WO2014008983A1 - Dlc beschichtungen mit erhöhter korrosionsbeständigkeit - Google Patents

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Definitions

  • the present invention relates to a method of blackening metal surfaces while maintaining corrosion resistance and hardness at low friction.
  • such parts are initially cured by induction heating today.
  • the resulting martensite structure leads to a hardness of about 2000 MPa.
  • the corresponding surfaces tend to intergranular corrosion. If a carbon layer were to be applied to the surface hardened in this way, the resulting surface would be hard, black and reduced in friction, but not resistant to corrosion.
  • the surfaces are usually coated after induction hardening with a 20 to 25pm thick chromium layer by electroplating. Subsequently, the surface is polished to lubricate the resulting cracks in the electroplating process. Subsequently, the component is then covered with a DLC layer, which gives the surface the black color and reduces the friction.
  • DLC Diamond Like Carbon (diamond-like carbon). These are amorphous carbon layers in which graphite-like and diamond-like structures occur side by side in the nanometer range, ie the carbon occurs in so-called sp 2 and sp 3 hybridization. A high sp3 content leads to a hard, diamond-like layer. A high sp2 content results in a soft graphite-like layer.
  • a disadvantage of this method are the resulting high production costs, which are essentially due to the necessary electroplating. For this reason, the application of this method is currently limited to so-called high-end products. The electroplating process is not only cost intensive but also significantly pollutes the environment due to the necessary solvents. For this reason too, one wants to get away from this technology as much as possible.
  • the surface to be treated is first nitrided and then coated with a DLC layer. Nitriding combined with DLC provides some corrosion resistance. Furthermore, the DLC layer gives the surface the desired color and reduces the friction. However, the problem is that such a process does not achieve the often necessary hardness.
  • the invention has for its object to provide such a method.
  • the object is achieved by components having a thickness of not more than two millimeters in that the component is first hardened, for example, by means of induction hardening. Subsequently, the component is nitrided to make the surface corrosion resistant. Nitriding reduces the hardness of the component to a certain degree again. However, the connection and diffusion layer formed by the nitriding gives the thin component additional stability on both sides. Subsequently, the component is coated with a DLC layer, which gives the surface a black color and reduces the friction of the surface.
  • FIG. 1 shows schematically the layer structure of a component treated with the method according to the invention.
  • the component is a pipe with 1.6mm wall thickness of low alloy steel with pearlite structure.
  • the tube is first heated in an induction furnace to the extent that the perlite is converted into austenite. For this purpose between 700 ° C and 1100 ° C are necessary. It is important to ensure that the tube is heated for a sufficient length of time so that the transformation into austenite is complete. Subsequently, the quenching takes place, for example, by flowing around the tube with cooled nitrogen or ammonia, so that a tetragonal distorted iron lattice (martensite) is produced in which carbon is embedded. A division of the quenching in intervals to avoid cracks and shell cracks is not absolutely necessary because the tube is thin enough.
  • the hardened tube After quenching, the hardened tube is brittle. According to the invention but can be dispensed with the usual tempering during tempering, since the tube is now nitrided and at this nitriding the tube is heated to about 450 °.
  • nitriding for example, plasma nitriding or gas nitriding is suitable.
  • plasma nitriding the tube is placed in a treatment chamber, which is first evacuated and then ammonia is introduced into the tube.
  • a plasma generator a plasma is now ignited above the tube, in which ammonia dissociates to form nitrogen and hydrogen.
  • this compound layer it can be oxidized.
  • the hardness would concretely drop to approx. 900MPa, but the connection and diffusion layer of the thin component resulting from the nitriding again provides additional stability on both sides.
  • the component is coated with a 2 pm thick DLC layer, for example by means of PECVD, which gives the surface a black color and reduces the friction of the surface.
  • This coating can take place in the same treatment chamber as the plasma nitriding.
  • the reduction of the friction of the surface can be achieved, for example, by incorporating in the DLC layer a hydrogen content of 16% to 20% by%, which leads to increased sp 2 hybridization of the carbon compounds.
  • a tube shown schematically as a partial region in FIG. 1, has its substrate 3 comprising a large percentage of martensite structure, in the surface of which nitrogen has diffused and thus forms a diffusion layer 5.
  • nitriding compound layer 7 On the diffusion layer 5 is formed by nitriding compound layer 7, whose outer region is preferably oxidized.
  • a DLC layer is provided, which gives the tube a black finish and reduces the friction of the surface.
  • the treatment chamber should include an induction furnace, a plasma generator for nitriding and the PECVD coating and gas access for the ammonia. While the tube is heated by induction can then be started to evacuate the treatment chamber. For quenching you can then cooled Allow ammonia to flow into the treatment chamber: This has the advantage that the fluid used for quenching does not have to be completely pumped off because it is needed anyway for the subsequent plasma nitriding step.

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Behandlung einer Komponente zur Härtung, Erhöhung der Korrosionsbeständigkeit, Herabsetzung der Reibung und Schwärzung der Oberfläche, wobei das Verfahren folgende Schritte umfasst: - Bereitstellung der zu behandelnden Komponente - Härtung der Komponente vorzugsweise mittels Induktionshärtung - Erzeugung einer Stickstoffdiffusionsschicht mittels Nitrierung - Erzeugung einer Verbindungsschicht mit ε- und γ'-Eisennitriden ebenfalls mittels Nitrierung - Beschichtung der Komponente mit einer amorphen Kohlenstoffschicht

Description

DLC Beschichturtgen mit erhöhter Korrosionsbeständigkeit
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Schwärzung von Metalloberflächen, wobei gleichzeitig Korrosionsbeständigkeit und Härte erreicht werden soll bei niedriger bzw. herabgesetzter Reibung.
Anwendung findet das erfinderische Verfahren auf Produkte z.B. aus der Automobilindustrie auf der Basis von niedrig legierten Kohlenstoff Stahl, insbesondere auf Produkte deren Materialstärke 2mm nicht übersteigt.
Typischerweise werden solche Teile heutzutage zunächst mittels Induktionserwärmen gehärtet. Die dabei entstehende Martensitstruktur führt zu einer Härte von ca. 2000 MPa. In wässrigen Umgebungen neigen die entsprechenden Oberflächen jedoch zur interkristallinen Korrosion. Würde man nun auf die derart gehärtete Oberfläche eine Kohlenstoffschicht aufbringen, so wäre die dadurch entstehende Oberfläche zwar hart, schwarz und reibungsvermindert, jedoch nicht korrosionsbeständig. Um dem entgegenzuwirken werden die Oberflächen in der Regel nach dem Induktionshärten mit einer 20 bis 25pm dicken Chromschicht mittels Galvanik überzogen. Anschliessend wird die Oberfläche poliert um die bei dem Galvanikverfahren entstehenden Risse zuzuschmieren. Anschliessend wird die Komponente dann noch mit einer DLC -Schicht bedeckt, welche der Oberfläche die schwarze Farbe verleiht und die Reibung herabsetzt.
DLC bedeutet dabei Diamond Like Carbon, (diamantähnlicher Kohlenstoff). Dies sind amorphe Kohlenstoffschichten bei denen im Nanometerbereich grafitähnliche und diamantähnliche Strukturen nebeneinander vorkommen, d.h. der Kohlenstoff in sogenannter sp2 und sp3 Hybridisierung vorkommt. Ein hoher sp3-Anteil führt zu einer harten, diamantähnlichen Schicht. Ein hoher sp2-Anteil führt zu einer weichen graphitähnlichen Schicht. Nachteilig bei diesem Verfahren sind allerdings die vor allem dabei entstehenden hohen Produktionskosten die im Wesentlichen auf die notwendige Galvanik zurückgehen. Aus diesem Grund ist die Anwendung dieses Verfahrens derzeit auf sogenannte High-End Produkte beschränkt. Das Galvanikverfahren ist nicht nur Kostenintensiv sondern belastet aufgrund der dafür notwendigen Lösungsmittel in erheblichem Masse die Umwelt. Auch aus diesem Grund möchte man von dieser Technologie möglichst wegkommen.
BESTÄTIGUNGSKOPIE Gemäss einem alternativen Ansatz wird die zu behandelnde Oberfläche zunächst nitriert und dann mit einer DLC-Schicht beschichtet. Durch das Nitrieren zu kombinieren mit DLC wird eine gewisse Korrosionsbeständigkeit erzielt. Weiterhin verleiht die DLC-Schicht der Oberfläche die gewünschte Farbe und setzt die Reibung herab. Problematisch ist allerdings, dass durch ein solches Verfahren nicht die oftmals notwendige Härte erreicht wird.
Es besteht daher das Bedürfnis nach einem Verfahren mit dem eine Schwärzung von Metalloberflächen erreicht wird, wobei gleichzeitig Korrosionsbeständigkeit und Härte erreicht werden soll bei niedriger bzw. herabgesetzter Reibung.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein solches Verfahren anzugeben. Erfindungsgemäss wird die Aufgabe Komponenten mit einer Stärke von nicht mehr als zwei Millimeter dadurch gelöst, dass die Komponente zunächst beispielsweise mittels Induktionshärten gehärtet wird. Anschliessend wird die Komponente nitriert um die Oberfläche korrosionsbeständig zu machen. Durch das Nitrieren wird die Härte der Komponente zu einem gewissen Grad wieder herabgesetzt. Die durch die Nitrierung entstehende Verbindungs- und Diffusionsschicht verleiht aber der dünnen Komponente beidseitig zusätzliche Stabilität. Anschliessend wird die Komponente mit einer DLC-Schicht beschichtet, die der Oberfläche eine schwarze Farbe verleiht und die die Reibung der Oberfläche herabsetzt.
Die Erfindung wird nun im Detail beispielhaft und mit Hilfe der Figur näher erläutert.
Figur 1 zeigt schematisch den Schichtaufbau einer mit dem erfindungsgemässen Verfahren behandelten Komponente.
Im Beispiel sei die Komponente ein Rohr mit 1.6mm Wanddicke aus niedrig legierten Stahl mit Perlit-Gefüge. Das Rohr wird zunächst in einem Induktionsofen soweit erhitzt, dass der Perlit in Austenit umwandelt. Hierzu sind zwischen 700°C und 1100°C notwendig. Dabei ist darauf zu achten, dass das Rohr genügend lange und gleichmässig erhitzt wird, so dass die Umwandlung in Austenit vollständig vor sich geht. Anschliessend erfolgt das Abschrecken, beispielsweise indem das Rohr mit gekühltem Stickstoff oder Ammoniak umströmt wird, so dass ein tetragonal verzerrtes Eisengitter (Martensit) erzeugt wird in dem Kohlenstoff eingelagert ist. Eine Einteilung des Abschreckens in Intervalle um Zugrisse und Schalenrisse zu vermeiden ist dabei nicht unbedingt notwendig, da das Rohr dünn genug ist. Nach dem Abschrecken ist das gehärtete Rohr spröde. Erfindungsgemäss kann aber auf das beim Härten sonst übliche Anlassen verzichtet werden, da das Rohr nun nitriert wird und bei dieser Nitrierung das Rohr auf ca. 450° erhitzt wird. Zum Nitrieren eignet sich beispielsweise das Plasmanitrieren oder das Gasnitrieren. Beim Plasmanitrieren wird das Rohr in eine Behandlungskammer gegeben, welche zunächst evakuiert wird und in die anschliessen Ammoniak eingelassen wird. Mittels Plasmagenerator wird nun über dem Rohr ein Plasma gezündet, in welchem Ammoniak zu Stickstoff und Wasserstoff dissoziiert. Der Stickstoff diffundiert in die Oberfläche des Rohres ein und bildet dort eine 0.3 bis 0.4 mm dicke Diffusionsschicht, wobei an der Oberfläche direkt eine ca. 20pm dicke sogenannte Verbindungsschicht mit ε- und γ'-Eisennitriden entsteht. Um die Korrosionsbeständigkeit dieser Verbindungsschicht weiter zu erhöhen kann diese oxidiert werden. Hierzu kann beispielsweise eine Dampfbeaufschlagung verwendet werden die die Eisenanteile korrodieren lässt und so eine Oxidschutzschicht gebildet wird.
Im Vergleich zur Induktionshärtung würde die Härte konkret auf ca. 900MPa absinken, allerdings verleiht die durch die Nitrierung entstehende Verbindungs- und Diffusionsschicht der dünnen Komponente beidseitig wieder zusätzlich Stabilität. Anschliessend wird die Komponente mit einer 2pm dicken DLC-Schicht, beispielsweise mittels PECVD beschichtet, die der Oberfläche eine schwarze Farbe verleiht und die die Reibung der Oberfläche herabsetzt. Diese Beschichtung kann in derselben Behandlungskammer stattfinden wie die Plasmanitrierung. Die Herabsetzung der Reibung der Oberfläche kann beispielsweise dadurch erreicht werden, dass in die DLC-Schicht ein Wasserstoffanteil von 16at% bis 20at% eingebaut wird, wodurch es verstärkt zur sp2 Hybridisierung der Kohlenstoffverbindungen kommt.
Aufgrund des Verfahrens entsteht ein wie in Figur 1 schematisch als Teilbereich dargestelltes Rohr dessen Substrat 3 zu einem grossen Prozentsatz Martensit-Gefüge aufweisst, in dessen Oberfläche Stickstoff eindiffundiert ist und somit eine Diffusionsschicht 5 bildet. Auf der Diffusionsschicht 5 ist eine durch das Nitrieren entstandene Verbindungschicht 7, deren äusserer Bereich vorzugsweise oxidiert ist. Auf dieser Verbindungschicht 7 ist eine DLC-Schicht vorgesehen, die der dem Rohr ein schwarzes Finish verleiht und die die Reibung der Oberfläche herabsetzt.
Bemerkenswert an dem oben beschriebenen Verfahren ist auch, dass sämtliche Verfahrensschritte in ein und derselben Behandlungskammer durchgeführt werden können. Die Behandlungskammer sollte hierzu einen Induktionsofen, einen Plasmagenerator für das Nitrieren und die PECVD Beschichtung sowie Gaszugänge für das Ammoniak umfassen. Während mittels Induktion das Rohr erhitzt wird kann dann schon damit begonnen werden, die Behandlungskammer zu evakuieren. Zum Abschrecken kann man dann gekühltes Ammoniak in die Behandlungskammer strömen lassen: Dies hat den Vorteil dass das zur Abschreckung verwendete Fluidum nicht mehr vollständig abgepumpt werden muss, weil es für den darauffolgenden Plasma-Nitierschritt sowieso benötigt wird.

Claims

Ansprüche
1. Verfahren zur Behandlung einer Komponente zur Härtung, Erhöhung der Korrosionsbeständigkeit, Herabsetzung der Reibung und Schwärzung der Oberfläche, wobei das Verfahren folgende Schritte umfasst:
- Bereitstellung der zu behandelnden Komponente
- Härtung der Komponente vorzugsweise mittels Induktionshärtung
- Erzeugung einer Stickstoffdiffusionsschicht mittels Nitrierung
- Erzeugung einer Verbindungsschicht mit e- und γ'-Eisennitriden ebenfalls mittels Nitrierung - Beschichtung der Komponente mit einer amorphen Kohlenstoffschicht
2. Verfahren nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei der Nitrierung um eine Plasmanitrierung handelt.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Verbindungsschicht oxidiert wird, beispielsweise zur Erhöhung der Korrosionsbeständigkeit.
4. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet dass die Härtung zumindest eine Aufheizung und zumindest eine Abschreckung umfasst, wobei für die Abschreckung ein Fluid verwendet wird welches im Nitrierschritt ebenfalls zur Verwendung kommt.
5. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Fluid Ammoniak zumindest umfasst.
6. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Nitrierung unmittelbar auf die Induktionshärtung ohne ein dazwischen liegendes Anlassen durchgeführt wird.
7. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die beschriebenen Verfahrensschritte alle in derselben Behandlungskammer durchgeführt werden.
8. Anwendung eines Verfahrens nach einem der vorangehenden Ansprüche auf eine Komponente welche eine maximale Dicke von 2.0mm hat.
9. Behandlungskammer zum Durchführen eines der Verfahren nach Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Behandlungskammer eine Induktionsheizung zum Durchführen der Induktionshärtung und einen Plasmagenerator, sowie Mittel zur Evakuation und Gaseinlässe für Prozessgase umfasst.
10. Komponente (1) deren Substrat (3) Martensit-Gefüge zumindest teilweise aufweisst, in deren Oberfläche Stickstoff eindiffundierter Stickstoff eine Diffusionsschicht (5) bildet wobei auf der Diffusionsschicht (5) ist eine durch das Nitrieren entstandene Verbindungschicht (7) vorhanden ist, deren äusserer Bereich vorzugsweise oxidiert ist und auf dieser Verbindungschicht (7) ist eine DLC-Schicht (9) vorgesehen, die der Komponente ein schwarzes Finish verleiht und die die Reibung der Oberfläche im Vergleich zum Substrat (3) herabsetzt.
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0811697A2 (de) * 1996-06-06 1997-12-10 Dowa Mining Co., Ltd. Verfahren und Anlage zum Aufköhlen, Abschrecken und Anlassen
WO2000006960A1 (en) * 1998-07-28 2000-02-10 Nu-Bit, Inc. Process for nitriding of metal containing materials
WO2008104013A2 (de) * 2007-03-01 2008-09-04 RÜBIG GmbH & Co KG Verfahren zur herstellung einer beschichtung

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19724661C2 (de) * 1997-06-11 1999-10-28 Leico Werkzeugmaschb Gmbh & Co Verfahren zur Herstellung eines verzahnten Getriebeteiles
DE19825860A1 (de) * 1998-06-10 1999-12-16 Elgan Diamantwerkzeuge Gmbh & Kolbenring und seine Verwendung
US6904935B2 (en) * 2002-12-18 2005-06-14 Masco Corporation Of Indiana Valve component with multiple surface layers
DE102004018921A1 (de) * 2004-04-20 2005-11-17 Bayerische Motoren Werke Ag Verfahren zur Herstellung einer Pleuelstange sowie eines Kolbenbolzens
JP2008163430A (ja) * 2006-12-28 2008-07-17 Jtekt Corp 高耐食性部材およびその製造方法
DE102008051665B4 (de) * 2008-10-15 2011-03-03 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zur Oberflächenvergütung von metallischen Bauteilen

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0811697A2 (de) * 1996-06-06 1997-12-10 Dowa Mining Co., Ltd. Verfahren und Anlage zum Aufköhlen, Abschrecken und Anlassen
WO2000006960A1 (en) * 1998-07-28 2000-02-10 Nu-Bit, Inc. Process for nitriding of metal containing materials
WO2008104013A2 (de) * 2007-03-01 2008-09-04 RÜBIG GmbH & Co KG Verfahren zur herstellung einer beschichtung

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
DALIBON E L ET AL: "Tribological behavior of DLC films deposited on nitrided and post-oxidized stainless steel by PACVD", JOURNAL OF PHYSICS: CONFERENCE SERIES, vol. 370, no. 1, 012029, 19 June 2012 (2012-06-19), INSTITUTE OF PHYSICS PUBLISHING, BRISTOL [GB], pages 1 - 6, XP020224837, ISSN: 1742-6596, DOI: 10.1088/1742-6596/370/1/012029 *

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