WO2017119269A1 - 不定比酸化チタン微粒子の製造方法 - Google Patents

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fine particles
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晶弘 木下
志織 末安
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Definitions

  • the present invention relates to a method for producing non-stoichiometric titanium oxide (TiOx: 1 ⁇ x ⁇ 2) fine particles, and in particular, titanium dioxide (TiO 2 ) as a raw material, and nano-sized non-stoichiometric titanium oxide fine particles using thermal plasma.
  • the present invention relates to a manufacturing method for manufacturing.
  • fine particles such as oxide fine particles, nitride fine particles, and carbide fine particles are electrically insulating materials such as semiconductor substrates, printed circuit boards and various electric insulating parts, and high hardness and high precision machine tool materials such as cutting tools, dies and bearings.
  • Manufacturing of sintered materials such as functional materials such as grain boundary capacitors and humidity sensors and precision sintered molding materials, sprayed parts such as engine valves and other materials that require high temperature wear resistance, and fuel cells are used in the field of manufacturing electrodes, electrolyte materials and various catalysts.
  • Reduced titanium oxide has attracted attention among the above-mentioned fine particles.
  • the reduced titanium oxide is not only in terms of absorption of visible light but also has excellent electronic conductivity, so that it is sufficiently expected to be applied as an electrode and a conductive filler.
  • Patent Document 1 A method is proposed in Patent Document 1.
  • titanium oxide powder such as titanium dioxide (TiO 2 ) and titanium compound of elements other than oxygen such as titanium metal powder and titanium hydride are used.
  • the powder and at least one powder of non-stoichiometric titanium oxide powder are supplied into the thermal plasma flame, respectively, or in a premixed state.
  • Patent Document 1 At least two kinds of powders of titanium oxide powder, titanium metal powder, oxygen-free titanium compound powder and non-stoichiometric titanium oxide powder are used as raw materials, and non-stoichiometric oxidation is used as a metal element. Since metal elements other than titanium constituting the titanium fine particles are not used, high-purity nonstoichiometric titanium oxide fine particles can be obtained.
  • Patent Document 1 has a problem that it is difficult to obtain uniform single-phase non-stoichiometric titanium oxide fine particles by generating multi-phase non-stoichiometric titanium oxide fine particles, that is, mixed crystal fine particles. .
  • An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, use titanium oxide powder, particularly titanium dioxide (TiO 2 ) powder as a raw material, and use high-purity and nano-sized non-stoichiometric titanium oxide fine particles ( It is an object of the present invention to provide a method for producing non-stoichiometric titanium oxide fine particles capable of producing (TiOx) and adjusting the redox degree of the produced non-stoichiometric titanium oxide fine particles.
  • the present invention provides a method for producing non-stoichiometric titanium oxide fine particles using titanium dioxide, wherein the titanium dioxide powder is dispersed in a liquid substance containing a carbon source, and Water is added to form a slurry, and the slurry is dropletized and supplied into a thermal plasma flame not containing oxygen, and carbon in the material generated by the thermal plasma flame, that is, carbon generated from the material and titanium dioxide,
  • the present invention provides a method for producing non-stoichiometric titanium oxide fine particles in which non-stoichiometric titanium oxide is produced by reacting and producing non-stoichiometric titanium oxide fine particles by rapidly cooling the produced non-stoichiometric titanium oxide.
  • the amount of the titanium dioxide powder is 10 to 65% by mass with respect to the total amount of the liquid substance containing the titanium dioxide powder and the carbon source, and the amount of the liquid substance containing the carbon source is
  • the amount of water is 90 to 35% by mass with respect to the total amount of liquid substance containing titanium powder and carbon source, and the amount of water is 5 to 5% with respect to the total amount of liquid substance containing titanium dioxide powder and carbon source. It is preferable that it is 40 mass%.
  • the liquid substance containing a carbon source is preferably alcohol, ketone, kerosene, octane or gasoline.
  • the thermal plasma flame is preferably derived from at least one gas of hydrogen, helium and argon.
  • titanium oxide powder particularly titanium dioxide (TiO 2 ) powder is used as a raw material, and carbon generated from a liquid substance containing a carbon source is caused to function as a reducing agent using thermal plasma.
  • High-purity and nano-sized non-stoichiometric titanium oxide fine particles (TiOx) can be produced.
  • thermal plasma nano-sized non-stoichiometric titanium oxide fine particles can be produced without using nano-sized particles in the raw material titanium oxide powder and without requiring several days for production. Can be obtained.
  • nanosized non-stoichiometric titanium oxide fine particles having a high purity and less than 200 nm can be obtained.
  • non-stoichiometric titanium oxide fine particles it is produced by adjusting the amount of water added when slurrying a liquid substance containing titanium oxide powder and a carbon source. The degree of redox of the non-stoichiometric titanium oxide fine particles can be easily adjusted.
  • FIG. 1 It is a schematic diagram which shows the whole structure of the fine particle manufacturing apparatus for enforcing the manufacturing method of the nonstoichiometric titanium oxide fine particle which concerns on embodiment of this invention. It is sectional drawing which expands and shows the plasma torch vicinity in FIG. It is sectional drawing which expands and shows the top plate of the chamber in FIG. 1, and the gas injection port vicinity provided in this top plate. It is sectional drawing which expands and shows the cyclone in FIG. It is a flowchart which shows the manufacturing method of the nonstoichiometric titanium oxide microparticles
  • the non-stoichiometric titanium oxide is generally a titanium oxide that is a non-stoichiometric compound.
  • the non-stoichiometric compound is a compound that shows a deviation (non-stoichiometry) from the stoichiometric composition.
  • Nonstoichiometric titanium oxide is also referred to as titanium suboxide.
  • examples of the nonstoichiometric titanium oxide fine particles include TiO x (1 ⁇ x ⁇ 2) particles in which oxygen is less than the stoichiometric composition (TiO 2 ).
  • TiO x (1 ⁇ x ⁇ 2) particles in which oxygen is less than the stoichiometric composition (TiO 2 ).
  • TiO 2 titanium dioxide
  • TiO 2 x (1 ⁇ x ⁇ 2) has excellent corrosion resistance and insulation.
  • non-stoichiometric titanium oxide (TiO x (1 ⁇ x ⁇ 2)) has excellent corrosion resistance and conductivity, and absorbs visible light.
  • fine particles of non-stoichiometric titanium oxide having different properties from titanium dioxide can be obtained.
  • the present invention only titanium dioxide powder is used, and no metal element other than titanium constituting the non-stoichiometric titanium oxide fine particles is used, and therefore high-purity non-stoichiometric titanium oxide fine particles can be obtained.
  • the thermal plasma method using a thermal plasma flame it is generally known that nano-sized particles having a particle size of less than 200 nm can be obtained even if the raw material powder supplied to the thermal plasma flame has a particle size of about 100 ⁇ m. It has been. For this reason, in the present invention, even when titanium dioxide powder having a particle size of about 100 ⁇ m is used as the raw material powder, non-stoichiometric titanium oxide fine particles having a particle size of less than 200 nm can be obtained.
  • the non-stoichiometric titanium oxide fine particles of the present invention have a particle size of less than 200 nm, but the non-stoichiometric titanium oxide fine particles preferably have a particle size of 5 to 100 nm.
  • nanosized non-stoichiometric titanium oxide fine particles can be obtained without using nanosized particles as a raw material for titanium dioxide powder, which is a raw material. The productivity is not reduced by using.
  • the particle diameter of the raw material titanium dioxide powder is preferably 1 to 100 ⁇ m. Titanium dioxide powder is difficult to handle when its particle size is less than 1 ⁇ m. On the other hand, when the particle size of the titanium dioxide powder exceeds 100 ⁇ m, the amount that does not evaporate during the thermal plasma treatment increases.
  • the particle size is a value obtained by conversion from specific surface area measurement.
  • the permeability is improved when dispersed in a resin or glass.
  • the characteristics manifested by nano-sizing include a decrease in thermal conductivity and an increase in specific surface area. Examples of the use of non-stoichiometric titanium oxide fine particles having a particle size of less than 200 nm include heat ray shielding materials, thermoelectric elements, catalysts, and support materials.
  • a titanium dioxide powder when a titanium dioxide powder is dispersed in a liquid substance containing a carbon source, and a slurry to which water is further added is dropletized and supplied into a thermal plasma flame not containing oxygen, thermal plasma is supplied.
  • the carbon generated from the liquid substance in the flame acts as a reducing agent for the titanium dioxide powder, and the titanium dioxide powder is partially reduced by the thermal plasma flame to become an indefinite ratio oxide. Since the thermal plasma flame does not contain oxygen, the produced carbon combines with the oxygen in the titanium dioxide powder, so that oxygen is deprived from titanium dioxide, which is a stoichiometric oxide, and non-stoichiometric oxidation occurs. It becomes a thing. In this manner, nonstoichiometric titanium oxide fine particles are generated from the titanium dioxide powder.
  • the titanium dioxide powder used in the present invention may contain titanium dioxide powder as a main component, and may contain titanium oxide powder other than titanium dioxide as long as nonstoichiometric titanium oxide fine particles can be produced.
  • the thermal plasma flame used in the present invention is a thermal plasma flame not containing oxygen, but in the production of non-stoichiometric titanium oxide fine particles, carbon produced from a liquid substance containing a carbon source in the thermal plasma flame.
  • the thermal plasma flame may contain oxygen as long as an amount sufficient to produce titanium dioxide fine particles by reducing titanium dioxide is secured.
  • the thermal plasma flame preferably contains no oxygen at all.
  • thermal plasma flame contains oxygen means a thermal plasma flame that uses a part or all of a gas containing oxygen, such as oxygen gas or air, in the plasma gas, while the thermal plasma flame contains oxygen.
  • the term “not included” refers to a thermal plasma flame that does not use oxygen gas or oxygen-containing gas such as air in part or all of the plasma gas.
  • FIG. 1 is a schematic diagram showing an overall configuration of a fine particle production apparatus for carrying out a method for producing non-stoichiometric titanium oxide fine particles according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a partially enlarged view of the vicinity of the plasma torch shown in FIG.
  • FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view showing the top plate of the chamber shown in FIG. 1 and the vicinity of two types of gas injection ports provided in the top plate.
  • FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of the cyclone.
  • a fine particle manufacturing apparatus 10 shown in FIG. 1 includes a plasma torch 12 that generates thermal plasma and a material supply apparatus 14 that supplies titanium dioxide (TiO 2 ) powder into a slurry form into the plasma torch 12 as will be described later.
  • a chamber 16 having a function as a cooling tank for generating fine particles (primary fine particles) 15 of non-stoichiometric titanium oxide (TiOx (1 ⁇ x ⁇ 2)), and arbitrarily generated from the generated primary fine particles 15
  • a cyclone 19 for removing coarse particles having a particle size equal to or larger than a prescribed particle size, and a recovery for collecting nonstoichiometric titanium oxide (TiOx) fine particles (secondary fine particles) 18 having a desired particle size classified by the cyclone 19 Part 20.
  • titanium dioxide powder (hereinafter also referred to as a titanium dioxide raw material) is dispersed in a liquid substance containing a carbon source (hereinafter also referred to as a carbon-containing dispersion medium or simply as a dispersion medium).
  • a carbon-containing dispersion medium or simply as a dispersion medium.
  • Nano-sized non-stoichiometric titanium oxide fine particles are produced by the fine particle production apparatus 10 using a slurry made by adding water to form a slurry.
  • the plasma torch 12 shown in FIG. 2 includes a quartz tube 12a and a high-frequency oscillation coil 12b that surrounds the quartz tube 12a. As will be described later, a supply pipe 14a for slurry 26 is provided at the center of the plasma torch 12, and a plasma gas supply port 12c is formed at the periphery (on the same circumference).
  • the plasma gas is sent from the plasma gas supply source 22 to the plasma gas supply port 12c (see FIG. 2).
  • a plasma gas that does not contain oxygen.
  • the plasma gas include hydrogen gas (H 2 ), helium gas (He), and argon gas (Ar).
  • the plasma gas is not limited to a single substance, and these plasma gases may be used in combination such as hydrogen and argon, helium and argon, or hydrogen, helium and argon.
  • the plasma gas supply source 22 for example, two kinds of plasma gases of hydrogen and argon are prepared.
  • the plasma gas supply source 22 includes, for example, high-pressure gas cylinders 22 a and 22 b that store hydrogen and argon, respectively, and a gas pipe 22 c that connects the high-pressure gas cylinders 22 a and 22 b to the plasma torch 12.
  • the plasma gas is supplied from the high-pressure gas cylinders 22a and 22b to the plasma gas supply source 22 through the gas pipe 22c and the ring-shaped plasma gas supply port 12c shown in FIG. Is sent to.
  • a high frequency voltage is applied to the high frequency oscillation coil 12b, and for example, a thermal plasma flame 24 not containing oxygen is generated from two types of plasma gases, hydrogen and argon.
  • the ratio of hydrogen and argon in the plasma gas of the thermal plasma flame 24 is preferably such that the amount of hydrogen is 0 to 20 vol% with respect to the amount of argon.
  • the supply amount of plasma gas is preferably 10 to 300 liters / min for argon.
  • argon, helium, and hydrogen are supplied as plasma gases from the plasma gas supply source 22 to generate the thermal plasma flame 24 in the plasma torch 12, hydrogen, helium,
  • the proportion of argon is preferably such that the amount of hydrogen is 0 to 20 vol% with respect to the total amount of helium and argon.
  • the supply amount of plasma gas is preferably 10 to 300 liter / min for argon and 5 to 30 liter / min for helium.
  • the amount of hydrogen is preferably 0 to 20 vol% with respect to the total amount of helium.
  • the outside of the quartz tube 12a is surrounded by a concentric tube (not shown), and cooling water is circulated between the tube and the quartz tube 12a to cool the quartz tube 12a.
  • the quartz tube 12a is prevented from becoming too hot by the thermal plasma flame 24 generated in the plasma torch 12.
  • the material supply device 14 is connected to the upper portion of the plasma torch 12, and a slurry 26 prepared by mixing a titanium dioxide raw material with a carbon-containing dispersion medium and further adding water is supplied from the material supply device 14. Supply uniformly into the plasma torch 12.
  • a slurry 26 prepared by adding water to the slurry obtained by mixing the titanium dioxide raw material with the carbon-containing dispersion medium compared with the case where the slurry of the titanium dioxide raw material and the carbon-containing dispersion medium is used.
  • the degree of oxidation-reduction of the produced nonstoichiometric titanium oxide fine particles can be changed, and the sheet resistance of the produced nonstoichiometric titanium oxide fine particles can be reduced.
  • the degree of redox of the produced non-stoichiometric titanium oxide fine particles is adjusted according to the amount of added water by adjusting the amount of water when producing the slurry 26.
  • the sheet resistance of the produced nonstoichiometric titanium oxide fine particles can be changed.
  • the material supply device 14 includes a supply pipe 14a that drops the slurry 26 into droplets and supplies the slurry 26 to the inside of the plasma torch 12, a container 14b that holds the slurry 26, a stirrer 14c that stirs the slurry 26 in the container 14b, and a supply pipe 14a.
  • the slurry pipe 14f connects the container 14b to the supply pipe 14a via the pump 14d, and the gas pipe 14g connects the spray gas supply source (high pressure gas cylinder) 14e to the slurry pipe 14f in the vicinity of the supply pipe 14a.
  • the slurry 26 put in the container 14b is produced as follows. For example, a predetermined amount of titanium dioxide raw material is put into a container 14b from a raw material tank or the like (not shown), and the carbon-containing dispersion medium is mixed little by little from a tank (not shown) while stirring with a stirrer 14c. And a carbon-containing dispersion medium into a slurry, and a predetermined amount of water (for example, tap water, stored water in a tank (not shown)) is added little by little to the slurry composed of the titanium dioxide raw material and the carbon-containing dispersion medium to obtain a desired A slurry 26 in a state is prepared.
  • a predetermined amount of titanium dioxide raw material is put into a container 14b from a raw material tank or the like (not shown), and the carbon-containing dispersion medium is mixed little by little from a tank (not shown) while stirring with a stirrer 14c.
  • a predetermined amount of carbon-containing dispersion medium is put into a container 14b from a tank (not shown), and a predetermined amount of titanium dioxide raw material is mixed from a raw material tank (not shown) while stirring with a stirrer 14c. Slurry the carbon-containing dispersion medium and add a predetermined amount of water (for example, tap water, stored water in a tank (not shown)) to the slurry made of the titanium dioxide raw material and the carbon-containing dispersion medium in a desired state.
  • the slurry 26 may be prepared.
  • the high-pressure spray gas to which the extrusion pressure is applied together with the slurry 26 from the spray gas supply source 14 e and the plasma torch 12 through the supply pipe 14 a as indicated by an arrow G in FIG. 2. It is supplied into the thermal plasma flame 24 inside.
  • the supply pipe 14 a has a two-fluid nozzle mechanism for spraying the slurry 26 into the thermal plasma flame 24 in the plasma torch 12 to form droplets, whereby the slurry 26 is heated in the plasma torch 12. Spraying into the plasma flame 24, that is, the slurry 26 can be made into droplets.
  • the atomizing gas for example, argon, helium, hydrogen or the like is used alone or in appropriate combination.
  • the two-fluid nozzle mechanism can apply a high pressure to the slurry 26 and form the slurry 26 in droplets by the atomizing gas, which is a gas, so that the slurry 26 can be sprayed.
  • the atomizing gas which is a gas
  • the supply pressure is 0.2 to 0.3 MPa
  • the slurry 26 is flowed at 20 ml / min
  • the spray gas is sprayed at 10 to 20 liters / min.
  • droplets of the slurry 26 of about 5 to 10 ⁇ m are obtained.
  • the two-fluid nozzle mechanism is used, but a one-fluid nozzle mechanism may be used.
  • the spray gas may not necessarily be supplied.
  • a chamber 16 is provided adjacent to the lower side of the plasma torch 12.
  • the titanium dioxide raw material is partly reduced by the carbon generated by the dispersion medium in the slurry 26 sprayed into the thermal plasma flame 24 in the plasma torch 12 being decomposed without being burned by the thermal plasma flame 24, and the non-stoichiometric oxidation.
  • the non-stoichiometric titanium oxide is rapidly cooled in the chamber 16 to produce primary fine particles (non-stoichiometric titanium oxide fine particles) 15.
  • the chamber 16 has a function as a cooling tank.
  • the fine particle production apparatus 10 of the present embodiment is for rapidly cooling the produced non-stoichiometric titanium oxide fine particles 15 in order to implement one of the methods for producing the non-stoichiometric titanium oxide fine particles 15 more efficiently.
  • a gas supply device 28 is provided. Hereinafter, the gas supply device 28 will be described.
  • the gas injection port 28a for injecting gas at a predetermined angle, the gas injection port 28b for injecting gas from the upper side to the lower side along the inner wall (inner wall) 16a of the chamber 16, and the chamber 16 are supplied. It has a compressor 28c that applies an extrusion pressure (for example, high pressure) to the gas, a gas supply source (high pressure gas cylinder) 28d that is supplied into the chamber 16, and a gas pipe 28e that connects them.
  • the compressor 28c may be a blower.
  • the gas ejected from the gas ejection port 28a has a cyclone 19 together with the gas ejected from the gas ejection port 28b, in addition to the action of rapidly cooling the primary fine particles 15 generated in the chamber 16. It has an additional action such as contributing to the classification of the primary fine particles 15.
  • the compressor 28c and the gas supply source 28d described above are connected to the top plate 17 of the chamber 16 through a gas pipe 28e. Further, as shown in FIG. 3, the gas injection port 28 a and the gas injection port 28 b are formed in the top plate 17 of the chamber 16.
  • the top plate 17 is a plate-like member that covers the ceiling of the chamber 16, has a through-hole that surrounds the thermal plasma flame 24 in the center, has a truncated cone shape, and a part of the upper side is a cylinder.
  • a plate component 17a, an outer top plate component 17b having a frustum-shaped through hole in the center, and a through hole incorporating the inner top plate component 17a are provided.
  • the inner top plate component 17a is provided along the through hole.
  • An annular upper outer top plate component 17c having a moving mechanism for moving vertically is provided.
  • the outer top plate component 17b and the upper outer top plate component 17c of the top plate 17 are provided with an air passage 17d that communicates with the gas pipe 28e and through which the gas sent through the gas pipe 28e passes. .
  • the air passage 17 d is formed at a predetermined angle between the inner top plate component 17 a and the outer top plate component 17 b in the central portion of the top plate 17 of the chamber 16, and the thermal plasma flame 24 in the plasma torch 12 is formed. It communicates with the gas injection port 28a for injecting gas at a predetermined angle toward the tail, and is formed vertically downward at the edge of the top plate 17, that is, at the edge of the outer portion top plate component 17b. It communicates with a gas injection port 28 b for injecting gas along the inner wall 16 a of the chamber 16.
  • a screw is cut at a portion where the inner side top plate component 17a and the upper outer side top plate component 17c are in contact (in the inner side top plate component 17a, the upper cylindrical portion), and the inner top plate component 17a is By rotating, the position can be changed in the vertical direction, and the inner top plate component 17a can adjust the distance from the outer top plate component 17b.
  • the gradient of the truncated cone portion of the inner top plate component 17a and the gradient of the truncated cone portion of the through hole of the outer top plate component 17b are the same, and are structured to face each other.
  • the gas injection port 28a has a circumferential shape that can adjust the gap formed by the inner top plate component 17a and the outer top plate component 17b, that is, the slit width, and is concentric with the top plate 17. It is the formed slit.
  • the gas injection port 28a may be any shape that can inject gas toward the tail of the thermal plasma flame 24, and is not limited to the slit shape as described above. A large number of holes may be provided.
  • the gas sent through the gas pipe 28e passes through the ventilation path 17d provided in the upper outer part top plate part 17c, and between the inner side top part 17a and the outer part top part 17b described above. It is sent to the gas injection port 28a which is a slit to be formed. As described above, the gas sent to the gas injection port 28a is directed in the direction indicated by the arrow Q in FIGS. 1 and 3 toward the tail portion (terminal portion) of the thermal plasma flame. It is injected at an angle of.
  • the gas injection port 28b of the gas supply device 28 is a slit formed in the outer side top plate component 17b of the top plate 17, and is sent via the gas pipe 28e to the inside of the upper outer side top plate component 17c.
  • the gas that has passed through the air passage 17d provided in the outer top plate component 17b is injected into the chamber 16, and the generated primary fine particles 15 are prevented from adhering to the inner wall 16a of the chamber 16.
  • the gas supplied from the gas supply source 28d of the gas supply device 28 into the top plate 17 through the gas pipe 28e as shown by the arrow S. Is injected into the chamber 16 from the gas injection ports 28a and 28b through the air passage 17d provided in the outer top plate component 17b and the upper outer top plate component 17c of the top plate 17.
  • the slurry 26 injected into the plasma torch 12 from the material supply device 14 and formed into droplets is indefinite because the titanium dioxide raw material is partially reduced without burning in the thermal plasma flame 24 as will be described later. It becomes specific titanium oxide.
  • the non-stoichiometric titanium oxide is rapidly cooled in the chamber 16 by the gas injected from the gas injection port 28a (see arrow Q), and primary particles 15 made of non-stoichiometric titanium oxide are generated. At this time, the primary fine particles 15 are prevented from adhering to the inner wall of the chamber 16 by the gas ejected from the gas ejection port 28 b (see arrow R).
  • a cyclone 19 for classifying the generated primary fine particles 15 with a desired particle diameter is provided at a lower side portion of the chamber 16.
  • the cyclone 19 includes an inlet pipe 19 a that supplies the primary fine particles 15 from the chamber 16, a cylindrical outer cylinder 19 b that is connected to the inlet pipe 19 a and is located on the upper part of the cyclone 19, A truncated cone part 19c that is continuous downward from the lower part of the outer cylinder 19b and gradually decreases in diameter, and is connected to the lower side of the truncated cone part 19c, and has a coarse particle diameter that is equal to or larger than the desired particle diameter.
  • a coarse particle recovery chamber 19d for recovering particles and an inner tube 19e connected to a recovery unit 20 described in detail later and projecting from the outer cylinder 19b are provided.
  • the above-described swirling downward flow is further accelerated by the inner peripheral wall of the truncated cone part 19c, and then reverses to become an upward flow and is discharged out of the system from the inner pipe 19e.
  • a part of the airflow is reversed at the truncated cone part 19c before flowing into the coarse particle recovery chamber 19d, and is discharged out of the system from the inner pipe 19e.
  • Centrifugal force is given to the particles by the swirling flow, and the coarse particles move in the wall direction due to the balance between the centrifugal force and the drag force.
  • the non-stoichiometric titanium oxide fine particles separated from the air flow descend along the side surface of the truncated cone part 19c and are collected in the coarse particle collection chamber 19d.
  • the fine particles to which the centrifugal force is not sufficiently applied are discharged out of the system together with the reverse airflow at the inner peripheral wall of the truncated cone part 19c.
  • a negative pressure (suction force) is generated from the collection unit 20 described in detail later through the inner tube 19e. Then, by this negative pressure (suction force), the non-stoichiometric titanium oxide fine particles separated from the swirling airflow are sucked as shown by the arrow U in FIG. 4 and sent to the recovery unit 20 through the inner tube 19e. It has become.
  • a recovery unit that recovers secondary fine particles (non-stoichiometric titanium oxide fine particles) 18 having a desired nano-sized particle diameter on an extension of an inner tube 19 e that is an outlet of an air flow in the cyclone 19. 20 is provided.
  • the recovery unit 20 includes a recovery chamber 20a, a filter 20b provided in the recovery chamber 20a, and a vacuum pump (not shown) connected via a pipe 20c provided in the lower portion of the recovery chamber 20a. ing.
  • the fine particles sent from the cyclone 19 are drawn into the collection chamber 20a by being sucked by a vacuum pump (not shown), and are collected on the surface of the filter 20b.
  • FIG. 5 is a flowchart showing a method for producing non-stoichiometric titanium oxide fine particles according to an embodiment of the present invention.
  • the titanium dioxide raw material (titanium dioxide powder) is a raw material for non-stoichiometric titanium oxide fine particles, and the average particle size thereof is easily evaporated in a thermal plasma flame.
  • the average particle size is 10 ⁇ m or less.
  • examples of the carbon-containing dispersion medium include alcohol, ketone, kerosene, octane, and gasoline.
  • examples of the alcohol include ethanol, methanol, propanol, and isopropyl alcohol.
  • the carbon-containing dispersion medium reduces the titanium dioxide raw material. For this reason, it is preferable that the carbon-containing dispersion medium is easily decomposed by the thermal plasma flame 24. Therefore, the carbon-containing dispersion medium is preferably a lower alcohol.
  • water (H 2 O) is added to the slurry 26. This water promotes the non-stoichiometric titanation of the titanium dioxide raw material with the carbon-containing dispersion medium.
  • step S10 titanium dioxide raw material powder is dispersed in a carbon-containing dispersion medium, and water is further added to obtain a slurry.
  • the mixing ratio of the titanium dioxide raw material and the dispersion medium and the amount of water are not particularly limited, and the amount of water can be any mixing ratio as long as nonstoichiometric titanium oxide can be generated from the titanium dioxide raw material. But it ’s okay.
  • the preferable range of the amount of the titanium dioxide raw material is 10 to 65% by mass with respect to the total amount of the titanium dioxide raw material and the dispersion medium
  • the preferable range of the amount of the dispersion medium is the total amount of the titanium dioxide raw material and the dispersion medium.
  • the preferred range of the amount of water is 5 to 40% by mass based on the total amount of the titanium dioxide raw material and the dispersion medium.
  • the mixing ratio of the titanium dioxide raw material and the dispersion medium is more preferably a mass ratio, for example, 50:50.
  • various crystal phases TiOx (1 ⁇ x ⁇ 2), for example, Ti 2 O 3 , Ti 3 O 5 , Ti, and the like can be obtained by changing the optimum amount of water added to produce the slurry. 4 O 7 etc.) is controlled, the amount of water added is preferably set in advance by experiments or the like for each of various crystal phases. Since the dispersion medium and water reduce titanium dioxide, the mass ratio of the titanium dioxide raw material and the dispersion medium and the amount of added water are appropriately changed so that nonstoichiometric titanium oxide is generated. A slurry is prepared.
  • one or a mixture of two or more selected from the group consisting of a surfactant, a polymer, and a coupling agent may be added.
  • a surfactant for example, sorbitan fatty acid ester which is a nonionic surfactant is used.
  • ammonium polyacrylate is used as the polymer.
  • a silane coupling agent for example, a silane coupling agent or the like is used.
  • the slurry 26 adjusted as described above is put in the container 14b of the material supply apparatus 14 shown in FIG. 1 and stirred by the stirrer 14c. Thereby, the titanium dioxide raw material in the dispersion medium is prevented from precipitating, and the slurry 26 in a state where the titanium dioxide raw material is dispersed in the dispersion medium is maintained.
  • the slurry 26 may be continuously prepared by supplying the titanium dioxide raw material, the dispersion medium, and water to the material supply device 14.
  • step S12 the slurry 26 is made into droplets and supplied into the thermal plasma flame 24 that does not contain oxygen.
  • the slurry 26 is formed into droplets by using the two-fluid nozzle mechanism of the supply pipe 14 a of the material supply device 14, and the slurry 26 that is formed into droplets is supplied into the plasma torch 12, thereby generating in the plasma torch 12. Supplied in the thermal plasma flame 24, the carbon is generated without burning the dispersion medium.
  • the oxygen-free thermal plasma flame 24 evaporates the slurry 26 that has been made into droplets, decomposes and evaporates without burning the dispersion medium, and generates carbon. At this time, water is also decomposed into hydrogen and oxygen. Further, the thermal plasma flame 24 reduces the titanium dioxide raw material by its temperature and generated carbon, and further controls the reduction by oxygen generated from water to make non-stoichiometric titanium oxide. For this reason, the temperature of the thermal plasma flame 24 needs to be higher than the temperature at which the titanium dioxide raw material contained in the slurry is reduced by carbon. On the other hand, the higher the temperature of the thermal plasma flame 24, the easier the titanium dioxide raw material is reduced. However, the temperature is not particularly limited and may be appropriately selected according to the temperature at which the titanium dioxide raw material is reduced.
  • the temperature of the thermal plasma flame 24 can be set to 2000 ° C., and it is theoretically considered to reach about 10000 ° C.
  • the temperature of the thermal plasma flame 24 is preferably set to 4000 to 10000 ° C., for example.
  • the pressure atmosphere in the plasma torch 12 that generates the thermal plasma flame 24 is preferably not more than atmospheric pressure.
  • the atmosphere at atmospheric pressure or lower is not particularly limited, but may be, for example, 5 Torr to 750 Torr.
  • the slurry 26 evaporates in the thermal plasma flame 24 not containing oxygen, and further, the carbon is obtained by being decomposed without burning the dispersion medium such as methanol. It is preferable that the amount of the dispersion medium in the slurry 26 is adjusted so that a large amount of the carbon is generated as compared with the titanium dioxide raw material.
  • step S14 carbon thus generated in the thermal plasma flame 24 and titanium dioxide are reacted to generate non-stoichiometric titanium oxide.
  • the carbon generated in the thermal plasma flame 24 reacts with the titanium dioxide raw material, and titanium dioxide is reduced to nonstoichiometric titanium oxide. Further, the reduction is controlled by oxygen generated from water to form nonstoichiometric titanium oxide.
  • step S16 the non-stoichiometric titanium oxide produced in step S14 is rapidly cooled to produce non-stoichiometric titanium oxide fine particles (primary fine particles) 15.
  • the non-stoichiometric titanium oxide generated in step S14 is rapidly cooled by the gas injected in the direction indicated by the arrow Q through the gas injection port 28a and rapidly cooled in the chamber 16, whereby the non-stoichiometric titanium oxide is separated from the non-stoichiometric titanium oxide.
  • the primary fine particles 15 are obtained.
  • the amount of gas injected from the gas injection port 28a needs to be a supply amount sufficient to rapidly cool the non-stoichiometric titanium oxide fine particles 15 in the process of generating the primary fine particles 15.
  • the primary fine particles 15 are classified at an arbitrary classification point by the downstream cyclone 19 together with the amount of gas injected from the gas injection port 28b and further the amount of gas supplied into the thermal plasma flame 24 described later. It is preferable that the flow rate is as high as possible and the amount does not hinder the stability of the thermal plasma flame 24.
  • the combined amount of gas injected from the gas injection port 28a and the amount of gas injected from the gas injection port 28b is 200% to 5000% of the gas supplied into the thermal plasma flame 24. It is good to do.
  • the gas supplied into the above-described thermal plasma flame is a combination of a plasma gas that forms a thermal plasma flame, a central gas that forms a plasma flow, and a spray gas.
  • the above-described supply method and supply position of the injected gas are not particularly limited.
  • a gas is injected by forming a circumferential slit in the top plate 17, but a method that can reliably supply gas on the path from the thermal plasma flame to the cyclone.
  • Other methods and positions may be used as long as they are positions.
  • the primary fine particles 15 made of non-stoichiometric titanium oxide finally generated in the chamber 16 are blown from the inlet pipe 19a of the cyclone 19 along the inner peripheral wall of the outer cylinder 19b together with the air current.
  • a swirl flow is formed and descends.
  • this swirling flow is further accelerated at the inner peripheral wall of the truncated cone part 19c, then reverses, becomes an upward flow, and is discharged out of the system from the inner pipe 19e.
  • a part of the airflow is reversed at the inner peripheral wall of the truncated cone part 19c before flowing into the coarse particle recovery chamber 19d, and is discharged out of the system from the inner pipe 19e.
  • Centrifugal force is applied to the primary fine particles 15 made of non-stoichiometric titanium oxide by a swirling flow, and coarse particles of the primary fine particles 15 move in the wall direction due to the balance between centrifugal force and drag force. Further, among the primary fine particles 15, particles separated from the air flow descend along the side surface of the truncated cone part 19c and are collected in the coarse particle collection chamber 19d.
  • the fine particles to which the centrifugal force is not sufficiently applied are discharged out of the system as non-stoichiometric titanium oxide fine particles (secondary fine particles) 18 from the inner tube 19e together with the reverse airflow on the inner peripheral wall of the truncated cone part 19c.
  • the flow velocity of the airflow into the cyclone 19 at this time is preferably 10 m / sec or more.
  • the discharged non-stoichiometric titanium oxide fine particles (secondary fine particles) 18 are sucked by the negative pressure (suction force) from the collecting unit 20 as shown by an arrow U in FIG. 4, and are collected into the collecting unit 20 through the inner tube 19e. It is sent and collected by the filter 20b of the collection unit 20.
  • the internal pressure in the cyclone 19 is preferably not more than atmospheric pressure.
  • the particle diameter of the non-stoichiometric titanium oxide fine particles (secondary fine particles) 18 is defined as an arbitrary particle size at the nanosize level according to the purpose.
  • nano-sized nonstoichiometric titanium oxide fine particles can be obtained.
  • the number of cyclones used is not limited to one and may be two or more.
  • the non-stoichiometric titanium oxide fine particles produced by the method for producing non-stoichiometric titanium oxide fine particles of the present embodiment have a narrow particle size distribution width, that is, a uniform particle size and almost no inclusion of coarse particles of 1 ⁇ m or more.
  • nano-sized non-stoichiometric titanium oxide fine particles having a specific surface area value of 10 to 100 m 2 / g are preferable.
  • the liquid (carbon-containing dispersion medium) is used as the carbon source used for the reduction of the titanium dioxide raw material powder, and the others are water, the titanium dioxide raw material is easily against the thermal plasma flame. It can be supplied uniformly. Furthermore, since the carbon source is a liquid, it is easily decomposed compared to a solid carbon source such as graphite, and the titanium dioxide raw material can be efficiently reacted with carbon. Thereby, the reaction efficiency of the titanium dioxide raw material to non-stoichiometric titanium oxide is increased, and non-stoichiometric titanium oxide fine particles can be produced with high productivity.
  • the non-stoichiometric titanium oxide fine particles can be classified by a cyclone provided in the apparatus by supplying gas and arbitrarily controlling the flow rate in the apparatus. .
  • coarse particles can be separated at an arbitrary classification point by changing the gas flow rate or the cyclone inner diameter without changing the reaction conditions. Uniform, high-quality, high-purity non-stoichiometric titanium oxide fine particles can be produced with high productivity.
  • the residence time becomes long and the non-stoichiometric titanium oxide fine particles are cooled in the cyclone. It is no longer necessary to provide the fins and cooling passages. Therefore, it is not necessary to stop the operation of the apparatus for removing the fine particles accumulated in the fins, and the operation time of the apparatus can be extended. Furthermore, the cooling effect can be further enhanced by employing a water-cooled jacket structure for the entire cyclone.
  • the fine particle production apparatus 10 that performs the method for producing the non-stoichiometric titanium oxide fine particles of the present embodiment includes the gas supply device 28 whose main purpose is to rapidly cool a mixture containing non-stoichiometric titanium oxide in a gas phase state. It is characterized by providing.
  • the gas sent from the gas supply source 28 d to the gas injection port 28 a via the gas pipe 28 e and the air passage 17 d of the top plate 17 is in a gas phase state in the thermal plasma flame 24.
  • a predetermined supply amount and toward the tail portion (terminal portion) of the thermal plasma flame Injected at a predetermined angle In order to quench the non-stoichiometric titanium oxide-containing mixture, as described above, in the direction indicated by the arrow Q in FIG. 1 and FIG. 3, a predetermined supply amount and toward the tail portion (terminal portion) of the thermal plasma flame Injected at a predetermined angle.
  • the predetermined supply amount As described above, the amount generated for quenching the gas phase non-stoichiometric titanium oxide-containing mixture (hereinafter simply referred to as the mixture), for example, forms a space necessary for quenching the gas phase mixture.
  • the average flow velocity (in-chamber flow velocity) of the gas supplied into the chamber 16 is preferably 0.001 to 60 m / sec, and more preferably 0.5 to 10 m / sec. This is a gas supply amount sufficient to rapidly cool the gas phase mixture sprayed and evaporated in the thermal plasma flame 24 to generate fine particles, and to prevent aggregation due to collision between the generated fine particles.
  • This supply amount is sufficient to rapidly cool and solidify the gas phase mixture, so that the non-stoichiometric titanium oxide fine particles immediately after solidification and coagulation do not collide with each other.
  • the amount needs to be sufficient to dilute the gas phase mixture, and the value should be determined appropriately depending on the shape and size of the chamber 16. However, this supply amount is preferably controlled so as not to hinder the stability of the thermal plasma flame.
  • FIG. 6A shows a vertical cross-sectional view passing through the central axis of the top plate 17 of the chamber 16, and FIG. 6B shows a view of the top plate 17 as viewed from below.
  • FIG. 6B shows a direction perpendicular to the cross section shown in FIG.
  • the point X shown in FIGS. 6A and 6B indicates that the gas sent from the gas supply source 28d (see FIG. 1) via the air passage 17d is transferred from the gas injection port 28a to the inside of the chamber 16. It is an injection point which is injected into Actually, since the gas injection port 28a is a circumferential slit, the gas at the time of injection forms a belt-like airflow. Therefore, the point X is a virtual emission point.
  • the center of the opening of the air passage 17d in the vertical direction in the figure is the origin, the vertical upper direction is 0 °, and the paper is counterclockwise in the positive direction, and is indicated by an arrow Q.
  • the angle of the gas ejected from the gas ejection port 28a in the direction is represented by an angle ⁇ .
  • This angle ⁇ is an angle with respect to the direction from the initial part to the tail part (terminal part) of the thermal plasma flame 24 described above.
  • the angle of the gas ejected from the gas ejection port 28a in the direction indicated by the arrow Q in the plane direction perpendicular to the direction from the first part to the tail part (terminal part) of the flame 24 is represented by an angle ⁇ .
  • This angle ⁇ is an angle with respect to the center portion of the thermal plasma flame 24 in the plane perpendicular to the direction from the initial portion to the tail portion (terminal portion) of the thermal plasma flame 24 described above.
  • the gas phase mixture is rapidly cooled by the gas injected toward the thermal plasma flame 24 at a predetermined supply amount and a predetermined angle, and fine particles 15 are generated.
  • the gas injected into the chamber 16 at the predetermined angle described above does not necessarily reach the tail of the thermal plasma flame 24 at the injected angle due to the influence of turbulent flow generated inside the chamber 16.
  • the above-mentioned angle may be determined experimentally in consideration of conditions such as the size of the apparatus and the size of the thermal plasma flame.
  • the gas injected into the gas dilutes the fine particles 15 to prevent the fine particles from colliding with each other and aggregating.
  • the gas injected from the gas injection port 28a rapidly cools the above-mentioned gas phase mixture, and further prevents the generated non-stoichiometric titanium oxide fine particles from agglomerating, whereby the non-stoichiometric titanium oxide fine particles have a particle diameter. It acts on both sides of making the particle size of the non-stoichiometric titanium oxide fine particles uniform.
  • the gas injected from the gas injection port 28 a has a considerable adverse effect on the stability of the thermal plasma flame 24.
  • the gas injection port 28a in the fine particle manufacturing apparatus 10 of the present embodiment is a circumferentially formed slit, and the amount of gas supply can be adjusted by adjusting the slit width. Since a uniform gas can be injected in the central direction, it can be said that it has a preferable shape for stabilizing the thermal plasma flame. This adjustment can also be performed by changing the supply amount of the injected gas.
  • Example 1 the mass ratio (percentage) between titanium dioxide powder as a raw material and alcohol as a carbon-containing dispersion medium is 50%: 50% using the fine particle production apparatus 10 shown in FIG.
  • titanium dioxide powder is dispersed in alcohol to form a slurry, and the water has a mass ratio of water to the total mass of titanium dioxide and alcohol of 78.4%: 21.6% (mass ratio of alcohol to water).
  • a slurry 26 in which the amount of water was adjusted by adding (alcohol / water) to 1.82) was prepared.
  • the titanium dioxide powder used as a raw material had an average particle size of 4 ⁇ m. Ethanol was used as the alcohol.
  • Table 1 shows the raw material mixing ratio of the slurry 26 of Example 1 thus obtained.
  • a high frequency voltage of about 4 MHz and about 80 kVA is applied to the high frequency oscillation coil 12b of the plasma torch 12, and the plasma gas supply source 22 generates a plasma gas.
  • Argon gas (Ar) and hydrogen gas (H 2 ) were supplied to generate a thermal plasma flame 24 in the plasma torch 12.
  • the ratio of hydrogen gas and argon gas in the plasma gas of the thermal plasma flame 24 was adjusted so that the amount of hydrogen gas was 0 to 20 vol% with respect to the amount of argon gas.
  • the supply amount of plasma gas was adjusted to 10 to 300 liters / min for argon gas.
  • the slurry 26 obtained in this example was supplied into the thermal plasma flame 24 containing no oxygen in the plasma torch 12 in the form of droplets together with argon gas, which is a spray gas.
  • argon gas was supplied at 10 liters / min from the spray gas supply source 14e of the material supply device 14 as the spray gas.
  • carbon generated without burning from the alcohol in the slurry 26 supplied in droplets in the thermal plasma flame 24 and the titanium dioxide raw material in the slurry 26 are reacted in part to be indefinitely reduced.
  • a specific titanium oxide is generated, and the generated non-stoichiometric titanium oxide is supplied from the gas supply device 28 and rapidly cooled in the chamber 16 by the gas injected from the gas injection port 28a, and is composed of primary non-stoichiometric titanium oxide. Fine particles 15 were obtained.
  • argon gas was used as the gas supplied into the chamber 16 by the gas supply device 28.
  • the flow rate in the chamber 16 at this time was 5 m / sec, and the supply amount was 1 m 3 / min.
  • the primary fine particles 15 of non-stoichiometric titanium oxide thus obtained are introduced into a cyclone 19, coarse particles are removed, and nano-sized non-stoichiometric titanium oxide 2 having a specific surface area value of 52.8 m 2 / g is obtained.
  • Non-stoichiometric titanium oxide fine particles 18 as secondary fine particles were obtained.
  • the pressure in the cyclone 19 was 50 kPa, and the supply speed of fine particles from the chamber 16 to the cyclone 19 was 10 m / sec (average value).
  • XRD X-ray diffraction
  • FIG. 8 shows the crystal of each crystal phase of four kinds of non-stoichiometric titanium oxide Ti 4 O 7 , Ti 3 O 5 , Ti 2 O 3 , and TiO specified by the PDF number of ICSD (inorganic crystal structure database). The peak position of the structural analysis result is shown. Further, the non-stoichiometric titanium oxide fine particles 18 of Example 1 were molded into a 50 MPa compact molded product, and the sheet resistance was measured. As a result, the sheet resistance was 0.258 ⁇ 10 5 ⁇ / ⁇ .
  • Example 2 As in Example 1, using the fine particle production apparatus 10 shown in FIG. 1, the mass ratio of water to the total mass of titanium dioxide and alcohol is 80%: 20% (the mass ratio of alcohol to water (alcohol / water) is The slurry 26 of Example 2 in which the water content was adjusted was produced in the same manner as in Example 1 except that the amount was 2.00). The slurry 26 of Example 2 obtained in this way is supplied into the thermal plasma flame 24 that does not contain oxygen in the plasma torch 12 of the fine particle production apparatus 10 in the same manner as in Example 1, and is rapidly cooled in the chamber 16.
  • Example 2 which are secondary fine particles of non-stoichiometric titanium oxide of size, were obtained.
  • the crystal structure of the non-stoichiometric titanium oxide fine particles 18 obtained in Example 2 thus obtained was examined in the same manner as in Example 1 by using X-ray diffraction (XRD). The result is shown in FIG.
  • the sheet resistance of the 50 MPa compact molded product of the non-stoichiometric titanium oxide fine particles 18 of Example 2 in the same manner as in Example 1 was 0.820 ⁇ 10 4 ⁇ / ⁇ . .
  • Example 3 Similarly to Example 1, the fine particle production apparatus 10 shown in FIG. 1 was used, and the mass ratio of water to the total mass of titanium dioxide and alcohol was 86.4%: 13.6% (mass ratio of alcohol to water (alcohol).
  • the slurry 26 of Example 3 in which the water content was adjusted was prepared in the same manner as in Example 1 except that the addition was performed so that / water) was 3.17). From the thus obtained slurry 26 of Example 3, in the same manner as in Example 1, using the fine particle production apparatus 10, nano-sized non-stoichiometric titanium oxide having a specific surface area value of 58.7 m 2 / g and a uniform particle size was obtained. The non-stoichiometric titanium oxide fine particles 18 of Example 3 were obtained.
  • Example 7 shows the measurement result of the crystal structure of the non-stoichiometric titanium oxide fine particles 18 of Example 3 obtained in this way. Moreover, as a result of measuring the sheet resistance of the 50 MPa compact molded product of the non-stoichiometric titanium oxide fine particles 18 of Example 2 in the same manner as in Example 1, the sheet resistance was 1.632 ⁇ 10 2 ⁇ / ⁇ . .
  • Example 4 As in Example 1, the fine particle production apparatus 10 shown in FIG. 1 was used, and the mass ratio of water to the total mass of titanium dioxide and alcohol was 87%: 13% (the mass ratio of alcohol to water (alcohol / water) was The slurry 26 of Example 4 in which the water content was adjusted was produced in the same manner as in Example 1 except that it was added so as to be 3.33). From the slurry 26 of Example 4 obtained in this manner, in the same manner as in Example 1, using the fine particle production apparatus 10, nano-sized non-stoichiometric titanium oxide having a specific surface area of 71.8 m 2 / g and a uniform particle size was obtained. The non-stoichiometric titanium oxide fine particles 18 of Example 4 were obtained. FIG. 7 shows the measurement result of the crystal structure of the non-stoichiometric titanium oxide fine particles 18 of Example 4 obtained in this way.
  • Example 1 non-stoichiometric titanium oxide (TiOx (1 ⁇ x ⁇ 2)) fine particles produced with almost no titanium carbide (TiC) produced were obtained.
  • the sheet resistance is high in Example 3 where the amount of water added is small, the sheet resistance is low in Example 2 where the amount of water added is larger than that in Example 3, and the sheet resistance is high in Example 1 where the amount of water added is the largest. Is the lowest. That is, it can be seen that the sheet resistance can be lowered by increasing the amount of water added.
  • the degree of redox of the non-stoichiometric titanium oxide fine particles produced by using a slurry prepared by adding water to a slurry obtained by mixing a titanium dioxide raw material with alcohol It can be seen that the sheet resistance of the produced nonstoichiometric titanium oxide fine particles can be reduced. Also, in the examples of the present invention, the degree of redox of the non-stoichiometric titanium oxide fine particles produced is adjusted according to the amount of added water by adjusting the amount of water used when preparing the slurry. It can be seen that the sheet resistance of the produced nonstoichiometric titanium oxide fine particles can be changed. From the above, the effect of the present invention is clear.
  • Fine particle manufacturing apparatus 10 Fine particle manufacturing apparatus 12 Plasma torch 12a Quartz tube 12b High frequency oscillation coil 12c Plasma gas supply port 14 Material supply apparatus 14a Supply pipe 14b Container 14c Stirrer 14d Pump 14e Spray gas supply source 14f Slurry piping 14g, 22c, 28e Gas piping 151 Secondary particulate 16 chamber 16a inner wall (inner wall) 17 Top plate 17a Inner side top plate component 17b Outer side top plate component 17c Upper outer side top plate component 17d Air passage 18 Fine particles (secondary fine particles) 19 Cyclone 19a Inlet pipe 19b Outer cylinder 19c Frustum 19d Coarse particle recovery chamber 19e Inner pipe 20 Recovery part 20a Recovery chamber 20b Filter 20c Pipe 22 Plasma gas supply source 22a, 22b High-pressure gas cylinder 24 Thermal plasma flame 26 Slurry 28 Gas supply device 28a Gas injection port 28b Gas injection port 28c Compressor 28d Gas supply source 28e Tube

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Abstract

本発明は、不定比酸化チタン（ＴｉＯｘ）微粒子、特に、二酸化チタン（ＴｉＯ２）を、炭素源を含む液体状の物質に分散させ、更に水を添加してスラリーにし、スラリーを液滴化させて酸素を含まない熱プラズマ炎中に供給し、熱プラズマ炎で生成された物質中の炭素と二酸化チタンとを反応させて不定比酸化チタンを生成し、生成された不定比酸化チタンを急冷して不定比酸化チタン微粒子を生成することにより、高純度でナノサイズの不定比酸化チタン微粒子を製造することができ、不定比酸化チタン微粒子の酸化還元度合いを調整することができる不定比酸化チタン微粒子の製造方法を提供する。

Description

不定比酸化チタン微粒子の製造方法
　本発明は、不定比酸化チタン（ＴｉＯｘ：１＜ｘ＜２）微粒子の製造方法に関し、特に、二酸化チタン（ＴｉＯ２）を原料に用い、熱プラズマを用いてナノサイズの不定比酸化チタン微粒子を製造する製造方法に関する。
　現在、酸化物微粒子、窒化物微粒子、及び炭化物微粒子等の微粒子は、半導体基板、プリント基板、各種電気絶縁部品等の電気絶縁材料、切削工具、ダイス、軸受等の高硬度高精度の機械工作材料、粒界コンデンサ、湿度センサ等の機能性材料、及び精密焼結成形材料等の焼結体の製造、エンジンバルブ等の高温耐摩耗性が要求される材料等の溶射部品製造、更には燃料電池の電極、電解質材料及び各種触媒等の製造の分野に用いられている。
　最近、上述の微粒子の中で、還元型チタン酸化物が注目されている。還元型チタン酸化物とは、ＴｉＯ２（二酸化チタン）と異なるものであり、ＴｉｎＯ２ｎ－１のマグネリ相と呼ばれるｎ＝４～∞の亜量論酸化物相、Ｔｉ３Ｏ５相、Ｔｉ２Ｏ３相、又はＴｉＯ相等の不定比酸化チタンを指す。
　還元型チタン酸化物は、ＴｉＯ２に比して、可視光の吸収の点のみならず、電子伝導性も優れているため、電極及び導電性フィラーとしての応用も充分に期待されている。
　本出願人は、このような不定比酸化チタン等の不定比酸化物のナノサイズの微粒子を、熱プラズマを用い、短時間で、かつ高い純度で製造することができる不定比酸化物粒子の製造方法を特許文献１に提案している。
　特許文献１では、例えば、不定比酸化チタン微粒子を製造する際には、二酸化チタン（ＴｉＯ２）等のチタン酸化物粉末と、チタン金属粉末、水素化チタン等の酸素以外の元素のチタン化合物の粉末、及び不定比酸化チタン粉末のうちの少なくとも１つの粉末とを、それぞれ、又は予め混合した状態で、熱プラズマ炎中に供給している。
　特許文献１では、原料として、チタン酸化物粉末と、チタン金属粉末、酸素を含まないチタン化合物粉末及び不定比酸化チタン粉末の少なくとも１つとの少なくとも２種類の粉末を用い、金属元素として不定比酸化チタン微粒子を構成するチタン以外の金属元素を用いないため、高い純度の不定比酸化チタン微粒子を得ることができるとしている。
特開２０１４－１４４８８４号公報
　ところで、特許文献１に開示の技術では、金属元素としてチタン以外の金属元素を用いないため、高い純度の不定比酸化チタン微粒子を得ることができるが、原料として、チタン酸化物粉末と、チタン金属粉末、及び／又は他のチタン化合物粉末との少なくとも２種類の粉末を準備する必要があるという問題があった。
　また、特許文献１に開示の技術では、このように少なくとも２種類のチタン含有粉末を用いるので、少なくとも２種類の粉末の組み合わせで、不定比酸化チタン微粒子の酸化・還元の度合いが決まってしまい、自由に調整ができないという問題があった。
　このため、特許文献１に開示の技術では、複数相の不定比酸化チタン微粒子、即ち混晶の微粒子が生成され、均一な単相の不定比酸化チタン微粒子を得ることは難しいという問題があった。
　本発明の目的は、上記従来技術の問題点を解消し、酸化チタン粉末、特に二酸化チタン（ＴｉＯ２）粉末を原料に用い、熱プラズマを用いて高純度でナノサイズの不定比酸化チタン微粒子（ＴｉＯｘ）を製造することができ、製造される不定比酸化チタン微粒子の酸化還元度合いを調整することができる不定比酸化チタン微粒子の製造方法を提供することにある。
　上記目的を達成するために、本発明は、二酸化チタンを用いて不定比酸化チタン微粒子を製造する方法であって、二酸化チタンの粉末を、炭素源を含む液体状の物質に分散させ、さらに、水を添加してスラリーにし、スラリーを液滴化させて酸素を含まない熱プラズマ炎中に供給し、熱プラズマ炎で生成された物質中の炭素、即ち物質から生成された炭素と二酸化チタンとを反応させて不定比酸化チタンを生成し、生成された不定比酸化チタンを急冷して不定比酸化チタン微粒子を生成する不定比酸化チタン微粒子の製造方法を提供するものである。
　ここで、二酸化チタンの粉末の量は、二酸化チタンの粉末と炭素源を含む液体状の物質の総量に対して１０～６５質量％であり、炭素源を含む液体状の物質の量は、二酸化チタンの粉末と炭素源を含む液体状の物質の総量に対して９０～３５質量％であり、水の量は、二酸化チタンの粉末と炭素源を含む液体状の物質の総量に対して５～４０質量％であることが好ましい。
　また、水の添加量を調整して、製造される不定比酸化チタン微粒子の酸化・還元度合いを調整することが好ましい。
　また、炭素源を含む液体状の物質は、アルコール、ケトン、ケロシン、オクタンまたはガソリンであることが好ましい。
　また、熱プラズマ炎は、水素、ヘリウム及びアルゴンの少なくとも１つのガスに由来するものであることが好ましい。
　本発明によれば、酸化チタン粉末、特に二酸化チタン（ＴｉＯ２）粉末を原料に用い、熱プラズマを用いて、炭素源を含む液体状の物質から生成された炭素を還元剤として機能させることにより、高純度でナノサイズの不定比酸化チタン微粒子（ＴｉＯｘ）を製造することができる。
　また、本発明によれば、熱プラズマを用いることにより、原料である酸化チタン粉末にナノサイズの粒子を用いることなく、また、製造に数日要することもなく、ナノサイズの不定比酸化チタン微粒子を得ることができる。更に、本発明によれば、純度の高い、２００ｎｍ未満のナノサイズの不定比酸化チタン微粒子を得ることができる。
　なお、本発明においては、原料にナノサイズの粒子を用いることがないため、生産性が低下することもない。
　また、本発明によれば、不定比酸化チタン微粒子を製造する際に、酸化チタン粉末と炭素源を含む液体状の物質をスラリー化する際に添加する水の量を調整することにより、製造される不定比酸化チタン微粒子の酸化還元度合いを容易に調整することができる。
本発明の実施形態に係る不定比酸化チタン微粒子の製造方法を実施するための微粒子製造装置の全体構成を示す模式図である。 図１中のプラズマトーチ付近を拡大して示す断面図である。 図１中のチャンバの天板及びこの天板に備えられた気体射出口付近を拡大して示す断面図である。 図１中のサイクロンを拡大して示す断面図である。 本発明の実施形態の不定比酸化チタン微粒子の製造方法を示すフローチャートである。 射出される気体の角度を示す説明図であり、（ａ）はチャンバの天板の中心軸を通る垂直方向の断面図であり、（ｂ）は天板を下方から見た下面図である。 本発明の実施例の不定比酸化チタン微粒子のＸ線回折法による結晶構造の解析結果を示すグラフである。 ４種の不定比酸化チタンの各結晶相のリファレンスを示すグラフである。
　以下に、添付の図面に示す好適実施形態に基づいて、本発明の不定比酸化チタン微粒子の製造方法を詳細に説明する。
　本発明において、不定比酸化チタンとは、一般的には、不定比化合物であるようなチタン酸化物のことである。不定比化合物とは、定比組成からのずれ(不定比性)を示す化合物のことである。なお、不定比酸化チタンは、亜酸化チタンともいう。
　したがって、本発明では、不定比酸化チタン微粒子として、酸素が定比組成（ＴｉＯ２）から少ないＴｉＯｘ（１＜ｘ＜２）粒子を挙げることができる。原料としては、二酸化チタン（ＴｉＯ２）の粉末を用いることができる。
　ここで、二酸化チタン（ＴｉＯ２）は、耐食性に優れ、かつ絶縁性を有する。一方、不定比酸化チタン（ＴｉＯｘ（１＜ｘ＜２））は、耐食性に優れ、かつ導電性を有し、しかも可視光を吸収する。このように、本発明では、二酸化チタンとは性質の異なる不定比酸化チタンの微粒子が得られる。
　本発明では、二酸化チタンの粉末のみを用いており、不定比酸化チタン微粒子を構成するチタン以外の金属元素を用いないため、高い純度の不定比酸化チタン微粒子を得ることができる。
　熱プラズマ炎を用いた熱プラズマ法では、一般的に、熱プラズマ炎に供給する原料粉末の粒径が１００μｍ程度であっても、粒径が２００ｎｍ未満のナノサイズの粒子が得られることが知られている。このため、本発明でも、原料粉末として１００μｍ程度の粒径の二酸化チタンの粉末を用いても、粒径が２００ｎｍ未満の不定比酸化チタン微粒子が得られる。なお、本発明の不定比酸化チタン微粒子は粒径が２００ｎｍ未満であるが、不定比酸化チタン微粒子の粒径は５～１００ｎｍであることがより好ましい。
　このように、本発明では、原料である二酸化チタンの粉末について、原料としてナノサイズの粒子を用いなくても、ナノサイズの不定比酸化チタン微粒子が得られるため、扱いが難しいナノサイズの粒子を用いて生産性が低下することもない。
　原料である二酸化チタンの粉末の粒径は、１～１００μｍであることが好ましい。二酸化チタンの粉末は、その粒径が１μｍ未満ではハンドリングが難しくなる。一方、二酸化チタンの粉末は、その粒径が１００μｍを超えると熱プラズマ処理の際に蒸発しない量が多くなる。
　ここで、本発明において、粒径とは、比表面積測定から換算して求めた値である。
　なお、不定比酸化チタン微粒子の粒子サイズをナノサイズ化することにより発現する特性としては、樹脂またはガラス等に分散させた場合に透過性が向上する。これ以外に、ナノサイズ化で発現する特性としては、熱伝導率の低下、および比表面積の増加等がある。
　また、粒径が２００ｎｍ未満の不定比酸化チタン微粒子の用途としては、例えば、熱線遮蔽材料、熱電素子、並びに触媒及び担持材が例示される。
　本発明では、二酸化チタンの粉末が炭素源を含む液体状の物質に分散され、さらに水を添加されたスラリーを液滴化させて酸素を含まない熱プラズマ炎中に供給した際に、熱プラズマ炎で液体状の物質から生成された炭素が、二酸化チタンの粉末に対して還元剤として働き、熱プラズマ炎により、二酸化チタンの粉末が一部還元され、不定比の酸化物となる。熱プラズマ炎には酸素が含まれていないために、生成された炭素は二酸化チタンの粉末の酸素と結合することにより、定比の酸化物である二酸化チタンから酸素が奪われて不定比の酸化物となる。このようにして、二酸化チタンの粉末から、不定比酸化チタン微粒子が生成されることになる。
　また、本発明において用いられる二酸化チタンの粉末は、主要な成分として二酸化チタンの粉末を含み、不定比酸化チタン微粒子を製造できれば、二酸化チタン以外の酸化チタンの粉末を含むものであっても良い。
　ここで、本発明に用いられる熱プラズマ炎は、酸素を含まない熱プラズマ炎であるが、不定比酸化チタン微粒子の製造において、熱プラズマ炎で炭素源を含む液体状の物質から生成された炭素が、二酸化チタンを還元して不定比酸化チタン微粒子を製造できるだけの量が確保されるのであれば、熱プラズマ炎は酸素を含むものであってもよい。また、熱プラズマ炎は酸素を全く含まないものであることが好ましいのはもちろんである。ここで、熱プラズマ炎が酸素を含むとは、プラズマガスに酸素ガスや空気等の酸素を含むガスを一部または全部に用いた熱プラズマ炎のことであり、一方、熱プラズマ炎が酸素を含まないとは、プラズマガスに酸素ガスや空気等の酸素を含むガスを一部または全部に用いない熱プラズマ炎のことである。
　以下に、本発明に係る不定比酸化チタン微粒子の製造方法について説明する。
　図１は、本発明の実施形態に係る不定比酸化チタン微粒子の製造方法を実施するための微粒子製造装置の全体構成を示す模式図である。図２は、図１中に示したプラズマトーチ付近の部分拡大図である。図３は、図１中に示したチャンバの天板、及びこの天板に備えられた２種類の気体射出口付近を拡大して示す断面図である。また、図４は、サイクロンを拡大して示す断面図である。
　図１に示す微粒子製造装置１０は、熱プラズマを発生させるプラズマトーチ１２と、二酸化チタン（ＴｉＯ２）の粉末を、後述するように、スラリー状にしてプラズマトーチ１２内へ供給する材料供給装置１４と、不定比酸化チタン（ＴｉＯｘ（１＜ｘ＜２））の微粒子（１次微粒子）１５を生成させるための冷却槽としての機能を有するチャンバ１６と、生成された１次微粒子１５から任意に規定された粒径以上の粒径を有する粗大粒子を除去するサイクロン１９と、サイクロン１９により分級された所望の粒径を有する不定比酸化チタン（ＴｉＯｘ）微粒子（２次微粒子）１８を回収する回収部２０と、を有する。
　本実施形態においては、二酸化チタンの粉末（以下、二酸化チタン原料ともいう）を、炭素源を含む液体状の物質（以下、炭素含有分散媒、又は単に分散媒ともいう）に分散させて、更に水を加えてスラリー状にしたスラリーを用いて、微粒子製造装置１０によりナノサイズの不定比酸化チタン微粒子が製造される。
　図２に示すプラズマトーチ１２は、石英管１２ａと、その外側を取り巻く高周波発振用コイル１２ｂとで構成されている。プラズマトーチ１２の上部には、後述するように、スラリー２６の供給管１４ａがその中央部に設けられており、プラズマガス供給口１２ｃがその周辺部（同一円周上）に形成されている。
　プラズマガスは、プラズマガス供給源２２からプラズマガス供給口１２ｃ（図２参照）へ送り込まれる。
　本実施形態においては、後述する熱プラズマ炎２４中で、炭素含有分散媒を燃焼させることなく分解して炭素を発生させるために、プラズマガスには酸素を含まないものを用いることが好ましい。このプラズマガスとしては、例えば、水素ガス（Ｈ２）、ヘリウムガス（Ｈｅ）、アルゴンガス（Ａｒ）等が挙げられる。プラズマガスは、単体に限定されるものではなく、水素とアルゴン、ヘリウムとアルゴン、又は水素とヘリウムとアルゴンのように、これらプラズマガスを組み合わせて使用してもよい。
　プラズマガス供給源２２には、例えば水素、及びアルゴンの２種類のプラズマガスが準備される。プラズマガス供給源２２は、例えば水素、及びアルゴンを内部にそれぞれ貯蔵する高圧ガスボンベ２２ａ、及び２２ｂと、高圧ガスボンベ２２ａ、及び２２ｂをプラズマトーチ１２に接続するガス配管２２ｃとを有する。
　プラズマガスは、プラズマガス供給源２２も高圧ガスボンベ２２ａ、及び２２ｂから、ガス配管２２ｃ、及び図２に示すリング状のプラズマガス供給口１２ｃを介して、矢印Ｐで示されるようにプラズマトーチ１２内に送り込まれる。そして、高周波発振用コイル１２ｂに高周波電圧が印加されて、例えば、水素とアルゴンとの２種類のプラズマガスから酸素を含まない熱プラズマ炎２４が発生する。
　水素、及びアルゴンの２種類のプラズマガスを用いる場合、熱プラズマ炎２４のプラズマガスにおける水素、及びアルゴンの割合は、アルゴンの量に対して、水素の量を０～２０ｖｏｌ％とすることが好ましい。
　なお、この場合、プラズマガスの供給量ついては、アルゴンは１０～３００リットル／ｍｉｎとすることが好ましい。
　また、プラズマガス供給源２２から、プラズマガスとしてアルゴン、ヘリウム、及び水素を供給し、プラズマトーチ１２内に熱プラズマ炎２４を発生させる場合には、熱プラズマ炎２４のプラズマガスにおける水素、ヘリウム、アルゴンの割合は、ヘリウム及びアルゴンの総量に対して、水素の量を０～２０ｖｏｌ％とすることが好ましい。
　なお、この場合、プラズマガスの供給量ついては、アルゴンは１０～３００リットル／ｍｉｎとし、ヘリウムは５～３０リットル／ｍｉｎとすることが好ましい。
　また、本発明では、プラズマガスとしてヘリウム、及び水素の２種類を用いても良く、この場合には、ヘリウムの総量に対して水素の量を０～２０ｖｏｌ％とするのが良い。
　なお、石英管１２ａの外側は、同心円状に形成された管（図示されていない）で囲まれており、この管と石英管１２ａとの間に冷却水を循環させて石英管１２ａを水冷し、プラズマトーチ１２内で発生した熱プラズマ炎２４により石英管１２ａが高温になりすぎるのを防止している。
　図１に示すように、材料供給装置１４は、プラズマトーチ１２の上部に接続され、二酸化チタン原料を、炭素含有分散媒に混ぜ、更に水を加えて調製されたスラリー２６を材料供給装置１４からプラズマトーチ１２内へ均一に供給する。
　本発明においては、二酸化チタン原料を炭素含有分散媒に混ぜて得られたスラリーに水を加えて調整したスラリー２６を用いることにより、二酸化チタン原料と炭素含有分散媒とのスラリーを用いる場合に比べて、製造される不定比酸化チタン微粒子の酸化還元の程度を変えることができ、製造された不定比酸化チタン微粒子のシート抵抗を低下させることができる。
　更に、本発明においては、スラリー２６を作製する際の水の量を調整することにより、添加される水の量に応じて、製造される不定比酸化チタン微粒子の酸化還元の程度を調整することができ、製造された不定比酸化チタン微粒子のシート抵抗を変化させることができる。
　材料供給装置１４は、スラリー２６を液滴化してプラズマトーチ１２の内部に供給する供給管１４ａと、スラリー２６を入れる容器１４ｂと、容器１４ｂ中のスラリー２６を攪拌する攪拌機１４ｃと、供給管１４ａを介してスラリー２６に高圧をかけてプラズマトーチ１２内に供給するためのポンプ１４ｄと、スラリー２６をプラズマトーチ１２内へ噴霧するための噴霧ガスを供給する噴霧ガス供給源（高圧ガスボンベ）１４ｅと、容器１４ｂを、ポンプ１４ｄを介して供給管１４ａに接続するスラリー配管１４ｆと、噴霧ガス供給源（高圧ガスボンベ）１４ｅを供給管１４ａ近傍においてスラリー配管１４ｆに接続するガス配管１４ｇと、を有する。
　ここで、容器１４ｂに入れられるスラリー２６は、以下のようにして作製される。
　例えば、図示しない原料タンク等から所定量の二酸化チタン原料を、容器１４ｂ内に入れ、攪拌機１４ｃで撹拌しながら、炭素含有分散媒を図示しないタンクなどから少しずつ所定量混入して、二酸化チタン原料と炭素含有分散媒とをスラリー化し、この二酸化チタン原料と炭素含有分散媒とからなるスラリーに、水（例えば、水道水、図示しないタンク内の貯留水）を少しずつ所定量加えて、所望の状態のスラリー２６を作製する。
　もしくは、所定量の炭素含有分散媒を図示しないタンク等から容器１４ｂ内に入れ、攪拌機１４ｃで撹拌しながら、図示しない原料タンク等から二酸化チタン原料を少しずつ所定量混入して、二酸化チタン原料と炭素含有分散媒とをスラリー化し、この二酸化チタン原料と炭素含有分散媒とからなるスラリーに、水（例えば、水道水、図示しないタンク内の貯留水）を少しずつ所定量加えて、所望の状態のスラリー２６を作製しても良い。
　ここで、材料供給装置１４では、押し出し圧力がかけられた高圧噴霧ガスが、噴霧ガス供給源１４ｅからスラリー２６と共に、図２中に矢印Ｇで示されるように供給管１４ａを介してプラズマトーチ１２内の熱プラズマ炎２４中へ供給される。供給管１４ａは、スラリー２６をプラズマトーチ１２内の熱プラズマ炎２４中に噴霧し、液滴化するための二流体ノズル機構を有しており、これにより、スラリー２６をプラズマトーチ１２内の熱プラズマ炎２４中に噴霧する、即ち、スラリー２６を液滴化させることができる。噴霧ガスには、例えばアルゴン、ヘリウム、水素等が単独または適宜組み合わせて用いられる。
　このように、二流体ノズル機構は、スラリー２６に高圧をかけ、気体である噴霧ガスによりスラリー２６を液滴化して噴霧することができるので、スラリー２６を液滴化させるための一つの方法として用いられる。例えば、二流体ノズル機構のノズルに内径１ｍｍのものを用いた場合、供給圧力を０．２～０．３ＭＰａとして毎分２０ミリリットルでスラリー２６を流し、毎分１０～２０リットルで噴霧ガスを噴霧すると、約５～１０μｍ程度のスラリー２６の液滴が得られる。
　なお、本実施形態では、二流体ノズル機構を用いたが、一流体ノズル機構を用いてもよい。ここで、供給管１４ａにおいて、スラリー２６を液滴化できれば、噴霧ガスは、必ずしも供給しなくてもよい。
　さらに他の方法として、例えば回転している円板上にスラリーを一定速度で落下させて遠心力により液滴化する方法、スラリーの表面に高い電圧を印加して液滴化する方法等が考えられる。
　一方、図１に示すように、チャンバ１６がプラズマトーチ１２の下方に隣接して設けられている。プラズマトーチ１２内の熱プラズマ炎２４中に噴霧されたスラリー２６中の分散媒が熱プラズマ炎２４によって燃焼することなく分解されて発生した炭素により、二酸化チタン原料が一部還元されて不定比酸化チタンとなり、その直後に、この不定比酸化チタンがチャンバ１６内で急冷され、１次微粒子（不定比酸化チタン微粒子）１５が生成される。このように、チャンバ１６は、冷却槽としての機能を有する。
　また、本実施形態の微粒子製造装置１０は、不定比酸化チタン微粒子１５をより一層効率的に製造する方法の一つを実施するために、生成された不定比酸化チタン微粒子１５を急冷するための気体供給装置２８を備えている。以下、この気体供給装置２８について説明する。
　図１、図３に示す気体供給装置２８は、熱プラズマ炎２４の尾部（プラズマガス供給口１２ｃと反対側の熱プラズマ炎２４の端部、つまり、熱プラズマ炎２４の終端部）に向かって、所定の角度で気体を射出する気体射出口２８ａと、チャンバ１６の内壁（内側壁）１６ａに沿って上方から下方に向かって気体を射出する気体射出口２８ｂと、チャンバ１６内に供給される気体に押し出し圧力（例えば、高圧）をかけるコンプレッサ２８ｃと、チャンバ１６内に供給される上記気体の供給源（高圧ガスボンベ）２８ｄと、それらを接続するガス配管２８ｅと、を有する。なお、コンプレッサ２８ｃは、ブロアでもよい。
　なお、気体射出口２８ａから射出する気体は、後に詳述するように、チャンバ１６内で生成される１次微粒子１５を急冷する作用以外にも、気体射出口２８ｂから射出する気体とともに、サイクロン１９における１次微粒子１５の分級に寄与する等の付加的作用を有するものである。
　上述のコンプレッサ２８ｃと気体供給源２８ｄとは、ガス配管２８ｅを介してチャンバ１６の天板１７に接続されている。
　また、図３に示すように、気体射出口２８ａと気体射出口２８ｂとは、チャンバ１６の天板１７に形成されている。
　ここで、天板１７は、チャンバ１６の天井を覆う板状部材であって、中央に熱プラズマ炎２４を囲繞する貫通孔を備え、円錐台形状で上側の一部が円柱である内側部天板部品１７ａと、中央に円錐台形状の貫通孔を有する外側部天板部品１７ｂと、内側部天板部品１７ａを内蔵する貫通孔を備え、この貫通孔に沿って内側部天板部品１７ａを垂直に移動させる移動機構を有する円環状の上部外側部天板部品１７ｃを有する。
　天板１７の外側部天板部品１７ｂ及び上部外側部天板部品１７ｃには、ガス配管２８ｅと連通し、ガス配管２８ｅを介して送られる気体が通過するための通気路１７ｄが設けられている。通気路１７ｄは、チャンバ１６の天板１７の中央部分において内側部天板部品１７ａと外側部天板部品１７ｂとの間に所定角度傾斜して形成され、プラズマトーチ１２内の熱プラズマ炎２４の尾部に向かって所定の角度で気体を噴射するための気体射出口２８ａに連通すると共に、天板１７の縁部において、即ち外側部天板部品１７ｂの縁部に垂直下方に向かって形成され、チャンバ１６の内壁１６ａに沿って気体を噴射するための気体射出口２８ｂに連通する。
　ここで、内側部天板部品１７ａと上部外側部天板部品１７ｃとが接する部分（内側部天板部品１７ａでは上部の円柱部分）にはネジが切ってあり、内側部天板部品１７ａが、回転することで垂直方向に位置を変えることができ、内側部天板部品１７ａは、外側部天板部品１７ｂとの距離を調節できる。また、内側部天板部品１７ａの円錐台部分の勾配と、外側部天板部品１７ｂが有する貫通孔の円錐台部分の勾配は同一であり、お互いが向き合う構造になっている。
　したがって、気体射出口２８ａとは、内側部天板部品１７ａと外側部天板部品１７ｂとが形成した間隙、つまり、スリット幅が調節可能であって、天板１７と同心である円周状に形成されたスリットである。ここで、気体射出口２８ａは、熱プラズマ炎２４の尾部に向かって気体を射出することができる形状であればよく、上述のようなスリット形状に限定されるものではなく、例えば、円周上に多数の孔を配したものでもよい。
　ガス配管２８ｅを介して送られる気体は、上部外側部天板部品１７ｃの内部に設けられた通気路１７ｄを通過し、上述した内側部天板部品１７ａと外側部天板部品１７ｂとの間に形成されるスリットである気体射出口２８ａに送られる。気体射出口２８ａに送られた気体は、図１及び図３中の矢印Ｑで示される方向に、熱プラズマ炎の尾部（終端部）に向かって、前述のように、所定の供給量及び所定の角度で射出される。
　また、気体供給装置２８の気体射出口２８ｂは、天板１７の外側部天板部品１７ｂ内に形成されたスリットであり、ガス配管２８ｅを介して送られ、上部外側部天板部品１７ｃの内部及び外側部天板部品１７ｂに設けられた通気路１７ｄを通過した気体をチャンバ１６内に射出するためのもので、生成された１次微粒子１５がチャンバ１６の内壁１６ａに付着するのを防止すると共に、１次微粒子１５を下流のサイクロン１９で任意の分級点で分級できる流速を１次微粒子１５に与えることができる量の気体を射出できることが好ましい。この気体射出口２８ｂからは、チャンバ１６の内壁１６ａに沿って上方から下方に向かって気体が射出される。
　上述したように、また、図１、及び図３に示すように、気体供給装置２８の気体供給源２８ｄから矢印Ｓに示されるようにガス配管２８ｅを介して天板１７内に供給された気体は、天板１７の外側部天板部品１７ｂ及び上部外側部天板部品１７ｃに設けられた通気路１７ｄを介して気体射出口２８ａ、及び２８ｂからチャンバ１６内に射出される。
　こうして、材料供給装置１４からプラズマトーチ１２内に射出されて液滴化されたスラリー２６は、熱プラズマ炎２４中で、後述するように、燃焼することなく二酸化チタン原料が一部還元されて不定比酸化チタンとなる。そして、この不定比酸化チタンは、上記気体射出口２８ａから射出される（矢印Ｑ参照）気体によりチャンバ１６内で急冷され、不定比酸化チタンからなる１次微粒子１５が生成される。この際、気体射出口２８ｂから射出される（矢印Ｒ参照）気体により、１次微粒子１５がチャンバ１６の内壁に付着することが防止される。
　図１に示すように、チャンバ１６の側方下部には、生成された１次微粒子１５を所望の粒径で分級するためのサイクロン１９が設けられている。このサイクロン１９は、図４に示すように、チャンバ１６から１次微粒子１５を供給する入口管１９ａと、この入口管１９ａと接続され、サイクロン１９の上部に位置する円筒形状の外筒１９ｂと、この外筒１９ｂ下部から下側に向かって連続し、かつ、径が漸減する円錐台部１９ｃと、この円錐台部１９ｃ下側に接続され、上述の所望の粒径以上の粒径を有する粗大粒子を回収する粗大粒子回収チャンバ１９ｄと、後に詳述する回収部２０に接続され、外筒１９ｂに突設される内管１９ｅとを備えている。
　入口管１９ａから、チャンバ１６内にて生成された１次微粒子１５を含んだ気流が、外筒１９ｂ内周壁に沿って吹き込まれ、これにより、この気流が図４中に矢印Ｔで示すように外筒１９ｂの内周壁から円錐台部１９ｃ方向に向かって流れることで、旋回する下降流が形成される。
　そして、上述の旋回する下降流は、円錐台部１９ｃ内周壁でさらに加速され、その後反転し、上昇流となって内管１９ｅから系外に排出される。また、気流の一部は、粗大粒子回収チャンバ１９ｄに流入する前に円錐台部１９ｃで反転し、内管１９ｅから系外に排出される。粒子には、旋回流により遠心力が与えられ、遠心力と抗力とのバランスにより、粗大粒子は壁方向に移動する。また、気流から分離した不定比酸化チタン微粒子は、円錐台部１９ｃ側面に沿って下降し、粗大粒子回収チャンバ１９ｄで回収される。ここで、十分に遠心力が与えられない微粒子は、円錐台部１９ｃ内周壁での反転気流とともに、系外へ排出される。
　また、内管１９ｅを通して、後に詳述する回収部２０から負圧（吸引力）が生じるようになっている。そして、この負圧（吸引力）によって、上述の旋回する気流から分離した不定比酸化チタン微粒子が、図４中の矢印Ｕで示すように吸引され、内管１９ｅを通して回収部２０に送られるようになっている。
　図１に示すように、サイクロン１９内の気流の出口である内管１９ｅの延長上には、所望のナノサイズの粒径を有する２次微粒子（不定比酸化チタン微粒子）１８を回収する回収部２０が設けられている。この回収部２０は、回収室２０ａと、回収室２０ａ内に設けられたフィルター２０ｂと、回収室２０ａ内下方に設けられた管２０ｃを介して接続された真空ポンプ（図示せず）とを備えている。サイクロン１９から送られた微粒子は、真空ポンプ（図示せず）で吸引されることにより、回収室２０ａ内に引き込まれ、フィルター２０ｂの表面で留まった状態にされて回収される。
　以下、上述のように構成される微粒子製造装置１０の作用を述べつつ、この微粒子製造装置１０を用いて、本発明の実施形態に係る不定比酸化チタン微粒子の製造方法について図５を参照して説明する。
　図５は、本発明の実施形態の不定比酸化チタン微粒子の製造方法を示すフローチャートである。
　ここで、本実施形態において、二酸化チタン原料（二酸化チタンの粉末）は、不定比酸化チタン微粒子の原料となるものであって、熱プラズマ炎中で容易に蒸発するように、その平均粒径が５０μｍ以下であり、好ましくは平均粒径が１０μｍ以下である。
　本実施形態において、炭素含有分散媒としては、例えば、アルコール、ケトン、ケロシン、オクタンまたはガソリンが挙げられる。
　また、アルコールとしては、例えば、エタノール、メタノール、プロパノール、イソプロピルアルコールが挙げられる。
　上述したように、炭素含有分散媒は、二酸化チタン原料を還元するものである。このため、炭素含有分散媒は、熱プラズマ炎２４により分解されやすいことが好ましい。このことから、炭素含有分散媒は、低級アルコールが好ましい。
　また、更に、水（Ｈ２Ｏ）をスラリー２６に加えている。この水は、炭素含有分散媒による二酸化チタン原料の不定比酸化チタン化を促進するものである。
　図５に示す本実施形態の不定比酸化チタン微粒子の製造方法では、まず、ステップＳ１０において、二酸化チタン原料粉末を炭素含有分散媒中に分散させ、更に水を加えてスラリーを得る。このスラリーにおいては、二酸化チタン原料と分散媒との混合比、及び水の量は、特に限定されるものではなく、二酸化チタン原料から不定比酸化チタンを生成できればどのような混合比でも水の量でも良い。
　ここで、二酸化チタン原料の量の好ましい範囲は、二酸化チタン原料と分散媒の総量に対して１０～６５質量％であり、分散媒の量の好ましい範囲は、二酸化チタン原料と分散媒の総量に対して９０～３５質量％であり、水の量の好ましい範囲は、二酸化チタン原料と分散媒の総量に対して５～４０質量％である。
　なお、本発明では、二酸化チタン原料と分散媒との混合比は、質量比で、例えば、５０：５０であることがより好ましい。また、本発明においては、スラリーを製造するのに最適な水の添加量を変えることで、各種の結晶相（ＴｉＯｘ（１＜ｘ＜２）、例えばＴｉ２Ｏ３、 Ｔｉ３Ｏ５、Ｔｉ４Ｏ７等）を制御するため、水の添加量は、各種の結晶相毎に予め実験等によって設定しておくことが好ましい。
　分散媒及び水は、二酸化チタンを還元するものであるため、不定比酸化チタンが生成されるように、この二酸化チタン原料と分散媒との質量比、添加される水の量は、適宜変更してスラリーが調製される。
　さらに、スラリー２６を調整する際に、界面活性剤、高分子、カップリング剤よりなる群より選ばれる１種または２種以上の混合物を添加してもよい。界面活性剤としては、例えば、ノニオン性界面活性剤であるソルビタン脂肪酸エステルが用いられる。高分子としては、例えば、ポリアクリル酸アンモニウムが用いられる。カップリング剤としては、例えば、シランカップリング剤等が用いられる。界面活性剤、高分子、カップリング剤よりなる群より選ばれる１種または２種以上の混合物をスラリー２６に添加することにより、二酸化チタン原料が分散媒、水で凝集することをより効果的に防止して、スラリー２６を安定化させることができる。
　上述のようにして調整されたスラリー２６は、図１に示す材料供給装置１４の容器１４ｂ内に入れられ、攪拌機１４ｃで攪拌される。これにより、分散媒中の二酸化チタン原料が沈澱することを防止し、分散媒中で二酸化チタン原料が分散された状態のスラリー２６が維持される。なお、材料供給装置１４に二酸化チタン原料と分散媒と水とを供給して連続的にスラリー２６を調製してもよい。
　次に、ステップＳ１２において、スラリー２６を液滴化させて酸素を含まない熱プラズマ炎２４中に供給する。
　材料供給装置１４の供給管１４ａの二流体ノズル機構を用いてスラリー２６を液滴化させ、液滴化されたスラリー２６が、プラズマトーチ１２内に供給されることにより、プラズマトーチ１２内に発生している熱プラズマ炎２４中に供給されて、分散媒を燃焼させることなく炭素を生成する。
　なお、酸素を含まない熱プラズマ炎２４は、液滴化されたスラリー２６を蒸発させ、分散媒を燃焼させることなく分解、蒸発させて炭素を生成させる。このとき、水も水素と酸素に分解される。更には、熱プラズマ炎２４は、その温度と生成された炭素により、二酸化チタン原料を還元し、更に水より発生した酸素により還元を制御して不定比酸化チタンにさせるものである。このため、熱プラズマ炎２４の温度は、スラリーに含まれる二酸化チタン原料が炭素により還元される温度よりも高いことが必要である。
　一方、熱プラズマ炎２４の温度が高いほど、容易に二酸化チタン原料が還元されるので好ましいが、特に温度は限定されず、二酸化チタン原料が還元される温度に応じて適宜選択してよい。例えば、熱プラズマ炎２４の温度を２０００℃とすることもできるし、理論上は１００００℃程度に達するものと考えられる。本発明では、熱プラズマ炎２４の温度を、例えば４０００～１００００℃とすることが好ましい。
　また、熱プラズマ炎２４を発生するプラズマトーチ１２内における圧力雰囲気は、大気圧以下であることが好ましい。ここで、大気圧以下の雰囲気については、特に限定されないが、例えば、５Ｔｏｒｒ～７５０Ｔｏｒｒとすることができる。
　こうして、酸素を含まない熱プラズマ炎２４中でスラリー２６が蒸発し、更にはメタノール等の分散媒が燃焼されることなく分解されて炭素が得られる。この炭素が、二酸化チタン原料に比して多く生成されるように、スラリー２６における分散媒の量が調整されていることが好ましい。
　次に、ステップＳ１４において、こうして熱プラズマ炎２４で生成された炭素と二酸化チタンとを反応させて不定比酸化チタンを生成する。
　熱プラズマ炎２４において発生した炭素と二酸化チタン原料とが反応し、二酸化チタンが不定比酸化チタンに還元されて、更に水より発生した酸素により還元を制御して不定比酸化チタンにさせる。
　次に、ステップＳ１６において、ステップＳ１４で生成された不定比酸化チタンを急冷して不定比酸化チタン微粒子（１次微粒子）１５を生成する。
　ステップＳ１４において生成された不定比酸化チタンが、気体射出口２８ａを介して矢印Ｑで示される方向に射出される気体によって急冷されて、チャンバ１６内で急冷されることにより、不定比酸化チタンからなる１次微粒子１５が得られる。
　従って、上記気体射出口２８ａから射出される気体の量は、１次微粒子１５が生成される過程において、不定比酸化チタン微粒子１５を急冷するに十分な供給量であることが必要であるが、これとともに気体射出口２８ｂから射出される気体の量、さらには、後述する熱プラズマ炎２４中に供給する気体の量と合わせて、１次微粒子１５を下流のサイクロン１９で任意の分級点で分級できる流速が得られ、かつ、熱プラズマ炎２４の安定を妨げない程度の量であることが好ましい。
　なお、上述の気体射出口２８ａから射出される気体の量と気体射出口２８ｂから射出される気体の量とを合わせた射出量は、熱プラズマ炎２４中に供給する気体の２００％～５０００％とするのがよい。ここで、上述の熱プラズマ炎中に供給する気体とは、熱プラズマ炎を形成するプラズマガス、プラズマ流を形成するためのセントラルガス及び噴霧ガスを合わせたものである。
　また、熱プラズマ炎２４の安定を妨げない限り、上述した射出される気体の供給方法や供給位置などは、特に限定されない。本実施形態の微粒子製造装置１０では、天板１７に円周状のスリットを形成して気体を射出しているが、熱プラズマ炎からサイクロンまでの経路上で、確実に気体を供給可能な方法や位置であれば、他の方法、位置でも構わない。
　最終的にチャンバ１６内で生成された不定比酸化チタンからなる１次微粒子１５は、サイクロン１９の入口管１９ａから、気流と共に外筒１９ｂの内周壁に沿って吹き込まれ、これにより、この気流が図４中の矢印Ｔで示すような外筒１９ｂの内周壁に沿って流れることにより、旋回流を形成して下降する。そして、この旋回流は円錐台部１９ｃ内周壁でさらに加速され、その後反転し、上昇流となって、内管１９ｅから系外に排出される。また、気流の一部は、粗大粒子回収チャンバ１９ｄに流入する前に円錐台部１９ｃ内周壁で反転し、内管１９ｅから系外に排出される。
　不定比酸化チタンからなる１次微粒子１５に旋回流により遠心力が与えられ、遠心力と抗力とのバランスにより、１次微粒子１５のうち、粗大粒子は壁方向に移動する。また、１次微粒子１５のうち、気流から分離された粒子は、円錐台部１９ｃ側面に沿って下降し、粗大粒子回収チャンバ１９ｄで回収される。ここで、十分に遠心力が与えられない微粒子は、円錐台部１９ｃ内周壁での反転気流とともに、内管１９ｅから、不定比酸化チタン微粒子（２次微粒子）１８として系外へ排出される。このときのサイクロン１９内への気流の流速は、好ましくは、１０ｍ／ｓｅｃ以上である。
　排出された不定比酸化チタン微粒子（２次微粒子）１８は、回収部２０からの負圧（吸引力）によって、図４中の矢印Ｕで示すように吸引され、内管１９ｅを通して回収部２０に送られ、回収部２０のフィルター２０ｂで回収される。このときのサイクロン１９内の内圧は、大気圧以下であることが好ましい。また、不定比酸化チタン微粒子（２次微粒子）１８の粒径は、目的に応じてナノサイズレベルの任意の粒径が規定される。
　このようにして、本実施形態においては、ナノサイズの不定比酸化チタン微粒子を得ることができる。
　また、本発明の不定比酸化チタン微粒子の製造方法においては、使用するサイクロンの個数は、１つに限定されず、２つ以上でもよい。
　本実施形態の不定比酸化チタン微粒子の製造方法により製造される不定比酸化チタン微粒子は、その粒度分布幅が狭い、すなわち、均一な粒径を有し、１μｍ以上の粗大粒子の混入が殆どなく、具体的には、その比表面積値が１０～１００ｍ２／ｇのナノサイズの不定比酸化チタン微粒子であることが好ましい。
　また、本実施形態においては、二酸化チタン原料粉末の還元に用いる炭素源に液体（炭素含有分散媒）を用い、それ以外は水であるため、二酸化チタン原料を熱プラズマ炎に対して容易に、均一に供給することができる。さらには、炭素源が液体であるため、グラファイト等の固体の炭素源に比して、容易に分解され、二酸化チタン原料を効率良く炭素と反応させることができる。これにより、二酸化チタン原料の不定比酸化チタンへの反応効率が高くなり、高い生産性で不定比酸化チタン微粒子を製造することができる。
　また、本実施形態の不定比酸化チタン微粒子の製造方法では、ガスを供給し、装置内の流速を任意に制御することで、装置内に設けたサイクロンで不定比酸化チタン微粒子を分級可能としている。本実施形態の不定比酸化チタン微粒子の製造方法では、反応条件を変えることなく、気体の流速、もしくはサイクロン内径を変えることで、任意の分級点で粗大粒子を分離できるため、粒径が微細かつ均一で、品質のよい高純度の不定比酸化チタン微粒子を高い生産性で製造することが可能になる。
　さらに、本実施形態の不定比酸化チタン微粒子の製造方法では、サイクロン内で旋回流を生じるため滞留時間が長くなり、サイクロン内で不定比酸化チタン微粒子が冷却されるので、これまで冷却機構として用いていたフィンや冷却路を設ける必要がなくなる。そのため、フィン内に堆積した微粒子除去のために装置の稼動を停止させる必要がなくなり、装置の稼動時間を長期化することが可能になる。さらに、サイクロン全体を水冷ジャケット構造とすることで、冷却効果をより一層高めることができる。
　上述した通り、本実施形態の不定比酸化チタン微粒子の製造方法を実施する微粒子製造装置１０は、気相状態の不定比酸化チタンを含む混合物を急冷することを主たる目的とする気体供給装置２８を備えることを特徴としている。
　図示例の気体供給装置２８においては、気体供給源２８ｄからガス配管２８ｅ及び天板１７の通気路１７ｄを介して気体射出口２８ａに送られた気体は、熱プラズマ炎２４中の気相状態の不定比酸化チタン含有混合物を急冷するために、上述したように、図１及び図３中の矢印Ｑで示される方向に、熱プラズマ炎の尾部（終端部）に向かって、所定の供給量及び所定の角度で射出される。
　ここで、上記所定の供給量について説明する。上述したように、気相状態の不定比酸化チタン含有混合物（以下、単に混合物という）を急冷するのに生成した量とは、例えば、気相状態の混合物を急冷するのに必要な空間を形成するチャンバ１６内に供給する気体のチャンバ１６内における平均流速（チャンバ内流速）を、０．００１～６０ｍ／ｓｅｃとすることが好ましく、０．５～１０ｍ／ｓｅｃとすることがより好ましい。これは、熱プラズマ炎２４中に噴霧され蒸発した気相状態の混合物を急冷し微粒子を生成させ、生成された微粒子同士の衝突による凝集を防止するのに十分な気体の供給量である。
　なお、この供給量は、気相状態の混合物を急冷して凝固させるのに十分な量であり、また、凝固し生成された直後の不定比酸化チタン微粒子同士が衝突することで凝集しないように気相状態の混合物を希釈するのに十分な量である必要があり、チャンバ１６の形状や大きさによりその値を適宜定めるのがよい。
　ただし、この供給量は、熱プラズマ炎の安定を妨げることのないように制御されることが好ましい。
　次に、図６（ａ）、及び（ｂ）を用いて、気体射出口２８ａがスリット形状の場合における、上記の所定の角度について説明する。図６（ａ）に、チャンバ１６の天板１７の中心軸を通る垂直方向の断面図を、また、図６(ｂ)に、天板１７を下方から見た図を示す。なお、図６（ｂ）には、図６（ａ）に示した断面に対して垂直な方向が示されている。ここで、図６（ａ）、及び（ｂ）中に示す点Ｘは、通気路１７ｄを介して気体供給源２８ｄ（図１参照）から送られた気体が、気体射出口２８ａからチャンバ１６内部へ射出される射出点である。実際は、気体射出口２８ａが円周状のスリットであるため、射出時の気体は帯状の気流を形成している。従って、点Ｘは仮想的な射出点である。
　図６（ａ）に示すように、通気路１７ｄの開口部の図中上下方向の中心を原点として、垂直上方を０°、紙面で反時計周りに正の方向をとり、矢印Ｑで示される方向に気体射出口２８ａから射出される気体の角度を角度αで表す。この角度αは、上述した、熱プラズマ炎２４の初部から尾部(終端部)への方向に対する角度である。
　また、図６（ｂ）に示すように、上述した仮想的な射出点Ｘを原点として、熱プラズマ炎２４の中心に向かう方向が０°、紙面で反時計回りを正の方向として、熱プラズマ炎２４の初部から尾部(終端部)への方向に対して垂直な面方向における、矢印Ｑで示される方向に気体射出口２８ａから射出される気体の角度を角度βで表す。この角度βは、上述した、熱プラズマ炎２４の初部から尾部(終端部)への方向に対して直行する面内で、熱プラズマ炎２４の中心部に対する角度である。
　上述した角度α（通常は垂直方向の角度）及び角度β(通常は水平方向の角度)を用いると、上述の所定の角度、すなわち、気体のチャンバ１６内への供給方向は、チャンバ１６内において、熱プラズマ炎２４の尾部（終端部）に対して、角度αが９０°＜α＜２４０°（より好ましくは１００°＜α＜１８０°の範囲、最も好ましくはα＝１３５°）、角度βが－９０°＜β＜９０°（より好ましくは－４５°＜β＜４５°の範囲、最も好ましくはβ＝０°）であるのがよい。
　上述したように、熱プラズマ炎２４に向かって所定の供給量及び所定の角度で射出された気体により、上述の気相状態の混合物が急冷され、微粒子１５が生成される。上述の所定の角度でチャンバ１６内部に射出された気体は、チャンバ１６内部に発生する乱流等の影響により必ずしもその射出された角度で熱プラズマ炎２４の尾部に到達するわけではないが、気相状態の混合物の冷却を効果的に行い、かつ熱プラズマ炎２４を安定させて効率よく微粒子製造装置１０を動作させるためには、上述の角度に決定するのが好ましい。なお、上述の角度は、装置の寸法、熱プラズマ炎の大きさ等の条件を考慮して、実験的に決定すればよい。
　生成直後の微粒子同士が衝突し、凝集体が形成されることで粒径の不均一が生じると、品質低下の要因となる。これに対し、本発明の不定比酸化チタン微粒子の製造方法においては、気体射出口２８ａを介して所定の角度及び供給量で熱プラズマ炎の尾部（終端部）に向かって矢印Ｑで示される方向に射出される気体が、微粒子１５を希釈することで、微粒子同士が衝突し凝集することを防止する。つまり、気体射出口２８ａから射出された気体が、上述の気相状態の混合物を急冷し、さらに、生成された不定比酸化チタン微粒子の凝集を防止することで、不定比酸化チタン微粒子の粒子径の微細化、及び不定比酸化チタン微粒子の粒子径の均一化の両面に作用している。
　ところで、気体射出口２８ａから射出される気体は、熱プラズマ炎２４の安定性に少なからず悪影響を与える。しかし、装置全体を連続的に運転するためには熱プラズマ炎を安定させる必要がある。このため、本実施形態の微粒子製造装置１０における気体射出口２８ａは、円周状に形成されたスリットとなっており、そのスリット幅を調節することで気体の供給量を調節することができ、中心方向に均一な気体を射出することができるので、熱プラズマ炎を安定させるのに好ましい形状を有するといえる。また、この調節は、射出される気体の供給量を変えることでも行える。
　以上、本発明の不定比酸化チタン微粒子の製造方法について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良または変更をしてもよいのはもちろんである。
　以下、本発明に係る不定比酸化チタン微粒子の製造方法の実施例について具体的に説明する。
（実施例１）
　実施例１において、図１に示す微粒子製造装置１０を用いて、原料となる二酸化チタンの粉末と、炭素含有分散媒であるアルコールとの質量比（百分率）が、５０％：５０％となるように、二酸化チタンの粉末をアルコールに分散させてスラリー化し、更に、水を、二酸化チタンとアルコールとの総質量に対する水の質量比が７８．４％：２１．６％（アルコールと水の質量比（アルコール／水）が１．８２）となるように添加して水分量が調整されたスラリー２６を作製した。
　また、原料として用いた二酸化チタンの粉末は、平均粒径が４μｍであった。アルコールとして、エタノールを用いた。
　こうして得られた実施例１のスラリー２６の原料混合比を表１に示す。
　本実施例では、図１に示す微粒子製造装置１０において、プラズマトーチ１２の高周波発振用コイル１２ｂには、約４ＭＨｚ、約８０ｋＶＡの高周波電圧を印加し、プラズマガス供給源２２からは、プラズマガスとしてアルゴンガス（Ａｒ）及び水素ガス（Ｈ２）を供給し、プラズマトーチ１２内に熱プラズマ炎２４を発生させた。
　熱プラズマ炎２４のプラズマガスにおける水素ガス、及びアルゴンガスの割合は、アルゴンガスの量に対して、水素ガスの量を０～２０ｖｏｌ％として調整した。
　なお、プラズマガスの供給量ついては、アルゴンガスは１０～３００リットル／ｍｉｎとして調整した。
　本実施例で得られたスラリー２６を、噴霧ガスであるアルゴンガスと共に液滴化した状態で、プラズマトーチ１２内の酸素を含まない熱プラズマ炎２４中に供給した。
　この時、材料供給装置１４の噴霧ガス供給源１４ｅから、噴霧ガスとして、１０リットル／ｍｉｎでアルゴンガスを供給した。
　その後、熱プラズマ炎２４中に液滴化されて供給されたスラリー２６中のアルコールから燃焼することなく生成された炭素とスラリー２６中の二酸化チタン原料とを反応させることによって一部還元して不定比酸化チタンを生成し、生成された不定比酸化チタンを、気体供給装置２８から供給され、気体射出口２８ａから射出される気体によりチャンバ１６内で急冷して、不定比酸化チタンからなる１次微粒子１５を得た。
　ここで、気体供給装置２８によって、チャンバ１６内に供給される気体としては、アルゴンガスを使用した。この時のチャンバ１６内の流速は５ｍ／ｓｅｃで、供給量は１ｍ３／ｍｉｎとした。
　こうして得られた不定比酸化チタンの１次微粒子１５をサイクロン１９内に導き、粗大粒子を除去し、比表面積値５２．８ｍ２／ｇの粒径がそろったナノサイズの不定比酸化チタンの２次微粒子である不定比酸化チタン微粒子１８を得た。
　なお、サイクロン１９内の圧力は５０ｋＰａとし、チャンバ１６からサイクロン１９への微粒子の供給速度は１０ｍ／ｓｅｃ（平均値）とした。
　次に、得られた生成物である実施例１の不定比酸化チタン微粒子１８についてＸ線回折（ＸＲＤ）を用いて結晶構造を調べた。その結果を図７に示す。なお、４種の不定比酸化チタンの各結晶相のリファレンスを図８に示す。なお、図８は、ＩＣＳＤ（無機結晶構造データベース）のＰＤＦ番号で特定される４種の不定比酸化チタンＴｉ４Ｏ７、Ｔｉ３Ｏ５、Ｔｉ２Ｏ３、及びＴｉＯの各結晶相の結晶構造解析結果のピーク位置を示す。
　また、実施例１の不定比酸化チタン微粒子１８を５０ＭＰａ圧粉成形品に成形し、そのシート抵抗を計測した。その結果、シート抵抗は、０．２５８×１０５Ω／□であった。
（実施例２）
　実施例１と同様に、図１に示す微粒子製造装置１０を用い、二酸化チタンとアルコールとの総質量に対する水の質量比が８０％：２０％（アルコールと水の質量比（アルコール／水）が２．００）となるように添加した以外は、実施例１と同様にして、水分量が調整された実施例２のスラリー２６を作製した。
　こうして得られた実施例２のスラリー２６を、実施例１と同様にして、微粒子製造装置１０のプラズマトーチ１２内の酸素を含まない熱プラズマ炎２４中に供給し、チャンバ１６内で急冷して、不定比酸化チタンからなる１次微粒子１５を得、こうして得られた不定比酸化チタンの１次微粒子１５をサイクロン１９内に導き、比表面積値５３．９ｍ２／ｇの粒径がそろったナノサイズの不定比酸化チタンの２次微粒子である実施例２の不定比酸化チタン微粒子１８を得た。
　こうして得られた実施例２の不定比酸化チタン微粒子１８について、実施例１と同様にして、Ｘ線回折（ＸＲＤ）を用いて結晶構造を調べた。その結果を図７に示す。また、実施例１と同様にして、実施例２の不定比酸化チタン微粒子１８の５０ＭＰａ圧粉成形品のシート抵抗を計測した結果、シート抵抗は、０．８２０×１０４Ω／□であった。
（実施例３）
　実施例１と同様に、図１に示す微粒子製造装置１０を用い、二酸化チタンとアルコールとの総質量に対する水の質量比が８６．４％：１３．６％（アルコールと水の質量比（アルコール／水）が３．１７）となるように添加した以外は、実施例１と同様にして、水分量が調整された実施例３のスラリー２６を作製した。
　こうして得られた実施例３のスラリー２６から、実施例１と同様にして、微粒子製造装置１０を用いて、比表面積値５８．７ｍ２／ｇの粒径がそろったナノサイズの不定比酸化チタンの２次微粒子である実施例３の不定比酸化チタン微粒子１８を得た。
　こうして得られた実施例３の不定比酸化チタン微粒子１８の結晶構造の測定結果を図７に示す。また、実施例１と同様にして、実施例２の不定比酸化チタン微粒子１８の５０ＭＰａ圧粉成形品のシート抵抗を計測した結果、シート抵抗は、１．６３２×１０２Ω／□であった。
（実施例４）
　実施例１と同様に、図１に示す微粒子製造装置１０を用い、二酸化チタンとアルコールとの総質量に対する水の質量比が８７％：１３％（アルコールと水の質量比（アルコール／水）が３．３３）となるように添加した以外は、実施例１と同様にして、水分量が調整された実施例４のスラリー２６を作製した。
　こうして得られた実施例４のスラリー２６から、実施例１と同様にして、微粒子製造装置１０を用いて、比表面積値７１．８ｍ２／ｇの粒径がそろったナノサイズの不定比酸化チタンの２次微粒子である実施例４の不定比酸化チタン微粒子１８を得た。
　こうして得られた実施例４の不定比酸化チタン微粒子１８の結晶構造の測定結果を図７に示す。
　実施例１～４においては、炭化チタン（ＴｉＣ）が殆ど生成されることなく生成された不定比酸化チタン（ＴｉＯｘ（１＜ｘ＜２））微粒子が得られ、図７に示すように、Ｔｉ２Ｏ３、Ｔｉ３Ｏ５、及びＴｉ４Ｏ７等、更には、Ｔｉ５Ｏ９等との混相であり、その比表面積値は、５２．８ｍ２／ｇ～７１．８ｍ２／ｇであった。
　また、水の添加量が少ない実施例３ではシート抵抗が高く、水の添加量が実施例３より多い実施例２ではシート抵抗が低くなり、水の添加量が最も多い実施例１ではシート抵抗が最も低いことが分かる。即ち、水の添加量を多くすれば、シート抵抗を低くすることができることが分かる。
　このことから、本発明の実施例においては、二酸化チタン原料をアルコールに混ぜて得られたスラリーに水を加えて調整したスラリーを用いることにより、製造される不定比酸化チタン微粒子の酸化還元の程度を変えることができ、製造された不定比酸化チタン微粒子のシート抵抗を低下させることができることが分かる。
　また、本発明の実施例においては、スラリーを作製する際の水の量を調整することにより、添加される水の量に応じて、製造される不定比酸化チタン微粒子の酸化還元の程度を調整することができ、製造された不定比酸化チタン微粒子のシート抵抗を変化させることができることが分かる。
　以上から、本発明の効果は明らかである。
　１０　微粒子製造装置
　１２　プラズマトーチ
　１２ａ　石英管
　１２ｂ　高周波発振用コイル
　１２ｃ　プラズマガス供給口
　１４　材料供給装置
　１４ａ　供給管
　１４ｂ　容器
　１４ｃ　攪拌機
　１４ｄ　ポンプ
　１４ｅ　噴霧ガス供給源
　１４ｆ　スラリー配管
　１４ｇ，２２ｃ，２８ｅ　ガス配管
　１５　１次微粒子
　１６　チャンバ
　１６ａ　内壁（内側壁）
　１７　天板
　１７ａ　内側部天板部品
　１７ｂ　外側部天板部品
　１７ｃ　上部外側部天板部品
　１７ｄ　通気路
　１８　微粒子（２次微粒子）
　１９　サイクロン
　１９ａ　入口管
　１９ｂ　外筒
　１９ｃ　円錐台部
　１９ｄ　粗大粒子回収チャンバ
　１９ｅ　内管
　２０　回収部
　２０ａ　回収室
　２０ｂ　フィルター
　２０ｃ　管
　２２　プラズマガス供給源
　２２ａ，２２ｂ　高圧ガスボンベ
　２４　熱プラズマ炎
　２６　スラリー
　２８　気体供給装置
　２８ａ　気体射出口
　２８ｂ　気体射出口
　２８ｃ　コンプレッサ
　２８ｄ　気体供給源
　２８ｅ　管

Claims (5)

  1. 　二酸化チタンを含む酸化チタンを用いて不定比酸化チタン微粒子を製造する方法であって、
    　前記二酸化チタンの粉末を、炭素源を含む液体状の物質に分散させ、さらに水を添加してスラリーにし、
    　該スラリーを液滴化させて酸素を含まない熱プラズマ炎中に供給し、
    　該熱プラズマ炎で前記物質から生成された炭素と前記二酸化チタンとを反応させて不定比酸化チタンを生成し、
    　生成された前記不定比酸化チタンを急冷して不定比酸化チタン微粒子を生成することを特徴とする不定比酸化チタン微粒子の製造方法。
  2. 　前記二酸化チタンの粉末の量は、前記二酸化チタンの粉末と前記炭素源を含む液体状の物質の総量に対して１０～６５質量％であり、
    　前記炭素源を含む液体状の物質の量は、前記二酸化チタンの粉末と前記炭素源を含む液体状の物質の総量に対して９０～３５質量％であり、
    　前記水の量は、前記二酸化チタンの粉末と前記炭素源を含む液体状の物質の総量に対して５～４０質量％である請求項１に記載の不定比酸化チタン微粒子の製造方法。
  3. 　前記水の添加量を調整して、製造される不定比酸化チタン微粒子の酸化・還元度合いを調整する請求項１、又は２に記載の不定比酸化チタン微粒子の製造方法。
  4. 　前記炭素源を含む液体状の物質は、アルコール、ケトン、ケロシン、オクタンまたはガソリンである請求項１～３のいずれか１項に記載の不定比酸化チタン微粒子の製造方法。
  5. 　前記熱プラズマ炎は、水素、ヘリウム及びアルゴンの少なくとも１つのガスに由来するものである請求項１～４のいずれか１項に記載の不定比酸化チタン微粒子の製造方法。
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