WO2014073548A1 - Système optique de modulation spatiale de lumière, système optique d'éclairage, dispositif d'exposition et procédé de fabrication du dispositif - Google Patents

Système optique de modulation spatiale de lumière, système optique d'éclairage, dispositif d'exposition et procédé de fabrication du dispositif Download PDF

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水野　恭志
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株式会社ニコン
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    • G03F7/70116—Off-axis setting using a programmable means, e.g. liquid crystal display [LCD], digital micromirror device [DMD] or pupil facets

Abstract

La présente invention concerne un système optique d'éclairage pouvant atteindre une distribution souhaitée d'intensité de pupille par la suppression de l'effet de lumière inutile ne provenant pas d'un élément miroir d'un modulateur spatial de lumière. Le système selon l'invention est équipé : d'un modulateur spatial de lumière comprenant une pluralité d'éléments miroirs qui sont disposés en réseau selon un plan prédéterminé et sont commandés individuellement; et d'un système optique de formation de distribution qui amène la lumière qui a traversé le modulateur spatial de lumière à être distribuée suivant une distribution prédéterminée d'intensité lumineuse sur la pupille d'éclairage du système optique d'éclairage. La direction d'une quelconque paire donnée de bords opposés de deux éléments miroirs adjacents de la pluralité d'éléments miroirs du modulateur spatial de lumière, et la direction de la ligne d'intersection entre un plan prédéterminé et un plan perpendiculaire au plan prédéterminé contenant la ligne axiale d'un faisceau lumineux entrant dans le modulateur spatial de lumière se croisent à un angle requis qui n'est pas égal à 0 °.
PCT/JP2013/079955 2012-11-07 2013-11-06 Système optique de modulation spatiale de lumière, système optique d'éclairage, dispositif d'exposition et procédé de fabrication du dispositif WO2014073548A1 (fr)

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