WO2015173865A1 - 位置決め装置 - Google Patents
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Abstract
撮像部(3)により得られた画像に基づいて位置決め対象物(10)の位置計測値を出力する画像処理部(4)と、複数回分の位置計測値に基づき位置計測値の計測誤差の推定値を出力する計測誤差推定部(5)と、計測誤差の推定値と目標誤差の大きさの比較を行い、誤差の比較結果を出力する誤差比較部(6)と、誤差の比較結果に基づいて位置決めパラメータの更新を行う位置決めパラメータ設定部(7)と、予め設定された繰り返し終了条件が満たされるまで位置決めパラメータ設定部(7)による位置決めパラメータの更新を繰り返し実行する繰り返し処理部(8)と、位置決めパラメータに基づいて設定された位置決め条件にてテーブル(1)の位置決めを行う位置決め制御部(9)とを備える。
Description
本発明は、IC(Integrated Circuit)チップやフラットパネルディスプレイ(Flat Panel Display,FPD)などのアライメントを行う位置決め装置に関する。
従来より、ICチップやフラットパネルディスプレイ等のアライメントには、移動可能なテーブルと、テーブル上に載せられる位置決め対象物を撮像するカメラと、テーブルを移動させるアクチュエータとから構成され、対象物をカメラで撮像した画像を画像処理することにより対象物の位置を計測し、その計測結果に基づき対象物の位置を補正する位置決め装置が使用されている。
このような位置決め装置では、位置決めの目標誤差が数μm以下に設定されることもあり、そのような目標誤差を達成するために、例えば特許文献1では、位置決め対象物を移動させる際の目標位置を記録する第1ステップと、位置決め対象物を初期移動させる第2ステップと、補正量を求めて位置決め対象物の位置を補正する第3ステップと、第3ステップにおいて求めた補正量が所定の値以下となるまで、第3ステップを繰り返す第4ステップとを備える位置決め装置に関する技術が開示されている。
このような位置決め装置では、位置決め対象物の位置補正の際にテーブルやカメラに生じる振動が位置決め対象物の位置の計測の誤差の要因となる。仮に、位置決めパラメータが適切に設定されていなかった場合、位置決め完了時にテーブルやカメラに生じる振動によって発生する位置計測の誤差が目標誤差よりも大きくなる場合もある。その場合、位置補正の回数が増加することによりタクトタイムが伸びるといった問題や、位置決め誤差が目標誤差以内に収まらないといった問題が発生する。
しかしながら、位置決めパラメータの調整は手作業で行われており、位置決め誤差が目標誤差以内に収まるように位置決めパラメータを設定するのは容易ではない。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、位置決め誤差が目標誤差以内に収まり、かつ、手作業で位置決めパラメータを設定する場合よりもタクトタイムが短くなるようにテーブルの位置補正の位置決めパラメータを自動的に設定する機能を有する位置決め装置を得ることを目的とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、位置決め対象物を載置して移動可能なテーブルと、テーブルに載せられた位置決め対象物を撮像する撮像部と、を有する位置決め装置であって、撮像部により得られた画像に基づいて位置決め対象物の位置計測値を出力する画像処理部と、複数回分の位置計測値に基づき位置計測値の計測誤差の推定値を出力する計測誤差推定部と、計測誤差の推定値と目標誤差の大きさの比較を行い、誤差の比較結果を出力する誤差比較部と、誤差の比較結果に基づいて位置決めパラメータの更新を行う位置決めパラメータ設定部と、予め設定された繰り返し終了条件が満たされるまで位置決めパラメータ設定部による位置決めパラメータの更新を繰り返し実行する繰り返し処理部と、位置決めパラメータに基づいて設定された位置決め条件にてテーブルの位置決めを行う位置決め制御部とを備えることを特徴とする。
本発明にかかる位置決め装置は、所望の目標誤差を満たし、かつ、手作業で位置決めパラメータを設定する場合よりもタクトタイムが短くなるようなアライメント位置決めを容易に実現できるという効果を奏する。
以下に、本発明にかかる位置決め装置の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
実施の形態1.
図1は、本発明にかかる位置決め装置の実施の形態1の概略構成を示す図である。図1に示すように、実施の形態1にかかる位置決め装置は、テーブル1、アクチュエータ2、撮像部3及び制御装置20を有する。アクチュエータ2は、テーブル1の駆動源である。撮像部3は、テーブル1上に載せられた位置決め対象物10を撮像する。位置決め対象物10には、位置計測に用いるためのマーク11が記されている。なお、図1には、マーク11が位置決め対象物10の2箇所に設けられており、各マーク11を二つの撮像部3で別々に撮像する構成を図示しているが、位置決め対象物10に設けるマーク11及び撮像部3は一つずつであっても良い。
図1は、本発明にかかる位置決め装置の実施の形態1の概略構成を示す図である。図1に示すように、実施の形態1にかかる位置決め装置は、テーブル1、アクチュエータ2、撮像部3及び制御装置20を有する。アクチュエータ2は、テーブル1の駆動源である。撮像部3は、テーブル1上に載せられた位置決め対象物10を撮像する。位置決め対象物10には、位置計測に用いるためのマーク11が記されている。なお、図1には、マーク11が位置決め対象物10の2箇所に設けられており、各マーク11を二つの撮像部3で別々に撮像する構成を図示しているが、位置決め対象物10に設けるマーク11及び撮像部3は一つずつであっても良い。
制御装置20は、画像処理部4、計測誤差推定部5、誤差比較部6、位置決めパラメータ設定部7、繰り返し処理部8及び位置決め制御部9を有する。画像処理部4は、撮像部3によって得られた画像情報から位置決め対象物10の位置及び姿勢を計測する。計測誤差推定部5は、画像処理部4によって出力された位置決め対象物10の位置及び姿勢の計測値を複数回取り込むことで得られた複数個の位置・姿勢の計測値を用いて、後述する方法に基づき、テーブル1や撮像部3の振動によって発生する位置や姿勢の計測誤差の推定値を出力する。誤差比較部6は、計測誤差の推定値と予め設定された目標誤差とを入力とし、計測誤差の推定値と目標誤差の大きさの比較結果を出力する。位置決めパラメータ設定部7は、誤差比較部6によって出力された比較結果に基づき、後述する方法によって位置決め時の加速度パラメータの更新を行い、その加速度パラメータを出力する。繰り返し処理部8は、後述する繰り返し終了条件が満たされるまで位置決めパラメータ設定部7による加速度パラメータの更新を繰り返し実行する。位置決め制御部9は、位置決めパラメータ設定部7によって出力された加速度パラメータに基づいて、アクチュエータ2を駆動することでテーブル1の位置決めを行う。
次に、位置決め装置の具体的な構成方法について説明する。テーブル1は、XYθステージやUVWステージであり、アクチュエータ2としてテーブル1の各軸に対応するようにサーボモータが取り付けられている。テーブル1上には、パネルなどの位置決め対象物10が載せられている。
撮像部3は、例えばCCDカメラであり、テーブル1の上部にレンズがテーブル1を向くように固定されている。画像処理部4には、予めマーク11の画像パターンが登録されており、撮像部3で撮像した画像から登録された画像パターンを認識する処理を行うことで、位置決め対象物10の位置及び姿勢を計測できるように構成されている。
制御装置20は、プログラマブルロジックコントローラやモーションコントローラなどの制御装置を組み合わせることによって実現できる。
次に、位置決め制御部9による位置決め制御について説明する。図2は、位置決め制御部による位置決め処理の流れを示すフローチャートである。図2に示すように、まず、位置決め制御部9は、テーブル1を予め設定された基準位置へ移動させる(ステップS1)。次に、位置決め制御部9は、画像処理部4に対して撮像開始命令を発行することにより、撮像部3で位置決め対象物10を撮像し、位置決め対象物10の位置及び姿勢を計測する(ステップS2)。画像処理部4は、前回の位置決め時に設定したテーブル1の位置と、前回の位置決め対象物10の位置及び姿勢の計測結果と、目標位置及び目標姿勢とに基づき、テーブル1の位置の修正値を求める(ステップS3)。
その後、位置決め制御部9は、ステップS3で求めたテーブル1の位置の修正値に基づき位置決め対象物10の位置決めを行う(ステップS4)。位置決め制御部9は、ステップS2と同様に位置決め対象物10の位置及び姿勢を計測する(ステップS5)。位置決め制御部9は、ステップS5で計測した位置及び姿勢と、目標位置及び目標姿勢との誤差を算出する(ステップS6)。位置決め制御部9は、ステップS6で算出した誤差が目標誤差以内に収まっているか否かを判定し(ステップS7)、目標誤差以内であれば位置決め制御を完了させ(ステップS7/Yes)、目標誤差以内でなければ(ステップS7/No)、ステップS3に処理を戻す。
上記の位置決め制御部9による位置決め制御により、位置決め対象物10の位置決め誤差を所望の目標誤差以内に収めることができる。しかし、位置決め時の加速度パラメータの設定が適切でない場合、位置決め完了後にテーブル1や撮像部3に振動が生じ、位置決め対象物10の位置や姿勢の計測結果に誤差が発生するため、ステップS6で算出した誤差が所望の目標誤差以内に収まらない。その結果、位置決めの繰り返し回数が増加し、タクトタイムが増大してしまうという問題がある。
本実施の形態では、装置立ち上げ時などに、計測誤差推定部5、誤差比較部6、位置決めパラメータ設定部7、繰り返し処理部8を用いて、後述する方法により加速度パラメータを適切な値に自動調整することにより、タクトタイムを増大させずに、所望の精度で位置決め対象物10を位置決めする。
次に、位置決め装置の加速度パラメータの自動調整処理について説明する。図3は、実施の形態1にかかる位置決め装置の加速度パラメータの自動調整処理の流れを示すフローチャートである。加速度パラメータの自動調整処理は以下のように行われる。加速度パラメータの自動調整処理では、位置決めパラメータ設定部7は、加速度パラメータの初期設定値、最小値及び最大値の設定を行う(ステップS101)。次に、誤差比較部6は、位置決め目標誤差を設定する(ステップS102)。ステップS101及びステップS102では、加速度パラメータの自動調整処理の初期設定を行っており、加速度パラメータの初期設定値と目標誤差とを設定するとともに、加速度パラメータの最適値を二分法で探索するためにパラメータの探索範囲の最小値と最大値とを設定する。
位置決め制御部9は、テーブル1の位置の現在値から所定の間隔だけ移動して位置決めを行う(ステップS103)。ステップS103では、加速度パラメータの現在の設定値を用い、テーブル1の位置を現在位置から所定の間隔だけ移動させて位置決めを行う。
撮像部3は、位置決め対象物10を所定の回数撮像することで位置決め対象物10の位置及び姿勢を複数回計測する(ステップS104)。ステップS104では、ステップS103の位置決めが完了した後に、撮像部3で位置決め対象物10を複数回撮像することで、位置決め対象物10の位置及び姿勢の計測値を複数個得る。図4は、位置決め対象物の位置の計測結果の一例を示す図である。
図4において、線A、線B及び線Cは、異なる加速度パラメータでの位置測定結果を示しており、線Aの加速度パラメータが最も大きく、線Bの加速度パラメータが2番目に大きく、線Cの加速度パラメータが最も小さい。図4において位置決め完了直後の1回目の計測結果が他の計測結果と大きく異なっている理由は、位置決め完了直後はテーブル1や撮像部3の振動が残っており、それが位置決め対象物10の位置の計測に誤差を与えるためである。また、1回目の計測結果と他の計測結果との誤差の大きさは、加速度パラメータの大きさに依存して変化し、加速度パラメータが大きいほど計測結果の誤差も大きくなる傾向にある。
計測誤差推定部5は、ステップS104で計測した複数個の位置及び姿勢の平均値を算出することで、位置決め対象物10の位置及び姿勢の基準値を算出する(ステップS105)。ステップS105では、ステップS104で得た位置決め対象物10の位置及び姿勢の複数回の計測値の平均値を算出する。平均値を算出する理由は、位置及び姿勢の各計測値はテーブル1や撮像部3の振動により計測値に誤差を生じるが、複数回の計測結果の平均値を用いることで、それらの誤差の影響を低減し振動による計測誤差のない真の計測値に近い値を得ることができるためである。
計測誤差推定部5は、ステップS105で算出した位置及び姿勢の平均値と各計測値との誤差の最大値を計算することで、位置決め対象物10の位置及び姿勢の計測誤差の推定値を算出する(ステップS106)。ステップS106では、ステップS105で得た位置及び姿勢の平均値と、ステップS104で得た各測定値とを比較し、それらの誤差の最大値を算出する。この操作により、テーブル1や撮像部3の振動によって生じた位置計測の誤差の大きさを推定することが可能である。すなわち、位置決め対象物10の位置や姿勢の計測を複数回行い、それらの平均値を計算することで、テーブル1や撮像部3の振動の影響を低減した位置及び姿勢の測定値を計算することができ、その値を比較のための基準値とすることで、振動の影響により発生する測定誤差の大きさを推定することができる。
誤差比較部6は、ステップS106で算出した誤差の最大値とステップS102で設定された目標誤差との比較を行う(ステップS107)。位置決めパラメータ設定部7は、ステップS107での比較結果に基づき、加速度パラメータの現在値、最小値及び最大値を二分法により更新する(ステップS108)。ステップS107及びステップS108では、ステップS106で算出した誤差の最大値と、ステップS102で設定した目標誤差との比較を行い、その比較結果に基づき二分法によって加速度パラメータの現在値、最小値及び最大値を更新する。
繰り返し処理部8は、加速度パラメータの最小値と最大値との差が所定の値以下か否かを判定し(ステップS109)、所定の値以下であれば加速度パラメータの自動調整を終了し(ステップS109/Yes)、所定の値以下でなければ(ステップS109/No)、ステップS103に戻る動作を行う。ステップS109では、加速度パラメータの二分探索の最小値と最大値との差が予め設定した所定の値以下か否かを判定し、所定の値以下であれば加速度パラメータの自動調整を終了し、所定の値以下でなければ、処理をステップS103に戻す操作を行う。ここで、二分探索の最小値と最大値との差が所定の値以下ということは、加速度パラメータの現在値が最適値に十分近いということを意味している。よって、これらの一連の処理により、テーブル1や撮像部3の振動によって生じる位置及び姿勢の計測誤差が所望の目標誤差以内になる範囲内で位置決め加速度が最大となるように加速度パラメータを設定できる。
位置決め完了後にテーブル1や撮像部3に振動が発生するか否かは、位置決めの加速度パラメータに最も依存する。加速度パラメータを適切な値に自動調整することにより、位置決め完了後のテーブル1や撮像部3の振動を低減することができる。これにより、所望の精度を出し、かつ、手作業で位置決めパラメータを設定する場合よりもタクトタイムが短くなる位置決めを容易に実現することができる。
以上により、実施の形態1にかかる位置決め装置は、テーブル1や撮像部3の振動によって生じる位置及び姿勢の計測の誤差が所望の目標誤差以内になる範囲内で位置決め加速度が最大となるように加速度パラメータを自動的に設定する機能を有するため、所望の目標誤差を満たし、かつ、手作業で位置決めパラメータを設定する場合よりもタクトタイムが短くなるようなアライメント位置決めを容易に実現できる。すなわち、実施の形態1にかかる位置決め装置は、二分法により位置決めパラメータを探索することにより、所望の精度を出し、かつ、手作業で位置決めパラメータを設定する場合よりもタクトタイムが短くなるような位置決めパラメータを効率よく探索することができる。
なお、上記の説明において、ステップS105では、ステップS104で得た位置決め対象物10の位置及び姿勢を複数回の計測値の平均値として算出していたが、図4に示したように、位置決め完了直後の1回目の位置及び姿勢の計測値は、テーブル1や撮像部3の振動による計測誤差の影響を大きく受けているため、平均値の算出に1回目の計測値を使用すると、平均値自体に振動による計測誤差の影響が大きく出てしまい、続くステップS106で振動による位置計測の誤差の大きさを正しく評価できない場合がある。ステップS105での位置決め対象物の位置及び姿勢を複数回の計測値の平均値として算出する方法として、例えば、位置決め対象物10の位置及び姿勢の2回目以降の計測値のみを用いて平均値を算出する方式や、1回目の計測値の影響を少なくするように重みを設定した加重平均を算出する方式を用いることも可能であり、これらの方式を用いることで、テーブル1や撮像部3の振動による計測誤差が平均値の算出結果に与える影響を低減することができる。すなわち、位置決め完了直後の位置や姿勢の測定結果には振動による誤差が乗っている可能性が高いので、基準値を計算する際に位置決め完了直後の測定値の加重を小さくして重み付き平均を計算することにより、単純に算術平均を計算する場合よりも計測誤差が平均値の算出結果に与える影響を小さくできる。
実施の形態2.
図5は、本発明にかかる位置決め装置の実施の形態2の概略構成を示す図である。実施の形態1と同様の部分については同じ符号を付して重複する説明を省略する。図5に示すように、実施の形態2にかかる位置決め装置は、テーブル1、アクチュエータ2、撮像部3及び制御装置20aを有する。制御装置20aは、位置決めパラメータ設定部7及び繰り返し処理部8に代えて、位置決めパラメータ設定部7a及び繰り返し処理部8aを有する点で実施の形態1とは異なっている。
図5は、本発明にかかる位置決め装置の実施の形態2の概略構成を示す図である。実施の形態1と同様の部分については同じ符号を付して重複する説明を省略する。図5に示すように、実施の形態2にかかる位置決め装置は、テーブル1、アクチュエータ2、撮像部3及び制御装置20aを有する。制御装置20aは、位置決めパラメータ設定部7及び繰り返し処理部8に代えて、位置決めパラメータ設定部7a及び繰り返し処理部8aを有する点で実施の形態1とは異なっている。
図6は、実施の形態2にかかる位置決め装置の位置決めパラメータ設定部の概略構成を示す図である。図6に示すように、位置決めパラメータ設定部7aは、位置決めパラメータ記憶部71、位置決めパラメータ更新部72、位置決めパラメータ記録部73及び位置決めパラメータ計算部74を有する。位置決めパラメータ記憶部71は、位置決めパラメータを保持し、保持している位置決めパラメータを位置決めパラメータ記録部73に追加記録する。位置決めパラメータ更新部72は、誤差比較部6によって出力された比較結果に応じて、後述する方法で位置決めパラメータを更新する。位置決めパラメータ記録部73は、位置決めパラメータ記憶部71によって位置決めパラメータが追加記録される。位置決めパラメータ計算部74は、繰り返し処理部8aの繰り返し終了条件が満たされた後に、位置決めパラメータ記録部73に記録されている位置決めパラメータから加重平均値を計算し位置決めパラメータを更新する。
図7は、実施の形態2にかかる位置決め装置の加速度パラメータの自動調整処理の流れを示すフローチャートである。図7に示すように、加速度パラメータの自動調整処理では、位置決めパラメータ設定部7aの加速度パラメータの初期値を設定する(ステップS201)。続いて、誤差比較部6の位置決めの目標誤差を設定する。(ステップS202)。続いて、繰り返し処理部8aの繰り返し変数の初期化を行う(ステップS203)。ステップS201、S202、S203は、自動調整処理の初期設定を行っており、加速度パラメータの初期設定値及び位置決めの目標誤差を設定し、さらに繰り返し変数の値を初期化する。
その後、位置決め制御部9により、テーブル1の位置を現在値から所定の間隔だけ移動して位置決めを行う(ステップS204)。続いて、撮像部3により位置決め対象物10を所定回数撮像することで位置決め対象物10の位置及び姿勢を複数回計測する(ステップS205)。続いて、計測誤差推定部5により、ステップS205で計測した複数個の位置及び姿勢の平均値を計算することで、位置決め対象物10の位置及び姿勢の基準値を算出する(ステップS206)。続いて、計測誤差推定部5により、ステップS206で算出した位置及び姿勢の平均値と各計測値との誤差の最大値を計算することで、位置決め対象物10の位置及び姿勢の計測誤差の推定値を算出する(ステップS207)。その後、誤差比較部6により、ステップS207で算出した誤差の最大値とステップS202で設定した目標誤差との比較を行う(ステップS208)。ステップS204からステップS208までは、実施の形態1の加速度パラメータの自動調整処理のステップS103からステップS107と同様であり、これらの一連の処理によって、現在の加速度パラメータで位置決めした際にテーブル1や撮像部3の振動によって発生する位置決め対象物10の位置及び姿勢の計測誤差の推定値を計算する。
その後、位置決めパラメータ更新部72により、ステップS208の比較結果に応じた係数を加速度パラメータに乗じることにより加速度パラメータを更新する(ステップS209)。ステップS209では、ステップS208で出力した位置決め対象物10の位置及び姿勢の計測誤差の推定値と目標誤差との比較結果に応じて予め設定された係数を加速度パラメータの現在値に乗じることで、加速度パラメータを更新する。ここで、計測誤差の推定値と目標誤差との比較結果に応じた係数は、例えば、計測誤差の推定値が目標誤差よりも大きい場合には0.5倍、計測誤差の推定値が目標誤差よりも小さい場合には1.5倍等の値を用い、計測誤差の推定値が目標誤差よりも大きい場合には加速度パラメータの更新後の値を現在値よりも小さく、計測誤差の推定値が目標誤差よりも小さい場合には加速度パラメータの更新後の値を現在値よりも大きくするように係数の値を設定する。
続いて、位置決めパラメータ記録部73に、加速度パラメータの現在値を記録する(ステップS210)。ステップS210では、加速度パラメータの値をステップS209で更新した加速度パラメータの値に上書きするのではなく、ステップS209で更新した加速度パラメータの値を追加記録する。
その後、繰り返し処理部8aにより、繰り返し変数をインクリメントする(ステップS211)。続いて、繰り返し処理部8aにより、繰り返し変数の値が所定の繰り返し回数に達したか否かを判定し(ステップS212)、所定の繰り返し回数に達していたら(ステップS212/Yes)、ステップS213に移動し、所定の繰り返し回数に達していなかったら(ステップS212/No)、ステップS204に移動する処理を行う。ステップS211、S212では、繰り返し変数をインクリメントし、繰り返し変数の値が所定の繰り返し回数に達したか否かを判定し、その結果に応じてステップS204又はS213に分岐する。繰り返し変数の値がまだ所定の繰り返し回数に達していない場合はステップS204に分岐することで、加速度パラメータの更新及び追加記録を繰り返し、繰り返し変数の値が所定の繰り返し回数に達している場合は、繰り返し処理を抜けてステップS213に分岐する。
その後、位置決めパラメータ計算部74により、ステップS210で追加記録した加速度パラメータを含めて、位置決めパラメータ記録部73に記録されている加速度パラメータの加重平均を計算し、その値を加速度パラメータに設定する(ステップS213)。
上記の説明の通り、加速度パラメータの自動調整処理のステップS209において、計測誤差の推定値が目標誤差よりも大きい場合には加速度パラメータの更新後の値を現在値よりも小さく、計測誤差の推定値が目標誤差よりも小さい場合には加速度パラメータの更新後の値を現在値よりも大きくするように加速度パラメータを更新する。
位置決め完了後のテーブル1や撮像部3の振動の振幅は、位置決め加速度の大きさによって決まり、加速度パラメータを大きくすると位置及び姿勢の計測誤差も大きくなり、逆に、加速度パラメータを小さくすると位置及び姿勢の計測誤差も小さくなる。そのため、ステップS209の方法で加速度パラメータを更新すると、計測誤差の推定値が目標誤差よりも大きい場合には次回の計測誤差の推定値が小さくなるように加速度パラメータを更新し、計測誤差の推定値が目標誤差よりも小さい場合には次回の計測誤差の推定値が大きくなるように加速度パラメータを更新することとなる。その結果、加速度パラメータは計測誤差の推定値が目標誤差と等しくなる値付近を推移することとなる。
よって、ステップS210において加速度パラメータの値を逐次記録しておき、さらに、ステップS213において繰り返し初期に記録された加速度パラメータの重み係数が小さくなるように設定された加重平均を計算することにより、計測誤差の推定値が目標誤差とほぼ等しくなるように加速度パラメータを精度良く求めることができる。
たとえ加速度を一定にしても、テーブル1や撮像部3の振動によって発生する位置測定の誤差の大きさは毎回変化する。そのため、二分法のように解が収束することを前提としているアルゴリズムではうまくパラメータを調整できない場合がある。実施の形態2の加速度パラメータの自動調整処理は、調整の最後に加重平均を計算する処理が追加されており、繰り返し回数を増やすことによって平均値のばらつきが減少するため、実施の形態1の加速度パラメータの自動調整処理と比べて、加速度パラメータの調整結果のばらつきを低減できる。
このように、実施の形態2にかかる位置決め装置は、調整結果がばらつくことなく加速度パラメータの値を自動調整することができるため、所望の目標誤差を満たし、かつ手作業で位置決めパラメータを設定する場合よりもタクトタイムが短くなるようなアライメント位置決めを容易に実現することが可能である。
実施の形態3.
図8は、本発明にかかる位置決め装置の実施の形態3の概略構成を示す図である。実施の形態1と同様の部分については同じ符号を付して重複する説明を省略する。図8に示すように、実施の形態3にかかる位置決め装置は、テーブル1、アクチュエータ2、撮像部3、及び制御装置20bを有する。
図8は、本発明にかかる位置決め装置の実施の形態3の概略構成を示す図である。実施の形態1と同様の部分については同じ符号を付して重複する説明を省略する。図8に示すように、実施の形態3にかかる位置決め装置は、テーブル1、アクチュエータ2、撮像部3、及び制御装置20bを有する。
制御装置20bは、位置決めパラメータ設定部7、繰り返し処理部8及び位置決め制御部9に代えて、位置決めパラメータ設定部7b、繰り返し処理部8b及び位置決め制御部9bを有する点で実施の形態1とは異なっている。位置決めパラメータ設定部7bは、誤差比較部6によって出力された比較結果に基づき、後述する待ち時間パラメータを更新し、待ち時間パラメータを出力する。繰り返し処理部8bは、後述する繰り返し終了条件が満たされるまで位置決めパラメータ設定部7bによる待ち時間パラメータの更新を繰り返す。位置決め制御部9bは、位置決めパラメータ設定部7bによって出力された待ち時間パラメータに基づいて、アクチュエータ2を駆動することでテーブル1の位置決めを行う。ここで、待ち時間パラメータとは、位置決め制御部9bによるテーブル1の位置決めが完了してから画像処理部4へ撮像指令を出力し位置決め対象物10の位置及び姿勢の計測を開始するまでの待ち時間を設定するためのパラメータである。
実施の形態3にかかる位置決め装置は、自動調整を行う位置決めパラメータが加速度パラメータではなく待ち時間パラメータである点で実施の形態1にかかる位置決め装置と相違している。このため、位置決めパラメータ設定部7b、繰り返し処理部8b及び位置決め制御部9bの構成が実施の形態1と異なっている。
図9は、実施の形態3にかかる位置決め装置の待ち時間パラメータの自動調整処理の流れを示すフローチャートである。図9に示すように、待ち時間パラメータの自動調整処理では、まず、位置決めパラメータ設定部7bの待ち時間パラメータの初期設定値、最大値及び最小値の設定を行う(ステップS301)。次に、誤差比較部6の位置決めの目標誤差を設定する(ステップS302)。続いて、位置決め制御部9bにより、テーブル1の位置を現在値から所定の間隔だけ移動して位置決めを行う(ステップS303)。その後、撮像部3により、位置決め対象物10を所定回数撮像することで位置決め対象物10の位置及び姿勢を複数回計測する(ステップS304)。続いて、計測誤差推定部5により、ステップS304で計測した複数個の位置及び姿勢の平均値を算出することで、位置決め対象物10の位置及び姿勢の基準値を算出する(ステップS305)。
そして、計測誤差推定部5により、ステップS305で算出した位置及び姿勢の平均値と各計測値との誤差の最大値を計算することで、位置決め対象物10の位置及び姿勢の計測誤差の推定値を算出する(ステップS306)。その後、誤差比較部6により、ステップS306で算出した誤差の最大値とステップS302で設定した目標誤差との比較を行う(ステップS307)。続いて、位置決めパラメータ設定部7bにより、ステップS307の比較結果に基づき、待ち時間パラメータの現在値、最小値及び最大値を二分法により更新する(ステップS308)。その後、繰り返し処理部8bにより、待ち時間パラメータの最小値と最大値との差が所定の値以下か否かを判定し(ステップS309)、所定の値以下なら(ステップS309/Yes)、待ち時間パラメータの自動調整処理を終了し、所定の値以下でないなら(ステップS309/No)、ステップS303に戻る操作を行う。
位置決め完了後のテーブル1や撮像部3の振動は時間とともに減衰するため、位置決め完了時点から十分に時間が経過してから位置決め対象物10の位置及び姿勢の計測を開始することで、テーブル1や撮像部3の振動によって発生する位置決め対象物10の位置及び姿勢の計測誤差を抑制することができる。また、待ち時間パラメータの自動調整処理の内容は、実施の形態1の位置決め装置における加速度パラメータの自動調整処理において自動調整の対象を加速度パラメータから待ち時間パラメータに置き換えたものとみなすことができる。したがって、図9に示した待ち時間パラメータの自動調整の一連の処理により、実施の形態1における加速度パラメータの自動調整と同様に、テーブル1や撮像部3の振動による位置決め対象物10の位置及び姿勢の計測誤差が所望の目標誤差以下であり、かつ待ち時間が短くなるように、待ち時間パラメータを自動的に調整できる。
このように、実施の形態3にかかる位置決め装置は、テーブル1や撮像部3の振動によって生じる位置及び姿勢の計測誤差が所望の目標誤差以内になる範囲内で位置決め完了時点から位置決め対象物10の位置及び姿勢の計測を開始するまでの待ち時間が短くなるように待ち時間パラメータを自動的に設定する機能を有する。テーブル1や撮像部3の振動は時間経過とともに減衰するため、位置決め完了から位置決め対象物を撮像するまでの待ち時間を調整することで、位置決め対象物の位置や姿勢の測定結果から振動による誤差を無くすことができる。このため、所望の目標誤差を満たし、かつ、手作業で位置決めパラメータを設定する場合よりもタクトタイムが短くなるようなアライメント位置決めを容易に実現できる。
実施の形態4.
図10は、本発明にかかる位置決め装置の実施の形態4の概略構成を示す図である。実施の形態4にかかる位置決め装置は、実施の形態2にかかる位置決め装置に変更を加えたものであり、実施の形態1及び実施の形態2と同様の構成要素については、実施の形態1,2と同じ符号を付して重複する説明を省略する。図10に示すように、実施の形態4にかかる位置決め装置は、テーブル1、アクチュエータ2、撮像部3及び制御装置20cを有する。制御装置20cは、繰り返し処理部8aに代えて、繰り返し処理部8cを有する点で実施の形態1とは異なっている。繰り返し処理部8cは、後述する繰り返し終了条件が満たされるまで位置決めパラメータ設定部7aによる加速度パラメータの更新を繰り返し実行する。
図10は、本発明にかかる位置決め装置の実施の形態4の概略構成を示す図である。実施の形態4にかかる位置決め装置は、実施の形態2にかかる位置決め装置に変更を加えたものであり、実施の形態1及び実施の形態2と同様の構成要素については、実施の形態1,2と同じ符号を付して重複する説明を省略する。図10に示すように、実施の形態4にかかる位置決め装置は、テーブル1、アクチュエータ2、撮像部3及び制御装置20cを有する。制御装置20cは、繰り返し処理部8aに代えて、繰り返し処理部8cを有する点で実施の形態1とは異なっている。繰り返し処理部8cは、後述する繰り返し終了条件が満たされるまで位置決めパラメータ設定部7aによる加速度パラメータの更新を繰り返し実行する。
図11は、実施の形態4にかかる位置決め装置の加速度パラメータの自動調整処理の流れを示すフローチャートである。図11に示すように、加速度パラメータの自動調整処理では、まず、位置決めパラメータ設定部7aの加速度パラメータの初期値を設定する(ステップS401)。次に、誤差比較部6の位置決めの目標誤差を設定する(ステップS402)。続いて、繰り返し処理部8cのアップ回数変数及びダウン回数変数の初期化を行う(ステップS403)。
続いて、位置決め制御部9により、テーブル1の位置を現在値から所定の間隔だけ移動して位置決めを行う(ステップS404)。次に、撮像部3により、位置決め対象物10を所定の回数撮像することで、位置決め対象物10の位置及び姿勢を複数回計測する(ステップS405)。その後、計測誤差推定部5により、ステップS405で計測した複数個の位置及び姿勢の平均値を計算することで位置決め対象物10の位置及び姿勢の基準値を算出する(ステップS406)。続いて、計測誤差推定部5により、ステップS406で算出した位置及び姿勢の平均値と各計測値との誤差の最大値を計算することで位置決め対象物10の位置及び姿勢の計測誤差の推定値を算出する(ステップS407)。そして、誤差比較部6により、ステップS407で算出した誤差の最大値とステップS402で設定した目標誤差との比較を行う(ステップS408)。
その後、位置決めパラメータ更新部72により、ステップS408の比較結果に応じた係数を加速度パラメータに乗じることにより加速度パラメータを更新する(ステップS409)。続いて、位置決めパラメータ記録部73により、加速度パラメータの現在値を記録する(ステップS410)。続いて、繰り返し処理部8cにより、ステップS408の比較結果に応じてアップ回数変数又はダウン回数変数のどちらかをインクリメントする(ステップS411)。続いて、繰り返し処理部8cにより、アップ回数変数及びダウン回数変数の両方の値が所定の設定値に達したか否かを判定し(ステップS412)、条件を満たしていたら(ステップS412/Yes)、ステップS413に移動し、条件を満たしていなかったら(ステップS412/No)、ステップS404に移動する操作を行う。その後、位置決めパラメータ計算部74により、ステップS410によって記録された加速度パラメータの加重平均を計算し、その値を加速度パラメータに設定する(ステップS413)。
加速度パラメータの自動調整処理のステップS411では、ステップS408で算出した計測誤差の推定値とステップS402で設定した目標誤差との比較結果に基づき、計測誤差の推定値が目標誤差よりも大きい場合にはダウン回数変数をインクリメントし、計測誤差の推定値が目標誤差よりも小さい場合にはアップ回数変数をインクリメントする。
実施の形態4にかかる位置決め装置の加速度パラメータの自動調整処理と、実施の形態2にかかる位置決め装置の加速度パラメータの自動調整処理とは、加速度パラメータの自動調整の終了判定方法が相違する。実施の形態2では、繰り返し変数の値と所定の繰り返し回数との比較結果に基づいて終了判定を行っていたのに対し、実施の形態4では、アップ回数変数及びダウン回数変数の二つの変数と所定の設定値との比較結果に基づいて終了判定を行う。
アップ回数変数及びダウン回数変数の両方が所定の設定値以上であるということは、加速度パラメータが増加と減少を一定回数以上繰り返したということを意味するため、加速度パラメータの探索を完了したことの証拠とすることができる。実施の形態2の加速度パラメータの自動調整処理では、調整結果の信頼性を上げるために繰り返し回数を多めに設定する必要があったが、実施の形態4の加速度パラメータの自動調整方法では、加速度パラメータの探索の進行度が分かるため、実施の形態2の加速度パラメータの自動調整方法よりも少ない繰り返し回数で加速度パラメータの探索を終了できる。
なお、繰り返し変数による終了判定と、アップ回数変数及びダウン回数変数による終了判定とを組み合わせて、繰り返し変数による繰り返し終了条件と、アップ回数変数及びダウン回数変数による繰り返し終了判定とのどちらか一方が満たされるという条件を繰り返し終了条件としても良い。
以上により、実施の形態4にかかる位置決め装置は、誤差比較部6が出力した誤差の比較結果をアップ回数変数とダウン回数変数とで記憶しておくことで、パラメータの探索の進行度を把握することができる。パラメータ探索の進行度によって繰り返しの終了判定を行うので、実施の形態3の方法と比較して、少ない繰り返し回数で位置決めパラメータの調整を行うことができる。加速度パラメータの自動調整を高速に行うことができるため、所望の目標誤差を満たし、かつ手作業で位置決めパラメータを設定する場合よりもタクトタイムが短くなるようなアライメント位置決めを容易に実現できる。
なお、上記の各実施の形態では、位置及び姿勢の誤差を考慮して加速度パラメータ調整を行う場合を例としたが、位置の誤差のみを考慮して加速度パラメータ調整を行うようにすることもできる。例えば、テーブル1がXYθステージである場合には、X方向及びY方向の位置の誤差のみ考慮して、X方向及びY方向の送りに関する加速度パラメータのみを調整することもできる。ただし、X方向及びY方向の位置の誤差を考慮してX方向及びY方向の送りに関する加速度パラメータを調整するだけでなく、回転角θで表される姿勢を考慮して、θ軸周りの回転についても加速度パラメータ調整を行った方が、位置決め誤差が目標誤差内に収まる位置決めパラメータの設定をより短い時間で行いやすくなる。
以上のように、本発明にかかる位置決め装置は、手作業で位置決めパラメータを設定する場合よりもタクトタイムが短くなるようなアライメント位置決めを容易に実現できる点で有用である。
1 テーブル、2 アクチュエータ、3 撮像部、4 画像処理部、5 計測誤差推定部、6 誤差比較部、7,7a,7b 位置決めパラメータ設定部、8,8a,8b,8c 繰り返し処理部、9,9b 位置決め制御部、10 位置決め対象物、11 マーク、20,20a,20b,20c 制御装置、71 位置決めパラメータ記憶部、72 位置決めパラメータ更新部、73 位置決めパラメータ記録部、74 位置決めパラメータ計算部。
Claims (9)
- 位置決め対象物を載置して移動可能なテーブルと、前記テーブルに載せられた位置決め対象物を撮像する撮像部と、を有する位置決め装置であって、
前記撮像部により得られた画像に基づいて前記位置決め対象物の位置計測値を出力する画像処理部と、
複数回分の前記位置計測値に基づき前記位置計測値の計測誤差の推定値を出力する計測誤差推定部と、
前記計測誤差の推定値と目標誤差の大きさの比較を行い、誤差の比較結果を出力する誤差比較部と、
前記誤差の比較結果に基づいて位置決めパラメータの更新を行う位置決めパラメータ設定部と、
予め設定された繰り返し終了条件が満たされるまで前記位置決めパラメータ設定部による前記位置決めパラメータの更新を繰り返し実行する繰り返し処理部と、
前記位置決めパラメータに基づいて設定された位置決め条件にて前記テーブルの位置決めを行う位置決め制御部とを備えることを特徴とする位置決め装置。 - 前記画像処理部は、前記撮像部により得られた画像に基づいて前記位置決め対象物の位置計測値及び姿勢計測値を出力し、
前記計測誤差推定部は、複数回分の前記位置計測値に基づき前記位置計測値の計測誤差の推定値を出力するとともに、複数回分の前記姿勢計測値に基づき前記姿勢計測値の計測誤差の推定値を出力し、
前記誤差比較部は、前記位置計測誤差の推定値及び姿勢計測誤差の推定値を、各々の目標誤差の大きさと比較して誤差の比較結果を出力することを特徴とする請求項1に記載の位置決め装置。 - 前記位置決めパラメータ設定部は、
予め設定された位置決めパラメータの探索範囲と前記誤差の比較結果に応じて、二分法に基づき前記位置決めパラメータと前記探索範囲の更新を行い、
前記繰り返し処理部は、前記探索範囲が予め設定された大きさよりも小さくなることを前記繰り返し終了条件とすることを特徴とする請求項1に記載の位置決め装置。 - 前記繰り返し処理部は、予め設定された繰り返し回数をもって前記繰り返し終了条件とし、
前記位置決めパラメータ設定部は、前記誤差の比較結果に応じて位置決めパラメータを定数倍する更新を行う位置決めパラメータ更新部と、前記位置決めパラメータ更新部によって更新された位置決めパラメータを記録する位置決めパラメータ記録部と、前記繰り返し処理部の繰り返し終了条件が満たされた後に前記位置決めパラメータ記録部に記録された位置決めパラメータから加重平均値を出力する位置決めパラメータ計算部と、を備え、前記位置決めパラメータ計算部の出力を最終的な位置決めパラメータの設定値とすることを特徴とする請求項1に記載の位置決め装置。 - 前記繰り返し処理部は、前記位置決めパラメータ設定部が、前記位置決めパラメータを現在値よりも大きくなるように更新したアップ回数と、前記位置決めパラメータが現在値よりも小さくなるように更新したダウン回数とを計数し、前記アップ回数及び前記ダウン回数の両方が予め設定された設定値以上となることを前記繰り返し終了条件とし、
前記位置決めパラメータ設定部は、前記誤差の比較結果に応じて位置決めパラメータを定数倍する更新を行う位置決めパラメータ更新部と、前記位置決めパラメータ更新部によって更新された位置決めパラメータを記録する位置決めパラメータ記録部と、前記繰り返し処理部の繰り返し終了条件が満たされた後に前記位置決めパラメータ記録部に記録された位置決めパラメータから加重平均値を出力する位置決めパラメータ計算部と、を備え、前記位置決めパラメータ計算部の出力を最終的な位置決めパラメータの設定値とすることを特徴とする請求項1に記載の位置決め装置。 - 前記計測誤差推定部は、複数回分の前記位置計測値から位置計測値の算術平均値を算出し、前記算術平均値と前記複数回分の位置計測値との誤差の最大値を前記計測誤差の推定値として出力することを特徴とする請求項1に記載の位置決め装置。
- 前記計測誤差推定部は、複数回分の前記位置計測値から位置計測値の加重平均値を算出し、前記加重平均値と前記複数回分の位置計測値との誤差の最大値を前記計測誤差の推定値として出力することを特徴とする請求項1に記載の位置決め装置。
- 前記位置決めパラメータは、位置決めの加速度パラメータであることを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載の位置決め装置。
- 前記位置決めパラメータ部は、位置決めが完了してから前記撮像部が前記位置決め対象物を撮像するまでの待ち時間であることを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載の位置決め装置。
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