JPH01180666U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01180666U JPH01180666U JP7098188U JP7098188U JPH01180666U JP H01180666 U JPH01180666 U JP H01180666U JP 7098188 U JP7098188 U JP 7098188U JP 7098188 U JP7098188 U JP 7098188U JP H01180666 U JPH01180666 U JP H01180666U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric diaphragm
- piezoelectric
- thin plate
- mass body
- diaphragm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 claims description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Description
第１図ないし第６図はこの考案に係る圧電型力
学量センサの第１実施例を示すもので、第１図は
縦断面図、第２図は筐体における上半部を取除い
て示す平面図、第３図は質量体の固着手段の変形
例を示す要部縦断面図、第４図は金属薄板の印加
応力とたわみ量との関係を示す特性図、第５図は
減衰係数比をパラメータとしたときの共振周波数
における金属薄板の振幅量特性を示す特性図、第
６図は共振周波数において圧電ダイヤフラムに加
わる加速度波形を示す波形図、第７図はこの考案
の第２実施例を示すもので筐体における上半部を
取除いて示す平面図である。 １：筐体、２，３：圧電素子、６：金属薄板（
弾性材からなる薄板）、１０：圧電ダイヤフラム
、１２：質量体、１２ａ，１２ｂ，２２ａ：延設
部、１７：筒状部材、１７ａ：段部（圧電ダイヤ
フラムの支持部）、１７ｂ，１７ｃ：ストツパ。
学量センサの第１実施例を示すもので、第１図は
縦断面図、第２図は筐体における上半部を取除い
て示す平面図、第３図は質量体の固着手段の変形
例を示す要部縦断面図、第４図は金属薄板の印加
応力とたわみ量との関係を示す特性図、第５図は
減衰係数比をパラメータとしたときの共振周波数
における金属薄板の振幅量特性を示す特性図、第
６図は共振周波数において圧電ダイヤフラムに加
わる加速度波形を示す波形図、第７図はこの考案
の第２実施例を示すもので筐体における上半部を
取除いて示す平面図である。 １：筐体、２，３：圧電素子、６：金属薄板（
弾性材からなる薄板）、１０：圧電ダイヤフラム
、１２：質量体、１２ａ，１２ｂ，２２ａ：延設
部、１７：筒状部材、１７ａ：段部（圧電ダイヤ
フラムの支持部）、１７ｂ，１７ｃ：ストツパ。
Claims (1)
- 弾性材からなる薄板に薄板状の圧電素子を固着
して圧電ダイヤフラムを形成し、該圧電ダイヤフ
ラムにおける前記薄板の周辺部を筐体内の支持部
で支持し、前記圧電ダイヤフラムの中央部に質量
体を固着するとともに当該質量体には前記支持部
側への延設部を形成し、前記支持部側には前記延
設部に対し所要間隔をおいて前記圧電ダイヤフラ
ムのたわみ量を所定量に規定するためのストツパ
を形成してなることを特徴とする圧電型力学量セ
ンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7098188U JPH01180666U (ja) | 1988-05-31 | 1988-05-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7098188U JPH01180666U (ja) | 1988-05-31 | 1988-05-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01180666U true JPH01180666U (ja) | 1989-12-26 |
Family
ID=31296195
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7098188U Pending JPH01180666U (ja) | 1988-05-31 | 1988-05-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01180666U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0310260U (ja) * | 1989-06-16 | 1991-01-31 |
-
1988
- 1988-05-31 JP JP7098188U patent/JPH01180666U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0310260U (ja) * | 1989-06-16 | 1991-01-31 |
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