WO2013176104A1 - 磁気式回転角検出器 - Google Patents

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武史 武舎
甚 井上
仲嶋 一
岡室 貴士
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三菱電機株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to a magnetic rotation angle detector.
  • a magnetic rotation angle detector there is a method in which a magnetic slit obtained by processing a disk-shaped magnetic body into a slit shape is attached to a motor, and a magnetic field change accompanying the rotation of the magnetic slit is detected by a magnetic sensor.
  • Patent Document 1 in a magnetic encoder, a detection body is arranged between a magnetic slit plate and a flat magnet, and a plurality of magnetoresistive elements are arranged on the detection body in a circumferential shape having substantially the same diameter as the magnetic slit plate. It is described to do. Thereby, according to Patent Document 1, since the magnetoresistive element is arranged on the entire circumference of the magnetic slit plate, it is possible to detect the rotation of the magnetic slit plate by canceling the shaft flutter and the rotation portion mounting error. It is supposed to be possible.
  • Patent Document 1 The technique described in Patent Document 1 is to enable detection of the rotation angle of the magnetic slit by disposing a magnetic sensor (magnetoresistance element) between the magnetic slit and the flat magnet. Conceivable.
  • the magnetic rotation angle detector described in Patent Document 1 using a magnetic slit is called an incremental method, and detects the relative rotation angle by counting the change in signal due to the rotation of the magnetic slit plate. It is thought to be.
  • the present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to obtain a magnetic rotation angle detector capable of miniaturizing a configuration for detecting an absolute rotation angle with high resolution.
  • the magnetic rotation angle detector is configured so that the magnetic pole changes n times (n is an integer of 1 or more) every rotation.
  • the disk-shaped magnet magnetized to the magnet and the magnetic flux transmittance so that the magnetic flux transmittance changes m times (m is an integer of 2 or more, m> n) every time it rotates together with the magnet.
  • FIG. 1 is a configuration diagram of a magnetic rotation angle detector according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a configuration diagram of the rotating disk according to the first embodiment.
  • FIG. 3 is a diagram illustrating an example of an output signal of the magnetic sensor according to the first embodiment.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating the positions of the magnetic slit plate and the magnetic sensor according to the first embodiment.
  • FIG. 5 is a diagram illustrating a waveform of a signal obtained by the angle calculation unit according to the first embodiment.
  • FIG. 6 is a diagram illustrating a waveform of a signal obtained by the angle calculation unit according to the first embodiment.
  • FIG. 7 is a diagram showing the positions of the magnetic slit plate and the magnetic sensor according to the second embodiment.
  • FIG. 8 is a diagram illustrating a waveform of a signal obtained by the angle calculation unit according to the second embodiment.
  • FIG. 9 is a configuration diagram of a magnetic rotation angle detector according to the third embodiment.
  • FIG. 10 is a diagram showing the relationship between the magnetic field strength from the magnet and the distance in the magnetic rotation angle detector according to the third embodiment.
  • FIG. 11 is a configuration diagram of a magnetic rotation angle detector according to the fourth embodiment.
  • FIG. 12 is a configuration diagram of a rotating disk according to the fourth embodiment.
  • FIG. 13 is a configuration diagram of a magnetic rotation angle detector according to the fifth embodiment.
  • FIG. 1 shows an example of a magnetic rotation angle detector according to Embodiment 1 of the present invention.
  • the magnet 4 is fixed to the rotating shaft 3, and the magnetic slit plate 5 and the magnet 4 constitute the rotating disk 1 together.
  • each of the magnetic slit plate 5 and the magnet 4 is a hollow disk having a hole into which the rotary shaft 3 is inserted near the center.
  • the rotating disk 1 rotates integrally with the rotating shaft 3.
  • a magnetic sensor 2 fixed to a housing (not shown) is installed at a position facing the magnet 4 with the magnetic slit plate 5 interposed therebetween. Even if the rotating disk 1 rotates, the position of the magnetic sensor 2 does not change.
  • the output of the magnetic sensor 2 changes corresponding to the change of the magnetic field.
  • the angle calculation unit 7 calculates the rotation angle of the rotating disk 1 from the output from the magnetic sensor 2 and outputs it.
  • the rotating disk 1 and the magnetic sensor 2 are disposed with a gap in the direction (z direction) along the rotation axis of the rotating shaft 3.
  • the distance between the rotating disk 1 and the magnetic sensor 2 takes into consideration the magnetic characteristics of the magnet 4 and the magnetic slit plate 5, the sensitivity to changes in the magnetic field of the magnetic sensor 2, and the restrictions on the assembly of the entire magnetic rotation angle detector. And determined.
  • the rotating disk 1 may include a member such as a boss for fastening with the rotating shaft 3, but detailed description thereof is omitted in the first embodiment.
  • FIG. 2 is a diagram for explaining the structure of the rotating disk 1.
  • the rotating disk 1 includes a magnet 4 and a magnetic slit plate 5.
  • the magnet 4 and the magnetic slit plate 5 are drawn separately for the sake of explanation, but actually the magnet 4 and the magnetic slit plate 5 rotate together as shown in FIG. To do.
  • the magnetic slit plate 5 and the magnet 4 are respectively fixed to the rotary shaft 3, and the magnet 4 is rotated with the rotation of the rotary shaft 3.
  • the magnetic slit plate 5 rotate together.
  • the magnetization direction of the magnet 4 is generally called radial magnetization.
  • the magnet 4 is in a state in which an N pole and an S pole are magnetized in the x-axis direction.
  • the magnet 4 fixed to the rotating shaft 3 is measured.
  • the magnetic slit plate 5 has, for example, a disk shape, and has a structure in which an opening and a shielding portion are repeated at a certain angle P [rad] along the circumferential direction.
  • the magnetic flux of the magnet 4 below the z-axis is transmitted to the upper part of the z-axis, and the shielding part prevents the magnetic flux of the magnet 4 below the z-axis from being transmitted to the upper part of the z-axis.
  • the magnetic slit plate 5 is formed of a member having a high magnetic flux transmittance at a portion corresponding to the opening and a member having a low magnetic flux transmittance at a portion corresponding to the shielding portion, even if the opening is not physically formed. It does not matter if the structure is repeated.
  • the width of the opening of the magnetic slit plate 5 and the width of the shielding portion are, for example, substantially equal to P / 2 [rad].
  • P 2 ⁇ / 16 [rad]
  • there are 16 sets of openings and shielding portions. That is, if the frequency with respect to one rotation of the magnetic slit plate 5 fixed to the rotary shaft 3 is m, m 16 magnetic field changes. Note that m is an integer larger than n.
  • FIG. 4 is a diagram of the magnetic slit plate 5 and the magnetic sensor 2 in FIG. 1 viewed from above the z axis.
  • the magnetic slit plate 5 is indicated by a broken line.
  • the magnetic sensor 2 includes a magnetic detection element group 6 arranged in an array.
  • the magnetic detection element group 6 includes two magnetic detection elements 61 and 62 arranged at an interval of P / 2 [rad]. It is composed of At this time, when the output from the magnetic detection element 61 is F 1 ( ⁇ ) and the output from the magnetic detection element 62 is F 2 ( ⁇ ), the following expression (1) is obtained.
  • FIG. 6 shows the state of the waveform of the signal represented by Expression (4).
  • two signals of frequency n and frequency m can be extracted from one track.
  • n 1
  • position detection with higher resolution (resolution) is possible from the signal of frequency m. Therefore, the absolute position of the rotating disk 1 can be detected with high accuracy from the frequency n signal and the frequency m signal.
  • a high-resolution magnetic rotation angle detector can be realized with a small casing. That is, in the magnetic rotation angle detector, the configuration for detecting the absolute rotation angle with high resolution (high resolution) can be reduced in size.
  • the present invention is limited to this separation method.
  • only one magnetic detection element is used, and the component of frequency n is separated from the component of frequency m after the Fourier transform process in the angle calculation unit 7, and the sine wave waveform and the frequency of frequency n are separated by the inverse Fourier transform process.
  • a sine wave waveform of m may be obtained.
  • FIG. 7 is a view for explaining the positional relationship between the magnetic slit plate 5 and the magnetic sensor 2 in the magnetic rotation angle detector according to the second embodiment.
  • FIG. 7 is the same as FIG. 4 showing the positional relationship between the magnetic slit plate 5 and the magnetic sensor 2 according to the first embodiment except that the installation positions of the magnetic detection elements 61 and 62 of the magnetic sensor 2 are different.
  • the hatched portion indicates that the south pole of the magnet 4 is below the magnetic slit plate 5, and the magnetic slit plate 5 rotates around the rotation axis 8 of the rotary shaft 3. ing.
  • FIG. 7 is the same as FIG. 4 showing the positional relationship between the magnetic slit plate 5 and the magnetic sensor 2 according to the first embodiment except that the installation positions of the magnetic detection elements 61 and 62 of the magnetic sensor 2 are different.
  • the hatched portion indicates that the south pole of the magnet 4 is below the magnetic slit plate 5, and the magnetic slit plate 5 rotates around the rotation axis 8 of the rotary shaft 3.
  • the magnetic detection elements 61 and 62 are set at a position of 180 degrees with respect to the rotation shaft 8.
  • the n ⁇ component that is the periodic variation component of the frequency n is removed from F 1 ( ⁇ ) + F 2 ( ⁇ ), and a sine wave having only the m ⁇ component that is the periodic variation component of the frequency m is obtained.
  • the state of F 1 ( ⁇ ) + F 2 ( ⁇ ) is shown in FIG.
  • the two signals of the frequency n and the frequency m are separated with higher accuracy (for example, completely) than the magnetic rotation angle detector according to the first embodiment. Can be taken out.
  • FIG. 9 is a side view of a magnetic rotation angle detector according to the third embodiment of the present invention.
  • the basic configuration of the present embodiment is almost the same as that of the magnetic rotation angle detector according to the first and second embodiments of the present invention, but a non-magnetic material having a thickness T between the magnet 4 and the magnetic slit plate 5.
  • the difference is that a body spacer 9 is provided.
  • the spacer 9 is, for example, a hollow disk shape having a hole into which the rotary shaft 3 is inserted near the center. The spacer 9 rotates integrally with the magnet 4 and the magnetic slit plate 5.
  • the rotating shaft 3 is inserted into the magnetic slit plate 5, the spacer 9, and the magnet 4, so that the magnetic slit plate 5, the spacer 9, and the magnet 4 are fixed to the rotating shaft 3.
  • the magnet 4, the spacer 9, and the magnetic slit plate 5 rotate together.
  • the magnetic field is modulated by the magnetic slit in the vicinity of the point with the largest magnetic field on the surface of the magnet 4 (the surface of the magnet 4 facing the magnetic slit plate 5).
  • the magnetic slit plate 5 is thin and the magnetic field intensity from the magnet 4 is large, the magnetic slit plate 5 is magnetically saturated, and the magnetic field modulation by the magnetic slit is sufficient for the magnetic field change from the magnet 4. It is assumed that this is not possible.
  • a non-magnetic spacer 9 is provided between the magnet 4 and the magnetic slit plate 5, and the magnetic field is modulated by the magnetic slit at a position separated from the magnet 4 by the thickness T of the spacer. Is multiplied.
  • the spacer thickness T is set so that the magnetic field is modulated by the magnetic slit at the position where the magnetic field intensity from the magnet 4 is 0.7 is illustrated.
  • the thickness T of the spacer can be arbitrarily set according to the required performance.
  • the output ratio of the sine wave waveform with the frequency n and the sine wave waveform with the frequency m can be arbitrarily set, so that the calculation processing capability of the angle calculation unit 7 can be improved.
  • a more reliable rotation angle detector can be obtained.
  • FIG. 11 shows an example of a magnetic rotation angle detector according to the fourth embodiment of the present invention. Comparing FIG. 11 with FIG. 1 showing the magnetic rotation angle detector according to the first embodiment of the present invention, a magnet 14 that rotates integrally with the rotating shaft 3 is installed at the center of the rotating disk 1. It is basically the same except that it is. The magnet 4, the magnetic slit plate 5, and the magnet 14 rotate integrally with the rotating shaft 3.
  • FIG. 12 is a view for explaining the structure of the rotating disk 1.
  • the rotating disk 1 includes a magnet 4 and a magnetic slit plate 5.
  • the magnet 4 and the magnetic slit plate 5 are drawn separately for the sake of explanation, but actually the magnet 4 and the magnetic slit plate 5 rotate together as shown in FIG. To do.
  • the magnetic field is formed so as to be changed.
  • a component of one rotation m cycle You may make it obtain the output which removed.
  • an output from which the component of one rotation n period is removed may be obtained.
  • Each frequency component may be separated by Fourier transform processing or the like.
  • FIG. FIG. 13 shows an example of a magnetic rotation angle detector according to the fifth embodiment of the present invention.
  • FIG. 13 is the same as FIG. 1 showing the magnetic rotation angle detector according to the first embodiment of the present invention except that the magnetic slit plate 5 is changed to the magnetic slit plate 51.
  • the magnetic slit plate 5 is formed separately from the magnet 4 and is installed so as to be integrated with the magnet 4.
  • the magnetic slit plate 51 is formed on the magnet 4 by printing using magnetic ink or the like.
  • the magnetic rotation angle detector according to the present invention is useful for detecting the rotation angle of the magnetic slit plate.
  • Magnetic sensor 4 magnets, 5, 51 magnetic slit plate, 7 angle calculator.

Abstract

 磁気式回転角検出器は、1回転する毎に磁極がn回(nは1以上の整数)変化するように着磁された円盤状の磁石と、前記磁石と一体に回転し1回転する毎に磁束透過率がm回(mは2以上の整数で、m>n)変化するように磁束透過率の高い部分と低い部分とが交互に繰り返される磁性体スリット板と、前記磁性体スリット板を通った前記磁石からの磁気を検出する磁気センサと、前記磁気センサの出力から前記磁石の回転角度を求める演算部とを備える。

Description

磁気式回転角検出器
 本発明は、磁気式回転角検出器に関する。
 磁気式回転角検出器において、円盤状の磁性体をスリット形状に加工した磁性体スリットをモータに取り付け、磁性体スリットの回転に伴う磁界変化を磁気センサによって検出する方法がある。
 特許文献1には、磁気エンコーダにおいて、磁性体スリット板と平板磁石との間に検出体を配置し、検出体において磁性体スリット板とほぼ同一径の円周状に複数の磁気抵抗素子を配置することが記載されている。これにより、特許文献1によれば、磁性体スリット板の全周に磁気抵抗素子を配置したので、シャフトフレや回転部の取り付け誤差をキャンセルして、磁性体スリット板の回転を検出することができるとされている。
特開2003-121200号公報
 特許文献1に記載の技術は、磁性体スリットと平板磁石との間に磁気センサ(磁気抵抗素子)を配置することにより、磁性体スリットの回転角度を検出することを可能にするものであると考えられる。磁性体スリットを用いた特許文献1に記載の磁気式回転角検出器は、インクリメンタル方式と呼ばれるものであり、磁性体スリット板の回転による信号の変化を数えることにより、相対的な回転角度を検出するものであると考えられる。
 一方、特許文献1に記載の磁気式回転角検出器において、高い分解能で絶対的な回転角度を検出するためには、例えば、磁性体スリットを用いた磁性体スリット板(回転円板)に同心円状に複数周波数の信号トラックを設ける必要があり、検出体に同心円状に複数の磁気抵抗素子を配置する必要があると考えられる。この場合、回転円板の面積が大きくなってしまうとともに、検出体の面積も大きくなってしまい、磁気式回転角検出器が大型化してしまう可能性がある。
 本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、高い分解能で絶対的な回転角度を検出するための構成を小型にできる磁気式回転角検出器を得ることを目的とする。
 上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の1つの側面にかかる磁気式回転角検出器は、1回転する毎に磁極がn回(nは1以上の整数)変化するように着磁された円盤状の磁石と、前記磁石と一体に回転し1回転する毎に磁束透過率がm回(mは2以上の整数で、m>n)変化するように磁束透過率の高い部分と低い部分とが交互に繰り返される磁性体スリット板と、前記磁性体スリット板を通った前記磁石からの磁気を検出する磁気センサと、前記磁気センサの出力から前記磁石の回転角度を求める演算部とを備えることを特徴とする。
 本発明によれば、1回転する毎に磁極がn回(nは1以上の整数)変化するように着磁された円盤状の磁石と、磁石と一体に回転し1回転する毎に磁束透過率がm回(mは2以上の整数で、m>n)変化するように磁束透過率の高い部分と低い部分とが交互に繰り返される磁性体スリット板と、磁性体スリット板を通った磁石からの磁気を検出する磁気センサと、磁気センサの出力から磁石の回転角度を求める演算部とを備えているので、1つの磁気トラックから2つの周波数成分を取り出すことができるため、高い分解能の磁気式回転角検出器を小さな筐体で実現することができる。すなわち、磁気式回転角検出器において、高い分解能(高い解像度)で絶対的な回転角度を検出するための構成を小型にできる。
図1は、実施の形態1による磁気式回転角検出器の構成図である。 図2は、実施の形態1による回転円板の構成図である。 図3は、実施の形態1による磁気センサの出力信号の一例を示す図である。 図4は、実施の形態1による磁性体スリット板と磁気センサの位置を示す図である。 図5は、実施の形態1による角度演算部で求められる信号の波形を示す図である。 図6は、実施の形態1による角度演算部で求められる信号の波形を示す図である。 図7は、実施の形態2による磁性体スリット板と磁気センサの位置を示す図である。 図8は、実施の形態2による角度演算部で求められる信号の波形を示す図である。 図9は、実施の形態3による磁気式回転角検出器の構成図である。 図10は、実施の形態3による磁気式回転角検出器で磁石からの磁界強度と距離の関係を示す図である。 図11は、実施の形態4による磁気式回転角検出器の構成図である。 図12は、実施の形態4による回転円板の構成図である。 図13は、実施の形態5による磁気式回転角検出器の構成図である。
 以下に、本発明にかかる磁気式回転角検出器の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
実施の形態1.
 図1は、本発明の実施の形態1による磁気式回転角検出器の一例を示したものである。磁石4は回転シャフト3に固定されており、磁性体スリット板5と磁石4とは一体となって回転円板1を構成している。例えば、磁性体スリット板5と磁石4とは、それぞれ、回転シャフト3が差し込まれる穴を中心近傍に有する中空の円盤状である。回転円板1は、回転シャフト3と一体となって回転する。磁性体スリット板5を挟んで磁石4と対向する位置に、図示されていない筐体に固定された磁気センサ2が設置されている。回転円板1が回転しても、磁気センサ2の位置は変わらない。磁気センサ2は、磁界の変化に対応して出力が変化する。角度演算部7は、磁気センサ2からの出力から回転円板1の回転角を求めて、出力する。
 回転円板1と磁気センサ2とは、回転シャフト3の回転軸に沿った方向(z方向)において隙間を介して配置されている。回転円板1と磁気センサ2との間隔は、磁石4および磁性体スリット板5の磁気特性、磁気センサ2の磁界の変化に対する感度、磁気式回転角検出器全体の組立上の制約などを考慮して、決定される。なお、回転円板1には、回転シャフト3との締結のためのボスなどの部材が含まれることがあるが、実施の形態1では詳細な説明は省略する。
 図2は、回転円板1の構造を説明するための図である。回転円板1は、磁石4および磁性体スリット板5で構成される。図2では、説明のために磁石4と磁性体スリット板5とを別々に描いているが、実際には図1に示したように磁石4と磁性体スリット板5とは一体となって回転する。例えば、回転シャフト3が磁性体スリット板5と磁石4とにそれぞれ差し込まれることで、磁性体スリット板5と磁石4とがそれぞれ回転シャフト3に固定され、回転シャフト3の回転に伴って磁石4と磁性体スリット板5とは一体となって回転する。
 磁石4の磁化方向は、一般に径方向着磁と呼ばれるものである。例えば、図2において磁石4は、x軸方向にN極およびS極が着磁された状態である。図1に示した磁気式回転角検出器から磁性体スリット板5を取り除いた状態で磁石4を回転させ、磁気センサ2に印加される磁界を測定した場合、回転シャフト3に固定された磁石4が1回転する毎に磁気センサ2で検出される磁界が1周期で変化する。すなわち、回転シャフト3の1回転に対する周波数をnとすると、n=1回の磁界変化となる。
 磁性体スリット板5は、例えば円盤状であり、その周方向に沿って一定の角度P[rad]毎に開口部と遮蔽部とが繰り返される構造となっており、開口部においては図2におけるz軸下部の磁石4の磁束をz軸上部に透過させ、遮蔽部においてはz軸下部の磁石4の磁束のz軸上部への透過を妨げるものとなっている。なお、磁性体スリット板5は、物理的に開口部が形成されていなくても、開口部にあたる部分が磁束透過率の高い部材、遮蔽部にあたる部分が磁束透過率の低い部材で形成され、これらが繰り返される構造になっていても構わない。
 図2に示す例では、磁性体スリット板5の開口部の幅と遮蔽部の幅とが、例えば、略P/2[rad]で均等である。回転シャフト3に固定された磁性体スリット板5が1回転すると、磁界が変化する回数がm=2π/Pである。図2に示す例では、P=2π/16[rad]であり、開口部と遮蔽部が16組存在している。すなわち、回転シャフト3に固定された磁性体スリット板5の1回転に対する周波数をmとすると、m=16回の磁界変化となる。なお、mはnより大きな整数とする。
 図1に示したように、回転シャフト3の1回転に対する周波数n=1で着磁された磁石4の上に、回転シャフト3の1回転に対する周波数m=16で開口部と遮蔽部が繰り返される磁性体スリット板5を設置し、回転シャフト3を回転させると、磁気センサ2において検出される磁界の強度は、図3に示すように、1回転に対して周波数n=1の大きな磁界変化の中に周波数m=16の細かい磁界変化が重畳されたような波形となる。
 ここで、図3に示された磁気センサ2の出力である周波数n=1、m=16という2つの周波数成分が重畳した信号から、n=1とm=16との2つの周波数成分に分離する方法について説明する。
 図4は、図1における磁性体スリット板5および磁気センサ2を、z軸の上方向から見た図である。説明のために、磁性体スリット板5は破線で示している。磁気センサ2は、アレイ状に配置された磁気検出素子群6から構成され、図4では、磁気検出素子群6はP/2[rad]の間隔で配置された2つの磁気検出素子61および62から構成されている。このとき、磁気検出素子61からの出力をF(θ)、磁気検出素子62からの出力をF(θ)とすると、以下の式(1)で表される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000001
 磁気センサ2の出力であるF(θ)およびF(θ)は、角度演算部7に入力される。ここで、P/2=π/mであることから、以下の式(2)の関係がある。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000002
 A=A、B=Bとすると、F(θ)+F(θ)は、以下の式(3)のようになる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000003
 すなわち、F(θ)+F(θ)からは、周波数mの周期変動成分であるmθ成分が除去され、周波数nの周期変動成分であるnθ成分のみの正弦波が得られる。F(θ)+F(θ)の様子を、図5に示す。
 さらに、F(θ)+F(θ)の演算で得られた信号の振幅がAになるように角度演算部7の内部でゲイン調整し、F(θ)からその結果を引くことにより、以下の式(4)に示されるように、周波数mの周期変動成分であるmθ成分の正弦波出力を得ることができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000004
 ただし、この出力においては周波数nθの成分が残るが、nとmの差が大きければ、nθの成分は小さくなる。式(4)で示される信号の波形の様子を、図6に示す。
 これらの処理により、1つのトラックから周波数nと周波数mの2つの信号を取り出すことができる。例えば、n=1の場合、周波数nの信号からは、回転シャフト3と一体となって回転する回転円板1が1回転内のどの位置にあるかを検出することができる。さらに、周波数mの信号からは、より分解能(解像度)の高い位置検出が可能となる。よって、周波数nの信号および周波数mの信号から、回転円板1の絶対位置を高い精度で検出することができる。このように、本実施の形態では1つの磁気トラックから2つの周波数成分を取り出すことができるため、高い分解能の磁気式回転角検出器を小さな筐体で実現することができる。すなわち、磁気式回転角検出器において、高い分解能(高い解像度)で絶対的な回転角度を検出するための構成を小型にできる。
 なお、実施の形態1では、n=1、m=16の例を示したが、nとmの値は、これに限ることなく、m>nとなる1以上の整数であればよい。n=1の場合は回転円板1の絶対位置が検出可能であったが、例えば、n=2の場合は、回転対称な2点の位置のいずれかであることが検出可能である。
 実施の形態1では、磁気検出素子61、62の設置位置と角度演算部7の演算処理によって周波数nと周波数mの周期変動成分を取り出す例について説明したが、本発明はこの分離方法に限ることなく、例えば、磁気検出素子を1個のみとし、角度演算部7においてフーリエ変換処理の後に周波数nの成分と周波数mの成分とを分離し、逆フーリエ変換処理によって周波数nの正弦波波形と周波数mの正弦波波形とを得るものとしてもよい。
実施の形態2.
 本実施の形態2による磁気式回転角検出器の構成を、図7を用いて説明する。図7は、実施の形態2による磁気式回転角検出器における磁性体スリット板5と磁気センサ2の位置関係を説明するための図である。図7を実施の形態1による磁性体スリット板5と磁気センサ2の位置関係を示す図4と比べると、磁気センサ2の磁気検出素子61および62の設置位置が異なる以外は、同じである。また、図7においては、ハッチングの部分は磁性体スリット板5の下に磁石4のS極があることを示しており、磁性体スリット板5は回転シャフト3の回転軸8を中心として回転している。実施の形態2においては、図7に示すとおり、磁気検出素子61と62とが、回転軸8に対して180度の位置に設定されている。磁石4の着磁の周波数nが2以上のときは、磁気検出素子61と62とは、磁石4の着磁ピッチをQ(Q=2π/n)としたときに、互いにQ/2の間隔で配置される。
 このとき、磁気検出素子61からの出力をF(θ)、磁気検出素子62からの出力をF(θ)とすると、以下の式(5)で表される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000005
 磁気センサ2の出力であるF(θ)およびF(θ)は、角度演算部7(図1参照)に入力される。ここで、Q/2=π/nであることから、以下の式(6)の関係がある。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000006
 A=A、B=Bとすると、F(θ)+F(θ)は、以下の式(7)のようになる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000007
 すなわち、F(θ)+F(θ)からは、周波数nの周期変動成分であるnθ成分が除去され、周波数mの周期変動成分であるmθ成分のみの正弦波が得られる。F(θ)+F(θ)の様子を、図8に示す。
 ここで、mとnとの関係をm=n×2k(kは自然数)に限定した場合、F(θ)は以下の式(8)のようになる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000008
 よって、F(θ)+F(θ)の出力のゲインおよび位相を調整してsin(mθ)の値を取り出し、F(θ)からこの値を引き去ることにより、周波数nの周期変動成分であるnθ成分のみの正弦波を得ることができる。
 実施の形態2による磁気式回転角検出器では、実施の形態1による磁気式回転角検出器と比べて、周波数nと周波数mとの2つの信号をより高精度に(例えば、完全に)分離して取り出すことができる。
実施の形態3.
 図9は、本発明の実施の形態3による磁気式回転角検出器の側面図である。本実施の形態の基本的な構成は本発明の実施の形態1および2による磁気式回転角検出器とほぼ同様であるが、磁石4と磁性体スリット板5の間に厚さTの非磁性体のスペーサ9が設けられる点が異なる。スペーサ9は、例えば、回転シャフト3が差し込まれる穴を中心近傍に有する中空の円盤状である。スペーサ9は、磁石4と磁性体スリット板5と一体となって回転する。例えば、回転シャフト3が磁性体スリット板5とスペーサ9と磁石4とにそれぞれ差し込まれることで、磁性体スリット板5とスペーサ9と磁石4とがそれぞれ回転シャフト3に固定され、回転シャフト3の回転に伴って磁石4とスペーサ9と磁性体スリット板5とは一体となって回転する。
 次に、図10を用いて、本実施の形態の詳細について説明する。磁石4から発生する磁石4の表面(磁性体スリット板5に対向する面)の磁界強度を1とすると、磁石4から発生する、磁石4から離れた位置での磁界強度は、磁石4からの距離の2乗に反比例して低下する。
 実施の形態1および2では、磁石4の表面の最も磁界の大きいポイント(磁石4における磁性体スリット板5に対向する面)の近傍で、磁性体スリットによる磁界の変調を掛けていることとなる。磁性体スリット板5の厚さが薄く磁石4からの磁界強度が大きい場合、磁性体スリット板5が磁気飽和してしまい、磁石4からの磁界変化に対して磁性体スリットによる磁界の変調が十分に得られない場合が想定される。
 本実施の形態では、磁石4と磁性体スリット板5との間に非磁性体のスペーサ9が設けられており、磁石4からスペーサの厚みTだけ離れた位置で、磁性体スリットによる磁界の変調を掛けている。これにより、磁石4からの磁界強度が大きい場合に、磁性体スリット板5における磁気飽和を抑制でき、磁石4からの磁界変化に対して磁性体スリットによる磁界の変調を十分に(要求される性能を満たすレベルで)行うことができる。
 なお、本実施の形態では、例えば、磁石4からの磁界強度が0.7の位置で磁性体スリットによる磁界の変調を掛けるようにスペーサの厚みTを設定している場合を例示しているが、要求される性能に応じて、スペーサの厚みTを任意に設定できる。
 例えば、本実施の形態の方法を用いると、周波数nの正弦波波形と周波数mの正弦波波形との出力比率を任意に設定することができるので、角度演算部7の演算処理能力を向上でき、より信頼性の高い回転角検出器を得ることができる。
実施の形態4.
 図11は、本発明の実施の形態4による磁気式回転角検出器の一例を示したものである。図11を本発明の実施の形態1による磁気式回転角検出器を示した図1と比べると、回転円板1の中央部分に回転シャフト3と一体となって回転する磁石14が設置されていること以外は基本的に同じである。磁石4、磁性体スリット板5および磁石14は、回転シャフト3と一体となって回転する。
 図12は、回転円板1の構造を説明するための図である。回転円板1は、磁石4および磁性体スリット板5で構成される。図12では、説明のために磁石4と磁性体スリット板5とを別々に描いているが、実際には図11に示したように磁石4と磁性体スリット板5とは一体となって回転する。
 磁石4は、回転シャフト3の1回転に対してn=16回の磁界変化が発生するように形成されており、磁性体スリット板5は、回転シャフト3の1回転に対してm=256回の磁界変化が発生するように形成されている。さらに、磁石14は、回転シャフト3の1回転に対してl=1の磁界変化が発生するように形成されている。よって、磁気センサ2に印加される磁界は、回転シャフトが1回転する毎に、周波数n=16の大きな変化の中に周波数m=256の細かい変化が重畳された様な磁界変化が発生し、さらに、その波形に周波数l=1の大きな変化が重畳されたような波形となる。
 この出力を分離する方法としては、実施の形態1と同様に磁気センサ2内の磁気検出素子61と磁気検出素子62との間隔をP/2にて配置することにより、1回転m周期の成分を除去した出力を得るようにしてもよい。また、実施の形態2のように磁気検出素子61と磁気検出素子62との間隔をQ/2にて配置することにより、1回転n周期の成分を除去した出力を得るようにしてもよい。フーリエ変換処理などによって、各周波数成分を分離しても良い。
 このように、1つの磁気トラックのみで3つの異なる周波数成分の信号を取り出すことができるため、小型化と高分解能化との両立が可能となる。
実施の形態5.
 図13は、本発明の実施の形態5による磁気式回転角検出器の一例を示したものである。図13を本発明の実施の形態1による磁気式回転角検出器を示した図1と比べると磁性体スリット板5が磁性体スリット板51に変わっている以外は同じである。
 実施の形態1においては、磁性体スリット板5は、磁石4と別に形成し、磁石4と一体となるように設置するものとした。実施の形態4においては、磁石4の上に磁気インクを用いた印刷等によって磁性体スリット板51を形成する。これにより、磁性体スリット板5と磁石4とを接着等により一体化したときに比べて、高速回転時や高温時の剥がれの懸念が無く、より信頼性の高い磁気式回転角検出器を得ることができる。
 以上のように、本発明にかかる磁気式回転角検出器は、磁性体スリット板の回転角度の検出に有用である。
 2 磁気センサ、4 磁石、5,51 磁性体スリット板、7 角度演算部。

Claims (7)

  1.  1回転する毎に磁極がn回(nは1以上の整数)変化するように着磁された円盤状の磁石と、
     前記磁石と一体に回転し1回転する毎に磁束透過率がm回(mは2以上の整数で、m>n)変化するように磁束透過率の高い部分と低い部分とが交互に繰り返される磁性体スリット板と、
     前記磁性体スリット板を通った前記磁石からの磁気を検出する磁気センサと、
     前記磁気センサの出力から前記磁石の回転角度を求める演算部と、
     を備える磁気式回転角検出器。
  2.  前記演算部は、前記磁石が1回転するときの周波数nの信号成分と周波数mの信号成分とを分離して前記磁石の回転角度を求める
     ことを特徴とする請求項1に記載の磁気式回転角検出器。
  3.  前記磁気センサは、π/m[rad]の間隔で配置された複数の磁気検出素子を有する
     ことを特徴とする請求項1または2に記載の磁気式回転角検出器。
  4.  前記磁気センサは、π/n[rad]の間隔で配置された複数の磁気検出素子を有する
     ことを特徴とする請求項1または2に記載の磁気式回転角検出器。
  5.  前記磁石と前記磁性体スリット板との間に設けられた非磁性体のスペーサをさらに備え、
     前記磁石と前記磁性体スリット板との間に一定の間隔が設けられている
     ことを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の磁気式回転角検出器。
  6.  1回転する毎に磁極がk回(kは1以上の整数で、k<n)変化するように着磁され、前記磁石の内側に配された円盤状の第2の磁石をさらに備えた
     ことを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の磁気式回転角検出器。
  7.  前記磁性体スリット板は、前記磁石の表面に磁気インクで印刷されている
     ことを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の磁気式回転角検出器。
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