WO2015156258A1

WO2015156258A1 - 熱伝導性感圧接着性積層シートの製造方法、熱伝導性感圧接着性積層シート、及び、電子機器

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Publication number: WO2015156258A1
Application number: PCT/JP2015/060759
Authority: WO
Inventors: 明子北川; 拓朗熊本
Original assignee: Zeon Corp
Current assignee: Zeon Corp
Priority date: 2014-04-07
Filing date: 2015-04-06
Publication date: 2015-10-15
Anticipated expiration: 2016-10-07

Abstract

　面方向の熱伝導率が１０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上である熱拡散層と、熱伝導性感圧接着層と、を備えた熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の製造方法であって、熱伝導性フィラー（Ｃ１）及び（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ０）を含有する含架橋体高分子組成物（Ａ）を、溶剤に浸漬し、撹拌して高分子ゲル含有分散液を作製する高分子ゲル含有分散液作製工程と、高分子ゲル含有分散液を所定の目開きを有するメッシュでろ過して濾液を得る濾過工程と、濾液を熱拡散層の少なくとも一方の面に所定の厚さに塗布する塗布工程と、熱拡散層上の濾液中の溶剤を除去して熱伝導性感圧接着層を得る溶剤除去工程と、を含み、所定の目開きが、所定の厚さの１．３倍以下であり、含架橋体高分子組成物（Ａ）を高分子ゲル含有分散液作製工程及び濾過工程に供して得られる濾液を乾燥してなる濾過後含架橋体高分子組成物（Ｈ）のゲル分率が７５質量％以上であることを特徴とする、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の製造方法とする。

Description

熱伝導性感圧接着性積層シートの製造方法、熱伝導性感圧接着性積層シート、及び、電子機器

　本発明は、熱伝導性感圧接着性積層シートの製造方法、該製造方法により得られる熱伝導性感圧接着性積層シート、及び、該熱伝導性感圧接着性積層シートを備えた電子機器に関する。

　近年、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）、集積回路（ＩＣ）チップ等のような電子部品は、その高性能化に伴って発熱量が増大している。その結果、温度上昇による機能障害対策を講じる必要が生じている。一般的には、金属製のヒートシンク、放熱板、放熱フィン等の放熱体を電子部品等に備えられる発熱体に取り付けることによって放熱させる方法が採られている。発熱体から放熱体への熱伝導を効率よく行うためには、熱伝導性が高い、シート状の部材（熱伝導性シート）を発熱体と放熱体との間に挟むことが行われている。

　熱伝導性シートのうち、電子部品の温度が局所的に上昇するいわゆるヒートスポット対策として、特に厚み方向に直交する方向（面方向）の熱伝導性に優れる「熱拡散シート」を使用されることがある。熱拡散シートは、熱を厚み方向へ伝えるともに、面方向へ速やかに拡散させることにより、ヒートスポットを緩和させることができる。

　熱拡散シートは、その材質上、表面が硬く、形状追随性に劣り、発熱体又は放熱体に対する密着性が悪かった。そのため、発熱体と放熱体との間に挟んだときにシートにクラックが生じる場合や、本来期待されているほどの熱伝導性及び熱拡散性が得られない場合があった。そこで、熱拡散シートの少なくとも片面に、感圧接着層等の柔軟性及び接着性を有する層を備えさせることにより、他の部材との密着性を向上させることが行われる。例えば特許文献１には、板状の窒化ホウ素粒子およびゴム成分を含有し、厚み方向に対する直交方向の熱伝導率が、４Ｗ／ｍ・Ｋ以上である熱伝導層と、熱伝導層の少なくとも一方面に積層される粘着剤層とを備えることを特徴とする熱伝導性シートが開示されている。
以下、一方の面に熱拡散シートからなる基材層（以下、「熱拡散層」と称する。）を備え、他方の面に熱伝導性及び感圧接着性を有する熱伝導性感圧接着層を備えた少なくとも２層からなる積層シート、又は、中間層として熱拡散層を備え、表裏層として熱伝導性感圧接着層を備えた少なくとも３層からなる積層シートを、熱伝導性感圧接着性積層シートという。熱伝導性感圧接着性積層シートは、熱伝導性感圧接着層側の面を発熱体又は放熱体である被着体に貼りつけて使用される。

　熱伝導性感圧接着性積層シートを被着体に貼り付ける際、熱伝導性感圧接着性積層シートと被着体との間に空気が噛み込まれて残留してしまうことがあった。このように残留した空気（空気溜まり）の発生は、接着性及び熱伝導率低下の要因となる。そこで、このような空気の噛み込みを解消するための技術として、例えば特許文献２には、基材と、基材の一方の側に設けられた装飾層と、基材の他方の側に設けられた粘着剤層とを備え、一方の面から他方の面に貫通する貫通孔が複数形成されている粘着シートであって、貫通孔の基材、装飾層及び粘着剤層における孔径は０．１～３００μｍであり、孔密度は３０～５０，０００個／１００ｃｍ^２であることを特徴とする粘着シートが開示されている。

　また、特許文献３には、窓ガラス等の平滑な被貼着体に貼り付けて使用する貼着シートであって、合成樹脂フィルムよりなるシート体と、シート体の一方面に形成され、被貼着体に貼り付けられる貼着層と、シート体及び貼着層を貫通するように形成されたスリットとを備え、スリットの少なくとも全体は、その一端とその他端とを結ぶ直線に重ならない、貼着シートが開示されている。

特開２０１３－１７６９８０号公報特開２００５－７５９５３号公報特開２０１２－１２６８５５号公報

　上記特許文献２や特許文献３に開示されている技術によれば、シートと被着体との間の空気を、シートの厚み方向に貫通して設けられた孔やスリットを介して排出することができるため、シートと被着体との間に空気が残留することを抑制することができる。

　しかしながら、上記従来技術のようにシートに貫通孔やスリットを設けると、シートの外観が損なわれる虞があった。また、該貫通孔やスリットにより発熱体と放熱体とが空気の層を介して厚み方向に連通するため、熱伝導性が損なわれる虞があった。さらに、粘着層が自己粘着性を有する場合、粘着シートを貼り直すためにシートを剥がした際に、被着体に粘着層の一部（シートカス）が残ることがあり、粘着シートを貼り直すことが困難となることがあった。
また、粘着シートに微細な貫通孔やスリットを設けるためには、シートの作製工程に加えて、レーザー又はカッターを用いた精密加工を行う必要があり、製造工程の複雑化又は製造設備の高度化が必要となる場合があった。

　そこで本発明は、被着体に貼り付けた際の空気の噛み込みを抑制でき、貼り直しが容易である熱伝導性感圧接着性積層シートの製造方法であって、簡易な設備で製造することが可能な熱伝導性感圧接着性積層シートの製造方法、該製造方法により得られる熱伝導性感圧接着性積層シート、及び、該熱伝導性感圧接着性積層シートを備えた電子機器を提供することを課題とする。

　本発明者らは、上記課題に鑑み鋭意検討を行った結果、所定の条件により熱伝導性感圧接着性積層シートを作製したところ、熱伝導性感圧接着層の表面に微小な凹凸が形成されることにより、空気の噛み込みを抑制でき、且つ、貼り直しが容易となることを見出した。

　すなわち、本発明の第１の態様は、面方向の熱伝導率が１０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上である熱拡散層と、熱伝導性感圧接着層と、を備えた熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の製造方法であって、熱伝導性フィラー（Ｃ１）及び（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ０）を含有する含架橋体高分子組成物（Ａ）を、溶剤に浸漬し、撹拌して高分子ゲル含有分散液を作製する高分子ゲル含有分散液作製工程と、高分子ゲル含有分散液を所定の目開きを有するメッシュでろ過して濾液を得る濾過工程と、濾液を熱拡散層の片面に所定の厚さに塗布する塗布工程と、熱拡散層上の濾液中の溶剤を除去して熱伝導性感圧接着層を得る溶剤除去工程と、を含み、所定の目開きが、所定の厚さの１．３倍以下であり、含架橋体高分子組成物（Ａ）を高分子ゲル含有分散液作製工程及び濾過工程に供して得られる濾液を乾燥してなる濾過後含架橋体高分子組成物（Ｈ）のゲル分率が７５質量％以上であることを特徴とする、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の製造方法である。

　本発明の第２の態様は、面方向の熱伝導率が１０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上である熱拡散層と、熱伝導性感圧接着層と、を備えた熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の製造方法であって、熱伝導性フィラー（Ｃ１）及び（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ０）を含有する含架橋体高分子組成物（Ａ）を、溶剤に浸漬し、撹拌して高分子ゲル含有分散液を作製する高分子ゲル含有分散液作製工程と、高分子ゲル含有分散液を所定の目開きを有するメッシュでろ過して濾液を得る濾過工程と、濾液を熱拡散層の一方の面に所定の厚さに塗布する第１塗布工程と、熱拡散層の一方の面に塗布された濾液中の溶剤を除去して熱伝導性感圧接着層を得る第１溶剤除去工程と、濾液を熱拡散層の他方の面に所定の厚さに塗布する第２塗布工程と、熱拡散層の他方の面に塗布された濾液中の溶剤を除去して熱伝導性感圧接着層を得る第２溶剤除去工程と、を含み、所定の目開きが、所定の厚さの１．３倍以下であり、含架橋体高分子組成物（Ａ）を高分子ゲル含有分散液作製工程及び濾過工程に供して得られる濾液を乾燥してなる濾過後含架橋体高分子組成物（Ｈ）のゲル分率が７５質量％以上であることを特徴とする、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の製造方法である。

　本明細書中において「熱伝導性フィラー」とは、添加することによって熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の熱伝導性を向上させることができ、自身の熱伝導率が０．３Ｗ／ｍ・Ｋ以上であるフィラーを意味する。また「（メタ）アクリル」とは、「アクリル、及び／又は、メタクリル」を意味する。

　本発明の第１及び第２の態様において、含架橋体高分子組成物（Ａ）が、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）と、（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）と、多官能性単量体（Ｂ１）と、熱伝導性フィラー（Ｃ１）と、を含む前駆体組成物において、少なくとも（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）の重合反応と、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）及び／又は（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）由来の構造単位を含む重合体の架橋反応と、を行うことにより得られるものであることが好ましい。

　本明細書中において「（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）の重合反応」とは、（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）由来の構造単位を含む重合体を得る重合反応を意味する。また、「（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）及び／又は（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）由来の構造単位を含む重合体の架橋反応」とは、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）同士の架橋反応、（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）由来の構造単位を含む重合体同士の架橋反応、及び、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）と（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）由来の構造単位を含む重合体との架橋反応のうち、一又は複数の架橋反応を意味する。

　本発明の第１及び第２の態様において、メッシュの所定の目開きが１０００μｍ以下であることが好ましい。

　本発明の第３の態様は、上記本発明の第１及び第２の態様に係る熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の製造方法により得られる熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）である。

　本発明の第４の態様は、上記本発明の第２の態様に係る熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）を備えた電子機器である。

　本発明によれば、被着体に貼り付けた際の空気の噛み込みを抑制でき、貼り直しが容易である熱伝導性感圧接着性積層シートの製造方法であって、簡易な設備で製造することが可能な熱伝導性感圧接着性積層シートの製造方法を提供することができる。また、該製造方法によって得られる熱伝導性感圧接着性積層シート、及び、該熱伝導性感圧接着性積層シートを備えた電子機器を提供することができる。

本発明の第１の態様に係る熱伝導性感圧接着性積層シートの製造方法の一実施形態を説明するフローチャートである。本発明の第１の態様に係る熱伝導性感圧接着性積層シートの製造方法Ｓ１０の各製造工程Ｓ１～Ｓ４の様子を概略的に示した図である。本発明の第２の態様に係る熱伝導性感圧接着性積層シートの製造方法の一実施形態を説明するフローチャートである。本発明の第２の態様に係る熱伝導性感圧接着性積層シートの製造方法Ｓ２０の各製造工程Ｓ１１～Ｓ１６の様子を概略的に示した図である。熱伝導性感圧接着性積層シートの使用例を概略的に示した図である。

　以下、本発明の実施の形態について説明する。なお、以下に示す形態は本発明の例示であり、本発明は以下に示す形態に限定されない。また、特に断らない限り、数値Ａ及びＢについて「Ａ～Ｂ」という表記は「Ａ以上Ｂ以下」を意味するものとする。かかる表記において数値Ｂのみに単位を付した場合には、当該単位が数値Ａにも適用されるものとする。

　１．熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の製造方法（Ｉ）
以下、本発明の第１の態様に係る熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の製造方法について説明する。図１は、本発明の第１の態様に係る熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の製造方法Ｓ１０（以下、「本製造方法Ｓ１０」と略記することがある。）を説明するフローチャートである。図１に示すように本製造方法Ｓ１０は、高分子ゲル含有分散液作製工程Ｓ１と、濾過工程Ｓ２と、塗布工程Ｓ３と、溶剤除去工程Ｓ４と、を含む。図２は、本製造方法Ｓ１０の各工程Ｓ１～Ｓ４の様子を概略的に示す図である。図２最下部のＳ４に示すように、本製造方法Ｓ１０により製造される熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）１０は、熱拡散層８と、表面に凹凸を有する熱伝導性感圧接着層９と、を備える。以下、各工程について説明する。

　１．１．高分子ゲル含有分散液作製工程Ｓ１
高分子ゲル含有分散液作製工程Ｓ１は、熱伝導性フィラー（Ｃ１）及び（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ０）を含有する含架橋体高分子組成物（Ａ）を、溶剤に浸漬し、撹拌して高分子ゲル含有分散液を作製する工程である。

　＜（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ０）＞
本発明において（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ０）は、（メタ）アクリル酸エステル単量体単位を主成分とする重合体である。
なお、「主成分」とは、５０重量％以上含有する成分であることを意味する。

　（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ０）は、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）と、（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）と、多官能性単量体（Ｂ１）と、熱伝導性フィラー（Ｃ１）と、を含む前駆体組成物において、少なくとも（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）の重合反応と、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）及び／又は（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）由来の構造単位を含む重合体の架橋反応と、を行うことにより得られる含架橋体高分子組成物（Ａ）の、ポリマー成分であることが好ましい。

　＜熱伝導性フィラー（Ｃ１）＞
本発明において、含架橋体高分子組成物（Ａ）は熱伝導性フィラー（Ｃ１）を含有する。本発明に用いる熱伝導性フィラー（Ｃ１）は、添加することによって熱伝導性感圧接着層の熱伝導性を向上させることができ、熱伝導率が０．３Ｗ／ｍ・Ｋ以上である無機化合物である。

　熱伝導性フィラー（Ｃ１）の具体例としては、水酸化アルミニウム、水酸化ガリウム、水酸化インジウム、水酸化マグネシウム、水酸化カルシウム、水酸化ストロンチウム、水酸化バリウムなどの金属水酸化物；酸化アルミニウム（アルミナ）、酸化マグネシウム、酸化亜鉛などの金属酸化物；炭酸カルシウム、炭酸アルミニウムなどの金属炭酸塩；窒化ホウ素、窒化アルミニウムなどの金属窒化物；ホウ酸亜鉛水和物；カオリンクレー；アルミン酸カルシウム水和物；ドーソナイト；シリカ；膨張化黒鉛粉、人造黒鉛、カーボンブラック、炭素繊維などの、炭素含有導電性フィラー；等を挙げることができる。中でも金属水酸化物及び金属酸化物が好ましく、金属水酸化物がより好ましく、水酸化アルミニウム及び酸化アルミニウム（アルミナ）がより好ましく、水酸化アルミニウムがさらに好ましい。熱伝導性フィラー（Ｃ１）は一種を単独で使用してもよく、二種以上を併用してもよい。

　含架橋体高分子組成物（Ａ）が含有する熱伝導性フィラー（Ｃ１）の量は、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ０）１００質量部に対して、１５０質量部以上１５００質量部以下であることが好ましく、２００質量部以上１３００質量部以下であることがより好ましく、３５０質量部以上１０００質量部以下であることが更に好ましい。熱伝導性フィラー（Ｃ１）の含有量を上記下限以上とすることによって、熱伝導性感圧接着層の熱伝導性を向上させる効果を発揮しやすくなる。一方、熱伝導性フィラー（Ｃ１）の含有量を上記上限以下とすることによって、含架橋体高分子組成物（Ａ）及び濾過後含架橋体高分子組成物（Ｈ）の硬度が上昇することを防止することができ、それにより、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の空気抜性が低下することを防止することができる。

　熱伝導性フィラー（Ｃ１）の平均粒径は、０．５μｍ以上１５μｍ以下であることが好ましく、５μｍ以上１２μｍ以下であることがより好ましい。また、熱伝導性フィラー（Ｃ１）のＢＥＴ比表面積は、０．３ｍ^２／ｇ以上１０ｍ^２／ｇ以下であることが好ましく、０．５ｍ^２／ｇ以上２ｍ^２／ｇ以下であることがより好ましい。熱伝導性フィラー（Ｃ１）の平均粒径及びＢＥＴ比表面積を上記範囲内とすることによって、熱伝導性フィラー（Ｃ１）の含有量を増やしても、含架橋体高分子組成物（Ａ）及び濾過後含架橋体高分子組成物（Ｈ）が脆くなりにくくすることができ、作業性に優れる。

　なお、本発明において「ＢＥＴ比表面積」とは、以下の方法で計測したものを意味する。まず、窒素及びヘリウムの混合ガスをＢＥＴ比表面積測定装置内に導入し、試料（ＢＥＴ比表面積の測定対象物）を入れた試料セルを液体窒素に浸して、窒素ガスを試料表面に吸着させる。吸着平衡に達した後、試料セルを水浴に入れ常温まで温め、試料に付着していた窒素を脱着させる。窒素ガスの吸着、脱着時に試料セルを通過する前後のガスの混合比は変化するので、この変化を窒素及びヘリウムの混合比が一定のガスを対照として熱伝導度検出器（ＴＣＤ）で検知し、窒素ガスの吸着量及び脱着量を求める。測定前に単位量の窒素ガスを装置内に導入してキャリブレーションを行い、ＴＣＤで検出した値に対応する表面績の値を求めておくことにより、その試料の表面積を求める。そして、求めた表面積をその試料の質量で除すことにより、ＢＥＴ比表面積を求めることができる。

　含架橋体高分子組成物（Ａ）を得るにあたり、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ０）及び熱伝導性フィラー（Ｃ１）に加え、求められる性能を満足できる範囲で、更に、公知の各種添加剤を導入してもよい。
公知の添加剤としては、例えば、リン酸エステル等の難燃剤；発泡剤（発泡助剤を含む。）；ガラス繊維；外部架橋剤；顔料；二酸化チタンなどのフィラー；フラーレン、カーボンナノチューブなどのナノ粒子；ポリフェノール系、ハイドロキノン系、ヒンダードアミン系などの酸化防止剤；などを挙げることができる。

　含架橋体高分子組成物（Ａ）は、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）と、（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）と、多官能性単量体（Ｂ１）と、熱伝導性フィラー（Ｃ１）と、を含む前駆体組成物において、少なくとも（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）の重合反応と、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）及び／又は（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）由来の構造単位を含む重合体の架橋反応と、を行うことにより得られるものであることが好ましい。該重合反応及び該架橋反応によって、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）と、（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）と、多官能性単量体（Ｂ１）とを含む成分から、前記含架橋体高分子組成物（Ａ）のポリマー成分としての（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ０）が好適に得られる。含架橋体高分子組成物（Ａ）は、ポリマー成分としての（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ０）と、熱伝導性フィラー（Ｃ１）と、を含む。なお、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ０）と熱伝導性フィラー（Ｃ１）とは、少なくとも一部分において結合していてもよい。

　＜前駆体組成物＞
前駆体組成物は、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）と、（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）と、多官能性単量体（Ｂ１）と、熱伝導性フィラー（Ｃ１）と、を含んでいる。また、後述するように、前駆体組成物は重合開始剤（Ｄ１）、及び、リン酸エステル（Ｅ１）を含んでいてもよい。なお、前駆体組成物を用いて含架橋体高分子組成物（Ａ）を得る際には、少なくとも（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）の重合反応及び架橋反応が行われる。当該重合反応及び架橋反応を行うことによって（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）由来の構造単位を含む重合体は（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）の成分と混合及び／又は一部結合する。
本発明において、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）、（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）、及び、多官能性単量体（Ｂ１）の３つを総称して「（メタ）アクリル樹脂前駆体（Ｐ１）」と呼ぶことがある。

　本発明において、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）及び（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）の使用割合は、（メタ）アクリル樹脂前駆体（Ｐ１）を１００質量％として、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）が５質量％以上７０質量％以下、（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）が２９．９質量％以上９４．９質量％以下であることが好ましく、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）が５質量％以上６０質量％以下、（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）が３９．８質量％以上９４．８質量％以下であることがより好ましく、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）が１０質量％以上５０質量％以下、（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）が４９．７質量％以上８９．７質量％以下であることが更に好ましい。（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）及び（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）の使用割合を上記範囲とすることによって、前駆体組成物を成形し易くなる。

　（（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１））
本発明に用いることができる（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）は特に限定されないが、ガラス転移温度が－２０℃以下となる単独重合体を形成する（メタ）アクリル酸エステル単量体の単位（ａ１）、及び、有機酸基を有する単量体単位（ａ２）を含有することが好ましい。

　上記（メタ）アクリル酸エステル単量体の単位（ａ１）を与える（メタ）アクリル酸エステル単量体（ａ１ｍ）は特に限定されないが、例えば、アクリル酸エチル（単独重合体のガラス転移温度は、－２４℃）、アクリル酸ｎ－プロピル（同－３７℃）、アクリル酸ｎ－ブチル（同－５４℃）、アクリル酸ｓｅｃ－ブチル（同－２２℃）、アクリル酸ｎ－ヘプチル（同－６０℃）、アクリル酸ｎ－ヘキシル（同－６１℃）、アクリル酸ｎ－オクチル（同－６５℃）、アクリル酸２－エチルヘキシル（同－５０℃）、メタクリル酸ｎ－オクチル（同－２５℃）、メタクリル酸ｎ－デシル（同－４９℃）などの、ガラス転移温度が－２０℃以下となる単独重合体を形成する（メタ）アクリル酸アルキルエステル；アクリル酸２－メトキシエチル（同－５０℃）、アクリル酸３－メトキシプロピル（同－７５℃）、アクリル酸３－メトキシブチル（同－５６℃）、アクリル酸エトキシメチル（同－５０℃）などの、ガラス転移温度が－２０℃以下となる単独重合体を形成する（メタ）アクリル酸アルコキシアルキルエステル；などを挙げることができる。中でも、ガラス転移温度が－２０℃以下となる単独重合体を形成する（メタ）アクリル酸アルキルエステル、ガラス転移温度が－２０℃以下となる単独重合体を形成する（メタ）アクリル酸アルコキシアルキルエステルが好ましく、ガラス転移温度が－２０℃以下となる単独重合体を形成する（メタ）アクリル酸アルキルエステルがより好ましく、アクリル酸２－エチルヘキシルがさらに好ましい。

　これらの（メタ）アクリル酸エステル単量体（ａ１ｍ）は、一種を単独で使用してもよく、二種以上を併用してもよい。

　（メタ）アクリル酸エステル単量体（ａ１ｍ）は、それから導かれる単量体単位（ａ１）が、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）中、好ましくは８０質量％以上９９．９質量％以下、より好ましくは８５質量％以上９９．５質量％以下となるような量で重合に供する。（メタ）アクリル酸エステル単量体（ａ１ｍ）の使用量が上記範囲内であると、重合時の重合系の粘度を適正な範囲に保つことが容易になる。

　次に、有機酸基を有する単量体単位（ａ２）について説明する。有機酸基を有する単量体単位（ａ２）を与える単量体（ａ２ｍ）は特に限定されないが、その代表的なものとして、カルボキシル基、酸無水物基、スルホン酸基などの有機酸基を有する単量体を挙げることができる。また、これらのほか、スルフェン酸基、スルフィン酸基、燐酸基などを含有する単量体も使用することができる。

　カルボキシル基を有する単量体の具体例としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸などのα，β－エチレン性不飽和モノカルボン酸や、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸などのα，β－エチレン性不飽和多価カルボン酸の他、イタコン酸モノメチル、マレイン酸モノブチル、フマル酸モノプロピルなどのα，β－エチレン性不飽和多価カルボン酸部分エステルなどを挙げることができる。また、無水マレイン酸、無水イタコン酸などの、加水分解などによりカルボキシル基に誘導することができる基を有するものも同様に使用することができる。

　スルホン酸基を有する単量体の具体例としては、アリルスルホン酸、メタリルスルホン酸、ビニルスルホン酸、スチレンスルホン酸、アクリルアミド－２－メチルプロパンスルホン酸などのα，β－不飽和スルホン酸、及び、これらの塩を挙げることができる。

　単量体（ａ２ｍ）としては、上に例示した有機酸基を有する単量体のうち、カルボキシル基を有する単量体がより好ましく、α，β－エチレン性不飽和モノカルボン酸がさらに好ましく、（メタ）アクリル酸が特に好ましい。これらの単量体は工業的に安価で容易に入手することができ、他の単量体成分との共重合性も良く、生産性の点でも好ましい。なお、単量体（ａ２ｍ）は、一種を単独で使用してもよく、二種以上を併用してもよい。

　有機酸基を有する単量体（ａ２ｍ）は、それから導かれる単量体単位（ａ２）が（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）中、好ましくは０．１質量％以上２０質量％以下、より好ましくは０．５質量％以上１５質量％以下となるような量で重合に供する。有機酸基を有する単量体（ａ２ｍ）の使用量が上記範囲内であると、重合時の重合系の粘度を適正な範囲に保つことが容易になる。

　なお、有機酸基を有する単量体単位（ａ２）は、前述のように、有機酸基を有する単量体（ａ２ｍ）の重合によって、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）中に導入するのが簡便であり好ましいが、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）生成後に、公知の高分子反応により、有機酸基を導入してもよい。

　また、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）は、有機酸基以外の官能基を有する単量体（ａ３ｍ）から誘導される単量体単位（ａ３）を含有していてもよい。上記有機酸基以外の官能基としては、水酸基、アミノ基、アミド基、エポキシ基、メルカプト基などを挙げることができる。

　水酸基を有する単量体としては、（メタ）アクリル酸２－ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸３－ヒドロキシプロピルなどの、（メタ）アクリル酸ヒドロキシアルキルエステルなどを挙げることができる。

　アミノ基を有する単量体としては、（メタ）アクリル酸Ｎ，Ｎ－ジメチルアミノメチル、（メタ）アクリル酸Ｎ，Ｎ－ジメチルアミノエチル、アミノスチレンなどを挙げることができる。

　アミド基を有する単量体としては、アクリルアミド、メタクリルアミド、Ｎ－メチロールアクリルアミド、Ｎ－メチロールメタクリルアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルアクリルアミドなどのα，β－エチレン性不飽和カルボン酸アミド単量体などを挙げることができる。

　エポキシ基を有する単量体としては、（メタ）アクリル酸グリシジル、アリルグリシジルエーテルなどを挙げることができる。

　有機酸基以外の官能基を有する単量体（ａ３ｍ）は、一種を単独で使用してもよく、二種以上を併用してもよい。

　これらの有機酸基以外の官能基を有する単量体（ａ３ｍ）は、それから導かれる単量体単位（ａ３）が、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）中、１０質量％以下となるような量で重合に使用することが好ましい。１０質量％以下の単量体（ａ３ｍ）を使用することにより、重合時の重合系の粘度を適正な範囲に保つことが容易になる。

　（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）は、上述したガラス転移温度が－２０℃以下となる単独重合体を形成する（メタ）アクリル酸エステル単量体単位（ａ１）、有機酸基を有する単量体単位（ａ２）、及び、有機酸基以外の官能基を有する単量体単位（ａ３）以外に、上述した単量体と共重合可能な単量体（ａ４ｍ）から誘導される単量体単位（ａ４）を含有していてもよい。

　単量体（ａ４ｍ）は、特に限定されないが、その具体例として、上記（メタ）アクリル酸エステル単量体（ａ１ｍ）以外の（メタ）アクリル酸エステル単量体、α，β－エチレン性不飽和多価カルボン酸完全エステル、アルケニル芳香族単量体、シアン化ビニル単量体、カルボン酸不飽和アルコールエステル、オレフィン系単量体などを挙げることができる。

　上記（メタ）アクリル酸エステル単量体（ａ１ｍ）以外の（メタ）アクリル酸エステル単量体の具体例としては、アクリル酸メチル（単独重合体のガラス転移温度は、１０℃）、メタクリル酸メチル（同１０５℃）、メタクリル酸エチル（同６３℃）、メタクリル酸ｎ－プロピル（同２５℃）、メタクリル酸ｎ－ブチル（同２０℃）などを挙げることができる。

　α，β－エチレン性不飽和多価カルボン酸完全エステルの具体例としては、フマル酸ジメチル、フマル酸ジエチル、マレイン酸ジメチル、マレイン酸ジエチル、イタコン酸ジメチルなどを挙げることができる。

　アルケニル芳香族単量体の具体例としては、スチレン、α－メチルスチレン、メチルα－メチルスチレン、及びビニルトルエンなどを挙げることができる。

　シアン化ビニル単量体の具体例としては、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、α－クロロアクリロニトリル、α－エチルアクリロニトリルなどを挙げることができる。

　カルボン酸不飽和アルコールエステル単量体の具体例としては、酢酸ビニルなどを挙げることができる。

　オレフィン系単量体の具体例としては、エチレン、プロピレン、ブテン、ペンテンなどを挙げることができる。

　単量体（ａ４ｍ）は、一種を単独で使用してもよく、二種以上を併用してもよい。

　単量体（ａ４ｍ）は、それから導かれる単量体単位（ａ４）の量が、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）中、好ましくは１０質量％以下、より好ましくは５質量％以下となるような量で重合に供する。

　（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）は、上述した、ガラス転移温度が－２０℃以下となる単独重合体を形成する（メタ）アクリル酸エステル単量体（ａ１ｍ）、有機酸基を有する単量体（ａ２ｍ）、必要に応じて使用する、有機酸基以外の官能基を含有する単量体（ａ３ｍ）、及び、必要に応じて使用するこれらの単量体と共重合可能な単量体（ａ４ｍ）を共重合することによって特に好適に得ることができる。

　（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）を得る際の重合方法は特に限定されず、溶液重合、乳化重合、懸濁重合、塊状重合などのいずれであってもよく、これら以外の方法でもよい。ただしこれらの重合方法の中で溶液重合が好ましく、中でも重合溶媒として、酢酸エチル、乳酸エチルなどのカルボン酸エステルやベンゼン、トルエン、キシレンなどの芳香族溶媒を用いた溶液重合がより好ましい。重合に際して、単量体は、重合反応容器に分割添加してもよいが、全量を一括添加するのが好ましい。重合開始の方法は、特に限定されないが、重合開始剤として熱重合開始剤を用いるのが好ましい。当該熱重合開始剤は特に限定されず、例えば過酸化物重合開始剤やアゾ化合物重合開始剤を用いることができる。

　過酸化物重合開始剤としては、ｔ－ブチルヒドロペルオキシドのようなヒドロペルオキシドや、ベンゾイルペルオキシド、シクロヘキサノンペルオキシドのようなペルオキシドの他、過硫酸カリウム、過硫酸ナトリウム、過硫酸アンモニウムなどの過硫酸塩などを挙げることができる。これらの過酸化物は、還元剤と適宜組み合わせて、レドックス系触媒として使用することもできる。

　アゾ化合物重合開始剤としては、２，２’－アゾビスイソブチロニトリル、２，２’－アゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）、２，２’－アゾビス（２－メチルブチロニトリル）などを挙げることができる。

　重合開始剤の使用量は特に限定されないが、単量体１００質量部に対して０．０１質量部以上５０質量部以下の範囲であることが好ましい。

　これらの単量体のその他の重合条件（重合温度、圧力、撹拌条件など）は、特に制限がない。

　重合反応終了後、必要により、得られた重合体を重合媒体から分離する。分離の方法は特に限定されない。例えば、溶液重合の場合、重合溶液を減圧下に置き、重合溶媒を留去することによって、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）を得ることができる。

　（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）の重量平均分子量（Ｍｗ）は、ゲルパーミエーションクロマトグラフ法（ＧＰＣ法）で測定して、標準ポリスチレン換算で１０００以上１００万以下の範囲にあることが好ましく、１０万以上５０万以下の範囲にあることが、より好ましい。（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）の重量平均分子量は、重合の際に使用する重合開始剤の量や、連鎖移動剤の量を適宜調整することによって制御することができる。

　（（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１））
（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）は、（メタ）アクリル酸エステル単量体を含有するものであれば特に限定されないが、ガラス転移温度が－２０℃以下となる単独重合体を形成する（メタ）アクリル酸エステル単量体（ａ５ｍ）を含有するものであることが好ましい。

　ガラス転移温度が－２０℃以下となる単独重合体を形成する（メタ）アクリル酸エステル単量体（ａ５ｍ）の例としては、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）の合成に用いる（メタ）アクリル酸エステル単量体（ａ１ｍ）と同様の（メタ）アクリル酸エステル単量体を挙げることができる。（メタ）アクリル酸エステル単量体（ａ５ｍ）は、一種を単独で使用してもよく、二種以上を併用してもよい。

　（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）における（メタ）アクリル酸エステル単量体（ａ５ｍ）の比率は、好ましくは５０質量％以上１００質量％以下、より好ましくは７５質量％以上１００質量％以下である。（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）における（メタ）アクリル酸エステル単量体（ａ５ｍ）の比率を上記範囲とすることによって、熱伝導性感圧接着性や柔軟性に優れた熱伝導性感圧接着層を得やすくなる。

　また、（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）は、ガラス転移温度が－２０℃以下となる単独重合体を形成する（メタ）アクリル酸エステル単量体（ａ５ｍ）、及び、これらと共重合可能な有機酸基を有する単量体（ａ６ｍ）の混合物としてもよい。

　上記単量体（ａ６ｍ）の例としては、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）の合成に用いる単量体（ａ２ｍ）として例示したものと同様の有機酸基を有する単量体を挙げることができる。単量体（ａ６ｍ）は、一種を単独で使用してもよく、二種以上を併用してもよい。

　（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）における単量体（ａ６ｍ）の比率は、３０質量％以下が好ましく、より好ましくは１０質量％以下である。（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）における単量体（ａ６ｍ）の比率を上記範囲とすることによって、熱伝導性感圧接着性や柔軟性に優れた熱伝導性感圧接着層を得やすくなる。

　（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）は、（メタ）アクリル酸エステル単量体（ａ５ｍ）及び所望により共重合させることができる有機酸基を有する単量体（ａ６ｍ）の他に、これらと共重合可能な単量体（ａ７ｍ）も含む混合物としてもよい。

　上記単量体（ａ７ｍ）の例としては、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）の合成に用いる単量体（ａ３ｍ）、及び単量体（ａ４ｍ）として例示したものと同様の単量体を挙げることができる。単量体（ａ７ｍ）は、一種を単独で使用してもよく、二種以上を併用してもよい。

　（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）における単量体（ａ７ｍ）の比率は、２０質量％以下であることが好ましく、１５質量％以下であることがより好ましい。

　（多官能性単量体（Ｂ１））
本発明において、前駆体組成物は多官能性単量体（Ｂ１）を必須の成分として含む。通常、ラジカル熱重合などの重合時には、多官能性単量体を用いずともある程度の架橋反応は進行する。しかしながら、所望の量の架橋構造を確実に形成させ、メッシュの目開き以下の粒子径を有する高分子ゲルを作製し、微小な凹凸を有する感圧接着層を形成できることから、多官能性単量体（Ｂ１）を含むことが好ましい。

　本発明に用いることができる多官能性単量体（Ｂ１）としては、（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）に含まれる単量体と共重合可能なものを用いる。また、当該多官能性単量体（Ｂ１）は重合性不飽和結合を複数有しており、該不飽和結合を末端に有することが好ましい。このような多官能性単量体（Ｂ１）を用いることによって、共重合体に分子内及び／又は分子間架橋を導入して、架橋体高分子組成物（Ａ）及び濾過後含架橋体高分子組成物（Ｈ）のゲル分率を所望の範囲とすることが容易になる。

　多官能性単量体（Ｂ１）としては、例えば１，６－ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，２－エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，１２－ドデカンジオールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートなどの多官能性（メタ）アクリレートや、２，４－ビス（トリクロロメチル）－６－ｐ－メトキシスチレン－５－トリアジンなどの置換トリアジンの他、４－アクリルオキシベンゾフェノンのようなモノエチレン系不飽和芳香族ケトンなどを用いることができる。多官能性（メタ）アクリレートが好ましく、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレートがより好ましい。多官能性単量体（Ｂ１）は、一種を単独で使用してもよく、二種以上を併用してもよい。

　多官能性単量体（Ｂ１）の使用量は、（メタ）アクリル樹脂前駆体（Ｐ１）を１００質量％として、０．１質量％以上２０質量％以下であることが好ましく、０．２質量％以上１０質量％以下であることがより好ましく、０．３質量％以上８質量％以下であることが更に好ましい。多官能性単量体（Ｂ１）の使用量を上記範囲とすることによって、メッシュの目開き以下の粒子径を有する高分子ゲルを作製し、微小な凹凸を有する熱伝導性感圧接着層を形成し易くなる。また、熱伝導性感圧接着層に適正な凝集力を付与し易くなる。

　＜熱伝導性フィラー（Ｃ１）＞
熱伝導性フィラー（Ｃ１）については、既に上述したためここでの説明は割愛する。

　熱伝導性フィラー（Ｃ１）の使用量は、（メタ）アクリル樹脂前駆体（Ｐ１）１００質量部に対して１５０質量部以上１５００質量部以下であることが好ましく、２００質量部以上１３００質量部以下であることがより好ましく、３５０質量部以上１０００質量部以下であることが更に好ましい。熱伝導性フィラー（Ｃ１）の使用量を上記下限以上とすることによって、熱伝導性感圧接着層の熱伝導性を向上させる効果を発揮しやすくなる。一方、熱伝導性フィラー（Ｃ１）の使用量を上記上限以下とすることによって、含架橋体高分子組成物（Ａ）及び濾過後含架橋体高分子組成物（Ｈ）の硬度が上昇することを防止することができ、それにより、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の空気抜性が低下することを防止することができる。

　（重合開始剤（Ｄ１））
含架橋体高分子組成物（Ａ）を得る際、上述したように（メタ）アクリル樹脂前駆体（Ｐ１）に含まれる成分が重合する。当該重合反応を促進するため、重合開始剤（Ｄ１）を用いることが好ましい。当該重合開始剤（Ｄ１）としては、光重合開始剤、アゾ系熱重合開始剤、有機過酸化物熱重合開始剤などが挙げられる。ただし、得られる熱伝導性感圧接着層に強い接着性を付与する等の観点からは、有機過酸化物熱重合開始剤を用いることが好ましい。

　光重合開始剤としては、公知の各種光重合開始剤を用いることができる。その中でも、アシルホスフィンオキサイド系化合物が好ましい。好ましい光重合開始剤であるアシルホスフィンオキサイド系化合物としては、ビス（２，４，６－トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド、２，４，６－トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイドなどが挙げられる。

　アゾ系熱重合開始剤としては、２，２’－アゾビスイソブチロニトリル、２，２’－アゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）、２，２’－アゾビス（２－メチルブチロニトリル）などが挙げられる。

　有機過酸化物熱重合開始剤としては、ｔ－ブチルヒドロペルオキシドのようなヒドロペルオキシドや、ベンゾイルペルオキシド、シクロヘキサノンペルオキシド、１，６－ビス（ｔ－ブチルペルオキシカルボニルオキシ）ヘキサン、１，１－ビス（ｔ－ブチルペルオキシ）－３，３，５－トリメチルシクロヘキサノンのようなペルオキシドなどを挙げることができる。ただし、熱分解時に臭気の原因となる揮発性物質を放出しないものが好ましい。また、有機過酸化物熱重合開始剤の中でも、１分間半減期温度が１００℃以上かつ１７０℃以下のものが好ましい。

　上記重合開始剤（Ｄ１）の使用量は、（メタ）アクリル樹脂前駆体（Ｐ１）１００質量部に対して０．０１質量部以上１０質量部以下であることが好ましく、０．１質量部以上５質量部以下であることがより好ましく、０．３質量部以上２質量部以下であることが更に好ましい。
重合開始剤（Ｄ１）の使用量を上記範囲とすることによって、（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）の重合転化率を適正な範囲にし易くなり、熱伝導性感圧接着層に単量体臭が残ることを防止し易くなる。
なお、（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）の重合転化率は、９５質量％以上であることが好ましい。（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）の重合転化率が９５質量％以上であれば、熱伝導性感圧接着層に単量体臭が残ることを防止し易くなる。

　＜リン酸エステル（Ｅ１）＞
前駆体組成物は、リン酸エステル（Ｅ１）を含有していてもよい。リン酸エステル（Ｅ１）を含有することによって、熱伝導性感圧接着層に優れた難燃性を付与し易くなる。

　本発明に用いるリン酸エステル（Ｅ１）は、２５℃における粘度が３０００ｍＰａ・ｓ以上であることが好ましい。リン酸エステル（Ｅ１）の粘度を上記範囲とすることで、前駆体組成物を、所望の形状に成形してから重合及び架橋反応を行う場合に、前駆体組成物を成形し易くなる。なお、本発明においてリン酸エステル（Ｅ１）の「粘度」とは、以下に説明する方法によって測定した粘度を意味する。

　（リン酸エステル（Ｅ１）の粘度測定方法）
リン酸エステル（Ｅ１）の粘度測定には、Ｂ型粘度計（東京計器株式会社製）を用いて、以下に示す手順で行う。
（１）常温の環境でリン酸エステルを３００ｍｌ計量し、５００ｍｌの容器に入れる。
（２）攪拌用ロータＮｏ．１、２、３、４、５、６、７から、いずれかを選択し、粘度計に取り付ける。
（３）リン酸エステルが入った容器を粘度計の上に置き、ロータを該容器内の縮合リン酸エステルに沈める。このとき、ロータの目印となる凹みが丁度、リン酸エステルの液状界面にくるように沈める。
（４）回転数を２０、１０、４、２の中から選択する。
（５）攪拌スイッチを入れ、１分後の数値を読み取る。
（６）読み取った数値に、係数Ａを掛け算した値が粘度［ｍＰａ・ｓ］となる。
なお、係数Ａは、下記表１に示すように、選択したロータＮｏ．と回転数とから決まる。

　また、本発明に用いるリン酸エステル（Ｅ１）は、大気圧下での１５℃以上１００℃以下の温度領域において常に液体であることが好ましい。リン酸エステル（Ｅ１）が混合する際に液体であれば、作業性が良く、含架橋体高分子組成物（Ａ）を得ることが容易になる。リン酸エステル（Ｅ１）を含んだ含架橋体高分子組成物（Ａ）を得る際、１５℃以上１００℃以下の環境で、前駆体組成物を構成する各物質を混合することが好ましい。混合時の温度を上記範囲とすることによって、前駆体組成物のガラス転移温度以上とし、前駆体組成物に含まれる単量体等の揮発あるいは重合反応が始まってしまうことを防止し易くなるため、環境性及び作業性を良くすることができる。

　本発明には、リン酸エステル（Ｅ１）として、縮合リン酸エステルも非縮合リン酸エステルも用いることができる。ここでいう「縮合リン酸エステル」とは、１分子内にリン酸エステル部位が複数存在するものを意味し、「非縮合リン酸エステル」とは、１分子内にリン酸エステル部位が１つだけ存在するものを意味する。これまでに説明した条件を満たすリン酸エステル（Ｅ１）の具体例を以下に列記する。

　縮合リン酸エステルの具体例としては、１，３－フェニレンビス（ジフェニルホスフェート）、ビスフェノールＡビス（ジフェニルホスフェート）、レゾルシノールビス（ジフェニルホスフェート）などの芳香族縮合リン酸エステル；ポリオキシアルキレンビスジクロロアルキルホスフェートなどの含ハロゲン系縮合リン酸エステル；非芳香族非ハロゲン系縮合リン酸エステル；などが挙げられる。これらの中でも、比重が比較的小さく、有害物質（ハロゲンなど）の放出の危険がなく、入手も容易であることなどから、芳香族縮合リン酸エステルが好ましく、１，３－フェニレンビス（ジフェニルホスフェート）、ビスフェノールＡビス（ジフェニルホスフェート）がより好ましい。

　非縮合リン酸エステルの具体例としては、トリフェニルホスフェート、トリクレジルホスフェート、トリキシレニルホスフェート、クレジルジフェニルホスフェート、クレジル－２，６－キシレニルホスフェート、２－エチルヘキシルジフェニルホスフェートなどの芳香族リン酸エステル；トリス（β－クロロプロピル）ホスフェート、トリスジクロロプロピルホスフェート、トリス（トリブロモネオペンチル）ホスフェートなどの含ハロゲン系リン酸エステル；などが挙げられる。この中でも、有害物質（ハロゲンなど）が発生しないことなどから、芳香族リン酸エステルが好ましい。

　リン酸エステル（Ｅ１）は、一種を単独で用いてもよく、二種以上を併用してもよい。

　熱伝導性感圧接着層にリン酸エステル（Ｅ１）を用いる場合、その量は、（メタ）アクリル樹脂前駆体（Ｐ１）の合計を１００質量部として、１２０質量部以下であることが好ましく、１００質量部以下であることがより好ましい。リン酸エステル（Ｅ１）の含有量を上記範囲とすることによって、熱伝導性感圧接着層の感圧接着性を維持しやすくなる。

　（その他の添加剤）
前駆体組成物には、熱伝導性感圧接着層に求められる熱伝導性や感圧接着性等の性能を満足できる範囲で、これまでに説明した物質以外にも公知の各種添加剤を添加することができる。
公知の添加剤としては、発泡剤（発泡助剤を含む。）；上述した熱伝導性フィラー（Ｃ１）を除いた金属の水酸化物や金属塩水和物などの熱伝導性フィラー；ガラス繊維；ＰＩＴＣＨ系炭素繊維などの、上述した熱伝導性フィラー（Ｃ１）を除いた熱伝導性無機化合物；外部架橋剤；顔料；二酸化チタンなどのフィラー；フラーレン、カーボンナノチューブなどのナノ粒子；ポリフェノール系、ハイドロキノン系、ヒンダードアミン系などの酸化防止剤；などを挙げることができる。

　＜含架橋体高分子組成物（Ａ）＞
含架橋体高分子組成物（Ａ）は、熱伝導性フィラー（Ｃ１）及び（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ０）を含有する。
含架橋体高分子組成物（Ａ）は、前駆体組成物を構成する上述した物質を混合して前駆体組成物を作製した後、少なくとも（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）の重合反応と、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）及び／又は（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）由来の構造単位を含む重合体の架橋反応と、を行うことにより得ることが好ましい。ここで、「含架橋体高分子組成物（Ａ）」には、架橋されておらず、溶剤に溶解する線状高分子又は分岐高分子等の非架橋成分が含まれていることが好ましい。

　含架橋体高分子組成物（Ａ）のゲル分率は７５質量％以上であることが好ましく、８５質量％以上であることがより好ましい。ゲル分率が７５質量％以上であることにより、メッシュの目開き以下の粒子径を有する高分子ゲルを作製し、所望のゲル分率を有する濾過後含架橋体高分子組成物（Ｈ）を作製することが容易になり、微小な凹凸を有する熱伝導性感圧接着層を作製し易くなる。一方、含架橋体高分子組成物（Ａ）のゲル分率は９９質量％以下であることが好ましく、９５質量％以下であることがより好ましい。ゲル分率が９９質量％以下であることにより、熱伝導性感圧接着層において、非架橋成分によって架橋成分同士を繋ぐ役割を果たすことで、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）において、基材層から熱伝導性感圧接着層が剥がれ落ちることを効果的に防止することができ、また、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の感圧接着性を高くすることができる。
本発明におけるゲル分率とは、例えば、含架橋体高分子組成物（Ａ）の乾燥サンプル０．２ｇを目開き２３４μｍの金網で包み、酢酸エチル１００ｍｌ中に２３時間浸漬し、取り出すことで濾過を行い、その後取り出した金網を５０℃で１時間乾燥させ、目開き２３４μｍの金網に残った不溶解分の乾燥質量を測定し、次式により求められる値である。
ゲル分率（質量％）＝（（酢酸エチル浸漬後目開き２３４μｍの金網に残った不溶解分の乾燥質量）／（酢酸エチル浸漬前のサンプルの乾燥質量））×１００

　高分子ゲル含有分散液作製工程Ｓ１において、上記重合及び架橋反応を行う際には加熱することが好ましい。当該加熱には、例えば、熱風、電気ヒーター、赤外線等を用いることができる。このときの加熱温度は、重合開始剤が効率良く分解し、（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）の重合が進行する温度が好ましい。温度範囲は、用いる重合開始剤の種類等により異なるが、１００℃以上２００℃以下が好ましく、１２０℃以上１８０℃以下がより好ましい。

　前駆体組成物の全体を短時間で均等に加熱し、均質な含架橋体高分子組成物（Ａ）を作製する観点から、前駆体組成物をシート状に成形してから加熱することが好ましい。ここで、前駆体組成物をシート状に成形する方法は特に限定されない。好適な方法としては、例えば、任意の基材間に上記前駆体組成物を挟んでシート状に成形する方法、このようにして挟んだ前駆体組成物をさらに２つのロールの間に通して押圧することでシート状に成形する方法、及び、押出機を用いて上記前駆体組成物を押出し、その際にダイスを通して厚さを制御することでシート状に成形する方法などが挙げられる。
前駆体組成物をシート状に成形してから重合及び架橋反応を行うことにより、シート状の含架橋体高分子組成物（Ａ）を得ることができる。含架橋体高分子組成物（Ａ）がシート状であることは、所定量の溶剤に浸漬させる含架橋体高分子組成物（Ａ）の量を調整し易くなるため、生産性の観点からも好ましい。

　溶剤に浸漬させる際の含架橋体高分子組成物（Ａ）の形状及びサイズは、含架橋体高分子組成物（Ａ）を溶剤に浸漬及び撹拌することを妨げないものであれば、特に限定されない。そのため、例えば、上記前駆体組成物を原料とする熱伝導性感圧接着性シートの製造工程において切り捨てられることとなる製品の端部、或いは、ちぎれた使用済みの熱伝導性感圧接着性シートを材料として使用することができる。従って、本発明の熱伝導性感圧接着性積層シートの製造方法は、経済性及び資源の有効活用の観点からも、好ましく採用することができる。一方、高分子ゲル含有分散液作製工程Ｓ１の一部として、上記のように含架橋体高分子組成物（Ａ）のシート状物を用いる以外にも、ブロック状に切り出したもの、又は、破砕したものを浸漬させてもよい。

　＜溶剤＞
高分子ゲル含有分散液作製工程Ｓ１において、含架橋体高分子組成物（Ａ）を溶剤中に浸漬して撹拌する。このとき用いる溶剤としては、含架橋体高分子組成物（Ａ）と構成単位が類似する線状高分子又は分岐高分子を少なくとも部分的に溶解することのできる溶剤を用いることが好ましい。このような溶剤としては、例えば、酢酸エチル、酢酸メチル、酢酸ブチル等のエステル系溶剤；トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素系溶剤；シクロヘキサン、ｎ－ヘキサン等の脂肪族炭化水素系溶剤；アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン系溶剤；テトラヒドロフラン等のエーテル系溶剤；等が挙げられる。中でも、安価であり、取り扱い性に優れ、後述する溶剤除去工程Ｓ４で容易に溶剤を除去し易い観点から、酢酸エチル又はトルエンを用いることがより好ましい。
溶剤は、一種類を単独で用いてもよく、複数種を併用してもよい。

　含架橋体高分子組成物（Ａ）を浸漬する溶剤の量は、含架橋体高分子組成物（Ａ）の非架橋成分を溶解することが可能な量であればよく、含架橋体高分子組成物（Ａ）のゲル分率により適宜設定することが可能である。

　＜高分子ゲル含有分散液＞
高分子ゲル含有分散液作製工程Ｓ１において、含架橋体高分子組成物（Ａ）を溶剤中に浸漬して撹拌することにより高分子ゲル含有分散液を作製する。含架橋体高分子組成物（Ａ）を溶剤中に浸漬し、撹拌すると、含架橋体高分子組成物（Ａ）のうち、線状高分子、分岐高分子等の非架橋成分は溶剤を吸収して膨潤後、少なくともその一部が溶剤に溶解する。一方、含架橋体高分子組成物（Ａ）のうちの架橋成分は、有限の膨潤性を示し、溶剤を吸収して膨潤後、溶解することなく高分子ゲルとなる。
図２のＳ１にその概略図を示す。すなわち、含架橋体高分子組成物（Ａ）１を溶剤２に浸漬し、撹拌することにより、非架橋成分を含む分散液３と高分子ゲル４とからなる高分子ゲル含有分散液５を作製する。なお、非架橋成分は必ずしも存在していなくともよいが、存在していることが好ましい。

　含架橋体高分子組成物（Ａ）を溶剤中に浸漬後、撹拌する方法は、含架橋体高分子組成物（Ａ）と溶剤とに十分なシェアを与え、所定の大きさの粒子径を有する高分子ゲルを作製することができるものであれば、特に限定されない。例えば、１００質量部のブロック状の含架橋体高分子組成物（Ａ）を３００質量部の酢酸エチル又はトルエンに浸漬した後撹拌する場合、回転数１０００ｒｐｍで３００分間撹拌すれば、含架橋体高分子組成物（Ａ）と溶剤とのシェアが十分となり、所定の大きさの粒子径を有する高分子ゲルを作製することができる。撹拌の回転数及び撹拌時間は、溶剤に浸漬する含架橋体高分子組成物（Ａ）の質量、形状、又は、サイズ（溶剤に対する体積比）により、適宜設定することが可能である。

　高分子ゲル含有分散液作製工程Ｓ１において、放置時間中に分散液中で含架橋体高分子組成物（Ａ）のさらなる架橋反応が進行してしまう可能性を抑止できるという観点から、含架橋体高分子組成物（Ａ）を溶剤中に浸漬後、さらに酸化防止剤を添加することが好ましい。酸化防止剤としては、ポリフェノール系、ハイドロキノン系、ヒンダードアミン系などの酸化防止剤を挙げることができる。
酸化防止剤の使用量は、含架橋体高分子組成物（Ａ）の前駆体組成物のうち（メタ）アクリル樹脂前駆体（Ｐ１）１００質量部に対して０．１質量部以上１０質量部以下であることが好ましく、０．３質量部以上８質量部以下であることがより好ましく、０．５質量部以上５質量部以下であることが更に好ましい。酸化防止剤の使用量を上記範囲とすることによって、メッシュの目開き以下の粒子径を有する高分子ゲルを作製し、微小な凹凸を有する熱伝導性感圧接着層を形成し易くなる。また、熱伝導性感圧接着層に適正な凝集力を付与し易くなる。
酸化防止剤を添加するタイミングは、分散液中で含架橋体高分子組成物（Ａ）のさらなる架橋反応が進行してしまう前であれば特に限定されず、含架橋体高分子組成物（Ａ）を溶剤に浸漬する前、又は、浸漬するのと同時に溶剤中に添加してもよい。

　１．２．濾過工程Ｓ２
濾過工程Ｓ２は、上記高分子ゲル含有分散液を所定の目開きを有するメッシュで濾過して濾液を得る工程である。図２のＳ２にその概略図を示す。すなわち、濾過工程Ｓ２において、固定したメッシュ６に高分子ゲル含有分散液５を注ぎ、濾液７を得る。このとき、メッシュ６の目開きよりも大きい粒子径を有する高分子ゲル粒子４ａは、残渣としてメッシュ６上に残り、メッシュ６の目開き以下の粒子径を有する高分子ゲル４ｂは、メッシュを通過し、濾液７中に含まれることとなる。

　濾過の方法は、所定の粒子径を有するメッシュを通過した濾液を得ることができるものであれば特に限定されない。例えば、常温常圧での自然濾過を行ってもよく、濾過時間の短縮又は収率の向上を目的として、減圧濾過又は加圧濾過を行ってもよい。

　濾過工程Ｓ２で使用するメッシュは、溶剤に対して繊維膨張し、濾過精度が変化することを防止できるものであれば特に限定されない。このようなメッシュとしては、例えば、ステンレスメッシュ、亜鉛メッキメッシュ等の金属メッシュや、ナイロンメッシュ、ポリエステルメッシュ、ポリエチレンメッシュ、テフロン（登録商標）メッシュ等樹脂製のメッシュが挙げられ、耐溶剤性、汎用性、安価で手に入りやすい観点から金属メッシュを使用することが好ましい。

　メッシュの目開きは後述する熱拡散層上に塗布する濾液の厚さの１．３倍以下であることが必要である。メッシュの目開きを濾液の厚さの１．３倍以下にすることによって、濾液を塗工する際にピンホールが生じることを防ぐことができる他、溶剤除去工程Ｓ４で濾液から溶剤を除去して熱伝導性感圧接着剤層を形成した際に、熱伝導性感圧接着層の表面に過度の大きさの凹凸が生じることを防ぐことができ、熱伝導性感圧接着層表面の微小な凹凸により生じる自着性を効果的に付与することができる。
また、メッシュの目開きは、１０００μｍ以下であることが好ましく、８００μｍ以下であることがより好ましく、６００μｍ以下であることが更に好ましい。メッシュの目開きを１０００μｍ以下とすることによって、濾液に含まれる高分子ゲルの粒子径をメッシュの目開き以下のものに限定することが可能となり、塗布する濾液の厚さが厚い場合でも、溶剤除去工程Ｓ４で濾液から溶剤を除去して熱伝導性感圧接着層を形成した際に、熱伝導性感圧接着層の表面に過度の大きさの凹凸が生じることを防ぐことができ、熱伝導性感圧接着層表面の微小な凹凸により生じる自着性をより効果的に付与することができる。
また、メッシュの目開きは２５０μｍ以上であることが好ましく、２６０μｍ以上であることがより好ましく、２８０μｍ以上であることが更に好ましい。メッシュの目開きを２５０μｍ以上とすることによって、溶剤除去工程Ｓ４で濾液から溶剤を除去して熱伝導性感圧接着剤層を形成した際に、熱伝導性感圧接着層の表面に適度な大きさの凹凸を生じさせることができ、熱伝導性感圧接着層表面の微小な凹凸により生じる空気抜き性と自着性を効果的に付与することができる。

　濾過工程Ｓ２により得られる濾液の固形分濃度は、好ましくは１０～４０質量％、より好ましくは１５～３５質量％である。濾液の固形分濃度が１０～４０質量％の範囲内にあることにより、濾液の取り扱い性に優れ、後述する塗布工程Ｓ３において濾液を所定の厚さに塗布することが容易になる他、後述する溶剤除去工程Ｓ４において溶剤の除去が容易になる。

　濾過後含架橋体高分子組成物（Ｈ）のゲル分率は７５質量％以上であり、８５質量％以上であることが好ましい。ゲル分率が７５質量％以上であることにより、メッシュの目開き以下の粒子径を有する高分子ゲルを作製し、微小な凹凸を有する熱伝導性感圧接着層を作製し易くなる。一方、濾過後含架橋体高分子組成物（Ｈ）のゲル分率は９９質量％以下であることが好ましく、９５質量％以下であることがより好ましい。ゲル分率が９９質量％以下であることにより、熱伝導性感圧接着層において、非架橋成分によって架橋成分同士を繋ぐ役割を果たすことで、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）において、熱拡散層から熱伝導性感圧接着層が剥がれ落ちることを効果的に防止することができ、また、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の感圧接着性を高くすることができる。
本発明における濾過後含架橋体高分子組成物（Ｈ）のゲル分率とは、例えば、濾過後含架橋体高分子組成物（Ｈ）の乾燥サンプル０．２ｇを目開き２３４μｍの金網で包み、酢酸エチル１００ｍｌ中に２４時間浸漬し、取り出すことで濾過を行い、その後取り出した金網を５０℃で１時間乾燥させ、目開き２３４μｍの金網に残った不溶解分の乾燥質量を測定し、次式により求められる値である。
ゲル分率（質量％）＝（（酢酸エチル浸漬後目開き２３４μｍの金網に残った不溶解分の乾燥質量）／（酢酸エチル浸漬前のサンプルの乾燥質量））×１００

　１．３．塗布工程Ｓ３
塗布工程Ｓ３は濾液を熱拡散層上に所定の厚さに塗布する工程である。図２のＳ３に熱拡散層８に濾液７が塗布された積層体を示す。塗布工程Ｓ３で熱拡散層に濾液を塗布する方法は、特に限定されず、公知の塗布方法を適用できる。例えば、ダイコーター、バーコーター、グラビアコーター、ナイフコーター、ロールコーター、ドクターブレード等を用いた塗布方法を採用することができる。

　上述のように、濾過工程Ｓ２で使用するメッシュの目開きは熱拡散層上に塗布する厚さの１．３倍以下であることが必要である。従って、熱拡散層上に濾液を塗布する厚さは、メッシュの目開きの（１．３分の１）倍以上（すなわち０．７７倍以上）とすることが必要である。また、かかる条件を満たしつつ、塗布する濾液の厚さは２００μｍ以上８００μｍ以下であることが好ましく、２００μｍ以上７００μｍ以下であることがより好ましく、２００μｍ以上６００μｍ以下であることが更に好ましい。塗布する濾液の厚さを上記範囲とすることによって、被着体との熱伝導性感圧接着層との間に十分な密着性を保つことができる。

　＜熱拡散層＞
  塗布工程Ｓ３において、熱拡散層上に濾過工程Ｓ２で得た濾液が塗布される。熱拡散層は、面方向に高い熱伝導性を有し、発熱体から受けた熱を熱拡散層の面方向へ拡散しつつ放熱体への熱伝導を行う層である。熱拡散層の面方向の熱伝導率は、１０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上であり、２０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上であることが好ましく、３０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上であることがより好ましい。熱拡散層の面方向の熱伝導率を上記下限以上とすることにより、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）に適切な熱拡散性を付与し、ヒートスポットを緩和し易くなる。
  一方、発熱体から放熱体への熱伝導を担う観点から熱拡散層は厚み方向にも一定の熱伝導性を有していることが好ましい。熱拡散層の厚み方向の熱伝導率は、１０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上であり、２０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上であることが好ましく、３０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上であることがより好ましい。
  また、熱拡散層は、溶剤除去工程Ｓ４後には熱伝導性感圧接着層の下地となることにより、熱伝導性感圧接着層の凝集力が多少不足した場合でも、熱伝導性感圧接着層のシート形状を保つことができる。

　熱拡散層は、感圧接着性を有さない材料によって構成されていてもよい。熱拡散層が感圧接着性を有さない材料によって構成されている場合であって、かつ、熱拡散層表面に接するように物体が配置されている場合、熱拡散層表面から物体を取り外す際に、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の表面が物体に固着することを防止できるため、物体を固定しなおす場合でも熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）をそのまま再利用することが可能となる。かかる観点から、熱拡散層表面は滑り性を備えていることが好ましい。ただし、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）に物体を固定する際には、ネジなどの固定部材を用いることが好ましい。なお、熱拡散層は、感圧接着性を有する材料によって構成されていてもよい。

　上記条件を満たす熱拡散層を構成する好ましい材料としては、グラファイトシート、アルミニウム箔や銅箔など金属製の箔、又は、バインダー樹脂中に熱伝導性フィラーが充填されたシート状物などの熱伝導材料（Ｔｈｅｒｍａｌ　Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ　Ｍａｔｅｒｉａｌ；以下、単に「ＴＩＭ」ということがある。）が挙げられる。
ここで、バインダー樹脂中に熱伝導性フィラーが充填されたシート状物を作製する場合、充填する熱伝導性フィラーとしては、上記熱伝導性フィラー（Ｃ１）と同一のものを挙げることができる。また、バインダー樹脂としては、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、フッ素樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエステルイミド樹脂、ポリアミド樹脂、シアネートエステル樹脂、ウレタン樹脂、芳香族ポリエステル樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂などを挙げることができる。これらの中でも安価で入手できるなどの観点からは、シリコーン樹脂、アクリル樹脂が好ましく、アクリル樹脂がより好ましい。なお、熱拡散層は一種の材料で構成されていてもよく複数種の材料を組み合わせて構成されていてもよい。シート状物は、さらに公知の添加剤を含んでよい。

　上記材料以外にも、用途に応じて適宜材料を選択することにより、熱拡散層には、耐擦傷性、絶縁性等の機能を複合的に備えさせることが可能である。また、熱拡散層と熱伝導性感圧接着層との間には、本発明が意図する効果を妨げない範囲で他の層を介在させてもよい。

　熱拡散層の厚さは、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の用途、及び、選択する材料に応じて適宜設定することが可能である。熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の熱抵抗を低くする観点からは薄い方が好ましく、取り扱いを容易にする観点からは、ある程度の厚さを有することが好ましい。熱拡散層の厚さは、０．０５ｍｍ以上１０ｍｍ以下が好ましく、０．０８ｍｍ以上５ｍｍ以下がより好ましく、０．１ｍｍ以上３ｍｍ以下が更に好ましい。

　１．４．溶剤除去工程Ｓ４
溶剤除去工程Ｓ４は塗布工程Ｓ３で熱拡散層の片面に塗布された濾液から溶剤を除去して熱伝導性感圧接着層を得る工程である。溶剤除去工程Ｓ４で溶剤を除去する方法は、特に限定されず、公知の加熱方法を適用できる。例えば、熱拡散層及び濾液の塗膜を有する積層体を大気中に放置して溶剤を自然蒸発させる方法；熱拡散層及び濾液の塗膜を有する積層体真空乾燥機に投入して真空乾燥を行う方法；熱拡散層及び濾液の塗膜を有する積層体をオーブンに投入して加熱する方法；等が挙げられる。加熱する方法を用いる場合の加熱温度は、溶剤を気化させることが可能であり、熱拡散層の機能を損ねる条件でなければ特に限定されない。加熱温度は、例えば、溶剤が酢酸エチル（沸点７７．１℃）の場合には１００℃程度で加熱すればよく、溶剤がトルエン（沸点１１０℃）の場合には１５０℃程度で加熱すればよく、好ましくは溶剤の沸点以上２００℃以下である。加熱時間は、基材上に塗布する濾液の量に応じて適宜設定することが可能であり、好ましくは１０分～３時間である。

　＜熱伝導性感圧接着層（片面）＞
溶剤除去工程Ｓ４において、熱拡散層上の濾液から溶剤を除去することにより、熱拡散層上に熱伝導性感圧接着層が形成される。図２のＳ４に、熱拡散層８の片面に熱伝導性感圧接着層９が積層されてなる熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）１０の概略図を示した。図２のＳ４に表れているように、熱伝導性感圧接着層９の表面には凹凸が形成されている。当該凹凸は微小であり、外観に影響を与えることがない。
本製造方法Ｓ１０により製造される熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）１０によれば、熱伝導性感圧接着層の表面に微小な凹凸が形成されていることにより、該熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）１０の貼り付け時に噛み込まれる空気を該凹凸部分から外部へ抜くことできるため、空気の噛み込みを抑制することが可能となる。また、該凹凸部分は吸盤のように機能し、熱拡散層側から押しつけるように圧力を加えることにより被着体に密着する、いわゆる自着性を有するため、凹凸が形成されていることにより接着性及び熱伝導率が低下することがない。

　本発明の第１の態様において、熱伝導性感圧接着層の厚さは特に限定されないが、熱伝導性感圧接着層を薄く形成することによって、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の厚さ方向の熱抵抗を低くすることができる。一方、熱伝導性感圧接着層にある程度の厚さをもたせることによって、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の取り扱いが容易になる。これらの観点から、熱伝導性感圧接着層の厚さは５０μｍ以上４００μｍ以下にすることが好ましく、６０μｍ以上３００μｍ以下であることがより好ましく、７０μｍ以上２５０μｍ以下であることが更に好ましい。

　２．熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の製造方法（ＩＩ）
次に、本発明の第２の態様に係る熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の製造方法について説明する。図３は、本発明の第２の態様に係る熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の製造方法Ｓ２０（以下、「本製造方法Ｓ２０」と略記することがある。）を説明するフローチャートである。図３に示すように本製造方法Ｓ２０は、高分子ゲル含有分散液作製工程Ｓ１１と、濾過工程Ｓ１２と、第１塗布工程Ｓ１３と、第１溶剤除去工程Ｓ１４と、第２塗布工程Ｓ１５と、第２溶剤除去工程Ｓ１６と、を含む。図４は、本製造方法Ｓ２０の各工程Ｓ１１～Ｓ１６の様子を概略的に示す図である。図４右下のＳ１６に示すように、本製造方法Ｓ２０により製造される熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）２０は、中間層としての熱拡散層８と、表面に凹凸を有する表裏層としての熱伝導性感圧接着層９，９と、を備える。以下、各工程について説明する。

　２．１．高分子ゲル含有分散液作製工程Ｓ１１
高分子ゲル含有分散液作製工程Ｓ１１は、上記高分子ゲル含有分散液作製工程Ｓ１と同一の工程とすることができる。なお、上記高分子ゲル含有分散液作製工程Ｓ１に関する記載中、「Ｓ１」は「Ｓ１１」と、「溶剤除去工程Ｓ４」は「第１溶剤除去工程Ｓ１４及び第２溶剤除去工程Ｓ１６」と、「図２」は「図４」と、読み替えるものとする。

　２．２．濾過工程Ｓ１２
濾過工程Ｓ１２は、上記濾過工程Ｓ２と同一の工程とすることができる。なお、上記濾過工程Ｓ２に関する記載中、「Ｓ２」は「Ｓ１２」と、「塗布工程Ｓ３」は「第１塗布工程Ｓ１３及び第２塗布工程Ｓ１５」と、「溶剤除去工程Ｓ４」は「第１溶剤除去工程Ｓ１４及び第２溶剤除去工程Ｓ１６」と、「図２」は「図４」と、読み替えるものとする。

　２．３．第１塗布工程Ｓ１３
第１塗布工程Ｓ１３は濾過工程Ｓ１２で得た濾液を熱拡散層の一方の面に所定の厚さに塗布する工程である。第１塗布工程Ｓ１３は、塗布工程Ｓ３と同一の工程とすることができる。なお、上記塗布工程Ｓ３に関する記載中、「塗布工程Ｓ３」は「第１塗布工程Ｓ１３」と、「濾過工程Ｓ２」は「濾過工程Ｓ１２」と、「溶剤除去工程Ｓ４」は「第１溶剤除去工程Ｓ１４及び第２溶剤除去工程Ｓ１６」と、「図２」は「図４」と、読み替えるものとする。また、本発明の第２の態様に係る熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）は、熱拡散層の両面に熱伝導性感圧接着層が積層されているため、通常、発熱体又は放熱体には、熱拡散層ではなく熱伝導性感圧接着層を介して接触する。よって、上記塗布工程Ｓ３に関する説明において、熱拡散層表面が備えていることが好ましい「滑り性」等の性質は必ずしも要求されない。

　２．４．第１溶剤除去工程Ｓ１４
第１溶剤除去工程Ｓ１４は第１塗布工程Ｓ１３で熱拡散層の一方の面に塗布された濾液から溶剤を除去して熱伝導性感圧接着層を得る工程である。図４のＳ１４に熱拡散層８の一方の面に熱伝導性感圧接着層９が積層された積層体を示す。第１溶剤除去工程Ｓ１４で溶剤を除去する方法は、特に限定されず、上記溶剤除去工程Ｓ４で例示した公知の方法を適用できる。

　２．５．第２塗布工程Ｓ１５
第２塗布工程Ｓ１５は、濾過工程Ｓ１２で得た濾液を熱拡散層の他方の面（第１塗布工程Ｓ１３で濾液を塗布した面と反対側の面）に所定の厚さに塗布する工程である。図４のＳ１５に熱拡散層８の一方の面に熱伝導性感圧接着層９が積層され、他方の面に濾液７が塗布された積層体を示す。第２塗布工程Ｓ１５で熱拡散層に濾液を塗布する方法、及び、塗布する濾液の厚さは、第１塗布工程Ｓ１３と同様とすることができる。

　２．６．第２溶剤除去工程Ｓ１６
第２溶剤除去工程Ｓ１６は第２塗布工程Ｓ１５で熱拡散層の他方の面に塗布された濾液から溶剤を除去して熱伝導性感圧接着層を得る工程である。図２のＳ１６に熱拡散層８の他方の面にも熱伝導性感圧接着層９が積層され、熱拡散層８の両面に熱伝導性感圧接着層９，９が積層されてなる熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）２０を示す。第２溶剤除去工程Ｓ１６で溶剤を除去する方法は、第１溶剤除去工程Ｓ１４と同様とすることができる。

　＜熱伝導性感圧接着層（両面）＞
第１溶剤除去工程Ｓ１４及び第２溶剤除去工程Ｓ１６において、熱拡散層上の濾液から溶剤を除去することにより、熱拡散層上に熱伝導性感圧接着層が形成される。図４のＳ１４には熱拡散層８の片面に熱伝導性感圧接着層９が積層されている様子が、図４のＳ１６には熱拡散層８の表裏面に熱伝導性感圧接着層９，９が積層されている様子が表れている。図４のＳ１４及びＳ１６に表れているように、熱伝導性感圧接着層９の表面には凹凸が形成されている。当該凹凸は微細であり、外観に影響を与えることがない。
本製造方法Ｓ２０により製造される熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）２０によれば、熱伝導性感圧接着層の表面に微小な凹凸が形成されていることにより、該熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）２０の貼り付け時に噛み込まれる空気を該凹凸部分から外部へ抜くことできるため、空気の噛み込みを抑制することが可能となる。また、該凹凸部分は吸盤のように機能し、熱拡散層側から押しつけるように圧力を加えることにより被着体に密着する、いわゆる自着性を有するため、凹凸が形成されていることにより接着性及び熱伝導率が低下することがない。

　本発明の第２の態様において、熱伝導性感圧接着層の厚さは特に限定されないが、熱伝導性感圧接着層を薄く形成することによって、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の厚さ方向の熱抵抗を低くすることができる。一方、熱伝導性感圧接着層にある程度の厚さをもたせることによって、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の取り扱いが容易になる。これらの観点から熱伝導性感圧接着層の１層の厚さは、それぞれ、５０μｍ以上４００μｍ以下にすることが好ましく、６０μｍ以上３００μｍ以下であることがより好ましく、７０μｍ以上２５０μｍ以下であることが更に好ましい。

　以上、高分子ゲル含有分散液作製工程Ｓ１１と、濾過工程Ｓ１２と、第１塗布工程Ｓ１３と、第１溶剤除去工程Ｓ１４と、第２塗布工程Ｓ１５と、第２溶剤除去工程Ｓ１６と、をこの順に含む形態について、本製造方法Ｓ２０を説明したが、本発明は当該実施形態に限定されない。例えば、熱拡散層の表裏に濾液を所定の厚みに塗布した後、熱拡散層の表裏の濾液から溶剤を同時に除去する形態、すなわち、第１塗布工程Ｓ１３及び第２塗布工程Ｓ１５を行った後に、第１溶剤除去工程Ｓ１４及び第２溶剤除去工程Ｓ１６を同時に行う形態としてもよい。

　３．諸特性
従来のシートに形成される貫通孔やスリットによれば、貫通孔やスリットがシートの厚み方向に貫通しているため、発熱体と放熱体とが空気の層を介して厚み方向に連通するため、熱伝導性及び熱拡散性が損なわれる虞があった。また、熱拡散層が耐擦傷性、絶縁性等の機能を複合的に備えている場合には、貫通孔やスリット部分において熱拡散層の当該機能が発揮されない虞があった。一方、本発明に係る熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）では、凹凸は熱伝導性感圧接着層のみに形成されているため、発熱体と放熱体とが空気の層を介して厚み方向に連通することはなく、熱伝導性及び熱拡散性が損なわれ難い。また、熱拡散層の機能が損なわれる恐れがない。さらに、本製造方法による熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の製造は、レーザー又はカッターを用いた精密加工を行う必要がないため、簡易な製造設備により行うことが可能である。

　４．使用例
本発明の熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）は、特に熱拡散層の面方向の熱伝導性が高く、且つ熱伝導性感圧接着層が熱伝導性に加えて感圧接着性を有しているため、発熱体と放熱体との間に介在させて、発熱体から放熱体への熱伝導を効率よく行うなどの用途に使用できる。また、本発明の熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）は、電子機器に備えられる発熱体である電子部品に取り付け、該電子部品の一部として用いることができる。本発明の熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の使用例について、図５を参照しつつ説明する。図５は、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の使用例を説明する図である。

　図５（Ａ）は、パーソナルコンピュータ等の電子機器の一部を概略的に示す斜視図である。図５（Ａ）には、基板１１、基板１１上に設置した発熱体である電子部品１２、放熱体であるヒートシンク１３、及び電子部品１２とヒートシンク１３との間に配置した熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）１４と、を示している。
図５（Ａ）に示したように、電子部品１２とヒートシンク１３とで熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）１４を挟んでビスなどの任意の固定手段により固定することによって、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）１４は高い熱伝導性を有しているので、電子部品１２で発した熱は熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）１４を介してヒートシンク１３へと効率よく伝えられ、ヒートシンク１３から放熱される。

　図５（Ｂ）は、放熱体であるヒートシンク２３に熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）２４、２４を介して発熱体であるＮＰＮトランジスタ２２ａ及びＰＮＰトランジスタ２２ｂを取り付けた様子を概略的に示す斜視図である。
図５（Ｂ）に示したように、１つのヒートシンク２３に熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）２４、２４を介してＮＰＮトランジスタ２２ａ及びＰＮＰトランジスタ２２ｂを任意の固定手段により取り付けることによって、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）２４は高い熱伝導性を有しているので、ＮＰＮトランジスタ２２ａ及びＰＮＰトランジスタ２２ｂで発した熱は熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）２４、２４を介してヒートシンク２３へと効率よく伝えられ、ヒートシンク２３から放熱される。このとき、ＮＰＮトランジスタ２２ａ及びＰＮＰトランジスタ２２ｂが、共に、高い熱伝導性を有する熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）２４、２４を介して一つのヒートシンク２３に取り付けられていることによって、ＮＰＮトランジスタ２２ａとＰＮＰトランジスタ２２ｂとで温度差が生じることを抑制できる。

　図５（Ｃ）は、発熱体である２つのトランジスタ３２、３２が熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）３４を介して任意の固定手段により固定された様子を概略的に示す断面図である。
図５（Ｃ）に示したように、２つの発熱体３２、３２が熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）３４を介して固定されることによって、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）３４は高い熱伝導性を有しているので、２つの発熱体３２、３２の一方の温度が他方に比べて高くなれば、一方から他方へと速やかに熱を伝えられるので、２つの発熱体３２、３２の間で温度差が生じることを抑制できる。

　なお、上記例では放熱体としてヒートシンクを用いたが、電子部品の筐体などを放熱体とすることもできる。以下、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の他の使用例について説明する。

　本発明の熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）は、電子機器に備えられる電子部品の一部として用いることができる。当該電子機器及び電子部品の具体例としては、エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）光源を有する機器における発熱部周囲の部品、自動車等のパワーデバイス周囲の部品、燃料電池、太陽電池、バッテリー、携帯電話、携帯情報端末（ＰＤＡ）、ノートパソコン、液晶パネル、表面伝導型電子放出素子ディスプレイ（ＳＥＤ）、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）、又は集積回路（ＩＣ）などの発熱部を有する機器や部品を挙げることができる。

　なお、本発明の熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の電子機器への使用方法の一例としては、ＬＥＤ光源を例にすると下記に記述するような使用方法を挙げることができる。すなわちＬＥＤ光源に直接貼り付ける；ＬＥＤ光源と放熱材料（ヒートシンク、ファン、ペルチェ素子、ヒートパイプ、グラファイトシート等）との間に挟みこむ；ＬＥＤ光源に接続された放熱材料（ヒートシンク、ファン、ペルチェ素子、ヒートパイプ、グラファイトシート等）に貼り付ける；ＬＥＤ光源を取り囲む筐体として使用する；ＬＥＤ光源を取り囲む筐体に貼り付ける；ＬＥＤ光源と筐体との隙間を埋める；等の方法である。ＬＥＤ光源の用途例としては、透過型の液晶パネルを有する表示装置のバックライト装置（テレビ、携帯、ＰＣ、ノートＰＣ、ＰＤＡ等）；車両用灯具；工業用照明；商業用照明；一般住宅用照明；等が挙げられる。

　また、ＬＥＤ光源以外の具体例としては、以下のものが挙げられる。すなわち、ＰＤＰパネル；ＩＣ発熱部；冷陰極管（ＣＣＦＬ）；有機ＥＬ光源；無機ＥＬ光源；高輝度発光ＬＥＤ光源；高輝度発光有機ＥＬ光源；高輝度発光無機ＥＬ光源；ＣＰＵ；ＭＰＵ；半導体素子；等である。

　更に本発明の熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の使用方法としては、装置の筐体に貼り付けること等を挙げることができる。例えば、自動車等に備えられる装置に使用する場合、自動車に備えられる筐体の内部に貼り付ける；自動車に備えられる筐体の外側に貼り付ける；自動車に備えられる筐体の内部にある発熱部（カーナビ／燃料電池／熱交換器）と該筐体とを接続する；自動車に備えられる筐体の内部にある発熱部（カーナビ／燃料電池／熱交換器）に接続した放熱板に貼り付ける；こと等が挙げられる。

　なお、自動車以外にも、同様の方法で本発明の熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）を使用することができる。その対象としては、例えばパソコン；住宅；テレビ；携帯電話機；自動販売機；冷蔵庫；太陽電池；表面伝導型電子放出素子ディスプレイ（ＳＥＤ）；有機ＥＬディスプレイ；無機ＥＬディスプレイ；有機ＥＬ照明；無機ＥＬ照明；有機ＥＬディスプレイ；ノートパソコン；ＰＤＡ；燃料電池；半導体装置；炊飯器；洗濯機；洗濯乾燥機；光半導体素子と蛍光体とを組み合わせた光半導体装置；各種パワーデバイス；ゲーム機；キャパシタ；等が挙げられる。

　更に、本発明の熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）は上記の使用方法に留まらず、用途に応じて他の方法で使用することも可能である。例えば、カーペットや温暖マット等の熱の均一化のために使用する；ＬＥＤ光源／熱源の封止剤として使用する；太陽電池セルの封止剤として使用する；太陽電池のバックシ－トとして使用する；太陽電池のバックシ－トと屋根との間に使用する；自動販売機内部の断熱層の内側に使用する；有機ＥＬ照明の筐体内部に、乾燥剤や吸湿剤と共に使用する；有機ＥＬ照明の筐体内部の熱伝導層及びその上に、乾燥剤や吸湿剤と共に使用する；有機ＥＬ照明の筐体内部の熱伝導層、放熱層、及びその上に、乾燥剤や吸湿剤と共に使用する；有機ＥＬ照明の筐体内部の熱伝導層、エポキシ系の放熱層、及びその上に、乾燥剤や吸湿剤と共に使用する；人や動物を冷やすための装置、衣類、タオル、シート等の冷却部材に対し、身体と反対の面に使用する；電子写真複写機、電子写真プリンタ等の画像成形装置に搭載する定着装置の加圧部材に使用する；電子写真複写機、電子写真プリンタ等の画像成形装置に搭載する定着装置の加圧部材そのものとして使用する；制膜装置の処理対象体を載せる熱流制御用伝熱部として使用する；制膜装置の処理対象体を載せる熱流制御用伝熱部に使用する；放射性物質格納容器の外層と内装の間に使用する；太陽光線を吸収するソーラパネルを設置したボックス体の中に使用する；ＣＣＦＬバックライトの反射シートとアルミシャーシの間に使用する；こと等を挙げることができる。

　以下に、実施例にて本発明をさらに詳しく説明するが、本発明は実施例に限定されるものではない。なお、ここで用いる「部」や「％」は、特に断らない限り、質量基準である。

　［評価方法（Ｉ）］
熱伝導性感圧接着層を片面に有する実施例１、２に係る熱伝導性感圧接着性積層シート、及び、比較例１～３で得られたシートの性能を、以下に示す方法で評価した。

　＜空気抜性＞
後に説明するようにして熱伝導性感圧接着性積層シート（以下、単に「シート」ということがある。）を作製後、１００ｍｍ×１００ｍｍの正方形にカットし、熱伝導性感圧接着層側の面が接するようにガラス板に載せ、熱拡散層側の面から荷重０．５ｇｆのローラーを１往復させてガラス板に貼りつけた。このとき、下記により算出される面積が１００ｍｍ^２以上となる空気溜まりが存在するか否かで評価した。下記により算出される面積が１００ｍｍ^２以上となる空気溜まりが存在しない場合を「○」、存在する場合を「×」として、その結果を表３に示した。この評価が「○」であれば、噛み込まれる空気が少なく、密着性及び外観品質に優れていると言える。
空気溜まりの面積の算出は、最も大きな空気溜まりを囲むことができる最も面積の小さい長方形を作図し、その長方形の面積を測定することにより算出した。

　＜熱拡散効果＞
後に説明するようにしてシートを作製後、２５ｍｍ×１２０ｍｍの大きさにカットし、断熱材の上に、熱伝導性感圧接着性積層シートを熱拡散層が下になるように載せ、さらにその上（熱伝導性感圧接着層側の面）に、厚さ０．０５ｍｍの両面テープを介して接触面積が２５ｍｍ×２５ｍｍとなるよう、２５ｍｍ×２５ｍｍの平板状のセラミックヒータを載せた。このとき、シートの短辺とセラミックヒータの一辺とを揃えるようにして載せた。その後、２３℃雰囲気下で、セラミックヒータに２０Ｖの電圧を付加し、６０分後にセラミックヒータとシートとを上面側からサーモビジョンで撮影した。セラミックヒータ表面温度の最も高温部の温度を測定し、その結果を表３に示した。本測定値が９０℃以下であれば熱拡散効果が高いと判断した。

　［熱伝導性感圧接着性積層シートの作製］
（実施例１）
反応器に、アクリル酸２－エチルヘキシル９４％とアクリル酸６％とからなる単量体混合物１００部、２，２’－アゾビスイソブチロニトリル０．０３部及び酢酸エチル７００部を入れて均一に溶解し、窒素置換後、８０℃で６時間重合反応を行った。重合転化率は９７％であった。得られた重合体を減圧乾燥して酢酸エチルを蒸発させ、粘性のある固体状の（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１－１）を得た。（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１－１）の重量平均分子量（Ｍｗ）は２７０，０００、重量平均分子量（Ｍｗ）／数平均分子量（Ｍｎ）は３．１であった。重量平均分子量（Ｍｗ）及び数平均分子量（Ｍｎ）は、テトラヒドロフランを溶離液とするゲルパーミエーションクロマトグラフィーにより、標準ポリスチレン換算で求めた。

　次に、アクリル酸２－エチルヘキシル（２ＥＨＡ）６９部と、有機過酸化物熱重合開始剤（１，６－ビス（ｔ－ブチルペルオキシカルボニルオキシ）ヘキサン（１分間半減期温度は１５０℃である。））１部と、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート及びペンタエリスリトールジアクリレートを６０：３５：５の割合で混合した、架橋剤である多官能性単量体（ライトアクリレートＰＥ－３Ａ、共栄社化学株式会社製）１部と、熱伝導性フィラー（Ｃ１）としての水酸化アルミニウム（日本軽金属株式会社製、商品名「ＢＦ－０８３」、平均粒径：８μｍ、ＢＥＴ比表面積：０．８ｍ^２／ｇ）３００部、及び、アルミナ（昭和電工株式会社製、商品名「ＡＬ－４７－Ｈ」、平均粒径：３μｍ、ＢＥＴ比表面積：１．１　ｍ^２／ｇ）３００部と、リン酸エステル（味の素ファインテクノ株式会社製、商品名「レオフォス６５」、化合物名「リン酸トリアリールイソプロピル化物」）８５部と、を電子天秤で計量し、これらを上記（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１－１）３０部と混合した。混合には、恒温槽（東機産業株式会社製、商品名「ビスコメイト　１５０ＩＩＩ」）及びホバートミキサー（株式会社小平製作所製、商品名「ＡＣＭ－５ＬＶＴ型」、容量：５Ｌ）を用いた。ホバート容器の温調は５０℃に設定し、真空（－０．１ＭＰａＧ）にして、回転数目盛を３にして３０分間攪拌し、前駆体組成物Ｚ１を得た。

　次に上記前駆体組成物Ｚ１を、厚さ７５μｍの離型ＰＥＴフィルム上に垂らし、当該前駆体組成物Ｚ１上にさらに、厚さ７５μｍの他の離型ＰＥＴフィルムを被せた。前駆体組成物Ｚ１が離型ＰＥＴフィルムに挟持されたこの積層体を、前駆体組成物Ｚ１（含架橋体高分子組成物（Ａ））の厚さが１ｍｍとなるように間隔を調整した２つのロールの間に通し、前駆体組成物Ｚ１をシート状に成形した。その後、当該積層体をオーブンに投入し、１２０℃で１５分間加熱し、引き続き、１５０℃で２５分間加熱した。これによって、（メタ）アクリル酸エステル単量体及び多官能性単量体を重合させ、またほぼ同時に、架橋剤である多官能性単量体により、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１－１）及び（メタ）アクリル酸エステル単量体由来の構造単位を含む重合体を架橋させることにより、離型フィルムに挟持された厚さ１ｍｍの含架橋体高分子組成物（Ａ）を得た。なお、含架橋体高分子組成物（Ａ）中の残存単量体量から、全単量体の重合転化率を計算したところ、９９．９％であった。

　次に、反応器に、３００質量部のトルエン、１質量部の酸化防止剤（ＡＯ－６０、株式会社ＡＤＥＫＡ製）及び１００質量部の含架橋体高分子組成物（Ａ）を入れ、含架橋体高分子組成物（Ａ）をトルエンに浸漬させた。その後、ホバートミキサー（小平製作所　商品名ＡＣＭ－５ＬＶＴ型）を用いて、回転数１０００ｒｐｍで３００分間撹拌し、４０１質量部の高分子ゲル含有分散液を作製した。

　次に、上記高分子ゲル含有分散液が入れられている反応器とは異なる反応器上に目開き２９９μｍの金属メッシュを固定し、金属メッシュの上に４０１質量部の高分子ゲル含有分散液を注ぎ、金属メッシュを通過させることにより、３８６質量部の濾液を作製した（すなわち、１５質量部が２９９μｍのメッシュを通過できなかった成分である）。なお、濾液の固形分濃度は２２．０％であった。
含架橋体高分子組成物（Ａ）を濾過した後に得られる濾液の一部を真空乾燥して濾過後含架橋体高分子組成物（Ｈ）を得た。濾過後含架橋体高分子組成物（Ｈ）について、ゲル分率を測定したところ、８９．５質量％であった。これにより、含架橋体高分子組成物（Ａ）の、目開き２３４μｍにて測定されるゲル分率は９１．１質量％であると計算される。

　次に、熱拡散層として２００ｍｍ×３００ｍｍにカットした厚さ２００μｍのアルミニウム箔の上に、上記濾液を厚さ２００μｍとなるように、バーコータを用いて塗工することにより塗布した。
　表２に使用したアルミニウム箔のＸＹ方向（面方向）の熱伝導率及び硬度のカタログ値を示す。

　次に、アルミニウム箔及び濾液の塗膜からなる積層体をオーブンに投入し、１５０℃で３０分間加熱した。この溶剤除去工程によって、濾液から溶剤を気化させることにより、アルミニウム箔の上に厚さ１００μｍの熱伝導性感圧接着層を形成し、アルミニウム箔（熱拡散層）の片面に熱伝導性感圧接着層が積層されてなる熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）を得た。

　（実施例２及び比較例１～３）
前駆体組成物に用いる各物質の配合を、実施例１で用いた表２の前駆体組成物Ｚ１に代えて前駆体組成物Ｚ２に変更し、基材層を厚さ１００μｍのグラファイトシート（熱拡散層；大成ラミネート株式会社製）に変更した以外は、実施例１と同様にして実施例２に係るシートを作製した。また、比較例１では、熱伝導性感圧接着層を積層せず、実施例１で使用したアルミニウム箔そのものに対して、上記評価を行った。また、前駆体組成物を実施例１で用いた前駆体組成物Ｚ１から前駆体組成物ＺＣ１に変更し、基材層を実施例２で使用したグラファイトシートに変更した以外は、実施例１と同様にして比較例２に係るシートを作製した。また、基材層を実施例１で用いたアルミニウム箔から厚さ１００μｍのＰＥＴフィルムに変更した以外は、実施例１と同様にして比較例３に係るシートを作製した。

　表３に示したように、実施例１及び２に係るシートは空気抜性及び熱拡散性に優れていた。一方、熱伝導性感圧接着層を有さない比較例１に係るシートは硬度が高いためガラス板に貼りつかず、空気抜性を評価することができなかった。また、熱拡散性にも劣るものであった。前駆体組成物が多官能性単量体を含んでいなかった比較例２に係るシートは、空気抜性及び熱拡散性に劣るものであった。熱拡散層の代わりにＰＥＴフィルム（面方向の熱伝導率０．２Ｗ／（ｍ・Ｋ））を使用した比較例３に係るシートは空気抜性には優れるものの熱拡散性に劣るものであった。

　［評価方法（ＩＩ）］
次に、熱伝導性感圧接着層を両面に有する実施例３、４に係る熱伝導性感圧接着性積層シート、及び、比較例４～６で得られたシートの性能を、以下に示す方法で評価した。

　＜空気抜性＞
後に説明するようにして表裏層として、熱伝導性感圧接着層１及び熱伝導性感圧接着層２を有する熱伝導性感圧接着性積層シート（以下、単に「シート」ということがある。）を作製後、１００ｍｍ×１００ｍｍの正方形にカットし、熱伝導性感圧接着層１又熱伝導性感圧接着層２の面が接するようにガラス板に載せ、上面から荷重０．５ｇｆのローラーを１往復させてガラス板に貼りつけた。このとき、下記により算出される面積が１００ｍｍ^２以上となる空気溜まりが存在するか否かで評価した。下記により算出される面積が１００ｍｍ^２以上となる空気溜まりが存在しない場合を「○」、存在する場合を「×」として、その結果を表４に示した。この評価が「○」であれば、噛み込まれる空気が少なく、密着性及び外観品質に優れていると言える。
空気溜まりの面積の算出は、最も大きな空気溜まりを囲むことができる最も面積の小さい長方形を作図し、その長方形の面積を測定することにより算出した。

　＜熱拡散効果＞
後に説明するようにしてシートを作製後、２５ｍｍ×１２０ｍｍの大きさにカットし、断熱材の上に、熱伝導性感圧接着性積層シートを熱伝導性感圧接着層１側の面が下になるように載せ、さらにその上（熱伝導性感圧接着層２側の面）に、厚さ０．０５ｍｍの両面テープを介して接触面積が２５ｍｍ×２５ｍｍとなるよう、２５ｍｍ×２５ｍｍの平板状のセラミックヒータを載せた。このとき、シートの短辺とセラミックヒータの一辺とを揃えるようにして載せた。その後、２３℃雰囲気下で、セラミックヒータに２０Ｖの電圧を付加し、６０分後にセラミックヒータとシートとを上面側からサーモビジョンで撮影した。セラミックヒータ表面温度の最も高温部の温度を測定し、その結果を表４に示した。本測定値が９０℃以下であれば熱拡散効果が高いと判断した。

　［熱伝導性感圧接着性積層シートの作製］
（実施例３）
実施例１と同様の方法で濾液（固形分濃度２２．０％）を作製した。次に、熱拡散層として２００ｍｍ×３００ｍｍにカットした厚さ２００μｍのアルミニウム箔（実施例１と同一）の上に、上記濾液を厚さ２００μｍとなるように、バーコータを用いて塗工することにより塗布した。

　次に、アルミニウム箔及び濾液の塗膜からなる積層体をオーブンに投入し、１５０℃で３０分間加熱した。この溶剤除去工程によって、濾液から溶剤を気化させることにより、アルミニウム箔の一方の面に厚さ１００μｍの熱伝導性感圧接着層を形成し、アルミニウム箔と熱伝導性感圧接着層１とからなる積層体を得た。

　次に、アルミニウム箔の他方の面（熱伝導性感圧接着層１が積層されている面と反対側の面）に、上記濾液を厚さ２００μｍとなるように、バーコータを用いて塗工することにより塗布した。

　次に、熱伝導性感圧接着層１、アルミニウム箔、及び、濾液の塗膜からなる積層体をオーブンに投入し、１５０℃で３０分間加熱した。この溶剤除去工程によって、濾液から溶剤を気化させることにより、アルミニウム箔の他方の面に厚さ１００μｍの熱伝導性感圧接着層２を形成し、中間層であるアルミニウム箔（熱拡散層）と表裏層である熱伝導性感圧接着層１、２とからなる熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）を得た。

　（実施例４及び比較例４～６）
熱伝導性感圧接着層１の材料となる前駆体組成物に用いる各物質の配合を、実施例３で用いた表２の前駆体組成物Ｚ１に代えて前駆体組成物Ｚ２に変更し、基材層をグラファイトシート（実施例２と同一）に変更した以外は、実施例３と同様にして実施例４に係るシートを作製した。また、比較例４では、熱伝導性感圧接着層１、２を積層せず、実施例３で使用したアルミニウム箔そのものに対して、上記評価を行った。また、熱伝導性感圧接着層２の材料となる前駆体組成物を実施例３で用いた前駆体組成物Ｚ１から前駆体組成物ＺＣ１に変更し、基材層を実施例４で使用したグラファイトシートに変更した以外は、実施例３と同様にして比較例５に係るシートを作製した。また、基材層を実施例３で用いたアルミニウム箔から厚さ１００μｍのＰＥＴフィルム（面方向の熱伝導率０．２Ｗ／（ｍ・Ｋ））に変更した以外は、実施例３と同様にして比較例６に係るシートを作製した。

　表４に示したように、実施例３及び４に係るシートは、熱伝導性感圧接着層１、２ともに空気抜性に優れ、熱拡散性にも優れていた。一方、熱伝導性感圧接着層を有さない比較例４に係るシートは硬度が高いためガラス板に貼りつかず、空気抜性を評価することができなかった。また、熱拡散性にも劣るものであった。比較例５に係るシートは、前駆体組成物が多官能性単量体を含んでいなかった熱伝導性感圧接着層２側の面の空気抜性に劣り、熱拡散効果にも劣っていた。熱拡散層であるアルミ箔の代わりにＰＥＴフィルムを使用した比較例６に係るシートは、熱伝導性感圧接着層１、２の空気抜性に優れるものの、熱拡散性に劣るものであった。

　１　含架橋体高分子組成物（Ａ）
　２　溶剤
　３　分散液
　４、４ａ、４ｂ　高分子ゲル
　５　高分子ゲル含有分散液
　６　メッシュ
　７　濾液
　８　熱拡散層
　９　熱伝導性感圧接着層
　１０、２０、１４、２４、３４　熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）
　１１　基板
　１２、２２ａ、２２ｂ、３２　発熱体
　１３、２３　放熱体

Claims

　面方向の熱伝導率が１０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上である熱拡散層と、熱伝導性感圧接着層と、を備えた熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の製造方法であって、
熱伝導性フィラー（Ｃ１）及び（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ０）を含有する含架橋体高分子組成物（Ａ）を、溶剤に浸漬し、撹拌して高分子ゲル含有分散液を作製する高分子ゲル含有分散液作製工程と、
前記高分子ゲル含有分散液を所定の目開きを有するメッシュでろ過して濾液を得る濾過工程と、
前記濾液を前記熱拡散層の片面に所定の厚さに塗布する塗布工程と、
前記熱拡散層上の前記濾液中の前記溶剤を除去して熱伝導性感圧接着層を得る溶剤除去工程と、
を含み、
前記所定の目開きが、前記所定の厚さの１．３倍以下であり、
　前記含架橋体高分子組成物（Ａ）を前記高分子ゲル含有分散液作製工程及び前記濾過工程に供して得られる濾液を乾燥してなる濾過後含架橋体高分子組成物（Ｈ）のゲル分率が７５質量％以上であることを特徴とする、
熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の製造方法。
　面方向の熱伝導率が１０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上である熱拡散層と、熱伝導性感圧接着層と、を備えた熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の製造方法であって、
熱伝導性フィラー（Ｃ１）及び（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ０）を含有する含架橋体高分子組成物（Ａ）を溶剤に浸漬し、撹拌して高分子ゲル含有分散液を作製する高分子ゲル含有分散液作製工程と、
前記高分子ゲル含有分散液を所定の目開きを有するメッシュでろ過して濾液を得る濾過工程と、
前記濾液を前記熱拡散層の一方の面に所定の厚さに塗布する第１塗布工程と、
前記熱拡散層の前記一方の面に塗布された前記濾液中の前記溶剤を除去して熱伝導性感圧接着層を得る第１溶剤除去工程と、
前記濾液を前記熱拡散層の他方の面に前記所定の厚さに塗布する第２塗布工程と、
前記熱拡散層の前記他方の面に塗布された前記濾液中の前記溶剤を除去して熱伝導性感圧接着層を得る第２溶剤除去工程と、
を含み、
前記所定の目開きが、前記所定の厚さの１．３倍以下であり、
　前記含架橋体高分子組成物（Ａ）を前記高分子ゲル含有分散液作製工程及び前記濾過工程に供して得られる濾液を乾燥してなる濾過後含架橋体高分子組成物（Ｈ）のゲル分率が７５質量％以上であることを特徴とする、
熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の製造方法。
　前記含架橋体高分子組成物（Ａ）が、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）と、（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）と、多官能性単量体（Ｂ１）と、熱伝導性フィラー（Ｃ１）と、を含む前駆体組成物において、少なくとも（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）の重合反応と、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）及び／又は（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）由来の構造単位を含む重合体の架橋反応と、を行うことにより得られるものである、請求項１又は２に記載の熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の製造方法。
　メッシュの所定の目開きが１０００μｍ以下であることを特徴とする、請求項１～３のいずれかに記載の熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の製造方法。
　請求項１～４のいずれかに記載の熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の製造方法により得られる熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）。
　請求項５に記載の熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）を備えた電子機器。