WO2014097585A1

WO2014097585A1 - 圧力センサとその製造方法

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Publication number: WO2014097585A1
Application number: PCT/JP2013/007303
Authority: WO
Inventors: 伊藤　正道
Original assignee: Denso Corp
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 2012-12-18
Filing date: 2013-12-12
Publication date: 2014-06-26
Anticipated expiration: 2015-06-18
Also published as: DE112013006062B4; DE112013006062T5; JP2014119391A; US20150247772A1; US9588000B2; JP6079206B2

Abstract

　ケース（１０）は、一端の開口部を構成すると共に所定方向に延設された第１導入孔（２１）と、一端の開口部と反対側に位置する他端の開口部を構成すると共に所定方向と異なる方向に延設され、第１導入孔（２１）と連通される第２導入孔（２２）とを含む圧力導入孔（２０）を有する。第１導入孔（２１）を構成する壁面のうち他端の開口部側の壁面と、当該壁面と繋がっている第２導入孔（２２）の壁面との成す角度（θ）は９０°以上である。第２導入孔（２２）は、第１導入孔（２１）と連通する連通部（２２ｂ）と、他端の開口部とは反対側へ連通部（２２ｂ）よりさらに延びる空間増加室（２２ａ）を有する。

Description

圧力センサとその製造方法

関連出願の相互参照

　本開示は、２０１２年１２月１８日に出願された日本出願番号２０１２－２７６０３２号に基づくもので、ここにその記載内容を援用する。

　本開示は、圧力導入孔が形成されたケースにセンサチップが搭載されてなる圧力センサとその製造方法に関する。

　特許文献１には、ケースを貫通するように圧力導入孔が形成され、このケースに測定媒体に応じたセンサ信号を出力するセンサチップが搭載されてなる圧力センサが提案されている。

　具体的には、このような圧力センサでは、圧力導入孔は、所定方向に延設された第１導入孔と、この第１導入孔の延設方向と垂直な方向に延設されると共に第１導入孔と連通される第２導入孔とにより構成されている。つまり、圧力導入孔はいわゆるＬ字状とされている。そして、第１導入孔のうち第２導入孔と連通される側と反対側の一端の開口部が閉塞されるようにセンサチップが搭載されている。

　このような圧力センサは、圧力導入孔のうち第２導入孔が天地方向と平行となり、かつ圧力導入孔のうち一端の開口部と反対側の開口部（第２導入孔のうち第１導入孔と連通される側と反対側の開口部）が地側となるように被取付部材に取り付けられて用いられる。そして、圧力導入孔内に導入された測定媒体に応じたセンサ信号がセンサチップから出力される。

　これによれば、特に第２導入孔内に存在する水滴が重力によって排水され、圧力導入孔が閉塞されることを抑制できる。

特開２００９－４２０５６号公報

　近年では、圧力導入孔に水滴が滞留することをさらに抑制したいという要望がある。つまり、圧力導入孔の排水性をさらに向上させたいという要望がある。

　本開示は、圧力導入孔の排水性を向上させることができる圧力センサとその製造方法を提供することを目的とする。

　本開示の一例によれば、圧力センサは、ケースと、測定媒体に応じたセンサ信号を出力するセンサチップと、を備える。ケースには当該ケースを貫通し、測定媒体を導入する圧力導入孔が形成される。圧力導入孔における一端の開口部を閉塞するようにセンサチップが搭載される。

　圧力導入孔は、一端の開口部を構成すると共に所定方向に延設された第１導入孔と、一端の開口部と反対側に位置する他端の開口部を構成すると共に所定方向と異なる方向に延設され、第１導入孔と連通される第２導入孔と、を含む。第１導入孔を構成する壁面のうち他端の開口部側の壁面と、当該壁面と繋がっている第２導入孔の壁面との成す角度が９０°以上に設定される。第２導入孔は、他端の開口部と他端の開口部と反対側の端部との間で第１導入孔と連通する連通部と、当該連通部からさらに端部を越えて延びる空間増加室を有する。

　このような圧力センサは、圧力導入孔のうち、第２導入孔が天地方向と平行となり、他端の開口部が地側となるように被取付部材に取り付けられて用いられる。空間増加室を有しているため、従来の圧力センサと比較して、他端の開口部とは反対の方向に第２導入孔の長さが長くなる。このため、圧力脈動が生じた際、第２導入孔内に水滴が存在すると、水滴は第２導入孔内を変位するが、この水滴が端部に達した後に他端の開口部に達する場合には水滴に印加される慣性力が大きくなる。したがって、従来の圧力センサより水滴が他端の開口部から排出され易くなり、圧力導入孔の排水性を向上させることができる。

　また、前記圧力センサの製造方法は、合致させることで内部にキャビティを構成する上型および下型と、キャビティ内をスライド可能であって第１導入孔を形成するための第１スライド型と、キャビティ内をスライド可能であって第２導入孔を形成するための第２スライド型と、を備える型を用意する工程と、キャビティ内において、第２スライド型のうちキャビティ内に突出している先端と当該先端の反対側の部分との間に第１スライド型のうちキャビティ内に突出している先端を密着させる工程と、キャビティ内に樹脂を注入し、第１スライド型にて第１導入孔が形成され、第２スライド型にて第２導入孔が形成されたケースを形成する工程と、圧力導入孔における一端の開口部を閉塞するようにセンサチップをケースに搭載する工程と、を有する。

第１実施形態における圧力センサの斜視図である。図１中のII－II線に沿った概略断面図である。図１中のIII－III線に沿った概略断面図である。（ａ）は図１に示すケースを製造する際に用いられる金型の断面模式図、（ｂ）は（ａ）中の二点鎖線部分IVBの拡大図である。図４に示す金型を用いてケースを製造したときの図４中の二点鎖線部分Vに相当するケースの拡大図である。圧力導入孔に圧力導入孔の容量の半分の液体を注入してＹ方向に振動を印加した時、圧力導入孔から液体が排出されるまでの時間を計測した実験結果である。第２実施形態における圧力センサの概略断面図である。第３実施形態における圧力センサの概略断面図である。第４実施形態における圧力センサの概略断面図である。

　以下、実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、同一符号を付して説明を行う。

　（第１実施形態）
　第１実施形態について説明する。なお、本実施形態の圧力センサは、例えば、ディーゼルエンジンの排気管に設けられたディーゼルパティキュレートフィルタ（ＤＰＦ）の圧力損失を検出するために当該排気管に取り付けられ、ＤＰＦの上流側圧力とＤＰＦの下流側圧力との差圧を検出する差圧検出型の圧力センサとして用いられる。

　図１に示されるように、本実施形態の圧力センサは、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、エポキシ樹脂等を型成形することで構成されたケース１０を備えている。

　このケース１０は、一面１１ａおよび他面１１ｂと、これら一面１１ａおよび他面１１ｂを繋ぐ第１～第４側面１１ｃ～１１ｆとを有する略直方体状の本体部１１と、第１側面１１ｃに備えられ、第１側面１１ｃの法線方向に延びる２つのポート部１２と、第２側面１１ｄに備えられるコネクタ部１３と、第３側面１１ｅに備えられる組み付け部１４とにより構成されている。

　ケース１０には、図２および図３に示されるように、測定媒体が導入される圧力導入孔２０が形成されている。この圧力導入孔２０は、本体部１１に形成された第１導入孔２１と、本体部１１およびポート部１２に形成された第２導入孔２２とによって構成されている。

　以下に、本実施形態の圧力導入孔２０の形状について説明する。なお、以下では、一面１１ａ（他面１１ｂ）に対する法線方向をＸ方向とし、第１側面１１ｃ（第３側面１１ｅ）に対する法線方向をＹ方向とし、第２側面１１ｄ（第４側面１１ｆ）に対する法線方向をＺ方向として説明する。

　第１導入孔２１は、本体部１１の一面１１ａに形成された凹部１１ｇの底面から他面１１ｂに向かって形成されている。本実施形態では、第１導入孔２１は、Ｘ方向と平行な方向に延設されている。第２導入孔２２は、ポート部１２を貫通すると共にポート部１２の延設方向（Ｙ方向）に沿って本体部１１にも形成されている。

　そして、第２導入孔２２は、ポート部１２における突出方向の先端側の開口部と、この開口部と反対側の端部との間の部分が第１導入孔２１と連通する連通部２２ｂを有する。これにより、ケース１０には、本体部１１およびポート部１２を貫通する圧力導入孔２０が形成されている。

　また、第２導入孔２２のうち連通部２２ｂよりポート部１２側と反対側の部分に空間増加室２２ａを有するように構成されている。この空間増加室２２ａは、測定媒体を導入するために必要なものではなく、ポート部１２における突出方向の先端側の開口部と、この開口部と反対側の端部との間で第２導入孔２２を長くするためのものである。

　また、第１導入孔２１を構成する壁面のうちポート部１２側の壁面と、この壁面と繋がる第２導入孔２２の壁面との成す角度θが９０°とされている。つまり、本実施形態の圧力導入孔２０は、略Ｔ字状とされている。

　なお、本実施形態では、圧力導入孔２０において、一面１１ａに形成された開口部が一端の開口部に相当し、ポート部１２における突出方向の先端側の開口部が他端の開口部に相当する。また、第１導入孔２１と第２導入孔２２とは、中心を通る軸が交差するように形成されている。

　図１～図３に示されるように、本体部１１に形成された凹部１１ｇには、図示しない接着剤を介してセンサ基板３０が搭載されている。センサ基板３０は、プリント基板等であり、表面（ケース１０側と反対側の一面）に図示しない複数のパッドが形成されていると共にセンサチップ４０および回路チップ４３が搭載されている。また、各圧力導入孔２０と連通する２つの貫通孔３１が形成されている。

　センサチップ４０は、矩形板状のシリコン基板を用いて構成され、裏面に凹部４１が形成されることで構成される薄肉のダイヤフラム４２を有し、このダイヤフラム４２にブリッジ回路を構成するように図示しないゲージ抵抗が形成されたものである。すなわち、本実施形態のセンサチップ４０は、ダイヤフラム４２に圧力が印加されるとゲージ抵抗の抵抗値が変化してブリッジ回路の電圧が変化し、この電圧の変化に応じたセンサ信号を出力する半導体ダイヤフラム式のものである。

　各センサチップ４０は、センサ基板３０に形成された各貫通孔３１を閉塞するように、裏面側がセンサ基板３０に図示しない接着剤を介して搭載されている。これにより、ポート部１２における突出方向の先端側の開口部から圧力導入孔２０に導入された測定媒体がセンサチップ４０に印加される。

　回路チップ４３は、各センサチップ４０に対する駆動信号の出力や外部への検出用信号の出力をすると共に、センサチップ４０からセンサ信号が入力され、当該センサ信号を増幅、演算処理等して外部回路へ出力する制御回路等を備えたものである。そして、センサ基板３０のうちセンサチップ４０と異なる領域に図示しない接着剤を介して搭載されている。

　また、センサチップ４０、回路チップ４３、センサ基板３０に形成されている各パッドは、金やアルミニウム等からなる図示しないボンディングワイヤを介して適宜電気的に接続されている。

　センサ基板３０の各貫通孔３１およびセンサチップ４０の凹部４１には、ゲル状の保護部材５０が配置されている。この保護部材５０は、測定媒体に含まれる腐食ガスや湿度から貫通孔３１（センサ基板３０）やダイヤフラム４２（センサチップ４０）を保護するためのものである。つまり、本実施形態では、測定媒体の圧力が保護部材５０を介してダイヤフラム４２に印加されるようになっている。

　保護部材５０としては、例えば、フッ素ゲル、シリコンゲル、フロロシリコンゲル等が用いられる。特に、測定媒体として排気ガス圧を測定する場合には、排気ガスによる凝縮水は排気ガスに含まれる窒素酸化物や硫黄酸化物が溶け込んで強い酸性を有するため、保護部材５０として耐酸性が強いフッ素ゲルを使用することが好ましい。

　また、図１に示されるように、ケース１０には、金属製のターミナル１５が複数備えられており、各ターミナル１５はインサートモールドによりケース１０と一体に成形されることによってケース１０内に保持されている。

　具体的には、各ターミナル１５は、ケース１０を貫通するように保持されており、一端部が凹部１１ｇ内に突出し、他端部がコネクタ部１３内に突出している。そして、各ターミナル１５のうち凹部１１ｇ内に突出している一端部は、図示しないボンディングワイヤを介して回路チップ４３と電気的に接続されている。また、コネクタ部１３は、第２側面１１ｄの法線方向（Ｙ方向）に延設された円筒状とされており、内部が空洞部とされている。このため、各ターミナル１５のうちコネクタ部１３内に突出している他端部は、コネクタ部１３内において露出しており、外部配線部材等と電気的に接続されるようになっている。

　組み付け部１４には、被取付部材に取り付けられる際にボルト等のネジ部材が挿入される固定孔１４ａが一面１１ａの法線方向（Ｘ方向）に貫通するように形成されている。この固定孔１４ａは、組み付け部１４を構成する樹脂に形成された貫通孔の壁面に金属製のリングがはめ込まれて構成されている。

　次に、上記圧力センサの製造方法について説明する。まず、上記のように圧力導入孔２０が形成されたケース１０を製造するための金型について図４を参照しつつ説明する。

　図４に示されるように、本実施形態の金型６０は、ケース１０の外形を構成する上型６１および下型６２と、上型６１および下型６２が合致されることで形成されるキャビティ６３内をスライド（移動）可能な第１、第２スライド型６４、６５とを備えている。

　第１スライド型６４は、金型６０が有する図示しないピン等の作用によって上型６１内をスライドするものであり、キャビティ６３内に樹脂が注入された際に第１導入孔２１を形成するものである。

　第２スライド型６５は、金型６０が有する図示しないピン等の作用により、上型６１と下型６２との間をスライドするものであり、キャビティ６３内に樹脂が注入された際に第２導入孔２２を形成するものである。本実施形態では、この第２スライド型６５は、上型６１と対向する部分のうち上型６１および下型６２との間に挟まれている部分と反対側の先端側に凹部６５ａが形成されている。つまり、第２スライド型６５は、先端側の厚さが上側６１および下型６２との間に挟まれている部分より薄くされている。

　また、上型６１には、キャビティ６３内へ注入される樹脂の供給通路としてのゲート６６が形成されている。そして、下型６２には、ケース１０を成形した後に当該ケース１０を離型するための図示しないノックアウトピンが形成されている。

　このような金型６０に樹脂を注入して硬化させることにより、ケース１０を製造する。具体的には、まず、上記ターミナル１５を上型６１と下型６２との間に挟持してキャビティ６３内に保持する。

　そして、第１スライド型６４をスライドさせて先端をキャビティ６３内に突出させると共に、第２スライド型６５をスライドさせて先端をキャビティ６３内に突出させる。このとき、図４（ｂ）に示されるように、第２スライド型６５のうち上型６１および下型６２との間に挟まれている部分と反対側の先端部が第１スライド型６４より突出するように、第１スライド型６４の先端面を第２スライド型６５に形成された凹部６５の底面および側面に密着させる。

　その後、金型６０を樹脂の硬化反応に適した温度まで昇温させた後、ゲート６６の上方側に図示しない射出ユニットのノズル部を当接させ、液状の樹脂を射出してゲート６６からキャビティ６３内に樹脂を充填する。これにより、キャビティ６３内に充填された樹脂が硬化されてケース１０が製造される。

　なお、第１スライド型６４と第２スライド型６５の密着部分では、バリが発生する可能性がある。本実施形態では、上記のように第１、第２スライド型６４、６５が密着しているため、図５に示されるように、第１導入孔２１を構成する壁面のうちポート部１２側の壁面と、この壁面と繋がる第２導入孔２２の壁面との間に形成されるバリ７０は、第２導入孔２２内に突出した形状となる。

　次に、第１、第２スライド型６４、６５をスライドさせてケース１０から引き抜く。そして、下型６２に備えられたノックアウトピンを用いてケース１０から上型６１および下型６２を分離させる。

　その後は、上記ケース１０を用いて従来と同様の製造工程を行えばよい。すなわち、まず、貫通孔３１が形成されたセンサ基板３０を用意し、このセンサ基板３０に貫通孔３１を閉塞するようにセンサチップ４０を搭載すると共に回路チップ４３を搭載する。次に、センサチップ４０と回路チップ４３とをボンディングワイヤを介して電気的に接続すると共に、センサ基板３０の貫通孔３１およびセンサチップ４０の凹部４１に保護部材５０を配置する。

　そして、ケース１０に形成された凹部１１ｇにセンサ基板３０を搭載し、ターミナル１５と回路チップ４３とをボンディングワイヤを介して電気的に接続することにより、上記圧力センサが製造される。

　続いて、本実施形態の圧力センサの作動について説明する。

　本実施形態の圧力センサは、圧力導入孔２０のうち、第２導入孔２２が天地方向と平行となり、ポート部１２における突出方向の先端側の開口部が地側となるように、固定孔１４ａにボルト等が挿入されて被取付部材としてのディーゼルエンジンの排気管に取り付けられる。

　圧力導入孔２０の一方にＤＰＦの上流側排気が導入され、圧力導入孔２０の他方にＤＰＦの下流側排気が導入される。これにより、一方のセンサチップ４０で上流側の圧力が検出され、他方のセンサチップ４０で下流側の圧力が検出される。そして、回路チップ４３では、上流側の圧力と下流側の圧力の差が演算され、演算結果がターミナル１５を介して外部回路に出力される。これにより、演算結果からＤＰＦ前後の排気管の差圧が検出される。

　以上説明したように、本実施形態では、圧力センサは、圧力導入孔２０のうち、第２導入孔２２が天地方向と平行となり、ポート部１２における突出方向の先端側の開口部が地側となるように被取付部材（例えば、ディーゼルエンジンの排気管）に取り付けられる。そして、圧力導入孔２０は、第２導入孔２２のうち第１導入孔２１と連通される部分よりポート部１２側と反対側の部分にて構成される空間増加室２２ａを有している。

　このため、図６に示されるように、圧力導入孔２０に圧力導入孔２０の容量の半分の液体を注入してＹ方向に振動を印加した時、圧力導入孔２０から液体が排出されるまでの時間を計測した場合、空間増加室２２ａがない場合と比較して、空間増加室２２ａがあると排水性を高くすることができる。これは、以下の理由によるものである。

　すなわち、空間増加室２２ａにより、従来の圧力センサと比較して、ポート部１２における突出方向の先端側の開口部と、この開口部と反対側の端部との間の距離が長くなる。このため、圧力脈動が生じた際、第２導入孔２２内に水滴が存在すると、水滴は第２導入孔内２２内を変位するが、この水滴が端部に達した後にポート部１２における突出方向の先端側の開口部に達する場合には水滴に印加される慣性力が大きくなる。したがって、従来の圧力センサより水滴がポート部１２における突出方向の先端側の開口部から排出され易くなり、圧力導入孔２０の排水性を向上させることができる。

　なお、図６において、１回目は天地方向（Ｙ方向）に印加される振動の周波数を１０Ｈｚとした実験結果、２回目は天地方向（Ｙ方向）に印加される振動の周波数を３００Ｈｚとした実験結果、３回目は天地方向（Ｙ方向）に印加される振動の周波数を１０００Ｈｚとした実験結果である。また、空間増加室２２ａなしの場合では、２回目、３回目において６００秒間振動を印加し続けても圧力導入孔２０内の液体が排水されなかったため、６００秒で実験を打ち切っている。

　（第２実施形態）
　第２実施形態について説明する。本実施形態は、第１実施形態に対して第２導入孔２２の形状を変更したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。

　図７に示されるように、本実施形態では、空間増加室２２ａを構成する壁面の角部が丸められている。言い換えると、第２導入孔２２は、連通部２２ｂとは反対側の空間増加室２２ａの角部が丸められ、曲率を有する形状とされている。なお、図７は、図１中のII－II線に相当する概略断面図である。

　これによれば、壁面の角部にて水滴と壁面との接触面積が小さくなり、これによって発生する表面張力も小さくなるため、排水性をさらに向上させることができる。

　（第３実施形態）
　第３実施形態について説明する。本実施形態は、第１実施形態に対して第１導入孔２１の形状を変更したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。

　図８に示されるように、本実施形態では、第１導入孔２１の中心を通る軸と、第２導入孔２２の中心を通る軸とが交差していない。具体的には、回路チップ４３の中心を通り、一面１１ａの法線方向に延びる軸ＬからＺ方向における第２導入孔２２までの距離が第１導入孔２１までの距離より長くされている。そして、第１導入孔２１を構成する壁面のうち、第２導入孔２２側に位置する壁面と反対側の壁面（軸Ｌ側の壁面）は、第２導入孔２２側の部分が第２導入孔２２側に傾斜している傾斜部２１ａを有する。なお、図８は、図１中のIII－III線に相当する概略断面図である。

　このように、第１導入孔２１の中心を通る軸と第２導入孔２２の中心を通る軸とが交差していない圧力導入孔２０を有する圧力センサに本開示を適用することもできる。また、第１導入孔２１を構成する壁面のうち、第２導入孔２２側に位置する壁面と反対側の壁面は、第２導入孔２２側の部分が第２導入孔２２側に傾斜している。このため、一面１１ａが天地方向の天側となり、他面１１ｂが地側となるように圧力センサが傾斜して取り付けられた場合、第１導入孔２１に水滴が滞留した場合には、水滴を第２導入孔２２に流し易くすることができる。

　なお、本実施形態では、軸ＬからＺ方向における第２導入孔２２までの距離が第１導入孔２１までの距離より長くされているものについて説明したが、軸ＬからＺ方向における第２導入孔２２までの距離が第１導入孔２１までの距離より短くされていてもよい。

　（第４実施形態）
　第４実施形態について説明する。本実施形態は、第１実施形態に対して第１導入孔２１の形状を変更したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。

　図９に示されるように、本実施形態では、第１導入孔２１は第２導入孔２２に対してポート部１２側（図９において下側）に傾斜している。言い換えると、第１導入孔２１は、第２導入孔２２に対してポート部１２側に傾斜するように連通部２２ｂに向かって延びる。なお、図９は、図１中のII－II線に相当する概略断面図である。

　これによれば、第１導入孔２１に水滴が滞留した場合、水滴を第２導入孔２２に流し易くすることができる。

　（他の実施形態）
　上記各実施形態では、ケース１０に圧力導入孔２０が２つ形成されたものを説明したが、ケース１０に形成される圧力導入孔２０は１つのみであってもよい。

　また、上記各実施形態を適宜組み合わせてもよい。例えば、上記第４実施形態を第２、第３実施形態に組み合わせ、第１導入孔２１を第２導入孔２２側に向かってポート部１２側に傾斜させてもよい。また、上記第２実施形態を上記第３実施形態に組み合わせ、空間増加室２２ａを構成する壁面の角部が丸められていてもよい。

　本開示は、好適な実施例に準拠して記述されたが、本開示は当該実施例や構造に限定されるものではないと理解される。本開示は、様々な変形例や均等範囲内の変形をも包含する。加えて、好適な様々な組み合わせや形態、さらには、それらに一要素のみ、それ以上、あるいはそれ以下、を含む他の組み合わせや形態をも、本開示の範疇や思想範囲に入るものである。

Claims

　ケース（１０）と、
　測定媒体に応じたセンサ信号を出力するセンサチップ（４０）と、を備え、
　前記ケースには当該ケースを貫通し、前記測定媒体を導入する圧力導入孔（２０）が形成され、前記圧力導入孔における一端の開口部を閉塞するように前記センサチップが搭載される圧力センサにおいて、
　前記圧力導入孔は、
　　前記一端の開口部を構成すると共に所定方向に延設された第１導入孔（２１）と、
　　前記一端の開口部と反対側に位置する他端の開口部を構成すると共に前記所定方向と異なる方向に延設され、前記第１導入孔と連通される第２導入孔（２２）と、を含み、
　前記第１導入孔を構成する壁面のうち前記他端の開口部側の壁面と、当該壁面と繋がっている前記第２導入孔の壁面との成す角度（θ）が９０°以上とされ、
　前記第２導入孔は、
　　前記他端の開口部と、前記他端の開口部と反対側の端部との間で前記第１導入孔と連通する連通部（２２ｂ）と、
　　前記他端の開口部から離れるように前記連通部からさらに伸びる空間増加室（２２ａ）とを有する圧力センサ。
　前記第２導入孔は、前記連通部とは反対側の前記空間増加室の角部が丸められている請求項１に記載の圧力センサ。
　前記第１導入孔の中心を通り、前記第１導入孔の延設方向に延びる軸と、前記第２導入孔の中心を通り、前記第２導入孔の延設方向に延びる軸とが交差せず、
　前記第１導入孔を構成する壁面における前記第２導入孔側と反対側に位置する壁面は、前記一端の開口部と反対側の部分が前記第２導入孔側に傾斜している傾斜部（２１a）を有する請求項１または２に記載の圧力センサ。
　前記第１導入孔は、前記一端の開口部側から前記第２導入孔の連通部に向かって前記他端の開口部側に傾斜している請求項１ないし３のいずれか１つに記載の圧力センサ。
　前記ケースには、２つの前記圧力導入孔が形成されており、
　２つの前記圧力導入孔には、異なる測定媒体が導入される請求項１ないし４のいずれか１つに記載の圧力センサ。
　請求項１ないし５のいずれか１つに記載の圧力センサの製造方法であって、
　合致させることで内部にキャビティ（６３）を構成する上型（６１）および下型（６２）と、前記キャビティ内をスライド可能であって前記第１導入孔を形成するための第１スライド型（６４）と、前記キャビティ内をスライド可能であって前記第２導入孔を形成するための第２スライド型（６５）と、を備える型（６０）を用意する工程と、
　前記キャビティ内において、前記第２スライド型のうち前記キャビティ内に突出している先端と当該先端の反対側の部分との間に前記第１スライド型のうち前記キャビティ内に突出している先端を密着させる工程と、
　前記キャビティ内に前記樹脂を注入し、前記第１スライド型にて前記第１導入孔が形成され、前記第２スライド型にて前記第２導入孔が形成された前記ケースを形成する工程と、
　前記圧力導入孔における前記一端の開口部を閉塞するように前記センサチップを前記ケースに搭載する工程と、を有する圧力センサの製造方法。
　前記型を用意する工程では、前記第２スライド型として、前記キャビティ内に突出している先端側に凹部が形成されたものを用意し、
　前記密着させる工程では、前記第１スライド型のうち前記キャビティ内に突出している先端を前記凹部の底面および側面に密着させる請求項６に記載の圧力センサの製造方法。