DE1648582A1 - Piezoelektrischer Messwandler - Google Patents

Piezoelektrischer Messwandler

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DE1648582A1 DE19671648582 DE1648582A DE1648582A1 DE 1648582 A1 DE1648582 A1 DE 1648582A1 DE 19671648582 DE19671648582 DE 19671648582 DE 1648582 A DE1648582 A DE 1648582A DE 1648582 A1 DE1648582 A1 DE 1648582A1
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Description

Dipl.Ing.Dr.Dr.h.c. Hans LIST, Graz (Österreich.)
Piezoelektrischer Meßwandler
Die Erfindung betrifft einen piezoelektrischen Meßwandler mit zwischen einem gehäusefeaten Widerlager und dem Boden einer Rohrfeder vorgespanntem, zwei Abnahmeelektroden -oder Elektrodengruppen für die vom Meßdruck erzeugte Ladung aufweisenden Meßelement und wenigstens einer durch das Wandlergehäuse isoliert hindurchgeführten, das Meßelement mit einem am entgegengesetzten-Gehäuseende angebrachten Ansohlußkopf verbindenden Leitung* Zu diesen bekannten Meßwandlern gehören sowohl piezoelektrische Druckgeber, z.B. zur Messung des Druckverlaufes in den Zylindern einer Brennkraftmaschine, als auch piezoelektrische Beechleunigungeiaeßgträte, die z.B. für die Messung von Schwingungen an Maschinen und Fahrzeugen herangezogen werden, Bowls piezoelektrische Kraftmeßeinrichtungen, wie sie beispielsweise als Lastaießseilen vorwiegend zum Messen rasch veränderlicher Kräfte anwendbar sind.
Bei der Druckmessung sl&d häufig nicht mir Einzeldruck· an sich bzw. deren zeitlicher '/erlauf, sondern Differenzdrücke zu messen. Zu diesem Zweak wtrdta bti *in®r bekannten Meßeinrichtung die beiden Einzeldrucke durch sswti gleich •mpfindlioh.« Druckgeber @it tntgtgtngteetst gtpolfen An-
Schlüssen gemessen und die den Drücken entsprechenden Signale gemeinsam einem als Meßgerät verwendeten Elektrometer zugeführt. Die an den beiden Druckgebern entstehenden Ladungen werden somit subatraktiv überlagert, sodaß direkt die Druckdifferenz angezeigt wird. Handelsübliche Druckgeber sind jedoch mit gleichpoligen Anschlüssen ausgestattet, so daß es einer kostspieligen Spezialausführung eines Druckgebers bedarf, um diese bekannte Meßeinrichtung betreiben zu können. Bei Verwendung zweier Druckgeber in der Standardausführung, deren positive Pole stets an Masse liegen, ist eine verhältnismäßig aufwendige elektronische Schaltung für die Differenzbildung erforderlich.
Ähnliche Probleme treten auch beim gleichzeitigen Setrieb mehrerer Beschleunigungsmeßgeräte auf. Bei Versuchen, Schwingungen an Fahrzeugen gleichzeitig an verschiedenen Stellen zu erfassen, hat es sich gezeigt, daß die gemeinsam an Masse gesohalteten piezoelektrischen Beschleunigungsmeßgeräte einen gegenseitigen Störeinfluß aufeinander ausüben, der offenbar mit dem gemeinsamen Masseanschluß in Zusammenhang steht.
Um diesen Schwierigkeiten zu begegnen, ist erfindungsgemäß vorgesehen, daß die Abnahmeelektroden bzw. -Elektrodengruppen je in an sich bekannter Weise gegen das Wandlergehäuse elektrisch isoliert sind, und daß beide Abnahmeelektroden bzw. -elektrodengruppen durch das Widerlager über separate, gegeneinander und gegen das Wandlergehäuse isolierte Verbindungsleitungen an je einem gleichfalls isolierten Einzelsteoker des Anschlußkopfee angeschlossen sind. Durch diese Anordnung entfällt die bisher notwendige Rücksichtnahme auf die Polung dtr Wandleransohlüsse und man erhält auoh bei gleichzeitiger Verwendung mehrerer Wandler außerordentlich präzise Mtßtrgebnisse, welche frei von allen duroh den Maaseaneohluß dtr Wandler verursachten Störeinflüssen sind. Die trfindungegemaß· Bauart dts Mtßwandlera berücksichtigt
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außerdem die Erfordernisse einer rationellen Serienfertigung.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung könen zwei durch das Widerlager parallel geführte und gegen sein Achsmittel seitlich versetzte, vorzugsweise mit Isolierrohren zur Aufnahme der Verbindungsleitungen ausgekleidete Längst»ohrungen vorgesehen sein, von denen die eine nur das Widerlager und eine an dessen innerer Stirnfläche anliegende Isolierscheibe durchsetzt und an der an dieser benachbart anliegenden Abnahmeelektrode endigt, wogegen sich'die andere längsbohrung in an sich bekannter Weise im Meßelement fortsetzt und an der das Meßelement gegen den Boden der Rohrfeder hin begrenzenden Abnahmeelektrode endigt. Diese Ausführung bietet vor allem den fertigungstechnischen Vorteil, daß die Bearbeitung der Längsbohrungen und der darin angeordneten Halterungen, z.B. Gewinde, für die Befestigung der Anschlußbuchsen für die Meßleitung, in einem Arbeitsgang erfolgen kann. Bei Auskleidung der Längsbohrungen mit Isolierrohren kann weiters auf eine Isolierung der die Elektroden mit den Anschlußteilen verbindenden Einzelleiter verzichtet werden. Das an der dem Boden der Rohrfeder benachbarten Abnahmeelektrode endigende längere Isolierrohr dient außerdem zur Ausrichtung der einzelnen Scheiben des Meßkristallsatzes.
Bei einer anderen Ausführung des Meßwandlers nach der Erfindung weist das Widerlager in an sich bekannter Weise eine zentrale Längsbohrung auf, und enthält diese die beiden Verbindungsleitungen, wobei die von der dem Boden der Rohrfeder näherliegenden Abnahmeelektrode wegführende Verbindungsleitung die darüberliegenden Abnahmeelektroden und Scheiben des Meßelementes durchsetzt. Bei diesem Wandlertyp ist die Verwendung isolierter Leiter geboten, um Masseschlüsse mit Sicherheit zu vermeiden. Die zentrische Anordnung der Längsbohrung ist aus Gründen der vereinfachten Montage des Meßwandlers von Vorteil, da beim Einbau des Piezoelementes nicht auf die Lage der einzelnen Scheibenelemente zueinander geachtet werden muß.
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Eine andere Ausgestaltung der Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß das Meßelement in an sich bekannter Weise zwei Abnahmeelektrodengruppen aufweist, die aus an beiden Stirnflächen der piezoelektrischen Scheiben vorgesehenen metallischen Elektrodenbelägen bestehen, wobei einer der beiden Elektrodenbeläge eine vom Rand der Scheibe ausgehende Ausnehmung aufweist, in der eine mit dem anderen Elektrodenbelag elektrisch leitend verbundene elektrische Verbindungsbrücke endet, die vom erstgenannten Elektrodenbelag jedoch elektrisch isoliert ist, und daß der dem Widerlager zugewendete Elektrodenbelag der obersten Scheibe sowie das Ende der Verbindungsbrücke je mit einer der beiden Verbindungsleitungen elektrisch verbunden sind, wobei das Ende der Verbindungsbrücke bis zur Mitte der Scheibe geführt ist und die beiden Verbindungsleitungen konzentrisch angeordnet sind, durch eine axiale Bohrung des Widerlagers hindurchgeführt und am Ende der Verbindungsbrücke bzw. am Elektrodenbelag direkt befestigt bzw. an diesen angedrückt sind. Dieser Anwendungsfall der Erfindung bietet besondere fertigungstechnische Vorteile. Die Praxis hat nämlich erwiesen, daß das Durchbohren von Scheiben aus piezoelektrischem Material im allgemeinen mit einem verhältnismäßig großen Risiko veibunden ist, da es beim Bohren immer wieder zum Bruch einzelner Scheiben kommt. Soll nun ein solches Meßelement in einem Wandler der erfindungsgemäßen Bauart untergebracht und über getrennte Verbindungsleitungen mit den Anschlußsteckern des Gerätes verbunden werden, und soll weiterhin die Bphrarbeit an den Scheiben des Meßelementes auf ein Minimum beschränkt werden, dann bietet sich die letztgenannte Wandlerausführung nach der Erfindung als besonders günstige Lösung dieses speziellen Problemes an.
Bei der letztgenannten Ausführung des Meßwandlers kann vorteilhafterweise erfindungsgemäß die Verbindungsbrücke zum unteren Elektrodenbelag in der Ausnehmung vor dem Scheibenmittel enden und können die beiden Verbindungsleitungen in ex-
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zentrischen Bohrungen das Widerlager durchsetzen. Von sämtlichen Scheiben des Meßelementes braucht daher lediglich die am Widerlager anliegende Isolierscheibe mit Bohrungen für den Durchgang der beiden Verbindungsleitungen versehen zu werden.
Die Erfindung wird nachfolgend an Hand mehrerer in der Zeichnung dargestellter Ausführungsbeispiele näher beschrieben. Es zeigen Fig. 1 einen Axialschnitt eines piezoelektrischen Accelerometer, Pig. 2 einen Axialschnitt eines piezoelektrischen Druckgebers, Fig. 3 einen Teil einer weiteren Ausführung eines Meßwandlers im Mittelschnitt, Fig. 4 einen Schnitt nach der Linie IV-IV in Fig. 3, Fig. 5 die einzelnen Elemente eines piezoelektrischen Schichtkörpers in auseinandergezogenem Zustand und perspektivischer Darstellung, Fig. 6 in gleicher Darstellung wie Fig. 5 eine andere Ausführung eines piezoelektrischen Schichtkörpers.
In Fig. 1 bezeichnet 1 das im wesentlichen hohlzylindriacne Gehäuse des Meßwandlers, in dessen abgestufter Mittelbonrung 2 ein Widerlager 3 in Form eines mehrfach abgestuften zylindrischen Einsatzes angeordnet ist. An das Widerlager 3 ist eine federnde Vorspannhülse 4 angeschweißt, die sich mit ihrem Flansch 4' an dem ringförmigen Absatz 5 der Mittelbohrung 2 des Gehäuses 1 abstützt. Das Widerlager 3 wird oben durch den umgebördelten Rand 6 des Wandlergehäuses 1 gehalten.
Die Vorspannhülse 4 ist innerhalb des engeren Teiles der abgestuften Mittelbohrung 2 mit radialem Spiel frei beweglich angeordnet. Innerhalb der Vorspannhülse 4 befindet sich eine unmittelbar am Boden 7 der Vorapannhülse 4 anliegende zylindrische seismische Masse 8, deren Trägheitskräfte zusammen mit den Trägheitskräften des massiv gehaltenen Bodens 7 auf das in der Vorspannhülse 4 zwischen der Masse 6 und dem Widerlager 3 angeordnete piezoelektrische Meßelement 9 einwirken. Das durch eine z.B. aus Teflon bestehende Isolierhülse 10 gegen den Mantel der Vorspannhülae 4 elektrisch isoliert© und zentrierte Meßelement 9 besteht aus einer Anzahl übereinandergeechichteter Scheiben 11 aua piezoelektrischem Material, z.B. Quarz.
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Zur Abnahme der elektrischen Ladung des Piezoelementes 9 sind an seinen beiden Stirnflächen anliegende scheibenförmige Abnahmeelektroden 12 und 13 vorgesehen, welche durch zwischengelegte Isolierscheiben 14 und 15 gegen die Innenfläche des Widerlagers 3 und den Massezylinder 8 elektrisch isoliert sind.
Das Widerlager 3 ist mit zwei parallelen durchgehenden Längsbohrungen 16 und 17 versehen, von denen sich die eine 16 in fluchtenden Bohrungen der Isolierscheibe 14, der Elektrode 12 und der Scheiben 11 fortsetzt und an der Elektrode 13 endet. Die andere Längsbohrung 17 durchsetzt lediglich die Isolierscheibe 14 und endet vor der dem Widerlager 3 benachbarten Elektrode 12. In die Bohrungen 16 und 17 ist je ein durchgehendes elektrisch isolierendes Rohr 18 bzw. 19 eingesetzt. An den zu den Längsbohrungen 16 und 17 hin freiliegenden Flächen der Elektroden 13 und 12 ist je ein Einzelleiter 20 bzw. 21 elektrisch leitend befestigt, z.B. angeschweißt. Diese Einzelleiter sind durch die Isolierrohre 18 bzw. 19 hindurch, wie in der Zeichnung durch strichpunktierte Linien angedeutet, mit Längenübermaß zu Anschlußbuchsen 22 und 23 geführt und mit diesen elektrisch leitend verbunden. Diese Anschlußbuchsen 22 und 23 sind unter Beilage je zweier Isolierringe 24, die sich an den beiden Ringflächen eines an den Anschlußbuchsen vorgesehenen Kragens 25 abstützen, in einen erweiterten Teil der Bohrungen 16 bzw. 17 eingesetzt. In Innengewinde der Bohrungen 16 und 17 eingeschraubte, mit einer Isoliereinlage 26 versehene Schraubhülsen 27 sorgen für eine feste Halterung der beiden Anschlußbuchsen 22 und 23 in den Bohrungen 16 und 17. Die Anschlußbuchsen 22 und 23 dienen zum Anschluß einer in der Zeichnung nicht dargestellten zweipoligen Meßleitung, über die die dem Piezoelement 9 abgenommene Ladung, z.B. über einen Verstärker, einem Meß- oder Anzeigegerät zugeführt wird.
Bei dem in Fig. 2 dargestellten piezoelektrischen Druckgeber besitzt das an seinem einen Ende in eine Gewindehülse 28 auslaufende Gebergehäuse 1* eine mehrfach abgestufte axia-
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le Sackbohrung 2', in die das Widerlager 3' mit der daran angeschweißten Vorspannhülse 4! eingesetzt ist. Die Endfläche des Widerlagers 3' stützt sich auf einem ringförmigen Absatz 5' der Sackbohrung 2' ab. Der mit 71 bezeichnete Boden der Vorspannhülse 41 liegt flächig an einer Membrane 29 an, die mit ihrem ringförmigen Rand 30 an die ringförmige Stirnfläche der Gewindehülse 28 angeschweißt ist.
Der zwischen der Vorspannhülse 4' und der Bohrung 2' gebildete Ringraum ist über einen Entlüftungskanal 31 mit der Atmosphäre verbunden.
Zwischen dem Boden 7' der Vorspannhülse 4' und der Stirnfläche des weit in die Vorspannhülse hineingezogenen Teiles des Widerlagers 31 ist das von_ drei Scheiben aus piezoelektrischem Material unter Zwischenlage zweier scheibenförmiger Abnahme elektroden 12' und 13' gebildete Meßelement angeordnet und durch eine Isolierhülse 10! gegen den Mantel der Vorspannhülse 4' elektrisch isoliert. Die dem Boden 7' der Vorspannhülse 41 zunächst liegende Scheibe 11' ist voll ausgebildet, wogegen die beiden anderen Scheiben 11" des Meßelementes mittig axial durchbohrt sind. Die Bohrungen fluchten mit einer axialen Längsbohrung 16' des Widerlagers 3', durch die zwei isolierte Einzelleiter 20' und 21· hindurchgeführt sind. Der Leiter 20', welcher die mit einer gegen das Achsmittel seitlich versetzten Durchbrechung 32 versehne Elektrode 12' durchsetzt, ist mit der Elektrode 13' z.B. durch Schweißung elektrisch leitend verbunden. Der andere Einzelleiter 21' ist an die Elektrode 12' in gleicher Weise angeschlossene Die beiden Leiter sind durch einen Pfropfen 33 aus Vergußmasse in der Bohrung 16' abdichtend fixiert.
Das Gebergehäuse 1' besitzt an der der Membrane 29 gegenüberliegenden Seite eine axiale zylindrische Ausnehmung 34» von deren Boden zwei parallele Sackbohrungen 35 und 36 ausgehen, die durch Überschneidungen mit der zentralen Sackbohrung 2' in diese ausmünden. In die Bohrungen 35 und 36 ist je eine
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Isolierhülse 37 eingesetzt, welche sich mit einem Kragen am Boden der zylindrischen Ausnehmung 34 abstützt. In die Isolierhülsen 37 sind Anschlußbuchsen 22' bzw. 23' eingesetzt, die von einem in der Ausnehmung 34 angeordneten, mit abgesetzten Bohrungen zur Aufnahme des Steckerschaftes der Anschlußbuchsen 22' und 23' versehenen Isolierkörper 38 am Gehäuse 11 festgehalten sind. Die Enden der isolierten Leiter 20' und 21' sind an die Anschlußbuchsen 22· und 23' herangeführt und mit diesen elektrisch leitend verbunden» Die vom Meßelement gelieferte elektrische Ladung wird auch bei dieser Ausführung über eine nicht dargestellte zweipolige Meßleitung den Meß- oder Anzeigegeräten zugeführt.
Bei den folgenden Ausführungsbeispielen werden lediglich die erfindungswesentlichen Teile der Meßwandler beschriebene Es kann sich dabei sowohl um Accelerometer als auch um Druckgeber handeln.
Die in den Pig. 3 und 4 dargestellte Ausführung weist ein aus drei Scheiben 39 und je einer obersten Scheibe 39' und einer untersten Scheibe 39" aus piezoelektrischem Material, z.B. Quarz, gebildetes Meßelement auf. Alle Scheiben 39 > 39' sind an den Hauptflächen mit z.B. aus Gold oder Silber bestehenden und als Elektroden dienenden Metallschichten 40 versehen. Diese Metallschichten können z.B. aufgedampft sein. Die Scheiben 39 und 39' weisen außerdem an je zwei um einen Winkel von 180 versetzten Stellen U-förmige elektrische Verbindungsbrücken an den Seitenflächen auf, die je mit einem Ende mit einer anderen der beiden Metallschichten 40 leitend verbunden sind. Mit den anderen Enden 41' greifen die Verbindungsbrücken je in Ausnehmungen 42 der zweiten Metallschicht 40 ein, wobei sie von letzterer durch einen allseitigen Abstand elektrisch isoliert sind. Die einzelnen Scheiben 39 sind nun so ubereinandergeschichtet, daß gleichpolige Elektroden aufeinanderliegen und die entgegengesetzt gepolten im Abstand entsprechend der doppelten Scheibendicke voreinander liegenden Elektroden durch Verbindungsbrücken 41 elektrisch leitend verbunden sind. Letzteres geschieht dadurch, daß die Enden 41' aufeinanderliegen. Die unterste Schei-
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be 39" weist nur eine Verbindungsbrücke 41 auf. Die oberste Scheibe 39' besitzt eine Verbindungsbrücke 43, die in einer Ausnehmung 44 der obersten Metallschichte 40 endet und bis zum Scheibenmittel reicht. Die Ladungen werden durch einen zentral angeordneten Leiter 44 und ein dazu koaxiales Leiterrohr 45 abgenommen und nach außen geführt. Die Leiter 44» 45 sind an der Verbindungsbrücke 43 bzw. an der Metallschicht 40 direkt befestigt oder an diese angedrückt. Im Bereich der Verbindungsbrücke 43 weist der rohrförmige Leiter 45 eine entsprechende Ausnehmung 46 auf.
Der beschriebene piezoelektrische Schichtkörper ist zwischen dem Widerlager 47 und der Vorspannhülse 48 eingespannt, wobei Scheiben 49 bzw. 50 aus elektrisch isolierendem Material zwischengelegt sind. Widerlager 47 und Isolierscheibe 49 weisen eine axiale Bohrung 51 auf, durch welche die Leiter 44, 45 hindurchgefahrt sind.
Beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 5 sind alle Teile des Meüelementes gleich ausgebildet und bezeichnet, wie zu Fig. 3 und 4 beschrieben, mit Ausnahme der obersten Scheibe 52, bei der die Verbindungsbrücke 53 zur unteren Metallschicht 40 in der Ausnehmung vor dem Scheibenmittel endet. Die beiden exzentrisch angeordneten Leiter 55, 56 zur Abführung der Ladungen, welche an der Verbindungsbrücke 53 bzw. der als Abnahmeelektrode dienenden Metallschicht 40 befestigt sind, durchsetzen das nicht dargestellte Widerlager und die zwischengelae;erte Isolierscheibe 57 in Bohrungen 58 bzw. 59.
Die Ausführung nach Fig. 6 unterscheidet sich von jener nach Fig. 5 lediglich dadurch, daß zur Abnahme der Ladungen von der Verbindungsbrücke 53 und dem obersten Metallbelag 40 Zwischenelektroden 58 bzwe 59 von entsprechender Formgebung vorgesehen sind, welche mit dem piezoelektrischen Schichtkörper feet verbunden sein können.
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Claims (3)

Patentansprüche ι
1. Piezoelektrischer Meßwandler mit zwischen einem gehäusefesten Widerlager und dem Boden einer Rohrfeder vorgespanntem, zwei Abnahmeelektroden oder -elektrodengruppen für die vom Meßdruck erzeugte Ladung aufweisenden Meßelement und wenigstens einer durch das Wandlergehäuse isoliert hindurchgeführten, das Meßelement mit einem am entgegengesetzten Gehäuseende angebrachten Anschlußkopf verbindenden leitung, dadurch gekennzeichnet, daß die Abnahmeelektroden (12, 13 bzw. 12', 13') bzw. -elektrodengruppen je in an sich bekannter Weise gegen das Wandlergehäuse (1j1·) elektrisch isoliert sind, und daß beide Abnahmeelektroden bzw. -elektrodengruppen durch das Widerlager (3,3*) über separate, gegeneinander und gegen das Wandlergehäuse (1j1') isolierte Verbindungsleitungen (20, 21 bzw. 20·, 21·) an je einem gleichfalls isolierten Einzelsteoker (22,23;22'23') des Anschlußkopfes angeschlossen sind.
2. Meßwandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Aufnahme der Verbindungsleitungen (20,21) zwei durch das Widerlager (3) parallel geführte und gegen sein Achsmittel seitlich versetzte, vorzugsweise mit Isolierrohren (18,19) ausgekleidete Längsbohrungen (16,17) vorgesehen sind, von denen die eine (17) nur das Widerlager (3) und eine an dessen innerer Stirnfläche anliegende Isolierscheibe (H) durchsetzt und an der an dieser benachbart anliegenden Abnahmeelektrode (12) endigt, wogegen sich die andere Längsbohrung (16) in an sich bekannter Weise im Meßelement fortsetzt und an der das Meßelement (9) gegen den Boden (7) der Rohrfeder (4) hin begrenzenden Abnahmeelektrode (13) endigt (Fig,1),
3. Meßwandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Widerlager (31) in an sich bekannter Weise eine zentrale Längebohrung (16f) aufweist, und daß diese die beiden Verbindungaleitungen (20',21f) enthält, wobei die von der dem Boden (71) der Rohrfeder (41) näherliegenden Abnahmeelektrode (13') wegführende Verbindungsleitung (20·) die darüber-
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liegenden Abnahmeelektroden (12·) und Scheiben (11") des Meßelementes durchsetzt (Mg. 2).
Meßwandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Meßelement in an sich bekannter Weise zwei Abnahmeelektrodengruppen aufweist, die aus an beiden Stirnflächen der piezoelektrischen Scheiben vorgesehenen metallischen Elektrodenbelägen bestehen, wobei einer der beiden Elektrodenbeläge eine vom Rand der Scheibe ausgehende Ausnehmung aufweist, in der eine mit dem anderen Elektrodenbe'lag elektrisch leitend verbundene elektrische Verbindungsbrücke endet, die vom erstgenannten Elektrodenbelag jedoch elektrisch isoliert ist, und daß der dem Widerlager (47) zugewendete Elektrodenbelag (40) der obersten Scheibe (39',52) sowie das Ende der Verbindungsbrücke (43,53) je mi"b einer der beiden Verbindungsleitungen (44,45j55,56) elektrisch verbunden sind, wobei das Ende der Verbindungsbrücke (43) bis zur Mitte der Scheibe (391) geführt ist und die beiden Verbindungsleitungen (44,45) konzentrisch angeordnet sind, durch eine axiale Bohrung (51) des Widerlagers (47) liindurchgeführt und am Ende der Verbindungsbriicke (43) bzw. am Elektrodenbelag (40) direkt befestigt bzw. an diesen angedrückt sind, Meßwandler nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindungsbrücke (53) zum unteren Elektrodenbelag (40) in der Ausnehmung vor dem Scheibenmittel endet und die beiden Verbindungsleitungen (55,56) in exzentrischen Bohrungen (58,59) das Widerlager durchsetzen (Fig. 5 und 6).
27·. 10.69
Kr/W/NGr
109814/0583
DE19671648582 1966-07-12 1967-06-29 Piezoelektrischer Meßwandler Expired DE1648582C3 (de)

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AT669166A AT269514B (de) 1966-07-12 1966-07-12 Piezoelektrischer Meßwandler
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DE1648582A1 true DE1648582A1 (de) 1971-04-01
DE1648582B2 DE1648582B2 (de) 1976-02-26
DE1648582C3 DE1648582C3 (de) 1976-10-28

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3023627A1 (de) * 2014-11-21 2016-05-25 Robert Bosch Gmbh Kraftstoffinjektor

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EP3023627A1 (de) * 2014-11-21 2016-05-25 Robert Bosch Gmbh Kraftstoffinjektor

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US3495102A (en) 1970-02-10
CH454490A (de) 1968-04-15
DE1648582B2 (de) 1976-02-26
AT269514B (de) 1969-03-25

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