WO2016039123A1 - 流体圧シリンダ - Google Patents

流体圧シリンダ Download PDF

Info

Publication number
WO2016039123A1
WO2016039123A1 PCT/JP2015/073658 JP2015073658W WO2016039123A1 WO 2016039123 A1 WO2016039123 A1 WO 2016039123A1 JP 2015073658 W JP2015073658 W JP 2015073658W WO 2016039123 A1 WO2016039123 A1 WO 2016039123A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
fluid pressure
pressure cylinder
rod
film
piston
Prior art date
Application number
PCT/JP2015/073658
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
奥平宏行
今井健司
簗瀬辰徳
Original Assignee
Smc株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Smc株式会社 filed Critical Smc株式会社
Priority to KR1020177009795A priority Critical patent/KR101953641B1/ko
Priority to RU2017107872A priority patent/RU2668300C2/ru
Priority to MX2017002857A priority patent/MX2017002857A/es
Priority to US15/509,651 priority patent/US10480546B2/en
Priority to BR112017004751-9A priority patent/BR112017004751B1/pt
Priority to EP15840283.4A priority patent/EP3193025B1/en
Priority to CN201580048754.7A priority patent/CN106715927B/zh
Publication of WO2016039123A1 publication Critical patent/WO2016039123A1/ja

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00—Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/08—Characterised by the construction of the motor unit
    • F15B15/14—Characterised by the construction of the motor unit of the straight-cylinder type
    • F15B15/1423—Component parts; Constructional details
    • F15B15/1433—End caps
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D11/00—Electrolytic coating by surface reaction, i.e. forming conversion layers
    • C25D11/02—Anodisation
    • C25D11/04—Anodisation of aluminium or alloys based thereon
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00—Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/08—Characterised by the construction of the motor unit
    • F15B15/14—Characterised by the construction of the motor unit of the straight-cylinder type
    • F15B15/1423—Component parts; Constructional details
    • F15B15/1457—Piston rods
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J7/00—Piston-rods
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00—Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/08—Characterised by the construction of the motor unit
    • F15B15/14—Characterised by the construction of the motor unit of the straight-cylinder type
    • F15B15/1423—Component parts; Constructional details
    • F15B15/1457—Piston rods
    • F15B15/1461—Piston rod sealings
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/70—Output members, e.g. hydraulic motors or cylinders or control therefor
    • F15B2211/705—Output members, e.g. hydraulic motors or cylinders or control therefor characterised by the type of output members or actuators
    • F15B2211/7051—Linear output members
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2215/00—Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another
    • F15B2215/30—Constructional details thereof
    • F15B2215/305—Constructional details thereof characterised by the use of special materials

Definitions

  • the present invention relates to a fluid pressure cylinder that displaces a piston along an axial direction under the action of a working fluid.
  • This type of fluid pressure cylinder includes a cylinder body in which a cylinder hole is formed, a piston disposed in the cylinder hole and displaced along the axial direction under the action of a working fluid, a piston rod connected to the piston, And a rod cover provided on the inner wall surface constituting the cylinder hole and formed with a rod insertion hole through which the piston rod is inserted (see, for example, JP-A-2009-68557).
  • the rod insertion hole is provided with a cylindrical bush that supports the piston rod so as to be slidable in the axial direction.
  • the bush is removed and an aluminum piston rod is used to form an alumite film that slidably contacts the piston rod on the inner wall surface constituting the rod insertion hole.
  • adhesive wear between the piston rod and the alumite film occurs, so that the life of the fluid pressure cylinder may be shortened.
  • the present invention has been made in consideration of such problems, and can reduce the number of parts, reduce the weight and extend the life, and can be used in an environment in which a copper-based material is not used.
  • the object is to provide a cylinder.
  • a fluid pressure cylinder includes a cylinder body in which a cylinder hole is formed, and a piston that is disposed in the cylinder hole and is displaced along an axial direction under the action of a working fluid.
  • a fluid pressure cylinder comprising: a piston rod connected to the piston; and a rod cover having a rod insertion hole through which the piston rod is inserted, wherein the piston rod and the rod cover are made of aluminum or an aluminum alloy.
  • An anodized film or a diamond-like carbon film is formed on at least a part of the inner wall surface of the rod cover constituting the rod insertion hole, and the inner wall surface of the rod cover is formed on the outer wall surface of the piston rod.
  • the alumite film When the alumite film is formed on the alumite film, it contacts the anodized film Ear Mondo-like carbon film is formed, characterized in that the sliding contact anodized aluminum film on the diamond-like carbon film when the diamond-like carbon film on the inner wall surface is formed of the rod cover are formed.
  • the diamond-like carbon film (anodized film) formed on the outer wall surface of the piston rod slides against the anodized film (diamond-like carbon film) formed on the inner wall surface of the rod cover. Adhesive wear can be suppressed. Thereby, the lifetime of the fluid pressure cylinder can be extended.
  • the rod cover and the piston rod are made of aluminum or an aluminum alloy and there is no need to provide a copper bush in the rod insertion hole, the number of parts can be reduced and the weight can be reduced. It can also be used in an environment where no system material is used.
  • the anodized film may be formed on the inner wall surface of the rod cover, and the diamond-like carbon film that is in sliding contact with the anodized film may be formed on the outer wall surface of the piston rod.
  • the manufacturing cost of the fluid pressure cylinder can be reduced.
  • a housing groove for housing a lubricant may be formed on the inner wall surface of the rod cover. According to such a configuration, since the lubricant can be supplied between the alumite film and the diamond-like carbon film, the life of the fluid pressure cylinder can be further extended. In addition, since the housing groove can be formed at the position where the bush is conventionally disposed, it is possible to suppress an increase in the size of the fluid pressure cylinder even when the housing groove is formed.
  • the fluid pressure cylinder according to the present invention can reduce the number of parts, reduce the weight and extend the life, and can be used in an environment where a copper-based material is not used.
  • FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a fluid pressure cylinder according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a partially enlarged longitudinal sectional view illustrating the configuration of the fluid pressure cylinder according to the first embodiment.
  • FIG. 3 is a partially enlarged longitudinal sectional view showing the configuration of the fluid pressure cylinder according to the second embodiment (the fluid pressure cylinder according to the comparative example 1).
  • FIG. 4 is a partially enlarged longitudinal sectional view illustrating the configuration of the fluid pressure cylinder according to the third embodiment.
  • FIG. 5 is a partially enlarged longitudinal sectional view showing a configuration of a fluid pressure cylinder according to Comparative Example 2.
  • FIG. 6 is a graph showing the minimum operating pressure with respect to the number of piston driving times.
  • FIG. 7 is a graph showing the maximum wear depth of the alumite film after the piston has been driven 10 million times.
  • a fluid pressure cylinder (sliding device) 10 includes a cylinder body 14 in which a cylinder hole 12 is formed, and the cylinder hole 12 can be displaced along the axial direction.
  • the piston 16 is provided, the piston rod 18 connected to the piston 16, and the rod cover 22 provided in the cylinder body 14 and having a rod insertion hole 20 through which the piston rod 18 is inserted.
  • the cylinder body 14 can be made of any material, but is integrally formed in a bottomed cylindrical shape with, for example, aluminum or an aluminum alloy. However, the cylinder body 14 may be configured to be mounted so that the opening on one side of the tube member opened at both ends is closed by the end cover.
  • 1st port 24 and 2nd port 26 which are connected to a fluid supply source via the channel and channel switching device which are not illustrated in the outside side of cylinder body 14 are opened.
  • the first port 24 communicates with the first cylinder chamber 28 formed between the piston 16 and the bottom surface of the cylinder body 14 via the first communication passage 30.
  • the second port 26 communicates with a second cylinder chamber 32 formed between the piston 16 and the rod cover 22 via a second communication path 34.
  • the piston 16 can be composed of any material, but is composed of, for example, aluminum or an aluminum alloy in a cylindrical shape.
  • a piston packing 38 is mounted on the outer peripheral surface of the piston 16 via an annular groove 36.
  • a magnet for detecting the position of the piston 16 in the axial direction relative to the cylinder body 14 may be attached to the outer peripheral surface of the piston 16.
  • a sensor mounting groove for mounting a magnetic detection sensor for detecting the magnetism of the magnet is formed on the outer surface of the cylinder body 14.
  • the piston rod 18 is made of aluminum or aluminum alloy in a cylindrical shape, and one end thereof is connected to the piston 16. Thereby, the piston rod 18 is interlocked with the piston 16.
  • a mounting hole 40 for attaching a workpiece or the like is formed on the other end surface of the piston rod 18 that is inserted through the rod insertion hole 20 and exposed to the outside of the cylinder body 14.
  • a diamond-like carbon film (hereinafter referred to as a DLC film 42) is formed on the outer peripheral surface (outer wall surface) of the piston rod 18.
  • the DLC film 42 is an amorphous hard film made of an allotrope of hydrocarbon or carbon, and is excellent in lubricity, wear resistance, seizure resistance, and the like.
  • the DLC film 42 can be formed by an environmentally friendly CVD (Chemical Vapor Deposition) method, a PVD (Physical Vapor Deposition) method, or the like that does not generate waste liquid.
  • An intermediate layer may be formed between the base material and the DLC film 42 in order to improve the adhesion between the DLC film 42 and the base material (piston rod 18).
  • middle layer can be comprised with the composite layer of a base material and DLC, for example.
  • the composition ratio of the metal increases as it approaches the base material, while the composition ratio of DLC decreases, and the composition ratio of the metal decreases as it moves away from the base material, while the composition ratio of DLC decreases. growing.
  • the hardness of the DLC film 42 increases as the distance from the base material increases toward the outer surface side. Specifically, the Vickers hardness in the vicinity of the base material of the DLC film 42 is set to 900 Hv or less, and the Vickers hardness of the outermost surface is set to 1300 Hv or more. Thereby, peeling from the base material of the DLC film 42 is suppressed more suitably. Moreover, the surface roughness of the DLC film 42 is set to 1.6 Rz or less. Thereby, abrasion of the rod packing 52 described later can be suitably suppressed.
  • the DLC film 42 is colored with a color (for example, black) different from the color (metal color) of aluminum or aluminum alloy. In this case, it can be easily recognized that the DLC film 42 is peeled and the underlying aluminum or aluminum alloy is exposed. Therefore, it is possible to take appropriate measures before the equipment is stopped due to the life of the fluid pressure cylinder 10.
  • the film thickness of the DLC film 42 is preferably set to 0.1 ⁇ m or more and 5.0 ⁇ m or less, more preferably 0.3 ⁇ m or more and 4.0 ⁇ m or less, and more preferably 1.0 ⁇ m or more and 4.0 ⁇ m or less. If the film thickness of the DLC film 42 is smaller than 0.1 ⁇ m, there is a concern that the DLC film 42 may be peeled off prematurely due to wear. Because it invites.
  • the rod cover 22 is formed in an annular shape from aluminum or an aluminum alloy, and supports the piston rod 18 in a state of being provided on the wall surface forming the cylinder hole 12. Further, the rod cover 22 is prevented from coming off from the cylinder hole 12 by a ring-shaped retaining ring 46 attached to a wall surface constituting the cylinder hole 12 via an annular groove 44.
  • a gasket 50 is mounted on the outer peripheral surface of the rod cover 22 via an annular groove 48.
  • the inner circumferential surface (inner wall surface) of the rod cover 22 has an annular groove 54 in which a rod packing 52 made of a resin material such as urethane rubber is mounted, and a grease storage groove (grease) in which grease (lubricant) is stored. 56) is formed.
  • the grease containing groove 56 is located on the side of the retaining ring 46 (on the side opposite to the piston 16) from the annular groove 54.
  • An anodized film 58 that slides on the DLC film 42 is formed on at least a part of the inner peripheral surface of the rod cover 22.
  • the anodized film 58 is preferably a hard anodized film described in JIS8603. In this case, the wear resistance of the alumite film 58 can be further improved. However, the anodized film 58 may not be the hard anodized film.
  • the dimension along the axial direction of the grease containing groove 56 is 1/5 or more and 4/5 or less of the sliding surface length dimension (the length dimension along the axial direction of the anodized film 58 slidably contacting the DLC film 42). Is set to Thereby, grease can be efficiently supplied between the DLC film 42 and the alumite film 58 while appropriately suppressing the pressure acting on the alumite film 58 from the piston rod 18.
  • the fluid pressure cylinder 10 is basically configured as described above, and the operation and effects thereof will be described next. As shown in FIG. 1, the state where the piston 16 is located on the bottom surface side of the cylinder body 14 will be described as an initial position.
  • the piston 16 is moved to the cylinder by the action of the working fluid flowing into the second cylinder chamber 32.
  • the fluid that is displaced to the bottom surface side of the main body 14 and is present in the first cylinder chamber 28 is discharged into the atmosphere through the first port 24.
  • the piston 16 contacts the bottom surface of the cylinder body 14, the displacement of the piston 16 toward the bottom surface of the cylinder body 14 is stopped.
  • the grease accommodated in the grease accommodating groove 56 is formed on the outer peripheral surface of the piston rod 18.
  • the DLC film 42 slides on the anodized film 58 in a state where the DLC film 42 is supplied between the anodized film 58 and the anodized film 58 formed on the inner peripheral surface of the rod cover 22.
  • the DLC film 42 has chemical stability and self-lubricating properties that prevent adhesion with aluminum or anodized. Therefore, the piston rod 18 is displaced in a state where sliding wear and adhesive wear are suppressed. Thereby, the lifetime of the fluid pressure cylinder 10 can be extended.
  • piston rod 18 and the rod cover 22 are made of aluminum or an aluminum alloy and there is no need to provide a copper bush in the rod insertion hole 20, the number of parts can be reduced and the weight can be reduced. In addition, it can be used in an environment where no copper-based material is used.
  • the manufacturing cost of the fluid pressure cylinder 10 can be reduced. Furthermore, since the grease containing groove 56 for containing the grease is formed on the inner peripheral surface of the rod cover 22, the grease is supplied between the DLC film 42 and the alumite film 58 to slide the rod cover 22. Can be suppressed. Thereby, the lifetime of the fluid pressure cylinder 10 can be further extended.
  • the grease accommodation groove 56 may be deleted (see FIG. 3), or the grease accommodation groove 56 may be formed closer to the piston 16 than the rod packing 52 (see FIG. 4).
  • the alumite film 58 may be formed on the outer peripheral surface of the piston rod 18, and the DLC film 42 that is in sliding contact with the alumite film 58 may be formed on the inner peripheral surface of the rod cover 22. Even in these cases, the same effects as the above-described configuration are obtained.
  • Example 1 A fluid pressure cylinder 10a according to Example 1 shown in FIG. 2 was produced.
  • the fluid pressure cylinder 10a is configured similarly to the fluid pressure cylinder 10 described above.
  • the piston rod 18 is made of an aluminum alloy (A2017: JIS standard), and the DLC film 42 is formed on the outer peripheral surface of the piston rod 18 with a film thickness of 1 ⁇ m to 2 ⁇ m.
  • the rod cover 22 was made of an aluminum alloy (A6061-T6: JIS standard), and an alumite film (hard anodized film) 58 was formed on the inner peripheral surface of the rod cover 22 with a film thickness of 15 ⁇ m.
  • the length dimension along the axial direction of the rod cover 22 according to the first embodiment was defined as La.
  • the diameter of the piston rod 18 was 16 mm, and the stroke of the piston 16 was 50 mm.
  • Example 2 A fluid pressure cylinder 10b according to Example 2 shown in FIG. 3 was produced. That is, the fluid pressure cylinder 10b according to Example 2 was manufactured in the same manner as Example 1 except that the grease accommodating groove 56 was omitted.
  • Example 3 A fluid pressure cylinder 10c according to Example 3 shown in FIG. 4 was produced.
  • the constituent materials of the piston rod 18 and the rod cover 22, the film thicknesses of the DLC film 42 and the alumite film 58, the diameter of the piston rod 18 and the stroke of the piston 16 are the same as in the first embodiment. Set to.
  • the length dimension along the axial direction of the rod cover 22 according to Example 3 was set to Lb longer than La.
  • a grease containing groove 56 is formed on the piston 16 side with respect to the rod packing 52.
  • Comparative Example 1 Comparative Example 1 was performed in the same manner as in Example 2 except that the piston rod 18 was made of carbon steel (S45C: JIS standard) and the hard chrome film 102 was formed on the outer peripheral surface of the piston rod 18 to a thickness of 8 ⁇ m. A fluid pressure cylinder 100a according to the above was manufactured (see FIG. 3).
  • Comparative Example 2 A fluid pressure cylinder 100b according to Comparative Example 2 shown in FIG. 5 was produced.
  • a bushing groove 106 in which a bush 104 made of lead bronze is disposed is formed instead of the grease accommodating groove 56 according to the third embodiment.
  • the piston rod 18 and the hard chrome coating 102 were the same as those in Comparative Example 1, and the others were produced in the same manner as in Example 3.
  • the weight of the fluid pressure cylinder 100a according to Comparative Example 1 was 320 g, whereas the weight of the fluid pressure cylinder 10a according to Example 1 was 230 g. That is, by configuring the piston rod 18 with an aluminum alloy, the fluid pressure cylinder 10a can be reduced in weight by about 28% of the weight of the fluid pressure cylinder 100a.
  • the weight of the fluid pressure cylinder 100b according to Comparative Example 2 was 350 g, whereas the weight of the fluid pressure cylinder 10c according to Example 3 was 260 g.
  • the piston rod 18 is made of an aluminum alloy and the lead bronze bush 104 is eliminated, whereby the fluid pressure cylinder 10c can be reduced by about 25% of its weight relative to the fluid pressure cylinder 100b. did it.
  • the fluid pressure cylinder 10c according to the third embodiment forms the grease accommodation groove 56 at the position where the bush 104 is disposed in the fluid pressure cylinder 100b according to the comparative example 2, such a grease accommodation groove is provided. Even if 56 is formed, the fluid pressure cylinder 10c does not increase in size.
  • the DLC film 42 is formed on the outer peripheral surface of the piston rod 18 and the alumite film 58 is formed on the inner peripheral surface of the rod cover 22, so that the minimum operating pressure can be achieved even when the number of piston driving times reaches 10 million times. Was kept relatively low, and the life could be extended. Further, when the grease containing groove 56 is provided on the inner peripheral surface of the rod cover 22, the minimum operating pressure after the piston 16 is driven 10 million times is lower than when the grease containing groove 56 is not provided. The service life could be further extended.
  • the maximum wear depth of the fluid pressure cylinder 10a according to the first embodiment is about 1 / th of the maximum wear depth of the alumite film 58 of the fluid pressure cylinder 100a according to the first comparative example.
  • the life of the fluid pressure cylinder 10a can be further extended.
  • the fluid pressure cylinder according to the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various configurations can be adopted without departing from the gist of the present invention.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Actuator (AREA)
  • Pistons, Piston Rings, And Cylinders (AREA)

Abstract

　流体圧シリンダ（１０）を構成するピストンロッド（１８）及びロッドカバー（２２）は、アルミニウム又はアルミニウム合金で構成されている。ロッド挿通孔（２０）を構成するロッドカバー（２２）の内壁面の少なくとも一部にはアルマイト皮膜（５８）が形成され、ピストンロッド（１８）の外壁面には、アルマイト皮膜（５８）に摺接するダイヤモンドライクカーボン皮膜（４２）が形成されている。

Description

流体圧シリンダ
　本発明は、作動流体の作用下にピストンを軸線方向に沿って変位させる流体圧シリンダに関する。
　従来、ワーク等の搬送手段として流体圧シリンダが広く用いられている。この種の流体圧シリンダは、シリンダ孔が形成されたシリンダ本体と、シリンダ孔に配設されて作動流体の作用下に軸線方向に沿って変位するピストンと、ピストンに連結されたピストンロッドと、シリンダ孔を構成する内壁面に設けられてピストンロッドが挿通するロッド挿通孔が形成されたロッドカバーとを備えている（例えば、特開２００９－６８５５７号公報参照）。ロッド挿通孔には、ピストンロッドを軸線方向に摺動可能に支持する円筒状のブッシュが設けられている。
　上述した従来の流体圧シリンダでは、一般的に、鉄製のピストンロッド、アルミニウム製のロッドカバー、及び銅製のブッシュが用いられる。しかしながら、この場合、流体圧シリンダの部品点数及び重量が増大する上、例えば、二次電池の製造ライン等のような銅系材料の使用が禁止又は制限されている環境（銅系材料不使用環境）において使用することができないという不都合がある。
　このような不都合を解消するために、例えば、ブッシュを削除すると共にアルミニウム製のピストンロッドを採用し、ロッド挿通孔を構成する内壁面にピストンロッドを摺接するアルマイト皮膜を形成することが考えられるが、この場合、ピストンロッドとアルマイト皮膜との凝着摩耗が生じるため、流体圧シリンダの寿命が短くなるおそれがある。
　本発明は、このような課題を考慮してなされたものであり、部品点数を削減すると共に軽量化及び長寿命化を図ることができ、且つ銅系材料不使用環境において用いることができる流体圧シリンダを提供することを目的とする。
　上記の目的を達成するため、本発明に係る流体圧シリンダは、シリンダ孔が形成されたシリンダ本体と、前記シリンダ孔に配設されて作動流体の作用下に軸線方向に沿って変位するピストンと、前記ピストンに連結されたピストンロッドと、前記ピストンロッドが挿通するロッド挿通孔が形成されたロッドカバーと、を備えた流体圧シリンダにおいて、前記ピストンロッド及び前記ロッドカバーは、アルミニウム又はアルミニウム合金で構成され、前記ロッド挿通孔を構成する前記ロッドカバーの内壁面の少なくとも一部には、アルマイト皮膜又はダイヤモンドライクカーボン皮膜が形成され、前記ピストンロッドの外壁面には、前記ロッドカバーの前記内壁面に前記アルマイト皮膜が形成されている場合に当該アルマイト皮膜に摺接するダイヤモンドライクカーボン皮膜が形成され、前記ロッドカバーの前記内壁面に前記ダイヤモンドライクカーボン皮膜が形成されている場合に当該ダイヤモンドライクカーボン皮膜に摺接するアルマイト皮膜が形成されていることを特徴とする。
　このような構成によれば、ロッドカバーの内壁面に形成されたアルマイト皮膜（ダイヤモンドライクカーボン皮膜）に対してピストンロッドの外壁面に形成されたダイヤモンドライクカーボン皮膜（アルマイト皮膜）が摺動するので、凝着摩耗を抑えることができる。これにより、流体圧シリンダの長寿命化を図ることができる。また、ロッドカバー及びピストンロッドをアルミニウム又はアルミニウム合金で構成する上、ロッド挿通孔に銅製のブッシュを設ける必要がないため、部品点数を削減することができ、且つ軽量化を図ることができると共に銅系材料不使用環境においても用いることができる。
　上記の流体圧シリンダにおいて、前記ロッドカバーの前記内壁面には前記アルマイト皮膜が形成され、前記ピストンロッドの外壁面には、前記アルマイト皮膜に摺接する前記ダイヤモンドライクカーボン皮膜が形成されていてもよい。この場合、ロッドカバーの内壁面よりもコーティングし易いピストンロッドの外壁面にダイヤモンドライクカーボン皮膜を形成するため、流体圧シリンダの製造コストを低廉化することができる。
　上記の流体圧シリンダにおいて、前記ロッドカバーの前記内壁面には、潤滑剤が収容される収容溝が形成されていてもよい。このような構成によれば、アルマイト皮膜とダイヤモンドライクカーボン皮膜との間に潤滑剤を供給することができるので、流体圧シリンダのさらなる長寿命化を図ることができる。また、従来ブッシュが配設されていた位置に収容溝を形成することができるので、収容溝を形成した場合であっても流体圧シリンダが大型化することを抑えることができる。
　本発明に係る流体圧シリンダによれば、部品点数を削減すると共に軽量化及び長寿命化を図ることができ、且つ銅系材料不使用環境において用いることができる。
　上記の目的、特徴及び利点は、添付した図面を参照して説明される以下の実施の形態の説明から容易に諒解されるであろう。
図１は、本発明の一実施形態に係る流体圧シリンダの縦断面図である。 図２は、実施例１に係る流体圧シリンダの構成を示す一部拡大縦断面図である。 図３は、実施例２に係る流体圧シリンダ（比較例１に係る流体圧シリンダ）の構成を示す一部拡大縦断面図である。 図４は、実施例３に係る流体圧シリンダの構成を示す一部拡大縦断面図である。 図５は、比較例２に係る流体圧シリンダの構成を示す一部拡大縦断面図である。 図６は、ピストン駆動回数に対する最低作動圧力を示したグラフである。 図７は、ピストンの１０００万回駆動後におけるアルマイト皮膜の最大摩耗深さを示したグラフである。
　以下、本発明に係る流体圧シリンダについて好適な実施形態を挙げ、添付の図面を参照しながら説明する。
　本発明の一実施形態に係る流体圧シリンダ（摺動装置）１０は、図１に示すように、シリンダ孔１２が形成されたシリンダ本体１４と、シリンダ孔１２に軸線方向に沿って変位自在に配設されたピストン１６と、ピストン１６に連結されたピストンロッド１８と、シリンダ本体１４に設けられてピストンロッド１８が挿通するロッド挿通孔２０が形成されたロッドカバー２２とを備えている。
　シリンダ本体１４は、任意の材料で構成可能であるが、例えば、アルミニウム又はアルミニウム合金により有底筒状に一体的に構成されている。ただし、シリンダ本体１４は、両端が開口したチューブ部材の片側の開口部をエンドカバーにより閉塞するように装着して構成されていてもよい。
　シリンダ本体１４の外側面には、図示しない流路及び流路切替装置を介して流体供給源に接続される第１ポート２４及び第２ポート２６が開口している。第１ポート２４は、ピストン１６とシリンダ本体１４の底面との間に形成された第１シリンダ室２８に第１連通路３０を介して連通している。第２ポート２６は、ピストン１６とロッドカバー２２との間に形成された第２シリンダ室３２に第２連通路３４を介して連通している。
　ピストン１６は、任意の材料で構成可能であるが、例えば、アルミニウム又はアルミニウム合金等で円柱状に構成されている。ピストン１６の外周面には、環状溝３６を介してピストンパッキン３８が装着されている。なお、ピストン１６の外周面には、シリンダ本体１４に対するピストン１６の軸線方向の位置を検出するためのマグネットを装着しても構わない。この場合、シリンダ本体１４の外側面には、マグネットの磁気を検出する磁気検出センサを取り付けるためのセンサ取付溝が形成される。
　ピストンロッド１８は、アルミニウム又はアルミニウム合金で円柱状に構成されており、その一端部がピストン１６に連結している。これにより、ピストンロッド１８は、ピストン１６に連動する。ロッド挿通孔２０を挿通してシリンダ本体１４の外部に露出したピストンロッド１８の他端面には、ワーク等を取り付けるための装着穴４０が形成されている。
　ピストンロッド１８の外周面（外壁面）には、ダイヤモンドライクカーボン皮膜（以下、ＤＬＣ皮膜４２と称する。）が形成されている。ＤＬＣ皮膜４２は、炭化水素又は炭素の同素体からなる非晶質の硬質膜であって潤滑性、耐摩耗性、耐焼付き性等が優れている。
　ＤＬＣ皮膜４２は、廃液の出ない環境にやさしいＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition：化学気相成長）法又はＰＶＤ（Physical Vapor Deposition：物理気相成長）法等によって形成することができる。また、ＤＬＣ皮膜４２と基材（ピストンロッド１８）との密着性を良好にするために、基材とＤＬＣ皮膜４２との間には中間層を形成してもよい。中間層は、例えば、基材とＤＬＣとの複合層で構成することができる。この場合、中間層は、基材に近接するにつれて金属の組成比が大きくなる一方でＤＬＣの組成比が小さくなり、基材から離間するにつれて金属の組成比が小さくなる一方でＤＬＣの組成比が大きくなる。このような中間層を用いることにより、ＤＬＣ皮膜４２の基材からの剥離が好適に抑えられる。
　ＤＬＣ皮膜４２は、基材から外表面側に離間するに従って硬度が大きくなっている。具体的には、ＤＬＣ皮膜４２の基材近傍のビッカース硬度は９００Ｈｖ以下に設定され、最外表面のビッカース硬度は１３００Ｈｖ以上に設定されている。これにより、ＤＬＣ皮膜４２の基材からの剥離を一層好適に抑えられる。また、ＤＬＣ皮膜４２の表面粗さは、１．６Ｒｚ以下に設定されている。これにより、後述するロッドパッキン５２の摩耗を好適に抑えることができる。
　ＤＬＣ皮膜４２は、アルミニウム又はアルミニウム合金の色（金属色）とは異なる色（例えば、黒色）で着色されている。この場合、ＤＬＣ皮膜４２が剥離して下地のアルミニウム又はアルミニウム合金が露出したことを容易に視認することができる。よって、流体圧シリンダ１０の寿命による設備停止前に適切な対応を採ることができる。
　ＤＬＣ皮膜４２の膜厚は、好ましくは０．１μｍ以上５．０μｍ以下、さらに好ましくは０．３μｍ以上４．０μｍ以下、より好ましくは１．０μｍ以上４．０μｍ以下に設定される。ＤＬＣ皮膜４２の膜厚が０．１μｍよりも小さいと摩耗によるＤＬＣ皮膜４２の早期剥離が懸念され、ＤＬＣ皮膜４２の膜厚が５．０μｍよりも大きいと成膜が容易ではなくコストの高騰化を招くからである。
　ロッドカバー２２は、アルミニウム又はアルミニウム合金により円環状に構成されており、シリンダ孔１２を構成する壁面に設けられた状態でピストンロッド１８を支持している。また、ロッドカバー２２は、シリンダ孔１２を構成する壁面に環状溝４４を介して装着されたリング状の止め輪４６によってシリンダ孔１２からの抜け止めがなされている。
　ロッドカバー２２の外周面には、環状溝４８を介してガスケット５０が装着されている。ロッドカバー２２の内周面（内壁面）には、ウレタンゴム等の樹脂材料で構成されたロッドパッキン５２が装着される環状溝５４と、グリース（潤滑剤）が収容されるグリース収容溝（グリース溜まり）５６とが形成されている。本実施形態では、グリース収容溝５６は、環状溝５４よりも止め輪４６側（ピストン１６とは反対側）に位置している。
　ロッドカバー２２の内周面の少なくとも一部には、ＤＬＣ皮膜４２に摺接するアルマイト皮膜５８が形成されている。アルマイト皮膜５８は、ＪＩＳ８６０３に記載の硬質アルマイト皮膜であることが好ましい。この場合、アルマイト皮膜５８の耐摩耗性をより向上させることができるからである。ただし、アルマイト皮膜５８は、上記硬質アルマイト皮膜でなくても構わない。
　グリース収容溝５６の軸線方向に沿った寸法は、摺動面長さ寸法（ＤＬＣ皮膜４２に摺接するアルマイト皮膜５８の軸線方向に沿った長さ寸法）の１／５以上４／５以下の寸法に設定されている。これにより、ピストンロッド１８からアルマイト皮膜５８に作用する圧力を適度に抑えつつＤＬＣ皮膜４２とアルマイト皮膜５８との間にグリースを効率的に供給することができる。
　本実施形態に係る流体圧シリンダ１０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。なお、図１に示されるように、ピストン１６がシリンダ本体１４の底面側に位置する状態を初期位置として説明する。
　この初期位置において、流路切替装置により第２ポート２６を大気開放した状態で流体供給源から第１ポート２４に作動流体（圧力流体）を供給すると、第１シリンダ室２８に流入した作動流体の作用によってピストン１６がロッドカバー２２側に変位すると共に第２シリンダ室３２に存在している流体が第２ポート２６を介して大気に排出される。そして、ピストン１６がロッドカバー２２に接触することによりピストン１６のロッドカバー２２側の変位が停止される。
　また、前記流路切替装置により第１ポート２４を大気開放した状態で流体供給源から第２ポート２６に作動流体を供給すると、第２シリンダ室３２に流入した作動流体の作用によってピストン１６がシリンダ本体１４の底面側に変位すると共に第１シリンダ室２８に存在している流体が第１ポート２４を介して大気中に排出される。そして、ピストン１６がシリンダ本体１４の底面に接触することによりピストン１６のシリンダ本体１４の底面側への変位が停止される。
　本実施形態では、このようにピストン１６（ピストンロッド１８）が軸線方向に沿って変位する際に、グリース収容溝５６に収容されているグリースがピストンロッド１８の外周面に形成されたＤＬＣ皮膜４２とロッドカバー２２の内周面に形成されたアルマイト皮膜５８との間に供給された状態でＤＬＣ皮膜４２がアルマイト皮膜５８を摺動する。ＤＬＣ皮膜４２は、アルミニウムやアルマイトとの凝着を防ぐ化学的安定性と自己潤滑性を備えている。そのため、ピストンロッド１８は、摺動摩耗及び凝着摩耗が抑えられた状態で変位することとなる。これにより、流体圧シリンダ１０の長寿命化を図ることができる。
　また、ピストンロッド１８及びロッドカバー２２をアルミニウム又はアルミニウム合金で構成する上、ロッド挿通孔２０に銅製のブッシュを設ける必要がないため、部品点数を削減することができ、且つ軽量化を図ることができると共に銅系材料不使用環境においても用いることができる。
　さらに、ロッド挿通孔２０を構成する内周面よりもコーティングし易いピストンロッド１８の外周面にＤＬＣ皮膜４２を形成しているので、流体圧シリンダ１０の製造コストを低廉化することができる。さらにまた、ロッドカバー２２の内周面にグリースが収容されるグリース収容溝５６を形成しているので、ＤＬＣ皮膜４２とアルマイト皮膜５８との間にグリースを供給してロッドカバー２２の摺動摩耗を抑えることができる。これにより、流体圧シリンダ１０のさらなる長寿命化を図ることができる。
　本実施形態は、上述した構成に限定されない。例えば、グリース収容溝５６を削除してもよいし（図３参照）、ロッドパッキン５２よりもピストン１６側にグリース収容溝５６を形成してもよい（図４参照）。また、本実施形態において、ピストンロッド１８の外周面にアルマイト皮膜５８を形成し、ロッドカバー２２の内周面に当該アルマイト皮膜５８に摺接するＤＬＣ皮膜４２を形成しても構わない。これらの場合においても、上述した構成と同様の作用効果を奏する。
［実施例］
　以下に本発明の実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。なお、以下の実施例に示される材質、構成、膜厚等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り適宜変更することができる。従って、本発明の技術的範囲は以下に示す具体例により限定的に解釈されるべきものではない。
　実施例１～３、比較例１及び２の特徴を下記表１に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
（実施例１）
　図２に示す実施例１に係る流体圧シリンダ１０ａを作製した。この流体圧シリンダ１０ａは、上述した流体圧シリンダ１０と同様に構成されている。具体的には、ピストンロッド１８をアルミニウム合金（Ａ２０１７：ＪＩＳ規格）で構成し、ピストンロッド１８の外周面にＤＬＣ皮膜４２を１μｍ～２μｍの膜厚で成膜した。また、ロッドカバー２２をアルミニウム合金（Ａ６０６１－Ｔ６：ＪＩＳ規格）で構成し、ロッドカバー２２の内周面にアルマイト皮膜（硬質アルマイト皮膜）５８を１５μｍの膜厚で成膜した。この実施例１に係るロッドカバー２２の軸線方向に沿った長さ寸法をＬａとした。なお、ピストンロッド１８の直径を１６ｍｍとし、ピストン１６のストロークを５０ｍｍとした。
（実施例２）
　図３に示す実施例２に係る流体圧シリンダ１０ｂを作製した。すなわち、この実施例２に係る流体圧シリンダ１０ｂは、グリース収容溝５６を削除したこと以外は、実施例１と同様に作製した。
（実施例３）
　図４に示す実施例３に係る流体圧シリンダ１０ｃを作製した。この実施例３に係る流体圧シリンダ１０ｃでは、ピストンロッド１８及びロッドカバー２２の構成材料、ＤＬＣ皮膜４２及びアルマイト皮膜５８の膜厚、ピストンロッド１８の直径及びピストン１６のストロークを実施例１と同様に設定した。また、この実施例３に係るロッドカバー２２の軸線方向に沿った長さ寸法をＬａよりも長いＬｂとした。また、ロッドパッキン５２よりもピストン１６側にグリース収容溝５６が形成されている。
（比較例１）
　ピストンロッド１８を炭素鋼（Ｓ４５Ｃ：ＪＩＳ規格）で構成し、ピストンロッド１８の外周面に硬質クロム皮膜１０２を８μｍの膜厚で成膜した以外は、実施例２と同様にして、比較例１に係る流体圧シリンダ１００ａを作製した（図３参照）。
（比較例２）
　図５に示す比較例２に係る流体圧シリンダ１００ｂを作製した。この比較例２に係る流体圧シリンダ１００ｂでは、実施例３に係るグリース収容溝５６に代えて鉛青銅製のブッシュ１０４が配設されるブッシュ配設溝１０６を形成した。また、ピストンロッド１８及び硬質クロム皮膜１０２を比較例１と同じものとし、それ以外は、実施例３と同様に作製した。
［評価］
（重量測定）
　実施例１、実施例３、比較例１、及び比較例２に係る流体圧シリンダ１０ａ、１０ｃ、１００ａ、１００ｂの重量を測定した。
（寿命測定）
　実施例１、実施例２、及び比較例１の流体圧シリンダ１０ａ、１０ｂ、１００ａにおいて、ピストン駆動回数に対する最低作動圧力を測定した。また、ピストン１６を１０００万回駆動した後における実施例１、実施例２、及び比較例１のアルマイト皮膜５８の最大摩耗深さを株式会社東京精密製の真円度測定機（ACCRETECH RONDCOM60A）を用いて測定した。なお、測定条件は、真円度評価：最大内接円中心法（ＭＩＣ）、フィルタ種別：２ＲＣ、測定方法：半自動測定、測定速度：５ｍｍ／ｓ、姿勢：垂直とした。
［結果］
　重量測定結果を下記表２に示し、寿命測定結果を図６及び図７に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
　表２に示すように、比較例１に係る流体圧シリンダ１００ａの重量が３２０ｇであったのに対して、実施例１に係る流体圧シリンダ１０ａの重量は２３０ｇとなった。つまり、ピストンロッド１８をアルミニウム合金で構成することによって、流体圧シリンダ１０ａを、流体圧シリンダ１００ａに対してその重量の約２８％分だけ軽量化することができた。
　また、比較例２に係る流体圧シリンダ１００ｂの重量が３５０ｇであったのに対して、実施例３に係る流体圧シリンダ１０ｃの重量は２６０ｇとなった。つまり、ピストンロッド１８をアルミニウム合金で構成すると共に鉛青銅製のブッシュ１０４を削除することによって、流体圧シリンダ１０ｃを、流体圧シリンダ１００ｂに対してその重量の約２５％分だけ軽量化することができた。
　なお、実施例３に係る流体圧シリンダ１０ｃは、比較例２に係る流体圧シリンダ１００ｂにおいてブッシュ１０４が配設されていた位置にグリース収容溝５６を形成しているので、このようなグリース収容溝５６を形成した場合であっても流体圧シリンダ１０ｃが大型化することはない。
　さらに、図６から諒解されるように、比較例１に係る流体圧シリンダ１００ａでは、ピストン駆動回数が６００万回を超えると最低作動圧力が急激に上昇したのに対して、実施例１及び２に係る流体圧シリンダ１０ａ、１０ｂでは、ピストン駆動回数が１０００万回に達しても最低作動圧力を比較的低く抑えられた。また、ピストン１６の１０００万回駆動後において、流体圧シリンダ１０ａの最低作動圧力は、流体圧シリンダ１０ｂの最低作動圧力よりも低くなった。なお、実施例１、実施例２、及び比較例１に係る流体圧シリンダ１０ａ、１０ｂ、１００ａにおいて、エア漏れ量は１ｃｃ／ｍｉｎ以下であった。
　このように、ピストンロッド１８の外周面にＤＬＣ皮膜４２を形成すると共にロッドカバー２２の内周面にアルマイト皮膜５８を形成することによって、ピストン駆動回数が１０００万回に達した場合でも最低作動圧力が比較的低く抑えられ、長寿命化を図ることができた。また、ロッドカバー２２の内周面にグリース収容溝５６を設けた場合には、グリース収容溝５６を設けない場合と比較してピストン１６の１０００万回駆動後における最低作動圧力が低下しており、さらなる長寿命化を図ることができた。
　さらにまた、図７から諒解されるように、実施例１に係る流体圧シリンダ１０ａの最大摩耗深さは、比較例１に係る流体圧シリンダ１００ａのアルマイト皮膜５８の最大摩耗深さの約１／４に抑えられ、流体圧シリンダ１０ａの一層の長寿命化を図ることができた。
　本発明に係る流体圧シリンダは、上述の実施形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。

Claims (4)

  1. 　シリンダ孔（３２）が形成されたシリンダ本体（１４）と、
    　前記シリンダ孔（３２）に配設されて作動流体の作用下に軸線方向に沿って変位するピストン（１６）と、
    　前記ピストン（１６）に連結されたピストンロッド（１８）と、
    　前記ピストンロッド（１８）が挿通するロッド挿通孔（２０）が形成されたロッドカバー（２２）と、を備えた流体圧シリンダ（１０、１０ａ～１０ｃ）において、
    　前記ピストンロッド（１８）及び前記ロッドカバー（２２）は、アルミニウム又はアルミニウム合金で構成され、
    　前記ロッド挿通孔（２０）を構成する前記ロッドカバー（２２）の内壁面の少なくとも一部には、アルマイト皮膜（５８）又はダイヤモンドライクカーボン皮膜（４２）が形成され、
    　前記ピストンロッド（１８）の外壁面には、前記ロッドカバー（２２）の前記内壁面に前記アルマイト皮膜（５８）が形成されている場合に当該アルマイト皮膜（５８）に摺接するダイヤモンドライクカーボン皮膜（４２）が形成され、前記ロッドカバー（２２）の前記内壁面に前記ダイヤモンドライクカーボン皮膜（４２）が形成されている場合に当該ダイヤモンドライクカーボン皮膜（４２）に摺接するアルマイト皮膜（５８）が形成されている、ことを特徴とする流体圧シリンダ（１０、１０ａ～１０ｃ）。
  2. 　請求項１記載の流体圧シリンダ（１０、１０ａ～１０ｃ）において、
    　前記ロッドカバー（２２）の前記内壁面には前記アルマイト皮膜（５８）が形成され、
    　前記ピストンロッド（１８）の外壁面には、前記アルマイト皮膜（５８）に摺接する前記ダイヤモンドライクカーボン皮膜（４２）が形成されている、ことを特徴とする流体圧シリンダ（１０、１０ａ～１０ｃ）。
  3. 　請求項１記載の流体圧シリンダ（１０、１０ａ、１０ｃ）において、
    　前記ロッドカバー（２２）の前記内壁面には、潤滑剤が収容される収容溝（５６）が形成されていることを特徴とする流体圧シリンダ（１０、１０ａ、１０ｃ）。
  4. 　請求項２記載の流体圧シリンダ（１０、１０ａ、１０ｃ）において、
    　前記ロッドカバー（２２）の前記内壁面には、潤滑剤が収容される収容溝（５６）が形成されていることを特徴とする流体圧シリンダ（１０、１０ａ、１０ｃ）。
PCT/JP2015/073658 2014-09-12 2015-08-24 流体圧シリンダ WO2016039123A1 (ja)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020177009795A KR101953641B1 (ko) 2014-09-12 2015-08-24 유체압 실린더
RU2017107872A RU2668300C2 (ru) 2014-09-12 2015-08-24 Гидравлический цилиндр
MX2017002857A MX2017002857A (es) 2014-09-12 2015-08-24 Cilindro hidraulico.
US15/509,651 US10480546B2 (en) 2014-09-12 2015-08-24 Hydraulic cylinder
BR112017004751-9A BR112017004751B1 (pt) 2014-09-12 2015-08-24 Cilindro de pressão de fluido
EP15840283.4A EP3193025B1 (en) 2014-09-12 2015-08-24 Hydraulic cylinder
CN201580048754.7A CN106715927B (zh) 2014-09-12 2015-08-24 液压缸

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014185855A JP6222571B2 (ja) 2014-09-12 2014-09-12 流体圧シリンダ
JP2014-185855 2014-09-12

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2016039123A1 true WO2016039123A1 (ja) 2016-03-17

Family

ID=55458879

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2015/073658 WO2016039123A1 (ja) 2014-09-12 2015-08-24 流体圧シリンダ

Country Status (10)

Country Link
US (1) US10480546B2 (ja)
EP (1) EP3193025B1 (ja)
JP (1) JP6222571B2 (ja)
KR (1) KR101953641B1 (ja)
CN (1) CN106715927B (ja)
BR (1) BR112017004751B1 (ja)
MX (1) MX2017002857A (ja)
RU (1) RU2668300C2 (ja)
TW (1) TWI653400B (ja)
WO (1) WO2016039123A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018018149A1 (en) * 2016-07-29 2018-02-01 Industries Mailhot Inc. A cylinder piston rod and method of fabrication thereof

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6647551B2 (ja) * 2015-10-14 2020-02-14 Smc株式会社 流体圧機器及びその製造方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02253003A (ja) * 1989-03-27 1990-10-11 Taiyo Ltd 無給油流体圧シリンダ
JP2001107860A (ja) * 1999-10-07 2001-04-17 Matsushita Refrig Co Ltd 摺動部材
JP2012071683A (ja) * 2010-09-28 2012-04-12 Showa Corp 船舶推進機の電蝕防止構造

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3339932A (en) * 1965-03-01 1967-09-05 Parker Hannifin Corp Sealing apparatus
JPS6035812Y2 (ja) * 1979-11-09 1985-10-24 トキコ株式会社 ガススプリング
WO1995002486A1 (de) * 1993-07-14 1995-01-26 Weber Guenter Verfahren zum herstellen von kolben und kolbenstangen sowie zylindern für hydraulik- oder pneumatikaggregate
US5983778A (en) * 1997-07-28 1999-11-16 Dawson Hydraulics, Inc. Telescopic hydraulic hoist apparatus
JPH11105790A (ja) * 1997-09-30 1999-04-20 Showa Corp 船舶用推進機のチルト・トリム装置
US5974948A (en) 1998-01-29 1999-11-02 Zaytran, Inc. Linear actuator
CN1084266C (zh) 1999-11-29 2002-05-08 范勇 上下油封中间夹有油槽和连接导向器的汽车减振器
JP4505928B2 (ja) * 2000-02-29 2010-07-21 株式会社アドヴィックス ホイールシリンダ
RU2209351C1 (ru) * 2002-03-04 2003-07-27 Козлов Александр Николаевич Пневмоцилиндр
JP2005127417A (ja) * 2003-10-23 2005-05-19 Smc Corp 油圧駆動装置の潤滑構造
CN1975194A (zh) * 2006-12-11 2007-06-06 杨德君 气弹簧
JP5212773B2 (ja) 2007-09-11 2013-06-19 Ｓｍｃ株式会社 流体圧シリンダ
US8690128B1 (en) 2008-07-23 2014-04-08 Lippert Components Manufacturing, Inc. Hydraulic leveling cylinder
JP5433897B2 (ja) * 2009-10-22 2014-03-05 好孝 光田 ダイヤモンドライクカーボン皮膜形成部材及びその製造方法
JP5338695B2 (ja) * 2010-02-02 2013-11-13 Ｓｍｃ株式会社 流体圧シリンダの塵埃除去機構
DE102010022207A1 (de) * 2010-05-20 2011-11-24 Robert Bosch Gmbh Druckmittelzylinder mit einer mehrteiligen Kolbenstange
JP5862098B2 (ja) * 2011-08-04 2016-02-16 Smc株式会社 流体圧シリンダ
JP2014059000A (ja) * 2012-09-14 2014-04-03 Ihi Corp 摺動構造体及びその製造方法
KR101454550B1 (ko) * 2013-06-28 2014-10-27 엘지전자 주식회사 리니어 압축기

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02253003A (ja) * 1989-03-27 1990-10-11 Taiyo Ltd 無給油流体圧シリンダ
JP2001107860A (ja) * 1999-10-07 2001-04-17 Matsushita Refrig Co Ltd 摺動部材
JP2012071683A (ja) * 2010-09-28 2012-04-12 Showa Corp 船舶推進機の電蝕防止構造

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018018149A1 (en) * 2016-07-29 2018-02-01 Industries Mailhot Inc. A cylinder piston rod and method of fabrication thereof
US11867205B2 (en) 2016-07-29 2024-01-09 Industries Malhot Inc. Cylinder piston rod and method of fabrication thereof

Also Published As

Publication number Publication date
KR101953641B1 (ko) 2019-03-04
RU2017107872A3 (ja) 2018-09-10
US10480546B2 (en) 2019-11-19
EP3193025A1 (en) 2017-07-19
CN106715927A (zh) 2017-05-24
RU2017107872A (ru) 2018-09-10
JP6222571B2 (ja) 2017-11-01
CN106715927B (zh) 2018-08-03
US20170284428A1 (en) 2017-10-05
EP3193025B1 (en) 2021-04-14
KR20170052680A (ko) 2017-05-12
TWI653400B (zh) 2019-03-11
TW201621175A (zh) 2016-06-16
BR112017004751A2 (ja) 2018-06-26
MX2017002857A (es) 2017-05-30
JP2016056923A (ja) 2016-04-21
EP3193025A4 (en) 2018-05-16
BR112017004751B1 (pt) 2022-05-24
RU2668300C2 (ru) 2018-09-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102261464B (zh) 流体压力设备
JP5640088B2 (ja) コーティングを有する摺動要素、とりわけピストンリング
US9297474B2 (en) Solenoid valve
JP2014001732A (ja) シリンダライナ用の厚さの異なるコーティング
WO2016039123A1 (ja) 流体圧シリンダ
CN102444632B (zh) 液压储能器
JP6518064B2 (ja) 摺動シール構造
JPWO2015004993A1 (ja) 鉄系溶射被膜、これを用いた内燃機関用シリンダーブロック及び内燃機関用摺動機構
US20190271372A1 (en) Shock absorber and method for manufacturing sliding member
JP2016125513A (ja) ショックアブソーバ
MX2020009834A (es) Cilindro de presion de fluido.
JP2011226567A (ja) 流体圧シリンダに用いられる塵埃除去構造
JP2006199171A5 (ja)
WO2015106661A1 (zh) 一种高效率色浆调色泵
JP5397407B2 (ja) 直線作動装置に用いられるウェアリング
CN104879497B (zh) 一种聚四氟乙烯橡塑复合自润滑o型密封圈
JP6257402B2 (ja) 回転軸シール
JP4239793B2 (ja) マスタシリンダ
CN214465610U (zh) 一种耐磨陶瓷轴套
JP5244736B2 (ja) 流体圧シリンダの潤滑構造
CN108944869B (zh) 新型中心阀式制动总泵
JP2002013508A (ja) 往復動装置
JP2012229759A (ja) 直線作動装置に用いられるウェアリング
JP2012214095A (ja) マスタシリンダ
JP2017187022A (ja) 内燃機関のインジェクションバルブ

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 15840283

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: MX/A/2017/002857

Country of ref document: MX

REEP Request for entry into the european phase

Ref document number: 2015840283

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 15509651

Country of ref document: US

Ref document number: 2015840283

Country of ref document: EP

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2017107872

Country of ref document: RU

Kind code of ref document: A

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20177009795

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

REG Reference to national code

Ref country code: BR

Ref legal event code: B01A

Ref document number: 112017004751

Country of ref document: BR

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 112017004751

Country of ref document: BR

Kind code of ref document: A2

Effective date: 20170309