JP6358914B2 - 薄膜の形成方法、多孔性薄膜及び光学素子 - Google Patents
薄膜の形成方法、多孔性薄膜及び光学素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6358914B2 JP6358914B2 JP2014203744A JP2014203744A JP6358914B2 JP 6358914 B2 JP6358914 B2 JP 6358914B2 JP 2014203744 A JP2014203744 A JP 2014203744A JP 2014203744 A JP2014203744 A JP 2014203744A JP 6358914 B2 JP6358914 B2 JP 6358914B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- plastic
- forming
- porous
- refractive index
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims description 202
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 60
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 57
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 title 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 42
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 40
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims description 38
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 claims description 38
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 36
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 34
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical group O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 28
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 26
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 26
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 26
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 21
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 18
- -1 polyethylene Polymers 0.000 claims description 14
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 9
- 229910004261 CaF 2 Inorganic materials 0.000 claims description 8
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 8
- 150000002222 fluorine compounds Chemical class 0.000 claims description 8
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims description 8
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 7
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 claims description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 claims description 4
- 229910016569 AlF 3 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910016036 BaF 2 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910005690 GdF 3 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910021193 La 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910017768 LaF 3 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910017493 Nd 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 claims description 3
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 claims description 3
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 claims description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 claims description 3
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 claims description 3
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 3
- 239000005331 crown glasses (windows) Substances 0.000 claims description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 3
- 239000010436 fluorite Substances 0.000 claims description 3
- 239000005304 optical glass Substances 0.000 claims description 3
- 239000005365 phosphate glass Substances 0.000 claims description 3
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 claims description 3
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 claims description 3
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 claims description 3
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 claims description 3
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 claims description 3
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 claims description 3
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 claims description 3
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 claims description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910020203 CeO Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 31
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 30
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 28
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 17
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 7
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 7
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 5
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 5
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 4
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 4
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 239000012788 optical film Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005411 Van der Waals force Methods 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910000040 hydrogen fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L magnesium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000010422 painting Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 239000002195 soluble material Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
真空蒸着法による反射防止膜としては、蒸着用の基板の屈折率より低い蒸着物質を指定された入射光の波長λの1/4の膜厚で蒸着用の基板面上に蒸着し形成する単層膜、或いは低屈折率と高屈折率の蒸着物質を2層以上積層して形成する多層膜によるものが存在する。また、高反射膜、偏光膜、フィルターなどは真空蒸着法により、蒸着用の基板面上に低屈折率と高屈折率の蒸着物質を多層に積層して製作することが知られている。
p=V1/V2・・・(1)式
ここで、V1は光学薄膜の実質部分の体積(柱状粒の体積)を示し、V2は光学薄膜の全体積(柱状粒と隙間を併せた体積)を示す。この様に定義すると、光学薄膜での充填率pの値は、通常0.7〜1.0の範囲であり、0.8〜0.95が最も多く、1になることは非常に少ない。
nf=pns+(1−p)nv ・・・(2)式
ここで、nsは光学薄膜の実質部分の屈折率、nvは隙間の屈折率である。
従来の真空蒸着法による光学薄膜は、蒸着物質によって屈折率が決まっているので、特性の優れた反射防止膜、高反射膜、偏光膜、フイルターなどの製作が非常に困難であった。さらに、基板と蒸着物質の熱膨張係数の違いにより、形成された光学薄膜に内部的な応力を生じ、これによって光学薄膜に亀裂が生じたり、光学薄膜が剥離したりする問題点があった。
(1)酸化物、フッ化物、半導体、金属のうちの何れかの物質とプラスチックとの二元同時真空蒸着法で製作した混合薄膜から、加熱或いは加熱と酸素プラズマとによって、プラスチックを選択的に除去して多孔性薄膜を形成する方法を用いた。このことにより屈折率勾配を持つ多孔性薄膜を容易に形成でき、これによって従来の真空蒸着法では製作できなかった小さな屈折率を持つ薄膜が得られるようになった。
図1は、本実施の形態に係る蒸着用基板上に混合薄膜を蒸着した状態の説明図である。図1(A)は各層の厚さと屈折率の関係を示すグラフであり、図1(B)は各層の構成を示す断面図である。
これら2種類の物質を同時に蒸着する際に、酸化物、フッ化物、半導体、金属のうちの何れかの物質とプラスチックとの混合比を変えて、蒸着用基板1上に蒸着された蒸着物質の状態を変化させることができる。
ただし、これ以外でも同様に機能するものであれば良く、酸化物として、例えばAl2O3、CeO2、HfO2、Ta2O5、ThO2、TiO2、ZrO2、Sc2O3、Y2O3、La2O3、Nd2O3のいずれかを用いることができる。また、フッ化物として、例えばAlF3、BaF2、CaF2、GdF3、Na5Al3F14、Na3AlF6、PbF2、LaF3、LiF、NdF3、NaF、YbF3、YF3のいずれかを用いることができる。半導体として、例えばSiを用いることができる。金属として、例えばAl、Ag、Pt、W、Moのいずれかを用いることができる。なお、これら酸化物、フッ化物、半導体、金属が、本発明における薄膜形成物質とされている。また、プラスチックとして、例えばアクリル、ポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリアミド、テフロン(登録商標)のいずれかを用いることができる。
直径40mmの石英ガラス基板とされる蒸着用基板1を200℃に加熱しつつ、2台の電子銃を用いた二元同時真空蒸着法によりアクリルとMgF2とからなる混合薄膜2をこの蒸着用基板1上に蒸着することで形成した。アクリルとMgF2の混合割合として、初めは1:3程度であるが最後は2:1となるように調整し、膜厚96nmの混合薄膜2を製作した。
具体的には、初めはアクリルが少なめであると共にMgF2が多めであるが、これらの量を単位時間当たり均一に変化させて、最後はアクリルの量を2に対してMgF2の量が1になるように配合量を変化させた。このことで混合薄膜2の表面側では、底面側に対してアクリルの量が多くされていることになる。
石英ガラス基板の片面に多孔性のMgF2薄膜を多孔性薄膜4として形成した場合の透過率を特性曲線Aで表し、薄膜を形成していない石英ガラス単体の透過率を特性曲線Bで表し、これらを比較しつつ図3に示している。つまり、図3の特性曲線Bで表す石英ガラスの透過率が最大で94パーセント程度であるのに対して、特性曲線Aで表す多孔性薄膜4の透過率は500〜700nm程度の波長範囲で96パーセントを超えていて、多孔性薄膜4の透過率が明らかに高いことが理解できる。
高屈折率蒸着物質にAl2O3薄膜を用い低屈折率蒸着物質にMgF2薄膜を用いた5層構造の反射鏡を図4の特性曲線Dで表す。また、高屈折率蒸着物質にAl2O3薄膜を用い低屈折率蒸着物質に多孔性のMgF2薄膜を用いた5層構造の反射鏡を図4の特性曲線Cで表す。
2 混合薄膜
3 空気層
4 多孔性薄膜
ns 蒸着用基板の屈折率
n1 酸化物、フッ化物、半導体、金属の何れかの物質の屈折率
np 多孔性薄膜の空気層側寄りの屈折率
Claims (12)
- 薄膜形成物質とプラスチックとからなる混合薄膜を基板面上に蒸着し、
前記混合薄膜よりプラスチックのみを選択的に除去し、密度の低い多孔性薄膜を形成する際に、
前記薄膜形成物質とプラスチックとの混合比を膜厚方向に変化させることで、膜厚方向の密度分布を変えて屈折率の変化を生じさせた前記多孔性薄膜とすることを特徴とする薄膜の形成方法。 - 前記除去が、150〜350℃の温度で混合薄膜を加熱するドライプロセスにて行われることを特徴とする請求項1記載の薄膜の形成方法。
- 前記除去が、混合薄膜の加熱によるドライプロセスで行われた後、酸素プラズマでプラスチックを除去することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の薄膜の形成方法。
- 前記薄膜形成物質が、酸化物、フッ化物、半導体、金属のうちの何れかの物質とされ、
前記混合薄膜の蒸着が、酸化物、フッ化物、半導体、金属のうちの何れかの物質とプラスチックとの二元同時真空蒸着法により行われることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項記載の薄膜の形成方法。 - 前記薄膜形成物質が、酸化物、フッ化物、半導体、金属のうちの何れかの物質とされ、
酸化物、フッ化物、半導体、金属のうちの何れかの物質とプラスチックとの混合比を順次変化することにより、前記混合薄膜の屈折率を制御することを特徴とする請求項1〜4の何れか1項記載の薄膜の形成方法。 - 前記基板が、石英ガラス、硼珪クラウンガラス、リン酸塩ガラスを含む光学ガラス、蛍石、水晶、サファイヤの結晶、YAG、Al2O3のレーザー用結晶、セラミックス、半導体、プラスチック、金属のいずれかよりなることを特徴とする請求項1〜5の何れか1項記載の薄膜の形成方法。
- 薄膜形成物質とプラスチックとが基板面上に蒸着され、この後にプラスチックのみが選択的に除去されて多孔質とされた多孔性薄膜であって、
前記薄膜形成物質とプラスチックとの混合比を膜厚方向に変化させることで、膜厚方向の密度分布を変えて屈折率が変化していることを特徴とする多孔性薄膜。 - 前記薄膜形成物質が、酸化物、フッ化物、半導体、金属のうちの何れかの物質とされ、
酸化物、フッ化物、半導体、金属のうちの何れかの物質による層を複数含むことを特徴とする請求項7記載の多孔性薄膜。 - 190nmから10,600nmまでの波長範囲の光学系機器で用いられることを特徴とする請求項7または請求項8に記載の多孔性薄膜。
- 酸化物、フッ化物、半導体、金属のうちの何れかの物質とプラスチックとが基板面上に蒸着され、この後にプラスチックのみが選択的に除去されて多孔質とされた多孔性薄膜を含むことを特徴とする光学素子。
- 酸化物として、SiO2、Al2O3、CeO2、HfO2、Ta2O5、ThO2、TiO2、ZrO2、Sc2O3、Y2O3、La2O3、Nd2O3のいずれかが用いられ、フッ化として、MgF2、AlF3、BaF2、CaF2、GdF3、Na5Al3F14、Na3AlF6、PbF2、LaF3、LiF、NdF3、NaF、YbF3、YF3のいずれかが用いられ、半導体として、Ge、Siのいずれかが用いられ、金属として、Al、Ag、Au、Pt、W、Moのいずれかが用いられることを特徴とする請求項4〜6の何れか1項記載の薄膜の形成方法。
- プラスチックとして、アクリル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリアミド、テフロン(登録商標)のいずれかが用いられることを特徴とする請求項1記載の薄膜の形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014203744A JP6358914B2 (ja) | 2014-10-02 | 2014-10-02 | 薄膜の形成方法、多孔性薄膜及び光学素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014203744A JP6358914B2 (ja) | 2014-10-02 | 2014-10-02 | 薄膜の形成方法、多孔性薄膜及び光学素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016069720A JP2016069720A (ja) | 2016-05-09 |
JP6358914B2 true JP6358914B2 (ja) | 2018-07-18 |
Family
ID=55866202
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014203744A Active JP6358914B2 (ja) | 2014-10-02 | 2014-10-02 | 薄膜の形成方法、多孔性薄膜及び光学素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6358914B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10995624B2 (en) * | 2016-08-01 | 2021-05-04 | General Electric Company | Article for high temperature service |
JP7157976B2 (ja) * | 2018-07-31 | 2022-10-21 | 國雄 吉田 | 薄膜の形成方法及び多孔性薄膜 |
JP2021056327A (ja) * | 2019-09-28 | 2021-04-08 | ホヤ レンズ タイランド リミテッドHOYA Lens Thailand Ltd | 眼鏡レンズ及び眼鏡レンズの製造方法 |
CN112501557B (zh) * | 2020-11-12 | 2023-03-24 | 南京波长光电科技股份有限公司 | 一种蓝宝石基底1-5μm超宽带增透膜及其制备方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH028398A (ja) * | 1988-06-24 | 1990-01-11 | Ngk Insulators Ltd | 多孔質金属膜の形成方法 |
JPH0394054A (ja) * | 1989-09-05 | 1991-04-18 | Nissha Printing Co Ltd | 金属酸化物皮膜基板 |
JP2001011602A (ja) * | 1999-04-28 | 2001-01-16 | Nikon Corp | フッ化物薄膜及びその製造方法及び光学薄膜及び光学素子 |
JP2001295032A (ja) * | 2000-02-10 | 2001-10-26 | Itochu Fine Chemical Corp | 光学複合薄膜の形成方法およびそれを用いた光学物品 |
DE102007025577B4 (de) * | 2007-06-01 | 2011-08-25 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 | Verfahren zur Herstellung von Titanoxidschichten mit hoher photokatalytischer Aktivität |
-
2014
- 2014-10-02 JP JP2014203744A patent/JP6358914B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016069720A (ja) | 2016-05-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6358914B2 (ja) | 薄膜の形成方法、多孔性薄膜及び光学素子 | |
CN108680981B (zh) | 一种深紫外窄带滤光片制备方法 | |
JP3905035B2 (ja) | 光学薄膜の形成方法 | |
EP2687875A1 (en) | Optical member and method for producing same | |
CN105406336B (zh) | 用于高功率激光脉冲的介电反射镜 | |
US10196302B2 (en) | Method for manufacturing antireflection function-equipped lens | |
JP7041424B2 (ja) | 薄膜の形成方法及び光学素子 | |
JP6995491B2 (ja) | 光学薄膜、光学素子、光学素子の製造方法 | |
JP7410498B2 (ja) | 多孔性薄膜 | |
JP4171362B2 (ja) | 反射防止膜付き透明基板 | |
Sharma et al. | Design and deposition of single and multilayer antireflection coatings of glass substrate using electron beam deposition | |
JP2004334012A (ja) | 反射防止膜及び光学フィルター | |
EP0402429A1 (en) | Multilayer optical dielectric coating | |
JPH0552923B2 (ja) | ||
Qiao et al. | Laser-induced damage of rugate and quarter-wave stacks high reflectors deposited by ion-beam sputtering | |
JPH07209516A (ja) | 光学多層膜フィルタ | |
FR2987139A1 (fr) | Dispositif optique de diffraction en reflexion a haute tenue au flux laser. | |
JP2019070687A5 (ja) | ||
JP2005221867A (ja) | 反射型光学素子 | |
JP6982951B2 (ja) | 赤外線用機能性膜付シリコン基板 | |
Saraf et al. | Alternately stacked TiO2/Al2O3 multilayer based optical filter fabricated by electron beam evaporation technique | |
JP2004085975A (ja) | 酸化物多層膜光学素子およびその製造方法 | |
JP2018188354A (ja) | 光学部品、好ましくは耐劣化性を向上させた光学部品およびその製造方法 | |
JP2005345492A (ja) | 光学素子及びミラー並びに反射防止膜 | |
Jena et al. | achieving omnidirectional photonic band gap in sputter deposited tio2/sio2 one dimensional photonic crystal |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170713 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180308 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180320 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180516 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180605 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180619 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6358914 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |