WO2016051664A1 - 固体レーザ装置 - Google Patents

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WO2016051664A1
WO2016051664A1 PCT/JP2015/004419 JP2015004419W WO2016051664A1 WO 2016051664 A1 WO2016051664 A1 WO 2016051664A1 JP 2015004419 W JP2015004419 W JP 2015004419W WO 2016051664 A1 WO2016051664 A1 WO 2016051664A1
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solid
water tank
chamber
lamp
laser device
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PCT/JP2015/004419
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村越　大
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富士フイルム株式会社
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    • H01S3/0933—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by incoherent light of a semiconductor, e.g. light emitting diode

Definitions

  • the present invention relates to a solid-state laser device, and more particularly to a solid-state laser device in which a laser rod and an excitation lamp are accommodated in a chamber.
  • Patent Documents 1 and 2 show examples of such solid-state laser devices.
  • the solid-state laser devices disclosed in Patent Documents 1 and 2 basically include a rod-shaped laser rod and a laser rod excitation lamp that is formed in a straight tube shape and has electrode portions at both ends. Are arranged in the chamber in a state of being parallel and spaced apart from each other.
  • Patent Documents 1 and 2 also disclose a structure for performing such cooling.
  • a straight tube lamp is disposed on the upper side
  • a rod-shaped laser rod is disposed on the lower side thereof
  • the coolant is supplied to a coolant passage extending upward from below the laser rod.
  • Supplying and branching this coolant passage into two in the middle supplying coolant from the lower branch passage to the periphery of the laser rod, and in parallel with it, cooling from the upper branch passage to the periphery of the lamp
  • the liquid is supplied.
  • the cooling liquid after cooling the laser rod and the lamp is joined in one passage and returned to a heat exchanger or the like that gradually heats from the cooling liquid.
  • the present invention has been made in view of the above circumstances, and in a solid-state laser device in which a laser rod and a laser rod excitation lamp are accommodated in a chamber, a solid-state laser capable of efficiently cooling the vicinity of the electrode of the lamp
  • An object is to provide an apparatus.
  • a solid-state laser device includes: A rod-shaped laser rod; A laser rod excitation lamp which is formed in a straight tube shape and has electrode portions at both ends, the laser rod and the long axes are parallel to each other and arranged in a state of being spaced apart from the laser rod;
  • a solid-state laser device comprising a laser rod and a chamber containing a lamp, A first water tank portion that houses at least a part of each of the laser rod and the lamp and into which a coolant is introduced;
  • An outer inlet provided in a member constituting the chamber at a position opposite to the lamp with respect to the laser rod, and receiving a coolant in the chamber;
  • An outer outlet provided on a member constituting the chamber at a position opposite to the lamp with respect to the laser rod, and for discharging the coolant out of the chamber;
  • Two second water tank portions respectively containing electrode portions at both ends of the lamp and communicating with the first water tank portion;
  • a coolant inflow passage having one end communicating with the outer inlet portion and the
  • the coolant inflow passage is formed in a wall member that constitutes the chamber.
  • the coolant inflow passage is branched into two in the wall member of the chamber at a portion from one end to the other end communicating with the one outer inlet, It is desirable that the other end of the coolant inflow passage branched into two is opened only in the second water tank portion.
  • the coolant outflow passage is also formed in the wall member constituting the chamber.
  • the inner inlet portion is open to the second water tank portion at a position facing at least a part of the electrode portion.
  • the portion of the chamber that accommodates the laser rod and the portion that accommodates the lamp be separable from each other.
  • the outer inlet portion and / or the outer outlet portion be formed on a chamber bottom wall member that is a lowermost member of the chamber when the solid-state laser device is used.
  • the laser chamber has a protruding portion that protrudes in the lamp major axis direction from the portion that forms the first water tank portion, and the second water tank portion is formed in this protruding portion.
  • the lamp electrode part protrudes outward from the end of the laser rod in the lamp major axis direction.
  • a condensing member surrounding each part of the laser rod and the lamp is disposed in the first water tank.
  • the part surrounding the laser rod of the light condensing member and the part surrounding the lamp be separable from each other.
  • a tubular flow tube that houses a part of the laser rod and / or the lamp may be provided, and a coolant may be introduced into the flow tube.
  • the solid-state laser device of the present invention it becomes possible to efficiently cool the electrode portion of the lamp.
  • FIG. 1 is a side sectional view showing a solid-state laser device according to a first embodiment of the present invention.
  • 1 is a sectional elevation view showing a portion along the line AA of the solid-state laser device shown in FIG. 1 is a sectional elevation view showing a portion along the line BB of the solid-state laser device shown in FIG.
  • FIG. 1 is a cross-sectional plan view showing a portion along the line CC of the solid-state laser device shown in FIG.
  • FIG. 1 is a cross-sectional plan view showing a portion of the solid-state laser device shown in FIG.
  • FIG. 1 is a cross-sectional plan view showing a portion of the solid-state laser device shown in FIG.
  • FIG. 1 is a cross-sectional plan view showing a portion of the solid-state laser device shown in FIG. FIG.
  • FIG. 1 is a plan sectional view showing a portion along the line FF of the solid-state laser device shown in FIG.
  • the perspective view which shows the principal part of the solid-state laser apparatus shown in FIG. Side sectional view showing a solid-state laser device according to a second embodiment of the present invention.
  • FIG. 9 is a plan view showing a part of the solid-state laser device shown in FIG. Sectional drawing which shows the solid-state laser apparatus which concerns on the 3rd Embodiment of this invention.
  • FIG. 11 is a plan view showing a part of the solid-state laser device shown in FIG. Elevation view showing a part of the solid-state laser device shown in FIG. Side sectional view showing a solid-state laser device according to a fourth embodiment of the present invention.
  • FIG. 14 is a plan view showing a part of the solid-state laser device shown in FIG. Elevated sectional view showing a modification of the solid-state laser device of the present invention The top view which shows the modification in the solid-state laser apparatus of this
  • FIG. 1 shows a side cross-sectional shape of the solid-state laser device 10
  • FIGS. 2 and 3 are vertical cross-sectional views showing the cross-sectional shapes of portions along the lines AA and BB in FIG. 4
  • FIG. 5, FIG. 6 and FIG. 7 are plan sectional views showing sectional shapes of portions along the lines CC, DD, EE and FF in FIG. 1, respectively.
  • 8 is a perspective view showing a laser chamber of the solid-state laser device 10.
  • unnecessary portions are omitted as appropriate.
  • the horizontal direction in FIG. 1 is referred to as the horizontal direction in the solid-state laser device 10.
  • this solid-state laser device 10 is formed in a laser chamber 11, a rod-shaped laser rod (solid laser medium) 12 that is partially accommodated in the laser chamber 11, and is formed into a straight tube as a whole. A part of which has a flash lamp 13 accommodated in the laser chamber 11. The flash lamp 13 is arranged in a state in which the long axes of the laser rod 12 and the laser rod 12 are parallel to each other and are spaced apart from the laser rod 12.
  • the laser rod 12 and the flash lamp 13 may be arranged in a state in which the major axes are strictly parallel to each other, or may be arranged in a nearly parallel state in which the major axes form an angle with each other within a certain range. . In this specification, such a state is also included in the fact that “the major axes are parallel to each other”.
  • the laser chamber 11 has a first water tank portion 21 which is a substantially rectangular parallelepiped space at the center. Further, the laser chamber 11 has left and right portions 11a, and a second water tank portion 22 that is a cylindrical space extending in the horizontal direction is formed in each of the protruding portions 11a. These second water tank sections 22 communicate with the first water tank section 21, respectively. Further, below the projecting portion 11 a, columnar rod holding holes 23 through which the laser rods 12 are inserted are formed in the vertical wall members 11 b positioned on the left and right sides of the first water tank portion 21.
  • the laser rod 12 is formed by processing a solid laser crystal such as alexandrite (Cr: BeAl 2 O 3 ), neodymium YAG (Nd: YAG), titanium sapphire (Ti: Al 2 O 3 ) into a rod shape. .
  • a solid laser crystal such as alexandrite (Cr: BeAl 2 O 3 ), neodymium YAG (Nd: YAG), titanium sapphire (Ti: Al 2 O 3 ) into a rod shape.
  • the laser rod 12 is not limited to those described above, and other known rods may be used as appropriate.
  • the flash lamp 13 is an excitation light source for exciting the laser rod 12, and has electrodes 13a at both ends.
  • a portion 13b from the lamp end portion where the electrode 13a is formed to the end portion of the light emitting portion closer to the center is referred to as an electrode portion.
  • a conductive wire 13c is connected to each of the two electrodes 13a, and the flash lamp 13 is connected to the lighting light source via the conductive wires 13c.
  • the excitation light source in the solid-state laser device of the present invention is not limited to such a flash lamp 13, but, for example, a plurality of LEDs (light emitting diodes) are arranged in a transparent straight tube, and the whole is formed in a rod shape. A thing etc. may be applied.
  • the flash lamp 13 is arranged in the laser chamber 11 with the electrode part 13b mainly located in the second water tank part 22 and the light emitting part mainly located in the first water tank part 21. Then, for example, the lamp holding members 25 are fitted to both ends of the flash lamp 13, and the pair of lamp holding members 25 are screwed to the protruding portions 11a, for example, so that the flash lamp 13 is accommodated in the laser chamber 11. Fixed.
  • an O-ring is disposed at the outer peripheral position of the outer end of the second water tank section 22, and each lamp holding member 25 is brought into pressure contact with the protruding portion 11 a via the O-ring.
  • the second water tank 22 and the outside of the laser chamber 11 are kept in a liquid-tight state.
  • these O-rings are schematically indicated by black circles.
  • the laser rod 12 is inserted into the rod holding holes 23 of the vertical wall member 11b at the left and right ends, and the portions that protrude from the rod holding holes 23 are held by the rod holding members 27.
  • the intermediate member 26 is housed and fixed in the laser chamber 11 by, for example, screwing.
  • An O-ring is fitted on the outer peripheral surface of the end of the laser rod 12, and each rod holding member 27 is brought into pressure contact with the intermediate member 26 via the O-ring. Thereby, the inside of the first water tank unit 21 is kept in a liquid-tight state with the outside of the laser chamber 11.
  • These O-rings are also schematically indicated by black circles in FIG.
  • the laser rod 12 and the flash lamp 13 may be held by applying a structure different from the structure described above.
  • the laser rod 12 and the flash lamp 13 may be entirely accommodated in the laser chamber 11, or only a part may be accommodated in the laser chamber 11.
  • a condensing member 39 is disposed in the first water tank section 21.
  • the condensing member 39 has a shape surrounding the laser rod 12 and the flash lamp 13, and the diffused light diffusely reflects the light emitted from the flash lamp 13 on the inner wall surface 39a.
  • the member is formed in layers. As a result, the laser rod 12 is uniformly irradiated with the light emitted from the flash lamp 13.
  • the light emitted from the flash lamp 13 is irradiated to excite the laser rod 12, and the coherent light having a specific wavelength is emitted from the laser rod 12 by stimulated emission.
  • Resonator mirrors that resonate the light emitted from the laser rod 12 are arranged at the positions away from both ends of the laser rod 12, that is, to the left and right in FIG. 1. The illustration is omitted because it is not directly related to the present invention.
  • the light condensing member 39 may be omitted. In that case, it is desirable to form a diffusing member in a layered manner in the portion of the laser chamber 11 that becomes the peripheral wall of the first water tank section 21.
  • one outer inlet portion 31 is open on one side surface of the laser chamber 11 at a position lower than the first water tank portion 21.
  • the outer entrance 31 is open to the side surface of the bottom wall member 11 c that is the lowest member of the laser chamber 11 when the solid-state laser device 10 is used.
  • the outer entrance 31 is open at a position opposite to the flash lamp 13 with respect to the laser rod 12.
  • the above “opposite side” means that the laser rod 12, the flash lamp 13, and the outer entrance 31 are centered when the laser rod 12 and the flash lamp 13 are projected onto a plane including the major axis. This means that the flash lamp 13 and the outer inlet portion 31 are located outside.
  • a coolant inflow passage including a passage 32 communicating with the outer inlet portion 31 and a branch passage 33 branched into two from the passage 32.
  • the passage 32 is bored in the bottom wall member 11c, and is branched into two branch passages 33 bored in the bottom wall member 11c.
  • Each branch passage 33 rises after extending in the bottom wall member 11c, extends in the vertical direction in the vertical wall member 11b, extends obliquely in the protruding portion 11a, then extends in the horizontal direction, and finally one second water tank. Opening only to the portion 22.
  • the opened portion is an inner inlet 34 that continues to the second water tank 22. That is, the coolant inflow passage composed of the passage 32 and the branch passage 33 is configured such that one end communicates with the outer inlet portion 31 and the other end is an inner inlet portion 34 that opens only to the second water tank portion 22.
  • the electrode portion 13b of the flash lamp 13 protrudes outward from the end portion of the laser rod 12 in the lamp major axis direction. And the said outer side entrance part 31 is opened to the 2nd water tank part 22 in the position which opposes the electrode part 13b.
  • one outer outlet 35 is opened in one vertical wall member 11d arranged at right angles to the two vertical wall members 11b.
  • the outer outlet 35 opens at a position opposite to the flash lamp 13 with respect to the laser rod 12.
  • the “opposite side” means that the laser rod 12, the flash lamp 13, and the outer outlet portion 35 are projected onto a plane including the major axes of the laser rod 12 and the flash lamp 13. This means that the flash lamp 13 and the outer outlet 35 are located in the middle and located on both outer sides.
  • the vertical wall member 11d is provided with a coolant outflow passage 36 having one end communicating with the outer outlet portion 35 and the other end serving as an inner outlet portion 37 that opens into the first water tank portion 21.
  • the coolant outflow passage 36 is provided at a vertical position where the lower end thereof is aligned with the lower end of the first water tank section 21.
  • the outer outlet 35 may be provided on the side surface of the laser chamber 11, or may be opened on the bottom surface of the laser chamber 11, that is, more specifically on the lower surface of the bottom wall member 11c. The same applies to the outer inlet 31.
  • cooling liquid such as cooling water sent from a cooling liquid circulation system (not shown) flows into the outer inlet portion 31.
  • the coolant is supplied to the outer inlet portion 31 by a pipe, a hose, or the like connected to the outer inlet portion 31. Further, the coolant may be supplied in a so-called disposable form without using a circulation system.
  • the coolant that has flowed into the outer inlet portion 31 is supplied into each of the two second water tank portions 22 via the passage 32, the branch passage 33, and the inner inlet portion 34.
  • the electrode portion 13b of the flash lamp 13 is usually particularly likely to be hotter than the light emitting portion. If a cooling liquid is first supplied to the 2nd water tank part 22 which accommodates such an electrode part 13b, the electrode part 13b can be efficiently cooled with the cooling liquid which has not risen in temperature yet.
  • the coolant is supplied to the second water tank part 22 and the first water tank. Since it does not supply to the part 21 at the same time, but it is made to supply only to the 2nd water tank part 22 first, many flow volume of the cooling fluid supplied to the 2nd water tank part 22 is ensured. Therefore, also from this point, the electrode part 13b can be cooled efficiently.
  • the coolant that has flowed through each of the two second water tank sections 22 then flows into the first water tank section 21 and the light emitting section and laser rod of the flash lamp 13 accommodated in the first water tank section 21. 12 is cooled.
  • the condensing member 39 is disposed in the first water tank portion 21, but the coolant flows inside and outside the condensing member 39, and the light emitting portion of the flash lamp 13 and the laser rod 12. Cool down.
  • the coolant that has flowed through the first water tank portion 21 flows into the coolant outflow passage 36 from the inner outlet portion 37, and flows out of the laser chamber 11 from the outer outlet portion 35.
  • the effluent coolant is sent to, for example, a heat exchanger provided in the coolant circulation system via a pipe or a hose connected to the outer outlet portion 35, where heat is removed by heat exchange, and then again. It is supplied to the outer inlet 31. Alternatively, as described above, it may be discarded as it is without returning to the coolant circulation system.
  • the laser rod 12 and the flash lamp 13 may be removed from the laser chamber 11 for maintenance, inspection, replacement, or the like. At that time, if the cooling liquid remains in the first water tank section 21 or the second water tank section 22, the cooling liquid may leak from the laser chamber 11.
  • the outer inlet portion 31 and the outer outlet portion 35 are positioned lower than the first water tank portion 21 and the second water tank portion 22 in the usage state. The cooling liquid can be easily extracted from the outer inlet portion 31 and the outer outlet portion 35, thereby preventing the above situation from occurring.
  • the coolant inflow passage and the coolant outflow passage 36 composed of the passage 32 and the branch passage 33 are formed in a member constituting the laser chamber 11, a solid-state laser device having a simple configuration without any irregularities due to the passage. 10 can be used.
  • FIGS. 9 and 10 a solid-state laser device 40 according to a second embodiment of the present invention will be described.
  • the same elements as those in FIGS. 1 to 8 described above are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted unless necessary (the same applies hereinafter).
  • FIG. 9 shows a side cross-sectional shape of the solid-state laser device 40.
  • this solid-state laser device 40 is basically different from the solid-state laser device 10 according to the first embodiment described above in that the laser chamber is divided into upper and lower parts.
  • the laser chamber includes an upper laser chamber 11U that houses the flash lamp 13 and a lower laser chamber 11L that is divided from the upper laser chamber 11U.
  • the shape of the branch passage 33 is also partially changed at a portion close to the second water tank section 22.
  • the upper laser chamber 11U and the lower laser chamber 11L are integrated by, for example, screwing or the like.
  • a first water tank section 21 is formed in each of the upper laser chamber 11U and the lower laser chamber 11L.
  • each first water tank section 21 is A first water tank unit 21 similar to that in the solid-state laser device 10 according to the first embodiment is formed as one space.
  • the upper laser chamber 11U and the lower laser chamber 11L are separated. Thereby, it is possible to replace the flash lamp 13 without breaking the alignment of the laser rod 12 accommodated in the lower laser chamber 11L.
  • an O-ring 41 is provided so as to surround the first water tank portion 21 and the two branch passages 33 from the outside. It is arranged. Therefore, when the upper laser chamber 11U and the lower laser chamber 11L are integrated, the inner side and the outer side of the O-ring 41 are kept in a liquid-tight state, so that cooling is performed from the first water tank portion 21 and the branch passage 33. Liquid is prevented from leaking out of the chamber.
  • FIG. 11 shows a side cross-sectional shape of the solid-state laser device 50.
  • this solid-state laser device 50 is basically different from the solid-state laser device 40 according to the second embodiment described above in that a condensing member is provided.
  • a light collecting member composed of an upper light collecting member 39U and a lower light collecting member 39L whose elevation is shown in FIG.
  • the light collecting member composed of the upper light collecting member 39U and the lower light collecting member 39L performs the same function as the light collecting member 39 used in the first embodiment.
  • the upper laser chamber 11U and the lower laser chamber 11L when the upper laser chamber 11U and the lower laser chamber 11L are separated from each other, the upper light collecting member 39U and the lower light collecting member 39L can also be separated from each other.
  • the flash lamp 13 can be replaced more easily.
  • FIG. 11 and FIG. 12 showing the planar shape of the lower laser chamber 11L, the outer surfaces of the upper light collecting member 39U and the lower light collecting member 39L, and the surrounding walls of the first water tank section 21
  • An appropriate number of spacers 51 are disposed between the inner wall surfaces of the upper laser chamber 11U and the lower laser chamber 11L.
  • an appropriate gap is formed between the outer surfaces of the upper light collecting member 39U and the lower light collecting member 39L and the peripheral wall of the first water tank portion 21, so that the cooling liquid can flow therethrough and the cooling effect. Is increased.
  • FIG. 14 shows a side sectional shape of the solid-state laser device 60
  • FIG. 15 shows a planar shape of the lower laser chamber 11L.
  • the solid-state laser device 60 is basically different from the solid-state laser device 50 according to the third embodiment described above in terms of the configuration related to holding the condensing member. That is, in the present embodiment, an appropriate number of protrusions 61 are formed on the outer surfaces of the upper light collecting member 39U and the lower light collecting member 39L. As a result, an appropriate gap is formed between the outer surfaces of the upper light collecting member 39U and the lower light collecting member 39L and the peripheral wall of the first water tank portion 21, so that the cooling liquid can flow therethrough and the cooling effect. Is increased.
  • a flow tube 71 that houses the laser rod 12 and the flash lamp 13 is disposed in the first water tank portion 21.
  • a coolant may be circulated. When doing so, the coolant may flow outside the flow tube 71.
  • a UV cut filter 72 between the laser rod 12 and the flash lamp 13 for cutting off ultraviolet light contained in the excitation light emitted from the flash lamp 13.
  • a UV cut filter 72 is arranged as shown in FIG. It is preferable to arrange on the side light condensing member 39L and fix it by sandwiching it between an upper light condensing member 39U (not shown) and a lower light condensing member 39L arranged thereon.
  • UV (ultraviolet) cut filter 72 By providing the above-described UV (ultraviolet) cut filter 72, it is possible to suppress so-called solarization in which the laser rod 12 is discolored by ultraviolet light included in the excitation light.
  • the present invention has been described based on the preferred embodiments.
  • the solid-state laser device of the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications may be made to the configurations of these embodiments. It is included in the scope of the present invention.

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Abstract

【課題】チャンバ内にレーザロッドおよび励起用ランプを収容してなる固体レーザ装置において、ランプの電極近辺を効率良く冷却可能とする。 【解決手段】レーザロッド（１２）およびランプ（１３）を収容して、冷却液が導入される第１水槽部（２１）と、チャンバ（１１）を構成する部材（１１ｃ）に設けられ、冷却液をチャンバ（１１）内に受け入れる外側入口部（３１）と、チャンバ（１１）を構成する部材に設けられ、冷却液をチャンバ（１１）外に排出する外側出口部（３５）とを設ける。その上で、ランプ（１３）の両端の電極部（１３ｂ）を各々収容して、第１水槽部（２１）に連通する２つの第２水槽部（２２）と、一端が外側入口部（３１）に連通し、他端が第２水槽部（２２）のみに開口する内側入口部とされた冷却液流入通路（３３）と、一端が外側出口部（３５）に連通し、他端が第１水槽部（２１）に開口する内側出口部とされた冷却液流出通路とを設ける。

Description

固体レーザ装置
　本発明は固体レーザ装置、特に詳細には、チャンバ内にレーザロッドおよび励起用ランプを収容してなる固体レーザ装置に関するものである。
　従来、チャンバ内にレーザロッドおよび励起用ランプを収容してなる固体レーザ装置が種々公知となっており、特許文献１および２には、その種の固体レーザ装置の例が示されている。
　特許文献１および２に示された固体レーザ装置は基本的に、棒状のレーザロッドと、直管状に形成されて両端にそれぞれ電極部を有するレーザロッド励起用ランプとを備え、それらを長軸同士が平行で、かつ互いに間隔を置いて並ぶ状態にしてチャンバ内に配置してなるものである。
　上記のような固体レーザ装置においては、レーザロッド励起用ランプが発熱し、またこのランプからの光が照射されるレーザロッドも温度上昇するので、それら両者を効率良く冷却することが必要となる。特許文献１および２には、そのような冷却を行うための構造についても開示がなされている。
　特許文献１および２に示された冷却構造は、上側に直管状のランプを、その下側に棒状のレーザロッドを配し、レーザロッドよりも下方から上向きに延ばした冷却液通路に冷却液を供給し、この冷却液通路を途中で２つに分岐させて、下側の分岐通路からレーザロッドの周囲に冷却液を供給し、またそれと並列的に、上側の分岐通路からランプの周囲に冷却液を供給するものである。そして、レーザロッドおよびランプを冷却した後の冷却液は、１つの通路で合流させて、冷却液から徐熱する熱交換器等に戻されるようになっている。
特開平10-190094号公報 特開昭63-228781号公報
　しかし、特許文献１および２に示された冷却構造は、レーザロッド励起用ランプの中でも特に高温になりやすい、両端の電極近辺を冷却する効果が低いことが認められている。
　本発明は上記の事情に鑑みてなされたものであり、チャンバ内にレーザロッドおよびレーザロッド励起用ランプを収容してなる固体レーザ装置において、ランプの電極近辺を効率良く冷却することができる固体レーザ装置を提供することを目的とする。
　本発明による固体レーザ装置は、 
　棒状のレーザロッドと、
　直管状に形成されて両端にそれぞれ電極部を有し、レーザロッドと長軸同士が平行で、かつレーザロッドと間隔を置いて並ぶ状態に配されたレーザロッド励起用ランプと、
　レーザロッドおよびランプを収容するチャンバとを備えてなる固体レーザ装置において、
　レーザロッドおよびランプの各々の少なくとも一部を収容して、冷却液が導入される第１水槽部と、
　レーザロッドを基準にしてランプと反対側の位置において、チャンバを構成する部材に設けられ、冷却液をチャンバ内に受け入れる外側入口部と、
　レーザロッドを基準にしてランプと反対側の位置において、チャンバを構成する部材に設けられ、冷却液をチャンバ外に排出する外側出口部と、
　ランプの両端の電極部を各々収容して、第１水槽部に連通する２つの第２水槽部と、
　一端が上記外側入口部に連通し、他端が第２水槽部のみに開口する内側入口部とされた冷却液流入通路と、
　一端が上記外側出口部に連通し、他端が第１水槽部に開口する内側出口部とされた冷却液流出通路と、
　が設けられていることを特徴とするものである。
　なお、上記の冷却液流入通路は、チャンバを構成する壁部材内に穿設されていることが望ましい。
　また、本発明の固体レーザ装置においては、
　上記外側入口部が１つだけ設けられ、
　冷却液流入通路が、上記１つの外側入口部に連通する１つの一端から他端に向かう部分においてチャンバの壁部材内で２つに分岐され、
　２つに分岐された冷却液流入通路の他端がそれぞれ第２水槽部のみに開口していることが望ましい。
　他方、上記冷却液流出通路も、チャンバを構成する壁部材内に穿設されていることが望ましい。
　また、上記内側入口部は、電極部の少なくとも一部に対向する位置において、第２水槽部に開口していることが望ましい。
　また、チャンバのレーザロッドを収容する部分とランプを収容する部分とは、互いに分割可能とされていることが望ましい。
　また、上記外側入口部および／または外側出口部は、固体レーザ装置の使用時にチャンバの最も下側の部材となるチャンバ底壁部材に形成されていることが望ましい。
　また、レーザチャンバには、第１水槽部を形成している部分よりもランプ長軸方向に突出した突出部分が形成され、この突出部分内に第２水槽部が形成されていることが望ましい。
　またランプの電極部は、ランプ長軸方向に関して、レーザロッドの端部よりも外側に突出していることが望ましい。
　また第１水槽部内には、レーザロッドおよびランプの各一部を取り囲む集光部材が配設されていることが望ましい。
　また、第１水槽部の内壁面と上記集光部材との間には、間隙が設けられていることが望ましい。
　さらに、集光部材のレーザロッドを取り囲む部分とランプを取り囲む部分とは、互いに分割可能とされていることが望ましい。
　また、本発明の固体レーザ装置においては、レーザロッドおよび／またはランプの一部を内部に収める管状のフローチューブが設けられ、このフローチューブ内に冷却液が導入されてもよい。
　本発明の固体レーザ装置によれば、ランプの電極部を効率良く冷却することが可能になる。
本発明の第１の実施形態に係る固体レーザ装置を示す側断面図 図１に示す固体レーザ装置のＡ－Ａ線に沿った部分を示す立断面図 図１に示す固体レーザ装置のＢ－Ｂ線に沿った部分を示す立断面図 図１に示す固体レーザ装置のＣ－Ｃ線に沿った部分を示す平断面図 図１に示す固体レーザ装置のＤ－Ｄ線に沿った部分を示す平断面図 図１に示す固体レーザ装置のＥ－Ｅ線に沿った部分を示す平断面図 図１に示す固体レーザ装置のＦ－Ｆ線に沿った部分を示す平断面図 図１に示す固体レーザ装置の要部を示す斜視図 本発明の第２の実施形態に係る固体レーザ装置を示す側断面図 図９に示す固体レーザ装置の一部を示す平面図 本発明の第３の実施形態に係る固体レーザ装置を示す側断面図 図１１に示す固体レーザ装置の一部を示す平面図 図１１に示す固体レーザ装置の一部を示す立面図 本発明の第４の実施形態に係る固体レーザ装置を示す側断面図 図１４に示す固体レーザ装置の一部を示す平面図 本発明の固体レーザ装置における変形例を示す立断面図 本発明の固体レーザ装置における変形例を示す平面図
　以下、図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。まず図１～図８を参照して、本発明の第１の実施形態に係る固体レーザ装置１０について説明する。図１はこの固体レーザ装置１０の側断面形状を示すものであり、図２および図３はそれぞれ図１のＡ－Ａ線、Ｂ－Ｂ線に沿った部分の断面形状を示す立断面図、図４、図５、図６および図７はそれぞれ図１のＣ－Ｃ線、Ｄ－Ｄ線、Ｅ－Ｅ線およびＦ－Ｆ線に沿った部分の断面形状を示す平断面図、そして図８はこの固体レーザ装置１０のレーザチャンバを示す斜視図である。なお図４～図７では、不要な部分を適宜省いて示している。また以下では、図１中での左右方向を固体レーザ装置１０における左右方向と称することとする。
　図１に示されるようにこの固体レーザ装置１０は、レーザチャンバ１１と、一部がこのレーザチャンバ１１内に収容される棒状のレーザロッド（固体レーザ媒質）１２と、全体として直管状に形成されてその一部がレーザチャンバ１１内に収容されるフラッシュランプ１３とを有している。このフラッシュランプ１３は、レーザロッド１２と長軸同士が平行で、かつレーザロッド１２と間隔を置いて並ぶ状態に配されている。
　なおレーザロッド１２およびフラッシュランプ１３は、長軸同士が厳密に平行となる状態に配置する他、長軸同士がある程度の範囲内において互いに角度をなす、平行に近い状態に配置されても構わない。本明細書では、そのような状態も「長軸同士が平行」であることに含むものとする。
　図８にも明示されているようにレーザチャンバ１１は、中央部に概略直方体状の空間である第１水槽部２１を有している。またレーザチャンバ１１は左右に突出した部分１１ａを有し、それらの突出部分１１ａには、各々水平方向に延びる円柱状の空間である第２水槽部２２が形成されている。これらの第２水槽部２２は、それぞれ第１水槽部２１に連通している。また上記突出部分１１ａの下方において、第１水槽部２１の左右に位置する縦壁部材１１ｂには、それぞれレーザロッド１２を挿通させる円柱状のロッド保持孔２３が穿設されている。
　レーザロッド１２は、例えばアレキサンドライト（Ｃｒ:ＢｅＡｌ2Ｏ3）、ネオジムＹＡＧ（Ｎｄ：ＹＡＧ）、チタンサファイア（Ｔｉ:Ａｌ2Ｏ3）等の固体レーザ結晶がロッド状に加工されてなるものである。なお、レーザロッド１２としては上に挙げたものに限らず、その他公知のものが適宜用いられてもよい。
　フラッシュランプ１３は、上記レーザロッド１２を励起するための励起光源であり、両端にそれぞれ電極１３ａを有している。なお本明細書においては、電極１３ａが形成されているランプ端部から、それよりも中央側の発光部分の端部までの部分１３ｂを、電極部と称することとする。２つの電極１３ａにはそれぞれ導線１３ｃが接続され、それらの導線１３ｃを介してフラッシュランプ１３が点灯用光源に接続される。
　なおフラッシュランプ１３としてより詳しくは、例えばキセノン・フラッシュランプ等が適用可能である。また、本発明の固体レーザ装置における励起光源としては、このようなフラッシュランプ１３に限らず、例えばＬＥＤ（発光ダイオード）を複数並べて透明な直管内に配置することにより、全体が棒状に形成されたもの等が適用されてもよい。
　フラッシュランプ１３は、主に電極部１３ｂがそれぞれ第２水槽部２２内に位置し、主に発光部が第１水槽部２１内に位置する状態にしてレーザチャンバ１１内に配置される。そして、フラッシュランプ１３の両端部にランプ保持部材２５を例えば嵌合させ、それら１対のランプ保持部材２５を各々突出部分１１ａに例えばネジ止めすることによって、フラッシュランプ１３がレーザチャンバ１１内に収容、固定される。なお、第２水槽部２２の外端の外周位置にＯリングが配され、各ランプ保持部材２５はこのＯリングを介して突出部分１１ａに圧接する状態とされる。それにより、第２水槽部２２とレーザチャンバ１１の外とが液密状態に保たれる。図１では、それらのＯリングを概略的に黒丸で示している。
　一方レーザロッド１２は、前記縦壁部材１１ｂのロッド保持孔２３に左右端部を各々挿通させ、ロッド保持孔２３から外に出た部分をロッド保持部材２７に保持させ、それらのロッド保持部材２７を中間部材２６に例えばネジ止めすることによって、レーザチャンバ１１内に収容、固定される。なお、レーザロッド１２の端部の外周面にＯリングが嵌着され、各ロッド保持部材２７はこのＯリングを介して中間部材２６に圧接する状態とされる。それにより第１水槽部２１の内部が、レーザチャンバ１１の外と液密状態に保たれる。それらのＯリングも、図１中では概略的に黒丸で示している。
　ここで、レーザロッド１２およびフラッシュランプ１３の保持は、以上述べた構造とは別の構造を適用して行っても構わない。またレーザロッド１２およびフラッシュランプ１３は、それぞれ全体がレーザチャンバ１１内に収容されてもよいし、あるいは一部のみがレーザチャンバ１１内に収容されてもよい。
　第１水槽部２１内には、集光部材３９が配置されている。なお図１では、この集光部材３９の上部の一部だけを示している。集光部材３９は図２および図３に示す通り、レーザロッド１２およびフラッシュランプ１３を取り囲む形状のものであり、その内壁面３９ａの上には、フラッシュランプ１３が発した光を拡散反射させる拡散部材が層状に形成されている。それによりレーザロッド１２は、フラッシュランプ１３が発した光によって一様に照射されるようになる。
　こうして、フラッシュランプ１３から発せられた光が照射されることによりレーザロッド１２が励起され、誘導放出によりレーザロッド１２からコヒーレントな特定波長の光が放出される。なおレーザロッド１２の両端からその軸外方、つまり図１において左方および右方に離れた位置には、レーザロッド１２から放出された光を共振させる共振器ミラーが配置されるが、それらは本発明と直接関係しないので図示を省略する。
　ここで、上記の集光部材３９は省かれても構わない。その場合は、第１水槽部２１の周壁となるレーザチャンバ１１の部分に、拡散部材を層状に形成しておくのが望ましい。
　次に、レーザロッド１２およびフラッシュランプ１３を冷却するための構造について説明する。特に図８に明示されるようにレーザチャンバ１１の１つの側面には、第１水槽部２１よりも低い位置において、１つの外側入口部３１が開口している。この外側入口部３１は、固体レーザ装置１０の使用時にレーザチャンバ１１の最も下側の部材となる底壁部材１１ｃの側面に開口している。外側入口部３１は、レーザロッド１２を基準にしてフラッシュランプ１３と反対側の位置において開口している。ここで、上記の「反対側」とは、レーザロッド１２、フラッシュランプ１３および外側入口部３１を、レーザロッド１２、フラッシュランプ１３の長軸を含む面に写影したとき、レーザロッド１２を真ん中に置いてその外側にフラッシュランプ１３および外側入口部３１が位置する状態を意味するものである。
　レーザチャンバ１１内には、上記の外側入口部３１に連通した通路３２と、この通路３２から２つに分岐した分岐通路３３とからなる冷却液流入通路が形成されている。通路３２は上記底壁部材１１ｃ内に穿設され、同じく底壁部材１１ｃ内に穿設された２つの分岐通路３３に分岐されている。各分岐通路３３は、底壁部材１１ｃ内を延びてから立ち上がって縦壁部材１１ｂ内を垂直方向に延び、突出部分１１ａ内を斜めに延びてから水平方向に延び、最後は１つの第２水槽部２２のみに開口している。この開口した部分は、第２水槽部２２に連なる内側入口部３４とされている。つまり、通路３２と分岐通路３３とからなる冷却液流入通路は、一端が外側入口部３１に連通し、他端が第２水槽部２２のみに開口する内側入口部３４とされたものである。
　なおフラッシュランプ１３の電極部１３ｂは、ランプ長軸方向に関して、レーザロッド１２の端部よりも外側に突出している。そして上記外側入口部３１は、電極部１３ｂに対向する位置において、第２水槽部２２に開口している。
　また、２つの縦壁部材１１ｂに対して直角に配された１つの縦壁部材１１ｄには、１つの外側出口部３５が開口している。この外側出口部３５は、レーザロッド１２を基準にしてフラッシュランプ１３と反対側の位置において開口している。ここで、上記の「反対側」とは、レーザロッド１２、フラッシュランプ１３および外側出口部３５を、レーザロッド１２、フラッシュランプ１３の各長軸を含む面に写影したとき、レーザロッド１２を真ん中に置いてその両外側にフラッシュランプ１３および外側出口部３５が位置する状態を意味するものである。
　そして上記縦壁部材１１ｄには、一端が外側出口部３５に連通し、他端が第１水槽部２１に開口する内側出口部３７とされた冷却液流出通路３６が穿設されている。この冷却液流出通路３６は、その下端が第１水槽部２１の下端と整合するようになる上下位置に設けられている。なお外側出口部３５は、レーザチャンバ１１の側面に設ける他、レーザチャンバ１１の底面、つまりより具体的には、底壁部材１１ｃの下面に開口させてもよい。これは、外側入口部３１についても同様である。
　以下、上記の構成によるレーザロッド１２およびフラッシュランプ１３の冷却について説明する。図８に示すように外側入口部３１には、図示外の冷却液循環系から送られた冷却水等の冷却液（冷媒）が流入する。なお、外側入口部３１への冷却液の供給は、外側入口部３１に接続された配管やホース等によってなされる。また冷却液の供給は、特に循環系を用いずに、いわゆる使い捨ての形態でなされてもよい。
　外側入口部３１に流入した冷却液は、通路３２、分岐通路３３、内側入口部３４を経て、２つの第２水槽部２２の各々内に供給される。フラッシュランプ１３の電極部１３ｂは、通常、発光部よりも特に高温になりやすくなっている。そのような電極部１３ｂを収容している第２水槽部２２に最初に冷却液を供給すれば、まだ温度上昇していない冷却液によって電極部１３ｂが効率良く冷却され得る。
　また、電極部１３ｂの冷却効率を高める上では、第２水槽部２２に供給する冷却液の流量を多くすることが望まれるが、本装置では、冷却液を第２水槽部２２と第１水槽部２１に同時に供給することはしないで、まず第２水槽部２２のみに供給するようにしているので、第２水槽部２２に供給する冷却液の流量が多く確保される。よって、この点からも、電極部１３ｂが効率良く冷却され得る。
　２つの第２水槽部２２の各々を流れた冷却液は、次に第１水槽部２１内に流入して、この第１水槽部２１内に収容されているフラッシュランプ１３の発光部およびレーザロッド１２を冷却する。なお本実施形態では、第１水槽部２１内に集光部材３９が配置されているが、冷却液はこの集光部材３９の内側および外側を流れて、フラッシュランプ１３の発光部およびレーザロッド１２を冷却する。
　第１水槽部２１内を流れた冷却液は、内側出口部３７から冷却液流出通路３６に流入し、外側出口部３５からレーザチャンバ１１の外に流出する。この流出した冷却液は、外側出口部３５に接続された配管やホース等を介して、例えば冷却液循環系に設けられた熱交換器に送られ、そこで熱交換によって除熱された後、再び外側入口部３１に供給される。あるいは、前述したように冷却液循環系には戻さずに、そのまま使い捨てとされても構わない。
　なおレーザロッド１２やフラッシュランプ１３は、保守点検や整備、あるいは交換等のためにレーザチャンバ１１から取り外されることもある。その際に、第１水槽部２１や第２水槽部２２に冷却液が残っていると、レーザチャンバ１１から冷却液が漏出することもある。しかし本実施形態に係る固体レーザ装置１０においては、その使用状態において、外側入口部３１および外側出口部３５が第１水槽部２１および第２水槽部２２よりも鉛直方向下側に位置するので、冷却液をそれらの外側入口部３１および外側出口部３５から容易に抜き取り可能となり、よって上記の事態を招くことを防止できる。
　また、通路３２および分岐通路３３からなる冷却液流入通路および冷却液流出通路３６を、レーザチャンバ１１を構成する部材内に穿設すれば、通路による凹凸等が無い、簡潔な構成の固体レーザ装置１０とすることができる。
　次に図９および図１０を参照して、本発明の第２の実施形態に係る固体レーザ装置４０について説明する。なおこれらの図において、先に説明した図１～図８中のものと同等の要素には同番号を付してあり、それらについての説明は特に必要の無い限り省略する（以下、同様）。
　図９はこの固体レーザ装置４０の側断面形状を示すものである。図示の通りこの固体レーザ装置４０は、前述した第１の実施形態に係る固体レーザ装置１０と比べると、レーザチャンバが上下２つに分割されている点が基本的に異なるものである。すなわち本実施形態において、レーザチャンバは、フラッシュランプ１３を収容する上側レーザチャンバ１１Ｕと、この上側レーザチャンバ１１Ｕと互いに分割された下側レーザチャンバ１１Ｌとから構成されている。また、両レーザチャンバ１１Ｕ、１１Ｌが分割されたことに対応して、第２水槽部２２に近い部分において、分岐通路３３の形状も一部変更されている。
　上側レーザチャンバ１１Ｕと下側レーザチャンバ１１Ｌとは、例えばネジ止め等によって一体化される。上側レーザチャンバ１１Ｕと下側レーザチャンバ１１Ｌにはそれぞれ第１水槽部２１が形成されており、上側レーザチャンバ１１Ｕと下側レーザチャンバ１１Ｌとが一体化されると、各々の第１水槽部２１が一つの空間となって、第１の実施形態に係る固体レーザ装置１０におけるのと同様の第１水槽部２１が構成される。
　固体レーザ装置４０の保守、点検、フラッシュランプ１３の交換等の作業を行う際には、上側レーザチャンバ１１Ｕと下側レーザチャンバ１１Ｌとが分離される。それにより、下側レーザチャンバ１１Ｌに収容されているレーザロッド１２のアライメントを崩すことなく、フラッシュランプ１３の交換等を行うことが可能になる。
　上側レーザチャンバ１１Ｕの下面と合わせられる下側レーザチャンバ１１Ｌの上面には、図１０に示されるように、第１水槽部２１および２つの分岐通路３３を外側から囲う状態にして、Ｏリング４１が配設されている。そこで、上側レーザチャンバ１１Ｕと下側レーザチャンバ１１Ｌとを一体化させたとき、このＯリング４１の内側と外側とが液密状態に保たれるので、第１水槽部２１や分岐通路３３から冷却液がチャンバ外に漏出することが防止される。
　次に図１１～図１３を参照して、本発明の第３の実施形態に係る固体レーザ装置５０について説明する。図１１はこの固体レーザ装置５０の側断面形状を示すものである。図示の通りこの固体レーザ装置５０は、前述した第２の実施形態に係る固体レーザ装置４０と比べると、集光部材が設けられている点が基本的に異なるものである。すなわち本実施形態では、図１３に立面形状を示す上側集光部材３９Ｕと下側集光部材３９Ｌとからなる集光部材が、第１水槽部２１の中に配設されている。
　上側集光部材３９Ｕと下側集光部材３９Ｌとからなる集光部材は、第１の実施形態において用いられている集光部材３９と同じ作用を果たすものである。ただし本実施形態においては、上側レーザチャンバ１１Ｕと下側レーザチャンバ１１Ｌとを互いに分離する際に、上側集光部材３９Ｕと下側集光部材３９Ｌも互いに分離可能となっている。そこで、フラッシュランプ１３の交換等をより容易に行うことができる。
　そして、図１１および、下側レーザチャンバ１１Ｌの平面形状を示す図１２に示されている通り、上側集光部材３９Ｕおよび下側集光部材３９Ｌの外面と、第１水槽部２１の周囲壁となっている上側レーザチャンバ１１Ｕおよび下側レーザチャンバ１１Ｌの内壁面との間には、適宜数のスペーサ５１が配置されている。これにより、上側集光部材３９Ｕおよび下側集光部材３９Ｌの外面と、第１水槽部２１の周囲壁との間に適宜の間隙が形成され、そこを冷却液が流通可能となって冷却効果が高められる。
　次に図１４および図１５を参照して、本発明の第４の実施形態に係る固体レーザ装置６０について説明する。図１４はこの固体レーザ装置６０の側断面形状を示すものであり、また図１５は下側レーザチャンバ１１Ｌの平面形状を示すものである。
　図示の通りこの固体レーザ装置６０は、前述した第３の実施形態に係る固体レーザ装置５０と比べると、集光部材の保持に係る構成が基本的に異なるものである。すなわち本実施形態では、上側集光部材３９Ｕおよび下側集光部材３９Ｌの外面に、適宜数の突起６１が形成されている。これにより、上側集光部材３９Ｕおよび下側集光部材３９Ｌの外面と、第１水槽部２１の周囲壁との間に適宜の間隙が形成され、そこを冷却液が流通可能となって冷却効果が高められる。
　なお本発明の固体レーザ装置においては、図１６に示すように、レーザロッド１２およびフラッシュランプ１３を内部に収めるフローチューブ７１を第１水槽部２１の中に配置し、このフローチューブ７１の内部において冷却液を流通させるようにしてもよい。そうする場合、フローチューブ７１の外側でも冷却液が流れるようにしても構わない。
　また本発明の固体レーザ装置においては、レーザロッド１２とフラッシュランプ１３との間に、フラッシュランプ１３が発する励起光に含まれる紫外域の光をカットするＵＶカットフィルター７２を配置するのが望ましい。そのようなＵＶカットフィルター７２は、例えば前述した上側レーザチャンバ１１Ｕおよび下側レーザチャンバ１１Ｌ並びに、上側集光部材３９Ｕおよび下側集光部材３９Ｌが適用される場合は、図１７に示すように下側集光部材３９Ｌの上に配置し、その上に配される上側集光部材３９Ｕ（図示せず）と下側集光部材３９Ｌとで挟持して固定するのが好ましい。
　上述のＵＶ（ultra violet：紫外線）カットフィルター７２を設けておくことにより、励起光に含まれる紫外域の光によってレーザロッド１２が変色してしまう、いわゆるソラリゼーションを抑えることができる。
　以上、本発明をその好適な実施形態に基づいて説明したが、本発明の固体レーザ装置は上記実施形態に限定されるものではなく、それらの実施形態の構成から種々の変更を施したものも本発明の範囲に含まれる。

Claims (13)

  1. 　棒状のレーザロッドと、
    　直管状に形成されて両端にそれぞれ電極部を有し、前記レーザロッドと長軸同士が平行で、かつ該レーザロッドと間隔を置いて並ぶ状態に配されたレーザロッド励起用ランプと、
    　前記レーザロッドおよび前記ランプを収容するチャンバとを備えてなる固体レーザ装置において、
    　前記レーザロッドおよび前記ランプの各々の少なくとも一部を収容して、冷却液が導入される第１水槽部と、
    　前記レーザロッドを基準にして前記ランプと反対側の位置において、前記チャンバを構成する部材に設けられ、冷却液をチャンバ内に受け入れる外側入口部と、
    　前記レーザロッドを基準にして前記ランプと反対側の位置において、前記チャンバを構成する部材に設けられ、冷却液をチャンバ外に排出する外側出口部と、
    　前記ランプの両端の電極部を各々収容して、前記第１水槽部に連通する２つの第２水槽部と、
    　一端が前記外側入口部に連通し、他端が前記第２水槽部のみに開口する内側入口部とされた冷却液流入通路と、
    　一端が前記外側出口部に連通し、他端が前記第１水槽部に開口する内側出口部とされた冷却液流出通路と、
    　が設けられていることを特徴とする固体レーザ装置。
  2. 　前記冷却液流入通路が、前記チャンバを構成する壁部材内に穿設されている請求項１に記載の固体レーザ装置。
  3. 　前記外側入口部が１つだけ設けられ、
    　前記冷却液流入通路が、前記１つの外側入口部に連通する１つの一端から他端に向かう部分において前記壁部材内で２つに分岐され、
    　２つに分岐された冷却液流入通路の他端がそれぞれ前記第２水槽部のみに開口している請求項２に記載の固体レーザ装置。
  4. 　前記冷却液流出通路が、前記チャンバを構成する壁部材内に穿設されている請求項１から３のいずれか１項に記載の固体レーザ装置。
  5. 　前記内側入口部が、前記電極部の少なくとも一部に対向する位置において、前記第２水槽部に開口している請求項１から４のいずれか１項に記載の固体レーザ装置。
  6. 　前記チャンバのレーザロッドを収容する部分とランプを収容する部分とが、互いに分割可能とされている請求項１から５のいずれか１項に記載の固体レーザ装置。
  7. 　前記外側入口部および／または外側出口部が、固体レーザ装置の使用時にチャンバの最も鉛直下側の部材となるチャンバ底壁部材に形成されている請求項１から６のいずれか１項に記載の固体レーザ装置。
  8. 　前記レーザチャンバに、前記第１水槽部を形成している部分よりもランプ長軸方向に突出した突出部分が形成され、この突出部分内に前記第２水槽部が形成されている請求項１から７のいずれか１項に記載の固体レーザ装置。
  9. 　前記ランプの電極部が、ランプ長軸方向に関して、レーザロッドの端部よりも外側に突出している請求項１から８のいずれか１項に記載の固体レーザ装置。
  10. 　前記第１水槽部内に、前記レーザロッドおよび前記ランプの各一部を取り囲む集光部材が配設されている請求項１から９のいずれか１項に記載の固体レーザ装置。
  11. 　前記第１水槽部の内壁面と前記集光部材との間に間隙が設けられている請求項１０に記載の固体レーザ装置。
  12. 　前記集光部材のレーザロッドを取り囲む部分とランプを取り囲む部分とが、互いに分割可能とされている請求項１０または１１に記載の固体レーザ装置。
  13. 　前記レーザロッドおよび／または前記ランプの一部を内部に収める管状のフローチューブが設けられ、このフローチューブ内に冷却液が導入される請求項１から１２のいずれか１項に記載の固体レーザ装置。
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