WO2015033664A1 - 流量調整装置及びこれを備えた分析装置 - Google Patents
流量調整装置及びこれを備えた分析装置 Download PDFInfo
- Publication number
- WO2015033664A1 WO2015033664A1 PCT/JP2014/068329 JP2014068329W WO2015033664A1 WO 2015033664 A1 WO2015033664 A1 WO 2015033664A1 JP 2014068329 W JP2014068329 W JP 2014068329W WO 2015033664 A1 WO2015033664 A1 WO 2015033664A1
- Authority
- WO
- WIPO (PCT)
- Prior art keywords
- offset value
- value
- pressure sensor
- flow rate
- update
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
- G01N30/02—Column chromatography
- G01N30/26—Conditioning of the fluid carrier; Flow patterns
- G01N30/28—Control of physical parameters of the fluid carrier
- G01N30/32—Control of physical parameters of the fluid carrier of pressure or speed
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
- G01F1/34—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
- G01F15/005—Valves
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
- G01N30/02—Column chromatography
- G01N30/86—Signal analysis
- G01N30/8658—Optimising operation parameters
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Flow Control (AREA)
- Control Of Fluid Pressure (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
Description
2 流路
3 分析部
4 流量調整装置
5 外部制御機器
6 ユーザインタフェース
21 抵抗管
41 流量調整バルブ
42 圧力センサ
43 調整回路
44 制御部
45 記憶部
441 判定処理部
442 オフセット値更新処理部
443 圧力測定処理部
451 オフセット値記憶部
452 閾値記憶部
Claims (6)
- 流路内を流れる流体の流量を調整するための流量調整バルブと、
前記流量調整バルブの下流側に設けられ、前記流路内の圧力を検知する圧力センサと、
前記圧力センサにより前記流路内の圧力を検知する際の基準となるオフセット値を記憶するオフセット値記憶部と、
前記圧力センサの出力値に基づいて、前記オフセット値記憶部に記憶されているオフセット値を更新するか否かを判定する判定処理部と、
前記判定処理部によりオフセット値を更新すると判定された場合に、前記圧力センサの出力値をオフセット値として前記オフセット値記憶部に記憶させるオフセット値更新処理部と、
前記オフセット値更新処理部により更新されたオフセット値、及び、前記圧力センサの出力値に基づいて、前記流路内の圧力を測定する圧力測定処理部とを備えたことを特徴とする流量調整装置。 - 前記判定処理部は、前記圧力センサの出力値が第1閾値以下である場合に、前記オフセット値記憶部に記憶されているオフセット値を更新すると判定することを特徴とする請求項1に記載の流量調整装置。
- 前記判定処理部は、前記圧力センサの出力値の変動幅が第2閾値以下である場合に、前記オフセット値記憶部に記憶されているオフセット値を更新すると判定することを特徴とする請求項1又は2に記載の流量調整装置。
- オフセット値を調整するための調整回路をさらに備え、
前記判定処理部は、前記調整回路によりオフセット値が調整された前記圧力センサの出力値に基づいて、前記オフセット値記憶部に記憶されているオフセット値を更新するか否かを判定することを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の流量調整装置。 - 前記流量調整バルブは、前記流路内を流れる流体の流量を手動で調整するためのものであることを特徴とする請求項1~4のいずれかに記載の流量調整装置。
- 請求項1~5のいずれかに記載の流量調整装置と、
前記流路を介して供給される流体を分析する分析部とを備えたことを特徴とする分析装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015535361A JP6065118B2 (ja) | 2013-09-03 | 2014-07-09 | 流量調整装置及びこれを備えた分析装置 |
CN201480043595.7A CN105579826B (zh) | 2013-09-03 | 2014-07-09 | 流量调整装置及具备其的分析装置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013-181836 | 2013-09-03 | ||
JP2013181836 | 2013-09-03 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
WO2015033664A1 true WO2015033664A1 (ja) | 2015-03-12 |
Family
ID=52628152
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PCT/JP2014/068329 WO2015033664A1 (ja) | 2013-09-03 | 2014-07-09 | 流量調整装置及びこれを備えた分析装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6065118B2 (ja) |
CN (1) | CN105579826B (ja) |
WO (1) | WO2015033664A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022239652A1 (ja) | 2021-05-13 | 2022-11-17 | 株式会社日立ハイテク | 圧力センサの調整方法および液体クロマトグラフ分析装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08240578A (ja) * | 1995-01-23 | 1996-09-17 | Hewlett Packard Co <Hp> | ガスクロマトグラフにおける流量センサの補正方法および圧力センサの補正方法 |
JP2001174445A (ja) * | 1999-12-17 | 2001-06-29 | Shimadzu Corp | ガスクロマトグラフ装置及びその調整方法 |
JP2004069342A (ja) * | 2002-08-02 | 2004-03-04 | Shimadzu Corp | ガス流量制御装置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6839650B2 (en) * | 2001-11-19 | 2005-01-04 | Agilent Technologies, Inc. | Electronic test system and method |
JP3863505B2 (ja) * | 2003-06-20 | 2006-12-27 | 忠弘 大見 | 圧力センサ及び圧力制御装置並びに圧力式流量制御装置の自動零点補正装置 |
US6973375B2 (en) * | 2004-02-12 | 2005-12-06 | Mykrolis Corporation | System and method for flow monitoring and control |
CN100483286C (zh) * | 2004-06-21 | 2009-04-29 | 日立金属株式会社 | 流量控制装置及其调整方法 |
CN100437104C (zh) * | 2005-05-18 | 2008-11-26 | 深圳市奥特迅传感技术有限公司 | 气体传感器及由其制成的气体检测器 |
JP2008002897A (ja) * | 2006-06-21 | 2008-01-10 | Olympus Corp | 分注装置および自動分析装置 |
EP2037108B1 (en) * | 2007-07-05 | 2014-09-03 | Magneti Marelli S.p.A. | Method for the acquisition and processing of an intake pressure signal in an internal combustion engine without an intake manifold |
US9804609B2 (en) * | 2012-02-22 | 2017-10-31 | Agilent Technologies, Inc. | Mass flow controllers and methods for auto-zeroing flow sensor without shutting off a mass flow controller |
-
2014
- 2014-07-09 WO PCT/JP2014/068329 patent/WO2015033664A1/ja active Application Filing
- 2014-07-09 CN CN201480043595.7A patent/CN105579826B/zh active Active
- 2014-07-09 JP JP2015535361A patent/JP6065118B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08240578A (ja) * | 1995-01-23 | 1996-09-17 | Hewlett Packard Co <Hp> | ガスクロマトグラフにおける流量センサの補正方法および圧力センサの補正方法 |
JP2001174445A (ja) * | 1999-12-17 | 2001-06-29 | Shimadzu Corp | ガスクロマトグラフ装置及びその調整方法 |
JP2004069342A (ja) * | 2002-08-02 | 2004-03-04 | Shimadzu Corp | ガス流量制御装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022239652A1 (ja) | 2021-05-13 | 2022-11-17 | 株式会社日立ハイテク | 圧力センサの調整方法および液体クロマトグラフ分析装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN105579826B (zh) | 2019-10-25 |
JPWO2015033664A1 (ja) | 2017-03-02 |
JP6065118B2 (ja) | 2017-01-25 |
CN105579826A (zh) | 2016-05-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2817616B1 (en) | Mass flow controllers and methods for auto-zeroing flow sensor without shutting off a mass flow controller | |
US8015995B2 (en) | System and method for flow monitoring and control | |
KR101995610B1 (ko) | 멀티-가스 적용을 위한 적응성 압력 불감 질량 유량 제어기 및 방법 | |
US9846073B2 (en) | On-tool mass flow controller diagnostic systems and methods | |
US9488516B2 (en) | On-tool mass flow controller diagnostic systems and methods | |
JP6871636B2 (ja) | 圧力式流量制御装置及び流量自己診断方法 | |
US20050182524A1 (en) | System and method for flow monitoring and control | |
KR20090029269A (ko) | 멀티모드 콘트롤 알고리즘 | |
JP6264931B2 (ja) | 液体クロマトグラフとそれに用いるカラムオーブン | |
US20150331430A1 (en) | Inspection method of flow sensor, inspection system and program recording medium with program for inspection system recorded thereon | |
JP5962577B2 (ja) | ガスクロマトグラフ | |
KR20140135650A (ko) | 과도 가스 흐름의 계측 방법 | |
US10927462B2 (en) | Gas control system and film formation apparatus provided with gas control system | |
JP6065118B2 (ja) | 流量調整装置及びこれを備えた分析装置 | |
JPWO2019065611A1 (ja) | 質量流量制御システム並びに当該システムを含む半導体製造装置及び気化器 | |
JP4847208B2 (ja) | タッチセンサー、音声調整装置、これらの制御方法及び制御プログラム | |
JP7067910B2 (ja) | 流体装置及び流体装置用プログラム | |
JP4876673B2 (ja) | ジルコニア式酸素濃度計 | |
US10386343B2 (en) | Gas chromatograph | |
EP2933612A1 (en) | Method of determining an internal volume of a filter or a bag device, computer program product and a testing apparatus for performing the method | |
US10302609B2 (en) | Calibration for gas detection | |
KR20060111799A (ko) | 일산화탄소 센서의 측정값 보정장치 및 방법 | |
US11327510B2 (en) | Multi-chamber rate-of-change system for gas flow verification | |
JPH05322843A (ja) | イオン電極を用いた電解質分析装置 | |
JP2020086936A (ja) | 流量変化の評価装置、方法、及びコンピュータプログラム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 201480043595.7 Country of ref document: CN |
|
121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application |
Ref document number: 14842785 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |
|
ENP | Entry into the national phase |
Ref document number: 2015535361 Country of ref document: JP Kind code of ref document: A |
|
NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: DE |
|
122 | Ep: pct application non-entry in european phase |
Ref document number: 14842785 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |