DK169653B1 - Piezoelektrisk accelerometer af forskydningstypen - Google Patents
Piezoelektrisk accelerometer af forskydningstypen Download PDFInfo
- Publication number
- DK169653B1 DK169653B1 DK123892A DK123892A DK169653B1 DK 169653 B1 DK169653 B1 DK 169653B1 DK 123892 A DK123892 A DK 123892A DK 123892 A DK123892 A DK 123892A DK 169653 B1 DK169653 B1 DK 169653B1
- Authority
- DK
- Denmark
- Prior art keywords
- uprights
- accelerometer
- piezoelectric elements
- accelerometer according
- seismic
- Prior art date
Links
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 9
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 15
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 4
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 4
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 3
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 2
- 230000005405 multipole Effects 0.000 description 2
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 description 1
- 230000005520 electrodynamics Effects 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229940083045 riax Drugs 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/09—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up
- G01P15/0915—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up of the shear mode type
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Description
i DK 169653 B1
Opfindelsen angår et accelerometer af forskydningstypen omfattende en basisdel med opstandere, der via et eller flere pie-zoelektriske elementer og en fjedrende ring understøtter en eller flere seismiske masser.
5 Til statiske og dynamiske målinger af mekaniske kræfter benyttes ofte mekaniske kraftmålere, i hvilke der under indflydelse af de kræfter, der skal måles, frembringes ændringer i elektrisk ladning, spænding, strøm eller impedans i et eller flere måleelementer.
10 Eksempelvis kendes et accelerometer, i hvilket en acceleration af en seismisk masse resulterer i en mekanisk kraft, der er proportional med accelerationen. Denne kraft påvirker et eller flere måleelementer, der f .eks. kan bestå af træk- eller trykfølsomme elektriske modstande, halvledere eller piezoelek-15 trisk elementer, elektrodynamiske systemer eller systemer til omformning af mekanisk kraft til elektrisk energi.
Måleelementer kan af kræfterne påvirkes til tryk, træk eller forskydning, og det har vist sig, at piezoelektriske accelle-rometre af forskydningstypen kan udformes således, at de opnår 20 fordelagtige egenskaber såsom god linearitet, ringe statisk og dynamisk temperaturfølsomhed, lav følsomhed over for magnetfelter og stort frekvensområde.
De kendte piezoelektriske accelerometre omfatter en basisdel med en opstander, der udgår fra basisdelen. På eller omkring 25 opstanderen er anbragt piezoelektriske elementer og seismiske masser.
Af piezoelektriske accelerometre kan nævnes 1) accelerometre af kompressionstypen, 2) accelerometre af typen "Ring shear" jf. US-patentskrift DK 169653 B1 2 nr. 3.104.334, 3) accelerometre af typen "Konisk ringshear" jf. GB-patent-skrift nr. 1.507.251, 4) accelerometre af typen "Delta shear" jf. dansk patent- 5 skrift nr. 131.401 og 5) accelerometre af typen "Planar shear" jf. dansk patentskrift nr. 138.768.
I et accelerometer af typen "Ring shear" anvendes en basisdel med en cylindrisk opstander, omkring hvilken der er anbragt 10 f.eks. limet et cylinderformet piezoelektrisk element med en ligeledes cylinderformet seismisk masse fastgjort til elementets ydre cylinderflade. Ved denne rotationssymmetriske udførelse opnås bl.a., at de enkelte dele af accelerometeret kan fremstilles billigt og nøjagtigt ved drejning og slibning, og 15 at accelerometerets følsomhed over for acceleration i et plan vinkelret på aksen bliver lille. Et svagt punkt ved denne udførelse er imidlertid, at det er vanskeligt at opnå tilstrækkelig styrke og modstandsdygtighed mod varme i samlingen mellem de cylindriske komponenter, og at disses forskellige tem-20 peraturudvidelseskoefficienter giver anledning til uønskede mekaniske spændinger, der kan påvirke måleresultaterne.
I et accelerometer af typen "Planar shear" anvendes to plane piezoelektriske elementer, som er fastgjort på de modstående brede sideflader af en prismatisk opstander med et rektangu-25 lært tværsnit. Elementerne fastgøres til opstanderen ved hjælp af en fjedrende ring. Herved undgås problemer i forbindelse med forskellige temperaturudvidelseskoefficienter. Dette ac-cellerometer har imidlertid forskellige tværresonanser i forskellige retninger, vinkelret på prismets akse, hvilke reso-30 nanser i nogle tilfælde vil være lavere end for den cylindriske konstruktion.
DK 169653 B1 3 I et accelerometer af typen "Delta shear" anvendes et prisme med et antal på prismets sideflader anbragte måleelementer, der påvirkes til forskydning af de kræfter, der skal måles. Prismets tværsnit har form af en regulær polygon, på hvis si-5 deflader der er anbragt et antal ens piezoelektriske elementer, der sammen med de seismiske masser fastholdes på prismets flader af en fjedrende ring. Derved bliver tværresonansen i hovedsagen ens i alle retninger. Et svagt punkt ved denne udførelse er, at opstanderen er vanskelig at fremstille og fast-10 gøre, når der er tale om små dimensioner.
I en fjerde udførelse er basis udformet med en cylindrisk opstander, der har en cylindrisk åbning. I denne åbning er anbragt et cylindrisk piezoelektrisk element med et gennemgående cylindrisk hul, hvori den seismiske masse er monteret, jf.
15 PCT/SU/00272. En ulempe ved denne udførelse er, at det er van skeligt at føre signal ledningen ind til den seismiske masse, hvortil den skal fastgøres. Et andet svagt punkt er fastgørelsen af det piezoelektriske element til indersiden af den cylindriske opstander samt fastgørelsen af den seismiske masse 20 til det piezoelektriske element. Disse operationer lader sig vanskeligt udføre uden brug af ledende lim eller andre bindemidler, hvorved accelerometerets brugbare temperaturområde begrænses betydeligt.
Formålet med opfindelsen er at tilvejebringe et accelerome-25 ter, der er billigere i fremstilling end hidtil kendt, og som samtidigt har bedre specifikationer end hidtil kendte accele-rometre.
Et accelerometer af den indledningsvis nævnte art er ifølge opfindelsen ejendommeligt ved, at de piezoelektriske elementer 30 og de seismiske masser er anbragt imellem opstanderne. Derved opnås en højere resonansfrekvens. De seismiske masser og de piezoelektriske elementer monteres imellem opstanderne og fastholdes mellem disse af en fjedrende ring. Derved bliver accelerometeret mindre temperaturfølsomt end de hidtil kendte.
DK 169653 B1 4
Endvidere bliver det lettere at fremstille end de hidtil kendte og bedre egnet til massefabrikation, hvilket mindsker produktionsomkostningerne .
Opstanderne kan enten udformes direkte i basisdelen eller 5 fastgøres dertil ved påskruning, svejsning, lodning eller lignende. Mellem indersiderne af opstanderne anbringes et antal piezoelektriske elementer. Mellem disse piezoelektriske elementer anbringes en eller flere seismiske masser.
For at lette monteringen af de piezoelektriske elementer og de 10 seismiske masser kan mellemrummet mellem opstanderne være svagt kileformet.
De piezoelektriske elementer kan anbringes med deres polarisationsretninger vertikalt og/eller horisontalt. Derved kan det samme accellerometer registrere tilstandsændringer i flere på 15 hinanden vinkelrette retninger.
Til at fastholde elementerne imellem opstanderne kan der anvendes en fjedrende spændring, der presses, krympes eller på anden måde fastgøres uden på opstanderne. Derved afskærmes samtidigt over for ydre elektromagnetiske felter. Alternativt 20 vil elementerne kunne fastholdes ved hjælp af en skrueforbindelse igennem opstanderne, de piezoelektriske elementer og de seismiske masser.
Ud over de nævnte dele kan accelerometeret bestå af et skørt eller låg og have et udtag for elektriske tilledninger.
25 I en forenklet udførelse kan accelerometeret udføres tophængt, i hvilket tilfælde huset er udformet som en fjedrende ring.
Accelerometeret ifølge opfindelsen har flere fordele i forhold til de kendte accelerometre.
DK 169653 B1 5
Af disse kan nævnes 1. mindre statisk temperaturfølsomhed 2. mindre dynamisk temperaturf ølsomhed (følsomhed over for temperaturchok) 5 3. mindre følsomhed over for magnetfelter 4. bedre liniaritet 5. større frekvensområde 6. højere tværresonansfrekvens og 7. lavere produktionsomkostninger.
10 Opfindelsen skal nærmere forklares i det følgende under henvisning til tegningen, hvor fig. 1 viser et accelerometer ifølge opfindelsen, fig. 2 et sprængt billede af det i fig. 1 viste accelerometer, samt tilhørende elektrisk udstyr, 15 fig. 3 et sprængt billede af et accelerometer i en anden udførelse med en fjedrende spændring, der er udformet som et låg, fig. 4 et sprængt billede af et accelerometer i en tredje udførelse tophængt med et hus, der tjener som spændring, 20 fig. 5 et arrangement bestående af flere accelerometre, der er følsomme i hver sin retning, og fig. 6 et t riaks ialt accelerometer i en mere kompakt udførelse.
DK 169653 B1 6
Det i fig. 1 og 2 viste accelerometer omfatter en i hovedsagen cylindrisk basisdel med to opstandere 2, der i tværsnit har form af cirkelafsnit og har plane og i hovedsagen parallelle indersider. Opstanderne 2 kan være fremstillet i ét 5 stykke med basisdelen 1. På hver af indersiderne af opstanderne 2 anbringes et piezoelektrisk element 4. Mellem de pie-zoelektriske elementer 4 anbringes en eller flere seismiske masser 3, der har et rektangulært tværsnit. Elementerne fastholdes mellem opstanderne 2, og opstanderne 2 holdes sammen 10 ved hjælp af en fjedrende spændring 5, der omgiver de cirkel-afsnitformede opstandere 2. Den fjedrende ring 5 er i hovedsagen af samme højde som opstanderne 2, men kan eventuelt være højere. Den kan desuden være udformet som et låg. Den fjedrende ring 5 kan derved afskærme de piezoelektriske elementer 4 15 og seismiske masser 3 over for magnetiske eller elektromagnetiske felter. Den fjedrende spændring 5 er omgivet af et hus 6 med en sekskantet ydre overflade. Huset 6 fastgøres til basisdelen 1. Huset 6 er forsynet med et koaksialstik 8, hvis inderleder 9 står i forbindelse med den seismiske masse 3.
20 Oven på huset 6 anbringes et låg 7. Accelerometeret forbindes elektrisk til et måleudstyr 10 bestående af f.eks. en forstærker 11 og et udlæse- eller skriveudstyr 12.
Den oven for beskrevne udførelse er velegnet til automatisk montage, idet det er muligt at indføre de piezoelektriske ele-25 menter 4 og de seismiske masser imellem opstanderen 2 enten oppefra eller fra siden. Montagen kan lettes ved at gøre indersiderne af opstanderne 2 svagt kileformede. Kilevinklen kan f.eks. være på 1-3°.
Dette accelerometer har desuden den fordel, at de piezoélek-30 triske elementer ikke udsættes for forskydningsstress under montage. En sådan forskydningsstress kan bevirke, at accelerometeret ikke opfylder de fastsatte specifikationer.
De nævnte dele kan sammenføjes ved hjælp af kendte svejsemetoder, hvorved der opnås et hermetisk tæt accelerometér uden DK 169653 B1 7 brug af tætnende midler.
Fig. 3 viser en udførelse med samme egenskaber som den i fig.
2 viste. Den i fig. 3 viste udførelse er imidlertid forenklet yderligere. Den består af en sekskantet basisdel 1 med to op-5 standere 2, der i tværsnit er cirkelafsnitformede. På hver af indersiderne af disse opstandere 2 anbringes et piezoelektrisk element 4. Mellem de piezoelektriske elementer 4 anbringes en seismisk masse 3 med et rektangulært tværsnit. Elementerne fastholdes mellem opstanderne 2, og opstanderne 2 holdes samm-10 en ved hjælp af en fjedrende spændring 5, der i denne udførelse er udformet som et låg. Den sekskantede basisdel 1 er udstyret med et koaksialstik 6 for tilslutning til elektrisk udstyr via et koaksialkabel. Koaksialstikket 6 har en inderle-der 7, der er fastgjort til den seismiske masse 3.
15 Fig. 4 viser en udførelse bestående af en sekskantet basisdel 1 med et skørt 5, som udgør den fjedrende ring, der tjener til at sammenholde de piezoelektriske elementer 4 og de seismiske masser 3, der er anbragt imellem opstandere 2, der er en del af en lågplade 6. Som i de hidtidige udførelser er opstanderne 20 2 i tværsnit cirkelafsnitformet. Den sekskantede basisdel 1 kan være udstyret med et koaksialstik for tilslutning til tilhørende elektrisk udstyr. Koaksialstikkets inderleder 8 er forbundet til den seismiske masse 3. En særlig fordel ved denne udførelse er, at den har en mindre basebøjningsfølsom-25 hed.
Fælles for udførelsesformerne i fig. 3 og 4 er, at de er yderligere forenklet, hvilket giver en ekstra økonomisk besparelse.
Fig. 5 viser et arrangement bestående af 3 accelerometre til 30 måling af vibrationer i tre på hinanden vinkelrette retninger.
Det enkelte accelerometer består af en basisdel 1 med to opstandere 2. Et antal piezoelektriske elementer 4 og seismiske masser 3 anbringes mellem opstanderne 2. Disse elementer fast- DK 169653 B1 8 holdes mellem opstanderne 2, der er omgivet af en fjedrende spændring 5. I denne udførelse er den fjedrende spændring 5 fremstillet som et låg. Basisdelen 1 er forsynet med et koak-sialstik 6, hvis inderleder 8 er forbundet til den seismiske 5 masse 3. Tilhørende elektrisk udstyr forbindes til koaksial-stikket 6. Hver af accelerometrene monteres i en udboring af en klods 7. Udboringerne kan være i samme side af klodsen 7, hvorved det er muligt at anbringe koaksialstikkene 6 på samme side, hvilket i mange situationer er af stor praktisk betyd-10 ning. Følsomheden i henholdsvis X-, Y- og Z-retningen opnås ved at montere de piezoelektriske elementer 4 med deres polarisationsretninger vinkelret på længdeaksen for opstanderne 2 og efterfølgende dreje et af accelerometrene 90° i forhold til det andet ved monteringen i klodsen 7. I det tredje accelero-15 meter monteres de piezoelektriske elementer 4 med deres polarisationsretninger parallelt med længdeakserne for opstanderne 2. Den viste udførelse kan anvendes alene uden huset 7.
Fig. 6 viser et triaksialt accelerometer i en mere kompakt udførelse. Dette accelerometer består af en seismisk masse 3, 20 omkring hvilken der er anbragt tre piezoelektriske elementer 4 med deres polarisationsretninger i tre på hinanden vinkelrette retninger, samt et blindelement 9. Disse elementer er anbragt imellem fire opstandere 2, der udgår fra en basisdel 1. Den elektriske forbindelse mellem de piezoelektriske elementer 4 25 og det flerpolede stik 6 udgøres af kontakt folieplader 8 isoleret mod den seismiske masse 3 og anbragt mellem denne og de piezoelektriske elementer 4. Elementerne fastholdes mellem opstanderne 2, der er omgivet af en fjedrende spændring 5. Den fjedrende spændring 5 kan eventuelt være udformet som et låg, 30 der vil kunne afskærme over for ydre elektromagnetiske felter. Det triaksiale accelerometer kan eventuelt anbringes i en udboring i en klods 7. Accelerometeret kan forinden være udstyret med et flerpolet stik 6 for tilslutning af tilhørende elektrisk måledustyr.
35 De viste udførelser er beregnet for måling af acceleration af DK 169653 B1 9 lineære bevægelser og har de piezoelektriske elementer monteret med polarisationsretningerne parallelt med opstandernes længdeakser eller i tre på hinanden vinkelrette retninger.
Accelerometeret fastgøres til det legeme, hvis acceleration 5 ønskes målt og følger legemets bevægelser. Mellem opstanderne 2, de piezoelektriske elementer og den seismiske masse opstår der derved inertikræfter, der er proportionale med massen og accelerationen af basisdelen.
De kræfter, som skyldes acceleration i accelerometerets akse-10 retning, påvirker de piezoelektroelektriske elementer til forskydning. Herved frembringes en elektrisk ladning, der er proportional med accelerationen. Denne ladning kan måles med det tilhørende elektriske udstyr 10, der f.eks. udgøres af en forforstærker 11 og en visning, eksempelvis i form af en 15 skriver 12.
Kræfter, der skyldes en acceleration vinkelret på de piezoelektriske elementers polarisationsretning, fremkalder kun ladninger, såfremt fladerne ikke er helt parallelle med polarisationsretningen for de piezoelektriske elementer, eller po-20 larisationsretningerne i de piezoelektriske elementer ikke er nøjagtigt parallelle med akseretningen.
I forhold til de kendte accelerometre har accelerometret ifølge opfindelsen mindre statisk og dynamisk temperaturfølsomhed, mindre følsomhed over for magnetiske felter, bedre linaritet, 25 et større brugbart frekvensområde og en højere tværresonansfrekvens. Dertil kommer, at produktionsomkostningerne er lavere.
Grundlaget for dette samt efterfølgende skema med sammenlignende måleresultater gives af ANSI (American National Stan-30 dards Institute Inc.) norm S. 2.11-1967: (Selection of Cali brations and Tests for Electrical Transducers used for Measuring Chock and Vibration) . Her angives hvilke parametre, måle- DK 169653 B1 10 metoder og måleopstillinger, der skal anvendes.
Nedenstående tabel er en sammenligning af måleresultater fra tre forskellige accelerometre. Heraf fremgår det beskrevne accelerometers forbedrede egenskaber i forhold til andre kendte 5 accelerometre.
11 DK 169653 B1
TABEL
Typi Endevco7201 M2 B&K 4371 B&K
g Inverteret
Planar Shear
Konstruktion: Iso Shear Delta Shear Iflg. Opfindelsen ry
Z
. n Ladningsfølsomhed: pC/ms NS " 1 +-2¾ 1 +-2¾ 1 pC/g 10+-2¾ 9,8 9.8
Monteret resonansfrekvens..: KHz 48 42 50 . c Tværresonansfrekvens.: KHz 25 15 >48 15
Frekvensområde. 5*· KHz 2H2-9.8KHZ 0.2HZ-9.1KHZ 0.2Hz-10.2KHz
20 Frekvensområde. 10S: KHz 0.1Hz-16KHz 0.1Hz-13KHz Q.1HZ-16.7KHZ
Typ. Udæmpet fri resonansfrek: KHz NS 65 80 25 Typ. Temperaiurføl&imhed: %fX 0.09 0.07 0.07 Λ “Z.
Typ, Temp.transientfølsomhed: ms /X 0.05 0.4 0.02 Λ
Typ: Magnetisk følsomhed: ms_il _2_ 4 < 0.7 30 g/Kgauss 0.02 0.04 <0.007 Vægt: gram 15 11 11 35
Claims (10)
1. Accelerometer af forskydningstypen omfattende en basisdel (1) med opstandere (2), der via et eller flere piezoelektriske 5 elementer (4) og en fjedrende ring (5) understøtter en eller flere seismiske masser (3), kendetegnet ved, at den eller de seismiske masser (3) og piezoelektriske elementer (4) er anbragt imellem opstanderne (2).
2. Accelerometer ifølge krav 1, kendetegnet ved, 10 at opstandernes (2) indersider er i hovedsagen parallelle.
3. Accelerometer ifølge krav 1 eller 2, kendetegnet ved, at den seismiske masse (3) i tværsnit har form som et rektangel eller en cirkel med parallelt afskårne cirkelafsnit.
4. Accelerometer ifølge et eller flere af kravene 1-3, k e n -15 detegnet ved, at mellemrummet mellem indersiderne af opstanderne (2) har en kilevinkel på ca. 1-3°.
5. Accelerometer ifølge et eller flere af de foregående krav, kendetegnet ved, at opstanderne (2) er fremstillet ud i ét med basisdelen (1).
6. Accelerometer ifølge et eller flere af de foregående krav, kendetegnet ved, at de piezoelektriske elementer (4) er anbragt med deres polarisationsretninger parallelt med og/eller vinkelret på opstandernes (2) akser.
7. Accelerometer ifølge et eller flere af de foregående krav, 25 kendetegnet ved, at de piezoelektriske elementer (4) og seismiske masser (3) fastholdes mellem indersiderne af opstanderne (2) ved hjælp af et udefra og mod opstandernes (2) akser rettet tryk. DK 169653 B1 13
8. Accelerometer ifølge krav 7, kendetegnet ved, at trykket er tilvejebragt ved hjælp af en fjedrende ring (5) .
9. Accelerometer ifølge krav 8, kendetegnet ved, at den fjedrende ring er udformet som et låg.
10. Accelerometer ifølge krav 8, kendetegnet ved, at basisdelen er udstyret med et opadvendt skørt, der tjener som spændring for nedadvendte opstandere og en lågplade, mellem hvilke opstandere de piezoelektriske elementer og seismiske masser er anbragt. 10
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DK123892A DK169653B1 (da) | 1992-10-09 | 1992-10-09 | Piezoelektrisk accelerometer af forskydningstypen |
| PCT/DK1993/000329 WO1994009373A1 (en) | 1992-10-09 | 1993-10-07 | An accelerometer of the shear type |
| JP50952694A JP3343352B2 (ja) | 1992-10-09 | 1993-10-07 | 加速度計 |
| AU51751/93A AU5175193A (en) | 1992-10-09 | 1993-10-07 | An accelerometer of the shear type |
| US08/387,851 US5572081A (en) | 1992-10-09 | 1993-10-07 | Accelerometer |
| EP93922900A EP0664004B1 (en) | 1992-10-09 | 1993-10-07 | An accelerometer of the shear type |
| DE69309087T DE69309087T2 (de) | 1992-10-09 | 1993-10-07 | Beschleunigungsmesser mit scherschwinger |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DK123892 | 1992-10-09 | ||
| DK123892A DK169653B1 (da) | 1992-10-09 | 1992-10-09 | Piezoelektrisk accelerometer af forskydningstypen |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DK123892D0 DK123892D0 (da) | 1992-10-09 |
| DK123892A DK123892A (da) | 1994-04-10 |
| DK169653B1 true DK169653B1 (da) | 1995-01-09 |
Family
ID=8102567
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DK123892A DK169653B1 (da) | 1992-10-09 | 1992-10-09 | Piezoelektrisk accelerometer af forskydningstypen |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5572081A (da) |
| EP (1) | EP0664004B1 (da) |
| JP (1) | JP3343352B2 (da) |
| AU (1) | AU5175193A (da) |
| DE (1) | DE69309087T2 (da) |
| DK (1) | DK169653B1 (da) |
| WO (1) | WO1994009373A1 (da) |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5677487A (en) * | 1995-10-13 | 1997-10-14 | A/S Bruel & Kjaer | Method and apparatus for measuring acceleration or mechanical forces |
| US6038924A (en) * | 1997-12-22 | 2000-03-21 | Research Foundation Of State Of New York | Low frequency seismic accelerometer |
| US20080072671A1 (en) * | 2006-09-26 | 2008-03-27 | Eldon Eller | Leveraged shear mode accelerometers |
| WO2008116882A1 (en) * | 2007-03-26 | 2008-10-02 | Noliac A/S | A 3-axial accelerometer |
| DE102008041755A1 (de) * | 2008-09-02 | 2010-03-04 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Herstellung mindestens eines mechanisch-elektrischen Energiewandlersystems und mechanisch-elektrisches Energiewandlersystem |
| US9193407B2 (en) | 2012-08-21 | 2015-11-24 | John Austin Muth | Active downforce generation for a tilting vehicle |
| US9360495B1 (en) | 2013-03-14 | 2016-06-07 | Lockheed Martin Corporation | Low density underwater accelerometer |
| MX2018005424A (es) | 2015-10-30 | 2018-08-01 | Ion Geophysical Corp | Sistemas sismicos de fondo oceanico. |
| CN108291926B (zh) * | 2015-12-04 | 2020-08-07 | 基斯特勒控股公司 | 加速度测量仪和制造这种加速度测量仪的方法 |
| RU2686573C1 (ru) * | 2015-12-04 | 2019-04-29 | Кистлер Холдинг Аг | Устройство для измерения ускорения и способ изготовления такого устройства для измерения ускорения |
| CN206906417U (zh) * | 2017-06-09 | 2018-01-19 | 西人马（厦门）科技有限公司 | 三轴压电式传感器 |
| CN110133711A (zh) * | 2018-02-08 | 2019-08-16 | 东营市智威石油技术有限责任公司 | 一种压电式加速度型检波器机芯 |
| US11204365B2 (en) | 2018-09-13 | 2021-12-21 | Ion Geophysical Corporation | Multi-axis, single mass accelerometer |
| USD936507S1 (en) * | 2019-06-21 | 2021-11-23 | Fatri United Testing & Control (Quanzhou) Technologies Co., Ltd. | Piezoelectric acceleration sensor |
| USD936506S1 (en) * | 2019-06-21 | 2021-11-23 | Fatri United Testing & Control (Quanzhou) Technologies Co., Ltd. | Piezoelectric acceleration sensor |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2808524A (en) * | 1952-03-20 | 1957-10-01 | Sylvania Electric Prod | Inertia responsive electro-mechanical transducer |
| GB1507251A (en) * | 1976-01-05 | 1978-04-12 | Birchall D | Accelerometer transducer |
| US4211951A (en) * | 1976-03-29 | 1980-07-08 | Bruel & Kjaer A/S | Shear type prestressed piezoelectric force transducer |
| US4180892A (en) * | 1978-04-18 | 1980-01-01 | Bruel & Kjaer Industri A/S | Method for the manufacture of a force transducer |
| DE2906407C2 (de) * | 1979-02-20 | 1981-02-26 | Kistler Instrumente Ag, Winterthur (Schweiz) | Piezoelektrisches Wandlerelement zum Einbau in Druck-, Kraft- oder Beschleunigungsaufnehmer |
| US4941243A (en) * | 1989-07-28 | 1990-07-17 | Allied-Signal Inc. | Method for assembling an annular shear accelerometer |
-
1992
- 1992-10-09 DK DK123892A patent/DK169653B1/da not_active IP Right Cessation
-
1993
- 1993-10-07 WO PCT/DK1993/000329 patent/WO1994009373A1/en active IP Right Grant
- 1993-10-07 DE DE69309087T patent/DE69309087T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1993-10-07 AU AU51751/93A patent/AU5175193A/en not_active Abandoned
- 1993-10-07 JP JP50952694A patent/JP3343352B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1993-10-07 EP EP93922900A patent/EP0664004B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1993-10-07 US US08/387,851 patent/US5572081A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DK123892D0 (da) | 1992-10-09 |
| AU5175193A (en) | 1994-05-09 |
| DE69309087T2 (de) | 1997-10-16 |
| DK123892A (da) | 1994-04-10 |
| US5572081A (en) | 1996-11-05 |
| EP0664004A1 (en) | 1995-07-26 |
| DE69309087D1 (de) | 1997-04-24 |
| WO1994009373A1 (en) | 1994-04-28 |
| EP0664004B1 (en) | 1997-03-19 |
| JP3343352B2 (ja) | 2002-11-11 |
| JPH08502821A (ja) | 1996-03-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DK169653B1 (da) | Piezoelektrisk accelerometer af forskydningstypen | |
| US11162973B2 (en) | Three-axis piezoelectric accelerometer | |
| EP0492986B1 (en) | Accelerometer | |
| RU2540249C2 (ru) | Гироскопический датчик | |
| EP2025199B1 (en) | Motion transducer | |
| US4085349A (en) | Piezo electric transducer for measuring instantaneous vibration velocity | |
| JP6806900B2 (ja) | 動的にも静的にもなり得る力を同時に測定するための測定センサ | |
| JP6806901B2 (ja) | 力を測定するための測定値ピックアップ | |
| US3858065A (en) | Annular 3m class piezoelectric crystal transducer | |
| CN109212262B (zh) | 一种基于横向振动模式的高温压电加速度传感器 | |
| US11747361B2 (en) | Acceleration transducer | |
| US11668728B2 (en) | Acceleration transducer | |
| US11754589B2 (en) | Acceleration transducer | |
| CA2840916C (en) | Dual-coil geophone accelerometer | |
| US4052628A (en) | Dynamic, shear-mode piezoelectric pressure sensor | |
| WO1991019985A1 (en) | Preload system for accelerometer | |
| CN211603247U (zh) | 一种三轴加速度传感器 | |
| US3506857A (en) | Compressive mode piezoelectric transducer with isolation of mounting base strains from the signal producing means thereof | |
| US3070996A (en) | Mechanical impedance meter | |
| JP6539415B2 (ja) | 加速度測定装置及び加速度測定装置を製造するための方法 | |
| RU2347228C1 (ru) | Векторный пьезоэлектрический вибропреобразователь | |
| JPH08211091A (ja) | 半導体加速度検出装置 | |
| CA1074434A (en) | Piezo electric transducer for measuring instantaneous vibration velocity | |
| SU1160345A1 (ru) | Скважинный пьезоэлектрический геофон | |
| CN115541929A (zh) | 一种高性能简易小型化iepe振动芯体 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| B1 | Patent granted (law 1993) | ||
| PUP | Patent expired |