WO2016157425A1 - 回転機械の検査方法、回転機械 - Google Patents

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    • F05D2260/60—Fluid transfer
    • F05D2260/607—Preventing clogging or obstruction of flow paths by dirt, dust, or foreign particles

Definitions

  • the present invention relates to a rotating machine inspection method and a rotating machine.
  • centrifugal compressors are used to pump process gas.
  • a component in the gas may react to generate a polymer-like or coke-like solid in the flow path.
  • the production of solid matter may be affected by an increase in the temperature of the process gas in the compression step.
  • Patent Document 1 discloses a configuration in which a spray-type nozzle is installed and atomized cleaning liquid is injected into the flow path in order to remove solid matter that adheres and accumulates in the flow path of the centrifugal compressor. Has been.
  • the present invention relates to a rotating machine inspection method and a rotating machine capable of easily confirming the state of solid matter adhesion / deposition on a flow path, reducing maintenance labor and cost, and improving the operating rate of the compression ratio. The purpose is to provide.
  • the rotating machine inspection method is a rotating machine inspection method having a flow path through which a fluid flows, and is provided at a position facing the flow path in a stationary part of the rotating machine. And a step of measuring the width of the flow path by a non-contact sensor and a step of determining whether or not the measured width of the flow path is less than a predetermined lower limit threshold value.
  • the solid matter can be adhered to the flow path without disassembling the rotating machine. Deposition status can be confirmed. Specifically, if solid matter adheres to the channel wall surface, the channel width becomes narrower. Therefore, if the measured channel width is less than the predetermined lower limit threshold, it can be easily determined that a certain amount of solid matter has adhered to the channel.
  • the cleaning liquid is injected into the flow path when the measured width of the flow path is less than a predetermined lower threshold. And a step of removing the solid matter adhering to the flow path.
  • the solid matter when solid matter adheres to the flow path at a certain level or more, the solid matter can be removed at an appropriate timing by ejecting the cleaning liquid to remove the solid matter.
  • the width of the flow path is measured by the non-contact sensor while performing the step of removing the solid matter.
  • the step of removing the solid matter may be terminated.
  • the attached solid matter is removed, thereby widening the channel width.
  • the flow path width is equal to or greater than the upper limit threshold value and the attached solid matter is removed beyond a predetermined reference, the removal of the solid matter can be completed. Thereby, the usage-amount of a washing
  • cleaning liquid can be suppressed and the removal process of a solid substance can be performed efficiently.
  • the rotating machine is provided at a position facing the flow path in the casing in which the flow path for fluid flows is formed and the stationary part of the casing, and measures the width of the flow path. And a non-contact sensor.
  • the flow path width of the flow path can be detected by the non-contact sensor even when the rotary machine is operated. As a result, it is possible to confirm the state of solid matter adhesion / deposition on the flow path without disassembling the rotating machine.
  • the rotary machine is measured by the injection device including a nozzle for injecting a cleaning liquid for removing the solid matter attached to the flow path, and the non-contact sensor. And a controller that controls the operation of the injection device in accordance with the width of the flow path.
  • the injection device can be operated to automatically remove the solid matter. Moreover, the removal process can be automatically stopped at the stage where the attached solid matter has been removed.
  • a centrifugal compressor (rotary machine) 10 that is a rotary machine of the present embodiment mainly includes a casing 20 and a rotary shaft 30 that is rotatably supported around a central axis O in the casing 20. , And an impeller 40 that is attached to the rotating shaft 30 and compresses the process gas (fluid) G using centrifugal force.
  • the casing 20 is provided with a plurality of ring members (diaphragms) 22 arranged in the direction of the central axis O of the rotary shaft 30. Further, the casing 20 is provided with an internal space 21 in which the diameter is reduced and the diameter is increased. An impeller 40 is accommodated in the internal space 21. When the impeller 40 is accommodated, a stationary component side flow path (flow path) 50 is formed to flow the process gas (fluid) G flowing through the impeller 40 from the upstream side to the downstream side at a position between the impellers 40. ing.
  • the suction port 23 through which the process gas G flows from the outside into the stationary part side flow path 50 is provided at one end 20 a of the casing 20. Further, the other end portion 20 b of the casing 20 is provided with a discharge port 24 through which the process gas G flows out to the outside, following the stationary component side flow path 50.
  • Support holes 25 and 26 for supporting both end portions of the rotating shaft 30 are formed on the one end portion 20a side and the other end portion 20b side of the casing 20, respectively.
  • the rotary shaft 30 is supported by these support holes 25 and 26 via a journal bearing 27 so as to be rotatable around the central axis O.
  • a thrust bearing 28 is further provided at one end 20 a of the casing 20, and the rotary shaft 30 is supported at one end 30 a so as to be rotatable in the direction of the central axis O via the thrust bearing 28.
  • the plurality of impellers 40 are accommodated in the ring members 22 of the casing 20 with a space in the direction of the central axis O of the rotary shaft 30. 1 shows an example in which six impellers 40 are provided, it is sufficient that at least one impeller 40 is provided.
  • the impeller 40 is a so-called closed impeller having a disk portion 41, a plurality of blade portions 42, and a cover portion 43, but may be an open impeller without the cover portion 43. Good.
  • the stationary component side flow path 50 is formed of a diffuser part 51, a return bend part 52, and a return flow path part 53.
  • the diffuser portion 51 is formed so as to extend from the outer peripheral side of the impeller 40 toward the outer peripheral side.
  • the return bend portion 52 is formed continuously on the outer peripheral portion of the diffuser portion 51.
  • the return bend portion 52 is formed from the outer peripheral portion of the diffuser portion 51 to the other end portion 20b side of the casing 20 in a U shape in sectional view and toward the inner peripheral side.
  • the return flow path portion 53 is formed from the return bend portion 52 toward the inner peripheral side.
  • an impeller-side channel 55 is formed in a space surrounded by the disk portion 41, the cover portion 43, and the blade portion 42 adjacent in the circumferential direction.
  • the impeller side flow channel 55 has an end portion 55 a facing the one end portion 20 a side of the casing 20 facing the end portion of the return flow channel portion 53 of the stationary component side flow channel 50.
  • the part 55 b is formed so as to face the outer peripheral side and to face the diffuser part 51 of the stationary component side flow path 50.
  • the process gas G introduced into the stationary component side flow path 50 from the suction port 23 is in each of the impellers 40 that rotate around the central axis O together with the rotary shaft 30. It flows into the impeller side channel 55 from the end 55a close to the radially inner side.
  • the process gas G that has flowed into the impeller side flow passage 55 flows out from the end portion 55b close to the radially outer side of the blade portion 42 toward the outer peripheral side. Then, the process gas G flows through the impeller side channel 55 toward the radially outer side, so that the process gas G is compressed.
  • the process gas G flowing out from the impeller 40 at each stage flows to the outer peripheral side through the diffuser portion 51 of the stationary part side flow path 50, turns back in the flow direction at the return bend section 52, and passes through the return flow path section 53 to the rear impeller 40. Is sent to.
  • the process gas G passes through the impeller side channel 55 and the stationary part side channel 50 of the impeller 40 provided in multiple stages from the one end 20a side to the other end 20b side of the casing 20. It is compressed in multiple stages and sent out from the discharge port 24.
  • the centrifugal compressor 10 is provided with a sensor 60 at a position facing the stationary component side flow path 50 in the casing 20.
  • the sensor 60 detects the thickness of the solid material SB (see FIG. 2) adhering to the inner peripheral surface of the stationary component-side flow path 50, and thus crosses the width of the stationary component-side flow path 50 (the flow direction of the process gas G). Measure the width in the direction to do.
  • a sensor 60 is a non-contact sensor and preferably emits infrared light or laser light as measurement light B.
  • the sensor 60 is installed on one side (the suction port 23 side in the direction of the central axis O) of the stationary component side flow path 50.
  • the sensor 60 irradiates the measurement light B made of infrared light or laser light from the direction orthogonal to the other inner peripheral surface 50f of the stationary component side flow path 50, and receives reflected light.
  • the sensor 60 detects the channel width of the stationary component side channel 50. That is, in the sensor 60, if the solid material SB is not attached to the inner peripheral surface 50f of the stationary component side flow channel 50, the distance from the sensor 60 to the inner peripheral surface 50f is measured as the flow channel width. Moreover, in the sensor 60, if solid substance SB has adhered to the internal peripheral surface 50f of the stationary component side flow path 50, the distance to the surface of the solid substance SB is measured as a flow path width.
  • Such a sensor 60 is provided in a stationary part of the centrifugal compressor 10 that does not rotate integrally with the rotary shaft 30.
  • the sensor 60 is provided at a position facing the diffuser portion 51 located on the outer peripheral side of each stage of the impeller 40.
  • the sensor 60 is preferably provided at a position facing the position where the solid matter SB easily adheres with the stationary component side flow path 50 interposed therebetween.
  • the senor 60 transmits the measurement result by irradiation of the measurement light B to the measurement apparatus main body 80 provided outside the centrifugal compressor 10 by wireless or wired.
  • the sensor 60 is connected to the measurement device main body 80 by wire, it is necessary to provide a seal member so as to maintain a sealing property in a portion where the signal line connected to the sensor 60 penetrates the casing 20 of the centrifugal compressor 10.
  • the sensor 60 is wirelessly connected to the measurement apparatus main body 80, such a configuration is not necessary.
  • the solid matter SB is not attached to the inner peripheral surface 50f of the stationary component side flow path 50 before or immediately after the centrifugal compressor 10 is installed. Then, the channel width of the stationary component side channel 50 is measured (step S1).
  • the channel width of the stationary component side channel 50 is measured by the sensor 60 at an appropriate timing (step S2).
  • the measurement of the channel width by the sensor 60 may be performed periodically at a predetermined interval, or may be constantly performed at every minute time interval during operation of the centrifugal compressor 10.
  • step S3 it is determined whether or not the flow path width measured by the sensor 60 is less than a predetermined lower threshold.
  • the solid matter SB having a thickness equal to or larger than the reference value is attached to the inner peripheral surface 50f of the stationary component side flow path 50 in advance. Therefore, when the flow path width measured by the sensor 60 is less than the predetermined lower limit threshold, it is determined that the solid matter SB is attached to the inner peripheral surface 50f of the stationary component side flow passage 50, and the solid matter SB is determined. Is removed (step S4).
  • an oil injection device (not shown) that injects cleaning oil or the like as a cleaning liquid is used, and a technique such as injecting the cleaning liquid onto the inner peripheral surface 50f of the stationary component side flow path 50 is exemplified. .
  • the measurement apparatus main body 80 needs to remove the solid matter SB by sound, blinking of a lamp, display of a message, or the like. An alarm signal indicating this may be output to the outside.
  • the sensor 60 for detecting the flow width of the stationary component side flow path 50 formed in the casing 20 of the centrifugal compressor 10 is provided. I prepared. Accordingly, it is possible to check the adhesion / deposition state of the solid matter SB to the stationary component side flow path 50 without disassembling the centrifugal compressor 10, and it is possible to reduce maintenance effort and cost.
  • such a sensor 60 can detect the flow path width of the stationary part side flow path 50 even when the centrifugal compressor 10 is operated. Therefore, the operation rate of the centrifugal compressor 10 can be improved.
  • the oil injection device uses the stationary component
  • the cleaning liquid was sprayed into the side channel 50 to remove the solid matter SB.
  • the cleaning liquid can be ejected at an appropriate timing to remove the solid matter SB.
  • the senor 60 may be installed on the other side of the stationary component side flow path 50 (on the outlet 24 side in the direction of the central axis O).
  • the centrifugal compressor 10 shown in the second embodiment includes an oil injection device (injection device) 70, and a measuring device main body 80 having a control unit 80a and a determination unit 80b in addition to the sensor 60 shown in the first embodiment.
  • injection device injection device
  • measuring device main body 80 having a control unit 80a and a determination unit 80b in addition to the sensor 60 shown in the first embodiment.
  • a position facing the stationary component side flow path 50 for example, a diffuser portion positioned on the outer peripheral side of each stage of the impeller 40.
  • a sensor 60 for detecting the flow path width of the stationary component side flow path 50 is provided at a position facing 51.
  • the senor 60 transmits the measurement result by irradiation of the measurement light B to the measurement apparatus main body 80 provided outside the centrifugal compressor 10 by wireless or wired.
  • the centrifugal compressor 10 includes an oil injection device 70 that injects a cleaning liquid such as cleaning oil into the stationary component side flow path 50 from the outside of the casing 20.
  • the oil injection device 70 has a nozzle 71 for injecting a cleaning liquid, and is installed so that the tip of the nozzle 71 is positioned on the outer peripheral side of the return bend portion 52 of the stationary component side flow path 50, for example.
  • the solid matter SB is placed on the inner peripheral surface 50 f of the stationary component side flow path 50 before or immediately after the centrifugal compressor 10 is installed. In a state where no is attached, the channel width of the stationary component side channel 50 is measured and stored in the measuring device main body 80.
  • the flow path width of the stationary component side flow path 50 is measured by the sensor 60 at an appropriate timing (step S11).
  • the measurement of the channel width by the sensor 60 may be periodically performed at predetermined intervals, or the channel width may be constantly measured by the sensor 60 while the centrifugal compressor 10 is in operation.
  • the measuring device main body 80 determines whether or not the flow path width measured by the sensor 60 is less than a predetermined lower limit threshold (step S12). Unless the measured channel width is less than the lower limit threshold, the measurement of the channel width in step S11 is repeated.
  • step S13 When the measured flow path width is less than the lower limit threshold, it is determined that a solid material SB having a thickness equal to or greater than a predetermined reference value is attached to the inner peripheral surface 50f of the stationary component side flow path 50.
  • the removal process of solid substance SB is performed (step S13). In the removal process of the solid matter SB, cleaning oil or the like is sprayed from the nozzle 71 of the oil injection apparatus 70 into the stationary component side flow path 50 as a cleaning liquid.
  • the measuring device main body 80 measures the channel width by the sensor 60 even during the removal process of the solid matter SB, and determines whether or not the measured channel width is equal to or greater than a predetermined upper limit threshold (step S14). ). Unless the measured flow path width is equal to or greater than the upper limit threshold value, it is determined that the solid substance SB is still attached to the inner peripheral surface 50f of the stationary component side flow path 50. Therefore, the solid substance SB removal process is continued. .
  • the ejection of the cleaning liquid from the nozzle 71 is stopped, and the removal process of the solid matter SB attached to the inner peripheral surface 50f of the stationary part side flow path 50 is finished (step S15). ).
  • the sensor 60 that detects the flow width of the stationary component-side flow channel 50 is provided and attached to the stationary component-side flow channel 50.
  • Oil injection device 70 provided with a nozzle 71 for injecting a cleaning liquid for removing the solid matter SB, and a measuring device for controlling the operation of the oil injection device 70 according to the width of the stationary part side flow path 50 measured by the sensor 60 And a main body 80.
  • such a sensor 60 can detect the flow path width of the stationary part side flow path 50 even when the centrifugal compressor 10 is operated. Therefore, the operation rate of the centrifugal compressor 10 can be improved.
  • the present invention is not limited to the above-described embodiment, and the design can be changed without departing from the spirit of the present invention.
  • the installation position of the sensor 60 is not limited to the diffuser unit 51.
  • a sensor 60 may be provided inside the return bend portion 52 in the radial direction. In this way, the sensor 60 can measure the amount of solid SB that easily accumulates on the outer periphery of the return bend 52.
  • the senor 60 may be provided in the return flow path portion 53.
  • the sensor 60 is provided on the suction passage 23 side in the direction of the central axis O in the return flow passage portion 53, but the sensor is provided on the discharge port 24 side in the direction of the central axis O in the return flow passage portion 53. 60 may be provided.
  • the senor 60 may be provided at any position in the circumferential direction around the rotary shaft 30 in the stationary component side flow path 50 located on the outer peripheral side with respect to the rotary shaft 30. Moreover, you may make it provide the some sensor 60 at intervals in the circumferential direction. That is, the sensor 60 may be provided at any position as long as it is a stationary component.
  • centrifugal compressor 10 is only described in the above embodiment, and can be changed as appropriate.
  • Centrifugal compressor (rotary machine) 20 Casing 20a One end 20b Other end 21 Inner space 22 Ring member 23 Suction port 24 Discharge port 25, 26 Support hole 27 Journal bearing 28 Thrust bearing 30 Rotating shaft 30a One end side 40 Impeller 41 Disc portion 42 Blade portion 43 Cover portion 50 Stationary part side channel (channel) 50f Inner peripheral surface 51 Diffuser portion 52 Return bend portion 53 Return flow passage portion 55a End portion 55b End portion 60 Sensor 70 Oil injection device (injection device) 71 Nozzle 80 Measuring device body 80a Control unit 80b Determination unit B Measuring light G Process gas (fluid) O Center axis SB Solid

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Abstract

　この回転機械（１０）の検査方法は、流体（ｇ）が流れる流路（５０）を有した回転機械（１０）の検査方法であって、前記回転機械（１０）の静止部品において前記流路（５０）に臨む位置に設けた非接触センサ（６０）により、前記流路（５０）の幅を計測する工程と、計測した前記流路（５０）の幅が予め定めた下限閾値未満であるか否かを判定する工程と、を含んでいる。

Description

回転機械の検査方法、回転機械
　本発明は、回転機械の検査方法、回転機械に関する。
　各種プラントにおいては、プロセスガスを圧送するために遠心圧縮機が用いられている。遠心圧縮機によりプロセスガスを圧送する場合、プロセスガスの種類によっては、ガス中の成分が反応してポリマー状あるいはコークス状の固形物が流路に生成されることがある。また、固形物の生成には、圧縮工程においてプロセスガスの温度上昇が影響することがある。
　このような固形物が、遠心圧縮機の流路や回転部材に付着すると、付着した固形物によって流路内の流れに悪影響が及び、性能低下を招く。また、固形物の付着や剥離が生じると、回転部材におけるバランスが崩れ、振動の発生に繋がる。
　そこで、例えば、特許文献１には、遠心圧縮機の流路に付着・堆積する固形物を除去するため、スプレー式のノズルを設置し、微粒化した洗浄液を流路内に噴射する構成が開示されている。
特開２０１４－１４１９７５号公報
　しかしながら、特許文献１に開示されたように、ノズルから洗浄液を流路内に噴射する構成においては、いかなるタイミングで洗浄液を噴射すべきかの判断が難しい。そこで、流路への固形物の付着・堆積状況を確認するために、遠心圧縮機を分解する等し、流路内を直接目視しなければならず、これには手間とコストがかかる。さらにはその確認作業中は、圧縮機を稼働させることができず、稼働率の低下に繋がる。
　本発明は、流路への固形物の付着・堆積状況を容易に確認して、メンテナンスの手間及びコストを抑えるとともに、圧縮率の稼働率を向上させることのできる回転機械の検査方法、回転機械を提供することを目的とする。
　本発明に係る第一態様によれば、回転機械の検査方法は、流体が流れる流路を有した回転機械の検査方法であって、前記回転機械の静止部品において前記流路に臨む位置に設けた非接触センサにより、前記流路の幅を計測する工程と、計測した前記流路の幅が予め定めた下限閾値未満であるか否かを判定する工程と、を含んでいる。
　このような構成によれば、非接触センサで回転機械のケーシング内に形成された流路の流路幅を計測することによって、回転機械を分解することなく、流路への固形物の付着・堆積状況を確認することができる。
　具体的には、流路壁面に固形物が付着すれば、流路幅は狭くなる。したがって、計測した流路幅が予め定めた下限閾値未満であれば、流路に固形物が一定以上付着していると容易に判定することができる。
　本発明に係る第二態様によれば、回転機械の検査方法は、第一態様において、計測した前記流路の幅が予め定めた下限閾値未満であるときに、前記流路内に洗浄液を噴射して前記流路内に付着した固形物を除去する工程、をさらに含むようにしてもよい。
　このような構成によれば、流路に固形物が一定以上付着している場合に、洗浄液を噴射して固形物を除去することで、適切なタイミングで固形物の除去を行うことができる。
　本発明に係る第三態様によれば、回転機械の検査方法は、第二態様において、前記固形物を除去する工程を行っている間に、前記非接触センサにより前記流路の幅を計測し、計測した前記流路の幅が予め定めた上限閾値以上となった場合に、前記固形物を除去する工程を終了するようにしてもよい。
　固形物の除去処理中、付着していた固形物が除去されることによって、流路幅が広がる。流路幅が上限閾値以上となり、付着していた固形物が、予め定めた基準以上に除去された場合に、固形物の除去を終えることができる。これにより、洗浄液の使用量を抑え、固形物の除去処理を効率よく行うことができる。
　本発明に係る第四態様によれば、回転機械は、流体が流れる流路が形成されたケーシングと、前記ケーシングの静止部品における前記流路に臨む位置に設けられ、前記流路の幅を計測する非接触センサと、を備えている。
　このような構成によれば、非接触センサにより、回転機械を運転した状態でも流路の流路幅を検出することができる。これにより、回転機械を分解することなく、流路への固形物の付着・堆積状況を確認することができる。
　本発明に係る第五態様によれば、回転機械は、第四態様において、前記流路内に付着した固形物を除去する洗浄液を噴射するノズルを備えたインジェクション装置と、前記非接触センサで計測した前記流路の幅に応じて、前記インジェクション装置の動作を制御する制御部と、をさらに備えるようにしてもよい。
　制御部の制御により、固形物の付着が多い場合には、インジェクション装置を作動させて固形物の除去処理を自動的に行うことができる。また、付着していた固形物が除去できた段階で、除去処理を自動的に停止させることができる。
　上述した回転機械の検査方法、回転機械によれば、流路への固形物の付着・堆積状況を容易に確認して、メンテナンスの手間及びコストを抑えるとともに、圧縮率の稼働率を向上させることが可能となる。
本発明の第一実施形態における回転機械の一例としての遠心圧縮機の構成を示す断面図である。 遠心圧縮機の要部を示す拡大断面図である。 遠心圧縮機の検査方法の手順を示すフロー図である。 本発明の第二実施形態における遠心圧縮機の要部を示す拡大断面図である。 遠心圧縮機における固形物の付着状況の観察、及び固形物の除去処理を行う際のフロー図である。 上記第一、第二実施形態における回転機械に対し、異なる位置にセンサを設けた変形例を示す図である。 上記第一、第二実施形態における回転機械に対し、異なる位置にセンサを設けた他の変形例を示す図である。
［第一実施形態］
　図１に示すように、本実施形態の回転機械である遠心圧縮機（回転機械）１０は、主として、ケーシング２０と、ケーシング２０内で中心軸Ｏ回りに回転自在に支持された回転軸３０と、回転軸３０に取り付けられて遠心力を利用してプロセスガス（流体）Ｇを圧縮するインペラ４０と、を備えている。
　ケーシング２０には、回転軸３０の中心軸Ｏ方向に配列された複数のリング部材（ダイヤフラム）２２が設けられている。また、このケーシング２０には、縮径及び拡径を繰り返す内部空間２１が設けられている。この内部空間２１にはインペラ４０が収容される。インペラ４０を収容した際にインペラ４０同士の間となる位置にインペラ４０を流通するプロセスガスス(流体）Ｇを上流側から下流側に流通させる静止部品側流路（流路）５０が形成されている。
　ケーシング２０の一端部２０ａにはプロセスガスＧを外部から静止部品側流路５０に流入させる吸込口２３が設けられている。また、ケーシング２０の他端部２０ｂには、静止部品側流路５０に連続して、プロセスガスＧを外部に流出させる排出口２４が設けられている。
　ケーシング２０の一端部２０ａ側及び他端部２０ｂ側には、それぞれ回転軸３０の両端部を支持する支持孔２５，２６が形成されている。回転軸３０は、これら支持孔２５，２６に、ジャーナル軸受２７を介して中心軸Ｏ回りに回転自在に支持されている。また、ケーシング２０の一端部２０ａには、さらにスラスト軸受２８が設けられ、回転軸３０は、その一端側３０ａが、スラスト軸受２８を介して中心軸Ｏ方向に回転自在に支持されている。
　複数のインペラ４０は、ケーシング２０における各々のリング部材２２の内部に、回転軸３０の中心軸Ｏ方向に間隔を空けて収容されている。なお、図１において、インペラ４０が６つ設けられている場合の一例を示しているが、インペラ４０は、少なくとも１つ以上設けられていればよい。
　図２に示すように、インペラ４０は、ディスク部４１と複数のブレード部４２とカバー部４３とを備えた、いわゆるクローズドインペラであるが、カバー部４３が設けられていないオープンインペラであってもよい。
　静止部品側流路５０は、ディフューザ部５１と、リターンベンド部５２と、戻り流路部５３と、から形成されている。
　ディフューザ部５１は、インペラ４０の外周側から、外周側に向けて延びるよう形成されている。
　リターンベンド部５２は、ディフューザ部５１の外周部に連続して形成されている。リターンベンド部５２は、ディフューザ部５１の外周部からケーシング２０の他端部２０ｂ側に、断面視Ｕ字状に回り込み、内周側に向けて形成されている。
　戻り流路部５３は、リターンベンド部５２から内周側に向けて形成されている。
　各インペラ４０においては、ディスク部４１、カバー部４３、及び周方向に隣接するブレード部４２によって囲まれる空間に、インペラ側流路５５が形成されている。このインペラ側流路５５は、各インペラ４０において、ケーシング２０の一端部２０ａ側を向く端部５５ａが、静止部品側流路５０の戻り流路部５３の端部に対向し、反対側の端部５５ｂは、外周側を向き、静止部品側流路５０のディフューザ部５１に対向するよう形成されている。
　このような遠心圧縮機１０においては、吸込口２３から静止部品側流路５０に導入されたプロセスガスＧは、回転軸３０とともに中心軸Ｏ回りに回転するインペラ４０のそれぞれにおいて、ブレード部４２の径方向内側に近接する端部５５ａからインペラ側流路５５に流入する。インペラ側流路５５に流入したプロセスガスＧは、ブレード部４２の径方向外側に近接する端部５５ｂから外周側に向かって流出する。そして、プロセスガスＧが、インペラ側流路５５内を径方向外側に向かって流通することで、プロセスガスＧは圧縮される。
　各段のインペラ４０から流出したプロセスガスＧは、静止部品側流路５０のディフューザ部５１を通して外周側に流れ、リターンベンド部５２において流れ方向を折り返し、戻り流路部５３を通して後段側のインペラ４０に送り込まれる。このようにして、ケーシング２０の一端部２０ａ側から他端部２０ｂ側に向けて多段に設けられたインペラ４０のインペラ側流路５５と静止部品側流路５０を経ることで、プロセスガスＧが多段に圧縮され、排出口２４から送り出される。
　上記の遠心圧縮機１０には、ケーシング２０における静止部品側流路５０に臨む位置に、センサ６０が設けられている。センサ６０は、静止部品側流路５０の内周面に付着した固形物ＳＢ（図２参照）の厚さを検出するため、静止部品側流路５０の幅（プロセスガスＧの流通方向に交差する方向の幅）を計測する。このようなセンサ６０は非接触センサであって、赤外線やレーザ光を計測光Ｂとして発するものが好適である。
　センサ６０は、静止部品側流路５０の一方の側（中心軸Ｏの方向の吸込口２３側）に設置される。このセンサ６０は、静止部品側流路５０の他方の内周面５０ｆに直交する方向から、赤外光やレーザ光からなる計測光Ｂを照射し、反射光を受光する。このようにして、センサ６０は、静止部品側流路５０の流路幅を検出する。すなわち、センサ６０では、静止部品側流路５０の内周面５０ｆに固形物ＳＢが付着していなければ、センサ６０から内周面５０ｆまでの距離を流路幅として計測する。また、センサ６０では、静止部品側流路５０の内周面５０ｆに固形物ＳＢが付着していれば、その固形物ＳＢの表面までの距離を流路幅として計測する。
　このようなセンサ６０は、回転軸３０と一体に回転しない遠心圧縮機１０の静止部に設けられている。センサ６０は、例えば、各段のインペラ４０の外周側に位置するディフューザ部５１に臨む位置に設けられている。
　また、センサ６０は、固形物ＳＢが付着しやすい位置に対し、静止部品側流路５０を挟んで対向する位置に設けるのが好ましい。
　また、センサ６０は、計測光Ｂの照射による計測結果を、無線あるいは有線で、遠心圧縮機１０の外部に設けられた計測装置本体８０に送信する。センサ６０を有線で計測装置本体８０に接続する場合、センサ６０に接続される信号線が遠心圧縮機１０のケーシング２０を貫通する部分において、シール性を保つようにシール部材を設ける必要がある。これに対し、センサ６０を無線で計測装置本体８０に接続する場合には、そのような構成は不要である。
　次に、図３を参照して、遠心圧縮機１０の検査方法について説明する。
　上記のセンサ６０を備えた遠心圧縮機１０においては、遠心圧縮機１０の設置前、あるいは設置直後等に、静止部品側流路５０の内周面５０ｆに固形物ＳＢが付着していない状態で、静止部品側流路５０の流路幅を計測しておく（ステップＳ１）。
　次に、遠心圧縮機１０の運転開始後、適宜タイミングで、センサ６０によって静止部品側流路５０の流路幅の計測を行う（ステップＳ２）。センサ６０による流路幅の計測は、予め定めた間隔で定期的に行ってもよいし、遠心圧縮機１０の運転中に微少時間間隔ごとに常時行ってもよい。
　そして、センサ６０で計測した流路幅が、予め定めた下限閾値未満となったか否かを判断する（ステップＳ３）。流路幅が、予め定めた下限閾値未満となった場合、静止部品側流路５０の内周面５０ｆに、予め基準値以上の厚さの固形物ＳＢが付着している。したがって、センサ６０で計測した流路幅が、予め定めた下限閾値未満となった場合、静止部品側流路５０の内周面５０ｆに固形物ＳＢが付着していると判断し、固形物ＳＢの除去処理を行う（ステップＳ４）。
　固形物ＳＢの除去処理では、洗浄液として洗浄用オイル等を噴射するオイルインジェクション装置（不図示）を用い、洗浄液を静止部品側流路５０の内周面５０ｆに噴射する等の手法が例示される。
　ここで、センサ６０で計測した流路幅が、予め定めた下限閾値未満となった場合、計測装置本体８０で、音やランプの点滅、メッセージの表示等によって、固形物ＳＢの除去処理が必要であることを示すアラーム信号を外部に出力してもよい。
　上述した実施形態の遠心圧縮機１０の検査方法、及び遠心圧縮機１０によれば、遠心圧縮機１０のケーシング２０内に形成された静止部品側流路５０の流路幅を検出するセンサ６０を備えるようにした。これにより、遠心圧縮機１０を分解することなく、静止部品側流路５０への固形物ＳＢの付着・堆積状況を確認することができ、メンテナンスの手間及びコストを抑えることが可能となる。
　また、このようなセンサ６０では、遠心圧縮機１０を運転した状態でも静止部品側流路５０の流路幅を検出することができる。したがって、遠心圧縮機１０の稼働率を向上させることができる。
　また、センサ６０における静止部品側流路５０の流路幅の検出結果に基づき、静止部品側流路５０内から固形物ＳＢを除去すべきと判断される場合に、オイルインジェクション装置で、静止部品側流路５０内に洗浄液を噴射して固形物ＳＢを除去するようにした。これにより、適切なタイミングで洗浄液を噴射して固形物ＳＢの除去を行うことができる。この結果、洗浄液を噴射量を最小限に抑えることが可能となる。
　ここで、本実施形態では、静止部品側流路５０の他方の側（中心軸Ｏの方向の排出口２４側にセンサ６０が設置されてもよい。
〔第二実施形態〕
　次に、この発明にかかる遠心圧縮機１０の検査方法、遠心圧縮機１０の第二実施形態について説明する。
　この第二実施形態で示す遠心圧縮機１０は、第一実施形態に示したセンサ６０に加え、オイルインジェクション装置（インジェクション装置）７０、及び、制御部８０ａと判定部８０ｂとを有する計測装置本体８０を備えた点が異なるのみである。したがって、第二実施形態の説明においては、第一実施形態と同一部分に同一符号を付して説明するとともに重複説明を省略する。
　図４に示すように、本実施形態における遠心圧縮機１０では、上記第一実施形態と同様、静止部品側流路５０に臨む位置、例えば、各段のインペラ４０の外周側に位置するディフューザ部５１に臨む位置に、静止部品側流路５０の流路幅を検出するセンサ６０が設けられている。
　さらに、センサ６０は、計測光Ｂの照射による計測結果を、無線あるいは有線で、遠心圧縮機１０の外部に設けられた計測装置本体８０に送信する。
　遠心圧縮機１０は、ケーシング２０の外部から静止部品側流路５０内に、洗浄用オイル等の洗浄液を噴射するオイルインジェクション装置７０を備えている。オイルインジェクション装置７０は、洗浄液を噴射するノズル７１を有し、ノズル７１の先端部が例えば静止部品側流路５０のリターンベンド部５２の外周側に位置するように設置されている。
　このようなセンサ６０、及びオイルインジェクション装置７０を備えた遠心圧縮機１０においては、遠心圧縮機１０の設置前、あるいは設置直後等に、静止部品側流路５０の内周面５０ｆに固形物ＳＢが付着していない状態で、静止部品側流路５０の流路幅を計測し、計測装置本体８０に記憶させておく。
　図５に示すように、遠心圧縮機１０の運転開始後、適宜タイミングで、センサ６０によって静止部品側流路５０の流路幅の計測を行う（ステップＳ１１）。センサ６０による流路幅の計測は、予め定めた間隔で定期的に行ってもよいし、遠心圧縮機１０の運転中は、センサ６０で流路幅の計測を常時行ってもよい。
　計測装置本体８０は、センサ６０で計測した流路幅が、予め定めた下限閾値未満となったか否かを判断する（ステップＳ１２）。計測した流路幅が下限閾値を下回らない限り、ステップＳ１１の流路幅の計測を繰り返す。
　計測した流路幅が下限閾値未満となった場合、静止部品側流路５０の内周面５０ｆに予め定めた基準値以上の厚さの固形物ＳＢが付着していると判断されるので、固形物ＳＢの除去処理を行う（ステップＳ１３）。固形物ＳＢの除去処理は、オイルインジェクション装置７０のノズル７１から、洗浄液として洗浄用オイル等を静止部品側流路５０内に噴射する。
　計測装置本体８０は、固形物ＳＢの除去処理中も、センサ６０による流路幅の計測を行い、計測された流路幅が予め定めた上限閾値以上となったか否かを判断する（ステップＳ１４）。
　計測された流路幅が上限閾値以上とならない限り、静止部品側流路５０の内周面５０ｆに固形物ＳＢが依然として付着していると判断されるので、固形物ＳＢの除去処理を継続する。
　計測した流路幅が上限閾値以上となった場合、ノズル７１からの洗浄液の噴射を停止し、静止部品側流路５０の内周面５０ｆに付着した固形物ＳＢの除去処理を終える（ステップＳ１５）。
　この後は、遠心圧縮機１０の運転が終了するまで、上記一連の処理を実行し続ける（ステップＳ１６。）
　上述した実施形態の遠心圧縮機１０の検査方法、及び遠心圧縮機１０によれば、静止部品側流路５０の流路幅を検出するセンサ６０を備えるとともに、静止部品側流路５０内に付着した固形物ＳＢを除去する洗浄液を噴射するノズル７１を備えたオイルインジェクション装置７０と、センサ６０で計測した静止部品側流路５０の幅に応じて、オイルインジェクション装置７０の動作を制御する計測装置本体８０と、を備えるようにした。
　これにより、遠心圧縮機１０を分解することなく、静止部品側流路５０への固形物ＳＢの付着・堆積状況を確認し、固形物ＳＢの付着が多い場合には、オイルインジェクション装置７０を作動させて固形物ＳＢの除去処理を自動的に行うことができる。これにより、メンテナンスの手間及びコストを抑えることが可能となる。
　また、このようなセンサ６０では、遠心圧縮機１０を運転した状態でも静止部品側流路５０の流路幅を検出することができる。したがって、遠心圧縮機１０の稼働率を向上させることができる。
　さらに、固形物ＳＢの除去処理中、流路幅が上限閾値以上となった場合に、固形物ＳＢの除去を終えるようにしたので、洗浄液の使用量を抑え、固形物ＳＢの除去処理を効率よく行うことができる。
〔その他の実施形態〕
　なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、設計変更可能である。
　例えば、センサ６０の設置位置は、ディフューザ部５１に限るものではない。例えば、図６に示すように、リターンベンド部５２の径方向内側にセンサ６０を設けてもよい。このようにすると、リターンベンド部５２の外周側に堆積しやすい固形物ＳＢの付着量を、センサ６０で計測することができる。
　また、例えば、図７に示すように、センサ６０は、戻り流路部５３に設けてもよい。図７の例では、戻り流路部５３における中心軸Ｏの方向の吸込口２３側にセンサ６０が設けられているが、戻り流路部５３における中心軸Ｏの方向の排出口２４側にセンサ６０が設けられていてもよい。
　さらには、センサ６０は、回転軸３０に対して外周側に位置する静止部品側流路５０において、回転軸３０回りの周方向のいかなる位置に設けてもよい。また、周方向に間隔をあけて複数のセンサ６０を備えるようにしてもよい。即ち、静止部品であればいずれの位置にセンサ６０を設けてもよい。
　さらに、遠心圧縮機１０の構成も、上記実施形態では概略構成を説明したに過ぎず、適宜変更することが可能である。
　回転機械の流路に臨む位置に設けた非接触センサにより、流路の幅を計測することで、流路への固形物の付着・堆積状況を容易に確認して、メンテナンスの手間及びコストを抑えるとともに、圧縮率の稼働率を向上させることができる。
１０　遠心圧縮機（回転機械）
２０　ケーシング
２０ａ　一端部
２０ｂ　他端部
２１　内部空間
２２　リング部材
２３　吸込口
２４　排出口
２５，２６　支持孔
２７　ジャーナル軸受
２８　スラスト軸受
３０　回転軸
３０ａ　一端側
４０　インペラ
４１　ディスク部
４２　ブレード部
４３　カバー部
５０　静止部品側流路（流路）
５０ｆ　内周面
５１　ディフューザ部
５２　リターンベンド部
５３　戻り流路部
５５　インペラ側流路
５５ａ　端部
５５ｂ　端部
６０　センサ
７０　オイルインジェクション装置（インジェクション装置）
７１　ノズル
８０　計測装置本体
８０ａ　制御部
８０ｂ　判定部
Ｂ　計測光
Ｇ　プロセスガス(流体）
Ｏ　中心軸
ＳＢ　固形物

Claims (5)

  1. 　流体が流れる流路を有した回転機械の検査方法であって、
    　前記回転機械の静止部品において前記流路に臨む位置に設けた非接触センサにより、前記流路の幅を計測する工程と、
    　計測した前記流路の幅が予め定めた下限閾値未満であるか否かを判定する工程と、
    　を含む回転機械の検査方法。
  2. 　計測した前記流路の幅が予め定めた下限閾値未満であるときに、前記流路内に洗浄液を噴射して前記流路内に付着した固形物を除去する工程、をさらに含む請求項１に記載の回転機械の検査方法。
  3. 　前記固形物を除去する工程を行っている間に、前記非接触センサにより前記流路の幅を計測し、
    　計測した前記流路の幅が予め定めた上限閾値以上となった場合に、前記固形物を除去する工程を終了する、請求項２に記載の回転機械の検査方法。
  4. 　流体が流れる流路が形成されたケーシングと、
    　前記ケーシングの静止部品における前記流路に臨む位置に設けられ、前記流路の幅を計測する非接触センサと、
    を備える回転機械。
  5. 　前記流路内に付着した固形物を除去する洗浄液を噴射するノズルを備えたインジェクション装置と、
    　前記非接触センサで計測した前記流路の幅に応じて、前記インジェクション装置の動作を制御する制御部と、
    をさらに備える請求項４に記載の回転機械。
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