JPH088454Y2 - 加速度センサ - Google Patents
加速度センサInfo
- Publication number
- JPH088454Y2 JPH088454Y2 JP1989070939U JP7093989U JPH088454Y2 JP H088454 Y2 JPH088454 Y2 JP H088454Y2 JP 1989070939 U JP1989070939 U JP 1989070939U JP 7093989 U JP7093989 U JP 7093989U JP H088454 Y2 JPH088454 Y2 JP H088454Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- additional mass
- mass
- acceleration sensor
- diaphragm
- piezoelectric element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 この考案は、機械振動系の解析をする場合等に用いる
圧電式加速度センサ、特に加速度検知素子であるダイヤ
フラムに取付ける付加質量の構造に関するものである。
圧電式加速度センサ、特に加速度検知素子であるダイヤ
フラムに取付ける付加質量の構造に関するものである。
〈従来の技術〉 ユニモルフもしくはバイモルフ構造の圧電素子を使用
した底周波振動検知用の加速度センサは、第４図に示す
ように、金属円板１の両面に圧電素子２、２を接着して
ダイヤフラム３を形成し、このダイヤフラム３の両圧電
素子２、２に付加質量４、４を接着剤で貼付けて固定
し、上記ダイヤフラム３を回路基板５に取付けた電子部
品６と共にケース７内に収納し、ダイヤフラム３の振動
による圧電素子２、２の圧電効果によって加速度を求め
る構造になっている。
した底周波振動検知用の加速度センサは、第４図に示す
ように、金属円板１の両面に圧電素子２、２を接着して
ダイヤフラム３を形成し、このダイヤフラム３の両圧電
素子２、２に付加質量４、４を接着剤で貼付けて固定
し、上記ダイヤフラム３を回路基板５に取付けた電子部
品６と共にケース７内に収納し、ダイヤフラム３の振動
による圧電素子２、２の圧電効果によって加速度を求め
る構造になっている。
上記のような加速度センサにおいて、ダイヤフラム３
の加速度に対する変位量δは、付加質量４の質量をｍ、
付加質量４の圧電素子２に対する接着面積をS1、ダイヤ
フラム３の面積をS2とすると、δ∝ｍ δ∝（S2−S1）
２の関係がある。
の加速度に対する変位量δは、付加質量４の質量をｍ、
付加質量４の圧電素子２に対する接着面積をS1、ダイヤ
フラム３の面積をS2とすると、δ∝ｍ δ∝（S2−S1）
２の関係がある。
尚、圧電素子２からの発生電荷が変位量δに比例する
と考えて良い場合のみである。
と考えて良い場合のみである。
このように、加速度センサにおける感度は、ダイヤフ
ラム３に取付ける付加質量４の質量と接着面積に影響を
受けることになる。
ラム３に取付ける付加質量４の質量と接着面積に影響を
受けることになる。
従来、ダイヤフラム３に取付ける付加質量４は、第４
図に示したように単なる円軸状に形成されていた。
図に示したように単なる円軸状に形成されていた。
〈考案が解決しようとする課題〉 ところで、付加質量４の接着面積は、相手圧電素子２
との関係から制限があり、このため、高感度なセンサを
実現しようとして付加質量４の質量を増大させる場合、
従来のように付加質量４が単に円軸状に形成された構造
では、付加質量が軸方向へ非常に細長いものとなり、こ
のため、ケース７の上下寸法が高くなり、高感度な加速
度センサの小型低背化が困難であるという問題である。
との関係から制限があり、このため、高感度なセンサを
実現しようとして付加質量４の質量を増大させる場合、
従来のように付加質量４が単に円軸状に形成された構造
では、付加質量が軸方向へ非常に細長いものとなり、こ
のため、ケース７の上下寸法が高くなり、高感度な加速
度センサの小型低背化が困難であるという問題である。
この考案の目的は、上記のような問題点を解決するた
め、ダイヤフラムに取付ける付加質量を薄く形成するこ
とができ、小型低背化を実現できる高感度の加速度セン
サを提供することにある。
め、ダイヤフラムに取付ける付加質量を薄く形成するこ
とができ、小型低背化を実現できる高感度の加速度セン
サを提供することにある。
〈課題を解決するための手段〉 上記のような課題を解決するため、この考案は、付加
質量の一面側に該付加質量および金属円板よりも小径の
円柱形状となる取付用突部を設け、この取付用突部の端
面を圧電素子上に接着固定した構成としたものである。
質量の一面側に該付加質量および金属円板よりも小径の
円柱形状となる取付用突部を設け、この取付用突部の端
面を圧電素子上に接着固定した構成としたものである。
〈作用〉 ダイヤフラムに取付ける付加質量に取付用突部を設け
たので、一定の面積に対して付加質量の質量を自由に設
定でき、しかも質量の増大は直径を大きくすればよいの
で高さ寸法を薄くでき、全体の形状を小型低背化するこ
とができる。
たので、一定の面積に対して付加質量の質量を自由に設
定でき、しかも質量の増大は直径を大きくすればよいの
で高さ寸法を薄くでき、全体の形状を小型低背化するこ
とができる。
〈実施例〉 以下、この考案の実施例を添付図面の第１図乃至第３
図に基づいて説明する。
図に基づいて説明する。
尚、第４図で示した従来例と同一部分には同一符号を
付すことによって説明に代える。
付すことによって説明に代える。
図示のように、ダイヤフラム３の圧電素子２、２に取
付ける付加質量11は、一面側にこの付加質量11よりも小
径の取付用突部12を設けて形成され、取付用突部12にお
ける端面を接着剤で圧電素子２、２上に貼付け固定する
ようになっている。
付ける付加質量11は、一面側にこの付加質量11よりも小
径の取付用突部12を設けて形成され、取付用突部12にお
ける端面を接着剤で圧電素子２、２上に貼付け固定する
ようになっている。
上記のように、付加質量11は取付用突部12の端面が接
着面積S1となり、この接着面積S1を変えることなく、付
加質量11の質量を自由に変化させることができ、特に、
質量の増大を直径の変化によって対応することが可能に
なり、従って接着面積S1を変えずに付加質量11の高さｈ
を小さくすることができる。
着面積S1となり、この接着面積S1を変えることなく、付
加質量11の質量を自由に変化させることができ、特に、
質量の増大を直径の変化によって対応することが可能に
なり、従って接着面積S1を変えずに付加質量11の高さｈ
を小さくすることができる。
尚、付加質量11の接着面積S1はダイヤフラム３のＧ感
度の要因であると同時に付加質量11の接着強度の要因で
ある。
度の要因であると同時に付加質量11の接着強度の要因で
ある。
ちなみに、接着強度は、加速度センサの耐衝撃100G、
安全率を10としてもm/S1＝１程度で十分である。
安全率を10としてもm/S1＝１程度で十分である。
尚、上記におけるｍは付加質量の重さ、S1は接着面積
であり、圧電素子に設けたモネル電極の剥離強度は1kg/
mm2である。
であり、圧電素子に設けたモネル電極の剥離強度は1kg/
mm2である。
また、接着面積S1もある程度自由に変えることがで
き、Ｇ感度は接着面積S1の関数でもあるので、付加質量
11の高さｈを変えずにＧ感度を変えることも可能にな
り、設計の自由度も向上する。
き、Ｇ感度は接着面積S1の関数でもあるので、付加質量
11の高さｈを変えずにＧ感度を変えることも可能にな
り、設計の自由度も向上する。
〈効果〉 以上のように、この考案によると、付加質量の一面側
に取付用突部を設け、この突部の端面をダイヤフラムの
圧電素子に接着するようにしたので付加質量の接着面積
を変えずに付加質量の高さを小さくすることができ、そ
の分だけ全体の小型低背化が可能になる。
に取付用突部を設け、この突部の端面をダイヤフラムの
圧電素子に接着するようにしたので付加質量の接着面積
を変えずに付加質量の高さを小さくすることができ、そ
の分だけ全体の小型低背化が可能になる。
ちなみに、加速度センサの加速度検知部の高さを従来
に比べて60％程度低く形成することができる。
に比べて60％程度低く形成することができる。
また、加速度センサの高さを変えずに接着面積を変え
てＧ感度を変化させることもでき、センサ設計の自由度
が向上する。
てＧ感度を変化させることもでき、センサ設計の自由度
が向上する。
第１図はこの考案に係る加速度センサの縦断面図、第２
図は同上に用いるダイヤフラムと付加質量の正面図、第
３図は付加質量の斜視図、第４図は従来の加速度センサ
を示す縦断面図である。 １…金属円板、２…圧電素子 ３…ダイヤフラム、５…回動基板 ６…電子部品、７…ケース 11…付加質量、12…取付用突部
図は同上に用いるダイヤフラムと付加質量の正面図、第
３図は付加質量の斜視図、第４図は従来の加速度センサ
を示す縦断面図である。 １…金属円板、２…圧電素子 ３…ダイヤフラム、５…回動基板 ６…電子部品、７…ケース 11…付加質量、12…取付用突部
Claims (1)
- 【請求項１】金属円板に圧電素子を接着し、この圧電素
子に付加質量を取付けて形成したダイヤフラムをケース
内に収納し、前記金属円板の周辺部をケースの内周に固
定した加速度センサにおいて、円柱形状とした付加質量
の一面側に該付加質量および金属円板よりも小径の円柱
形状となる取付用突部を設け、この取付用突部の端面を
圧電素子上に接着固定したことを特徴とする加速度セン
サ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989070939U JPH088454Y2 (ja) | 1989-06-16 | 1989-06-16 | 加速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989070939U JPH088454Y2 (ja) | 1989-06-16 | 1989-06-16 | 加速度センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0310260U JPH0310260U (ja) | 1991-01-31 |
| JPH088454Y2 true JPH088454Y2 (ja) | 1996-03-06 |
Family
ID=31607535
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989070939U Expired - Lifetime JPH088454Y2 (ja) | 1989-06-16 | 1989-06-16 | 加速度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH088454Y2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007022662A (ja) * | 1999-10-22 | 2007-02-01 | Shohei Mori | 封筒 |
| JP2004352304A (ja) * | 2003-05-29 | 2004-12-16 | Toppan Forms Co Ltd | 封筒 |
| JP6539415B2 (ja) * | 2015-12-04 | 2019-07-03 | キストラー ホールディング アクチエンゲゼルシャフト | 加速度測定装置及び加速度測定装置を製造するための方法 |
| RU2686573C1 (ru) * | 2015-12-04 | 2019-04-29 | Кистлер Холдинг Аг | Устройство для измерения ускорения и способ изготовления такого устройства для измерения ускорения |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01180666U (ja) * | 1988-05-31 | 1989-12-26 |
-
1989
- 1989-06-16 JP JP1989070939U patent/JPH088454Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0310260U (ja) | 1991-01-31 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |