KR102263026B1 - 압력센서 및 이의 제조방법 - Google Patents

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KR102263026B1
KR102263026B1 KR1020190178737A KR20190178737A KR102263026B1 KR 102263026 B1 KR102263026 B1 KR 102263026B1 KR 1020190178737 A KR1020190178737 A KR 1020190178737A KR 20190178737 A KR20190178737 A KR 20190178737A KR 102263026 B1 KR102263026 B1 KR 102263026B1
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김치연
최준환
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주식회사 현대케피코
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Abstract

본 발명은 유동하는 유체의 압력을 측정할 수 있는 압력센서에 관한 것으로서, 유체가 유입되는 흡입공이 하부에 형성된 센서바디; 상기 센서바디의 상부에 배치되는 센서엘리먼트; 상기 센서엘리먼트의 상면에 안착되어 상기 흡입공으로부터 유입된 유체의 압력을 검출하는 검출소자; 상기 센서엘리먼트의 상부에 배치되어 상기 검출소자와 연결된 인쇄회로기판; 상기 센서바디의 상면에 고정되고, 상기 인쇄회로기판이 고정되는 받침부; 상기 받침부의 상부에 배치되어 상기 센서엘리먼트 및 상기 인쇄회로기판을 은폐시키는 하우징; 상기 센서바디와 상기 하우징을 결합시키는 플랜지;를 포함하고, 상기 센서바디와 상기 센서엘리먼트는 상호 일체형으로 이루어진다.

Description

압력센서 및 이의 제조방법{DEVICE FOR EMASURING PRESSURE}
본 발명은 압력센서 및 이의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 유동하는 유체의 압력을 측정할 수 있는 압력센서에 관한 것이다.
일반적으로 압력센서는 각종 압력을 측정하는 데 이용되는 측정기구의 일종이다.
압력센서는 자동차, 화학설비, 반도체 제조설비 등에서, 유체가 통과하는 유로 또는 밸브측에 설치되어 유체의 압력을 측정하는 데 주로 많이 이용되며, 예컨대 자동차의 매니폴드 압력, 엔진 유압, 연료전지 차량의 수소가스 또는 공기의 압력, 소음기 내의 배기가스 압력, 그외 기타 일반 산업용 압력계 등에 저압에서 고압에 이르기까지 넓은 압력 범위를 고정밀도로 측정하는 데 사용된다.
이러한 압력센서는 유체가 유입되는 압력도입구 및 압력도입구에 근접하여 설치된 압력소자로 구성되고, 압력소자는 반도체칩 또는 스트레인게이지 등과 같이 다양한 소자로 구성될 수 있다.
대한민국 공개특허공보 제10-2005-0014871호, 대한민국 공개특허공보 제10-2013-0037066호 등에 다양한 구조의 압력센서가 나타나 있다.
이러한 압력센서는 유동하는 유체의 압력을 검출하는 센서엘리먼트와, 이러한 상기 센서엘리먼트에서 발생된 신호를 외부로 전달하는 커넥터어셈블리와, 상기 센서엘리먼트의 하부에 배치되어 결합되는 하우징과, 상기 센서엘리먼트와 연결된 인쇄회로기판과, 상기 인쇄회로기판을 접지시키는 접지부재 등을 포함하여 구성된다.
여기서, 종래의 압력센서는 센서엘리먼트와 하우징이 별도로 제작되었다.
이로 인해 센서엘리먼트와 하우징의 조립공정이 추가되었고, 제작비용이 상승하는 문제가 있었다.
그리고, 외부의 힘에 의해 압력센서에 충격이 발생되면 센서엘리먼트와 하우징의 상호 접하는 부분이 서로 떨어지는 경우도 발생되었다.
특히, 하우징의 경우 MIM(METAL INJECTION MOLDING)공법을 이용하여 제작하였으나, 센서엘리먼트에 MIM공법을 적용할 경우 국부적 수축에 의한 변형과 재료 내부 기공이 있어 센서엘리먼트에 적용하기에는 어려움이 있었다.
상기한 이유로 해당분야에서는 압력센서의 조립을 강건하게 하고, 조립공정 및 제작비용을 낮출 수 있는 방안을 모색하고 있으나, 현재까지는 만족할 만한 결과를 얻지 못하고 있는 실정이다.
본 발명은 전술한 문제점을 해결하고자 하는 것으로서, 압력센서의 조립을 강건하게 하고, 조립공정 및 제작비용을 낮출 수 있는 압력센서를 제공하는데 있다.
본 발명의 일실시예에 의한 압력센서는, 유체가 유입되는 흡입공이 하부에 형성된 센서바디; 상기 센서바디의 상부에 배치되는 센서엘리먼트; 상기 센서엘리먼트의 상면에 안착되어 상기 흡입공으로부터 유입된 유체의 압력을 검출하는 검출소자; 상기 센서엘리먼트의 상부에 배치되어 상기 검출소자와 연결된 인쇄회로기판; 상기 센서바디의 상면에 고정되고, 상기 인쇄회로기판이 고정되는 받침부; 상기 받침부의 상부에 배치되어 상기 센서엘리먼트 및 상기 인쇄회로기판을 은폐시키는 하우징; 상기 센서바디와 상기 하우징을 결합시키는 플랜지;를 포함하고, 상기 센서바디와 상기 센서엘리먼트는 상호 일체형으로 이루어진다.
상기 센서바디 및 상기 센서엘리먼트는 MIM(Metal Injection Molding)공법으로 성형된다.
상기 센서바디 측면의 두께는 압력에 따라 상기 센서엘리먼트 상면의 두께보다 1.2배 내지 6배 두껍다.
상기 하우징에 내장된 터미널; 상기 터미널과 상기 인쇄회로기판을 연결하는 탄성부재;를 더 포함한다.
상기 센서바디 및 상기 받침부의 하부에는 제1기밀부재 및 제2기밀부재가 각각 배치된다.
본 발명의 일실시예에 의한 압력센서의 제조방법은, 상기 센서바디와 상기 센서엘리먼트를 일체로 형성하는 단계; 상기 센서바디와 상기 센서엘리먼트를 상기 받침부에 용접결합하는 단계; 상기 검출소자를 상기 센서엘리먼트상부에 결합하는 단계; 상기 인쇄회로기판을 상기 받침부에 결합하는 단계; 상기 검출소자와 상기인쇄회로기판을 상호 와이어 본딩하여 연결하는 단계; 상기 플랜지를 상기 받침부에 용접결합하는 단계; 상기 하우징의 안착공에 상기 탄성부재를 삽입하는 단계; 상기 받침부에 결합된 상기 플랜지의 지지부 안쪽에 상기 하우징이 삽입되는 단계; 상기 플랜지의 절곡부를 상기 하우징 방향으로 절곡하는 단계를 포함한다.
상기 센서바디와 상기 센서엘리먼트를 일체로 형성하는 단계는, 상기 센서바디 및 상기 센서엘리먼트는, 상기 센서바디 및 상기 센서엘리먼트 형상을 이루는 캐비티가 형성된 금형에 의해 성형되고, 상기 금형의 상부에 게이트가 형성되어 상기 게이트를 통해 상부로부터 상기 캐비티로 성형재료가 주입된다.
본 발명에 따른 압력센서는, 압력센서는 금형의 캐비티를 기준으로 금형 상부에 게이트가 형성되어 게이트를 통해 상부로부터 성형재료가 주입됨으로써, 센서바디 및 센서엘리먼트를 일체형으로 제작하는 과정에서 국부적 수축에 의한 변형과 재료 내부 기공이 발생되는 것을 효과적으로 방지할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 압력센서를 나타낸 사시도.
도 2은 본 발명의 일실시예에 따른 압력센서의 센서바디 및 센서엘리먼트를 나타낸 단면도.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 압력센서의 단면을 나타낸 단면도.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 압력센서의 단면을 나타낸 단면도.
도 5a 및 4b는 본 발명의 실시예에 따른 플랜지의 절곡과정을 설명하기 위한 단면도.
도 6는 본 발명의 일실시예에 따른 압력센서의 제작방법을 나타낸 순서도.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 게이트의 위치를 나타내기 위한 단면도.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 기재에 의해 정의된다. 한편, 본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자 이외의 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 압력센서를 나타낸 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 압력센서의 단면을 나타낸 단면도이며, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 압력센서의 센서바디 및 센서엘리먼트를 나타낸 단면도이고, 도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 압력센서의 단면을 나타낸 단면도이고, 도 5a 및 4b는 본 발명의 실시예에 따른 플랜지의 절곡과정을 설명하기 위한 단면도이다.
도 1내지 도 4와 도 5a 및 도 5b를 참조하면 본 발명의 일실시예에 따른 압력센서는 센서바디(100)와 센서엘리먼트(200)와 인쇄회로기판(400_PCB: PRINTED CIRCUIT BOARD)과 받침부(500)와 하우징(600)과 플랜지(700)와 터미널(800) 및 탄성부재(900)를 포함한다.
센서바디(100)는 상기 센서바디(100)는 중공 원통형상으로 형성된 것으로서, 유체가 유입되는 흡입공(110)이 하부에서 외부로 노출되게 형성된다.
즉, 센서바디(100)는 유체 예컨대 공기 등이 흡입공(110)을 통해 유입될 수 있도록 한다.
센서엘리먼트(200)는 센서바디(100)의 상부에 배치되고, 상면에 검출소자(300)가 배치되어 검출소자(300)를 지지한다.
이러한 센서엘리먼트(200)는 도 2에 도시된 바와 같이 상기 센서바디(100)와 상호 일체형으로 이루어진다.
즉, 센서바디(100)는 하부가 흡입공(110)에 외부와 연통되어 있고, 상부는 센서엘리먼트(200)에 의해 폐쇄되어 있다.
그리고, 센서바디(100)와 센서엘리먼트(200)는 MIM (Metal Injection Molding)공법에 의해 성형된다.
MIM공법은 금속부품의 정밀성형법으로써, 일반 금형의 성형에 비해 얇고 복잡한 형상의 부품 성형이 가능한 공법이다.
이러한 MIM공법을 이용하여 센서바디(100) 및 센서엘리먼트(200)를 상호 일체형으로 형성함으로써, 압력센서의 전체적인 조립을 강건하게 하고, 센서바디(100)와 센서엘리먼트(200)를 별도로 제작하여 서로 조립했던 종래와 달리 조립공정 및 제작비용을 효과적으로 감소시킬 수 있다.
한편, 센서바디(100) 및 센서엘리먼트(200)를 MIM공법을 이용하여 일체로 형성할 때, 센서엘리먼트(200)의 상부로부터 성형부재가 주입됨이 바람직하다.
이로 인해 센서바디(100) 및 센서엘리먼트(200)의 제작과정에서 국부적 수축에 의한 변형과 재료 내부 기공이 발생되는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
그리고, 센서바디(100) 및 센서엘리먼트(200)를 MIM공법을 이용하여 일체로 형성할 때, 도 2에 도시된 바와 같이 센서바디(100) 측면의 두께(D1)는 압력에 따라 센서엘리먼트(200) 상면의 두께(D2)보다 1.2배 내지 6배 두껍게 제작한다.
즉, 센서바디(100)의 두께가 센서엘리먼트(200)의 두께보다 두꺼움으로써, 외부의 힘으로부터 흡입공(110)에 유입되는 유체를 견고하게 보호할 수 있고, 센서엘리먼트(200)의 두께가 센서바디(100)의 두께보다 얇음으로써, 흡입공(110)을 통해 유입되는 유체의 압력을 센서엘리먼트(200)의 상면에 배치된 검출소자(300)에 명확하게 전달할 수 있다.
한편, 본 발명에서는 센서바디(100)에는 중공 원통형상의 흡입공(110)이 형성되어 있는 것으로 설명하였지만, 본 발명의 다른 실시예에서는 도 4에 도시된 바와 같이 센서바디(100)에 온도센서가 수용될 수 있는 수용부(120)가 형성될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예와 같이 수용부(120)가 형성된 구조로 이루어진 센서바디(100)에서도 센서바디(100)의 흡입공(110) 영역과 센서엘리먼트(200)가 상호 일체로 형성된다.
검출소자(300)는 센서엘리먼트(200)의 상면에 안착되어 흡입공(110)으로부터 유입된 유체의 압력을 검출한다.
그리고, 검출소자(300)는 상부에 겔(GELL) 등을 도포하여 외부로부터 보호할 수 있도록 함이 바람직하다.
인쇄회로기판(400)은 받침부(500)의 상부에 배치된 것으로서, 검출소자(300)와 와이어 본딩 등을 통해 상호 연결된다.
그리고, 인쇄회로기판(400)은 받침부(500)의 상면에 접착제 등을 통해 결합된다.
받침부(500)는 하우징(600) 및 센서바디(100) 사이에 배치되는 것으로서, 상면에 인쇄회로기판(400)이 고정된다.
그리고, 받침부(500)는 중심부에 센서엘리먼트(200)의 상부가 배치되기 위한 홀이 형성되어 있다.
이러한 받침부(500)는 압력센서의 사용환경에 따라 이미 일체로 형성된 센서바디(100) 및 센서엘리먼트(200)와 추가로 일체로 형성될 수 있고, 센서바디(100) 및 센서엘리먼트(200)와 별개로 제작되어 용접을 통해 상호 결합될 수 있다.
하우징(600)은 센서바디(100)의 상부, 구체적으로 받침부(500)의 상면에 결합되어 센서엘리먼트(200)의 상부에 안착된 검출소자(300) 및 인쇄회로기판(400)을 외부로 노출되지 않도록 은폐시킨다.
하우징(600)과 센서바디(100) 사이에 검출소자(300) 및 인쇄회로기판(400)이 배치될 수도 있도록 하우징(600)의 하부에는 실장공간이 형성되어 있다.
플랜지(700)는 받침부(500)에 고정된 센서바디(100)와 하우징(600)을 결합시키기 위한 것으로서, 전체적으로 링 형상으로 형성되어 하우징(600)의 하부 둘레에 배치된다.
이러한 플랜지(700)는 지지부(710)와 결합부(720) 및 절곡부(730)로 이루어진다.
지지부(710)는 링 형상으로 형성되어 하우징(600)의 둘레에 배치된다.
결합부(720)는 지지부(710)의 하단에서 바깥방향으로 절곡된 형상으로 이루어지고, 받침부(500)의 상면에 용접결합된다.
이러한 결합부(720)는 지지부(710)와 같이 링 형상으로 형성되어, 받침부(500)에 원형으로 용접되도록 함이 바람직하다.
절곡부(730)는 도 5a에 도시된 바와 같이 지지부(710)의 상단에 상방향으로 돌출 형성되어, 도 5b에 도시된 바와 같이 하우징(600)의 외부에서 하우징(600) 방향으로 절곡된다.
이때, 절곡부(730)는 지지부(710)의 상단을 따라 링 형상으로 될 수도 있으나, 본 실시예에서 절곡부(730)는 지지부(710)의 상단 중 양측에만 형성하였다.
위와 같은 절곡부(730)의 상단이 하우징(600) 방향으로 절곡됨으로써, 도 5b에 도시된 바와 같이 받침부(500)에 고정된 센서바디(100)와 하우징(600)을 결합하게 된다.
터미널(800)은 하우징(600)에 내장된 것으로서, 대략 '└'형상으로 절곡된 형상으로 이루어진다.
탄성부재(900)는 터미널(800)과 인쇄회로기판(400)을 상호 전기적으로 연결한다.
한편, 하우징(600)의 하면에서 인쇄회로기판(400)과 겹쳐지는 영역에는 안착공(610)이 형성되어 있다.
이러한 안착공(610)의 상단에는 상기 '└'형상으로 이루어진 터미널(800)의 일단이 장착되고, 상기 안착공(610)의 하단에는 인쇄회로기판(400)이 접한다.
그리고, 안착공(610)의 내부에는 탄성부재(900)가 삽입된다.
즉, 탄성부재(900)는 안착공(610)에 삽입된 상태에서 상단이 터미널(800)의 일단에 접하고 하단이 인쇄회로기판(400)에 접하여, 인쇄회로기판(400)과 터미널(800)을 전기적으로 연결한다.
이러한 탄성부재(900)는 센서바디(100)와 하우징(600)이 결합된 상태에서 압축된 상태에 놓여 있도록 한다.
따라서, 인쇄회로기판(400)의 전기신호는 탄성부재(900)와 터미널(800)을 통해 터미널(800)의 타단에 연결된 외부기기(도시하지 않음)로 전달될 수 있다.
한편, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 센서바디(100)의 하면과 외부하우징(600)(도시하지 않음) 또는 받침부(500)의 하면과 외부하우징(600)(도시하지 않음)사이에 각각 배치되어 외부의 이물질이 압력센서 내부로 유입되는 것을 차단하는 제1기밀부재(1100) 및 제2기밀부재(1200)를 더 포함할 수 있다.
이로 인해 기밀부재는 이물질이 센서바디(100)와 외부하우징(600)(도시하지 않음) 또는 받침부(500)와 외부하우징(600)(도시하지 않음)사이로 유입되는 것을 효과적으로 차단할 수 있다.
이하, 상술한 구성으로 이루어진 본 발명의 플랜지(700)의 구조를 포함한 압력 측정 장치 전체의 조립과정에 대해 도면을 참조하여 살펴본다.
도 6는 본 발명의 일실시예에 따른 압력센서의 제작방법을 나타낸 순서도이고, 도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 게이트의 위치를 나타내기 위한 단면도이다,
도 6 및 도 7을 참조하면 먼저, MIM공법을 이용하여 센서바디(100) 및 센서엘리먼트(200) 형상을 이루는 캐비티가 형성된 금형에 의해 센서바디(100)와 센서엘리먼트(200)를 상호 일체형으로 성형(S110)한다.
이때, 상기 금형에는 도 7에 도시된 바와 같이 캐비티를 기준으로 상부에 게이트(G)가 형성되어 게이트(G)를 통해 상부로부터 성형재료가 주입된다.
이로 인해, 센서바디(100) 및 센서엘리먼트(200)의 제작과정에서 국부적 수축에 의한 변형과 재료 내부 기공이 발생되는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
한편, 본 발명의 다른 실시예에서는 센서바디(100)에 온도센서가 수용될 수 있는 수용부(120)가 형성됨도 가능하다.
이러한 경우에도. 캐비티를 기준으로 상부에 게이트(G)가 형성되어 게이트(G)를 통해 상부로부터 성형재료가 주입된다.
그리고, 상기 일체형으로 형성된 센서바디(100) 및 센서엘리먼트(200)를 받침부(500)에 상호 용접결합(S120)한다.
이어서, 검출소자(300)를 센서엘리먼트(200)의 상면에 결합(S130)하고, 인쇄회로기판(400)을 받침부(500)에 결합(S140)한다.
그 후 검출소자(300)와 인쇄회로기판(400)을 와이어 본딩하여 검출소자(300)와 인쇄회로기판(400)을 상호 전기적으로 연결(S150)한다.
그리고, 플랜지(700)를 받침부(500)의 상면에 결합(S160)한다.
구체적으로 플랜지(700)의 결합부(720)를 받침부(500)의 상면에 용접결합하여 고정시킨다.
한편, 터미널(800)은 인서트 사출 등을 통해 하우징(600)에 내장되어 있는 바, 탄성부재(900)를 하우징(600)의 안착공(610)에 삽입(S170)한다.
그 후에는 플랜지(700)가 결합된 받침부(500)를 하우징(600)의 하부에 배치한 상태에서, 플랜지(700)의 지지부(710)의 안쪽에 하우징(600)의 하단이 삽입 배치되도록 조립(S180)한다.
지지부(710)의 안쪽에 하우징(600)의 하부가 삽입 배치되면, 도 5b에 도시된 바와 같이 플랜지(700)의 절곡부(730)를 하우징(600) 방향으로 절곡(S190)시켜 받침부(500)에 고정된 센서바디(100)와 하우징(600)이 결합되도록 한다.
한편, 상기 센서바디(100)의 하면과 외부하우징(600)(도시하지 않음) 또는 받침부(500)의 하면과 외부하우징(600)(도시하지 않음) 사이에는 제1기밀부재(1100) 및 제2기밀부재(1200)가 각각 배치되어 압력센서 내부로 이물질이 유입되는 것을 차단한다.
이상 상술한 바와 같이 본 발명에 의한 압력센서는 금형의 캐비티를 기준으로 금형 상부에 게이트가 형성되어 게이트를 통해 상부로부터 성형재료가 주입됨으로써, 센서바디(100) 및 센서엘리먼트(200)를 일체형으로 제작하는 과정에서 국부적 수축에 의한 변형과 재료 내부 기공이 발생되는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
본 발명은 전술한 실시예에 국한하지 않고, 본 발명의 기술사상이 허용되는 범위내에서 다양하게 변형하여 실시할 수 있다.
100: 센서바디 110: 흡입공
200: 센서엘리먼트 300: 검출소자
400: 인쇄회로기판 500: 받침부
600: 하우징 610: 안착공
700: 플랜지 710: 지지부
720: 결합부 730: 절곡부
800: 터미널 900: 탄성부재
1100: 제1기밀부재 1200: 제2기밀부재
G: 게이트

Claims (7)

  1. 유체가 유입되는 흡입공이 하부에 형성된 센서바디;
    상기 센서바디의 상부에 배치되는 센서엘리먼트;
    상기 센서엘리먼트의 상면에 안착되어 상기 흡입공으로부터 유입된 유체의 압력을 검출하는 검출소자;
    상기 센서엘리먼트의 상부에 배치되어 상기 검출소자와 연결된 인쇄회로기판;
    상기 센서바디의 상면에 고정되고, 상기 인쇄회로기판이 고정되는 받침부;
    상기 받침부의 상부에 배치되어 상기 센서엘리먼트 및 상기 인쇄회로기판을 은폐시키는 하우징;
    상기 센서바디와 상기 하우징을 결합시키는 플랜지;를 포함하고,
    상기 센서바디와 상기 센서엘리먼트는 상호 일체형으로 이루어지고,
    상기 센서바디 및 상기 센서엘리먼트는 MIM(Metal Injection Molding)공법으로 성형되며,
    상기 센서바디 측면의 두께는 압력에 따라 상기 센서엘리먼트 상면의 두께보다 1.2배 내지 6배 두꺼운 것
    인 압력센서.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 하우징에 내장된 터미널;
    상기 터미널과 상기 인쇄회로기판을 연결하는 탄성부재;를 더 포함하는 것
    인 압력센서.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 센서바디 및 상기 받침부의 하부에는
    제1기밀부재 및 제2기밀부재가 각각 배치되는 것
    인 압력센서.
  6. 유체가 유입되는 흡입공이 하부에 형성된 센서바디와, 상기 센서바디의 상부에 배치되는 센서엘리먼트와, 상기 흡입공으로부터 유입된 유체의 압력을 검출하는 검출소자와, 상기 검출소자와 연결된 인쇄회로기판과, 상기 인쇄회로기판이 고정되는 받침부와, 상기 센서엘리먼트 및 상기 인쇄회로기판을 은폐시키는 하우징과, 상기 센서바디와 상기 하우징을 결합시키는 플랜지를 포함하는 압력센서의 제조방법에 있어서,
    상기 센서바디와 상기 센서엘리먼트를 일체로 형성하는 단계;
    상기 센서바디와 상기 센서엘리먼트를 상기 받침부에 용접결합하는 단계;
    상기 검출소자를 상기 센서엘리먼트상부에 결합하는 단계;
    상기 인쇄회로기판을 상기 받침부에 결합하는 단계;
    상기 검출소자와 상기인쇄회로기판을 상호 와이어 본딩하여 연결하는 단계;
    상기 플랜지를 상기 받침부에 용접결합하는 단계;
    상기 하우징의 안착공에 상기 하우징에 내장된 터미널 및 상기 받침부에 결합된 상기 인쇄회로기판을 연결하는 탄성부재를 삽입하는 단계;
    상기 받침부에 결합된 상기 플랜지의 지지부 안쪽에 상기 하우징이 삽입되는 단계;
    상기 플랜지의 절곡부를 상기 하우징 방향으로 절곡하는 단계를 포함하고,
    상기 센서바디 및 상기 센서엘리먼트는 MIM(Metal Injection Molding)공법으로 성형되며,
    상기 센서바디 측면의 두께는 압력에 따라 상기 센서엘리먼트 상면의 두께보다 1.2배 내지 6배 두꺼운 것
    인 압력센서의 제조방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 센서바디와 상기 센서엘리먼트를 일체로 형성하는 단계는,
    상기 센서바디 및 상기 센서엘리먼트는, 상기 센서바디 및 상기 센서엘리먼트 형상을 이루는 캐비티가 형성된 금형에 의해 성형되고,
    상기 금형의 상부에 게이트가 형성되어 상기 게이트를 통해 상부로부터 상기 캐비티로 성형재료가 주입되는 것
    인 압력센서의 제조방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2708905B2 (ja) * 1989-08-11 1998-02-04 三洋電機株式会社 半導体圧力センサの製造方法
JP5108202B2 (ja) * 2003-12-29 2012-12-26 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング 圧力センサを製造する方法及び圧力センサ
JP5222295B2 (ja) * 2006-09-15 2013-06-26 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング 圧力と温度を組合わせて測定するための差込みセンサ
KR101395850B1 (ko) * 2013-10-01 2014-05-16 주식회사 현대케피코 압력 측정 장치

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