CN109642806B - 位置检测装置以及位置检测装置的制造方法 - Google Patents

Abstract

位置检测装置具备IC封装体(10)、第一端子线(21)、接地端子线(22)、电源端子线(23)、第二端子线(24)、迂回用端子线(25)、马达端子线(28、29)以及连接器部(31)。迂回用端子线形成为，从第一端子线或第二端子线观察位于与接地端子线相反的一侧，在接地连接部的第一方向侧与连接于接地连接部的接地端子线的迂回部(222)连接。在连接器部中，依次设有马达端子线的端部(283、293)、迂回用端子线的与连接于迂回部的一侧相反的一侧的端部、第二端子线的端部(243)、电源端子线的端部(233)、第一端子线的端部(213)。

Description

位置检测装置以及位置检测装置的制造方法

相关申请的相互参照

本申请基于2016年8月23日提出申请的专利申请第2016－162956号以及2017年5月30日提出申请的专利申请第2017－106790号，在此援引其记载内容。

技术领域

本公开涉及位置检测装置以及位置检测装置的制造方法。

背景技术

以往，已知一种能够使用磁体等磁通产生单元对相对于基准部件进行相对移动的检测对象的位置进行检测的位置检测装置。例如，专利文献1中记载了一种位置检测装置，具备：IC封装体，具有能够对伴随检测对象的旋转的磁场的变化进行检测的两个磁检测元件：传感器端子，能够与IC封装体电连接；马达端子，能够向输出能够使检测对象旋转的旋转转矩的马达供给电力；以及连接器部，能够组装能够与传感器端子及马达端子电连接的外部端子。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015－225006号公报

发明内容

在专利文献1所记载的位置检测装置中，传感器端子具有：两个信号用端子线，能够与两个磁检测元件的各个电连接；电源端子线，供朝向两个磁检测元件的电流流动；以及接地端子线，使流过两个磁检测元件的电流向地(ground)流动。在专利文献1所记载的位置检测装置中，连接器部中的传感器端子以如下方式设置：两个信号用端子线的一方、接地端子线、电源端子线、两个信号用端子线的另一方按该顺序排列。因此，在连接器部中，由于马达端子以与两个信号用端子线的某个相邻的方式设置，因此有在马达端子与信号用端子线之间产生短路的隐患。另外，由于通过流经马达端子的电流在马达端子的周围形成磁场，因此有在通过信号用端子线的信号中包含噪声的隐患。因此，位置检测装置中的检测对象的位置的检测精度降低。

本公开的目的在于，提供一种能够防止端子的短路的位置检测装置。

本公开的第一方式的能够对检测对象的位置进行检测的位置检测装置具备IC封装体、第一端子线、接地端子线、电源端子线、第二端子线、迂回用端子线、马达端子线、以及连接器部。

IC封装体具有第一磁检测元件、第二磁检测元件、密封部、第一引线、接地引线、电源引线、以及第二引线。第一磁检测元件能够输出与周围的磁场的第一成分、或该第一成分的强度对应的信号。第二磁检测元件能够输出与周围的磁场的第一成分不同的第二成分、或该第二成分的强度对应的信号。密封部对第一磁检测元件及第二磁检测元件进行密封。第一引线从密封部向第一方向突出，并能够将第一磁检测元件输出的第一信号输出至外部。接地引线从密封部向第一方向突出，并使流过第一磁检测元件及第二磁检测元件的电流向地流动。电源引线从密封部向第一方向突出，并供朝向第一磁检测元件及第二磁检测元件的电流流动。第二引线从密封部向第一方向突出而形成，并能够将第二磁检测元件输出的第二信号输出至外部。接地引线及电源引线设于第一引线与第二引线之间。

第一端子线形成为，从能够与第一引线电连接的第一连接部向与第一方向相反的方向延伸。

接地端子线具有连接部以及迂回部，该连接部形成为能够与接地引线电连接，该迂回部形成为向与第一方向不同的方向延伸，并在接地连接部的第一方向侧与接地连接部连接。

电源端子线形成为，从能够与电源引线电连接的电源连接部向与第一方向相反的方向延伸。

第二端子线形成为，从能够与第二引线电连接的第二连接部向与第一方向相反的方向延伸。

迂回用端子线形成为，从第一端子线或第二端子线观察位于与接地端子线相反的一侧，并与迂回部连接。

马达端子线的一方的端部与能够使检测对象旋转的马达电连接，并能够将电力供给至马达。

连接器部依次设置马达端子线的另一方的端部、迂回用端子线的与连接于迂回部的一侧相反的一侧的端部、第二端子线的与第二连接部相反的一侧的端部、电源端子线的与电源连接部相反的一侧的端部、第一端子线的与第一连接部相反的一侧的端部。

在本公开的第一方式的位置检测装置中，接地端子线具有迂回部，该迂回部在接地连接部的第一方向侧与接地连接部连接。迂回部与迂回用端子线连接，该迂回用端子线从第一端子线或第二端子线观察时位于与接地端子线相反的一侧。由此，能够使连接器部中的四个端子线的排列为与接地端子线连接的迂回用端子线、第二端子线、电源端子线、第一端子线。因此，在连接器部中，在将四个端子线与马达端子线排列的情况下，由于能够在马达端子线的旁边排列迂回用端子线，因此能够防止连接器部中的端子的短路。

另外，第一端子线及第二端子线设于相对远离马达端子线的位置。由此，即使因流经马达端子线的电流而形成磁场，也能够相对减小流经第一端子线及第二端子线的信号所含的噪声。因此，能够提高检测对象的位置的检测精度。

另外，本公开的第二方式的位置检测装置的制造方法包括端子母模成型工序与切断工序。

在端子母模成型工序中，将与成为第一连接部的部位、成为接地连接部的部位、成为电源连接部的部位、成为第二连接部的部位、成为迂回用端子线的部位、以及成为接地连接部的部位在第一方向侧成为第一连接部的部位、成为接地连接部的部位、成为电源连接部的部位、成为第二连接部的部位及与成为迂回用端子线的部位连接的系杆一体地成型为传感器端子的母模。

在端子母模成型工序之后，在切断工序中，将系杆与成为第一连接部的部位、系杆与成为电源连接部的部位以及系杆与成为第二连接部的部位切断。

在本公开的第二方式的位置检测装置的制造方法中，在将传感器端子的母模加工成传感器端子时，将系杆与成为第一连接部的部位、系杆与成为电源连接部的部位以及系杆与成为第二连接部的部位切断，另一方面仍保持使系杆与接地连接部以及系杆与迂回用端子线连接。由此，能够容易地形成能够在马达端子线的旁边排列与接地引线电连接的迂回用端子线的连接器部。

另外，本公开的第三方式的能够对检测对象的位置进行检测的位置检测装置具备IC封装体、第一端子线、接地端子线、电源端子线、虚设端子线、马达端子线以及连接器部。

IC封装体具有磁检测元件、密封部、信号引线、接地引线，电源引线以及虚设引线。虚设引线从密封部向第一方向突出且不与磁检测元件电连接。在IC封装体中，接地引线及电源引线设于信号引线与虚设引线之间。

接地端子线具有接地连接部以及迂回部，该接地连接部形成为能够与接地引线电连接，该迂回部形成为向与第一方向不同的方向延伸并在接地连接部的第一方向侧与接地连接部连接。

虚设端子线从接地端子线观察设于与信号端子线相反的一侧。虚设端子线形成为，从能够与迂回部及虚设引线连接的虚设连接部向与第一方向相反的方向延伸。

连接器部依次设置马达端子线的另一方的端部、虚设端子线的与连接于迂回部的一侧相反的一侧的端部、电源端子线的与电源连接部相反的一侧的端部或接地端子线的与迂回部侧相反的一侧的端部的任意一方、电源端子线的与电源连接部相反的一侧的端部或接地端子线的与迂回部侧相反的一侧的端部的任意另一方、信号端子线的与信号连接部相反的一侧的端部。

在本公开的第三方式的位置检测装置中，接地端子线所具有的迂回部与虚设端子线连接，该虚设端子线从接地端子线观察设于与信号端子线相反的一侧。由此，在连接器部中，能够在马达端子线的旁边排列与接地引线电连接的接地端子线。由此，能够防止连接器部中的端子的短路。

另外，由于信号端子线设于相对远离马达端子线的位置，因此能够相对减小流经信号端子线的信号所含的噪声。因此，能够提高检测对象的位置的检测精度。

另外，本公开的第四方式的位置检测装置的制造方法包括端子母模成型工序与切断工序。

在端子母模成型工序中，将成为信号连接部的部位、成为接地连接部的部位、成为电源连接部的部位、成为虚设连接部的部位、以及成为接地连接部的部位在第一方向侧成为信号连接部的部位、成为接地连接部的部位、成为电源连接部的部位及与成为虚设连接部的部位连接的系杆一体地成型为传感器端子的母模。

在端子母模成型工序之后，在切断工序中，将系杆与成为信号连接部的部位以及系杆与成为电源连接部的部位切断。

在本公开的第四方式的位置检测装置的制造方法中，在将传感器端子的母模加工成传感器端子时，将系杆与成为信号连接部的部位以及系杆与成为电源连接部的部位切断，另一方面使系杆与接地连接部以及系杆与虚设端子线保持连接不变。由此，能够容易地形成能够在马达端子线的旁边排列与接地引线电连接的虚设端子线的连接器部。

附图说明

关于本公开的上述目的及其他目的、特征、优点通过参照添附的附图以及下述的详细的技术而更加明确。该附图为，

图1是应用本公开的第一实施方式的位置检测装置的电子控制节气门装置的示意图，

图2是本公开的第一实施方式的位置检测装置的示意图，

图3A是对本公开的第一实施方式的位置检测装置的制造方法进行说明的示意图，

图3B是对本公开的第一实施方式的位置检测装置的制造方法进行说明的、与图3A不同的示意图，

图4A是对本公开的第一实施方式的位置检测装置的效果进行说明的示意图，

图4B是对比较例的位置检测装置进行说明的示意图，

图5是本公开的第二实施方式的位置检测装置的示意图，

图6是应用本公开的第三实施方式的位置检测装置的电子控制节气门装置的示意图，

图7A是本公开的第三实施方式的位置检测装置的示意图，

图7B是本公开的第三实施方式的位置检测装置的示意图，

图8是本公开的第四实施方式的位置检测装置的示意图，

图9是本公开的其他实施方式的位置检测装置的示意图，

图10是本公开的其他实施方式的位置检测装置的示意图。

具体实施方式

以下，基于附图对本公开的多个实施方式进行说明。另外，在多个实施方式中，对实质上相同的结构部位赋予相同的附图标记并省略说明。

(第一实施方式)

参照图1、2、3、4A、4B对第一实施方式的位置检测装置进行说明。作为第一实施方式的“位置检测装置”的旋转角检测装置1被用于对向未图示的车辆所搭载的发动机的进气量进行控制的电子控制节气门装置80。

首先，对电子控制节气门装置80的结构进行说明。如图1所示，电子控制节气门装置80具备阀壳体81、节气门阀82、马达83、旋转角检测装置1、以及电子控制单元(以下，称为“ECU”)84等。

阀壳体81具有将空气导入至发动机的进气通路810。在进气通路810设有节气门阀82。

节气门阀82具有作为“检测对象”的阀部件821以及阀轴822。

阀部件821是具有比进气通路810的内径稍小的外径的大致圆板状的部件。阀部件821固定于阀轴822。

阀轴822的两侧能够旋转地轴支承于阀壳体81。由此，阀部件821能够以阀轴822的旋转轴CA1为旋转轴进行旋转。在阀轴822的旋转角检测装置1侧的端部设有磁体823。若阀轴822旋转，则旋转角检测装置1所具备的IC封装体10附近的磁场发生变化。

马达83收容于旋转角检测装置1。马达83经由连结部件831与阀轴822连结。马达83产生能够使阀轴822旋转的旋转转矩。马达83与ECU84电连接。

ECU84是具有作为运算单元的CPU、作为存储单元的ROM及RAM、以及输入输出单元等的小型计算机。ECU84根据搭载电子控制节气门装置80的车辆的行驶状况、该车辆的驾驶员的操作状况来决定节气门阀82的开度。ECU84根据节气门阀82的开度将电力输出至马达83。由此，可控制节气门阀82的开度，并可调节供给至发动机的进气量。

旋转角检测装置1具有IC封装体10、传感器端子20、马达端子27、以及作为“壳体”的传感器壳体30。旋转角检测装置1设于阀轴822的设有磁体823的端部侧的阀壳体81。另外，在图2中，传感器壳体30用虚线表示，并示意地表示IC封装体10、传感器端子20以及马达端子27的形状及配置。

IC封装体10是被称为双系统输出型、双输出型等形式的IC封装体，并且具有第一磁检测元件11、第一信号处理电路110、第二磁检测元件12、第二信号处理电路120、密封部13、第一引线16、接地引线17、电源引线18、以及第二引线19。如图1所示，IC封装体10设于旋转轴CA1上的磁体823的附近。

第一磁检测元件11能够输出与磁体823形成的磁场的第一成分、或该第一成分的强度对应的第一信号。第一磁检测元件11与电源引线18、接地引线17以及第一信号处理电路110电连接。

第一信号处理电路110与第一引线16电连接。第一信号处理电路110对第一磁检测元件11输出的第一信号进行处理。

第二磁检测元件12能够输出与磁体823形成的磁场的第一成分不同的第二成分、或该第二成分的强度所对应的第二信号。第二磁检测元件12与电源引线18、接地引线17以及第二信号处理电路120电连接。

第二信号处理电路120与第二引线19电连接。第二信号处理电路120对第二磁检测元件12输出的第二信号进行处理。

密封部13是用于将第一磁检测元件11、第一信号处理电路110、第二磁检测元件12以及第二信号处理电路120密封的部件，并且形成为大致长方体状。

第一引线16形成为，从密封部13的一个面131向与旋转轴CA1大致垂直的方向突出。第一引线16能够将第一信号处理电路110输出的第一信号输出至外部。

在此，为了方便说明IC封装体10、传感器端子20以及马达端子27的形状、配置，在图2中设定坐标平面。将与第一引线16突出的方向平行的轴设为x轴，将第一引线16突出的方向设为x轴的负方向。即，第一引线16从一个面131向作为“第一方向”的x轴的负方向突出。另外，将与x轴垂直的轴、且与旋转轴CA1垂直的轴设为y轴。另外，将与x轴及y轴垂直的轴设为z轴。

接地引线17形成为，从密封部13的一个面131向x轴的负方向突出。接地引线17使流过第一磁检测元件11及第二磁检测元件12的电流向地流动。

电源引线18形成为，从密封部13的一个面131向x轴的负方向突出。电源引线18供从未图示的电源朝向第一磁检测元件11及第二磁检测元件12的电流流动。

第二引线19形成为，从密封部13的一个面131向x轴的负方向突出。第二引线19能够将第二信号处理电路120输出的第二信号输出至外部。

在第一实施方式的IC封装体10中，从y轴的正侧向负侧，第一引线16、接地引线17、电源引线18、第二引线19按该顺序以向x轴的负方向突出的方式排列。

传感器端子20具有第一端子线21、接地端子线22、电源端子线23、第二端子线24以及迂回用端子线25。传感器端子20是以从第一引线16等的附近通过IC封装体10的与磁体823相反的一侧并延伸至传感器壳体30所具有的连接器部31的方式形成的、导电性相对较大的部件。传感器端子20通过传感器壳体30的嵌件成型与传感器壳体30成为一体(参照图1)。

第一端子线21具有作为“第一连接部”的第一焊接端子211、第一嵌入部212、以及作为“第一端子线的与第一连接部相反的一侧的端部”的第一连接器端子213。

第一焊接端子211设于能够与第一引线16焊接的位置。第一焊接端子211形成为，从第一端子线21的末端向作为“与第一方向相反的方向”的x轴的正方向延伸。第一焊接端子211的与第一端子线21的末端相反的一侧连接于第一嵌入部212。

第一嵌入部212被嵌入传感器壳体30内。第一嵌入部212形成为，通过IC封装体10的与磁体823相反的一侧，并向y轴的正方向延伸后向x轴的负方向延伸。第一嵌入部212的与连接于第一焊接端子211的一侧相反的一侧连接于第一连接器端子213。

第一连接器端子213位于连接器部31。第一连接器端子213形成为，能够经由外部连接器与ECU84电连接。第一端子线21将第一信号处理电路110输出的第一信号输出至ECU84。

接地端子线22具有作为“接地连接部”的接地焊接端子221以及迂回部222。

接地焊接端子221设于能够与接地引线17焊接的位置。接地焊接端子221形成为，从接地端子线22的末端向x轴的负方向延伸。即，接地焊接端子221形成为，向与第一焊接端子211相反的方向延伸。接地焊接端子221的与接地端子线22的末端相反的一侧连接于迂回部222。

迂回部222形成为，向作为“与第一方向不同的方向”的y方向延伸。迂回部222位于第一焊接端子211、接地焊接端子221、电源端子线23的电源焊接端子231、以及第二端子线24的第二焊接端子241的x轴的负方向。迂回部222在x轴的正侧与接地焊接端子221连接。迂回部222的y轴的负方向侧的端部与迂回用端子线25连接。

电源端子线23具有作为“电源连接部”的电源焊接端子231、电源嵌入部232、以及作为“电源端子线的与电源连接部相反的一侧的端部”的电源连接器端子233。

电源焊接端子231设于能够与电源引线18焊接的位置。电源焊接端子231形成为，从电源端子线23的末端向x轴的正方向延伸。电源焊接端子231的与电源端子线23的末端相反的一侧连接于电源嵌入部232。

电源嵌入部232被嵌入传感器壳体30内。电源嵌入部232形成为，通过IC封装体10的与磁体823相反的一侧，并向y轴的正方向延伸后向x轴的负方向延伸。电源嵌入部232的与连接于电源焊接端子231的一侧相反的一侧连接于电源连接器端子233。

电源连接器端子233位于连接器部31。电源连接器端子233形成为，能够经由未图示的外部连接器与未图示的电源电连接。电源端子线23供从电源朝向第一磁检测元件11及第二磁检测元件12的电流流动。

第二端子线24具有作为“第二连接部”的第二焊接端子241、第二嵌入部242、以及作为“第二端子线的与第二连接部相反的一侧的端部”的第二连接器端子243。

第二焊接端子241设于能够与第二引线19焊接的位置。第二焊接端子241形成为，从第二端子线24的末端向x轴的正方向延伸。第二焊接端子241的与第二端子线24的末端相反的一侧连接于第二嵌入部242。

第二嵌入部242被嵌入传感器壳体30内。第二嵌入部242形成为，通过IC封装体10的与磁体823相反的一侧，并向y轴的正方向延伸后向x轴的负方向延伸。第二嵌入部242的与连接于第二焊接端子241的一侧相反的一侧连接于第二连接器端子243。

第二连接器端子243位于连接器部31。第二连接器端子243形成为，能够经由外部连接器与ECU84电连接。第二端子线24将第二信号处理电路120输出的第二信号输出至ECU84。

迂回用端子线25具有迂回用连接部251、迂回用嵌入部252、以及作为“与迂回用端子线的连接于迂回部的一侧相反的一侧的端部”的迂回用端子253。

如图2所示，迂回用连接部251位于第二端子线24的第二焊接端子241的y轴的负方向。即，迂回用连接部251从第二端子线24观察位于与接地端子线22相反的一侧。迂回用连接部251的与连接于迂回部222的一侧相反的一侧连接于迂回用嵌入部252。另外，在图2中，用虚线VL20表示迂回部222与迂回用连接部251的假想的分界线。

迂回用嵌入部252被嵌入传感器壳体30内。迂回用嵌入部252形成为，通过IC封装体10的与磁体823相反的一侧，并向y轴的正方向延伸后向x轴的负方向延伸。迂回用嵌入部252的与连接于迂回用连接部251的一侧相反的一侧连接于迂回用端子253。

迂回用端子253位于连接器部31。迂回用端子253形成为，能够经由外部连接器与地电连接。由此，接地引线17经由接地端子线22所具有的接地焊接端子221及迂回部222、以及迂回用端子线25所具有的迂回用连接部251、迂回用嵌入部252及迂回用端子253与地连接。

马达端子27具有两个马达端子线28、29。两个马达端子线28、29各自具有作为“马达端子线的一方的端部”的马达连接端子281、291、马达嵌入部282、292、以及作为“马达端子线的另一方的端部”的马达连接器端子283、293。

马达连接端子281、291设于传感器壳体30所具有的插头33、34。插头33、34形成为能够与马达83嵌合。由此，马达连接端子281、291能够与马达83所具有的未图示的外部端子连接。马达连接端子281、291与马达嵌入部282、292连接。

马达嵌入部282、292被嵌入传感器壳体30内。马达嵌入部282、292的与连接于马达连接端子281、291的一侧相反的一侧的端部连接于马达连接器端子283、293。

马达连接器端子283、293位于连接器部31。马达端子27能够经由连接器部31将电源供给的电力供给至马达83。

传感器壳体30是形成为大致长方体状的中空的部件，并且如图2所示那样x方向的长度比y方向的长度短。如图1所示，传感器壳体30形成为，在阀壳体81侧具有开口且能够在内部收容马达83。传感器壳体30被螺栓301不能够相对移动地固定于阀壳体81。传感器壳体30具有能够搭载IC封装体10的平台32(参照图1)。由此，IC封装体10设于磁体823的附近。在平台32嵌入有传感器端子20的一部分。

接下来，基于图3A及图3B对旋转角检测装置1的制造方法进行说明。

首先，作为“端子母模成型工序”，通过金属板的冲压等来成型出传感器端子20的母模及马达端子27的母模。此时，传感器端子20的母模具有将第一端子线21的母模、接地端子线22的母模、电源端子线23的母模、第二端子线24的母模以及迂回用端子线25的母模连接的系杆。另外，马达端子27的母模具有将两个马达端子线28、29的母模连接的系杆(tiebar)。

在图3A中示出传感器端子20的母模40的局部放大图。另外，在图3A中，用双点划线表示连接于传感器端子20的IC封装体10。

在传感器端子20的母模40中，成为第一焊接端子211的部位411、成为接地焊接端子221的部位421、成为电源焊接端子231的部位431、成为第二焊接端子241的部位441、以及成为迂回用端子线25的部位451通过成为迂回部222的系杆422连接。

接着，作为“切断工序”，成型出被嵌入了传感器端子20及马达端子27的传感器壳体30。在图3B中示出成型出传感器壳体30时的传感器端子20的母模40的局部放大图。另外，在图3B中，用双点划线表示连接于传感器端子20的IC封装体10。

在成型出传感器壳体30时，在传感器端子20的母模40中，将部位411与系杆422、部位431与系杆422、以及部位441与系杆422切断，另一方面仍保持着使部位421与系杆422连接。在图3B中，用虚线410、430、440表示此时被切断了的部位。将由切断部位411、431、441与系杆422后而形成的传感器端子20与将系杆切断后的马达端子线28、29置于模具，并向该模具注入树脂，从而成型出传感器壳体30。

最后，在传感器壳体30的平台32上搭载另外制造出的IC封装体10，通过焊接等将作为部位411的第一焊接端子211与第一引线16、作为部位421的接地焊接端子221与接地引线17、作为部位431的电源焊接端子231与电源引线18、以及作为部位441的第二焊接端子241与第二引线19电连接。

由此，完成旋转角检测装置1。

接下来，基于图4A及图4B对旋转角检测装置1的效果进行说明。

(A)在图4A中，示出了第一实施方式的旋转角检测装置1中的第一引线16、接地引线17、电源引线18以及第二引线19，与第一端子线21、接地端子线22、电源端子线23以及第二端子线24的位置关系。另外，在图4B中，示出了比较例的旋转角检测装置90中的第一引线96、接地引线97、电源引线98以及第二引线99，与第一端子线91、接地端子线92、电源端子线93以及第二端子线94的位置关系。在此，在比较例的旋转角检测装置90中，与旋转角检测装置1不同，接地端子线92的与接地引线97焊接的部位形成为向x轴的正方向延伸。

在比较例的旋转角检测装置90中，若传感器端子95从电源引线98等的附近延伸至连接器部901，则如图4B所示，在连接器部901中以第一端子线91、接地端子线92、电源端子线93、第二端子线94的顺序排列。因此，由于在旋转角检测装置90的马达端子902的旁边存在第二端子线94，因此在比较例的旋转角检测装置90中，存在马达端子902与第二端子线94短路的隐患。

另一方面，在第一实施方式的旋转角检测装置1中，连接于接地引线17的接地端子线22与从第二端子线24观察位于与接地端子线22相反的一侧的迂回用端子线25连接。由此，在连接器部31中，能够在马达端子线28、29的马达连接器端子283、293的旁边排列与接地端子线22电连接的迂回用端子线25的迂回用端子253。由此，与第二连接器端子243等排列在马达连接器端子283、293的旁边的情况相比，能够防止连接器部31中的马达端子27与传感器端子20的短路。

(B)另外，在比较例的旋转角检测装置90中，存在因流经马达端子902的电流而导致噪声进入到通过马达端子902的旁边的第二端子线94的第二信号的隐患。因此，不再能够准确地检测节气门阀82的旋转角。

在第一实施方式的旋转角检测装置1中，第一端子线21及第二端子线24设于相对远离马达端子线28、29的位置。由此，能够降低因流经马达端子线28、29的电流所产生的磁场而进入第一信号以及第二信号的噪声。因此，能够提高阀部件821的旋转角的检测精度。

(C)另外，在第一实施方式的旋转角检测装置1中，由于起到上述的效果(A)、(B)，不需要将接地端子线22相对于第一端子线21、电源端子线23以及第二端子线24在旋转轴CA1的方向上环绕。由此，能够防止旋转角检测装置1的尺寸变大。

(D)在第一实施方式的旋转角检测装置1的制造方法中，在将传感器端子20的母模40用作传感器端子20时，将系杆422与成为第一焊接端子211的部位411、系杆422与成为电源焊接端子231的部位431、以及系杆422与成为第二焊接端子241的部位441切断，另一方面将与成为接地焊接端子221的部位421以及成为迂回用端子线25的部位451连接的状态下的系杆422用作接地端子线22的迂回部222。由此，能够容易地形成能够在马达端子27的旁边排列与接地端子线22电连接的迂回用端子线25的连接器部31。

(第二实施方式)

基于图5对第二实施方式的位置检测装置进行说明。在第二实施方式中，具备电容器这一点与第一实施方式不同。

第二实施方式的旋转角检测装置具有IC封装体10、传感器端子20、马达端子27、电容器35、36、37、以及传感器壳体30。

电容器35、36、37设于IC封装体10。

电容器35以在沿x轴的方向上连接第一焊接端子211与迂回部222的方式设置。

电容器36以在沿x轴的方向上连接电源焊接端子231与迂回部222的方式设置。

电容器37以在沿x轴的方向上连接第二焊接端子241与迂回部222的方式设置。

在IC封装体10中，为了缩小尺寸，存在对与第一磁检测元件11、第一信号处理电路110、第二磁检测元件12以及第二信号处理电路120一起被密封部13密封的未图示的电容器的大小的限制，难以确保一定程度的耐EMC(电磁相容)性。

因此，在第二实施方式的旋转角检测装置中，通过在第一焊接端子211与迂回部222之间、电源焊接端子231与迂回部222之间以及第二焊接端子241与迂回部222之间设置外置的电容器35、36、37，能够减少噪声。由此，第二实施方式能够起到与第一实施方式相同的效果，并且能够提高耐EMC性。

另外，在第二实施方式的旋转角检测装置的制造工序中，能够在系杆被切断的区域设置电容器35、36、37。由此，能够容易地将电容器35、36、37设于IC封装体10与传感器端子20之间。

另外，在第二实施方式的旋转角检测装置中，电容器35、36、37以在沿着传感器壳体30的短边方向即x轴的方向上连接的方式设置。由此，在传感器壳体30因热量而膨胀时，由于短边方向的热膨胀的程度相对较小，因此能够防止电容器35、36、37破损。

(第三实施方式)

基于图6、7A、7B对第三实施方式的位置检测装置进行说明。在第三实施方式中，IC封装体及传感器端子的形状与第一实施方式不同。

第三实施方式的旋转角检测装置3具有IC封装体50、传感器端子60、马达端子27、以及作为“壳体”的传感器壳体70。旋转角检测装置3设于阀轴822的设有磁体823的端部侧的阀壳体81。另外，在图6中，传感器壳体70用虚线表示，并示意地表示IC封装体50、传感器端子60以及马达端子27的形状及配置。

IC封装体50具有作为“磁检测元件”的第一磁检测元件11、第一信号处理电路110、密封部13、作为“信号引线”的第一引线16、接地引线17、电源引线18、以及虚设引线59。IC封装体50与第一实施方式不同，是具有一个磁检测元件的IC封装体。IC封装体50设于旋转轴CA1上的磁体823的附近。

虚设引线59形成为，从密封部13的一个面131向x轴的负方向突出。虚设引线59不与第一磁检测元件11电连接，并且从电源引线18观察设于与接地引线17相反的一侧。

传感器端子60具有：作为“信号端子线”的第一端子线21，具有能够与第一引线16焊接的作为“信号连接部”的第一焊接端子211；接地端子线62；电源端子线23；以及虚设端子线64。传感器端子60是以从第一引线16等的附近通过IC封装体50的与磁体823相反的一侧并延伸至传感器壳体70所具有的连接器部71的方式形成的、导电性相对较大的部件。传感器端子60通过传感器壳体70的嵌件成型与传感器壳体70成为一体。

接地端子线62具有作为“接地连接部”的接地焊接端子621、迂回部622、接地嵌入部620、以及作为“接地端子线的与迂回部侧相反的一侧的端部”的接地连接器端子623。

接地焊接端子621设于能够与接地引线17焊接的位置。接地焊接端子621形成为沿x轴的方向延伸。接地焊接端子621的x轴的负方向侧与迂回部622连接。接地焊接端子621的x轴的正方向侧与接地嵌入部620连接。

迂回部622形成为沿作为“与第一方向不同的方向”的y方向延伸。迂回部622位于第一焊接端子211、接地焊接端子621、电源焊接端子231、以及虚设端子线64的虚设连接部641的x轴的负方向。迂回部622在x轴的正侧与接地焊接端子621及虚设连接部641连接。

接地嵌入部620被嵌入传感器壳体70内。接地嵌入部620形成为，通过IC封装体50的与磁体823相反的一侧，并向y轴的正方向延伸后向x轴的负方向延伸。接地嵌入部620的与连接于接地焊接端子221的一侧相反的一侧连接于接地连接器端子623。

接地连接器端子623位于连接器部71。接地连接器端子623形成为能够经由外部连接器与地电连接。

虚设端子线64具有虚设连接部641、虚设嵌入部642、以及作为“虚设端子线的与连接于迂回部的一侧相反的一侧的端部”的虚设端子643。

虚设连接部641设于能够与虚设引线59焊接的位置。虚设连接部641形成为沿x轴的方向延伸。虚设连接部641的x轴的负方向侧与迂回部622连接。虚设连接部641的x轴的正方向侧与虚设嵌入部642连接。另外，在图6中用虚线VL60表示迂回部622与虚设连接部641的假想的分界线。

虚设嵌入部642被嵌入传感器壳体70内。虚设嵌入部642形成为，通过IC封装体50的与磁体823相反的一侧，并向y轴的正方向延伸后向x轴的负方向延伸。虚设嵌入部642的与连接于虚设连接部641的一侧相反的一侧连接于虚设端子643。

虚设端子643位于连接器部31。虚设端子643形成为能够经由外部连接器与地电连接。

这样，在旋转角检测装置3中，接地引线17通过两个路径与地连接。一个路径是通过接地焊接端子621、接地嵌入部620、以及接地连接器端子623的路径。另一个路径是通过接地焊接端子621、迂回部622、虚设连接部641、虚设嵌入部642、以及虚设端子643的路径。

接下来，基于图7A及图7B对旋转角检测装置3的制造方法进行说明。

首先，作为“端子母模成型工序”，通过金属板的冲压等来成型出传感器端子60的母模及马达端子27的母模。

在图7A中示出传感器端子60的母模45的局部放大图。另外，在图7A中，用双点划线表示连接于传感器端子60的IC封装体50。

在传感器端子60的母模45中，成为第一焊接端子211的部位461、成为接地焊接端子621的部位471、成为电源焊接端子231的部位481、以及成为虚设连接部641的部位491通过成为迂回部622的系杆472连接。

接着，作为“切断工序”，成型出被嵌入了传感器端子60及马达端子27的传感器壳体70。在图7B中示出成型出传感器壳体70时的传感器端子60的母模45的局部放大图。另外，在图7B中，用双点划线表示连接于传感器端子60的IC封装体50。

在成型出传感器壳体70时，在传感器端子60的母模45中，将部位461与系杆472、以及部位481与系杆472切断，另一方面，仍保持着使部位471与系杆472、以及部位491与系杆472连接。在图7B中，用虚线460、480表示此时被切断了的部位。将由切断部位461、481与系杆472后而形成的传感器端子60与将系杆切断后的马达端子线28、29置于模具，并向该模具注入树脂，从而成型出传感器壳体70。

最后，在传感器壳体70的平台32上搭载另外制造出的IC封装体50，通过焊接等将作为部位461的第一焊接端子211与第一引线16、作为部位471的接地焊接端子621与接地引线17、作为部位481的电源焊接端子231与电源引线18、以及作为部位491的虚设连接部641与虚设引线59电连接。

由此，完成旋转角检测装置3。

在第三实施方式的旋转角检测装置3中，接地端子线62所具有迂回部622与从电源端子线23观察设于与接地端子线62相反的一侧的虚设端子线64连接。由此，在连接器部71中，从马达端子线28、29的马达连接器端子283、293的旁边依次排列与接地端子线62电连接的虚设端子线64的虚设端子643、电源连接器端子233、作为“信号端子线的与信号连接部相反的一侧的端部”的第一连接器端子213。由此，第三实施方式起到第一实施方式的效果(A)～(C)。

另外，在第三实施方式的旋转角检测装置3的制造方法中，在将传感器端子60的母模45用作传感器端子60时，将系杆472与成为第一焊接端子211的部位461以及系杆472与成为电源焊接端子231的部位481切断，另一方面将系杆472与成为接地焊接端子621的部位471以及系杆472与成为虚设连接部641的部位481连接状态下的系杆472用作接地端子线62的迂回部622。由此，能够容易地形成能够在马达端子27的旁边排列与接地引线17电连接的虚设端子线64的连接器部71。

(第四实施方式)

基于图8对第四实施方式的位置检测装置进行说明。在第四实施方式中，具备电容器这一点与第三实施方式不同。

第四实施方式的旋转角检测装置具有IC封装体50、传感器端子60、马达端子27、电容器75、76、以及传感器壳体70。

电容器75、76设于IC封装体50。

电容器75以在沿x轴的方向上连接第一焊接端子211与迂回部622的方式设置。

电容器76以在沿x轴的方向上连接电源焊接端子231与迂回部622的方式设置。

在第四实施方式的旋转角检测装置中，通过在第一焊接端子211与迂回部622之间以及电源焊接端子231与迂回部622之间设置外置的电容器75、76，能够减少噪声。因此，第四实施方式起到与第二实施方式相同的效果。

(其他实施方式)

在上述的实施方式中，位置检测装置被应用于对向车辆所搭载的发动机的进气量进行控制的电子控制节气门装置。然而，应用位置检测装置的领域并不限定于此。

在上述的实施方式中，如图2、6所示，传感器端子形成为，连接于引线的一方的端部与位于连接器部的另一方的端部处于大致平行的位置。然而，传感器端子的形状并不限定于此。

在上述的实施方式中，迂回部形成为沿y方向延伸。然而，迂回部延伸的方法并不限定于此。也可以形成为，在x轴的正侧与接地焊接端子连接并向与接地焊接端子不同的方向延伸。

在第二实施方式中，位置检测装置具备三个电容器。在第四实施方式中，位置检测装置具备两个电容器。电容器也可以是一个。

在第二、四实施方式中，电容器以在沿着壳体的短边方向即x轴的方向上连接的方式设置。然而，设置电容器的方向并不限定于此。

在第一、二实施方式中，在IC封装体中，从y轴的正侧向负侧，第一引线、接地引线、电源引线、第二引线按该顺序以向x轴的负方向突出的方式排列。然而，引线排列的顺序并不限定于此。例如，也可以如图9所示那样从y轴的正侧向负侧，第一引线16、电源引线18、接地引线17、第二引线19按该顺序以向x轴的负方向突出的方式排列。即使在该情况下，通过如图9所示那样将接地端子线22的迂回部222设于第二引线19的x轴的负方向侧，也能够起到与第一、二实施方式相同的效果。

另外，第三、四实施方式也相同。例如，即使在如图10所示那样从y轴的正侧向负侧，第一引线16、电源引线18、接地引线17、虚设引线59按该顺序以向x轴的负方向突出的方式排列的情况下，也能够起到与第三、四实施方式相同的效果。

在第一、二实施方式中，IC封装体具有第一信号处理电路及第二信号处理电路。在第三、四实施方式中，IC封装体具有第一信号处理电路。然而，IC封装体也可以不具有第一信号处理电路及第二信号处理电路。另外，在IC封装体中，第一磁检测元件与第一信号处理电路、或第二磁检测元件与第二信号处理电路独立地设置。第一磁检测元件与第一信号处理电路、或第二磁检测元件与第二信号处理电路也可以成为一体。

上述的实施方式中的磁检测元件只要是霍尔元件、MR元件等能够输出与磁场的成分、或该成分的强度对应的信号即可。

在上述的实施方式中，引线与端子线通过焊接而电连接。然而，引线与端子线的电连接的方法并不限定于此。焊接的方法也可以是电阻焊接、激光焊接。另外，也可以是通过焊锡进行的接合、通过导电性粘接剂进行的接合。

以上，本公开并不限定于这种实施方式，能够在不脱离其主旨范围内以各种方式来实施。

本公开遵照实施例进行了描述。然而，本公开并不限定于该实施方式及结构。本公开也包含各种变形例及等效范围内的变形。另外，各种组合及方式、进而是在它们之中包含仅一个要素、一个要素以上、或一个要素以下的其他组合及方式也落入本公开的范畴和思想范围内。

Claims (8)

1.一种位置检测装置，能够对检测对象(821)的位置进行检测，其中，该位置检测装置具备：

IC封装体(10)，具有：第一磁检测元件(11)，能够输出与周围的磁场的第一成分、或该第一成分的强度对应的信号；第二磁检测元件(12)，能够输出与周围的磁场的与所述第一成分不同的第二成分、或该第二成分的强度对应的信号；密封部(13)，对所述第一磁检测元件及所述第二磁检测元件进行密封；第一引线(16)，从所述密封部向第一方向突出，并能够将所述第一磁检测元件输出的第一信号输出至外部；接地引线(17)，从所述密封部向所述第一方向突出，并使流过所述第一磁检测元件及所述第二磁检测元件的电流向地流动；电源引线(18)，从所述密封部向所述第一方向突出，并供朝向所述第一磁检测元件及所述第二磁检测元件的电流流动；以及第二引线(19)，从所述密封部向所述第一方向突出，并能够将所述第二磁检测元件输出的第二信号输出至外部，所述接地引线及所述电源引线设于所述第一引线与所述第二引线之间；

第一端子线(21)，形成为从能够与所述第一引线电连接的第一连接部(211)向与所述第一方向相反的方向延伸；

接地端子线(22)，具有接地连接部(221)以及迂回部(222)，该接地连接部(221)形成为能够与所述接地引线电连接，该迂回部(222)形成为向与所述第一方向不同的方向延伸，并在所述接地连接部的所述第一方向侧与所述接地连接部连接；

电源端子线(23)，形成为从能够与所述电源引线电连接的电源连接部(231)向与所述第一方向相反的方向延伸；

第二端子线(24)，形成为从能够与所述第二引线电连接的第二连接部(241)向与所述第一方向相反的方向延伸；

迂回用端子线(25)，形成为从所述第一端子线或所述第二端子线观察时位于与所述接地端子线相反的一侧，并与所述迂回部连接；

马达端子线(28、29)，一方的端部(281、291)与能够使所述检测对象旋转的马达(83)电连接，所述马达端子线(28、29)能够将电力供给至所述马达；以及

连接器部(31)，依次设置所述马达端子线的另一方的端部(283、293)、所述迂回用端子线的与连接于所述迂回部的一侧相反的一侧的端部(253)、所述第二端子线的与所述第二连接部相反的一侧的端部(243)、所述电源端子线的与所述电源连接部相反的一侧的端部(233)、所述第一端子线的与所述第一连接部相反的一侧的端部(213)。

2.根据权利要求1所述的位置检测装置，其中，

还具备电容器(35、36、37)，该电容器(35、36、37)将所述第一端子线、所述电源端子线以及所述第二端子线的至少一个与所述迂回部电连接。

3.根据权利要求2所述的位置检测装置，其中，

还具备壳体(30)，该壳体(30)能够支承所述第一端子线、所述接地端子线、所述电源端子线、所述第二端子线以及所述迂回用端子线，

所述电容器以沿着所述壳体的短边方向的方式设置。

4.一种位置检测装置的制造方法，该位置检测装置能够对检测对象(821)的位置进行检测，其中，该位置检测装置具备：

IC封装体(10)，具有：第一磁检测元件(11)，能够输出与周围的磁场的第一成分、或该第一成分的强度对应的信号；第二磁检测元件(12)，能够输出与周围的磁场的与所述第一成分不同的第二成分、或该第二成分的强度对应的信号；密封部(13)，对所述第一磁检测元件及所述第二磁检测元件进行密封；第一引线(16)，从所述密封部向第一方向突出，并能够将所述第一磁检测元件输出的第一信号输出至外部；接地引线(17)，从所述密封部向所述第一方向突出，并使流过所述第一磁检测元件及所述第二磁检测元件的电流向地流动；电源引线(18)，从所述密封部向所述第一方向突出，并供朝向所述第一磁检测元件及所述第二磁检测元件的电流流动；以及第二引线(19)，从所述密封部向所述第一方向突出，并能够将所述第二磁检测元件输出的第二信号输出至外部，所述接地引线及所述电源引线设于所述第一引线与所述第二引线之间；

第一端子线(21)，形成为从能够与所述第一引线电连接的第一连接部(211)向与所述第一方向相反的方向延伸；

接地端子线(22)，具有接地连接部(221)以及迂回部(222)，该接地连接部(221)形成为能够与所述接地引线电连接，该迂回部(222)形成为向与所述第一方向不同的方向延伸，并在所述接地连接部的所述第一方向侧与所述接地连接部连接；

电源端子线(23)，形成为从能够与所述电源引线电连接的电源连接部(231)向与所述第一方向相反的方向延伸；

第二端子线(24)，形成为从能够与所述第二引线电连接的第二连接部(241)向与所述第一方向相反的方向延伸；

迂回用端子线(25)，形成为从所述第一端子线或所述第二端子线观察时位于与所述接地端子线相反的一侧，并与所述迂回部连接；

马达端子线(28、29)，一方的端部(281、291)与能够使所述检测对象(821)旋转的马达(83)电连接，所述马达端子线(28、29)能够将电力供给至所述马达；以及

连接器部(31)，依次设置所述马达端子线的另一方的端部(283、293)、所述迂回用端子线的与连接于所述迂回部的一侧相反的一侧的端部(253)、所述第二端子线的与所述第二连接部相反的一侧的端部(243)、所述电源端子线的与所述电源连接部相反的一侧的端部(233)、所述第一端子线的与所述第一连接部相反的一侧的端部(213)，

该位置检测装置的制造方法包括如下工序：

端子母模成型工序，将成为所述第一端子线的所述第一连接部的部位(411)、成为所述接地端子线的所述接地连接部的部位(421)、成为所述电源端子线的所述电源连接部的部位(431)、成为所述第二端子线的所述第二连接部的部位(441)、成为所述迂回用端子线的部位(451)、以及系杆(422)一体地成型为传感器端子的母模(40)，该系杆(422)在成为所述接地连接部的部位的所述第一方向侧与成为所述第一连接部的部位、成为所述接地连接部的部位、成为所述电源连接部的部位、成为所述第二连接部的部位及成为所述迂回用端子线的部位连接；以及

切断工序，在所述端子母模成型工序之后，将所述系杆与成为所述第一连接部的部位、所述系杆与成为所述电源连接部的部位以及所述系杆与成为所述第二连接部的部位切断。

5.一种位置检测装置，能够对检测对象(821)的位置进行检测，其中，该位置检测装置具备：

IC封装体(50)，具有：磁检测元件(11)，能够输出与周围的磁场的一个成分、或该一个成分的强度对应的信号；密封部(13)，对所述磁检测元件进行密封；信号引线(16)，从所述密封部向第一方向突出，并能够将所述磁检测元件输出的信号输出至外部；接地引线(17)，从所述密封部向所述第一方向突出，并使流过所述磁检测元件的电流向地流动；电源引线(18)，从所述密封部向所述第一方向突出，并供朝向所述磁检测元件的电流流动；以及虚设引线(59)，从所述密封部向所述第一方向突出且不与所述磁检测元件电连接，所述接地引线及所述电源引线设于所述信号引线与所述虚设引线之间；

信号端子线(21)，形成为从能够与所述信号引线电连接的信号连接部(211)向与所述第一方向相反的方向延伸；

接地端子线(62)，具有接地连接部(621)以及迂回部(622)，该接地连接部(621)形成为能够与所述接地引线电连接，该迂回部(622)形成为向与所述第一方向不同的方向延伸，并在所述接地连接部的所述第一方向侧与所述接地连接部连接；

电源端子线(23)，形成为从能够与所述电源引线电连接的电源连接部(231)向与所述第一方向相反的方向延伸；

虚设端子线(64)，形成为从所述接地端子线观察时设于与所述信号端子线相反的一侧，并从能够与所述迂回部及所述虚设引线连接的虚设连接部(641)向与所述第一方向相反的方向延伸；

马达端子线(28、29)，一方的端部(281、291)与能够使所述检测对象旋转的马达(83)电连接，所述马达端子线(28、29)能够将电力供给至所述马达；以及

连接器部(71)，依次设置所述马达端子线的另一方的端部(283、293)、所述虚设端子线的与连接于所述迂回部的一侧相反的一侧的端部(643)、所述电源端子线的与所述电源连接部相反的一侧的端部(233)或所述接地端子线的与所述迂回部侧相反的一侧的端部(623)的任意一方、所述电源端子线的与所述电源连接部相反的一侧的端部或所述接地端子线的与所述迂回部侧相反的一侧的端部的任意另一方、所述信号端子线的与所述信号连接部相反的一侧的端部(213)。

6.根据权利要求5所述的位置检测装置，其中，

还具备电容器(75、76)，该电容器(75、76)将所述信号端子线以及所述电源端子线的至少一个与所述迂回部电连接。

7.根据权利要求6所述的位置检测装置，其中，

还具备壳体(70)，该壳体(70)能够支承所述信号端子线、所述接地端子线、所述电源端子线以及所述虚设端子线，

所述电容器以沿着所述壳体的短边方向的方式设置。

8.一种位置检测装置的制造方法，该位置检测装置能够对检测对象(821)的位置进行检测，其中，该位置检测装置具备：

IC封装体(50)，具有：磁检测元件(11)，能够输出与周围的磁场的一个成分、或该一个成分的强度对应的信号；密封部(13)，对所述磁检测元件进行密封；信号引线(16)，从所述密封部向第一方向突出，并能够将所述磁检测元件输出的信号输出至外部；接地引线(17)，从所述密封部向所述第一方向突出，并使流过所述磁检测元件的电流向地流动；电源引线(18)，从所述密封部向所述第一方向突出，并供朝向所述磁检测元件的电流流动；以及虚设引线(59)，从所述密封部向所述第一方向突出且不与所述磁检测元件电连接，所述接地引线及所述电源引线设于所述信号引线与所述虚设引线之间；

信号端子线(21)，形成为从能够与所述信号引线电连接的信号连接部(211)向与所述第一方向相反的方向延伸；

接地端子线(62)，具有接地连接部(621)以及迂回部(622)，该接地连接部(621)形成为能够与所述接地引线电连接，该迂回部(622)形成为向与所述第一方向不同的方向延伸，并在所述接地连接部的所述第一方向侧与所述接地连接部连接；

电源端子线(23)，形成为从能够与所述电源引线电连接的电源连接部(231)向与所述第一方向相反的方向延伸；

虚设端子线(64)，形成为从所述接地端子线观察时设于与所述信号端子线相反的一侧，并从能够与所述迂回部及所述虚设引线连接的虚设连接部(641)向与所述第一方向相反的方向延伸；

马达端子线(28、29)，一方的端部(281、291)与能够使所述检测对象旋转的马达(83)电连接，所述马达端子线(28、29)能够将电力供给至所述马达；以及

连接器部(71)，依次设置所述马达端子线的另一方的端部(283、293)、所述虚设端子线的与连接于所述迂回部的一侧相反的一侧的端部(253)、所述电源端子线的与所述电源连接部相反的一侧的端部(233)或所述接地端子线的与连接于所述迂回部的一侧相反的一侧的端部(623)的任意一方、所述电源端子线的与所述电源连接部相反的一侧的端部(233)或所述接地端子线的与连接于所述迂回部的一侧相反的一侧的端部(623)的任意另一方、所述信号端子线的与所述信号连接部相反的一侧的端部(213)，

该位置检测装置的制造方法包括如下工序：

端子母模成型工序，将成为所述信号端子线的所述信号连接部的部位(461)、成为所述接地端子线的所述接地连接部的部位(471)、成为所述电源端子线的所述电源连接部的部位(481)、成为所述虚设端子线的所述虚设连接部的部位(491)、以及系杆(472)一体地成型为传感器端子的母模(45)，该系杆(472)在成为所述接地连接部的部位的所述第一方向侧与成为所述信号连接部的部位、成为所述接地连接部的部位、成为所述电源连接部的部位及成为所述虚设连接部的部位连接；以及

切断工序，在所述端子母模成型工序之后，将所述系杆与成为所述信号连接部的部位以及所述系杆与成为所述电源连接部的部位切断。

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