WO2016059916A1 - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2016059916A1
WO2016059916A1 PCT/JP2015/075521 JP2015075521W WO2016059916A1 WO 2016059916 A1 WO2016059916 A1 WO 2016059916A1 JP 2015075521 W JP2015075521 W JP 2015075521W WO 2016059916 A1 WO2016059916 A1 WO 2016059916A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
resin
fixing member
resin block
resin case
block portion
Prior art date
Application number
PCT/JP2015/075521
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
文雄 繁田
悦宏 小平
Original Assignee
富士電機株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 富士電機株式会社 filed Critical 富士電機株式会社
Priority to CN201580015943.4A priority Critical patent/CN106133903B/zh
Priority to DE112015001002.5T priority patent/DE112015001002B4/de
Priority to JP2016554015A priority patent/JP6233528B2/ja
Publication of WO2016059916A1 publication Critical patent/WO2016059916A1/ja
Priority to US15/280,054 priority patent/US9831152B2/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/36Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
    • H01L23/373Cooling facilitated by selection of materials for the device or materials for thermal expansion adaptation, e.g. carbon
    • H01L23/3735Laminates or multilayers, e.g. direct bond copper ceramic substrates
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/02Containers; Seals
    • H01L23/04Containers; Seals characterised by the shape of the container or parts, e.g. caps, walls
    • H01L23/053Containers; Seals characterised by the shape of the container or parts, e.g. caps, walls the container being a hollow construction and having an insulating or insulated base as a mounting for the semiconductor body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/02Containers; Seals
    • H01L23/04Containers; Seals characterised by the shape of the container or parts, e.g. caps, walls
    • H01L23/053Containers; Seals characterised by the shape of the container or parts, e.g. caps, walls the container being a hollow construction and having an insulating or insulated base as a mounting for the semiconductor body
    • H01L23/057Containers; Seals characterised by the shape of the container or parts, e.g. caps, walls the container being a hollow construction and having an insulating or insulated base as a mounting for the semiconductor body the leads being parallel to the base
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/40Mountings or securing means for detachable cooling or heating arrangements ; fixed by friction, plugs or springs
    • H01L23/4006Mountings or securing means for detachable cooling or heating arrangements ; fixed by friction, plugs or springs with bolts or screws
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/03Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
    • H01L25/04Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
    • H01L25/07Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L29/00
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/18Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof the devices being of types provided for in two or more different subgroups of the same main group of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/40Mountings or securing means for detachable cooling or heating arrangements ; fixed by friction, plugs or springs
    • H01L23/4006Mountings or securing means for detachable cooling or heating arrangements ; fixed by friction, plugs or springs with bolts or screws
    • H01L2023/4075Mechanical elements
    • H01L2023/4087Mounting accessories, interposers, clamping or screwing parts
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/498Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
    • H01L23/49822Multilayer substrates
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

Definitions

  • the present invention relates to a semiconductor device.
  • FIG. 12A is a plan view of a power semiconductor module described in Patent Document 1 regarding a conventional semiconductor device
  • FIG. 12B is a cross-sectional view thereof.
  • the laminated substrate 12 is fixed on the heat dissipation base 11.
  • the laminated substrate 12 is formed by laminating a metal plate, an insulating plate, and a circuit board.
  • the lower end of the main terminal 13 is electrically and mechanically bonded to the circuit board of the multilayer substrate 12 by a bonding material such as solder or direct bonding, and the lower end of the control terminal 140 is directly bonded to a bonding material such as solder. Electrically and mechanically joined by joining.
  • a resin case 500 is provided so as to cover the multilayer substrate 12 and is fixed to the heat dissipation base 11 with an adhesive.
  • FIG. 12 (c) shows an enlarged view of the main part near the upper end of the main terminal 13.
  • the upper end of the main terminal 13 has a U shape by an upper surface portion 13a and two side surface portions 13b connected to both ends of the upper surface portion.
  • the upper end of the main terminal 13 protrudes outward through the opening of the resin case 500.
  • a nut glove 510 which is a resin body in which a nut is embedded, is inserted between the two side surface portions 13b of the main terminal 13.
  • FIG. 12D shows an enlarged view near the upper end of the control terminal 140.
  • the control terminal 140 has a first protrusion 140a and a second protrusion 140b with a space therebetween.
  • a recess 140c is formed between the first protrusion 140a and the second protrusion 140b.
  • a resin block 520 having a convex stepped portion that fits into the concave portion 140 c of the control terminal 140 is inserted into the opening for the control terminal 140 of the resin case 500.
  • the recess 140c is engaged with the tip of the resin block 520.
  • the control terminal 140 is accurately positioned in the horizontal direction, and the vertical movement due to an external load is suppressed.
  • the insertion direction of the nut glove attached to the resin case is different from the insertion direction of the resin block. For this reason, when manufacturing the semiconductor device, it is necessary to separately perform a process of attaching the nut glove to the resin case and a process of attaching the resin block, and time and labor are required for the installation work.
  • the present invention advantageously solves the above-described problems, and provides a semiconductor device that can reduce time and labor for mounting work when manufacturing a semiconductor device such as a power semiconductor module. Objective.
  • the semiconductor device of the present invention includes a main terminal and a control terminal respectively bonded to the multilayer substrate, and a resin case having an opening through which the control terminal passes and covering the multilayer substrate.
  • the control terminal has a recess between the laminated substrate and the opening of the resin case.
  • the resin case has a fixing member and a resin case main body to which the fixing member can be attached.
  • the fixing member includes a resin block portion having a convex stepped portion that engages with the concave portion of the control terminal, a nut housing portion in which a nut aligned with the main terminal is embedded, the resin block portion, and the nut And a beam portion integrated by connecting the housing portions.
  • the resin case body includes a hollow portion into which the resin block portion can be inserted, and the nut housing portion and the resin block portion can be attached from one direction.
  • the semiconductor device of the present invention it is possible to reduce the time and labor of the mounting work when manufacturing the semiconductor device.
  • FIG. 1 is an explanatory diagram of a power semiconductor module according to Embodiment 1 of the present invention.
  • FIG. 2 is an explanatory view of the fixing member.
  • FIG. 3 is an enlarged view of the distal end portion of the resin block portion.
  • FIG. 4 is a side view of the resin case main body.
  • FIG. 5 is an explanatory view of a fixing member of a modified example.
  • FIG. 6 is an explanatory diagram of a fixing member according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 7 is a side view of the resin case main body.
  • FIG. 8 is a partially enlarged cross-sectional view of a resin case main body and a fixing member according to Embodiment 3 of the present invention.
  • FIG. 9 is a plan view of a fixing member according to Embodiment 4 of the present invention.
  • FIG. 10 is a side view of a resin case main body according to Embodiment 4 of the present invention.
  • FIG. 11 is a side view of a modified resin case main body.
  • FIG. 12 is an explanatory diagram of a conventional power semiconductor module.
  • the terms “upper” and “lower” mean the positional relationship between the upper side and the lower side in the drawing, and do not mean the positional relationship between the upper and lower sides in the actual use state.
  • FIG. 1 is an explanatory diagram of a power semiconductor module 10 which is an embodiment of a semiconductor device of the present invention.
  • 1A is a plan view of the power semiconductor module 10
  • FIG. 1B is a cross-sectional view taken along line BB of FIG. 1A.
  • the power semiconductor module 10 includes a heat dissipation base 11, a laminated substrate 12, a main terminal 13, a control terminal 14, and a resin case 15.
  • the laminated substrate 12 is fixed on the heat dissipation base 11.
  • the laminated substrate 12 is formed by laminating a metal plate, an insulating plate, and a circuit board, and is fixed to a heat radiating base 11 with a bonding material (not shown), for example, solder, facing the metal plate.
  • a predetermined electrical circuit pattern is selectively formed on the circuit board of the laminated substrate 12.
  • a power semiconductor chip (not shown) is electrically and mechanically bonded to the circuit board of the laminated substrate 12 by a bonding material. Further, the power semiconductor chip is electrically connected to the circuit board, the main terminal 13 and the control terminal 14 of the laminated substrate 12 by a wiring member (not shown).
  • a wiring member not shown
  • the power semiconductor chip and the wiring member are not characteristic parts of the present invention, and are not shown.
  • the lower end of the main terminal 13 is electrically and mechanically bonded to the circuit board of the multilayer substrate 12 by a bonding material such as solder or direct bonding, and the lower end of the control terminal 14 is directly bonded to a bonding material such as solder. Electrically and mechanically joined by joining.
  • the resin case 15 is provided so as to cover the multilayer substrate 12, and is fixed to the heat dissipation base 11 with an adhesive.
  • the resin case 15 includes a resin case main body 151 and a fixing member 152 attached to the resin case main body 151.
  • the resin case 15 has an opening 15a for projecting the upper end of the main terminal 13 outward, an opening 15b for projecting (penetrating) the upper end of the control terminal 14 outward, and a screw hole 15c. In the illustrated example, there are three main terminals 13 and four control terminals 14.
  • FIG. 1 (c) shows an enlarged view of the main part near the upper end of the main terminal 13.
  • the upper end of the main terminal 13 has a U shape by an upper surface portion 13a and two side surface portions 13b connected to both ends of the upper surface portion.
  • the upper end of the main terminal 13 protrudes outward through the opening of the resin case 15.
  • Bolt holes 13c are formed in the upper surface portion 13a.
  • a nut accommodating portion 153 of a fixing member 152 constituting the resin case 15 is inserted between the two side surface portions 13 b of the main terminal 13.
  • FIG. 1 (d) shows an enlarged view near the upper end of the control terminal 14.
  • the control terminal 14 has a first protrusion 14 a and a second protrusion 14 b spaced from each other between the multilayer substrate 12 and the opening 15 b of the resin case 15.
  • a recess 14c is formed between the first protrusion 14a and the second protrusion 14b.
  • the recess 14 c engages with the tip end portion of the resin block portion 154 of the fixing member 152 of the resin case 15.
  • the control terminal 14 is accurately positioned in the horizontal direction, that is, the direction parallel to the in-plane direction of the front surface of the heat radiating base 11, and the vertical movement due to the external load is suppressed. .
  • FIG. 2A is a plan view of the fixing member 152 including the nut housing portion 153 and the resin block portion 154.
  • FIG. 2B shows a side view of the fixing member 152.
  • the fixing member 152 has a shape in which a nut housing portion 153 and two resin block portions 154 provided on both sides of the nut housing portion 153 are connected by a beam portion 155.
  • the beam portion 155 connects the nut housing portion 153 and the two resin block portions 154 on one end side in the longitudinal direction of the fixing member 152.
  • Each of the nut housing portion 153 and the resin block portion 154 has an elongated bar (box) shape.
  • the longitudinal direction of the nut housing part 153 and the longitudinal direction of the resin block part 154 are substantially parallel.
  • the fixing member 152 can be attached to the resin case main body 151 in one direction, specifically, from the left direction to the right direction in FIG. 1 (a) and FIG. 2 (a).
  • the nut housing portion 153 is a resin body in which nuts 156 for connecting external wiring to the main terminals 13 are embedded.
  • three nuts 156 corresponding to the three main terminals 13 are connected to the main terminals 13. It is arranged linearly at the same interval as the interval.
  • Each nut 156 of the nut accommodating portion 153 is aligned with each of the main terminals 13. The connection between the main terminal 13 and the external wiring is performed by screwing a bolt or a screw (not shown) to the nut 156 of the nut housing portion 153 through the bolt hole 13c of the main terminal 13.
  • FIG. 3 shows an enlarged view of the distal end portion of the resin block portion 154.
  • 3A is a top view of the distal end portion of the resin block portion 154
  • FIG. 3B is a bottom view of the distal end portion of the resin block portion 154
  • FIG. 3C is a side view of the distal end portion of the resin block portion 154.
  • a groove 154 a that engages with the resin case is formed at the tip of the resin block portion 154.
  • a step portion 154b having a convex shape that engages with the concave portion 14c of the control terminal 14 is formed.
  • one projection 154c is formed on each side surface.
  • a protrusion 154 d is formed on the bottom surface of the resin block portion 154.
  • the step portions 154b are formed on both side surfaces of the front end portion of the resin block portion 154, the concave portions 14c of the control terminals 14 positioned in the step portions 154b can be engaged. Therefore, the two control terminals 14 can be engaged and fixed by one resin block portion 154.
  • the protrusions 154c and 154d formed on the side surface and the bottom surface of the front end portion of the resin block portion 154 are engaged with the recesses formed on the inner surface of the recess for the resin block portion 154 provided on the resin case main body 151, thereby resin.
  • the block unit 154 is fixed.
  • the beam portion 155 of the fixing member 152 shown in FIG. 2 is made of resin and connected to both the nut housing portion 153 and the resin block portion 154.
  • the beam portion 155 does not interfere with the main terminal 13 and does not interfere with the screw hole 15 c of the resin case 15 when attached to the resin case main body 151. Therefore, in this embodiment shown in FIG.1 and FIG.2, the beam part 155 is provided in the position between the main terminal 13 and the screw hole 15c.
  • the beam portion 155 can be integrally formed with the nut housing portion 153 and the resin block portion 154 by molding.
  • FIG. 4 shows a side view of the resin case main body 151.
  • a recess 151a for placing the nut housing portion 153 of the fixing member 152, an opening 151b into which the resin block portion 154 is inserted, and a groove 151c to which the beam portion is attached are formed.
  • the fixing member 152 can be attached and inserted into the resin case main body 151 from one direction.
  • a hollow portion extending in the horizontal direction of the resin case 15 is formed from the two openings 151b for the resin block portion 154 formed on one side surface of the resin case main body 151. The hollow portion reaches the control terminal 14. Yes.
  • the resin block portion 154 is inserted into the hollow portion to fix the control terminal 14 (see the plan view of FIG. 1A). Therefore, the hollow portion has a cross-sectional shape into which the resin block portion 154 can be inserted. Further, the extending directions of the two hollow portions corresponding to the two resin block portions 154 are substantially parallel to each other.
  • the resin case main body 151 and the fixing member 152 are fixed by engaging the protrusions 154c and 154d of the resin block portion 154 shown in FIG. 2 with a recess formed on the inner surface of the hollow portion of the resin case main body 151. . Therefore, the resin case main body 151 and the fixing member 152 can be fixed without using an adhesive. However, in this embodiment, fixing the resin case main body 151 and the fixing member 152 with an adhesive is not excluded.
  • FIG. 5 shows a modification of this embodiment.
  • the fixing member 157 shown in a plan view in FIG. 5A and in a side view in FIG. 5B has a protrusion 158 a for fixing to the resin case main body 151 at the rear end of the resin block portion 158.
  • the position of the protrusion for engaging the fixing member with the resin case main body may be the front end side or the rear end side.
  • the nut housing portion 153 and the resin block portion 154 are integrally formed by the beam portion 155, so that the semiconductor device can be fixed to the resin case main body from one direction. Moreover, the nut accommodating part 153 and the resin block part 154 can be fixed at once. Therefore, when manufacturing a semiconductor device, time and labor can be reduced for the mounting operation.
  • FIG. 6 illustrates the fixing member 252 of the present embodiment constituting the resin case as a characteristic configuration of the present embodiment
  • FIG. 7 illustrates the resin case main body 251 of the present embodiment.
  • the other configuration is basically the same as that of the power semiconductor module 10 shown in FIG. 6 and 7, the same members as those in the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals. Therefore, the description which overlaps already demonstrated in previous embodiment is abbreviate
  • the fixing member 252 includes a nut housing portion 153, a resin block portion 254, and a beam portion 155.
  • the resin block portion 254 has a protrusion 254e on the upper surface.
  • the resin case main body 251 includes a groove for guiding the protrusion 254e of the resin block portion 254 on the upper surface of the inner surface of the hollow portion into which the resin block portion 254 is inserted. This groove appears as a depression 251ba above the opening 251b in FIG.
  • the two resin block portions 254 are joined by a beam portion 155.
  • the extending directions of the two resin block portions 254 may not always maintain parallel. Even in this case, according to the present embodiment, since the protrusion 254e formed on the resin block portion 254 is guided to the groove of the hollow portion, the resin block portion 254 comes into contact with the inner surface of the hollow portion to cause a catch. This can be suppressed, and the resin block portion 254 can be inserted smoothly.
  • the protrusion 254 e is formed on the upper surface of the resin block portion 254.
  • the position where the protrusion 254e is formed is not limited to the upper surface of the resin block portion 254.
  • the position of the protrusion 254e in the longitudinal direction of the resin block portion 254 is not particularly limited.
  • the protrusion 254e is preferably formed in the vicinity of the tip portion of the resin block portion 254.
  • the protrusion 254 e is formed on each of the two resin block portions 254, but may be formed only on one of the resin block portions 254.
  • FIG. 8 is a partial enlarged cross-sectional view of the hollow portion of the resin case main body 351 constituting the resin case and the distal end portion of the resin block 354 of the fixing member inserted into the hollow portion. Indicated.
  • the other configuration is basically the same as that of the power semiconductor module 10 shown in FIG.
  • a stopper 351f is formed on the inner surface of the hollow portion of the resin case body 351. Further, the resin block 354 has a protrusion 354f that is engaged with the stopper 351f.
  • the protrusions 154c and 154d are formed at the front end of the resin block 154.
  • the front and rear ends of the resin block 354 are not the front end.
  • a protrusion 354f is formed between the protrusions 354f.
  • the position of the engaging means for fixing the resin block of the fixing member is not limited.
  • the protrusion 254e of the resin block portion 254 described in the previous embodiment and shown in FIG. 6 is provided with a protrusion 354f for engaging with the stopper 351f of the hollow portion of this embodiment. It can be set as the structure which serves also.
  • FIG. 9 shows a plan view of the fixing member 452 constituting the resin case as a characteristic configuration of the present embodiment.
  • the other configuration is basically the same as that of the power semiconductor module 10 shown in FIG.
  • the nut housing portion 453 has a taper 453a at the tip thereof.
  • the nut housing portion 453 can be smoothly inserted between the two side surface portions 13b forming the U-shape of the upper end of the main terminal 13. Can do.
  • a protrusion is formed on the upper surface of the resin block portion 154, and the resin case main body into which the resin block portion 154 is inserted.
  • a groove may be formed in the hollow portion to guide the protrusion.
  • FIG. 10 shows a side view of a resin case main body 451 constituting the resin case.
  • the resin case main body 451 in FIG. 10 has a taper 451ba in the opening 451b into which the resin block portion 154 of the fixing member 452 in FIG. 9 is inserted. Thereby, the resin block part 154 can be smoothly inserted into the hollow part.
  • the resin block portion of the fixing member is not limited to the one inserted into the hollow portion formed in the resin case body.
  • a groove for guiding the resin block portion is formed on the upper surface of the resin case main body, and the resin block portion is guided along this groove to fix the control terminal. In the case of this configuration, the resin block portion is exposed on the upper surface of the resin case.
  • FIG. 11 is a modification of the resin case main body shown in FIG. 7, and a part of the upper side of the opening 251b is also opened on the upper surface of the resin case to form a slit. Accordingly, the protrusion 254e of the resin block portion 254 of the fixing member 252 shown in FIG. 6 is guided by this slit.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
  • Non-Portable Lighting Devices Or Systems Thereof (AREA)

Abstract

 半導体装置の制御端子14は、凹部14cを有している。樹脂ケース15は、制御端子14の凹部14cと係合して固定する固定部材152を備えている。固定部材152は凹部14cと係合する段差部を有する樹脂ブロック部154と、ナット収容部153と、樹脂ブロック部154及びナット収容部153を連結し一体化する梁部155と、からなる。固定部材152が取りつけられる樹脂ケース本体151は、樹脂ブロック部154を挿入可能な中空部を備えている。固定部材152のナット収容部153及び樹脂ブロック部154を、樹脂ケース本体151に一方向から取り付ける。

Description

半導体装置
 本発明は、半導体装置に関する。
 従来の半導体装置に関して特許文献1に記載されたパワー半導体モジュールを図12(a)に平面図で、図12(b)に断面図で示す。図12に示すパワー半導体モジュール100は、放熱ベース11上に積層基板12が固着されている。積層基板12は金属板、絶縁板及び回路板が積層されてなるものである。積層基板12の回路板には,主端子13の下端が、はんだ等の接合材や直接接合により電気的かつ機械的に接合され、また、制御端子140の下端が、はんだ等の接合材や直接接合により電気的かつ機械的に接合されている。積層基板12を覆うように樹脂ケース500が設けられ、放熱ベース11に接着剤によって固着されている。
 図12(c)に主端子13の上端近傍の要部拡大図を示す。主端子13の上端は、上面部13a及びこの上面部の両端に接続する2つの側面部13bによりU字形状を有している。主端子13の上端は、樹脂ケース500の開口を通して外方に突出している。主端子13の2つの側面部13bの間には、ナットが埋め込まれた樹脂体であるナットグローブ510が挿入されている。
 図12(d)に制御端子140の上端近傍の拡大図を示す。制御端子140は、第1の突起140aと第2の突起140bとを間隔を空けて有している。この第1の突起140aと第2の突起140bの間に凹部140cが形成されている。
 樹脂ケース500の制御端子140用の開口に、この制御端子140の凹部140cに嵌まり合う凸形状の段差部を有する樹脂ブロック520が挿入されている。凹部140cは、樹脂ブロック520の先端部と係合される。これにより制御端子140は、水平な方向に精度よく位置決めされ、また、外部からの荷重による上下方向の移動が抑制される。
国際公開第2012/071440号
 特許文献1に記載された半導体装置は、樹脂ケースに取り付けられるナットグローブの挿入方向と、樹脂ブロックの挿入方向が異なっていた。そのため、半導体装置を製造する際は、ナットグローブを樹脂ケースに取り付ける工程と、樹脂ブロックを取り付ける工程とを別途に行う必要があり、取り付け作業に時間及び手間を要していた。
 本発明は、上記の問題を有利に解決するものであり、パワー半導体モジュールを例とする半導体装置を製造する際に、取り付け作業に時間及び手間を軽減することのできる半導体装置を提供することを目的とする。
 本発明の半導体装置は、積層基板にそれぞれ接合された主端子及び制御端子と、前記制御端子が貫通した開口を有し、前記積層基板を覆う樹脂ケースと、を備えている。前記制御端子は、前記積層基板と前記樹脂ケースの開口との間に凹部を有している。前記樹脂ケースは、固定部材及び、前記固定部材を取り付け可能な樹脂ケース本体を有している。固定部材は、前記制御端子の凹部と係合する凸形状の段差部を有する樹脂ブロック部と、前記主端子に位置合わせされるナットが埋め込まれたナット収容部と、前記樹脂ブロック部及び前記ナット収容部を連結して一体化した梁部と、を含む。前記樹脂ケース本体は、前記樹脂ブロック部を挿入可能な中空部を備え、前記ナット収容部及び樹脂ブロック部を、一方向から取り付け可能である。
 本発明の半導体装置によれば、半導体装置を製造する際に、取り付け作業の時間及び手間を軽減することができる。
図1は、発明の実施形態1のパワー半導体モジュールの説明図である。 図2は、固定部材の説明図である。 図3は、樹脂ブロック部の先端部の拡大図である。 図4は、樹脂ケース本体の側面図である。 図5は、変形例の固定部材の説明図である。 図6は、本発明の実施形態2の固定部材の説明図である。 図7は、樹脂ケース本体の側面図である。 図8は、本発明の実施形態3の樹脂ケース本体及び固定部材の部分拡大断面図である。 図9は、本発明の実施形態4の固定部材の平面図である。 図10は、本発明の実施形態4の樹脂ケース本体の側面図である。 図11は、変形例の樹脂ケース本体の側面図である。 図12は、従来のパワー半導体モジュールの説明図である。
 以下、本発明の半導体装置の実施形態について、図面を参照しつつ具体的に説明する。なお、以下の説明では、上、下については図面における紙面の上、下の位置関係を意味していて、実際の使用状態における上、下の位置関係を意味するものではない。
(実施形態1)
 図1は、本発明の半導体装置の一実施形態であるパワー半導体モジュール10の説明図である。図1中、図1(a)はパワー半導体モジュール10の平面図であり、図1(b)は図1(a)のB-B線視の断面図である。パワー半導体モジュール10は、放熱ベース11、積層基板12、主端子13、制御端子14及び樹脂ケース15を備えている。
 放熱ベース11上に積層基板12が固着されている。積層基板12は金属板、絶縁板及び回路板が積層されてなるものであって、放熱ベース11に当該金属板を対向させて図示しない接合材、例えばはんだにより固着されている。積層基板12の回路板は、所定の電気回路のパターンが選択的に形成されている。積層基板12の回路板上には図示しないパワー半導体チップが接合材により電気的かつ機械的に接合されている。また、パワー半導体チップは、図示しない配線部材により積層基板12の回路板や主端子13や制御端子14と電気的に接続されている。図1において、パワー半導体チップや配線部材は、本発明の特徴的な部分ではないので図示を省略している。積層基板12の回路板には,主端子13の下端が、はんだ等の接合材や直接接合により電気的かつ機械的に接合され、また、制御端子14の下端が、はんだ等の接合材や直接接合により電気的かつ機械的に接合されている。
 樹脂ケース15は、積層基板12を覆うように設けられ、放熱ベース11に接着剤によって固着されている。樹脂ケース15は、樹脂ケース本体151と当該樹脂ケース本体151に取り付けられた固定部材152とにより構成されている。樹脂ケース15は、主端子13の上端を外方に突出させる開口15a、制御端子14の上端を外方に突出(貫通)させる開口15b及びねじ孔15cを有している。図示した例では、主端子13は3個であり、制御端子14は4個である。
 図1(c)に主端子13の上端近傍の要部拡大図を示す。主端子13の上端は、上面部13a及びこの上面部の両端に接続する2つの側面部13bによりU字形状を有している。主端子13の上端は、樹脂ケース15の開口を通して外方に突出している。上面部13aにはボルト穴13cが形成されている。主端子13の2つの側面部13bの間には、樹脂ケース15を構成する固定部材152のナット収容部153が挿入される。
 図1(d)に制御端子14の上端近傍の拡大図を示す。制御端子14は、積層基板12と樹脂ケース15の開口15bとの間に、第1の突起14aと第2の突起14bとを間隔を空けて有している。この第1の突起14aと第2の突起14bの間に凹部14cが形成されている。凹部14cは、樹脂ケース15の固定部材152の樹脂ブロック部154の先端部と係合する。これにより制御端子14は、水平な方向、すなわち、放熱ベース11のおもて面の面内方向と平行な方向に精度よく位置決めされ、また、外部からの荷重による上下方向の移動が抑制される。
 図2(a)にナット収容部153及び樹脂ブロック部154を備える固定部材152の平面図を示す。また図2(b)に固定部材152の側面図を示す。固定部材152は、ナット収容部153と、ナット収容部153の両側にそれぞれ設けられた2本の樹脂ブロック部154とが、梁部155により接続された形状を有している。梁部155は固定部材152の長手方向の一方の端部側でナット収容部153と2本の樹脂ブロック部154を連結している。ナット収容部153と樹脂ブロック部154はそれぞれ細長い棒(箱)状の形状である。ナット収容部153の長手方向と、樹脂ブロック部154の長手方向とは略平行である。このことにより固定部材152を樹脂ケース本体151に対して、一方向に、具体的には図1(a)及び図2(a)における紙面左方向から右方向に向かって、取り付けることができる。
 ナット収容部153は、主端子13に外部配線を接続するナット156が埋め込まれた樹脂体であり、本実施形態では3個の主端子13に対応した3個のナット156が、主端子13の間隔と同じ間隔で直線状に配列されている。ナット収容部153の各ナット156は、主端子13のそれぞれに位置合わせされる。主端子13と外部配線との接続は、図示しないボルト又はねじを、主端子13のボルト穴13cを通してナット収容部153のナット156にねじ結合することにより行われる。
 図3に、樹脂ブロック部154の先端部の拡大図を示す。図3(a)は樹脂ブロック部154の先端部の上面図、図3(b)は樹脂ブロック部154の先端部の下面図、図3(c)は樹脂ブロック部154の先端部の側面図である。樹脂ブロック部154の先端部には樹脂ケースと係合する溝154aが形成されている。また樹脂ブロック部154の両側面には、制御端子14の凹部14cと係合する凸形状を有する段差部154bが形成されている。また両側の側面には、それぞれ1つずつ突起154cが形成されている。また、樹脂ブロック部154の底面には、突起154dが形成されている。
 樹脂ブロック部154の先端部の両側面に段差部154bが形成されていることにより、段差部154bのそれぞれに位置させた制御端子14の凹部14cを係合させることができる。よって1つの樹脂ブロック部154で2本の制御端子14を係合させ、固定することができる。樹脂ブロック部154の先端部の側面及び底面に形成された突起154c、154dは、樹脂ケース本体151に設けられた樹脂ブロック部154用の窪みの内面に形成された凹部と係合することにより樹脂ブロック部154を固定する。
 図2に示す固定部材152の梁部155は、樹脂よりなり、ナット収容部153と樹脂ブロック部154との両者に接続されている。梁部155により、ナット収容部153と樹脂ブロック部154とが一体化されている。梁部155は、樹脂ケース本体151に取り付けたときに、主端子13と干渉せず、かつ、樹脂ケース15のねじ孔15cに干渉しない位置であることが望ましい。そのために図1及び図2に示した本実施形態では、梁部155は、主端子13とねじ孔15cとの間の位置に設けられている。梁部155は、ナット収容部153と樹脂ブロック部154と共に、モールド成形により一体的に成形することができる。
 図4に樹脂ケース本体151の側面図を示す。樹脂ケース本体151の側面に、固定部材152のナット収容部153を載置する凹部151aと、樹脂ブロック部154が挿入される開口151bと、梁部が取りつけられる溝151cが形成されている。これにより、固定部材152は、樹脂ケース本体151に一方向から取り付け挿入可能になっている。樹脂ケース本体151の一つの側面に形成された樹脂ブロック部154用の2個の開口151bから樹脂ケース15の水平方向に延びる中空部が形成されていて、この中空部は制御端子14まで達している。この中空部に樹脂ブロック部154が挿入されて、制御端子14を固定する(図1(a)の平面図を参照)。そのため、中空部は樹脂ブロック部154を挿入可能な断面形状を有している。また、2個の樹脂ブロック部154に対応する2個の中空部の延伸方向は互いに略平行である。
 樹脂ケース本体151と固定部材152とは、図2に示す樹脂ブロック部154の突起154c及び154dが、樹脂ケース本体151の上記中空部の内面に形成された凹部と係合することにより固定される。したがって、接着剤を用いることなく、樹脂ケース本体151と固定部材152とを固定することができる。もっとも、本実施形態において、樹脂ケース本体151と固定部材152とを接着剤により固定することを排除するものではない。
 図2に示す固定部材152は、2本の樹脂ブロック部154のそれぞれの先端部近傍に突起154c及び154dが設けられている。もっとも、2本の樹脂ブロック部154のうちのいずれか一方の先端のみに突起154c及び154dが設けられている場合であっても、樹脂ケース本体151と固定部材152とを固定することができる。
 本実施形態の変形例を図5に示す。図5(a)に平面図で、図5(b)に側面図で示す固定部材157は、樹脂ブロック部158の後端部に樹脂ケース本体151に固定するための突起158aが形成されている。この変形例で理解できるように固定部材を樹脂ケース本体に係合するための突起の位置は先端側、後端側を問わない。
 本実施形態の半導体装置は、ナット収容部153と樹脂ブロック部154とが梁部155により一体的に形成されていることにより、樹脂ケース本体に一方向から取り付けて固定することができる。また、ナット収容部153と樹脂ブロック部154とを一度に固定することができる。したがって、半導体装置を製造する際に、取り付け作業に時間及び手間を軽減することができる。
(実施形態2)
 本発明の半導体装置の別の実施形態を図6、図7を用いて説明する。本実施形態のパワー半導体モジュールは、図1に示したパワー半導体モジュール10と基本的に同様の構成を有している。したがって、本実施形態の特徴的な構成として図6は、樹脂ケースを構成する本実施形態の固定部材252を図示し、図7は、本実施形態の樹脂ケース本体251を図示した。それ以外の構成は、図1に示したパワー半導体モジュール10と基本的に同じである。なお、図6及び図7において、先に示した実施形態と同一部材については同一符号を付している。したがって、先の実施形態ですでに説明したのと重複する説明は省略する。
 図6及び図7に示した本実施形態の半導体装置は,固定部材252がナット収容部153と樹脂ブロック部254と梁部155とから構成されている。樹脂ブロック部254は、上面に、突起254eを有している。樹脂ケース本体251は、樹脂ブロック部254が挿入される中空部の内面のうちの上面に、該樹脂ブロック部254の突起254eを案内する溝を備えている。この溝は、図6において開口251bの上側の窪み251baとして現れている。
 2本の樹脂ブロック部254は梁部155により接合されている。固定部材252の樹脂ブロック部254を樹脂ケース本体251の開口251bから挿入する際に、2本の樹脂ブロック部254の延伸方向は必ずしも平行を維持していない場合がある。この場合であっても本実施形態によれば、樹脂ブロック部254に形成された突起254eが中空部の溝に案内されるので、樹脂ブロック部254が中空部の内面に接触して引っ掛かりを生じることを抑制して、該樹脂ブロック部254をスムーズに挿入することができる。
 図6及び図7に示した本実施形態では、突起254eが樹脂ブロック部254の上面に形成されている。もっとも、突起254eが形成される位置は、樹脂ブロック部254の上面に限定されない。また、樹脂ブロック部254の長手方向における突起254eの位置も特に限定されない。もっとも、樹脂ブロック部254をスムーズに案内する観点から突起254eは樹脂ブロック部254の先端部近傍に形成されることが好ましい。
 更に、図6及び図7では、突起254eは2本の樹脂ブロック部254の各々に形成されているが、何れか一方の樹脂ブロック部254のみに形成されていてもよい。
(実施形態3)
 本発明の別の実施形態を、図8を用いて説明する。本実施形態のパワー半導体モジュールは、図1に示したパワー半導体モジュール10と基本的に同様の構成を有している。したがって、本実施形態の特徴的な構成として図8は、樹脂ケースを構成する樹脂ケース本体351の中空部及び当該中空部に挿入された固定部材の樹脂ブロック354の先端部の部分拡大断面図を示した。それ以外の構成は、図1に示したパワー半導体モジュール10と基本的に同じである。
 図8において、樹脂ケース本体351の中空部の内面に、ストッパー351fが形成されている。また、樹脂ブロック354には、このストッパー351fを乗り越えて係合される突起354fを有している。
 先に図1に示した実施形態では樹脂ブロック部154の先端部に突起154c、154dが形成されているが、本実施形態では樹脂ブロック354の先端部ではなく、先端部と後端部との間に突起354fが形成されている。この突起354fと上記ストッパーとが係合されることにより固定部材の樹脂ブロックが樹脂ケース本体に固定される。
 本実施形態で明らかなように固定部材の樹脂ブロックを固定するための係合手段の位置は問わない。
 また、本実施形態の変形例として、先の実施形態で説明し、図6に示した樹脂ブロック部254の突起254eが、本実施形態の中空部のストッパー351fと係合するための突起354fを兼ねる構成とすることができる。
(実施形態4)
 本発明の別の実施形態を、図9を用いて説明する。本実施形態のパワー半導体モジュールは、図1に示したパワー半導体モジュール10と基本的に同様の構成を有している。したがって、本実施形態の特徴的な構成として図9は、樹脂ケースを構成する固定部材452の平面図を示した。それ以外の構成は、図1に示したパワー半導体モジュール10と基本的に同じである。
 図9に示した固定部材452は、ナット収容部453がその先端部にテーパー453aを有している。ナット収容部453の先端部にテーパー453aを有していることにより、当該ナット収容部453を、主端子13の上端のU字形状を形成する2つの側面部13bの間にスムーズに挿入することができる。
 本実施形態においては、先に実施形態2において図6及び図7を用いて説明したように、樹脂ブロック部154の上面に突起を形成し、この樹脂ブロック部154が挿入される樹脂ケース本体の中空部に溝を形成して、当該突起が案内される構成とすることもできる。かかる構成によれば、樹脂ブロック部154が中空部の内面に接触して引っ掛かりを生じることを抑制するので、固定部材452を樹脂ケース本体に、よりスムーズに挿入することができる。
 本実施形態の別の例として、図10に樹脂ケースを構成する樹脂ケース本体451の側面図を示す。図10の樹脂ケース本体451は、図9の固定部材452の樹脂ブロック部154が挿入される開口451bに、テーパー451baが形成されている。これにより、樹脂ブロック部154を中空部にスムーズに挿入することができる。
 以上、本発明の半導体装置を図面及び実施形態を用いて具体的に説明したが、本発明は、実施形態及び図面の記載に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で幾多の変形が可能である。
 例えば、固定部材の樹脂ブロック部は、樹脂ケース本体に形成された中空部に挿入されるものに限られない。樹脂ケース本体の上面に樹脂ブロック部を案内する溝が形成され、この溝に沿って樹脂ブロック部が案内され、制御端子を固定する構成とすることもできる。この構成の場合は、樹脂ブロック部は樹脂ケースの上面にて露出している。
 図11は図7に示した樹脂ケース本体の変形例であり、開口251bの上側の一部が樹脂ケースの上面においても開口してスリットを形成している。これにより図6に示した固定部材252の樹脂ブロック部254の突起254eは、このスリットに案内される。
 10 パワー半導体モジュール
 12 積層基板
 13 主端子
 14 制御端子
 14c 凹部
 15 樹脂ケース
 15b 開口
 151、251、351 樹脂ケース本体
 151b、251b 中空部
 251ba 溝
 351f ストッパー
 152、252、452 固定部材
 153、453 ナット収容部
 453a テーパー
 154、254、354 樹脂ブロック部
 254e 突起
 354f 突起
 154c、154d 突起
 155 梁部
 156 ナット
 

Claims (5)

  1.  積層基板にそれぞれ接合された主端子及び制御端子と、
     前記制御端子が貫通した開口を有し、前記積層基板を覆う樹脂ケースと、
    を備え、
     前記制御端子が、前記積層基板と前記樹脂ケースの開口との間に凹部を有し、
     前記樹脂ケースが、固定部材及び、前記固定部材を取り付け可能な樹脂ケース本体を有し、
     前記固定部材は、前記制御端子の凹部と係合する凸形状の段差部を有する樹脂ブロック部と、前記主端子に位置合わせされるナットが埋め込まれたナット収容部と、前記樹脂ブロック部及び前記ナット収容部を連結して一体化した梁部と、を含み、
     前記樹脂ケース本体は、前記樹脂ブロック部を挿入可能な中空部を備え、前記ナット収容部及び樹脂ブロック部を、一方向から取り付け可能であることを特徴とする半導体装置。
  2.  前記固定部材の樹脂ブロック部が、前記樹脂ケース本体と係合する突起を備える請求項1記載の半導体装置。
  3.  前記樹脂ケース本体の中空部の内面に、前記固定部材の樹脂ブロック部を案内する溝が形成され、
     前記固定部材の樹脂ブロック部が、前記溝に案内される突起を備える請求項1記載の半導体装置。
  4.  前記樹脂ケース本体の中空部の内面に、前記固定部材の樹脂ブロック部を固定するストッパーが形成され、
     前記固定部材の樹脂ブロック部が、前記ストッパーと係合する突起を備える請求項1記載の半導体装置。
  5.  前記固定部材のナット収容部の先端にテーパーが形成された請求項1記載の半導体装置。
PCT/JP2015/075521 2014-10-14 2015-09-08 半導体装置 WO2016059916A1 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201580015943.4A CN106133903B (zh) 2014-10-14 2015-09-08 半导体装置
DE112015001002.5T DE112015001002B4 (de) 2014-10-14 2015-09-08 Halbleitervorrichtung
JP2016554015A JP6233528B2 (ja) 2014-10-14 2015-09-08 半導体装置
US15/280,054 US9831152B2 (en) 2014-10-14 2016-09-29 Semiconductor device

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014-210178 2014-10-14
JP2014210178 2014-10-14

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
US15/280,054 Continuation US9831152B2 (en) 2014-10-14 2016-09-29 Semiconductor device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2016059916A1 true WO2016059916A1 (ja) 2016-04-21

Family

ID=55746464

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2015/075521 WO2016059916A1 (ja) 2014-10-14 2015-09-08 半導体装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9831152B2 (ja)
JP (1) JP6233528B2 (ja)
CN (1) CN106133903B (ja)
DE (1) DE112015001002B4 (ja)
WO (1) WO2016059916A1 (ja)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102015103068B4 (de) 2015-03-03 2019-05-02 Infineon Technologies Bipolar Gmbh & Co. Kg Leistungshalbleitermodul mit verbesserter mechanischer Abstützung des Steueranschlusselements und zugehörigers Montageverfahren
JP6365768B2 (ja) * 2015-04-10 2018-08-01 富士電機株式会社 半導体装置
JP1669329S (ja) * 2020-03-13 2020-10-05
USD949808S1 (en) * 2020-11-27 2022-04-26 Sansha Electric Manufacturing Co., Ltd. Semiconductor device
CN112701053B (zh) * 2020-12-28 2021-10-26 江苏晟华半导体有限公司 一种mosfet器件的制作工艺

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0515446U (ja) * 1991-08-05 1993-02-26 日本インター株式会社 複合半導体装置
WO2013027826A1 (ja) * 2011-08-25 2013-02-28 富士電機株式会社 半導体装置および半導体装置の製造方法

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2560909Y2 (ja) 1991-08-05 1998-01-26 日本インター株式会社 複合半導体装置
JP2882143B2 (ja) 1991-12-10 1999-04-12 富士電機株式会社 半導体装置の内部配線構造
US6078501A (en) * 1997-12-22 2000-06-20 Omnirel Llc Power semiconductor module
JPH11330283A (ja) * 1998-05-15 1999-11-30 Toshiba Corp 半導体モジュール及び大型半導体モジュール
DE10326176A1 (de) * 2003-06-10 2005-01-05 eupec Europäische Gesellschaft für Leistungshalbleiter mbH Leistungshalbleitermodul
DE102006006423B4 (de) * 2006-02-13 2009-06-10 Semikron Elektronik Gmbh & Co. Kg Leistungshalbleitermodul und zugehöriges Herstellungsverfahren
DE102008005547B4 (de) * 2008-01-23 2013-08-29 Infineon Technologies Ag Leistungshalbleitermodul und Schaltungsanordnung mit einem Leistungshalbleitermodul
US8698287B2 (en) * 2009-06-25 2014-04-15 Fuji Electric Co., Ltd. Semiconductor device
JP5113815B2 (ja) * 2009-09-18 2013-01-09 株式会社東芝 パワーモジュール
JP5253455B2 (ja) * 2010-06-01 2013-07-31 三菱電機株式会社 パワー半導体装置
JP5972172B2 (ja) * 2010-11-16 2016-08-17 富士電機株式会社 半導体装置
US8876498B2 (en) 2010-11-22 2014-11-04 Micropump, Inc. Pumps and pump-heads with separately removable field-serviceable portion
JP2012134300A (ja) * 2010-12-21 2012-07-12 Mitsubishi Electric Corp 半導体装置
US8933554B2 (en) * 2011-07-28 2015-01-13 Fuji Electric Co., Ltd. Semiconductor device and method for manufacturing semiconductor device
CN103515340B (zh) * 2012-06-29 2016-09-07 三星电机株式会社 电源模块封装和用于制造电源模块封装的方法
JP6044321B2 (ja) 2012-12-19 2016-12-14 富士電機株式会社 半導体モジュール

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0515446U (ja) * 1991-08-05 1993-02-26 日本インター株式会社 複合半導体装置
WO2013027826A1 (ja) * 2011-08-25 2013-02-28 富士電機株式会社 半導体装置および半導体装置の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
DE112015001002T5 (de) 2016-11-17
US9831152B2 (en) 2017-11-28
CN106133903A (zh) 2016-11-16
US20170018480A1 (en) 2017-01-19
DE112015001002B4 (de) 2023-08-10
JPWO2016059916A1 (ja) 2017-04-27
CN106133903B (zh) 2019-01-01
JP6233528B2 (ja) 2017-11-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6233528B2 (ja) 半導体装置
JP6004001B2 (ja) 半導体装置
JP6044321B2 (ja) 半導体モジュール
US7848112B2 (en) Semiconductor device
US9853432B2 (en) Electrical junction box
US10297533B2 (en) Semiconductor device
JP6365768B2 (ja) 半導体装置
JPWO2012066833A1 (ja) 半導体装置
WO2015107804A1 (ja) 半導体モジュール
US9521758B2 (en) Semiconductor device
US10285274B2 (en) Circuit structure
JP2012200071A (ja) モータ制御装置
US10070527B2 (en) Semiconductor device
JP2016146733A (ja) 回路構成体
JP2009295706A (ja) 電子制御装置
US9974182B2 (en) Circuit assembly
JP5556763B2 (ja) 電子制御装置
WO2007148466A1 (ja) 電子部品モジュール
WO2017073145A1 (ja) コイル組立体および電気接続箱
JP4821825B2 (ja) ヒートシンクの取付構造
JP2010258465A (ja) 保持部材
JP2006191732A (ja) 回路構成体及びこれを用いた電気接続箱
JP6732583B2 (ja) 端子取付基板
WO2016125544A1 (ja) 回路構成体
JP2008277591A (ja) 電子機器用ケース構造

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 15850805

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 112015001002

Country of ref document: DE

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2016554015

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 15850805

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1