WO2016084902A1 - 管理情報を設けた製品 - Google Patents

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WO2016084902A1
WO2016084902A1 PCT/JP2015/083249 JP2015083249W WO2016084902A1 WO 2016084902 A1 WO2016084902 A1 WO 2016084902A1 JP 2015083249 W JP2015083249 W JP 2015083249W WO 2016084902 A1 WO2016084902 A1 WO 2016084902A1
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征秀 加藤
康浩 梅津
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テクノクオーツ株式会社
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    • G06K7/1408Methods for optical code recognition the method being specifically adapted for the type of code
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    • Y02P90/02Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]

Definitions

  • the present invention relates to a product provided with management information, and in particular, a product provided with management information designed to ensure that the management information can be visually identified without loss of the displayed management information even when used under a severe environment. About.
  • traceability of the manufactured product was managed by reading the management information displayed on the surface of the product either manually or mechanically.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Laid-Open No. 2005-165659
  • This member information management method is a method of managing history information of the member by directly attaching information on the member to the member, and the two-dimensional code is directly marked on the member by laser marking.
  • management information is provided on the surface of the product or member.
  • the management information displayed on the product surface may be exfoliated or worn down and drowned. Then, once the displayed management information is peeled off (or drowned), the management information of the product can not be confirmed, and quality control in subsequent product use can not be performed.
  • the first problem is to provide a product provided with management information, which enables to
  • fine dust may affect the quality of the device. Therefore, it has been desired that the manufacturing apparatus used in the manufacturing process be formed of a member in which fine particles are not generated as much as possible.
  • control information was printed on the surface of the product, the printed film was peeled off, which was considered to be a source of contamination.
  • fine dust may be generated as a contaminant due to a processing crack (or processing damage) exposed on the surface. It was done.
  • management information is transmitted to the surface of the product in the surface (for example, various wall surfaces such as the top surface, the side surface, and the bottom surface) of the product. Provide the provided products.
  • the product is provided with management information for managing the product, and the management information is a part having a thickness in the product and is provided inside the thickness direction, Provided is a product provided with management information, characterized in that the product is visible through at least one surface in the thickness direction of the product.
  • the management information for managing the maintenance time of the product, etc. is inside the surface having a thickness like a wall (that is, inside in the thickness direction). Since the information is provided, the display of the management information is not peeled off or worn down and deteriorated. Thus, the product according to the present invention can maintain control information even when used in a harsh environment. Also, since the management information is provided inside the thickness direction of the wall surface etc., there is no risk of generating fine dust (particles), and even in the manufacturing process where such fine dust is likely to affect the quality of the product. It can be used. That is, the product according to the present invention can exhibit excellent effects in the component members (products) and the like of the manufacturing apparatus used in semiconductor device manufacture from these effects and effects.
  • the management information displayed inside the region such as the wall surface needs to be formed so as to be transmitted through any surface existing in the thickness direction so as to be visible. Therefore, at least one of the faces existing in the thickness direction needs to be formed to be transparent or translucent.
  • the entire portion can be formed of a transparent or translucent material.
  • the portion or the entire product can be formed of a transparent material such as glass, resin, or ceramic.
  • the transparent material may be any of those formed of natural materials and those formed by chemical synthesis.
  • quartz glass products are also used in semiconductor device manufacturing apparatuses. Even if this quartz glass product is formed using a transparent material, it may be partially processed into a low light-abrasive ground glass surface depending on the purpose of use of the product. Therefore, in the present invention, it is assumed that the product to which the management information is provided has a surface condition of a totally transparent finish and a partially rough (satin) finish of low light transmittance.
  • the portion provided with management information may be translucent or opaque, as long as at least one of the surfaces present in the thickness direction is transparent. . Therefore, on the condition that the management information can be visually recognized from any surface in the thickness direction, the "portion having a thickness" provided with the management information is partially subjected to polishing glass processing to reduce the light transmittance. While forming with a transparent raw material, you may form opaque by coating the raw material which does not permeate
  • the management information is provided inside the portion having a thickness in the product, so that it is only necessary to be able to reliably recognize and transmit the management information from any aspect.
  • the management information is formed by ablation processing with a laser beam described later, it is desirable that the surface opposite to the surface through which the management information is transmitted and recognized is other than white.
  • the management information is displayed in white, which is to make the management information easy to read.
  • the management information refers to identification information (for example, company name, logo, symbols, etc.) with other companies' products, model numbers, or standards, as well as management of products such as product maintenance time, date of manufacture and manufacturer. Points to the information to The management information can be displayed (provided) in various formats. Specifically, the manufacturer's name, the seller's name, the date of manufacture, the product code, etc. are displayed as text information such as letters and numbers, and they are displayed as one-dimensional barcodes such as JAN, CODE 39, NW-7, etc.
  • a QR code (registered trademark, the same as the following) that can accommodate more information, a data matrix code, a two-dimensional code such as PDF 417, or other information including symbols, figures, or mosaics including letters and numbers
  • the shape of the management information can be appropriately selected and used according to the material and the shape of the product to be an object.
  • the management information to be displayed is formed by a two-dimensional code such as a small size QR code, or the axial direction
  • the management information is provided so as to be transmitted to at least any surface in the thickness direction inside a portion having a thickness in the product.
  • Such management information can be formed, for example, by ablation processing in which the inside of a product is irradiated with a laser beam whose focus is set, and the inside of the product is sublimated and evaporated. Specifically, minute irregularities (cracks and the like) are formed inside by ablation (explosion) with laser light, so that the information is opaque so as to be management information and is formed so as to be visible.
  • the management information can be identified by the difference in light reflectance. Therefore, it is possible to make the portion displaying the information opaque and display it, or to make the margin opaque and display the portion displaying the information transparent. At this time, it is possible to provide both management information in which the portion displaying the information is opaque and management information in which the margin is opaque.
  • the management information is a coded mosaic
  • the said fine unevenness is the composition which arranged the dot, the composition which made the cross hatching cross, or the dot and the line
  • the configuration may be any combination of the above. In particular, by arranging the arranged dots with a line rather than a configuration in which the dots are simply arranged, it is possible to enhance the visibility by visual observation or a scanner.
  • a solid laser, a fiber laser, etc. are appropriately selected according to the processing object (processing diameter, processing depth, etc.) and processing conditions (wavelength, output, pulse width, oscillation mode, etc.) It can be selected and used. That is, in order to form minute asperities (cracks etc.) inside the product, the relationship between the energy density of the product surface and the internal focusing point becomes important. Specifically, the energy density of the product surface when irradiated with the laser light is set to be equal to or less than the destruction threshold, and the energy density at the site where the management information is displayed (the point where the laser light is focused) is the internal destruction threshold. It is necessary to set so that it becomes above.
  • the present invention it is desirable to use a YAG pulse laser capable of performing microfabrication while suppressing thermal effects.
  • At least one surface in the thickness direction of the region for providing the management information be formed transparent and smooth.
  • at least the laser beam incident side is transparent and smooth. The reason for this is to make it easy to condense the laser light on the inside of the transparent product when performing ablation processing by the laser light.
  • an optical reader reading
  • the processing method for forming any surface of the product transparently and smoothly and methods such as mechanical polishing and flame treatment can be used.
  • the management information when the management information is displayed, it is preferable to provide a distinguishing display for determining at least one of the front side, the back side, and the reverse of the management information. It is desirable that such a distinction display be provided together with the management information. Such distinguishable display can be provided to securely perform the acquisition operation when acquiring (reading) the displayed management information. That is, since the manufactured transparent product may be rotated or reversed in the manufacturing process or in use, it is unlikely that the management information always points in the same direction.
  • the correct position of the management information can be reliably recognized, and the management information can be correctly read from the front in the correct direction.
  • a symbol such as a straight line can be provided at the upper or lower part of the management information so that the upper or lower direction of the management information can be determined.
  • the bracket may be provided only on the upper left side.
  • characters for example, a company name
  • numbers that are asymmetric may be provided.
  • the condition is to provide the shape in such a manner as not to impede the information acquisition (reading) operation of the reading device.
  • the management information in the thickness direction of the transparent product in addition to the above-mentioned laser processing, it can be formed by lamination. For example, it is also possible to overlap and form two members which display (append) management information on at least one side so as to cover the display portion of the management information by joining or the like.
  • One member is a transparent plate whose surface is polished, and management information is formed on the surface by sandblasting or laser processing, and then the other member is polished using a transparent plate or the like, and both members are diffusion-bonded.
  • the product can be formed by bonding and integrating by fusion or the like.
  • the management information By visually recognizing or reading the management information formed inside the product as described above, product management such as maintenance can be performed based on the management information.
  • the management information When the management information is directly displayed by characters, it can be acquired by deciphering the characters, and when it is displayed as a coded symbol or a mosaic, a commercially available code reader, etc.
  • Information acquisition (reading) is performed using a reader. That is, the information acquisition (reading) includes reading of characters, reading of codes, and the like.
  • the operation for acquiring (reading) information may be performed by holding the reading device by hand or by placing it on a tabletop, but in the latter case, the surface pattern is monochrome. It is desirable to operate on the tabletop (base). This is because, if the table (base) is uneven or a plurality of patterns are formed, it becomes difficult for the optical reader to read management information of the transparent product under the influence of the table (base). It is because there is a fear.
  • management information is correctly displayed (appended) inside the site
  • the management information is provided inside the product by ablation processing using a laser beam, the management information can be reliably formed even if the product has a polished glass surface. That is, by reading management information provided inside the product, it is possible to acquire information such as the maintenance time, manufacturing date, and manufacturer of the product, and accurate product (member) management becomes possible.
  • the management information is accurately displayed (appended) inside the portion having the thickness. Therefore, even if manufactured or used under severe conditions, it is possible to reliably transmit the management information without peeling (or drowning) the displayed management information.
  • the management information when the management information is displayed inside the product using a laser beam, the management information can be accurately recognized even if the transparency of the surface is low. Therefore, it becomes possible to distribute and use the product without using another member such as a tag or a tag, and it is possible to make the product undisturbed.
  • the product which provided the management information concerning 1st Embodiment is shown, (A) Perspective view of product, (B) It is principal part sectional drawing which shows the principle of ablation processing by a laser beam. It is a product provided with a distinguishing display for determining at least one of front side, back side and reverse of management information, showing a plan view showing a display example of some of the distinguishing display, (A) company name as the distinguishing display.
  • the top view of the used product, the top view of the product which used the square bracket as (B) distinction display, and the top view of the product using the "TOP" character which shows a top direction as a distinction display are shown.
  • FIG. 16 is a front view showing management information according to a fourth embodiment. It is each enlarged front view which shows the cell of the management information concerning Example 5.
  • FIG. 16 is a front view showing management information according to a fourth embodiment. It is each enlarged front view which shows the cell of the management information concerning Example 5.
  • FIG. 1A shows a product C1 provided with the management information 10 according to the first embodiment, and management information is provided inside the product C1 formed of a transparent material by ablation processing using a laser beam L. It forms a QR code of 10.
  • FIG. 1 (B) shows the principle of ablation processing by laser light.
  • the management information causes the laser light L to be incident on the surface (laser light incident surface) 11 of the product C1 formed to be transparent.
  • the laser beam L is focused on a focusing point P separated by a distance of Z 1 from the product surface (laser beam incident surface) 11 via the focusing lens 13. Since the energy density at the light collecting point P is set to be equal to or higher than the breakdown threshold in the product, melting and deterioration occur over the range near the light collecting point P. Since the refractive index, the reflectance, and the like of the altered portion are different from those of the other portions, they can be identified from the outside.
  • the management information 10 can be formed on the inside of the transparent product C1 according to the above processing principle.
  • the surface (laser light incident surface) of the product C1 formed to be transparent since the laser light L is set to the destruction threshold or less, there is no case where minute unevenness (crack etc.) is generated on the surface. .
  • the transparent product C1 with a distinguishing display for determining at least one of the front side, the back side, and the reverse of the management information 10.
  • a distinguishing display for determining at least one of the front side, the back side, and the reverse of the management information 10. This is to make the acquisition operation accurate and reliable when acquiring (reading) the displayed management information 10.
  • FIG. 2 (A) such a distinguishing display is such that a company name “ABC company” is displayed at the bottom of the management information 10 to make it a distinguishing display 20A or as shown in FIG. 2 (B) In the upper left part of the management information 10, a bracket is held to make it a distinguishing display 20B, or, as shown in FIG.
  • TOP "TOP" letters indicating the upward direction are displayed above the management information 10 Then, this can be used as the distinguishing display 20C.
  • This distinction display is not limited to the above example, and can be provided in various shapes and positions, as long as the acquisition (reading) operation of the information in the reading device is not inhibited. By providing such a distinction display, the correct position of the management information 10 can be recognized, and the management information 10 can be accurately read from the front.
  • Example 1 as shown in FIG. 1, it was confirmed whether the management information can be actually processed and whether the processed management information can be read by the ablation processing using the laser light L.
  • Example 1 transparent products made of two different materials of synthetic quartz glass (AQ manufactured by Asahi Glass) and natural fused quartz glass (GE 124 manufactured by Momentive) were used as products of transparent materials.
  • the two types of transparent products are formed in a disk with an outer diameter 11 of 50 mm and a plate thickness t1 of 1 mm, and both have smooth and transparent surfaces (laser light incident surface) 11 and back surface 12 used.
  • the laser processing used a YAG pulse laser having a wavelength range of 1064 nm to 355 nm as a light source, and the processing output was set to 1.5 W.
  • the reason why the laser processing output is set to 1.5 W in the present embodiment is because the management information can be recognized visually and the processing conditions that can be read reliably can be confirmed in advance. That is, prior to this embodiment, ablation processing is performed separately for each laser processing output, and the visibility (whether or not the figure can be recognized visually) of the management information formed inside the product and the readability are verified. It reflects the result.
  • a synthetic quartz glass (AQ made by Asahi Glass) formed of a flat plate having an outer diameter 1 1 of 50 mm and a plate thickness t 1 of 1 mm is used.
  • the formed QR code is read using a commercially available hand-held code reader (manufactured by KEYENCE / model BT-75W) We verified whether we could do it.
  • the management information was formed as a square QR code having a side of 13 mm at a depth of about 0.1 mm from the product surface. Table 1 below shows the verification results.
  • the laser processing output is set to 1.5 W or more at which the visibility and reading are reliable.
  • Example 1 after setting the laser processing output to 1.5 W, one side is 13 mm from the product surface at a depth of about 0.1 mm from the product surface. Even if the product with the QR code formed thereon is placed in an atmospheric furnace consisting of a high temperature of 1150 ° C. for 60 minutes, the formed QR code is marketed so as to form a square QR code and to process it in practice. Whether the information can be read or not was verified using a hand-held code reader (Keyence / model BT-75W).
  • Keyence / model BT-75W Keyence / model BT-75W
  • Table 2 shows experimental results regarding the possibility of laser processing and the possibility of reading information by the reading device depending on the difference between the materials of the two types of transparent products.
  • management information in this example, QR code
  • QR code management information
  • Example 2 laser processing is performed on a product in which either the front surface (laser beam incident surface) 11 of the transparent product or the back surface is made transparent and the other surface is made in the form of ground glass, It was verified whether the formation of the management information 10 and the readability were possible.
  • Example 2 as a transparent product, natural fused quartz glass (GE 214 made by Momentive) formed of a flat plate having an outer diameter ⁇ 2 of 50 mm and a plate thickness t 2 of 5 mm was used. Then, one side of the transparent product was made transparent, and the other side was roughened to form a sample product of ground glass.
  • a product having a roughened surface of a ground glass surface roughened to two types of Ra 0.704 ⁇ m and Ra 3.270 ⁇ m is used, and this is processed into the front and back surfaces, for a total of four types of surface states. Different transparent products were used.
  • the laser processing in the present example used the same YAG pulse laser as that in Example 1, and the processing output was set to two types of 1.5 W and 9 W. With this laser processing, it was verified whether a square QR code having 13 mm per side could be formed at a depth of about 1.7 mm from the surface and whether the information could be read. Table 3 below shows the results.
  • Example 3 laser processing was performed on transparent products having different product shapes, and the formation of the management information 10 and the readability were verified.
  • cylindrical transparent products having different cylindrical outer diameters were used.
  • Example 3 as a transparent product, a cylinder formed of natural fused quartz glass quartz glass (GE 214 made by Momentive) was used. As shown in FIG. 4, the transparent product C3 is a large diameter tube having an outer diameter ⁇ 3 is 280 mm, the plate thickness t 3 is made of 5 mm, the small diameter tube outer diameter ⁇ 4 is 26 mm, the thickness t 4 is made of 2mm Two kinds of products were used. Both of the two products formed the front surface (laser light incident surface) 11 and the back surface 12 transparent.
  • GE 214 natural fused quartz glass quartz glass
  • the laser processing used YAG pulse laser similar to Example 1 and 2, and the processing output was set to five types, 1.5W, 3W, 5W, 7W, 9W. Whether the formation of a square QR code having a side of 13 mm or 6 mm was possible and the possibility of reading the information were verified by this laser processing to a depth of about 1.7 mm from the product surface. Table 4 below shows the results.
  • the formation surface of the management information 10 is formed in a curved surface, so it is necessary to adjust the formation range of the management information 10 was confirmed. That is, depending on the shape of the transparent product, the size of the management information 10 may be adjusted, or the management information 10 may be formed in another shape in the axial direction, or the like, by appropriately selecting the shape of the management information. It is possible to form the management information 10 reliably and accurately for the inside.
  • a two-dimensionalized "information display section" which is usually displayed in black or the like when forming an opaque portion by laser light ablation to display management information for a transparent product
  • the code 10a (FIG. 5 (A)) and the two-dimensional code 10b (FIG. 5 (B)) in which the blank portion is made opaque to make the "display section of information" transparent when read by the two-dimensional code reader The difference in recognition rate was compared.
  • the transparent part appears through Depending on the background, the reading performance of the two-dimensional code reader may be degraded.
  • the two-dimensional code 10b in which the blank portion is made opaque and the "information display portion" is transparent may have a higher reading accuracy. Therefore, in order to improve the reading performance by the two-dimensional code reader, it is effective to form either the "margin portion” or the "information display portion” to be opaque so as to reduce the transparent portion. It was confirmed. Moreover, in order to improve the reading accuracy in any environment, it is confirmed that it is effective to provide both the management information in which the “margin part” is opaque and the management information in which the “display part of information” is opaque. did.
  • the drawing configuration of the cells constituting the management information is changed to confirm the difference in the reading accuracy in the two-dimensional code reader. That is, as shown in FIGS. 6 (A) to 6 (E), differences in the reading accuracy with the two-dimensional code reader were compared by changing the patterns to be opaque by ablation processing.
  • the size L1 of one cell is a square ( ⁇ ) of 500 ⁇ m on one side
  • the pitch P1 of the dots 30a in the cell is 40 ⁇ m
  • 13 dots vertically and 13 dots horizontally 30a in the cell Were aligned As a result, the reading accuracy (hereinafter referred to as "reading accuracy") in the two-dimensional code reader was 90% or more.
  • one cell size L2 is a square ( ⁇ ) having a side length of 320 ⁇ m, and a cross hatch in which the lines 30b are crossed is formed in the cell.
  • the pitch P2 of the line 30b was varied to 10 ⁇ m, 40 ⁇ m, 80 ⁇ m, and 120 ⁇ m, the reading accuracy was 90% or more at any pitch.
  • the line pitch is reduced, the reading accuracy is also improved, but it was confirmed that the processing time becomes longer.
  • the size L3 of one cell is a square ( ⁇ ) having a side of 200 ⁇ m
  • the pitch P1 of the dots 30a in the cell is 40 ⁇ m
  • 5 dots vertically and 5 dots horizontally are disposed in the cell. Aligned and placed. As a result, the reading accuracy was 90% or more.
  • the size L3 of one cell is a square ( ⁇ ) having a side of 200 ⁇ m as in FIG. 6C
  • the pitch P3 of dots 30a in the cell is In the case where three dots and three dots 30 a are aligned in the cell as 80 ⁇ m, the two-dimensional code reader can hardly read. Then, as shown in FIG.
  • the size L3 of one cell is a square ( ⁇ ) having a side of 200 ⁇ m as in FIG. 6C, and the pitch P1 of the dots 30a in the cell is 40 ⁇ m.
  • the reading accuracy is 90% or more.
  • the pitch between the dots 30 a is 40 ⁇ m, and four dots 30 a long and four dots 30 a are aligned in the cell (when not surrounded by lines) Since the reading accuracy was about 50%, it was confirmed that the reading accuracy can be improved even with a small number of dots by surrounding the dots (or cells) aligned and arranged with a line.

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Abstract

【課題】 苛酷な環境下で使用されても表示された管理情報が剥がれること無く、確実な管理情報が伝達可能になるよう工夫した、管理情報が付与された透明製品及びその透明製品の製造方法を提供する。この管理情報が付与された透明製品は、製品を管理する為の管理情報を表示した透明製品であって、当該管理情報は、透明な製品の厚さ方向における内部に設けられると共に、当該製品の厚さ方向の少なくとも何れかの面に透過して視認可能であることを特徴とする。

Description

管理情報を設けた製品
 本発明は管理情報を設けた製品に関し、特に苛酷な環境下で使用されても表示した管理情報が滅失されること無く、管理情報を確実に視認できるように工夫した、管理情報を設けた製品に関する。
 従来、製品や部材の品質管理を行う為に、製品の製造に使用した部品・原料の品質データや製造条件、メンテナンス時期や製品を検査した時に得られた検査データ、製造年月日、或いは製造者等の管理情報を表示し、管理する事が行われている。これらの管理情報は、製造年月日や製造業者などの情報を、文字情報としてそのまま製品や部材に表示する他、コード化して製品や部材に表示している。よってこのような製品や部材の品質管理を行う為には、製品に対して、製造年月日や製造者などの文字やコード等の管理情報を設ける事が必要であった。
 そして、製品に管理情報を設ける際は、製品の表面に刻印したり、印刷を施したり、或いは管理情報を表示したシートを貼付するのが一般的であった。また製品に対して表面加工を施して管理情報を表示する為に、これまでにも様々な加工方法が利用されていた。例えば、レーザー加工やサンドブラスト加工、化学エッチング加工の他、切削工具を用いた手彫り加工等の様々な加工方法が用いられていた。
 そして製品の表面に表示された管理情報を、人的あるいは機械的に読み取ることにより、製造した製品のトレーサビリティを管理していた。
 従前においても、製品又は部材に管理情報を設け、この管理情報を読み取ることで、当該製品や部材の製造履歴情報等を管理する技術は種々提案されていた。
 例えば、特許文献1(特開2005-165659号公報)では、長期にわたる部材情報の信頼性を確保でき、部材のライフサイクル全般にわたって部材情報へのアクセス及び追加・更新を容易にする部材情報管理方法が提案されている。この部材情報管理方法は、部材に関する情報を該部材に直接付すことにより該部材の履歴情報を管理する方法であって、2次元コードをレーザマーキングにより前記部材に直接マーキングするものであった。
 また、特許文献2(特開2005-063095号公報)では、製品を構成する個々の部品の製造履歴情報へのアクセスが容易で、製品の製造工程を反映させることにより不良品の製造を効果的に回避できるトレーサビリティ管理方法が提案されている。このトレーサビリティ管理方法では、2次元コード化した2次元コードの大きさを部品に応じて設定し、設定した大きさの2次元コードをレーザマーカによって直接レーザ・マーキングした部品を組付けて製品を製造するものであった。
特開2005-165659号公報 特開2005-063095号公報
 前述の通り、従前においても製品や部材に対して管理情報を表示し、当該管理情報を読み取ることで製品や部材の各種情報及びトレーサビリティを管理する方法については種々提案されている。しかしながら、多くの場合、当該管理情報は製品や部材の表面に設けられていた。
 ここで、各種製品の中には、腐食性ガスの雰囲気中で使用されるものや、1000℃付近の高温環境下で使用されるもの等、苛酷な環境下で使用される製品もある。このような苛酷な環境下で使用される製品では、製品表面に表示された管理情報は、剥がれたり、消耗劣化して掠れてしまうことがあった。そして、一旦、表示された管理情報が剥がれて(又は掠れて)しまうと、当該製品の管理情報を確認することができず、その後の製品使用における品質管理が出来なくなっていた。
 また、製品の管理方法としては、製品の内部にICチップを埋め込む方法もあるが、前述の高温環境やマイクロ波に曝露される環境などで使用された場合には、ICチップが誤作動あるいは破損する問題があった。
 そこで、本発明では苛酷な環境下(製造又は使用条件下)で使用されても、表示した管理情報が剥がれたり(又は掠れたり)することが無く、管理情報を長期的に存在させておくことができるようにした、管理情報を設けた製品を提供することを第1の課題とする。
 また、半導体デバイス等の製造工程においては、微細な塵(パーティクル)がデバイス
の品質に影響を与える恐れがある。その為、その製造工程で使用される製造装置は、微細なパーティクルが極力発生しない部材で形成することが望まれていた。一方、製品の表面に管理情報を印刷した場合には、印刷した塗膜が剥離して、これが汚染源になってしまことが考えられた。また製品の表面を機械的に加工して管理情報を形成した場合には、表面に露出する加工亀裂(或いは加工ダメージ)が原因で、微細な塵(パーティクル)が汚染物として発生することが考えられた。
 そこで、本発明では半導体などの電子デバイスや、その他の製品の製造過程において、汚染その他の不具合要因となる微細な塵(パーティクル)が発生しないように管理情報を設けた製品を提供することを第2の課題とする。
 さらに、管理情報を設ける製品は、様々な素材及び形状で形成されていた。この為、管理情報の形成の仕方も、その製品の素材や形状などに応じて適宜工夫しなければならなかった。例えば、管理情報を直接表示し難い素材や形状に形成された製品もあり、その場合には、タグや付箋等を別途設けて管理情報を表示しなければならない場合もあった。製品にタグや付箋等を設けた場合には、そのタグ等が製品の流通時や使用時の障害となり、製品の軽便性を阻害することが懸念された。
 そこで、本発明では製品の軽便性を阻害しないように管理情報を設けた、管理情報を設けた製品を提供することを第3の課題とする。
 前記課題の少なくとも何れかを解決するべく、本発明では、製品における厚さを有する面(例えば、上面、側面、底面などの各種壁面)の内部に、製品の表面に透過するように管理情報を設けた製品を提供する。
 即ち、本発明では、製品を管理する為の管理情報を設けた製品であって、当該管理情報は、製品における厚さを有する部位であって、且つ厚さ方向の内部に設けられると共に、当該製品の厚さ方向の少なくとも何れかの面に透過して視認可能であることを特徴とする、管理情報が設けられた製品を提供する。
 本発明にかかる管理情報が付与された製品によれば、製品の保守時期などを管理する為の管理情報が、壁面の様な厚さを有する面の内部(即ち、厚さ方向の内部)に設けられている事から、当該管理情報の表示が剥がれたり、消耗劣化して掠れることはない。よって、本発明にかかる製品は、苛酷な環境下で使用されても、管理情報を維持する事ができる。また管理情報は、壁面などにおける厚さ方向の内部に設けられる事から、微細な塵(パーティクル)を生じさせる恐れも無くなり、当該微細な塵が製品の品質に影響を与える恐れの高い製造工程でも使用できる。即ち、本発明にかかる製品は、これらの作用効果から、半導体デバイス製造で使用される製造装置の構成部材(製品)等において優れた効果を発現する事ができる。
 上記本発明かかる管理情報が設けられる製品では、壁面などの部位の内部に表示した管理情報は、厚さ方向に存在する何れかの面に透過し、視認できるように形成される必要がある。よって、厚さ方向に存在する少なくとも何れかの面が透明または半透明に形成される必要がある。
 管理情報が設けられる部分(厚さを有する部位)の厚さ方向の両面を透明に形成する場合、当該部分の全体を透明または半透明な素材で形成することができる。具体的にはガラスや樹脂、セラミックス等の透明素材で当該部分、又は製品全体を形成することができる。当該透明素材は、天然素材で形成されたもの、及び化学合成にて形成されたものの何れであっても良い。
 また半導体デバイスの製造装置には石英ガラス製品も使用されている。この石英ガラス製品は、透明素材を用いて形成されていても、製品の使用目的に応じて、部分的に光透過性の低い磨りガラス面に加工しておく場合もある。そのため、本発明において管理情報を設ける製品は、その表面状態が、全体的に透明な仕上げの場合と、部分的に光透過性の低い粗面(梨地)仕上げの場合を想定している。
 また、管理情報が設けられる部分(厚さを有する面)は、厚さ方向に存在する面の少なくとも何れかが透明であれば良い為、何れかの面は半透明又は不透明であっても良い。よって、厚さ方向の何れかの面から管理情報を視認できることを条件に、当該管理情報を設けた「厚さを有する部位」は、部分的に磨りガラス加工を施して光透過性が低くしても良く、或いは透明な素材で形成すると共に、その片面に光を透過しない素材をコーティングする等により不透明に形成しても良い。本発明にかかる製品は、製品における厚さを有する部位の内部に管理情報を設けている為、何れかの面からでも、その管理情報を確実に認識及び伝達することができれば良い為である。但し、前記管理情報が後述するレーザー光によるアブレーション加工によって形成される場合、管理情報を透過させて認識する面とは反対側の面は、白色以外である事が望ましい。ガラス等をレーザー光等によりアブレーション加工した場合には、管理情報は白色で表示されるため、当該管理情報を読み取りやすくするためである。
 ここで前記管理情報とは、他社製品との識別情報(例えば、会社名、ロゴ、記号等)や型番、或いは規格の他、製品のメンテナンス時期や製造年月日及び製造者、といった製品を管理する為の情報を指す。当該管理情報は様々な形式で表示(付与)することができる。具体的には、製造者名、販売者名、製造年月日、製品コードなどを文字や数字などのテキスト情報で表示する他、JAN、CODE39、NW-7等の一次元バーコードで表示したり、より多くの情報を収容できるQRコード(登録商標、以下同じ)、データマトリックスコード、PDF417等の二次元コードで表示したり、その他文字及び数字を含む記号、図形、又はモザイク等からなる情報として表示することができる。当該管理情報を製品に表示するには、対象物となる製品の素材及び形状に応じて、適宜管理情報の形状を選択使用することができる。例えば、製品(特に製品における厚さを有する部位)が小径の円筒状等に形成されている場合には、表示する管理情報をサイズの小さいQRコード等の二次元コードで形成したり、軸方向(長さ方向)に沿うように1次元バーコードを表示したりすることで、必要な管理情報を確実に表示させることができる。
 前記管理情報は、製品における厚さを有する部位の内部に、厚さ方向の少なくとも何れかの面に透過するよう設ける。かかる管理情報は、例えば、製品の内部に焦点を設定したレーザー光を照射し、当該製品の内部を昇華・蒸発させるアブレーション加工等で形成することができる。具体的には、レーザー光によるアブレーション(爆触)によって内部に微小凹凸(クラック等)を形成することで、管理情報となるように不透明化し、視認可能に形成する。
 また上記管理情報は、光の反射率の違いによって識別することができる。よって情報を表示する部分を不透明化して表示する他、余白を不透明化して情報を表示する部分を透明にすることで表示する事もできる。その際、情報を表示する部分を不透明化した管理情報と、余白を不透明化した管理情報の両方を設ける事もできる。特に管理情報がコード化されたモザイクである場合には、コード化した時に透明部分が少なくなるように不透明化して管理情報を表示することが望ましい。そして当該管理情報を、レーザー光によるアブレーションによって内部に微小凹凸(クラック等)を形成する際には、当該微小凹凸はドットを配列した構成、ライン状のハッチングを交差させた構成、又はドットとラインを組み合わせた構成の何れであっても良い。特に単にドットを配列した構成よりも、配列したドットをラインで囲むように構成する事で、目視又はスキャナーによる視認性を高める事ができる。
 アブレーション加工で使用するレーザー発振器としては、加工対象物(加工径、加工深さ等)、及び加工条件(波長、出力、パルス幅、及び発振モード等)に応じて固体レーザーやファイバーレーザーなどを適宜選択して使用することができる。即ち、製品の内部に微小凹凸(クラック等)を形成する為には、製品表面と内部集光点のエネルギー密度の関係が重要になってくる。具体的には、レーザー光を照射した際の製品表面のエネルギー密度を破壊閾値以下になるよう設定し、且つ管理情報を表示する部位(レーザー光を集束させる点)におけるエネルギー密度は内部の破壊閾値以上になるよう設定する必要がある。上記のように条件設定することで、製品表面には損傷を与えること無く、内部に溶融・変質等を生じさせることができる。その結果、透明製品の内部において変質等した部分の屈折率や反射率等が他の部分と異なることから外部から識別可能となり、管理情報等のマークとして機能することができる。上記を考慮した上で、本発明においては、熱的影響を抑えた上で微細加工を施すことができるYAGパルスレーザーを使用するのが望ましい。
 製品の内部に前記アブレーション加工を施す為に、前記管理情報を設ける領域は、その厚さ方向の少なくとも何れかの面が、透明且つ平滑に形成されているのが望ましい。具体的には、少なくともレーザー光線入射側は、透明且つ平滑に形成されているのが望ましい。何故ならば、レーザー光によるアブレーション加工を施す際に、透明製品の内部に対してレーザー光を集光させやすくする為である。また、光学的な読取装置によって当該情報を取得(読取)する際、読み取りの正確性を向上させる上でも望ましい。当該製品における何れかの面を透明且つ平滑に形成する加工方法は、特に制限は無く、機械加工による研磨や火炎処理等の手法を利用することができる。但し、当該透明製品の表面上に発塵の要因となり得る傷や加工砥粒等が極力残留しない方法で加工するのが望ましい。
 また、本発明にかかる製品では、前記管理情報を表示する際に、管理情報の表側、裏側及び反転の少なくとも何れかを判別する為の区別表示を設けるのが望ましい。かかる区別表示は、管理情報と一緒に設けるのが望ましい。かかる区別表示は、表示された管理情報を情報取得(読取)する際、その取得操作を確実に行う為に設ける事ができる。即ち、製造された透明製品は、その製造工程或いは使用時において、回転又は左右逆転させることがある為、管理情報が常に同じ方向を向いている可能性は低い。例えば、コード化した管理情報が上下又は左右に反転したり、或いは表裏に逆転した状態では、市販のコードリーダー等で情報を取得(読取)しようとしても読み取れない可能性が生じてしまう。そこで区別表示を設けることで、管理情報の正位置を確実に認識することができるようにし、正面から、正しい向きで管理情報を正確に読み取ることができるようにする。区別表示の表示方法は特段の制限は無く、管理情報の上方向又は下方向が判別できるように、管理情報の上部又は下部に直線等の記号を設けたり、表側・裏側の認識もできるように、左上側のみに鉤括弧を設ける等しても良い。また左右非対称となる文字(例えば会社名など)や数字を設けても良い。但し、読取装置の情報取得(読取)操作を阻害しない形状で設けることが条件となる。
 管理情報を透明製品における厚さ方向の内部に形成する方法として、前述のようなレーザー加工の他、積層によって形成する事もできる。例えば、少なくとも一方に管理情報を表示(付与)した二つの部材を、当該管理情報の表示部分を覆うように重ね合わせて接合等により一体化して形成することも可能である。一方の部材を、表面が研磨された透明な板とし、その表面上にサンドブラストやレーザー加工等で管理情報を形成後、もう一方の部材に研磨された透明板等を使用し、双方を拡散接合あるいは融着などによって接合して一体化することで製品を形成することもできる。即ち、製品が薄い等、レーザー加工による製品内部への情報形成が困難(加工条件出しが困難)な場合には、前記接合による管理情報の形成方法を用いれば、加工時間の短縮にも繋がる上、表面上に傷(クラック)等が発生するおそれを極力抑えることができる。
 上記のように製品の内部に形成した管理情報を視認又は読取る事により、当該管理情報に基づいて、メンテナンスなどの製品管理を行う事ができる。当該管理情報が文字によって直接表示されている場合には、当該文字を判読する事により取得する事ができ、コード化された記号やモザイクとして表示されている場合には、市販のコードリーダー等の読取装置を使用して情報取得(読取)を行う。即ち、当該情報取得(読取)には、文字の判読、或いはコードの読取等を含む。
 また、情報を取得(読取)する操作は、読取装置を手で持って操作しても、卓上に載置して操作しても構わないが、後者の場合には、面模様が単色である卓上(下地)にて操作を行うのが望ましい。これは、卓上(下地)に凹凸が形成されていたり、複数の模様が施されていると、卓上(下地)の影響により当該透明製品の管理情報を光学的な読取装置で読み取り難くなってしまうおそれがある為である。
 また、上記によって製造された製品では、管理情報が、厚さを有する部位の内部に精確に表示(付与)されている。その為、当該管理情報が剥がれたり掠れたりするおそれが限りなく少ない。また製品の表面上に加工亀裂等が生じていない為、苛酷な環境下で使用されたとしても、発塵や汚染等のおそれを極力減ずることができる。
 さらに、レーザー光を用いたアブレーション加工により、管理情報を製品の内部に設けている為、表面が磨りガラス仕上げされている製品であっても、管理情報を確実に形成することができる。即ち、製品の内部に設けられた管理情報を読み取ることで、当該製品のメンテナンス時期や製造年月日及び製造者といった情報を取得することができ、正確な製品(部材)管理が可能になる。
 上記本発明にかかる製品では、管理情報が、厚さを有する部位の内部に、精確に表示(付与)されている。その為、苛酷な条件下で製造又は使用されても、表示された管理情報が剥がれたり(又は掠れたり)することが無く、管理情報を確実伝達することができる。
 また、管理情報の形成に際しては、微細な塵(パーティクル)の原因となり得る加工亀裂(或いは加工ダメージ)が、表面上に露出しないように形成している為、加工亀裂を要因とする発塵や汚染等の課題を解決する事ができる。その為、半導体デバイス製造工程のような清浄環境下で使用される場合において、特に有用に利用することができる。
 さらに、レーザー光を用いて製品の内部に管理情報を表示した場合には、表面の透明性が低い場合であっても管理情報を精確に認識できる。よって、タグや付箋といった別の部材を使用することなく製品の流通及び使用が可能になり、製品の軽便性が阻害されることのない製品とすることができる。
 そして、表示した精確な管理情報を基に、当該透明製品の正確な製品(部材)管理ができる為、製品管理作業の時間短縮、及び不良品流出防止等の製造メリットを見出すことができる。
第1の実施形態にかかる管理情報を設けた製品を示しており、(A)製品の斜視図、(B)レーザー光によるアブレーション加工の原理を示す要部断面図である。 管理情報の表側、裏側及び反転の少なくとも何れかを判別する為の区別表示を設けた製品であり、幾つかの区別表示の表示例を示す平面図を示し、(A)区別表示として会社名を利用した製品の平面図、(B)区別表示として鉤括弧を利用した製品の平面図、(C)区別表示として上方向を示す『TOP』文字を利用した製品の平面図を示している。 実施例2にかかる管理情報を設けた製品の斜視図であり、(A)裏面を磨りガラスで形成した製品の斜視図、(B)表面(レーザー光入射面)を磨りガラスで形成した製品の斜視図である。 実施例3にかかる管理情報を設けた製品の斜視図であり、(A)大径管の製品に対して管理情報を表示した様子を示すA-A縦断面略図、(B)小径管の製品に対して管理情報を表示した様子を示すA-A縦断面図、(C)小径管の製品に対して小サイズの管理情報を表示した様子を示すA-A縦断面図である。 実施例4にかかる管理情報を示す各正面図である。 実施例5にかかる管理情報のセルを示す各拡大正面図である。
 以下、図面を参照しながら本実施の形態にかかる管理情報を設けた製品、及びその製品の製造方法を具体的に説明する。但し、本発明にかかる管理情報を設けた製品は、本実施の形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において適宜変更することが可能である。
 図1(A)は、第1の実施形態にかかる管理情報10を設けた製品C1を示しており、レーザー光Lによるアブレーション加工によって、透明な材質で形成された製品C1の内部に、管理情報10となるQRコードを形成している。
 図1(B)は、レーザー光によるアブレーション加工の原理を示している。この実施の形態において、管理情報は、透明に形成されている製品C1の表面(レーザー光入射面)11に対してレーザー光Lを入射させる。当該レーザー光Lを集光レンズ13を介して、製品表面(レーザー光入射面)11からZの距離だけ離れた集光点Pに集束させる。集光点Pにおけるエネルギー密度は製品内部の破壊閾値以上に設定している為、集光点P近傍の範囲に渡って溶融・変質等が生じる。その変質等した部分の屈折率や反射率等が他の部分と異なることで外部から識別可能となる。即ち、上記加工原理によって透明な製品C1の内部に対して管理情報10を形成することができる。なお、透明に形成されている製品C1の表面(レーザー光入射面)においては、レーザー光Lは破壊閾値以下に設定している事から、当該表面に微小凹凸(クラック等)が生じる事は無い。
 また図2に示すように、透明な製品C1には、管理情報10の表側、裏側及び反転の少なくとも何れかを判別する為の区別表示を設けるのが望ましい。これは、表示されている管理情報10を取得(読取)する際、その取得操作を正確かつ確実にする為である。かかる区別表示は、例えば図2(A)に示すように、管理情報10の下部に『ABC会社』という会社名を表示して、これを区別表示20Aとしたり、図2(B)に示すように管理情報10の左上部に鉤括弧を挟持して、これを区別表示20Bとしたり、更に図2(C)に示すように、管理情報10の上部に上方向を示す『TOP』文字を表示して、これを区別表示20Cとすることができる。この区別表示は、上記の例に限られるものではなく、読取装置における情報の取得(読取)操作を阻害しないことを条件として、様々な形状及び位置に設けることができる。かかる区別表示を設けることによって、管理情報10の正位置を認識することができ、正面から管理情報10を正確に読み取ることができる。
 実施例1では、図1に示す様にレーザー光Lによるアブレーション加工によって、管理情報を実際に加工できるか否か、及び加工した管理情報を読み取ることができるか否かを確認した。
 この実施例1では、まず透明な素材の製品として合成石英ガラス(旭硝子製AQ)と天然溶融石英ガラス(モメンティブ製GE124)の2種類の異なる材質からなる透明製品を使用した。当該2種類の透明製品は外径Φが50mm、板厚tが1mmの円板に形成しており、双方とも表面(レーザー光入射面)11、及び裏面12が平滑且つ透明なものを使用した。また、レーザー加工は、1064nm~355nmの波長域を持つYAGパルスレーザーを光源とし、加工出力を1.5Wに設定した。
 ここで、本実施例においてレーザー加工出力を1.5Wに設定したのは、目視で管理情報を認識でき、且つ確実に読み取れる加工条件を事前に確認できたからである。即ち、この実施例に先立ち、レーザー加工出力別にアブレーション加工を行い、製品の内部に形成された管理情報の視認性(目視で図形を認識できるか否か)、及び読み取り可否について検証しており、その結果を反映させたものである。
 具体的には、この検証では、透明な製品として、外径Φが50mm、板厚tが1mmからなる平板で形成した合成石英ガラス(旭硝子製AQ)を使用し、これにレーザー出力条件を変えて、管理情報を形成し、形成した管理情報を視認可能か否か、さらに、形成したQRコードを市販のハンディ式コードリーダー(キーエンス製/型式BT-75W)を使用して情報を読み取りできるか否かの検証を行った。管理情報は、製品表面から約0.1mmの深さに、1辺が13mmからなる正方形状のQRコードとして形成した。下記の表1はその検証結果を示している。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
 この検証では、表1に示す通り、レーザー加工出力が0.8Wでは管理情報の視認が出来なく、0.9W以上の加工出力において視認性及び読み取りが可能であることを確認した。その為、本実施例においてはレーザー加工出力を視認性及び読み取りが確実である1.5W以上に設定している。
 以上の検証結果から、実施例1では、レーザー加工出力を1.5Wに設定した上で、2種類の材質に対して、製品表面から約0.1mmの深さに、1辺が13mmからなる正方形状のQRコードを形成するようにし、実際に加工できるか否か、さらに、QRコードを形成した製品を1150℃の高温からなる大気炉に60分間投入した後でも、形成したQRコードを市販のハンディ式コードリーダー(キーエンス製/型式BT-75W)を使用して情報読取できるか否かの検証を行った。
 その結果を、下記表2に示す。即ち、下記表2では、当該2種類の透明製品の材質の違いによるレーザー加工の可否、及び読取装置による情報読取の可否についての実験結果を示している。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
 表2に示す通り、2種類の異なる材質で形成した透明な製品に対しては、何れの製品についても製品内部への管理情報(本例ではQRコード)の形成が可能で、且つ形成された管理情報を読み取ることが可能なことを確認した。即ち、天然原料で形成されたもの、及び化学合成にて形成されたもの、どちらの材質(素材)に対しても内部に情報形成が可能で、且つ読取も可能なことを確認した。
 さらに、管理情報を形成した透明製品が、苛酷な環境下でも使用可能であるか検証を行った。具体的には、管理情報を形成した上記2種類の透明な製品を、1150℃の高温からなる大気炉に60分間投入し、当該製品の使用可否の確認を行った。その結果、高温の大気炉に投入後も、製品内部に形成した管理情報が剥がれたり(又は掠れたり)、消失することは無く、コードリーダーによる情報読取も可能なことを確認した。
 実施例2では、透明な製品の表面(レーザー光入射面)11と裏面の何れかの面を透明に形成し、他方の面を磨りガラス状に形成した製品に対してレーザー加工を行い、内部への管理情報10の形成の可否、及び読取の可否を検証した。
 実施例2では、透明な製品として外径Φ2が50mm、板厚t2が5mmからなる平板で形成された天然溶融石英ガラス(モメンティブ製GE214)を使用した。そして、当該透明な製品の片面を透明とし、他方の面を粗面加工して磨りガラスとしたサンプル製品を形成した。本実施例では、磨りガラス面の表面粗さをRa0.704μmとRa3.270μmの2種類に粗面化した製品を使用し、これを表面及び裏面に加工して、合計4種類の表面状態の異なる透明製品を使用した。
 本実施例におけるレーザー加工は、実施例1と同様のYAGパルスレーザーを使用し、加工出力は1.5W、及び9Wの2種類に設定した。このレーザー加工によって、表面から約1.7mmの深さに、1辺が13mmからなる正方形状のQRコードを形成できるか否か、及びその情報を読取可能か否かを検証した。下記に示す表3はその結果を示している。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000003
 表3(No.1/2)及び図3(A)に示す通り、表面(レーザー光入射面)11が透明に形成され、裏面12が磨りガラス状に形成されている透明製品C2に対しては、何れのレーザー加工出力においても内部に管理情報10を形成し、読み取り可能であった。
 一方、表3(No.3/4)及び図3(B)に示す通り、表面(レーザー光入射面)11が磨りガラス状で形成され、裏面が透明に形成されている透明製品C2に対しては、内部に管理情報10を形成することができなかった。
 即ち、レーザー光によるアブレーション加工を製品内部に施すには、レーザー光入射面を透明且つ平滑に形成するのが望ましいことを確認した。
 実施例3では製品形状の異なる透明製品に対してレーザー加工を行い、管理情報10の形成の可否、及び読取の可否の検証を行った。特に、円筒外径の異なる円筒形状の透明製品を使用した。
 実施例3では、透明な製品として天然溶融石英ガラス石英ガラス(モメンティブ製GE214)で形成した円筒を使用した。図4にも示すように、当該透明な製品C3は、外径Φ3が280mm、板厚t3が5mmからなる大径管と、外径Φ4が26mm、板厚t4が2mmからなる小径管の2種類の製品を使用した。当該2種類の製品は、双方とも表面(レーザー光入射面)11、及び裏面12を透明に形成した。
 また、レーザー加工は実施例1及び2と同様のYAGパルスレーザーを使用し、加工出力は1.5W、3W、5W、7W、9Wの5種類に設定した。このレーザー加工によって、製品表面から約1.7mmの深さに、1辺が13mm又は6mmからなる正方形状のQRコードの形成の可否、及びその情報の読取の可否を検証した。下記に示す表4はその結果を示している。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000004
 表4(No.1)及び図4(A)に示す通り、外径Φ3が280mmからなる大径管に形成した透明製品C3に対しては、何れのレーザー加工出力でも、その製品内部に1辺が13mmからなる正方形状の管理情報10(QRコード)を形成できた。
 一方で、表4(No.2)及び図4(B)に示す通り、外径Φ4が26mmからなる小径管に形成した透明製品C3に対しては、その内部に1辺が13mmからなる正方形状の管理情報10(QRコード)の中心部分は形成できたものの、端部が形成できなかった。完全な管理情報10が形成されていない為、読み取りも不可であった。
 しかし、表4(No.3)及び図4(C)に示す通り、小径管に形成した透明製品C3に対しては、1辺が6mmの正方形の管理情報10(QRコード)であれば、内部に形成可能であった。
 上記の実験結果から、透明製品C3が筒状等に形成されている場合には、管理情報10の形成面は曲面に形成されている為、管理情報10の形成範囲を調整する必要があることが確認できた。即ち、透明製品の形状によっては管理情報10のサイズを調整したり、軸方向に対して別の形状で管理情報10を形成するなど、適宜管理情報の形状を選択使用することで、透明製品の内部に対して確実且つ精確な管理情報10の形成が可能になる。
 この実施例では、透明製品に対して、レーザー光によるアブレーションによって不透明な部分を形成して管理情報を表示する際に、通常は黒色等で表示する「情報の表示部」を不透明化した二次元コード10a(図5(A))と、余白部分を不透明化して「情報の表示部」を透明にした二次元コード10b(図5(B))とにおいて、二次元コードリーダーで読み取った時の認識率の違いを比較した。パターンを反転させた2つの二次元コードを二次元コードリーダーで読み取った結果、透明製品に不透明部分を形成して光の反射率を異ならせた二次元コードにおいては、透明部分を透過して現れる背景によって二次元コードリーダーによる読み取り性能が低下する場合があった。即ち、当該リーダーによる読み取り環境によっては、余白部分を不透明化して「情報の表示部」を透明にした二次元コード10bの方が読み取り精度が高い場合もあった。よって、二次元コードリーダーによる読み取り性能を向上させるためには、「余白部分」又は「情報の表示部」の何れを不透明化するかは、透明部分が少なる様に形成するのが有効であることを確認した。また、いかなる環境でも読み取り精度を向上させるためには、「余白部分」を不透明化した管理情報と、「情報の表示部」を不透明化した管理情報の両方を設ける事も有効であることを確認した。
 この実施例では、管理情報を構成するセルの描画構成を変えて、二次元コードリーダーでの読み取り精度の違いを確認した。即ち、図6(A)~(E)に示す様に、アブレーション加工によって不透明化するパターンを異ならせて、二次元コードリーダーでの読み取り精度の違いを比較した。
 図6(A)は、1つのセルのサイズL1を一辺が500μmの正方形(□)とし、セル内のドット30a同士のピッチP1を40μmとして、セル内に縦13個、横13個のドット30aを整列させて配置した。その結果、二次元コードリーダーでの読み取り精度(以下、「読み取り精度」とする)は90%以上であった。一方、セルサイズを同じにしてセル内のドット数を縦6個、横6個とした場合には、読み取り精度は50%以下であった。
 図6(B)は、1つのセルのサイズL2を一辺が320μmの正方形(□)とし、セル内にライン30bを交差させたクロスハッチを形成した。ライン30bのピッチP2を、10μm、40μm、80μm、120μmに異ならせて実験を行ったが、何れのピッチでも読み取り精度は90%以上であった。但し、ラインピッチを小さくすれば読み取り精度も高まるが、加工時間が長くなることを確認した。
 図6(C)は、1つのセルのサイズL3を一辺が200μmの正方形(□)とし、セル内のドット30a同士のピッチP1を40μmとして、セル内に縦5個、横5個のドットを整列させて配置した。その結果、読み取り精度は90%以上であった。これに対して、図6(D)に示す様に、1つのセルのサイズL3は図6(C)と同様に一辺が200μmの正方形(□)とし、セル内のドット30a同士のピッチP3を80μmとして、セル内に縦3個、横3個のドット30aを整列させて配置した場合には、二次元コードリーダーでは殆ど読み取る事ができなかった。そして図6(E)に示す様に、1つのセルのサイズL3は図6(C)と同様に一辺が200μmの正方形(□)とし、セル内のドット30a同士のピッチP1を40μmとして、セル内に縦4個、横4個のドット30aを整列させ、その外側をライン30bで囲んだ場合には、読み取り精度は90%以上であった。これに対して、セルのサイズを200μmとし、ドット30a同士のピッチを40μmとして、セル内に縦4個、横4個のドット30aを整列させて配置した場合(ラインで囲んでいない場合)には、読み取り精度が約50%程度であったことから、整列配置させたドット(またはセル)の周囲をラインで囲むことにより、少ないドットでも読み取り精度を向上できる事が確認できた。
  C1、C2、C3  透明製品
  10  管理情報
  11  表面(レーザー光入射面)
  12  裏面
  13  集光レンズ
  20A、20B、20C  区別表示
  L  レーザー光
  P  集光点
  Φ  外径
  t  板厚
  Z  距離

Claims (5)

  1.  製品を管理する為の管理情報を設けた製品であって、
     当該管理情報は、製品における厚さを有する部位であって、且つ厚さ方向の内部に設けられ、当該製品の厚さ方向の少なくとも何れかの面に透過して視認可能であることを特徴とする、管理情報が設けられた製品。
  2.  前記管理情報が設けられている領域は、その厚さ方向に存在する少なくとも何れかの面が、透明且つ平滑に形成されている、請求項1に記載の製品。
  3.  更に、前記管理情報の表側、裏側及び反転の少なくとも何れかを判別する為の区別表示
    を設けている、請求項1又は2に記載の製品。
  4.  前記管理情報は、製品の形成後において、当該製品の内部に焦点を設定したレーザー光を照射し、当該部材の内部を昇華・蒸発させるアブレーション加工によって形成されている、請求項1~3の何れか一項に記載の製品。
  5.  製品に設けられた管理情報に基づいて製品をメンテナンスする為の管理方法であって、
     当該製品は、請求項請求項1~3の何れか一項に記載の製品であり、
     当該製品における厚さを有する面に設けられた管理情報を、厚さ方向の少なくとも何れかの面から透過して読み取ることにより、当該製品のメンテナンス時期、製造年月日及び製造者の少なくとも何れかを取得する、製品の管理方法。
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