CH454490A - Piezoelektrischer Messwandler - Google Patents

Description

  
 



  PiezoeIektrischer   Messwandrer   
Die Erfindung bezieht sich auf einen   piezoelektri-    schen   Messwandler,    dessen aus piezoelektrischem Material bestehendes, dem Messdruck aussetzbares Messelement von einem Widerlager abgestützt und von einer an dieses angeschlossenen   Vorspanuhülse    umschlossen sowie mit zwei Abnahmeelektroden oder   -elektrodengruppen    für die vom Messdruck erzeugte elektrische Ladung versehen ist.



   Zu diesen bekannten   Messwandlern    gehören sowohl piezoelektrische Druckgeber, z. B. zur   Messung    des   Druckverlaufes    in den Zylindern einer Brennkraftmaschine, piezoelektrische Accelerometer, die z. B. für die Messung von Schwingungen an Maschinen und Fahrzeugen herangezogen werden, als auch piezoelektrische Kraftmesseinrichtungen, wie sie   z. B.    als Lastmesszellen vorwiegend zum   Messen    rasch veränderlicher Kräfte anwendbar sind.



   Bei der   Druckmessung    sind häufig nicht nur Einzeldrücke an sich bzw. deren zeitlicher Verlauf, sondern Differenzdrücke zu messen. Bei einer bekannten Messeinrichtung geschieht dies dadurch, dass die beiden Einzeldrücke durch zwei gleich empfindliche Druckgeber mit entgegengesetzt   gepolten    Anschlüssen gemessen werden, deren Signale gemeinsam einem als Messgerät verwendeten Elektrometer zugeführt werden. Die an den beiden   Druckgebern    entstehenden Ladungen werden auf diese Weise subtraktiv überlagert, so dass direkt die Druckdifferenz angezeigt wird.



  Da im Handel jedoch nur Druckgeber mit gleichpoligen Anschlüssen erhältlich sind, bedarf es einer kostspieligen Spezialausführung eines Druckgebers, um diese bekannte   Messeinrichtung    betreiben zu können.



  Bei Verwendung zweier Druckgeber in der Standardausführung, deren positive Pole stets an Masse liegen, ist eine verhältnismässig aufwendige elektronische Schaltung für die Differenzbildung erforderlich.



   Ähnliche Probleme treten auch bei der gleichzeitigen Verwendung mehrerer Accelerometer auf. Bei Versuchen, Schwingungen an Fahrzeugen gleichzeitig an verschiedenen Stellen zu erfassen, hat es sich gezeigt, dass die gemeinsam an Masse geschalteten pie  zoelektrischen    Accelerometer einen gegenseitigen Störeinfluss aufeinander ausüben, der offenbar mit dem gemeinsamen   Masseanschluss    der Accelerometer in Zusammenhang steht.



   Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, diese Schwierigkeiten zu beseitigen. Ausgehend von der eingangs genannten bekannten Ausführung eines piezoelektrischen Messwandlers wird das Erfindungsziel dadurch erreicht, dass die zwei Abnahmeelektroden   bzw. -elektrodengruppen    gegen das   Wandlergehäuse    und das Widerlager elektrisch isoliert und über getrennte, gegeneinander sowie gegen das Wandlergehäuse und das Widerlager elektrisch isolierte Einzelleiter mit getrennten Aussenanschlüssen elektrisch leitend verbunden sind. Man ist daher jeweils bezüglich der Messchaltung in keiner Weise durch die Polung der Anschlüsse eingeengt.

   Weiters sind alle durch den   Masseanschluss    der Wandler verursachten Störeinflüsse ausgeschaltet, so dass präzise Messergebnisse auch bei gleichzeitiger   Verwendung    mehrer Wandler gewährleistet sind. Mit der erfindungsgemässe Bauart des Messwandlers lassen sich zugleich auch die Erfordernisse einer rationellen Serienanfertigung berücksichtigen.



   Bei einer bevorzugten Ausführung des erfindungsgemässen Messwandlers ist vorgesehen, dass das Widerlager eine durchgehende Längsbohrung aufweist, die sich im Messelement fortsetzt und die an der dem Boden der Vorspannhülse näherliegenden Anschlusselektrode endigt, wobei zumindest der von dieser Elektrode ausgehende Einzelleiter durch diese Bohrung hindurchgeführt ist. Dadurch ist der Anschluss der Abnahmeelektroden besonders einfach und von der Anzahl der das Piezoelement bildenden scheibenförmigen Elemente unabhängig.



   In weiterer Ausgestaltung der Erfindung kann die Längsbohrung gegen die Mittelachse des Widerlagers seitlich versetzt und eine gleichfalls aussermittige, par  alle    zweite Längsbohrung vorgesehen sein, die das Widerlager und eine an dessen inneren   Rirrlfläche    an  liegende Isolierscheibe durchsetzt und die an der vom Boden der Vorspannhülse am weitesten entfernten Abnahmeelektrode endigt, wobei die von der Abnahmeelektrode wegführenden Einzelleiter je durch eine der, vorzugsweise mit Isolierrohren ausgekleideten, Längsbohrungen hindurchgeführt und mit den am freien Ende jeder Längsbohrung isoliert angeordneten Aussenanschlüssen verbunden sind. Diese Ausführung bietet vor allem den fertigungstechnischen Vorteil, dass die Bearbeitung der Längsbohrung und der in ihr angeordneten Halterungen, z. B.

   Gewinde, für die Befestigung der Anschlussteile, z. B. Anschlussbuchsen für die Messleitung, in einem   Arbeitsgang    erfolgen kann.



  Bei der vorzugsweise vorgesehenen Auskleidung der Längsbohrungen mit Isolierrohren kann auf eine Isolierung der die Elektroden mit den Anschlussteilen verbindenden Einzelleiter verzichtet werden.



   Bei einer anderen Ausführung des Messwandlers nach der Erfindung verläuft die Längsbohrung zentral und enthält die beiden Einzelleiter, wobei der von der dem Boden der Vorspannhülse näherliegenden Abnahmeelektrode wegführende Einzelleiter die andere Abnahmeelektrode und gegebenenfalls vorhandene Zwischenelektroden des geschichteten Piezoelementes durchsetzt. Bei dieser Ausführung ist die Verwendung isolierter Leiter geboten, um   Masseschlüsse    mit Sicherheit zu vermeiden. Die zentrische Anordnung der Längsbohrung ist aus Gründen der vereinfachten Montage des Messwandlers von Vorteil, da beim Einbau des Piezoelementes nicht auf die Lage der einzelnen Scheibenelemente zueinander geachtet werden muss.



   Bei der letztgenannten Ausführung erweist es sich als besonders zweckmässig, die beiden Abnahmeelektroden sowie allenfalls vorhandene Zwischenelektroden gleichartig, mit einer gegen die Mittelachse seitlich versetzten Durchbrechung auszuführen. Die dem Boden der Vorspannhülse zunächst liegende Elektrode braucht dann nur gegenüber allen anderen Elektroden, deren Durchbrechungen zueinander fluchtend ausgerichtet werden, um 1800 verdreht eingebaut zu werden, so dass der an ihr befestigte Einzelleiter geradlinig durch die Durchbrechungen der übrigen Elektroden herausgeführt werden kann.



   Folgende vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung ist dann angebracht, wenn das Messelement des Messwandlers in an sich bekannter Weise aus Scheiben aus piezoelektrischem Material besteht, deren beide ebenen Flächen zwecks Bildung von Elektroden mit Metall beschichtet sind, wobei eine der beiden Metallschichten eine vom Rand der Scheibe ausgehende Ausnehmung aufweist, in der eine mit der anderen Metallschicht elektrisch leitend verbundene elektrische Verbindungsbrücke endet, die von der erstgenannten Metallschicht jedoch elektrisch isoliert ist. Es ist dann die dem Widerlager zugewendete oberste Scheibe in gleicher Weise ausgebildet und die Metallschicht dieser Fläche als auch das Ende der Verbindungsbrücke je mit einem der zu den Anschlüssen der Messleitung führenden beiden Einzelleiter elektrisch verbunden.

   Diese Ausführung hat den Vorteil, dass eine Durchbohrung der Scheiben aus piezoelektrischem Material überflüssig ist, ohne jedoch die Bauabmessungen des Messwandlers zu vergrössern. Dabei kann das Ende der Verbindungsbrücke entweder bis zum Mittel der Scheibe geführt sein oder vor diesem Mittel enden und die Ladungsabnahme dementsprechend durch zwei konzentrische oder zwei exzentrische Leiter erfolgen, die durch eine konzentrische bzw. zwei exzentrische axiale Bohrung des Widerlagers hindurchgeführt sind.



   Die Erfindung wird nachfolgend an Hand mehrerer in der Zeichnung dargestellter Ausführungsbeispiele näher beschrieben. Es zeigen Fig. 1 einen Axialschnitt eines piezoelektrischen Accelerometers, Fig. 2 einen Axialschnitt eines piezoelektrischen Druckgebers, Fig. 3 einen Teil einer weiteren Ausführung eines Messwandlers im Mittelschnitt, Fig. 4 einen Schnitt nach der Linie IV-IV in Fig. 3, Fig. 5 die einzelnen Elemente eines piezoelektrischen Schichtkörpers in auseinandergezogenem Zustand und perspektivischer Darstellung, Fig. 6 in gleicher Darstellung wie Fig. 5 eine andere Ausführung eines piezoelektrischen Schichtkörpers.



   In Fig. 1 bezeichnet 1 das im wesentlichen hohlzylindrische Gehäuse des Messwandlers, in dessen abgestufte Mittelbohrung 2 ein Widerlager 3 in Form eines mehrfach abgestuften zylindrischen Einsatzes angeordnet ist. An das Widerlager 3 ist eine federnde Vorspannhülse 4 angeschweisst, die sich mit ihrem Flansch   4' an    dem ringförmigen Absatz 5 der Mittelbohrung 2 des Gehäuses 1 abstützt. Das Widerlager 3 wird oben durch den umgebördelten Rand 5 des Wandlergehäuses 1 gehalten.



   Die Vorspannhülse 4 ist innerhalb des engeren Teiles der abgestuften Mittelbohrung 2 mit radialem Spiel frei beweglich angeordnet. Innerhalb der Vorspannhülse 4 befindet sich eine unmittelbar am Boden 7 der Vorspannhülse 4 anliegende zylindrische seismische Masse 8, deren Trägheitskräfte zusammen mit den Trägheitskräften des massiv   gehaltenen    Bodens 7 auf das in der Vorsplannhülse 4 zwischen der Masse 8 und dem Widerlager 3 angeordnete piezoelektrische Messelement 9 einwirken. Das durch eine z. B. aus  Teflon  bestehende Isolierhülse 10 gegen den Mantel der Vorspannhülse 4 elektrisch isolierte und zentrierte Messelement 9 besteht aus einer Anzahl übereinandergeschichteter Scheiben 11 aus piezoelektrischem Material, z. B. Quarz.

   Zur Abnahme der elektrischen Ladung des Piezoelementes 9 sind an seinen beiden Stirnflächen anliegende scheibenförmige Abnahmeelektroden 12 und 13 vorgesehen, welche durch zwischengelegte Isolierscheiben 14 und 15 gegen die Innenfläche des Widerlagers 3 und den Massezylinder 8 elektrisch isoliert sind.



      Das Widerlager 3 ist t mit zwei parallelen durchge-    henden Längsbohrungen 16 und 17 versehen, von denen sich die eine 16 in fluchtenden Bohrungen der Isolierscheibe 14, der Elektrode 12 und der Scheiben 11 fortsetzt und an der Elektrode 13 endet. Die andere Längsbohrung 17 durchsetzt lediglich die Isolierscheibe 14 und endet vor der dem Widerlager 3 benachbarten Elektrode 12. In die Bohrungen 16 und 17 ist je ein durchgehendes elektrisch isolierendes Rohr 18 bzw. 19 eingesetzt. An den zu den Längsbohrungen 16 und 17 hin freiliegenden Flächen der Elektroden 13 und 12 ist je ein Einzelleiter 20 bzw. 21 elektrisch leitend befestigt, z. B. angeschweisst.

   Diese Einzelleiter sind durch die Isolierrohre 18 bzw. 19 hindurch, wie in der Zeichnung durch strichpunktierte Linien angedeutet, mit Längenübermass zu Anschlussbuchsen 22 und 23 geführt und mit diesen elektrisch leitend verbunden.



  Diese Anschlussbuchsen 22 und 23 sind unter Beilage je zweier Isolierringe 24, die sich an den beiden Ringflächen eines an den Anschlussbuchsen vorgesehenen Kragens 25 abstützen, in einen erweiterten Teil der   Bohrungen 16 bzw. 17 eingesetzt. In Innengewinde der Bohrungen 16 und 17 eingeschraubte, mit einer Isoliereinlage 26 versehene Schraubhülsen 27 sorgen für eine feste Halterung der beiden Anschlussbuchsen 22 und 23 in den Bohrungen 16 und 17. Die Anschlussbuchsen 22 und 23 dienen zum Anschluss einer in der Zeichnung nicht dargestellten zweipoligen Messleitung, über die die dem Piezoelement 9 abgenommene Ladung, z. B. über einen Verstärker, einem Mess- oder Anzeigegerät zugeführt wird.



   Bei dem in Fig. 2 dargestellten piezoelektrischen Druckgeber besitzt das an seinem einen Ende in eine Gewindehülse 28 auslaufende Gebergehäuse 1' eine mehrfach abgestufte axiale Sackbohrung 2', in die das Widerlager   3' mit    der daran angeschweissten Vorspannhülse 4 eingesetzt ist. Die Endfläche des Widerlagers   3' stützt    sich auf einem ringförmigen Absatz 5' der Sackbohrung   2' ab.    Der mit 7' bezeichnete Boden der Vorspannhülse 4 liegt flächig an einer Membrane 29 an, die mit ihrem ringförmigen Rand 30 an die ringförmige Stirnfläche der Gewindehülse 28 angeschweisst ist.



   Der zwischen der Vorspannhülse 4 und der Bohrung 2' gebildete Ringraum ist über einen Entlüftungskanal 31 mit der Atmosphäre verbunden.



   Zwischen dem Boden   7' der    Vorspannhülse 4 und der Stirnfläche des weit in die Vorspannhülse hineingezogenen Teiles des Widerlagers   3' ist    das von drei Scheiben aus piezoelektrischem Material unter Zwischenlage zweier scheibenförmiger Abnahmeelektroden   12' und    13' gebildete Messelement angeordnet und durch eine Isolierhülse 10' gegen den Mantel der Vorspannhülse 4 elektrisch isoliert. Die dem Boden   7' der    Vorspannhülse 4' zunächst liegende Scheibe   11' ist    voll ausgebildet, wogegen die beiden anderen Scheiben   11" des    Messelementes mittig axial durchbohrt sind.



  Die Bohrungen fluchten mit einer axialen Längsbohrung   16' des    Widerlagers 3', durch die zwei isolierte Einzelleiter   20' und    21' hindurchgeführt sind. Der Leiter 20',   welcner    die mit einer gegen das Achsmittel seitlich versetzten Durchbrechung 32 versehene Elektrode 12' durchsetzt, ist mit der Elektrode   13' z. B.    durch Schweissung elektrisch leitend verbunden. Der andere Einzelleiter   21' ist    an die Elektrode   12' in    gleicher Weise angeschlossen. Die beiden Leiter sind durch einen Pfropfen 33 aus Vergussmasse in der Bohrung 16' abdichtend fixiert.



   Das Gebergehäuse 1'besitzt an der der Membrane 29 gegenüberliegenden Seite eine axiale zylindrische Ausnehmung 23, von deren Boden zwei parallele Sackbohrungen 35 und 36 ausgehen, die durch   tÇberschnei-    dungen mit der zentralen Sackbohrung   2' in    diese   ans-    münden. In die Bohrungen 35 und 36 ist je eine Isolierhülse 37 eingesetzt, welche sich mit einem Kragen am Boden der zylindrischen Ausnehmung 34 abstützt.



  In die Isolierhülsen 37 sind Anschlussbuchsen 22' bzw. 23' eingesetzt, die von einem in der Ausnehmung
34 angeordneten, mit abgesetzten Bohrungen zur Aufnahme des Steckerschaftes der Anschlussbuchsen 22' und 23' versehenen Isolierkörper 38 am Gehäuse 1' festgehalten sind. Die Enden der isolierten Leiter 20' und   21' sind    an die Anschlussbuchsen   22' und    23' herangeführt und mit diesen elektrisch leitend verbun den. Die vom Messelement gelieferte elektrische
Ladung wird auch bei dieser Ausführung über eine nicht dargestellte zweipolige Messleitung den Mess oder Anzeigegeräten zugeführt.



   Bei den folgenden Ausführungsbeispielen werden lediglich die erfindungswesentlichen Teile der Messwandler beschrieben. Es kann sich dabei sowohl um Accelerometer als auch um Druckgeber handeln.



   Die in den Fig. 3 und 4 dargestellte Ausführung weist ein aus drei Scheiben 39 und je einer obersten Scheibe   39' und    einer untersten Scheibe   39" aus    piezoelektrischem Material, z. B. Quarz, gebildetes Messelement auf. Alle Scheiben 39, 39' sind an den Hauptflächen mit z. B. aus Gold oder Silber bestehenden und als Elektroden dienenden Metallschichten 40 versehen.



  Diese Metallschichten können z. B. aufgedampft sein.



  Die Scheiben 39 und   39' weisen    ausserdem an je zwei um einen Winkel von   180     versetzten Stellen U-förmige elektrische Verbindungsbrücken an den Seitenflächen auf, die je mit einem Ende mit einer anderen der beiden Metallschichten 40 leitend verbunden sind. Mit den anderen Enden   41' greifen    die Verbindungsbrücken je in Ausnehmungen 42 der zweiten Metallschicht 40 ein, wobei sie von letzterer durch einen allseitigen Abstand elektrisch isoliert sind. Die einzelnen Scheiben 39 sind nun so übereinandergeschichtet, dass gleichpolige Elektroden aufeinanderliegen und die entgegengesetzt gepolten im Abstand entsprechend der doppelten Scheibendicke voreinander liegenden Elektroden durch Verbindungsbrücken 41 elektrisch leitend verbunden sind. Letzteres geschieht dadurch, dass die Enden 41' aufeinanderliegen.

   Die unterste Scheibe   39" weist    nur eine Verbindungsbrücke 41 auf. Die oberste Scheibe   39' besitzt    eine Verbindungsbrücke 43, die in einer Ausnehmung 44 der obersten Metallschichte 40 endet und bis zum Scheibenmittel reicht. Die Ladungen werden durch einen zentral angeordneten Leiter 44 und ein dazu koaxiales Leiterrohr 45 abgenommen und nach aussen geführt. Die Leiter (44, 45) sind an der Verbindungsbrücke 43 bzw. an der Metallschicht 40 direkt befestigt oder an diese angedrückt. Im Bereich der Verbindungsbrücke 43 weist der rohrförmige Leiter 45 eine entsprechende Ausnehmung 46 auf.



   Der beschriebene piezoelektrische Schichtkörper ist zwischen dem Widerlager 47 und der Vorspannhülse 48 eingespannt, wobei Scheiben 49 bzw. 50 aus elektrisch isolierendem Material zwischengelegt sind.



  Widerlager 47 und Isolierscheibe 49 weisen eine axiale Bohrung 51 auf, durch welche die Leiter 44, 45 hindurchgeführt sind.



   Beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 5 sind alle Teile des Messelementes gleich ausgebildet und be  zeichnet,    wie zu Fig. 3 und 4 beschrieben, mit Ausnahme der obersten Scheibe 52, bei der die Verbindungsbrücke 53 zur unteren Metallschicht 40 in der Ausnehmung vor der Scheibenmitte endet. Die beiden exzentrisch angeordneten Leiter 55, 56 zur Abführung der Ladungen, welche an der Verbindungsbrücke 53 bzw. der als Abnahmeelektrode dienenden Metallschicht 40 befestigt sind, durchsetzen das nicht dargestellte Widerlager und die zwischengelagerte Isolierscheibe 57 in Bohrungen 58 bzw. 59.



   Die Ausführung nach Fig. 6 unterscheidet sich von jener nach Fig. 5 lediglich dadurch, dass zur Abnahme der Ladungen von der Verbindungsbrücke 53 und dem obersten Metallbelag 40 Zwischenelektroden 58 bzw.



  59 von entsprechender Formgebung vorgesehen sind, welche mit dem piezoelektrischen Schichtkörper fest verbunden sein können.   

Claims (1)

1. PATENTANSPRtJCE Piezoelektrischer Messwandler, dessen aus piezo- elektrischem Material bestehendes, dem Messdruck aussetzbares Messelement von einem Widerlager abgestützt und von einer an dieses angeschlossenen Vorspannhülse umschlossen sowie mit zwei Abnahmeelektroden oder -elektrodengruppen für die vom Messdruck erzeugte elektrische Ladung versehen ist. dadurch gekennzeichnet, dass die zwei Abnahmeelektroden bzw.

   -eleLtrodengruppen gegen das Wandlergehäuse (1, 1') und das Widerlager (3, 3') elektrisch isoliert und über getrennte, gegeneinander sowie ebenfalls gegen das Wandlergehäuse (1, 1') und das Widerlager elektrisch isolierte Einzelleiter (20, 21; 20', 21') mit getrennten Aussenanschlüssen (22, 23; 22', 23') elektrisch leitend verbunden sind.

   UNTERANSPRt) CHE 1. Messwandler nach Patentanspruch, dadurch gekennzeichnet, dass das Widerlager (3; 3') eine durch; hende Längsbohrung (16; 16') aufweist, die sich im Messelement fortsetzt und die an der dem Boden (7; 7') der Vorspannhülse (4; 4') näherliegenden, Abnahmeelektrode (13; 13') endigt, wobei zumindest der von dieser Elektrode (13; 13') ausgehende Einzelleiter (20; 20') durch diese Bohrung hindurchgeführt ist (Fig. 1 und 2).

   2. Messwandler nach Unteranspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Längsbohrung (16) gegen die Mittelachse des Widerlagers (3) seitlich versetzt und eine gleichfalls aussermittige, parallele zweite Längsbohrung (17) vorgesehen ist, die das Widerlager (3) und eine an dessen inneren Stirnfläche anliegende Isolierscheibe (14) durchsetzt und die an der vom Boden (7) der Vorspannhülse (4) am weitesten entfernten Abnahmeelektrode (12) endigt, wobei die von den Abnahmeelektroden (12, 13) wegführenden Einzelleiter (20, 21) je durch eine der, vorzugsweise mit Isolierrohren (18, 19) ausgekleideten, Längsbohrungen (16, 17) hindurchgeführt und mit den am freien Ende jeder Längsbohrung isoliert angeordneten Aussenanschlüssen (22, 23) verbunden sind (Fig. 1).

   3. Messwandler nach Unteranspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Längsbohrung (16') zentral verläuft und die beiden Einzelleiter (20', 21') enthält, wobei der von der dem Boden (7') der Vorspannhülse' (4' > näherliegenden Abnahmeelektrode (13') wegführende Einzelleiter (20') die andere Abnahmeelektrode (12') und gegebenenfalls vorhandene Zwischenelektroden des geschichteten Piezoelementes-durchsetzt (Fig. 2).

   4. Messwandler nach Unteranspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Abnahmeelektroden (12', 13') gleichartig mit einer gegen die Mittelachse seitlich versetzten Durchbrechung (32) ausgeführt sind.

   5. Messwandler nach Patentanspruch, dessen Messelement aus Scheiben aus piezoelektrischem Material besteht, deren beide ebenen Flächen zwecks Bildung von Elektroden mit Metall beschichtet sind, wobei eine der beiden Metallschichten eine vom Rand der Scheibe ausgehende Ausnehmung aufweist, in der eine mit der anderen Metallschicht elektrisch leitend verbundene elektrische Verbindungsbrücke endet, die von der erstgenannten Metallschicht jedoch elektrisch isoliert ist, dadurch gekennzeichnet, dass die dem Widerlager (47) zugewendete oberste Scheibe (39, 52) in gleicher Weise ausgebildet ist und die Metallschicht (40) dieser Fläche als auch das Ende der Verbindungsbrücke (43, 53) je mit einem der zu den Anschlüssen der Messleitung führenden beiden Einzelleiter (44, 45; 55, 56) elektrisch verbunden ist.

   6. Messwandler nach Unteranspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Ende der Verbindungsbrücke (43) bis zur Mitte der Scheibe (39) geführt ist und die Ladungsabführung durch zwei konzentrische Leiter (44, 45) erfolgt, die durch eine konzentrische Bohrung (51) des Widerlagers (47) hindurchgeführt und am Ende der Verbindungsbrücke (43) bzw. an der Metallschicht (40) direkt befestigt bzw. an diese angedrückt sind (Fig. 3 und 4).

   7. Messwandler nach Unteranspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Ende der Verbindungsbrücke (53) vor der Mitte der Scheibe (52) endet und die Ladungsabführung mittels zweier Leiter (55, 56) erfolgt, die durch zwei exzentrische axiale Bohrungen (58, 59) des Widerlagers hindurchgeführt sind (Fig. 5 und 6).