WO2014109018A1 - ワーク粘着チャック装置及びワーク貼り合わせ機 - Google Patents

Abstract

　真空中で粘着剥離された板状ワークを大気雰囲気で剥離部から容易且つ確実に剥離する。　粘着部１にて粘着保持された板状ワークＷに対し、真空雰囲気で剥離部２を弾性的に突出変形して、押圧面２ａを板状ワークＷの表面Ｗ１と接触させることにより、粘着部１から板状ワークＷが剥離される。その後、剥離部２の押圧面２ａを板状ワークＷの表面Ｗ１と接触させたままで、板状ワークＷの周囲が大気開放されることにより、流路２ｐを通って剥離部２の外側空間Ｓ２から内側空間Ｓ１へ空気が流入し、剥離部２の内側空間Ｓ１と板状ワークＷとの間が真空破壊される。

Description

ワーク粘着チャック装置及びワーク貼り合わせ機

　本発明は、例えば液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）や有機ＥＬディスプレイ（ＯＬＥＤ）やプラズマディスプレイ（ＰＤＰ）やフレキシブルディスプレイなどのフラットパネルディスプレイの製造過程において、ＣＦガラスやＴＦＴガラスなどのガラス製基板か又はＰＥＳ（Poly－Ether－Sulphone）などのプラスチックフィルムなどからなる合成樹脂製基板などの板状ワークを粘着保持して貼り合わせる基板貼り合わせ機を含む基板組立装置や、このような基板などの絶縁体、導電体又は半導体ウエハなどのワーク（被処理体）を搬送する基板搬送装置などに用いられるワーク粘着チャック装置、このワーク粘着チャック装置を備えたワーク貼り合わせ機に関する。

　従来、この種のワーク粘着チャック装置及びワーク貼り合わせ機としては、第１の基板が安着する第１の定盤が備えられる第１のチャンバ、上記第１のチャンバから離隔され、上記第１の基板と合着される第２の基板が安着する第２定盤が備えられる第２のチャンバ、上記第１の定盤に安着する第１の基板を、粘着力を用いて固定させる粘着ゴムを有する基板チャック、及び、上記第１の基板が上記粘着ゴムから離脱されるように上記粘着力と反対される方向の力を誘導する粘着解除装置とを含む基板合着装置がある。上記粘着解除装置は、上記第１の定盤に設けられ、上記第１の基板の付着面方向に加熱膨脹して上記第１の基板を離脱させる加熱膨脹部で構成される。上記加熱膨脹部は、上記粘着ゴムに付着された上記第１の基板の付着面側に膨脹する延性の材質からなる膨脹部材を含み、上記粘着ゴムを中心部に形成し、その周りに上記加熱膨脹部が環状に位置するようにしている。真空状態で上記加熱膨脹部を膨脹させることにより、上記粘着ゴムから上記第１の基板が離脱されて、下方に位置した上記第２の基板と合着され、その後、上記第１のチャンバと上記第２のチャンバを離隔して大気開放し、合着された上記第１の基板及び上記第２の基板を搬出している（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１０－１２６３４２号公報（第６－９頁、図１－８）

　ところで、ＬＣＤなどの製造過程において、真空雰囲気で二枚の基板をその間に液晶などの封入材が挟み込まれるように貼り合わせ、その後、一方の基板の粘着保持を解除してから、その周囲を大気開放すると、二枚の基板が封入材を挟んで完全に貼り合わされていないものは、粘着保持を解除した一方の基板が封入材から離れて、隙間から封入材に空気などの気体が混入するおそれがある。
　そこで、このような問題点を解決するため、真空雰囲気で貼り合わされた基板の粘着保持を解除せず、二枚の基板を押し付けながら大気開放して、封入材への空気混入を防止することが考えられる。
　しかし乍ら、前述した特許文献１の基板チャックでは、真空状態で環状の膨脹部材を第１の基板の表面に密接させて第２の基板へ向け押し付けながら、その周囲環境を大気開放させると、環状の膨脹部材で囲まれた粘着ゴムの周囲空間が真空状態となる。そのため、第１の基板の表面に対して環状の膨脹部材が吸着パッドのようになって、それ以降は大気雰囲気で環状の膨脹部材が膨脹しても第１の基板を剥離できなくなるという致命的な問題がある。
　その結果として、後工程で環状の膨脹部材を逆向きに収縮変形させると、第２の基板に貼り合わせた第１の基板が環状の膨脹部材（吸着パッド）により吊り下げられてしまう。この際、第１の基板が厚さ０．３ｍｍ以下などの薄型基板である場合には、吊り下げに伴う自重により第１の基板に歪みが発生し、第２の基板との貼り合わせ精度が低下するという問題がある。
　また、膨脹部材が延性の材質で構成されるため、膨脹部材の弾性変形による第１の基板の押し剥がしを長期的に亘り繰り返すうちに、膨脹部材の押圧面が第１の基板の表面に馴染むことで、膨脹部材の押圧面を第１の基板の表面に押し付けた際に、ミクロで見たファンデルワールス力（引力）により第１の基板の表面と密着して剥離できないことがあるという問題もある。
　そして、前述した特許文献１の基板合着装置では、第１の定盤に対して多数の基板チャックと粘着解除装置がそれぞれマトリクス形態に配置され、多数の基板チャックの粘着ゴムによって第１の基板を同時に粘着保持し、多数の粘着解除装置における環状の膨脹部材の膨張によって、第１の基板を同時に剥離している。
　しかし、多数の環状の膨脹部材を真空状態で第１の基板の表面にそれぞれ密接させたまま、その周囲環境を大気開放させると、多数の粘着解除装置のうち、少なくともいくつかの環状の膨脹部材で囲まれた粘着ゴムの周囲空間は真空状態となって、それぞれ第１の基板を剥離できなくなる。そのため、環状の膨脹部材が同時に収縮変形されることにより、第２の基板に貼り合わせた第１の基板がいくつかの環状の膨脹部材（吸着パッド）で部分的に吊り下げられてしまい、第１の基板に部分的な歪みが発生し、第２の基板との貼り合わせ精度が低下するという問題がある。

　本発明は、このような問題に対処することを課題とするものであり、真空中で粘着剥離された板状ワークを大気雰囲気で剥離部から容易且つ確実に剥離すること、などを目的とするものである。

　このような目的を達成するために本発明は、粘着保持された板状ワークを真空雰囲気で剥離してから、該板状ワークの周囲が大気開放されるワーク粘着チャック装置であって、前記板状ワークと対向するように設けられて該板状ワークを着脱自在に粘着保持する粘着部と、前記粘着部の外周を囲むように設けられ、前記板状ワークへ向かう突出変形に伴い前記板状ワークの表面に圧接して前記粘着部から強制的に剥離させる弾性変形可能な剥離部と、を備え、前記剥離部は、その押圧面が前記板状ワークの前記表面と接触した際に、前記粘着部が配置される該剥離部の内側空間と、その反対側の外側空間を連通させる流路を有することを特徴とする。

　前述した特徴を有する本発明によるワーク粘着チャック装置は、粘着部にて粘着保持された板状ワークに対し、真空雰囲気で剥離部を弾性的に突出変形して、押圧面を板状ワークの表面と接触させることにより、粘着部から板状ワークが剥離され、その後、剥離部の押圧面を板状ワークの表面と接触させたままで、板状ワークの周囲が大気開放されることにより、流路を通って剥離部の外側空間から内側空間へ空気が流入し、剥離部の内側空間と板状ワークとの間が真空破壊される。
　したがって、真空中で粘着剥離された板状ワークを大気雰囲気で剥離部から容易且つ確実に剥離することができる。
　その結果、真空状態で第１の基板に環状の膨脹部材を密接させたまま大気開放させると、環状の膨脹部材で囲まれた粘着ゴムの周囲空間が真空状態となって剥離不能となる従来のものに比べ、その後工程で剥離部の押圧面を逆向きに収縮変形させても、板状ワークが吊り下げられることがなく、板状ワークが薄型基板であっても歪みが発生せず、板状ワークを歪み変形無しで正常な粘着保持及び剥離を行うことができる。

本発明の実施形態に係るワーク粘着チャック装置を示す説明図であり、（ａ）が縦断正面図、（ｂ）が底面図である。 本発明の実施形態に係るワーク貼り合わせ機を示す縮小縦断正面図である。

　以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
　本発明の実施形態に係るワーク粘着チャック装置Ａは、図１（ａ）（ｂ）に示すように、　大気雰囲気又は真空雰囲気や所定の真空度に到達した雰囲気で、例えばＬＣＤの基板などからなる板状ワークＷを着脱自在に粘着保持し、この粘着保持された板状ワークＷを真空雰囲気で強制的に剥離した後に、板状ワークＷの周囲を大気開放する（大気雰囲気に戻す）ものである。
　詳しく説明すると、本発明の実施形態に係るワーク粘着チャック装置Ａは、板状ワークＷと対向するように設けられて板状ワークＷを着脱自在に粘着保持するための粘着部１と、粘着部１の外周を囲むように設けられる弾性変形可能な剥離部２と、粘着部１及び剥離部２を直接的又は間接的に取り付けるために設けられる支持部３と、を主要な構成要素として備えている。

　粘着部１は、その全体又は一部が例えばフッ素ゴムやエラストマー、ブチルゴム、感光性樹脂、アクリル系やシリコン系などの粘着材料でシート状に形成される粘着シートであり、弾性のある面状に形成される粘着面１ａを有している。
　粘着部１の粘着面１ａは、後述する支持部３に対して板状ワークＷと対向するように取り付けられ、粘着部１及び支持部３へ向け移動する板状ワークＷの表面Ｗ１を接触させることにより、板状ワークＷが着脱自在に粘着保持されるように構成している。
　さらに、粘着面１ａは、図示例のように、例えばエンボス加工などで凹凸状に形成されて全体的に弾性変形し易くすることにより、板状ワークＷに対して容易に粘り付くように構成することが好ましい。

　剥離部２は、その全体又は一部が例えばゴムやエラストマー、軟質合成樹脂などの弾性変形可能な弾性材料で円形又は矩形などのシート状に形成されるダイヤフラムや弾性膜などの弾性シートであり、粘着部１の粘着面１ａの外周を囲む環状に形成される弾性変形可能な押圧面２ａを有している。
　剥離部２の押圧面２ａは、後述する支持部３に対して板状ワークＷと対向し、且つ板状ワークＷの表面Ｗ１へ向けて接近又は離隔するＺ方向へ弾性的に突出変形可能となるように取り付けられ、押圧面２ａにおける一次側と二次側の圧力差などによって、板状ワークＷへ向け弾性的に突出変形するように構成している。

　支持部３は、例えば硬質合成樹脂、金属、セラミックなどの剥離部２の押圧面２ａと貼り付き難い材料で円形又は矩形などの板状に形成されるベースプレートであり、板状ワークＷと平行に対向するように設置される。
　支持部３において板状ワークＷと対向する対向面３ａには、その中央に粘着部１がＺ方向及びこれと交差するＸＹ方向へ移動不能に取り付けられ、粘着面１ａを剥離部２の押圧面２ａよりも板状ワークＷへ向け若干突出させるように配置している。
　支持部３の対向面３ａにおいて粘着部１の外周を囲むリング状部位には、剥離部２がＸＹ方向へ移動不能に取り付けられ、粘着部１の粘着面１ａに粘着保持された板状ワークＷへ向けて押圧面２ａをＺ方向へ弾性的に突出変形させることにより、表面Ｗ１に圧接して更に同方向へ押動するように構成している。

　剥離部２の押圧面２ａをＺ方向へ弾性的に突出変形させる手段の具体例としては、押圧面２ａの一次側に駆動用流体Ｆを供給するための駆動部４が更に備えられ、駆動部４から押圧面２ａの一次側に駆動用流体Ｆを供給することにより、粘着部１の粘着面１ａに粘着保持された板状ワークＷへ向け押圧面２ａを弾性的に突出するように膨張変形させることが好ましい。
　駆動部４は、圧縮空気などの気体又は液体からなる駆動用流体Ｆを一方向のみに供給するか又は双方向へ出し入れするポンプなどの駆動源（図示しない）と、支持部３の対向面においてリング状部位の背後に形成される流路３ｂを有し、流路３ｂを介して駆動源が押圧面２ａの一次側と連通している。
　駆動部４の作動で、駆動用流体Ｆが流路３ｂを通って押圧面２ａの一次側に向け供給されることにより、粘着部１の粘着面１ａに粘着保持された板状ワークＷへ向け押圧面２ａを膨張変形して、板状ワークＷの表面Ｗ１に圧接させ、粘着部１の粘着面１ａから板状ワークＷを強制的に押し剥がすようにしている。
　また、その他の例として図示しないが、剥離部２の押圧面２ａをＺ方向へ弾性的に突出変形させる手段として、駆動用流体Ｆを供給する駆動部４に代え、シリンダーなどにより押圧するなど、他の駆動源で押圧面２ａをＺ方向へ弾性的に突出変形させることも可能である。

　剥離部２による板状ワークＷの剥離動作を図１（ａ）に基づいて説明する。
　初期状態では、図１（ａ）の一点鎖線に示されるように、剥離部２の押圧面２ａが支持部３の対向面３ａと接するように平面状又は凹状に収縮変形しており、粘着面１ａで粘着保持された板状ワークＷに剥離力を作用させずに待機している。
　剥離時には、図１（ａ）の二点鎖線に示されるように、押圧面２ａの一次側と二次側の圧力差で、押圧面２ａをＺ方向へ支持部３の表面３ａから離れ且つ板状ワークＷと接近するように膨張して突出変形させることにより、押圧面２ａが板状ワークＷの表面Ｗ１に接触し押圧して、粘着面１ａから板状ワークＷを強制的に剥離する（押し剥がす）。
　また、粘着面１ａから板状ワークＷを剥離した後は、剥離部２の押圧面２ａを、Ｚ方向へ板状ワークＷの表面Ｗ１から離れるように逆向きに収縮して没入変形させることにより、図１（ａ）の一点鎖線に示される初期状態に戻る。

　そして、剥離部２は、その押圧面２ａが板状ワークＷの表面Ｗ１と接触し圧接された際に、粘着部１が配置される剥離部２の内側空間Ｓ１と、その反対側の外側空間Ｓ２とを連通させる真空破壊用の流路２ｐを有している。
　真空破壊用の流路２ｐは、剥離部２の押圧面２ａを凹凸状に表面加工することで、内側空間Ｓ１及び外側空間Ｓ２に亘って連通するように形成される多数の隙間２ｂや、剥離部２の押圧面２ａを複数それぞれ粘着部１が中心となる周方向へ断続的に設けることで、周方向へ隣り合う押圧面２ａの間に内側空間Ｓ１及び外側空間Ｓ２を連通するように形成される複数の凹溝２ｃなどから構成される。
　図１（ａ）（ｂ）に示される例では、流路２ｐとして、剥離部２の押圧面２ａを例えばエンボス加工やブラスト処理（サンドブラスト）又はその他の表面加工などで凹凸状に形成することにより、多数の隙間２ｂが形成されるとともに、複数の押圧面２ａを粘着部１が中心となる周方向へ断続して設けることにより、粘着部１を中心とした放射方向へ延びる複数の凹溝２ｃが形成されている。
　さらに、エンボス加工や表面加工などによる押圧面２ａの凹凸形状、多数の隙間２ｂの形状及びそれらの大きさや深さは、図示例に限定されず、種々の変形が可能である。
　また、その他の例として図示しないが、流路２ｐとして、押圧面２ａにおける凹凸状の表面加工で形成される多数の隙間２ｂ又は、周方向へ隣り合う押圧面２ａの間に形成される複数の凹溝２ｃのいずれか一方のみを設けることも可能である。

　このような本発明の実施形態に係るワーク粘着チャック装置Ａによると、大気雰囲気又は真空雰囲気において粘着部１の粘着面１ａにより板状ワークＷが粘着保持され、その後に、粘着部１にて粘着保持された板状ワークＷに対し、真空雰囲気で剥離部２を弾性的に膨張し突出変形して、押圧面２ａを板状ワークＷの表面Ｗ１と接触し圧接させる。
　それにより、粘着部１から板状ワークＷが剥離される。
　その後、剥離部２の押圧面２ａを板状ワークＷの表面Ｗ１と接触させたままで、板状ワークＷの周囲が大気開放される。
　それにより、流路２ｐを通って剥離部２の外側空間Ｓ２から内側空間Ｓ１へ空気が流入し、剥離部２の内側空間Ｓ１と板状ワークＷとの間が真空破壊される。
　したがって、真空中で粘着部１より粘着剥離された板状ワークＷを大気雰囲気で剥離部２から容易且つ確実に剥離することができる。
　その結果、その後工程で剥離部２の押圧面２ａをＺ方向へ板状ワークＷの表面Ｗ１から離れるように逆向きに収縮して没入変形させても、板状ワークＷが吊り下げられることがなく、板状ワークＷが例えば厚さ０．３ｍｍ以下などの薄型基板であっても歪みが発生せず、板状ワークＷを歪み変形無しで正常な粘着保持及び剥離を行うことができる。

　特に、流路２ｐが、剥離部２の押圧面２ａを凹凸状に表面加工することで、内側空間Ｓ１及び外側空間Ｓ２に亘り連通するように形成される多数の隙間２ｂである場合には、剥離部２の突出変形に伴って凹凸状の押圧面２ａを板状ワークＷの表面Ｗ１と圧接させることにより、流路２ｐとなる多数の隙間２ｂを通ってそれぞれ外側空間Ｓ２から内側空間Ｓ１へ空気が流入し、剥離部２の内側空間Ｓ１と板状ワークＷとの間が真空破壊される。
　したがって、簡単な構造でありながら板状ワークＷを大気雰囲気において剥離部２から正常に剥離することができる。
　その結果、製造及びメンテナンスが簡単でコストの低減化が図れる。

　また、流路２ｐが、剥離部２の押圧面２ａを複数それぞれ粘着部１が中心となる周方向へ断続的に設けることで、周方向へ隣り合う押圧面２ａの間に内側空間Ｓ１及び外側空間Ｓ２を連通するように形成される複数の凹溝２ｃである場合には、剥離部２の押圧面２ａよりも深く流路２ｐとなる凹溝２ｃが形成可能となり、剥離部２の突出変形に伴って複数の押圧面２ａを同時に板状ワークＷの表面Ｗ１と圧接させることにより、流路２ｐとなる凹溝２ｃを通ってそれぞれ外側空間Ｓ２から内側空間Ｓ１へ空気が流入し、剥離部２の内側空間Ｓ１と板状ワークＷとの間が真空破壊される。
　したがって、簡単な構造でありながら板状ワークＷを長期に亘り大気雰囲気において剥離部２から確実に剥離することができる。
　その結果、製造及びメンテナンスが簡単でコストの低減化が図れるとともに、長期に亘って安定な剥離を行うことができる。
　つまり、延性の材質からなる膨脹部材の弾性変形によって、第１の基板の押し剥がしを長期的に亘り繰り返すと、膨脹部材の押圧面が第１の基板の表面に馴染んで、ミクロで見たファンデルワールス力により第１の基板の表面と密着して剥離不能となる従来のものに比べ、弾性体（延性の材質）で構成された剥離部２の弾性変形による板状ワークＷの押し剥がしを長期的に繰り返すにつれて、剥離部２の押圧面２ａが摩耗しても、剥離部２の押圧面２ａよりも深く流路２ｐとなる凹溝２ｃが形成可能となるため、ファンデルワールス力による影響を低減させることができ、剥離を長期に亘り維持できて安定性に優れる。

　一方、本発明の実施形態に係るワーク貼り合わせ機は、図２に示すように、前述したワーク粘着チャック装置Ａが、対向する一対の保持板１１，１１′のいずれか一方か又は両方に複数それぞれ所定間隔毎に分散させて設けられ、複数のワーク粘着チャック装置Ａで板状ワーク（第一板状ワーク）Ｗを着脱自在に粘着保持するとともに剥離することにより、もう一つの板状ワーク（第二板状ワーク）Ｗ′に重ね合わせて貼り合わせている。
　その具体例として、保持板１１，１１′が例えば定盤などで平滑に形成され、一方（上方）の保持板１１には、ワーク粘着保持装置Ａが設けられ、その粘着部材１で第一板状ワークＷを粘着保持し、他方（下方）の保持板１１′には、シール材Ｃを介して第一板状ワークＷと平行に対向するように第二板状ワークＷ′が保持されている。
　さらに必要に応じて、一対の保持板１１，１１′のいずれか一方か又は両方には、ワーク粘着保持装置Ａを囲むように吸引吸着手段１２が複数設けられ、これら吸引吸着手段１２によって第一板状ワークＷ又は第二板状ワークＷ′のいずれか一方か又は両方を着脱自在に吸引吸着することも可能である。

　次に、本発明の各実施例を図面に基づいて説明する。
　この実施例１は、図１（ａ）（ｂ）に示すように、ワーク粘着チャック装置Ａが、支持部３に対して、環状に形成された剥離部２の内周部位２ｄと外周部位２ｅを、駆動部４からの駆動用流体Ｆが封止されるようにそれぞれ挟持固定したものである。
　さらに詳しく説明すると、剥離部２は、例えば圧縮成形（コンプレッション成型）や射出成形（インジェクション成型）などで環状に一体形成されるダイヤフラムや弾性膜であり、支持部３の表面３ａに沿って形成される弾性変形可能な押圧面２ａと、押圧面２ａの内側及び外側と連続して径方向へ延びるように形成されるフランジ状の内周部位２ｄ及び外周部位２ｅを有している。

　図１（ａ）（ｂ）に示される例では、支持部３の中央に取付孔３ｃが開設され、取付孔３ｃに対して表面３ａ側からＺ方向へ粘着部１の基材５を挿入することにより、剥離部２の内周部位２ｄがＺ方向へ挟み込まれて移動不能に挟持固定されている。
　粘着部１の基材５は、円柱状又は角柱状に形成され、その一端面５ａに粘着部１を固着し、他端部５ｂに対して支持部３の背後からナットなどの止着部５ｃを螺合させるなど固着することにより、支持部３の取付孔３ｃに固定される。
　基材５の外側面と、それに対向する取付孔３ｃの内周面には、互いに係合する段部５ｄ，３ｃ１が形成され、段部５ｄ，３ｃ１の間に剥離部２の内周部位２ｄをＺ方向へ挟み込んでいる。
　支持部３の表面３ａ側において外周には、環状凹部３ｄが凹設され、環状凹部３ｄに対してリング６をネジやボルトなどの締結具７で取り付けることにより、環状凹部３ｄとリング６の間に剥離部２の外周部位２ｅがＺ方向へ挟み込まれている。
　内周部位２ｄ及び外周部位２ｅには、支持部３に対して挟持固定する際に位置ズレを防止するための環状肉厚部分２ｄ１，２ｅ１を一体形成することが好ましい。
　支持部３の表面３ａは、取付孔３ｃの段部３ｃ１と環状凹部３ｄによって凸状に形成され、それに沿って剥離部２の押圧面２ａと内周部位２ｄ及び外周部位２ｅの間には、一対の脚部位２ｆを一体形成している。
　そして、粘着部１の基材５、剥離部２、支持部３、及びリング６は、それらを順次組み付けることで一体化され、ワーク粘着チャック装置Ａとなる。
　また、その他の例として図示しないが、基材５やリング６を用いずに、支持部３に対して剥離部２の内周部位２ｄ及び外周部位２ｅを挟持固定したり、支持部３や剥離部２の形状を図示例以外の形状に変更したりすることも可能である。

　このような本発明の実施例１に係るワーク粘着チャック装置Ａによると、支持部３に対して環状の剥離部２の内周部位２ｄと外周部位２ｅをそれぞれ挟持固定することにより、駆動部４から押圧面２ａの一次側に供給される駆動用流体Ｆが押圧面２ａで封止されるため、駆動用流体Ｆの漏れが発生することなく、押圧面２ａが板状ワークＷの表面Ｗ１へ向けて二次側に膨出変形する。
　したがって、簡単な構造で駆動用流体Ｆの漏れを防止しながら押圧面２ａを長期的に亘って安定駆動させることができる。
　その結果、製造及びメンテナンスが簡単でコストの低減化が図れるとともに、長期に亘って板状ワークＷの安定した剥離を行うことができるという利点がある。

　また、図１（ａ）（ｂ）に示されるように、流路２ｐとして、押圧面２ａにおける凹凸状の表面加工で形成される多数の隙間２ｂと、周方向へ隣り合う押圧面２ａの間に形成される複数の凹溝２ｃとの両方を設けた場合には、多数の隙間２ｂだけでは、剥離部２の外側空間Ｓ２から内側空間Ｓ１へ向かう空気の通過量が不足しても、複数の凹溝２ｃを通って外側空間Ｓ２から内側空間Ｓ１へ向け空気が補給されるため、剥離部２の内側空間Ｓ１と板状ワークＷとの間が真空破壊される。
　それにより、真空中で粘着部１より粘着剥離された板状ワークＷを大気雰囲気で剥離部２から素早く且つ確実に剥離することができるという利点がある。
　さらに、流路２ｐとして押圧面２ａに表面加工された多数の隙間２ｂが、長期に亘る板状ワークＷとの接触剥離により摩耗しても、隙間２ｂよりも深い位置に設けられる凹溝２ｃは残っているため、更に長期に亘って安定な剥離を行うことができるという利点もある。

　この実施例２は、図２に示すように、ワーク貼り合わせ機が、大気雰囲気又は真空雰囲気や所定の真空度に到達した雰囲気において、一方の保持板１１に複数設けられたワーク粘着チャック装置Ａの粘着部１で板状ワーク（第一板状ワーク）Ｗを同時に粘着保持し、他方の保持板１１′に保持されるもう一つの板状ワーク（第二板状ワーク）Ｗ′に貼り合わせ、その後、真空雰囲気において、一方の保持板１１に複数設けられたワーク粘着チャック装置Ａの剥離部２で、貼り合わされた第一板状ワークＷ及び第二板状ワークＷ′を同時に剥離した後に、第一板状ワークＷ及び第二板状ワークＷ′の周囲を大気開放する（大気雰囲気に戻す）ものである。

　図２に示される例では、保持板１１の表面に複数形成される凹状部１１ａに対し、ワーク粘着チャック装置Ａの支持部３が嵌入され、ネジやボルトなどの締結具７で保持板１１にワーク粘着チャック装置Ａを取り付け固定し、保持板１１に開穿される通気孔１１ｂから駆動用流体Ｆを支持部３の流路３ｂへそれぞれ供給することにより、剥離部２の押圧面２ａが膨張変形して、粘着面１ａで粘着保持された第一板状ワークＷを強制的に押し剥がしている。
　また、その他の例として図示しないが、保持板１１に対する支持部３の取り付け手段として、ネジやボルトなどの締結具７に代えて他の固着手段などを用いることも可能である。

　このような本発明の実施例２に係るワーク貼り合わせ機によると、複数のワーク粘着チャック装置Ａの粘着部１で板状ワーク（第一板状ワーク）Ｗが同時に粘着保持され、もう一つ板状ワーク（第二板状ワーク）Ｗ′に貼り合わせた後に、真空雰囲気で、複数のワーク粘着チャック装置Ａの剥離部２を同時に突出変形して、押圧面２ａを第一板状ワークＷの表面Ｗ１とそれぞれ圧接させることにより、粘着部１から板状ワークＷが剥離される。その後、剥離部２の押圧面２ａを板状ワークＷの表面Ｗ１と接触させたままで、第一板状ワークＷ及び第二板状ワークＷ′の周囲が大気開放されることにより、各流路２ｐを通って外側空間Ｓ２から内側空間Ｓ１へ空気がそれぞれ流入し、剥離部２の内側空間Ｓ１と第一板状ワークＷとの間が真空破壊される。
　したがって、貼り合わされた板状ワーク（第一板状ワーク）Ｗ及びもう一つ板状ワーク（第二板状ワーク）Ｗ′を平行状態に保ったまま大気雰囲気で剥離部２から容易且つ確実に剥離することができる。
　その結果、多数の環状の膨脹部材を真空状態で第１の基板の表面にそれぞれ密接させたまま、その周囲環境を大気開放させると、少なくともいくつかの環状の膨脹部材で囲まれた粘着ゴムの周囲空間は真空状態となって第１の基板を剥離不能となる従来のものに比べ、後工程で剥離部２の押圧面２ａを同時に収縮して没入変形させても、第一板状ワークＷが部分的に吊り下げられることがなく、第一板状ワークＷの部分的な歪みが防止される。
　それにより、第一板状ワークＷと第二板状ワークＷ′と貼り合わせ精度を高く維持することができ、歩留まりの向上と生産性の向上が図れるという利点がある。

　なお、図２に示される例では、一方（上方）の保持板１１だけに、ワーク粘着チャック装置Ａと吸引吸着手段１２を設けたが、これに限定されず、他方（下方）の保持板１１′にもワーク粘着チャック装置Ａや吸引吸着手段１２を設けても良い。

　Ａ　ワーク粘着チャック装置　　　１　粘着部
　１ａ　粘着面　　　　　　　　　　２　剥離部
　２ａ　押圧面　　　　　　　　　　２ｂ　隙間
　２ｃ　凹溝　　　　　　　　　　　２ｄ　内周部位
　２ｅ　外周部位　　　　　　　　　２ｐ　流路
　３　支持部　　　　　　　　　　　４　駆動部
　１１　一方の保持板　　　　　　　１１′　他方の保持板
　Ｆ　駆動用流体　　　　　　　　　Ｓ１　内側空間
　Ｓ２　外側空間　　　　　　　　　Ｗ　板状ワーク（第一板状ワーク）
　Ｗ１　表面　　　　　　　　　　　Ｗ′　もう一つの板状ワーク（第二板状ワーク）

Claims (5)

1. 　粘着保持された板状ワークを真空雰囲気で剥離してから、該板状ワークの周囲が大気開放されるワーク粘着チャック装置であって、
   　前記板状ワークと対向するように設けられて該板状ワークを着脱自在に粘着保持する粘着部と、
   　前記粘着部の外周を囲むように設けられ、前記板状ワークへ向かう突出変形に伴い前記板状ワークの表面に圧接して前記粘着部から強制的に剥離させる弾性変形可能な剥離部と、を備え、
   　前記剥離部は、その押圧面が前記板状ワークの前記表面と接触した際に、前記粘着部が配置される該剥離部の内側空間と、その反対側の外側空間を連通させる流路を有することを特徴とするワーク粘着チャック装置。
2. 　前記流路が、前記剥離部の前記押圧面を凹凸状に表面加工することで、前記内側空間及び前記外側空間に亘り連通するように形成される多数の隙間であることを特徴とする請求項１記載のワーク粘着チャック装置。
3. 　前記流路が、前記剥離部の前記押圧面を複数それぞれ前記粘着部が中心となる周方向へ断続的に設けることで、周方向へ隣り合う前記押圧面の間に前記内側空間及び前記外側空間を連通するように形成される複数の凹溝であることを特徴とする請求項１記載のワーク粘着チャック装置。
4. 　前記粘着部及び前記剥離部が取り付けられる支持部と、前記押圧面の一次側に駆動用流体を供給する駆動部と、を更に備え、
   　前記支持部に対して、環状に形成された前記剥離部の内周部位と外周部位を、前記駆動部からの前記駆動用流体が前記押圧面にて封止されるようにそれぞれ挟持固定したことを特徴とする請求項１、２又は３記載のワーク粘着チャック装置。
5. 　請求項１～４のいずれか一つに記載のワーク粘着チャック装置が、対向する一対の保持板のいずれか一方か又は両方に複数設けられるワーク貼り合わせ機であって、
   　前記一方の保持板に設けられた前記ワーク粘着チャック装置の前記粘着部で前記板状ワークを同時に粘着保持し、前記他方の保持板に保持されるもう一つの板状ワークに貼り合わせ、真空雰囲気において、前記一方の保持板に設けられた前記ワーク粘着チャック装置の前記剥離部で、貼り合わされた前記板状ワーク及び前記もう一つの板状ワークを同時に剥離してから、前記板状ワーク及び前記もう一つの板状ワークの周囲を大気開放することを特徴とするワーク貼り合わせ機。

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