WO2015083821A1 - 磁歪材料の製造方法および磁歪量増加方法 - Google Patents

磁歪材料の製造方法および磁歪量増加方法 Download PDF

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山浦　真一
宇史 中嶋
江幡　貴司
武信 佐藤
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国立大学法人東北大学
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    • H10N35/85—Magnetostrictive active materials

Definitions

  • the present invention relates to a method for manufacturing a magnetostrictive material and a method for increasing the amount of magnetostriction.
  • Magnetostrictive materials are used for vibration power generation and force sensors that use the inverse magnetostriction phenomenon in which the magnetic field in a magnetic body changes due to strain caused by stress applied from the outside.
  • Fe-Co alloys Co: 56-80
  • Tb-Dy-Fe alloys Tefenol-D
  • FeGa alloys Gafenol
  • the present invention has been made paying attention to such a problem, and a magnetostrictive material manufacturing method and magnetostriction capable of increasing the magnetostriction amount of a magnetostrictive material used for vibration power generation or force sensor utilizing the inverse magnetostriction phenomenon.
  • the object is to provide a method for increasing the amount.
  • a method for producing a magnetostrictive material according to the present invention is characterized by hot working an alloy material to be a magnetostrictive material. By hot working an alloy material that becomes a magnetostrictive material, a magnetostrictive material having a high magnetostriction amount can be produced.
  • the method for increasing the amount of magnetostriction of a magnetostrictive material according to the present invention is characterized by subjecting the magnetostrictive material to hot working and optionally cold working and / or heat treatment.
  • the amount of magnetostriction can be increased by subjecting the magnetostrictive material to hot working and optionally cold working and / or heat treatment.
  • cold working and heat treatment are not essential processes, only hot working, a combination of hot working and cold working, a combination of hot working and heat treatment, a combination of hot working and cold working and heat treatment. Either may be sufficient.
  • the hot working may be any work that is plastically deformed hot, but in particular, it is preferably made of hot forging or hot rolling, and may be made of a hot block.
  • Hot forging can be performed using, for example, a press or a hammer.
  • Hot rolling can be performed using, for example, a roll mill. It is preferable to perform cold working after hot working. The amount of magnetostriction can be further increased by cold working after hot working.
  • the cold work may be any work that is plastically deformed in the cold, but is preferably composed of cold rolling, and may be cold wire drawing. However, temperatures from room temperature to about 300 ° C. are regarded as cold as the manufacturing workplace environment.
  • the alloy material is preferably made of an Fe—Co based magnetostrictive alloy material, and the magnetostrictive material is preferably an Fe—Co based bulk magnetostrictive material.
  • the alloy material is preferably formed by dissolving and solidifying 67-87% by mass of Co, the remaining Fe and unavoidable impurities.
  • a magnetostrictive material having a magnetostriction amount of 100 ppm or more can be easily produced.
  • the alloy material is preferably formed by dissolving and solidifying 71-82% by mass of Co, the remaining Fe and unavoidable impurities.
  • the magnetostrictive amount of the magnetostrictive material can be increased to 130 ppm or more by subjecting the alloy material having this composition to hot working and then cold working.
  • the alloy material includes 67-87% by mass of Co, 1% by mass or less of Nb, Mo, V, Ti and Cr in combination of one or more, and the balance of Fe and inevitable impurities. And may be dissolved and solidified.
  • the magnetostriction amount of the produced magnetostrictive material is somewhat lower than when Nb, Mo, V, Ti or Cr is not added, the mechanical strength, particularly the tensile strength can be increased.
  • the total mass% of the combination is 1 mass% or less.
  • the alloy material dissolves 67-72% by mass of Co, 0.6% by mass or less of Nb, Mo, V, Ti, and a combination of two or more, and the remaining Fe and inevitable impurities.
  • Such a magnetostrictive material with increased mechanical strength is suitable for devices that require durability, such as vibration power generation and sensors utilizing the inverse magnetostrictive effect.
  • the hot working is preferably performed at a temperature of 1200 ° C. or less, and more desirably, after heating at 900 to 1100 ° C., it is preferably removed from the furnace and plastically deformed at 1100 to 700 ° C. .
  • the alloy material is desirably a molten bulk material having a size capable of being processed by hot forging or hot lump using a press or a hammer, hot rolling or cold rolling by a roll mill.
  • heat treatment may be performed at a temperature not exceeding the (bcc + fcc) / bcc phase boundary in the Fe—Co binary phase diagram. In a specific temperature range, heat treatment may be performed at 400 to 1000 ° C. after hot working or after cold working.
  • the shape of the magnetostrictive material after hot working or cold working is not limited, but examples thereof include a rod shape, a wire shape, and a plate shape.
  • the present invention it is possible to provide a method of manufacturing a magnetostrictive material and a method of increasing the amount of magnetostriction that can increase the amount of magnetostriction of the magnetostrictive material used for vibration power generation or force sensor using the inverse magnetostriction phenomenon.
  • the bulk magnetostrictive material with a magnetostriction amount of 100 ppm or more can be manufactured by melting, casting, and hot forging an alloy material having this composition. . Furthermore, the amount of magnetostriction can be further increased by performing cold rolling after hot forging. Hot rolling may be performed after hot forging. Moreover, you may perform cold rolling after hot rolling.
  • the bulk magnetostrictive material with a magnetostriction amount of 110 ppm or more can be manufactured by melting, casting, and hot forging an alloy material having this composition. . Furthermore, a magnetostrictive material having a magnetostriction amount of 130 ppm or more can be produced by performing cold rolling after hot forging.
  • the magnetostrictive material with a magnetostriction of 150 ppm or more is obtained by melting, casting, hot forging, and cold rolling the alloy material consisting of this composition. Can be manufactured.
  • Ingredient Co 67 to 87 mass%, one or more combinations of Nb, Mo, V, Ti and Cr: 1 mass% or less, Fe and unavoidable impurities: the remainder Dissolve the alloy material consisting of this composition,
  • a magnetostrictive material having a magnetostriction of 65 to 139 ppm and a tensile strength of 695 to 1010 MPa can be manufactured by hot forging after casting and further cold drawing.
  • the amount of magnetostriction is considered to be complicatedly affected by the crystal structure, strain, lattice defects, and the like.
  • the Fe—Co bulk magnetostrictive material After melting and refining an alloy material having the above-mentioned composition in an induction furnace in an atmosphere, it is ingoted, then heated to 900-1100 ° C and then discharged from the furnace for hot working (hot forging, heat Hot rolling after hot rolling or hot forging, etc.) to form a bar, wire, or plate.
  • hot working hot forging, heat Hot rolling after hot rolling or hot forging, etc.
  • the wire rod is drawn out in a cold state to obtain a thinner wire rod as it is, or a bar material that has been straightened. In the case of bars, bend and correct straight.
  • the plate is straightened after being straightened, or it is made into a thinner plate or strip by cold rolling.
  • the wire, bar, plate, and strip produced in this way are used as they are or after being processed into a use shape. Alternatively, it can be used after heat treatment at 400 to 1000 ° C.
  • Example 1 An alloy material consisting of each mass% Co shown in Table 1 and the balance Fe and unavoidable impurities was melted in 7 kg in an Ar stream and cast into a mold to produce an ingot of about 80 mm ⁇ (Table Test 1 (dissolution step of (1) to (5)). Next, in tests (1) to (4) in Table 1, the ingot was held in a gas burner heating furnace at 1000 to 1100 ° C. for 1 hour and then left out, and about 15 mm thick by a hot forging air hammer. Molded into a plate (hot forging process).
  • a 15 mm thick plate was formed into a 0.3 mm thick plate by a roll type cold rolling mill (cold rolling step). Furthermore, in test (2) in Table 1, the furnace was cooled to 800 ° C. for 1 hour in an electric furnace and then cooled (heat treatment process). In tests (3) and (4) in Table 1, a 15 mm thick plate was held in an electric furnace at about 1100 ° C. for 1 hour and then rolled to 1 mm thickness with a roll type hot rolling mill (hot rolling process) ). Furthermore, in test (4) in Table 1, the furnace was cooled to 800 ° C. for 1 hour in an electric furnace and then cooled (heat treatment process).
  • test (5) in Table 1 a sample was cut out from the as-cast state after melting, held in an electric furnace at 800 ° C. for 1 hour, and then cooled in the furnace (heat treatment process). In this way, bulk magnetostrictive materials were manufactured by tests (1) to (5).
  • the magnetostriction measurement sample was molded into a length of 8 mm ⁇ width of 5 mm ⁇ thickness of 0.3 mm, and a strain gauge (manufactured by Kyowa Denki Co., Ltd., “KFL-05-120-C1-11L1M2R”) was used as an adhesive (manufactured by Vishay) , “M-Bond610”).
  • Example 2 7 kg of each mass% of Co, each mass% of Nb, Mo, V, Ti, or Cr, and the remaining alloy material of Fe and inevitable impurities shown in Table 2 and Table 3 in an Ar atmosphere, An ingot of about 80 mm ⁇ was produced by casting into a mold (melting process). Next, the ingot was held in a gas burner heating furnace at 1000 to 1100 ° C. for 1 hour and then left in the furnace, and formed into about 16 mm ⁇ by a hot forging air hammer (hot forging process). Next, it was formed into a wire of about 8 mm ⁇ by cold drawing (cold drawing process). Furthermore, the furnace was cooled to 800 ° C. for 1 hour in an electric furnace and then cooled (heat treatment process). Thus, a magnetostrictive material was manufactured.
  • a 4 mm ⁇ JIS14A tensile test piece and a sample for magnetostriction measurement of length 8 mm ⁇ width 5 mm ⁇ thickness 0.3 mm were prepared from the produced magnetostrictive material and used for the test.
  • the tensile strength was measured with an Instron type tensile tester.
  • the results are shown in Table 2 and FIG. Magnetostriction measurement was performed in the same manner as in Example 1.
  • the results are shown in Table 3 and FIG.
  • the additive elements Nb, Mo, V, Ti, and Cr all increase the mechanical strength by solid solution strengthening. Even if two or more elements are added simultaneously, the same effect as the addition of one element can be obtained. .
  • Such a magnetostrictive material with increased mechanical strength is suitable for devices that require durability, such as vibration power generation and sensors utilizing the inverse magnetostrictive effect. Vibratory power generation and sensors using the inverse magnetostrictive effect are deformed and deteriorated by repeated application of force, but if a magnetostrictive material with increased mechanical strength is used, the service life can be extended.

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Abstract

逆磁歪現象を利用する振動発電や力センサーなどに使用される磁歪材料の磁歪量を高めることができる磁歪材料の製造方法および磁歪量増加方法を提供する。Co：67～87 質量 %、Fe および不可避的不純物：残部の組成から成る合金素材を溶解、鋳造後、熱間鍛造することにより、磁歪量100ppm 以上の磁歪材料を製造する。さらに、熱間鍛造後、冷間圧延を行うことにより、磁歪量130ppm以上の磁歪材料を製造することができる。熱間加工後または冷間加工後に400～1000℃で熱処理することもできる。

Description

磁歪材料の製造方法および磁歪量増加方法
　本発明は、磁歪材料の製造方法および磁歪量増加方法に関する。
　外部から応力が負荷されて生じる歪みにより磁性体内の磁場が変化する逆磁歪現象を利用した振動発電や力センサーに、磁歪材料が用いられている。
　これまで試みられている振動発電用磁歪合金のTb-Dy-Fe合金（Terfenol-D）、FeGa合金（Galfenol）の材質的脆弱性や加工性を改善したFe-Co合金（Co：56～80 at%）とその熱処理方法が古屋らによって提供されている（特許文献１参照）。
特開2013-177664号公報
　しかしながら、特許文献１記載の方法で磁歪量を安定的に100ppm以上にすることは困難で、逆磁歪効果を利用する際に実用的と考えられる100ppm以上の磁歪量が得られる合金材料を量産する方法が望まれていた。特許文献１に記載の方法では、使用時の寸法形状に近い状態に鋳造するため（遠心鋳造など）、その後の切削などの加工工数が少なくて済むメリットはあるが、塑性加工を殆ど加えず、もっぱら熱処理と組成によるため、結晶の組織や歪み、欠陥に強く依存する磁歪量を十分制御できず、安定的に得られる磁歪量は最大90数ppm程度にとどまるという課題があった。
　本発明は、このような課題に着目してなされたもので、逆磁歪現象を利用する振動発電や力センサーなどに使用される磁歪材料の磁歪量を高めることができる磁歪材料の製造方法および磁歪量増加方法を提供することを目的とする。
　発明者らは、67-87質量％のCoと、残部のFeおよび不可避的不純物とを溶解、鋳造後、熱間加工および任意に冷間加工してバルク磁歪材料を製造したとき、100ppm以上の磁歪量を安定的に得ることができることを発見した。
　上記目的を達成するために、本発明に係る磁歪材料の製造方法は、磁歪材料となる合金素材を熱間加工することを特徴とする。
　磁歪材料となる合金素材を熱間加工することにより、磁歪量の高い磁歪材料を製造することができる。
　本発明に係る磁歪材料の磁歪量増加方法は、磁歪材料を熱間加工ならびに、任意に冷間加工および／または熱処理することを特徴とする。
　本発明において、磁歪材料を熱間加工ならびに、任意に冷間加工および／または熱処理することにより、磁歪量を増加させることができる。本発明において、冷間加工および熱処理は必須工程ではなく、熱間加工のみ、熱間加工と冷間加工の組み合わせ、熱間加工と熱処理の組み合わせ、熱間加工と冷間加工と熱処理の組み合わせのいずれであってもよい。
　本発明において、熱間加工は、熱間に塑性変形させるいかなる加工であってもよいが、特に、熱間鍛造または熱間圧延から成ることが好ましく、熱間分塊から成ってもよい。熱間鍛造は、例えばプレス機やハンマーなどを用いて行うことができる。熱間圧延は、例えばロール圧延機を用いて行うことができる。熱間加工後、冷間加工することが好ましい。熱間加工後に冷間加工することにより、さらに磁歪量を増加させることができる。本発明において、冷間加工は、冷間に塑性変形させるいかなる加工であってもよいが、冷間圧延から成ることが好ましく、冷間伸線でもよい。但し、常温から300℃程度までの温度は、製造作業場の環境として冷間とみなされる。
　本発明において、前記合金素材はFe-Co系磁歪合金素材から成り、磁歪材料はFe-Co系バルク磁歪材料であることが好ましい。特に、前記合金素材は、67-87質量％のCoと、残部のFeおよび不可避的不純物とを溶解および凝固させて成ることが好ましい。この場合、磁歪量100ppm以上の磁歪材料を容易に製造することができる。さらに、前記合金素材は、71-82質量％のCoと、残部のFeおよび不可避的不純物とを溶解および凝固させて成ることが好ましい。この組成の合金素材を熱間加工後、冷間加工することにより、磁歪材料の磁歪量を130ppm以上に高めることができる。
　本発明において、前記合金素材は、67-87質量％のCoと、1質量％以下のNb， Mo， V， TiおよびCrの１種または２種以上の組み合わせと、残部のFeおよび不可避的不純物とを溶解および凝固させて成ってもよい。この場合、製造した磁歪材料の磁歪量はNb， Mo， V， TiまたはCrを加えない場合に比べて幾分低下するものの、機械的強度、特に、引張強度を大きくすることができる。Nb， Mo， V， TiおよびCrの２種以上の組み合わせを含む場合、組み合わせた合計の質量％を1質量％以下にする。
　特に、合金素材が、67-72質量％のCoと、0.6質量％以下のNb， Mo， V， TiおよびCrの１種または２種以上の組み合わせと、残部のFeおよび不可避的不純物とを溶解および凝固させて成る場合、熱間加工後、冷間加工することにより磁歪材料の磁歪量を110ppm以上に高めるとともに、機械的強度を大きくすることができる。
　このような機械的強度を大きくした磁歪材料は、耐久性が求められるデバイス、例えば、逆磁歪効果を利用した振動発電やセンサーなどの用途に適している。
　本発明において、熱間加工は、1200℃以下の温度で行うことが好ましく、より望ましくは、900～1100℃で加熱した後、炉から出して1100～700℃の間で塑性変形させることが好ましい。前記合金素材は、プレス機やハンマーなどによる熱間鍛造や熱間分塊、ロール圧延機による熱間圧延、冷間圧延などの加工が可能な大きさの溶製バルク材であることが望ましい。
　熱間加工後または冷間加工後に、Fe-Co系2元系状態図における（bcc+fcc）／bcc相境界を超えない温度で熱処理してもよい。具体的な温度範囲では、熱間加工後または冷間加工後に400～1000℃で熱処理してもよい。
　熱間加工または冷間加工後の磁歪材料の形状は、限定されないが、例示すれば、棒状、線状、板状などが挙げられる。
　本発明によれば、逆磁歪現象を利用する振動発電や力センサーなどに使用される磁歪材料の磁歪量を高めることができる磁歪材料の製造方法および磁歪量増加方法を提供することができる。
本発明の実施例１の、合金素材の組成と磁歪量との関係を製造方法ごとに示すグラフである。 Fe-Co系2元系状態図である。 本発明の実施例２の、添加元素の添加量と引張強度との関係をCoの質量％ごとに示すグラフである。 本発明の実施例２の、添加元素の添加量と磁歪量との関係をCoの質量％ごとに示すグラフである。
　以下、図面に基づき、本発明の実施の形態について説明する。
・成分　Co：67～87質量 %、Feおよび不可避的不純物：残部
　この組成から成る合金素材を溶解、鋳造後、熱間鍛造することにより、磁歪量100ppm以上のバルク磁歪材料を製造することができる。さらに、熱間鍛造後、冷間圧延を行うことにより、磁歪量をさらに増加させることができる。熱間鍛造後、熱間圧延を行ってもよい。また、熱間圧延後、冷間圧延を行ってもよい。
・成分　Co：71～82質量 %、Feおよび不可避的不純物：残部
　この組成から成る合金素材を溶解、鋳造後、熱間鍛造することにより、磁歪量110ppm以上のバルク磁歪材料を製造することができる。さらに、熱間鍛造後、冷間圧延を行うことにより、磁歪量130ppm以上の磁歪材料を製造することができる。
・成分　Co：76～82質量 %、Feおよび不可避的不純物：残部
　この組成から成る合金素材を溶解、鋳造後、熱間鍛造し、さらに冷間圧延を行うことにより、磁歪量150ppm以上の磁歪材料を製造することができる。
・成分　Co：67～87質量 %、Nb， Mo， V， TiおよびCrの１種または２種以上の組み合わせ：1質量％以下、Feおよび不可避的不純物：残部
　この組成から成る合金素材を溶解、鋳造後、熱間鍛造し、さらに冷間引抜きを行うことにより、磁歪量65～139ppm、引張強度695～1010MPaの磁歪材料を製造することができる。
・熱間加工、冷間加工
　熱間や冷間での鍛造、圧延、伸線などの加工が磁歪量を増加させる。磁歪量は結晶組織、歪み、格子欠陥などの影響を複雑に受けると考えられる。
・400～1000℃での熱処理
　熱間加工、冷間加工後に歪み取り等の目的で400～1000℃で熱処理を施しても磁歪量が大きく低下することはない。また、熱間加工と冷間加工の間に熱処理を行ってもよい。但し1000℃以上で熱処理すると著しく低下することがあるが、原因としてはfcc相の析出などが関係していると考えられる。Fe-Co系2元系状態図を図２に示す。
　次に、本発明の実施の形態のFe-Co系バルク磁歪材料の製造方法の一例を説明する。
　例えば、雰囲気中誘導炉にて、前述の組成から成る合金素材を溶解、精錬したのち、造塊し、次いで900～1100℃に加熱後、炉出しして、熱間加工（熱間鍛造、熱間圧延または熱間鍛造後の熱間圧延など）して棒材、線材、または板材形状とする。次に、線材の場合は冷間で引抜きしてそのままさらに細い線材とするか、あるいは曲り矯正した棒材にする。棒材の場合は、冷間で曲がり矯正を行う。板材の場合は、曲り矯正をしてそのまま板材とするか、あるいは冷間圧延によりさらに薄い板または帯材とする。こうして製造した線材、棒材、板材、帯材は、そのまま、または使用形状に加工して使用に供する。あるいは、400～1000℃で熱処理して使用することもできる。
「実施例１］
　表1に示す各質量 %のCoと、残部のFeおよび不可避的不純物とから成る合金素材をAr気流中で7kg溶製し、金型に鋳込むことによって約80mmφの鋳塊を作製した（表１の試験（１）～（５）の溶解工程）。
　次に、表１の試験（１）～（４）では、鋳塊を1000～1100℃のガスバーナー加熱炉中に1時間保持後炉出しして、熱間鍛造用エアハンマーにより約15mm厚の板に成形した（熱間鍛造工程）。
　次に、表１の試験（１）、（２）では、15mm厚の板をロール式冷間圧延機により、0.3mm厚の板に成形した（冷間圧延工程）。さらに表１の試験（２）では、電気炉で800℃に1時間保持後炉冷した（熱処理工程）。
　また、表１の試験（３）、（４）では、15mm厚の板を電気炉で約1100℃に1時間保持後、ロール式熱間圧延機により、1mm厚まで圧延した（熱間圧延工程）。さらに表１の試験（４）では、電気炉で800℃に1時間保持後炉冷した（熱処理工程）。
　表１の試験（５）では、溶解後鋳造ままの状態から試料を切り出し、電気炉で800℃に1時間保持後炉冷した（熱処理工程）。
　こうして、試験（１）～（５）により、バルク磁歪材料を製造した。
　磁歪測定用試料は、長さ8mm×幅5mm×厚さ0.3mmに成形し、歪ゲージ（共和電業株式会社製、「KFL-05-120-C1-11L1M2R」）を接着剤（Vishay社製、「M-Bond610」）により接着した。磁歪測定では、振動試料型磁力計（東栄工業株式会社製、「VSM-5-10」）を用いて、最大磁界12kOeを室温にて印加し、歪ゲージの抵抗変化をマルチ入力データ収集システム（株式会社キーエンス製、「NR-600」（ひずみ計測ユニット「NR-ST04」付属））を用いて測定し、磁歪量を決定した。
　その結果を表１および図１に示す。
　表1および図１に示すように、試験（１）～（４）のCo：67～87質量 %、Feおよび不可避的不純物：残部の組成範囲では、いずれも100ppmを超える大きな磁歪量が得られた。
　これに対し、試験（１）～（４）のCo：67～87質量 %、Feおよび不可避的不純物：残部の組成範囲外のものでは、100ppmを下回る磁歪量を示した。また、試験（１）～（４）と同じ組成域であっても、試験（５）の熱間の塑性加工を施さないものでは、100ppmを下回る磁歪量を示した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
「実施例２］
　表２、表３に示す、各質量 %のCoと、各質量％のNb， Mo， V， TiまたはCrと、Feおよび不可避的不純物が残部の合金素材をAr雰囲気中で7kg溶製し、金型に鋳込むことによって約80mmφの鋳塊を作製した（溶解工程）。
　次に、鋳塊を1000～1100℃のガスバーナー加熱炉中に1時間保持後炉出しして、熱間鍛造用エアハンマーにより約16mmφに成形した（熱間鍛造工程）。
　次に、冷間引抜きにより約8mmφの線材に成形した（冷間引抜き工程）。さらに電気炉で800℃に1時間保持後炉冷した（熱処理工程）。
　こうして、磁歪材料を製造した。
　製造した磁歪材料から4mmφのJIS14A号引張試験片と、長さ8mm×幅5mm×厚さ0.3mmの磁歪測定用試料を作成し、試験に供した。引張強度は、インストロン型引張試験機により測定した。その結果を表２および図３に示す。磁歪測定は、実施例１と同様の方法で行った。その結果を表３および図４に示す。
　表２および図３に示すように、Co：67.5～86.5質量 %において、1質量％以下の添加元素の添加量に比例して引張強度が増加した。また、表３および図４に示すように、Co：67.5～86.5質量 %において、1質量％以下の添加元素の添加量に対し２次曲線状に磁歪量が低下した。Co：67.5～71.5質量 %、Nb， Mo， V， TiまたはCr：0.6質量％以下、Feおよび不可避的不純物：残部の組成範囲では、いずれも110ppm以上に磁歪量を高めるとともに、無添加のものに比べ、大きな機械的強度が得られた。
　添加元素のNb， Mo， V， Ti，Crは、いずれも固溶強化により機械強度を大きくするものであり、２種以上の元素を同時に添加しても１種添加と同様の効果が得られる。例えば、Co：71.5質量%、Nb：0.36質量%、V：0.24質量%、Feおよび不可避的不純物：残部の組成から成る合金は、磁歪量120ppm、引張強度830MPaの特性を有していた。
　このような機械的強度を大きくした磁歪材料は、耐久性が求められるデバイス、例えば、逆磁歪効果を利用した振動発電やセンサーなどの用途に適している。逆磁歪効果を利用した振動発電やセンサーは、繰り返し力が加わることにより変形劣化するが、機械的強度を大きくした磁歪材料を用いれば、使用寿命を長くすることができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000003

Claims (9)

  1. 　磁歪材料となる合金素材を熱間加工することを特徴とする磁歪材料の製造方法。
  2. 　前記熱間加工は熱間鍛造または熱間圧延から成ることを特徴とする請求項１記載の磁歪材料の製造方法。
  3. 　熱間加工後、冷間加工することを特徴とする請求項１または２記載の磁歪材料の製造方法。
  4. 　前記冷間加工は冷間圧延から成ることを特徴とする請求項３記載の磁歪材料の製造方法。
  5. 　前記合金素材は、67-87質量％のCoと、残部のFeおよび不可避的不純物とを溶解および凝固させて成ることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の磁歪材料の製造方法。
  6. 　前記合金素材は、71-82質量％のCoと、残部のFeおよび不可避的不純物とを溶解および凝固させて成ることを特徴とする請求項３または４記載の磁歪材料の製造方法。
  7. 　前記合金素材は、67-87質量％のCoと、1質量％以下のNb， Mo， V， TiおよびCrの１種または２種以上の組み合わせと、残部のFeおよび不可避的不純物とを溶解および凝固させて成ることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の磁歪材料の製造方法。
  8. 　熱間加工後または冷間加工後に400～1000℃で熱処理することを特徴とする請求項５，６または７記載の磁歪材料の製造方法。
  9. 　磁歪材料を熱間加工ならびに、任意に冷間加工および／または熱処理することを特徴とする磁歪材料の磁歪量増加方法。
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