WO2016027619A1 - インプリント材料 - Google Patents
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Abstract
Description
したがって、ナノインプリントリソグラフィは、フォトリソグラフィ技術に代わり、半導体デバイス、オプトデバイス、ディスプレイ、記憶媒体、バイオチップ等の製造への適用が期待されている技術であることから、ナノインプリントリソグラフィに用いる光ナノインプリントリソグラフィ用硬化性組成物について様々な報告がなされている(特許文献2、特許文献3)。さらに、シリコーン骨格を有する化合物及び光重合開始剤を含む光インプリント材料が特許文献4に、シルセスキオキサン骨格を有する化合物及及び重合開始剤を含む、インプリント法により微細パターンを形成するための転写材料用硬化性樹脂組成物が特許文献5に開示されている。
(A):下記式(1)、式(2)または式(3)で表される化合物
(式中、Xは炭素原子数1乃至5の直鎖アルキレン基を表し、R1は水素原子またはメチル基を表し、R2、R3及びR4はそれぞれ独立に水素原子、メチル基またはエチル基を表し、R2、R3及びR4の炭素原子数の和は0乃至2の整数である。)
(B):下記式(4)で表される繰り返し単位を有し、式中Yで表される重合性基を2つ以上有するシルセスキオキサン化合物
(C):下記式(5)で表される繰り返し単位を有し、末端に重合性基を2つ有するシリコーン化合物
(式中、R6及びR7はそれぞれ独立に炭素原子数1乃至3のアルキル基を表し、R5は炭素原子数1乃至3のアルキレン基を表し、kは0乃至3の整数を表す。)
(D):光重合開始剤
第2観点として、前記(B)成分が完全かご型構造及び/または不完全かご型構造、並びにランダム構造及びはしご型構造の混合体からなる、第1観点に記載のインプリント材料に関する。
第3観点として、前記(C)成分が分子量の異なる2種以上の化合物からなる、第1観点または第2観点に記載のインプリント材料に関する。
第4観点として、(E)成分として酸化防止剤を更に含有する、第1観点乃至第3観点のうちいずれか一つに記載のインプリント材料に関する。
第5観点として、(F)成分として界面活性剤を更に含有する、第1観点乃至第4観点のうちいずれか一つに記載のインプリント材料に関する。
第6観点として、(G)成分として溶剤を更に含有する、第1観点乃至第5観点のうちいずれか一つに記載のインプリント材料に関する。
第7観点として、前記(B)成分及び(C)成分の重合性基がアクリロイルオキシ基、メタアクリロイルオキシ基、ビニル基またはアリル基である、第1観点乃至第6観点のうちいずれか一つに記載のインプリント材料に関する。
第8観点として第1観点乃至第7観点のうちいずれか一つに記載のインプリント材料から作製され、パターンが転写された膜に関する。
第9観点として、第8観点に記載のパターンが転写された膜を基材上に備えた光学部材に関する。
第10観点として、第8観点に記載のパターンが転写された膜を基材上に備えた個体撮像素子に関する。
第11観点として、第8観点に記載のパターンが転写された膜を基材上に備えたLEDデバイスに関する。
第12観点として、第8観点に記載のパターンが転写された膜を備えた半導体素子に関する。
第13観点として、第8観点に記載のパターンが転写された膜を基材上に備えた太陽電池に関する。
第14観点として、第8観点に記載のパターンが転写された膜を基材上に備えたディスプレイに関する。
第15観点として、第8観点に記載のパターンが転写された膜を基材上に備えた電子デバイスに関する。
また本発明のインプリント材料は、光硬化が可能であり、かつモールドの凹凸形状を有する面からの剥離時にパターンの一部に剥がれが生じないため、所望のパターンが正確に形成された膜が得られる。したがって、良好な光インプリントのパターン形成が可能である。
また、本発明のインプリント材料は、任意の基材上に製膜することができ、インプリント後に形成されるパターンが転写された膜は、太陽電池、LEDデバイス、ディスプレイなどの、高透明性が求められる部材を使用する製品へ好適に用いることができる。
さらに、本発明のインプリント材料は、前記(A)成分、(B)成分及び(C)成分の化合物の種類及び含有割合を変更することで、硬化速度、動的粘度、及び形成される硬化膜の膜厚をコントロールすることができ、例えば膜厚20μmの比較的厚い硬化膜を形成することができる。したがって、本発明のインプリント材料は、製造するデバイス種と露光プロセス及び焼成プロセスの種類に対応した材料の設計が可能であり、プロセスマージンを拡大できるため、光学部材の製造に好適に用いることができる。
(A)成分の、上記式(1)、式(2)または式(3)で表される化合物は、当該化合物の混合物であってもよい。
また当該重合性基としては、例えば、アクリロイルオキシ基、メタアクリロイルオキシ基、ビニル基、アリル基が挙げられる。ここで、アクリロイルオキシ基はアクリロキシ基と、メタアクリロイルオキシ基はメタアクリロキシ基と表現されることがある。
(B)成分の、重合性基を2つ以上有するシルセスキオキサン化合物は、主鎖骨格がSi-O-Si結合であり、前記式(4)で表される繰り返し単位の式中に1.5個の酸素原子を有し、当該式中のYで表される重合性基を2つ以上有する化合物を示す。当該重合性基としては、例えば、アクリロイルオキシ基、メタアクリロイルオキシ基、ビニル基、アリル基が挙げられる。さらに、前記式(4)においてR5で表される炭素原子数1乃至3のアルキレン基としては、例えば、メチレン基、エチリデン基[-CH(CH3)-基]、プロパン-2,2-ジイル基[-C(CH3)2-基]が挙げられる。
(式中、3つのR8はそれぞれ独立にメチル基またはエチル基を表し、R9は水素原子またはメチル基を表し、3つのQはそれぞれ独立にハロゲノ基を表す。)
(C)成分である、末端に重合性基を2つ有するシリコーン化合物は、分子内にシリコーン骨格(シロキサン骨格)を有し、当該分子の末端に重合性基を2つ有する化合物を示す。そのシリコーン骨格については、前記式(5)においてR6及びR7がそれぞれ独立にメチル基、エチル基、プロピル基またはイソプロピル基を表す場合が挙げられるが、特に、R6及びR7がいずれもメチル基を表すジメチルシリコーン骨格が好ましい。さらに、前記重合性基としては、例えば、アクリロイルオキシ基、メタアクリロイルオキシ基、ビニル基、アリル基が挙げられる。
(D)成分である光重合開始剤としては、光硬化時に使用する光源に吸収をもつものであれば、特に限定されるものではないが、例えば、tert-ブチルペルオキシ-iso-ブチレート、2,5-ジメチル-2,5-ビス(ベンゾイルジオキシ)ヘキサン、1,4-ビス[α-(tert-ブチルジオキシ)-iso-プロポキシ]ベンゼン、ジ-tert-ブチルペルオキシド、2,5-ジメチル-2,5-ビス(tert-ブチルジオキシ)ヘキセンヒドロペルオキシド、α-(iso-プロピルフェニル)-iso-プロピルヒドロペルオキシド、tert-ブチルヒドロペルオキシド、1,1-ビス(tert-ブチルジオキシ)-3,3,5-トリメチルシクロヘキサン、ブチル-4,4-ビス(tert-ブチルジオキシ)バレレート、シクロヘキサノンペルオキシド、2,2’,5,5’-テトラ(tert-ブチルペルオキシカルボニル)ベンゾフェノン、3,3’,4,4’-テトラ(tert-ブチルペルオキシカルボニル)ベンゾフェノン、3,3’,4,4’-テトラ(tert-アミルペルオキシカルボニル)ベンゾフェノン、3,3’,4,4’-テトラ(tert-ヘキシルペルオキシカルボニル)ベンゾフェノン、3,3’-ビス(tert-ブチルペルオキシカルボニル)-4,4’-ジカルボキシベンゾフェノン、tert-ブチルペルオキシベンゾエート、ジ-tert-ブチルジペルオキシイソフタレート等の有機過酸化物; 9,10-アントラキノン、1-クロロアントラキノン、2-クロロアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2-ベンズアントラキノン等のキノン類; ベンゾインメチル、ベンゾインエチルエーテル、α-メチルベンゾイン、α-フェニルベンゾイン等のベンゾイン誘導体; 2,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニルエタン-1-オン、1-ヒドロキシ-シクロヘキシル-フェニル-ケトン、2-ヒドロキシ-2-メチル-1-フェニル-プロパン-1-オン、1-[4-(2-ヒドロキシエトキシ)-フェニル]-2-ヒドロキシ-2-メチル-1-プロパン-1-オン、2-ヒドロキシ-1-[4-{4-(2-ヒドロキシ-2-メチル-プロピオニル)ベンジル}-フェニル]-2-メチル-プロパン-1-オン、フェニルグリオキシリックアシッドメチルエステル、2-メチル-1-[4-(メチルチオ)フェニル]-2-モルホリノプロパン-1-オン、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルホリノフェニル)-1-ブタノン、2-ジメチルアミノ-2-(4-メチル-ベンジル)-1-(4-モリホリン-4-イル-フェニル)-ブタン-1-オン等のアルキルフェノン系化合物; ビス(2,4,6-トリメチルベンゾイル)-フェニルホスフィンオキサイド、2,4,6-トリメチルベンゾイル-ジフェニル-ホスフィンオキサイド等のアシルホスフィンオキサイド系化合物; 2-(O-ベンゾイルオキシム)-1-[4-(フェニルチオ)フェニル]-1,2-オクタンジオン、1-(O-アセチルオキシム)-1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]エタノン等のオキシムエステル系化合物が挙げられる。
本発明のインプリント材料においては、(E)成分として酸化防止剤が添加されていてもよい。酸化防止剤としては、例えば、IRGANOX(登録商標)1010、同1035、同1076、同1135、同1520L(以上、BASFジャパン株式会社)、SUMILIZER(登録商標)GA-80(住友化学株式会社製)が挙げられる。
本発明のインプリント材料においては、(F)成分として界面活性剤が添加されていてもよい。(F)成分である界面活性剤は、得られる塗膜の製膜性を調整する役割を果たす。上記界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンセチルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル類、ポリオキシエチレン・ポリオキシプロピレンブロックコポリマー類、ソルビタンモノラウレート、ソルビタンモノパルミテート、ソルビタンモノステアレート、ソルビタンモノオレエート、ソルビタントリオレエート、ソルビタントリステアレート等のソルビタン脂肪酸エステル類、ポリオキシエチレンソルビタンモノラウレート、ポリオキシエチレンソルビタンモノパルミテート、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート、ポリオキシエチレンソルビタントリオレエート、ポリオキシエチレンソルビタントリステアレート等のポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル類等のノニオン系界面活性剤;商品名エフトップ(登録商標)EF301、同EF303、同EF352(三菱マテリアル電子化成株式会社)、商品名メガファック(登録商標)F-553、F-554、F-556、F-477、F171、同F173、同R-08、同R-30、同R-30N、同R-40、同R-40-LM(DIC株式会社製)、フロラードFC430、同FC431(住友スリーエム株式会社製)、商品名アサヒガード(登録商標)AG710、サーフロン(登録商標)S-382、同SC101、同SC102、同SC103、同SC104、同SC105、同SC106(旭硝子株式会社製)等のフッ素系界面活性剤;及びオルガノシロキサンポリマーKP341(信越化学工業株式会社製)を挙げることができる。
本発明においては(G)成分として溶剤を含有してもよい。(G)成分は、前記(A)成分、(B)成分及び(C)成分の粘度調節の役割を果たす。
本発明のインプリント材料は、本発明の効果を損なわない限りにおいて、必要に応じて、エポキシ化合物、光酸発生剤、光増感剤、紫外線吸収剤、密着補助剤または離型性向上剤を含有することができる。
本発明のインプリント材料の調製方法は、特に限定されないが、(A)成分、(B)成分、(C)成分、(D)成分、並びに任意成分である(E)成分、(F)成分、(G)成分及び所望によりその他添加剤を混合し、インプリント材料が均一な状態となっていればよい。また、(A)成分乃至(G)成分、並びに所望によりその他添加剤を混合する際の順序は、均一なインプリント材料が得られるなら問題なく、特に限定されない。当該調製方法としては、例えば、(A)成分、(B)成分、(C)成分及び(D)成分を所定の割合で混合する方法が挙げられる。また、これに更に(E)成分、(F)成分及び(G)成分を混合し、均一なインプリント材料とする方法も挙げられる。さらに、この調製方法の適当な段階において、必要に応じて、その他の添加剤を更に添加して混合する方法が挙げられる。
本発明のインプリント材料は、基材上に塗布し光硬化させることで所望の硬化膜を得ることができる。塗布方法としては、公知または周知の方法、例えば、スピンコート法、ディップ法、フローコート法、インクジェット法、スプレー法、バーコート法、グラビアコート法、スリットコート法、ロールコート法、転写印刷法、刷毛塗り、ブレードコート法、エアーナイフコート法を挙げることができる。
そして本発明のインプリント材料をフィルム上に塗布し、当該フィルム上の塗膜をモールドの凹凸形状を有する面に接着させ、続いて当該塗膜を、モールドの凹凸形状を有する面を接着させたまま光硬化させ、その後フィルム上の硬化膜をモールドの凹凸形状を有する面から90°剥離する試験において計測された離型力、すなわち、当該フィルム上の硬化膜をモールドの凹凸形状を有する面から完全に剥離したときの荷重を当該フィルムの横幅1cmあたりに換算した値は、0g/cmより大きく0.8g/cm以下であることが好ましい。この離型力は、前記範囲において小さい値ほどより好ましい。
GPC本体:HLC-8320GPC
GPCカラム:Shodex(登録商標)LF-804
カラム温度:40℃
溶媒:テトラヒドロフラン
流量:1mL/分
標準試料:異なる重量平均分子量(197000、55100、12800、3950、1260、580)のポリスチレン6種
2000mLの四つ口フラスコに、3-アクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン486.98g及びメタノール400.53gを仕込み、攪拌下10℃に冷却し、0.1N塩酸水溶液112.23gとメタノール200.26gの混合溶液を10℃~25℃で30分かけて滴下した。その後、室温で一時間攪拌し、還流下3時間攪拌し、減圧濃縮をして287.21gのシルセスキオキサン化合物(PS-1)を得た。本合成例1で得られたシルセスキオキサン化合物の重量平均分子量を、GPCにより測定したところ、1500であった。このシルセスキオキサン化合物は、前記式(4)で表される繰り返し単位を有し、当該式中、Yはアクリロイルオキシ基を表し、R5はメチレン基を表し、kは3を表す。
2000mLの四つ口フラスコに、3-アクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン234.32g、メチルトリメトキシシラン136.22g及びメタノール400.53gを仕込み、攪拌下10℃に冷却し、0.1N塩酸水溶液112.23gとメタノール200.26gの混合溶液を10℃~25℃で30分かけて滴下した。その後、室温で一時間攪拌し、還流下3時間攪拌し、減圧濃縮をして178.5gのシルセスキオキサン化合物(PS-2)を得た。本合成例2で得られたシルセスキオキサン化合物の重量平均分子量を、GPCにより測定したところ、2100であった。このシルセスキオキサン化合物は、前記式(4)で表される繰り返し単位を有し、当該式中、Yはアクリロイルオキシ基を表し、R5はメチレン基を表し、kは3を表す。
<実施例1>
アクリル酸ブチル(東京化成工業株式会社製)(以下、本明細書では「アクリル酸ブチル」と略称する。)3.5g、AC-SQ TA-100(東亞合成株式会社製)(以下、本明細書では「AC-SQ TA-100」と略称する。)を6.0g、X-22-1602(信越化学株式会社製)(以下、本明細書では「X-22-1602」と略称する。)を0.5g、及びIrgacure(登録商標)1173(BASFジャパン株式会社製)(以下、本明細書では「Irgacure 1173」と略称する。)を0.1g(アクリル酸ブチル、AC-SQ TA-100及びX-22-1602の総量に対して1phr)を混合し、インプリント材料PNI-a1を調製した。本実施例で使用したX-22-1602の重量平均分子量を、GPCにより測定したところ、4170であった。
アクリル酸ブチル6.5g、AC-SQ TA-100を2.8g、X-22-1602を0.7g、及びIrgacure 1173を0.1g(アクリル酸ブチル、AC-SQ TA-100及びX-22-1602の総量に対して1phr)を混合し、インプリント材料PNI-a2を調製した。
アクリル酸ブチル9.0g、AC-SQ TA-100を0.5g、X-22-1602を0.5g、及びIrgacure 1173を0.1g(アクリル酸ブチル、AC-SQ TA-100及びX-22-1602の総量に対して1phr)を混合し、インプリント材料PNI-a3を調製した。
ライトアクリレートIB-XA(共栄社化学株式会社製)(以下、本明細書では「IB-XA」と略称する。)6.5g、AC-SQ TA-100を1.75g、X-22-164(信越化学工業株式会社製)(以下、本明細書では「X-22-164」と略称する。)を1.4g、X-22-1602を0.35g、及びIrgacure 1173を0.1g(IB-XA、AC-SQ TA-100、X-22-164及びX-22-1602の総量に対して1phr)を混合し、インプリント材料PNI-a4を調製した。本実施例で使用したX-22-164の重量平均分子量を、GPCにより測定したところ、778であった。
アクリル酸2-エチルヘキシル(東京化成工業株式会社製)(以下、本明細書では「アクリル酸2-エチルヘキシル」と略称する。)6.5g、AC-SQ TA-100を1.75g、X-22-164を1.4g、X-22-1602を0.35g、及びIrgacure 1173を0.1g(アクリル酸2-エチルヘキシル、AC-SQ TA-100、X-22-164及びX-22-1602の総量に対して1phr)を混合し、インプリント材料PNI-a5を調製した。
アクリル酸ブチル6.5g、AC-SQ TA-100を1.75g、X-22-164を1.4g、X-22-1602を0.35g、及びIrgacure 1173を0.1g(アクリル酸ブチル、AC-SQ TA-100、X-22-164及びX-22-1602の総量に対して1phr)を混合し、インプリント材料PNI-a6を調製した。
アクリル酸ブチル6.5g、AC-SQ TA-100を2.5g、X-22-164を0.65g、X-22-1602を0.35g、及びIrgacure 1173を0.1g(アクリル酸ブチル、AC-SQ TA-100、X-22-164及びX-22-1602の総量に対して1phr)を混合し、インプリント材料PNI-a7を調製した。
アクリル酸ブチル6.5g、合成例1で得たPS-1を1.75g、X-22-164を1.4g、X-22-1602を0.35g、及びIrgacure 1173を0.1g(アクリル酸ブチル、PS-1、X-22-164及びX-22-1602の総量に対して1phr)を混合し、インプリント材料PNI-a8を調製した。
アクリル酸ブチル6.5g、合成例2で得たPS-2を1.75g、X-22-164を1.4g、X-22-1602を0.35g、及びIrgacure 1173を0.1g(アクリル酸ブチル、PS-2、X-22-164及びX-22-1602の総量に対して1phr)を混合し、インプリント材料PNI-a9を調製した。
アクリル酸ブチル6.5g、AC-SQ TA-100を1.75g、X-22-164を1.4g、X-22-1602を0.35g、Irgacur 1173を0.1g(アクリル酸ブチル、AC-SQ TA-100、X-22-164及びX-22-1602の総量に対して1phr)、及びSUMILIZER(登録商標)GA-80(住友化学株式会社製)(以下本明細書では「GA-80」と略称する。)を0.05g(アクリル酸ブチル、AC-SQ TA-100、X-22-164及びX-22-1602の総量に対して0.5phr)混合し、インプリント材料PNI-a10を調製した。
アクリル酸ブチル6.5g、AC-SQ TA-100を1.75g、X-22-164を1.4g、X-22-1602を0.35g、Irgacure 1173を0.1g(アクリル酸ブチル、AC-SQ TA-100及、X-22-164及びX-22-1602の総量に対して1phr)、GA-80を0.05g(アクリル酸ブチル、AC-SQ TA-100及、X-22-164及びX-22-1602の総量に対して0.5phr)、及びメガファック(登録商標)R-30N(DIC株式会社製)0.001g(アクリル酸ブチル、AC-SQ TA-100、X-22-164及びX-22-1602の総量に対して0.01phr)を混合し、インプリント材料PNI-a11を調製した。
アクリル酸ブチル6.5g、AC-SQ TA-100を1.75g、X-22-164を1.4g、X-22-1602を0.35g、Irgacure 1173を0.1g(アクリル酸ブチル、AC-SQ TA-100、X-22-164及びX-22-1602の総量に対して1phr)、GA-80を0.05g(アクリル酸ブチル、AC-SQ TA-100及、X-22-164及びX-22-1602の総量に対して0.5phr)、メガファック(登録商標)R-30N(DIC株式会社製)0.001g(アクリル酸ブチル、AC-SQ TA-100、X-22-164及びX-22-1602の総量に対して0.01phr)、及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート0.53gを混合し、インプリント材料PNI-a12を調製した。
アクリル酸ブチル6.5g、AC-SQ TA-100を3.5g、及びIrgacure 1173を0.1g(アクリル酸ブチル及びAC-SQ TA-100の総量に対して1phr)を混合し、インプリント材料PNI-b1を調製した。
AC-SQ TA-100を10g、及びIrgacure 1173を0.1g(AC-SQ TA-100に対して1phr)を混合し、インプリント材料PNI-b2を調製した。
AC-SQ TA-100を7g、X-22-1602を3g、及びIrgacure 1173を0.1g(AC-SQ TA-100及びX-22-1602の総量に対して1phr)を混合し、インプリント材料PNI-b3を調製した。
合成例1で得たPS-1を7g、X-22-1602を3g、及びIrgacure 1173を0.1g(PS-1及びX-22-1602の総量に対して1phr)を混合し、インプリント材料PNI-b4を調製した。
X-22-1602を10g、及びIrgacure 1173を0.1g(X-22-1602に対して1phr)を混合し、インプリント材料PNI-b5を調製した。
無アルカリガラス基板の両端辺それぞれの上に、厚さ10μmのアルミニウム箔を2枚重ね合わせて貼り付け、厚さ(高さ)20μmのギャップを、当該無アルカリガラス基板の両端辺上に互いに平行に作製した。その後、実施例1乃至実施例11及び比較例1乃至比較例5で得られた各インプリント材料を、当該無アルカリガラス基板上のギャップ間にポッティングした。そのインプリント材料の液滴にシリコンウエハを被せ、当該シリコンウエハと上記無アルカリガラス基板とを上記ギャップを介して接着させて試料を作製した。作製した試料を、ナノインプリント装置(NM-0801HB、明昌機工株式会社製)に設置し、10秒間かけて100Nまで加圧して上記ギャップ間の気泡を除去し、10秒間かけて除圧した後、無電極均一照射装置(QRE-4016A、株式会社オーク製作所製)にて、400mJ/cm2の露光を施した。そして上記試料からシリコンウエハ及びギャップを剥がした後、100℃に保持したホットプレート上で1時間ベークを行い、上記無アルカリガラス基板上に厚さ20μmの硬化膜を作製した。
実施例1乃至実施例12及び比較例1乃至比較例5で得られた各インプリント材料を用いて、上記[光インプリント及び塑性変形率測定]に記載した方法で、無アルカリガラス基板上に厚さ20μmの硬化膜を作製した。そして265℃に保持したホットプレート上で、上記無アルカリ基板上の硬化膜に3分間ベークを行った。そしてベーク時における、上記硬化膜からの発煙の有無を目視で観察した。得られた結果を表1に示す。
実施例1乃至実施例12及び比較例1乃至比較例5で得られた各インプリント材料を用いて、上記[光インプリント及び塑性変形率測定]に記載した方法で、無アルカリガラス基板上に厚さ20μmの硬化膜を作製した。そして265℃に保持したホットプレート上で、上記無アルカリ基板上の硬化膜に3分間ベークを行った後、ステンレス台上へ乗せ、急冷した。急冷時の上記硬化膜に発生するクラックの有無について、得られた結果を表1に示す。
実施例1乃至実施例11及び比較例1乃至比較例5で得られた各インプリント材料を、厚さ80μmのトリアセチルセルロースフィルム(富士フイルム株式会社製、フジタック(登録商標)を使用)(以下、本明細書では「TACフィルム」と略称する。)上にバーコーター(全自動フィルムアプリケーター KT-AB3120、コーテック株式会社製)を用いて塗布した。さらに、実施例12で得られたインプリント材料を、上記と同様の方法でTACフィルム上へ塗布し、溶剤を乾燥除去した。その後、それぞれのTACフィルム上の塗膜をモスアイパターンモールドへローラー圧着させた。続いて当該塗膜に対し、TACフィルム側から無電極均一照射装置(QRE-4016A、株式会社オーク製作所製)にて、350mJ/cm2の露光を施し、光硬化を行った。そしてJIS Z0237を参考にして90°剥離試験を行い、モールドの凹凸形状を有する面と接着している、TACフィルム上に形成された硬化膜すなわちパターンが転写された膜が、モールドの凹凸形状を有する面から完全に剥がれたときの荷重を測定した。そしてフィルムの幅1cm当たりの荷重を算出し、離型力(g/cm)とした。得られた結果を表1に示す。
Claims (15)
- 下記(A)成分、(B)成分、(C)成分及び(D)成分を含有し、前記(A)成分、(B)成分及び(C)成分の合計100質量部に基づいて、前記(A)成分の含有量は35質量部乃至90質量部、前記(B)成分の含有量は5質量部乃至60質量部、前記(C)成分の含有量は5質量部乃至30質量部であり、前記(D)成分の含有量は0.1phr乃至30phrであるインプリント材料。
(A):下記式(1)、式(2)または式(3)で表される化合物
(式中、Xは炭素原子数1乃至5の直鎖アルキレン基を表し、R1は水素原子またはメチル基を表し、R2、R3及びR4はそれぞれ独立に水素原子、メチル基またはエチル基を表し、R2、R3及びR4の炭素原子数の和は0乃至2の整数である。)
(B):下記式(4)で表される繰り返し単位を有し、式中Yで表される重合性基を2つ以上有するシルセスキオキサン化合物
(C):下記式(5)で表される繰り返し単位を有し、末端に重合性基を2つ有するシリコーン化合物
(式中、R6及びR7はそれぞれ独立に炭素原子数1乃至3のアルキル基を表し、R5は炭素原子数1乃至3のアルキレン基を表し、kは0乃至3の整数を表す。)
(D):光重合開始剤 - 前記(B)成分が完全かご型構造及び/または不完全かご型構造、並びにランダム構造及びはしご型構造の混合体からなる、請求項1に記載のインプリント材料。
- 前記(C)成分が重量平均分子量の異なる2種以上の化合物からなる、請求項1または請求項2に記載のインプリント材料。
- (E)成分として酸化防止剤を更に含有する、請求項1乃至請求項3のうちいずれか一項に記載のインプリント材料。
- (F)成分として界面活性剤を更に含有する、請求項1乃至請求項4のうちいずれか一項に記載のインプリント材料。
- (G)成分として溶剤を更に含有する、請求項1乃至請求項5のうちいずれか一項に記載のインプリント材料。
- 前記(B)成分及び(C)成分の重合性基がアクリロイルオキシ基、メタアクリロイルオキシ基、ビニル基またはアリル基である、請求項1乃至請求項6のうちいずれか一項に記載のインプリント材料。
- 請求項1乃至請求項7のうちいずれか一項に記載のインプリント材料から作製され、パターンが転写された膜。
- 請求項8に記載のパターンが転写された膜を基材上に備えた光学部材。
- 請求項8に記載のパターンが転写された膜を基材上に備えた固体撮像装置。
- 請求項8に記載のパターンが転写された膜を基材上に備えたLEDデバイス。
- 請求項8に記載のパターンが転写された膜を備えた半導体素子。
- 請求項8に記載のパターンが転写された膜を基材上に備えた太陽電池。
- 請求項8に記載のパターンが転写された膜を基材上に備えたディスプレイ。
- 請求項8に記載のパターンが転写された膜を基材上に備えた電子デバイス。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009259370A (ja) * | 2008-03-18 | 2009-11-05 | Showa Denko Kk | 磁気記録媒体の製造方法、磁気記録媒体、及び磁気記録再生装置 |
JP2010013514A (ja) * | 2008-07-02 | 2010-01-21 | Fujifilm Corp | ナノインプリント用硬化性組成物、これを用いた硬化物、並びに、液晶表示装置用部材 |
JP2011204309A (ja) * | 2010-03-25 | 2011-10-13 | Hitachi High-Technologies Corp | 微細パターン転写用スタンパ |
JP2012030423A (ja) * | 2010-07-29 | 2012-02-16 | Hitachi High-Technologies Corp | ナノインプリント用樹脂スタンパ及びこれを使用したナノインプリント装置 |
JP2012099638A (ja) * | 2010-11-02 | 2012-05-24 | Fujifilm Corp | インプリント用硬化性組成物 |
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JP5794420B2 (ja) | 2011-09-20 | 2015-10-14 | 日産化学工業株式会社 | シリコーン骨格を有する化合物を含む光インプリント材料 |
WO2015064310A1 (ja) * | 2013-10-30 | 2015-05-07 | 日産化学工業株式会社 | シルセスキオキサン化合物及び変性シリコーン化合物を含むインプリント材料 |
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---|---|---|---|---|
JP2009259370A (ja) * | 2008-03-18 | 2009-11-05 | Showa Denko Kk | 磁気記録媒体の製造方法、磁気記録媒体、及び磁気記録再生装置 |
JP2010013514A (ja) * | 2008-07-02 | 2010-01-21 | Fujifilm Corp | ナノインプリント用硬化性組成物、これを用いた硬化物、並びに、液晶表示装置用部材 |
JP2011204309A (ja) * | 2010-03-25 | 2011-10-13 | Hitachi High-Technologies Corp | 微細パターン転写用スタンパ |
JP2012030423A (ja) * | 2010-07-29 | 2012-02-16 | Hitachi High-Technologies Corp | ナノインプリント用樹脂スタンパ及びこれを使用したナノインプリント装置 |
JP2012099638A (ja) * | 2010-11-02 | 2012-05-24 | Fujifilm Corp | インプリント用硬化性組成物 |
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