WO2016204013A1 - センサ、および、センサの製造方法 - Google Patents

センサ、および、センサの製造方法 Download PDF

Info

Publication number
WO2016204013A1
WO2016204013A1 PCT/JP2016/066843 JP2016066843W WO2016204013A1 WO 2016204013 A1 WO2016204013 A1 WO 2016204013A1 JP 2016066843 W JP2016066843 W JP 2016066843W WO 2016204013 A1 WO2016204013 A1 WO 2016204013A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
terminal
signal
signal terminal
ground
sealing body
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2016/066843
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
武志 伊藤
貴光 久保田
河野　禎之
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Denso Corp
Original Assignee
Denso Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Denso Corp filed Critical Denso Corp
Priority to KR1020177024931A priority Critical patent/KR101939603B1/ko
Priority to US15/568,908 priority patent/US10199567B2/en
Priority to CN201680021651.6A priority patent/CN107533081B/zh
Priority to DE112016002767.2T priority patent/DE112016002767B4/de
Publication of WO2016204013A1 publication Critical patent/WO2016204013A1/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N52/00—Hall-effect devices
    • H10N52/80—Constructional details
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/142—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
    • G01D5/145—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the relative movement between the Hall device and magnetic fields
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
    • G01D5/24428—Error prevention
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
    • G01D5/245—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using a variable number of pulses in a train
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P1/00—Details of instruments
    • G01P1/02—Housings
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H7/00—Multiple-port networks comprising only passive electrical elements as network components
    • H03H7/01—Frequency selective two-port networks
    • H03H7/06—Frequency selective two-port networks including resistors
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
    • H10B61/00—Magnetic memory devices, e.g. magnetoresistive RAM [MRAM] devices
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N52/00—Hall-effect devices
    • H10N52/01—Manufacture or treatment
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N52/00—Hall-effect devices
    • H10N52/101—Semiconductor Hall-effect devices
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one galvanomagnetic or Hall-effect element covered by groups H10N50/00 - H10N52/00
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W74/00—Encapsulations, e.g. protective coatings
    • H10W74/10—Encapsulations, e.g. protective coatings characterised by their shape or disposition
    • H10W74/111—Encapsulations, e.g. protective coatings characterised by their shape or disposition the semiconductor body being completely enclosed
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W90/00—Package configurations

Definitions

  • the present disclosure relates to a sensor formed by molding an electronic component including an integrated circuit and a part of a terminal with a sealing body, and a method for manufacturing the sensor.
  • an integrated circuit that outputs an electrical signal corresponding to a physical quantity related to a detection target, a plurality of terminals connected to leads of the integrated circuit, a capacitor provided between the terminals, and the integrated circuit and the capacitor are molded.
  • a sensor including a sealing body is known.
  • the sensor disclosed in Patent Document 1 uses a Hall IC as an integrated circuit.
  • a power supply terminal is connected to the power supply lead of the Hall IC, a ground terminal is connected to the ground lead, and a signal terminal is connected to the signal lead.
  • Capacitors are provided between the ground terminal and the power supply terminal and between the ground terminal and the signal terminal.
  • an output signal of an integrated circuit corresponding to a communication method such as SENT communication is a digital signal.
  • the frequency of the output signal is higher than when an integrated circuit that outputs an analog signal is used. Therefore, the electrical noise emitted outside the sensor is relatively large.
  • the signal terminal may be divided into two parts on the integrated circuit side and the external connection side, and a resistor may be connected between these parts.
  • the signal terminal is divided into two parts when the electronic part is soldered to the terminal, one part becomes easy to move relative to the other part, and accurate soldering becomes difficult. Therefore, there is a problem that it is difficult to manufacture the sensor.
  • This disclosure is intended to provide a sensor that can reduce electrical noise emitted to the outside, is easy to manufacture, and can suppress damage to electronic components during manufacturing, and a method for manufacturing the sensor.
  • the senor includes a power supply lead, a ground lead, and a signal lead, and outputs a detection signal corresponding to a physical quantity related to a detection target, and a power supply terminal connected to the power supply lead A ground terminal connected to the ground lead, a first signal terminal connected to the signal lead, a second signal terminal electrically connected to the first signal terminal, and one connection An end is connected to any one of the power terminal, the ground terminal, the first signal terminal, or the second signal terminal, and the other connection end is the power terminal, the ground terminal, the first signal terminal, or the A filter member connected to any one of the second signal terminals, the integrated circuit, and the power Comprising a terminal, the ground terminal, the first signal terminal, the second signal terminals, and, a sealing member which seals the filter element.
  • the power terminal, the ground terminal, the first signal terminal, and the second signal terminal are partially exposed from the sealing body.
  • the senor Since the sensor is provided with a filter member, electrical noise emitted to the outside can be reduced.
  • each terminal can be connected to one at the time of terminal connection and filter connection. Thereby, in a terminal connection process and a filter connection process, since each terminal can be united, position shifts, such as a terminal floating, can be prevented and it becomes easy to manufacture a sensor.
  • each terminal is partially exposed from the sealing body, the terminals can be disconnected after the integrated circuit and the electronic component as the filter member are sealed and fixed by the sealing body. is there. Thereby, since it is not necessary to cut
  • the stress applied to the electronic component at the time of cutting the connecting portion of each terminal can be reduced, it is possible to suppress damage to the electronic component during manufacturing.
  • an integrated circuit that has a power supply lead, a ground lead, and a signal lead, and outputs a detection signal corresponding to a physical quantity related to a detection target, a power supply terminal connected to the power supply lead, A ground terminal connected to the ground lead; a first signal terminal connected to the signal lead; a second signal terminal electrically connected to the first signal terminal; The power terminal, the ground terminal, the first signal terminal, or the second signal terminal is connected to one of the terminals, and the other connection terminal is connected to the power terminal, the ground terminal, the first signal terminal, or the second signal terminal.
  • a filter member connected to one of the other, the integrated circuit, and the power supply terminator The ground terminal, the first signal terminal, the second signal terminal, and a sealing body that seals the filter member, the manufacturing method of the sensor includes the power supply terminal, the ground terminal, the first In the connecting terminal in which one signal terminal and the second signal terminal are connected together by a connecting portion, the power lead and the power terminal, the ground lead and the ground terminal, the signal lead and the first signal Connecting each of the terminals, connecting the filter member to the connection terminal, and exposing the integrated part, the power supply terminal, the ground terminal, 1 signal terminal, the 2nd signal terminal, and the filter member by the sealing body Comprising a to stop, and the power source terminal, and the ground terminal, such that the second signal terminals are separated, and cutting the connecting portion at the outside of the sealing body.
  • the terminals when the terminal connection process and the filter connection process are performed, the terminals can be fixed because they are integrated as a connection terminal. As a result, it is possible to prevent misalignment such as terminal floating in the terminal connection process and the filter connection process, and it is easier to manufacture than when the terminal connection process and the filter connection process are performed in a state where the terminal is disconnected. .
  • the integrated circuit and the filter member are connected to the connecting terminal and sealed with the sealing body, the connecting portion of the connecting terminal is cut outside the sealing body, so that the stress applied during cutting is reduced. And prevent damage to the electronic components.
  • FIG. 1 is a diagram illustrating a throttle device using a sensor according to a first embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 2 is a diagram illustrating a cover in which a sensor according to a first embodiment of the present disclosure is embedded;
  • FIG. 3 is a diagram showing the vicinity of the sensor in the cross section taken along the line III-III in FIG.
  • FIG. 4 is a plan view showing the sensor according to the first embodiment of the present disclosure;
  • FIG. 5 is a view in the direction of the arrow V in FIG. 6 is a view in the direction of the arrow VI in FIG.
  • FIG. 1 is a diagram illustrating a throttle device using a sensor according to a first embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 2 is a diagram illustrating a cover in which a sensor according to a first embodiment of the present disclosure is embedded
  • FIG. 3 is a diagram showing the vicinity of the sensor in the cross section taken along the line III-III in FIG.
  • FIG. 4 is a plan view showing the sensor according to the
  • FIG. 7 is a circuit diagram illustrating the ⁇ -type filter according to the first embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 8 is a flowchart illustrating a method for manufacturing a sensor according to the first embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 9 is a plan view showing a connection terminal molded in the terminal molding process of the first embodiment of the present disclosure;
  • FIG. 10 is a plan view illustrating a connection terminal to which electronic components are connected in the terminal welding process and the soldering process according to the first embodiment of the present disclosure;
  • FIG. 11 is a plan view showing the sensor in a state where a part of the electronic component and the terminal is sealed with a sealing body in the sealing step of the first embodiment of the present disclosure;
  • FIG. 12 is a plan view showing the sensor in a state where the connecting portion is cut in the cutting step of the first embodiment of the present disclosure
  • FIG. 13 is a perspective view illustrating a state in which the sensor according to the first embodiment of the present disclosure is connected to the wiring.
  • FIG. 14 is a plan view illustrating a sensor according to a second embodiment of the present disclosure
  • FIG. 15 is a plan view illustrating a sensor according to a third embodiment of the present disclosure
  • FIG. 16 is a plan view showing a sensor according to the fourth embodiment of the present disclosure
  • FIG. 17 is a plan view showing a sensor according to a fifth embodiment of the present disclosure;
  • FIG. 18 is a diagram illustrating a state in the middle of manufacturing of the sensor according to the fifth embodiment of the present disclosure, and is a plan view illustrating a state before the connection portion of the connection terminal is cut;
  • FIG. 19 is a plan view illustrating a connection terminal in a state where electronic components according to a sixth embodiment of the present disclosure are connected;
  • FIG. 20 is a plan view showing a state before cutting the connection part of the connection terminal according to the sixth embodiment of the present disclosure;
  • FIG. 21 is a plan view illustrating a sensor according to a sixth embodiment of the present disclosure.
  • the sensors 20, 120 according to the first embodiment of the present disclosure are used in the throttle device shown in FIG.
  • the throttle device 10 is an electronically controlled valve device that adjusts the intake air amount of an engine (not shown).
  • the throttle device 10 includes a body 11, a valve body 12, a rotating shaft 13, a motor 14, a holder 15, magnets 16 and 17, a cover 18, sensors 20, 120, and wirings 22 to 27.
  • the through hole 28 of the body 11 constitutes a part of the intake passage of the engine.
  • the valve body 12 rotates together with the rotary shaft 13 to change the degree of opening of the through hole 28, that is, the throttle opening.
  • the motor 14 rotates the rotary shaft 13.
  • the holder 15 has a cylindrical shape and is fixed to the end of the rotating shaft 13.
  • the magnets 16 and 17 are fixed to the inner wall of the holder 15.
  • the direction of the magnetic field between the magnet 16 and the magnet 17 changes according to the rotation angle of the rotating shaft 13.
  • the cover 18 is provided so as to cover the holder 15 and the like, and is fixed to the body 11 with a screw 29.
  • the sensor 20 has a Hall IC 30 located between the magnet 16 and the magnet 17.
  • the magnetic flux density passing through the magnetic sensitive surface of the Hall element 301 inside the Hall IC 30 changes according to the direction of the magnetic field between the magnet 16 and the magnet 17.
  • the Hall ICs 30 and 130 output detection signals corresponding to the rotation angle of the rotary shaft 13 corresponding to “physical quantity related to detection target”.
  • the Hall IC 130 of the sensor 120 is configured similarly to the Hall IC 30 except that the orientation of the magnetic sensitive surface of the Hall element 301 is different.
  • the Hall ICs 30 and 130 correspond to “integrated circuits”.
  • the wirings 22 to 27 are for connecting the motor 14 and the sensors 20 and 120 to the outside. As shown in FIGS.
  • the wiring 22 connects the sensors 20 and 120 to a power source such as a battery (not shown), and the wiring 23 connects the sensors 20 and 120 to the ground.
  • the wiring 24 outputs a detection signal detected by the sensor 20 to an electronic control device (not shown), and the wiring 25 outputs a detection signal detected by the sensor 120 to the electronic control device. is there.
  • a part of the sensor 20 and a part of the wirings 22 to 27 are embedded in the cover 18.
  • the electronic control device is referred to as “ECU”.
  • the throttle device 10 configured in this manner transmits a detection signal of the sensor 20 to an external ECU.
  • the ECU calculates the throttle opening based on the detection signal received from the sensor 20, and determines the target value of the throttle opening based on vehicle information such as the accelerator opening. Then, the ECU controls the motor 14 so that the detected value of the throttle opening matches the target value.
  • FIGS. 4 is a view as seen from the IV direction of FIG. 3, FIG. 5 is a side view, and FIG. 6 is a bottom view.
  • the configuration in which the sensor 20 is numbered by two digits is the same as the configuration of the sensor 20 corresponding to the lower two digits in the sensor 120, and The place was numbered as “1” with 3 digits.
  • the sensor 20 since the sensors 20 and 120 are the same except for the direction of the magnetic sensitive surface, the sensor 20 will be described below.
  • the sensor 20 includes a Hall IC 30, a power terminal 35, a ground terminal 36, a first signal terminal 37, a second signal terminal 38, a first capacitor 41, a second capacitor 42, a resistor 43, A third capacitor 45 as a power supply side capacitor, a sealing body 50, and the like are provided.
  • the Hall IC 30 has a sensor unit 300, a power supply lead 31, a ground lead 32, and a signal lead 33.
  • the Hall IC 30 is compatible with SENT communication, and its output signal is a digital signal.
  • the sensor unit 300 is provided with a hall element 301 that detects a change in magnetic flux according to the rotation angle of the rotary shaft 13, and is formed in a substantially rectangular shape.
  • the leads 31, 32, 33 are formed so as to protrude from the same side surface of the sensor unit 300, and are arranged in this order from one side.
  • the power supply lead 31 is formed in parallel to the ground lead 32 on the sensor unit 300 side, extends to the side away from the ground lead 32 in the intermediate portion, and is formed in parallel to the ground lead 32 on the tip side.
  • the ground lead 32 is formed to extend substantially straight from the sensor unit 300.
  • the signal lead 33 is formed in parallel with the ground lead 32 on the sensor unit 300 side, extends to the side away from the ground lead 32 in the middle portion, and is formed in parallel with the ground lead 32 on the tip side.
  • the projecting direction of the ground lead 32 (the vertical direction in FIG. 4 etc.) is referred to as “signal line extending direction”.
  • the term “parallel” here is not limited to being strictly parallel, and a deviation of a manufacturing error is allowed. The same applies to “parallel” and “vertical” in the description below.
  • the Hall IC 30 is appropriately indicated by a two-dot chain line in order to avoid complication of overlapping portions between the leads 31 to 33 and the terminals 35 to 37. Further, the description of the internal wiring of the sensor unit 300 is omitted. The same applies to the drawings according to other embodiments.
  • the power terminal 35, the ground terminal 36, and the first signal terminal 37 correspond to the power lead 31, the ground lead 32, and the signal lead 33, and are arranged in this order from one side.
  • the Hall IC 30 side is referred to as “base end side”, and the opposite side of the Hall IC 30 is referred to as “tip end side”.
  • the power supply terminal 35 has a base 351 and a protrusion 352.
  • the base portion 351 is formed so as to extend in the signal line extending direction, and is formed such that the distal end side is on a side farther from the ground terminal 36 than the proximal end side. Further, the base 351 is formed so that the distal end side is thicker than the proximal end side. The base end side of the base portion 351 is connected to the power supply lead 31.
  • the protrusion 352 is formed so as to protrude from the base 351 toward the ground terminal 36.
  • the front end side of the base portion 351 of the power supply terminal 35 is exposed from a front end portion 505 that is an end portion on the opposite side to the side where the Hall IC 30 of the sealing body 50 is provided.
  • a portion exposed from the sealing body 50 of the power terminal 35 is defined as an exposed portion 353.
  • the exposed portion 353 is formed to have a width corresponding to the wiring 22, is bent, and is connected to the wiring 22 at the connection end 354. Further, the exposed portion 353 is formed with a cut portion 355 that is a cut mark protruding to the ground terminal 36 side.
  • the ground terminal 36 is formed to extend in the signal line extending direction as a whole.
  • the ground terminal 36 is formed such that the distal end side is thicker than the proximal end side.
  • the proximal end side of the ground terminal 36 is connected to the ground lead 32.
  • the front end side of the ground terminal 36 is exposed from the front end portion 505 of the sealing body 50.
  • a portion exposed from the sealing body 50 of the ground terminal 36 is defined as an exposed portion 363.
  • the exposed portion 363 is formed in a width corresponding to the wiring 23, bent, and connected to the wiring 23 at the connection end 364.
  • the exposed portion 363 is formed with a cutting portion 365 that is a cutting trace protruding toward the power terminal 35 and a cutting portion 366 that is a cutting trace protruding toward the second signal terminal 38.
  • the first signal terminal 37 has a base 371 and a protrusion 372.
  • the base 371 is formed so as to extend in the signal line extending direction, and is formed such that the distal end side is closer to the ground terminal 36 than the proximal end side.
  • the base end side of the base 371 is connected to the signal lead 33.
  • the protrusion 372 is formed to protrude from the base 371 toward the ground terminal 36.
  • the protrusion 372 of the first signal terminal 37 is formed closer to the base end side than the protrusion 352 of the power supply terminal 35.
  • the distal end side of the base portion 371 of the first signal terminal 37 is exposed from the distal end portion 505 of the sealing body 50.
  • a portion exposed from the sealing body 50 of the first signal terminal 37 is defined as an exposed portion 373.
  • a cutting portion 377 that is a cutting mark is formed on the tip side of the exposed portion 373.
  • the second signal terminal 38 is disposed on the tip end side of the protrusion 372 and between the ground terminal 36 and the first signal terminal 37.
  • the distal end side of the second signal terminal 38 is formed so as to be closer to the ground terminal 36 than the proximal end side.
  • the base end side of the second signal terminal 38 is not connected to the leads 31 to 33 of the Hall IC 30.
  • the distal end side of the second signal terminal 38 is exposed from the distal end portion 505 of the sealing body 50.
  • a portion exposed from the sealing body 50 of the second signal terminal 38 is defined as an exposed portion 383.
  • the leading end side of the exposed portion 383 is formed in a width corresponding to the wiring 24, bent, and connected to the wiring 24 at the connection end 384.
  • the exposed portion 383 is formed such that the tip side is on the side farther from the ground terminal 36 than the protruding portion from the sealing body 50, and a part of the exposed portion 383 is the first signal terminal 37. It is arrange
  • the exposed portion 383 is formed with a cut portion 386 that is a cut mark protruding to the ground terminal 36 side. Further, a cut portion 387 that is a cut mark is formed at a position of the exposed portion 383 facing the cut portion 377 of the first signal terminal 37.
  • the sensor 20 is provided with a first capacitor 41, a second capacitor 42, a resistor 43, and a third capacitor 45.
  • the first capacitor 41, the second capacitor 42, the resistor 43, and the third capacitor 45 correspond to the “filter member”.
  • the capacitors 41, 42, and 45 are all chip-type capacitors and are so-called “chip capacitors”.
  • the resistor 43 is of a chip type and is a so-called “chip register”.
  • the first capacitor 41 has one connection end connected to the protrusion 372 of the first signal terminal 37 and the other connection end connected to the ground terminal 36.
  • the second capacitor 42 has one connection end connected to the second signal terminal 38, and the other connection end connected to the ground terminal 36 on the tip side of the first capacitor 41.
  • One end of the resistor 43 is connected to the base 371 of the first signal terminal 37 on the tip side of the protrusion 372, and the other end of the resistor 43 is on the base end side of the second capacitor 42. It is connected to the. That is, in the present embodiment, the first signal terminal 37 and the second signal terminal 38 are electrically connected via the resistor 43.
  • the third capacitor 45 has one connection end connected to the protrusion 352 of the power supply terminal 35, and the other connection end connected to the ground terminal 36 between the first capacitor 41 and the second capacitor 42.
  • the third capacitor 45 is disposed between the first capacitor 41 and the second capacitor 42 in the signal line extending direction.
  • the third capacitor 45 is for preventing a high voltage due to static electricity from being applied to the Hall IC 30.
  • the capacitors 41, 42, 45 and the resistor 43 are all sealed in the sealing body 50.
  • the first capacitor 41 is arranged so that the straight line connecting the connection ends is perpendicular to the signal line extending direction.
  • the capacitors 42 and 45 and the resistor 43 are arranged so that the straight line connecting the connection ends is perpendicular to the signal line extending direction. That is, in the present embodiment, the direction in which the connection ends of the capacitors 41, 42, 45 and the resistor 43 are connected is the same.
  • the ⁇ -type filter 40 includes a first capacitor 41, a second capacitor 42, and a resistor 43, and is a filter that attenuates high frequency components.
  • the first capacitor 41, the resistor 43, and the second capacitor 42 are sequentially arranged from the base end side in the signal line extending direction.
  • the circuit configuration of the ⁇ -type filter 40 is shown in FIG.
  • the first capacitor 41 is connected to the signal line and the ground on the Hall IC 30 side of the resistor 43.
  • the second capacitor 42 is connected to the signal line and the ground on the opposite side of the resistor 43 from the Hall IC 30.
  • the resistor 43 is provided between the connection point between the first capacitor 41 and the signal line and the connection point between the second capacitor 42 and the signal line, and is provided in series with the signal line.
  • the signal line is divided into the first signal terminal 37 and the second signal terminal 38, and the first signal terminal 37 and the second signal terminal 38 are connected by the resistor 43, whereby the resistor 43 is connected to the signal 43. It is provided in series with the wire. Thereby, the detection signal of the Hall IC is output to the ECU side through the first signal terminal 37, the resistor 43, and the second signal terminal 38 in this order.
  • capacitors 41 and 42 and a resistor 43 constituting the ⁇ -type filter 40 are built in the sealing body 50, and the ⁇ -type filter 40 is disposed immediately below the Hall IC 30.
  • the ⁇ -type filter 40 is disposed immediately below the Hall IC 30.
  • noise generated by the Hall IC 30 is radiated to the outside via the wirings 22 to 27.
  • the present embodiment by arranging the ⁇ -type filter 40 immediately below the Hall IC 30, noise can be reduced inside the sensor 20, so that emission of noise to the outside can be suppressed. Further, since the noise propagated to the wirings 22 to 27 can be reduced by the ⁇ -type filter 40 provided in the sensor 20, the intrusion of noise from the outside to the Hall IC 30 can be reduced.
  • the sealing body 50 is made of, for example, resin or ceramic, and the Hall IC 30, the terminals 35 to 38, the first capacitor 41, the second capacitor 42, the resistor 43, and the third capacitor 45 are molded.
  • the sealing body 50 includes an IC sealing portion 501, an intermediate portion 502, and a terminal forming portion 503, which are integrally formed.
  • the IC sealing part 501 is formed in a shape corresponding to the sensor part 300.
  • the intermediate portion 502 is an intermediate region between the IC sealing portion 501 and the terminal forming portion 503.
  • the intermediate part 502 is formed wider than the IC sealing part 501.
  • the terminal forming portion 503 is formed wider than the intermediate portion 502. Terminals 35 to 38 are exposed from a tip portion 505 which is an end portion of the terminal forming portion 503 opposite to the IC sealing portion 501.
  • the Hall IC 30, the first capacitor 41, the second capacitor 42, the resistor 43, and the third capacitor 45 will be referred to as “electronic components” as appropriate.
  • the power terminal 35, the ground terminal 36, the first signal terminal 37, and the second signal terminal 38 are partially exposed from the sealing body 50. In the present embodiment, all the terminals 35 to 38 are exposed from the distal end portion 505.
  • the exposed portion 353 that is exposed from the sealing body 50 includes a connection end 354 that is connected to the wiring 22 and a portion that is connected to the ground terminal 36 during the manufacturing process.
  • a cutting part 355 is formed by cutting.
  • an exposed portion 363 that is exposed from the sealing body 50 is cut at a connection end portion 364 that is connected to the wiring 23 and a portion that is connected to the power supply terminal 35 during manufacture. And a cutting portion 366 formed by cutting a portion connected to the second signal terminal 38 during manufacture.
  • the exposed portion 383 that is exposed from the sealing body 50 includes a connection end 384 connected to the wiring 24 and a portion connected to the ground terminal 36 during the manufacturing.
  • a cut portion 386 formed by cutting, and a cut portion 387 formed by cutting a portion connected to the first signal terminal 37 during manufacture are included.
  • the exposed portion 373 that is exposed from the sealing body 50 includes a cutting portion 377 in which a portion connected to the second signal terminal 38 during the manufacturing is cut. It is.
  • the power terminal 35, the ground terminal 36, the first signal terminal 37, and the second signal terminal 38 are connected from the time when the electronic component is connected to the terminal until the sealing body 50 is formed.
  • the portions exposed from the sealing body 50 can be connected to each other.
  • the sensor manufacturing method is the same in the second to fifth embodiments.
  • the first step S1 is a terminal molding process.
  • the connecting terminal 34 is formed by connecting the terminals 35 to 38 via the connecting portions 341, 342, and 343.
  • the connecting portion 341 connects the power supply terminal 35 and the ground terminal 36 perpendicularly to the signal line extending direction.
  • the connecting portion 342 connects the ground terminal 36 and the second signal terminal 38 in the direction perpendicular to the signal line extending direction.
  • the connecting portion 343 connects the first signal terminal 37 and the second signal terminal 38 in parallel with the signal line extending direction. That is, the connecting portions 341 and 342 connect the terminals 35, 36, and 38 in the horizontal direction on the paper surface, and the connecting portion 343 connects the signal terminals 37 and 38 in the vertical direction on the paper surface.
  • the subsequent step S2 is a terminal welding process as a terminal connection process. As shown in FIG. 10, in the terminal welding process, the power lead 31 and the power terminal 35, the ground lead 32 and the ground terminal 36, and the signal lead 33 and the first signal terminal 37 are welded.
  • the subsequent step S3 is a soldering process as a filter connecting process.
  • capacitors 41, 42 and 45 and a resistor 43 are soldered to the terminals 35 to 38.
  • step S4 is a sealing process.
  • the sealing body 50 is molded so as to mold a part of the electronic component and the terminals 35 to 38. At this time, the sealing body 50 is molded so that the connecting portions 341 to 343 of the connecting terminal 34 are exposed.
  • the subsequent step S5 is a terminal cutting process.
  • the connecting portions 341 to 343 are cut as shown in FIG.
  • the cutting traces at this time are cutting portions 355, 365, 366, 386, 387, 377.
  • the power supply terminal 35 and the ground terminal 36 are disconnected by cutting the connecting portion 341.
  • the power supply terminal 35 is formed with a cut portion 355 protruding toward the ground terminal 36.
  • a cutting portion 365 protruding toward the terminal 35 is formed.
  • the connecting portion 342 the ground terminal 36 and the second signal terminal 38 are disconnected, and the ground terminal 36 is formed with a cutting portion 366 that protrudes toward the second signal terminal 38, and the second signal terminal. 38 is formed with a cutting portion 386 protruding toward the ground terminal 36.
  • the connecting portion 343 By cutting the connecting portion 343, the first signal terminal 37 and the second signal terminal 38 are disconnected, and the first signal terminal 37 is formed with a cutting portion 377 protruding toward the second signal terminal 38 side.
  • the signal terminal 38 is formed with a cutting portion 387 protruding toward the first signal terminal 37 side. That is, in the present embodiment, the connecting portion 343 between the first signal terminal 37 and the second signal terminal 38 connected in series is exposed to the outside of the sealing body 50, and the connecting portion 343 is outside the sealing body 50. Is disconnected.
  • the cut surfaces of the cutting portions 355, 365, 366, and 386 are formed in parallel to the signal line extending direction.
  • the cutting parts 377 and 387 formed by cutting the connecting part 343 protrude from each terminal in the signal line extending direction.
  • the cut surfaces of the cutting portions 377 and 387 are formed perpendicular to the signal line extending direction.
  • the subsequent step S6 is a bending process.
  • the exposed portion 353 of the power supply terminal 35, the exposed portion 363 of the ground terminal 36, and the exposed portion 383 of the second signal terminal 38 are bent (see FIGS. 4 to 6).
  • the sensor 20 is manufactured as described above. Thereafter, as shown in FIG. 13, the sensor 20 is combined with the similarly manufactured sensor 120, and the power terminals 35 and 135, the ground terminals 36 and 136, and the second signal terminals 38 and 138 are connected to the corresponding wiring. Welded to 22-25.
  • the first signal terminal 37 is connected to the wiring 24 via the resistor 43 and the second signal terminal 38. That is, the first signal terminal 37 is not directly connected to the external wiring provided outside the sealing body 50.
  • the connecting portions 341 to 343 are cut outside the sealing body 50. Not only the connected terminals 35, 36, and 38 but also the first signal terminal 37 that is not connected to external wiring is exposed to the outside of the sealing body 50.
  • the first signal terminal (not shown) is not directly connected to the external wiring, but is exposed to the outside of the sealing body 150.
  • the sensors 20 and 120 and the wirings 22 to 27 are molded on the cover 18 when the cover 18 is molded as shown in FIG.
  • the sensor 20 includes the Hall IC 30, the power terminal 35, the ground terminal 36, the first signal terminal 37, the second signal terminal 38, and the capacitor 41 that is a filter member. , 42, 45 and a resistor 43, and a sealing body 50.
  • the Hall IC 30 has a power lead 31, a ground lead 32, and a signal lead 33, and outputs a detection signal corresponding to the rotation angle of the rotating shaft 13 that is a detection target.
  • the power terminal 35 is connected to the power lead 31.
  • the ground terminal 36 is connected to the ground lead 32.
  • the first signal terminal 37 is connected to the signal lead 33.
  • the second signal terminal 38 is electrically connected to the first signal terminal 37. In the present embodiment, the second signal terminal 38 is connected to the first signal terminal 37 via the resistor 43.
  • Capacitors 41, 42, 45 and resistor 43 which are filter members, have one connection end connected to either power supply terminal 35, ground terminal 36, first signal terminal 37, or second signal terminal 38, and the other connection end. Is connected to any one of the power terminal 35, the ground terminal 36, the first signal terminal 37, and the second signal terminal 38 other than one of the connection ends.
  • the sealing body 50 seals the Hall IC 30, the power terminal 35, the ground terminal 36, the first signal terminal 37, the second signal terminal 38, and the filter member.
  • the power terminal 35, the ground terminal 36, the first signal terminal 37 and the second signal terminal 38 are partially exposed from the sealing body 50.
  • the sensor 20 since the sensor 20 is provided with the capacitors 41, 42, 45 and the resistor 43 as the filter member, electrical noise emitted to the outside can be reduced. Further, the influence of external electrical noise on the Hall IC 30 can be reduced.
  • the sensor 20 Since the power terminal 35, the ground terminal 36, the first signal terminal 37, and the second signal terminal 38 are partially exposed from the sealing body 50, the sensor 20 is manufactured with the exposed portions connected to each other. It is possible. Therefore, at the time of terminal welding for welding the Hall IC 30 and the connection terminal 34, and in the soldering process for soldering the capacitors 41, 42, 45 and the resistor 43 to the terminals 35 to 38, the terminals 35 to 38 are combined into one. Can be linked. As a result, the terminals 35 to 38 can be integrated in the terminal welding process and the soldering process, so that it is possible to prevent positional deviation such as terminal floating. In particular, the first signal terminal 37 does not move with respect to the other terminals 35, 36, 38, and soldering is facilitated. Therefore, it becomes easy to manufacture the sensor 20.
  • each of the terminals 35 to 38 is partially exposed from the sealing body 50, the terminals can be cut after the electronic parts are sealed and fixed by the sealing body 50. It is. Thereby, for example, it is not necessary to disconnect the terminals during the process of connecting the capacitors 41, 42, 45 and the resistor 43 to the terminals 35 to 38, so that the sensor 20 can be easily manufactured.
  • the stress applied to the electronic component when the connecting portions 341 to 343 of the terminals 35 to 38 are cut can be reduced, damage to the electronic component during manufacturing can be suppressed.
  • the filter member includes a ⁇ -type filter 40 including a resistor 43, a first capacitor 41, and a second capacitor 42.
  • the resistor 43 is connected to the first signal terminal 37 and the second signal terminal 38.
  • the first capacitor 41 is connected to the first signal terminal 37 and the ground terminal 36.
  • the second capacitor 42 is connected to the second signal terminal 38 and the ground terminal 36.
  • the detection signal is output to the outside via the first signal terminal 37, the resistor 43, and the second signal terminal 38 in this order.
  • a ⁇ -type filter 40 is provided inside the sealing body 50. Therefore, electrical noise emitted to the outside of the sealing body 50 can be reduced.
  • the ⁇ -type filter 40 immediately below the Hall IC 30 it is possible to attenuate high-frequency component noise, so that emission of noise generated by the sensor 20 to the outside can be suppressed.
  • the filter member includes a third capacitor 45 connected to the power supply terminal 35 and the ground terminal 36. Thereby, it is possible to prevent a high voltage due to static electricity from being applied to the Hall IC 30.
  • the resistor 43, the first capacitor 41, the second capacitor 42, and the third capacitor 45 are chip-type, and the direction connecting both connection ends is the same.
  • the direction in which both connection ends are connected to each other is assumed to allow a deviation of about an error.
  • the power supply terminal 35, the ground terminal 36, the first signal terminal 37, and the second signal terminal 38 are exposed from the front end portion 505 that is the end of the sealing body 50 opposite to the side where the Hall IC 30 is provided.
  • the cutting portion 377 that is the tip of the exposed portion 373 of the first signal terminal 37 faces the exposed portion 383 of the second signal terminal 38. Thereby, the 1st signal terminal 37 and the 2nd signal terminal 38 can be disconnected appropriately.
  • the manufacturing method of the sensor 20 including the Hall IC 30, the power supply terminal 35, the ground terminal 36, the first signal terminal 37, the second signal terminal 38, the filter member, and the sealing body 50 includes a terminal welding process. (S2), a soldering step (S3), a sealing step (S4), and a terminal cutting step (S5).
  • the power supply terminal 35, the ground terminal 36, the first signal terminal 37, and the second signal terminal 38 are connected together by connecting portions 341 to 343, and the power supply leads are connected.
  • 31 and the power terminal 35, the ground lead 32 and the ground terminal 36, and the signal lead 33 and the first signal terminal 37 are connected to each other.
  • the capacitors 41, 42, 45 and the resistor 43, which are filter members, are connected to the connection terminal 34.
  • the Hall IC 30 In the sealing step (S4), the Hall IC 30, the power terminal 35, the ground terminal 36, the first signal terminal 37, the second signal terminal 38, and the filter so that the connecting portions 341 to 343 are exposed from the sealing body 50.
  • the member is sealed with a sealing body 50.
  • the connecting portions 341 and 342 are cut outside the sealing body 50 so that the power terminal 35, the ground terminal 36, and the second signal terminal 38 are separated.
  • the terminals 35 to 38 are integrated as the connection terminal 34, so that the terminal can be fixed.
  • misalignment such as terminal floating in the terminal welding process and the soldering process
  • the Hall IC 30, the capacitors 41, 42, 45 and the resistor 43 are connected to the connection terminal 34 and are sealed by the sealing body 50, the connection portions 341 to 343 of the connection terminal 34 are cut off. The stress applied to the electronic component during cutting is reduced, and the electronic component can be prevented from being damaged.
  • the connecting portion 343 is cut outside the sealing body 50 so that the first signal terminal 37 and the second signal terminal 38 are further separated.
  • the first signal terminal 37 and the second signal terminal 38 are connected by a resistor 43 in order to form the ⁇ -type filter 40 in the sensor 20.
  • the first signal terminal 37 and the second signal terminal 38 can be disconnected by cutting the connecting portion 343. There is no need to provide a step of cutting the terminal in the middle of the soldering step, and the addition of steps related to cutting of the signal terminals 37 and 38 can be minimized.
  • FIG. 1 A second embodiment of the present disclosure is shown in FIG.
  • the sensor 220 of the present embodiment is different from the sensor 20 of the first embodiment in the shapes of the first signal terminal 67 and the second signal terminal 68.
  • the first signal terminal 67 has a base 671 and a protrusion 672.
  • the base 671 is formed in substantially the same shape as the base 371 of the signal terminal 37 of the first embodiment, is connected to the signal lead 33 on the proximal end side, and the exposed portion 373 is the distal end of the sealing body 50 on the distal end side.
  • the part 505 is exposed.
  • the protrusion 672 protrudes to the ground terminal 36 side.
  • the protrusion 672 includes a first protrusion 673 extending toward the ground terminal 36 and a second protrusion 674 extending from the first protrusion 673 toward the distal end.
  • a connecting portion 675 is formed at the tip of the second protrusion 674.
  • the second signal terminal 68 is disposed on the tip side of the protrusion 672 and between the ground terminal 36 and the first signal terminal 67.
  • the shape of the second signal terminal 68 is the same as that of the signal terminal 38 of the first embodiment except that the connection portion 682 is provided on the proximal end side, and the exposed portion 383 is sealed at the distal end side.
  • the tip 50 of the body 50 is exposed.
  • one connection end of the first capacitor 41 is connected to the first protrusion 673 of the protrusion 672 of the first signal terminal 67, and the other connection end is connected to the ground terminal 36.
  • the second capacitor 42 has one connection end connected to the tip side of the connection portion 682 of the second signal terminal 68, and the other connection end connected to the ground terminal on the tip side of the first capacitor 41 and the third capacitor 45.
  • the resistor 43 has one connecting end connected to the connecting portion 675 of the first signal terminal 67 and the other connecting end connected to the connecting portion 682 of the second signal terminal 68.
  • the arrangement and connection of the third capacitor 45 are the same as in the first embodiment.
  • the capacitors 41, 42, and 45 are arranged so that the straight line connecting the connection ends is perpendicular to the signal line extending direction.
  • the resistor 43 is arranged so that the straight line connecting the connection ends is parallel to the signal line extending direction. That is, in this embodiment, the resistor 43 is arranged in a direction different from that of the capacitors 41, 42, 45. In other words, the direction connecting the connection ends of the resistor 43 is different from the direction connecting the connection ends of the capacitors 41, 42, and 45.
  • the cutting portions 355, 365, 366, 386, 387, and 377 of the terminals 35, 36, 67, and 67 are all formed outside the sealing body 50 as in the first embodiment.
  • FIG. 1 A third embodiment of the present disclosure is shown in FIG. 1
  • the ground terminal 76 of the sensor 320 of the present embodiment has a base 761 and a protrusion 762.
  • the base portion 761 is formed in a shape substantially similar to the ground terminal 36 of the first embodiment, is connected to the signal lead 33 on the base end side, and the exposed portion 363 is connected to the tip end portion 505 of the sealing body 50 on the front end side. Exposed.
  • the protrusion 762 protrudes from the base 761 to the first signal terminal 77 side.
  • the first signal terminal 77 has a base 771 and a protrusion 772.
  • the base portion 771 is formed in a shape substantially similar to the base portion 371 of the first embodiment, is connected to the signal lead 33 on the base end side, and the exposed portion 373 is exposed from the front end portion 505 of the sealing body 50 on the distal end side. is doing.
  • the protrusion 772 is formed to protrude toward the ground terminal 76 on the tip end side of the protrusion 762 of the ground terminal 76.
  • the tip end side of the protrusion 772 faces the connection portion 682 of the second signal terminal 68.
  • the shape or the like of the second signal terminal 68 is the same as that of the second embodiment, and is arranged between the ground terminal 76 and the first signal terminal 77 on the tip end side of the protrusion 772.
  • the first capacitor 41 has one connection end connected to the base 771 of the first signal terminal 77 on the tip side from the projection 772 and the other connection end connected to the projection 762 of the ground terminal 76.
  • the second capacitor 42 has one connection end connected to the second signal terminal 68, and the other connection end connected to the base 761 of the ground terminal 76 on the tip side of the first capacitor 41 and the third capacitor 45. .
  • the resistor 43 has one connection end connected to the protrusion 772 of the first signal terminal 77 and the other connection end connected to the connection portion 682 of the second signal terminal 68.
  • the arrangement and connection of the third capacitor 45 are the same as in the first embodiment.
  • the capacitors 41, 42, and 45 are arranged so as to be perpendicular to the signal line extending direction, and the resistor 43 is arranged so as to be parallel to the signal line extending direction. That is, in this embodiment, the resistor 43 is arranged in a direction different from that of the capacitors 41, 42, 45.
  • the cutting portions 355, 365, 366, 386, 387, and 377 of the terminals 35, 76, 68, and 77 are all formed outside the sealing body 50 as in the first embodiment.
  • FIG. 1 A fourth embodiment of the present disclosure is shown in FIG.
  • the sensor 420 of this embodiment includes a Hall IC 430, a power supply terminal 85, a ground terminal 36, a first signal terminal 87, a second signal terminal 68, capacitors 41, 42, 45, a resistor 43, and A sealing body 50 and the like are provided.
  • the Hall IC 430 includes a sensor unit 300, a power supply lead 431, a ground lead 432, and a signal lead 433.
  • the leads 431 to 433 are formed to extend substantially straight from the same side surface of the sensor unit 300. Therefore, the distance between the leads 431 to 433 on the distal end side is narrower than in the first embodiment.
  • the leads 431 to 433 are connected to the power terminal 85, the ground terminal 36, and the first signal terminal 87, respectively.
  • the power supply terminal 85 is formed so as to extend in the signal line extending direction, and is formed such that the distal end side is on a side farther from the ground terminal 36 than the proximal end side.
  • the exposed portion 353 and the like of the power supply terminal 85 are the base 351 of the power supply terminal 35 of the first embodiment except that the base end side is close to the ground terminal 36 side so as to correspond to the position of the front end portion of the power supply lead 431. It is formed in the same way.
  • the first signal terminal 87 has a first base portion 871 and a second base portion 872 that are integrally formed.
  • the first base portion 871 is formed in a substantially L shape extending in the signal line extending direction on the base end side and extending in the direction away from the ground terminal 36 on the distal end side.
  • the first base portion 871 is connected to the signal lead 433 on the proximal end side.
  • the second base portion 872 is formed to extend from the end portion on the base end side of the first base portion 871 on the side opposite to the ground terminal 36 to the front end side.
  • the shape of the distal end side of the second base portion 872 is the same as the shape of the distal end side of the base portion 371 of the first signal terminal 37 of the first embodiment, and the exposed portion 373 is exposed from the sealing body 50.
  • the shape or the like of the second signal terminal 68 is the same as that of the second embodiment, and is disposed between the second base portion 872 and the ground terminal 36 on the tip side of the first base portion 871.
  • the first capacitor 41 has one connection end connected to the first base 871 of the first signal terminal 87 and the other connection end connected to the ground terminal 36.
  • One end of the resistor 43 is connected to the distal end side of the first capacitor 41 of the first base 871 of the first signal terminal 87, and the other end of the resistor 43 is connected to the connection portion 682 of the second signal terminal 68.
  • the third capacitor 45 has one connection end connected to the power supply terminal 85 and the other connection end connected to the ground terminal 36 between the first capacitor 41 and the second capacitor 42.
  • the arrangement and connection of the second capacitor 42 are the same as in the second embodiment.
  • the capacitors 41, 42, and 45 are arranged so as to be perpendicular to the signal line extending direction, and the resistor 43 is arranged so as to be parallel to the signal line extending direction. That is, in this embodiment, the resistor 43 is arranged in a direction different from that of the capacitors 41, 42, 45.
  • the shapes of the power supply terminal 85 and the first signal terminal 87 can be changed.
  • the cutting portions 355, 365, 366, 386, 387, and 377 of the terminals 85, 36, 87, and 68 are all formed outside the sealing body 50 as in the first embodiment.
  • FIGS. 17 and 18 A fifth embodiment of the present disclosure is shown in FIGS. 17 and 18.
  • the sensor 520 of this embodiment includes a Hall IC 30, a power supply terminal 95, a ground terminal 96, a first signal terminal 97, a second signal terminal 98, capacitors 41, 42, 45, a resistor 43, and A sealing body 550 and the like are provided.
  • the sealing body 550 includes an IC sealing portion 501 and a terminal sealing portion 552, which are integrally formed.
  • the terminal sealing portion 552 is provided on the front end side of the IC sealing portion 501 and is formed in a substantially rectangular shape.
  • the terminal sealing portion 552 is narrower than the intermediate portion 502 and the terminal forming portion 503 in the first embodiment.
  • the front end side of the power terminal 95, the ground terminal 96 and the second signal terminal 98 is exposed from the front end portion 555 which is the front end side of the terminal sealing portion 552, and the side end portion 556 of the terminal sealing portion 552 is exposed. To the first signal terminal 97 is exposed.
  • the power supply terminal 95 is formed so as to extend substantially straight in the signal line extending direction as a whole, is connected to the power supply lead 31 on the proximal end side, and the exposed portion 953 is exposed from the distal end portion 555 of the sealing body 550 on the distal end side. is doing.
  • the exposed portion 953 has a connection end portion 954 connected to the wiring 22 and a cut portion 955 that is a cut mark protruding to the ground terminal 96 side.
  • the exposed portion 953 is substantially the same as the exposed portion 353 except that the cut portion 955 is close to the ground terminal 96 as compared with the first embodiment.
  • the ground terminal 96 is formed in substantially the same manner as the ground terminal 36 of the first embodiment, is connected to the ground lead 32 on the proximal end side, and the exposed portion 963 is exposed from the distal end portion 555 of the sealing body 550 on the distal end side. is doing.
  • the exposed portion 963 includes a connection end portion 964 connected to the wiring 23, a cutting portion 965 that is a cutting trace protruding to the power terminal 95 side, and a cutting portion 966 that is a cutting trace protruding to the second signal terminal 98 side.
  • the exposed portion 963 has the same shape as the exposed portion 363 except that the cutting portion 965 is close to the power supply terminal 95 and the cutting portion 966 is close to the second signal terminal 98. It is the same.
  • the power supply terminal 95, the ground terminal 96, and the second signal terminal 98 are formed in a straight line so as to extend in directions parallel to each other.
  • the first signal terminal 97 includes a straight line portion 971 formed on an extension line of the second signal terminal 98, and extends from the distal end side of the straight line portion 971 to the side opposite to the grounding terminal 96 so as to extend to the side end of the sealing body 550.
  • a protruding portion 972 formed so as to protrude outward from the portion 556.
  • the base end side of the straight line portion 971 is connected to the signal lead 33.
  • a portion exposed from the sealing body 550 of the protruding portion 972 is referred to as an exposed portion 973.
  • the tip of the exposed portion 973 is a cut portion 977 that is a cut mark formed by cutting a portion connected to the second signal terminal 98 during the manufacturing.
  • the second signal terminal 98 is provided on the front end side of the straight portion 971 of the first signal terminal 97, and is formed to extend in the signal line extending direction as a whole.
  • the exposed portion 983 of the second signal terminal 98 is exposed from the distal end portion 555 of the sealing body 550 on the distal end side.
  • the exposed portion 983 includes a connection end portion 984 connected to the wiring 24, a cutting portion 986 that is a cutting trace protruding to the ground terminal 96 side, and a cutting portion 987 that is a cutting trace protruding to the opposite side of the ground terminal 96. Have.
  • the first capacitor 41 has one connection end connected to the straight line portion 971 of the first signal terminal 97 and the other connection end connected to the ground terminal 96.
  • the second capacitor 42 has one connection end connected to the second signal terminal 98, and the other connection end connected to the ground terminal 96 on the tip side of the first capacitor 41.
  • the resistor 43 has one connection end connected to the distal end side of the first capacitor 41 of the linear portion 971 of the first signal terminal 97 and the other connection end connected to the proximal end side of the second signal terminal 98. Thereby, the first signal terminal 97 and the second signal terminal 98 are connected in series via the resistor 43.
  • the third capacitor 45 has one connection end connected to the power supply terminal 95 and the other connection end connected to the ground terminal 96 between the first capacitor 41 and the second capacitor 42.
  • the capacitors 41, 42, and 45 are arranged so as to be perpendicular to the signal line extending direction, and the resistor 43 is arranged so as to be parallel to the signal line extending direction. That is, in this embodiment, the resistor 43 is arranged in a direction different from that of the capacitors 41, 42, 45.
  • the terminals 95 to 98 are connected terminals 94 connected by connecting portions 941, 942, and 943 in the process up to the terminal cutting process.
  • the connecting portion 941 connects the power supply terminal 95 and the ground terminal 96 in the direction perpendicular to the signal line extending direction, substantially the same as the connecting portion 341 of the first embodiment.
  • the connecting portion 942 connects the ground terminal 96 and the second signal terminal 98 in the direction perpendicular to the signal line extending direction.
  • the connecting portion 943 is formed in a substantially C shape as a whole, one end is connected to the first signal terminal 97 at the side of the side end portion 556 of the sealing body 550, and the other end of the sealing body 550.
  • the second signal terminal 98 is connected to the distal end side of the distal end portion 555. Thereby, in the connection terminal 94, the 1st signal terminal 97 and the 2nd signal terminal 98 are connected.
  • the sealing body 550 is formed so that the connecting portions 941 to 943 are exposed.
  • the connecting portions 941 to 943 are cut in a terminal cutting step after the sealing step, as in the first embodiment. As a result, the power terminal 95, the ground terminal 96, the first signal terminal 97, and the second signal terminal 98 are disconnected.
  • both the cutting portion 977 of the first signal terminal 97 and the cutting portion 987 of the second signal terminal 98 formed by cutting the connecting portion 943 face the opposite side to the ground terminal 36. And projecting perpendicular to the signal line extending direction.
  • the cut surfaces of the cutting portions 977 and 987 are formed in parallel to the signal line extending direction.
  • the terminals 95 to 98 are connected to each other by the connecting portions 941 to 943 at portions exposed from the sealing body 550 in the terminal welding process, the soldering process, and the sealing process. Can be kept. Therefore, the same effects as those in the first to fourth embodiments can be obtained. Furthermore, since the linear portion 971 of the first signal terminal 97 and the second signal terminal 98 are provided on the same straight line, the width of the sealing body 550 can be reduced.
  • FIGS. 19 corresponds to FIG. 10
  • FIG. 20 corresponds to FIG. 11
  • FIG. 21 corresponds to FIG.
  • the sensor 620 of this embodiment includes a Hall IC 30, a power terminal 35, a ground terminal 36, a first signal terminal 37, a second signal terminal 38, a first capacitor 41, a third capacitor 45, and The sealing body 50 etc. are provided. That is, the present embodiment is different from the first embodiment in that the first capacitor 41 and the third capacitor 45 are provided as filter members, and the second capacitor 42 and the resistor 43 are omitted. In other words, the sensor 620 of the present embodiment does not include a ⁇ -type filter.
  • the manufacturing process of the sensor 620 is substantially the same as that of the first embodiment. As shown in FIG. 19, the leads 31 to 33 of the Hall IC 30 are connected to the connection terminal 34 in the terminal welding process, and the capacitors 41 and 45 are connected to the connection terminal 34 in the soldering process.
  • connection terminal 34 and the electronic component are sealed with the sealing body 50 with the connection portions 341 to 343 exposed.
  • the connecting portions 341 and 342 are cut.
  • disconnect the connection part 343 differs from 1st Embodiment. Since the sensor 620 is not provided with a ⁇ -type filter and a resistor is not connected in series with the signal line, it is not necessary to divide the signal terminals 37 and 38. For this reason, in the cutting process, the cutting of the connecting portion 343 is omitted, and the first signal terminal 37 and the second signal terminal 38 are connected by the connecting portion 343.
  • the sensor 620 of this embodiment is not provided with a ⁇ -type filter, and is preferably used when the output of the Hall IC 30 is an analog output, for example.
  • the filter member includes the first capacitor 41 and the third capacitor 45.
  • the first capacitor 41 is connected to the first signal terminal 37 and the ground terminal 36.
  • the third capacitor 45 is connected to the power supply terminal 35 and the ground terminal 36. Further, the first signal terminal 37 and the second signal terminal 38 are connected outside the sealing body 50.
  • a connecting portion 343 that connects the first signal terminal 37 and the second signal terminal 38 outside the sealing body 50, a circuit that requires disconnection between the first signal terminal 37 and the second signal terminal 38, and a disconnection are provided.
  • the common terminals 35 to 38 can be used for a circuit that does not need to be used, and the types of components can be reduced.
  • an appropriate filter corresponding to the sensor output can be incorporated in the sensor 620.
  • the first capacitor 41 corresponds to the signal side capacitor
  • the third capacitor corresponds to the power source side capacitor
  • the first capacitor 41 corresponds to the signal side capacitor
  • the third capacitor 45 corresponds to the power source side capacitor.
  • the second capacitor is omitted.
  • the example in which the second capacitor 42 and the resistor 43 are omitted is described by taking the first embodiment as an example, but the terminal shape and the like may be the second to fifth embodiments.
  • the integrated circuit is not limited to the Hall IC, but may be an IC having another magnetic detection element.
  • the integrated circuit is not limited to an IC having a magnetic detection element, but may be an IC having another detection element. In short, the integrated circuit only needs to output a detection signal corresponding to a physical quantity related to a detection target.
  • SENT communication is exemplified as an example of digital communication, but the communication method between the sensor and another device such as an ECU is not limited to SENT communication, and any communication method may be used. Further, as described in the sixth embodiment, the communication method between the sensor and another device is not limited to digital communication, and may be analog communication.
  • the resistor, the first capacitor, the second capacitor, and the third capacitor may not be a chip type.
  • a total of three capacitors and one resistor that is, two capacitors and resistors constituting the ⁇ -type filter and a power supply side capacitor are provided.
  • two capacitors are provided.
  • the number of capacitors and resistors incorporated in the sensor can be changed as appropriate according to the required filter configuration.
  • the signal side capacitor is connected to the first signal terminal and the ground terminal.
  • a signal capacitor may be connected to the second signal terminal and the ground terminal.
  • the power supply lead, the ground lead, and the signal lead are arranged in this order from one side.
  • the arrangement of leads in the Hall IC is not limited to this order, and may be arranged in any manner. Further, the arrangement and shape of the terminals can be appropriately changed according to the arrangement of the leads.
  • the lead of the integrated circuit and the terminal are connected by welding, and the capacitor, the resistor, and the terminal are connected by soldering.
  • the connection method between the lead of the integrated circuit and the terminal is not limited to welding, and may be any method such as soldering.
  • the method of connecting the capacitor and resistor to the terminal is not limited to soldering, and any method may be used. The same applies to the connection between the terminal and the wiring.
  • the senor is not limited to the throttle device, and may be used in other devices.
  • each section is expressed as, for example, S1. Further, each section can be divided into a plurality of subsections, while a plurality of sections can be combined into one section. Further, each section configured in this manner can be referred to as a device, module, or means.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Measuring Magnetic Variables (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

センサは、電源リード（３１、４３１）、接地リード（３２、４３２）および信号リード（３３、４３３）を有する集積回路（３０、１３０、４３０）と、前記電源リードに接続されている電源ターミナル（３５、８５、９５）と、前記接地リードに接続されている接地ターミナル（３６、７６、９６）と、前記信号リードに接続されている第１信号ターミナル（３７、６７、７７、８７、９７）と、前記第１信号ターミナルに接続されている第２信号ターミナル（３８、６８、９８）と、一端が前記ターミナルのいずれか一つに接続され、他端が前記ターミナルの他のいずれか一つに接続されているフィルタ部材（４１～４３、４５）と、前記集積回路、前記ターミナル、および、前記フィルタ部材を封止している封止体（５０、５５０）とを備える。前記ターミナルは、それぞれ一部が前記封止体から露出している。

Description

センサ、および、センサの製造方法 関連出願の相互参照
　本出願は、２０１５年６月１９日に出願された日本特許出願番号２０１５－１２３７９３号および２０１６年５月１１日に出願された日本特許出願番号２０１６―９５２６６号に基づくもので、ここにその記載内容を援用する。
　本開示は、集積回路を含む電子部品とターミナルの一部とを封止体でモールドして成るセンサ、および、センサの製造方法に関するものである。
　従来、検出対象に関する物理量に応じた電気信号を出力する集積回路と、集積回路のリードに接続されている複数のターミナルと、各ターミナル間に設けられているコンデンサと、集積回路およびコンデンサをモールドしている封止体と、を備えるセンサが知られている。特許文献１に開示されたセンサは、集積回路としてホールＩＣを用いている。ホールＩＣの電源リードには電源ターミナルが接続され、接地リードには接地ターミナルが接続され、信号リードには信号ターミナルが接続されている。接地ターミナルと電源ターミナルとの間、および、接地ターミナルと信号ターミナルとの間にはコンデンサが設けられている。
　例えばＳＥＮＴ通信などの通信方式に対応した集積回路の出力信号はデジタル信号である。このようにデジタル信号を出力する集積回路を用いる場合、アナログ信号を出力する集積回路を用いる場合と比べると、出力信号の周波数は高くなる。そのため、センサ外へ放出される電気的ノイズは比較的大きくなる。このノイズを低減するには、信号ターミナルと接地ターミナルとの間に例えばπ型フィルタを設ける対策が考えられる。
　上記のように、π型フィルタを設けるには、信号ターミナルの途中に抵抗を直列に接続する必要がある。例えば、信号ターミナルを集積回路側と外部接続側とで２つの部品に分け、これらの部品間に抵抗を接続することが考えられる。しかし、電子部品をターミナルにはんだ付けする時点において信号ターミナルが２つの部品に分かれていると、一方の部品が他方の部品に対して動き易くなって、正確なはんだ付けが困難となる。そのため、センサを製造し難いという問題がある。
　一方、抵抗を除く電子部品をターミナルにはんだ付けしたあと、信号ターミナルの途中を切断し、その切断箇所に抵抗を直列に接続することが考えられる。しかし、信号ターミナルを切断するとき、既にはんだ付けしてある電子部品に応力がかかり、電子部品が破損するおそれがある。また、はんだ付け工程の途中に、信号ターミナルを切断する工程を実施する必要があり、製造し難いという問題がある。
特開２０１５－５９８８３号公報
　本開示は、外部へ放出される電気的ノイズを低減でき、製造し易く、製造時における電子部品の破損を抑制できるセンサ、および、センサの製造方法を提供することを目的とする。
　本開示の第一の態様において、センサは、電源リード、接地リードおよび信号リードを有し、検出対象に関する物理量に応じた検出信号を出力する集積回路と、前記電源リードに接続されている電源ターミナルと、前記接地リードに接続されている接地ターミナルと、前記信号リードに接続されている第１信号ターミナルと、前記第１信号ターミナルと電気的に接続されている第２信号ターミナルと、一方の接続端が前記電源ターミナル、前記接地ターミナル、前記第１信号ターミナルまたは前記第２信号ターミナルのいずれか一つに接続され、他方の接続端が前記電源ターミナル、前記接地ターミナル、前記第１信号ターミナルまたは前記第２信号ターミナルの他のいずれか一つに接続されているフィルタ部材と、前記集積回路、前記電源ターミナル、前記接地ターミナル、前記第１信号ターミナル、前記第２信号ターミナル、および、前記フィルタ部材を封止している封止体とを備える。前記電源ターミナル、前記接地ターミナル、前記第１信号ターミナルおよび前記第２信号ターミナルは、それぞれ一部が前記封止体から露出している。
　上記センサには、フィルタ部材が設けられているので、外部へ放出される電気的ノイズを低減できる。
　また、電源ターミナル、接地ターミナル、第１信号ターミナルおよび第２信号ターミナルは、一部が封止体から露出しているので、露出する部分同士を互いに連結した状態でセンサを製造することが可能である。そのため、ターミナル接続時およびフィルタ接続時において、各ターミナルを１つに連結しておくことができる。これにより、ターミナル接続工程およびフィルタ接続工程において、各ターミナルを一体とできるので、ターミナル浮き等の位置ずれを防ぐことができ、センサを製造し易くなる。
　また、各ターミナルは、それぞれ一部が封止体から露出しているので、集積回路およびフィルタ部材である電子部品が封止体にて封止されて固定された後に、ターミナル間を切断可能である。これにより、例えばフィルタ部材をターミナルに接続する工程の途中にターミナル間を切断する必要がないので、センサを製造し易くなる。また、各ターミナルの連結部の切断時に電子部品にかかる応力を低減可能であるので、製造時における電子部品の破損を抑制できる。
　本開示の第二の態様において、電源リード、接地リードおよび信号リードを有し、検出対象に関する物理量に応じた検出信号を出力する集積回路と、前記電源リードに接続されている電源ターミナルと、前記接地リードに接続されている接地ターミナルと、前記信号リードに接続されている第１信号ターミナルと、前記第１信号ターミナルと電気的に接続されている第２信号ターミナルと、一方の接続端が前記電源ターミナル、前記接地ターミナル、前記第１信号ターミナルまたは前記第２信号ターミナルのいづれか一つに接続され、他方の接続端が前記電源ターミナル、前記接地ターミナル、前記第１信号ターミナルまたは前記第２信号ターミナルの他のいづれか一つに接続されているフィルタ部材と、前記集積回路、前記電源ターミナル、前記接地ターミナル、前記第１信号ターミナル、前記第２信号ターミナル、および、前記フィルタ部材を封止している封止体とを備えるセンサの製造方法は、前記電源ターミナル、前記接地ターミナル、前記第１信号ターミナルおよび前記第２信号ターミナルが連結部で連結されて一体となっている連結ターミナルにて、前記電源リードと前記電源ターミナル、前記接地リードと前記接地ターミナル、前記信号リードと前記第１信号ターミナルを、それぞれ接続することと、前記フィルタ部材を前記連結ターミナルに接続することと、前記連結部が前記封止体から露出するように、前記集積回路、前記電源ターミナル、前記接地ターミナル、前記第１信号ターミナル、前記第２信号ターミナル、および、前記フィルタ部材を前記封止体で封止することと、前記電源ターミナルと、前記接地ターミナルと、前記第２信号ターミナルとが分離するように、前記封止体の外部にて前記連結部を切断することとを備える。
　上記のセンサの製造方法では、ターミナル接続工程およびフィルタ接続工程を行うとき、各ターミナルが連結ターミナルとして一体となっているので、ターミナルを固定することができる。これにより、ターミナル接続工程およびフィルタ接続工程におけるターミナル浮き等の位置ずれを防ぐことができ、ターミナルが切り離されている状態にてターミナル接続工程およびフィルタ接続工程を行う場合と比較して、製造しやすい。また、連結ターミナルに集積回路およびフィルタ部材が接続され、封止体にて封止された状態にて、封止体の外部で連結ターミナルの連結部が切断されるので、切断時にかかる応力が低減され、電子部品の破損を防ぐことができる。
　本開示についての上記目的およびその他の目的、特徴や利点は、添付の図面を参照しながら下記の詳細な記述により、より明確になる。その図面は、
図１は、本開示の第１実施形態によるセンサを用いたスロットル装置を示す図であり、 図２は、本開示の第１実施形態によるセンサが埋め込まれたカバーを示す図であり、 図３は、図２のＩＩＩ－ＩＩＩ線断面のうち、センサ付近を示す図であり、 図４は、本開示の第１実施形態によるセンサを示す平面図であり、 図５は、図４のＶ方向矢視図であり、 図６は、図４のＶＩ方向矢視図であり、 図７は、本開示の第１実施形態によるπ型フィルタを説明する回路図であり、 図８は、本開示の第１実施形態によるセンサの製造方法を説明するフローチャートであり、 図９は、本開示の第１実施形態のターミナル成形工程において成形される連結ターミナルを示す平面図であり、 図１０は、本開示の第１実施形態のターミナル溶接工程およびはんだ付け工程において、電子部品が接続された連結ターミナルを示す平面図であり、 図１１は、本開示の第１実施形態の封止工程において、電子部品およびターミナルの一部を封止体にて封止した状態のセンサを示す平面図であり、 図１２は、本開示の第１実施形態の切断工程において、連結部が切断された状態のセンサを示す平面図であり、 図１３は、本開示の第１実施形態によるセンサが配線に接続された状態を示す斜視図であり、 図１４は、本開示の第２実施形態によるセンサを示す平面図であり、 図１５は、本開示の第３実施形態によるセンサを示す平面図であり、 図１６は、本開示の第４実施形態によるセンサを示す平面図であり、 図１７は、本開示の第５実施形態によるセンサを示す平面図であり、 図１８は、本開示の第５実施形態によるセンサの製造途中の状態を示す図であって、連結ターミナルの連結部を切断する前の状態を示す平面図であり、 図１９は、本開示の第６実施形態による電子部品が接続された状態の連結ターミナルを示す平面図であり、 図２０は、本開示の第６実施形態による連結ターミナルの連結部を切断する前の状態を示す平面図であり、 図２１は、本開示の第６実施形態によるセンサを示す平面図である。
　以下、本開示の複数の実施形態を図面に基づき説明する。実施形態同士で実質的に同一の構成には同一の符号を付して説明を省略する。
　［第１実施形態］
　本開示の第１実施形態を図１～図１３に基づいて説明する。
　本開示の第１実施形態によるセンサ２０、１２０は、図１に示すスロットル装置に用いられている。スロットル装置１０は、図示しないエンジンの吸入空気量を調整する電子制御式のバルブ装置である。
　先ず、スロットル装置１０について図１～図３を参照して説明する。
　スロットル装置１０は、ボディ１１、弁体１２、回転軸１３、モータ１４、ホルダ１５、磁石１６、１７、カバー１８、センサ２０、１２０および配線２２～２７を備えている。ボディ１１の通孔２８は、エンジンの吸気通路の一部を構成する。弁体１２は、回転軸１３と共に回転して、通孔２８の開口度合い即ちスロットル開度を変更する。モータ１４は、回転軸１３を回転駆動する。ホルダ１５は、筒状であり、回転軸１３の端部に固定されている。磁石１６、１７は、ホルダ１５の内壁に固定されている。磁石１６と磁石１７との間の磁界の向きは、回転軸１３の回転角度に応じて変化する。カバー１８は、ホルダ１５等を覆うように設けられ、スクリュー２９によりボディ１１に固定されている。
　センサ２０は、磁石１６と磁石１７との間に位置するホールＩＣ３０を有している。ホールＩＣ３０内部のホール素子３０１の感磁面を通過する磁束密度は、磁石１６と磁石１７との間の磁界の向きに応じて変化する。ホールＩＣ３０、１３０は、「検出対象に関する物理量」に相当する回転軸１３の回転角度に応じた検出信号を出力する。センサ１２０のホールＩＣ１３０は、ホール素子３０１の感磁面の向きが異なる以外、ホールＩＣ３０と同様に構成されている。ホールＩＣ３０、１３０は、「集積回路」に相当する。配線２２～２７は、モータ１４およびセンサ２０、１２０を外部に接続するためのものである。図２および図１３に示すように、配線２２は、センサ２０、１２０と図示しないバッテリ等の電源と接続するものであり、配線２３は、センサ２０、１２０とグランドとを接続するものである。また、配線２４は、センサ２０にて検出された検出信号を図示しない電子制御装置に出力するものであり、配線２５は、センサ１２０にて検出された検出信号を電子制御装置に出力するものである。センサ２０の一部および配線２２～２７の一部は、カバー１８に埋め込まれている。以下、電子制御装置を「ＥＣＵ」と記載する。
　このように構成されたスロットル装置１０は、センサ２０の検出信号を外部のＥＣＵに送信する。ＥＣＵは、センサ２０から受信した検出信号に基づきスロットル開度を算出するとともに、アクセル開度などの車両情報に基づきスロットル開度の目標値を決定する。そして、ＥＣＵは、スロットル開度の検出値が目標値に一致するようモータ１４を制御する。
　次に、センサ２０、１２０の構成について図３～図６を参照して詳しく説明する。なお、図４は図３のＩＶ方向から見た図であり、図５が側面図、図６が底面図である。
　図中、センサ２０とセンサ１２０とを区別すべく、センサ２０にて２桁で符番した構成について、センサ１２０においては、下２桁が対応するセンサ２０の構成と同じであって、１００の位を「１」として３桁で符番した。上述の通り、センサ２０、１２０は、感磁面の向き以外は同様であるので、以下、センサ２０について説明する。
　図３～図６に示すように、センサ２０は、ホールＩＣ３０、電源ターミナル３５、接地ターミナル３６、第１信号ターミナル３７、第２信号ターミナル３８、第１コンデンサ４１、第２コンデンサ４２、抵抗４３、電源側コンデンサとしての第３コンデンサ４５、および、封止体５０等を備えている。
　図４に示すように、ホールＩＣ３０は、センサ部３００、電源リード３１、接地リード３２および信号リード３３を有している。ホールＩＣ３０はＳＥＮＴ通信に対応しており、その出力信号はデジタル信号である。
　センサ部３００には、回転軸１３の回転角度に応じた磁束の変化を検出するホール素子３０１が設けられ、略矩形に形成される。
　リード３１、３２、３３は、センサ部３００の同一の側面から突出して形成され、一方側からこの順で配列される。電源リード３１は、センサ部３００側にて接地リード３２と平行に形成され、中間部にて接地リード３２から離間する側に延び、先端側にて接地リード３２と平行に形成される。接地リード３２は、センサ部３００から略真っ直ぐに延びて形成される。信号リード３３は、センサ部３００側にて接地リード３２と平行に形成され、中間部にて接地リード３２から離間する側に延び、先端側にて接地リード３２と平行に形成される。
　以下、接地リード３２の突出方向（図４等の紙面上下方向）を、「信号線延伸方向」とする。また、ここでいう「平行」とは、厳密に平行であることに限らず、製造誤差程度のズレは許容されるものとする。後述の記載における「平行」、「垂直」についても同様とする。また、図中において、リード３１～３３とターミナル３５～３７との重複箇所が煩雑になることを避けるため、適宜、ホールＩＣ３０を二点鎖線で記載した。また、センサ部３００の内部配線については記載を省略した。他の実施形態に係る図についても同様である。
　電源ターミナル３５、接地ターミナル３６、および、第１信号ターミナル３７は、電源リード３１、接地リード３２、および、信号リード３３に対応し、一方側から、この順で配列される。以下、ターミナル３５～３８において、ホールＩＣ３０側を「基端側」、ホールＩＣ３０と反対側を「先端側」とする。
　電源ターミナル３５は、基部３５１、および、突起３５２を有する。基部３５１は、信号線延伸方向に延びて形成され、先端側が基端側よりも接地ターミナル３６から離間する側となるように形成されている。また、基部３５１は、先端側が基端側より太く形成されている。基部３５１の基端側は、電源リード３１に接続されている。突起３５２は、基部３５１から接地ターミナル３６側に突出して形成されている。
　電源ターミナル３５の基部３５１の先端側は、封止体５０のホールＩＣ３０が設けられる側と反対側の端部である先端部５０５から露出している。電源ターミナル３５の封止体５０から露出している箇所を露出部３５３とする。露出部３５３は、配線２２に応じた幅に形成され、折り曲げられて、接続端部３５４にて配線２２と接続されている。また、露出部３５３には、接地ターミナル３６側に突出する切断痕である切断部３５５が形成されている。
　接地ターミナル３６は、全体として信号線延伸方向に延びて形成される。接地ターミナル３６は、先端側が基端側よりも太く形成されている。接地ターミナル３６の基端側は、接地リード３２に接続されている。
　接地ターミナル３６の先端側は、封止体５０の先端部５０５から露出している。接地ターミナル３６の封止体５０から露出している箇所を露出部３６３とする。露出部３６３は、配線２３に応じた幅に形成され、折り曲げられて、接続端部３６４にて配線２３と接続されている。また、露出部３６３には、電源ターミナル３５側に突出する切断痕である切断部３６５、および、第２信号ターミナル３８側に突出する切断痕である切断部３６６が形成されている。
　第１信号ターミナル３７は、基部３７１、および、突起３７２を有する。基部３７１は、信号線延伸方向に延びて形成され、先端側が基端側よりも接地ターミナル３６から離間する側となるように形成される。基部３７１の基端側は、信号リード３３に接続されている。突起３７２は、基部３７１から接地ターミナル３６側に突出して形成されている。本実施形態では、第１信号ターミナル３７の突起３７２は、電源ターミナル３５の突起３５２よりも、基端側に形成されている。
　第１信号ターミナル３７の基部３７１の先端側は、封止体５０の先端部５０５から露出している。第１信号ターミナル３７の封止体５０から露出している箇所を露出部３７３とする。第１信号ターミナル３７においては、露出部３７３の先端側に切断痕である切断部３７７が形成されている。
　第２信号ターミナル３８は、突起３７２の先端側であって、接地ターミナル３６と第１信号ターミナル３７との間に配置される。第２信号ターミナル３８の先端側は、基端側よりも接地ターミナル３６から離間する側となるように形成される。第２信号ターミナル３８基端側は、他のターミナル３５～３７とは異なり、ホールＩＣ３０のリード３１～３３とは接続されていない。
　第２信号ターミナル３８の先端側は、封止体５０の先端部５０５から露出している。第２信号ターミナル３８の封止体５０から露出している箇所を露出部３８３とする。露出部３８３の先端側は、配線２４に応じた幅に形成され、折り曲げられて、接続端部３８４にて配線２４と接続されている。本実施形態では、露出部３８３は、先端側が封止体５０からの突出箇所よりも接地ターミナル３６から離間する側となるように形成されており、露出部３８３の一部が第１信号ターミナル３７の切断部３７７の先端側に配置されている。
　露出部３８３には、接地ターミナル３６側に突出する切断痕である切断部３８６が形成されている。また、露出部３８３の第１信号ターミナル３７の切断部３７７と対向する箇所には、切断痕である切断部３８７が形成されている。
　なお、各ターミナルの切断等の製造方法については、後述する。
　センサ２０には、第１コンデンサ４１、第２コンデンサ４２、抵抗４３、および、第３コンデンサ４５が設けられる。本実施形態では、第１コンデンサ４１、第２コンデンサ４２、抵抗４３、および、第３コンデンサ４５が「フィルタ部材」に対応する。コンデンサ４１、４２、４５は、いずれもチップ型のものであって、いわゆる「チップコンデンサ」である。また、抵抗４３は、チップ型のものであって、いわゆる「チップレジスタ」である。
　第１コンデンサ４１は、一方の接続端が第１信号ターミナル３７の突起３７２に接続され、他方の接続端が接地ターミナル３６に接続されている。
　第２コンデンサ４２は、一方の接続端が第２信号ターミナル３８に接続され、他方の接続端が第１コンデンサ４１よりも先端側にて接地ターミナル３６に接続されている。
　抵抗４３は、一方の接続端が突起３７２よりも先端側にて第１信号ターミナル３７の基部３７１に接続され、他方の端部が第２コンデンサ４２よりも基端側にて第２信号ターミナル３８に接続されている。すなわち、本実施形態では、第１信号ターミナル３７と第２信号ターミナル３８とは、抵抗４３を介して電気的に接続されている。
　第３コンデンサ４５は、一方の接続端が電源ターミナル３５の突起３５２に接続され、他方の接続端が第１コンデンサ４１と第２コンデンサ４２との間にて接地ターミナル３６に接続されている。第３コンデンサ４５は、信号線延伸方向において、第１コンデンサ４１と第２コンデンサ４２との間に配置される。第３コンデンサ４５は、静電気による高電圧がホールＩＣ３０にかからないようにするためのものである。
　本実施形態では、コンデンサ４１、４２、４５、および、抵抗４３は、いずれも封止体５０に封止されている。また、第１コンデンサ４１は、接続端を結ぶ直線が、信号線延伸方向と垂直となるように配置されている。コンデンサ４２、４５、抵抗４３についても同様に、接続端を結ぶ直線が信号線延伸方向と垂直となるように配置されている。すなわち本実施形態では、コンデンサ４１、４２、４５、および、抵抗４３のそれぞれの接続端を結ぶ方向は、同じである。
　π型フィルタ４０は、第１コンデンサ４１、第２コンデンサ４２、および、抵抗４３から構成されており、高周波成分を減衰させるフィルタである。本実施形態では、信号線延伸方向において、基端側から、第１コンデンサ４１、抵抗４３、第２コンデンサ４２に順に配列されている。
　π型フィルタ４０の回路構成を図７に示す。
　図７に示すように、第１コンデンサ４１は、抵抗４３のホールＩＣ３０側にて信号線とグランドとに接続されている。第２コンデンサ４２は、抵抗４３のホールＩＣ３０と反対側にて信号線とグランドとに接続されている。
　抵抗４３は、第１コンデンサ４１と信号線との接続箇所と、第２コンデンサ４２と信号線との接続箇所との間であって、信号線に対して直列に設けられる。換言すると、π型フィルタ４０を構成するためには、抵抗４３を信号線に対して直列に繋ぐ必要がある。そこで本実施形態では、信号線を第１信号ターミナル３７と第２信号ターミナル３８とに分け、第１信号ターミナル３７と第２信号ターミナル３８とを、抵抗４３で接続することで、抵抗４３を信号線に対して直列に設けている。これにより、ホールＩＣの検出信号は、第１信号ターミナル３７、抵抗４３、第２信号ターミナル３８をこの順で経由して、ＥＣＵ側に出力される。
　図４に示すように、本実施形態では、π型フィルタ４０を構成するコンデンサ４１、４２および抵抗４３が封止体５０に内蔵されており、π型フィルタ４０がホールＩＣ３０の直下に配置されている、といえる。例えば、比較例として、π型フィルタがセンサ２０と配線２２～２７を経由して接続されるＥＣＵに設けられる場合、ホールＩＣ３０で生成されるノイズが、配線２２～２７を経由して外部へ放射される虞がある。一方、本実施形態では、π型フィルタ４０をホールＩＣ３０の直下に配置することで、センサ２０の内部にてノイズを低減することができるので、ノイズの外部への放射を抑制することができる。また、配線２２～２７に伝播されたノイズを、センサ２０内部に設けられるπ型フィルタ４０にて低減可能であるので、ホールＩＣ３０への外部からのノイズの侵入を低減することができる。
　封止体５０は、例えば樹脂またはセラミックなどから構成されており、ホールＩＣ３０、ターミナル３５～３８、第１コンデンサ４１、第２コンデンサ４２、抵抗４３、および、第３コンデンサ４５をモールドしている。封止体５０は、ＩＣ封止部５０１、中間部５０２、および、ターミナル形成部５０３からなり、これらが一体に形成されている。ＩＣ封止部５０１は、センサ部３００に応じた形状に形成される。中間部５０２は、ＩＣ封止部５０１とターミナル形成部５０３との中間領域である。中間部５０２は、ＩＣ封止部５０１より幅広に形成される。また、ターミナル形成部５０３は、中間部５０２より幅広に形成される。ターミナル形成部５０３のＩＣ封止部５０１と反対側の端部である先端部５０５からは、ターミナル３５～３８が露出している。
　以下適宜、ホールＩＣ３０、第１コンデンサ４１、第２コンデンサ４２、抵抗４３、および、第３コンデンサ４５を「電子部品」と記載する。
　電源ターミナル３５、接地ターミナル３６、第１信号ターミナル３７および第２信号ターミナル３８は、一部が封止体５０から露出している。本実施形態では、全てのターミナル３５～３８が、先端部５０５から露出している。
　電源ターミナル３５のうち、封止体５０から露出している部分である露出部３５３には、配線２２と接続される接続端部３５４、および、製造途中において接地ターミナル３６と連結されていた部分が切断されてなる切断部３５５が含まれる。
　接地ターミナル３６のうち、封止体５０から露出している部分である露出部３６３には、配線２３と接続される接続端部３６４、製造途中において電源ターミナル３５と連結されていた部分が切断されてなる切断部３６５、および、製造途中において第２信号ターミナル３８と連結されていた部分が切断されてなる切断部３６６が含まれる。
　第２信号ターミナル３８のうち、封止体５０から露出している部分である露出部３８３には、配線２４と接続される接続端部３８４、製造途中において接地ターミナル３６と連結されていた部分が切断されてなる切断部３８６、および、製造途中において第１信号ターミナル３７と連結されていた部分が切断されてなる切断部３８７が含まれる。
　第１信号ターミナル３７のうち、封止体５０から露出している部分である露出部３７３には、製造途中において第２信号ターミナル３８と連結されていた部分が切断されてなる切断部３７７が含まれる。
　以上のように構成されたセンサ２０において、電源ターミナル３５、接地ターミナル３６、第１信号ターミナル３７および第２信号ターミナル３８は、電子部品がターミナルに接続されてから封止体５０が形成されるまで、封止体５０から露出する部分同士を互いに連結しておくことができる。
　次に、センサ２０の製造方法について図８～図１２を参照して詳しく説明する。センサの製造方法は、第２実施形態～第５実施形態においても同様である。
　図８に示すように、最初のステップＳ１は、ターミナル成形工程である。ターミナル成形工程において、図９に示すように、ターミナル３５～３８が連結部３４１、３４２、３４３を介して互いに連結されて成る連結ターミナル３４が成形される。詳細には、連結部３４１は、電源ターミナル３５と接地ターミナル３６とを信号線延伸方向に垂直に連結している。連結部３４２は、接地ターミナル３６と第２信号ターミナル３８とを信号線延伸方向と垂直方向に連結している。連結部３４３は、第１信号ターミナル３７と第２信号ターミナル３８とを信号線延伸方向に平行と連結している。すなわち、連結部３４１、３４２は、ターミナル３５、３６、３８間を紙面横方向に連結しており、連結部３４３は、信号ターミナル３７、３８間を紙面縦方向に連結している。
　続くステップＳ２は、ターミナル接続工程としてのターミナル溶接工程である。図１０に示すように、ターミナル溶接工程では、電源リード３１と電源ターミナル３５、接地リード３２と接地ターミナル３６、信号リード３３と第１信号ターミナル３７とが、それぞれ溶接される。
　続くステップＳ３は、フィルタ接続工程としてのはんだ付け工程である。はんだ付け工程において、図１０に示すように、コンデンサ４１、４２、４５および抵抗４３が、ターミナル３５～３８にはんだ付けされる。
　続くステップＳ４は、封止工程である。封止工程において、図１１に示すように、電子部品およびターミナル３５～３８の一部をモールドするよう封止体５０が成形される。このとき、封止体５０は、連結ターミナル３４の連結部３４１～３４３が露出するように成形される。
　続くステップＳ５は、ターミナル切断工程である。ターミナル切断工程において、図１２に示すように連結部３４１～３４３が切断される。このときの切断痕が切断部３５５、３６５、３６６、３８６、３８７、３７７である。
　詳細には、連結部３４１を切断することで、電源ターミナル３５と接地ターミナル３６とが切り離され、電源ターミナル３５には接地ターミナル３６側に突出する切断部３５５が形成され、接地ターミナル３６には電源ターミナル３５側に突出する切断部３６５が形成される。また、連結部３４２を切断することで、接地ターミナル３６と第２信号ターミナル３８とが切り離され、接地ターミナル３６には第２信号ターミナル３８側に突出する切断部３６６が形成され、第２信号ターミナル３８には接地ターミナル３６側に突出する切断部３８６が形成される。
　連結部３４３を切断することで、第１信号ターミナル３７と第２信号ターミナル３８とが切り離され、第１信号ターミナル３７には第２信号ターミナル３８側に突出する切断部３７７が形成され、第２信号ターミナル３８には第１信号ターミナル３７側に突出する切断部３８７が形成される。すなわち本実施形態では、直列接続される第１信号ターミナル３７と第２信号ターミナル３８との連結部３４３を封止体５０の外部に露出させておき、封止体５０の外部にて連結部３４３を切断している。
　連結部３４１、３４２を切断することで形成される切断部３５５、３６５、３６６、３８６は、各ターミナルから信号線延伸方向に対して垂直に突出している。切断部３５５、３６５、３６６、３８６の切断面は、信号線延伸方向に平行に形成される。
　また、連結部３４３を切断することで形成される切断部３７７、３８７は、各ターミナルから信号線延伸方向に突出している。切断部３７７、３８７の切断面は、信号線延伸方向に垂直に形成される。
　続くステップＳ６は、曲げ工程である。曲げ工程において、電源ターミナル３５の露出部３５３、接地ターミナル３６の露出部３６３、および、第２信号ターミナル３８の露出部３８３が曲げられる（図４～図６参照）。
　以上のようにしてセンサ２０が製造される。この後、図１３に示すように、センサ２０は、同様に製造されたセンサ１２０と組み合わされて、電源ターミナル３５、１３５、接地ターミナル３６、１３６および第２信号ターミナル３８、１３８が、対応する配線２２～２５に溶接される。
　本実施形態では、センサ２０において、第１信号ターミナル３７は、抵抗４３および第２信号ターミナル３８を介して配線２４と接続される。すなわち、第１信号ターミナル３７は、封止体５０の外部に設けられる外部配線とは直接的には接続されていない。本実施形態では、電子部品が接続された連結ターミナル３４を封止体５０で封止した後に、封止体５０の外部にて連結部３４１～３４３を切断しているので、配線２２～２４と接続されるターミナル３５、３６、３８だけでなく、外部配線と接続されない第１信号ターミナル３７も封止体５０の外側に露出している。センサ１２０においても同様に、図示しない第１信号ターミナルは、外部配線とは直接的には接続されていないが、封止体１５０の外側に露出している。
　そして、センサ２０、１２０および配線２２～２７は、図２に示すようにカバー１８の成形時に当該カバー１８にモールドされる。
　（効果）
　以上説明したように、第１実施形態では、センサ２０は、ホールＩＣ３０と、電源ターミナル３５と、接地ターミナル３６と、第１信号ターミナル３７と、第２信号ターミナル３８と、フィルタ部材であるコンデンサ４１、４２、４５および抵抗４３と、封止体５０と、を備える。
　ホールＩＣ３０は、電源リード３１、接地リード３２および信号リード３３を有し、検出対象である回転軸１３の回転角度に応じた検出信号を出力する。
　電源ターミナル３５は、電源リード３１に接続されている。接地ターミナル３６は、接地リード３２に接続されている。第１信号ターミナル３７は、信号リード３３に接続されている。第２信号ターミナル３８は、第１信号ターミナル３７と電気的に接続されている。本実施形態では、第２信号ターミナル３８は、抵抗４３を介して、第１信号ターミナル３７と接続される。
　フィルタ部材であるコンデンサ４１、４２、４５および抵抗４３は、一方の接続端が電源ターミナル３５、接地ターミナル３６、第１信号ターミナル３７または第２信号ターミナル３８のいずれかに接続され、他方の接続端が一方の接続端が接続されている以外の電源ターミナル３５、接地ターミナル３６、第１信号ターミナル３７または第２信号ターミナル３８のいずれかに接続されている。
　封止体５０は、ホールＩＣ３０、電源ターミナル３５、接地ターミナル３６、第１信号ターミナル３７、第２信号ターミナル３８およびフィルタ部材を封止している。電源ターミナル３５、接地ターミナル３６、第１信号ターミナル３７および第２信号ターミナル３８は、それぞれ一部が封止体５０から露出している。
　本実施形態では、センサ２０には、フィルタ部材として、コンデンサ４１、４２、４５および抵抗４３が設けられているので、外部へ放出される電気的ノイズを低減できる。また、ホールＩＣ３０への外部からの電気的ノイズの影響を低減できる。
　電源ターミナル３５、接地ターミナル３６、第１信号ターミナル３７および第２信号ターミナル３８は、一部が封止体５０から露出しているので、露出する部分同士を互いに連結した状態でセンサ２０を製造することが可能である。そのため、ホールＩＣ３０と連結ターミナル３４とを溶接するターミナル溶接時、および、コンデンサ４１、４２、４５および抵抗４３を各ターミナル３５～３８にはんだ付けするはんだ付け工程において、ターミナル３５～３８を１つに連結しておくことができる。これにより、ターミナル溶接工程およびはんだ付け工程において、ターミナル３５～３８を一体とできるので、ターミナル浮き等の位置ずれを防ぐことができる。特に、第１信号ターミナル３７が他のターミナル３５、３６、３８に対して動くことがなく、はんだ付けし易くなる。したがって、センサ２０を製造し易くなる。
　また、各ターミナル３５～３８は、ぞれぞれ一部が封止体５０から露出しているので、電子部品が封止体５０にて封止されて固定された後に、ターミナル間を切断可能である。これにより、例えばコンデンサ４１、４２、４５および抵抗４３をターミナル３５～３８に接続する工程の途中にターミナル間を切断する必要がないので、センサ２０を製造し易くなる。また、各ターミナル３５～３８の連結部３４１～３４３の切断時に電子部品にかかる応力を低減可能であるので、製造時における電子部品の破損を抑制できる。
　フィルタ部材には、抵抗４３、第１コンデンサ４１および第２コンデンサ４２からなるπ型フィルタ４０が含まれる。抵抗４３は、第１信号ターミナル３７および第２信号ターミナル３８に接続される。第１コンデンサ４１は、第１信号ターミナル３７および接地ターミナル３６に接続される。第２コンデンサ４２は、第２信号ターミナル３８および接地ターミナル３６に接続される。また、検出信号は、第１信号ターミナル３７、抵抗４３、および、第２信号ターミナル３８をこの順で経由して外部に出力される。
　封止体５０の内部には、π型フィルタ４０が設けられている。そのため、封止体５０の外部へ放出される電気的ノイズを低減できる。ホールＩＣ３０の直下にπ型フィルタ４０を設けることで、高周波成分のノイズを減衰させることができるので、センサ２０にて発生するノイズの外部への放射を抑制することができる。また、配線２２～２７を経由して伝播されるノイズのホールＩＣ３０への侵入を低減することができる。
　フィルタ部材には、電源ターミナル３５および接地ターミナル３６に接続される第３コンデンサ４５が含まれる。これにより、静電気による高電圧がホールＩＣ３０に印加されないようにすることができる。
　また、第１実施形態では、抵抗４３、第１コンデンサ４１、第２コンデンサ４２および第３コンデンサ４５は、チップ型であり、両方の接続端を結ぶ方向が互いに同じである。ここで、「両方の接続端を結ぶ方向が互いに同じ」とは、誤差程度のずれは許容されるものとする。これにより、はんだ付け工程において、ロボット等を用いて抵抗４３およびコンデンサ４１、４２、４５を所定の場所に配置し易くなる。
　電源ターミナル３５、接地ターミナル３６、第１信号ターミナル３７および第２信号ターミナル３８は、封止体５０のホールＩＣ３０が設けられる側と反対側の端部である先端部５０５から露出している。第１信号ターミナル３７の露出部３７３の先端部である切断部３７７は、第２信号ターミナル３８の露出部３８３と対向している。これにより、第１信号ターミナル３７と第２信号ターミナル３８とを適切に切断することができる。
　ホールＩＣ３０と、電源ターミナル３５と、接地ターミナル３６と、第１信号ターミナル３７と、第２信号ターミナル３８と、フィルタ部材と、封止体５０と、を備えるセンサ２０の製造方法は、ターミナル溶接工程（Ｓ２）と、はんだ付け工程（Ｓ３）と、封止工程（Ｓ４）と、ターミナル切断工程（Ｓ５）と、を備える。
　ターミナル溶接工程（Ｓ２）では、電源ターミナル３５、接地ターミナル３６、第１信号ターミナル３７および第２信号ターミナル３８が連結部３４１～３４３で連結されて一体となっている連結ターミナル３４にて、電源リード３１と電源ターミナル３５、接地リード３２と接地ターミナル３６、信号リード３３と第１信号ターミナル３７を、それぞれ接続する。
　はんだ付け工程（Ｓ３）では、フィルタ部材であるコンデンサ４１、４２、４５および抵抗４３を連結ターミナル３４に接続する。
　封止工程（Ｓ４）では、連結部３４１～３４３が封止体５０から露出するように、ホールＩＣ３０、電源ターミナル３５、接地ターミナル３６、第１信号ターミナル３７、第２信号ターミナル３８、および、フィルタ部材を封止体５０で封止する。
　ターミナル切断工程（Ｓ５）では、電源ターミナル３５と、接地ターミナル３６と、第２信号ターミナル３８とが分離するように、封止体５０の外部にて連結部３４１、３４２を切断する。
　本実施形態では、ターミナル溶接工程およびはんだ付け工程を行うとき、ターミナル３５～３８が連結ターミナル３４として一体となっているので、ターミナルを固定することができる。これにより、ターミナル溶接工程およびはんだ付け工程におけるターミナル浮き等の位置ずれを防ぐことができ、ターミナル３５～３８が切り離されている状態にてターミナル溶接工程およびはんだ付け工程を行う場合と比較して製造しやすい。また、連結ターミナル３４にホールＩＣ３０、コンデンサ４１、４２、４５および抵抗４３が接続され、封止体５０にて封止された状態にて、連結ターミナル３４の連結部３４１～３４３が切断されるので、切断時に電子部品にかかる応力が低減され、電子部品の破損を防ぐことができる。
　本実施形態では、ターミナル切断工程において、さらに、第１信号ターミナル３７と第２信号ターミナル３８とが分離するように、封止体５０の外部にて連結部３４３を切断する。本実施形態では、センサ２０内にてπ型フィルタ４０を構成すべく、第１信号ターミナル３７と第２信号ターミナル３８とを抵抗４３で接続している。上述の通り、フィルタ部材は、連結ターミナル３４としてターミナル３５～３８が連結された状態にて接続されるので、各ターミナルが他のターミナルに対して動くことがなく、はんだ付けしやすい。
　また、ターミナル切断工程にて、連結部３４１、３４２を接続するのに追加して、連結部３４３を切断することで第１信号ターミナル３７と第２信号ターミナル３８とを切断可能であるので、例えばはんだ付け工程の途中にてターミナルを切断する工程を設ける必要がなく、信号ターミナル３７、３８の切断に係る工程の追加を最小限とすることができる。
　［第２実施形態］
　本開示の第２実施形態を、図１４に示す。
　図１４に示すように、本実施形態のセンサ２２０は、第１信号ターミナル６７および第２信号ターミナル６８の形状が第１実施形態のセンサ２０と異なる。
　第１信号ターミナル６７は、基部６７１、および、突起６７２を有する。基部６７１は、第１実施形態の信号ターミナル３７の基部３７１と概ね同様の形状に形成され、基端側にて信号リード３３と接続され、先端側にて露出部３７３が封止体５０の先端部５０５から露出している。
　突起６７２は、接地ターミナル３６側へ突き出す。本実施形態では、突起６７２は、接地ターミナル３６側に延びる第１突起６７３、および、第１突起６７３から先端側に延びる第２突起６７４を含む。第２突起６７４の先端には、接続部６７５が形成されている。
　第２信号ターミナル６８は、突起６７２の先端側であって、接地ターミナル３６と第１信号ターミナル６７との間に配置される。第２信号ターミナル６８の形状は、基端側に接続部６８２が設けられている以外は、第１実施形態の信号ターミナル３８と同様に形成されており、先端側にて露出部３８３が封止体５０の先端部５０５から露出している。
　本実施形態では、第１コンデンサ４１は、一方の接続端が第１信号ターミナル６７の突起６７２の第１突起６７３に接続され、他方の接続端が接地ターミナル３６に接続されている。第２コンデンサ４２は、一方の接続端が第２信号ターミナル６８の接続部６８２よりも先端側に接続され、他方の接続端が第１コンデンサ４１および第３コンデンサ４５よりも先端側にて接地ターミナル３６に接続されている。抵抗４３は、一方の接続端が第１信号ターミナル６７の接続部６７５に接続され、他方の接続端が第２信号ターミナル６８の接続部６８２に接続されている。第３コンデンサ４５の配置および接続等は、第１実施形態と同様である。
　本実施形態では、第１実施形態と同様、コンデンサ４１、４２、４５は、接続端を結ぶ直線が信号線延伸方向と垂直となるように配置されている。一方、抵抗４３は、接続端を結ぶ直線が信号線延伸方向と平行となるように配置されている。すなわち本実施形態では、抵抗４３は、コンデンサ４１、４２、４５とは異なる向きに配置されている。換言すると、抵抗４３の接続端を結ぶ方向は、コンデンサ４１、４２、４５のそれぞれにて接続端を結ぶ方向とは異なっている。
　このように第１信号ターミナル６７の形状を変更することにより、抵抗４３および第１コンデンサ４１の配置を変更することができる。
　また、各ターミナル３５、３６、６７、６７の切断部３５５、３６５、３６６、３８６、３８７、３７７は、いずれも第１実施形態と同様に、封止体５０の外部に形成されている。
　このように構成しても、上記実施形態と同様の効果を奏する。
　［第３実施形態］
　本開示の第３実施形態を、図１５に示す。
　図１５に示すように、本実施形態のセンサ３２０の接地ターミナル７６は、基部７６１、および、突起７６２を有する。基部７６１は、第１実施形態の接地ターミナル３６と概ね同様の形状に形成され、基端側にて信号リード３３と接続され、先端側にて露出部３６３が封止体５０の先端部５０５から露出している。突起７６２は、基部７６１から第１信号ターミナル７７側へ突き出す。
　第１信号ターミナル７７は、基部７７１、および、突起７７２を有する。基部７７１は、第１実施形態の基部３７１と概ね同様の形状に形成され、基端側にて信号リード３３と接続され、先端側にて露出部３７３が封止体５０の先端部５０５から露出している。突起７７２は、接地ターミナル７６の突起７６２の先端側において、接地ターミナル７６側に突出して形成される。突起７７２の先端側は、第２信号ターミナル６８の接続部６８２と対向している。
　第２信号ターミナル６８の形状等は、第２実施形態と同様であって、突起７７２の先端側であって、接地ターミナル７６と第１信号ターミナル７７との間に配置される。
　第１コンデンサ４１は、一方の接続端が突起７７２より先端側にて第１信号ターミナル７７の基部７７１に接続され、他方の接続端が接地ターミナル７６の突起７６２と接続されている。
　第２コンデンサ４２は、一方の接続端が第２信号ターミナル６８に接続され、他方の接続端が第１コンデンサ４１および第３コンデンサ４５よりも先端側にて接地ターミナル７６の基部７６１と接続される。
　抵抗４３は、一方の接続端が第１信号ターミナル７７の突起７７２と接続され、他方の接続端が第２信号ターミナル６８の接続部６８２に接続されている。第３コンデンサ４５の配置および接続等は、第１実施形態と同様である。
　本実施形態では、第２実施形態と同様、コンデンサ４１、４２、４５が信号線延伸方向と垂直となるように配置され、抵抗４３が信号線延伸方向と平行となるように配置されている。すなわち本実施形態では、抵抗４３は、コンデンサ４１、４２、４５とは異なる向きに配置されている。
　このように接地ターミナル７６および第１信号ターミナル７７の形状を変更することにより、抵抗４３および第１コンデンサ４１の配置を変更することができる。
　また、各ターミナル３５、７６、６８、７７の切断部３５５、３６５、３６６、３８６、３８７、３７７は、いずれも第１実施形態と同様に、封止体５０の外部に形成されている。
　このように構成しても、上記実施形態と同様の効果を奏する。
　［第４実施形態］
　本開示の第４実施形態を、図１６に示す。
　図１６に示すように、本実施形態のセンサ４２０は、ホールＩＣ４３０、電源ターミナル８５、接地ターミナル３６、第１信号ターミナル８７、第２信号ターミナル６８、コンデンサ４１、４２、４５、抵抗４３、および、封止体５０等を備える。
　ホールＩＣ４３０は、センサ部３００、電源リード４３１、接地リード４３２および信号リード４３３を有する。本実施形態では、リード４３１～４３３は、センサ部３００の同一の側面から略真っ直ぐに延びて形成される。そのため、第１実施形態等と比較し、先端側におけるリード４３１～４３３の間隔が狭くなっている。
　リード４３１～４３３は、それぞれ、電源ターミナル８５、接地ターミナル３６および第１信号ターミナル８７と接続される。
　電源ターミナル８５は、信号線延伸方向に延びて形成され、先端側が基端側よりも接地ターミナル３６から離間する側となるように形成されている。電源ターミナル８５は、電源リード４３１の先端部の位置と対応するように基端側が接地ターミナル３６側に寄っている点を除き、露出部３５３等は、第１実施形態の電源ターミナル３５の基部３５１と同様に形成されている。
　第１信号ターミナル８７は、一体に形成される第１基部８７１および第２基部８７２を有する。第１基部８７１は、基端側にて信号線延伸方向に延び、先端側にて接地ターミナル３６から離間する方向に延びる略Ｌ字状に形成される。第１基部８７１は、基端側にて、信号リード４３３と接続される。第２基部８７２は、第１基部８７１の基端側であって、接地ターミナル３６と反対側の端部から先端側に延びて形成される。第２基部８７２の先端側の形状は、第１実施形態の第１信号ターミナル３７の基部３７１の先端側の形状と同様であり、露出部３７３が封止体５０から露出している。
　第２信号ターミナル６８の形状等は、第２実施形態と同様であって、第１基部８７１の先端側であって、第２基部８７２と接地ターミナル３６との間に配置される。
　第１コンデンサ４１は、一方の接続端が第１信号ターミナル８７の第１基部８７１に接続され、他方の接続端が接地ターミナル３６に接続される。抵抗４３は、一方の接続端が第１信号ターミナル８７の第１基部８７１の第１コンデンサ４１の先端側に接続され、他方の接続端が第２信号ターミナル６８の接続部６８２に接続される。第３コンデンサ４５は、一方の接続端が電源ターミナル８５に接続され、他方の接続端が第１コンデンサ４１と第２コンデンサ４２との間にて接地ターミナル３６に接続される。第２コンデンサ４２の配置および接続等は、第２実施形態と同様である。
　本実施形態では、第２実施形態と同様、コンデンサ４１、４２、４５が信号線延伸方向と垂直となるように配置され、抵抗４３が信号線延伸方向と平行となるように配置されている。すなわち本実施形態では、抵抗４３は、コンデンサ４１、４２、４５とは異なる向きに配置されている。
　このように電源ターミナル８５および第１信号ターミナル８７の形状を変更することにより、ホールＩＣ４３０の電源リード４３１、接地リード４３２および信号リード４３３の形状を変更することができる。
　また、各ターミナル８５、３６、８７、６８の切断部３５５、３６５、３６６、３８６、３８７、３７７は、いずれも第１実施形態と同様に、封止体５０の外部に形成されている。
　このように構成しても、上記実施形態と同様の効果を奏する。
　［第５実施形態］
　本開示の第５実施形態を、図１７および図１８に示す。
　図１７に示すように、本実施形態のセンサ５２０は、ホールＩＣ３０、電源ターミナル９５、接地ターミナル９６、第１信号ターミナル９７、第２信号ターミナル９８、コンデンサ４１、４２、４５、抵抗４３、および、封止体５５０等を備える。
　封止体５５０は、ＩＣ封止部５０１、および、ターミナル封止部５５２からなり、これらが一体に形成されている。ターミナル封止部５５２は、ＩＣ封止部５０１の先端側に設けられ、略矩形に形成されており、第１実施形態等の中間部５０２およびターミナル形成部５０３と比較して、幅狭に形成されている。本実施形態では、ターミナル封止部５５２の先端側である先端部５５５から電源ターミナル９５、接地ターミナル９６および第２信号ターミナル９８の先端側が露出しており、ターミナル封止部５５２の側端部５５６から第１信号ターミナル９７が露出している。
　電源ターミナル９５は、全体として信号線延伸方向に略真っ直ぐに延びて形成され、基端側にて電源リード３１と接続され、先端側にて露出部９５３が封止体５５０の先端部５５５から露出している。露出部９５３は、配線２２と接続される接続端部９５４、および、接地ターミナル９６側に突出する切断痕である切断部９５５を有する。露出部９５３は、第１実施形態と比較し、切断部９５５が接地ターミナル９６と近接している点を除き、形状等は、露出部３５３と略同様である。
　接地ターミナル９６は、第１実施形態の接地ターミナル３６と略同様に形成され、基端側にて接地リード３２と接続され、先端側にて露出部９６３が封止体５５０の先端部５５５から露出している。露出部９６３は、配線２３と接続される接続端部９６４、電源ターミナル９５側に突出する切断痕である切断部９６５、および、第２信号ターミナル９８側に突出する切断痕である切断部９６６を有する。露出部９６３は、第１実施形態と比較し、切断部９６５が電源ターミナル９５と近接し、切断部９６６が第２信号ターミナル９８と近接している点を除き、形状等は、露出部３６３と同様である。
　電源ターミナル９５、接地ターミナル９６および第２信号ターミナル９８は、互いに平行な方向へ延びるよう直線状に形成されている。第１信号ターミナル９７は、第２信号ターミナル９８の延長線上に形成されている直線部９７１と、直線部９７１の先端側から接地ターミナル９６とは反対側へ延び出して封止体５５０の側端部５５６から外側へ突き出すよう形成されている突出部９７２とを有している。直線部９７１の基端側は、信号リード３３と接続される。突出部９７２の封止体５５０から露出している箇所を露出部９７３とする。露出部９７３の先端部は、製造途中において第２信号ターミナル９８と連結されていた部分が切断されてなる切断痕である切断部９７７である。
　第２信号ターミナル９８は、第１信号ターミナル９７の直線部９７１の先端側に設けられ、全体として信号線延伸方向に延びて形成されている。第２信号ターミナル９８は、先端側にて露出部９８３が封止体５５０の先端部５５５から露出している。露出部９８３は、配線２４と接続される接続端部９８４、接地ターミナル９６側に突出する切断痕である切断部９８６、および、接地ターミナル９６と反対側に突出する切断痕である切断部９８７を有する。
　第１コンデンサ４１は、一方の接続端が第１信号ターミナル９７の直線部９７１と接続され、他方の接続端が接地ターミナル９６に接続されている。
　第２コンデンサ４２は、一方の接続端が第２信号ターミナル９８と接続され、他方の接続端が第１コンデンサ４１より先端側にて接地ターミナル９６に接続されている。
　抵抗４３は、一方の接続端が第１信号ターミナル９７の直線部９７１の第１コンデンサ４１より先端側と接続され、他方の接続端が第２信号ターミナル９８の基端側と接続される。これにより、第１信号ターミナル９７と第２信号ターミナル９８とは、抵抗４３を介して直列に接続される。
　第３コンデンサ４５は、一方の接続端が電源ターミナル９５に接続され、他方の接続端が第１コンデンサ４１と第２コンデンサ４２との間にて接地ターミナル９６に接続されている。
　本実施形態では、第２実施形態と同様、コンデンサ４１、４２、４５が信号線延伸方向と垂直となるように配置され、抵抗４３が信号線延伸方向と平行となるように配置されている。すなわち本実施形態では、抵抗４３は、コンデンサ４１、４２、４５とは異なる向きに配置されている。
　図１８に示すように、ターミナル９５～９８は、ターミナル切断工程までの工程において、連結部９４１、９４２、９４３にて連結されている連結ターミナル９４となっている。詳細には、連結部９４１は、第１実施形態の連結部３４１と略同様、電源ターミナル９５と接地ターミナル９６とを信号線延伸方向と垂直方向に連結している。連結部９４２は、接地ターミナル９６と第２信号ターミナル９８とを信号線延伸方向と垂直方向に連結している。
　また、連結部９４３は、全体として略Ｃ字状に形成され、一端が封止体５５０の側端部５５６の側方にて第１信号ターミナル９７と接続され、他端が封止体５５０の先端部５５５の先端側にて第２信号ターミナル９８と接続されている。これにより、連結ターミナル９４において、第１信号ターミナル９７と第２信号ターミナル９８とが連結されている。
　封止工程において、封止体５５０は、連結部９４１～９４３が露出した状態となるように形成される。連結部９４１～９４３は、第１実施形態と同様、封止工程後であるターミナル切断工程において切断される。これにより、電源ターミナル９５と、接地ターミナル９６と、第１信号ターミナル９７と、第２信号ターミナル９８とが切り離される。
　本実施形態では、連結部９４３を切断することで形成される第１信号ターミナル９７の切断部９７７、および、第２信号ターミナル９８の切断部９８７は、いずれも、接地ターミナル３６と反対側を向いて、信号線延伸方向に対して垂直に突出している。切断部９７７、９８７の切断面は、信号線延伸方向に平行に形成される。
　本実施形態では、上記実施形態と同様、ターミナル９５～９８は、ターミナル溶接工程、はんだ付け工程、および、封止工程において、封止体５５０から露出する部分同士を連結部９４１～９４３によって互いに連結しておくことができる。そのため、第１実施形態～第４実施形態と同様の効果を得ることができる。さらに、第１信号ターミナル９７の直線部９７１と第２信号ターミナル９８とが同一直線上に設けられることによって、封止体５５０の幅を小さくすることができる。
　［第６実施形態］
　本開示の第６実施形態を図１９～図２１に示す。なお、図１９は図１０、図２０は図１１、図２１は図１２と対応している。
　図２１に示すように、本実施形態のセンサ６２０は、ホールＩＣ３０、電源ターミナル３５、接地ターミナル３６、第１信号ターミナル３７、第２信号ターミナル３８、第１コンデンサ４１、第３コンデンサ４５、および、封止体５０等を備えている。すなわち本実施形態では、フィルタ部材として、第１コンデンサ４１および第３コンデンサ４５が設けられており、第２コンデンサ４２および抵抗４３が省略されている点が第１実施形態と異なっている。換言すると、本実施形態のセンサ６２０には、π型フィルタが内蔵されていない。
　センサ６２０の製造工程は、概ね第１実施形態と同様である。図１９に示すように、ターミナル溶接工程にて連結ターミナル３４にホールＩＣ３０の各リード３１～３３が接続され、はんだ付け工程にて連結ターミナル３４にコンデンサ４１、４５が接続される。
　図２０に示すように、封止工程にて、連結部３４１～３４３を露出した状態にて、連結ターミナル３４および電子部品を封止体５０で封止する。
　図２１に示すように、ターミナル切断工程にて、連結部３４１、３４２を切断する。本実施形態では、連結部３４３を切断しない点が第１実施形態と異なる。センサ６２０にはπ型フィルタを設けておらず、抵抗を信号線に対して直列に接続しないので、信号ターミナル３７、３８を分割する必要がない。そのため、切断工程において、連結部３４３の切断を省略し、第１信号ターミナル３７と第２信号ターミナル３８とが連結部３４３にて連結された状態としている。
　このように、ターミナル３５～３８に対して設けられるコンデンサや抵抗の個数や配置を変更することで、センサの機能に応じた適切なフィルタを内蔵することができる。本実施形態のセンサ６２０は、π型フィルタが設けられておらず、例えばホールＩＣ３０の出力がアナログ出力の場合に好適に用いられる。
　本実施形態では、フィルタ部材には、第１コンデンサ４１および第３コンデンサ４５が含まれる。第１コンデンサ４１は、第１信号ターミナル３７および接地ターミナル３６に接続される。第３コンデンサ４５は、電源ターミナル３５および接地ターミナル３６に接続される。また、第１信号ターミナル３７と第２信号ターミナル３８とは、封止体５０の外部にて連結されている。
　第１信号ターミナル３７と第２信号ターミナル３８とを連結する連結部３４３を封止体５０の外部に設けることで、第１信号ターミナル３７と第２信号ターミナル３８との切断を要する回路と、切断を要しない回路とに、共通のターミナル３５～３８を用いることができ、部品種類を低減可能である。また、センサ出力に応じた適切なフィルタをセンサ６２０に内蔵することができる。
　また、上記実施形態と同様の効果を奏する。
　本実施形態では、第１コンデンサ４１が信号側コンデンサに対応し、第３コンデンサが電源側コンデンサに対応する。本実施形態では、第１コンデンサ４１が信号側コンデンサに対応し、第３コンデンサ４５が電源側コンデンサに対応する。なお、第１実施形態と整合させるため、第２コンデンサを欠番とした。また、本実施形態では、第１実施形態を例に、第２コンデンサ４２および抵抗４３を省略する例を説明したが、ターミナル形状等は、第２実施形態～第５実施形態としてもよい。
　［他の実施形態］
　本開示の他の実施形態では、集積回路は、ホールＩＣに限らず、他の磁気検出素子を有するＩＣであってもよい。また、集積回路は、磁気検出素子を有するＩＣに限らず、他の検出素子を有するＩＣであってもよい。要するに、集積回路は、検出対象に関する物理量に応じた検出信号を出力するものであればよい。
　第１実施形態では、デジタル通信の一例としてＳＥＮＴ通信を例示したが、センサとＥＣＵ等の他の装置との通信方法は、ＳＥＮＴ通信に限らず、どのような通信方法としてもよい。また、第６実施形態でも説明したように、センサと他の装置との通信方法は、デジタル通信に限らず、アナログ通信としてもよい。
　本開示の他の実施形態では、抵抗、第１コンデンサ、第２コンデンサおよび第３コンデンサは、チップ型でなくてもよい。
　第１実施形態等では、π型フィルタを構成する２つのコンデンサおよび抵抗、ならびに、電源側コンデンサの、計３つのコンデンサおよび１つの抵抗が設けられる。第６実施形態では、２つのコンデンサが設けられる。他の実施形態では、センサに内蔵されるコンデンサや抵抗の数は、要求されるフィルタ構成等に応じ、適宜変更可能である。
　第６実施形態では、信号側コンデンサは、第１信号ターミナルおよび接地ターミナルに接続される。他の実施形態では、信号コンデンサを第２信号ターミナルおよび接地ターミナルに接続してもよい。
　上記実施形態では、集積回路において、一方の側から、電源リード、接地リード、および、信号リードの順に配列されている。他の実施形態では、ホールＩＣにおけるリードの配列は、この順に限らず、どのように配列してもよい。また、リードの配列に応じ、ターミナルの配列および形状は適宜変更可能である。
　上記実施形態では、集積回路のリードとターミナルとを溶接にて接続し、コンデンサおよび抵抗とターミナルとをはんだ付けにより接続する。他の実施形態では、集積回路のリードとターミナルとの接続方法は、溶接に限らず、はんだ付け等、どのような方法であってもよい。また、コンデンサおよび抵抗とターミナルとの接続方法についても同様、はんだ付けに限らず、どのような方法であってもよい。ターミナルと配線との接続についても同様である。
　本開示の他の実施形態では、センサは、スロットル装置に限らず、他の装置に用いられてもよい。
　ここで、この出願に記載されるフローチャート、あるいは、フローチャートの処理は、複数のセクション（あるいはステップと言及される）から構成され、各セクションは、たとえば、Ｓ１と表現される。さらに、各セクションは、複数のサブセクションに分割されることができる、一方、複数のセクションが合わさって一つのセクションにすることも可能である。さらに、このように構成される各セクションは、デバイス、モジュール、ミーンズとして言及されることができる。
　本開示は、実施例に準拠して記述されたが、本開示は当該実施例や構造に限定されるものではないと理解される。本開示は、様々な変形例や均等範囲内の変形をも包含する。加えて、様々な組み合わせや形態、さらには、それらに一要素のみ、それ以上、あるいはそれ以下、を含む他の組み合わせや形態をも、本開示の範疇や思想範囲に入るものである。

Claims (9)

  1. 　電源リード（３１、４３１）、接地リード（３２、４３２）および信号リード（３３、４３３）を有し、検出対象（１３）に関する物理量に応じた検出信号を出力する集積回路（３０、１３０、４３０）と、
    　前記電源リードに接続されている電源ターミナル（３５、８５、９５）と、
    　前記接地リードに接続されている接地ターミナル（３６、７６、９６）と、
    　前記信号リードに接続されている第１信号ターミナル（３７、６７、７７、８７、９７）と、
    　前記第１信号ターミナルと電気的に接続されている第２信号ターミナル（３８、６８、９８）と、
    　一方の接続端が前記電源ターミナル、前記接地ターミナル、前記第１信号ターミナルまたは前記第２信号ターミナルのいずれか一つに接続され、他方の接続端が前記電源ターミナル、前記接地ターミナル、前記第１信号ターミナルまたは前記第２信号ターミナルの他のいずれか一つに接続されているフィルタ部材（４１～４３、４５）と、
    　前記集積回路、前記電源ターミナル、前記接地ターミナル、前記第１信号ターミナル、前記第２信号ターミナル、および、前記フィルタ部材を封止している封止体（５０、５５０）と、
    　を備え、
    　前記電源ターミナル、前記接地ターミナル、前記第１信号ターミナルおよび前記第２信号ターミナルは、それぞれ一部が前記封止体から露出しているセンサ。
  2. 　前記フィルタ部材には、前記第１信号ターミナルおよび前記第２信号ターミナルに接続される抵抗（４３）、前記第１信号ターミナルおよび前記接地ターミナルに接続される第１コンデンサ（４１）、および、前記第２信号ターミナルおよび前記接地ターミナルに接続される第２コンデンサ（４２）からなるπ型フィルタ（４０）が含まれ、
    　前記検出信号は、前記第１信号ターミナル、前記抵抗、および、前記第２信号ターミナルをこの順で経由して外部に出力される請求項１に記載のセンサ。
  3. 　前記フィルタ部材には、前記電源ターミナルおよび前記接地ターミナルに接続される電源側コンデンサ（４５）が含まれる請求項２に記載のセンサ。
  4. 　前記抵抗、前記第１コンデンサ、前記第２コンデンサおよび前記電源側コンデンサは、チップ型であり、両方の接続端を結ぶ方向が互いに同じである請求項３に記載のセンサ。
  5. 　前記電源ターミナル、前記接地ターミナル、前記第１信号ターミナル（３７、６７、７７、８７）および前記第２信号ターミナルは、前記封止体の前記集積回路が設けられる側と反対側の端部（５０５）から露出し、
    　前記第１信号ターミナルの露出部（３７３）の先端部（３７７）は、前記第２信号ターミナルの露出部（３８３）と対向している請求項１～４のいずれか一項に記載のセンサ。
  6. 　前記電源ターミナル（９５）、前記接地ターミナル（９６）および前記第２信号ターミナル（９８）は、互いに平行な方向へ延びるよう直線状に形成され、
    　前記第１信号ターミナル（９７）は、前記第２信号ターミナルの延長線上に形成されている直線部（９７１）、および、当該直線部から前記封止体（５５０）の外側へ突き出すよう形成されている突出部（９７２）を有する請求項１～４のいずれか一項に記載のセンサ。
  7. 　前記フィルタ部材には、前記第１信号ターミナルまたは前記第２信号ターミナル、および、前記接地ターミナルに接続される信号側コンデンサ（４１）、ならびに、前記電源ターミナルおよび前記接地ターミナルに接続される電源側コンデンサ（４５）が含まれ、
    　前記第１信号ターミナルと前記第２信号ターミナルとは、前記封止体の外部にて連結されている請求項１に記載のセンサ。
  8. 　電源リード（３１、４３１）、接地リード（３２、４３２）および信号リード（３３、４３３）を有し、検出対象（１３）に関する物理量に応じた検出信号を出力する集積回路（３０、１３０、４３０）と、
    　前記電源リードに接続されている電源ターミナル（３５、８０、９０）と、
    　前記接地リードに接続されている接地ターミナル（３６、７０、９１）と、
    　前記信号リードに接続されている第１信号ターミナル（３７、６５、７１、８１、９３）と、
    　前記第１信号ターミナルと電気的に接続されている第２信号ターミナル（３８、９２）と、
    　一方の接続端が前記電源ターミナル、前記接地ターミナル、前記第１信号ターミナルまたは前記第２信号ターミナルのいづれか一つに接続され、他方の接続端が前記電源ターミナル、前記接地ターミナル、前記第１信号ターミナルまたは前記第２信号ターミナルの他のいづれか一つに接続されているフィルタ部材（４１～４３、４５）と、
    　前記集積回路、前記電源ターミナル、前記接地ターミナル、前記第１信号ターミナル、前記第２信号ターミナル、および、前記フィルタ部材を封止している封止体（５０）と、
    　を備えるセンサの製造方法であって、
    　前記電源ターミナル、前記接地ターミナル、前記第１信号ターミナルおよび前記第２信号ターミナルが連結部（３４１～３４３、９４１～９４３）で連結されて一体となっている連結ターミナル（３４、９４）にて、前記電源リードと前記電源ターミナル、前記接地リードと前記接地ターミナル、前記信号リードと前記第１信号ターミナルを、それぞれ接続すること（Ｓ２）と、
    　前記フィルタ部材を前記連結ターミナルに接続すること（Ｓ３）と、
    　前記連結部が前記封止体から露出するように、前記集積回路、前記電源ターミナル、前記接地ターミナル、前記第１信号ターミナル、前記第２信号ターミナル、および、前記フィルタ部材を前記封止体で封止すること（Ｓ４）と、
    　前記電源ターミナルと、前記接地ターミナルと、前記第２信号ターミナルとが分離するように、前記封止体の外部にて前記連結部（３４１、３４２、９４１、９４２）を切断すること（Ｓ５）と、
    　を備えるセンサの製造方法。
  9. 　前記連結部の切断において、前記第１信号ターミナルと前記第２信号ターミナルとが分離するように、前記封止体の外部にて前記連結部（３４３、９４３）を切断する請求項８に記載のセンサの製造方法。
     
     
     
PCT/JP2016/066843 2015-06-19 2016-06-07 センサ、および、センサの製造方法 Ceased WO2016204013A1 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020177024931A KR101939603B1 (ko) 2015-06-19 2016-06-07 센서 및 센서의 제조 방법
US15/568,908 US10199567B2 (en) 2015-06-19 2016-06-07 Sensor and method for producing same
CN201680021651.6A CN107533081B (zh) 2015-06-19 2016-06-07 传感器及传感器的制造方法
DE112016002767.2T DE112016002767B4 (de) 2015-06-19 2016-06-07 Sensor und Verfahren zum Herstellen desselben

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015123793 2015-06-19
JP2015-123793 2015-06-19
JP2016-095266 2016-05-11
JP2016095266A JP6361687B2 (ja) 2015-06-19 2016-05-11 センサ、および、センサの製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2016204013A1 true WO2016204013A1 (ja) 2016-12-22

Family

ID=57762427

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2016/066843 Ceased WO2016204013A1 (ja) 2015-06-19 2016-06-07 センサ、および、センサの製造方法

Country Status (6)

Country Link
US (1) US10199567B2 (ja)
JP (1) JP6361687B2 (ja)
KR (1) KR101939603B1 (ja)
CN (1) CN107533081B (ja)
DE (1) DE112016002767B4 (ja)
WO (1) WO2016204013A1 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6555296B2 (ja) * 2016-08-23 2019-08-07 株式会社デンソー 位置検出装置、及び、位置検出装置の製造方法
US11306519B2 (en) * 2019-04-19 2022-04-19 Inteva Products, Llc Metal traces for hall-effect sensor activation in a vehicle latch
DE102019115445A1 (de) * 2019-06-06 2020-12-10 Brose Schließsysteme GmbH & Co. Kommanditgesellschaft Kraftfahrzeugschloss

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05302932A (ja) * 1992-04-27 1993-11-16 Mitsubishi Electric Corp 回転センサおよびその製造方法
US20030080730A1 (en) * 2001-10-31 2003-05-01 Ssi Technologies, Inc. Sensor assembly with splice band connection
WO2005073743A1 (ja) * 2004-02-02 2005-08-11 Aisan Kogyo Kabushiki Kaisha 回転角センサ及びその製造方法並びに回転角センサを備えたスロットル制御装置
JP2008227446A (ja) * 2007-02-16 2008-09-25 Denso Corp 半導体センサ
JP2011106850A (ja) * 2009-11-13 2011-06-02 Aisan Industry Co Ltd 回転角検出装置の製造方法
JP2012251902A (ja) * 2011-06-03 2012-12-20 Denso Corp 磁気式検出装置

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6396137B1 (en) * 2000-03-15 2002-05-28 Kevin Mark Klughart Integrated voltage/current/power regulator/switch system and method
JP2008241456A (ja) * 2007-03-27 2008-10-09 Denso Corp センサ装置
US7968878B2 (en) 2008-08-07 2011-06-28 Texas Instruments Incorporated Electrical test structure to detect stress induced defects using diodes
DE102012206959A1 (de) * 2011-06-03 2012-12-06 Denso Corporation Magneterfassungsvorrichtung
JP5953253B2 (ja) * 2013-03-14 2016-07-20 矢崎総業株式会社 センサ及びセンサの製造方法
JP6065793B2 (ja) 2013-09-20 2017-01-25 株式会社デンソー 位置検出装置
US9944002B2 (en) 2013-08-28 2018-04-17 Denso Corporation Position detector apparatus
JP6693214B2 (ja) * 2016-03-25 2020-05-13 セイコーエプソン株式会社 物理量検出装置、電子機器及び移動体

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05302932A (ja) * 1992-04-27 1993-11-16 Mitsubishi Electric Corp 回転センサおよびその製造方法
US20030080730A1 (en) * 2001-10-31 2003-05-01 Ssi Technologies, Inc. Sensor assembly with splice band connection
WO2005073743A1 (ja) * 2004-02-02 2005-08-11 Aisan Kogyo Kabushiki Kaisha 回転角センサ及びその製造方法並びに回転角センサを備えたスロットル制御装置
JP2008227446A (ja) * 2007-02-16 2008-09-25 Denso Corp 半導体センサ
JP2011106850A (ja) * 2009-11-13 2011-06-02 Aisan Industry Co Ltd 回転角検出装置の製造方法
JP2012251902A (ja) * 2011-06-03 2012-12-20 Denso Corp 磁気式検出装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR101939603B1 (ko) 2019-01-17
US20180102473A1 (en) 2018-04-12
JP2017009578A (ja) 2017-01-12
US10199567B2 (en) 2019-02-05
KR20170115084A (ko) 2017-10-16
DE112016002767B4 (de) 2023-08-31
DE112016002767T5 (de) 2018-03-22
JP6361687B2 (ja) 2018-07-25
CN107533081A (zh) 2018-01-02
CN107533081B (zh) 2020-05-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5212488B2 (ja) センサモジュール
US8339124B2 (en) Method for manufacturing a mounting element with an angle sensor
US6973916B2 (en) Electronic control type throttle valve apparatus, non-contact type rotation angle detecting apparatus used in electronic control type throttle valve apparatus etc. and signal processing apparatus for hall element
US12442663B2 (en) Displacement sensor for contactless measurement of a relative position, production method for a magnetic field sensor arrangement and magnetic field sensor
US9689711B2 (en) Position detecting device
US6593732B2 (en) Sensor module
JP6361687B2 (ja) センサ、および、センサの製造方法
JP6627794B2 (ja) 位置検出装置
CN107923770A (zh) 磁场检测装置
CN109642806B (zh) 位置检测装置以及位置检测装置的制造方法
JP2005106779A (ja) 回転角センサ
US9974196B2 (en) Electronic device
US11162814B2 (en) Position detecting device, and method of manufacturing position detecting device
JPH08285878A (ja) スピードセンサー
JP2005106781A (ja) 回転角センサ及びその製造方法
JP6555213B2 (ja) 位置検出装置
CN111971530A (zh) 位置检测装置
JP2007309789A (ja) 回転センサ
JP2005106780A (ja) 回転角センサ
JP2007162708A (ja) 電子制御式絞り弁装置、当該装置等に用いられる非接触式回転角度検出装置、ホール素子の信号処理装置
JP2005083955A (ja) 電子部品保持構造及び該電子部品保持構造を有する回転センサ
KR200358827Y1 (ko) 마그네틱 센서
JP2017003507A (ja) 物理量センサ

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 16811488

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20177024931

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 15568908

Country of ref document: US

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 112016002767

Country of ref document: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 16811488

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1