図である。実施の形態２における洗浄装置１００ｂの構成の内、実施の形態１と共通する構成については同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
図４は、実施の形態２の洗浄装置１００ｂを模式的に示す斜視図である。図５は洗浄装置１００ｂを模式的に示す縦断面図である。図６は、実施の形態２における搬送ローラ１ｂの拡大図である。実施の形態２における洗浄装置１００ｂの構成の内、実施の形態１と共通する構成については同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
図４及び図５に示すように、洗浄装置１００ｂは、搬送ローラ１ｂ、プーリ１２、２本のフレーム２０ａ及びフレーム２０ｂ、並びにタイミングベルト３を備える搬送装置５ｂと、噴射部４とを備える。
実施の形態２における搬送ローラ１ｂは、実施の形態１における搬送ローラ１と同様に、その回転軸であるローラ軸１１を有し、ローラ軸１１以外の部分がシリコンラバー等の弾性材料で形成されている。また、搬送ローラ１ｂの表面には、溝１０ｂが設けられている。本実施形態において、溝１０ｂは、直線状の溝であり、搬送ローラ１ｂの軸方向に対して所定の角度で傾斜している。具体的には、溝１０ｂは、その２つの端部の内のフレーム２０ａ側の端部（下端部）が、フレーム２０ｂ側の端部（上端部）よりも搬送ローラ１ｂの回転方向において前方に位置するように設けられている。例えば、搬送ローラ１ｂの軸方向に対する溝１０ｂの傾斜角は、搬送ローラ１ｂの回転速度を考慮して設定され、具体的には搬送ローラ１ｂの回転速度が速いほどより大きい値に設定される。なお、溝１０ｂの傾斜角は、溝１０ｂが搬送ローラ１ｂの外周面を一周以上するほど大きくてもよいし、溝１０ｂが搬送ローラ１ｂの外周面を一周しない程度に小さくてもよい。図６に示すように、搬送ローラ１ｂの外周面には、搬送ローラ１ｂの軸方向の全長に亘る複数本（例えば８本）の溝１０ｂが周方向に等配をなして形成されている。なお、図６は、溝１０ｂの下端部を示しており、図６において、図中左から右へ向かう方向がワークＷの搬送方向である。
実施の形態２における洗浄装置１００ｂは、実施の形態１における洗浄装置１００と同様に、搬送ローラ１ｂの表面が弾性材料によって形成されており、搬送ローラ１ｂとワークＷとの接触面積が従来の搬送コロを用いた搬送ローラよりも増大するから、ワークＷに対するグリップ力が高まる。そして、本実施形態では、溝１０ｂは、その下端部が搬送ローラ１ｂの回転方向においてその上端部よりも前方に位置するように傾斜しているから、搬送ローラ１ｂの回転力によって洗浄水が溝１０ｂに沿って下方へ排出され易くなっている。これにより、ワークＷに対するグリップ力が更に高まり、搬送ローラ１ｂの傾斜方向に位置ずれすることなく搬送され、斜行及び滑落が防止される。搬送ローラ１ｂの構成においても、従来のような顎部を不要とするから、ガラス割れの発生が防止される。
なお実施の形態１の溝１０は搬送ローラ１の軸方向に沿って直線状に、実施の形態２の溝１０ｂは搬送ローラ１ｂの軸方向に対して傾斜して設けられる構成とした。しかしながら、搬送ローラ１に設けられる溝１０の形状はこれらに限らない。図７及び図８は、搬送ローラ１の他の例を示す拡大図であり、搬送ローラ１に設けられる溝１０の形状の他の例を示している。図７に示すように、搬送ローラ１の軸方向に沿って直線状に設けられた溝１０ｃは、搬送ローラ１の全長に亘って連続しておらず分断されて複数の線状溝１０１ｃを含んで構成され、各線状溝１０１ｃ間の面がワークＷを支持するようにしてもよい。このとき、線状溝１０１ｃ間の面は、複数の溝１０ｃ間で軸方向において異なる位置に設けられてもよい。更に、図８に示すように、搬送ローラ１の軸方向に直交するように溝１０ｄが設けられてもよい。
開示された実施の形態は、全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上述の説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
Ｗ ワーク（ガラス基板）
１，１ｂ 搬送ローラ
１０，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ 溝
２０ａ，２０ｂ フレーム
１，１ｂ 搬送ローラ
１０，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ 溝
２０ａ，２０ｂ フレーム
Claims (5)
- 第１のフレームと、
該第１のフレームよりも高い位置に前記第１のフレームと略平行をなして設けられた第２のフレームと、
前記第１のフレーム及び第２のフレーム間に軸架され、弾性材料で形成された表面に溝を設けた搬送ローラと
を備えることを特徴とする搬送装置。 - 前記溝は前記搬送ローラの軸方向に沿って直線状に設けられている
ことを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。 - 前記溝は前記搬送ローラの軸方向に対し、傾斜して設けられている
ことを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。 - 前記溝は、直線状の溝であり、第１のフレーム側の端部が、前記第２のフレーム側の端部よりも搬送ローラの回転方向において前方に位置するように設けられている
ことを特徴とする請求項３に記載の搬送装置。 - 前記請求項１から４のいずれか１つの搬送装置と、
該搬送装置の上方に設けられており、洗浄水を下方へ向けて噴射する噴射部と
を備えることを特徴とする洗浄装置。
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|---|---|---|---|
| PCT/JP2016/052756 WO2017130395A1 (ja) | 2016-01-29 | 2016-01-29 | 搬送装置及び洗浄装置 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| PCT/JP2016/052756 WO2017130395A1 (ja) | 2016-01-29 | 2016-01-29 | 搬送装置及び洗浄装置 |
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| WO (1) | WO2017130395A1 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2016
- 2016-01-29 WO PCT/JP2016/052756 patent/WO2017130395A1/ja active Application Filing
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