JP2015117341A - 熱伝導性感圧接着性積層シートの製造方法、熱伝導性感圧接着性積層シート、及び、電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】補強層を備える熱伝導性及び使用性に優れた熱伝導性感圧接着性積層シートの製造方法、該製造方法によって得られる熱伝導性感圧接着性積層シート、及び、該積層シートを備えた電子機器を提供。
【解決手段】補強層４２の片面にコロナ処理を施す工程と、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）及び（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）を含む（メタ）アクリル樹脂組成物（Ａ）を１００質量部と、熱伝導性フィラー（Ｂ）を１５０質量部以上１５００質量部以下とを含む混合組成物をシート状に成形した後、又はシート状に成形しながら、混合組成物を補強層のコロナ処理を施された面に接触させた状態で、少なくとも（α１）の重合反応を行うことによって熱伝導性感圧接着層４１を積層する熱伝導性感圧接着層積層工程と、を含み、補強層の厚さが１μｍ以上４０μｍ以下である、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）４０の製造方法。
【選択図】図１

Description

本発明は、熱伝導性感圧接着性積層シートの製造方法、該製造方法により得られる熱伝導性感圧接着性積層シート、及び、該熱伝導性感圧接着性積層シートを備えた電子機器に関する。

近年、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）、集積回路（ＩＣ）チップ等のような電子部品は、その高性能化に伴って発熱量が増大している。その結果、温度上昇による機能障害対策を講じる必要が生じている。一般的には、金属製のヒートシンク、放熱板、放熱フィン等の放熱体を電子部品等に備えられる発熱体に取り付けることによって放熱させる方法が採られている。発熱体から放熱体への熱伝導を効率よく行うためには、熱伝導性が高いシート状の部材（熱伝導性シート）を発熱体と放熱体との間に挟むことが行われている。

上記のような熱伝導性シートは、発熱体から放熱体へと熱を伝えることが主な目的であるため、熱伝導性を向上させるために、例えば、アルミナや水酸化アルミニウム等の熱伝導性を有するフィラーをアクリル系熱伝導材料に添加し、シート状に成形することが行われる。しかしながら、アルミナや水酸化アルミニウム等のフィラーを多量に添加すると熱伝導性シートが脆くなり、使用時にちぎれてしまうことがあった。このような問題は、電子部品等の小型化に対応して、あるいは、厚み方向の熱抵抗を低くすることを目的として熱伝導性シートの厚みを薄くした場合により顕著なものとなる。

そこで、使用時のちぎれを防止することが可能な強度を付与することを目的として、熱伝導性シートの片面に補強層を積層して用いることが提案されている。例えば、下記特許文献１には、熱伝導性粘着性シートの被着体と接する面とは反対の面を補強材を用いて補強し、粘着性シートと補強材とが密着した状態で被着体から引き剥がすことを特徴とする、粘着性シートの剥離方法に関する技術が開示されている。そして、特許文献１には、補強材を構成する好ましい材料として、可撓性の観点から、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムを用いることが開示されている。片面にＰＥＴからなる補強層を備えた熱伝導性シートは、通常、熱伝導性フィラーを含有する伝導材料を離型処理されたＰＥＴフィルムで挟み、加熱しながらロール等でシート状に成形後、片側のＰＥＴフィルムを取り除くことにより製造される。
以下、少なくとも片面に感圧接着性及び熱伝導性を有し、且つ積層体であるシートを、熱伝導性感圧接着性積層シートという。

特開２００７−１６９４１６号公報

上記特許文献１の補強材のような補強層は、熱伝導性感圧接着性積層シートの熱抵抗を低くする観点から出来るだけ薄い方が好ましい。しかしながら補強層の厚みを薄くした場合には、上記製造工程において加熱しながらシート状に成形する際に、ＰＥＴフィルムが加熱により膨張又は収縮することで、しわが生じてしまうことがあった。一方、製造時に発生するしわを防止するために補強層に所定の厚みを持たせた場合には、熱抵抗が高くなることに加えて、使用時に熱伝導性感圧接着性積層シートを折り曲げた際に、折れしわが生じてしまうことがあった。

そこで本発明は、一方の面に薄く、しわの無い補強層を備え、かつ、熱伝導性及び使用性に優れた熱伝導性感圧接着性積層シートの製造方法、該製造方法によって得られる熱伝導性感圧接着性積層シート、及び、該熱伝導性感圧接着性積層シートを備えた電子機器を提供する。

本発明の第１の態様は、熱伝導性及び感圧接着性を有する熱伝導性感圧接着層と、補強層と、を備えた熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の製造方法であって、補強層の片面にコロナ処理を施すコロナ処理工程と、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）及び（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）を含む（メタ）アクリル樹脂組成物（Ａ）を１００質量部と、熱伝導性フィラー（Ｂ）を１５０質量部以上１５００質量部以下と、を含む混合組成物をシート状に成形した後、又はシート状に成形しながら、混合組成物を補強層のコロナ処理を施された面に接触させた状態で、少なくとも（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）の重合反応を行うことによって補強層のコロナ処理を施された面に熱伝導性感圧接着層を積層する熱伝導性感圧接着層積層工程と、を含み、補強層の厚さが１μｍ以上４０μｍ以下である、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の製造方法である。

本明細書中において「（メタ）アクリル」とは、「アクリル、及び／又は、メタクリル」を意味する。また、「熱伝導性フィラー」とは、添加することによって熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の熱伝導性を向上させることができ、自身の熱伝導率が０．３Ｗ／ｍ・Ｋ以上であるフィラーを意味する。さらに、「（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）の重合反応」とは、（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）由来の構造単位を含む重合体を得る重合反応を意味する。

本発明の第２の態様は、上記本発明の第１の態様に係る熱伝導性積層シート（Ｆ）の製造方法により得られる熱伝導性積層シート（Ｆ）である。

本発明の第３の態様は、上記本発明の第２の態様に係る熱伝導性積層シート（Ｆ）を備えた電子機器である。

本発明によれば、一方の面に薄く、しわの無い補強層を備え、かつ、熱伝導性及び使用性に優れた熱伝導性感圧接着性積層シートの製造方法を提供することができる。また、該製造方法によって得られる熱伝導性感圧接着性積層シート、及び、該熱伝導性感圧接着性積層シートを備えた電子機器を提供することができる。

熱伝導性感圧接着性積層シート及び基材の層構成を概略的に示した図である。 熱伝導性感圧接着性積層シートの使用例を概略的に示した図である。

１．熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の製造方法
本製造方法により製造される熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）は、熱伝導性及び感圧接着性を有する熱伝導性感圧接着層と、補強層と、を備える。図１は、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）４０の層構成を概略的に示した図である。熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）４０は、熱伝導性及び感圧接着性を有する熱伝導性感圧接着層４１と、補強層４２と、を備えている。図１において、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）４０の両側には、本発明の製造方法に用いる基材４３、及び、本発明の製造方法において任意に用いることのできる基材４４が表れている。
以下、本発明の熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の製造方法（本製造方法と称することがある。）について説明する。

本製造方法は、補強層の片面にコロナ処理を施すコロナ処理工程と、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）及び（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）を含む（メタ）アクリル樹脂組成物（Ａ）を１００質量部と、熱伝導性フィラー（Ｂ）を１５０質量部以上１５００質量部以下と、を含む混合組成物をシート状に成形した後、又はシート状に成形しながら、混合組成物を補強層のコロナ処理を施された面に接触させた状態で、少なくとも（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）の重合反応を行うことによって、補強層のコロナ処理を施された面に熱伝導性感圧接着層を積層する熱伝導性感圧接着層積層工程と、を含む。以下、各工程について説明する。

１．１．コロナ処理工程
コロナ処理工程は、補強層４２の片面にコロナ処理を施す工程である。

＜補強層＞
コロナ処理工程で用いる補強層４２は、熱伝導性感圧接着層４１に積層され、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）４０の使用時のちぎれを防止することが可能な強度を付与する層である。補強層４２と熱伝導性感圧接着層４１との間には、本発明が意図する効果を妨げない範囲で他の層を介在させてもよい。

補強層４２は、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）４０の使用時に、熱伝導性感圧接着層４１がちぎれないように補強する目的で備えられる。また、補強層４２を備えることにより、熱伝導性感圧接着層４１の積層時に、熱伝導性感圧接着層４１の凝集力が多少不足した場合でも、シート形状を保つことができる。
補強層４２は、熱伝導性感圧接着層４１に追随して変形する必要があるため、可撓性を有することが好ましい。また、補強機能の観点から、引張強度が熱伝導性感圧接着層４１よりも大きいことが好ましい。さらに、熱伝導性感圧接着層４１から剥離しにくくする目的で、後述するコロナ処理を施す観点からは、コロナ処理により、表面改質が容易であることが好ましい。

上記条件を満たす補強層４２を構成する材料としては、紙；布；金属製の箔;ポリイミド；ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートなどのポリエステル；ポリテトラフルオロエチレンなどのフッ素樹脂；ポリエーテルケトン；ポリエーテルスルホン；ポリメチルペンテン；ポリエーテルイミド；ポリスルホン；ポリフェニレンスルフィド；ポリアミドイミド；ポリエステルイミド；ポリアミド；などを挙げることができる。これらの中でも安価で入手できるなどの観点からは、ポリエステル及びポリイミドが好ましく、ポリエチレンテレフタレート及びポリイミドがより好ましく、ポリエチレンテレフタレートが更に好ましい。なお、補強層４２は一種の材料で構成されていてもよく複数種の材料を組み合わせて構成されていてもよい。

補強層４２は、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）４０の熱伝導性を高くする観点、及び、使用時の折れしわを防止する観点から、薄い方が好ましい。ただし、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）４０に使用時のちぎれを防止することが可能な強度を備えさせる観点からは、補強層４２がある程度の厚さを有することが好ましい。よって、補強層４２の厚さは、１μｍ以上４０μｍ以下が好ましく、２μｍ以上３０μｍ以下がより好ましく、３μｍ以上２０μｍ以下が更に好ましい。

補強層４２は、通常、感圧接着性を有さない材料によって構成されている。そのため、補強層４２に接するように配置された発熱体または放熱体などを取り外す際、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）４０の表面が放熱体または発熱体に固着することを防止できるため、放熱体または発熱体などを固定しなおす場合でも熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）４０をそのまま再利用することが可能となる。ただし、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）４０を放熱体や発熱体などに固定する際には、ネジなどの固定部材を用いることが好ましい。なお、補強層４２は、感圧接着性を有する材料によって構成されていてもよい。
また、補強層４２は電気的絶縁性を有する材料によって構成されている場合には、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）４０に絶縁性を備えさせることができる。

＜コロナ処理＞
コロナ処理工程において、補強層４２の片面にコロナ処理が施される。補強層４２の片面にコロナ処理が施されていることにより、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）において、補強層４２のコロナ処理が施された面と接する熱伝導性感圧接着層４１と、補強層４２と、の密着性が向上し、使用時、及び、後述する基材除去工程において補強層４２から基材４３を取り除く際に、熱伝導性感圧接着層４１と補強層４２とが剥離することを防止することができる。
コロナ処理の条件は特定の範囲に限定されない。例えば、バッチコロナ処理機（例えば、春日電機（株）製ＣＯＲＯＮＡ ＧＥＮＥＲＡＴＯＲ ＣＴ−０２１２）を用いて、出力が０ｋＷより大きく２．０ｋＷ以下、搬送速度が０ｍ／分以上６．０ｍ／分以下、放電隙間が０．５ｍｍ以上２０ｍｍ以下の条件で行うことができる。出力は、好ましくは０．１５ｋＷ以上２．０ｋＷ以下である。搬送速度は、好ましくは０．５ｍ／分以上６．０ｍ／分以下である。放電隙間は、好ましくは２ｍｍ以上２０ｍｍ以下である。

１．２．基材積層工程
本発明の熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の製造方法においては、基材積層工程を、コロナ処理工程の後の工程として有していることが好ましい。
基材積層工程は、補強層４２のコロナ処理を施された面と反対側の面に基材４３を積層する工程である。補強層４２のコロナ処理を施された面と反対側の面に基材４３を積層することにより、後述する熱伝導性感圧接着層積層工程において、補強層４２を薄くした場合であっても、補強層４２にしわが発生することをより効果的に防止することができる。

基材４３は、熱伝導性感圧接着層積層工程において補強層４２にしわが発生することを防止し、所望により設ける、後述する基材除去工程において補強層４２から容易に取り除くことができるものであれば、特に限定されないが、ポリエステルフィルムなどの工程紙、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルムやポリエチレンナフタレートフィルムなどを用いることができる。中でも、ポリエチレンテレフタレートフィルムが好ましい。補強層４２と基材４３と積層する方法は、特に限定されないが、接着剤を用いた易接着処理等の公知の方法を適用することができる。

上記コロナ処理工程におけるコロナ処理、及び、基材積層工程における補強層４２と基材４３の積層は、順序を前後することは好ましくない。すなわち、補強層４２と基材４３とを積層した後に、補強層４２の基材４３が積層されている面とは反対側の面にコロナ処理を施すと、補強層４２から基材４３が除去できなくなる虞がある。
１．３．熱伝導性感圧接着層積層工程
熱伝導性感圧接着層積層工程は、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）及び（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）を含む（メタ）アクリル樹脂組成物（Ａ）を１００質量部と、熱伝導性フィラー（Ｂ）を１５０質量部以上１５００質量部以下と、を含む混合組成物をシート状に成形した後、又はシート状に成形しながら、混合組成物を補強層のコロナ処理を施された面に接触させた状態で、少なくとも（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）の重合反応を行うことによって、補強層４２のコロナ処理を施された面に熱伝導性感圧接着層を積層する工程である。熱伝導性感圧接着層積層工程において用いる（メタ）アクリル樹脂組成物（Ａ）及び熱伝導性フィラー（Ｂ）、ならびに、熱伝導性感圧接着層積層工程で積層される熱伝導性感圧接着層について以下に説明する。

＜（メタ）アクリル樹脂組成物（Ａ）＞
熱伝導性感圧接着層積層工程に用いる（メタ）アクリル樹脂組成物（Ａ）は、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）及び（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）を含んでおり、さらに後述する多官能性単量体を含んでいてもよい。なお、熱伝導性感圧接着層４１を得る際には、少なくとも（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）の重合反応が行われる。当該重合反応を行うことによって（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）由来の構造単位を含む重合体は（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）の成分と混合及び／又は一部結合する。

本発明において、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）及び（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）の使用割合は、（メタ）アクリル樹脂組成物（Ａ）を１００質量％として、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）が５質量％以上６０質量％以下、（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）が４０質量％以上９５質量％以下であることが好ましく、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）が１０質量％以上５０質量％以下、（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）が５０質量％以上８９．７質量％以下であることがより好ましい。（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）及び（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）の使用割合を上記範囲とすることによって、混合組成物を成形しやすくなる。

（（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１））
本発明に用いることができる（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）は特に限定されないが、ガラス転移温度が−２０℃以下となる単独重合体を形成する（メタ）アクリル酸エステル単量体の単位（ａ１）、及び、有機酸基を有する単量体単位（ａ２）を含有することが好ましい。

上記（メタ）アクリル酸エステル単量体の単位（ａ１）を与える（メタ）アクリル酸エステル単量体（ａ１ｍ）は特に限定されないが、例えば、アクリル酸エチル（単独重合体のガラス転移温度は、−２４℃）、アクリル酸ｎ−プロピル（同−３７℃）、アクリル酸ｎ−ブチル（同−５４℃）、アクリル酸ｓｅｃ−ブチル（同−２２℃）、アクリル酸ｎ−ヘプチル（同−６０℃）、アクリル酸ｎ−ヘキシル（同−６１℃）、アクリル酸ｎ−オクチル（同−６５℃）、アクリル酸２−エチルヘキシル（同−５０℃）、メタクリル酸ｎ−オクチル（同−２５℃）、メタクリル酸ｎ−デシル（同−４９℃）などの、ガラス転移温度が−２０℃以下となる単独重合体を形成する（メタ）アクリル酸アルキルエステル；アクリル酸２−メトキシエチル（同−５０℃）、アクリル酸３−メトキシプロピル（同−７５℃）、アクリル酸３−メトキシブチル（同−５６℃）、アクリル酸エトキシメチル（同−５０℃）などの、ガラス転移温度が−２０℃以下となる単独重合体を形成する（メタ）アクリル酸アルコキシアルキルエステル；などを挙げることができる。中でも、ガラス転移温度が−２０℃以下となる単独重合体を形成する（メタ）アクリル酸アルキルエステル、ガラス転移温度が−２０℃以下となる単独重合体を形成する（メタ）アクリル酸アルコキシアルキルエステルが好ましく、ガラス転移温度が−２０℃以下となる単独重合体を形成する（メタ）アクリル酸アルキルエステルがより好ましく、アクリル酸２−エチルヘキシルがさらに好ましい。

これらの（メタ）アクリル酸エステル単量体（ａ１ｍ）は、一種を単独で使用してもよく、二種以上を併用してもよい。

（メタ）アクリル酸エステル単量体（ａ１ｍ）は、それから導かれる単量体単位（ａ１）が、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）中、好ましくは８０質量％以上９９．９質量％以下、より好ましくは８５質量％以上９９．５質量％以下となるような量で重合に供する。（メタ）アクリル酸エステル単量体（ａ１ｍ）の使用量が上記範囲内であると、重合時の重合系の粘度を適正な範囲に保つことが容易になる。

次に、有機酸基を有する単量体単位（ａ２）について説明する。有機酸基を有する単量体単位（ａ２）を与える単量体（ａ２ｍ）は特に限定されないが、その代表的なものとして、カルボキシル基、酸無水物基、スルホン酸基などの有機酸基を有する単量体を挙げることができる。また、これらのほか、スルフェン酸基、スルフィン酸基、燐酸基などを含有する単量体も使用することができる。

カルボキシル基を有する単量体の具体例としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸などのα，β−エチレン性不飽和モノカルボン酸や、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸などのα，β−エチレン性不飽和多価カルボン酸の他、イタコン酸モノメチル、マレイン酸モノブチル、フマル酸モノプロピルなどのα，β−エチレン性不飽和多価カルボン酸部分エステルなどを挙げることができる。また、無水マレイン酸、無水イタコン酸などの、加水分解などによりカルボキシル基に誘導することができる基を有するものも同様に使用することができる。

スルホン酸基を有する単量体の具体例としては、アリルスルホン酸、メタリルスルホン酸、ビニルスルホン酸、スチレンスルホン酸、アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸などのα，β−不飽和スルホン酸、及び、これらの塩を挙げることができる。

単量体（ａ２ｍ）としては、上に例示した有機酸基を有する単量体のうち、カルボキシル基を有する単量体がより好ましく、α，β−エチレン性不飽和モノカルボン酸がさらに好ましく、（メタ）アクリル酸が特に好ましい。これらの単量体は工業的に安価で容易に入手することができ、他の単量体成分との共重合性も良く、生産性の点でも好ましい。なお、単量体（ａ２ｍ）は、一種を単独で使用してもよく、二種以上を併用してもよい。

有機酸基を有する単量体（ａ２ｍ）は、それから導かれる単量体単位（ａ２）が（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）中、好ましくは０．１質量％以上２０質量％以下、より好ましくは０．５質量％以上１５質量％以下となるような量で重合に供する。有機酸基を有する単量体（ａ２ｍ）の使用量が上記範囲内であると、重合時の重合系の粘度を適正な範囲に保つことが容易になる。

なお、有機酸基を有する単量体単位（ａ２）は、前述のように、有機酸基を有する単量体（ａ２ｍ）の重合によって、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）中に導入するのが簡便であり好ましいが、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）生成後に、公知の高分子反応により、有機酸基を導入してもよい。

また、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）は、有機酸基以外の官能基を有する単量体（ａ３ｍ）から誘導される単量体単位（ａ３）を含有していてもよい。上記有機酸基以外の官能基としては、水酸基、アミノ基、アミド基、エポキシ基、メルカプト基などを挙げることができる。

水酸基を有する単量体としては、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸３−ヒドロキシプロピルなどの、（メタ）アクリル酸ヒドロキシアルキルエステルなどを挙げることができる。

アミノ基を有する単量体としては、（メタ）アクリル酸Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノメチル、（メタ）アクリル酸Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル、アミノスチレンなどを挙げることができる。

アミド基を有する単量体としては、アクリルアミド、メタクリルアミド、Ｎ−メチロールアクリルアミド、Ｎ−メチロールメタクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアクリルアミドなどのα，β−エチレン性不飽和カルボン酸アミド単量体などを挙げることができる。

エポキシ基を有する単量体としては、（メタ）アクリル酸グリシジル、アリルグリシジルエーテルなどを挙げることができる。

有機酸基以外の官能基を有する単量体（ａ３ｍ）は、一種を単独で使用してもよく、二種以上を併用してもよい。

これらの有機酸基以外の官能基を有する単量体（ａ３ｍ）は、それから導かれる単量体単位（ａ３）が、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）中、１０質量％以下となるような量で重合に使用することが好ましい。１０質量％以下の単量体（ａ３ｍ）を使用することにより、重合時の重合系の粘度を適正な範囲に保つことが容易になる。

（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）は、上述したガラス転移温度が−２０℃以下となる単独重合体を形成する（メタ）アクリル酸エステル単量体単位（ａ１）、有機酸基を有する単量体単位（ａ２）、及び、有機酸基以外の官能基を有する単量体単位（ａ３）以外に、上述した単量体と共重合可能な単量体（ａ４ｍ）から誘導される単量体単位（ａ４）を含有していてもよい。

単量体（ａ４ｍ）は、特に限定されないが、その具体例として、上記（メタ）アクリル酸エステル単量体（ａ１ｍ）以外の（メタ）アクリル酸エステル単量体、α，β−エチレン性不飽和多価カルボン酸完全エステル、アルケニル芳香族単量体、シアン化ビニル単量体、カルボン酸不飽和アルコールエステル、オレフィン系単量体などを挙げることができる。

上記（メタ）アクリル酸エステル単量体（ａ１ｍ）以外の（メタ）アクリル酸エステル単量体の具体例としては、アクリル酸メチル（単独重合体のガラス転移温度は、１０℃）、メタクリル酸メチル（同１０５℃）、メタクリル酸エチル（同６３℃）、メタクリル酸ｎ−プロピル（同２５℃）、メタクリル酸ｎ−ブチル（同２０℃）などを挙げることができる。

α，β−エチレン性不飽和多価カルボン酸完全エステルの具体例としては、フマル酸ジメチル、フマル酸ジエチル、マレイン酸ジメチル、マレイン酸ジエチル、イタコン酸ジメチルなどを挙げることができる。

アルケニル芳香族単量体の具体例としては、スチレン、α−メチルスチレン、メチルα−メチルスチレン、及びビニルトルエンなどを挙げることができる。

シアン化ビニル単量体の具体例としては、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、α−エチルアクリロニトリルなどを挙げることができる。

カルボン酸不飽和アルコールエステル単量体の具体例としては、酢酸ビニルなどを挙げることができる。

オレフィン系単量体の具体例としては、エチレン、プロピレン、ブテン、ペンテンなどを挙げることができる。

単量体（ａ４ｍ）は、一種を単独で使用してもよく、二種以上を併用してもよい。

単量体（ａ４ｍ）は、それから導かれる単量体単位（ａ４）の量が、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）中、好ましくは１０質量％以下、より好ましくは５質量％以下となるような量で重合に供する。

（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）は、上述した、ガラス転移温度が−２０℃以下となる単独重合体を形成する（メタ）アクリル酸エステル単量体（ａ１ｍ）、有機酸基を有する単量体（ａ２ｍ）、必要に応じて使用する、有機酸基以外の官能基を含有する単量体（ａ３ｍ）、及び、必要に応じて使用するこれらの単量体と共重合可能な単量体（ａ４ｍ）を共重合することによって特に好適に得ることができる。

（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）を得る際の重合方法は特に限定されず、溶液重合、乳化重合、懸濁重合、塊状重合などのいずれであってもよく、これら以外の方法でもよい。ただしこれらの重合方法の中で溶液重合が好ましく、中でも重合溶媒として、酢酸エチル、乳酸エチルなどのカルボン酸エステルやベンゼン、トルエン、キシレンなどの芳香族溶媒を用いた溶液重合がより好ましい。重合に際して、単量体は、重合反応容器に分割添加してもよいが、全量を一括添加するのが好ましい。重合開始の方法は、特に限定されないが、重合開始剤として熱重合開始剤を用いるのが好ましい。当該熱重合開始剤は特に限定されず、例えば過酸化物重合開始剤やアゾ化合物重合開始剤を用いることができる。

過酸化物重合開始剤としては、ｔ−ブチルヒドロペルオキシドのようなヒドロペルオキシドや、ベンゾイルペルオキシド、シクロヘキサノンペルオキシドのようなペルオキシドの他、過硫酸カリウム、過硫酸ナトリウム、過硫酸アンモニウムなどの過硫酸塩などを挙げることができる。これらの過酸化物は、還元剤と適宜組み合わせて、レドックス系触媒として使用することもできる。

アゾ化合物重合開始剤としては、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル、２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）、２，２’−アゾビス（２−メチルブチロニトリル）などを挙げることができる。

重合開始剤の使用量は特に限定されないが、単量体１００質量部に対して０．０１質量部以上５０質量部以下の範囲であることが好ましい。

これらの単量体のその他の重合条件（重合温度、圧力、撹拌条件など）は、特に制限がない。

重合反応終了後、必要により、得られた重合体を重合媒体から分離する。分離の方法は特に限定されない。例えば、溶液重合の場合、重合溶液を減圧下に置き、重合溶媒を留去することによって、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）を得ることができる。

（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）の重量平均分子量（Ｍｗ）は、ゲルパーミエーションクロマトグラフ法（ＧＰＣ法）で測定して、標準ポリスチレン換算で１０００以上１００万以下の範囲にあることが好ましく、１０万以上５０万以下の範囲にあることが、より好ましい。（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）の重量平均分子量は、重合の際に使用する重合開始剤の量や、連鎖移動剤の量を適宜調整することによって制御することができる。

（（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１））
（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）は、（メタ）アクリル酸エステル単量体を含有するものであれば特に限定されないが、ガラス転移温度が−２０℃以下となる単独重合体を形成する（メタ）アクリル酸エステル単量体（ａ５ｍ）を含有するものであることが好ましい。

ガラス転移温度が−２０℃以下となる単独重合体を形成する（メタ）アクリル酸エステル単量体（ａ５ｍ）の例としては、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）の合成に用いる（メタ）アクリル酸エステル単量体（ａ１ｍ）と同様の（メタ）アクリル酸エステル単量体を挙げることができる。（メタ）アクリル酸エステル単量体（ａ５ｍ）は、一種を単独で使用してもよく、二種以上を併用してもよい。

（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）における（メタ）アクリル酸エステル単量体（ａ５ｍ）の比率は、好ましくは５０質量％以上１００質量％以下、より好ましくは７５質量％以上１００質量％以下である。（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）における（メタ）アクリル酸エステル単量体（ａ５ｍ）の比率を上記範囲とすることによって、感圧接着性や柔軟性に優れた熱伝導性感圧接着層４１を得やすくなる。

また、（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）は、ガラス転移温度が−２０℃以下となる単独重合体を形成する（メタ）アクリル酸エステル単量体（ａ５ｍ）、及び、これらと共重合可能な有機酸基を有する単量体（ａ６ｍ）の混合物としてもよい。

上記単量体（ａ６ｍ）の例としては、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）の合成に用いる単量体（ａ２ｍ）として例示したものと同様の有機酸基を有する単量体を挙げることができる。単量体（ａ６ｍ）は、一種を単独で使用してもよく、二種以上を併用してもよい。

（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）における単量体（ａ６ｍ）の比率は、３０質量％以下が好ましく、より好ましくは１０質量％以下である。（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）における単量体（ａ６ｍ）の比率を上記範囲とすることによって、感圧接着性や柔軟性に優れた熱伝導性感圧接着層４１を得やすくなる。

（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）は、（メタ）アクリル酸エステル単量体（ａ５ｍ）及び所望により共重合させることができる有機酸基を有する単量体（ａ６ｍ）の他に、これらと共重合可能な単量体（ａ７ｍ）も含む混合物としてもよい。

上記単量体（ａ７ｍ）の例としては、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）の合成に用いる単量体（ａ３ｍ）、及び単量体（ａ４ｍ）として例示したものと同様の単量体を挙げることができる。単量体（ａ７ｍ）は、一種を単独で使用してもよく、二種以上を併用してもよい。

（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）における単量体（ａ７ｍ）の比率は、２０質量％以下であることが好ましく、１５質量％以下であることがより好ましい。

（多官能性単量体）
本発明において、（メタ）アクリル樹脂組成物（Ａ）には多官能性単量体も用いることができる。通常、ラジカル熱重合などの重合時には、多官能性単量体を用いずともある程度の架橋反応は進行する。しかしながら、より確実にしかも所望の量の架橋構造を形成させるためには多官能性単量体を用いてもよい。

本発明に用いることができる多官能性単量体としては、（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）に含まれる単量体と共重合可能なものを用いる。また、当該多官能性単量体は重合性不飽和結合を複数有しており、該不飽和結合を末端に有することが好ましい。このような多官能性単量体を用いることによって、共重合体に分子内及び／又は分子間架橋を導入して、感圧接着剤としての凝集力を高めることができる。

多官能性単量体としては、例えば１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，２−エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，１２−ドデカンジオールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートなどの多官能性（メタ）アクリレートや、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ｐ−メトキシスチレン−５−トリアジンなどの置換トリアジンの他、４−アクリルオキシベンゾフェノンのようなモノエチレン系不飽和芳香族ケトンなどを用いることができる。多官能性（メタ）アクリレートが好ましく、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレートがより好ましい。多官能性単量体は、一種を単独で使用してもよく、二種以上を併用してもよい。

多官能性単量体の使用量は、（メタ）アクリル樹脂組成物（Ａ）を１００質量％として、１０質量％以下であることが好ましく、０．３質量％以上８質量％以下であることがより好ましい。多官能性単量体の使用量を上記範囲とすることによって、熱伝導性感圧接着層４１に適正な凝集力を付与し易くなる。

＜重合開始剤＞
熱伝導性感圧接着層積層工程において熱伝導性感圧接着層４１を積層する際、上述したように（メタ）アクリル樹脂組成物（Ａ）に含まれる成分が重合する。当該重合反応を促進するため、重合開始剤を用いることが好ましい。当該重合開始剤としては、光重合開始剤、アゾ系熱重合開始剤、有機過酸化物熱重合開始剤などが挙げられる。ただし、得られる熱伝導性感圧接着層４１に強い接着力を付与する等の観点からは、有機過酸化物熱重合開始剤を用いることが好ましい。

光重合開始剤としては、公知の各種光重合開始剤を用いることができる。その中でも、アシルホスフィンオキサイド系化合物が好ましい。好ましい光重合開始剤であるアシルホスフィンオキサイド系化合物としては、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイドなどが挙げられる。

アゾ系熱重合開始剤としては、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル、２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）、２，２’−アゾビス（２−メチルブチロニトリル）などが挙げられる。

有機過酸化物熱重合開始剤としては、ｔ−ブチルヒドロペルオキシドのようなヒドロペルオキシドや、ベンゾイルペルオキシド、シクロヘキサノンペルオキシド、１，６−ビス（ｔ−ブチルペルオキシカルボニルオキシ）ヘキサン、１，１−ビス（ｔ−ブチルペルオキシ）−３，３，５−トリメチルシクロヘキサノンのようなペルオキシドなどを挙げることができる。ただし、熱分解時に臭気の原因となる揮発性物質を放出しないものが好ましい。また、有機過酸化物熱重合開始剤の中でも、１分間半減期温度が１００℃以上かつ１７０℃以下のものが好ましい。

上記重合開始剤の使用量は、（メタ）アクリル樹脂組成物（Ａ）１００質量部に対して０．０１質量部以上１０質量部以下であることが好ましく、０．１質量部以上５質量部以下であることがより好ましく、０．３質量部以上２質量部以下であることがさらに好ましい。
重合開始剤の使用量を上記範囲とすることによって、（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）の重合転化率を適正な範囲にし易くなり、熱伝導性感圧接着層４１に単量体臭が残ることを防止し易くなる。
なお、（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）の重合転化率は、９５質量％以上であることが好ましい。（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）の重合転化率が９５質量％以上であれば、熱伝導性感圧接着層４１に単量体臭が残ることを防止し易くなる。
また、重合開始剤の使用量を上記範囲とすることによって、重合反応が過度に進行して熱伝導性感圧接着層４１が平滑なシート状にならずに表面に凹凸やピンホールが発生するという事態を防止し易くなる。

＜熱伝導性フィラー（Ｂ）＞
次に熱伝導性フィラー（Ｂ）について説明する。本発明に用いる熱伝導性フィラー（Ｂ）は、添加することによって熱伝導性感圧接着層４１の熱伝導性を向上させることができ、熱伝導率が０．３Ｗ／ｍ・Ｋ以上である無機化合物である。

熱伝導性フィラー（Ｂ）の具体例としては、水酸化アルミニウム、水酸化ガリウム、水酸化インジウム、水酸化マグネシウム、水酸化カルシウム、水酸化ストロンチウム、水酸化バリウムなどの金属水酸化物；酸化アルミニウム（アルミナ）、酸化マグネシウム、酸化亜鉛などの金属酸化物；炭酸カルシウム、炭酸アルミニウムなどの金属炭酸塩；窒化ホウ素、窒化アルミニウムなどの金属窒化物；ホウ酸亜鉛水和物；カオリンクレー；アルミン酸カルシウム水和物；ドーソナイト；シリカ；膨張化黒鉛粉、人造黒鉛、カーボンブラック、炭素繊維などの、炭素含有導電性フィラー；等を挙げることができる。中でも金属水酸化物及び金属酸化物が好ましく、金属水酸化物がより好ましく、水酸化アルミニウム及び酸化アルミニウム（アルミナ）がより好ましく、水酸化アルミニウムがさらに好ましい。熱伝導性フィラー（Ｂ）は一種を単独で使用してもよく、二種以上を併用してもよい。

熱伝導性感圧接着層４１に用いる熱伝導性フィラー（Ｂ）の量は、（メタ）アクリル樹脂組成物（Ａ）１００質量部に対して、１５０質量部以上１５００質量部以下であり、２００質量部以上１３００質量部以下であることが好ましく、３５０質量部以上１０００質量部以下であることがより好ましい。熱伝導性フィラー（Ｂ）の含有量を上記下限以上とすることによって、熱伝導性感圧接着層４１の熱伝導性を向上させる効果を発揮しやすくなる。一方、熱伝導性フィラー（Ｂ）の含有量を上記上限以下とすることによって、熱伝導性感圧接着層４１の前駆体である混合組成物の粘度が過度に高くなることを抑制しやすくなる。そのため、熱伝導性感圧接着層４１を積層し難くなったり、積層できたとしても熱伝導性感圧接着層４１の硬度が増大して形状追随性（被着体への密着性）が低下したりするという事態を防ぐことができる。

なお、本発明において「ＢＥＴ比表面積」とは、以下の方法で計測したものを意味する。まず、窒素及びヘリウムの混合ガスをＢＥＴ比表面積測定装置内に導入し、試料（ＢＥＴ比表面積の測定対象物）を入れた試料セルを液体窒素に浸して、窒素ガスを試料表面に吸着させる。吸着平衡に達した後、試料セルを水浴に入れ常温まで温め、試料に付着していた窒素を脱着させる。窒素ガスの吸着、脱着時に試料セルを通過する前後のガスの混合比は変化するので、この変化を窒素及びヘリウムの混合比が一定のガスを対照として熱伝導度検出器（ＴＣＤ）で検知し、窒素ガスの吸着量及び脱着量を求める。測定前に単位量の窒素ガスを装置内に導入してキャリブレーションを行い、ＴＣＤで検出した値に対応する表面績の値を求めておくことにより、その試料の表面積を求める。そして、求めた表面積をその試料の質量で除すことにより、ＢＥＴ比表面積を求めることができる。

＜リン酸エステル＞
熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）４０の難燃性を向上させる等の観点から、熱伝導性感圧接着層４１は、リン酸エステルを含有していてもよい。リン酸エステルを含有することによって、熱伝導性感圧接着層４１に優れた難燃性を付与し易くなる。

本発明に用いるリン酸エステルは、２５℃における粘度が３０００ｍＰａ・ｓ以上であることが好ましい。リン酸エステルの粘度を上記範囲とすることで、熱伝導性感圧接着層４１の成形性の悪化を抑制できる。なお、本発明においてリン酸エステルの「粘度」とは、以下に説明する方法によって測定した粘度を意味する。

（リン酸エステルの粘度測定方法）
リン酸エステルの粘度測定には、Ｂ型粘度計（東京計器株式会社製）を用いて、以下に示す手順で行う。
（１）常温の環境でリン酸エステルを３００ｍｌ計量し、５００ｍｌの容器に入れる。
（２）攪拌用ロータＮｏ．１、２、３、４、５、６、７から、いずれかを選択し、粘度計に取り付ける。
（３）リン酸エステルが入った容器を粘度計の上に置き、ロータを該容器内の縮合リン酸エステルに沈める。このとき、ロータの目印となる凹みが丁度、リン酸エステルの液状界面にくるように沈める。
（４）回転数を２０、１０、４、２の中から選択する。
（５）攪拌スイッチを入れ、１分後の数値を読み取る。
（６）読み取った数値に、係数Ａを掛け算した値が粘度［ｍＰａ・ｓ］となる。
なお、係数Ａは、下記表１に示すように、選択したロータＮｏ．と回転数とから決まる。

また、本発明に用いるリン酸エステルは、大気圧下での１５℃以上１００℃以下の温度領域において常に液体であることが好ましい。リン酸エステルが混合する際に液体であれば、作業性が良く、熱伝導性感圧接着層４１を積層することが容易になる。リン酸エステルを含んだ熱伝導性感圧接着層４１を積層する際、１５℃以上１００℃以下の環境で、熱伝導性感圧接着層４１の前駆体である混合組成物を構成する各物質を混合することが好ましい。混合時の温度を上記範囲とすることによって、（メタ）アクリル樹脂組成物（Ａ）のガラス転移温度以上とし、（メタ）アクリル樹脂組成物（Ａ）に含まれる単量体等の揮発あるいは重合反応が始まってしまうことを防止し易くなるため、環境性及び作業性を良くすることができる。

本発明には、リン酸エステルとして、縮合リン酸エステルも非縮合リン酸エステルも用いることができる。ここでいう「縮合リン酸エステル」とは、１分子内にリン酸エステル部位が複数存在するものを意味し、「非縮合リン酸エステル」とは、１分子内にリン酸エステル部位が１つだけ存在するものを意味する。これまでに説明した条件を満たすリン酸エステルの具体例を以下に列記する。

縮合リン酸エステルの具体例としては、１，３−フェニレンビス（ジフェニルホスフェート）、ビスフェノールＡビス（ジフェニルホスフェート）、レゾルシノールビス（ジフェニルホスフェート）などの芳香族縮合リン酸エステル；ポリオキシアルキレンビスジクロロアルキルホスフェートなどの含ハロゲン系縮合リン酸エステル；非芳香族非ハロゲン系縮合リン酸エステル；などが挙げられる。これらの中でも、比重が比較的小さく、有害物質（ハロゲンなど）の放出の危険がなく、入手も容易であることなどから、芳香族縮合リン酸エステルが好ましく、１，３−フェニレンビス（ジフェニルホスフェート）、ビスフェノールＡビス（ジフェニルホスフェート）がより好ましい。

非縮合リン酸エステルの具体例としては、トリフェニルホスフェート、トリクレジルホスフェート、トリキシレニルホスフェート、クレジルジフェニルホスフェート、クレジル−２，６−キシレニルホスフェート、２−エチルヘキシルジフェニルホスフェートなどの芳香族リン酸エステル；トリス（β−クロロプロピル）ホスフェート、トリスジクロロプロピルホスフェート、トリス（トリブロモネオペンチル）ホスフェートなどの含ハロゲン系リン酸エステル；などが挙げられる。この中でも、有害物質（ハロゲンなど）が発生しないことなどから、芳香族リン酸エステルが好ましい。

リン酸エステルは、一種を単独で用いてもよく、二種以上を併用してもよい。

熱伝導性感圧接着層４１に含有させるリン酸エステルの量は、（メタ）アクリル樹脂組成物（Ａ）を１００質量部として、１２０質量部以下であることが好ましく、１００質量部以下であることがより好ましい。リン酸エステルの含有量を上記範囲とすることによって、熱伝導性感圧接着層４１の感圧接着性を維持しやすくなる。

＜その他の添加剤＞
熱伝導性感圧接着層４１には、感圧接着性や熱伝導性等の求められる性能を満足できる範囲で、これまでに説明した物質以外にも公知の各種添加剤を添加することができる。
公知の添加剤としては、発泡剤（発泡助剤を含む。）；上述した熱伝導性フィラー（Ｂ）を除いた金属の水酸化物や金属塩水和物などの熱伝導性フィラー；ガラス繊維；ＰＩＴＣＨ系炭素繊維などの、上述した熱伝導性フィラー（Ｂ）を除いた熱伝導性無機化合物；外部架橋剤；二酸化チタンなど顔料；クレーなどのその他の充填材；フラーレン、カーボンナノチューブなどのナノ粒子；ポリフェノール系、ハイドロキノン系、ヒンダードアミン系などの酸化防止剤；アクリル系ポリマー粒子などの増粘剤；などを挙げることができる。

＜熱伝導性感圧接着層４１＞
熱伝導性感圧接着層４１は、熱伝導性感圧接着層の前駆体である混合組成物を構成する上述した物質を混合して混合組成物を作製した後、混合組成物をシート状に成形した後、又はシート状に成形しながら、少なくとも（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）の重合反応が行われて形成される層である。

熱伝導性感圧接着層４１の厚さは特に限定されないが、熱伝導性感圧接着層４１を薄く形成することによって、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）４０の厚み方向の熱抵抗を低くすることができる。一方、熱伝導性感圧接着層４１にある程度の厚さをもたせることによって、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）４０の取り扱いが容易になる。これらの観点から、熱伝導性感圧接着層４１の厚さは０．０５ｍｍ以上５ｍｍ以下にすることが好ましく、０．１ｍｍ以上４．５ｍｍ以下であることがより好ましく、０．１ｍｍ以上３ｍｍ以下であることが更に好ましい。

熱伝導性感圧接着層積層工程において、補強層４２のコロナ処理を施された面に熱伝導性感圧接着層４１を積層する際は、混合組成物と補強層４２のコロナ処理を施された面とを接触させた状態で該混合組成物をシート状に成形し、その状態で、少なくとも（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）の重合反応を行うことによって、補強層４２のコロナ処理を施された面に該熱伝導性感圧接着層４１を積層することが好ましい。

熱伝導性感圧接着層積層工程において、上記重合反応を行う際には加熱することが好ましい。当該加熱には、例えば、熱風、電気ヒーター、赤外線などを用いることができる。このときの加熱温度は、重合開始剤が効率良く分解し、（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）の重合が進行する温度が好ましい。温度範囲は、用いる重合開始剤の種類等により異なるが、１００℃以上２００℃以下が好ましく、１２０℃以上１８０℃以下がより好ましい。

また、熱伝導性感圧接着層積層工程において、熱伝導性感圧接着層４１の前駆体である混合組成物をシート状に成形する方法は特に限定されない。好適な方法としては、例えば、図１に表れているように、任意の基材４４と補強層４２との間に上記混合組成物を挟んでシート状に成形する方法、このようにして挟んだ混合組成物を２つのロールの間に通して押圧することでシート状に成形する方法、及び、押出機を用いて上記混合組成物を押出し、その際にダイスを通して厚さを制御することでシート状に成形する方法などが挙げられる。
任意の基材４４としては、使用時に熱伝導性感圧接着層４１から容易に取り除くことができるものであれば特に限定されないが、基材４３と同様のものを用いることができ、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルムを好ましく用いることができる。熱伝導性感圧接着層積層工程において任意の基材４４を用いる場合には、製造後の熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）において、熱伝導性感圧接着層４１が基材４４に覆われるため、基材４４は保護層として機能する。使用に際しては、基材４４を取り除き、接着面となる熱伝導性感圧接着層４１を露出させて使用することができる。

１．４．基材除去工程
本発明の熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の製造方法において上述した基材積層工程を設けた場合、熱伝導性感圧接着層積層工程の後に、基材除去工程を有することが好ましい。
基材除去工程は、基材４３を取り除く工程であり、詳細には、補強層４２に積層されている基材４３を、補強層４２から取り除く工程である。上述のように、基材４３は、ポリエチレンテレフタレートフィルム等の、補強層４２から容易に取り除くことができるものであるため、剥離等により容易に取り除くことが可能である。本製造方法においては、コロナ処理工程において補強層４２の片面（熱伝導性感圧接着層４１と接する面）にコロナ処理が施されており、熱伝導性感圧接着層４１と補強層４２との密着性が向上しているため、補強層４２から基材４３を取り除く際に、熱伝導性感圧接着層４１と補強層４２とが剥離することを防止することができる。

２．使用例
本発明の熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）は、熱伝導層の熱伝導性が高く、且つ熱伝導性感圧接着層が感圧接着性を有しているため、発熱体と放熱体との間に介在させて、発熱体から放熱体への熱伝導を効率よく行うなどの用途に使用できる。また、本発明の熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）は、電子機器に備えられる発熱体である電子部品に取り付け、該電子部品の一部として用いることができる。本発明の熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の使用例について、図２を参照しつつ説明する。図２は、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の使用例を説明する図である。

図２（Ａ）は、パーソナルコンピュータ等の電子機器の一部を概略的に示す斜視図である。図２（Ａ）には、基板１、基板１上に設置した発熱体である電子部品２、放熱体であるヒートシンク３、及び電子部品２とヒートシンク３との間に配置した熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）４と、を示している。
図２（Ａ）に示したように、電子部品２とヒートシンク３とで熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）４を挟んでビスなどの任意の固定手段により固定することによって、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）４（熱伝導性感圧接着層）は高い熱伝導性を有しているので、電子部品２で発した熱は熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）４を介してヒートシンク３へと効率よく伝えられ、ヒートシンク３から放熱される。

図２（Ｂ）は、放熱体であるヒートシンク１３に熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）１４、１４を介して発熱体であるＮＰＮトランジスタ１２ａ及びＰＮＰトランジスタ１２ｂを取り付けた様子を概略的に示す斜視図である。
図２（Ｂ）に示したように、１つのヒートシンク１３に熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）１４、１４を介してＮＰＮトランジスタ１２ａ及びＰＮＰトランジスタ１２ｂを任意の固定手段により取り付けることによって、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）１４（熱伝導性感圧接着層）は高い熱伝導性を有しているので、ＮＰＮトランジスタ１２ａ及びＰＮＰトランジスタ１２ｂで発した熱は熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）１４、１４を介してヒートシンク１３へと効率よく伝えられ、ヒートシンク１３から放熱される。このとき、ＮＰＮトランジスタ１２ａ及びＰＮＰトランジスタ１２ｂが、共に、高い熱伝導性を有する熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）１４、１４を介して一つのヒートシンク１３に取り付けられていることによって、ＮＰＮトランジスタ１２ａとＰＮＰトランジスタ１２ｂとで温度差が生じることを抑制できる。

図２（Ｃ）は、発熱体である２つのトランジスタ２２、２２が熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）２４を介して任意の固定手段により固定された様子を概略的に示す断面図である。
図２（Ｃ）に示したように、２つの発熱体２２、２２が熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）２４を介して固定されることによって、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）２４（熱伝導性感圧接着層）は高い熱伝導性を有しているので、２つの発熱体２２、２２の一方の温度が他方に比べて高くなれば、一方から他方へと速やかに熱を伝えられるので、２つの発熱体２２、２２の間で温度差が生じることを抑制できる。

なお、上記例では放熱体としてヒートシンクを用いたが、電子部品の筐体などを放熱体とすることもできる。以下、熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の他の使用例について説明する。

本発明の熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）は、電子機器に備えられる電子部品の一部として用いることができる。当該電子機器及び電子部品の具体例としては、エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）光源を有する機器における発熱部周囲の部品、自動車等のパワーデバイス周囲の部品、燃料電池、太陽電池、バッテリー、携帯電話、携帯情報端末（ＰＤＡ）、ノートパソコン、液晶パネル、表面伝導型電子放出素子ディスプレイ（ＳＥＤ）、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）、又は集積回路（ＩＣ）などの発熱部を有する機器や部品を挙げることができる。

なお、本発明の熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の電子機器への使用方法の一例としては、ＬＥＤ光源を例にすると下記に記述するような使用方法を挙げることができる。すなわちＬＥＤ光源に直接貼り付ける；ＬＥＤ光源と放熱材料（ヒートシンク、ファン、ペルチェ素子、ヒートパイプ、グラファイトシート等）との間に挟みこむ；ＬＥＤ光源に接続された放熱材料（ヒートシンク、ファン、ペルチェ素子、ヒートパイプ、グラファイトシート等）に貼り付ける；ＬＥＤ光源を取り囲む筐体として使用する；ＬＥＤ光源を取り囲む筐体に貼り付ける；ＬＥＤ光源と筐体との隙間を埋める；等の方法である。ＬＥＤ光源の用途例としては、透過型の液晶パネルを有する表示装置のバックライト装置（テレビ、携帯、ＰＣ、ノートＰＣ、ＰＤＡ等）；車両用灯具；工業用照明；商業用照明；一般住宅用照明；等が挙げられる。

また、ＬＥＤ光源以外の具体例としては、以下のものが挙げられる。すなわち、ＰＤＰパネル；ＩＣ発熱部；冷陰極管（ＣＣＦＬ）；有機ＥＬ光源；無機ＥＬ光源；高輝度発光ＬＥＤ光源；高輝度発光有機ＥＬ光源；高輝度発光無機ＥＬ光源；ＣＰＵ；ＭＰＵ；半導体素子；等である。

更に本発明の熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の使用方法としては、装置の筐体に貼り付けること等を挙げることができる。例えば、自動車等に備えられる装置に使用する場合、自動車に備えられる筐体の内部に貼り付ける；自動車に備えられる筐体の外側に貼り付ける；自動車に備えられる筐体の内部にある発熱部（カーナビ／燃料電池／熱交換器）と該筐体とを接続する；自動車に備えられる筐体の内部にある発熱部（カーナビ／燃料電池／熱交換器）に接続した放熱板に貼り付ける；こと等が挙げられる。

なお、自動車以外にも、同様の方法で本発明の熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）を使用することができる。その対象としては、例えばパソコン；住宅；テレビ；携帯電話機；自動販売機；冷蔵庫；太陽電池；表面伝導型電子放出素子ディスプレイ（ＳＥＤ）；有機ＥＬディスプレイ；無機ＥＬディスプレイ；有機ＥＬ照明；無機ＥＬ照明；有機ＥＬディスプレイ；ノートパソコン；ＰＤＡ；燃料電池；半導体装置；炊飯器；洗濯機；洗濯乾燥機；光半導体素子と蛍光体とを組み合わせた光半導体装置；各種パワーデバイス；ゲーム機；キャパシタ；等が挙げられる。

更に、本発明の熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）は上記の使用方法に留まらず、用途に応じて他の方法で使用することも可能である。例えば、カーペットや温暖マット等の熱の均一化のために使用する；ＬＥＤ光源／熱源の封止剤として使用する；太陽電池セルの封止剤として使用する；太陽電池のバックシ−トとして使用する；太陽電池のバックシ−トと屋根との間に使用する；自動販売機内部の断熱層の内側に使用する；有機ＥＬ照明の筐体内部に、乾燥剤や吸湿剤と共に使用する；有機ＥＬ照明の筐体内部の熱伝導層及びその上に、乾燥剤や吸湿剤と共に使用する；有機ＥＬ照明の筐体内部の熱伝導層、放熱層、及びその上に、乾燥剤や吸湿剤と共に使用する；有機ＥＬ照明の筐体内部の熱伝導層、エポキシ系の放熱層、及びその上に、乾燥剤や吸湿剤と共に使用する；人や動物を冷やすための装置、衣類、タオル、シート等の冷却部材に対し、身体と反対の面に使用する；電子写真複写機、電子写真プリンタ等の画像成形装置に搭載する定着装置の加圧部材に使用する；電子写真複写機、電子写真プリンタ等の画像成形装置に搭載する定着装置の加圧部材そのものとして使用する；制膜装置の処理対象体を載せる熱流制御用伝熱部として使用する；制膜装置の処理対象体を載せる熱流制御用伝熱部に使用する；放射性物質格納容器の外層と内装の間に使用する；太陽光線を吸収するソーラパネルを設置したボックス体の中に使用する；ＣＣＦＬバックライトの反射シートとアルミシャーシの間に使用する；こと等を挙げることができる。

以下に、実施例にて本発明をさらに詳しく説明するが、本発明は実施例に限定されるものではない。なお、ここで用いる「部」や「％」は、特に断らない限り、質量基準である。

＜基材剥離性＞
後に説明するようにして外側にある離型ＰＥＴフィルム（離型処理されたポリエチレンテレフタレートフィルム：基材４４に相当。以下同じ。）及び未処理のＰＥＴフィルム（未処理のポリエチレンテレフタレートフィルム：基材４３に相当。以下同じ。）により、熱伝導性感圧接着層及びコロナ処理されたＰＥＴフィルム（コロナ処理されたポリエチレンテレフタレートフィルム；補強層に相当。以下同じ。）が挟持された熱伝導性感圧接着性積層シートを作製し、その後、補強層に積層された未処理のＰＥＴフィルム面にセロテープ（登録商標）を貼り、５００ｇの錘を３０秒間載置した。その後、セロハンテープと一緒に補強層に積層された未処理のＰＥＴフィルムを剥がした。このとき、熱伝導性感圧接着層と補強層とが適正な密着性を有していれば、熱伝導性感圧接着層と補強層とが剥離することなく未処理のＰＥＴフィルムを剥がすことができる。熱伝導性感圧接着層と補強層とが剥離することなく補強層から未処理のＰＥＴフィルムを剥がせた場合を「○」、補強層から未処理のＰＥＴフィルムを剥がす前に熱伝導性感圧接着層と補強層とが剥離した場合を「×」として、その結果を表２に示した。

＜折れしわ防止性＞
後に説明するようにして熱伝導性感圧接着性積層シートを作製後、外側にある離型ＰＥＴフィルム及び未処理のＰＥＴフィルムを剥がし、熱伝導性感圧接着層と補強層とを備えた熱伝導性感圧接着性積層シートだけの状態とした。これを１２０°折り曲げ、元に戻したときに、熱伝導性感圧接着性積層シートに折れしわが残らない場合を「○」、折れしわが残る場合を「×」として、その結果を表２に示した。この評価が「○」であれば、使用性に優れていると言える。

＜熱伝導性感圧接着性積層シートの作製＞
（実施例１）
厚さ１０μｍのＰＥＴフィルムの片面にコロナ処理を施した。コロナ処理の条件は、コロナ処理装置（高周波電源；春日電機（株）製 ＣＴ−０２１２、発信機本体；春日電機（株）製 ＣＴ−０２１２、高圧トランス；春日電機（株）製 ＣＴ−Ｔ０２２）を用い、ＰＥＴフィルム表面とコロナ処理装置の電極との距離が２ｍｍとなるように調整し、出力０．１５ｋＷ、ラインスピード０．５ｍ／ｍｉｎ、周囲温度２３℃、周囲相対湿度５５％ＲＨの条件で、ＰＥＴフィルム表面を１回コロナ処理することにより行った。
その後、ＰＥＴフィルムのコロナ処理が施された面と反対側の面に厚さ５０μｍの未処理のＰＥＴフィルムをのせ、コロナ処理が施されたＰＥＴフィルムと未処理のＰＥＴフィルムとを易接着処理により積層させて、コロナ処理が施されたＰＥＴフィルムと未処理のＰＥＴフィルムとからなる積層体を得た。

反応器に、アクリル酸２−エチルヘキシル９４％とアクリル酸６％とからなる単量体混合物１００部、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル０．０３部及び酢酸エチル７００部を入れて均一に溶解し、窒素置換後、８０℃で６時間重合反応を行った。重合転化率は９７％であった。得られた重合体を減圧乾燥して酢酸エチルを蒸発させ、粘性のある固体状の（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１−１）を得た。（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１−１）の重量平均分子量（Ｍｗ）は２７０，０００、重量平均分子量（Ｍｗ）／数平均分子量（Ｍｎ）は３．１であった。重量平均分子量（Ｍｗ）及び数平均分子量（Ｍｎ）は、テトラヒドロフランを溶離液とするゲルパーミエーションクロマトグラフィーにより、標準ポリスチレン換算で求めた。

次に、アクリル酸２−エチルヘキシル（２ＥＨＡ）６９部と、有機過酸化物熱重合開始剤（１，６−ビス（ｔ−ブチルペルオキシカルボニルオキシ）ヘキサン（１分間半減期温度は１５０℃である。））１部と、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート及びペンタエリスリトールジアクリレートを６０：３５：５の割合で混合した、架橋剤である多官能性単量体（ライトアクリレートＰＥ−３Ａ、共栄社化学株式会社製）１部と、熱伝導性フィラー（Ｂ）としての水酸化アルミニウム（日本軽金属株式会社製、商品名「ＢＦ−０８３」、平均粒径：８μｍ、ＢＥＴ比表面積：０．８ｍ^２／ｇ）５００部と、を電子天秤で計量し、これらを上記（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１−１）３０部と混合した。混合には、恒温槽（東機産業株式会社製、商品名「ビスコメイト １５０ＩＩＩ」）及びホバートミキサー（株式会社小平製作所製、商品名「ＡＣＭ−５ＬＶＴ型」、容量：５Ｌ）を用いた。ホバート容器の温調は５０℃に設定し、真空（−０．１ＭＰａＧ）にして、回転数目盛を３にして３０分間攪拌した。

次に、上記混合組成物を、厚さ７５μｍの離型ＰＥＴフィルム上の離型処理が施された面に垂らし、当該混合組成物上にさらに、上記積層体を、ＰＥＴフィルムのコロナ処理を施した面と混合組成物とが接するように被せた。混合組成物が下側の離型ＰＥＴフィルムと積層体とに挟持されてなるものを、混合組成物（熱伝導性感圧接着層）の厚さが４９０μｍとなるように間隔を調整した２つのロールの間に通し、混合組成物をシート状に成形した。その後、当該積層体をオーブンに投入し、１２０℃で１５分間加熱し、引き続き、１５０℃で２５分間加熱した。この加熱工程によって、（メタ）アクリル酸エステル単量体及び多官能性単量体を重合させ、またほぼ同時に、架橋剤である多官能性単量体により、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１−１）及び（メタ）アクリル酸エステル単量体由来の構造単位を含む重合体を架橋させることにより、上下をそれぞれ未処理のＰＥＴフィルムと離型ＰＥＴフィルムとで挟持され、補強層がコロナ処理されたＰＥＴフィルムである熱伝導性感圧接着性積層シート（以下、単に「シート」と表記する。）を得た。なお、シート中の残存単量体量から、全単量体の重合転化率を計算したところ、９９．９％であった。

（実施例２乃至４、及び比較例１乃至４）
熱伝導性感圧接着層に用いる各物質の配合、並びに、補強層への処理方法及び厚みを表２に示したように変更した以外は実施例１と同様にして実施例２乃至４に係るシート、及び比較例１乃至４に係るシートを作製した。なお、実施例４では、熱伝導性フィラー（Ｂ）として実施例１で用いた水酸化アルミニウムとともにアルミナ（昭和電工株式会社製、商品名「ＡＬ−４７−Ｈ」、平均粒径：３μｍ、ＢＥＴ比表面積：１．１ ｍ^２／ｇ）を併用し、さらにリン酸エステル（味の素ファインテクノ株式会社製、商品名「レオフォス６５」、化合物名「リン酸トリアリールイソプロピル化物」）を用いた。比較例１では、補強層へのコロナ処理に代えてシリコン処理（離型処理）を施した。比較例２では補強層へ処理を施さなかった。また、比較例４では、（メタ）アクリル樹脂組成物に代えて水酸基末端液状ポリオレフィン（出光産業株式会社製、商品名「エポール」）、及び、その硬化剤であるポリウレタン（坂井化学工業社製、商品名「ＰＵ３３０」）を用いた。

表２に示したように、実施例に係るシートはいずれも優れた基材剥離性及び折れしわ防止性を有していた。
一方、補強層へのコロナ処理に代えてシリコン処理を施した比較例１に係るシート、補強層へ処理を施さなかった比較例２に係るシート、及び、補強層へのコロナ処理を施したが、（メタ）アクリル酸エステル重合体に代えて水酸基末端液状ポリオレフィンを用いた比較例４に係るシートは、基材剥離性の評価試験において熱伝導性感圧接着層から補強層を剥がす前に熱伝導性感圧接着層と補強層とが剥離してしまった。また、補強層の厚みが厚かった比較例３に係るシートは、折れしわ防止性の評価試験において熱伝導性感圧接着性積層シートに折れしわが生じ、使用性に劣っていた。

１ 基板
２、１２ａ、１２ｂ、２２ 発熱体
３、１３ 放熱体
４、１４、２４ 熱伝導性感圧接着性積層シート
４０ 熱伝導性感圧接着性積層シート
４１ 熱伝導性感圧接着層
４２ 補強層
４３、４４ 基材

Claims (3)

1. 熱伝導性及び感圧接着性を有する熱伝導性感圧接着層と、補強層と、を備えた熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の製造方法であって、
   前記補強層の片面にコロナ処理を施すコロナ処理工程と、
   （メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ１）及び（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）を含む（メタ）アクリル樹脂組成物（Ａ）を１００質量部と、
   熱伝導性フィラー（Ｂ）を１５０質量部以上１５００質量部以下と、
   を含む混合組成物をシート状に成形した後、又はシート状に成形しながら、前記混合組成物を前記補強層のコロナ処理を施された面に接触させた状態で、少なくとも前記（メタ）アクリル酸エステル単量体（α１）の重合反応を行うことによって、前記補強層のコロナ処理を施された面に前記熱伝導性感圧接着層を積層する熱伝導性感圧接着層積層工程と、
   を含み、
   前記補強層の厚さが１μｍ以上４０μｍ以下である、
   熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の製造方法。
2. 請求項１に記載の熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）の製造方法により得られる熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）。
3. 請求項２に記載の熱伝導性感圧接着性積層シート（Ｆ）を備えた電子機器。

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