WO2017093099A1 - Beschleunigungs-messgerät und verfahren zur herstellung eines solchen beschleunigungs-messgerätes - Google Patents

Beschleunigungs-messgerät und verfahren zur herstellung eines solchen beschleunigungs-messgerätes Download PDF

Info

Publication number
WO2017093099A1
WO2017093099A1 PCT/EP2016/078608 EP2016078608W WO2017093099A1 WO 2017093099 A1 WO2017093099 A1 WO 2017093099A1 EP 2016078608 W EP2016078608 W EP 2016078608W WO 2017093099 A1 WO2017093099 A1 WO 2017093099A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
elements
measuring device
piezoelectric
mass
acceleration measuring
Prior art date
Application number
PCT/EP2016/078608
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Flavio ROSA
Original Assignee
Kistler Holding Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kistler Holding Ag filed Critical Kistler Holding Ag
Priority to EP16801191.4A priority Critical patent/EP3384296B1/de
Priority to JP2018528678A priority patent/JP6539415B2/ja
Priority to KR1020187015031A priority patent/KR102088119B1/ko
Priority to RU2018120488A priority patent/RU2700037C1/ru
Priority to US15/776,702 priority patent/US10739375B2/en
Priority to CN201680070661.9A priority patent/CN108291926B/zh
Publication of WO2017093099A1 publication Critical patent/WO2017093099A1/de

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/09—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up
    • G01P15/0907—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up of the compression mode type
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P1/00—Details of instruments
    • G01P1/02—Housings
    • G01P1/023—Housings for acceleration measuring devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/0802—Details
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/09—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/09—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up
    • G01P15/0915—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up of the shear mode type
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/097—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by vibratory elements
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01V—GEOPHYSICS; GRAVITATIONAL MEASUREMENTS; DETECTING MASSES OR OBJECTS; TAGS
    • G01V1/00—Seismology; Seismic or acoustic prospecting or detecting
    • G01V1/16—Receiving elements for seismic signals; Arrangements or adaptations of receiving elements
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01V—GEOPHYSICS; GRAVITATIONAL MEASUREMENTS; DETECTING MASSES OR OBJECTS; TAGS
    • G01V1/00—Seismology; Seismic or acoustic prospecting or detecting
    • G01V1/16—Receiving elements for seismic signals; Arrangements or adaptations of receiving elements
    • G01V1/162—Details

Definitions

  • the invention relates to an acceleration
  • Measuring device according to the preamble of the independent claim as well as a method for producing such an acceleration measuring device.
  • the document CH399021A shows an acceleration measuring device with a piezoelectric system, a seismic mass, a biasing sleeve and a base plate.
  • the piezoelectric system is mechanically biased by the biasing sleeve Zvi ⁇ rule the seismic mass and the base plate.
  • the seismic mass exerts a proportional their thrusting force to the piezoelekt ⁇ generic system.
  • the mechanical preload detects both positive and negative accelerations.
  • the force in turn generates piezoelectric charges in the piezoelectric system, which are electrically dissipatable as acceleration signals.
  • the acceleration signals are proportional to the magnitude of the force. Electrically derived acceleration signals can be electrically amplified and evaluated in an evaluation unit.
  • Such an accelerometer for measuring shock and vibration is by the applicant under the Type designation 8002K sold commercially.
  • the Acceleration Meter is housed in a mechanically stable stainless steel housing. According to the data 8002_00_205d_07.05 it weighs 20 grams is a mounting stud ⁇ at any measurement objects mounted.
  • the measuring range is in the range of ⁇ 1000g, the resonance frequency is 40kHz and the operating temperature ranges from -70 ° C to + 120 ° C.
  • a first object of the present invention is to improve this known accelerometer. Another object of the invention is to provide a cost-effective method for producing such an acceleration measuring device.
  • the first object is solved by the features of the inde- pendent claim ⁇ .
  • the invention relates to an acceleration measuring device with a piezoelectric system, a seismic mass and a biasing arrangement; during acceleration, the seismic mass exerts its acceleration proportio ⁇ dimensional force on the piezoelectric system, which force generates piezo-electric charges in the piezoelectric system and which piezo electric charges are electrically derivable as the acceleration signals, said piezoelekt ⁇ generic system comprises two system elements; wherein the seismi ⁇ specific mass having two mass elements; and wherein the pre ⁇ span arrangement, the system elements against the mass elements me ⁇ mechanically biases.
  • the advantage of the two-mass elements seismic mass is that the piezoelectric Sys tem ⁇ is mechanically prestressed between the mass elements and that to achieve the mechanical prestressing, no further components such as a base plate are necessary.
  • the pre ⁇ clamping arrangement mechanically biases the two system elements having piezoelectric system against the mass elements.
  • a resulting piezoelectric pickup group is electrically and mechanically testable and storable before mounting in the housing of the accelerometer.
  • the accelerometer is so herebygüns ⁇ tig produced.
  • FIG. 2 is a perspective view of a part of the Be ⁇ admirungs measuring device of Figure 1 without Vorspan ⁇ nanssen, housing and cover..;
  • Figure 3 is a section through a piezoelectric Transd ⁇ merrios of the acceleration measuring device according to Fig 1 or 2 prior to the mechanical bias means of the biasing arrangement.
  • Figure 4 is the section through the piezoelectric Transd ⁇ merrios of Figure 3 after the mechanical bias means of the biasing arrangement..;
  • FIG. 5 shows a diagram of the electrical connection of the piezoe ⁇ lectric system with the seismic mass of the acceleration measuring device according to Fig. 1 or 2.
  • Fig. 6 is a perspective view of an electrode of the piezoelectric system of the accelerometer of Fig. 1 or 2;
  • FIG. 7 shows a section through part of the acceleration measuring device according to FIG. 1 or 2 with electrical contacts and signal cable;
  • Figure 8 is a perspective view of the acceleration measuring device according to Fig 7 before mounting the Schutzhül ⁇ se..;
  • Fig. 9 is a perspective view of the acceleration measuring device of FIG. 8 after assembly of the Schutzhül ⁇ se.
  • Fig. 1 shows a section through a part of an embodiment of the acceleration measuring device 1.
  • the section is along vertical axis ⁇ ⁇ and a Lteilsach ⁇ se BB ⁇ .
  • a horizontal axis CC ⁇ of the acceleration measuring device 1 is shown in its perspective view according to FIG. 2.
  • the three axes are perpendicular nander and intersect at a center 0 of the acceleration measuring device 1.
  • the acceleration meter 1 comprises a housing 5 and a cover 6 made of mechanically resistant material such as pure metals, nickel alloys, cobalt alloys, iron alloys, etc.
  • the housing 5 is hollow cylindrical in cross section and the cover 6 is circular in cross section.
  • Housing 5 and cover 6 are mechanically interconnected. The mechanical connection is made by a material bond such as welding, diffusion welding, thermocompression bonding, soldering, etc .. housing 5 and the cover 6 protect the acceleration measuring device 1 before Jedli ⁇ chen environmental influences such as impurities (dust, moisture, etc.) and against electrical and electromagnetic interference effects in the form of electromagnetic radiation.
  • the acceleration measuring device 1 has a seismic ⁇ cal mass 3.
  • the seismic mass 3 is spherical and arranged around the center 0 and has several, preferably ⁇ two mass elements 30, 30 ⁇ and an electrical Isola ⁇ tion 31.
  • the mass elements 30, 30 ⁇ consist of mechanical ⁇ cally resistant material such as pure metals, nickel alloys, cobalt alloys, iron alloys, etc ..
  • the electrical insulation 31 is made of electrically insulating and mechanically rigid material such as ceramic, Al 2 0 3 ceramic, sapphire, etc .. With respect to the vertical axis ⁇ ⁇ are the massee ⁇ ELEMENTS 30, 30 ⁇ in cross-section cylindrical and the elec- The electrical insulation 31 is rectangular in cross section.
  • the mass elements 30, 30 ⁇ are preferably identical parts. Bezüg ⁇ Lich the vertical axis ⁇ ⁇ ⁇ , the electrical insulation is arranged between the mass elements 30, 30 31 and isolates the mass elements 30, 30 ⁇ electrically mutually.
  • the Mas ⁇ se elements 30, 30 ⁇ and the electrical insulation 31 are in direct mechanical contact. An insulation resistance of the electrical insulation 31 is greater than / equal to 10 10 ⁇ .
  • the mass elements 30, 30 ⁇ are electrically and mechanically easily connectable due to their spatial extent.
  • the mass elements 30, 30 have ⁇ at their longitudinal axis ends recesses 32, 32 ⁇ . With respect to the longitudinal axis BB ⁇ are the savings from ⁇ 32, 32 ⁇ in cross section rectangular. Again, the skilled person may with knowledge of the invention, other cross-sectional shapes ⁇ like a circle, and so provide.
  • the acceleration measuring device 1 has a piezoe ⁇ lectric system 2.
  • the piezoelectric system 2 has a plurality, preferably two system elements 20, 20 ⁇ .
  • the system elements 20, 20 ⁇ are constructed identically.
  • the structure of the system elements 20, 20 ⁇ is in the diagram of FIG. 5 Darge ⁇ represents.
  • Each system element 20, 20 ⁇ has a plurality of electrical insulator elements 21, 21 a plurality of electrodes 22, 22 ⁇ and meh ⁇ rere piezoelectric elements 23, 23 23 ⁇ ⁇ .
  • Each Sys ⁇ warmthlement 20, 20 preferably comprises two electrical insulators ⁇ ⁇ gate elements 21, 21 on ⁇ .
  • the electrical insulator elements 21, 21 ⁇ are rectangular with respect to the longitudinal axis BB ⁇ in cross section and consist of electrically insulating and me- mechanically rigid material such as ceramic, Al 2 O 3 ceramic, sapphire, etc. An insulation resistance of the electrical insulator elements 21, 21 ⁇ is greater than or equal to 10 10 ⁇ .
  • the electrodes 22, 22 are ⁇ with respect to the longitudinal axis BB ⁇ in cross-section rectangular and made of electrically conductive material such as pure metals, nickel alloys, cobalt alloys, iron alloys, etc ..
  • Fig. 6 shows a perspective view of an electrode 22, 22 ⁇ .
  • Each system element 20, 20 ⁇ preferably has two electrodes 22, 22 on ⁇ .
  • Each electric ⁇ de 22, 22 ⁇ is in one piece and has a plurality, preferably three electrode surfaces which are mechanically connected to each other via a plurality, preferably two joints.
  • the electrode 22, 22 ⁇ collects with the electrode surfaces piezoe ⁇ lectric charges of a plurality, preferably three piezoe ⁇ lectric elements 23, 23 23 ⁇ ⁇ .
  • the piezoelectric elements 23, 23 23 ⁇ ⁇ are rectangular in cross-section with respect to the longitudinal axis BB ⁇ and consist of piezoelectric material such as quartz (Si0 2 single crystal), calcium gallo-germanate (Ca3Ga 2 Ge 4 0i 4 or CGG), langasite (La3Ga 5 SiOi 4 or LGS), tourmaline, gallium orthophosphate, piezoceramics, etc ..
  • the piezoelectric elements 23, 23 23 ⁇ ⁇ are cut crystallographically oriented so that they have a high sensitivity ⁇ sensitivity to the male force.
  • the piezoelectric material has a high sensitivity to the longitudinal or transverse thrust effect.
  • the piezoelectric elements 23, 23 23 ⁇ ⁇ oriented so that negative and positive piezoelectric charges are generated on surfaces that are perpendicular or parallel to a shear stress axis.
  • the negative and positive piezoelectric charges are shown in Fig. 5 as + and -. These piezoelectric charges are as Acceleration signals electrically tapped.
  • those skilled in the art can provide other cross-sectional shapes such as a circle, etc. for the electrical insulator elements, the electrodes, and the piezoelectric elements.
  • FIGS. 1 to 4 In the schematic of the piezoelectric system 2 of FIG. 5 are three piezoelectric elements 23, 23 23 ⁇ ⁇ between two electrical insulator elements 21, 21 ⁇ arranged. A first electrical insulator element 21 is remote from the center 0 and a second electrical insulator element 21 ⁇ is the center 0 faces. These five elements are shown in FIGS. 1 to 4 as a stack and arranged in the Aussparun ⁇ gene 32, 32 ⁇ . The recesses 32, 32 ⁇ are dimensioned so that they absorb the system elements 20, 20 ⁇ largely complete.
  • the adjective "largely” contains an inaccuracy of ⁇ 10%
  • the piezoelectric system 2 and the seismic mass 3 are space-saving, ie the piezoelectric system 2 is arranged with the greatest possible Jardinnut ⁇ tion within a spherical surface of the seismic mass 3.
  • Two electrodes 22, 22 ⁇ are arranged with their three electrode surfaces on the surfaces of the piezoelectric elements 23, 23 23 ⁇ ⁇ .
  • the electrodes 22, 22 ⁇ are preferably identical parts.
  • a positive electrode 22 receives a positive piezoelectric charges from the surfaces of the piezoelectric elements 23, 23 23 ⁇ ⁇
  • a negative electrode 22 ⁇ takes negative piezo electric charges from the surfaces of the piezoelectric elements 23, 23 23 ⁇ ⁇ on.
  • one end 24, 24 ⁇ of the electrodes 22, 22 ⁇ is with a mass element 30, 30 ⁇ electrically and mechanically connected.
  • the positive electrode 22 is electrically and mechanically connected with its end 24 with respect to the center 0 and the vertical axis ⁇ ⁇ obe ⁇ ren first element Mass 30th
  • the negative electrode 22 ⁇ is electrically and mechanically connected via its end 24 ⁇ with the respect to the center 0 and the vertical axis ⁇ ⁇ unte ⁇ ren second mass element 30 ⁇ .
  • the electrical and mechanical connections are made by frictional connection such as pressure, static friction, etc. on surfaces of the mass elements 30, 30 ⁇ .
  • the electrodes 22, 22 ⁇ thus electrically grip the negative and positive piezoelectric charges as acceleration signals and electrically conduct them to the ground elements 30, 30 ⁇ .
  • the acceleration measuring device 1 has a Vorspan ⁇ nanowski elbow 4, consisting of two caps 40, 40 ⁇ and a sleeve
  • the biasing assembly 4 is made of a mechanically rigid material such as pure metals, nickel alloys, cobalt alloys, iron alloys, etc. Knowing the present invention, those skilled in the art may also envision caps and a sleeve having other cross-sectional shapes such as a polygon, etc.
  • the caps 40, 40 ⁇ are preferably the same parts.
  • the sleeve 41 has a fastening element
  • the fastener 42 is a mechanical ⁇ cal connection with a measurement object, not shown.
  • the mechanical connection is a mechanically frictional connection such as a screw connection, etc ..
  • the biasing assembly 4 encloses the seismic mass 3 and the piezoelectric system 2 largely fully ⁇ constantly.
  • 40 ⁇ encloses regions, an outer surface of the seismic mass 3.
  • the means ⁇ point O and the longitudinal axis BB ⁇ encloses the left side a first cap 40 regions, a first outer side of the seis ⁇ mix mass 3 and the right side encloses a second chapter ⁇ pe 40 ⁇ regions, a second outer side of the seismic mass 3.
  • the caps 40, 40 ⁇ , and the sleeve 41 overlap partially. Respect to the center O and the longitudinal axis BB ⁇ overlaps the left side, the first cap 40 has a first end portion of the sleeve 41 and the right side, the second cap 40 overlaps ⁇ a second end portion of the sleeve 41. In the area of the system elements 20, 20 ⁇ , the caps 40, 40 ⁇ in direct mechanical contact with the system elements 20, 20 ⁇ .
  • the first cap 40 in mechanical contact with a second electrical insulator element 21 ⁇ of the first system element 20 and the right side, the second cap 40 ⁇ in mechanical contact with a second electrical insulator element 21 ⁇ of the second system element 20 ⁇ .
  • This mechanical ⁇ African contact is a surface contact via a respective remote from the center 0 outside of the second electrical insulator ⁇ rule elements 21 ⁇ .
  • a clamping force is introduced flatly into the outer sides of the second electrical insulator elements 21 ⁇ .
  • the cross-sectional area, in which the clamping force is ⁇ is derived is substantially greater.
  • the clamping sleeve of the font CH399021A introduces the clamping force into the seismic mass via an annular shoulder of small cross-sectional area. Because of the substantially larger cross-sectional area according to the invention can take a correspondingly greater force ⁇ Spann, preferably the urging force is 100% GroES ⁇ ser, preferably it is 500% greater than in the prior Tech ⁇ nik after the sheet 8002_00_205d_07.05.
  • the caps 40, 40 ⁇ overlap the end portions of the sleeve
  • the caps 40, 40 harness ⁇ the system elements 20, 20 against the ⁇ Masseelemen ⁇ te 30, 30 ⁇ mechanically. In this mechanically strained state, the caps 40, 40 are connected ⁇ in the end regions of the sleeve 41 with the sleeve 41 cohesively.
  • the metallurgical joint is performed by welding, diffusion onsschweissen, thermocompression bonding, soldering, etc ..
  • the caps 40, 40 ⁇ respectively via annular welding seams 43, 43 ⁇ of the sleeve 41 are mechanically connected.
  • the weld seams 43, 43 ⁇ are good to ⁇ accessible for a joining tool and thus easy to manufacture.
  • the Welded seams 43, 43 ⁇ attached to the radial ends of the shell-shaped caps 40, 40 ⁇ and thus have a relatively ⁇ large radius, whereby Schweisseigenbond are low.
  • the piezoelectric system 2, the seismic mass 3 and the biasing arrangement 4 form a piezoelectric pickup 10.
  • the piezoelectric pickup 10 is electrically and mechanically testable and storable before mounting in the housing 5.
  • FIGS. 8 and 9 show perspective views thereof.
  • the piezoelectric pickup group 10 is mounted in the housing 5.
  • the piezoelectric Transd ⁇ mercuba is set in the housing 5 and 10 integrally connected in the area of Sleeve Shirt ⁇ se 41 with a respect to the center 0 of the housing lower bottom. 5
  • the cohesive connection is effected by welding, diffusion welding, thermocompression bonding, soldering, etc.
  • the cover 6 is placed on a respect to the center 0 upper edge of the housing 5 and connected to the housing 5 cohesively.
  • the stoffschlüs ⁇ fitting connection is made by welding, diffusion welding head ⁇ sen, thermo-compression bonding, soldering, etc ..
  • the housing 5 has an opening 50. Through the opening, the mass elements 30, 30 are ⁇ of off sercher of the housing 5 accessible.
  • electrical contact elements 7, 7 ⁇ with the mass elements 30, 30 are electrically and mechanically connected ⁇ .
  • the electrical contact elements 7, 7 ⁇ are cylindrical and made of electrically conductive material such as pure metals, nickel alloys, cobalt alloys, iron alloys, etc ..
  • the electrical and mechanical connection is made by material connection such as welding, diffusion bonding, thermocompression bonding, soldering, etc .. In the Embodiment of FIGS.
  • Short wires have the advantage that they very well withstand mechanical loads during use and are therefore durable and also cost-effective.
  • the acceleration measuring device 1 is electrically connected via a Sig ⁇ nalstor 8 to a not shown control unit.
  • the acceleration signals can be electrically amplified and evaluated.
  • the signal cable 8 has a signal cable jacket and two electrical signal conductors 80, 80 ⁇ .
  • the signal cable jacket protects the electrical signal conductors 80, 80 ⁇ against harmful environmental influences such as impurities (dust, moisture, etc.).
  • the signal cable sheath can have a coaxial electromagnetic ⁇ diagram shield and protect the signal conductors against electrical and electromagnetic interference effects in the form of electromagnetic radiation.
  • the electrical signal conductors 80, 80 ⁇ are made of electrically conductive material such as pure metals, nickel alloys, cobalt alloys, iron alloys, etc ..
  • the electrical signal conductors 80, 80 ⁇ are electrically and mechanically connected to the electrical contact elements 7, 7 ⁇ . Any electrical and mechanical connections such as material connection, positive connection and adhesion are possible.
  • the electrical signal conductors 80, 80 ⁇ ⁇ indirectly electrically and mechanically connected to the grounding members 30, 30th Acceleration signals are indi rectly ⁇ of the mass elements 30, 30 via the electrical contact elements ⁇ 7, ⁇ 7 derived electrically to the electrical signal conductors 80, 80 ⁇ .
  • the skilled person can also make the electrical contact elements and the electrical signal conductors in one piece and electrically and mechanically connect the electrical signal conductors directly to the ground elements. Acceleration signals are then electrically derived from the ground elements directly on the electrical signal conductor.
  • the acceleration measuring device 1 has a protective sleeve ⁇ 9th
  • the protective sleeve 9 is hollow cylindrical and be ⁇ is made of mechanically resistant material such as pure metals, nickel alloys, cobalt alloys, iron alloys, plastic, ceramic, etc ..
  • the opening 50 is sealed with the protective sleeve 9 and the signal cable 8 strain relieved.
  • the protective sleeve is shown as 9 in Fig. 8 and 9, pushed over the Sig ⁇ nalledge 8. After the electrical and mechanical connection of the electrical signal conductors with the electrical contact elements 7, 7 ⁇ is realized, the protective sleeve 9 is pushed against the housing 5, which is indicated in Fig. 9 with an arrow.
  • the protective sleeve has a plate 90 and a tube 91.
  • Plate 90 and tube 91 are integral.
  • One Diameter of the plate 90 is dimensioned so that the plate 90 can completely close the opening 50.
  • a radially outer edge of the plate 90 is now mechanically connected to the housing 5.
  • the mechanical connection is made by material connection such as welding, diffusion welding, thermocompression bonding, soldering, etc.
  • the mechanical connection seals the opening 50 gas-tight.
  • a diameter of the tube 91 is dimensioned such that it is insignificantly larger than an outside diameter of the signal cable sheath.
  • Tube 91 and signal cable jacket are now mechanically connected to ⁇ each other.
  • the mechanical connection is made by material bond such as gluing, soldering, etc .. or by adhesion such as crimping, terminals, etc ..
  • the mechanical connection forms a strain relief of the electrical and mechanical connection of the electrical signal conductors are with the electrical contact elements 7, 7 ⁇ .
  • the components of the acceleration measuring device 1 are such that an operating temperature of -70 ° C to + 700 ° C is sufficient. Therefore, preferably nickel alloys having the material numbers 2.4969 and 2.4632 are used as material for the casing 5, the Cover B ⁇ ckung 6, the mass elements 30, 30 the electrodes 22, 22, the biasing arrangement. 4 LIST OF REFERENCE NUMBERS

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geology (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geophysics (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
  • Pressure Sensors (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Beschleunigungs-Messgerät (1) mit einem piezoelektrischen System (2), einer seismischen Masse (3) und einer Grundplatte (4); bei Beschleunigung übt die seismische Masse (3) eine ihrer Beschleunigung proportionale Kraft auf das piezoelektrische System (2) aus, welche Kraft im piezoelektrischen System (2) piezoelektrische Ladungen erzeugt, und welche piezoelektrischen Ladungen als Beschleunigungssignale elektrisch abgreifbar sind, wobei das piezoelektrische System (2) zwei Systemelemente (20, 20') aufweist; wobei die seismische Masse (3) zwei Masseelemente (30, 30') aufweist; und wobei die Vorspannanordnung (4) die Systemelemente (20, 20') gegen die Masseelemente (30, 30') mechanisch vorspannt.

Description

Beschleunigungs-Messgerät und Verfahren zur Herstellung eines solchen Beschleunigungs-Messgerätes
Technisches Gebiet
[0001] Die Erfmdung betrifft ein Beschleunigungs-
Messgerät nach dem Oberbegriff des unabhängigen Anspruchs so- wie ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Beschleuni- gungs-Messgerätes .
Stand der Technik
[0002] Die Schrift CH399021A zeigt ein Beschleunigungs- Messgerät mit einem piezoelektrischen System, einer seismischen Masse, einer Vorspannhülse und einer Grundplatte. Das piezoelektrische System ist mittels der Vorspannhülse zwi¬ schen der seismischen Masse und der Grundplatte mechanisch vorgespannt. Bei Beschleunigung übt die seismische Masse eine ihrer Beschleunigung proportionale Kraft auf das piezoelekt¬ rische System aus. Durch die mechanische Vorspannung werden sowohl positive als auch negative Beschleunigungen erfasst. Die Kraft wiederum erzeugt im piezoelektrischen System piezoelektrische Ladungen, welche als Beschleunigungssignale elektrisch ableitbar sind. Die Beschleunigungssignale sind proportional zur Grösse der Kraft. Elektrisch abgeleitete Be¬ schleunigungssignale lassen sich in einer Auswerteeinheit elektrisch verstärken und auswerten.
[0003] Ein solches Beschleunigungs-Messgerät zum Messen von Schock und Vibration wird von der Anmelderin unter der Typenbezeichnung 8002K kommerziell vertrieben. Das Beschleu- nigungs-Messgerät ist in einem mechanisch stabilen Gehäuse aus rostfreiem Stahl angeordnet. Laut Datenblatt 8002_00_205d_07.05 wiegt es 20Gramm ist über einen Montage¬ bolzen an beliebigen Messobjekten anbringbar. Der Messbereich liegt im Bereich von ±1000g, die Resonanzfrequenz beträgt 40kHz und die Betriebstemperatur reicht von -70°C bis +120°C.
[0004] Eine erste Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, dieses bekannte Beschleunigungs-Messgerät zu verbessern. Eine weitere Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein kostengünstiges Verfahren zur Herstellung eines solchen Beschleuni- gungs-Messgerätes aufzuzeigen.
Darstellung der Erfindung
[0005] Die erste Aufgabe wird durch die Merkmale des unab¬ hängigen Anspruchs gelöst.
[0006] Die Erfindung betrifft ein Beschleunigungs- Messgerät mit einem piezoelektrischen System, einer seismischen Masse und einer Vorspannanordnung; bei Beschleunigung übt die seismische Masse eine ihrer Beschleunigung proportio¬ nale Kraft auf das piezoelektrische System aus, welche Kraft im piezoelektrischen System piezoelektrische Ladungen erzeugt, und welche piezoelektrischen Ladungen als Beschleunigungssignale elektrisch ableitbar sind, wobei das piezoelekt¬ rische System zwei Systemelemente aufweist; wobei die seismi¬ sche Masse zwei Masseelemente aufweist; und wobei die Vor¬ spannanordnung die Systemelemente gegen die Masseelemente me¬ chanisch vorspannt. [0007] Der Vorteil der aus zwei Masseelementen bestehenden seismischen Masse liegt darin, dass das piezoelektrische Sys¬ tem nur zwischen den Masseelementen mechanisch vorspannbar ist und dass zum Erzielen der mechanischen Vorspannung keine weiteren Bauteile wie eine Grundplatte nötig sind. Die Vor¬ spannanordnung spannt das zwei Systemelemente aufweisende piezoelektrische System gegen die Masseelemente mechanisch vor. Eine so resultierende piezoelektrische Aufnehmergruppe ist vor einer Montage im Gehäuse des Beschleunigungs- Messgerätes elektrisch und mechanisch testbar und lagerbar. Im Ergebnis ist das Beschleunigungs-Messgerät so kostengüns¬ tig herstellbar.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
[0008] Im Folgenden wird eine Ausführungsform der Erfindung beispielhaft unter Beizug der Figuren näher erklärt. Es zeigen
Fig. 1 einen Schnitt durch einen Teil des Beschleunigungs- Messgerätes;
Fig. 2 eine perspektivische Ansicht eines Teiles des Be¬ schleunigungs-Messgerätes nach Fig. 1 ohne Vorspan¬ nanordnung, Gehäuse und Abdeckung;
Fig. 3 ein Schnitt durch eine piezoelektrische Aufneh¬ mergruppe des Beschleunigungs-Messgerätes nach Fig. 1 oder 2 vor der mechanischen Vorspannung mittels der Vorspannanordnung; Fig. 4 der Schnitt durch die piezoelektrische Aufneh¬ mergruppe nach Fig. 3 nach der mechanischen Vorspannung mittels der Vorspannanordnung;
Fig. 5 ein Schema der elektrische Verbindung des piezoe¬ lektrischen Systems mit der seismischen Masse des Beschleunigungs-Messgerätes nach Fig. 1 oder 2 ;
Fig. 6 eine perspektivische Ansicht einer Elektrode des piezoelektrischen Systems des Beschleunigungs- Messgerätes nach Fig. 1 oder 2 ;
Fig. 7 ein Schnitt durch einen Teil des Beschleunigungs- Messgerätes nach Fig. 1 oder 2 mit elektrischen Kontakten und Signalkabel;
Fig. 8 eine perspektivische Ansicht des Beschleunigungs- Messgerätes nach Fig. 7 vor Montage der Schutzhül¬ se; und
Fig. 9 die perspektivische Ansicht des Beschleunigungs- Messgerätes nach Fig. 8 nach Montage der Schutzhül¬ se .
Wege zur Ausführung der Erfindung
[0009] Fig. 1 zeigt einen Schnitt durch einen Teil einer Ausführungsform des Beschleunigungs-Messgerätes 1. Der Schnitt erfolgt entlang Vertikalachse ΑΑλ und einer Längsach¬ se BB λ . Eine Horizontalachse CC λ des Beschleunigungs- Messgerätes 1 ist in dessen perspektivischer Ansicht nach Fig. 2 dargestellt. Die drei Achsen stehen senkrecht aufei- nander und schneiden sich in einem Mittelpunkt 0 des Be- schleunigungs-Messgerätes 1.
[0010] Das Beschleunigungs-Messgerät 1 weist ein Gehäuse 5 und eine Abdeckung 6 aus mechanisch beständigem Material wie aus Reinmetallen, Nickellegierungen, Kobaltlegierungen, Eisenlegierungen, usw. auf. Bezüglich der Vertikalachse ΑΑλ ist das Gehäuse 5 im Querschnitt hohlzylinderförmig und die Abdeckung 6 ist im Querschnitt kreisförmig. Bei Kenntnis der vorliegenden Erfindung kann der Fachmann auch ein Gehäuse und eine Abdeckung mit anderen Querschnittsformen wie ein Vieleck, usw. vorsehen. Gehäuse 5 und Abdeckung 6 sind mechanisch miteinander verbunden. Die mechanische Verbindung erfolgt durch Stoffschluss wie Schweissen, Diffusionsschweissen, Thermokompressionsbonden, Löten, usw.. Gehäuse 5 und Abdeckung 6 schützen das Beschleunigungs-Messgerät 1 vor schädli¬ chen Umwelteinflüssen wie Verunreinigungen (Staub, Feuchtigkeit, usw.) und vor elektrischen und elektromagnetischen Störeffekten in Form von elektromagnetischer Strahlung.
[0011] Das Beschleunigungs-Messgerät 1 weist eine seismi¬ sche Masse 3 auf. Die seismische Masse 3 ist kugelförmig und um den Mittelpunkt 0 angeordnet und weist mehrere, vorzugs¬ weise zwei Masseelemente 30, 30 λ und eine elektrische Isola¬ tion 31 auf. Die Masseelemente 30, 30 λ bestehen aus mecha¬ nisch beständigem Material wie aus Reinmetallen, Nickellegierungen, Kobaltlegierungen, Eisenlegierungen, usw.. Die elektrische Isolation 31 besteht aus elektrisch isolierendem und mechanisch steifem Material wie Keramik, Al203-Keramik, Saphir, usw.. Bezüglich der Vertikalachse ΑΑλ sind die Massee¬ lemente 30, 30 λ im Querschnitt zylinderförmig und die elekt- rische Isolation 31 ist im Querschnitt rechteckig. Bei Kennt¬ nis der vorliegenden Erfindung kann der Fachmann auch Masseelemente und eine elektrische Isolation mit anderen Quer¬ schnittsformen wie ein Vieleck, ein Kreis, usw. vorsehen. Die Masseelemente 30, 30 λ sind vorzugsweise Gleichteile. Bezüg¬ lich der Vertikalachse ΑΑλ ist die elektrische Isolation 31 zwischen den Masseelementen 30, 30 λ angeordnet und isoliert die Masseelemente 30, 30 λ elektrisch gegeneinander. Die Mas¬ seelemente 30, 30 λ und die elektrische Isolation 31 sind im direkten mechanischen Kontakt. Ein Isolationswiderstand der elektrischen Isolation 31 ist grösser/gleich 1010Ω. Die Masseelemente 30, 30 λ sind aufgrund ihrer räumlichen Ausdehnung elektrisch und mechanisch einfach verbindbar. Die Masseelemente 30, 30 λ weisen an ihren längsachsigen Enden Aussparungen 32, 32 λ auf. Bezüglich der Längsachse BB λ sind die Aus¬ sparungen 32, 32 λ im Querschnitt rechteckig. Auch hier kann der Fachmann bei Kenntnis der Erfindung andere Querschnitts¬ formen wie ein Kreis, usw. vorsehen.
[0012] Das Beschleunigungs-Messgerät 1 weist ein piezoe¬ lektrisches System 2. Das piezoelektrische System 2 weist mehrere, vorzugsweise zwei Systemelemente 20, 20 λ auf. Die Systemelemente 20, 20 λ sind identisch aufgebaut. Der Aufbau der Systemelemente 20, 20 λ ist im Schema nach Fig. 5 darge¬ stellt. Jedes Systemelement 20, 20 λ weist mehrere elektrische Isolatorelemente 21, 21 mehrere Elektroden 22, 22 λ und meh¬ rere piezoelektrische Elemente 23, 23 23 λ λ auf. Jedes Sys¬ temelement 20, 20 λ weist vorzugsweise zwei elektrische Isola¬ torelemente 21, 21 λ auf. Die elektrischen Isolatorelemente 21, 21 λ sind bezüglich der Längsachse BB λ im Querschnitt rechteckig und bestehen aus elektrisch isolierendem und me- chanisch steifem Material wie Keramik, Al203-Keramik, Saphir, usw.. Ein Isolationswiderstand der elektrischen Isolatorele¬ mente 21, 21 λ ist grösser/gleich 1010Ω. Auch die Elektroden 22, 22 λ sind bezüglich der Längsachse BB λ im Querschnitt rechteckig und bestehen aus elektrisch leitfähigem Material wie aus Reinmetallen, Nickellegierungen, Kobaltlegierungen, Eisenlegierungen, usw.. Fig. 6 zeigt eine perspektivische Ansicht einer Elektrode 22, 22 λ . Jedes Systemelement 20, 20 λ weist vorzugsweise zwei Elektroden 22, 22 λ auf. Jede Elektro¬ de 22, 22 λ ist einstückig und weist mehrere, vorzugsweise drei Elektrodenflächen auf, die über mehrere, vorzugsweise zwei Gelenke mechanisch miteinander verbunden sind. Die Elektrode 22, 22 λ sammelt mit den Elektrodenflächen piezoe¬ lektrische Ladungen von mehreren, vorzugsweise drei piezoe¬ lektrischen Elementen 23, 23 23 λ λ auf. Die piezoelektrischen Elemente 23, 23 23 λ λ sind bezüglich der Längsachse BB λ im Querschnitt rechteckig und bestehen aus piezoelektrischem Material wie Quarz (Si02 Einkristall) , Calcium-Gallo- Germanat (Ca3Ga2Ge40i4 oder CGG) , Langasit (La3Ga5SiOi4 oder LGS) , Turmalin, Galliumorthophosphat , Piezokeramik, usw.. Die piezoelektrischen Elemente 23, 23 23 λ λ sind kristallogra- phisch so orientiert geschnitten, dass sie eine hohe Empfind¬ lichkeit für die aufzunehmende Kraft haben. Vorzugsweise weist das piezoelektrische Material eine hohe Empfindlichkeit für den longitudinalen oder den transversalen Schubeffekt auf. Dabei sind die piezoelektrischen Elemente 23, 23 23 λ λ so orientiert, dass negative und positive piezoelektrische Ladungen auf Oberflächen erzeugt werden, die senkrecht oder parallel zu einer Schubspannungsachse stehen. Die negativen und positiven piezoelektrischen Ladungen sind in Fig. 5 als + und - dargestellt. Diese piezoelektrischen Ladungen sind als Beschleunigungssignale elektrisch abgreifbar. Bei Kenntnis der vorliegenden Erfindung kann der Fachmann für die elektrischen Isolatorelemente, die Elektroden und die piezoelektrischen Elemente andere Querschnittsformen wie ein Kreis, usw. vorsehen .
[0013] Im Schema des piezoelektrischen Systems 2 nach Fig. 5 sind drei piezoelektrische Elemente 23, 23 23 λ λ zwischen zwei elektrischen Isolatorelementen 21, 21 λ angeordnet. Ein erstes elektrisches Isolatorelement 21 ist vom Mittelpunkt 0 abgewandt und ein zweites elektrisches Isolatorelement 21 λ ist dem Mittelpunkt 0 zugewandt. Diese fünf Elemente sind in den Fig. 1 bis 4 als Stapel dargestellt und in den Aussparun¬ gen 32, 32 λ angeordnet. Die Aussparungen 32, 32 λ sind so dimensioniert, dass sie die Systemelemente 20, 20 λ weitgehend vollständig aufnehmen. Das Adjektiv „weitgehend" beinhaltet eine Ungenauigkeit von ±10%. Somit sind das piezoelektrische System 2 und die seismische Masse 3 platzsparend, d.h. das piezoelektrische System 2 ist unter grösstmöglicher Raumnut¬ zung innerhalb einer Kugeloberfläche der seismischen Masse 3 angeordnet .
[0014] Zwei Elektroden 22, 22 λ sind mit ihren drei Elektrodenflächen an den Oberflächen der piezoelektrischen Elementen 23, 23 23 λ λ angeordnet. Die Elektroden 22, 22 λ sind vorzugsweise Gleichteile. Eine positive Elektrode 22 nimmt positive piezoelektrische Ladungen von den Oberflächen der piezoelektrischen Elemente 23, 23 23 λ λ auf, eine negative Elektrode 22 λ nimmt negative piezoelektrische Ladungen von den Oberflächen der piezoelektrischen Elemente 23, 23 23 λ λ auf. Jeweils ein Ende 24, 24 λ der Elektroden 22, 22 λ ist mit einem Masseelement 30, 30 λ elektrisch und mechanisch verbunden. Die positive Elektrode 22 ist über ihr Ende 24 mit dem bezüglich des Mittelpunktes 0 und der Vertikalachse ΑΑλ obe¬ ren ersten Masselement 30 elektrisch und mechanisch verbunden. Die negative Elektrode 22 λ ist über ihr Ende 24 λ mit dem bezüglich des Mittelpunktes 0 und der Vertikalachse ΑΑλ unte¬ ren zweiten Masselement 30 λ elektrisch und mechanisch verbunden. Die elektrischen und mechanischen Verbindungen erfolgen durch Kraftschluss wie Pressung, Haftreibung, usw. auf Oberflächen der Masseelemente 30, 30 λ. Die Elektroden 22, 22 λ greifen somit die negativen und positiven piezoelektrischen Ladungen als Beschleunigungssignale elektrisch ab und leiten sie elektrisch an die Masseelemente 30, 30 λ ab.
[0015] Das Beschleunigungs-Messgerät 1 weist eine Vorspan¬ nanordnung 4 auf, die aus zwei Kappen 40, 40 λ und einer Hülse
41 besteht. Wie in Fig. 3 und 4 dargestellt, sind die Kappen 40, 40 λ bezüglich der Längsachse BB λ im Querschnitt schalen¬ förmig und die Hülse 41 ist bezüglich der Längsachse BB λ im Querschnitt hohlzylinderförmig . Die Vorspannanordnung 4 besteht aus mechanisch steifem Material wie aus Reinmetallen, Nickellegierungen, Kobaltlegierungen, Eisenlegierungen, usw.. Bei Kenntnis der vorliegenden Erfindung kann der Fachmann auch Kappen und eine Hülse mit anderen Querschnittsformen wie ein Vieleck, usw. vorsehen. Die Kappen 40, 40 λ sind vorzugsweise Gleichteile. Die Hülse 41 weist ein Befestigungselement
42 auf. Mit dem Befestigungselement 42 erfolgt eine mechani¬ sche Verbindung mit einem nicht dargestellten Messobjekt. Die mechanische Verbindung ist eine mechanisch kraftschlüssige Verbindung wie ein Schraubverbindung, usw.. [0016] Die Vorspannanordnung 4 umschliesst die seismische Masse 3 und das piezoelektrische System 2 weitgehend voll¬ ständig. Je eine Kappe 40, 40 λ umschliesst bereichsweise eine Aussenseite der seismischen Masse 3. Bezüglich des Mittel¬ punktes O und der Längsachse BB λ umschliesst linksseitig eine erste Kappe 40 bereichsweise eine erste Aussenseite der seis¬ mischen Masse 3 und rechtsseitig umschliesst eine zweite Kap¬ pe 40 λ bereichsweise eine zweite Aussenseite der seismischen Masse 3. Bezüglich des Mittelpunktes O und der Längsachse BB λ umschliesst die Hülse 41 einen mittleren Bereich der seismischen Masse 3. Die Kappen 40, 40 λ und die Hülse 41 überlappen sich bereichsweise. Bezüglich des Mittelpunktes O und der Längsachse BB λ überlappt linksseitig die erste Kappe 40 einen ersten Endbereich der Hülse 41 und rechtsseitig überlappt die zweite Kappe 40 λ einen zweiten Endbereich der Hülse 41. Im Bereich der Systemelemente 20, 20 λ sind die Kappen 40, 40 λ im direkten mechanischen Kontakt mit den Systemelementen 20, 20 λ. Bezüglich des Mittelpunktes 0 und der Längsachse BB λ ist linksseitig die erste Kappe 40 im mechanischen Kontakt mit einem zweiten elektrischen Isolatorelement 21 λ des ersten Systemelementes 20 und rechtsseitig ist die zweite Kappe 40 λ im mechanischen Kontakt mit einem zweiten elektrischen Isolatorelement 21 λ des zweiten Systemelementes 20 λ. Dieser mecha¬ nische Kontakt ist ein flächiger Kontakt über jeweils eine vom Mittelpunkt 0 abgewandte Aussenseite der zweiten elektri¬ schen Isolatorelemente 21 λ. Zum Erzielen einer mechanischen Vorspannung wird eine Spannkraft flächig in die Aussenseiten der zweiten elektrischen Isolatorelemente 21 λ eingeleitet. Verglichen mit dem Stand der Technik der Schrift CH399021A ist die Querschnittsfläche, in welche die Spannkraft einge¬ leitet wird, wesentlich grösser. Die Spannhülse der Schrift CH399021A leitet die Spannkraft über einen ringförmigen Absatz mit kleiner Querschnittsfläche in die seismische Masse ein. Aufgrund der wesentlich grösseren Querschnittsfläche lässt sich erfindungsgemäss eine entsprechend grössere Spann¬ kraft einleiten, vorzugsweise ist die Spannkraft 100% grös¬ ser, vorzugsweise ist sie 500% grösser als im Stand der Tech¬ nik nach dem Datenblatt 8002_00_205d_07.05.
[0017] Die Fig. 3 und 4 zeigen im Schnitt Verfahrens¬ schritte zur mechanischen Vorspannung des piezoelektrischen Systems 2. In einem ersten Verfahrensschritt wird die elekt¬ rische Isolation 31 bezüglich der Vertikalachse ΑΑλ zwischen den Masseelementen 30, 30 λ angeordnet. Daraufhin werden die Systemelemente 20, 20 λ bezüglich der Vertikalachse ΑΑλ zwi¬ schen den Masseelementen 30, 30 λ in den Aussparungen 32, 32 λ angeordnet. In einem weiteren Schritt wird ein Ende einer je¬ den Elektrode 22, 22 λ mit einem Masseelemente 30, 30 λ elektrisch und mechanisch verbunden. Nun werden die Kappen
40, 40 λ und die Hülse 41 über die seismische Masse 3 gelegt. Dabei überlappen die Kappen 40, 40 λ die Endbereiche der Hülse
41. In noch einem weiteren Verfahrensschritt spannen die Kappen 40, 40 λ die Systemelemente 20, 20 λ gegen die Masseelemen¬ te 30, 30 λ mechanisch vor. In diesem mechanisch angespannten Zustand werden die Kappen 40, 40 λ in den Endbereichen der Hülse 41 mit der Hülse 41 stoffschlüssig verbunden. Die Stoffschlüssige Verbindung erfolgt durch Schweissen, Diffusi- onsschweissen, Thermokompressionsbonden, Löten, usw.. Nach Fig. 4 sind die Kappen 40, 40 λ jeweils über ringförmige Schweissnähte 43, 43 λ mit der Hülse 41 mechanisch verbunden. Die Schweissnähte 43, 43 λ sind für ein Fügewerkzeug gut zu¬ gänglich und somit einfach herzustellen. Auch sind die Schweissnähte 43, 43 λ an radialen Enden der schalenförmigen Kappen 40, 40 λ angebracht und weisen somit einen verhältnis¬ mässig grossen Radius auf, wodurch Schweisseigenspannungen gering sind.
[0018] Das piezoelektrische System 2, die seismische Masse 3 und die Vorspannanordnung 4 bilden eine piezoelektrische Aufnehmergruppe 10. Die piezoelektrische Aufnehmergruppe 10 ist vor einer Montage im Gehäuse 5 elektrisch und mechanisch testbar und lagerbar.
[0019] Fig. 7 zeigt einen Schnitt entlang der Horizontalachse CC λ durch einen Teil der Ausführungsform des Be- schleunigungs-Messgerätes 1 nach Fig. 1 und 2. Fig. 8 und 9 zeigen dazu perspektivische Ansichten. Die piezoelektrische Aufnehmergruppe 10 wird im Gehäuse 5 montiert. Dazu wird in einem ersten Verfahrensschritt die piezoelektrische Aufneh¬ mergruppe 10 in das Gehäuse 5 gesetzt und im Bereich der Hül¬ se 41 mit einem bezüglich des Mittelpunktes 0 unteren Boden des Gehäuses 5 stoffschlüssig verbunden. Die Stoffschlüssige Verbindung erfolgt durch Schweissen, Diffusionsschweissen, Thermokompressionsbonden, Löten, usw.. In einem weiteren Verfahrensschritt wird die Abdeckung 6 auf einen bezüglich des Mittelpunktes 0 oberen Rand des Gehäuses 5 gesetzt und mit dem Gehäuse 5 stoffschlüssig verbunden. Auch die stoffschlüs¬ sige Verbindung erfolgt durch Schweissen, Diffusionsschweis¬ sen, Thermokompressionsbonden, Löten, usw..
[0020] Bezüglich des Mittelpunktes 0 endseitig auf der Ho¬ rizontalachse CC λ weist das Gehäuse 5 eine Öffnung 50 auf. Durch die Öffnung sind die Masseelemente 30, 30 λ von aus- serhalb des Gehäuses 5 zugänglich. In einem weiteren Verfahrensschritt werden elektrische Kontaktelemente 7, 7λ mit den Masseelemente 30, 30 λ elektrisch und mechanisch verbunden. Die elektrischen Kontaktelemente 7, 7λ sind zylindrisch und bestehen aus elektrisch leitfähigem Material wie aus Reinmetallen, Nickellegierungen, Kobaltlegierungen, Eisenlegierungen, usw.. Die elektrische und mechanische Verbindung erfolgt durch Stoffschluss wie Schweissen, Diffusionsschweissen, Thermokompressionsbonden, Löten, usw.. In der Ausführung nach Fig. 7 und 8 sind die elektrischen Kontaktelemente 7, 7λ kur¬ ze Drähte, die von einer Oberfläche der Masseelemente 30, 30 λ in den Bereich der Öffnung 50 reichen. Kurze Drähte haben den Vorteil, dass sie mechanischen Belastungen im Einsatz sehr gut widerstehen und somit langlebig und zudem kostengünstig sind .
[0021] Das Beschleunigungs-Messgerät 1 ist über ein Sig¬ nalkabel 8 mit einer nicht dargestellten Auswerteeinheit elektrisch verbindbar. In der Auswerteeinheit lassen sich die Beschleunigungssignale elektrisch verstärken und auswerten. Das Signalkabel 8 weist einen Signalkabelmantel und zwei elektrische Signalleiter 80, 80 λ auf. Der Signalkabelmantel schützt die elektrischen Signalleiter 80, 80 λ vor schädlichen Umwelteinflüssen wie Verunreinigungen (Staub, Feuchtigkeit, usw.). Der Signalkabelmantel kann eine koaxiale elektromagne¬ tische Abschirmung aufweisen und die Signalleiter vor elektrischen und elektromagnetischen Störeffekten in Form von elektromagnetischer Strahlung schützen. Die elektrischen Signalleiter 80, 80 λ bestehen aus elektrisch leitfähigem Material wie aus Reinmetallen, Nickellegierungen, Kobaltlegierungen, Eisenlegierungen, usw.. Die bezüglich des Mittelpunktes 0 vorderen Enden der elektrischen Signalleiter 80, 80 λ werden mit den elektrischen Kontaktelementen 7, 7λ elektrisch und mechanisch verbunden. Beliebige elektrische und mechanische Verbindungen wie Stoffschluss , Formschluss und Kraftschluss sind möglich. Somit sind die die elektrischen Signalleiter 80, 80 λ indirekt mit den Masseelementen 30, 30 λ elektrisch und mechanisch verbunden. Beschleunigungssignale werden indi¬ rekt von den Masseelementen 30, 30 λ über die elektrischen Kontaktelemente 7, 7λ auf die elektrischen Signalleiter 80, 80 λ elektrisch abgeleitet. Bei Kenntnis der vorliegenden Erfindung kann der Fachmann die elektrischen Kontaktelemente und die elektrischen Signalleiter auch einstückig gestalten und die elektrischen Signalleiter direkt mit den Masseelementen elektrisch und mechanisch verbinden. Beschleunigungssignale werden dann von den Masseelementen direkt auf elektrischen Signalleiter elektrisch abgeleitet.
[0022] Das Beschleunigungs-Messgerät 1 weist eine Schutz¬ hülse 9 auf. Die Schutzhülse 9 ist hohlzylinderförmig und be¬ steht aus bestehen aus mechanisch beständigem Material wie aus Reinmetallen, Nickellegierungen, Kobaltlegierungen, Eisenlegierungen, Kunststoff, Keramik, usw.. In weiteren Verfahrensschritten wird mit der Schutzhülse 9 die Öffnung 50 abgedichtet und das Signalkabel 8 zugentlastet. Dazu wird die Schutzhülse 9 wie in Fig. 8 und 9 dargestellt, über das Sig¬ nalkabel 8 geschoben. Nachdem die elektrische und mechanische Verbindung der elektrischen Signalleiter mit den elektrischen Kontaktelementen 7, 7λ realisiert ist, wird die Schutzhülse 9 gegen das Gehäuse 5 geschoben, was in Fig. 9 mit einem Pfeil gekennzeichnet ist. Die Schutzhülse weist einen Teller 90 und ein Rohr 91 auf. Teller 90 und Rohr 91 sind einstückig. Ein Durchmesser des Tellers 90 ist so dimensioniert, dass der Teller 90 die Öffnung 50 vollständig verschliessen kann. Ein radial äusserer Rand des Tellers 90 wird nun mechanisch mit dem Gehäuse 5 verbunden. Die mechanische Verbindung erfolgt durch Stoffschluss wie Schweissen, Diffusionsschweissen, Thermokompressionsbonden, Löten, usw.. Die mechanische Verbindung dichtet die Öffnung 50 gasdicht ab. Auch ist ein Durchmesser des Rohres 91 so dimensioniert, dass er geringfü¬ gig grösser als ein Aussendurchmesser des Signalkabelmantels ist. Rohr 91 und Signalkabelmantel werden nun mechanisch mit¬ einander verbunden. Die mechanische Verbindung erfolgt durch Stoffschluss wie Kleben, Löten, usw.. oder durch Kraftschluss wie Crimpen, Klemmen, usw.. Die mechanische Verbindung bildet eine Zugentlastung der elektrischen und mechanischen Verbindung der elektrischen Signalleiter werden mit den elektrischen Kontaktelementen 7, 7λ.
[0023] Die Bestandteile des Beschleunigungs-Messgerätes 1 sind so beschaffen, dass eine Betriebstemperatur von -70°C bis +700°C reicht. Als Material für das Gehäuse 5, die Abde¬ ckung 6, die Masseelemente 30, 30 die Elektroden 22, 22 die Vorspannanordnung 4 werden daher vorzugsweise Nickellegierungen mit den Werkstoffnummern 2.4969 oder 2.4632 verwendet . Bezugszeichenliste
ΑΑλ Vertikalachse
BB λ Längsachse
CC λ Horizontalachse
0 Mittelpunkt
1 Beschleunigungs-Messgerät
2 piezoelektrisches System
3 seismische Masse
4 Vorspannanordnung
5 Gehäuse
6 Abdeckung
7, 7 λ elektrisches Kontaktelement
8 Signalkabel
9 Schutzhülse
10 piezoelektrische Aufnehmergruppe
20, 20 λ Systemelement
21, 21 λ elektrisches Isolatorelement
22, 22 λ Elektrode
23, 23\ 23λ λ piezoelektrisches Element
24, 24 λ Ende der Elektrode
30, 30 λ Masseelement
31 elektrische Isolation
32, 32 λ Aussparung
40, 40 λ Kappe
41 Hülse
42 Befestigungselement
43, 43 λ Schweissnaht
50 Öffnung
80, 80 λ elektrischer Signalleiter
90 Teller
91 Rohr

Claims

Patentansprüche
1. Beschleunigungs-Messgerät (1) mit einem piezoelektrischen System (2), einer seismischen Masse (3) und eine Vorspannanordnung (4); bei Beschleunigung übt die seismische Masse (3) eine ihrer Beschleunigung proportionale Kraft auf das piezoelektrische System (2) aus, welche Kraft im pie¬ zoelektrischen System (2) piezoelektrische Ladungen erzeugt, und welche piezoelektrischen Ladungen als Beschleu¬ nigungssignale elektrisch abgreifbar sind, dadurch gekennzeichnet, dass das piezoelektrische System (2) zwei Syste¬ melemente (20, 20 λ) aufweist; dass die seismische Masse
(3) zwei Masseelemente (30, 30 λ) aufweist; und dass die Vorspannanordnung (4) die Systemelemente (20, 20 λ) gegen die Masseelemente (30, 30 λ) mechanisch vorspannt.
2. Beschleunigungs-Messgerät (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Systemelemente (20, 20 λ), die Mas¬ seelemente (30, 30 λ) und die Vorspannanordnung (4) eine piezoelektrische Aufnehmergruppe (10) bilden.
3. Beschleunigungs-Messgerät (1) nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorspannanordnung
(4) unter mechanischer Vorspannung im direkten mechanischen Kontakt mit den Systemelementen (20, 20 λ) ist.
4. Beschleunigungs-Messgerät (1) nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass jedes Systemelement (20, 20 λ) ein elektrisches Isolatorelement (21, 21 λ) aufweist; und dass die Vorspannanordnung (4) unter mechanischer Vorspannung im flächigen Kontakt mit den elektrischen Isolatorelementen (21, 21λ) ist.
5. Beschleunigungs-Messgerät (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorspannanordnung (4) zwei Kappen (40, 40 λ) und eine Hülse (41) aufweist; dass die Kappen (40, 40 λ) und die Hülse (41) über die seismische Masse (3) gelegt sind; und dass die übergeleg¬ ten Kappen (40, 40 λ) unter mechanischer Vorspannung mit der übergelegten Hülse (41) stoffschlüssig verbunden sind.
6. Beschleunigungs-Messgerät (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Systemelemente (20, 20 λ) in Aussparungen (32, 32 λ) der Masseelemente (30, 30 λ) angeordnet sind.
7. Beschleunigungs-Messgerät (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das die Masseelemente (30, 30 λ) mittels einer elektrischen Isolation (31) gegeneinander elektrisch isoliert sind.
8. Beschleunigungs-Messgerät (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das jedes Systemele¬ ment (20, 20 λ) eine positive Elektrode (22) und eine nega¬ tive Elektrode (22 λ) aufweist; dass die positive Elektrode (22) positive piezoelektrische Ladungen aufnimmt; dass die negative Elektrode (22 λ) negative piezoelektrische Ladun¬ gen aufnimmt; dass die positive Elektrode (22) mit einem ersten Masseelement (30) elektrisch und mechanisch verbunden ist; dass die negative Elektrode (22 λ) mit einem zwei¬ ten Masseelement (30 λ) elektrisch und mechanisch verbunden ist; und dass an den Masseelementen (30, 30 λ) piezoe¬ lektrischen Ladungen als Beschleunigungssignale elektrisch abgreifbar sind.
9. Beschleunigungs-Messgerät (1) nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass Beschleunigungs-Messgerät (1) ein Ge¬ häuse (5) mit einer Öffnung (50) aufweist; und dass die Masseelemente (30, 30 λ) durch die Öffnung (50) elektrisch und mechanisch mit einem Signalkabel (8) verbunden sind.
10. Beschleunigungs-Messgerät (1) nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Signalkabel (8) zwei elektrische Signalleiter (80, 80 λ) aufweist; dass die elektrischen Signalleiter (80, 80 λ) direkt oder indirekt mit den Mas¬ seelementen (30, 30 λ) elektrisch und mechanisch verbunden sind; und dass die elektrischen Signalleiter (80, 80 λ) Be¬ schleunigungssignale von den Masseelementen (30, 30 λ) elektrisch ableiten.
11. Beschleunigungs-Messgerät (1) nach einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass jede Elektrode (22, 22 λ) mehrere Elektrodenflächen aufweist, die über Gelenke mechanisch miteinander verbunden sind; und dass jede Elektrode (22, 22 λ) mit den Elektrodenflächen piezoelektrische Ladungen von mehreren piezoelektrischen Elementen (23, 23 \ 23λ λ) sammelt.
12. Verfahren zur Herstellung eines Beschleunigungs- Messgerät (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Systemelemente (20, 20 λ) zwischen den Masseelementen (30, 30 λ) angeordnet werden.
13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass zwei Kappen (40, 40 λ) und eine Hülse (41) der Vorspannano¬ rdnung (4) über die seismische Masse (3) gelegt werden; und dass die übergelegten Kappen (40, 40 λ) unter mechani- scher Vorspannung mit der übergelegten Hülse (41) stoffschlüssig verbunden werden.
14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Systemelemente (20, 20 λ), die Masseelemente (30, 30 λ) und die Vorspannanordnung (4) eine piezoelektrische Auf¬ nehmergruppe (10) bilden und dass die piezoelektrische Aufnehmergruppe (10) in ein Gehäuse (5) des Beschleuni- gungs-Messgerätes (1) gesetzt wird; dass die Vorspannano¬ rdnung (4) mit einem Boden des Gehäuses (5) stoffschlüssig verbunden wird; dass eine Abdeckung (6) des Beschleuni- gungs-Messgerätes (1) auf einen oberen Rand des Gehäuses (5) gesetzt wird; und dass die Abdeckung (6) mit dem obe¬ ren Rand des Gehäuses (5) stoffschlüssig verbunden wird.
15. Verfahren nach einem der Ansprüche 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Systemelemente (20, 20 λ) mit den
Masseelementen (30, 30 λ) elektrisch verbunden werden; dass ein Gehäuse (5) des Beschleunigungs-Messgerätes (1) eine Öffnung (50) aufweist und dass die Masseelemente (30, 30 λ) durch die Öffnung (50) elektrisch und mechanisch mit einem Signalkabel (8) verbunden werden.
PCT/EP2016/078608 2015-12-04 2016-11-24 Beschleunigungs-messgerät und verfahren zur herstellung eines solchen beschleunigungs-messgerätes WO2017093099A1 (de)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP16801191.4A EP3384296B1 (de) 2015-12-04 2016-11-24 Beschleunigungs-messgerät und verfahren zur herstellung eines solchen beschleunigungs-messgerätes
JP2018528678A JP6539415B2 (ja) 2015-12-04 2016-11-24 加速度測定装置及び加速度測定装置を製造するための方法
KR1020187015031A KR102088119B1 (ko) 2015-12-04 2016-11-24 가속도 측정 장치 및 가속도 측정 장치의 제조 방법
RU2018120488A RU2700037C1 (ru) 2015-12-04 2016-11-24 Устройство для измерения ускорения и способ изготовления такого устройства для измерения ускорения
US15/776,702 US10739375B2 (en) 2015-12-04 2016-11-24 Acceleration measuring device and method of manufacturing of said acceleration measuring device
CN201680070661.9A CN108291926B (zh) 2015-12-04 2016-11-24 加速度测量仪和制造这种加速度测量仪的方法

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EPEP15198027.3 2015-12-04
EP15198027 2015-12-04

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2017093099A1 true WO2017093099A1 (de) 2017-06-08

Family

ID=54783466

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2016/078608 WO2017093099A1 (de) 2015-12-04 2016-11-24 Beschleunigungs-messgerät und verfahren zur herstellung eines solchen beschleunigungs-messgerätes

Country Status (6)

Country Link
US (1) US10739375B2 (de)
JP (1) JP6539415B2 (de)
KR (1) KR102088119B1 (de)
CN (1) CN108291926B (de)
RU (1) RU2700037C1 (de)
WO (1) WO2017093099A1 (de)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7244605B2 (ja) * 2020-11-02 2023-03-22 キストラー ホールディング アクチエンゲゼルシャフト 加速度変換器
EP3992638B1 (de) * 2020-11-02 2024-03-20 Kistler Holding AG Beschleunigungsaufnehmer

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH399021A (de) 1964-02-19 1966-03-31 Kistler Instrumente Ag Beschleunigungs-Messgerät
US3744322A (en) * 1970-12-07 1973-07-10 Space Res Corp Angular velocity sensors
DE2712359A1 (de) * 1976-03-29 1977-10-20 Brueel & Kjaer As Elektromechanisches beschleunigungs- messgeraet

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3351787A (en) * 1965-01-11 1967-11-07 Kistler Instr Corp Accelerometer
US4016437A (en) * 1971-03-15 1977-04-05 Kistler Instrumente Ag Piezoelectric pressure and force transducers or accelerometers
US4211951A (en) * 1976-03-29 1980-07-08 Bruel & Kjaer A/S Shear type prestressed piezoelectric force transducer
SU794539A1 (ru) * 1977-12-05 1981-01-07 Ленинградский Ордена Красногознамени Механический Институт Пьезоэлектрический преобразо-ВАТЕль уСКОРЕНий
DE2906451C2 (de) * 1979-02-20 1981-03-12 Kistler Instrumente Ag, Winterthur Piezoelektrisches Wandlerelement und Verfahren zu seiner Herstellung
DE2906407C2 (de) 1979-02-20 1981-02-26 Kistler Instrumente Ag, Winterthur (Schweiz) Piezoelektrisches Wandlerelement zum Einbau in Druck-, Kraft- oder Beschleunigungsaufnehmer
DD144482A1 (de) * 1979-07-13 1980-10-15 Guenther Steimann Piezoelektrischer beschleunigungsaufnehmer
US4492607A (en) * 1983-02-22 1985-01-08 Rockwell International Corporation Method for producing integrally stiffened fiber reinforced plastic panels
JPH088454Y2 (ja) * 1989-06-16 1996-03-06 株式会社村田製作所 加速度センサ
KR920004497Y1 (ko) * 1989-12-28 1992-07-02 포항종합제철 주식회사 압전소자를 이용한 다축형 진동감지기
KR920011031B1 (ko) 1990-08-28 1992-12-26 주식회사 럭키 열가소성 수지 조성물의 제조방법
SU1809392A1 (en) * 1990-10-08 1993-04-15 Vsesoyuznyj Niiex Fiz Piezoelectric acceleration transducer
DK169653B1 (da) * 1992-10-09 1995-01-09 Brueel & Kjaer As Piezoelektrisk accelerometer af forskydningstypen
DE4440078A1 (de) 1994-11-10 1996-05-15 Telefunken Microelectron Piezoelektrischer Beschleunigungsaufnehmer
RU2098831C1 (ru) * 1996-01-31 1997-12-10 Игорь Борисович Вишневский Акселерометр, работающий на деформации сдвига в пьезоэлементе, и способ его изготовления
CH691625A5 (de) 1997-09-15 2001-08-31 Kk Holding Ag Beschleunigungskompensierter Druckkaufnehmer.
CN1109248C (zh) * 1999-01-08 2003-05-21 中国科学院上海硅酸盐研究所 改进型450℃高温压电加速度计
KR100308834B1 (ko) * 1999-08-20 2001-11-01 신현준 압축형 가속도센서 및 그 제조방법
JP3538707B2 (ja) * 2000-02-21 2004-06-14 株式会社村田製作所 シリコーンゴム硬化方法および硬化装置
CN1147731C (zh) * 2001-11-30 2004-04-28 中国科学院上海硅酸盐研究所 一种经改进的在200℃使用的剪切型绝缘压电加速度计
JP2005207328A (ja) * 2004-01-23 2005-08-04 Toyota Industries Corp 圧縮機
WO2006131015A2 (de) 2005-06-10 2006-12-14 Kistler Holding Ag Drucksensor mit aktiver und passiver beschleunigungskompensation
CN1862262A (zh) * 2006-06-13 2006-11-15 重庆大学 一种差动式压电加速度传感器
US8915139B1 (en) * 2010-03-12 2014-12-23 Applied Physical Sciences Corp. Relaxor-based piezoelectric single crystal accelerometer
US8816570B1 (en) * 2010-08-31 2014-08-26 Applied Physical Sciences Corp. Dual cantilever beam relaxor-based piezoelectric single crystal accelerometer
ES2784778T3 (es) * 2012-08-31 2020-09-30 Meggitt Sa Sensor de fuerza y método para probar su fiabilidad
CN104969078B (zh) 2013-02-07 2018-04-10 基斯特勒控股公司 用于制造加速度传感器的方法
CN103675341A (zh) 2013-12-26 2014-03-26 中国科学院上海硅酸盐研究所 压电式加速度传感器

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH399021A (de) 1964-02-19 1966-03-31 Kistler Instrumente Ag Beschleunigungs-Messgerät
US3744322A (en) * 1970-12-07 1973-07-10 Space Res Corp Angular velocity sensors
DE2712359A1 (de) * 1976-03-29 1977-10-20 Brueel & Kjaer As Elektromechanisches beschleunigungs- messgeraet

Also Published As

Publication number Publication date
KR102088119B1 (ko) 2020-03-12
CN108291926A (zh) 2018-07-17
US20180328958A1 (en) 2018-11-15
CN108291926B (zh) 2020-08-07
JP2019504306A (ja) 2019-02-14
RU2700037C1 (ru) 2019-09-12
US10739375B2 (en) 2020-08-11
KR20180075626A (ko) 2018-07-04
JP6539415B2 (ja) 2019-07-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2013597B1 (de) Piezoelektrisches messelement mit transversaleffekt und sensor, umfassend ein solches messelement
EP3124943B1 (de) Piezoelektrischer drucksensor und verfahren zur herstellung dieses piezoelektrischen drucksensors
DE2906407C2 (de) Piezoelektrisches Wandlerelement zum Einbau in Druck-, Kraft- oder Beschleunigungsaufnehmer
EP3384295B1 (de) Beschleunigungs-messgeraet und verfahren zur herstellung eines solchen beschleunigungs-messgeraetes
EP3124944B1 (de) Piezoelektrischer drucksensor
EP0316498A1 (de) Accelerometer
DE202005021706U1 (de) Sensorelement mit zumindest einem Messelement, welches piezoelektrische und pyroelektrische Eigenschaften aufweist
EP3124938B1 (de) Drucksensor
EP3124947B1 (de) Drucksensor
WO2017093099A1 (de) Beschleunigungs-messgerät und verfahren zur herstellung eines solchen beschleunigungs-messgerätes
WO2016173953A1 (de) Kontaktkraft-prüfvorrichtung, verwendung einer solchen kontaktkraft-prüfvorrichtung und verfahren zur herstellung einer solchen kontaktkraft-prüfvorrichtung
WO2022242980A1 (de) Berührgeschützte schraubverbindungseinrichtung
WO2016173952A1 (de) Kontaktkraft-prüfvorrichtung, verwendung einer solchen kontaktkraft-prüfvorrichtung und verfahren zur herstellung einer solchen kontaktkraft-prüfvorrichtung
EP2954333A1 (de) Verfahren zur herstellung eines beschleunigungssensors
EP3384296A1 (de) Beschleunigungs-messgerät und verfahren zur herstellung eines solchen beschleunigungs-messgerätes
EP3001167B1 (de) Sensoranordnung und verfahren zur herstellung einer sensoranordnung
EP3124945B1 (de) Piezoelektrischer drucksensor
WO2020078814A1 (de) Widerstandsbaugruppe und verfahren zur herstellung einer widerstandsbaugruppe und batteriesensor
EP2545351A1 (de) Gekapselter elektrischer anschluss für insbesondere thermisch und/oder druckseitig beanspruchte sensoren
DE2228607C3 (de) Verteilerkappe für einen Zündverteiler
DE1648582A1 (de) Piezoelektrischer Messwandler
DE2654087C3 (de) Elektrisches Zündmittel
EP1097514B1 (de) Anschlussvorrichtung für geschirmte flächenelektrode
DE1648582C3 (de) Piezoelektrischer Meßwandler
DE19802487A1 (de) Zündeinheit

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 16801191

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 15776702

Country of ref document: US

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20187015031

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2018528678

Country of ref document: JP

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2018120488

Country of ref document: RU

Ref document number: 2016801191

Country of ref document: EP