WO2016051788A1 - ガス吸着体、ガス吸着体の製造方法、及びガラスパネルユニット - Google Patents

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gas
glass
getter
seal
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将 石橋
瓜生　英一
阿部　裕之
長谷川　賢治
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パナソニックＩｐマネジメント株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to a gas adsorber, a method for producing the gas adsorber, and a glass panel unit.
  • Document 1 International Publication No. 2014/004936 discloses a multilayer glass.
  • the multilayer glass disclosed in Document 1 includes two sheet glasses, a sealed space formed between the two sheet glasses, and an adsorbent disposed in the sealed space.
  • the adsorbent is disposed in the sealed space in order to adsorb unnecessary gas in the sealed space.
  • This adsorbent is formed by applying a solution obtained by dissolving an adsorbing substance in a solvent to one plate glass and drying it.
  • the adsorbent may not have a desired shape, which has a problem in productivity.
  • the problem to be solved by the present invention is to obtain a gas adsorbent having excellent productivity and high gas adsorption capacity.
  • the gas adsorbent in the form according to the present invention is formed from a base material formed of inorganic material fibers or a porous body, and a liquid containing a getter attached to the base material.
  • a gas adsorbent manufacturing method wherein the gas adsorbent manufacturing method includes preparing a substrate formed of fibers or a porous material of an inorganic material and a liquid containing a getter. A preparation step, and an attachment step of attaching the liquid to the substrate.
  • the glass panel unit of the other form which concerns on this invention is the 1st glass panel, the 2nd glass panel arrange
  • Embodiment] [1-1. Configuration of gas adsorber] 1 and 2 show a glass panel unit 10 including a gas adsorber 60 according to an embodiment of the present invention.
  • the gas adsorber 60 of this embodiment is used for a glass panel unit.
  • the gas adsorber 60 is formed of a base material 61 formed of inorganic material fibers or a porous material, and a liquid containing a getter attached to the base material 61.
  • the gas adsorbent 60 includes a base 61 formed of inorganic material fibers or a porous body, and a getter fixed to the base 61.
  • the gas adsorber 60 is long in this embodiment.
  • the size of the gas adsorber 60 is appropriately set according to the glass panel unit to be used.
  • the height is 0.1 mm to 1 cm
  • the length is 10 cm to 3 m
  • the width is 0.1 cm to 10 cm. is there.
  • the substrate 61 is formed of inorganic material fibers. Or the base material 61 is formed with the porous body of an inorganic material.
  • the base material 61 functions as a carrier that supports the getter.
  • the inorganic material forming the substrate 61 may be glass or metal. Therefore, the fiber of the inorganic material which comprises the base material 61 may be a glass fiber or a metal fiber.
  • the metal forming the substrate 61 is, for example, a stable metal that does not change, deform (melt), or the like at an activation temperature of the getter (for example, 350 ° C.) or higher.
  • the substrate 61 may be a woven fabric, a nonwoven fabric, or a fiber bundle formed of inorganic material fibers.
  • the substrate 61 may be, for example, glass cloth, glass wool, metal woven fabric, or metal wool.
  • the porous body of the inorganic material that forms the substrate 61 may be porous glass or porous metal. More specifically, the porous body of the inorganic material may be a foam metal.
  • the base material 61 formed of fibers or a porous body has a relatively large specific surface area.
  • the base material 61 formed of inorganic material fibers or a porous body has a larger surface area even if it is the same size (or the same weight) as the base material 61 formed of an inorganic material plate. Therefore, a relatively large amount of getter is fixed to the substrate 61 formed of fibers or a porous body. Further, the getter fixed to the base member 61 comes into contact with more space, and it becomes easy to adsorb gas. Therefore, the gas adsorber 60 having the base material 61 formed of fibers or a porous body can have a high adsorption capacity.
  • the base material 61 defines the shape of the gas adsorber 60. In this embodiment, since the gas adsorber 60 is long, the base 61 is also long.
  • the size of the substrate 61 is, for example, 0.1 mm to 1 cm in height, 10 cm to 3 m in length, and 0.1 cm to 10 cm in width.
  • the length of the fibers constituting the substrate 61 is, for example, 5 mm to 1 m, and the diameter is, for example, 0.1 ⁇ m to 1 cm.
  • Getter is a material having the property of adsorbing molecules smaller than a predetermined size.
  • the getter is a material that adsorbs gas.
  • the getter is, for example, an evaporation type getter.
  • the evaporable getter has a property of releasing adsorbed molecules when the temperature is higher than a predetermined temperature (activation temperature). Therefore, even if the adsorption ability of the evaporable getter is reduced, the adsorption ability of the evaporable getter can be recovered by heating the evaporable getter to the activation temperature or higher.
  • the getter may be a non-evaporable getter.
  • Non-evaporable getters unlike evaporative getters, have the property of not releasing molecules once adsorbed.
  • the non-evaporable getter adsorbs a certain amount of molecules or more, even if the non-evaporable getter is heated to an activation temperature or higher, the adsorption ability is not recovered.
  • the getter is a zeolite, an ion exchanged zeolite (eg, a copper ion exchanged zeolite), an Fe—V—Zr alloy, or a Ba—Al alloy.
  • the manufacturing method of the gas adsorbent 60 according to the present embodiment includes a preparation process, an adhesion process, and a drying process.
  • the drying step may be omitted.
  • a base material 61 and a liquid containing a getter are prepared.
  • the liquid containing the getter can be obtained by stirring the liquid obtained by adding the getter to the solvent.
  • the liquid containing the getter is a getter solution.
  • the solution containing the getter is a getter dispersion.
  • the solvent is preferably a solvent that hardly reduces the adsorption ability of the getter.
  • the solvent is, for example, water, alcohol, or an aqueous solution containing alcohol.
  • the alcohol is, for example, ethanol, isopropyl alcohol, or terpineol.
  • the solvent used in the present embodiment may have a relatively high volatility at room temperature and may have a boiling point of 70 ° C. or lower. Considering the affinity with the base material 61 (easiness of soaking when the liquid is attached to the base material 61), preferred solvents are ethanol and isopropyl alcohol.
  • the specific gravity of the solvent is preferably smaller than the specific gravity of the getter. If a solvent having a specific gravity smaller than that of the getter is used, the specific gravity of the liquid can be made smaller than that of the getter, and the liquid can be easily penetrated into the substrate 61.
  • a liquid containing a getter is attached to the substrate 61.
  • a liquid containing getter is applied to the substrate 61.
  • the substrate 61 is impregnated with a liquid containing a getter.
  • a liquid containing a getter may be sprayed on the substrate 61.
  • the substrate 61 to which the liquid containing the getter is attached is dried. That is, the solvent contained in the liquid containing the getter is volatilized. Drying of the substrate 61 (solvent volatilization) may be performed by natural drying, or may be performed by forced drying such as heating or blowing. As the solvent volatilizes, the getter is fixed to the substrate 61.
  • the gas adsorbent 60 is obtained through the preparation process, the adhesion process, and the drying process described above.
  • the gas adsorbent 60 is formed by using the base 61 having a relatively large specific surface area, which is made of inorganic fiber or porous material. Therefore, the gas adsorber 60 has a relatively large amount of getter, and this getter can contact a relatively large amount of space. Therefore, according to the present embodiment, it is possible to obtain the gas adsorbent 60 having a high adsorption capacity. Further, according to the present embodiment, the shape of the gas adsorber 60 is determined by the shape of the base material 61 to be prepared. Therefore, the gas adsorber 60 having a desired shape can be easily obtained with high productivity.
  • the gas adsorber 60 of this embodiment is used for the glass panel unit 10.
  • the glass panel unit 10 of this embodiment is a vacuum heat insulating glass unit.
  • the vacuum heat insulating glass unit is a kind of multilayer glass panel including at least a pair of glass panels, and has a vacuum space between the pair of glass panels.
  • the glass panel unit 10 includes a first glass panel 20, a second glass panel 30, a seal 40, a vacuum space 50, a gas adsorber 60, And a plurality of spacers 70.
  • the first glass panel 20 includes a main body 21 that defines a planar shape of the first glass panel 20 and a coating 22.
  • the main body 21 has a rectangular shape and has a first surface (a lower surface in FIG. 1) and a second surface (an upper surface in FIG. 1) parallel to each other in the thickness direction. Both the first surface and the second surface of the main body 21 are flat surfaces.
  • the material of the main body 21 is, for example, soda lime glass, high strain point glass, chemically tempered glass, alkali-free glass, quartz glass, neoceram, or physically tempered glass.
  • the coating 22 is formed on the first surface of the main body.
  • the coating 22 is an infrared reflecting film.
  • the coating 22 is not limited to the infrared reflecting film, and may be a film having desired physical characteristics.
  • the second glass panel 30 includes a main body 31 that defines the planar shape of the second glass panel 30.
  • the planar shape and planar size of the main body 31 are the same as those of the main body 21 (that is, the planar shape of the second glass panel 30 is the same as that of the first glass panel 20).
  • the thickness of the main body 31 is the same as that of the main body 21.
  • the material of the main body 31 is, for example, soda lime glass, high strain point glass, chemically tempered glass, alkali-free glass, quartz glass, neoceram, or physically tempered glass.
  • the main body 31 has a rectangular shape and has a first surface (upper surface in FIG. 1) and a second surface (lower surface in FIG. 1) parallel to each other in the thickness direction. Both the first surface and the second surface of the main body 31 are flat surfaces.
  • the second glass panel 30 is composed only of the main body 31. That is, the main body 31 is the second glass panel 30 itself.
  • the second glass panel 30 is disposed so as to face the first glass panel 20.
  • the first glass panel 20 and the second glass panel 30 are arranged such that the first surface of the main body 21 and the first surface of the main body 31 are parallel to and opposed to each other. That is, the second surface of the main body 21 is directed to the outside of the glass panel unit 10, and the first surface of the main body 21 is directed to the inside of the glass panel unit 10. Further, the first surface of the main body 31 is directed to the inside of the glass panel unit 10, and the second surface of the main body 31 is directed to the outside of the glass panel unit 10.
  • the seal 40 is disposed between the first glass panel 20 and the second glass panel 30 and joins the first glass panel 20 and the second glass panel 30 in an airtight manner. As a result, a space surrounded by the seal 40, the first glass panel 20, and the second glass panel 30 is formed.
  • the degree of vacuum (pressure) of this space is equal to or less than a predetermined value, and is referred to as a vacuum space 50.
  • the seal 40 is formed of a thermal adhesive.
  • the thermal adhesive is, for example, a glass frit.
  • the glass frit is, for example, a low melting point glass frit.
  • the low melting point glass frit is, for example, a bismuth glass frit, a lead glass frit, or a vanadium glass frit.
  • the seal 40 has a rectangular frame shape.
  • the planar shape of the seal 40 is the same as the main bodies 21 and 31, but the planar size of the seal 40 is smaller than the main bodies 21 and 31.
  • the seal 40 is formed along the outer periphery of the second glass panel 30. That is, the seal 40 is formed so as to surround almost all the region on the second glass panel 30.
  • the vacuum space 50 is a space whose degree of vacuum is a predetermined value or less, and the predetermined value is, for example, 0.1 Pa. Since the vacuum space 50 is completely sealed by the first glass panel 20, the second glass panel 30, and the seal 40, it is separated from the outside air.
  • the plurality of spacers 70 are used to maintain the distance between the first glass panel 20 and the second glass panel 30 at a predetermined distance. That is, the plurality of spacers 70 are used to maintain the distance between the first glass panel 20 and the second glass panel 30 at a desired value.
  • the plurality of spacers 70 are arranged in the vacuum space 50. Specifically, the plurality of spacers 70 are arranged at intersections of virtual rectangular grids. For example, the interval between the plurality of spacers 70 is 2 cm. However, the size of the spacers 70, the number of the spacers 70, the interval between the spacers 70, and the arrangement pattern of the spacers 70 can be selected as appropriate.
  • the spacer 70 has a cylindrical shape having a height substantially equal to the predetermined interval.
  • the spacer 70 has a diameter of 1 mm and a height of 100 ⁇ m.
  • Each spacer 70 may have a desired shape such as a prismatic shape or a spherical shape.
  • the spacer 70 is formed using a transparent material. However, each spacer 70 may be formed using an opaque material as long as it is sufficiently small.
  • the spacer 70 is preferably less deformable than the seal 40.
  • the material of the spacer 70 is selected to have a higher softening point (softening temperature) than the material of the seal 40.
  • the gas adsorber 60 is disposed in the vacuum space 50. Specifically, the gas adsorber 60 has a long shape, and is arranged on one end side (left end side in FIG. 2) in the length direction of the second glass panel 30 in the width direction (FIG. 2). (Vertical direction). That is, the gas adsorber 60 is disposed at the end of the vacuum space 50. In this way, the gas adsorber 60 can be made inconspicuous.
  • the gas adsorber 60 is fixed to the second glass panel 30. Further, the gas adsorber 60 is not in contact with the seal 40.
  • the height of the gas adsorber 60 (the length in the vertical direction in FIG. 1) is smaller than the predetermined interval.
  • the gas adsorber 60 is used for adsorbing unnecessary gas (residual gas or the like).
  • the unnecessary gas is, for example, a gas released from the seal 40 when the material of the seal 40 is heated to form the seal 40 while airtightly bonding the first glass panel 20 and the second glass panel 30. is there.
  • the gas adsorber 60 is less likely to be softened (not easily melted) than the seal 40 of the glass panel unit 10.
  • the substrate 61 of the gas adsorber 60 is selected to have a higher softening point (melting point) than the material of the seal 40.
  • the manufacturing method of the glass panel unit 10 of this embodiment includes first to sixth steps. Note that the order of the second to fourth steps may be changed as appropriate.
  • the first step is a step of forming the first glass panel 20 and the second glass panel 30 (panel forming step).
  • the first glass panel 20 and the second glass panel 30 are prepared.
  • the first glass panel 20 and the second glass panel 30 are washed as necessary.
  • the second step is a step of forming the seal 40 (a seal forming step).
  • the material (thermal adhesive) of the seal 40 is applied onto the second glass panel 30 (the first surface of the main body 31) using a dispenser or the like.
  • the third step is a step of arranging the gas adsorber 60 (gas adsorber arrangement step).
  • the gas adsorber 60 is disposed at a predetermined position on the second glass panel 30 (the first surface of the main body 31).
  • the gas adsorber 60 may be fixed as well as disposed on the second glass panel 30.
  • the gas adsorber 60 manufactured by the above-described manufacturing method may be fixed to the second glass panel 30 using a thermal adhesive (for example, the glass frit).
  • the material of the seal 40 thermal adhesive
  • Adhesion (fixation) with a material is preferable because it is efficient.
  • the base material 61 to which the liquid containing the getter is attached (that is, the base material 61 obtained through the above-described attachment process) is disposed on the second glass panel 30. Then, the substrate 61 is dried on the second glass panel 30. Thereby, the gas adsorber 60 is formed on the second glass panel 30 and further fixed.
  • the fourth step is a step of forming the spacer 70 (spacer forming step).
  • a plurality of spacers 70 are formed in advance, and the plurality of spacers 70 are arranged at predetermined positions on the second glass panel 30 using a chip mounter or the like.
  • the plurality of spacers 70 may be formed using a photolithography technique and an etching technique. In this case, the plurality of spacers 70 are formed using a photocurable material or the like. Alternatively, the plurality of spacers 70 may be formed using a known thin film forming technique.
  • the fifth step is a step (arrangement step) in which the first glass panel 20 and the second glass panel 30 are arranged.
  • the first glass panel 20 and the second glass panel 30 are arranged so that the first surface of the main body 21 and the first surface of the main body 31 are parallel to and opposed to each other.
  • the sixth step is a step of airtightly bonding the first glass panel 20 and the second glass panel 30 with the seal 40.
  • the material of the seal 40 is heated and melted once while the first glass panel 20 is in contact with the material of the seal 40 applied to the second glass panel 30.
  • sticker 40 is solidified and the seal
  • an appropriate method can be used as a method of forming the vacuum space 50.
  • an exhaust port is provided in any of the first glass panel 20, the second glass panel 30, and the seal 40. Then, in the sixth step, the space surrounded by the first glass panel 20, the second glass panel 30, and the seal 40 is exhausted from the exhaust port, and then the vacuum port 50 is formed by closing the exhaust port. Can do.
  • the vacuum space 50 can be formed by airtightly bonding the first glass panel 20 and the second glass panel 30 under vacuum.
  • the glass panel unit 10 is obtained through the first to sixth steps described above.
  • Modification 1] 3 and 4 show a glass panel unit 10 including the gas adsorbent 60 of Modification 1 of the embodiment according to the present invention.
  • the gas adsorber (60) of Modification 1 is fixed to the seal (40), unlike the gas adsorber (60) of FIGS. 1 and 2. That is, the gas adsorber (60) is in contact with the seal (40).
  • the gas adsorbent (60) of Modification 1 can be formed by the same material and the same manufacturing method as those of the gas adsorbent (60) of FIGS.
  • the gas adsorber 60 has a long shape (I shape), and the width of the second glass panel 30 on one end side in the length direction of the second glass panel 30 (left end side in FIG. 4). It arrange
  • the gas adsorber 60 since the gas adsorber 60 having a desired shape can be easily obtained, the gas adsorber 60 is U-shaped along the three sides of the rectangular frame-shaped seal 40. Alternatively, it may be L-shaped along two sides.
  • the gas adsorbent (60) of Modification 1 is disposed on the second glass panel (30) (the first surface of the main body (31)) so as to contact the material of the seal (40). The If it does in this way, in the 6th process, when the material of the applied seal (40) is heated and the 1st glass panel (20) and the 2nd glass panel (30) are joined airtightly, gas adsorption The body (60) can be secured to the seal (40).
  • the gas adsorber (60) of Modification 2 is different from the gas adsorber (60) shown in FIGS. 1 to 4 in the first glass panel (20) and the second glass panel (30). It is sandwiched and fixed.
  • the gas adsorber (60) of the modified example 2 can be formed by the same material and the same manufacturing method as the gas adsorber (60) of FIGS.
  • the height (length in the vertical direction in FIG. 5) of the gas adsorbent (60) of Modification 2 is equal to the predetermined interval. Therefore, for example, in the sixth step, the first glass panel (20) and the second glass panel (30) so that the distance between the first glass panel (20) and the second glass panel (30) is the predetermined distance. And the gas adsorber (60) is sandwiched and fixed between the first glass panel (20) and the second glass panel (30). Note that the gas adsorbent (60) of Modification 2 may not be bonded to the second glass panel 30, but may be bonded.
  • the gas adsorber (60) has a long shape, but may have other shapes. Further, the gas adsorber (60) does not necessarily have to be at the end of the vacuum space (50). 1 to 4, the gas adsorbent (60) is fixed to the second glass panel 30, but may be fixed to the first glass panel 20.
  • the glass panel unit (10) has a rectangular shape, but the glass panel unit (10) may have a desired shape such as a circular shape or a polygonal shape. That is, the first glass panel (20), the second glass panel (30), and the seal (40) may have a desired shape such as a circular shape or a polygonal shape instead of a rectangular shape.
  • size of a glass panel unit (10) are determined according to the use of a glass panel unit (10).
  • first surface and the second surface of the main body (21) of the first glass panel (20) are not limited to flat surfaces.
  • neither the first surface nor the second surface of the main body (31) of the second glass panel (30) is limited to a flat surface.
  • main body (21) of the first glass panel (20) and the main body (31) of the second glass panel (30) may not have the same planar shape and planar size. Moreover, the main body (21) and the main body (31) may not have the same thickness. Moreover, the main body (21) and the main body (31) may not be formed of the same material.
  • the seal (40) may not have the same planar shape as the first glass panel (20) and the second glass panel (30).
  • the first glass panel (20) may further include a coating having desired physical properties and formed on the second plane of the main body (21).
  • the first glass panel (20) may not include the coating (22). That is, the 1st glass panel (20) may be comprised only with the main body (21).
  • the second glass panel (30) may further include a coating having desired physical characteristics.
  • the coating only needs to include at least one of thin films formed on the first surface and the second surface of the main body (31), for example.
  • the coating is, for example, a film that reflects light of a specific wavelength (infrared reflective film, ultraviolet reflective film).
  • the glass panel unit (10) includes a plurality of spacers (70), but the glass panel unit (10) may include a single spacer (70). Alternatively, the glass panel unit (10) may not include the spacer (70).
  • the gas adsorbent (60) includes a base material (61) formed of inorganic material fibers or a porous body, And a liquid containing a getter attached to the substrate (61).
  • a gas adsorbent (60) having excellent productivity and high gas adsorption capacity can be obtained.
  • the gas adsorber (60) of the second embodiment according to the present invention is realized by a combination with the first embodiment.
  • the inorganic material is glass.
  • the gas adsorbent (60) whose thermal expansion coefficient and thermal conductivity are close to the glass panels (20, 30) and the seal (40).
  • the gas adsorber (60) of the third embodiment according to the present invention is realized by a combination with the first embodiment.
  • the inorganic material is a metal.
  • a gas adsorbent (60) having sufficient strength can be obtained.
  • a method for producing a gas adsorbent according to a fourth aspect of the present invention is a method for producing a gas adsorbent (60) according to any one of the first to third aspects, and is a fiber or porous body of an inorganic material.
  • the preparation process which prepares the base material (61) formed by (1) and the liquid containing a getter, and the adhesion process which adheres the said liquid to a base material (61) are included.
  • a gas adsorbent (60) having excellent productivity and high gas adsorption capacity can be obtained.
  • the glass panel unit (10) of the 5th form concerning the present invention is the 1st glass panel (20), the 2nd glass panel (30) arranged so as to oppose the 1st glass panel (20), Surrounded by a seal (40) that hermetically bonds the first glass panel (20) and the second glass panel (30), and the first glass panel (20), the second glass panel (30), and the seal (40). And a gas adsorbent (60) of any one of the first to third embodiments disposed in the vacuum space (50).
  • the glass panel unit (10) including the gas adsorbent (60) having excellent productivity and high gas adsorbing ability.
  • the glass panel unit (10) according to the sixth embodiment of the present invention is realized by a combination with the fifth embodiment.
  • the gas adsorber (60) is fixed to the seal (40).
  • the gas adsorber (60) can be easily fixed.
  • the glass panel unit (10) of the seventh embodiment according to the present invention is realized by a combination with the fifth embodiment.
  • the gas adsorber (60) is sandwiched and fixed between the first glass panel (20) and the second glass panel (30).
  • the gas adsorber (60) can be easily fixed.

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Abstract

　本発明の課題は、生産性に優れガス吸着能力の高いガス吸着体を得ることである。本発明に係るガス吸着体（６０）は、ガラスパネルユニット（１０）に用いられる。ガス吸着体（６０）は、無機材料の繊維あるいは多孔質体で形成された基材（６１）と、基材（６１）に付着されたゲッタを含む液体とから形成される。

Description

ガス吸着体、ガス吸着体の製造方法、及びガラスパネルユニット
　本発明は、ガス吸着体、ガス吸着体の製造方法、及びガラスパネルユニットに関する。
　文献１（国際公開第２０１４／００４９３６号）は、複層ガラスを開示する。文献１に開示された複層ガラスは、２枚の板ガラスと、２枚の板ガラスの間に形成された密封空間と、密封空間に配置された吸着材と、を備える。吸着材は、密封空間内の不要なガスを吸着するために密封空間内に配置されている。この吸着材は、吸着物質を溶媒に溶かして得られた溶液を一方の板ガラスに塗布し乾燥させることで形成されている。
　文献１の製法では、精度よく所望の形状（幅）を有する吸着材を形成するために、溶液の粘度調整が必要となる。そのため、この製法では、常温で揮発しにくい溶媒が用いられる。但し、溶媒には、吸着物質の吸着能力を低下させにくいことが求められるため、溶媒の選択肢は多くない。
　また、吸着材が所望の形状にならない場合があり、生産性に課題があった。
　本発明が解決しようとする課題は、生産性に優れガス吸着能力の高いガス吸着体を得ることである。
　本発明に係る形態のガス吸着体は、無機材料の繊維あるいは多孔質体で形成された基材と、前記基材に付着されたゲッタを含む液体とから形成される。
　本発明に係る他の形態のガス吸着体の製造方法は、上記ガス吸着体の製造方法であって、無機材料の繊維あるいは多孔質体で形成された基材とゲッタを含む液体とを準備する準備工程と、前記液体を前記基材に付着させる付着工程と、を含む。
　本発明に係る他の形態のガラスパネルユニットは、第１ガラスパネルと、前記第１ガラスパネルに対向するように配置された第２ガラスパネルと、前記第１ガラスパネルと前記第２ガラスパネルとを気密に接合するシールと、前記第１ガラスパネルと前記第２ガラスパネルと前記シールとに囲まれた真空空間と、前記真空空間内に配置される上記ガス吸着体と、を備える。
本発明に係る一実施形態のガス吸着体を備えるガラスパネルユニットの概略断面図である。 図１のガラスパネルユニットの概略平面図である。 本発明に係る一実施形態の変形例１のガス吸着体を備えるガラスパネルユニットの概略断面図である。 図３のガラスパネルユニットの概略平面図である。 本発明に係る一実施形態の変形例２のガス吸着体を備えるガラスパネルユニットの概略断面図である。 図５のガラスパネルユニットの概略平面図である。
［１．実施形態］
［１－１．ガス吸着体の構成］
　図１および図２は、本発明に係る一実施形態のガス吸着体６０を備えるガラスパネルユニット１０を示す。
　本実施形態のガス吸着体６０は、ガラスパネルユニットに用いられる。ガス吸着体６０は、無機材料の繊維あるいは多孔質体で形成された基材６１と、基材６１に付着されたゲッタを含む液体とから形成される。そして、ガス吸着体６０は、無機材料の繊維あるいは多孔質体で形成された基材６１と、基材６１に固着されたゲッタを有する。
　ガス吸着体６０は、本実施形態では、長尺状である。ガス吸着体６０の大きさは、使用されるガラスパネルユニットに応じて適宜設定されるが、例えば、高さが０．１ｍｍ～１ｃｍ、長さが１０ｃｍ～３ｍ、幅が０．１ｃｍ～１０ｃｍである。
　基材６１は、無機材料の繊維で形成される。あるいは、基材６１は、無機材料の多孔質体で形成される。基材６１は、ゲッタを担持する担体として機能する。基材６１を形成する無機材料は、ガラスまたは金属であってよい。したがって、基材６１を構成する無機材料の繊維は、ガラスの繊維あるいは金属の繊維であってよい。基材６１を形成する金属は、例えば、ゲッタの活性化温度（例えば、３５０℃）以上で変質、変形（溶融）等しない安定な金属である。基材６１は、無機材料の繊維で形成された織布、不織布、あるいは繊維束であってよい。基材６１は、例えば、ガラスクロス、ガラスウール、金属織布、金属ウールであってよい。基材６１を形成する無機材料の多孔質体は、多孔質のガラスまたは多孔質の金属であってよい。さらに具体的には、無機材料の多孔質体は、発泡金属であってよい。
　繊維あるいは多孔質体で形成された基材６１は、比較的大きい比表面積を有する。例えば、無機材料の繊維あるいは多孔質体から形成された基材６１は、無機材料の板から形成された基材６１と同じサイズ（あるいは同じ重量）であっても、表面積がより大きくなる。そのため、繊維あるいは多孔質体で形成された基材６１には、比較的多くの量のゲッタが固着される。また、基材６１に固着されたゲッタはより多くの空間と接することになり、ガスを吸着しやすくなる。そのため、繊維あるいは多孔質体で形成された基材６１を有するガス吸着体６０は、高い吸着能力を有することができる。
　基材６１は、ガス吸着体６０の形状を定める。本実施形態では、ガス吸着体６０が長尺状であるので、基材６１も長尺状である。基材６１の大きさは、例えば、高さが０．１ｍｍ～１ｃｍ、長さが１０ｃｍ～３ｍ、幅が０．１ｃｍ～１０ｃｍである。そして、基材６１を構成する繊維の長さは、例えば、５ｍｍ～１ｍであり、直径は、例えば、０．１μｍ～１ｃｍである。
　ゲッタは、所定の大きさより小さい分子を吸着する性質を有する材料である。本実施形態では、ゲッタはガスを吸着する材料である。
　ゲッタは、たとえば、蒸発型ゲッタである。蒸発型ゲッタは、所定温度（活性化温度）以上になると、吸着した分子を放出する性質を有している。そのため、蒸発型ゲッタの吸着能力が低下しても、蒸発型ゲッタを活性化温度以上に加熱することで、蒸発型ゲッタの吸着能力を回復させることができる。あるいは、ゲッタは、非蒸発型ゲッタであってもよい。非蒸発型ゲッタは、蒸発型ゲッタとは異なり、一度吸着した分子を放出しない性質を有する。そのため、非蒸発型ゲッタは、ある程度以上の分子を吸着すると、たとえ活性化温度以上に加熱されても、吸着能力が回復しなくなる。ゲッタは、具体的には、ゼオライト、イオン交換されたゼオライト（例えば、銅イオン交換されたゼオライト）、Ｆｅ－Ｖ－Ｚｒ合金、Ｂａ－Ａｌ合金である。
　［１－２．ガス吸着体の製造方法］
　次に、本実施形態のガス吸着体６０の製造方法について説明する。
　本実施形態のガス吸着体６０の製造方法は、準備工程と、付着工程と、乾燥工程と有する。なお、乾燥工程は省略してもよい。
　準備工程では、まず、基材６１と、ゲッタを含む液体とを準備する。ゲッタを含む液体は、ゲッタを溶媒に加えて得られた液体を撹拌することにより得られる。加えられたゲッタが溶媒に全て溶解する場合、ゲッタを含む液体はゲッタ溶液である。加えられたゲッタのうち一部分が溶媒に溶解せずに分散する場合、ゲッタを含む溶液はゲッタ分散液である。
　溶媒は、ゲッタの吸着能力を低下させにくいものが好ましい。溶媒は、例えば、水、アルコール、アルコールを含む水溶液である。アルコールは、例えば、エタノール、イソプロピルアルコール、テルピネオールである。本実施形態で用いられる溶媒は、常温での揮発性が比較的高くてもよく、沸点が７０℃以下であってもよい。基材６１との親和性（上記液体を基材６１に付着させた際の染みこみ易さ）を考慮すると、好ましい溶媒は、エタノール、イソプロピルアルコールである。
　また、溶媒の比重は、ゲッタの比重よりも小さいことが好ましい。ゲッタの比重より小さい比重を有する溶媒を用いれば、上記液体の比重をゲッタよりも小さくすることができ、上記液体を基材６１に浸透しやすくすることができる。
　付着工程では、ゲッタを含む液体を基材６１に付着させる。例えば、ゲッタを含む液体を基材６１に塗布する。あるいは、ゲッタを含む液体を基材６１に含浸させる。あるいは、ゲッタを含む液体を基材６１に噴霧してもよい。
　乾燥工程では、ゲッタを含む液体が付着された基材６１を乾燥させる。つまり、ゲッタを含む液体に含まれている溶媒を揮発させる。基材６１の乾燥（溶媒の揮発）は自然乾燥で行われてもよく、加熱や送風などの強制乾燥で行われてもよい。溶媒が揮発することにより、ゲッタが基材６１に固着される。
　上述した、準備工程、付着工程、および乾燥工程を経て、ガス吸着体６０が得られる。
　以上述べたように、ガス吸着体６０は、無機材料の繊維あるいは多孔質体で形成された、比表面積が比較的大きい基材６１を用いて形成される。そのため、ガス吸着体６０は、比較的多くの量のゲッタを有し、このゲッタは、比較的多くの空間と接触することができる。したがって、本実施形態によれば、吸着能力の高いガス吸着体６０を得ることができる。また、本実施形態によれば、ガス吸着体６０の形状は準備する基材６１の形状で定められる。そのため、所望の形状のガス吸着体６０を生産性高く容易に得ることができる。
　［１－３．ガラスパネルユニットの構成］
　本実施形態のガス吸着体６０は、ガラスパネルユニット１０に用いられる。本実施形態のガラスパネルユニット１０は、真空断熱ガラスユニットである。真空断熱ガラスユニットは、少なくとも一対のガラスパネルを備える複層ガラスパネルの一種であって、一対のガラスパネル間に真空空間を有している。
　具体的には、ガラスパネルユニット１０は、図１及び図２に示すように、第１ガラスパネル２０と、第２ガラスパネル３０と、シール４０と、真空空間５０と、ガス吸着体６０と、複数のスペーサ７０とを備える。
　第１ガラスパネル２０は、第１ガラスパネル２０の平面形状を定める本体２１と、コーティング２２と、を備える。
　本体２１は、矩形状であり、互いに平行な厚み方向の第１面（図１における下面）および第２面（図１における上面）を有する。本体２１の第１面および第２面はいずれも平面である。本体２１の材料は、たとえば、ソーダライムガラス、高歪点ガラス、化学強化ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、ネオセラム、物理強化ガラスである。
　コーティング２２は、本体の第１面に形成される。コーティング２２は、赤外線反射膜である。なお、コーティング２２は、赤外線反射膜に限定されず、所望の物理特性を有する膜であってもよい。
　第２ガラスパネル３０は、第２ガラスパネル３０の平面形状を定める本体３１を備える。
　本体３１の平面形状および平面サイズは、本体２１と同じである（つまり、第２ガラスパネル３０の平面形状は、第１ガラスパネル２０と同じである）。また、本体３１の厚みは、本体２１と同じである。本体３１の材料は、たとえば、ソーダライムガラス、高歪点ガラス、化学強化ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、ネオセラム、物理強化ガラスである。
　本体３１は、矩形状であり、互いに平行な厚み方向の第１面（図１における上面）および第２面（図１における下面）を有する。本体３１の第１面および第２面はいずれも平面である。
　第２ガラスパネル３０は、本体３１のみで構成されている。つまり、本体３１が第２ガラスパネル３０そのものである。第２ガラスパネル３０は、第１ガラスパネル２０に対向するように配置される。具体的には、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とは、本体２１の第１面と本体３１の第１面とが互いに平行かつ対向するように配置される。つまり、本体２１の第２面はガラスパネルユニット１０の外側に向けられ、本体２１の第１面はガラスパネルユニット１０の内側に向けられる。また、本体３１の第１面はガラスパネルユニット１０の内側に向けられ、本体３１の第２面はガラスパネルユニット１０の外側に向けられる。
　シール４０は、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０との間に配置され、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とを気密に接合する。これによって、シール４０と第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とで囲まれた空間が形成される。本実施形態では、この空間の真空度（圧力）は所定値以下であり、真空空間５０と呼ばれる。
　シール４０は、熱接着剤で形成されている。熱接着剤は、たとえば、ガラスフリットである。ガラスフリットは、たとえば、低融点ガラスフリットである。低融点ガラスフリットは、たとえば、ビスマス系ガラスフリット、鉛系ガラスフリット、バナジウム系ガラスフリットである。
　シール４０は、矩形の枠状である。シール４０の平面形状は、本体２１，３１と同じであるが、シール４０の平面サイズは本体２１，３１より小さい。シール４０は、第２ガラスパネル３０の外周に沿って形成されている。つまり、シール４０は、第２ガラスパネル３０上のほぼすべての領域を囲うように形成されている。
　真空空間５０は、真空度が所定値以下の空間であり、所定値は、たとえば、０．１Ｐａである。真空空間５０は、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とシール４０とで完全に密閉されているから、外気から分離されている。
　複数のスペーサ７０は、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０との間隔を所定間隔に維持するために用いられる。つまり、複数のスペーサ７０は、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０との距離を所望の値に維持するために使用される。
　複数のスペーサ７０は、真空空間５０内に配置されている。具体的には、複数のスペーサ７０は、仮想的な矩形状の格子の交差点に配置されている。たとえば、複数のスペーサ７０の間隔は、２ｃｍである。ただし、スペーサ７０の大きさ、スペーサ７０の数、スペーサ７０の間隔、スペーサ７０の配置パターンは、適宜選択することができる。
　スペーサ７０は、上記所定間隔とほぼ等しい高さを有する円柱状である。たとえば、スペーサ７０は、直径が１ｍｍ、高さが１００μｍである。なお、各スペーサ７０は、角柱状や球状などの所望の形状であってもよい。
　スペーサ７０は、透明な材料を用いて形成される。ただし、各スペーサ７０は、十分に小さければ、不透明な材料を用いて形成されていてもよい。スペーサ７０は、シール４０よりも変形しにくいことが好ましい。たとえば、スペーサ７０の材料は、シール４０の材料よりも高い軟化点（軟化温度）を有するように選択される。
　ガス吸着体６０は、真空空間５０内に配置される。具体的には、ガス吸着体６０は、長尺状であり、第２ガラスパネル３０の長さ方向の一端側（図２における左端側）に、第２ガラスパネル３０の幅方向（図２の上下方向）に沿って配置される。つまり、ガス吸着体６０は、真空空間５０の端に配置される。このようにすれば、ガス吸着体６０を目立たなくすることができる。
　図１及び図２の例では、ガス吸着体６０は、第２ガラスパネル３０に固定される。また、ガス吸着体６０は、シール４０に接触していない。そして、ガス吸着体６０の高さ（図１の上下方向における長さ）は、上記所定間隔よりも小さい。
　ガス吸着体６０は、不要なガス（残留ガス等）を吸着するために用いられる。不要なガスは、たとえば、シール４０の材料が加熱されて第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とを気密に接合しながらシール４０が形成される際に、シール４０から放出されるガスである。
　なお、ガス吸着体６０は、ガラスパネルユニット１０のシール４０よりも軟化しにくい（溶けにくい）ことが好ましい。たとえば、ガス吸着体６０の基材６１は、シール４０の材料よりも高い軟化点（融点）を有するように選択される。
　［１－４．製造方法］
　次に、本実施形態のガラスパネルユニット１０の製造方法について説明する。本実施形態のガラスパネルユニット１０の製造方法は、第１～第６工程を有する。なお、第２～第４工程の順番は、適宜変更してもよい。
　第１工程は、第１ガラスパネル２０および第２ガラスパネル３０を形成する工程（パネル形成工程）である。第１工程では、第１ガラスパネル２０及び第２ガラスパネル３０を準備する。第１工程では、必要に応じて、第１ガラスパネル２０及び第２ガラスパネル３０を洗浄する。
　第２工程は、シール４０を形成する工程（シール形成工程）である。第２工程では、ディスペンサなどを利用して、シール４０の材料（熱接着剤）を第２ガラスパネル３０（本体３１の第１面）上に塗布する。
　第３工程は、ガス吸着体６０を配置する工程（ガス吸着体配置工程）である。第３工程では、ガス吸着体６０を第２ガラスパネル３０（本体３１の第１面）の所定位置に配置する。
　第３工程では、ガス吸着体６０を第２ガラスパネル３０に配置するだけでなく固定してもよい。例えば、上述の製造方法で製造されたガス吸着体６０を、熱接着剤（例えば上記ガラスフリット）を用いて第２ガラスパネル３０に固定してもよい。この場合、第２工程において、シール４０の材料（熱接着剤）を第２ガラスパネル３０におけるガス吸着体６０を配置する予定の領域にも塗布しておき、ガス吸着体６０をこの塗布された材料で接着（固定）すると、効率が良く好ましい。
　あるいは、ゲッタを含む液体が付着された基材６１（つまり、上述の付着工程を経て得られた基材６１）を第２ガラスパネル３０に配置する。そして、第２ガラスパネル３０上でこの基材６１を乾燥させる。これにより、ガス吸着体６０が第２ガラスパネル３０上で形成され、さらに固定される。
　第４工程は、スペーサ７０を形成する工程（スペーサ形成工程）である。第４工程では、複数のスペーサ７０を予め形成しておき、チップマウンタなどを利用して、複数のスペーサ７０を、第２ガラスパネル３０の所定位置に配置する。なお、複数のスペーサ７０は、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を利用して形成されていてもよい。この場合、複数のスペーサ７０は、光硬化性材料などを用いて形成される。あるいは、複数のスペーサ７０は、周知の薄膜形成技術を利用して形成されていてもよい。
　第５工程は、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とを配置する工程（配置工程）である。第５工程では、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とは、本体２１の第１面と本体３１の第１面とが互いに平行かつ対向するように配置してされる。
　第６工程は、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とをシール４０により気密に接合する工程である。たとえば、第１ガラスパネル２０が第２ガラスパネル３０に塗布されたシール４０の材料に接触した状態でシール４０の材料を加熱していったん溶融させる。そして、溶融したシール４０の材料を固化してシール４０を形成すれば、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とが気密に接合される。
　また、真空空間５０を形成する方法は、適宜の方法を用いることができる。例えば、第１ガラスパネル２０、第２ガラスパネル３０、シール４０のいずれかに排気口を設ける。そして、第６工程において、第１ガラスパネル２０、第２ガラスパネル３０、シール４０に囲まれた空間の排気を排気口から行い、その後、排気口を閉じることにより、真空空間５０を形成することができる。あるいは、真空下で第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とを気密に接合することにより、真空空間５０を形成することができる。
　上述した、第１～第６工程を経て、ガラスパネルユニット１０が得られる。
　［２－１．変形例１］
　図３および図４は、本発明に係る一実施形態の変形例１のガス吸着体６０を備えるガラスパネルユニット１０を示す。
　ガラスパネルユニット１０において、変形例１のガス吸着体（６０）は、図１及び図２のガス吸着体（６０）とは異なり、シール（４０）に固定されている。つまり、ガス吸着体（６０）は、シール（４０）に接触している。変形例１のガス吸着体（６０）は、図１及び図２のガス吸着体（６０）と同じ材料、同じ製法で形成することができる。
　変形例１では、ガス吸着体６０は、長尺状（Ｉ字状）であり、第２ガラスパネル３０の長さ方向の一端側（図４における左端側）に、第２ガラスパネル３０の幅方向（図４の上下方向）に沿って配置されている。しかしながら、本実施形態によれば、所望の形状のガス吸着体６０を容易に得ることができるので、ガス吸着体６０は、矩形枠状のシール４０の３辺に沿ったＵ字状であってもよく、２辺に沿ったＬ字状であってもよい。
　変形例１のガス吸着体（６０）は、例えば、第３工程において、シール（４０）の材料に接触するように第２ガラスパネル（３０）（本体（３１）の第１面）に配置される。このようにすれば、第６工程において、塗布されたシール（４０）の材料を加熱して第１ガラスパネル（２０）と第２ガラスパネル（３０）とを気密に接合する際に、ガス吸着体（６０）をシール（４０）に固定することができる。
　［２－２．変形例２］
　図５および図６は、本発明に係る一実施形態の変形例２のガス吸着体（６０）を備えるガラスパネルユニット１０を示す。
　ガラスパネルユニット１０において、変形例２のガス吸着体（６０）は、図１～４のガス吸着体（６０）とは異なり、第１ガラスパネル（２０）と第２ガラスパネル（３０）とに挟まれて固定されている。なお、変形例２のガス吸着体（６０）は、図１及び図２のガス吸着体（６０）と同じ材料、同じ製法で形成することができる。
　変形例２のガス吸着体（６０）の高さ（図５の上下方向における長さ）は、上記所定間隔に等しい。そのため、例えば、上記第６工程において、第１ガラスパネル（２０）と第２ガラスパネル（３０）との間隔が上記所定間隔となるよう第１ガラスパネル（２０）と第２ガラスパネル（３０）とを接合すれば、ガス吸着体（６０）は、第１ガラスパネル（２０）と第２ガラスパネル（３０）とに挟まれて固定される。なお、変形例２のガス吸着体（６０）は、第２ガラスパネル３０に接着されていなくともよいが、接着されていてもよい。
　［２－３．変形例３］
　上記実施形態では、ガス吸着体（６０）は、長尺状であるが、他の形状であってもよい。また、ガス吸着体（６０）は、必ずしも真空空間（５０）の端にある必要はない。また、図１～４の例では、ガス吸着体（６０）は第２ガラスパネル３０に固定されているが、第１ガラスパネル２０に固定されていてもよい。
　上記実施形態では、ガラスパネルユニット（１０）は矩形状であるが、ガラスパネルユニット（１０）は、円形状や多角形状など所望の形状であってもよい。つまり、第１ガラスパネル（２０）、第２ガラスパネル（３０）、およびシール（４０）は、矩形状ではなく、円形状や多角形状など所望の形状であってもよい。なお、ガラスパネルユニット（１０）の形状や大きさは、ガラスパネルユニット（１０）の用途に応じて決定される。
　また、第１ガラスパネル（２０）の本体（２１）の第１面および第２面はいずれも平面に限定されない。同様に、第２ガラスパネル（３０）の本体（３１）の第１面および第２面はいずれも平面に限定されない。
　また、第１ガラスパネル（２０）の本体（２１）と第２ガラスパネル（３０）の本体（３１）とは同じ平面形状および平面サイズを有していなくてもよい。また、本体（２１）と本体（３１）とは同じ厚みを有していなくてもよい。また、本体（２１）と本体（３１）とは同じ材料で形成されていなくてもよい。
　また、シール（４０）は、第１ガラスパネル（２０）および第２ガラスパネル（３０）と同じ平面形状を有していなくてもよい。
　また、第１ガラスパネル（２０）は、さらに、所望の物理特性を有して本体（２１）の第２平面に形成されるコーティングを備えていてもよい。あるいは、第１ガラスパネル（２０）は、コーティング（２２）を備えていなくてもよい。つまり、第１ガラスパネル（２０）は、本体（２１）のみで構成されていてもよい。
　また、第２ガラスパネル（３０）は、さらに、所望の物理特性を有するコーティングを備えていてもよい。コーティングは、たとえば、本体（３１）の第１面および第２面にそれぞれ形成される薄膜の少なくとも一方を備えていればよい。コーティングは、たとえば、特定波長の光を反射する膜（赤外線反射膜、紫外線反射膜）などである。
　上記実施形態では、ガラスパネルユニット（１０）は複数のスペーサ（７０）を備えているが、ガラスパネルユニット（１０）は、一つのスペーサ（７０）を備えていてもよい。あるいは、ガラスパネルユニット（１０）は、スペーサ（７０）を備えていなくてもよい。
　［３．本発明に係る形態］
　以上述べた実施形態および変形例から明らかなように、本発明に係る第１の形態のガス吸着体（６０）は、無機材料の繊維あるいは多孔質体で形成された基材（６１）と、基材（６１）に付着されたゲッタを含む液体とから形成される。
　第１の形態によれば、生産性に優れガス吸着能力の高いガス吸着体（６０）を得ることができる。
　本発明に係る第２の形態のガス吸着体（６０）は、第１の形態との組み合わせにより実現される。第２の形態では、前記無機材料はガラスである。
　第２の形態によれば、熱膨張率及び熱伝導率がガラスパネル（２０、３０）及びシール（４０）に近いガス吸着体（６０）を得ることができる。
　本発明に係る第３の形態のガス吸着体（６０）は、第１の形態との組み合わせにより実現される。第３の形態では、前記無機材料は金属である。
　第３の形態によれば、十分な強度を有するガス吸着体（６０）を得ることができる。
　本発明に係る第４の形態のガス吸着体の製造方法は、第１～第３の形態のいずれか一つのガス吸着体（６０）の製造方法であって、無機材料の繊維あるいは多孔質体で形成された基材（６１）と、ゲッタを含む液体とを準備する準備工程と、前記液体を基材（６１）に付着させる付着工程と、を含む。
　第４の形態によれば、生産性に優れガス吸着能力の高いガス吸着体（６０）を得ることができる。
　本発明に係る第５の形態のガラスパネルユニット（１０）は、第１ガラスパネル（２０）と、第１ガラスパネル（２０）に対向するように配置された第２ガラスパネル（３０）と、第１ガラスパネル（２０）と第２ガラスパネル（３０）とを気密に接合するシール（４０）と、第１ガラスパネル（２０）と第２ガラスパネル（３０）とシール（４０）とに囲まれた真空空間（５０）と、真空空間（５０）内に配置される第１～第３の形態のいずれか一つのガス吸着体（６０）と、を備える。
　第５の形態によれば、生産性に優れガス吸着能力の高いガス吸着体（６０）を備えるガラスパネルユニット（１０）を得ることができる。
　本発明に係る第６の形態のガラスパネルユニット（１０）は、第５の形態との組み合わせにより実現される。第６の形態では、ガス吸着体（６０）はシール（４０）に固定されている。
　第６の形態によれば、ガス吸着体（６０）を容易に固定することができる。
　本発明に係る第７の形態のガラスパネルユニット（１０）は、第５の形態との組み合わせにより実現される。第７の形態では、ガス吸着体（６０）は第１ガラスパネル（２０）と第２ガラスパネル（３０）とに挟まれて固定されている。
　第７の形態によれば、ガス吸着体（６０）を容易に固定することができる。

Claims (7)

  1. 　無機材料の繊維あるいは多孔質体で形成された基材と、前記基材に付着されたゲッタを含む液体とから形成される、
    　ガス吸着体。
  2. 　前記無機材料はガラスである、
    　請求項１に記載のガス吸着体。
  3. 　前記無機材料は金属である、
    　請求項１に記載のガス吸着体。
  4. 　請求項１～３のいずれか一項に記載のガス吸着体の製造方法であって、
    　無機材料の繊維あるいは多孔質体で形成された基材と、ゲッタを含む液体とを準備する準備工程と、
    　前記液体を前記基材に付着させる付着工程と、を含む
    　ガス吸着体の製造方法。
  5. 　第１ガラスパネルと、
    　前記第１ガラスパネルに対向するように配置された第２ガラスパネルと、
    　前記第１ガラスパネルと前記第２ガラスパネルとを気密に接合するシールと、
    　前記第１ガラスパネルと前記第２ガラスパネルと前記シールとに囲まれた真空空間と、
    　前記真空空間内に配置される請求項１～３のいずれか一項に記載のガス吸着体と、
    　を備える、
    　ガラスパネルユニット。
  6. 　前記ガス吸着体は前記シールに固定されている、
    　請求項５に記載のガラスパネルユニット。
  7. 　前記ガス吸着体は前記第１ガラスパネルと前記第２ガラスパネルとに挟まれて固定されている、
    　請求項５に記載のガラスパネルユニット。
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