WO2015151231A1

WO2015151231A1 - エンコーダ、エンコーダ付モータ、サーボシステム、サーボシステムの運転方法

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Publication number: WO2015151231A1
Application number: PCT/JP2014/059654
Authority: WO
Inventors: 上村　浩司
Original assignee: 株式会社安川電機
Priority date: 2014-04-01
Filing date: 2014-04-01
Publication date: 2015-10-08

Abstract

【課題】例えばエンコーダの外部からの漏洩磁束による影響を低減する。【解決手段】エンコーダ１００は、回転軸心ＡＸ周りに回転される磁石ＭＧと、磁石ＭＧが発生する磁気を検出する磁気センサ１３０と、磁気センサ１３０の検出信号を含む複数の信号に基づいて、磁石ＭＧの１回転で１周期となるＡ相パルス信号ａ及びＢ相パルス信号ｂを生成する多回転信号生成部４１６，４２６と、複数の信号の少なくとも１つを所定量オフセットさせるオフセット信号を生成するオフセット信号生成部４１４，４２４と、複数の信号の少なくとも１つに対しオフセット信号を付与するオフセット信号付与部４１０ａ，４１０ｂ，４２０ａ，４２０ｂとを有し、多回転信号生成部４１６，４２６は、少なくとも１つに対しオフセット信号が付与された後の複数の信号に基づいて、Ａ相パルス信号ａ及びＢ相パルス信号ｂを生成する。

Description

エンコーダ、エンコーダ付モータ、サーボシステム、サーボシステムの運転方法

　開示の実施形態は、エンコーダ、エンコーダ付モータ、サーボシステム、サーボシステムの運転方法に関する。

　特許文献１には、産業用ロボット、ＮＣ工作機械等に用いられるモータの回転位置を検出するエンコーダ装置が記載されている。このエンコーダ装置は、多回転量を検出する磁気センサを備えている。

特許第４６７８３７１号公報

　このようなエンコーダでは、例えばエンコーダの外部からの漏洩磁束による影響を低減することが希求されている。

　本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、例えばエンコーダの外部からの漏洩磁束による影響を低減することができるエンコーダ、エンコーダ付モータ、サーボシステム、サーボシステムの運転方法を提供することを目的とする。

　上記課題を解決するため、本発明の一の観点によれば、回転軸心周りに回転される磁石と、前記磁石が発生する磁気を検出するように構成された磁気センサと、前記磁気センサの検出信号を含む複数の信号に基づいて、前記磁石の１回転で１周期となる多回転信号を生成するように構成された多回転信号生成部と、を有するエンコーダであって、前記複数の信号の少なくとも１つを所定量オフセットさせるオフセット信号を生成するように構成されたオフセット信号生成部と、前記複数の信号の少なくとも１つに対し前記オフセット信号を付与するように構成されたオフセット信号付与部と、を有し、前記多回転信号生成部は、少なくとも１つに対し前記オフセット信号が付与された後の複数の信号に基づいて、前記多回転信号を生成するように構成される、エンコーダが適用される。

　また、本発明の別の観点によれば、モータと、前記モータの回転位置及び回転速度の少なくとも一方を検出するように構成された前記エンコーダと、を有する、エンコーダ付モータが適用される。

　また、本発明の更に別の観点によれば、モータと、前記モータの回転位置及び回転速度の少なくとも一方を検出するように構成された前記エンコーダと、前記モータと前記エンコーダとの間に配置された無励磁作動型のブレーキと、前記ブレーキ及び前記モータを制御するように構成された制御装置と、を備える、サーボシステムが適用される。

　また、本発明の更に別の観点によれば、モータと、前記モータの回転軸心周りに回転される磁石、前記磁石が発生する磁気を検出するように構成された磁気センサ、前記磁気センサの検出信号を含む複数の信号に基づいて、前記磁石の１回転で１周期となる多回転信号を生成するように構成された多回転信号生成部を備えたエンコーダと、前記モータと前記エンコーダとの間に配置された無励磁作動型のブレーキと、前記ブレーキ及び前記モータを制御するように構成された制御装置と、を備えたサーボシステムの運転方法であって、前記ブレーキの作動時に前記検出信号を記録することと、前記モータをサーボロックして前記ブレーキを解放することと、前記モータが前記サーボロックされ且つ前記ブレーキが解放された状態で前記検出信号を記録することと、記録された複数の前記検出信号の差分に基づいてオフセット量を設定することと、前記サーボロックを解除して、前記複数の信号の少なくとも１つを前記設定されたオフセット量だけオフセットさせつつ、前記モータを駆動することと、を有する、サーボシステムの運転方法が適用される。

　本発明によれば、例えばエンコーダの外部からの漏洩磁束による影響を低減することができる。

例えばエンコーダの外部からの漏洩磁束が磁気センサに及んだ場合の、磁気センサの検出信号への影響について説明するための説明図である。例えばエンコーダの外部からの漏洩磁束が磁気センサに及んだ場合の、多回転信号への影響について説明するための説明図である。第１実施形態に係るサーボシステムの構成の一例の概略について説明するための説明図である。同実施形態に係るエンコーダの構成一例について説明するための説明図である。同実施形態に係るディスクの構成一例について説明するための説明図である。同実施形態に係るブレーキの構成の一例について説明するための説明図である。同実施形態に係る制御部の構成一例について説明するための説明図である。同実施形態に係るＡ相パルス生成部の構成一例について説明するための説明図である。同実施形態に係るサーボシステムの運転方法一例について説明するための説明図である。第２実施形態に係るＡ相パルス生成部の構成一例について説明するための説明図である。第３実施形態に係るＡ相パルス生成部の構成一例について説明するための説明図である。

　以下、実施形態について図面を参照しつつ説明する。

　ここで、実施形態について説明する前に、本願発明者等が鋭意研究した結果、想到した事情等について説明する。

　すなわち、以下で説明する各実施形態のように、エンコーダには、回転軸心周りに回転される磁石が発生する磁気を検出する磁気センサの検出信号を含む複数の信号に基づいて、磁石の１回転で１周期となる多回転信号を生成するものがある。このようなエンコーダでは、対象とする磁石以外（例えばエンコーダの外部）からの漏洩磁束が磁気センサに及んだ場合、磁気センサの検出信号にオフセットが生じる（オフセット成分が含まれる）等の影響が出ることが懸念される。また、磁気センサの検出信号にオフセットが生じた場合、多回転信号の出力不良等の影響が出ることが懸念される。

　以下、図１Ａ及び図１Ｂを参照しつつ、例えばエンコーダの外部からの漏洩磁束が磁気センサに及んだ場合の、磁気センサの検出信号及び多回転信号への影響について説明する。なお、説明の便宜上、ここでは、磁気センサとして、一方が他方を反転させた２つの検出信号を出力するもの（例えばホール素子等）を用いた場合を例にとって説明する。

　図１Ａには、対象とする磁石からの磁束のみ磁気センサに及んだ場合の、磁気センサの２つの検出信号の波形の一例（実線の波形）、及び、例えばエンコーダの外部からの漏洩磁束が磁気センサに及んだ場合の、磁気センサの２つの検出信号の波形の一例（点線の波形）を示している。また、図１Ｂには、図１Ａ中に実線の波形を示す２つの検出信号の差動に基づいて生成された多回転信号の波形の一例（上段の波形）、及び、図１Ａ中に点線の波形を示す２つの検出信号の差動に基づいて生成された多回転信号の波形の一例（下段の波形）を示している。

　図１Ａ及び図１Ｂに示すように、対象とする磁石からの磁束のみ磁気センサに及んだ場合、磁気センサの２つの検出信号は、磁気センサに与えられる電源電圧Ｖ_Ｈの半分の電圧Ｖ_Ｈ／２を中心（基準電圧）に正弦波状に変化し、且つ、一方が他方を反転させた波形となる（図１Ａ中の実線の波形を参照）。従って、このような２つの検出信号の差分に基づいて生成された多回転信号は、「Ｈ」レベル及び「Ｌ」レベルを交互に繰り返す矩形波状となり、デューティ比（Ｔ_Ｐ／Ｔ_ｎ）が５０％となる（図１Ｂ中の上段の波形を参照）。

　一方、例えばエンコーダの外部からの漏洩磁束が磁気センサに及んだ場合、磁気センサの２つの検出信号は、対象とする磁石からの磁束のみ磁気センサに及んだ場合に比べて、一方（太線で示す方）が負側、他方（細線で示す方）が正側にオフセットした波形となる（図１Ａ中の点線の波形を参照）。従って、このような２つの検出信号の差分に基づいて生成された多回転信号は、デューティ比（Ｔ_Ｐ／Ｔ_ｎ）が、対象とする磁石からの磁束のみ磁気センサに及んだ場合（５０％）よりも低くなる（図１Ｂ中の下段の波形を参照）。

　なお、上記では、磁気センサとして一方が他方を反転させた２つの検出信号を出力するものを用いた場合を例にとって、例えばエンコーダの外部からの漏洩磁束によるエンコーダへの影響について説明した。しかしながら、磁気センサとして、１つの検出信号を出力するもの（例えばＭＲ素子等）や３つ以上の検出信号を出力するものを用いた場合でも、磁気センサの検出信号を含む複数の信号に基づいて多回転信号を生成するエンコーダであれば、例えばエンコーダの外部からの漏洩磁束により上記と同様の影響が出ることが懸念される。

　ところで、本願発明者等の検討によれば、磁気センサの検出信号を含む複数の信号の少なくとも１つに対し、該少なくとも１つを所定量オフセットさせるオフセット信号を付与した後の、複数の信号に基づいて、多回転信号を生成することで、例えばエンコーダの外部からの漏洩磁束によるエンコーダへの影響を低減することが知見された。

　これらの事情に想到した本願発明者等は、更に鋭意研究を行った結果、以下で説明する各実施形態に係るエンコーダ等に想到した。なお、上記で説明した課題や作用効果等は、以下で説明する各実施形態のあくまで一例であって、さらなる作用効果等を各実施形態が奏することは言うまでもない。以下、各実施形態について詳細に説明する。

　＜１．第１実施形態＞
　第１実施形態について説明する。

　　（１－１．サーボシステム）
　まず、図２を参照しつつ、本実施形態に係るサーボシステムの構成の一例の概略について説明する。

　図２に示すように、サーボシステムＳは、サーボモータＳＭと、制御装置ＣＴとを有する。サーボモータＳＭは、モータＭと、エンコーダ１００と、ブレーキ２００とを有する。

　モータＭは、エンコーダ１００及びブレーキ２００を含まない動力発生源の一例である。このモータＭは、回転子及び固定子（どちらも図示省略）を備え、回転子が固定子に対して回転する回転型モータであり、回転子に固定されたシャフトＳＨを回転軸心ＡＸ周りに回転させることで、回転力を出力する。

　なお、モータＭ単体をサーボモータという場合やエンコーダ１００を含む構成をサーボモータという場合もあるが、本実施形態では、エンコーダ１００及びブレーキ２００を含む構成をサーボモータＳＭということにする。つまり、サーボモータＳＭは、エンコーダ付モータの一例に相当する。なお、説明の便宜上、以下では、エンコーダ付モータが、位置や速度等の目標値に追従するように制御され、且つ、ブレーキ２００を備えるサーボモータである場合について説明する。しかしながら、エンコーダ付モータは、必ずしもこのようなサーボモータに限定されるものではない。例えば、エンコーダ付モータは、位置や速度等の目標値に追従するように制御されるが、ブレーキを備えないサーボモータであってもよい。また、エンコーダ付モータは、例えばエンコーダの出力を表示のみに用いる場合等、エンコーダが付設さえされていれば、サーボモータ以外に用いられるモータをも含むものである。

　また、モータＭは、位置や速度等をエンコーダ１００が検出可能なモータであれば特に限定されるものではない。さらに、モータＭは、動力源として電気を使用する電動式モータである場合に限定されるものではなく、例えば油圧式モータ、エア式モータ、蒸気式モータ等の他の動力源を使用したモータであってもよい。但し、説明の便宜上、以下では、モータＭが電動式モータである場合について説明する。

　エンコーダ１００は、シャフトＳＨの回転力出力側と反対側に連結されている。なお、エンコーダ１００の連結位置は、シャフトＳＨの回転力出力側と反対側に限定されるものではなく、シャフトＳＨの回転力出力側であってもよい。但し、説明の便宜上、以下では、エンコーダ１００の連結位置がシャフトＳＨの回転力出力側と反対側である場合について説明する。このエンコーダ１００は、シャフトＳＨの位置を検出することで、モータＭの位置（「回転位置」や「回転角度」等ともいう。）を検出し、その位置を表す位置データを出力する。

　なお、エンコーダ１００は、モータＭの位置に加えて又は代えて、モータＭの速度（「回転速度」や「角速度」等ともいう。）及び加速度（「回転加速度」や「角加速度」等ともいう。）の少なくとも一方を検出してもよい。この場合、モータＭの速度及び加速度は、例えば位置を時間で１又は２階微分したり検出信号を所定時間カウントする等の処理により検出可能である。但し、説明の便宜上、以下では、エンコーダ１００が検出する物理量が位置である場合について説明する。

　ブレーキ２００は、モータＭとエンコーダ１００との間に配置され、シャフトＳＨの制動を行う無励磁作動型の電磁ブレーキである。ここで、「シャフトＳＨの制動」とは、慣性回転しているシャフトＳＨを静止させること、又は、静止しているシャフトＳＨに外部から回転しようとする力（トルク）が加えられた際にシャフトＳＨを保持することでシャフトＳＨの静止状態を維持することである。

　なお、ブレーキ２００の配置位置は、モータＭとエンコーダ１００との間に限定されるものではなく、モータＭのエンコーダ１００と反対側、つまりモータＭの回転力出力側であってもよい。但し、説明の便宜上、ブレーキ２００の配置位置がモータＭとエンコーダ１００との間である場合について説明する。また、ブレーキ２００は、無励磁作動型の電磁ブレーキである場合に限定されるものではなく、他のタイプのブレーキであってもよい。但し、説明の便宜上、以下では、ブレーキ２００が無励磁作動型の電磁ブレーキである場合について説明する。

　このブレーキ２００は、非通電状態（＝無励磁状態）ではシャフトＳＨの制動を行うように作動し、通電状態（＝励磁状態）ではシャフトＳＨの制動から解放される（シャフトＳＨの制動を行わない）。

　制御装置ＣＴは、エンコーダ１００から位置データを取得し、該位置データに基づいてモータＭの回転を制御する。従って、モータＭとして電動式モータが使用される本実施形態では、制御装置ＣＴは、位置データに基づいてモータＭに印加する電流又は電圧等を制御することで、モータＭの回転を制御する。更に、制御装置ＣＴは、上位制御装置（図示省略）から上位制御信号を取得し、該上位制御信号に表された位置等を実現可能な回転力がシャフトＳＨから出力されるように、モータＭの回転を制御することも可能である。なお、モータＭが、油圧式、エア式、蒸気式等の他の動力源を使用する場合には、制御装置ＣＴは、それらの動力源の供給を制御することで、モータＭの回転を制御可能である。

　また、制御装置ＣＴは、モータＭをサーボロックしたり該サーボロックを解除してモータＭを駆動制御することも可能である。なお、「サーボロック」とは、位置が変動しないように位置保持制御することである。

　また、制御装置ＣＴは、ブレーキ２００を制御する。従って、ブレーキ２００として無励磁作動型の電磁ブレーキが使用される本実施形態では、制御装置ＣＴは、ブレーキ２００への通電を制御することで、ブレーキ２００を制御する。すなわち、制御装置ＣＴは、通電しないことでブレーキ２００を無励磁状態とし、ブレーキ２００をシャフトＳＨの制動を行うように作動させる一方、通電することでブレーキ２００を励磁状態とし、ブレーキ２００をシャフトＳＨの制動から解放する。

　本実施形態では、制御装置ＣＴは、ブレーキ２００の作動時にモータＭをサーボロックしてその後にブレーキ２００を解放し、ブレーキ２００の解放時にサーボロックを解除してモータＭを駆動制御することが可能である。

　　（１－２．エンコーダ）
　次に、図３及び図４を参照しつつ、上記エンコーダ１００の構成の一例について説明する。

　図３及び図４に示すように、エンコーダ１００は、円板状のディスク１１０と、磁気センサ１３０と、光学モジュール１２０と、制御部１４０とを有する。

　ここで、エンコーダ１００やブレーキ２００の構造の説明の便宜上、上下等の方向を次のように定め、適宜使用する。すなわち、Ｚ軸正の方向を「上」と定め、逆のＺ軸負の方向を「下」と定める。但し、上下等の方向はエンコーダ１００やブレーキ２００の設置態様によって変動するものであり、エンコーダ１００やブレーキ２００の各構成の位置関係を限定するものではない。

　　　（１－２－１．ディスク）
　ディスク１１０は、ディスク中心Ｏが回転軸心ＡＸと一致するようにシャフトＳＨに連結され、モータＭの回転と共に回転する。なお、本実施形態では、モータＭの回転を測定する被測定対象の例として、ディスク１１０を例に挙げて説明するが、例えばシャフトＳＨの端面等の他の部材を被測定対象として使用することも可能である。また、図３に示す例では、ディスク１１０は、シャフトＳＨに直接連結されているが、ハブ等の連結部材を介してシャフトＳＨに連結されてもよい。

　このディスク１１０は、磁気センサ１３０及び光学モジュール１２０と対向する上面上に、磁石ＭＧと、スリットトラックＳＡとを有する。また、ディスク１１０は、上記のようにモータＭの回転と共に回転するが、磁気センサ１３０及び光学モジュール１２０は、後述のように磁石ＭＧ及びスリットトラックＳＡの一部と対向しつつ固定されている。従って、磁石ＭＧ及びスリットトラックＳＡと、磁気センサ１３０及び光学モジュール１２０とは、モータＭの回転に伴い、互いに測定方向（図４に示す矢印Ｃの方向。以下では「測定方向Ｃ」ともいう。）に相対移動する。

　ここで、「測定方向Ｃ」とは、磁気センサ１３０で磁石ＭＧを磁気的に測定する際の測定方向であると共に、光学モジュール１２０でスリットトラックＳＡを光学的に測定する際の測定方向である。本実施形態のように被測定対象がディスク１１０である回転型のエンコーダ１００では、測定方向Ｃは、ディスク１１０の中心軸を中心とした円周方向に一致する。なお、「中心軸」とは、ディスク１１０の回転軸心であり、ディスク１１０とシャフトＳＨが同軸に連結される場合には、中心軸はシャフトＳＨの回転軸心ＡＸと一致する。

　　　（１－２－２．磁気検出機構）
　磁気検出機構は、ディスク１１０の回転を磁気的に検出する機構であり、上記磁石ＭＧと、上記磁気センサ１３０とを含む。

　磁石ＭＧは、円環状に形成され、ディスク１１０と同一軸心となるようにディスク１１０の上面に固定されて、ディスク１１０と共に回転軸心ＡＸ周りに回転する。なお、磁石ＭＧは、発生する磁気を磁気センサ１３０が検出可能な磁石であれば特に限定されるものではない。また、磁石ＭＧの形状は、必ずしも円環状である必要はなく、例えば円板状であってもよい。

　この磁石ＭＧは、上面における磁束の向きがディスク１１０の略１８０°の回転角度範囲毎に反転するように、着磁されている。なお、磁石ＭＧの着磁態様は、必ずしも上面における磁束の向きがディスク１１０の略１８０°の回転角度範囲毎に反転する態様である必要はなく、他の態様であってもよい。但し、説明の便宜上、以下では、磁石ＭＧが上面における磁束の向きがディスク１１０の略１８０°の回転角度範囲毎に反転するように着磁された場合について説明する。

　また、磁石ＭＧは、上面における磁束の向きが反転する２つの位置のうち一方がディスク１１０の絶対位置検出のための原点位置（０°位置ともいう。）と一致するように配置されている。

　一方、磁気センサ１３０は、回路基板（図示省略）上に実装されている。なお、磁気センサ１３０と光学モジュール１２０とは、同じ回路基板上に実装されてもよいし、別々の回路基板上に実装されてもよい。そして、磁気センサ１３０は、磁石ＭＧの一部と対向するように、ディスク１１０と平行に固定されている。従って、磁気センサ１３０は、ディスク１１０の回転に伴い、磁石ＭＧに対して測定方向Ｃに相対移動する。

　この磁気センサ１３０は、磁石ＭＧが発生する磁気を検出する。磁気センサ１３０としては、磁石ＭＧが発生する磁気を検出可能なセンサであれば特に限定されるものではない。本実施形態では、磁気センサ１３０として、一方が他方を反転させた２つの検出信号をそれぞれ出力する２つの磁界検出素子１３１，１３２を使用する場合について説明する。つまり、磁界検出素子１３１，１３２は、第１磁気センサの一例に相当する。

　磁界検出素子１３１，１３２は、磁石ＭＧの上面における垂直方向（回転軸心ＡＸに平行な方向）の磁界を検出する。なお、磁界検出素子１３１，１３２としては、磁石ＭＧの上面における垂直方向の磁界を検出可能なものであれば特に限定されるものではないが、例えばホール素子が使用される。

　また、磁界検出素子１３１，１３２は、測定方向Ｃに互いに略９０°ずれて配置されている。なお、磁界検出素子１３１，１３２は、磁石ＭＧの一部に対向するようにディスク１１０と平行に固定さえされていれば、その位置関係は特に限定されるものではない。但し、説明の便宜上、以下では、磁界検出素子１３１，１３２が測定方向Ｃに互いに略９０°ずれて配置される場合について説明する。

　磁界検出素子１３１は、ディスク１１０の原点位置において磁石ＭＧの一部と対向するように、配置されている。上述の通り、磁石ＭＧの上面における磁束の向きは、ディスク１１０の略１８０°の回転角度範囲毎に反転する。従って、この磁界検出素子１３１は、ディスク１１０が１回転すると１周期変化する磁界を検出し、ディスク１１０の１回転毎に１周期となり、且つ、一方が他方を反転させた２つの検出信号を出力する。

　一方、磁界検出素子１３２は、ディスク１１０の原点位置から測定方向に略９０°ずれた位置において磁石ＭＧの一部と対向するように、配置されている。この磁界検出素子１３２も、上記磁界検出素子１３１と同様、ディスク１１０が１回転すると１周期変化する磁界を検出し、ディスク１１０の１回転毎に１周期となり、且つ、一方が他方を反転させた２つの検出信号を出力する。

　なお、上述の通り、磁界検出素子１３１，１３２は、測定方向Ｃに互いに略９０°ずれて配置されているので、磁界検出素子１３１，１３２からは、互いに略９０°の位相差を有する検出信号が出力されることとなる。これら磁界検出素子１３１，１３２から出力された検出信号は、制御部１４０により取得され、ディスク１１０が基準位置から何回転したかを表す多回転量の検出に用いられる。

　なお、以上説明した磁気検出機構の構成は、あくまで一例であって、上記以外の構成であってもよい。例えば、本実施形態では、磁気検出機構は、多回転量を磁気的に検出可能なように構成されているが、多回転量に加えてモータＭの絶対位置や相対位置等をも磁気的に検出可能なように構成されてもよい。

　　　（１－２－３．光学検出機構）
　光学検出機構は、ディスク１１０の回転を光学的に検出する機構であり、上記スリットトラックＳＡと、上記光学モジュール１２０とを含む。

　スリットトラックＳＡは、ディスク中心Ｏを中心としたリング状に配置されたトラックとして形成され、トラックの全周にわたって測定方向Ｃに沿って並べられた複数のスリット（図示省略）を有する。なお、「スリット」とは、ディスク１１０の上面における、後述の光源１２１から出射された光を反射（反射型回折を含む）又は透過（透過型回折を含む）する部分である。このようなスリットが測定方向Ｃに沿って複数個並べられることで、スリットトラックＳＡが構成されている。本実施形態では、各スリットが、光源１２１から出射された光を反射する反射スリットである場合について説明するが、各スリットは、光源１２１から出射された光を透過する透過スリットであってもよい。

　すなわち、スリットトラックＳＡは、上述のようにトラックの全周にわたって測定方向Ｃに沿って並べられた複数の反射スリットを有し、各反射スリットは、後述の光源１２１から出射された光を反射する。

　ここで、ディスク１１０は、例えば金属等の光を反射する材質により形成されている。そして、ディスク１１０の上面における、光を反射させない部分に反射率の低い材質（例えば酸化クロム等）を塗布等により配置することで、該材質が配置されない部分に反射スリットが形成されている。なお、光を反射させない部分をスパッタリング等により粗面として反射率を低下させることで、反射スリットが形成されてもよい。

　なお、ディスク１１０の材質や製造方法等は、特に限定されるものではない。例えば、ディスク１１０をガラスや透明樹脂等の光を透過する材質で形成することも可能である。この場合、ディスク１１０の上面に光を反射する材質（例えばアルミニウム等）を蒸着等により配置することで、反射スリットが形成可能である。

　スリットトラックＳＡが有する複数の反射スリットは、測定方向Ｃでアブソリュートパターンを有するように、トラックの全周に配置されている。

　ここで、「アブソリュートパターン」とは、後述の受光アレイＰＡが対向する角度内における反射スリットの位置や割合等が、ディスク１１０の１回転内で一義に定まるようなパターンである。例えば、モータＭがある位置となっている場合に、対向した受光アレイＰＡの複数の受光素子それぞれの検出又は未検出によるビットパターンの組み合わせが、その位置の絶対位置を一義に表すことになる。なお、「絶対位置」とは、ディスク１１０の１回転内での原点位置に対する位置である。原点位置は、ディスク１１０の１回転内での適宜の位置に設定され、この原点位置を基準としてアブソリュートパターンが形成されている。

　なお、このパターンの一例によれば、モータＭの絶対位置を、対向した後述の受光アレイＰＡの受光素子数のビットにより、一次元的に表すようなパターンを生成できる。しかし、アブソリュートパターンは、このパターンに限定されるものではない。例えば、対向した受光アレイＰＡの受光素子数のビットにより多次元的に表すパターンであってもよい。また、所定のビットパターン以外にも、対向した受光アレイＰＡの受光素子で受光する光量や位相などの物理量が絶対位置を一義的に表すように変化するパターンや、アブソリュートパターンの符号系列が変調を施されたパターン等であってもよく、その他、様々なパターンであってもよい。

　一方、光学モジュール１２０は、ディスク１１０と平行な一枚の基板ＢＡとして形成されている。これにより、エンコーダ１００を薄型化したり、光学モジュール１２０の製造を容易にすることが可能である。光学モジュール１２０は、ディスク１１０のスリットトラックＳＡの一部と対向するように固定されている。従って、光学モジュール１２０は、ディスク１１０の回転に伴い、スリットトラックＳＡに対して測定方向Ｃに相対移動する。なお、光学モジュール１２０は、必ずしも一枚の基板ＢＡとして形成される必要はなく、各構成が複数の基板として形成されてもよい。この場合、それらの基板が集約して配置されていればよい。また、光学モジュール１２０は、基板状でなくてもよい。

　この光学モジュール１２０は、基板ＢＡのディスク１１０と対向する下面上に、光源１２１と、受光アレイＰＡとを有する。

　光源１２１は、光学モジュール１２０と対向する位置を通過するディスク１１０のスリットトラックＳＡの一部（以下では「照射領域」ともいう。）に光を出射する。

　この光源１２１としては、照射領域に光を出射可能な光源であれば特に限定されるものではないが、例えばＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ　Ｅｍｉｔｔｉｎｇ　Ｄｉｏｄｅ）が使用可能である。本実施形態では、光源１２１は、特に光学レンズ等が配置されない点光源として構成され、発光部から拡散光を出射する。なお、「点光源」という場合、厳密な点である必要はなく、設計上や動作原理上、略点状の位置から拡散光が発せられるものとみなせる光源であれば、有限な面から光が発せられてもよい。また、「拡散光」は、点光源から全方位に向かって放たれる光に限定されず、有限の一定の方位に向かって拡散しつつ出射される光を含む。すなわち、ここでいう拡散光には、平行光よりも拡散性を有する光であれば含まれる。このように点光源を使用することで、光源１２１は、光軸からのズレによる光量変化や光路長の差による減衰等の影響は多少あるにせよ、照射領域に拡散光を出射し、照射領域に均等に光を出射可能である。また、光学素子による集光・拡散を行わないので、光学素子による誤差等が生じにくく、照射領域への出射光の直進性を高める事が可能である。

　受光アレイＰＡは、光源１２１の周囲に配置され、スリットトラックＳＡの反射スリットで反射された光を受光するように測定方向Ｃに沿って一定のピッチでアレイ状に並べられた複数の受光素子（図示省略）を有する。各受光素子としては、光源１２１から出射され反射スリットで反射された光を受光して受光信号に変換可能なものであれば特に限定されるものではないが、例えばフォトダイオードが使用可能である。受光素子で生成された受光信号は、制御部１４０により取得され、ディスク１１０の１回転内の絶対位置の検出に用いられる。

　本実施形態では、上述のように、アブソリュートパターンとして一次元的なパターンを例示している。従って、受光アレイＰＡでは、スリットトラックＳＡの反射スリットでの反射光が受光されることで、複数のビットパターンを有する受光信号が生成される。この複数のビットパターンを有する受光信号を、「アブソリュート信号」とも呼ぶ。なお、本実施形態とは異なるアブソリュートパターンが使用される場合には、受光アレイＰＡは、そのパターンに対応した構成となる。

　なお、以上説明した光学検出機構の構成は、あくまで一例であって、上記以外の構成であってもよい。例えば、本実施形態では、アブソリュートパターンを有するスリットトラックが１本備えられている場合を例にとって説明するが、アブソリュートパターンを有するスリットトラックが２本以上備えられている場合にも適用可能である。また、アブソリュートパターンを有するスリットトラックに代えて又は加えて、インクリメンタルパターンを有するスリットトラックが１本以上備えられている場合にも適用可能である。ここで、「インクリメンタルパターン」とは、所定のピッチで規則的に繰り返されるパターンである。なお、「ピッチ」とは、インクリメンタルパターンを有するスリットトラックにおける反射スリットの配置間隔である。インクリメンタルパターンは、複数の受光素子による検出の有無それぞれをビットとして絶対位置を表すアブソリュートパターンと異なり、少なくとも１以上の受光素子の受光信号の和により、１ピッチ毎又は１ピッチ内のモータＭの位置を表す。従って、インクリメンタルパターンは、モータＭの絶対位置を表すものではないが、アブソリュートパターンに比べると非常に高精度に位置を表すことが可能である。さらには、光学検出機構が備えられていない場合（いわゆる磁気式エンコーダ）にも適用可能である。

　　　（１－２－４．制御部）
　制御部１４０は、位置データを生成するタイミングにおいて、磁界検出素子１３１からの２つの検出信号と、磁界検出素子１３２からの２つの検出信号と、受光アレイＰＡからの受光信号とを取得する。そして、制御部１４０は、取得した信号に基づいて位置データを生成し、制御装置ＣＴに出力する。なお、制御部１４０による位置データの生成方法は、様々な方法が使用可能であり、特に限定されるものではない。但し、説明の便宜上、ここでは、制御部１４０が、磁界検出素子１３１からの２つの検出信号と、磁界検出素子１３２からの２つの検出信号と、受光アレイＰＡからの受光信号とに基づいて、位置データを生成する場合を例にとって説明する。

　　（１－３．ブレーキ）
　次に、図５を参照しつつ、上記ブレーキ２００の構成の一例について説明する。

　図５に示すように、ブレーキ２００は、例えばボルトによりカラー２０８を介してモータＭのハウジングに固定されている。このブレーキ２００は、ブレーキディスク２０２と、フィールドコア２０４と、アーマチュア２０６とを有する。

　ブレーキディスク２０２は、シャフトＳＨの外周に固定され、モータＭの回転と共に回転する。フィールドコア２０４は、ブレーキディスク２０２の円環部２０２ａの上側に配置されている。アーマチュア２０６は、適宜の磁性体材料（例えば鋼板）により略円板状に形成され、ブレーキディスク２０２の円環部２０２ａとフィールドコア２０４との間に、上下方向にのみ移動自在に配置されている。

　また、ブレーキディスク２０２の円環部２０２ａのアーマチュア２０６と対向する上面には、摩擦材２１４が取り付けられている。

　また、フィールドコア２０４には、励磁コイル２１０と、ばね２１２とが収納されている。ばね２１２は、フィールドコア２０４のアーマチュア２０６と対向する下面に形成された凹部２０４ａに収納され、アーマチュア２０６に対して下側へ押圧する付勢力を作用させる。

　ここで、上記のような構成のブレーキ２００の動作について説明する。

　すなわち、励磁コイル２１０に通電していない状態（＝無励磁状態）では、ブレーキ２００が作動してブレーキ２００によるシャフトＳＨの制動が行われる。具体的には、この無励磁状態では、アーマチュア２０６が、ばね２１２により押圧されることで下側に移動し、摩擦材２１４に接触する。この結果、ブレーキディスク２０２が制動されることで、シャフトＳＨが制動される。

　一方、励磁コイル２１０に通電している状態（＝励磁状態）では、ブレーキ２００が解放されブレーキ２００によるシャフトＳＨの制動が行われない。具体的には、この励磁状態では、励磁コイル２１０が、アーマチュア２０６に対して上側への磁気吸引力を与える。これにより、アーマチュア２０６が、ばね２１２の付勢力に抗して上側に移動し、摩擦材２１４から離間する。この結果、ブレーキディスク２０２が上記制動から解放されることで、シャフトＳＨが上記制動から解放されて回転可能となる。

　なお、以上説明した図５に示すブレーキ２００の構成は、あくまで一例であって、上記以外の構成であってもよい。

　　（１－４．制御部）
　次に、図６を参照しつつ、上記制御部１４０の構成の一例について説明する。

　図６に示すように、制御部１４０は、Ａ相パルス生成部１４１と、Ｂ相パルス生成部１４２と、カウンタ１４３と、絶対位置信号生成部１４４と、位置データ生成部１４５とを有する。

　Ａ相パルス生成部１４１は、磁界検出素子１３１から２つの検出信号を取得し、これら２つの検出信号に基づいて、矩形波状のＡ相パルス信号ａを生成する。ここで、前述のように、磁石ＭＧは、上面における磁束の向きが略１８０°の回転角度範囲毎に反転するので、Ａ相パルス信号ａは、理想的には、デューティ比５０％、ディスク１１０の１回転で１周期となる信号、つまりディスク１１０の１回転毎に１パルスの信号となる。つまり、Ａ相パルス信号ａは、多回転信号の一例に相当する。また、前述のように、磁石ＭＧは、上面における磁束の向きが反転する位置がディスク１１０の原点位置と一致する。従って、Ａ相パルス信号ａのエッジは、後述の絶対位置信号ｄによる光学０番地と一致する。

　Ｂ相パルス生成部１４２は、磁界検出素子１３２から２つの検出信号を取得し、これら２つの検出信号に基づいて、矩形波状のＢ相パルス信号ｂを生成する。Ｂ相パルス信号ｂも、上記Ａ相パルス信号ａと同様、理想的には、デューティ比５０％、ディスク１１０の１回転で１周期となる信号、つまりディスク１１０の１回転毎に１パルスの信号となる。つまり、Ｂ相パルス信号ａもまた、多回転信号の一例に相当する。また、前述のように、磁界検出素子１３１，１３２からは、互いに略９０°の位相差を有する検出信号が出力されるので、Ａ相パルス信号ａとＢ相パルス信号ｂとは、互いに略９０°の位相差を有するパルス信号となる。

　カウンタ１４３は、Ａ相パルス生成部１４１からのＡ相パルス信号ａと、Ｂ相パルス生成部１４２からのＢ相パルス信号ｂとを取得する。そして、カウンタ１４３は、取得したＡ相パルス信号ａ及びＢ相パルス信号ｂに基づいて、多回転量をカウントし、ディスク１１０の１回転で１周期となる多回転信号ｃを生成する。

　絶対位置信号生成部１４４は、受光アレイＰＡから受光信号を取得し、該受光信号に基づいて、ディスク１１０の１回転内の絶対位置を表す絶対位置信号ｄを生成する。すなわち、受光アレイＰＡが有する複数の受光素子では、前述のように、１つ１つの受光又は非受光がビットとして扱われ、複数のビットの絶対位置を表す。従って、複数の受光素子それぞれが生成する受光信号は、絶対位置信号生成部１４４において相互に独立して取り扱われ、シリアルなビットパターンに暗号化（コード化）されていた絶対位置が、これらの受光信号の組み合わせから復号されて、絶対位置信号ｄが生成される。

　位置データ生成部１４５は、絶対位置信号生成部１４４からの絶対位置信号ｄと、カウンタ１４３からの多回転信号ｃとを取得する。そして、位置データ生成部１４５は、取得した絶対位置信号ｄ及び多回転信号ｃに基づいて、位置データを生成し、出力する。

　なお、以上説明した図６に示す制御部１４０の各構成の切り分けは、あくまで一例であって、上記以外の切り分けであってもよい。

　ここで、本実施形態に係るエンコーダ１００では、例えばエンコーダ１００の外部からの漏洩磁束が磁界検出素子１３１，１３２に及んだ場合、磁界検出素子１３１，１３２の検出信号にオフセットが生じる（オフセット成分が含まれる）等の影響が出ることが懸念される。また、磁界検出素子１３１，１３２の検出信号にオフセットが生じた場合、Ａ相パルス信号ａやＢ相パルス信号ｂの出力不良等の影響が出ることが懸念される。

　ところで、磁界検出素子１３１，１３２に及ぶエンコーダ１００の外部からの漏洩磁束は、特に本実施形態のようなモータＭとエンコーダ１００との間に無励磁作動型のブレーキ２００が配置されたサーボモータＳＭの、該ブレーキ２００から生じ易い。これは、ブレーキ２００はエンコーダ１００に隣接して配置される上、ブレーキディスク２０２の制動を行うアーマチュア２０６を、励磁コイル２１０の励磁により上下方向に移動させる構造上、励磁コイル２１０が上下方向に磁束を発生させるからである。また、磁界検出素子１３１，１３２は、磁石ＭＧの上面における垂直方向の磁界を検出するので、シャフトＳＨを通じて伝わるブレーキ２００からの漏洩磁束の影響を受け易い。そして、モータＭの駆動時（つまりブレーキ２００の解放時）に励磁コイル２１０が励磁されるので、ブレーキ２００からの漏洩磁束による磁界検出素子１３１，１３２への影響が大きくなる。

　このような無励磁作動型のブレーキ２００を備えたサーボモータＳＭでは、ブレーキ２００からの漏洩磁束による磁界検出素子１３１，１３２への影響を低減する対策として、シャフトＳＨのブレーキ２００部分に弱磁性金属を用いた圧接シャフトを用いることが考えられる。しかしながら、このような圧接シャフトは、通常のシャフトに比べて強度上の信頼性が低く、且つ、製造コストが高いという問題がある。

　本実施形態では、このような問題点に鑑みて、磁界検出素子１３１からの検出信号を処理する上記Ａ相パルス信号生成部１４１と、磁界検出素子１３２からの検出信号を処理する上記Ｂ相パルス信号生成部１４２とが、以下のように構成されている。

　　　（１－４－１．Ａ相パルス信号生成部）
　以下、図７を参照しつつ、上記Ａ相パルス信号生成部１４１の構成の一例について説明する。

　図７に示すように、Ａ相パルス信号生成部１４１は、オフセット信号付与部４１０ａ，４１０ｂと、差動増幅器４１１ａ，４１１ｂと、Ａ／Ｄ変換器４１２ａ，４１２ｂと、メモリ４１３と、オフセット信号生成部４１４と、Ｄ／Ａ変換器４１５ａ，４１５ｂと、多回転信号生成部４１６とを有する。

　オフセット信号付与部４１０ａは、差動増幅器４１１ａへの２つの入力ラインの少なくとも１つに配置されている。そして、オフセット信号付与部４１０ａは、磁界検出素子１３１の２つの検出信号の一方の検出信号ＳＧ１ａを含む複数の信号の少なくとも１つの信号に対し、該少なくとも１つの信号を所定量オフセットさせるオフセット信号を付与する。本実施形態では、オフセット信号付与部４１０ａは、検出信号ＳＧ１ａが流れる差動増幅器４１１ａの非反転入力（＋）側への入力ラインに配置されている。そして、オフセット信号付与部４１０ａは、検出信号ＳＧ１ａに対し、該検出信号ＳＧ１ａを所定量オフセットさせる（つまり検出信号ＳＧ１ａに含まれるオフセット成分を除去又は低減するように補正する）オフセット信号ＳＧ７ａを付与する。これにより、例えばエンコーダ１００の外部からの漏洩磁束による検出信号ＳＧ１ａのオフセットを相殺することが可能となる。

　なお、オフセット信号付与部４１０ａは、差動増幅器４１１ａの非反転入力（＋）側への入力ラインに代えて又は加えて、基準電圧（この例では対地電圧）信号ＳＧ０ａが流れる反転入力（－）側への入力ラインに配置されてもよい。そして、オフセット信号付与部４１０ａは、検出信号ＳＧ１ａに対しオフセット信号ＳＧ７ａを付与するのに代えて又は加えて、基準電圧信号ＳＧ０ａに対し、該基準電圧信号ＳＧ０ａを所定量オフセットさせる（つまり検出信号ＳＧ１ａに含まれるオフセット成分を除去又は低減するようにしきい値を変更する）オフセット信号を付与してもよい。但し、説明の便宜上、以下では、オフセット信号付与部４１０ａが、差動増幅器４１１ａの非反転入力（＋）側への入力ラインに配置され、検出信号ＳＧ１ａに対しオフセット信号ＳＧ７ａを付与する場合について説明する。

　すなわち、オフセット信号付与部４１０ａは、磁界検出素子１３１から検出信号ＳＧ１ａを取得する。また、Ｄ／Ａ変換器４１５ａによりオフセット信号ＳＧ７ａが出力されている場合には、オフセット信号付与部４１０ａは、オフセット信号ＳＧ７ａを取得する。この場合には、オフセット信号付与部４１０ａは、取得した検出信号ＳＧ１ａに対し、取得したオフセット信号ＳＧ７ａを付与し、付与後（つまり検出信号ＳＧ１ａを所定量オフセット後の）の検出信号ＳＧ２ａを出力する。一方、Ｄ／Ａ変換器４１５ａによりオフセット信号ＳＧ７ａが出力されていない場合には、オフセット信号付与部４１０ａは、取得した検出信号ＳＧ１ａと等しい検出信号ＳＧ２ａを出力する。

　一方、オフセット信号付与部４１０ｂは、差動増幅器４１１ｂへの２つの入力ラインの少なくとも１つに配置されている。そして、オフセット信号付与部４１０ｂは、磁界検出素子１３１の２つの検出信号の他方の検出信号ＳＧ１ｂを含む複数の信号の少なくとも１つの信号に対し、該少なくとも１つの信号を所定量オフセットさせるオフセット信号を付与する。本実施形態では、オフセット信号付与部４１０ｂは、検出信号ＳＧ１ｂが流れる差動増幅器４１１ｂの非反転入力（＋）側への入力ラインに配置されている。そして、オフセット信号付与部４１０ｂは、検出信号ＳＧ１ｂに対し、該検出信号ＳＧ１ｂを所定量オフセットさせる（つまり検出信号ＳＧ１ｂに含まれるオフセット成分を除去又は低減するように補正する）オフセット信号ＳＧ７ｂを付与する。これにより、例えばエンコーダ１００の外部からの漏洩磁束による検出信号ＳＧ２ａのオフセットを相殺することが可能となる。

　なお、オフセット信号付与部４１０ｂは、差動増幅器４１１ｂの非反転入力（＋）側への入力ラインに代えて又は加えて、基準電圧（この例では対地電圧）信号ＳＧ０ｂが流れる反転入力（－）側への入力ラインに配置されてもよい。そして、オフセット信号付与部４１０ｂは、検出信号ＳＧ１ｂに対しオフセット信号ＳＧ７ｂを付与するのに代えて又は加えて、基準電圧信号ＳＧ０ｂに対し、該基準電圧信号ＳＧ０ｂを所定量オフセットさせる（つまり検出信号ＳＧ１ｂに含まれるオフセット成分を除去又は低減するようにしきい値を変更する）オフセット信号を付与してもよい。但し、説明の便宜上、以下では、オフセット信号付与部４１０ｂが、差動増幅器４１１ｂの非反転入力（＋）側への入力ラインに配置され、検出信号ＳＧ１ｂに対しオフセット信号ＳＧ７ｂを付与する場合について説明する。

　すなわち、オフセット信号付与部４１０ｂは、磁界検出素子１３１から検出信号ＳＧ１ｂを取得する。また、Ｄ／Ａ変換器４１５ｂによりオフセット信号ＳＧ７ｂが出力されている場合には、オフセット信号付与部４１０ｂは、オフセット信号ＳＧ７ｂを取得する。この場合には、オフセット信号付与部４１０ｂは、取得した検出信号ＳＧ１ｂに対し、取得したオフセット信号ＳＧ７ｂを付与し、付与後（つまり検出信号ＳＧ１ｂを所定量オフセット後の）の検出信号ＳＧ２ｂを出力する。一方、Ｄ／Ａ変換器４１５ｂによりオフセット信号ＳＧ７ｂが出力されていない場合には、オフセット信号付与部４１０ｂは、取得した検出信号ＳＧ１ｂと等しい検出信号ＳＧ２ｂを出力する。

　なお、オフセット信号付与部４１０ａ，４１０ｂは、第１オフセット信号付与部の一例に相当する。

　差動増幅器４１１ａは、例えばオペアンプにより構成されている。この差動増幅器４１１ａは、オフセット信号付与部４１０ａから検出信号ＳＧ２ａを取得すると共に、上記基準電圧信号ＳＧ０ａを取得する。そして、差動増幅器４１１ａは、取得した検出信号ＳＧ２ａと基準電圧信号ＳＧ０ａとの差分を所定の差動利得で増幅し、増幅後の検出信号ＳＧ３ａを出力する。

　一方、差動増幅器４１１ｂもまた、例えばオペアンプにより構成されている。この差動増幅器４１１ｂは、オフセット信号付与部４１０ｂから検出信号ＳＧ２ｂを取得すると共に、上記基準電圧信号ＳＧ０ｂとを取得する。そして、差動増幅器４１１ｂは、取得した検出信号ＳＧ２ｂと基準電圧信号ＳＧ０ｂとの差分を所定の差動利得で増幅し、増幅後の検出信号ＳＧ３ｂを出力する。

　Ａ／Ｄ変換器４１２ａは、所定のタイミングにおいて、差動増幅器４１１ａから検出信号ＳＧ３ａを取得し、該検出信号ＳＧ３ａをアナログ－デジタル変換し、変換後の検出信号ＳＧ４ａを出力する。Ａ／Ｄ変換器４１２ａにより出力された検出信号ＳＧ４ａは、メモリ４１３に記録される。

　一方、Ａ／Ｄ変換器４１２ｂは、所定のタイミングにおいて、差動増幅器４１１ｂから検出信号ＳＧ３ｂを取得し、該検出信号ＳＧ３ｂをアナログ－デジタル変換し、変換後の検出信号ＳＧ４ｂを出力する。Ａ／Ｄ変換器４１２ｂにより出力された検出信号ＳＧ４ｂもまた、メモリ４１３に記録される。

　なお、Ａ／Ｄ変換器４１２ａ，４１２ｂは、入力部の一例に相当する。

　オフセット信号生成部４１４は、磁界検出素子１３１の検出信号を含む複数の信号の少なくとも１つの信号を所定量オフセットさせるオフセット信号を生成するタイミングにおいて、該オフセット信号を生成する。上述の通り、磁界検出素子１３１は、一方が他方を反転させた２つの検出信号ＳＧ１ａ，ＳＧ１ｂを出力する。従って、オフセット信号生成部４１４は、磁界検出素子１３１の２つの検出信号ＳＧ１ａ，ＳＧ１ｂの一方を正側、他方を負側にオフセットさせる２つのオフセット信号ＳＧ６ａ，ＳＧ６ｂを生成する。つまり、オフセット信号生成部４１４は、第１オフセット信号生成部の一例に相当する。

　この際、オフセット信号生成部４１４は、適宜のメモリに記録されたオフセット量の設定値（パラメータ）に基づいて、オフセット信号ＳＧ６ａ，ＳＧ６ｂによるオフセット量を設定してもよい。但し、本実施形態では、オフセット信号生成部４１４が、メモリ４１３に所定のタイミングで記録された検出信号ＳＧ４ａ，ＳＧ４ｂに基づいて、オフセット信号ＳＧ６ａ，ＳＧ６ｂによるオフセット量を設定する場合について説明する。

　この場合、上記Ａ／Ｄ変換器４１２ａ，４１２ｂは、エンコーダ１００に外部からの漏洩磁束の影響が無い状態と、該漏洩磁束の影響がある状態とにおいて、差動増幅器４１１ａ，４１１ｂから検出信号ＳＧ３ａ，ＳＧ３ｂを取得し、検出信号ＳＧ４ａ，ＳＧ４ｂを出力する。この結果、上記メモリ４１３には、エンコーダ１００に外部からの漏洩磁束の影響が無い状態における検出信号ＳＧ４ａ，ＳＧ４ｂと、該漏洩磁束の影響がある状態における検出信号ＳＧ４ａ，ＳＧ４ｂとが記録される。

　すなわち、オフセット信号生成部４１４は、オフセット量設定部４１４１と、信号生成部４１４２とを備える。

　オフセット量設定部４１４１は、エンコーダ１００に外部からの漏洩磁束の影響が無い状態でメモリ４１３に記録された検出信号ＳＧ４ａ，ＳＧ４ｂと、該漏洩磁束の影響がある状態でメモリ４１３に記録された検出信号ＳＧ４ａ，ＳＧ４ｂとを取得する。そして、オフセット量設定部４１４１は、取得した、エンコーダ１００に外部からの漏洩磁束の影響が無い状態における検出信号ＳＧ４ａと、該漏洩磁束の影響がある状態における検出信号ＳＧ４ａとの差分（つまり漏洩磁束によるオフセット量）に基づいて、オフセット信号ＳＧ６ａによるオフセット量を設定する。また、オフセット量設定部４１４１は、取得した、エンコーダ１００に外部からの漏洩磁束の影響が無い状態における検出信号ＳＧ４ｂと、該漏洩磁束の影響がある状態における検出信号ＳＧ４ｂとの差分（つまり漏洩磁束によるオフセット量）に基づいて、オフセット信号ＳＧ６ｂによるオフセット量を設定する。これにより、エンコーダ１００の外部からの漏洩磁束による検出信号ＳＧ２ａ，ＳＧ２ｂのオフセットの相殺効果をより高めること可能となる。

　ここで、本実施形態では、上述の通りモータＭとエンコーダ１００との間に無励磁作動型のブレーキ２００が配置されている。このため、ブレーキ２００の作動時（＝無励磁状態）は、エンコーダ１００に漏洩磁束の影響が無い状態とも言え、ブレーキ２００の解放時（＝励磁状態）は、エンコーダ１００に漏洩磁束の影響がある状態とも言える。従って、本実施形態では、上記Ａ／Ｄ変換器４１２ａ，４１２ｂは、ブレーキ２００の作動時と、ブレーキ２００の解放時とにおいて、差動増幅器４１１ａ，４１１ｂから検出信号ＳＧ３ａ，ＳＧ３ｂを取得し、検出信号ＳＧ４ａ，ＳＧ４ｂを出力する。この結果、上記メモリ４１３には、ブレーキ２００の作動時における検出信号ＳＧ４ａ，ＳＧ４ｂと、ブレーキ２００の解放時における検出信号ＳＧ４ａ，ＳＧ４ｂとが記録される。

　そして、オフセット量設定部４１４１は、ブレーキ２００の作動時にメモリ４１３に記録された検出信号ＳＧ４ａ，ＳＧ４ｂと、ブレーキ２００の解放時にメモリ４１３に記録された検出信号ＳＧ４ａ，ＳＧ４ｂとを取得する。そして、オフセット量設定部４１４１は、取得した、ブレーキ２００の作動時における検出信号ＳＧ４ａと、ブレーキ２００の解放時における検出信号ＳＧ４ａとの差分に基づいて、オフセット信号ＳＧ６ａによるオフセット量を設定する。また、オフセット量設定部４１４１は、取得した、ブレーキ２００の作動時における検出信号ＳＧ４ｂと、ブレーキ２００の解放時における検出信号ＳＧ４ｂとの差分に基づいて、オフセット信号ＳＧ６ｂによるオフセット量を設定する。これにより、ブレーキ２００からの漏洩磁束による検出信号ＳＧ２ａ，ＳＧ２ｂのオフセットの相殺効果をより高めること可能となる。

　またここで、上述のようにブレーキ２００を解放した場合には、解放前（作動時）と解放後（解放時）とでモータＭの位置が変動するおそれがある。そこで本実施形態では、上記Ａ／Ｄ変換器４１２ａ，４１２ｂは、ブレーキ２００の作動時と、モータＭがサーボロックされ且つブレーキ２００が解放された状態とにおいて、差動増幅器４１１ａ，４１１ｂから検出信号ＳＧ３ａ，ＳＧ３ｂを取得し、検出信号ＳＧ４ａ，ＳＧ４ｂを出力する。この結果、上記メモリ４１３には、ブレーキ２００の作動時における検出信号ＳＧ４ａ，ＳＧ４ｂと、モータＭがサーボロックされ且つブレーキ２００が解放された状態における検出信号ＳＧ４ａ，ＳＧ４ｂとが記録される。

　そして、オフセット量設定部４１４１は、ブレーキ２００の作動時にメモリ４１３に記録された検出信号ＳＧ４ａ，ＳＧ４ｂと、モータＭがサーボロックされ且つブレーキ２００が解放された状態でメモリ４１３に記録された検出信号ＳＧ４ａ，ＳＧ４ｂとを取得する。そして、オフセット量設定部４１４１は、取得した、ブレーキ２００の作動時における検出信号ＳＧ４ａと、モータＭがサーボロックされ且つブレーキ２００が解放された状態における検出信号ＳＧ４ａとの差分に基づいて、オフセット信号ＳＧ６ａによるオフセット量を設定する。また、オフセット量設定部４１４１は、取得した、ブレーキ２００の作動時における検出信号ＳＧ４ｂと、モータＭがサーボロックされ且つブレーキ２００が解放された状態における検出信号ＳＧ４ｂとの差分に基づいて、オフセット信号ＳＧ６ｂによるオフセット量を設定する。これにより、オフセット信号ＳＧ６ａ，ＳＧ６ｂによるオフセット量の設定精度を高めること可能となる。

　なお、オフセット量設定部４１４１がオフセット信号によるオフセット量を設定する際に用いる検出信号ＳＧ４ａ，ＳＧ４ｂは、エンコーダ１００に外部からの漏洩磁束の影響が無い状態のものと、該漏洩磁束の影響がある状態のものとであれば、特に限定されるものではない。但し、説明の便宜上、以下では、オフセット量設定部４１４１がオフセット信号によるオフセット量を設定する際に用いる検出信号ＳＧ４ａ，ＳＧ４ｂが、ブレーキ２００の作動時のものと、モータＭがサーボロックされ且つブレーキ２００が解放された状態のものである場合について説明する。

　信号生成部４１４２は、オフセット量設定部４１４１が設定したオフセット信号ＳＧ６ａによるオフセット量の設定値に基づいて、オフセット信号ＳＧ６ｂを出力する。また、信号生成部４１４２は、オフセット量設定部４１４１が設定したオフセット信号ＳＧ６ｂによるオフセット量に基づいて、オフセット信号ＳＧ６ｂを出力する。

　Ｄ／Ａ変換器４１５ａは、信号生成部４１４２からオフセット信号ＳＧ６ａを取得し、該オフセット信号ＳＧ６ａをデジタル－アナログ変換し、変換後のオフセット信号ＳＧ７ａを出力する。これにより、上記オフセット信号付与部４１０ａは、Ｄ／Ａ変換器４１５ａからオフセット信号ＳＧ７ａを取得し、検出信号ＳＧ１ａに対しオフセット信号ＳＧ７ａを付与可能となるので、上記付与後の検出信号ＳＧ２ａを出力可能となる。

　一方、Ｄ／Ａ変換器４１５ｂは、信号生成部４１４２からオフセット信号ＳＧ６ｂを取得し、該オフセット信号ＳＧ６ｂをデジタル－アナログ変換し、変換後のオフセット信号ＳＧ７ｂを出力する。これにより、上記オフセット信号付与部４１０ｂは、Ｄ／Ａ変換器４１５ｂからオフセット信号ＳＧ７ｂを取得し、検出信号ＳＧ１ｂに対しオフセット信号ＳＧ７ｂを付与可能となるので、上記付与後の検出信号ＳＧ２ｂを出力可能となる。

　多回転信号生成部４１６は、上記Ａ相パルス信号ａを生成するタイミングにおいて、磁界検出素子１３１の検出信号ＳＧ１ａ，ＳＧ１ｂを含む複数の信号に基づいて、Ａ相パルス信号ａを出力する。この際、多回転信号生成部４１６は、少なくとも１つの信号に対しオフセット信号が付与された後の上記複数の信号に基づいて、Ａ相パルス信号ａを出力する。具体的には、多回転信号生成部４１６は、差動増幅器４１１ａから、上記付与後の検出信号ＳＧ２ａに基づく検出信号ＳＧ３ａを取得すると共に、差動増幅器４１１ｂから、上記付与後の検出信号ＳＧ２ｂに基づく検出信号ＳＧ３ｂを取得する。そして、多回転信号生成部４１６は、取得した２つの検出信号ＳＧ３ａ，ＳＧ３ｂの差分に基づいて、Ａ相パルス信号ａを出力する。つまり、多回転信号生成部４１６は、第１多回転信号生成部の一例に相当する。このようにＡ相パルス信号ａを差動出力とすることで、出力感度を増幅することが可能となり、耐ノイズ性も向上可能となる。より具体的には、多回転信号生成部４１６は、例えばコンパレータ等の比較器により構成されている。そして、多回転信号生成部４１６は、上記取得した２つの検出信号ＳＧ３ａ，ＳＧ３ｂを比較し、比較結果に基づいて、Ａ相パルス信号ａを出力する。

　上記Ａ相パルス生成部１４１のオフセット信号付与部４１０ａ，４１０ｂ、オフセット信号生成部４１４、及び多回転信号生成部４１６は、それぞれ、図示しないＣＰＵが実行するプログラムにより実装されている。なお、これらオフセット信号付与部４１０ａ，４１０ｂ、オフセット信号生成部４１４、及び多回転信号生成部４１６は、それぞれ、その一部又は全部がＡＳＩＣやＦＰＧＡ、その他の電気回路等の実際の装置により実装されてもよい。

　なお、以上説明した図７に示すＡ相パルス生成部１４１の各構成の切り分けは、あくまで一例であって、上記以外の切り分けであってもよい。

　　　（１－４－２．Ｂ相パルス信号生成部）
　次に、図７を参照しつつ、上記Ｂ相パルス信号生成部１４２の構成の一例について説明する。

　図７に示すように、Ｂ相パルス生成部１４２は、上記Ａ相パルス生成部１４１と同様の処理を行う。但し、Ａ相パルス生成部１４１は、磁界検出素子１３１の２つの検出信号ＳＧ１ａ，ＳＧ１ｂを処理対象とし、最終的にＡ相パルス信号ａを出力するが、Ｂ相パルス生成部１４２は、磁界検出素子１３２の２つの検出信号を処理対象とし、最終的にＢ相パルス信号ｂを出力する。

　このＢ相パルス生成部１４２は、オフセット信号付与部４２０ａ，４２０ｂと、差動増幅器４２１ａ，４２１ｂと、Ａ／Ｄ変換器４２２ａ，４２２ｂと、メモリ４２３と、オフセット量設定部４２４１及び信号生成部４２４２を備えたオフセット信号生成部４２４と、Ｄ／Ａ変換器４２５ａ，４２５ｂと、多回転信号生成部４２６とを有する。なお、Ｂ相パルス生成部１４２の各構成の機能は、上記Ａ相パルス生成部１４１側の対応する構成の機能と同様であるので、説明を省略する。つまり、オフセット信号付与部４２０ａ，４２０ｂは、第１オフセット信号付与部の一例に相当する。また、Ａ／Ｄ変換器４２２ａ，４２２ｂは、入力部の一例に相当する。また、オフセット信号生成部４２４は、第１オフセット信号生成部の一例に相当する。また、多回転信号生成部４２６は、第１多回転信号生成部の一例に相当する。

　上記Ｂ相パルス生成部１４２のオフセット信号付与部４２０ａ，４２０ｂ、オフセット信号生成部４２４、及び多回転信号生成部４２６は、それぞれ、ＣＰＵが実行するプログラムにより実装されている。なお、これらオフセット信号付与部４２０ａ，４２０ｂ、オフセット信号生成部４２４、及び多回転信号生成部４２６は、それぞれ、その一部又は全部がＡＳＩＣやＦＰＧＡ、その他の電気回路等の実際の装置により実装されてもよい。

　　（１－５．サーボシステムの運転方法）
　次に、図８を参照しつつ、本実施形態に係るサーボシステムＳの運転方法の一例について説明する。

　図８において、このフローに示す処理は、例えばサーボシステムＳの各構成の電源投入により開始される。なお、この時点では、励磁コイル２１０に通電されておらず無励磁状態となるので、ブレーキ２００は、シャフトＳＨの制動を行うように作動する。

　まず、ステップＳ１０で、エンコーダ１００が、この時点、つまりブレーキ２００の作動時において、磁界検出素子１３１，１３２の検出信号を計測し、記録する。すなわち、制御部１４０のＡ相パルス信号生成部１４１におけるＡ／Ｄ変換器４１２ａ，４１２ｂが、差動増幅器４１１ａ，４１１ｂから取得した検出信号ＳＧ３ａ，ＳＧ３ｂをアナログ－デジタル変換し、変換後の検出信号ＳＧ４ａ，ＳＧ４ｂをメモリ４１３に記録する。また、制御部１４０のＢ相パルス信号生成部１４２も、上記Ａ相パルス信号生成部１４１と同様の処理を行う。

　そして、ステップＳ２０で、制御装置ＣＴが、モータＭをサーボロックする。

　その後、ステップＳ３０で、制御装置ＣＴが、励磁コイル２１０に通電してブレーキ２００を励磁状態とし、ブレーキ２００をシャフトＳＨの制動から解放する。

　そして、ステップＳ４０で、エンコーダ１００が、この時点、つまり、モータＭがサーボロックされ、且つ、ブレーキ２００が解放された状態において、上記ステップＳ１０と同様にして、磁界検出素子１３１，１３２の検出信号を計測し、記録する。

　その後、ステップＳ５０で、エンコーダ１００が、上記ステップＳ１０で記録された検出信号と、上記ステップＳ４０で記録された検出信号との差分に基づいて、オフセット量を設定する。すなわち、制御部１４０のＡ相パルス信号生成部１４１におけるオフセット信号生成部４１４が、メモリ４１３から取得した、上記ステップＳ１０で記録された検出信号ＳＧ４ａと、上記ステップＳ４０で記録された検出信号ＳＧ４ａとの差分に基づいて、オフセット信号ＳＧ６ａによるオフセット量を設定する。そして、Ａ相パルス信号生成部１４１における信号生成部４１４２が、上記設定されたオフセット信号ＳＧ６ａによるオフセット量に基づいて、オフセット信号ＳＧ６ｂを生成し、Ｄ／Ａ変換器４１５ａに出力する。その後、Ｄ／Ａ変換器４１５ａが、信号生成部４１４２から取得したオフセット信号ＳＧ６ａをデジタル－アナログ変換し、変換後のオフセット信号ＳＧ７ａをオフセット信号付与部４１０ａに出力する。また、制御部１４０のＢ相パルス信号生成部１４２も、上記Ａ相パルス信号生成部１４１と同様の処理を行う。

　そして、ステップＳ６０で、制御装置ＣＴが、モータＭのサーボロックを解除してモータＭを駆動制御する。

　その後、ステップＳ７０で、エンコーダ１００の制御部１４０における絶対位置信号生成部１４４が、前述のようにして絶対位置信号ｄを生成する。

　そして、ステップＳ８０で、エンコーダ１００の制御部１４０におけるＡ相パルス信号生成部１４１及びＢ相パルス信号生成部１４２が、Ａ相パルス信号ａ及びＢ相パルス信号ｂを生成する。すなわち、Ａ相パルス信号生成部１４１は、磁界検出素子１３１の検出信号ＳＧ１ａ，ＳＧ１ｂに対しオフセット信号ＳＧ７ａ，ＳＧ７ｂを付与することで、検出信号ＳＧ１ａ，ＳＧ１ｂを、上記ステップＳ５０で設定したオフセット量だけオフセットさせつつ、Ａ相パルス信号ａを生成する。また、Ｂ相パルス信号生成部１４２は、上記Ａ相パルス信号生成部１４１と同様の処理を行って、Ｂ相パルス信号ｂを生成する。

　その後、ステップＳ９０で、エンコーダ１００の制御部１４０におけるカウンタ１４３が、上記ステップＳ８０で生成されたＡ相パルス信号ａ及びＢ相パルス信号ｂを取得し、これらＡ相パルス信号ａ及びＢ相パルス信号ｂに基づいて、多回転信号ｃを生成する。

　そして、ステップＳ１００で、エンコーダ１００の制御部１４０における位置データ生成部１４５が、上記ステップＳ７０で生成された絶対位置信号ｄと、上記ステップＳ９０で生成された多回転信号ｃとを取得する。そして、位置データ生成部１４５は、取得した絶対位置信号ｄ及び多回転信号ｃに基づいて、位置データを生成し、制御装置ＣＴに出力する。その後、ステップＳ７０に移り、同様の手順を繰り返す。

　なお、以上説明した図８に示すフローチャートに記述されたステップは、記載された順序に沿って時系列的に行われる処理はもちろん、必ずしも時系列的に処理されなくとも、並列的に又は個別的に実行される処理をも含む。また、時系列的に処理されるステップでも、場合によっては適宜順序を変更可能である。

　　（１－６．本実施形態による効果の例）
　以上説明した本実施形態に係るエンコーダ１００のＡ相パルス信号生成部１４１では、多回転信号生成部４１６が、磁界検出素子１３１の検出信号ＳＧ１ａ，ＳＧ１ｂに基づいて、磁石ＭＧの１回転で１周期となるＡ相パルス信号ａを生成する。このとき、例えばエンコーダ１００の外部からの漏洩磁束が磁界検出素子１３１に及んだ場合、磁界検出素子１３１の検出信号ＳＧ１ａ，ＳＧ１ｂにオフセットが生じる等の影響が出る場合がある。そこで本実施形態では、オフセット信号生成部４１４が検出信号ＳＧ１ａ，ＳＧ１ｂを所定量オフセットさせるオフセット信号ＳＧ６ａ，ＳＧ６ｂを生成し、オフセット信号付与部４１０ａ，４１０ｂが検出信号ＳＧ１ａ，ＳＧ１ｂに対しオフセット信号ＳＧ７ａ，ＳＧ７ｂを付与する。そして、多回転信号生成部４１６は、検出信号ＳＧ１ａ，ＳＧ１ｂに対しオフセット信号ＳＧ７ａ，ＳＧ７ｂが付与された後の検出信号ＳＧ３ａ，ＳＧ３ｂに基づいて、Ａ相パルス信号ａを生成する。これにより、漏洩磁束による検出信号ＳＧ１ａ，ＳＧ１ｂのオフセットを相殺することが可能となるので、例えばエンコーダ１００の外部からの漏洩磁束による影響を低減することができる。なお、Ｂ相パルス信号生成部１４１についても同様である。

　また、本実施形態では特に、Ａ相パルス信号生成部１４１では、オフセット量設定部４１４１が、エンコーダ１００に外部からの漏洩磁束の影響が無い状態でメモリ４１３に記録された検出信号ＳＧ４ａ，ＳＧ４ｂと、漏洩磁束の影響がある状態でメモリ４１３に記録された検出信号ＳＧ４ａ，ＳＧ４ｂとの差分に基づいて、オフセット信号ＳＧ６ａ，ＳＧ６ｂによるオフセット量を設定する。これにより、漏洩磁束による検出信号ＳＧ１ａ，ＳＧ１ｂのオフセットの相殺効果をより高めることができるので、エンコーダ１００の外部からの漏洩磁束による影響をより低減することができる。なお、Ｂ相パルス信号生成部１４１についても同様である。

　また、本実施形態では特に、Ａ相パルス信号生成部１４１では、磁界検出素子１３１が、一方が他方を反転させた２つの検出信号ＳＧ１ａ，ＳＧ１ｂを出力する。そして、多回転信号生成部４１６が、２つの検出信号ＳＧ１ａ，ＳＧ１ｂの差分に基づいて、Ａ相パルス信号ａを生成する。このようにＡ相パルス信号ａを差動出力とすることで、出力感度を増幅することができ、耐ノイズ性も向上できる。また、このような磁界検出素子１３１は、エンコーダ１００の外部からの漏洩磁束の影響を受けた場合、一方の検出信号が負側、他方の検出信号が正側にオフセットする。そこで本実施形態では、オフセット信号生成部４１４が、２つの検出信号ＳＧ１ａ，ＳＧ１ｂの一方を正側、他方を負側にオフセットさせる２つのオフセット信号ＳＧ６ａ，ＳＧ６ｂを生成する。そして、オフセット信号付与部４１０ａ，４１０ｂが、２つの検出信号ＳＧ１ａ，ＳＧ１ｂのそれぞれに対し、２つのオフセット信号ＳＧ７ａ，ＳＧ７ｂの対応する方を付与する。そして、多回転信号生成部４１６は、２つのオフセット信号ＳＧ７ａ，ＳＧ７ｂの対応する方がそれぞれ付与された後の２つの検出信号ＳＧ３ａ，ＳＧ３ｂの差分に基づいて、Ａ相パルス信号ａを生成する。これにより、漏洩磁束による２つの検出信号ＳＧ１ａ，ＳＧ１ｂのオフセットを効果的に相殺することができる。なお、Ｂ相パルス信号生成部１４１についても同様である。

　また、本実施形態に係るサーボモータＳＭは特に、モータＭと、モータＭの位置を検出するエンコーダ１００とを有する。これにより、モータＭからの漏洩磁束による影響を低減することができるサーボモータＳＭを実現できる。

　また、本実施形態に係るサーボモータＳＭは特に、モータＭとエンコーダ１００との間に配置された無励磁作動型のブレーキ２００を有する。この場合、前述の通りブレーキ２００側から漏洩磁束が生じ易い。そして、モータＭの駆動時（つまりブレーキ２００の解放時）にブレーキ２００の励磁コイル２１０が励磁されるので、エンコーダ１００への影響が大きくなる。このようなブレーキ２００を備えたサーボモータＳＭにおいて、漏洩磁束の影響を低減する対策として、シャフトＳＨのブレーキ２００部分に弱磁性金属を用いた圧接シャフトを用いることが考えられる。しかしながら、圧接シャフトは通常のシャフトに比べて強度上の信頼性が低く、且つ、製造コストが高いという問題がある。本実施形態によれば、上述のようにしてエンコーダ１００側で漏洩磁束の影響を低減することができるので、圧接シャフトを使用せずに済む。これにより、サーボモータＳＭの信頼性を高め、コストを低減できる。

　また、本実施形態に係るサーボシステムＳは特に、モータＭと、モータＭの位置を検出するエンコーダ１００と、モータＭとエンコーダ１００との間に配置された無励磁作動型のブレーキ２００と、ブレーキ２００及びモータＭを制御する制御装置ＣＴとを備える、これにより、ブレーキ２００からの漏洩磁束によるエンコーダ１００への影響を低減することができるサーボシステムＳを実現できる。

　また、本実施形態に係るサーボシステムＳでは特に、制御装置ＣＴが、モータＭをサーボロックしてブレーキ２００を解放し、サーボロックを解除してモータＭを駆動制御する。そして、Ａ相パルス信号生成部１４１では、オフセット量設定部４１４１が、ブレーキ２００の作動時に記録された検出信号ＳＧ４ａ，ＳＧ４ｂと、モータＭがサーボロックされ且つブレーキ２００が解放された状態で記録された検出信号ＳＧ４ａ，ＳＧ４ｂとの差分に基づいて、オフセット信号ＳＧ６ａ，ＳＧ６ｂによるオフセット量を設定する。これにより、ブレーキ２００からの漏洩磁束による検出信号ＳＧ１ａ，ＳＧ１ｂのオフセットの相殺効果をより高めることができるので、ブレーキ２００からの漏洩磁束による影響をより低減することができる。また、ブレーキ２００を解放する前にモータＭをサーボロックし、その状態で検出信号ＳＧ４ａ，ＳＧ４ｂを記録する。これにより、ブレーキ２００を解放することによるモータＭの位置変動を防止でき、オフセット量の設定精度を高めることができる。その結果、漏洩磁束の影響の低減効果をより高めることができる。なお、Ｂ相パルス信号生成部１４１についても同様である。

　＜２．第２実施形態＞
　次に、第２実施形態について説明する。なお、第２実施形態では、主として上記第１実施形態と異なる部分について説明する。また、上記第１実施形態と実質的に同一の機能を有する構成要素は、原則として同一の符号で表し、これらの構成要素についての重複説明は、適宜省略する。

　　（２－１．Ａ相パルス信号生成部）
　以下、図９を参照しつつ、本実施形態に係るＡ相パルス信号生成部の構成の一例について説明する。

　図９に示すように、Ａ相パルス信号生成部１４１’は、オフセット信号付与部４１０ａ’，４１０ｂ’と、差動増幅器４１１ａ，４１１ｂと、Ａ／Ｄ変換器４１２ａと、メモリ４１３と、オフセット信号生成部４１４’と、多回転信号生成部４１６とを有する。

　オフセット信号付与部４１０ａ’は、差動増幅器４１１ａへの２つの入力ラインの少なくとも１つに配置されている。そして、オフセット信号付与部４１０ａ’は、磁界検出素子１３１の一方の検出信号ＳＧ１ａを含む複数の信号の少なくとも１つの信号に対し、オフセット信号を付与する。本実施形態では、オフセット信号付与部４１０ａ’は、検出信号ＳＧ１ａが流れる差動増幅器４１１ａの非反転入力（＋）側への入力ラインに配置されている。そして、オフセット信号付与部４１０ａ’は、検出信号ＳＧ１ａに対し、前述のオフセット信号ＳＧ７ａを付与する。

　なお、オフセット信号付与部４１０ａ’は、差動増幅器４１１ａの非反転入力（＋）側への入力ラインに代えて又は加えて、前述の基準電圧信号ＳＧ０ａが流れる反転入力（－）側への入力ラインに配置されてもよい。そして、オフセット信号付与部４１０ａ’は、検出信号ＳＧ１ａに対しオフセット信号ＳＧ７ａを付与するのに代えて又は加えて、基準電圧信号ＳＧ０ａに対し、該基準電圧信号ＳＧ０ａを所定量オフセットさせるオフセット信号を付与してもよい。但し、説明の便宜上、以下では、オフセット信号付与部４１０ａ’が、差動増幅器４１１ａの非反転入力（＋）側への入力ラインに配置され、検出信号ＳＧ１ａに対しオフセット信号ＳＧ７ａを付与する場合について説明する。

　すなわち、オフセット信号付与部４１０ａ’は、磁界検出素子１３１から検出信号ＳＧ１ａを取得する。また、後述のスイッチ部４１４３によりオフセット信号ＳＧ７ａが出力されている場合には、オフセット信号付与部４１０ａ’は、オフセット信号ＳＧ７ａを取得する。この場合には、オフセット信号付与部４１０ａ’は、取得した検出信号ＳＧ１ａに対し、取得したオフセット信号ＳＧ７ａを付与し、付与後の検出信号ＳＧ２ａを出力する。一方、スイッチ部４１４３によりオフセット信号ＳＧ７ａが出力されていない場合には、オフセット信号付与部４１０ａ’は、取得した検出信号ＳＧ１ａと等しい検出信号ＳＧ２ａを出力する。

　一方、オフセット信号付与部４１０ｂ’は、差動増幅器４１１ｂへの２つの入力ラインの少なくとも１つに配置されている。そして、オフセット信号付与部４１０ｂ’は、磁界検出素子１３１の他方の検出信号ＳＧ１ｂを含む複数の信号の少なくとも１つの信号に対し、オフセット信号を付与する。本実施形態では、オフセット信号付与部４１０ｂ’は、検出信号ＳＧ１ｂが流れる差動増幅器４１１ｂの非反転入力（＋）側への入力ラインに配置されている。そして、オフセット信号付与部４１０ｂ’は、検出信号ＳＧ１ｂに対し、前述のオフセット信号ＳＧ７ｂを付与する。

　なお、オフセット信号付与部４１０ｂ’は、差動増幅器４１１ｂの非反転入力（＋）側への入力ラインに代えて又は加えて、前述の基準電圧信号ＳＧ０ｂが流れる反転入力（－）側への入力ラインに配置されてもよい。そして、オフセット信号付与部４１０ｂ’は、検出信号ＳＧ１ｂに対しオフセット信号ＳＧ７ｂを付与するのに代えて又は加えて、基準電圧信号ＳＧ０ｂに対し、該基準電圧信号ＳＧ０ｂを所定量オフセットさせるオフセット信号を付与してもよい。但し、説明の便宜上、以下では、オフセット信号付与部４１０ｂ’が、差動増幅器４１１ｂの非反転入力（＋）側への入力ラインに配置され、検出信号ＳＧ１ｂに対しオフセット信号ＳＧ７ｂを付与する場合について説明する。

　すなわち、オフセット信号付与部４１０ｂ’は、磁界検出素子１３１から検出信号ＳＧ１ｂを取得する。また、後述のスイッチ部４１４３によりオフセット信号ＳＧ７ｂが出力されている場合には、オフセット信号付与部４１０ｂ’は、オフセット信号ＳＧ７ｂを取得する。この場合には、オフセット信号付与部４１０ｂ’は、取得した検出信号ＳＧ１ｂに対し、取得したオフセット信号ＳＧ７ｂを付与し、付与後の検出信号ＳＧ２ｂを出力する。一方、スイッチ部４１４３によりオフセット信号ＳＧ７ｂが出力されていない場合には、オフセット信号付与部４１０ｂ’は、取得した検出信号ＳＧ１ｂと等しい検出信号ＳＧ２ｂを出力する。

　なお、オフセット信号付与部４１０ａ’，４１０ｂ’は、第１オフセット信号付与部の一例に相当する。

　差動増幅器４１１ａ，４１１ｂ及びＡ／Ｄ変換器４１２ａは、上記第１実施形態と同様である。すなわち、Ａ／Ｄ変換器４１２ａは、前述のブレーキ２００の作動時と、前述のモータＭがサーボロックされ且つブレーキ２００が解放された状態とにおいて、差動増幅器４１１ａから検出信号ＳＧ３ａを取得し、前述の検出信号ＳＧ４ａを出力する。この結果、メモリ４１３には、ブレーキ２００の作動時における検出信号ＳＧ４ａと、モータＭがサーボロックされ且つブレーキ２００が解放された状態における検出信号ＳＧ４ａとが記録される。

　オフセット信号生成部４１４’は、磁界検出素子１３１の２つの検出信号ＳＧ１ａ，ＳＧ１ｂの一方を正側、他方を負側にオフセットさせる２つのオフセット信号ＳＧ７ａ，ＳＧ７ｂを生成する。つまり、オフセット信号生成部４１４’は、第１オフセット信号生成部の一例に相当する。

　この際、オフセット信号生成部４１４’は、適宜のメモリに記録されたオフセット量の設定値（パラメータ）に基づいて、オフセット信号ＳＧ７ａ，ＳＧ７ｂによるオフセット量の絶対値を設定してもよい。但し、本実施形態では、オフセット信号生成部４１４’が、ブレーキ２００の作動時にメモリ４１３に記録された検出信号ＳＧ４ａと、モータＭがサーボロックされ且つブレーキ２００が解放された状態でメモリ４１３に記録された検出信号ＳＧ４ａとに基づいて、オフセット信号ＳＧ７ａ，ＳＧ７ｂによるオフセット量の絶対値を設定する場合について説明する。

　すなわち、オフセット信号生成部４１４’は、オフセット量設定部４１４１’と、スイッチ部４１４３とを備える。

　オフセット量設定部４１４１’は、ブレーキ２００の作動時にメモリ４１３に記録された検出信号ＳＧ４ａと、モータＭがサーボロックされ且つブレーキ２００が解放された状態でメモリ４１３に記録された検出信号ＳＧ４ａとを取得する。そして、オフセット量設定部４１４１’は、取得した、ブレーキ２００の作動時における検出信号ＳＧ４ａと、モータＭがサーボロックされ且つブレーキ２００が解放された状態における検出信号ＳＧ４ａとの差分（つまり漏洩磁束によるオフセット量）を算出する。その後、オフセット量設定部４１４１’は、算出した差分に基づいて、オフセット信号ＳＧ７ａ，ＳＧ７ｂによるオフセット量の絶対値を設定する。

　スイッチ部４１４３は、例えばアナログスイッチにより構成されている。このスイッチ部４１４３は、オフセット量設定部４１４１’が算出した上記差分の符号（正号であるか負号であるか）と、オフセット量設定部４１４１’が設定したオフセット量の絶対値とに基づいて、オフセット信号ＳＧ６ａ，ＳＧ６ｂの正負の対応関係を反対に切り替えつつ、オフセット信号ＳＧ６ａ，ＳＧ６ｂを出力する。例えば、上記差分の符号が正号であった場合には、正のオフセット信号ＳＧ６ａ及び負のオフセット信号ＳＧ７ａが出力され、上記差分の符号が負号であった場合には、負のオフセット信号ＳＧ６ａ及び正のオフセット信号ＳＧ７ａが出力される。これにより、上記オフセット信号付与部４１０ａ’は、スイッチ部４１４３からオフセット信号ＳＧ７ａを取得し、検出信号ＳＧ１ａに対しオフセット信号ＳＧ７ａを付与可能となるので、上記付与後の検出信号ＳＧ２ａを出力可能となる。また、上記オフセット信号付与部４１０ｂ’は、スイッチ部４１４３からオフセット信号ＳＧ７ｂを取得し、検出信号ＳＧ１ｂに対しオフセット信号ＳＧ７ｂを付与可能となるので、上記付与後の検出信号ＳＧ２ａを出力可能となる。

　多回転信号生成部４１６は、上記第１実施形態と同様である。

　上記Ａ相パルス生成部１４１’のオフセット信号付与部４１０ａ’，４１０ｂ’、オフセット信号生成部４１４’、及び多回転信号生成部４１６は、それぞれ、ＣＰＵが実行するプログラムにより実装されている。なお、これらオフセット信号付与部４１０ａ’，４１０ｂ’、オフセット信号生成部４１４’、及び多回転信号生成部４１６は、それぞれ、その一部又は全部がＡＳＩＣやＦＰＧＡ、その他の電気回路等の実際の装置により実装されてもよい。

　なお、以上説明した図９に示すＡ相パルス生成部１４１’の各構成の切り分けは、あくまで一例であって、上記以外の切り分けであってもよい。

　　（２－２．Ｂ相パルス信号生成部）
　次に、図９を参照しつつ、本実施形態に係るＢ相パルス信号生成部の構成の一例について説明する。

　図９に示すように、Ｂ相パルス生成部１４２’は、上記Ａ相パルス生成部１４１’と同様の処理を行う。但し、Ａ相パルス生成部１４１’は、磁界検出素子１３１の２つの検出信号ＳＧ１ａ，ＳＧ１ｂを処理対象とし、最終的にＡ相パルス信号ａを出力するが、Ｂ相パルス生成部１４２’は、磁界検出素子１３２の２つの検出信号を処理対象とし、最終的にＢ相パルス信号ｂを出力する。

　このＢ相パルス生成部１４２’は、オフセット信号付与部４２０ａ’，４２０ｂ’と、差動増幅器４２１ａ，４２１ｂと、Ａ／Ｄ変換器４２２ａと、メモリ４２３と、オフセット量設定部４２４１’及びスイッチ部４２４３を備えたオフセット信号生成部４２４’と、多回転信号生成部４２６とを有する。なお、Ｂ相パルス生成部１４２’の各構成の機能は、上記Ａ相パルス生成部１４１’側の対応する構成の機能と同様であるので、説明を省略する。つまり、オフセット信号付与部４２０ａ’，４２０ｂ’は、第１オフセット信号付与部の一例に相当する。

　上記Ｂ相パルス生成部１４２’のオフセット信号付与部４２０ａ’，４２０ｂ’、オフセット信号生成部４２４’、及び多回転信号生成部４２６は、それぞれ、ＣＰＵが実行するプログラムにより実装されている。なお、これらオフセット信号付与部４２０ａ’，４２０ｂ’、オフセット信号生成部４２４’、及び多回転信号生成部４２６は、それぞれ、その一部又は全部がＡＳＩＣやＦＰＧＡ、その他の電気回路等の実際の装置により実装されてもよい。

　　（２－３．本実施形態による効果の例）
　以上説明した本実施形態では、上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。また、本実施形態では、次のような効果を得ることができる。すなわち、エンコーダ１００に影響を及ぼす外部からの漏洩磁束の向きが、使用環境に応じて反対となる場合がある。例えば、サーボモータＳＭにエンコーダ１００が備えられた場合において、ブレーキ２００の励磁コイル２１０の巻き方向が使用環境に応じて反対となる場合等である。本実施形態に係るＡ相パルス信号生成部１４１’では、オフセット信号生成部４１４’が、２つのオフセット信号ＳＧ７ａ，ＳＧ７ｂの正負の対応関係を反対に切り替えるように構成されたスイッチ部４１４３を有する。これにより、漏洩磁束の向きに応じて２つのオフセット信号ＳＧ７ａ，ＳＧ７ｂの正負の対応関係を切り替えることができるので、使用環境に容易に対応することが可能となり、エンコーダ１００の汎用性を高めることができる。なお、Ｂ相パルス信号生成部１４２’についても同様である。

　＜３．第３実施形態＞
　次に、第３実施形態について説明する。なお、第３実施形態では、主として上記第１実施形態と異なる部分について説明する。また、上記第１実施形態と実質的に同一の機能を有する構成要素は、原則として同一の符号で表し、これらの構成要素についての重複説明は、適宜省略する。

　上記第１及び第２実施形態では、磁気センサ１３０として、一方が他方を反転させた２つの検出信号をそれぞれ出力する２つの磁界検出素子１３１，１３２を使用する場合について説明した。本実施形態では、磁気センサ１３０として、１つの検出信号を出力する２つの磁気抵抗素子１３３，１３４（後述の図１０参照）を使用する場合について説明する。つまり、２つの磁気抵抗素子１３３は、第２磁気センサの一例に相当する。

　磁気抵抗素子１３３，１３４は、前述の磁石ＭＧの上面における水平方向（回転軸心ＡＸに垂直な方向）の磁界を検出する。なお、磁気抵抗素子１３３，１３４としては、磁石ＭＧの上面における水平方向の磁界を検出可能なものであれば特に限定されるものではないが、例えばＭＲ素子が使用される。この例では、磁気抵抗素子１３３，１３４は、バイアス磁石（図示省略）を内蔵している。

　　（３－１．Ａ相パルス信号生成部）
　以下、図１０を参照しつつ、本実施形態に係るＡ相パルス信号生成部の構成の一例について説明する。

　図１０に示すように、Ａ相パルス信号生成部１４１”は、オフセット信号付与部４１０”と、差動増幅器４１１”と、Ａ／Ｄ変換器４１２”と、メモリ４１３と、オフセット信号生成部４１４”と、Ｄ／Ａ変換器４１５”と、多回転信号生成部４１６”とを有する。

　オフセット信号付与部４１０”は、差動増幅器４１１”への２つの入力ラインの少なくとも１つに配置されている。そして、オフセット信号付与部４１０”は、磁気抵抗素子１３３の検出信号ＳＧ８を含む複数の信号の少なくとも１つの信号に対し、オフセット信号を付与する。本実施形態では、オフセット信号付与部４１０”は、検出信号ＳＧ９が流れる差動増幅器４１１”の非反転入力（＋）側への入力ラインに配置されている。そして、オフセット信号付与部４１０”は、検出信号ＳＧ８に対し、該検出信号ＳＧ８を所定量オフセットさせる（つまり検出信号ＳＧ８に含まれるオフセット成分を除去又は低減するように補正する）オフセット信号ＳＧ１３を付与する。

　なお、オフセット信号付与部４１０”は、差動増幅器４１１”の非反転入力（＋）側への入力ラインに代えて又は加えて、基準電圧（この例では対地電圧）信号ＳＧ０が流れる反転入力（－）側への入力ラインや、多回転信号生成部４１６”における後述の検出信号ＳＧ１０が流れる非反転入力（＋）側への入力ライン、基準電圧信号ＳＧ１４が流れる反転入力（－）側への入力ラインに配置されてもよい。そして、オフセット信号付与部４１０”は、検出信号ＳＧ８に対しオフセット信号ＳＧ１３を付与するのに代えて又は加えて、基準電圧信号ＳＧ０に対し、該基準電圧信号ＳＧ０を所定量オフセットさせる（つまり検出信号ＳＧ８に含まれるオフセット成分を除去又は低減するようにしきい値を変更する）オフセット信号を付与してもよい。あるいは、オフセット信号付与部４１０”は、検出信号ＳＧ１０に対し、該検出信号ＳＧ１０を所定量オフセットさせる（つまり検出信号ＳＧ１０に含まれるオフセット成分を除去又は低減するように補正する）オフセット信号を付与してもよい。あるいは、オフセット信号付与部４１０”は、基準電圧信号ＳＧ１４に対し、該基準電圧信号ＳＧ１４を所定量オフセットさせる（つまり検出信号ＳＧ１０に含まれるオフセット成分を除去又は低減するようにしきい値を変更する）オフセット信号を付与してもよい。但し、説明の便宜上、以下では、オフセット信号付与部４１０”が、差動増幅器４１１”の非反転入力（＋）側への入力ラインに配置され、検出信号ＳＧ８に対しオフセット信号ＳＧ１３を付与する場合について説明する。

　すなわち、オフセット信号付与部４１０”は、磁気抵抗素子１３３から検出信号ＳＧ８を取得する。また、Ｄ／Ａ変換器４１５”によりオフセット信号ＳＧ１３が出力されている場合には、オフセット信号付与部４１０”は、オフセット信号ＳＧ１３を取得する。この場合には、オフセット信号付与部４１０”は、取得した検出信号ＳＧ８に対し、取得したオフセット信号ＳＧ１３を付与し、付与後（つまり検出信号ＳＧ８を所定量オフセット後の）の検出信号ＳＧ９を出力する。一方、Ｄ／Ａ変換器４１５”によりオフセット信号ＳＧ１３が出力されていない場合には、オフセット信号付与部４１０”は、取得した検出信号ＳＧ８と等しい検出信号ＳＧ９を出力する。

　なお、オフセット信号付与部４１０”は、第２オフセット信号付与部の一例に相当する。

　差動増幅器４１１”は、オフセット信号付与部４１０”から検出信号ＳＧ９を取得すると共に、上記基準電圧信号ＳＧ０を取得する。そして、差動増幅器４１１”は、取得した検出信号ＳＧ９と基準電圧信号ＳＧ０との差分を所定の差動利得で増幅し、増幅後の検出信号ＳＧ１０を出力する。

　Ａ／Ｄ変換器４１２”は、所定のタイミングにおいて、差動増幅器４１１”から検出信号ＳＧ１０を取得し、該検出信号ＳＧ１０をアナログ－デジタル変換し、変換後の検出信号ＳＧ１１を出力する。Ａ／Ｄ変換器４１２”により出力された検出信号ＳＧ１１は、メモリ４１３に記録される。具体的には、Ａ／Ｄ変換器４１２”は、前述のブレーキ２００の作動時と、前述のモータＭがサーボロックされ且つブレーキ２００が解放された状態とにおいて、差動増幅器４１１”から検出信号ＳＧ１０を取得し、検出信号ＳＧ１１を出力する。この結果、メモリ４１３には、ブレーキ２００の作動時における検出信号ＳＧ１１と、モータＭがサーボロックされ且つブレーキ２００が解放された状態における検出信号ＳＧ１１とが記録される。

　オフセット信号生成部４１４”は、磁気抵抗素子１３３の検出信号を含む複数の信号の少なくとも１つの信号を所定量オフセットさせるオフセット信号を生成するタイミングにおいて、該オフセット信号を生成する。上述の通り、磁気抵抗素子１３３は、１つの検出信号ＳＧ８を出力する。従って、オフセット信号生成部４１４”は、磁気抵抗素子１３３の検出信号及び基準電圧信号の少なくとも一方をオフセットさせるオフセット信号を生成する。つまり、オフセット信号生成部４１４”は、第２オフセット信号生成部の一例に相当する。本実施形態では、オフセット信号生成部４１４”が、磁気抵抗素子１３３の検出信号ＳＧ８をオフセットさせるオフセット信号ＳＧ１３を生成する場合について説明する。

　この際、オフセット信号生成部４１４”は、適宜のメモリに記録されたオフセット量の設定値（パラメータ）に基づいて、オフセット信号ＳＧ１２によるオフセット量を設定してもよい。但し、本実施形態では、オフセット信号生成部４１４”が、ブレーキ２００の作動時にメモリ４１３に記録された検出信号ＳＧ１１と、モータＭがサーボロックされ且つブレーキ２００が解放された状態でメモリ４１３に記録された検出信号ＳＧ１１とに基づいて、オフセット信号ＳＧ１２によるオフセット量を設定する場合について説明する。

　すなわち、オフセット信号生成部４１４”は、オフセット量設定部４１４１”と、信号生成部４１４２”とを備える。

　オフセット量設定部４１４１”は、ブレーキ２００の作動時にメモリ４１３に記録された検出信号ＳＧ１１と、モータＭがサーボロックされ且つブレーキ２００が解放された状態でメモリ４１３に記録された検出信号ＳＧ１１とを取得する。そして、オフセット量設定部４１４１”は、取得した、ブレーキ２００の作動時における検出信号ＳＧ１１と、モータＭがサーボロックされ且つブレーキ２００が解放された状態における検出信号ＳＧ１１との差分（つまり漏洩磁束によるオフセット量）に基づいて、オフセット信号ＳＧ１２よるオフセット量を設定する。

　信号生成部４１４２”は、オフセット量設定部４１４１”が設定したオフセット信号ＳＧ１２によるオフセット量の設定値に基づいて、オフセット信号ＳＧ１２を出力する。

　Ｄ／Ａ変換器４１５”は、信号生成部４１４２”からオフセット信号ＳＧ１２を取得し、該オフセット信号ＳＧ１２をデジタル－アナログ変換し、変換後のオフセット信号ＳＧ１３を出力する。これにより、上記オフセット信号付与部４１０”は、Ｄ／Ａ変換器４１５”からオフセット信号ＳＧ１３を取得し、検出信号ＳＧ８に対しオフセット信号ＳＧ１３を付与可能となるので、上記付与後の検出信号ＳＧ９を出力可能となる。

　多回転信号生成部４１６”は、前述のＡ相パルス信号ａを生成するタイミングにおいて、磁気抵抗素子１３３の検出信号ＳＧ８を含む複数の信号に基づいて、Ａ相パルス信号ａを出力する。この際、多回転信号生成部４１６”は、少なくとも１つの信号に対しオフセット信号が付与された後の上記複数の信号に基づいて、Ａ相パルス信号ａを出力する。具体的には、多回転信号生成部４１６”は、例えばコンパレータ等の比較器により構成されている。そして、多回転信号生成部４１６”は、差動増幅器４１１”から、上記付与後の検出信号ＳＧ９に基づく検出信号ＳＧ１０を取得すると共に、基準電圧信号ＳＧ１４を取得する。その後、多回転信号生成部４１６は、取得した検出信号ＳＧ１０及び基準電圧信号ＳＧ１４を比較し、比較結果に基づいて、Ａ相パルス信号ａを出力する。つまり、多回転信号生成部４１６は、第２多回転信号生成部の一例に相当する。

　上記Ａ相パルス信号生成部１４１”のオフセット信号付与部４１０”、オフセット信号生成部４１４”、及び多回転信号生成部４１６”は、それぞれ、ＣＰＵが実行するプログラムにより実装されている。なお、これらオフセット信号付与部４１０”、オフセット信号生成部４１４”、及び多回転信号生成部４１６”は、それぞれ、その一部又は全部がＡＳＩＣやＦＰＧＡ、その他の電気回路等の実際の装置により実装されてもよい。

　なお、以上説明した図１０に示すＡ相パルス生成部１４１”の各構成の切り分けは、あくまで一例であって、上記以外の切り分けであってもよい。

　　（３－２．Ｂ相パルス信号生成部）
　次に、図１０を参照しつつ、本実施形態に係るＢ相パルス信号生成部の構成の一例について説明する。

　図１０に示すように、Ｂ相パルス生成部１４２”は、上記Ａ相パルス生成部１４１”と同様の処理を行う。但し、Ａ相パルス生成部１４１”は、磁気抵抗素子１３３の１つの検出信号ＳＧ８を処理対象とし、最終的にＡ相パルス信号ａを出力するが、Ｂ相パルス生成部１４２”は、磁気抵抗素子１３４の１つの検出信号を処理対象とし、最終的にＢ相パルス信号ｂを出力する。

　このＢ相パルス生成部１４２”は、オフセット信号付与部４２０”と、差動増幅器４２１”と、Ａ／Ｄ変換器４２２”と、メモリ４２３と、オフセット量設定部４２４１”及び信号生成部４２４２”を備えたオフセット信号生成部４２４”と、Ｄ／Ａ変換器４２５”と、多回転信号生成部４２６”とを有する。なお、Ｂ相パルス生成部１４２”の各構成の機能は、上記Ａ相パルス生成部１４１”側の対応する構成の機能と同様であるので、説明を省略する。つまり、オフセット信号付与部４２０”は、第２オフセット信号付与部の一例に相当する。また、オフセット信号生成部４２４”は、第２オフセット信号生成部の一例に相当する。また、多回転信号生成部４１６”は、第２多回転信号生成部の一例に相当する。

　上記Ｂ相パルス信号生成部１４２”のオフセット信号付与部４２０”、オフセット信号生成部４２４”、及び多回転信号生成部４２６”は、それぞれ、ＣＰＵが実行するプログラムにより実装されている。なお、これらオフセット信号付与部４２０”、オフセット信号生成部４２４”、及び多回転信号生成部４２６”は、それぞれ、その一部又は全部がＡＳＩＣやＦＰＧＡ、その他の電気回路等の実際の装置により実装されてもよい。

　　（３－３．本実施形態による効果の例）
　以上説明した本実施形態では、上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。また、本実施形態では、磁気抵抗素子１３３が１つの検出信号ＳＧ８を出力する。そして、Ａ相パルス信号生成部１４１”では、オフセット信号生成部４１４”が、検出信号ＳＧ８をオフセットさせるオフセット信号ＳＧ１２を生成し、オフセット信号付与部４１０”が、検出信号ＳＧ８に対しオフセット信号ＳＧ１３を付与する。そして、多回転信号生成部４１６”は、検出信号ＳＧ８に対しオフセット信号ＳＧ１３が付与された検出信号ＳＧ１０と基準電圧信号ＳＧ１４とを比較して、Ａ相パルス信号ａを生成する。これにより、漏洩磁束による検出信号ＳＧ８のオフセットの影響を相殺することが可能となるので、例えばエンコーダ１００の外部からの漏洩磁束による影響を低減することができる。なお、Ｂ相パルス信号生成部１４２”についても同様である。

　＜４．変形例等＞
　以上、添付図面を参照しながら各実施形態について詳細に説明した。しかしながら、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範囲は、上記各実施形態に限定されるものではない。上記各実施形態の属する技術の分野における通常の知識を有する者であれば、技術的思想の範囲内において、様々な変更や修正、組み合わせなどを行うことに想到できることは明らかである。従って、これらの変更や修正、組み合わせなどが行われた後の技術も、当然に技術的思想の範囲に属するものである。

　すなわち、上記第１及び第２実施形態では、磁気センサ１３０として２つの磁界検出素子１３１，１３２を使用した場合、上記第３実施形態では、磁気センサ１３０として２つの磁気抵抗素子１３３，１３４を使用した場合を例にとって説明した。しかしながら、磁気センサ１３０としては、上記の例に限定されるものではない。例えば、磁気センサ１３０として、１つ以上の磁界検出素子と１つ以上の磁気抵抗素子とを組み合わせて使用してもよい。また、磁気センサ１３０として、１つの磁界検出素子のみ又は１つの磁気抵抗素子のみを使用してもよい。あるいは、磁気センサ１３０として、磁界検出素子や磁気抵抗素子以外のものを使用してもよい。

　また、以上の説明における「垂直」とは、厳密な意味での平行ではない。すなわち、「垂直」とは、設計上、製造上の公差、誤差が許容され、「実質的に垂直」という意味である。

　また、以上の説明における「平行」とは、厳密な意味での平行ではない。すなわち、「平行」とは、設計上、製造上の公差、誤差が許容され、「実質的に平行」という意味である。

　また、以上の説明における「一致」「等しい」「均等」とは、厳密な意味ではない。すなわち、「一致」「等しい」「均等」とは、設計上、製造上の公差、誤差が許容され「実質的に一致」「実質的に等しい」「実質的に均等」という意味である。

　また、図７、図９、及び図１０中に示す矢印は、信号の流れの一例を示すものであり、信号の流れ方向を限定するものではない。

　また、以上既に述べた以外にも、上記各実施形態や各変形例による手法を適宜組み合わせて利用してもよい。

　その他、一々例示はしないが、上記各実施形態や各変形例は、その趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更が加えられて実施されるものである。

　１００　　　　エンコーダ
　１３０　　　　磁気センサ
　１３１　　　　磁界検出素子（第１磁気センサの一例）
　１３２　　　　磁界検出素子（第１磁気センサの一例）
　１３３　　　　磁気抵抗素子（第２磁気センサの一例）
　１３４　　　　磁気抵抗素子（第２磁気センサの一例）
　２００　　　　ブレーキ
　４１０ａ，４１０ｂ　　　　オフセット信号付与部（第１オフセット信号付与部の一例）
　４１０ａ’，４１０ｂ’　　　オフセット信号付与部（第１オフセット信号付与部の一例）
　４１０”　　　オフセット信号付与部（第２オフセット信号付与部の一例）
　４１２ａ，４１２ｂ　　　　Ａ／Ｄ変換器（入力部の一例）
　４１２”　　　Ａ／Ｄ変換器（入力部の一例）
　４１３　　　　メモリ
　４１４　　　　オフセット信号生成部（第１オフセット信号生成部の一例）
　４１４’　　　オフセット信号生成部（第１オフセット信号生成部の一例）
　４１４”　　　オフセット信号生成部（第２オフセット信号生成部の一例）
　４１６　　　　多回転信号生成部（第１多回転信号生成部の一例）
　４１６”　　　多回転信号生成部（第２多回転信号生成部の一例）
　４２０ａ，４２０ｂ　　　　オフセット信号付与部（第１オフセット信号付与部の一例）
　４２０ａ’，４２０ｂ’　　　オフセット信号付与部（第１オフセット信号付与部の一例）
　４２０”　　　オフセット信号付与部（第２オフセット信号付与部の一例）
　４２２ａ，４２２ｂ　　　　Ａ／Ｄ変換器（入力部の一例）
　４２２”　　　Ａ／Ｄ変換器（入力部の一例）
　４２３　　　　メモリ
　４２４　　　　オフセット信号生成部（第１オフセット信号生成部の一例）
　４２４’　　　オフセット信号生成部（第１オフセット信号生成部の一例）
　４２４”　　　オフセット信号生成部（第２オフセット信号生成部の一例）
　４２６　　　　多回転信号生成部（第１多回転信号生成部の一例）
　４２６”　　　多回転信号生成部（第２多回転信号生成部の一例）
　４１４１　　　オフセット量設定部
　４１４１’　　オフセット量設定部
　４１４１”　　オフセット量設定部
　４１４３　　　スイッチ部
　４２４１　　　オフセット量設定部
　４２４１’　　オフセット量設定部
　４２４１”　　オフセット量設定部
　４２４３　　　スイッチ部
　ＡＸ　　　　　回転軸心
　ＣＴ　　　　　制御装置
　Ｍ　　　　　　モータ
　ＭＧ　　　　　磁石
　Ｓ　　　　　　サーボシステム
　ＳＭ　　　　　サーボモータ（エンコーダ付モータの一例）

Claims

　回転軸心周りに回転される磁石と、
　前記磁石が発生する磁気を検出するように構成された磁気センサと、
　前記磁気センサの検出信号を含む複数の信号に基づいて、前記磁石の１回転で１周期となる多回転信号を生成するように構成された多回転信号生成部と、を有するエンコーダであって、
　前記複数の信号の少なくとも１つを所定量オフセットさせるオフセット信号を生成するように構成されたオフセット信号生成部と、
　前記複数の信号の少なくとも１つに対し前記オフセット信号を付与するように構成されたオフセット信号付与部と、を有し、
　前記多回転信号生成部は、
　少なくとも１つに対し前記オフセット信号が付与された後の複数の信号に基づいて、前記多回転信号を生成するように構成される、エンコーダ。
　前記検出信号を入力するように構成された入力部と、
　前記入力部で入力した前記検出信号を記録するように構成されたメモリと、を更に有し、
　前記オフセット信号生成部は、
　前記エンコーダに外部からの漏洩磁束の影響が無い状態で前記メモリに記録された前記検出信号と、前記漏洩磁束の影響がある状態で前記メモリに記録された前記検出信号との差分に基づいて、前記オフセット信号によるオフセット量を設定するように構成されたオフセット量設定部を有する、請求項１に記載のエンコーダ。
　前記磁気センサは、
　一方が他方を反転させた２つの前記検出信号を出力するように構成された第１磁気センサを有し、
　前記オフセット信号生成部は、
　前記２つの検出信号の一方を正側、他方を負側にオフセットさせる２つの前記オフセット信号を生成するように構成された第１オフセット信号生成部を有し、
　前記オフセット信号付与部は、
　前記２つの検出信号のそれぞれに対し前記２つのオフセット信号の対応する方を付与するように構成された第１オフセット信号付与部を有し、
　前記多回転信号生成部は、
　前記２つのオフセット信号の対応する方がそれぞれ付与された後の２つの検出信号の差分に基づいて、前記多回転信号を生成するように構成された第１多回転信号生成部を有する、請求項１又は２に記載のエンコーダ。
　前記第１オフセット信号生成部は、
　前記２つのオフセット信号の正負の対応関係を反対に切り替えるように構成されたスイッチ部を有する、請求項３に記載のエンコーダ。
　前記磁気センサは、
　１つの前記検出信号を出力するように構成された第２磁気センサを有し、
　前記オフセット信号生成部は、
　前記検出信号及び基準電圧信号の少なくとも一方をオフセットさせる前記オフセット信号を生成するように構成された第２オフセット信号生成部を有し、
　前記オフセット信号付与部は、
　前記検出信号及び前記基準電圧信号の少なくとも一方に対し前記オフセット信号を付与するように構成された第２オフセット信号付与部を有し、
　前記多回転信号生成部は、
　少なくとも一方に対し前記オフセット信号が付与された前記検出信号と前記基準電圧信号とを比較し、前記多回転信号を生成するように構成された第２多回転信号生成部を有する、請求項１～４のいずれか１項に記載のエンコーダ。
　モータと、
　前記モータの回転位置及び回転速度の少なくとも一方を検出するように構成された請求項１～５のいずれか１項に記載のエンコーダと、を有する、エンコーダ付モータ。
　前記モータと前記エンコーダとの間に配置された無励磁作動型のブレーキを有し、
　前記オフセット信号生成部のオフセット量設定部は、
　前記ブレーキの作動時に記録された前記検出信号と、前記ブレーキの解放時に記録された前記検出信号との差分に基づいて、前記オフセット信号によるオフセット量を設定するように構成される、請求項６に記載のエンコーダ付モータ。
　モータと、
　前記モータの回転位置及び回転速度の少なくとも一方を検出するように構成された請求項１～５のいずれか１項に記載のエンコーダと、
　前記モータと前記エンコーダとの間に配置された無励磁作動型のブレーキと、
　前記ブレーキ及び前記モータを制御するように構成された制御装置と、を備える、サーボシステム。
　前記制御装置は、
　前記モータをサーボロックして前記ブレーキを解放し、前記サーボロックを解除して前記モータを駆動制御するように構成され、
　前記オフセット信号生成部のオフセット量設定部は、
　前記ブレーキの作動時に記録された前記検出信号と、前記モータが前記サーボロックされ且つ前記ブレーキが解放された状態で記録された前記検出信号との差分に基づいて、前記オフセット信号によるオフセット量を設定するように構成される、請求項８に記載のサーボシステム。
　モータと、
　前記モータの回転軸心周りに回転される磁石、前記磁石が発生する磁気を検出するように構成された磁気センサ、前記磁気センサの検出信号を含む複数の信号に基づいて、前記磁石の１回転で１周期となる多回転信号を生成するように構成された多回転信号生成部を備えたエンコーダと、
　前記モータと前記エンコーダとの間に配置された無励磁作動型のブレーキと、
　前記ブレーキ及び前記モータを制御するように構成された制御装置と、を備えたサーボシステムの運転方法であって、
　前記ブレーキの作動時に前記検出信号を記録することと、
　前記モータをサーボロックして前記ブレーキを解放することと、
　前記モータが前記サーボロックされ且つ前記ブレーキが解放された状態で前記検出信号を記録することと、
　記録された複数の前記検出信号の差分に基づいてオフセット量を設定することと、
　前記サーボロックを解除して、前記複数の信号の少なくとも１つを前記設定されたオフセット量だけオフセットさせつつ、前記モータを駆動することと、を有する、サーボシステムの運転方法。