WO2015146016A1 - 反射防止機能付きレンズの製造方法 - Google Patents

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    • C03C2218/154—Deposition methods from the vapour phase by sputtering

Definitions

  • the present invention relates to a method for producing an antireflective lens, and more particularly to a method for producing a nonreflective coating comprising a dielectric multilayer film on one side and a structured nonreflective coating on the other side. .
  • an antireflective film having a concavo-convex structure has a wide band and can suppress the reflectance to a low level for light rays from low to high angles, but has a problem that it is weak against rubbing because of the concavo-convex shape. is there.
  • Patent Document 2 discloses a lens in which a dielectric multilayer film is formed on one surface and a concavo-convex structure film of boehmite is formed on the other surface.
  • a dielectric film is formed on one surface of a lens, then alumina is formed on the other surface, and then the film is immersed in warm water to form a fine uneven structure film. It is done.
  • Patent Document 3 discloses a method of forming an alumina film on the other side in a non-coated (untreated) state on one side, and then performing warm water treatment to form a fine uneven structure film.
  • patent document 3 does not describe the process after formation of a fine uneven structure film, if a dielectric multilayer film is formed on one side after forming the fine uneven structure film, the dielectric multilayer film is formed on one side. It is possible to obtain a lens in which an antireflective film comprising the above is formed, and an antireflective film comprising the fine uneven structure film on the other surface.
  • the present invention has been made in view of the above-mentioned circumstances, and manufactures a lens with an anti-reflection function with high yield with a multi-layer dielectric film on one surface and an anti-reflection coating on the other surface. To provide a manufacturing method.
  • a dielectric multilayer film is formed on one surface of a lens body, and a film containing aluminum is formed on the other surface of the lens body,
  • a method of manufacturing a lens with an antireflection function by converting a film containing aluminum into a fine uneven structure film containing alumina hydrate as a main component by immersing only the surface on which a film containing aluminum is formed in warm water. is there.
  • the period (average pitch) of the unevenness of the fine uneven structure film is made sufficiently smaller than the wavelength of light to be used.
  • the outermost surface of the dielectric multilayer film can be made of a layer made of MgF 2 .
  • the immersion time in hot water can be 1 minute or more.
  • an anti-reflection film made of a dielectric multilayer film is formed on one surface of the lens body, an anti-reflection film made of a fine uneven structure film is formed on the other surface. Since it is formed, the handling property is high, the risk of defects occurring in the fine concavo-convex structure film is reduced, and it is possible to manufacture with high yield.
  • the fine uneven structure film when forming the fine uneven structure film, only the surface on which the film containing aluminum is formed is immersed in the warm water, without immersing the dielectric multilayer film previously formed in warm water.
  • the dielectric multilayer film is not affected by the warm water treatment, and good antireflective film performance can be maintained without causing spectral characteristics even in the warm water treatment process.
  • FIG. 1 It is a cross-sectional schematic diagram which shows the lens manufactured by the manufacturing method of embodiment of this invention. It is a perspective view explaining the manufacturing method of the embodiment of the present invention. It is a figure which shows the cross section of FIG. It is a figure which shows the wavelength dependency of the reflectance of the dielectric multilayer of a lens manufactured by carrying out warm water processing by different processing time in the manufacturing method of an Example. It is a figure which shows the wavelength dependency of the reflectance of the dielectric multilayer of a lens manufactured by carrying out warm water process by different processing time in the manufacturing method of a comparative example, and manufacturing it.
  • FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a lens 1 with an anti-reflection function manufactured by the method for manufacturing an anti-reflection lens according to an embodiment of the present invention.
  • the lens 1 with an anti-reflection film is provided with an antireflection film consisting of a lens body 2 and a dielectric multilayer film 3 provided on one surface 2a, and the other surface 2b. It comprises the anti-reflective film which consists of the fine concavo-convex structure film 4.
  • the lens body 2 is prepared, the dielectric multilayer film 3 is formed on one surface 2 a of the lens body 2, and a film containing aluminum is formed on the other surface 2 b. Only the surface 2b on which the film containing aluminum is formed is immersed in warm water (boiling water) to change the film containing aluminum into a fine uneven structure film containing alumina hydrate as a main component, thereby reflecting on both surfaces 2a and 2b It is a method of manufacturing a lens with anti-reflection provided with a protective film.
  • a film containing aluminum an aluminum film, an alumina film, etc. may be mentioned, and any film which is boehmite by hot water treatment and changes to a fine uneven structure film containing alumina hydrate as a main component may be used.
  • the immersion of the surface 2 b in warm water is performed by holding the lens body 2 so that the dielectric multilayer film 3 formed on the one surface 2 a is not immersed in water.
  • the immersion time in warm water is preferably 1 minute or more.
  • FIG. 2 is a perspective view for explaining a lens main body holding state at the time of hot water treatment
  • FIG. 3 is a cross-sectional view for explaining a liquid level and a water immersion area of the lens.
  • FIGS. 2 and 3 show an example in which a large number of lenses are treated simultaneously with the hot water treatment instead of a single lens, the same applies to the case where a single lens is subjected to hot water treatment.
  • the lens 12 has a dielectric multilayer film 13 formed on one surface 12 a and a film 14 a containing aluminum formed on the other surface 12 b.
  • the lens holder 31 capable of simultaneously holding 12 is set so that the surface on which the film 14a containing aluminum is formed is on the liquid surface side (lower surface).
  • the lens holder 31 is horizontally held by the hanging tool 30 at its four corners, and only one side 12b of the lens 12 is in contact with the liquid surface.
  • the film 14a containing aluminum changes to a transparent fine uneven structure film containing alumina hydrate as a main component.
  • the hanging tool 30 shown in FIG. 2 is composed of four threads, and the threads are inserted into the holes provided at the four corners of the lens holder 31 and tied and fixed, and the lengths of the four threads are adjusted. It is configured to be held horizontally.
  • the configuration of the lens holder at the time of hot water treatment consisting of the lens holder 31 and the hanging tool 30 is particularly limited as long as it can hold only one side of the lens so as to be submerged in the hot water treatment.
  • the end portion of the lens body may be held and held.
  • Hydrates of alumina are boehmite (denoted as Al 2 O 3 ⁇ H 2 O or AlOOH) which is alumina monohydrate, and bayerite (Al) which is alumina trihydrate (aluminum hydroxide). 2 O 3 ⁇ 3 H 2 O or Al (OH) 3 ).
  • the period (average pitch) of the unevenness of the fine uneven structure film 4 is sufficiently smaller than the wavelength of light (for example, visible light and infrared light) to be used. Specifically, the period of the fine unevenness is on the order of several tens of nm to several hundreds of nm.
  • the pitch is the distance between the apexes of the nearest adjacent projections separated by the depressions, and the depth is the distance from the apex of the projections to the bottom of the adjacent depressions.
  • the fine concavo-convex structure film has a structure that becomes more sparse as it gets away from the base material (the width of the void corresponding to the recess becomes larger and the width of the protrusion becomes smaller), and the refractive index becomes smaller as it gets away from the base Become.
  • the average pitch of the asperities can be determined by, for example, photographing a surface image of the fine asperity structure with an SEM (scanning electron microscope), performing image processing to binarize the image, and performing statistical processing.
  • the film thickness of the uneven structure film can be obtained by photographing a cross-sectional image of the fine uneven structure film and processing the image.
  • the dielectric multilayer film 3 formed on one surface 2a is generally formed by alternately laminating low refractive index layers and high refractive index layers.
  • MgF 2 , SiO 2 , Al 2 O 3 can be used as the low refractive index layer, and TiO 2 , ZrO 2 , Ta 2 O 5 , Nb 2 O 5 or the like can be used as the high refractive index layer.
  • the outermost surface of the dielectric multilayer film 3 is preferably a layer made of MgF 2 .
  • the hot water treatment for forming the fine uneven structure film is performed without immersing the dielectric multilayer film 3 in water, the spectral characteristics of the dielectric multilayer film 3 are not changed. Good antireflective film performance of the dielectric multilayer film 3 can be maintained.
  • the layer composed of MgF 2 has low water resistance, and the change in spectral characteristics due to the hot water treatment is very large. Especially when the warm water treatment time is 1 minute or more, the change is remarkable. Therefore, when the dielectric multi-layered film having the layer of MgF 2 as the outermost surface is provided, the manufacturing method of the present invention has remarkable effects.
  • the handling property is high, the risk of defects occurring in the fine uneven structure film can be reduced, and manufacturing can be performed with high yield.
  • Example The manufacturing method of the lens with an anti-reflection function of the Example was performed in the following procedure.
  • the lens body 2 was formed by polishing or molding from a lens glass material (BK7), and an antireflective film made of a dielectric multilayer film was formed on one surface 2a of the lens body 2.
  • BK7 lens glass material
  • 81 nm of Al 2 O 3 , 131 nm of ZrO 2, and 98 nm of MgF 2 were formed in this order on the lens surface 2 a by vapor deposition.
  • Al 2 O 3 was deposited to a thickness of 80 nm by sputtering on the other surface 2 b of the lens body 2.
  • a fixed time in boiling water (Example 1: 0.5 minutes, Example 2: 1 minutes, Example 3: 2 minutes, Example 4: 3 minutes, Example 5: 4 minutes, Example 6: 5 minutes)
  • the lens was pulled up and cooled, and then immersed in IPA (isopropyl alcohol) and dried.
  • IPA isopropyl alcohol
  • the anti-reflection function of the dielectric multilayer film was measured for the lenses of each of Examples 1 to 6 treated by changing the warm water treatment time.
  • a spectrum was measured with a reflection spectrometer (FE3000 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.).
  • FIG. 4 shows the result, and is a graph showing the wavelength dependency of the reflectance in each example. Regardless of the time of the warm water treatment, the result that the reflectance of the dielectric multilayer film of the lens of any of the examples shows the same wavelength dependency was obtained. Since the dielectric multilayer film was not immersed in warm water, it is considered that there was no change in the characteristics.
  • the lens body 2 was formed by polishing or molding from a lens glass material (BK7), and an antireflective film made of a dielectric multilayer film was formed on one surface 2a of the lens body 2.
  • BK7 lens glass material
  • 81 nm of Al 2 O 3 , 131 nm of ZrO 2, and 98 nm of MgF 2 were formed in this order on the lens surface 2 a by vapor deposition.
  • FIG. 5 shows the results and is a graph showing the wavelength dependency of the reflectance in each example.
  • the wavelength dependency of the reflectance of the dielectric multilayer film of the lens changed significantly, and the reflectance increased significantly after the hot water treatment.
  • the reflectance increase after processing was larger as the increase rate of the reflectance was larger in one minute or more, and the processing time was longer. This is a result showing that the reflection characteristic of the dielectric multilayer film is changed by simultaneously treating the dielectric multilayer film with warm water.

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Abstract

【課題】反射防止機能付きレンズを歩留まり良く製造する。 【解決手段】レンズ本体（１２）の一方の面（１２ａ）に誘電体多層膜（３）を形成し、レンズ本体（１２）の他方の面（１２ｂ）にアルミニウムを含む膜（１４ａ）を形成し、アルミニウムを含む膜（１４ａ）を温水に浸漬させることにより、アルミニウムを含む膜（１４ａ）をアルミナ水和物を主成分とする微細凹凸構造膜に変化させることにより、両面（１２ａ、１２ｂ）に反射防止機能を備えたレンズを製造する。

Description

反射防止機能付きレンズの製造方法
　本発明は、反射防止機能付きレンズの製造方法に関し、特には一方の面に誘電体多層膜からなる無反射コーティング、他方の面に構造化無反射コーティングを施したレンズの製造方法に関するものである。
　従来、ガラス、プラスチックなどの透光性媒質を用いた光学素子(レンズ）には、表面反射が多いとフレアーやゴーストが多く発生し、また透過率が低下するので表面に薄膜の誘電体膜よりなる反射防止膜が施されている。この反射防止膜には、光学素子に入射する光束の入射角度範囲が広くても、良好なる反射防止効果が得られることが要望されている。広い入射角度範囲で高い反射防止効果を得るには、空気と層との間や、層と層との間の界面を構成する膜の屈折率差が小さいことが必要である。これを実現する方法として、可視光の波長以下の微細凹凸を表面に形成することにより反射防止機能を付与する構造化無反射コーティングが知られている（特許文献１など）。
　一方で、凹凸構造を持つ反射防止膜は広帯域であり低～高角度からの光線に対して反射率を低く抑えることが可能であるが凹凸の形状であるがゆえに擦りに対して弱いという問題がある。
　特許文献２には、一方の面に誘電体多層膜、他方の面にベーマイトによる凹凸構造膜が形成されたレンズが開示されている。特許文献２の実施例２ではレンズの一方の面に誘電体膜を形成後、他方の面にアルミナを成膜し、その後温水中に浸漬することにより微細凹凸構造膜を形成する製造方法が採用されている。
　特許文献３には、一方の面はノンコート（未処理）の状態で、他方の面にアルミナを成膜し、その後温水処理を行い微細凹凸構造膜を形成する方法が開示されている。特許文献３には微細凹凸構造膜形成後の処理について記載されていないが、微細凹凸構造膜を形成後に、一方の面に誘電体多層膜を成膜すれば、一方の面に誘電体多層膜からなる反射防止膜、他方の面に微細凹凸構造膜からなる反射防止膜が形成されてなるレンズを得ることができる。
特開２００５－２７５３７２号公報 特開２０１０－２６９９５７号公報 特開２０１１－１４５６２７号公報
　特許文献２のように、一方の面に誘電体多層膜を形成後、他方の面にアルミニウムを形成して温水処理を行うと、誘電体多層膜によっては、分光特性が変化してしまうという問題が生じることが本発明者らの検討により明らかになった。
　特許文献３のように、先に他方の面に温水処理を伴う微細凹凸構造膜の形成を行い、その後、一方の面に誘電体多層膜を形成すれば、上記問題は生じない。しかしながら、微細凹凸構造膜は破損し易いものであるため、誘電体多層膜の成膜処理工程時に微細凹凸構造膜に器具、ヒトの手等が触れることにより凹凸構造膜の剥がれ、欠陥等が生じて部分的に分光特性が劣化し、不良品となってしまう危険性が高く、結果的に製造歩留まりが低下してしまう。
　本願発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、一方の面に誘電体多層膜、他方の面に微細凹凸構造膜からなる反射防止コートを備えた反射防止機能付きレンズを歩留まり良く製造する製造方法を提供することを目的とする。
　本発明の反射防止機能付きレンズの製造方法は、レンズ本体の一方の面に誘電体多層膜を形成し、レンズ本体の他方の面にアルミニウムを含む膜を形成し、
　アルミニウムを含む膜が形成された面のみを温水に浸漬させることにより、アルミニウム含む膜をアルミナ水和物を主成分とする微細凹凸構造膜に変換させて反射防止機能付きのレンズを製造する方法である。
　微細凹凸構造膜の凹凸の周期（平均ピッチ）は使用される光の波長よりも十分に小さいものとする。
　誘電体多層膜の最表面をＭｇＦ２からなる層とすることができる。
　温水に浸漬する時間は、１分以上とすることができる。
　本発明の反射防止機能付きレンズの製造方法によれば、レンズ本体の一方の面に誘電体多層膜からなる反射防止膜を形成した後に、他方の面に微細凹凸構造膜からなる反射防止膜を形成するので、ハンドリング性が高く、微細凹凸構造膜に欠陥が生じるリスクを低減し、歩留まり良く製造することが可能である。
　また、微細凹凸構造膜を形成する際に、先に形成されている誘電体多層膜を温水中に浸漬させることなく、アルミニウムを含む膜が形成されている面のみを温水中に浸漬させるので、誘電体多層膜は温水処理の影響を受けず、温水処理工程においても分光特性をさせることなく良好な反射防止膜性能を維持することができる。
本発明の実施形態の製造方法により製造されるレンズを示す断面模式図である。 本発明の実施形態の製造方法を説明する斜視図である。 図２の断面を示す図である。 実施例の製造方法において異なる処理時間で温水処理して製造したレンズの誘電体多層膜の反射率の波長依存性を示す図である。 比較例の製造方法において異なる処理時間で温水処理して製造したレンズの誘電体多層膜の反射率の波長依存性を示す図である。
　以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
　図１は、本発明の実施形態に係る反射防止機能付きレンズの製造方法により製造される反射防止機能付きレンズ１の断面模式図である。
　図１に示すように、無反射防止膜付きレンズ１は、レンズ本体２と、その一方の面２aに設けられた誘電体多層膜３からなる反射防止膜と、他方の面２ｂに設けられた微細凹凸構造膜４からなる反射防止膜とから構成される。
　反射防止機能付きレンズの製造方法は、レンズ本体２を用意し、レンズ本体２の一方の面２ａに誘電体多層膜３を形成し、他方の面２ｂにアルミニウムを含む膜を形成し、その後、アルミニウムを含む膜が形成された面２ｂのみを温水（沸騰水）に浸漬させてアルミニウムを含む膜をアルミナ水和物を主成分とする微細凹凸構造膜に変化させることにより両面２ａ、２ｂに反射防止膜を備えた反射防止付きレンズを製造する方法である。
　アルミニウムを含む膜としては、アルミニウム膜、アルミナ膜などが挙げられ、温水処理によりベーマイト化されてアルミナ水和物を主成分とする微細凹凸構造膜に変化するものであればよい。
　面２ｂの温水への浸漬は、一方の面２ａに形成された誘電体多層膜３が水に浸らないようにレンズ本体２を保持して行う。温水への浸漬時間は１分以上とすることが好ましい。
　図２は温水処理時のレンズ本体保持状態を説明するための斜視図であり、図３は液面とレンズの浸水域を説明するための断面図である。図２、３においては、単一のレンズではなくレンズを多数個、同時に温水処理を行う例を示しているが、単一のレンズを温水処理する場合も同様である。一方の面１２ａには、誘電体多層膜１３が形成され、他方の面１２ｂには、アルミニウムを含む膜１４ａが形成されているレンズ１２を、図２、３に示すように、複数個のレンズ１２を同時に保持可能なレンズホルダー３１にアルミニウムを含む膜１４ａが形成されている面が液面側（下面）となるようにセットする。図２に示すように、レンズホルダー３１はその四隅で吊るし具３０により水平に保持され液面にレンズ１２の片面１２ｂのみ触れる状態とされている。この状態で温水中（沸騰水中）に一定時間保持されることにより、アルミニウムを含む膜１４ａはアルミナ水和物を主成分とする透明な微細凹凸構造膜に変化する。
　図２に示す吊るし具３０は４本の糸により構成されており、レンズホルダー３１の四隅に設けられた穴に糸を挿入して結びつけて固定し、４本の糸の長さを調整して水平に保持する構成となっている。本実施形態においてレンズホルダー３１と吊るし具３０とからなる温水処理時のレンズ保持具の構成は、温水処理の際にレンズの片面のみを浸水させるように保持することができるものであれば特に制限なく、例えば、レンズ本体の端部を挟んで保持する構成であってもよい。
　アルミナの水和物とは、アルミナ１水和物であるベーマイト（Ａｌ2Ｏ3・Ｈ2ＯあるいはＡｌＯＯＨと表記される。）、アルミナ３水和物（水酸化アルミニウム）であるバイヤーライト（Ａｌ2Ｏ3・３Ｈ2ＯあるいはＡl(ＯＨ)3と表記される。）などである。
　この微細凹凸構造膜４の凹凸の周期（平均ピッチ）は使用される光（例えば、可視光、赤外光）の波長より十分に小さいものとする。具体的には、微細凹凸の周期は数１０ｎｍ～数１００ｎｍオーダーである。微細凹凸構造膜４において、ピッチは凹部を隔てた最隣接凸部の頂点同士の距離であり、深さは凸部頂点から隣接する凹部の底部までの距離である。
　微細凹凸構造膜は、基材から離れるほど疎になる（凹部に相当する空隙の幅が大きくなり、凸部の幅が小さくなる）構造を有しており、基材から離れるほど屈折率は小さくなる。
　凹凸の平均的なピッチは、例えば、ＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）で微細凹凸構造の表面画像を撮影し、画像処理をして２値化し、統計的処理によって求めることができる。同様に、凹凸構造膜の膜厚は、微細凹凸構造膜の断面画像を撮影し、画像を処理することによって求めることができる。
　一方の面２ａに形成される誘電体多層膜３は、低屈折率層と高屈折率層を交互に積層して構成するのが一般的である。低屈折率層としては、ＭｇＦ２,ＳｉＯ２,Ａｌ２Ｏ３、高屈折率層としては、ＴｉＯ２,ＺｒＯ２,Ｔａ２Ｏ５,Ｎｂ２Ｏ５等を用いることができる。特には、誘電体多層膜３の最表面をＭｇＦ２からなる層とすることが好ましい。
　本発明の製造方法によれば、誘電体多層膜３を水に浸けることなく、微細凹凸構造膜を形成するための温水処理を行うので、誘電体多層膜３の分光特性を変化させることなく、誘電体多層膜３の良好な反射防止膜性能を維持することができる。
　本発明者らの検討によれば、ＭｇＦ２からなる層は、水耐性が低く、温水処理がなされることによる分光特性の変化が非常に大きい。特に温水処理時間が１分以上となったときには、その変化は著しい。従って、ＭｇＦ２からなる層を最表面とする誘電体多層膜を備えている場合には、本発明の製造方法は顕著な効果を奏する。
　また、誘電体多層膜を形成した後に、微細凹凸構造膜を形成するので、ハンドリング性が高く、微細凹凸構造膜に欠陥が生じるリスクを低減し、歩留まり良く製造することが可能である。
　以下、本発明の実施例および比較例の反射防止機能付きレンズの製造方法について説明する。
（実施例）
　実施例の反射防止機能付きレンズの製造方法は、次の手順で行った。
　まず、レンズ硝材（ＢＫ７）から研磨またはモールドすることによってレンズ本体２を形成し、レンズ本体２の一方の面２ａに誘電体多層膜からなる反射防止膜を形成した。ここでは、レンズ面２ａに蒸着法でＡｌ２Ｏ３を８１ｎｍ、ＺｒＯ２を１３１ｎｍ、ＭｇＦ２を９８ｎｍこの順に成膜した。
　その後、レンズ本体２の他方の面２ｂにスパッタ法にてＡｌ２Ｏ３を８０ｎｍ成膜した。
次に、レンズ本体２の他方の面２ｂのみ温水に触れされるように湯浴の液面上方にレンズをセットしたホルダーを置き、液面近傍に固定することによって、レンズ面２ｂのみを湯浴に浸漬させた。沸騰水中に一定時間（実施例１：０．５分、実施例２：１分、実施例３：２分、実施例４：３分、実施例５：４分、実施例６：５分）の浸漬後にレンズを引き上げ冷却後にＩＰＡ（イソプロピルアルコール）に浸漬させ乾燥させた。この処理により、各実施例１～６において、他方の面２ｂに形成されていたＡｌ２Ｏ３はベーマイト化されて微細凹凸構造膜に変化した。
　以上の工程により、レンズ本体２の両面２ａ、２ｂにそれぞれ反射防止膜が形成されてなる反射防止機能付きレンズを得た。
　温水処理時間を変化させて処理した各実施例１～６のレンズについて、誘電体多層膜の反射防止機能の測定を行った。反射防止機能の測定として、反射分光測定装置（大塚電子製　ＦＥ３０００）にて分光スペクトルを測定した。
　図４は、その結果を示すものであり、各例における反射率の波長依存性を示すグラフである。温水処理の時間にかかわらず、いずれの実施例のレンズの誘電体多層膜の反射率も同一の波長依存性を示す結果が得られた。誘電体多層膜を温水に浸けていないので、特性の変化がなかったと考えられる。
（比較例）
　比較例の反射防止機能付きレンズの製造方法は、次の手順で行った。
　まず、レンズ硝材（ＢＫ７）から研磨またはモールドすることによってレンズ本体２を形成し、レンズ本体２の一方の面２ａに誘電体多層膜からなる反射防止膜を形成した。ここでは、レンズ面２ａに蒸着法でＡｌ２Ｏ３を８１ｎｍ、ＺｒＯ２を１３１ｎｍ、ＭｇＦ２を９８ｎｍこの順に成膜した。
　その後、レンズ本体２の他方の面２ｂにスパッタ法にてＡｌ２Ｏ３を８０ｎｍ成膜した。次に、既述の特許文献２に開示されているようにレンズ全体が温水に触れるように湯浴中へレンズ全体を浸漬させた。沸騰水中に一定時間（比較例１：０．５分、比較例２：１分、比較例３：２分、比較例４：３分、比較例５：４分、比較例６：５分）の浸漬後にレンズを引き上げ冷却後にＩＰＡ（イソプロピルアルコール）に浸漬させ乾燥させた。この処理により、各実施例１～６において、他方の面２ｂに形成されていたＡｌ２Ｏ３はベーマイト化されて微細凹凸構造膜に変化した。
　以上の工程により、レンズ本体２の両面２ａ、２ｂにそれぞれ反射防止膜が形成されてなる反射防止機能付きレンズを得た。
　実施例と同様に、温水処理時間を変化させて処理した各比較例１～６のレンズについて、誘電体多層膜の反射防止機能の測定を行った。
　図５は、その結果を示すものであり、各例における反射率の波長依存性を示すグラフである。温水処理プロセス前後でレンズの誘電体多層膜の反射率の波長依存性は大きく変化し、温水処理後に反射率が大きく上昇した。特に１分以上で反射率の上昇率が大きく、処理時間が長いほど、処理後の反射率が大きくなるという結果が得られた。これは、誘電体多層膜も同時に温水処理されることにより、誘電体多層膜の反射特性が変化することを示す結果である。

Claims (3)

  1. 　レンズ本体の一方の面に誘電体多層膜を形成し、
    　前記レンズ本体の他方の面にアルミニウムを含む膜を形成し、
    　前記アルミニウムを含む膜を温水に浸漬させることにより、該アルミニウムを含む膜を、アルミナ水和物を主成分とする微細凹凸構造膜に変化させるレンズの製造方法。
  2. 　前記誘電体多層膜の最表面がＭｇＦ２である請求項１記載のレンズの製造方法。
  3. 　前記温水に浸漬する時間が１分以上である請求項１または２記載のレンズの製造方法。
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