WO2015044619A1 - Dispositif optoélectronique a diodes électroluminescentes - Google Patents

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substrate
optoelectronic device
semiconductor
region
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Christophe Bouvier
Erwan Dornel
Xavier Hugon
Carlo CAGLI
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Aledia
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    • H05B45/56—Circuit arrangements for operating light-emitting diodes [LED] responsive to malfunctions or undesirable behaviour of LEDs; responsive to LED life; Protective circuits involving measures to prevent abnormal temperature of the LEDs

Definitions

  • the present invention relates generally to optoelectronic devices based on semiconductor materials and their manufacturing processes.
  • the present invention more particularly relates to optoelectronic devices comprising light-emitting diodes formed by three-dimensional elements, in particular semiconductor microwires or nanowires.
  • optoelectronic devices emitting diodes ⁇ luminescent means of devices adapted to perform the conversion of an electrical signal into electromagnetic radiation, and in particular the devices dedicated to the emission of electromagnetic radiation, in particular light.
  • three-dimensional elements suitable for producing light-emitting diodes are microwires or nanowires comprising a semiconductor material based on a compound having at least one Group III element and a Group V element (for example gallium GaN), hereinafter referred to as III-V compound, or preferably comprising at least one group II element and a group VI element (for example zinc oxide ZnO), hereinafter referred to as II-VI compound.
  • the three-dimensional elements, including semiconductor microwires or nanowires, of a plurality of optoelectronic devices may be formed on a substrate which is then cut to delineate individual optoelectronic devices.
  • Each optoelectronic device is then placed in a housing, in particular to protect the three-dimensional elements, and the housing is fixed to a support, for example a printed circuit.
  • an electronic circuit with the optoelectronic device.
  • This is, for example, a control circuit of the supply of light emitting diodes, a protection circuit of the electroluminescent diodes against electrostatic discharges or a temperature detection circuit of the light emitting diodes.
  • These electronic circuits are made separately from the optoelectronic device, then fixed to the support and connected to the housing.
  • the bulk due to the electronic circuits associated with the optoelectronic device can be important.
  • the manufacturing method of an electronic system comprising the optoelectronic device therefore comprises, in addition to the manufacturing steps of the optoelectronic device, separate steps for manufacturing the electronic circuits and steps for connecting the electronic circuits to the optoelectronic devices. These steps increase the manufacturing cost of the optoelectronic system.
  • an object of an embodiment is to overcome at least in part the disadvantages of optoelectronic devices with light emitting diodes, especially with microwires or nanowires, described above and their manufacturing processes. Another object of an embodiment is to reduce the bulk of an electronic system comprising an optoelectronic device.
  • Another object of an embodiment is to reduce the number of steps in the method of manufacturing an electronic system comprising an optoelectronic device.
  • Another object of an embodiment is that optoelectronic LED devices can be manufactured on an industrial scale and at low cost.
  • an optoelectronic device comprising:
  • a first semiconductor region electrically connected to the substrate, doped with the first conductivity type or a second conductivity type opposite the first type, and more heavily doped than the substrate;
  • first diodes electro luminescent ⁇ resting on the first semiconductor region the first light emitting diodes comprising wired semiconductor elements, conical or frusto-conical;
  • the first semiconductor region is obtained by one or more ion implantation steps.
  • the first semiconductor region is obtained by a homo-epitaxy step.
  • the device further comprises a first, at least partially transparent, electrode layer covering each first light-emitting diode and a first conductive layer covering the first electrode layer around the first light-emitting diodes.
  • the device further comprises at least one insulating portion extending along at least one lateral edge of the first semiconductor region.
  • the device further comprises at least one second doped semiconductor region of a conductivity type opposite to the first semiconductor region and extending along at least one lateral edge of the first semiconductor region.
  • the substrate is monolithic.
  • the substrate is divided into a semiconductor layer, containing the first semiconductor region, and separated from the rest of the substrate by an insulating layer.
  • the semiconductor layer is selected from the group consisting of silicon, germanium, silicon carbide and III-V compounds.
  • the substrate is selected from a group comprising silicon, germanium, silicon carbide and III-V compounds.
  • the substrate is an insulating material, for example silicon oxide or aluminum oxide.
  • the dopant concentration of the substrate is less than or equal to ⁇ ⁇ atoms / cm 3 and the dopant concentration of the first semiconductor region is between 5 * 10 ⁇ and 2 * 10 ⁇ 0 atoms / cm 3 .
  • the device further comprises at least one electronic component formed at least in part in the substrate.
  • the electronic component is comprised in the group comprising a diode, a Zener diode, an avalanche diode, a bipolar transistor, a metal-oxide-semiconductor gate field effect transistor, a resistor, a capacitor and a capacitor.
  • metal-oxide-semiconductor a capacitance metal-insulator-metal, a thyristor, a varactor, a volatile memory and a non-volatile memory.
  • the device comprises: a third semiconductor region electrically connected to the substrate, doped with the first type of conductivity or a second type of conductivity opposite the first type, and more heavily doped than the substrate;
  • the light-emitting diodes of the second set comprising wired, conical or frustoconical semiconductor elements
  • a second electrode layer covering each second light-emitting diode and a second conductive layer covering the second electrode layer around the first light-emitting diodes, the second electrode layer or the second conductive layer being in contact with the first semiconductor region.
  • the device comprises a fourth semiconductor region electrically connected to the substrate and remote from the first semiconductor region, of the same conductivity type as the first semiconductor region, more heavily doped than the substrate, and connected to an electrode of the first electroluminescent diodes.
  • the device comprises a fifth semiconductor region encompassing the fourth semiconductor region.
  • the fifth semiconductor region further includes the first semiconductor region.
  • the device comprises:
  • an eighth semiconductor region in contact with the substrate and of the same type of conductivity as the sixth semiconductor region, connected to the first semiconductor region or connected to the sixth semiconductor region;
  • the ninth semiconductor region extends between the sixth and eighth semiconductor regions and is connected to the seventh semiconductor region or wherein the ninth semiconductor region extends between the first and eighth semiconductor regions, the ninth semiconductor region being connected to the seventh semiconductor region. semiconductor region.
  • the device comprises an eleventh and an eleventh semiconductor regions, connected to each other, of opposite conductivity types and both separated from the first semiconductor region by at least one insulating or semiconductive portion s'. extending along at least one side edge of the first semiconductor region.
  • Figures 1 to 4 are partial sectional and schematic views of embodiments of an optoelectronic device with microwires or nanowires fabricated on a semiconductor substrate;
  • Figures 5 to 9 are sectional views, partial and schematic, of embodiments of an optoelectronic device comprising two sets of electro luminescent diodes ⁇ connected in series;
  • Figures 10 and 11 show examples of protective circuits of a light emitting diode against electrostatic discharges;
  • Figures 12, 13 and 14 are partial sectional and schematic views of embodiments of an optoelectronic device comprising a protection circuit based on one or two Zener diodes;
  • FIG. 15 represents an example of a circuit for measuring the temperature
  • FIG. 16 is a partial schematic sectional view of an embodiment of an optoelectronic device with microwires or nanowires further comprising a temperature detection diode;
  • Figures 17, 18 and 19 are top views, partial and schematic, of optoelectronic devices representing arrangements of light emitting diodes and a temperature sensing diode;
  • Figures 20 and 21 are partial sectional and schematic views of embodiments of an optoelectronic device with microwires or nanowires further comprising a bipolar transistor;
  • FIG. 22 is a partial schematic sectional view of an embodiment of an optoelectronic device with microwires or nanowires formed on a plate of a substrate before cutting the substrate;
  • FIG. 23 is a top view, partial and schematic, of the optoelectronic device of FIG. 22. Detailed description
  • the present description relates to optoelectronic devices with three-dimensional elements, for example microwires, nanowires, conical elements or frustoconical elements.
  • embodiments are described for optoelectronic devices with microfilts or nanowires.
  • these embodiments can be implemented for three-dimensional elements other than microwires or nanowires, for example three-dimensional pyramid-shaped elements.
  • microfil or "nanowire” denotes a three-dimensional structure of elongated shape in a preferred direction, of which at least two dimensions, called minor dimensions, are between 5 nm and 2.5 ⁇ m, preferably between 50 nm and 2.5 ⁇ m. um, the third dimension, called major dimension, being at least equal to 1 time, preferably at least 5 times and even more preferably at least 10 times, the largest of the minor dimensions.
  • the minor dimensions may be less than or equal to about 1 ⁇ m, preferably between 100 nm and 1 ⁇ m, more preferably between 100 nm and 300 nm.
  • the height of each microfil or nanowire may be greater than or equal to 500 nm, preferably from 1 ⁇ m to 50 ⁇ m.
  • the term “wire” is used to mean “microfil or nanowire”.
  • the mean line of the wire which passes through the centroids of the straight sections, in planes perpendicular to the direction preferred wire, is substantially rectilinear and is called thereafter "axis" of the wire.
  • an undoped or slightly doped semiconductor substrate of a first conductivity type is used and the light-emitting diodes are produced on a heavily doped region of a second type of conductivity opposite the first type and extending into the substrate from the upper face of the substrate.
  • the substrate corresponds, for example, to an undoped or slightly doped monocrystalline silicon substrate conventionally used in integrated circuit manufacturing processes.
  • the polarization based electro luminescent diodes ⁇ is carried by the highly doped region which is in contact with all LEDs.
  • the heavily doped region is relatively electrically isolated from the rest of the substrate.
  • Other electronic components can then be made in or on this substrate in an integrated manner with the light-emitting diodes.
  • the additional electronic components may correspond to pn diodes, Zener diodes, avalanche diodes, metal oxide-semiconductor field effect transistors, also called MOS transistors, bipolar transistors, resistors, metal oxide capacitors.
  • FIG. 1 is a partial schematic sectional view of an embodiment of an optoelectronic device 5 made from wires as described above and adapted to the emission of electromagnetic radiation.
  • FIG. 1 shows a structure comprising, from bottom to top: an undoped or slightly doped semiconductor substrate of a first conductivity type, comprising an upper face 12, preferably planar at least at the level of the light emitting diodes;
  • each wire 20 being in contact with one of the seed pads 16, each wire 20 comprising a lower portion 22, height 3 ⁇ 4, in contact with the stud germination 16 and an upper portion 24 of height H3, extending the lower portion 22;
  • an insulating layer 26 extending on the face 12 of the substrate 10 and on the lateral flanks of the lower portion 22 of each wire 20;
  • a shell 28 comprising a stack of semiconductor layers covering each upper portion 24;
  • a conductive layer 32 covering the electrode layer 30 between the wires 20 but not extending over the wires 20;
  • the optoelectronic device 5 may further comprise a phosphor layer, not shown, provided on the encapsulation layer 38 or merged therewith.
  • each wire 20, the germination pad 16 and the shell 28 associated is an LED light emitting diode.
  • the base of the LED corresponds to the germination pad 16.
  • the shell 28 comprises in particular an active layer which is the layer from which is emitted the majority of the electromagnetic radiation provided by the LED.
  • the LEDs are connected in parallel and form an array of light-emitting diodes.
  • the set A may comprise from a few LEDs to a thousand light emitting diodes.
  • the semiconductor substrate 10 corresponds to a monolithic structure.
  • the semiconductor substrate is, for example, a silicon, germanium, silicon carbide, III-V compound, such as GaN or GaAs, or a ZnO substrate.
  • the substrate 10 is a monocrystalline silicon substrate.
  • Substrate 10 is an undoped or weakly doped substrate with a dopant concentration of less than or equal to 5 ⁇ g / cm 3, preferably substantially equal to ⁇ 10 atoms / cm 3.
  • the substrate 10 has a thickness of between 275 ⁇ m and 1.5 mm, preferably 725 ⁇ m.
  • examples of P type dopants are boron (B) or indium (In) and examples of N type dopants are phosphorus (P), arsenic ( As), or antimony (Sb).
  • the substrate 10 is doped with P type at the boron.
  • the face 12 of the silicon substrate 10 may be a face
  • Region 14 is a heavily doped region.
  • the conductivity type of the region 14 is opposite to the conductivity type of the substrate 10.
  • FIG. 1 there is shown a weakly doped P-type substrate 10 and a strongly doped N-type region 14.
  • the dopant concentration of region 14 is between 5 * 10 ⁇ atoms / cm ⁇ and 2 * 10 ⁇ 0 atoms / cm 2, preferably between 3 * 10 ⁇ atoms / cm ⁇ and 5 * 10 ⁇ ⁇ atoms / cm ⁇ .
  • the thickness of the region 14 is between 150 nm and several micrometers, preferably between 150 nm and 1 ⁇ m, more preferably between 150 nm and 400 nm.
  • the germination pads 16, also called germination islands, are made of a material that promotes the growth of the yarns 20.
  • a treatment may be provided to protect the lateral flanks of the seedlings and the surface of the parts of the substrate not covered by the bumps. germination to prevent growth of the yarns on the lateral flanks of the seed pads and on the surface of the parts of the substrate not covered by the seed pads.
  • the treatment may comprise forming a dielectric region on the lateral flanks of the seed pads and extending on and / or in the substrate and connecting, for each pair of pads, one of the pads of the pair to the other stud of the pair, the wires not growing on the dielectric region.
  • the seed pads 16 may be replaced by a seed layer covering the face 12 of the substrate 10 and extending over the region 14. A dielectric region may then be formed above the seed layer for prevent the growth of threads in unwanted areas.
  • the material constituting the seed pads 16 may be a nitride, a carbide or a boride of a transition metal of column IV, V or VI of the periodic table of the elements or a combination of these compounds.
  • the seed pads 16 may be made of aluminum nitride (AIN), boron (B), boron nitride (BN), titanium (Ti), titanium nitride (TiN), tantalum nitride (TaN), hafnium (Hf), hafnium nitride (HfN), niobium (Nb), niobium nitride (NbN), zirconium (Zr), zirconium borate (ZrB 2), of zirconium nitride (ZrN), in silicon carbide (SiC), nitride and tantalum carbide (TaCN), magnesium nitride in the form Mg x Ny, where x is approximately equal
  • the seed pads 16 may be doped with the same type of conductivity as the region 14.
  • the insulating layer 26 may be a dielectric material, such as silicon oxide (S1O2) f silicon nitride (Si x N y, where x is approximately equal to 3 and y is equal to about 4, e.g., S13N4) , in silicon oxynitride (SiO x Ny where x may be about 1/2 and y may be about 1, eg S12ON2), aluminum oxide (Al2O3), hafnium oxide (HfC ⁇ ) or diamond.
  • the thickness of the insulating layer 26 is between 5 nm and 800 nm, for example equal to about 30 nm.
  • the wires 20 are at least partly formed from at least one semiconductor material.
  • the semiconductor material may be silicon, germanium, silicon carbide, a III-V compound, a II-VI compound or a combination thereof.
  • the wires 20 may be, at least in part, formed from semiconducting materials, typically having a III-V compound, for example III-N compounds.
  • group III elements include gallium (Ga), indium (In) or aluminum (Al).
  • III-N compounds are GaN, AlN, InN, InGaN, AlGaN or AlInGaN.
  • Other group V elements may also be used, for example, phosphorus or arsenic. In general, the elements in compound III-V can be combined with different mole fractions.
  • the wires 20 may be, at least in part, formed from semiconductor materials with a compound II-VI.
  • group II elements include elements of group IIA, including beryllium (Be) and magnesium (Mg) and Group IIB elements, including zinc (Zn) and cadmium (Cd).
  • Group VI elements include elements of the VIA group, including oxygen (O) and tellurium (Te).
  • compounds II-VI are ZnO, ZnMgO, CdZnO or CdZnMgO. In general, the elements in II-VI can be combined with different mole fractions.
  • the wires 20 may comprise a dopant.
  • the dopant may be chosen from the group comprising a group II P dopant, for example magnesium (Mg), zinc (Zn), cadmium (Cd ) or mercury (Hg), a group IV P-type dopant, for example carbon (C) or a group IV N-type dopant, for example silicon (Si), germanium (Ge), selenium (Se), sulfur (S), terbium (Tb) or tin (Sn).
  • a group II P dopant for example magnesium (Mg), zinc (Zn), cadmium (Cd ) or mercury (Hg)
  • a group IV P-type dopant for example carbon (C) or a group IV N-type dopant, for example silicon (Si), germanium (Ge), selenium (Se), sulfur (S), terbium (Tb) or tin (Sn).
  • the cross section of the yarns 20 may have different shapes, such as, for example, an oval, circular or polygonal shape, in particular triangular, rectangular, square or hexagonal.
  • the average diameter of each wire may be between 50 nm and 2.5 ⁇ m.
  • the height H] _ of each wire 20 may be between 250 nm and 50 um.
  • Each wire 20 may have an elongate semiconductor structure along an axis substantially perpendicular to the face 12.
  • Each wire 20 may have a generally cylindrical shape.
  • the axes of two adjacent yarns can be from 0.5 ⁇ m to 10 ⁇ m and preferably from 1.5 ⁇ m to 4 ⁇ m.
  • the son 20 may be regularly distributed, in particular according to a hexagonal network.
  • the lower portion 22 of each wire 20 consists mainly of compound III-N, for example doped gallium nitride of the same type as region 14, for example.
  • example N type for example silicon.
  • the lower portion 22 extends over a height 3 ⁇ 4 which can be between 100 nm and 25 ⁇ m.
  • the upper portion 24 of each wire 20 is at least partially made of a III-N compound, for example GaN.
  • the upper portion 24 may be N-type doped, possibly less strongly doped than the lower portion 22, or not be intentionally doped.
  • the upper portion 24 extends over a height H3 which may be between 100 nm and 25 ⁇ m.
  • the shell 28 may comprise a stack of several layers including:
  • the active layer is the layer from which most of the radiation provided by the LED is emitted.
  • the active layer may include containment means, such as multiple quantum wells. It consists, for example, of alternating layers of GaN and InGaN with thicknesses of 5 to 20 nm (for example
  • the GaN layers may be doped, for example of the N or P type.
  • the active layer may comprise a single layer of InGaN, for example with a thickness greater than 10 nm.
  • the intermediate layer for example doped P-type, may correspond to a semiconductor layer or a stack of semiconductor layers and allows the formation of a PN or PIN junction, the active layer being between the intermediate layer of type P and the N-type upper portion 24 of the PN junction or PIN.
  • the bonding layer may correspond to a semiconductor layer or a stack of semiconductor layers and allows the formation of an ohmic contact between the intermediate layer and the electrode 30.
  • the bonding layer may be doped very thinly. strongly of the type opposite to the lower portion 22 of each wire 20, until degenerate the semiconductor layer or layers, for example doped P type at a concentration greater than or equal to 10 ⁇ 0 atoms / cm- ⁇ .
  • the semiconductor layer stack may comprise an electron blocking layer formed of a ternary alloy, for example gallium aluminum nitride (AlGaN) or indium aluminum nitride (AlInN) in contact with each other. with the active layer and the intermediate layer, to ensure a good distribution of the electric carriers in the active layer.
  • a ternary alloy for example gallium aluminum nitride (AlGaN) or indium aluminum nitride (AlInN) in contact with each other. with the active layer and the intermediate layer, to ensure a good distribution of the electric carriers in the active layer.
  • the electrode 30 is adapted to bias the active layer of each wire 20 and let the electromagnetic radiation emitted by the LEDs LED.
  • the material forming the electrode 30 may be a transparent and conductive material such as indium tin oxide (ITO), aluminum-doped zinc oxide or aluminum oxide. graphene.
  • the electrode layer 30 has a thickness of between 5 nm and 200 nm, preferably between 20 nm and 50 nm.
  • the conductive layer 32 preferably corresponds to a metal layer, for example aluminum, silver, copper or zinc.
  • the conductive layer 32 has a thickness of between 20 nm and 1000 nm, preferably between 100 nm and 200 nm.
  • the encapsulation layer 38 is made of at least partially transparent insulating material.
  • the maximum thickness of the encapsulation layer 38 is between 250 nm and 50 ⁇ m so that the encapsulation layer 38 completely covers the electrode 30 at the top of the LEDs.
  • the encapsulation layer 38 may be made of at least partially transparent inorganic material.
  • the encapsulation layer 38 is made of silicone.
  • the inorganic material is chosen from the group comprising silicon oxides of the SiO x type where x is a real number between 0 and 2, or SiOyN z where y is a real number between 0 and 2 and z is between 0 and 1 and aluminum oxides, for example Al2O3.
  • the encapsulation layer 38 may be made of at least partially transparent organic material.
  • the encapsulation layer 38 is an epoxy polymer.
  • each light-emitting diode LED of the set A is obtained by connecting the electrode 30 to a source VI of a first reference potential and by connecting the pad 36 to a source V2 of a second reference potential.
  • the first potential may be greater than the second potential and the source V2 may correspond to the ground.
  • optoelectronic devices with light-emitting diodes are formed simultaneously on a plate of a semiconductor substrate.
  • the number of light-emitting diodes may be different depending on the optoelectronic devices.
  • the separation of optoelec ⁇ tronic devices is performed by steps of cutting the plate.
  • it is a silicon wafer conventionally used in microelectronic circuit manufacturing processes, in particular based on metal oxide-oxide or MOS transistor field-effect transistors.
  • An embodiment of a manufacturing method for obtaining the optoelectronic device 5 comprises the following steps:
  • the region 14 can be obtained by one or more implantations of dopants in the substrate 10 or by growth by selective epitaxy of the heavily doped material on an initial support.
  • the seed pads 16 can be obtained by depositing a seed layer on the face 12 and by etching portions of the seed layer to the face 12 of the substrate 10 to define the seed pads.
  • the seed layer can be deposited by a chemical vapor deposition (CVD) method or an organometallic chemical vapor deposition (MOCVD), also known under the name of organometallic epitaxy in the vapor phase (or MOVPE, acronym for Metal-Organic Vapor Phase Epitaxy).
  • CVD chemical vapor deposition
  • MOCVD organometallic chemical vapor deposition
  • MBE molecular beam epitaxy
  • MBBE gas-source MBE
  • MOMBE organometallic MBE
  • PAMBE plasma-assisted MBE
  • ALE Atomic Layer Epitaxy
  • HVPE Hydride Vapor Phase Epitaxy
  • ALD atomic thin-film deposition process
  • evaporation or reactive sputtering may be used.
  • the seed pads 16 are made of aluminum nitride, they can be substantially textured and have a preferred polarity.
  • the texturing of the pads 16 can be obtained by an additional treatment carried out after the deposition of the seed layer. This is, for example, annealing under an ammonia (NH 3) stream.
  • NH 3 ammonia
  • the yarn 26 growth process may be a CVD, MOCVD, MBE, GSMBE, PAMBE, ALE, HVPE, ALD method.
  • electrochemical processes may be used, for example, Chemical Bath Deposition (CBD), hydrothermal processes, liquid aerosol pyrolysis or electrodeposition.
  • the yarn growth method may comprise the reaction in a reactor of a precursor of a group III element and a precursor of a group V element.
  • precursors of Group III elements are trimethylgallium (TMGa), triethylgallium (TEGa), trimethylindium (TMIn) or trimethylaluminum (TMA1).
  • group V precursors are ammonia (NH3), tertiarybutylphosphine (TBP), arsine (ASH3), or asymmetric dimethylhydrazine (UDMH).
  • a precursor of a further element is added in excess in addition to the precursors of III-V compound.
  • the additional element may be silicon (Si).
  • An example of a precursor of silicon is silane (S1H4).
  • the operating conditions of the MOCVD reactor described above are, by way of example , except that the stream of silane in the reactor is reduced, for example by a factor greater than or equal to 10, or stopped. Even when the silane stream is stopped, the upper portion 24 may be N-type doped due to the diffusion in this active portion of dopants from the adjacent passivated portions or due to the residual doping of GaN.
  • the insulating layer 26 for example by conformal deposition of an insulating layer on the entire structure obtained in step (6) and etching of this layer to expose the shell 28 of each wire 20.
  • the insulating layer 26 does not cover the shell 28.
  • the insulating layer 26 may cover a portion of the shell 28.
  • the insulating layer 26 may be made before the formation of the hull 28.
  • step (8) Formation of the Conductive Layer 32, for example by Physical Vapor Deposition (PVD) Over the Overall Structure Obtained in step (8) or for example by evaporation or sputtering and etching of this layer to expose each wire 20;
  • PVD Physical Vapor Deposition
  • encapsulation layer 38 is made of silicone, encapsulation layer 38 may be deposited by a spin coating process, by a jet printing process, or by by a screen printing process. When the encapsulation layer 38 is an oxide, it can be deposited by CVD; and
  • the region 14 is formed before the wires 20.
  • the region 14 may be formed, in particular by implantation, after the wires 20.
  • FIG. 2 is a partial schematic cross section of an optoelectronic device 40 according to another embodiment.
  • the optoelectronic device 40 comprises all the elements of the optoelectronic device 5 shown in FIG. 1, with the difference that the monolithic substrate 10 corresponds to a multilayer structure of the silicon on insulator type or SOI (acronym for Silicon On Insulator).
  • the substrate 10 comprises a layer 44 of a semiconductor material separated from a support 46 by an insulating layer 48.
  • the face 12 corresponds to the upper face of the semiconductor layer 44.
  • the semiconductor layer 44 may be made of the same material as the substrate 10. In particular, the semiconductor layer 44 is weakly doped. By way of example, the thickness of the semiconductor layer 44 is between 10 nm and 1 ⁇ m.
  • the insulating layer 48 corresponds, for example, to an oxide or a nitride. For example, the thickness of the insulating layer 48 is between 10 nm and 300 nm.
  • the support 46 may be a semiconductor or insulating material. When the support 46 corresponds to an insulating material, the insulating layer 48 and the support 46 may be merged.
  • the region 14 extends in the semiconductor layer 44 from the face 12, for example over the entire thickness of the semiconductor layer 44.
  • the optoelectronic device 40 has the advantage, compared to the optoelectronic device 5, to suppress the leakage currents from region 14 to support 46.
  • FIG. 3 is a partial and schematic cross section of an optoelectronic device 50 according to another embodiment.
  • the optoelectronic device 50 comprises all the elements of the optoelectronic device 5 shown in FIG. 1 and furthermore comprises insulating regions 52, extending at least partly in the substrate 10 at least partly around the heavily doped region. 14. Although this is not shown in FIG. 3, the insulating regions 52 may, in addition, project protruding with respect to the face 12.
  • Each insulating region 52 may extend into the substrate 10 from the face 12 to a depth of between 60 nm and 800 nm, preferably 150 nm.
  • the insulating regions 52 are made of silicon oxide or silicon nitride.
  • the insulating regions 52 can be made by a method of forming insulation trenches of the STI type (acronym for "Shallow Trench Isolation").
  • the optoelectronic device 50 has the advantage, compared to the optoelectronic device 5, of eliminating the lateral leakage currents from the region 14.
  • FIG. 4 is a partial and diagrammatic section of an optoelectronic device 54 comprising both the insulating layer 48 of the optoelectronic device 40 shown in FIG. 2 and the insulating regions 52 of the optoelectronic device 50 shown in FIG. 3.
  • the optoelectronic device 54 has the advantage, compared to the optoelectronic device 5, of eliminating the lateral leakage currents from the region 14 and the leakage currents of the region 14 towards the support 46.
  • the polarization of the base diodes ⁇ electro luminescent LED is accomplished by the highly doped region 14 which can be electrically isolated from the substrate 10. Several highly doped regions may be made in the substrate 10, these highly doped regions being associated with separate sets of light-emitting diodes.
  • FIG. 5 is a sectional view of an optoelectronic device 60 which comprises two sets Al, A2 of LEDs.
  • Each set A1, A2 of light-emitting diodes may have the same structure as that shown in FIG. 1.
  • the index "1" is added to the references of the elements associated with the set Al and the index "2" to references of the elements associated with the set A2.
  • the bases of the electroluminescent diodes of each set A1, A2 are in contact with a strongly doped region 14.
  • the highly doped region 14 ] _ associated with the set A1 of light-emitting diodes is separated by the strongly doped region 142 associated to the set A2 of light-emitting diodes by a lightly doped portion 66 of the substrate 10.
  • the minimum distance separating the two regions 14 ] _, 142 highly doped adjacent is greater than 2 microns, preferably between 2 microns and 10 um.
  • the set A1 of light-emitting diodes is connected in series with the set A2 of light-emitting diodes.
  • the electrode 302 and the conductive layer 322 of the set A2 of light-emitting diodes DEL2 extend to the opening 34 ] to form the contact pad 36 ] of the assembly A1 and come in contact with the heavily doped region 14 ] _ of the set Al.
  • FIG. 5 shows an optoelectronic device 60 comprising two sets A1, A2 of light-emitting diodes arranged in series. The number of sets of light emitting diodes arranged in series may be larger. The optoelectronic device 60 may comprise from 2 to more than 100 sets of light emitting diodes arranged in series.
  • the combination of series-mounted light-emitting diode assemblies makes it possible to increase the maximum amplitude of the supply voltage applied to the sets of light-emitting diodes which is equal to the difference between the first and second reference potentials provided by the sources. VI, V2.
  • the supply voltage may have a maximum amplitude greater than or equal to 6V, for example approximately 12 V, 24 V, 48 V, 110 V or 240 V.
  • FIG. 6 is a sectional view of an optoelectronic device 70 according to another embodiment.
  • the optoelectronic device 70 comprises all the elements of the optoelectronic device 60 shown in FIG. 5 and further comprises a heavily doped region 72 extending into the substrate 10 from the face 12 and disposed between the highly doped region 14 ]. associated with the set A1 and the heavily doped region 142 associated with the set A2.
  • the heavily doped region 72 is of opposite conductivity type to said highly doped regions 14] _, 142- the doping concentration of region 72 is between 5 * 10 ⁇ atoms / cm ⁇ and 2 ⁇ 0 * 10 atoms / cm -1, preferably between 3 * 10 ⁇ atoms / cm ⁇ and 5 * 10 ⁇ ⁇ atoms / cm ⁇ .
  • the region 72 improves the electrical insulation between the regions 14 !, 14 2 .
  • FIG. 7 is a sectional view of an optoelectronic device 74 according to another embodiment.
  • the optoelectronic device 74 comprises all the elements of the optoelectronic device 72 shown in FIG. 6 except that the heavily doped region 72 is replaced by a insulating region 76 which may be identical to the insulating region 52 described above.
  • FIG 8 is a sectional view of an optoelectronic device 78 according to another embodiment.
  • the optoelectronic device 78 comprises all the elements of the optoelectronic device 72, with the difference that the substrate 10 has a structure of the SOI type described above.
  • the heavily doped P-type region 72 may not be present, the regions 14 being separated by a lightly doped portion of the semiconductor layer 44.
  • FIG. 9 is a sectional view of an optoelectronic device 82 according to another embodiment.
  • the optoelectronic device 82 comprises all the elements of the optoelectronic device 78 with the difference that the heavily doped region 72 is replaced by the insulating region 76 described above.
  • the optoelectronic device may comprise additional electronic components, including diodes, zener diodes, avalanche diodes, MOS transistors and / or bipolar transistors, resistors, metal-oxide-semiconductor capabilities, also called MOS capabilities, metal-insulator-metal capabilities, also called MIM capabilities, thyristors, varactors, volatile memories, e.g. random access dynamic memories called DRAMs, non-volatile memories , for example flash memories.
  • additional electronic components including diodes, zener diodes, avalanche diodes, MOS transistors and / or bipolar transistors, resistors, metal-oxide-semiconductor capabilities, also called MOS capabilities, metal-insulator-metal capabilities, also called MIM capabilities, thyristors, varactors, volatile memories, e.g. random access dynamic memories called DRAMs, non-volatile memories , for example flash memories.
  • DRAMs random access dynamic memories
  • the additional electronic components integrated in the substrate 10 on which the light-emitting diodes are formed are used to provide a protection circuit of electroluminescent diodes against electrostatic discharges, also called ESD (acronym for Electrostatic Discharge).
  • ESD Electrostatic Discharge
  • FIGS. 10 and 11 show examples of circuits 90, 91 for protecting a light-emitting diode DEL1 against electrostatic discharges.
  • the light-emitting diode DEL1 may correspond to a set of light-emitting diodes connected in parallel as shown in FIG. 1.
  • the light-emitting diode DEL1 may correspond to a set of light-emitting diodes connected in series as represented in FIGS. 5 to 9.
  • the protection circuit 90, 91 is connected in parallel to the terminals of the LED DELL.
  • the protection circuit 90, 91 provides a preferred passage for the current when an overvoltage is applied across the LEDs DEL1.
  • FIG. 10 and 11 show examples of circuits 90, 91 for protecting a light-emitting diode DEL1 against electrostatic discharges.
  • the light-emitting diode DEL1 may correspond to a set of light-emitting diodes connected in parallel as shown in FIG. 1.
  • the protection circuit 90 comprises a Zener diode 92, the anode of which is connected to the cathode of the light-emitting diode DEL1 and whose cathode is connected to the anode of the light-emitting diode DELL.
  • protection 91 comprises two zener diodes 93, 94 mounted head-to-head, the anodes of the zener diodes 93, 94 being connected to one another as shown in FIG. 11, or alternatively the cathodes of the diodes Zener being connected to each other.
  • the protection circuits 90, 91 may comprise one or more than one avalanche diode.
  • FIG. 12 represents an optoelectronic device
  • the optoelectronic device 95 comprising an array A of light-emitting diodes as shown in Figure 1 and further comprising a protection circuit 90 as shown in Figure 10.
  • the optoelectronic device 95 comprises a heavily doped region 96 of the conductivity type opposite to the region 14 and separated from the region 14 by a lightly doped portion 97 of the substrate 10.
  • the region 96 extends in the substrate 10 from the face 12.
  • the optoelectronic device 95 comprises a heavily doped region 98 of the same type of conductivity as the region. 14 and extending into the area
  • the region 96 extends deeper into the substrate 10 than the region 98.
  • An opening 99 is provided in the insulating layer 26 to expose a portion of the region 98.
  • the electrode 30 and the conductive layer 32 extend to the aperture 99 to in contact with the heavily doped region 98 through the opening 99.
  • An opening 100 is provided in the insulating layer 26 to expose a portion of the region 96.
  • a conductive pad 101 is provided in contact with the heavily doped region 96 at through the opening 100.
  • the conductive pad 101 is connected to the conductive pad 36 by unrepresented conductive elements.
  • the N-type region 98 forms, with the P-type region 96, the Zener diode of the protection circuit 90.
  • FIG. 13 represents an optoelectronic device 102 comprising the set A of light-emitting diodes as represented in FIG. 1 and further comprising a protection circuit 91 as represented in FIG. 11.
  • the optoelectronic device 102 comprises a heavily doped region 103 of the same type of conductivity as the region 14 and separated from the region 14 by a lightly doped portion 104 of the substrate 10.
  • the region 103 extends in the substrate 10 from the face 12.
  • the conductive layer 105 is provided in the insulating layer 26 to expose a portion of the region 103.
  • the electrode 30 and the conductive layer 32 extend to the opening 105 to contact the heavily doped region 103 through the
  • the regions 14 and 103 are, for example, formed by the same ion implantation steps or the same epitaxial steps.
  • the N-type regions 14 and 103 together with the P-type substrate 10 form the Zener diodes of the protection circuit 91.
  • FIG. 14 represents an optoelectronic device
  • one or more of the regions 14, 96, 98, 103, 107 can be obtained by a step or more of a dopant implantation step in the substrate 10 or by growth by selective epitaxy of the doped material on an initial support. In the case where these regions 14, 96, 98, 103, 107 are obtained by one or more dopant implantation steps in the substrate, they can be performed before or after the formation of the son 20.
  • the additional electronic components integrated in the substrate 10 on which the light-emitting diodes are formed are used to carry out, at least partially, a circuit for detecting the temperature of the light-emitting diodes.
  • FIG. 15 schematically shows the operating principle of a temperature sensing circuit.
  • the circuit 110 comprises an electronic detection component 112 and a circuit 114 for measuring the voltage U across the terminals of the component 112 and / or the current I flowing through the component 112.
  • the operating characteristics of the detection component 112 vary according to the temperature such that the voltage U at constant current I or the current I at constant voltage U varies as the temperature in the vicinity of detection component 112 varies.
  • the detection component 112 may comprise at least one diode or at least one bipolar transistor whose base and the emitter (or the collector) are connected in common.
  • the detection component 112 is made integrated to the substrate 10 in the vicinity of the set A of light-emitting diodes.
  • the measuring circuit 114 may be realized by an electronic circuit distinct from the optoelectronic device or may be made, in whole or in part, in an integrated manner to the substrate 10.
  • the detection component 112 being situated close to the light-emitting diodes, in particular unless a hundred micrometers typically about ten micrometers, the temperature measured by the measuring circuit 114 is representative of the actual temperature at the active layer of the light-emitting diodes. This is not the case when the sensing component 112 is part of a circuit that is distinct from the optoelectronic device. Indeed, the detection component 112 is then located several hundred micrometers of the light emitting diodes.
  • FIG. 16 represents an optoelectronic device 116 comprising an array of light emitting diodes as shown in FIG. 1 and further comprising a temperature detection component 112.
  • the optoelectronic device 116 further comprises a heavily doped region 118 of P type, more strongly doped than the substrate 10, separated from the region 14 by a lightly doped portion 120 of the substrate 10.
  • the optoelectronic device 116 further comprises an N-type doped region 122, extending from the face 12 in region 118 of type P. Regions 118 and 122 form a PN junction which constitutes the temperature detection diode.
  • An opening 124 is provided in the insulating layer 26 to expose a portion of the region 118 and an opening 126 is provided in the insulating layer 26 to expose a portion of the region 122.
  • a conductive track 128 contacts the region 118 at through the opening 124 and a conductive track 130 comes into contact with the region 122 through the opening 126.
  • the region 118 may be N type doped. In this case, the region 122 is doped.
  • the temperature sensing component 112 can be isolated from the light-emitting diode array A by one of the isolation structures described above in connection with FIGS. 6-9.
  • FIGS. 17 to 19 represent schematic top views of the optoelectronic device 116 in which the contour of the region 14 on which the set of light-emitting diodes A is formed by a dashed line and in which FIG. outline of the region 118 in which the detection component 112 is formed by a continuous line.
  • the sensing component 112 is disposed along an edge of the set of light-emitting diodes.
  • the detection component 112 is arranged all around the set A of light-emitting diodes.
  • the signal measured by the measuring circuit 114 then advantageously makes it possible to determine the average temperature at the periphery of the set A of light-emitting diodes.
  • the set A of light-emitting diodes is arranged around the detection component 112.
  • the temperature sensor may, for example, be used for regulating the current flowing through the light-emitting diodes in order not to degrade their characteristics.
  • the additional electronic components integrated in the substrate 10 on which the light-emitting diodes are formed are used to carry out, at least partially, a control circuit of the light-emitting diodes.
  • control circuit may comprise an AC-DC converter receiving an AC voltage, for example corresponding to the AC voltage of the sector, and supplying a DC voltage which may for example be applied between the electrode 30 and the region 14.
  • control circuit may comprise a voltage rectifier, a switch (English switch) or a current regulator which may for example comprise an operational amplifier.
  • control circuit is a circuit for supplying current or voltage pulses used to power the light-emitting diodes. This makes it possible to reduce the heating effects of the light emitting diodes for the same average power consumed.
  • the frequency and the duration of the pulses are determined so that an observer perceives a continuous luminous signal because of the retinal persistence, for example using a Pulse Width Modulator (PWM).
  • PWM Pulse Width Modulator
  • the control circuit may comprise a thermal protection module, which is for example formed by a temperature measuring circuit as described above in relation to FIGS. 15 to 19, associated with a PWM circuit providing voltage or current pulses whose duration is modulated according to the measured temperature, for example by using a feedback loop which can implement an operational amplifier.
  • the duration of the pulses of the electrical signal can be decreased when the measured temperature exceeds a predefined value, for example 125 ° C.
  • the thermal protection circuit is, for example, formed by a temperature measuring circuit, as described previously with reference to FIGS. 15 to 19, associated with a switch making it possible to cut off the electrical signal when the measured temperature exceeds a value. predefined, for example 130 ° C.
  • the thermal protection circuit is, for example, formed by a temperature measuring circuit, as described previously with reference to FIGS. 15 to 19, associated with a current regulator providing a current whose intensity depends on the measurement of the current. temperature.
  • All or part of the electronic components used for the realization of the control circuit can be made on the same substrate 10 on which the light-emitting diodes are formed.
  • These electronic components may comprise in particular bipolar transistors.
  • FIG. 20 represents a sectional view of an optoelectronic device 150 comprising an array of light-emitting diodes A as shown in FIG. 1, with the difference that the region 14 comprises a first N-type doped region 152 which extends from the face 12 and a second N-type doped region 154, which is less strongly doped than the region 152 and more strongly doped than the substrate 10, and which extends under the region 152.
  • the optoelectronic device 150 further comprises a heavily doped N-type region 156 extending into the substrate 10 from the face 12 and a P-type heavily doped region 158 extending into the substrate 10 from the face 12.
  • a P-type doped region 160 extends under regions 156 and 158 and connects these regions.
  • the region 160 is less strongly doped than the region 158 and more heavily doped than the substrate 10.
  • An N-type doped buried region 162 extends below the region 160 and the region 154 and connects these two regions.
  • An opening 164 is provided in the insulating layer 26 to expose a portion of the region 158 and an opening 166 is provided in the insulating layer 26 to expose a portion of the region 156.
  • a conductive track 168 contacts the region 158 through through the opening 164 and a conductive track 169 comes into contact with the region 156 through the opening 166.
  • Region 156 forms the emitter or collector of the bipolar transistor and region 158 forms the base of the bipolar transistor.
  • the region 162 forms the collector or emitter of the bipolar transistor and is connected, in the present embodiment, to the cathode of the LEDs.
  • FIG. 21 represents a sectional view of an optoelectronic device 170 comprising all the elements of the optoelectronic device 150 represented in FIG. 20, except that the regions 160 and 154 are replaced by a doped region 171 of the same type of conductivity as region 162 and extending between region 156 and region 162 and a region
  • region 158 It is doped with the same type of conductivity as region 158 and extends between regions 158, 14 and 162.
  • Region 156 forms the emitter or collector of the bipolar transistor and region 158 forms the base of the bipolar transistor.
  • the region 14 forms the collector or emitter of the bipolar transistor and is connected, in the present embodiment, to the cathode of the LEDs.
  • the PN junctions of the bipolar transistor are situated substantially under the regions 156 and 158 while, in the Optoelectronic device 170 shown in Figure 21, the PN junctions of the bipolar transistor are located mainly in the region 14.
  • Figures 22 and 23 are respectively a section and a top view of an embodiment of an optoelectronic device 173 son.
  • the optoelectronic device 173 comprises at its periphery two trenches 174 filled with an insulating material which extend over a portion of the thickness of the substrate 10 from the face 12.
  • each trench has a width greater than 1 um, for example about 2 ⁇ m.
  • the distance between the two trenches 174 is greater than 5 ⁇ m, for example about 6 ⁇ m.
  • the trenches 174 make it possible to obtain lateral electrical insulation of the optoelectronic device 173.
  • additional trenches 178 project from the outer peripheral trench 174 to the lateral edges of the optoelectronic device 173. After cutting, a portion 180 of substrate 10 remains at the periphery of each optoelectronic device 170, 172.
  • the trenches 178 make it possible to divide this peripheral portion 180 into several isolated segments 182. This makes it possible to reduce the risks of a short circuit in the case where conductive elements come into contact with these segments.
  • each wire 20 comprises a passivated portion 22, at the base of the wire in contact with one of the seed pads 16, this passivated portion 22 may not be present.

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Abstract

L'invention concerne un dispositif optoélectronique (5) comprenant un substrat (10) semiconducteur non dopé ou dopé d'un premier type de conductivité, une première région semiconductrice (14) reliée électriquement au substrat, dopée du premier type de conductivité ou d'un deuxième type de conductivité opposé au premier type, et plus fortement dopée que le substrat, un premier ensemble (A) de premières diodes électroluminescentes (DEL) reposant sur la première région semiconductrice, les premières diodes électroluminescentes comprenant des éléments semiconducteurs filaires, coniques ou tronconiques et une portion conductrice (36) au contact de la première région semiconductrice.

Description

DISPOSITIF OPTOELECTRONIQUE A DIODES ELECTROLUMINESCENTES
La présente demande de brevet revendique la priorité de la demande de brevet français FR13/59411 qui sera considérée comme faisant partie intégrante de la présente description.
Domaine
La présente invention concerne de façon générale les dispositifs optoélectroniques à base de matériaux semiconducteurs et leurs procédés de fabrication. La présente invention concerne plus particulièrement les dispositifs optoélectroniques comprenant des diodes électroluminescentes formées par des éléments tridimensionnels, notamment des microfils ou nanofils semiconducteurs .
Exposé de l'art antérieur
Par dispositifs optoélectroniques à diodes électro¬ luminescentes, on entend des dispositifs adaptés à effectuer la conversion d'un signal électrique en un rayonnement électromagnétique, et notamment des dispositifs dédiés à l'émission d'un rayonnement électromagnétique, notamment de la lumière. Des exemples d'éléments tridimensionnels adaptés à la réalisation de diodes électroluminescents sont des microfils ou nanofils comprenant un matériau semiconducteur à base d'un composé comportant ma oritairement au moins un élément du groupe III et un élément du groupe V (par exemple du nitrure de gallium GaN) , appelé par la suite composé III-V, ou comportant ma oritairement au moins un élément du groupe II et un élément du groupe VI (par exemple de l'oxyde de zinc ZnO) , appelé par la suite composé II- VI.
Les éléments tridimensionnels, notamment des microfils ou nanofils semiconducteurs, de plusieurs dispositifs optoélectroniques peuvent être formés sur un substrat qui est ensuite découpé pour délimiter des dispositifs optoélectroniques individuels. Chaque dispositif optoélectronique est alors disposé dans un boîtier, notamment pour protéger les éléments tridimensionnels, et le boîtier est fixé à un support, par exemple un circuit imprimé.
Il peut être souhaitable d'associer un circuit électronique au dispositif optoélectronique. Il s'agit, par exemple, d'un circuit de commande de l'alimentation des diodes électroluminescentes, d'un circuit de protection des diodes électroluminescentes contre les décharges électrostatiques ou d'un circuit de détection de la température des diodes électroluminescentes. Ces circuits électroniques sont réalisés séparément du dispositif optoélectronique, puis fixés au support et connectés au boîtier. L'encombrement dû aux circuits électroniques associés au dispositif optoélectronique peut être important. Le procédé de fabrication d'un système électronique comprenant le dispositif optoélectronique comprend donc, en plus des étapes de fabrication du dispositif optoélectronique, des étapes distinctes de fabrication des circuits électroniques et des étapes de connexion des circuits électroniques aux dispositifs optoélectroniques . Ces étapes augmentent le coût de fabrication du système optoélectronique.
Résumé
Ainsi, un objet d'un mode de réalisation est de pallier au moins en partie les inconvénients des dispositifs optoélectroniques à diodes électroluminescentes, notamment à microfils ou nanofils, décrits précédemment et de leurs procédés de fabrication. Un autre objet d'un mode de réalisation est de réduire l'encombrement d'un système électronique comprenant un dispositif optoélectronique .
Un autre objet d'un mode de réalisation est de réduire le nombre d'étapes du procédé de fabrication d'un système électronique comprenant un dispositif optoélectronique.
Un autre objet d'un mode de réalisation est que les dispositifs optoélectroniques à diodes électroluminescentes puissent être fabriqués à une échelle industrielle et à bas coût.
Ainsi, un mode de réalisation prévoit un dispositif optoélectronique comprenant :
un substrat semiconducteur non dopé ou dopé d'un premier type de conductivité ;
une première région semiconductrice reliée électri- quement au substrat, dopée du premier type de conductivité ou d'un deuxième type de conductivité opposé au premier type, et plus fortement dopée que le substrat ;
un premier ensemble de premières diodes électro¬ luminescentes reposant sur la première région semiconductrice, les premières diodes électroluminescentes comprenant des éléments semiconducteurs filaires, coniques ou tronconiques ; et
une portion conductrice au contact de la première région semiconductrice .
Selon un mode de réalisation, la première région semiconductrice est obtenue par une ou plusieurs étapes d' implantations ioniques .
Selon un mode de réalisation, la première région semiconductrice est obtenue par une étape d'homo-épitaxie .
Selon un mode de réalisation, le dispositif comprend, en outre, une première couche d'électrode, au moins partiellement transparente, recouvrant chaque première diode électroluminescente et une première couche conductrice recouvrant la première couche d'électrode autour des premières diodes électroluminescentes . Selon un mode de réalisation, le dispositif comprend, en outre, au moins une portion isolante s 'étendant le long d'au moins un bord latéral de la première région semiconductrice.
Selon un mode de réalisation, le dispositif comprend, en outre, au moins une deuxième région semiconductrice dopée d'un type de conductivité opposé à la première région semiconductrice et s 'étendant le long d'au moins un bord latéral de la première région semiconductrice.
Selon un mode de réalisation, le substrat est monolithique.
Selon un mode de réalisation, le substrat est divisé en une couche semiconductrice, contenant la première région semiconductrice, et séparée du reste du substrat par une couche isolante .
Selon un mode de réalisation, la couche semiconductrice est choisie parmi le groupe comprenant le silicium, le germanium, le carbure de silicium et les composés III-V.
Selon un mode de réalisation, le substrat est choisi parmi de groupe comprenant le silicium, le germanium, le carbure de silicium et les composés III-V.
Selon un mode de réalisation, le substrat est un matériau isolant, par exemple de l'oxyde de silicium ou de l'oxyde 1' aluminium.
Selon un mode de réalisation, la concentration de dopants du substrat est inférieure ou égale à ΙΟ^ atomes/cm3 et la concentration de dopants de la première région semiconductrice est comprise entre 5*10^^ et 2*10^0 atomes/cm3.
Selon un mode de réalisation, le dispositif comprend, en outre, au moins un composant électronique formé au moins en partie dans le substrat.
Selon un mode de réalisation, le composant électronique est compris dans le groupe comprenant une diode, une diode Zener, une diode à avalanche, un transistor bipolaire, un transistor à effet de champ à grille métal-oxyde-semiconducteur, une résistance, une capacité métal-oxyde-semiconducteur, une capacité métal-isolant-métal, un thyristor, un varacteur, une mémoire volatile et une mémoire non volatile.
Selon un mode de réalisation, le dispositif comprend : une troisième région semiconductrice reliée électri- quement au substrat, dopée du premier type de conductivité ou d'un deuxième type de conductivité opposé au premier type, et plus fortement dopée que le substrat ;
un deuxième ensemble de diodes électroluminescentes reposant sur la troisième région semiconductrice, les diodes électroluminescentes du deuxième ensemble comprenant des éléments semiconducteurs filaires, coniques ou tronconiques ; et
une deuxième couche d'électrode recouvrant chaque deuxième diode électroluminescente et une deuxième couche conductrice recouvrant la deuxième couche d'électrode autour des premières diodes électroluminescentes, la deuxième couche d'électrode ou la deuxième couche conductrice étant au contact de la première région semiconductrice.
Selon un mode de réalisation, le dispositif comprend une quatrième région semiconductrice reliée électriquement au substrat et distante de la première région semiconductrice, du même type de conductivité que la première région semiconductrice, plus fortement dopée que le substrat, et reliée à une électrode des premières diodes électroluminescentes.
Selon un mode de réalisation, le dispositif comprend une cinquième région semiconductrice englobant la quatrième région semiconductrice .
Selon un mode de réalisation, la cinquième région semiconductrice englobe, en outre, la première région semiconductrice .
Selon un mode de réalisation, le dispositif comprend :
- une sixième région semiconductrice reliée électri¬ quement au substrat, du même type de conductivité que la première région semiconductrice ; une septième région semiconductrice reliée électriquement au substrat, du type de conductivité opposé à la première région semiconductrice ;
- une huitième région semiconductrice au contact du substrat et du même type de conductivité que la sixième région semiconductrice, reliée à la première région semiconductrice ou reliée à la sixième région semiconductrice ; et
- une neuvième région semiconductrice du même type de conductivité que la septième région semiconductrice,
et la neuvième région semiconductrice s'étend entre les sixième et huitième régions semiconductrices et est reliée à la septième région semiconductrice ou dans lequel la neuvième région semiconductrice s'étend entre les première et huitième régions semiconductrices, la neuvième région semiconductrice étant reliée à la septième région semiconductrice.
Selon un mode de réalisation, le dispositif comprend une dizième et une onzième régions semiconductrices, reliées l'une à l'autre, de types de conductivité opposés et toutes deux séparées de la première région semiconductrice par au moins une portion isolante ou semiconductrice s 'étendant le long d'au moins un bord latéral de la première région semiconductrice.
Brève description des dessins
Ces caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres, seront exposés en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite à titre non limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles :
les figures 1 à 4 sont des vues en coupe, partielles et schématiques, de modes de réalisation d'un dispositif optoélectronique à microfils ou nanofils fabriqués sur un substrat semiconducteur ;
les figures 5 à 9 sont des vues en coupe, partielles et schématiques, de modes de réalisation d'un dispositif optoélectronique comprenant deux ensembles de diodes électro¬ luminescentes connectés en série ; les figures 10 et 11 représentent des exemples de circuits de protection d'une diode électroluminescente contre les décharges électrostatiques ;
les figures 12, 13 et 14 sont des vues en coupe, partielles et schématiques, de modes de réalisation d'un dispositif optoélectronique comprenant un circuit de protection à base d'une ou de deux diodes Zener ;
la figure 15 représente un exemple de circuit de mesure de la température ;
la figure 16 est une vue en coupe, partielle et schématique, d'un mode de réalisation d'un dispositif optoélectronique à microfils ou nanofils comprenant, en outre, une diode de détection de la température ;
les figures 17, 18 et 19 sont des vues de dessus, partielles et schématiques, de dispositifs optoélectroniques représentant des agencements des diodes électroluminescentes et d'une diode de détection de température ;
les figures 20 et 21 sont des vues en coupe, partielles et schématiques, de modes de réalisation d'un dispositif optoélectronique à microfils ou nanofils comprenant, en outre, un transistor bipolaire ;
la figure 22 est une vue en coupe, partielle et schématique, d'un mode de réalisation d'un dispositif optoélectronique à microfils ou nanofils formé sur une plaque d'un substrat avant la découpe du substrat ; et
la figure 23 est une vue de dessus, partielle et schématique, du dispositif optoélectronique de la figure 22. Description détaillée
Par souci de clarté, de mêmes éléments ont été désignés par de mêmes références aux différentes figures et, de plus, comme cela est habituel dans la représentation des circuits électroniques, les diverses figures ne sont pas tracées à l'échelle. En outre, seuls les éléments utiles à la compréhension de la présente description ont été représentés et sont décrits. Dans la suite de la description, sauf indication contraire, les termes "sensiblement", "environ" et "de l'ordre de" signifient "à 10 % près". En outre, on entend par "composé principalement constitué d'un matériau" ou "composé à base d'un matériau" qu'un composé comporte une proportion supérieure ou égale à 95 % dudit matériau, cette proportion étant préférentiellement supérieure à 99 %.
La présente description concerne des dispositifs optoélectroniques à éléments tridimensionnels, par exemple des microfils, des nanofils, des éléments coniques ou des éléments tronconiques . Dans la suite de la description, des modes de réalisation sont décrits pour des dispositifs optoélectroniques à microfils ou à nanofils. Toutefois, ces modes de réalisation peuvent être mis en oeuvre pour des éléments tridimensionnels autres que des microfils ou des nanofils, par exemple des éléments tridimensionnels en forme de pyramide.
Le terme "microfil" ou "nanofil" désigne une structure tridimensionnelle de forme allongée selon une direction privilégiée dont au moins deux dimensions, appelées dimensions mineures, sont comprises entre 5 nm et 2,5 um, de préférence entre 50 nm et 2,5 um, la troisième dimension, appelée dimension majeure, étant au moins égale à 1 fois, de préférence au moins 5 fois et encore plus préférentiellement au moins 10 fois, la plus grande des dimensions mineures. Dans certains modes de réalisation, les dimensions mineures peuvent être inférieures ou égales à environ 1 um, de préférence comprises entre 100 nm et 1 um, plus préférentiellement entre 100 nm et 300 nm. Dans certains modes de réalisation, la hauteur de chaque microfil ou nanofil peut être supérieure ou égale à 500 nm, de préférence comprise entre 1 um et 50 um.
Dans la suite de la description, on utilise le terme "fil" pour signifier "microfil ou nanofil". De préférence, la ligne moyenne du fil qui passe par les barycentres des sections droites, dans des plans perpendiculaires à la direction privilégiée du fil, est sensiblement rectiligne et est appelée par la suite "axe" du fil.
Selon un mode de réalisation, pour la fabrication d'un dispositif optoélectronique, il est utilisé un substrat semiconducteur non dopé ou faiblement dopé d'un premier type de conductivité et les diodes électroluminescentes sont réalisées sur une région fortement dopée d'un deuxième type de conductivité opposé au premier type et s 'étendant dans le substrat depuis la face supérieure du substrat. Le substrat correspond, par exemple, à un substrat de silicium monocristallin non dopé ou faiblement dopé utilisé de façon classique dans les procédés de fabrication de circuits intégrés.
La polarisation de la base des diodes électro¬ luminescentes est réalisée par la région fortement dopée qui est en contact avec toutes les diodes électroluminescentes. La région fortement dopée est relativement isolée électriquement du reste du substrat. D'autres composants électroniques peuvent alors être réalisés dans ou sur ce substrat de façon intégrée avec les diodes électroluminescentes. Les composants électroniques supplémentaires peuvent correspondre à des diodes pn, des diodes Zener, des diodes à avalanche, des transistors à effet de champ à métal-oxyde-semiconducteur, également appelés transistors MOS, des transistors bipolaires, des résistances, des capacités métal- oxyde-semiconducteur, également appelées capacités MOS, des capacités métal-isolant-métal, également appelées capacités MIM, des thyristors, des varacteurs, des mémoires volatiles, par exemple des mémoires dynamiques à accès aléatoire appelées DRAM, des mémoires non-volatiles, par exemple des mémoires flash.
La figure 1 est une vue en coupe, partielle et schématique, d'un mode de réalisation d'un dispositif optoélectronique 5 réalisé à partir de fils tels que décrits précédemment et adaptés à l'émission d'un rayonnement électromagnétique .
En figure 1, on a représenté une structure comprenant, du bas vers le haut : un substrat semiconducteur 10 non dopé ou faiblement dopé d'un premier type de conductivité, comprenant une face supérieure 12, de préférence plane au moins au niveau des diodes électroluminescentes ;
une région 14 dopée du premier type de conductivité ou d'un deuxième type de conductivité, opposé au premier type, plus fortement dopée que le substrat 10, s 'étendant dans le substrat 10 depuis la face 12 et jouant le rôle d'une première électrode ;
des plots de germination 16 favorisant la croissance de fils et disposés sur la face 12 au contact de la région 14 ;
des fils 20 (cinq fils étant représentés) de hauteur H]_, chaque fil 20 étant en contact avec l'un des plots de germination 16, chaque fil 20 comprenant une portion inférieure 22, de hauteur ¾, en contact avec le plot de germination 16 et une portion supérieure 24, de hauteur H3, prolongeant la portion inférieure 22 ;
une couche isolante 26 s 'étendant sur la face 12 du substrat 10 et sur les flancs latéraux de la portion inférieure 22 de chaque fil 20 ;
une coque 28 comprenant un empilement de couches semiconductrices recouvrant chaque portion supérieure 24 ;
une couche 30 formant une deuxième électrode recouvrant chaque coque 28 et s 'étendant, en outre, sur la couche isolante 26 ;
une couche conductrice 32 recouvrant la couche d'électrode 30 entre les fils 20 mais ne s 'étendant pas sur les fils 20 ;
une ouverture 34 dans la couche isolante 26 exposant la région 14 ;
un plot 36 d'un matériau conducteur s 'étendant dans l'ouverture 34 et sur la couche isolante 26 autour de l'ouverture 34, le plot 36 étant en contact avec la région 14 dans l'ouverture 34 ; et
une couche d' encapsulâtion 38 recouvrant l'ensemble de la structure et notamment l'électrode 30. Le dispositif optoélectronique 5 peut, en outre, comprendre une couche de luminophores, non représentée, prévue sur la couche d' encapsulation 38 ou confondue avec celle-ci.
L'ensemble formé par chaque fil 20, le plot de germination 16 et la coque 28 associés constitue une diode électroluminescente DEL. La base de la diode DEL correspond au plot de germination 16. La coque 28 comprend notamment une couche active qui est la couche depuis laquelle est émise la majorité du rayonnement électromagnétique fourni par la diode électroluminescente DEL. Les diodes électroluminescentes DEL sont connectées en parallèle et forment un ensemble A de diodes électroluminescentes. L'ensemble A peut comprendre de quelques diodes électroluminescentes DEL à un millier de diodes électroluminescentes .
Dans le présent mode de réalisation, le substrat semiconducteur 10 correspond à une structure monolithique. Le substrat 10 semiconducteur est, par exemple, un substrat en silicium, en germanium, en carbure de silicium, en un composé III- V, tel que du GaN ou du GaAs, ou un substrat en ZnO. De préférence, le substrat 10 est un substrat de silicium monocristallin.
Le substrat 10 est un substrat non dopé ou faiblement dopé avec une concentration de dopants inférieure ou égale à 5*]_gl6 atomes/cm3, de préférence sensiblement égale à ΙΟ^ atomes/cm3. Le substrat 10 a une épaisseur comprise entre 275 um et 1,5 mm, de préférence 725 um.
Dans le cas d'un substrat 10 de silicium, des exemples de dopants de type P sont le bore (B) ou l'indium (In) et des exemples de dopants de type N sont le phosphore (P) , l'arsenic (As), ou l'antimoine (Sb) . De préférence, le substrat 10 est dopé de type P au Bore.
La face 12 du substrat 10 de silicium peut être une face
(100) .
La région 14 est une région fortement dopée. De préférence, le type de conductivité de la région 14 est opposé au type de conductivité du substrat 10. A titre d'exemple, en figure 1, on a représenté un substrat 10 faiblement dopé de type P et une région 14 fortement dopée de type N. La concentration de dopants de la région 14 est comprise entre 5*10^^ atomes/cm-^ et 2*10^0 atomes/cm-^, de préférence entre 3*10^^ atomes/cm-^ et 5*10^^ atomes/cm-^. L'épaisseur de la région 14 est comprise entre 150 nm et plusieurs micromètres, de préférence entre 150 nm et 1 um, plus préférentiellement entre 150 nm et 400 nm.
Les plots de germination 16, appelés également îlots de germination, sont en un matériau favorisant la croissance des fils 20. Un traitement peut être prévu pour protéger les flancs latéraux des plots de germination et la surface des parties du substrat non recouvertes par les plots de germination pour empêcher la croissance des fils sur les flancs latéraux des plots de germination et sur la surface des parties du substrat non recouvertes par les plots de germination. Le traitement peut comprendre la formation d'une région diélectrique sur les flancs latéraux des plots de germination et s 'étendant sur et/ou dans le substrat et reliant, pour chaque paire de plots, l'un des plots de la paire à l'autre plot de la paire, les fils ne croissant pas sur la région diélectrique. A titre de variante, les plots de germination 16 peuvent être remplacés par une couche de germination recouvrant la face 12 du substrat 10 et s 'étendant sur la région 14. Une région diélectrique peut alors être formée au-dessus de la couche de germination pour empêcher la croissance de fils dans les zones non voulues.
A titre d'exemple, le matériau composant les plots de germination 16 peut être un nitrure, un carbure ou un borure d'un métal de transition de la colonne IV, V ou VI du tableau périodique des éléments ou une combinaison de ces composés. A titre d'exemple, les plots de germination 16 peuvent être en nitrure d'aluminium (AIN), en bore (B) , en nitrure de bore (BN) , en titane (Ti) , en nitrure de titane (TiN) , en tantale (Ta) , en nitrure de tantale (TaN) , en hafnium (Hf) , en nitrure d'hafnium (HfN) , en niobium (Nb) , en nitrure de niobium (NbN) , en zirconium (Zr) , en borate de zirconium (ZrB2) , en nitrure de zirconium (ZrN) , en carbure de silicium (SiC) , en nitrure et carbure de tantale (TaCN) , en nitrure de magnésium sous la forme MgxNy, où x est environ égal à 3 et y est environ égal à 2, par exemple du nitrure de magnésium selon la forme Mg3 2 ou du nitrure de gallium et de magnésium (MgGaN) , en tungstène (W) , en nitrure de tungstène (WN) ou en une combinaison de ceux-ci.
Les plots de germination 16 peuvent être dopés du même type de conductivité que la région 14.
La couche isolante 26 peut être en un matériau diélectrique, par exemple en oxyde de silicium (S1O2) f en nitrure de silicium (SixNy, où x est environ égal à 3 et y est environ égal à 4, par exemple du S13N4), en oxynitrure de silicium (SiOxNy où x peut être environ égal à 1/2 et y peut être environ égal à 1, par exemple du S12ON2) , en oxyde d'aluminium (AI2O3) , en oxyde d'hafnium (HfC^) ou en diamant. A titre d'exemple, l'épaisseur de la couche isolante 26 est comprise entre 5 nm et 800 nm, par exemple égale à environ 30 nm.
Les fils 20 sont, au moins en partie, formés à partir d'au moins un matériau semiconducteur. Le matériau semiconducteur peut être du silicium, du germanium, du carbure de silicium, un composé III-V, un composé II-VI ou une combinaison de ces composés .
Les fils 20 peuvent être, au moins en partie, formés à partir de matériaux semiconducteurs comportant ma oritairement un composé III-V, par exemple des composés III-N. Des exemples d'éléments du groupe III comprennent le gallium (Ga) , l'indium (In) ou l'aluminium (Al) . Des exemples de composés III-N sont GaN, AIN, InN, InGaN, AlGaN ou AlInGaN. D'autres éléments du groupe V peuvent également être utilisés, par exemple, le phosphore ou l'arsenic. De façon générale, les éléments dans le composé III-V peuvent être combinés avec différentes fractions molaires.
Les fils 20 peuvent être, au moins en partie, formés à partir de matériaux semiconducteurs comportant ma oritairement un composé II-VI. Des exemples d'éléments du groupe II comprennent des éléments du groupe IIA, notamment le béryllium (Be) et le magnésium (Mg) et des éléments du groupe IIB, notamment le zinc (Zn) et le cadmium (Cd) . Des exemples d'éléments du groupe VI comprennent des éléments du groupe VIA, notamment l'oxygène (0) et le tellure (Te) . Des exemples de composés II-VI sont ZnO, ZnMgO, CdZnO ou CdZnMgO. De façon générale, les éléments dans le composé II-VI peuvent être combinés avec différentes fractions molaires .
Les fils 20 peuvent comprendre un dopant. A titre d'exemple, pour des composés III-V, le dopant peut être choisi parmi le groupe comprenant un dopant de type P du groupe II, par exemple, du magnésium (Mg) , du zinc (Zn) , du cadmium (Cd) ou du mercure (Hg) , un dopant du type P du groupe IV, par exemple du carbone (C) ou un dopant de type N du groupe IV, par exemple du silicium (Si) , du germanium (Ge) , du sélénium (Se) , du souffre (S), du terbium (Tb) ou de l'étain (Sn) .
La section droite des fils 20 peut avoir différentes formes, telles que, par exemple, une forme ovale, circulaire ou polygonale, notamment triangulaire, rectangulaire, carrée ou hexagonale. Ainsi, on comprend que, quand on mentionne ici le "diamètre" dans une section droite d'un fil ou d'une couche déposée sur ce fil, il s'agit d'une grandeur associée à la surface de la structure visée dans cette section droite, correspondant, par exemple, au diamètre du disque ayant la même surface que la section droite du fil. Le diamètre moyen de chaque fil 20 peut être compris entre 50 nm et 2,5 um. La hauteur H]_ de chaque fil 20 peut être comprise entre 250 nm et 50 um. Chaque fil 20 peut avoir une structure semiconductrice allongée selon un axe sensiblement perpendiculaire à la face 12. Chaque fil 20 peut avoir une forme générale cylindrique. Les axes de deux fils 20 adjacents peuvent être distants de 0,5 um à 10 um et de préférence de 1,5 um à 4 um. A titre d'exemple, les fils 20 peuvent être régulièrement répartis, notamment selon un réseau hexagonal.
A titre d'exemple, la portion inférieure 22 de chaque fil 20 est principalement constituée du composé III-N, par exemple du nitrure de gallium, dopé du même type que la région 14, par exemple de type N, par exemple au silicium. La portion inférieure 22 s'étend sur une hauteur ¾ qui peut être comprise entre 100 nm et 25 um.
A titre d'exemple, la portion supérieure 24 de chaque fil 20 est au moins partiellement réalisée dans un composé III-N, par exemple du GaN. La portion supérieure 24 peut être dopée de type N, éventuellement moins fortement dopée que la portion inférieure 22, ou ne pas être intentionnellement dopée. La portion supérieure 24 s'étend sur une hauteur H3 qui peut être comprise entre 100 nm et 25 um.
La coque 28 peut comprendre un empilement de plusieurs couches comprenant notamment :
- une couche active recouvrant la portion supérieure 24 du fil 20 associé ;
- une couche intermédiaire de type de conductivité opposé à la portion inférieure 22 recouvrant la couche active ; et
une couche de liaison recouvrant la couche intermédiaire et recouverte par l'électrode 30.
La couche active est la couche depuis laquelle est émise la majorité du rayonnement fourni par la diode électroluminescente DEL. Selon un exemple, la couche active peut comporter des moyens de confinement, tels que des puits quantiques multiples. Elle est, par exemple, constituée d'une alternance de couches de GaN et de InGaN ayant des épaisseurs respectives de 5 à 20 nm (par exemple
8 nm) et de 1 à 10 nm (par exemple 2,5 nm) . Les couches de GaN peuvent être dopées, par exemple de type N ou P. Selon un autre exemple, la couche active peut comprendre une seule couche d' InGaN, par exemple d'épaisseur supérieure à 10 nm.
La couche intermédiaire, par exemple dopée de type P, peut correspondre à une couche semiconductrice ou à un empilement de couches semiconductrices et permet la formation d'une jonction P-N ou P-I-N, la couche active étant comprise entre la couche intermédiaire de type P et la portion supérieure 24 de type N de la jonction P-N ou P-I-N. La couche de liaison peut correspondre à une couche semiconductrice ou à un empilement de couches semiconductrices et permet la formation d' un contact ohmique entre la couche intermédiaire et l'électrode 30. A titre d'exemple, la couche de liaison peut être dopée très fortement du type opposé à la portion inférieure 22 de chaque fil 20, jusqu'à dégénérer la ou les couches semiconductrices, par exemple dopée de type P à une concentration supérieure ou égale à 10^0 atomes/cm-^.
L'empilement de couches semiconductrices peut comprendre une couche de blocage d'électrons formée d'un alliage ternaire, par exemple en nitrure de gallium et d'aluminium (AlGaN) ou en nitrure d' indium et d'aluminium (AlInN) en contact avec la couche active et la couche intermédiaire, pour assurer une bonne répartition des porteurs électriques dans la couche active.
L'électrode 30 est adaptée à polariser la couche active de chaque fil 20 et à laisser passer le rayonnement électromagnétique émis par les diodes électroluminescentes DEL. Le matériau formant l'électrode 30 peut être un matériau transparent et conducteur tel que de l'oxyde d' indium-étain (ou ITO, acronyme anglais pour Indium Tin Oxide) , de l'oxyde de zinc dopé à l'aluminium ou du graphène. A titre d'exemple, la couche d'électrode 30 a une épaisseur comprise entre 5 nm et 200 nm, de préférence entre 20 nm et 50 nm.
La couche conductrice 32 correspond, de préférence à une couche métallique, par exemple en aluminium, en argent, en cuivre ou en zinc. A titre d'exemple, la couche conductrice 32 a une épaisseur comprise entre 20 nm et 1000 nm, de préférence entre 100 nm et 200 nm.
La couche d' encapsulation 38 est réalisée en un matériau isolant au moins partiellement transparent. L'épaisseur maximale de la couche d' encapsulation 38 est comprise entre 250 nm et 50 um de sorte que la couche d' encapsulation 38 recouvre complètement l'électrode 30 au sommet des diodes électroluminescentes DEL. La couche d' encapsulation 38 peut être réalisée en un matériau inorganique au moins partiellement transparent. Selon un exemple, la couche d' encapsulation 38 est en silicone. Selon un autre exemple, le matériau inorganique est choisi parmi le groupe comprenant les oxydes de silicium du type SiOx où x est un nombre réel compris entre 0 et 2, ou SiOyNz où y est un nombre réel compris entre 0 et 2 et z est compris entre 0 et 1 et les oxydes d'aluminium, par exemple AI2O3. La couche d' encapsulation 38 peut être réalisée en un matériau organique au moins partiellement transparent. A titre d'exemple, la couche d' encapsulation 38 est un polymère époxyde.
La polarisation de chaque diode électroluminescente DEL de l'ensemble A est obtenue en reliant l'électrode 30 à une source VI d'un premier potentiel de référence et en reliant le plot 36 à une source V2 d'un deuxième potentiel de référence. A titre d'exemple, dans le cas de fil dopé de type N, le premier potentiel peut être supérieur au deuxième potentiel et la source V2 peut correspondre à la masse.
De préférence, plusieurs dispositifs optoélectroniques à diodes électroluminescentes sont formés simultanément sur une plaque d'un substrat semiconducteur. Le nombre de diodes électroluminescentes peut être différent selon les dispositifs optoélectroniques. La séparation des dispositifs optoélec¬ troniques est réalisée par des étapes de découpe de la plaque. De façon avantageuse, il s'agit d'une plaque de silicium habituellement utilisée dans les procédés de fabrication de circuits en microélectronique, notamment à base de transistors à effet de champ à grille métal-oxyde ou transistor MOS .
Un mode de réalisation d'un procédé de fabrication permettant l'obtention du dispositif optoélectronique 5 comprend les étapes suivantes :
(1) Formation de la région 14. La région 14 peut être obtenue par une ou plus d'une implantation de dopants dans le substrat 10 ou par croissance par une épitaxie sélective du matériau fortement dopé sur un support initial .
(2) Formation sur la face 12 du substrat 10 des plots de germination 16. Les plots de germination 16 peuvent être obtenus par le dépôt d'une couche de germination sur la face 12 et par la gravure de portions de la couche de germination jusqu'à la face 12 du substrat 10 pour délimiter les plots de germination. La couche de germination peut être déposée par un procédé du type dépôt chimique en phase vapeur (CVD, sigle anglais pour Chemical Vapor Déposition) ou dépôt chimique en phase vapeur organométallique (MOCVD, acronyme anglais pour Metal-Organic Chemical Vapor Déposition), également connu sous le nom d'épitaxie organométallique en phase vapeur (ou MOVPE, acronyme anglais pour Metal-Organic Vapor Phase Epitaxy) . Toutefois, des procédés tels que l'épitaxie par jets moléculaires (MBE, acronyme anglais pour Molecular-Beam Epitaxy) , la MBE à source de gaz (GSMBE) , la MBE organométallique (MOMBE) , la MBE assistée par plasma (PAMBE) , l'épitaxie par couche atomique (ALE, acronyme anglais pour Atomic Layer Epitaxy), l'épitaxie en phase vapeur aux hydrures (HVPE, acronyme anglais pour Hydride Vapor Phase Epitaxy) peuvent être utilisés ou un procédé de dépôt de couche mince atomique (ALD, acronyme anglais pour Atomic Layer Déposition) . En outre, des procédés tels 1 ' évaporation ou la pulvérisation cathodique réactive peuvent être utilisés.
Lorsque les plots de germination 16 sont en nitrure d'aluminium, ils peuvent être sensiblement texturés et posséder une polarité préférentielle. La texturation des plots 16 peut être obtenue par un traitement supplémentaire réalisé après le dépôt de la couche de germination. Il s'agit, par exemple, d'un recuit sous flux d'ammoniac (NH3) .
(3) Protection des portions de la face 12 du substrat 10 non recouvertes des plots de germination 16 pour éviter la croissance ultérieur de fils sur ces portions. Ceci peut être obtenu par une étape de nitruration qui entraîne la formation, en surface du substrat 10, entre les plots de germination 16 de régions de nitrure de silicium (par exemple SiN ou S13N4) . Ceci peut également être obtenu par une étape de masquage du substrat 10 entre les plots de germination 16, incluant le dépôt d'une couche par exemple d'un diélectrique S1O2 ou SiN ou S13N4 puis la gravure de cette couche hors des plots de germination 16 après une étape de photolithographie. Dans ce cas, la couche de masquage peut déborder au-dessus des plots de germination 16. Lorsque l'étape de protection (3) est réalisée par une étape de masquage du substrat 10, l'étape de gravure de la couche de germination peut être évitée. Les plots de germination 16 sont alors constitués d'une couche continue uniforme et dont la surface est laissée libre au niveau où les fils croissent.
(4) Croissance de la portion inférieure 22 de chaque fil 26 sur la hauteur ¾ . Chaque fil 26 croît depuis le sommet du plot de germination 16 sous-jacent.
Le procédé de croissance des fils 26 peut être un procédé du type CVD, MOCVD, MBE, GSMBE, PAMBE, ALE, HVPE, ALD. En outre, des procédés électrochimiques peuvent être utilisés, par exemple, le dépôt en bain chimique (CBD, sigle anglais pour Chemical Bath Déposition), les procédés hydrothermiques, la pyrolyse d'aérosol liquide ou l' électrodépôt .
A titre d'exemple, le procédé de croissance des fils peut comprendre l'in ection dans un réacteur d'un précurseur d'un élément du groupe III et d'un précurseur d'un élément du groupe V. Des exemples de précurseurs d'éléments du groupe III sont le triméthylgallium (TMGa) , le triéthylgallium (TEGa) , le triméthylindium (TMIn) ou le triméthylaluminium (TMA1) . Des exemples de précurseurs d'éléments du groupe V sont l'ammoniac (NH3) , le tertiarybutylphosphine (TBP) , l'arsine (ASH3) , ou le diméthylhydrazine asymétrique (UDMH) .
Selon un mode de réalisation de l'invention, dans une première phase de croissance des fils du composé III-V, un précurseur d'un élément supplémentaire est ajouté en excès en plus des précurseurs du composé III-V. L'élément supplémentaire peut être le silicium (Si) . Un exemple de précurseur du silicium est le silane (S1H4) .
La présence de silane parmi les gaz précurseurs entraîne l'incorporation de silicium au sein du composé GaN. On obtient ainsi une portion inférieure 22 dopée de type N. En outre, ceci se traduit par la formation d'une couche de nitrure de silicium, non représentée, qui recouvre le pourtour de la portion 22 de hauteur ¾, à l'exception du sommet au fur et à mesure de la croissance de la portion 22.
(5) Croissance de la portion supérieure 24 de hauteur H3 de chaque fil 20 sur le sommet de la portion inférieure 22. Pour la croissance de la portion supérieure 24, les conditions de fonctionnement du réacteur MOCVD décrites précédemment sont, à titre d'exemple, maintenues à l'exception du fait que le flux de silane dans le réacteur est réduit, par exemple d'un facteur supérieur ou égal à 10, ou arrêté. Même lorsque le flux de silane est arrêté, la portion supérieure 24 peut être dopée de type N en raison de la diffusion dans cette portion active de dopants provenant des portions passivées adjacentes ou en raison du dopage résiduel du GaN.
(6) Formation par épitaxie, pour chaque fil 20, des couches composant la coque 28. Compte tenu de la présence de la couche de nitrure de silicium recouvrant le pourtour de la portion inférieure 22, le dépôt des couches composant la coque 28 ne se produit que sur la portion supérieure 24 du fil 20 non recouverte par la couche de nitrure de silicium.
(7) Formation de la couche isolante 26, par exemple par dépôt conforme d'une couche isolante sur la totalité de la structure obtenue à l'étape (6) et gravure de cette couche pour exposer la coque 28 de chaque fil 20. Dans le mode de réalisation décrit précédemment, la couche isolante 26 ne recouvre pas la coque 28. A titre de variante, la couche isolante 26 peut recouvrir uPne partie de coque 28. En outre, la couche isolante 26 peut être réalisée avant la formation de la coque 28.
(8) Formation de l'électrode 30, par exemple par dépôt conforme .
(9) Formation de la couche conductrice 32 par exemple par dépôt physique en phase vapeur (PVD, acronyme anglais pour Physical Vapor Déposition) sur l'ensemble de la structure obtenue à l'étape (8) ou par exemple par évaporation ou par pulvérisation cathodique et gravure de cette couche pour exposer chaque fil 20 ;
(10) Formation de la couche d' encapsulation 38. Lorsque la couche d' encapsulation 38 est en silicone, la couche d' encapsulation 38 peut être déposée par un procédé de dépôt à la tournette, par un procédé d'impression par jet ou par un procédé de sérigraphie. Lorsque la couche d' encapsulation 38 est un oxyde, elle peut être déposée par CVD ; et
(11) Découpe du substrat 10 pour séparer les dispositifs optoélectronique.
Dans le mode de réalisation décrit précédemment, la région 14 est formée avant les fils 20. A titre de variante, la région 14 peut être formée, notamment par implantation, après les fils 20.
La figure 2 est une coupe, partielle et schématique, d'un dispositif optoélectronique 40 selon un autre mode de réalisation. Le dispositif optoélectronique 40 comprend l'ensemble des éléments du dispositif optoélectronique 5 représenté en figure 1 à la différence que le substrat monolithique 10 correspond à une structure multicouche du type silicium sur isolant ou SOI (acronyme anglais pour Silicon On Insulator) . Le substrat 10 comprend une couche 44 d'un matériau semiconducteur séparée d'un support 46 par une couche isolante 48. La face 12 correspond à la face supérieure de la couche semiconductrice 44.
La couche semiconductrice 44 peut être réalisée avec le même matériau que le substrat 10. En particulier, la couche semiconductrice 44 est faiblement dopée. A titre d'exemple, l'épaisseur de la couche semiconductrice 44 est comprise entre 10 nm et 1 um. La couche isolante 48 correspond, par exemple, à un oxyde ou à un nitrure. A titre d'exemple, l'épaisseur de la couche isolante 48 est comprise entre 10 nm et 300 nm. Le support 46 peut être un matériau semiconducteur ou isolant. Lorsque le support 46 correspond à un matériau isolant, la couche isolante 48 et le support 46 peuvent être confondus. La région 14 s'étend dans la couche semiconductrice 44 depuis la face 12, par exemple sur la totalité de l'épaisseur de la couche semiconductrice 44. Le dispositif optoélectronique 40 présente l'avantage, par rapport au dispositif optoélectronique 5, de supprimer les courants de fuites de la région 14 vers le support 46.
La figure 3 est une coupe, partielle et schématique, d'un dispositif optoélectronique 50 selon un autre mode de réalisation. Le dispositif optoélectronique 50 comprend l'ensemble des éléments du dispositif optoélectronique 5 représenté en figure 1 et comprend, en outre, des régions isolantes 52, s 'étendant au moins en partie dans le substrat 10 au moins en partie autour de la région fortement dopée 14. Bien que cela ne soit pas représenté en figure 3, les régions isolantes 52 peuvent, en outre, se projeter en saillie par rapport à la face 12.
Chaque région isolante 52 peut s'étendre dans le substrat 10 depuis la face 12 sur une profondeur comprise entre 60 nm et 800 nm, de préférence 150 nm. A titre d'exemple, les régions isolantes 52 sont réalisées en oxyde de silicium ou en nitrure de silicium. Les régions isolantes 52 peuvent être réalisées par un procédé de formation de tranchées d'isolation du type STI (acronyme anglais pour "Shallow Trench Isolation") . Le dispositif optoélectronique 50 présente l'avantage, par rapport au dispositif optoélectronique 5, de supprimer les courants de fuites latéraux depuis la région 14.
La figure 4 est une coupe, partielle et schématique, d'un dispositif optoélectronique 54 comprenant à la fois la couche isolante 48 du dispositif optoélectronique 40 représenté en figure 2 et les régions isolantes 52 du dispositif optoélectronique 50 représenté en figure 3. Le dispositif optoélectronique 54 présente l'avantage, par rapport au dispositif optoélectronique 5, de supprimer les courants de fuites latéraux depuis la région 14 et les courants de fuites de la région 14 vers le support 46. La polarisation de la base des diodes électro¬ luminescentes DEL est réalisée par la région fortement dopée 14 qui peut être isolée électriquement du reste du substrat 10. Plusieurs régions fortement dopées peuvent donc être réalisées dans le substrat 10, ces régions fortement dopées étant associées à des ensembles distincts de diodes électroluminescentes.
La figure 5 est une vue en coupe d'un dispositif optoélectronique 60 qui comprend deux ensembles Al, A2 de diodes électroluminescentes DEL. Chaque ensemble Al, A2 de diodes électroluminescentes peut avoir la même structure que celle représentée en figure 1. En figure 5, on ajoute l'indice "1" aux références des éléments associés à l'ensemble Al et l'indice "2" aux références des éléments associés à l'ensemble A2. En particulier, les bases des diodes électroluminescentes de chaque ensemble Al, A2 sont au contact d'une région fortement dopée 14. La région fortement dopée 14]_ associée à l'ensemble Al de diodes électroluminescentes est séparée par la région fortement dopée 142 associée à l'ensemble A2 de diodes électroluminescentes par une portion 66 faiblement dopée du substrat 10. De préférence, la distance minimale séparant les deux régions 14]_, 142 fortement dopées adjacentes est supérieure à 2 um, de préférence comprise entre 2 um et 10 um.
Dans le présent mode de réalisation, l'ensemble Al de diodes électroluminescentes est connecté en série avec l'ensemble A2 de diodes électroluminescentes. Dans ce but, l'électrode 3Û2 et la couche conductrice 322 de l'ensemble A2 de diodes électroluminescentes DEL2 s'étendent jusqu'à l'ouverture 34]_ pour former le plot de contact 36]_ de l'ensemble Al et venir au contact de la région fortement dopée 14]_ de l'ensemble Al.
L'électrode 30]_ de l'ensemble Al de diodes électroluminescentes est reliée à la source VI du premier potentiel de référence et le plot de contact 362 de l'ensemble A2 de diodes électroluminescentes est relié à la source V2 du premier potentiel de référence. En figure 5, on a représenté un dispositif optoélectronique 60 comprenant deux ensembles Al, A2 de diodes électroluminescentes disposés en série. Le nombre d'ensembles de diodes électroluminescentes disposés en série peut être plus important. Le dispositif optoélectronique 60 peut comprendre de 2 à plus de 100 ensembles de diodes électroluminescentes disposés en série. L'association d'ensembles de diodes électroluminescentes montés en série permet d'augmenter l'amplitude maximale de la tension d'alimentation appliquée aux ensembles de diodes électroluminescentes qui est égale à la différence entre les premier et deuxième potentiels de référence fournis par les sources VI, V2. A titre d'exemple, la tension d'alimentation peut avoir une amplitude maximale supérieure ou égale à 6V, par exemple d'environ 12 V, 24 V, 48 V, 110 V ou 240 V.
La figure 6 est une vue en coupe d'un dispositif optoélectronique 70 selon un autre mode de réalisation. Le dispositif optoélectronique 70 comprend l'ensemble des éléments du dispositif optoélectronique 60 représenté en figure 5 et comprend, en outre, une région 72 fortement dopée s 'étendant dans le substrat 10 depuis la face 12 et disposée entre la région fortement dopée 14]_ associée à l'ensemble Al et la région fortement dopée 142 associée à l'ensemble A2. La région fortement dopée 72 est de type de conductivité opposé aux régions fortement dopées 14]_, 142- La concentration de dopants de la région 72 est comprise entre 5*10^^ atomes/cm-^ et 2*10^0 atomes/cm-^, de préférence entre 3*10^^ atomes/cm-^ et 5*10^^ atomes/cm-^. La région 72 permet d'améliorer l'isolation électrique entre les régions 14!, 142.
La figure 7 est une vue en coupe d'un dispositif optoélectronique 74 selon un autre mode de réalisation. Le dispositif optoélectronique 74 comprend l'ensemble des éléments du dispositif optoélectronique 72 représenté en figure 6 à la différence que la région fortement dopée 72 est remplacée par une région isolante 76 gui peut être identique à la région isolante 52 décrite précédemment.
La figure 8 est une vue en coupe d'un dispositif optoélectronique 78 selon un autre mode de réalisation. Le dispositif optoélectronique 78 comprend l'ensemble des éléments du dispositif optoélectronique 72 à la différence que le substrat 10 a une structure de type SOI décrite précédemment. A titre de variante, la région fortement dopée 72 de type P peut ne pas être présente, les régions 14 étant séparées par une portion faiblement dopée de la couche semiconductrice 44.
La figure 9 est une vue en coupe d'un dispositif optoélectronique 82 selon un autre mode de réalisation. Le dispositif optoélectronique 82 comprend l'ensemble des éléments du dispositif optoélectronique 78 à la différence que la région fortement dopée 72 est remplacée par la région isolante 76 décrite précédemment .
En plus d'un ou de plusieurs ensembles de diodes électroluminescentes, le dispositif optoélectronique peut comprendre des composants électroniques supplémentaires, notamment des diodes, des diodes Zener, des diodes en avalanche, des transistors MOS et/ou des transistors bipolaires, des résistances, des capacités métal-oxyde-semiconducteur, également appelées capacités MOS, des capacités métal-isolant-métal, également appelées capacités MIM, des thyristors, des varacteurs, des mémoires volatiles, par exemple des mémoires dynamiques à accès aléatoire appelées DRAM, des mémoires non volatiles, par exemple des mémoires flash.
Selon un mode de réalisation, les composants électroniques supplémentaires intégrés au substrat 10 sur lequel sont formées les diodes électroluminescentes sont utilisés pour réaliser un circuit de protection des diodes électroluminescentes contre les décharges électrostatiques, appelées également ESD (acronyme anglais pour Electrostatic Discharge) .
Les figures 10 et 11 représentent des exemples de circuits 90, 91 de protection d'une diode électroluminescente DEL1 contre les décharges électrostatiques. La diode électroluminescente DEL1 peut correspondre à un ensemble de diodes électroluminescentes montées en parallèle tel que représenté en figure 1. La diode électroluminescente DEL1 peut correspondre à un ensemble de diodes électroluminescentes montées en série tel que représenté aux figures 5 à 9. Le circuit de protection 90, 91 est monté en parallèle sur les bornes de la diode électroluminescente DELL Le circuit de protection 90, 91 fournit un passage privilégié pour le courant lorsqu'une surtension est appliquée aux bornes de la diode électroluminescente DEL1. En figure 10, le circuit de protection 90 comprend une diode Zener 92 dont l'anode est reliée à la cathode de la diode électroluminescente DEL1 et dont la cathode est reliée à l'anode de la diode électroluminescente DELL En figure 11, le circuit de protection 91 comprend deux diodes Zener 93, 94 montées tête- bêche, les anodes des diodes Zener 93, 94 étant connectées l'une ou à l'autre comme cela est représenté en figure 11, ou à titre de variante, les cathodes des diodes Zener étant connectées l'une à l'autre. A titre de variante, les circuits de protection 90, 91 peuvent comporter une ou plus d'une diode en avalanche.
La figure 12 représente un dispositif optoélectronique
95 comprenant un ensemble A de diodes électroluminescentes tel que représenté en figure 1 et comprenant, en outre, un circuit de protection 90 tel que représenté en figure 10. Le dispositif optoélectronique 95 comprend une région fortement dopée 96 du type de conductivité opposé à la région 14 et séparée de la région 14 par une portion 97 faiblement dopée du substrat 10. La région 96 s'étend dans le substrat 10 depuis la face 12. Le dispositif optoélectronique 95 comprend une région fortement dopée 98 du même type de conductivité que la région 14 et s 'étendant dans la région
96 depuis la face 12. La région 96 s'étend plus profondément dans le substrat 10 que la région 98.
Une ouverture 99 est prévue dans la couche isolante 26 pour exposer une partie de la région 98. L'électrode 30 et la couche conductrice 32 s'étendent jusqu'à l'ouverture 99 pour venir au contact de la région fortement dopée 98 au travers de l'ouverture 99. Une ouverture 100 est prévue dans la couche isolante 26 pour exposer une partie de la région 96. Un plot conducteur 101 est prévu au contact de la région fortement dopée 96 au travers de l'ouverture 100. Le plot conducteur 101 est relié au plot conducteur 36 par des éléments conducteurs non représentés. La région 98 de type N forme avec la région 96 de type P la diode Zener du circuit de protection 90.
La figure 13 représente un dispositif optoélectronique 102 comprenant l'ensemble A de diodes électroluminescentes tel que représenté en figure 1 et comprenant, en outre, un circuit de protection 91 tel que représenté en figure 11. Le dispositif optoélectronique 102 comprend une région 103 fortement dopée du même type de conductivité que la région 14 et séparée de la région 14 par une portion 104 faiblement dopée du substrat 10. La région 103 s'étend dans le substrat 10 depuis la face 12. Une ouverture
105 est prévue dans la couche isolante 26 pour exposer une partie de la région 103. L'électrode 30 et la couche conductrice 32 s'étendent jusqu'à l'ouverture 105 pour venir au contact de la région fortement dopée 103 au travers de l'ouverture 105. Les régions 14 et 103 sont, par exemple, formées par les mêmes étapes d'implantations ioniques ou les mêmes étapes d'épitaxie. Les régions 14 et 103 de type N forment avec le substrat 10 de type P les diodes Zener du circuit de protection 91.
La figure 14 représente un dispositif optoélectronique
106 comprenant l'ensemble des éléments du dispositif optoélectronique 102 représenté en figure 13 et comprenant, en outre, une région 107 dopée du type de conductivité opposé aux régions 14, s 'étendant depuis la face 12, et plus fortement dopée que le substrat 10. Les régions 103 et 14 s'étendent dans la région 107. La région 107 s'étend plus profondément dans le substrat 10 que les régions 14 et 103. Les régions 14 et 103 de type N forment avec la région de type P les diodes Zener du circuit de protection 91. Dans les modes de réalisation décrits précédemment, l'une ou plus d'une des régions 14, 96, 98, 103, 107 peuvent être obtenue par une étape ou plus d'une étape d'implantation de dopants dans le substrat 10 ou par croissance par une épitaxie sélective du matériau dopé sur un support initial. Dans le cas où ces régions 14, 96, 98, 103, 107 sont obtenues par une ou plusieurs étapes d'implantations de dopants dans le substrat, elles peuvent être réalisées avant ou après la formation des fils 20.
Selon un mode de réalisation, les composants électroniques supplémentaires intégrés au substrat 10 sur lequel sont formées les diodes électroluminescentes sont utilisés pour réaliser, au moins partiellement, un circuit de détection de la température des diodes électroluminescentes .
La figure 15 représente, de façon schématique, le principe de fonctionnement d'un circuit de détection de température. Le circuit 110 comprend un composant électronique 112 de détection et un circuit 114 de mesure de la tension U aux bornes du composant 112 et/ou du courant I traversant le composant 112. Les caractéristiques de fonctionnement du composant de détection 112 varient en fonction de la température de sorte que la tension U à courant I constant ou le courant I à tension U constante varie lorsque la température au voisinage du composant de détection 112 varie. Le composant de détection 112 peut comprendre au moins une diode ou au moins un transistor bipolaire dont la base et l'émetteur (ou le collecteur) sont reliés en commun.
Selon un mode de réalisation, au moins le composant de détection 112 est réalisé de façon intégrée au substrat 10 dans le voisinage de l'ensemble A de diodes électroluminescentes. Le circuit de mesure 114 peut être réalisé par un circuit électronique distinct du dispositif optoélectronique ou être réalisé, en tout ou en partie, de façon intégrée au substrat 10. Le composant de détection 112 étant situé à proximité des diodes électroluminescentes, notamment à moins d'une centaine de micromètres typiquement une dizaine de micromètres, la température mesurée par le circuit de mesure 114 est représentative de la température réelle au niveau de la couche active des diodes électroluminescentes. Ceci n'est pas le cas lorsque le composant de détection 112 fait partie d'un circuit qui est distinct du dispositif optoélectronique. En effet, le composant de détection 112 est alors situé à plusieurs centaines de micromètres des diodes électroluminescentes.
La figure 16 représente un dispositif optoélectronique 116 comprenant un ensemble A de diodes électroluminescentes tel que représenté en figure 1 et comprenant, en outre, un composant de détection de température 112. Le dispositif optoélectronique 116 comprend, en outre, une région fortement dopée 118 de type P, plus fortement dopée que le substrat 10, séparée de la région 14 par une portion 120 faiblement dopée du substrat 10. Le dispositif optoélectronique 116 comprend, en outre, une région 122 dopée de type N, s 'étendant depuis la face 12 dans la région 118 de type P. Les régions 118 et 122 forment une jonction P-N qui constitue la diode de détection de température. Une ouverture 124 est prévue dans la couche isolante 26 pour exposer une partie de la région 118 et une ouverture 126 est prévue dans la couche isolante 26 pour exposer une partie de la région 122. Une piste conductrice 128 vient au contact de la région 118 au travers de l'ouverture 124 et une piste conductrice 130 vient au contact de la région 122 au travers de l'ouverture 126. A titre de variante, la région 118 peut être dopée de type N. Dans ce cas, la région 122 est dopée de type P. Le composant de détection de température 112 peut être isolé de l'ensemble A de diodes électroluminescentes par l'une des structures d'isolation décrites précédemment en relation avec les figures 6 à 9.
Les figures 17 à 19 représentent des vues de dessus schématiques du dispositif optoélectronique 116 dans lesquelles on a représenté le contour de la région 14 sur laquelle est formé l'ensemble A de diodes électroluminescentes par une ligne à tirets courts et dans lesquelles on a représenté le contour de la région 118 dans laquelle est formé le composant de détection 112 par une 1igne continue .
En figure 17, le composant de détection 112 est disposé le long d'un bord de l'ensemble A de diodes électroluminescentes. En figure 18, le composant de détection 112 est disposé tout autour de l'ensemble A de diodes électroluminescentes. Le signal mesuré par le circuit de mesure 114 permet alors avantageusement la détermination de la température moyenne à la périphérie de l'ensemble A de diodes électroluminescentes. En figure 19, l'ensemble A de diodes électroluminescentes est disposé autour du composant de détection 112. Le capteur de température peut, par exemple, servir à la régulation du courant traversant les diodes électroluminescentes afin de ne pas dégrader leurs caractéristiques .
Selon un mode de réalisation, les composants électroniques supplémentaires intégrés au substrat 10 sur lequel sont formées les diodes électroluminescentes sont utilisés pour réaliser, au moins partiellement, un circuit de commande des diodes électroluminescentes.
A titre d'exemple, le circuit de commande peut comprendre un convertisseur de courant alternatif-continu recevant une tension alternative, correspondant par exemple à la tension alternative du secteur, et fournissant une tension continue qui peut par exemple être appliquée entre l'électrode 30 et la région 14. A titre d'exemple, le circuit de commande peut comprendre un redresseur de tension, un interrupteur (switch en anglais) ou un régulateur de courant qui peut par exemple comprendre un amplificateur opérationnel.
A titre d'exemple, le circuit de commande est un circuit de fourniture d'impulsions de courant ou de tension utilisées pour alimenter les diodes électroluminescentes. Ceci permet de réduire les effets d' échauffement des diodes électroluminescentes pour la même puissance moyenne consommée. La fréquence et la durée des impulsions sont déterminées pour qu'un observateur perçoive un signal lumineux continu en raison de la persistance rétinienne, par exemple en utilisant un modulateur de largeur d' impulsions (PWM, sigle anglais pour Puise Width Modulation) .
A titre d'exemple, le circuit de commande peut comprendre un module de protection thermique, qui est par exemple formé par un circuit de mesure de la température tel que décrit précédemment en relation avec les figures 15 à 19, associé à un circuit PWM fournissant des impulsions de tension ou de courant dont la durée étant modulée en fonction de la température mesurée, par exemple en utilisant une boucle de contre-réaction qui peut mettre en oeuvre un amplificateur opérationnel. A titre d'exemple, la durée des impulsions du signal électrique peut être diminuée quand la température mesurée dépasse une valeur prédéfinie, par exemple 125°C. Le circuit de protection thermique est, par exemple, formé par un circuit de mesure de la température, tel que décrit précédemment en relation avec les figures 15 à 19, associé à un interrupteur permettant de couper le signal électrique quand la température mesurée dépasse une valeur prédéfinie, par exemple 130 °C. Le circuit de protection thermique est, par exemple, formé par un circuit de mesure de température, tel que décrit précédemment en relation avec les figures 15 à 19, associé à un régulateur de courant fournissant un courant dont l'intensité dépend de la mesure de la température.
Tout ou partie des composants électroniques, utilisés pour la réalisation du circuit de commande, peuvent être réalisés sur le même substrat 10 sur lequel sont formés les diodes électroluminescentes. Ces composants électroniques peuvent comprendre notamment des transistors bipolaires.
La figure 20 représente une vue en coupe d'un dispositif optoélectronique 150 comprenant un ensemble A de diodes électroluminescentes tel que représenté en figure 1 à la différence que la région 14 comprend une première région 152 dopée de type N qui s'étend depuis la face 12 et une deuxième région 154 dopée de type N, moins fortement dopée que la région 152 et plus fortement dopée que le substrat 10, et qui s'étend sous la région 152. Le dispositif optoélectronique 150 comprend, en outre, une région 156 fortement dopée de type N s 'étendant dans le substrat 10 depuis la face 12 et une région 158 fortement dopée de type P s 'étendant dans le substrat 10 depuis la face 12. Une région 160 dopée de type P s'étend sous les régions 156 et 158 et relie ces régions. La région 160 est moins fortement dopée que la région 158 et plus fortement dopée que le substrat 10. Une région 162 enterrée dopée de type N s'étend sous la région 160 et la région 154 et relie ces deux régions. Une ouverture 164 est prévue dans la couche isolante 26 pour exposer une partie de la région 158 et une ouverture 166 est prévue dans la couche isolante 26 pour exposer une partie de la région 156. Une piste conductrice 168 vient au contact de la région 158 au travers de l'ouverture 164 et une piste conductrice 169 vient au contact de la région 156 au travers de l'ouverture 166.
La région 156 forme l'émetteur ou le collecteur du transistor bipolaire et la région 158 forme la base du transistor bipolaire. La région 162 forme le collecteur ou l'émetteur du transistor bipolaire et est connectée, dans le présent mode de réalisation, à la cathode des diodes électroluminescentes DEL.
La figure 21 représente une vue en coupe d'un dispositif optoélectronique 170 comprenant l'ensemble des éléments du dispositif optoélectronique 150 représenté en figure 20 à la différence que les régions 160 et 154 sont remplacées par une région 171 dopée du même type de conductivité que la région 162 et s 'étendant entre la région 156 et la région 162 et une région
172 dopée du même type de conductivité que la région 158 et s 'étendant entre les régions 158, 14 et 162.
La région 156 forme l'émetteur ou le collecteur du transistor bipolaire et la région 158 forme la base du transistor bipolaire. La région 14 forme le collecteur ou l'émetteur du transistor bipolaire et est connectée, dans le présent mode de réalisation, à la cathode des diodes électroluminescentes DEL.
Dans le dispositif optoélectronique 150 représenté en figure 20, les jonctions P-N du transistor bipolaire sont situées sensiblement sous les régions 156 et 158 tandis que, dans le dispositif optoélectronique 170 représenté en figure 21, les jonctions P-N du transistor bipolaire sont situées principalement sous la région 14.
Les figures 22 et 23 sont respectivement une coupe et une vue de dessus d'un mode de réalisation d'un dispositif optoélectronique 173 à fils.
Le dispositif optoélectronique 173 comprend à sa périphérie deux tranchées 174 remplies d'un matériau isolant qui s'étendent sur une partie de l'épaisseur du substrat 10 depuis la face 12. A titre d'exemple, chaque tranchée a une largeur supérieure à 1 um, par exemple d'environ 2 um. La distance entre les deux tranchées 174 est supérieure à 5 um, par exemple d'environ 6 um. Les tranchées 174 permettent d'obtenir une isolation électrique latérale du dispositif optoélectronique 173.
Comme cela apparaît en figure 23, des tranchées supplémentaires 178 se projettent depuis la tranchée 174 périphérique externe jusqu'aux bords latéraux du dispositif optoélectronique 173. Après découpe, une portion 180 de substrat 10 subsiste à la périphérie de chaque dispositif optoélectronique 170, 172. Les tranchées 178 permettent de diviser cette portion 180 périphérique en plusieurs segments isolés 182. Ceci permet de réduire les risques de court-circuit dans le cas où des éléments conducteurs viendraient au contact de ces segments .
Des modes de réalisation particuliers de la présente invention ont été décrits. Diverses variantes et modifications apparaîtront à l'homme de l'art. De plus, bien que, dans les modes de réalisation décrits précédemment, chaque fil 20 comprenne une portion passivée 22, à la base du fil en contact avec l'un des plots de germination 16, cette portion passivée 22 peut ne pas être présente.
En outre, bien que des modes de réalisation aient été décrits pour un dispositif optoélectronique pour lequel la coque 28 recouvre le sommet du fil 20 associé et une partie des flancs latéraux du fil 20, la coque peut n'être prévue qu'au sommet du fil 20. Divers modes de réalisation avec diverses variantes ont été décrits ci-dessus. On note que l'homme de l'art peut combiner divers éléments de ces divers modes de réalisation et variantes sans faire preuve d'activité inventive. En particulier, la structure de la région 14 représentée en figure 20 comprenant une région fortement dopée 152 et une région moins fortement dopée 154 peut être mise en oeuvre avec les autres modes de réalisation décrits notamment en relation avec les figures 1 à 9, 12 à 14 et 16.

Claims

REVENDICATIONS
1. Dispositif optoélectronique (5) comprenant :
un substrat (10) semiconducteur en silicium non dopé ou dopé d'un premier type de conductivité ;
une première région semiconductrice (14 ; 14]_, 142) en silicium, reliée électriquement au substrat, s 'étendant dans le substrat ou sur le substrat au contact du substrat, dopée du premier type de conductivité ou d'un deuxième type de conductivité opposé au premier type, et plus fortement dopée que le substrat ;
des plots de germination (16) ou une couche de germination au contact de la première région semiconductrice ;
un premier ensemble (A ; Al, A2) de premières diodes électroluminescentes (DEL ; DEL]_, DEL2) reposant sur la première région semiconductrice, les premières diodes électroluminescentes comprenant des éléments semiconducteurs, ma oritairement en un composé III-V, filaires, coniques ou tronconiques et au contact des plots de germination ou de la couche de germination ; et
une portion conductrice (36 ; 36]_, 362) au contact de la première région semiconductrice.
2. Dispositif optoélectronique selon la revendication 1, dans lequel la première région semiconductrice (14 ; 14]_, 142) est obtenue par une ou plusieurs étapes d' implantations ioniques .
3. Dispositif optoélectronique selon la revendication 1, dans lequel la première région semiconductrice (14 ; 14]_, 142) est obtenue par une étape d'homo-épitaxie .
4. Dispositif optoélectronique selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, comprenant, en outre, une première couche d'électrode (30), au moins partiellement transparente, recouvrant chaque première diode électroluminescente (DEL) et une première couche conductrice (32 ; 32]_, 322) recouvrant la première couche d'électrode autour des premières diodes électroluminescentes .
5. Dispositif optoélectronique selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, comprenant, en outre, au moins une portion isolante (52 ; 76) s ' étendant le long d'au moins un bord latéral de la première région semiconductrice (14 ; 14]_, 142) ·
6. Dispositif optoélectronique selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, comprenant, en outre, au moins une deuxième région semiconductrice (72) dopée d'un type de conductivité opposé à la première région semiconductrice (14) et s 'étendant le long d'au moins un bord latéral de la première région semiconductrice (14) .
7. Dispositif optoélectronique selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, dans lequel le substrat (10) est monolithique .
8. Dispositif optoélectronique selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, dans lequel le substrat (10) est divisé en une couche semiconductrice (44), contenant la première région semiconductrice (14), et séparée du reste du substrat par une couche isolante (48) .
9. Dispositif optoélectronique selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, dans lequel la concentration de dopants du substrat (10) est inférieure ou égale à ΙΟ^ atomes/cm3 et la concentration de dopants de la première région semiconductrice (14) est comprise entre 5*1016 et 2*1020 atomes/cm3.
10. Dispositif optoélectronique selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, comprenant, en outre, au moins un composant électronique (92 ; 112) formé au moins en partie dans le substrat (10) .
11. Dispositif optoélectronique selon la revendication 10, dans lequel le composant électronique (92 ; 112) est compris dans le groupe comprenant une diode, une diode Zener, une diode à avalanche, un transistor bipolaire, un transistor à effet de champ à grille métal-oxyde-semiconducteur, une résistance, une capacité métal-oxyde-semiconducteur, une capacité métal-isolant-métal, un thyristor, un varacteur, une mémoire volatile et une mémoire non volatile .
12. Dispositif optoélectronique selon l'une quelconque des revendications 1 à 11, comprenant : une troisième région semiconductrice (142) reliée électriquement au substrat (10), dopée du premier type de conductivité ou d'un deuxième type de conductivité opposé au premier type, et plus fortement dopée que le substrat ;
un deuxième ensemble (A2) de diodes électroluminescentes
(DEL2) reposant sur la troisième région semiconductrice, les diodes électroluminescentes du deuxième ensemble comprenant des éléments semiconducteurs filaires, coniques ou tronconiques ; et une deuxième couche d'électrode (3Û2) recouvrant chaque deuxième diode électroluminescente et une deuxième couche conductrice (322) recouvrant la deuxième couche d'électrode autour des premières diodes électroluminescentes, la deuxième couche d'électrode ou la deuxième couche conductrice étant au contact de la première région semiconductrice.
13. Dispositif optoélectronique selon l'une quelconque des revendications 1 à 12, comprenant une quatrième région semiconductrice (98 ; 103) reliée électriquement au substrat (10) et distante de la première région semiconductrice, du même type de conductivité que la première région semiconductrice (14) , plus fortement dopée que le substrat (10), et relié à une électrode (30) des premières diodes électroluminescentes (DEL) .
14. Dispositif optoélectronique selon la revendication 13, comprenant une cinquième région semiconductrice (96 ; 107) englobant la quatrième région semiconductrice (98) .
15. Dispositif optoélectronique selon la revendication
13, dans lequel la cinquième région semiconductrice (107) englobe, en outre, la première région semiconductrice (14) .
16. Dispositif optoélectronique selon l'une quelconque des revendications 1 à 15, comprenant :
- une sixième région semiconductrice (156) reliée électriquement au substrat (10) , du même type de conductivité que la première région semiconductrice (14) ;
- une septième région semiconductrice (158) reliée électriquement au substrat (10) , du type de conductivité opposé à la première région semiconductrice (14) ; - une huitième région semiconductrice (162) au contact du substrat (10) et du même type de conductivité que la sixième région semiconductrice, reliée à la première région semiconductrice ou reliée à la sixième région semiconductrice ; et
- une neuvième région semiconductrice (160 ; 172) du même type de conductivité que la septième région semiconductrice, dans lequel la neuvième région semiconductrice s'étend entre les sixième et huitième régions semiconductrices et est reliée à la septième région semiconductrice ou dans lequel la neuvième région semiconductrice s'étend entre les première et huitième régions semiconductrices, la neuvième région semi- conductrice étant reliée à la septième région semiconductrice.
17. Dispositif optoélectronique selon l'une quelconque des revendications 1 à 16, comprenant une dizième et une onzième régions semiconductrices (118, 122), reliées l'une à l'autre, de types de conductivité opposés et toutes deux séparées de la première région semiconductrice (14) par au moins une portion isolante (52 ; 76) ou semiconductrice (120) s 'étendant le long d'au moins un bord latéral de la première région semiconductrice
(14) .
18. Dispositif optoélectronique selon l'une quelconque des revendications 1 à 17, dans lequel les plots de germination (16) ou la couche de germination sont réalisés en nitrure d'aluminium (AIN), en bore (B) , en nitrure de bore (BN) , en titane (Ti) , en nitrure de titane (TiN) , en tantale (Ta) , en nitrure de tantale (TaN) , en hafnium (Hf) , en nitrure d'hafnium (HfN) , en niobium (Nb) , en nitrure de niobium (NbN) , en zirconium (Zr) , en borate de zirconium (ZrB2) , en nitrure de zirconium (ZrN) , en carbure de silicium (SiC) , en nitrure et carbure de tantale
(TaCN) , en nitrure de magnésium sous la forme MgxNy, où x est environ égal à 3 et y est environ égal à 2, par exemple du nitrure de magnésium selon la forme Mg3 2 ou du nitrure de gallium et de magnésium (MgGaN) , en tungstène (W) , en nitrure de tungstène (WN) ou en une combinaison de ces matériaux.
19. Dispositif optoélectronique selon l'une quelconque des revendications 1 à 17, dans lequel les plots de germination (16) ou la couche de germination sont réalisés en un nitrure, un carbure ou un borure d'un métal de transition de la colonne IV, V ou VI du tableau périodique des éléments ou une combinaison de ces composés .
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