WO2016093330A1 - 廃液処理装置および廃液処理方法 - Google Patents

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浩安 佐藤
上田　哲也
隆典 木村
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    • C02F2301/02—Fluid flow conditions
    • C02F2301/028—Tortuous

Definitions

  • the present invention relates to a waste liquid treatment apparatus and a waste liquid treatment method.
  • a treatment liquid is used so as to contain an acid (such as sulfuric acid) and hydrogen peroxide in silicon wafer pretreatment and the like.
  • an acid such as sulfuric acid
  • hydrogen peroxide in silicon wafer pretreatment and the like.
  • this treatment solution is used repeatedly, accumulation of impurities such as silica and hydrogen peroxide are decomposed, and the acid concentration is diluted to lower the treatment function. Therefore, it is necessary to update the treatment solution intermittently. Therefore, a large amount of concentrated acid waste liquid containing residual hydrogen peroxide is generated. This amount of waste liquid is also related to industrial waste treatment laws and regulations.
  • the hydrogen peroxide remaining in the waste liquid is decomposed to a safe and reusable standard, and the concentrated acid (sulfuric acid) in the waste liquid can be recovered, reused and sold for value. Development becomes important. When hydrogen peroxide is decomposed and the remaining acid is neutralized and treated, the precipitate generated by the neutralization floats and separates, but the remaining hydrogen peroxide may make floating separation difficult.
  • a method of removing hydrogen peroxide after neutralizing a waste liquid containing sulfuric acid and hydrogen peroxide using an alkali agent such as sodium hydroxide, calcium hydroxide, and ammonia (2) As a method not using an alkali agent, a method of decomposing hydrogen peroxide while supplying hydrogen to a hydrogen peroxide decomposition catalyst (see Patent Document 1). (3) A method of decomposing hydrogen peroxide through a waste liquid whose temperature is increased to a carbonaceous substance (see Patent Document 2).
  • the liquid to be treated containing hydrogen peroxide is allowed to flow upwardly from the bottom side to the upper side through an activated carbon tower filled with granular activated carbon, and the liquid to be treated is brought into contact with the granular activated carbon to decompose hydrogen peroxide.
  • a method for increasing the cross-sectional area of the upper side of an activated carbon layer formed by granular activated carbon filled in an activated carbon tower as compared with the bottom side, which is an activated carbon treatment apparatus see Patent Document 3).
  • the concentration of the hydrogen peroxide solution to be treated is several hundred mg / L, and since the concentration of the hydrogen peroxide solution to be treated from the beginning is low, it is practical. It is not enough for the above ability.
  • the present invention provides a waste liquid treatment apparatus and a waste liquid treatment method that can easily and efficiently treat a waste liquid (water to be treated) containing hydrogen peroxide while solving the above problems.
  • a waste liquid treatment apparatus of the present invention is a waste liquid treatment apparatus for decomposing hydrogen peroxide in water to be treated containing at least hydrogen peroxide and treating the water to be treated.
  • the waste liquid treatment apparatus is provided in a housing and the housing. , An inlet for introducing the water to be treated into the casing, a discharge port provided in the casing for discharging the treated water obtained by treating the water to be treated, and provided in the casing And a flow path defining member provided with a catalyst capable of decomposing hydrogen peroxide on a surface thereof, the flow path defining member being bent at at least one position between the introduction port and the discharge port. And defining a flow path for the water to be treated.
  • the flow path defining member includes a first flow path defining member attached to a bottom surface and a first side surface of the housing, the bottom surface of the housing, and the A second flow path defining member attached to a second side surface opposite to the first side surface, wherein the first flow path defining member and the second flow path defining member are the inlet and the The flow paths are defined such that the water to be treated flows alternately while being folded at at least two different positions in the horizontal direction.
  • the flow path defining member is a first flow path defining member attached to the bottom surface of the casing, and a second provided apart from the bottom surface of the casing.
  • the first flow path defining member and the second flow path defining member are alternately arranged between the introduction port and the discharge port, and the water to be treated is
  • the flow path is defined so as to flow while folding at at least two different heights in the vertical direction.
  • the flow path defining member is provided with a hole through which the treated water can pass, and the treated water passing through the flow path defining member is turbulent.
  • the flow path that is pseudo-bent at at least one position is defined.
  • the flow path defining member is formed of at least one of a single plate, a punching metal, and an expanded metal.
  • the waste liquid treatment method of the present invention is a waste liquid treatment method for decomposing hydrogen peroxide contained in water to be treated and treating the water to be treated, wherein the surface is provided with a catalyst capable of decomposing hydrogen peroxide.
  • Water to be treated is introduced into a housing having a path demarcating member, and the water to be treated is caused to flow through a flow path defined by the flow path demarcating member and bent at at least one position. To process.
  • a waste liquid treatment apparatus and a waste liquid treatment method capable of simply and efficiently treating a waste liquid (water to be treated) containing hydrogen peroxide.
  • FIG. 1 is a system configuration diagram showing an outline of a waste liquid treatment system including a waste liquid treatment apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is an internal configuration diagram of an embodiment of the waste liquid treatment apparatus.
  • FIG. 3 is an internal configuration diagram of another embodiment of the waste liquid treatment apparatus.
  • FIG. 4 shows an example of a flow path defining member provided inside the waste liquid treatment apparatus, (a) is an example in which the flow path defining member is formed of punching metal, and (b) is an expanded view of the flow path defining member. It is an example formed of metal.
  • FIG. 5 is an internal configuration diagram of another embodiment of the waste liquid processing apparatus, (a) is an internal configuration diagram viewed from the side of the waste liquid processing apparatus, and (b) is a top view of the waste liquid processing apparatus.
  • FIG. 5 is an internal configuration diagram of another embodiment of the waste liquid processing apparatus, (a) is an internal configuration diagram viewed from the side of the waste liquid processing apparatus, and (b) is a top view of the waste liquid processing
  • FIG. 1 is a system configuration diagram showing an outline of a waste liquid treatment system including a waste liquid treatment apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • the waste liquid treatment system 100 is a system for treating a waste liquid mainly containing sulfuric acid (H 2 SO 4 ) and hydrogen peroxide (H 2 O 2 ) generated in an electronic component manufacturing factory or the like.
  • the waste liquid treatment system 100 includes a first storage tank 10 that temporarily stores treated water (waste liquid) sent from other systems in the factory, and treated water sent from the first storage tank 10.
  • a waste liquid processing apparatus 20 to be processed and a second storage tank 30 for temporarily storing treated water processed by the waste liquid processing apparatus 20 are provided.
  • the 1st storage tank 10 sends the to-be-processed water temporarily stored to the waste liquid processing apparatus 20 using the delivery pump which is not shown in figure, The structure in particular is not limited.
  • the waste liquid treatment apparatus 20 receives the water to be treated sent from the first storage tank 10 and decomposes the hydrogen peroxide in the water to be treated mainly by the action of a catalyst to produce treated water.
  • the waste liquid treatment apparatus 20 sends treated water mainly containing sulfuric acid to the second storage tank 30, and the second storage tank 30 temporarily stores the treated water and then sends it to other external systems.
  • the configuration of the second storage tank 30 is not particularly limited.
  • the waste liquid treatment apparatus 20 has a box-like appearance, and a plurality of flow path demarcating members that demarcate a casing 21, an inlet 22 of water to be treated, an outlet 23 of treated water, and a flow path of the water to be treated. 24.
  • the housing 21 has a rectangular parallelepiped shape made of a predetermined resin, but the shape, material, etc. are not particularly limited.
  • the introduction port 22 is formed on one side wall of the casing 21 and plays a role of introducing the water to be treated sent from the first storage tank 10, and its shape and location are not particularly limited.
  • a plurality of flow path demarcating members 24 that demarcate flow paths for water to be treated are provided inside the casing 21.
  • the partition wall 25 is provided outside the region where the flow path defining member 24 is provided so as to extend upward from the bottom surface 21a of the housing 21, and the height of the water to be treated, that is, the liquid It plays the role of making the position (height) of the surface L uniform. Since the water to be treated is treated in the region of the partition wall 25, the height H of the partition wall 25 is substantially equal to the position (height) of the liquid surface L where the water to be treated contacts the flow path defining member 24. .
  • some of the flow path defining members (first flow path defining members) 24a are provided on the bottom surface 21a of the housing 21 and are formed to extend upward from the bottom surface 21a.
  • the other flow path defining member (second flow path defining member) 24b is a bottom surface from an upper position inside the housing 21 by a member (not shown) (for example, a beam provided so as to cover both side surfaces of the housing 21). Although it is provided so as to extend downward toward 21 a, it does not reach the bottom surface 21 a, is provided apart from the bottom surface 21 a, and is processed between the tip of the flow path defining member 24 b and the bottom surface 21 a.
  • a slit S1 through which water can pass is formed.
  • a slit S2 is formed between the tip of the flow path defining member 24a and the liquid level L of the water to be treated.
  • the flow path defining member 24a and the flow path defining member 24b are alternately arranged between the introduction port 22 and the treated water discharge port 23.
  • the flow path defining member 24 is formed in the shape of a single plate made of a base material made of a predetermined metal.
  • the material of the base material is not particularly limited, but preferably, Zr, Nb, Ta or the like that is corrosion resistant to sulfuric acid is used. When using Ti, it is desirable to coat other metals.
  • a catalyst for decomposing hydrogen peroxide is applied to the surface of the base material of the flow path defining member 24.
  • the type of the catalyst is not particularly limited, but a Pt alloy is used as an example, and is applied to the substrate in the form of plating. Accordingly, the interval W1 between the flow path defining members 24 shown in FIG. 2 is equal to the interval between the catalysts. Further, the width of the slit S1 between the front end of the flow path defining member (second flow path defining member) 24b and the bottom surface 21a is defined as the flow path width W2.
  • casing 21 from the inlet 22 gets over the partition wall 25a installed adjacent to the inlet 22 along the flow shown by arrow A, and shows with a broken line arrow. It flows along the flow path P.
  • the flow path P is defined in a zigzag shape so as to be folded at two different heights H1 and H2 in the slits S1 and S2, that is, in the vertical direction inside the casing 21, A predetermined amount of contact area is secured as the catalyst contact area of the flow path defining member 24.
  • Hydrogen peroxide in the water to be treated which is in contact with the catalyst of the flow path defining member 24 is decomposed into water and oxygen according to the reaction formula of 2H 2 O 2 ⁇ 2H 2 O + O 2 . Then, the generated oxygen (O 2 ) is discharged from the ceiling of the housing 21.
  • the ceiling plate of the casing 21 is omitted, but a ceiling plate may be provided as shown in FIG.
  • the treated water obtained by treating the water to be treated by the above-described process crosses the partition wall 25b provided adjacent to the discharge port 23 along the flow indicated by the arrow B, and passes from the discharge port 23 to the outside of the casing 21. And is sent to the second storage tank 30.
  • FIG. 3 shows another embodiment of the waste liquid treatment apparatus 20.
  • all the flow path defining members 24 are provided on the bottom surface 21 a of the housing 21.
  • the flow path defining member 24 is formed with a hole through which the water to be treated can pass, and the water to be treated that has passed over the partition wall 25a passes through the hole and causes a turbulent flow in the lateral direction (horizontal direction).
  • the liquid flows along the arrow C to the partition wall 25b while being stirred. That is, in this embodiment, since the water to be treated that passes through the hole of the flow path defining member 24 causes turbulent flow, the flow path that is bent in a pseudo manner at at least one position in the vertical direction inside the housing 21 is defined. Is done.
  • the arrow C includes the flow from the inlet 22 to the outlet 23 of the water to be treated, as well as the flow of a pseudo-bending due to the action of such a turbulent flow (the bending generated by the water to be treated itself).
  • FIG. 4 shows an example of the flow path defining member 24 that can be used in the waste liquid treatment apparatus 20 of FIG. 3, and FIG. 4A shows an example in which the flow path defining member 24 is formed of punching metal. A plurality of holes 24A are formed in the demarcating member 24, and water to be treated can pass through the holes 24A.
  • FIG. 4B shows an example in which the flow path defining member 24 is formed of an expanded metal. A large number of meshes 24B are formed on the flow path defining member 24, and the water to be treated can pass through the mesh 24B.
  • FIG. 5 shows another embodiment of the waste liquid treatment apparatus 20.
  • FIG. 5A shows an internal configuration diagram viewed from the side of the waste liquid treatment apparatus 20
  • FIG. 5B shows an internal configuration diagram viewed from above the waste liquid treatment apparatus 20.
  • all the flow path defining members 24 are provided on the bottom surface 21 a of the housing 21.
  • a part of the flow path defining members (first flow path defining members) 24c is also attached to one side surface (first side surface) 21b of the casing 21, and the other flow path defining members ( The second flow path defining member) 24d is also attached to the other side surface (second side surface) 21c facing the one side surface 21b.
  • a slit S3 through which water to be treated can pass is formed between the tip of the flow path defining member 24c and the other side surface 21c, and water to be treated is disposed between the front end of the flow path defining member 24d and the one side surface 21b.
  • a slit S4 through which can pass is formed.
  • the flow path defining member 24c and the flow path defining member 24d are alternately arranged between the introduction port 22 and the treated water discharge port 23.
  • the interval W1 of the flow path defining member 24 is equal to the interval between the catalyst. Further, the widths of the slit S3 and the slit S4 are defined as the channel width W2.
  • casing 21 from the inlet 22 is the partition wall 25a installed adjacent to the inlet 22 along the flow shown by the arrow A shown to Fig.5 (a). And flows along the flow path P indicated by the broken-line arrow shown in FIG.
  • the flow path P is defined in a zigzag shape so as to be folded back at slits S3 and S4, that is, at two different positions P1 and P2 in the horizontal direction inside the casing 21, A predetermined amount of contact area is secured as the catalyst contact area of the path defining member 24.
  • the treated water obtained by processing the to-be-treated water gets over the partition wall 25b provided adjacent to the discharge port 23 along the flow shown by the arrow B shown in FIG. It is discharged outside the housing 21 and sent to the second storage tank 30.
  • the flow path defining member having a catalyst capable of decomposing hydrogen peroxide on the surface is provided inside the casing.
  • the flow path defining member defines a flow path that is bent at at least one position in various modes, and the water to be treated flows through the flow path. Since the flow path is bent, the length of the predetermined amount of the flow path is secured inside the housing, and the contact area between the predetermined amount of water to be treated and the catalyst is secured.
  • the flow path that is bent at at least one position is defined by a physically bent space between two flow path defining members.
  • the flow path that is bent at at least one position is defined by a flow that is bent in a pseudo manner by the turbulent action of the water to be treated that passes through the hole of the flow path defining member.
  • the treated water to be treated had a sulfuric acid concentration of 73 mass% and a hydrogen peroxide concentration of 1.8 mass% (18000 mg / L).
  • the waste liquid treatment apparatus 20 of FIG. 2 the catalyst surface area in contact with the water to be treated, 0 (untreated in), 500 cm 2, 1000 cm 2, 1500 cm 2, 2000 cm 2, 2500 cm 2 and change, the water to be treated
  • the residual concentration of hydrogen peroxide (mg / L) was examined.
  • the flow rate is 32 mL / min (first flow condition) at a surface speed of 0.64 mL / cm 2 ⁇ min
  • the flow rate is 16 mL / min (second flow condition) at a surface speed of 0.32 mL / cm 2 ⁇ min.
  • the residual concentration of hydrogen peroxide in the water to be treated was examined under three flow conditions.
  • the distance between the catalyst, that is, the distance W1 between the flow path defining members 24 was set to 5 mm
  • the flow path width W2 was set to 10 mm. The results are shown below.
  • the waste liquid treatment apparatus of the present invention allows the treatment liquid to be treated with a very high initial hydrogen peroxide concentration of 18000 mg / L only by passing the treatment water through the apparatus once. It can be reduced to a hydrogen peroxide concentration level of several hundred mg / L.
  • a flow path defining member having a catalyst provided on the surface is provided inside the housing, and the flow path defining member is at least one between the inlet and the outlet. Define a flow path that bends in position.
  • a contact area between a predetermined amount of water to be treated and the catalyst is secured, and the liquid to be treated can be efficiently treated (decomposition of hydrogen peroxide).
  • a flow path that is folded back inside the housing is employed, so that the apparatus can be miniaturized and the apparatus is extremely easy to handle. For example, it is possible to check the catalyst and decomposition gas by accessing the inside of the housing from the upper portion of the housing, and maintenance is facilitated.
  • the water to be treated can be treated without adding extra chemicals, it becomes easy to effectively use it as a high-concentration sulfuric acid after the treatment. Moreover, since it is not necessary to input extra external energy such as heating, processing can be performed at low cost.
  • the water to be treated can be treated at room temperature and can be treated in a short time.
  • the catalyst can be easily replaced by changing, adding, or deleting the flow path defining member, it is possible to respond flexibly to changes in the concentration of treated water and the residual hydrogen peroxide concentration after treatment. Is possible.
  • the plate-like flow path defining member 24 is used as the flow path defining member for defining the flow path of the water to be treated.
  • the shape is not limited.
  • the catalyst is applied to the surface of the base material constituting the flow path defining member, but it is sufficient that a catalyst capable of decomposing hydrogen peroxide is provided on the surface of the flow path defining member.
  • the flow path P is defined so as to be folded back at at least two heights different in the vertical direction or at least two positions different in the horizontal direction.
  • the height and the number of positions to be folded are not particularly limited.
  • the height H is different between the partition walls 25 (25a, 25b) in FIG. 2 and the partition walls 25 (25a, 25b) in FIGS.
  • the height of the liquid level L of the liquid to be processed can be changed.
  • the height H of the partition wall 25 can be arbitrarily changed according to the specifications required for the apparatus.
  • the waste liquid in which the water to be treated contains sulfuric acid and hydrogen peroxide is shown.
  • the waste liquid treatment apparatus and the waste liquid treatment method of the present invention contain at least hydrogen peroxide and other substances other than sulfuric acid. It can also be applied to waste liquids.

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Abstract

　廃液処理装置（２０）は少なくとも過酸化水素を含有する被処理水の過酸化水素を分解し、処理する。廃液処理装置（２０）は、筐体（２１）と、筐体（２１）に設けられ、被処理水を筐体（２１）の内部に導入する導入口（２２）と、筐体（２１）に設けられ、被処理水を処理して得られる処理水を排出する排出口（２３）と、筐体（２１）の内部に設けられ、表面に触媒が設けられた流路画定部材（２４）と、を備え、流路画定部材（２４）は、導入口（２２）と排出口（２３）との間で、少なくとも一つの位置で折れ曲がる、被処理水用の流路（Ｐ）を画定する。

Description

廃液処理装置および廃液処理方法
　本発明は、廃液処理装置および廃液処理方法に関する。
　半導体の製造工程では、シリコンウエハ前処理などにおいて、酸（硫酸など）と過酸化水素を含むよう処理液を使用している。この処理液を繰り返し使用していくと、シリカなどの不純物の蓄積や過酸化水素が分解されて、酸濃度が希釈され処理機能が低下するため断続的に処理液を更新する必要がある。したがって、残存過酸化水素を含む濃厚な酸の廃液が多量に発生する。この廃液量は産業廃棄物処理法規制に関わることにもなる。
　このため、該廃液に残っている過酸化水素を安全かつ再利用の基準まで分解処理し、該廃液中の濃厚な酸（硫酸）を回収、再利用や有価売却することを可能とする技術の開発が重要になってくる。過酸化水素を分解した後、残存した酸は中和して処理すると中和により発生した沈殿物が浮上し分離処理するけれども、残存過酸化水素により浮上分離が困難になる場合がある。
　過酸化水素を分解処理する方法としては、例えば下記の技術が知られている。
（１）水酸化ナトリウム、水酸化カルシウム、アンモニアなどのアルカリ剤を使用して、硫酸および過酸化水素を含む廃液を中和した後、過酸化水素を除去する方法。
（２）アルカリ剤を使用しない方法として、過酸化水素の分解触媒へ水素を供給しながら過酸化水素を分解処理する方法（特許文献１参照）。
（３）炭素質物質へ温度を上げた廃液を通じて過酸化水素を分解処理する方法（特許文献２参照）。
（４）過酸化水素を含む被処理液を粒状活性炭を充填した活性炭塔に底部側から上部側へ向けて上向流で流し、被処理液を粒状活性炭と接触させて過酸化水素を分解する活性炭処理装置であって、活性炭塔内部に充填された粒状活性炭によって形成される活性炭層の上部側の断面積を底部側に比べ大きくする方法（特許文献３参照）。
日本国特開昭６１－１８６２０８号公報 日本国特開平５－３４５１８８号公報 日本国特開平１０－２１１４８７号公報
　（１）の方法では、使用するアルカリ剤に対応する大量の硫酸塩、たとえば硫酸ナトリウム、硫酸カルシウム、硫酸アンモニウムなどが生成する問題があり、これらの塩を産業廃棄物として処理する必要が生じている。また、高濃度の硫酸をアルカリで中和するために、大量の中和熱が発生し、除熱などが必要となるとともに、温度上昇に伴う硫酸ミストが発生する場合もあり、その対策が必要となる。
　（２）の方法では、非常に可燃性の高い水素ガスを使用する必要があり、また触媒の活性低下の問題もある。
　（３）の方法では、過酸化水素を含む強酸性の溶液を加熱処理することに伴う危険性があり、さらに加熱のためのエネルギーも必要となる問題がある。
　（４）の方法では、被処理水の過酸化水素水の濃度の目安を数百ｍｇ／Ｌと想定しており、当初から想定した被処理水の過酸化水素水の濃度が低いため、実用上の能力としては不十分である。
　また上記各特許文献に開示された技術以外においても、過酸化水素を分解する際に亜硫酸等の薬品、光照射、蒸気、高圧等を適用する従来技術が数多く知られているが、このような手段では、過酸化水素の分解コストが著しく上昇してしまう。
　したがって本発明は、上記のような問題を解決しつつ、簡易かつ効率的に過酸化水素を含有する廃液（被処理水）を処理することの可能な廃液処理装置および廃液処理方法を提供する。
　本発明者らは鋭意研究を重ねた結果、本発明を完成するに至った。
　本発明の廃液処理装置は、少なくとも過酸化水素を含有する被処理水の過酸化水素を分解し、当該被処理水を処理する廃液処理装置であって、筐体と、前記筐体に設けられ、被処理水を当該筐体の内部に導入する導入口と、前記筐体に設けられ、前記被処理水を処理して得られる処理水を排出する排出口と、前記筐体の内部に設けられ、表面に過酸化水素を分解可能な触媒が設けられた流路画定部材と、を備え、前記流路画定部材は、前記導入口と前記排出口との間で、少なくとも一つの位置で折れ曲がる、前記被処理水用の流路を画定する。
　本発明の廃液処理装置の一態様として、例えば、前記流路画定部材が、前記筐体の底面および第１の側面に取り付けられる第１の流路画定部材と、前記筐体の前記底面および前記第１の側面に対向する第２の側面に取り付けられる第２の流路画定部材と、を含み、前記第１の流路画定部材と前記第２の流路画定部材が、前記導入口と前記排出口との間で交互に配置され、前記被処理水が水平方向に異なる少なくとも二つの位置で折り返しながら流れるように、前記流路が画定される。
　本発明の廃液処理装置の一態様として、例えば、前記流路画定部材が、前記筐体の底面に取り付けられる第１の流路画定部材と、前記筐体の前記底面から離れて設けられる第２の流路画定部材と、を含み、前記第１の流路画定部材と前記第２の流路画定部材が、前記導入口と前記排出口との間で交互に配置され、前記被処理水が垂直方向に異なる少なくとも二つの高さで折り返しながら流れるように、前記流路が画定される。
　本発明の廃液処理装置の一態様として、例えば、前記流路画定部材には前記被処理水が通過可能な穴が設けられており、当該流路画定部材を通過する前記被処理水が乱流を起こすことにより、少なくとも一つの位置で疑似的に折れ曲がる前記流路が画定される。
　本発明の廃液処理装置の一態様として、例えば、前記流路画定部材が、一枚の板、パンチングメタル、エキスパンドメタルの少なくともいずれかにより形成される。
　本発明の廃液処理方法は、被処理水中に含まれる過酸化水素を分解し、当該被処理水を処理する廃液処理方法であって、表面に過酸化水素を分解可能な触媒が設けられた流路画定部材を有する筐体の内部に被処理水を導入し、前記流路画定部材によって画定される、少なくとも一つの位置で折れ曲がる流路に前記被処理水を流すことにより、前記被処理水を処理する。
　本発明によれば、簡易かつ効率的に過酸化水素を含有する廃液（被処理水）を処理することの可能な廃液処理装置および廃液処理方法が提供される。
図１は、本発明の一実施形態の廃液処理装置を含む廃液処理システムの概要を示すシステム構成図である。 図２は、廃液処理装置の一実施形態の内部構成図である。 図３は、廃液処理装置の他の実施形態の内部構成図である。 図４は、廃液処理装置の内部に設けられる流路画定部材の例を示し、（ａ）は流路画定部材がパンチングメタルにより形成された例であり、（ｂ）は流路画定部材がエキスパンドメタルにより形成された例である。 図５は、廃液処理装置の他の実施形態の内部構成図を示し、（ａ）は、廃液処理装置の側面から見た内部構成図であり、（ｂ）は、廃液処理装置の上方から見た内部構成図である。
　以下、本発明の実施形態について、図面を用いて詳細に説明する。
　図１は、本発明の一実施形態の廃液処理装置を含む廃液処理システムの概要を示すシステム構成図である。廃液処理システム１００は、電子部品製造工場などにおいて発生した、主に硫酸（Ｈ２ＳＯ４）と過酸化水素（Ｈ２Ｏ２）を含む廃液を処理するシステムである。廃液処理システム１００は、工場の他のシステムから送られてきた被処理水（廃液）を一時的に貯留する第１の貯留槽１０と、第１の貯留槽１０から送出された被処理水を処理する廃液処理装置２０と、廃液処理装置２０により処理された処理済みの処理水を一時的に貯留する第２の貯留槽３０とを備える。
　第１の貯留槽１０は、一時的に貯留した被処理水を図示せぬ送出ポンプを用いて廃液処理装置２０に送るものであり、特にその構成は限定されない。廃液処理装置２０は、第１の貯留槽１０から送出された被処理水を受けて、主として触媒の作用により被処理水中の過酸化水素を分解処理し、処理水にする。廃液処理装置２０は、主に硫酸を含む処理水を第２の貯留槽３０に送出し、第２の貯留槽３０は処理水を一時的に貯留した後、外部の他のシステムに送出する。第２の貯留槽３０の構成も特に限定はされない。
　次に、廃液処理装置２０の一実施形態を図２を用いて説明する。廃液処理装置２０は、箱状の外観を呈し、筐体２１と、被処理水の導入口２２と、処理水の排出口２３と、被処理水の流路を画定する複数の流路画定部材２４とを含む。
　筐体２１は所定の樹脂などで構成された直方体形状を有しているが、特にその形状、材料などは限定されない。導入口２２は筐体２１の一つの側壁に形成され、第１の貯留槽１０から送られた被処理水を導入する役割を果たし、その形状や配置場所などは特に限定されない。
　筐体２１の内部には、被処理水用の流路を画定する複数の流路画定部材２４が設けられている。本実施形態においては、流路画定部材２４が設けられている領域の外側に仕切り壁２５が筐体２１の底面２１ａから上方に延びるように設けられており、被処理水の高さ、すなわち液面Ｌの位置（高さ）を均一にする役割を果たす。仕切り壁２５の領域内で被処理水が処理されるため、仕切り壁２５の高さＨは、被処理水が流路画定部材２４に接触する液面Ｌの位置（高さ）に略等しくなる。
　複数の流路画定部材２４のうち、一部の流路画定部材（第１の流路画定部材）２４ａは筐体２１の底面２１ａに設けられ、底面２１ａから上方に延びるように形成されている。その他の流路画定部材（第２の流路画定部材）２４ｂは図示せぬ部材（例えば筐体２１の両側面にわたるように設けられた梁など）によって、筐体２１の内部の上方位置から底面２１ａに向かって下方に延びるように設けられているが、底面２１ａには達しておらず、底面２１ａから離れて設けられており、流路画定部材２４ｂの先端と底面２１ａとの間に被処理水が通過可能なスリットＳ１が形成される。一方、流路画定部材２４ａの先端と被処理水の液面Ｌとの間にはスリットＳ２が形成される。そして、流路画定部材２４ａと流路画定部材２４ｂは、導入口２２と処理水の排出口２３との間で交互に配置される。
　本実施形態においては、流路画定部材２４は所定の金属よりなる基材から構成された一枚の板の形状に構成されている。基材の材質は特に限定はされないが、好ましくは、硫酸に耐食性のあるＺｒ、Ｎｂ、Ｔａ等が使用される。Ｔｉを使用する場合は、他の金属を被覆することが望ましい。
　さらに流路画定部材２４の基材の表面には、過酸化水素を分解するための触媒が塗布されている。触媒の種類も特に限定はされないが、一例としてＰｔ合金が使用され、基材にめっきの形式で塗布される。よって、図２に示す流路画定部材２４の間隔Ｗ１は触媒と触媒の間隔に等しくなる。また、流路画定部材（第２の流路画定部材）２４ｂの先端と底面２１ａとの間のスリットＳ１の幅が、流路幅Ｗ２として規定される。
　本実施形態では、導入口２２から筐体２１の内部に流れ込んだ被処理水が、矢印Ａで示す流れに沿って導入口２２に隣接して設置された仕切り壁２５ａを乗り越え、破線矢印で示す流路Ｐに沿って流れる。流路Ｐは、スリットＳ１およびＳ２において、すなわち筐体２１の内部の垂直方向に異なる二つの高さＨ１、Ｈ２で折り返すようにジグザクの形状に画定されており、流路Ｐにおける被処理水と流路画定部材２４の触媒の接触面積として、所定量の接触面積が確保される。
　流路画定部材２４の触媒に接した被処理水中の過酸化水素は、２Ｈ２Ｏ２→２Ｈ２Ｏ＋Ｏ２の反応式に従い、水と酸素に分解される。そして、生成された酸素（Ｏ２）は、筐体２１の天井から排出される。図２では筐体２１の天井板は省略されているが、図１に示すように天井板を設けてもよい。
　上述のプロセスにより被処理水を処理して得られる処理水は、矢印Ｂで示す流れに沿って排出口２３に隣接して設けられた仕切り壁２５ｂを乗り越え、排出口２３から筐体２１の外部へ排出され、第２の貯留槽３０へ送られる。
　図３は、廃液処理装置２０の他の実施形態を示す。本実施形態では総ての流路画定部材２４が筐体２１の底面２１ａに設けられている。さらに流路画定部材２４には被処理水が通過可能な穴などが形成されており、仕切り壁２５ａを乗り越えた被処理水は当該穴を通過して横方向（水平方向）に乱流を起こし、液が撹拌されながら矢印Ｃに沿って仕切り壁２５ｂまで流れる。すなわち、本実施形態では、流路画定部材２４の穴を通過する被処理水が乱流を起こすため、筐体２１の内部の垂直方向に少なくとも一つの位置で疑似的に折れ曲がる流路が、画定される。矢印Ｃは、被処理水の導入口２２から排出口２３に向かう流れに加え、このような乱流の作用による疑似的な折れ曲がり（被処理水自身が作り出す折れ曲がり）の流れも含むものである。
　図４は、図３の廃液処理装置２０で使用され得る流路画定部材２４の例を示し、図４（ａ）は、流路画定部材２４がパンチングメタルにより形成された例であり、流路画定部材２４に複数の穴２４Ａが形成され、被処理水が穴２４Ａを通過することができる。図４（ｂ）は、流路画定部材２４がエキスパンドメタルにより形成された例であり、流路画定部材２４に多数の網目２４Ｂが形成され、被処理水が網目２４Ｂを通過することができる。
　図５は、廃液処理装置２０の他の実施形態を示す。図５（ａ）は、廃液処理装置２０の側面から見た内部構成図を示し、図５（ｂ）は、廃液処理装置２０の上方から見た内部構成図を示す。本実施形態では総ての流路画定部材２４が筐体２１の底面２１ａに設けられている。さらに、一部の流路画定部材（第１の流路画定部材）２４ｃが、筐体２１の一の側面（第１の側面）２１ｂにも取り付けられているとともに、他の流路画定部材（第２の流路画定部材）２４ｄが、一の側面２１ｂに対向する他の側面（第２の側面）２１ｃにも取り付けられている。流路画定部材２４ｃの先端と他の側面２１ｃとの間に被処理水が通過可能なスリットＳ３が形成されるとともに、流路画定部材２４ｄの先端と一の側面２１ｂとの間に被処理水が通過可能なスリットＳ４が形成される。そして、流路画定部材２４ｃと流路画定部材２４ｄは、導入口２２と処理水の排出口２３との間で交互に配置される。
　本実施形態でも、図２の実施形態と同様、流路画定部材２４の間隔Ｗ１は触媒と触媒の間隔に等しくなる。また、スリットＳ３およびスリットＳ４の幅が、流路幅Ｗ２として規定される。
　本実施形態では、導入口２２から筐体２１の内部に流れ込んだ被処理水が、図５（ａ）に示す矢印Ａで示す流れに沿って導入口２２に隣接して設置された仕切り壁２５ａを乗り越え、図５（ｂ）に示す破線矢印で示す流路Ｐに沿って流れる。流路Ｐは、スリットＳ３およびＳ４において、すなわち筐体２１の内部の水平方向に異なる二つの位置Ｐ１、Ｐ２で折り返すようにジグザクの形状に画定されており、流路Ｐにおける被処理水と流路画定部材２４の触媒の接触面積として、所定量の接触面積が確保される。そして、被処理水を処理して得られる処理水は、図５（ａ）に示す矢印Ｂで示す流れに沿って排出口２３に隣接して設けられた仕切り壁２５ｂを乗り越え、排出口２３から筐体２１の外部へ排出され、第２の貯留槽３０へ送られる。
　上述したように、本発明の廃液処理装置では、表面に過酸化水素を分解可能な触媒が設けられた流路画定部材が筐体の内部に設けられる。ここで、流路画定部材は、種々の態様にて少なくとも一つの位置で折れ曲がる流路を画定し、被処理水がこの流路を流れる。流路が折れ曲がっているため、筐体の内部で所定量の流路の長さが確保され、所定量の被処理水と触媒との接触面積が確保される。図２や図５の例では、少なくとも一つの位置で折れ曲がる流路は、二つの流路画定部材の間の物理的に折れ曲がった空間により画定される。図３の例では、少なくとも一つの位置で折れ曲がる流路は、流路画定部材の穴を通過する被処理水自身の乱流作用により疑似的に折れ曲がった流れにより画定される。
　次に上述した廃液処理装置２０を用いて被処理水（廃液）を処理した実験結果について説明する。処理対象の被処理水における硫酸濃度は７３質量％、過酸化水素濃度は１．８質量％（１８０００ｍｇ／Ｌ）であった。
　まず、図２の廃液処理装置２０について、被処理水と接触する触媒面積を、０（未処理の状態）、５００ｃｍ２、１０００ｃｍ２、１５００ｃｍ２、２０００ｃｍ２、２５００ｃｍ２と変更し、被処理水中の過酸化水素の残存濃度（ｍｇ／Ｌ）を調べた。ここで、面速０．６４ｍＬ／ｃｍ２・ｍｉｎで流量が３２ｍＬ／ｍｉｎ（第１流量条件）、面速０．３２ｍＬ／ｃｍ２・ｍｉｎで流量が１６ｍＬ／ｍｉｎ（第２流量条件）の二つの流量条件の下で、被処理水の中の過酸化水素の残存濃度を調べた。尚、触媒と触媒の間隔、すなわち流路画定部材２４の間隔Ｗ１は５ｍｍ、流路幅Ｗ２は１０ｍｍに設定された。結果を以下に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　次に、図５の廃液処理装置２０について、上記と同じ条件で実験を行い、被処理水の中の過酸化水素の残存濃度を調べた。結果を以下に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
　上記の実験結果からわかるように、本発明の廃液処理装置は、被処理水を装置の中に１回通すのみで、当初の過酸化水素濃度が１８０００ｍｇ／Ｌという非常に高い被処理液を、数百ｍｇ／Ｌの過酸化水素濃度レベルまで下げることが可能である。
　本発明の廃液処理装置および廃液処理方法では、筐体の内部に表面に触媒が設けられた流路画定部材を設け、流路画定部材が、導入口と排出口との間で、少なくとも一つの位置で折れ曲がる流路を画定する。このような簡易な構造により、所定量の被処理水と触媒の接触面積が確保され、効率的に被処理液を処理（過酸化水素の分解）することができる。装置の構造が簡易であるだけでなく、筐体内で折り返す流路を採用しているため、装置を小型にすることも可能であり、装置の取扱いが極めて容易である。例えば、筐体の上部より筐体の内部にアクセスして触媒や分解ガスの点検ができ、メンテナンスが容易となる。
　また、本発明の廃液処理装置によれば、被処理水を、余計な薬品を投入せず処理が可能なため、処理後に高濃度の硫酸として有効利用がしやすくなる。また、加熱など外部の余計なエネルギーを投入する必要もないため、低コストで処理が可能となる。被処理水を常温のままで処理することができ、短時間で処理することが可能となる。
　また、流路画定部材の変更、追加、削除などにより触媒の交換も容易なため、被処理水の濃度や処理後の残存過酸化水素濃度の基準の変更に対しても、柔軟に対応することが可能である。
　また、高機能・高耐食性の触媒を利用することにより、半永久的な使用が可能となり、活性炭素のように劣化しやすい素材に比べ、連続処理が容易に可能となる。
　上述した各実施形態においては、被処理水の流路を画定する流路画定部材として、板状の流路画定部材２４を使用したが、流路を画定する流路画定部材であれば特にその形状などは限定されない。また、流路画定部材を構成する基材の表面に触媒が塗布されているが、流路画定部材の表面に過酸化水素を分解可能な触媒が設けられていればよく、触媒の種類、触媒を基材に設ける方法などは特に限定はされない。
　図２から図５で示した廃液処理装置２０では、流路Ｐは垂直方向に異なる少なくとも二つの高さ、または、水平方向に異なる少なくとも二つの位置で折り返すように画定されている。しかしながら、折り返す高さ、位置の数は特には限定されない。
　また、図２の仕切り壁２５（２５ａ、２５ｂ）と、図３、図５の仕切り壁２５（２５ａ、２５ｂ）では高さＨが異なっている。仕切り壁２５の高さを変えることにより、被処理液の液面Ｌの高さを変えることができる。装置に要求される仕様に応じて、仕切り壁２５の高さＨを任意に変えることができる。
　上記の実施形態では、被処理水が硫酸および過酸化水素を含有する廃液の例を示したが、本発明の廃液処理装置および廃液処理方法は、硫酸以外の他物質と少なくとも過酸化水素を含有する廃液に対しても適用出来る。
　尚、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、適宜、変形、改良、等が可能である。その他、上述した実施形態における各構成要素の材質、形状、寸法、数値、形態、数、配置箇所、等は本発明を達成できるものであれば任意であり、限定されない。
　本出願は、２０１４年１２月１１日出願の日本特許出願、特願２０１４－２５１３１６に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。
１０　　第１の貯留槽
２０　　廃液処理装置
２１　　筐体
２２　　導入口
２３　　排出口
２４　　流路画定部材
２５　　仕切り壁
３０　　第２の貯留槽
１００　廃液処理システム

Claims (6)

  1. 　少なくとも過酸化水素を含有する被処理水の過酸化水素を分解し、当該被処理水を処理する廃液処理装置であって、
    　筐体と、
    　前記筐体に設けられ、被処理水を当該筐体の内部に導入する導入口と、
    　前記筐体に設けられ、前記被処理水を処理して得られる処理水を排出する排出口と、
    　前記筐体の内部に設けられ、表面に過酸化水素を分解可能な触媒が設けられた流路画定部材と、を備え、
    　前記流路画定部材は、前記導入口と前記排出口との間で、少なくとも一つの位置で折れ曲がる、前記被処理水用の流路を画定する、
    　廃液処理装置。
  2. 　請求項１に記載の廃液処理装置であって、
    　前記流路画定部材が、
    　前記筐体の底面および第１の側面に取り付けられる第１の流路画定部材と、
    　前記筐体の前記底面および前記第１の側面に対向する第２の側面に取り付けられる第２の流路画定部材と、を含み、
    　前記第１の流路画定部材と前記第２の流路画定部材が、前記導入口と前記排出口との間で交互に配置され、前記被処理水が水平方向に異なる少なくとも二つの位置で折り返しながら流れるように、前記流路が画定される、廃液処理装置。
  3. 　請求項１に記載の廃液処理装置であって、
    　前記流路画定部材が、
    　前記筐体の底面に取り付けられる第１の流路画定部材と、
    　前記筐体の前記底面から離れて設けられる第２の流路画定部材と、を含み、
    　前記第１の流路画定部材と前記第２の流路画定部材が、前記導入口と前記排出口との間で交互に配置され、前記被処理水が垂直方向に異なる少なくとも二つの高さで折り返しながら流れるように、前記流路が画定される、廃液処理装置。
  4. 　請求項１に記載の廃液処理装置であって、
    　前記流路画定部材には前記被処理水が通過可能な穴が設けられており、当該流路画定部材を通過する前記被処理水が乱流を起こすことにより、少なくとも一つの位置で疑似的に折れ曲がる前記流路が画定される、廃液処理装置。
  5. 　請求項１から４のいずれか１項に記載の廃液処理装置であって、
    　前記流路画定部材が、一枚の板、パンチングメタル、エキスパンドメタルの少なくともいずれかにより形成される、廃液処理装置。
  6. 　被処理水中に含まれる過酸化水素を分解し、当該被処理水を処理する廃液処理方法であって、
    　表面に過酸化水素を分解可能な触媒が設けられた流路画定部材を有する筐体の内部に被処理水を導入し、
    　前記流路画定部材によって画定される、少なくとも一つの位置で折れ曲がる流路に前記被処理水を流すことにより、前記被処理水を処理する、廃液処理方法。
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